JPH0855887A - Laminograph - Google Patents

Laminograph

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Publication number
JPH0855887A
JPH0855887A JP6188297A JP18829794A JPH0855887A JP H0855887 A JPH0855887 A JP H0855887A JP 6188297 A JP6188297 A JP 6188297A JP 18829794 A JP18829794 A JP 18829794A JP H0855887 A JPH0855887 A JP H0855887A
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JP
Japan
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image
subject
laminograph
radiation
radiation source
Prior art date
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Pending
Application number
JP6188297A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kiichiro Uyama
喜一郎 宇山
Masaji Fujii
正司 藤井
Takeo Tsuchiya
武雄 土屋
Miki Mori
三樹 森
Hirokatsu Suzuki
博勝 鈴木
Hideo Kosuge
英男 小菅
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Priority to EP95303194A priority patent/EP0683389A1/en
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Priority to KR1019950011784A priority patent/KR0164931B1/en
Publication of JPH0855887A publication Critical patent/JPH0855887A/en
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/40—Imaging
    • G01N2223/419—Imaging computed tomograph
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/60—Specific applications or type of materials
    • G01N2223/612—Specific applications or type of materials biological material

Abstract

PURPOSE:To provide a laminograph for accurately focusing a desired surface of a specimen. CONSTITUTION:A substrate 14 which is a specimen is laid out successively differently between an X-ray tube 11 and a detector 13, X rays from the X-ray tube 11 through the substrate 14 are detected by the detector 13 for scanning the substrate 14, the output of the detector 13 is successively collected by a data collection device 20 during scanning, a plurality of transmission images of the specimen with different transmission directions are collected, and the plurality of collected transmission images are summed to find an average while being shifted mutually by an image processing device 21, thus creating a transmission image where one focusing surface of the substrate 14 is focused. Then, the position of the focusing surface which is the surface of the substrate 14 is measured by a distance measuring instrument 23 and the amount of deviation is calculated based on the position of the measured focusing surface.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、被検体を透過した放射
線を検出し、被検体の断層像を得る断層撮影装置である
ラミノグラフに関し、特に多層配線基板の内部または表
面実装基板の半田付け部等を非破壊で検査するために使
用されるラミノグラフに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laminograph which is a tomography apparatus for detecting radiation transmitted through a subject and obtaining a tomographic image of the subject, and more particularly to a soldering portion inside a multilayer wiring board or on a surface mounting board. It relates to a laminograph used for non-destructive inspection of etc.

【０００２】[0002]

【従来の技術】この種のラミノグラフは、Ｊリード端子
付表面実装やフリップチップ実装、受動チップ部品のバ
ンプ実装等で接続部が上面より観察できない部品の基板
への半田付き状態を検査するために使用し得るものとし
て、最近注目され始めているものであり、基本的には医
療用として普及している断層写真装置と同じであるが、
断層写真がＸ線用フィルムを用いて１つの面にピントの
合った透過像である断層像を得るのに対して、ラミノグ
ラフは面センサ出力をディジタル画像化し、画像処理で
断層像を作成する点が異なっている。2. Description of the Related Art This type of laminograph is used for inspecting the soldering state of a component whose connection portion cannot be observed from the upper surface due to surface mounting with J lead terminals, flip chip mounting, bump mounting of passive chip components, etc. As a usable one, it has recently started to be noticed, and is basically the same as a tomography apparatus which is widely used for medical purposes,
Whereas a tomographic image uses a film for X-rays to obtain a tomographic image that is a transmission image in focus on one surface, a laminograph digitizes the surface sensor output and creates a tomographic image by image processing. Are different.

【０００３】図４３は、従来のラミノグラフを示す図で
あり、特表平２−５０１４１１号公報に記載されている
ものである。同図においては、焦点走査型Ｘ線管９１に
よって円形に焦点が走査される。２次元面センサである
回転Ｘ線検出器９４が焦点に同期して回転し、この回転
中に収集された被検体９２を透過した多数の透過像はデ
ィジタル処理により加算され、１つの断層像が作成され
る。断層像は焦点の回転半径と回転検出器９４の回転半
径で決まる１つの焦点面９３の合った画像となる。FIG. 43 is a diagram showing a conventional laminograph, which is described in Japanese Patent Publication No. 2-501411. In the figure, the focus is scanned in a circular shape by the focus scanning X-ray tube 91. The rotating X-ray detector 94, which is a two-dimensional surface sensor, rotates in synchronization with the focal point, and a large number of transmission images transmitted through the subject 92 during the rotation are added by digital processing to obtain one tomographic image. Created. The tomographic image is an image in which one focal plane 93 determined by the radius of gyration of the focus and the radius of gyration of the rotation detector 94.

【０００４】図４４は、特開平６−８８７９０号公報に
記載されている従来のラミノグラフを示す図である。同
図に示すラミノグラフにおいては、Ｘ線管１０１から放
射される円錐形のＸ線ビーム１０２を２次元Ｘ線面セン
サであるＸ線Ｉ．Ｉ．１０４で測定する。このＸ線ビー
ム中を被検体１０３を測定面に沿った方向に通過させ、
この間に得られる多数の透過画像から画像ずらしおよび
加算処理により１つの焦点面１０５にピントの合った断
面像を作成することができる。そして、ずらし量を変え
て処理をやり直すことにより焦点面の位置を変えること
ができる。FIG. 44 is a diagram showing a conventional laminograph described in Japanese Patent Laid-Open No. 6-88790. In the laminograph shown in the figure, a conical X-ray beam 102 emitted from an X-ray tube 101 is used as an X-ray I.D. I. Measure at 104. The object 103 is passed through the X-ray beam in the direction along the measurement surface,
A cross-sectional image in focus on one focal plane 105 can be created by image shifting and addition processing from a large number of transmission images obtained during this period. Then, the position of the focal plane can be changed by changing the shift amount and performing the process again.

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上述した従来のラミノ
グラフにおいては、被検体の所望の面にピントを合わせ
るのに被検体設定位置をずらすかまたは加算処理時のず
らし量を変えることにより、繰り返し断面像を作成し、
最適なピント位置を得ているが、検査する基板の厚さが
変わったり、基板にそりがある場合には、上述したピン
ト合わせをその都度行う必要があり、従来のラミノグラ
フでは、操作が煩雑となり、検査時間が長くなるという
問題がある。In the conventional laminograph described above, the cross-section is repeated by shifting the subject setting position or changing the shift amount during the addition process in order to focus on the desired surface of the subject. Create a statue,
Although the optimum focus position is obtained, if the thickness of the board to be inspected changes or there is a warp on the board, it is necessary to perform the focus adjustment described above each time, and the conventional laminograph makes the operation complicated. However, there is a problem that the inspection time becomes long.

【０００６】本発明は、上記に鑑みてなされたもので、
その目的とするところは、被検体の所望の面にピントを
適確に合わせることができるラミノグラフを提供するこ
とにある。The present invention has been made in view of the above,
An object of the invention is to provide a laminograph capable of accurately focusing on a desired surface of a subject.

【０００７】また、本発明の他の目的は、断層像におけ
るＳＮ比を改善したラミノグラフを提供することにあ
る。Another object of the present invention is to provide a laminograph having an improved SN ratio in a tomographic image.

【０００８】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のラミノグラフは、被検体に向けて放射線を
発生する放射線源と、該放射線源に対向して設けられ、
被検体を透過した前記放射線源からの放射線を２次元の
分解能をもって検出する放射線面センサと、前記放射線
源と前記放射線面センサとの間で被検体に異なった配置
を順次取らせ、この異なった各配置の被検体を前記放射
線源からの放射線で走査する走査手段と、該走査手段に
よる走査の間に前記放射線面センサの出力を順次収集
し、透過方向の異なる被検体の複数の透過画像を得るデ
ータ収集手段と、被検体の１つの焦点面に焦点の合った
透過画像を作成すべく前記データ収集手段で収集した前
記複数の透過画像を互いにずらしながら加算平均する画
像処理手段と、被検体の前記焦点面の位置を測定する位
置測定手段と、該位置測定手段で測定した前記焦点面の
位置に基づいて前記画像処理手段における前記ずらしの
量を算出するずらし量算出手段とを有することを要旨と
する。In order to achieve the above object, a laminograph of the present invention is provided with a radiation source that emits radiation toward a subject, and the radiation source is provided so as to face the radiation source.
A radiation plane sensor that detects radiation from the radiation source that has passed through the subject with two-dimensional resolution, and the subject sequentially takes different positions between the radiation source and the radiation plane sensor. Scanning means for scanning the subject of each arrangement with radiation from the radiation source, and the output of the radiation surface sensor is sequentially collected during the scanning by the scanning means, and a plurality of transmission images of the subject having different transmission directions are obtained. Data acquisition means to obtain, image processing means to add and average the plurality of transmission images collected by the data collection means in order to create a transmission image in focus on one focal plane of the subject, and the subject Position measuring means for measuring the position of the focal plane, and shift for calculating the amount of shift in the image processing means based on the position of the focal plane measured by the position measuring means. And summarized in that and a calculation unit.

【０００９】また、本発明のラミノグラフは、前記被検
体が実装基板であることを要旨とする。The gist of the laminograph of the present invention is that the subject is a mounting substrate.

【００１０】更に、本発明のラミノグラフは、前記走査
手段が、ｘｙ平面を測定面とする前記放射線面センサと
放射線源との間を被検体をｘ方向に移動させる移動手段
を有することを要旨とする。Further, in the laminograph of the present invention, the scanning means has a moving means for moving the object in the x direction between the radiation surface sensor having the xy plane as a measurement surface and the radiation source. To do.

【００１１】本発明のラミノグラフは、前記走査手段
が、前記放射線面センサの測定面にほぼ垂直な１つの回
転軸に対して前記放射線源を回転させ、この回転に同期
して前記回転軸に対して前記放射線面センサを方位を維
持したまま公転させる手段を有することを要旨とする。In the laminograph of the present invention, the scanning means rotates the radiation source with respect to one rotation axis substantially perpendicular to the measurement surface of the radiation surface sensor, and the radiation source is rotated with respect to the rotation axis in synchronization with this rotation. The gist is to have means for revolving the radiation surface sensor while maintaining the orientation.

【００１２】また、本発明のラミノグラフは、被検体を
互いに直交するｘ，ｙ方向にそれぞれ移動させる移動手
段と、前記ｘ，ｙ方向によって形成されるｘｙ平面に平
行な測定平面を有する放射線面センサと、被検体を挟ん
で前記放射線面センサと対向して配設され、被検体に向
けて放射線を発生する放射線源と、被検体の表面の前記
ｘ，ｙ方向と直角方向の位置を測定する位置測定手段
と、前記放射線面センサの出力を被検体のｘ方向への移
動の間に順次収集し、被検体の複数の透過画像を得るデ
ータ収集手段と、該データ収集手段で得た前記複数の透
過画像をｘ方向に互いにずらしながら加算平均し、被検
体のｘｙ平面に平行な１つの平面に対して焦点の合った
透過画像を作成する画像処理手段と、前記位置測定手段
の出力に基づいて被検体の表面を基準に焦点面ができる
ように前記画像処理手段における前記ずらしの量を算出
するずらし量算出手段とを有することを要旨とする。Further, the laminograph of the present invention is a radiation surface sensor having moving means for moving an object in the x and y directions orthogonal to each other and a measurement plane parallel to the xy plane formed by the x and y directions. And a radiation source that is disposed to face the radiation surface sensor with the subject in between and that emits radiation toward the subject, and the position of the surface of the subject in a direction perpendicular to the x and y directions. Position measuring means, data collecting means for sequentially collecting outputs of the radiation surface sensor during movement of the subject in the x direction, and obtaining a plurality of transmission images of the subject; and the plurality of data obtained by the data gathering means. Based on the output of the position measuring means and an image processing means for averaging the transmitted images in the x direction while mutually shifting in the x direction to create a transmitted image focused on one plane parallel to the xy plane of the subject. Cover And summarized in that and a shift amount calculating means for calculating the amount of shifting the in the image processing means so that the surface of the body can focal plane as a reference.

【００１３】更に、本発明のラミノグラフは、被検体
が、その長手方向をｘｙ平面にほぼ平行に配設された板
状体であり、前記位置測定手段が、前記板状体の表面の
ｚ方向の位置を測定し、前記画像処理手段は、前記板状
体の表面または表面から所望の長さ離れたｘｙ面にほぼ
平行な焦点面の透過画像を作成することを要旨とする。Further, in the laminograph of the present invention, the subject is a plate-shaped body whose longitudinal direction is arranged substantially parallel to the xy plane, and the position measuring means is the z-direction of the surface of the plate-shaped body. Is measured, and the image processing means makes a transmission image of a focal plane substantially parallel to the surface of the plate-like body or a xy plane distant from the surface by a desired length.

【００１４】本発明のラミノグラフは、前記位置測定手
段が、前記板状体の設定された複数の透過画像作成領域
毎に被検体の表面の位置を測定し、前記画像処理手段
は、前記各位置を基準に透過画像を作成することを要旨
とする。In the laminograph of the present invention, the position measuring means measures the position of the surface of the subject for each of a plurality of set transmission image forming areas of the plate-like body, and the image processing means sets the position of each of the positions. The gist is to create a transparent image based on.

【００１５】また、本発明のラミノグラフは、前記位置
測定手段が、前記板状体に散在させた表面測定位置で板
状体の表面のｚ方向の位置を測定し、前記画像処理手段
は、設定された複数の透過画像作成領域毎に被検体の表
面のｚ方向位置を前記測定位置から補間計算により算出
し、この算出した各位置を基準に透過画像を作成するこ
とを要旨とする。Further, in the laminograph of the present invention, the position measuring means measures the position of the surface of the plate in the z direction at the surface measurement positions scattered on the plate, and the image processing means sets the position. The gist of the present invention is that the z-direction position of the surface of the subject is calculated from each of the measured positions by interpolation calculation for each of the plurality of created transmission image creation regions, and a transmission image is created based on each of the calculated positions.

【００１６】更に、本発明のラミノグラフは、被検体に
向けて放射線を発生する放射線源と、該放射線源に対向
して設けられ、被検体を透過した前記放射線源からの放
射線を２次元の分解能をもって検出する放射線面センサ
と、前記放射線源と前記放射線面センサとの間で被検体
に異なった配置を順次取らせ、この異なった各配置の被
検体を前記放射線源からの放射線で走査する走査手段
と、該走査手段による走査の間に前記放射線面センサの
出力を順次収集し、透過方向の異なる被検体の複数の透
過画像を得るデータ収集手段と、前記透過画像を加算平
均する画像処理手段と、被検体の表面の位置を測定する
位置測定手段と、該位置測定手段で測定した被検体の表
面の位置を基準とする焦点を合わせたい位置が前記放射
線源と前記放射線面センサの配置が作成する焦点面に一
致するように被検体または前記放射線源と前記放射線面
センサを移動する焦点合わせ手段とを有することを要旨
とする。Further, the laminograph of the present invention has a two-dimensional resolution of radiation from a radiation source that emits radiation toward a subject and the radiation source that is provided so as to face the radiation source and that has passed through the subject. And a radiation surface sensor for detecting with the radiation source and the radiation surface sensor to cause the subject to sequentially take different arrangements, and scanning for scanning the subject of each of the different arrangements with the radiation from the radiation source. Means, data collecting means for sequentially collecting outputs of the radiation surface sensor during scanning by the scanning means to obtain a plurality of transmission images of a subject having different transmission directions, and image processing means for averaging the transmission images. And position measuring means for measuring the position of the surface of the subject, and the position to be focused on the basis of the position of the surface of the subject measured by the position measuring means is the radiation source and the radiation surface. And summarized in that and a focusing means for moving the object or the radiation source the radiation level sensor as the arrangement of the capacitors is equal to the focal plane to be created.

【００１７】本発明のラミノグラフは、前記被検体が実
装基板であることを要旨とする。また、本発明のラミノ
グラフは、前記走査手段が、ｘｙ平面を測定面とする前
記放射線面センサと放射線源との間を被検体をｘ方向に
移動させる移動手段を有することを要旨とする。The gist of the laminograph of the present invention is that the subject is a mounting substrate. Moreover, the gist of the laminograph of the present invention is that the scanning means has a moving means for moving the subject in the x direction between the radiation surface sensor having the xy plane as a measurement surface and the radiation source.

【００１８】更に、本発明のラミノグラフは、前記走査
手段が、前記放射線面センサの測定面にほぼ垂直な１つ
の回転軸に対して前記放射線源を回転させ、この回転に
同期して前記回転軸に対して前記放射線面センサを方位
を維持したまま公転させる手段を有することを要旨とす
る。Further, in the laminograph of the present invention, the scanning means rotates the radiation source with respect to one rotation axis substantially vertical to the measurement surface of the radiation surface sensor, and the rotation axis is synchronized with this rotation. On the other hand, the gist is to have means for revolving the radiation surface sensor while maintaining the orientation.

【００１９】本発明のラミノグラフは、被検体に向けて
放射線を発生する放射線源と、該放射線源に対向して設
けられ、被検体を透過した前記放射線源からの放射線を
２次元の分解能をもって検出する放射線面センサと、前
記放射線源をｚ軸方向の１つの回転軸に対して回転さ
せ、この回転に同期してほぼ１８０°の位相差をもって
前記回転軸に対して前記放射線面センサを検出面をほぼ
回転軸に直角に維持するとともにその方位を維持したま
ま公転させる走査手段と、被検体を前記放射線面センサ
と前記放射線源との間の前記回転軸の上に設定する被検
***置決め手段と、前記走査手段による走査を行いなが
ら、前記放射線面センサの出力を順次収集して被検体の
複数の透過画像を得るデータ収集手段と、前記複数の透
過画像を加算平均して、被検体の前記検出面に平行な１
つの平面に対して焦点の合った透過画像を作成する画像
処理手段と、前記回転軸上に配設され、被検体の表面の
ｚ軸方向の位置を測定する位置測定手段と、該位置測定
手段の出力に基づき被検体の表面の位置を基準とする焦
点を合わせたい位置が前記放射線源と前記放射線面セン
サの配置が作成する焦点面に一致するように被検体を移
動させる焦点合わせ手段とを有することを要旨とする。The laminograph of the present invention is a radiation source which emits radiation toward a subject and a radiation source which is provided so as to face the radiation source and which has passed through the subject and has a two-dimensional resolution. The radiation surface sensor and the radiation source are rotated about one rotation axis in the z-axis direction, and the radiation surface sensor detects a detection surface with respect to the rotation axis with a phase difference of approximately 180 ° in synchronization with this rotation. And a scanning means for revolving while maintaining the orientation substantially at right angles to the rotation axis, and a subject positioning means for setting the subject on the rotation axis between the radiation surface sensor and the radiation source. Data acquisition means for sequentially collecting outputs of the radiation surface sensor to obtain a plurality of transmission images of the subject while performing scanning by the scanning means, and arithmetic mean of the plurality of transmission images. , Parallel to the detection surface of the subject 1
Image processing means for creating a transmission image focused on one plane, position measuring means arranged on the rotation axis for measuring the position of the surface of the subject in the z-axis direction, and the position measuring means. Focusing means for moving the subject such that the position to be focused on the basis of the position of the surface of the subject based on the output of the radiation source and the focal plane created by the arrangement of the radiation surface sensor. Having it is the gist.

【００２０】また、本発明のラミノグラフは、前記被検
***置決め手段が、前記回転軸と直交するとともに、そ
れぞれが直交するｘ，ｙ軸に対して被検体を移動して、
透過画像を得る検査領域が前記回転軸上に位置するよう
に位置決めするｘｙテーブルを有することを要旨とす
る。Further, in the laminograph of the present invention, the subject positioning means is orthogonal to the rotation axis and moves the subject with respect to x and y axes which are orthogonal to each other,
The gist of the present invention is to have an xy table for positioning so that the inspection area for obtaining a transmission image is located on the rotation axis.

【００２１】更に、本発明のラミノグラフは、前記焦点
合わせ手段が、被検体をｚ軸方向に移動させるｚテーブ
ルを有することを要旨とする。Furthermore, the gist of the laminograph of the present invention is that the focusing means has a z-table for moving the subject in the z-axis direction.

【００２２】本発明のラミノグラフは、前記放射線源を
該放射線源と前記放射線面センサを結ぶ線上方向にシフ
トさせ、該シフトにより透過画像の倍率を可変する手段
を有することを要旨とする。The gist of the laminograph of the present invention is to have means for shifting the radiation source in the direction of the line connecting the radiation source and the radiation surface sensor, and varying the magnification of the transmission image by the shift.

【００２３】また、本発明のラミノグラフは、前記放射
線源をその放射線発生点を通る自転軸に対して自転させ
る自転手段を有することを要旨とする。Further, the gist of the laminograph of the present invention is to have a rotation means for rotating the radiation source with respect to a rotation axis passing through the radiation generation point.

【００２４】更に、本発明のラミノグラフは、被検体に
向けて放射線を発生する放射線源と、該放射線源に対向
して設けられ、被検体を透過した前記放射線源からの放
射線を２次元の分解能をもって検出する放射線面センサ
と、前記放射線源と前記放射線面センサとの間で被検体
に異なった配置を順次取らせ、この異なった各配置の被
検体を前記放射線源からの放射線で走査する走査手段
と、該走査手段による走査の間に前記放射線面センサの
出力を順次収集し、透過方向の異なる被検体の複数の透
過画像を得るデータ収集手段と、被検体の１つの焦点面
に焦点の合った透過画像を作成すべく前記データ収集手
段で収集した前記複数の透過画像を互いにずらしながら
加算平均する画像処理手段と、該画像処理手段における
前記ずらしの量を前記透過画像上のパターンにより決定
するずらし量決定手段とを有することを要旨とする。Furthermore, the laminograph of the present invention has a two-dimensional resolution of radiation from a radiation source that emits radiation toward the subject and the radiation source that is provided so as to face the radiation source and that passes through the subject. And a radiation surface sensor for detecting with the radiation source and the radiation surface sensor to cause the subject to sequentially take different arrangements, and scanning for scanning the subject of each of the different arrangements with the radiation from the radiation source. Means and data collecting means for sequentially collecting outputs of the radiation surface sensor during scanning by the scanning means to obtain a plurality of transmission images of a subject having different transmission directions, and focusing on one focal plane of the subject. The image processing means for adding and averaging the plurality of transmission images collected by the data collecting means while mutually shifting to create a matched transmission image, and the amount of the shift in the image processing means Having a shift amount determining means for determining a pattern on the transmitted image and gist of.

【００２５】本発明のラミノグラフは、前記ずらし量決
定手段が、前記透過画像のパターンを異なる透過画像同
志で相関を取ることにより前記ずらしの量を求める手段
を有することを要旨とする。The laminograph of the present invention is characterized in that the shift amount determining means has a means for obtaining the shift amount by correlating the patterns of the transmission image between different transmission images.

【００２６】また、本発明のラミノグラフは、前記ずら
し量決定手段が、所定のパターンと透過画像との照合を
取ることにより前記ずらしの量を求める手段を有するこ
とを要旨とする。The laminograph of the present invention is characterized in that the shift amount determining means has means for obtaining the shift amount by matching a predetermined pattern with a transmission image.

【００２７】更に、本発明のラミノグラフは、前記ずら
し量決定手段が、前記走査の離れた透過画像間でのずら
しの量を求め、その間の透過画像のずらしの量を補間で
求める手段を有することを要旨とする。Further, in the laminograph of the present invention, the shift amount determining means has a means for obtaining the shift amount between the transmission images separated by the scanning and for obtaining the shift amount of the transmission images during the interpolation by interpolation. Is the gist.

【００２８】本発明のラミノグラフは、前記ずらし量決
定手段が、前記走査の離れた透過画像間でのずらしの量
を複数組について求め、平均化して補間し、統計精度を
向上する手段を有することを要旨とする。In the laminograph of the present invention, the shift amount determining means has means for obtaining the shift amounts between the transmission images separated by the scanning for a plurality of sets, averaging them, and interpolating them to improve the statistical accuracy. Is the gist.

【００２９】また、本発明のラミノグラフは、前記被検
体は実装基板であり、前記パターンが前記実装基板上の
半田によって形成されるパターンであることを要旨とす
る。The laminograph of the present invention is characterized in that the subject is a mounting board and the pattern is a pattern formed by solder on the mounting board.

【００３０】更に、本発明のラミノグラフは、前記ずら
し量決定手段が、前記半田のパターンを２値化により抽
出し、異なる透過画像同志で相関を取ることにより前記
ずらしの量を求め、半田部に焦点の合った透過画像を得
る手段を有することを要旨とする。Further, in the laminograph of the present invention, the shift amount determining means extracts the solder pattern by binarization and obtains the shift amount by correlating different transmission images, and determines the shift amount in the solder portion. The gist is to have a means for obtaining a transmission image in focus.

【００３１】本発明のラミノグラフは、前記ずらし量決
定手段が、前記走査の離れた透過画像間でのずらしの量
を求め、その間の透過画像のずらしの量を補間で求める
手段を有することを要旨とする。In the laminograph of the present invention, the shift amount determining means has a means for obtaining the shift amount between the transmission images separated by the scanning and for obtaining the shift amount of the transmission images during the interpolation by interpolation. And

【００３２】また、本発明のラミノグラフは、前記ずら
し量決定手段が、前記走査の離れた透過画像間でのずら
しの量を複数組について求め、平均化して補間し、統計
精度を向上する手段を有することを要旨とする。Further, in the laminograph of the present invention, the shift amount determining means obtains a shift amount between the transmission images separated by the scanning for a plurality of sets, averages them, and interpolates them to improve statistical accuracy. Having it is the gist.

【００３３】更に、本発明のラミノグラフは、前記ずら
し量決定手段が、透過画像を微分処理したエッジ強調後
のパターンについて相関を取る手段を有することを要旨
とする。Further, the gist of the laminograph of the present invention is that the shift amount determining means has means for correlating a pattern after edge enhancement obtained by differentiating a transmission image.

【００３４】本発明のラミノグラフは、前記ずらし量決
定手段が、前記微分処理後に２値化してから相関を取る
手段を有することを要旨とする。The gist of the laminograph of the present invention is that the shift amount determining means has means for taking a correlation after binarizing after the differential processing.

【００３５】また、本発明のラミノグラフは、被検体に
向けて放射線を発生する放射線源、該放射線源に対向し
て設けられ、被検体を透過した前記放射線源からの放射
線を２次元の分解能をもって検出する放射線面センサ、
前記放射線源と前記放射線面センサとの間で被検体に異
なった配置を順次取らせ、この異なった各配置の被検体
を前記放射線源からの放射線で走査する走査手段、該走
査手段による走査の間に前記放射線面センサの出力を順
次収集し、透過方向の異なる被検体の複数の透過画像を
得るデータ収集手段、および該データ収集手段で得た前
記複数の透過画像と透過方向の情報から所望の面の断層
像を再構成するラミノグラフ画像再構成手段を有するラ
ミノグラフにおいて、前記透過画像の特徴を強調した
り、弱めたり、消去する画像処理手段を有し、該処理後
の透過画像をラミノグラフィ処理することにより所望の
情報のＳＮ比を改善することができることを要旨とす
る。Further, the laminograph of the present invention has a radiation source which emits radiation toward a subject and a radiation source which is provided so as to face the radiation source and which has passed through the subject and has a two-dimensional resolution. Radiation surface sensor to detect,
Scanning means for causing the subject to sequentially take different arrangements between the radiation source and the radiation surface sensor, and scanning the subject of each of the different arrangements with the radiation from the radiation source, the scanning by the scanning means A data collecting unit that sequentially collects the outputs of the radiation surface sensors in the meantime to obtain a plurality of transmission images of a subject having different transmission directions, and a desired one from the plurality of transmission images and the transmission direction information obtained by the data collecting unit. In a laminograph having a laminograph image reconstructing means for reconstructing a tomographic image of the plane, the image has a means for emphasizing, weakening, or erasing the characteristics of the transmission image, and the transmission image after the processing is subjected to laminography processing The gist is that the SN ratio of desired information can be improved by doing so.

【００３６】更に、本発明のラミノグラフは、前記画像
処理手段が、画像濃度、画像形状、画像の空間周波数領
域で空間周波数、論理フィルタリング、画像間演算、形
態学的処理を含む処理の１つ以上の処理を行う手段を有
することを要旨とする。Further, in the laminograph of the present invention, the image processing means includes one or more of image density, image shape, spatial frequency in the spatial frequency region of the image, spatial frequency, logical filtering, inter-image operation, and morphological processing. The gist is to have a means for performing the processing of.

【００３７】本発明のラミノグラフは、被検体に向けて
放射線を発生する放射線源、該放射線源に対向して設け
られ、被検体を透過した前記放射線源からの放射線を２
次元の分解能をもって検出する放射線面センサ、前記放
射線源と前記放射線面センサとの間で被検体に異なった
配置を順次取らせ、この異なった各配置の被検体を前記
放射線源からの放射線で走査する走査手段、該走査手段
による走査の間に前記放射線面センサの出力を順次収集
し、透過方向の異なる被検体の複数の透過画像を得るデ
ータ収集手段、および該データ収集手段で得た前記複数
の透過画像と透過方向の情報から所望の面の断層像を再
構成するラミノグラフ画像再構成手段を有するラミノグ
ラフにおいて、前記透過方向を変化させる方向と同一方
向に連なる画像を検出し、特異点の検出信号を出力する
特異点検出手段を有することを要旨とする。The laminograph of the present invention comprises a radiation source which emits radiation toward a subject, and a radiation source which is provided so as to face the radiation source and which passes through the subject.
A radiation surface sensor that detects with dimensional resolution, and causes the subject to sequentially take different arrangements between the radiation source and the radiation surface sensor, and scans the subject of each of these different arrangements with the radiation from the radiation source. Scanning means, a data collecting means for sequentially collecting outputs of the radiation surface sensor during scanning by the scanning means to obtain a plurality of transmission images of a subject having different transmission directions, and the plurality of data collecting means obtained by the data collecting means. In a laminograph having a laminograph image reconstructing means for reconstructing a tomographic image of a desired surface from the transmission image and the information of the transmission direction, an image continuous in the same direction as the direction in which the transmission direction is changed is detected to detect a singular point. The gist is to have a singularity detection means for outputting a signal.

【００３８】また、本発明のラミノグラフは、前記デー
タ収集手段で得た前記透過画像の特徴を強調したり、弱
めたり、消去する画像処理手段を有し、前記検出した特
異点について前記画像処理手段で所望の処理を行うこと
ができることを要旨とする。Further, the laminograph of the present invention has image processing means for emphasizing, weakening or erasing the characteristics of the transmission image obtained by the data collecting means, and the image processing means for the detected singular point. The gist is that desired processing can be performed with.

【００３９】更に、本発明のラミノグラフは、被検体に
向けて放射線を発生する放射線源、該放射線源に対向し
て設けられ、被検体を透過した前記放射線源からの放射
線を２次元の分解能をもって検出する放射線面センサ、
前記放射線源と前記放射線面センサとの間で被検体に異
なった配置を順次取らせ、この異なった各配置の被検体
を前記放射線源からの放射線で走査する走査手段、該走
査手段による走査の間に前記放射線面センサの出力を順
次収集し、透過方向の異なる被検体の複数の透過画像を
得るデータ収集手段、および該データ収集手段で得た前
記複数の透過画像と透過方向の情報から所望の面の断層
像を再構成するラミノグラフ画像再構成手段を有するラ
ミノグラフにおいて、前記ラミノグラフ画像再構成手段
が、得られたラミノ画像群を加算処理して、合成ラミノ
画像を作成する手段を有することを要旨とする。Further, the laminograph of the present invention is a radiation source which emits radiation toward a subject and a radiation source which is provided so as to face the radiation source and which passes through the subject and has a two-dimensional resolution. Radiation surface sensor to detect,
Scanning means for causing the subject to sequentially take different arrangements between the radiation source and the radiation surface sensor, and scanning the subject of each of the different arrangements with the radiation from the radiation source, the scanning by the scanning means A data collecting unit that sequentially collects the outputs of the radiation surface sensors in the meantime to obtain a plurality of transmission images of a subject having different transmission directions, and a desired one from the plurality of transmission images and the transmission direction information obtained by the data collecting unit. In a laminograph having laminograph image reconstructing means for reconstructing a tomographic image of the plane of, the laminograph image reconstructing means performs addition processing on the obtained lamino image group, and has a means for creating a synthetic laminar image. Use as a summary.

【００４０】本発明のラミノグラフは、前記合成ラミノ
画像が、３次元表示されたものであることを要旨とす
る。The gist of the laminograph of the present invention is that the synthetic lamino image is displayed three-dimensionally.

【００４１】また、本発明のラミノグラフは、前記合成
ラミノ画像が、奥行き方向を指定したピッチの画像群に
ついて加算処理を行い、各加算処理後の画像について３
次元表示を行ったものであることを要旨とする。Further, in the laminograph of the present invention, the composite mino image is subjected to addition processing with respect to an image group having a pitch in which the depth direction is designated, and 3 is added to the image after each addition processing.
The point is that it is a three-dimensional display.

【００４２】更に、本発明のラミノグラフは、前記合成
ラミノ画像の３次元表示が、奥行き方向の位置を指定す
る指定手段を有し、該指定された位置の断面画像を呼び
出して表示することができることを要旨とする。Further, in the laminograph of the present invention, the three-dimensional display of the composite laminographic image has a designating means for designating a position in the depth direction, and the cross-sectional image at the designated position can be called and displayed. Is the gist.

【００４３】本発明のラミノグラフは、画像の特徴を強
調したり、弱めたり、消去したりする特徴処理手段を有
し、所望の画像処理後のラミノ画像群を基に合成ラミノ
画像、３次元画像を作成表示することを要旨とする。The laminograph of the present invention has a feature processing means for emphasizing, weakening, and erasing the features of an image, and a synthetic lamin image, a three-dimensional image based on a desired image-processed lamino image group. The point is to create and display.

【００４４】また、本発明のラミノグラフは、前記特徴
処理手段が、画像濃度、画像形状、画像の空間周波数領
域で空間周波数、論理フィルタリング、画像間演算、形
態学的処理を含む処理の１つ以上の処理を行う手段を有
することを要旨とする。Further, in the laminograph of the present invention, the feature processing means is one or more of processing including image density, image shape, spatial frequency in image spatial frequency domain, logical filtering, inter-image operation, and morphological processing. The gist is to have a means for performing the processing of.

【００４５】更に、本発明のラミノグラフは、合成ラミ
ノ画像の奥行き方向の位置を指定する指定手段を有し、
該指定した位置の断面画像について指定した画像以外の
ものと相対的に画像強調処理を行った後、加算処理する
ことにより所望の断面を強調することができることを要
旨とする。Further, the laminograph of the present invention has a designation means for designating the position in the depth direction of the synthetic lamin image,
It is a gist that a desired cross section can be emphasized by performing image addition processing on the cross-sectional image at the specified position relative to an image other than the specified image and then performing addition processing.

【００４６】本発明のラミノグラフは、前記被検体は印
刷配線基板であることを要旨とする。The gist of the laminograph of the present invention is that the subject is a printed wiring board.

【００４７】[0047]

【作用】本発明のラミノグラフでは、放射線源と放射線
面センサとの間で被検体に異なった配置を順次取らせな
がら、被検体を透過した放射線源からの放射線を放射線
面センサで検出して被検体を走査し、この走査の間に放
射線面センサの出力を順次収集し、透過方向の異なる被
検体の複数の透過画像を収集し、この収集した複数の透
過画像を互いにずらしながら加算平均して、被検体の１
つの焦点面に焦点の合った透過画像を作成するととも
に、被検体の焦点面の位置を測定し、その測定した焦点
面の位置に基づいて前記ずらしの量を算出している。In the laminograph of the present invention, while the radiation source and the radiation surface sensor are sequentially arranged in different positions, the radiation from the radiation source that has passed through the object is detected by the radiation surface sensor. The sample is scanned, the outputs of the radiation surface sensor are sequentially collected during this scan, a plurality of transmission images of the subject with different transmission directions are collected, and the collected transmission images are shifted and mutually averaged. , Of the subject
A transmission image focused on one focal plane is created, the position of the focal plane of the subject is measured, and the shift amount is calculated based on the measured position of the focal plane.

【００４８】また、本発明のラミノグラフでは、被検体
が実装基板である。更に、本発明のラミノグラフでは、
前記走査手段はｘｙ平面を測定面とする放射線面センサ
と放射線源との間を被検体をｘ方向に移動させる。In the laminograph of the present invention, the subject is a mounting board. Furthermore, in the laminograph of the present invention,
The scanning means moves the subject in the x direction between the radiation surface sensor having the xy plane as a measurement surface and the radiation source.

【００４９】本発明のラミノグラフでは、前記走査手段
は放射線面センサの測定面にほぼ垂直な１つの回転軸に
対して放射線源を回転させ、この回転に同期して回転軸
に対して放射線面センサを方位を維持したまま公転させ
る。In the laminograph of the present invention, the scanning means rotates the radiation source with respect to one rotation axis substantially perpendicular to the measurement surface of the radiation surface sensor, and in synchronization with this rotation, the radiation surface sensor with respect to the rotation axis. Revolves while maintaining the bearing.

【００５０】また、本発明のラミノグラフでは、放射線
面センサの出力を被検体のｘ方向への移動の間に順次収
集し、被検体の複数の透過画像を得、この複数の透過画
像をｘ方向に互いにずらしながら加算平均し、被検体の
ｘｙ平面に平行な１つの平面に対して焦点の合った透過
画像を作成するとともに、被検体の表面のｘ，ｙ方向と
直角方向の位置を測定し、この測定位置に基づいて被検
体の表面を基準に焦点面ができるように前記ずらしの量
を算出している。Further, in the laminograph of the present invention, the outputs of the radiation surface sensor are sequentially collected during the movement of the subject in the x direction to obtain a plurality of transmission images of the subject, and the plurality of transmission images are obtained in the x direction. While displacing each other, averaging is performed, and a transmission image focused on one plane parallel to the xy plane of the subject is created, and the position of the surface of the subject in the direction perpendicular to the x and y directions is measured. Based on this measurement position, the shift amount is calculated so that the focal plane is formed with the surface of the subject as a reference.

【００５１】更に、本発明のラミノグラフでは、被検体
が板状体であり、前記位置測定手段が板状体の表面のｚ
方向の位置を測定し、前記画像処理手段が、板状体の表
面または表面から所望の長さ離れたｘｙ面にほぼ平行な
焦点面の透過画像を作成する。Furthermore, in the laminograph of the present invention, the subject is a plate-shaped body, and the position measuring means is a z-shaped surface of the plate-shaped body.
The position in the direction is measured, and the image processing means creates a transmission image of the focal plane that is substantially parallel to the surface of the plate-like body or a desired length away from the surface.

【００５２】本発明のラミノグラフでは、前記位置測定
手段が板状体の設定された複数の透過画像作成領域毎に
被検体の表面の位置を測定し、前記画像処理手段は前記
各位置を基準に透過画像を作成する。In the laminograph of the present invention, the position measuring means measures the position of the surface of the subject for each of a plurality of transmission image forming areas in which the plate-shaped body is set, and the image processing means uses the respective positions as a reference. Create a transparent image.

【００５３】また、本発明のラミノグラフでは、前記位
置測定手段が板状体に散在させた表面測定位置で板状体
の表面のｚ方向の位置を測定し、前記画像処理手段は設
定された複数の透過画像作成領域毎に被検体の表面のｚ
方向位置を測定位置から補間計算により算出し、この算
出した各位置を基準に透過画像を作成する。Further, in the laminograph of the present invention, the position measuring means measures the position of the surface of the plate in the z direction at surface measurement positions scattered on the plate, and the image processing means sets a plurality of set positions. Z of the surface of the subject for each transmission image creation region of
The directional position is calculated from the measurement position by interpolation calculation, and a transmission image is created based on each calculated position.

【００５４】更に、本発明のラミノグラフでは、放射線
源と放射線面センサとの間で被検体に異なった配置を順
次取らせ、この異なった各配置の被検体を放射線源から
の放射線で走査し、この走査の間に放射線面センサの出
力を順次収集し、透過方向の異なる被検体の複数の透過
画像を収集し、この透過画像を加算平均するとともに、
被検体の表面の位置を測定し、この測定した被検体の表
面の位置を基準とする焦点を合わせたい位置が放射線源
と放射線面センサの配置が作成する焦点面に一致するよ
うに被検体または放射線源と放射線面センサを移動す
る。Further, in the laminograph of the present invention, the subject is sequentially made to have different arrangements between the radiation source and the radiation surface sensor, and the respective arrangements of the different arrangements are scanned with the radiation from the radiation source, The output of the radiation surface sensor is sequentially collected during this scanning, a plurality of transmission images of the subject having different transmission directions are collected, and the transmission images are averaged,
The position of the surface of the subject is measured, and the position of the object to be focused on the measured position of the surface of the subject is aligned with the focal plane created by the arrangement of the radiation source and the radiation surface sensor. Move the radiation source and radiation surface sensor.

【００５５】本発明のラミノグラフでは、前記被検体が
実装基板である。また、本発明のラミノグラフでは、前
記走査手段がｘｙ平面を測定面とする放射線面センサと
放射線源との間を被検体をｘ方向に移動させる。In the laminograph of the present invention, the subject is a mounting board. Further, in the laminograph of the present invention, the scanning means moves the subject in the x direction between the radiation surface sensor having the xy plane as the measurement surface and the radiation source.

【００５６】更に、本発明のラミノグラフでは、前記走
査手段が放射線面センサの測定面にほぼ垂直な１つの回
転軸に対して放射線源を回転させ、この回転に同期して
回転軸に対して放射線面センサを方位を維持したまま公
転させる。Further, in the laminograph of the present invention, the scanning means rotates the radiation source about one rotation axis substantially perpendicular to the measurement surface of the radiation surface sensor, and the radiation source is rotated about the rotation axis in synchronization with this rotation. The surface sensor is revolved while maintaining the azimuth.

【００５７】本発明のラミノグラフでは、放射線源をｚ
軸方向の１つの回転軸に対して回転させ、この回転に同
期してほぼ１８０°の位相差をもって回転軸に対して放
射線面センサを検出面をほぼ回転軸に直角に維持すると
ともにその方位を維持したまま公転させ、走査手段によ
る走査を行いながら、放射線面センサの出力を順次収集
して被検体の複数の透過画像を得、この複数の透過画像
を加算平均して、被検体の検出面に平行な１つの平面に
対して焦点の合った透過画像を作成するとともに、被検
体の表面のｚ軸方向の位置を測定し、この測定位置に基
づき被検体の表面の位置を基準とする焦点を合わせたい
位置が放射線源と放射線面センサの配置が作成する焦点
面に一致するように被検体を移動させる。In the laminograph of the present invention, the radiation source is z
The radiation surface sensor is rotated about one rotation axis in the axial direction with a phase difference of about 180 ° in synchronism with this rotation and the radiation surface sensor is maintained substantially perpendicular to the rotation axis and its orientation is changed. While maintaining the revolution, the output of the radiation surface sensor is sequentially collected while scanning by the scanning means to obtain a plurality of transmission images of the subject, and the transmission images are averaged to obtain the detection surface of the subject. A transmission image focused on one plane parallel to the object is created, the position of the surface of the subject in the z-axis direction is measured, and the focus is based on the position of the surface of the subject based on this measurement position. The subject is moved so that the position to be matched with the focal plane created by the arrangement of the radiation source and the radiation surface sensor.

【００５８】また、本発明のラミノグラフでは、前記被
検***置決め手段が回転軸と直交するとともに、それぞ
れが直交するｘ，ｙ軸に対して被検体を移動して、透過
画像を得る検査領域が回転軸上に位置するように位置決
めするｘｙテーブルを有する。Further, in the laminograph of the present invention, the subject positioning means is orthogonal to the rotation axis, and the subject is moved with respect to the x and y axes which are orthogonal to each other, and the inspection region for obtaining a transmission image is rotated. It has an xy table that is positioned to be on-axis.

【００５９】更に、本発明のラミノグラフでは、前記焦
点合わせ手段が被検体をｚ軸方向に移動させるｚテーブ
ルを有する。Further, in the laminograph of the present invention, the focusing means has az table for moving the subject in the z-axis direction.

【００６０】本発明のラミノグラフでは、放射線源を該
放射線源と放射線面センサを結ぶ線上方向にシフトさ
せ、該シフトにより透過画像の倍率を可変する手段を有
する。The laminograph of the present invention has means for shifting the radiation source in the direction of the line connecting the radiation source and the radiation surface sensor, and varying the magnification of the transmission image by the shift.

【００６１】また、本発明のラミノグラフでは、放射線
源をその放射線発生点を通る自転軸に対して自転させる
自転手段を有する。Further, the laminograph of the present invention has rotation means for rotating the radiation source about the rotation axis passing through the radiation generation point.

【００６２】更に、本発明のラミノグラフでは、放射線
源と放射線面センサとの間で被検体に異なった配置を順
次取らせ、この異なった各配置の被検体を放射線源から
の放射線で走査し、該走査の間に放射線面センサの出力
を順次収集し、透過方向の異なる被検体の複数の透過画
像を得、この複数の透過画像を互いにずらしながら加算
平均して、被検体の１つの焦点面に焦点の合った透過画
像を作成するとともに、前記ずらしの量を透過画像上の
パターンにより決定する。Further, in the laminograph of the present invention, the test object is made to sequentially take different positions between the radiation source and the radiation surface sensor, and the test objects at the respective different positions are scanned with the radiation from the radiation source, Outputs of the radiation surface sensor are sequentially collected during the scanning to obtain a plurality of transmission images of the subject having different transmission directions, and the plurality of transmission images are shifted and averaged to obtain one focal plane of the subject. A transmission image focused on is created, and the amount of shift is determined by a pattern on the transmission image.

【００６３】本発明のラミノグラフでは、前記ずらし量
決定手段が透過画像のパターンを異なる透過画像同志で
相関を取ることにより前記ずらしの量を求める。In the laminograph of the present invention, the shift amount determining means obtains the shift amount by correlating the patterns of the transmission image with different transmission images.

【００６４】また、本発明のラミノグラフでは、前記ず
らし量決定手段が所定のパターンと透過画像との照合を
取ることにより前記ずらしの量を求める。Further, in the laminograph of the present invention, the shift amount determining means obtains the shift amount by matching a predetermined pattern with a transmission image.

【００６５】更に、本発明のラミノグラフでは、前記ず
らし量決定手段が走査の離れた透過画像間でのずらしの
量を求め、その間の透過画像のずらしの量を補間で求め
る。Further, in the laminograph of the present invention, the shift amount determining means obtains the shift amount between the transmission images separated by scanning, and obtains the shift amount of the transmission images during the interpolation by interpolation.

【００６６】本発明のラミノグラフでは、前記ずらし量
決定手段が走査の離れた透過画像間でのずらしの量を複
数組について求め、平均化して補間し、統計精度を向上
する。In the laminograph of the present invention, the shift amount determining means obtains shift amounts between transmission images separated by scanning for a plurality of sets, averages them, and interpolates them to improve statistical accuracy.

【００６７】また、本発明のラミノグラフでは、前記被
検体が実装基板であり、前記パターンが実装基板上の半
田によって形成されるパターンである。In the laminograph of the present invention, the subject is a mounting board, and the pattern is a pattern formed by solder on the mounting board.

【００６８】更に、本発明のラミノグラフでは、前記ず
らし量決定手段が半田のパターンを２値化により抽出
し、異なる透過画像同志で相関を取ることにより前記ず
らしの量を求め、半田部に焦点の合った透過画像を得
る。Further, in the laminograph of the present invention, the shift amount determining means extracts the solder pattern by binarization and obtains the shift amount by correlating different transmission images, and the solder portion is focused. Obtain a fitted transmission image.

【００６９】本発明のラミノグラフでは、前記ずらし量
決定手段が走査の離れた透過画像間でのずらしの量を求
め、その間の透過画像のずらしの量を補間で求める。In the laminograph of the present invention, the shift amount determining means obtains the shift amount between the transmission images separated by scanning, and obtains the shift amount of the transmission images during the interpolation by interpolation.

【００７０】また、本発明のラミノグラフでは、前記ず
らし量決定手段が走査の離れた透過画像間でのずらしの
量を複数組について求め、平均化して補間し、統計精度
を向上する。Further, in the laminograph of the present invention, the shift amount determining means obtains shift amounts between transmission images separated by scanning for a plurality of sets, averages them, and interpolates them to improve statistical accuracy.

【００７１】更に、本発明のラミノグラフでは、前記ず
らし量決定手段が透過画像を微分処理したエッジ強調後
のパターンについて相関を取る手段を有する。Further, in the laminograph of the present invention, the shift amount determining means has means for obtaining a correlation with respect to the pattern after the edge enhancement obtained by differentiating the transmission image.

【００７２】本発明のラミノグラフでは、前記ずらし量
決定手段が微分処理後に２値化してから相関を取る。In the laminograph of the present invention, the shift amount determining means binarizes after the differential processing and then takes the correlation.

【００７３】また、本発明のラミノグラフでは、放射線
源と放射線面センサとの間で被検体に異なった配置を順
次取らせ、この異なった各配置の被検体を放射線源から
の放射線で走査、該走査の間に放射線面センサの出力を
順次収集し、透過方向の異なる被検体の複数の透過画像
を得、該複数の透過画像と透過方向の情報から所望の面
の断層像を再構成するラミノグラフにおいて、透過画像
の特徴を強調したり、弱めたり、消去する画像処理手段
を有し、該処理後の透過画像をラミノグラフィ処理する
ことにより所望の情報のＳＮ比を改善する。Further, in the laminograph of the present invention, different positions of the object are sequentially taken between the radiation source and the radiation surface sensor, and the objects of each of the different positions are scanned with the radiation from the radiation source. A laminograph that sequentially collects the output of the radiation surface sensor during scanning, obtains a plurality of transmission images of the subject having different transmission directions, and reconstructs a tomographic image of a desired surface from the plurality of transmission images and the transmission direction information. The image processing means for enhancing, weakening, or erasing the characteristics of the transparent image is provided, and the SN ratio of desired information is improved by performing the laminography processing on the transparent image after the processing.

【００７４】更に、本発明のラミノグラフでは、前記画
像処理手段が画像濃度、画像形状、画像の空間周波数領
域で空間周波数、論理フィルタリング、画像間演算、形
態学的処理を含む処理の１つ以上の処理を行う。Furthermore, in the laminograph of the present invention, the image processing means includes one or more of image density, image shape, spatial frequency in the spatial frequency domain of the image, spatial frequency, logical filtering, inter-image operation, and morphological processing. Perform processing.

【００７５】本発明のラミノグラフでは、放射線源と放
射線面センサとの間で被検体に異なった配置を順次取ら
せ、この異なった各配置の被検体を放射線源からの放射
線で走査し、該走査の間に放射線面センサの出力を順次
収集し、透過方向の異なる被検体の複数の透過画像を得
て、透過画像と透過方向の情報から所望の面の断層像を
再構成するラミノグラフにおいて、前記透過方向を変化
させる方向と同一方向に連なる画像を検出し、特異点の
検出信号を出力する特異点検出手段を有する。In the laminograph of the present invention, the subject is made to sequentially take different positions between the radiation source and the radiation surface sensor, and the subjects at the different positions are scanned with the radiation from the radiation source, and the scanning is performed. Output of the radiation surface sensor is sequentially collected during, to obtain a plurality of transmission images of the subject having different transmission directions, in a laminograph for reconstructing a tomographic image of a desired surface from the transmission image and the information of the transmission direction, It has a singular point detection means for detecting an image that extends in the same direction as the direction in which the transmission direction is changed and outputting a detection signal of the singular point.

【００７６】また、本発明のラミノグラフでは、透過画
像の特徴を強調したり、弱めたり、消去する画像処理手
段を有し、検出した特異点について前記画像処理手段で
所望の処理を行う。The laminograph of the present invention has image processing means for enhancing, weakening, and erasing the characteristics of the transmitted image, and the image processing means performs desired processing on the detected singularity.

【００７７】更に、本発明のラミノグラフでは、放射線
源と放射線面センサとの間で被検体に異なった配置を順
次取らせ、この異なった各配置の被検体を放射線源から
の放射線で走査し、該走査の間に放射線面センサの出力
を順次収集し、透過方向の異なる被検体の複数の透過画
像を得、該複数の透過画像と透過方向の情報から所望の
面の断層像を再構成するラミノグラフにおいて、得られ
たラミノ画像群を加算処理して、合成ラミノ画像を作成
する。Further, in the laminograph of the present invention, the subject is sequentially made to have different arrangements between the radiation source and the radiation surface sensor, and the respective arrangements of the different arrangements are scanned with the radiation from the radiation source, The outputs of the radiation surface sensor are sequentially collected during the scanning to obtain a plurality of transmission images of the subject having different transmission directions, and a tomographic image of a desired surface is reconstructed from the plurality of transmission images and the transmission direction information. In the laminograph, the obtained lamino image group is subjected to addition processing to create a synthetic laminar image.

【００７８】本発明のラミノグラフでは、前記合成ラミ
ノ画像が３次元表示されたものである。In the laminograph of the present invention, the composite lamino image is displayed three-dimensionally.

【００７９】また、本発明のラミノグラフでは、前記合
成ラミノ画像が奥行き方向を指定したピッチの画像群に
ついて加算処理を行い、各加算処理後の画像について３
次元表示を行ったものである。Further, in the laminograph of the present invention, the addition process is performed on the image group of the composite lamin image having the pitch in which the depth direction is designated, and 3 is added to the image after each addition process.
It is a three-dimensional display.

【００８０】更に、本発明のラミノグラフでは、前記合
成ラミノ画像の３次元表示が奥行き方向の位置を指定す
る指定手段を有し、該指定された位置の断面画像を呼び
出して表示することができる。Further, in the laminograph of the present invention, the three-dimensional display of the composite laminographic image has a designation means for designating a position in the depth direction, and the cross-sectional image at the designated position can be called and displayed.

【００８１】本発明のラミノグラフでは、画像の特徴を
強調したり、弱めたり、消去したりする特徴処理手段を
有し、所望の画像処理後のラミノ画像群を基に合成ラミ
ノ画像、３次元画像を作成表示する。The laminograph of the present invention has feature processing means for emphasizing, weakening, and erasing the features of an image, and a synthetic lamin image, a three-dimensional image based on a lamino image group after desired image processing. Create and display.

【００８２】また、本発明のラミノグラフでは、前記特
徴処理手段が画像濃度、画像形状、画像の空間周波数領
域で空間周波数、論理フィルタリング、画像間演算、形
態学的処理を含む処理の１つ以上の処理を行う。In the laminograph of the present invention, the feature processing means includes one or more of image density, image shape, spatial frequency in the spatial frequency domain of the image, spatial frequency, logical filtering, inter-image operation, and morphological processing. Perform processing.

【００８３】更に、本発明のラミノグラフでは、合成ラ
ミノ画像の奥行き方向の位置を指定する指定手段を有
し、該指定した位置の断面画像について指定した画像以
外のものと相対的に画像強調処理を行った後、加算処理
することにより所望の断面を強調する。Further, the laminograph of the present invention has a designation means for designating the position in the depth direction of the composite lamin image, and the cross-sectional image at the designated position is subjected to image enhancement processing relatively to images other than the designated image. After that, a desired cross section is emphasized by performing addition processing.

【００８４】本発明のラミノグラフでは、前記被検体が
印刷配線基板である。In the laminograph of the present invention, the subject is a printed wiring board.

【００８５】[0085]

【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。図１（ａ），（ｂ）は、それぞれ本発明の第１の実
施例に係わるラミノグラフの構成を示す正面図および平
面図であり、同図（ａ）の一部は同図（ｂ）のＡ−Ａ線
から見た断面を示している。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 (a) and 1 (b) are respectively a front view and a plan view showing a configuration of a laminograph according to a first embodiment of the present invention, and a part of FIG. 1 (a) is shown in FIG. 1 (b). The cross section seen from the AA line is shown.

【００８６】図１に示すラミノグラフは、図示しないフ
ロアに固定されたＸ線管１１を有し、該Ｘ線管１１の上
端部のＸ線焦点Ｓの上方には被検体である基板１４が設
けられている。該基板１４の更に上方には複数個（本実
施例では、４個）のＸ線検出器１３が配設され、Ｘ線管
１１のＸ線焦点ＳとＸ線検出器１３とは基板１４を挟ん
で対向し、Ｘ線管１１からビーム開き角αで発生するＸ
線ビーム１２は基板１４を透過してＸ線検出器１３で検
出されるようになっている。また、これらのＸ線検出器
１３に隣接して、基板１４の表面までの距離を測定する
ための距離測定装置２３が設けられている。The laminograph shown in FIG. 1 has an X-ray tube 11 fixed to a floor (not shown), and a substrate 14 as a subject is provided above the X-ray focal point S at the upper end of the X-ray tube 11. Has been. A plurality of (four in this embodiment) X-ray detectors 13 are arranged above the substrate 14, and the X-ray focal point S of the X-ray tube 11 and the X-ray detector 13 form the substrate 14. X which is opposed to each other with a beam divergence angle α from the X-ray tube 11
The line beam 12 passes through the substrate 14 and is detected by the X-ray detector 13. Further, a distance measuring device 23 for measuring the distance to the surface of the substrate 14 is provided adjacent to these X-ray detectors 13.

【００８７】前記基板１４は、基板クランプ１９によっ
てｙフレーム１７上に固定されている。ｙフレーム１７
は、ｙ移動機構１８を介してｘフレーム１５に取り付け
られ、ｘフレーム１５は図示しないフロアに固定された
ｘ移動機構１６によりｘ軸方向に移動し得るように構成
されている。また、ｘフレーム１５上にｙ移動機構１８
を介して取り付けられているｙフレーム１７はｙ移動機
構１８によりｙ軸方向に移動し得るように構成され、基
板１４はｘ移動機構１６およびｙ移動機構１８によりｘ
およびｙ軸方向に移動し得るようになっている。なお、
ｘ，ｙ軸は直交し、ｘｙ平面は水平に設定されている。
また、Ｘ線検出器１３は測定面をｘｙ平面に平行に設定
され、４個のＸ線検出器１３はｘ軸方向に並設されてい
る。The substrate 14 is fixed on the y frame 17 by a substrate clamp 19. y frame 17
Is attached to the x frame 15 via a y moving mechanism 18, and the x frame 15 is configured to be movable in the x axis direction by an x moving mechanism 16 fixed to a floor (not shown). In addition, the y moving mechanism 18 is mounted on the x frame 15.
The y-frame 17 attached via the y-movement mechanism 18 is configured to be movable in the y-axis direction, and the substrate 14 is moved by the x-movement mechanism 16 and the y-movement mechanism 18.
It is also possible to move in the y-axis direction. In addition,
The x and y axes are orthogonal to each other, and the xy plane is set horizontally.
The X-ray detector 13 has its measurement surface set parallel to the xy plane, and the four X-ray detectors 13 are arranged side by side in the x-axis direction.

【００８８】各Ｘ線検出器１３で検出されたＸ線透過デ
ータはデータ収集装置２０に供給されるが、該データ収
集装置２０にはｘ移動機構１６から一定移動量毎の収集
信号であるエンコーダパルスが供給され、このパルス信
号に同期してデータ収集装置２０はＸ線検出器１３から
の出力信号を収集して、ディジタル画像に変換し、画像
処理装置２１に供給するようになっている。また、該画
像処理装置２１には、前記距離測定装置２３で測定され
た基板１４の表面までの距離データは供給されるように
なっている。The X-ray transmission data detected by each X-ray detector 13 is supplied to the data collecting device 20, and the data collecting device 20 has an encoder which is a collection signal from the x moving mechanism 16 at every constant moving amount. A pulse is supplied, and the data acquisition device 20 acquires the output signal from the X-ray detector 13 in synchronism with this pulse signal, converts it into a digital image, and supplies it to the image processing device 21. Further, the image processing device 21 is supplied with the distance data to the surface of the substrate 14 measured by the distance measuring device 23.

【００８９】なお、図１では省略されているが、前記ｘ
移動機構１６およびｙ移動機構１８を制御する機構制御
装置およびＸ線管１１を制御し、電力を供給するＸ線制
御装置が設けられている。Although not shown in FIG. 1, the above x
A mechanism controller for controlling the moving mechanism 16 and the y-moving mechanism 18 and an X-ray controller for controlling the X-ray tube 11 and supplying electric power are provided.

【００９０】前記距離測定装置２３は、図２に詳細に示
すように、２組のレンズ４１ａ，４１ｂとＣＣＤセンサ
４２ａ，４２ｂ、およびＣＰＵ４３を有し、基板１４上
のパターンを画像化する。そして、画像のずれ量ｅ1 ，
ｅ2 を測定し、次式によって図に示す距離測定基準面か
ら基板１４の表面１４ａまでの距離ｄをＣＰＵ４３で計
算し、ディジタル値として出力するようになっている。 ｄ＝ｆ・ｂ／（ｅ1 ＋ｅ2 ） …（１）As shown in detail in FIG. 2, the distance measuring device 23 has two sets of lenses 41a and 41b, CCD sensors 42a and 42b, and a CPU 43, and images the pattern on the substrate 14. Then, the image shift amount e1,
By measuring e2, the distance d from the distance measurement reference plane shown in the figure to the surface 14a of the substrate 14 is calculated by the CPU 43 by the following equation, and is output as a digital value. d = f.b / (e1 + e2) (1)

【００９１】なお、図２に示すように、Ｘ線管１１のＸ
線焦点Ｓと距離測定基準面の間の距離をａとすると、Ｘ
線焦点Ｓと基板１４の表面１４ａとの間の距離Ｌは、次
式により計算される。 Ｌ＝ａ−ｄ …（２）As shown in FIG. 2, X of the X-ray tube 11 is
If the distance between the line focus S and the distance measurement reference plane is a, then X
The distance L between the line focus S and the surface 14a of the substrate 14 is calculated by the following equation. L = ad (2)

【００９２】また、距離測定装置２３の前面には、ラン
プ４５およびハーフミラー４６からなる垂直落射照明装
置４４が設けられてあり、これにより基板の表面１４ａ
を垂直方向から照射し、部品が密に実装されている場合
でも、そのすきまの配線パターンをよく照明できるよう
になっている。Further, on the front surface of the distance measuring device 23, there is provided a vertical epi-illumination device 44 consisting of a lamp 45 and a half mirror 46, whereby the surface 14a of the substrate is provided.
Even when the components are densely mounted, the wiring pattern in the clearance can be well illuminated by irradiating from the vertical direction.

【００９３】前記Ｘ線検出器１３は、２次元Ｘ線面セン
サであり、高分解能の画像を得るために焦点サイズが数
１０〜数１００μｍの小焦点Ｘ線管を使用している。The X-ray detector 13 is a two-dimensional X-ray plane sensor, and uses a small-focus X-ray tube having a focal size of several tens to several hundreds of μm in order to obtain a high-resolution image.

【００９４】Ｘ線検出器１３は、図３に詳細に示すよう
に、シンチレータ３１およびＣＣＤ２次元光センサ３３
をテーパー光ファイバ３２の両端に接着した構造を有す
る。１個の検出器１３でＣＣＤ２次元光センサ３３のマ
トリックスサイズ（数５００×５００）の透過画像を得
ることができ、４個の検出器１３を使用することによ
り、２０００×５００のマトリックスサイズが得られ
る。なお、図３において、３４は遮光膜である。As shown in detail in FIG. 3, the X-ray detector 13 includes a scintillator 31 and a CCD two-dimensional photosensor 33.
Is bonded to both ends of the tapered optical fiber 32. With one detector 13, a transmission image of the CCD two-dimensional photosensor 33 having a matrix size (several 500 × 500) can be obtained, and by using four detectors, a matrix size of 2000 × 500 can be obtained. To be In addition, in FIG. 3, 34 is a light shielding film.

【００９５】次に、図４〜図７を参照して、図１に示す
ラミノグラフの作用を説明する。Next, the operation of the laminograph shown in FIG. 1 will be described with reference to FIGS.

【００９６】図４は、被検体である前記基板１４を示し
ている。この基板１４上には、半田付け部を検査すべき
検査対象のＩＣ２４ａ〜２４ｆが実装されている。各Ｉ
Ｃ２４ａ〜２４ｆの周囲には、点線で囲んで示すように
検査領域２６ａ〜２６ｆがそれぞれ画定されている。ま
た、基板１４上にはＸ線管１１による走査領域Ａ1 〜Ａ
4 が設定され、走査領域Ａ1 内にはＩＣ２４ａ，２４ｂ
が存在し、走査領域Ａ2 内にはＩＣ２４ｃが存在し、走
査領域Ａ3 内にはＩＣ２４ｄ，２４ｅが存在し、走査領
域Ａ4 にはＩＣ２４ｆが存在している。FIG. 4 shows the substrate 14 which is the subject. ICs 24a to 24f to be inspected for inspecting the soldered portion are mounted on the board 14. Each I
Inspection areas 26a to 26f are defined around C24a to 24f, respectively, as surrounded by dotted lines. Further, the scanning areas A1 to A by the X-ray tube 11 are formed on the substrate 14.
4 is set, and ICs 24a and 24b are set in the scanning area A1.
Exists in the scanning area A2, the IC 24c exists in the scanning area A3, the ICs 24d and 24e exist in the scanning area A3, and the IC 24f exists in the scanning area A4.

【００９７】このような基板１４に対して、図１に示す
ラミノグラフは、ｘ移動機構１６およびｙ移動機構１８
によって基板１４を移動させて、走査領域Ａ1 〜Ａ4 の
透過画像を順次入手し、画像処理装置２１により検査領
域２６ａ〜２６ｆの透過画像、すなわち断層像を順次作
成する。これらの走査領域と検査領域の位置は基板１４
の一端を始点とするＸ，Ｙ座標で記述され、予め基板の
形式毎に機構制御装置に記憶しておくので、操作者は形
式を指定するだけで検査領域の断層像を得ることができ
る。For such a substrate 14, the laminograph shown in FIG. 1 has an x moving mechanism 16 and ay moving mechanism 18.
The substrate 14 is moved to sequentially obtain transmission images of the scanning regions A1 to A4, and the transmission images of the inspection regions 26a to 26f, that is, tomographic images are sequentially generated by the image processing device 21. The positions of these scanning areas and inspection areas are set on the substrate 14
Is described by the X and Y coordinates with one end as the starting point and is stored in advance in the mechanism control device for each type of substrate, so that the operator can obtain a tomographic image of the inspection region simply by designating the type.

【００９８】図５は基板１４の断面を示しており、同図
において２４はＩＣ、２５は判断付け部であり、基板１
４の表面１４ａが焦点面になっている。このように構成
される基板１４に対して、基板の裏面やおもて面の部品
に邪魔されることなく、半田付け部を検査するために、
おもて面の表面１４ａに焦点を合わせる必要がある。こ
こで、基板１４にそりがある場合には、１つの焦点面に
焦点が合うだけであるので、図４に示すすべての検査領
域の半田付け部に同時に焦点を合わせることはできなく
なる。そこで、本実施例では、検査領域それぞれで別々
の焦点面を設定して断層像を作成するようにしている。FIG. 5 shows a cross section of the substrate 14, in which 24 is an IC and 25 is a judgment part.
The surface 14a of No. 4 is the focal plane. In order to inspect the soldered portion with respect to the substrate 14 configured in this way without being disturbed by the components on the back surface or front surface of the substrate,
It is necessary to focus on the front surface 14a. Here, when there is a warp on the substrate 14, only one focal plane is focused, so that it is impossible to simultaneously focus on the soldered portions of all the inspection regions shown in FIG. Therefore, in this embodiment, tomographic images are created by setting different focal planes for each examination region.

【００９９】このために走査を行う前に、まず距離測定
装置２３を使用して、図４の検査領域の中または近傍に
設定されている距離測定位置Ｑ、具体的には図４では各
検査領域の各４隅に設定されている距離測定位置Ｑにお
ける基板１４の表面１４ａと前記距離測定基準面との間
の距離ｄを測定し、この測定した距離ｄに基づいて上述
した式（２）を計算し、これにより各検査領域毎に基板
１４の表面１４ａとＸ線焦点Ｓとの間の距離Ｌを算出
し、これにより各検査領域毎に別々に焦点面を設定する
ようにしている。Before scanning for this purpose, the distance measuring device 23 is first used to measure the distance measuring position Q set in or near the inspection area of FIG. 4, specifically, in FIG. The distance d between the surface 14a of the substrate 14 and the distance measurement reference plane at the distance measurement positions Q set at the four corners of the area is measured, and based on the measured distance d, the above equation (2) is calculated. Is calculated, and the distance L between the surface 14a of the substrate 14 and the X-ray focal point S is calculated for each inspection region, whereby the focal plane is set separately for each inspection region.

【０１００】なお、距離測定位置Ｑの位置は、部品のな
い表面パターンの見える位置に選定し、予め基板の形式
毎に検査領域位置とともに機構制御装置に記憶してい
る。また、距離ｄの値は、距離測定装置２３から画像処
理装置２１に供給され、各検査領域毎に例えば４隅の値
が平均され、この平均された距離が使用されるようにな
っている。The position of the distance measurement position Q is selected at a position where the surface pattern without a component can be seen, and is stored in advance in the mechanism control device together with the inspection area position for each type of board. Further, the value of the distance d is supplied from the distance measuring device 23 to the image processing device 21, the values at the four corners are averaged for each inspection region, and the averaged distance is used.

【０１０１】次に、図６および図７を参照して、１つの
検査領域２６ａについてその断層像が画像処理装置２１
で作成される作用を説明する。Next, referring to FIGS. 6 and 7, the tomographic image of one inspection region 26a is obtained by the image processing device 21.
The operation created by will be described.

【０１０２】まず、図６に示すように、基板１４がｘ軸
方向に移動させられ（この場合の移動量をＰとする）、
その移動量変化ΔＰ毎に透過画像を収集し、この透過画
像をすべて画像処理装置２１のメモリに一旦記憶する。
このように移動量変化ΔＰ毎に透過画像を収集すると
き、基板１４の表面１４ａである焦点面上の検出器１３
の検出面上への射影点は、図６に示すようにΔＰ’ずつ
ずれる。この移動量変化ΔＰ’は次式から算出すること
ができる。 ΔＰ’＝ΔＰ×ＦＤＤ／Ｌ …（３） この式において、Ｌは基板１４の表面１４ａとＸ線管１
１のＸ線焦点Ｓとの間の距離であり、ＦＤＤはＸ線焦点
Ｓと検出器１３の検出面との間の距離である。First, as shown in FIG. 6, the substrate 14 is moved in the x-axis direction (the moving amount in this case is P),
A transparent image is collected for each movement amount change ΔP, and all the transparent images are temporarily stored in the memory of the image processing device 21.
In this way, when collecting a transmission image for each movement amount change ΔP, the detector 13 on the focal plane, which is the surface 14 a of the substrate 14,
The projection points of the above on the detection surface are shifted by ΔP ′ as shown in FIG. This movement amount change ΔP ′ can be calculated from the following equation. ΔP ′ = ΔP × FDD / L (3) In this equation, L is the surface 14 a of the substrate 14 and the X-ray tube 1.
1 is the distance between the X-ray focal point S and FDD is the distance between the X-ray focal point S and the detection surface of the detector 13.

【０１０３】次に、図７に示すように、同一移動位置Ｐ
において得られた複数の検出器１３による透過画像を検
出器１３の間隔と同じ間隔をとってｘｙ平面に並べて、
１枚の画像とし、ΔＰ枚の複数の画像をそれぞれｘ軸方
向にΔＰ’ずつずらして加算平均する（１次補間計算を
含む）。このようにすることにより、焦点面上の点は常
に同一位置に重ね合わされるので、強調され、焦点面に
ない点はずれて重ね合わされ、ぼけて目立たなくなって
しまう。Next, as shown in FIG. 7, the same movement position P
The transmission images obtained by the plurality of detectors 13 obtained in 1 are arranged on the xy plane at the same intervals as the detectors 13,
One image is set, and ΔP's of a plurality of images are shifted by ΔP ′ in the x-axis direction, respectively, and arithmetic average is performed (including primary interpolation calculation). By doing so, the points on the focal plane are always superposed at the same position, so they are emphasized, and the points that are not on the focal plane are deviated and superposed, resulting in blurring and inconspicuousness.

【０１０４】このようにして、検出面に平行な１つの焦
点面にピントの合った透過画像、すなわち断層像が得ら
れる。なお、加算平均される前の画像データは一旦メモ
リに蓄積されるので、データ収集をやり直すことなく、
ΔＰ’を変えて計算することにより、何度でも焦点面を
変えた画像を作成することもできる。In this way, a transmission image focused on one focal plane parallel to the detection surface, that is, a tomographic image is obtained. Note that the image data before the averaging is temporarily stored in the memory, so there is no need to redo the data collection.
By changing ΔP ′ and performing the calculation, it is possible to create an image in which the focal plane is changed many times.

【０１０５】焦点面位置は、ΔＰ’に微小補正項を加え
ることで、基板上層面より僅か上または下にセットする
こともでき、半田の厚みを考慮し、より良く半田に焦点
を合わすこともできるし、または距離測定基準面の設定
誤差等の距離測定にシステマティックに生じる誤差を補
正することもできる。焦点面位置は半田位置だけでな
く、内層パターン位置に合わせ、パターン検査にも使用
できる。この場合、表面から内層までの厚みをΔＬとす
ると、式（３）でＬの代わりにＬ−ΔＬを使用して、Δ
Ｐ’を計算すればよいことになる。The focal plane position can be set slightly above or below the upper layer surface of the substrate by adding a small correction term to ΔP ', and the solder can be focused better in consideration of the thickness of the solder. Or, it is possible to correct an error that systematically occurs in the distance measurement such as a setting error of the distance measurement reference plane. The focal plane position can be used not only for the solder position but also for the inner layer pattern position for pattern inspection. In this case, assuming that the thickness from the surface to the inner layer is ΔL, L-ΔL is used instead of L in Expression (3) to obtain Δ
It suffices to calculate P ′.

【０１０６】上述したように、本実施例においては、基
板１４にそりがあっても、検査面に焦点の合った断層像
が得られる。基板の厚さが変わって、検査面位置がずれ
たり、または基板クランプ１９の仕方が悪く、検査面位
置がずれても、調整することなく、検査面に焦点の合っ
た断層像を得ることができる。As described above, in this embodiment, even if the substrate 14 is warped, a tomographic image focused on the inspection surface can be obtained. Even if the inspection surface position is displaced due to a change in the thickness of the substrate, or the substrate clamp 19 is misaligned and the inspection surface position is displaced, a tomographic image focused on the inspection surface can be obtained without adjustment. it can.

【０１０７】表面位置測定は、全面測定ではなく、各検
査領域に対して数ポイント行うだけであるので、検査時
間を短縮することができる。また、表面検査位置は部品
のない位置に設定されているので、部品に影響されずに
確実に表面位置測定を行うことができる。The surface position measurement is not the entire surface measurement but is performed only for several points in each inspection region, so that the inspection time can be shortened. Further, since the surface inspection position is set to a position where there are no parts, the surface position can be reliably measured without being affected by the parts.

【０１０８】更に、図２に示したように、垂直落射照明
装置４４を設け、基板１４を垂直方向から照明すること
ができるので、部品が密に実装されていても、比較的に
容易にかつ適確に基板表面位置を測定することができ
る。Further, as shown in FIG. 2, since the vertical epi-illumination device 44 can be provided to illuminate the substrate 14 from the vertical direction, even if the components are densely mounted, it is relatively easy and The substrate surface position can be measured accurately.

【０１０９】また、重量の重いＸ線管１１を走査する必
要がないので、機構が簡単で小型化することができる
し、検出器１３が固定されているので、振動によるノイ
ズの影響も受け難い。Further, since it is not necessary to scan the heavy X-ray tube 11, the mechanism can be simple and miniaturized, and since the detector 13 is fixed, it is less susceptible to noise due to vibration. .

【０１１０】図８〜図１０は、本発明の第２の実施例に
係わるラミノグラフの作用を説明するための図である。
なお、この第２の実施例を達成するラミノグラフの構成
は、第１の実施例のものと同じである。8 to 10 are diagrams for explaining the operation of the laminograph according to the second embodiment of the present invention.
The configuration of the laminograph that achieves the second embodiment is the same as that of the first embodiment.

【０１１１】この第２の実施例は、距離測定位置を各検
査領域間に求める代わりに、図８においてＱ1 ，Ｑ2 ，
・・・，Ｑ12で示すように部品が実装されていない隅
部、縁部、またはその他の適当な位置を距離測定位置と
して設定し、この設定された距離測定位置Ｑ1 〜Ｑ12か
ら各検査領域における距離Ｌを補間により算出しようと
するものである。In the second embodiment, instead of obtaining the distance measurement position between the inspection areas, Q1, Q2,
..., as indicated by Q12, a corner, an edge, or another suitable position where no parts are mounted is set as the distance measurement position, and the distance measurement positions Q1 to Q12 are set in the respective inspection areas. The distance L is calculated by interpolation.

【０１１２】図８に示すように設定された距離測定位置
Ｑ1 〜Ｑ12に対して、図９に示すように各距離測定位置
Ｑを頂点とする三角形の領域であるフェイスを作成し、
このフェイスで基板１４の面を分割し、この分割された
各フェイスをｆ1 ，ｆ2 ，ｆ3 ，・・・ｆ12とする。With respect to the distance measuring positions Q1 to Q12 set as shown in FIG. 8, as shown in FIG. 9, a face, which is a triangular region having the apex at each distance measuring position Q, is created.
The face of the substrate 14 is divided by this face, and the divided faces are designated as f1, f2, f3, ... F12.

【０１１３】そして、図１０（ａ）に示すように、各距
離測定位置Ｑ1 〜Ｑ12に対して、その座標位置Ｘ，Ｙお
よび各距離測定位置Ｑにおける基板１４の表面１４ａま
での距離、すなわち表面１４ａの高さＬを対応させたポ
イントファイル、図１０（ｂ）に示すように、各フェイ
スｆ1 〜ｆ12に対して、その頂点に位置する距離測定位
置Ｑの番号を対応させたフェイスファイル、および図１
０（ｃ）に示すように、各検査領域２６ａ〜２６ｆに対
して、その検査領域の中心座標Ｘ，Ｙを対応させた検査
領域ファイルを作成し、これらの各ファイルを画像処理
装置２１内のメモリに各基板の形式毎に記憶しておく。
なお、図１０（ａ）に示すポイントファイルにおける表
面の高さＬは最初空欄にしておく。Then, as shown in FIG. 10A, for each distance measuring position Q1 to Q12, the distance to the surface 14a of the substrate 14 at the coordinate positions X and Y and each distance measuring position Q, that is, the surface A point file in which the height L of 14a is associated, a face file in which the numbers of the distance measurement positions Q located at the vertices of the faces f1 to f12 are associated, as shown in FIG. Figure 1
As shown in 0 (c), an inspection area file in which the center coordinates X and Y of the inspection area are associated with each of the inspection areas 26a to 26f is created, and these files are stored in the image processing device 21. The type of each board is stored in the memory.
The surface height L in the point file shown in FIG. 10A is initially blank.

【０１１４】そして、画像処理装置２１は、距離測定時
に入力した各位置の距離ｄの値から表面の高さＬを計算
し、この計算した値Ｌでポイントファイルの表面高さＬ
を埋める。画像処理装置２１は、図１０（ｃ）に示す検
査領域ファイルから各検査領域の中心座標を読み取り、
この中心がどのフェイスに所属するかをフェイスｆ1か
ら出発して判定する。そして、この判定したフェイスフ
ァイルからそのフェイスの３つの頂点の距離測定位置Ｑ
を読み取り、その３点の表面高さＬの値を補間すること
により、各検査領域の表面高さＬを算出する。例えば、
図９において左上隅寄りに示す検査領域２６ａの場合に
は、フェイスｆ1 に所属するが、このフェイスｆ1 を構
成している距離測定位置Ｑ1 ，Ｑ2 ，Ｑ7 の表面高さＬ
1 ，Ｌ2，Ｌ7 から該検査領域２６ａの中心位置Ｃa に
おける表面高さＬを補間により算出する。Then, the image processing device 21 calculates the surface height L from the value of the distance d at each position input at the time of distance measurement, and the surface height L of the point file is calculated with this calculated value L.
Fill in. The image processing device 21 reads the center coordinates of each inspection area from the inspection area file shown in FIG.
Which face this center belongs to is determined starting from face f1. Then, from the determined face file, distance measurement positions Q of the three vertices of the face
Is read and the surface height L of the three points is interpolated to calculate the surface height L of each inspection region. For example,
In the case of the inspection area 26a shown near the upper left corner in FIG. 9, the surface height L of the distance measurement positions Q1, Q2, Q7 that belong to the face f1 but compose this face f1.
The surface height L at the center position Ca of the inspection area 26a is calculated by interpolation from 1, L2 and L7.

【０１１５】なお、補間は１次補間を使用する。フェイ
スへの所属判定および補間の具体的な計算は簡単な計算
であるのでその説明は省略する。また、フェイスファイ
ルを予め設定しておく代わりに、ポイントファイルから
自動的に作り出すこともできる（有限要素法等で使用さ
れる方法）。The interpolation uses linear interpolation. The specific calculation of the face affiliation determination and the interpolation is a simple calculation, and thus the description thereof is omitted. Further, instead of setting the face file in advance, it can be automatically created from the point file (method used in the finite element method or the like).

【０１１６】上述した第２の実施例においては、１つの
基板上で検査領域が密に設定される場合でも、距離測定
位置の点数が多くなりすぎず、距離測定時間を短縮する
ことができる。また、部品が密に実装されていて、距離
測定位置が自由に設定できない場合にも、比較的容易に
適用することができる。In the above-described second embodiment, even if the inspection areas are densely set on one substrate, the number of distance measurement positions does not become too large, and the distance measurement time can be shortened. Further, even when the components are densely mounted and the distance measurement position cannot be freely set, the present invention can be applied relatively easily.

【０１１７】図１１は、本発明の第３の実施例に係わる
ラミノグラフを説明するための図である。なお、この第
３の実施例を達成するラミノグラフの構成は、第１の実
施例のものと同じである。FIG. 11 is a diagram for explaining a laminograph according to the third embodiment of the present invention. The structure of the laminograph that achieves the third embodiment is the same as that of the first embodiment.

【０１１８】この第３の実施例は、図１１に示すよう
に、距離測定装置２３が走査中の検査領域２６１の表面
位置を測定できるように検査領域２６１に向けて傾斜し
て設けられていることである。In the third embodiment, as shown in FIG. 11, the distance measuring device 23 is provided so as to be inclined toward the inspection area 261 so that the surface position of the inspection area 261 during scanning can be measured. That is.

【０１１９】第３の実施例においては、走査中の検査領
域の表面位置を測定することができるので、予め距離測
定を行ってから透過画像収集の走査を行う代わりに、走
査中に検査領域またはその近傍に設定された距離測定位
置に距離測定を行って、検査領域の表面高さＬを算出す
ることができる。なお、その他の作用は第１の実施例の
場合と同じである。In the third embodiment, since the surface position of the inspection area during scanning can be measured, instead of performing distance measurement in advance and then performing transmission image acquisition scanning, the inspection area or The surface height L of the inspection area can be calculated by measuring the distance at the distance measuring position set in the vicinity thereof. The other operations are the same as in the case of the first embodiment.

【０１２０】第３の実施例においては、透過画像収集の
走査と一緒に表面高さを測定することができるので、検
査時間を短縮することができる。In the third embodiment, since the surface height can be measured together with the scanning of the transmission image acquisition, the inspection time can be shortened.

【０１２１】図１２および図１３は、本発明の第４の実
施例に係わるラミノグラフを示す図である。この第４の
実施例は、図１２に示すように、Ｘ線焦点Ｓを有するＸ
線管６１とＸ線面センサである検出器６３とを被検体で
ある基板６４を挟んで対向させるとともに、両者を回転
軸６６の周りで同期して回転させるようにしたものであ
る。なお、図１２において、６２はＸ線管６１から出力
されるＸ線ビームである。12 and 13 are diagrams showing a laminograph according to the fourth embodiment of the present invention. This fourth embodiment, as shown in FIG. 12, has an X-ray focus S.
The radiation tube 61 and the detector 63, which is an X-ray surface sensor, are opposed to each other with a substrate 64, which is an object to be examined, interposed therebetween, and both are rotated synchronously around a rotation axis 66. In FIG. 12, reference numeral 62 is an X-ray beam output from the X-ray tube 61.

【０１２２】図１３は、図１２に示す第４の実施例のラ
ミノグラフの構成を示す図であるが、同図に示すよう
に、Ｘ線管６１は線源回転機構６７によって回転軸６６
の周りに回転させられ、該Ｘ線管６１から発生し、被検
体である基板６４を透過したＸ線ビーム６２は検出器６
３で検出される。該検出器６３は検出器公転自転機構６
８により回転軸６６の周りを公転し、かつ該公転フレー
ム上で自転させられ、その方位を変えずに公転のみ行う
ように構成されている。なお、Ｘ線管６１の回転と検出
器６３の公転は図示されていないギヤでリンクされ、同
期して行われている。FIG. 13 is a diagram showing the construction of the laminograph of the fourth embodiment shown in FIG. 12. As shown in FIG. 13, the X-ray tube 61 is rotated by the radiation source rotating mechanism 67 to the rotating shaft 66.
The X-ray beam 62 generated by the X-ray tube 61 and transmitted through the substrate 64, which is the subject, is rotated around the
Detected in 3. The detector 63 is the detector revolution / rotation mechanism 6
8 revolves around the rotary shaft 66 and is rotated on the revolving frame, and only revolves without changing its orientation. The rotation of the X-ray tube 61 and the revolution of the detector 63 are linked by a gear (not shown) and are synchronized.

【０１２３】被検体である基板６４はＸ，Ｙ，Ｚテーブ
ル７０により支持されている。また、回転軸６６上には
距離測定装置６９が設けられ、基板６４の表面位置を測
定するようになっている。The substrate 64 which is the subject is supported by the X, Y and Z tables 70. A distance measuring device 69 is provided on the rotary shaft 66 to measure the surface position of the substrate 64.

【０１２４】更に、Ｘ線管６１は、検出器６３の方向に
シフトできるように線源シフト機構７１を介して線源回
転機構６７に連結されている。この線源シフト機構７１
は断層像の倍率を変えるために使用されるものである。Further, the X-ray tube 61 is connected to a radiation source rotation mechanism 67 via a radiation source shift mechanism 71 so that it can be shifted toward the detector 63. This radiation source shift mechanism 71
Is used to change the magnification of the tomographic image.

【０１２５】以上のように構成される第４の実施例にお
いては、被検体である基板６４をＸ，Ｙ軸方向に移動さ
せ、検査領域の中または近傍の距離測定位置を中央に設
定し、前記距離測定装置６９により距離を測定し、これ
により基板をＺ軸方向に移動させて、該基板の表面を焦
点位置に合致させる。それから、検査領域が中央になる
ように基板をＸ，Ｚ軸方向に移動させる。In the fourth embodiment configured as described above, the substrate 64, which is the subject, is moved in the X and Y axis directions, and the distance measurement position in or near the inspection area is set to the center. The distance is measured by the distance measuring device 69, and thereby the substrate is moved in the Z-axis direction so that the surface of the substrate matches the focal position. Then, the substrate is moved in the X- and Z-axis directions so that the inspection region is located at the center.

【０１２６】この状態で、基板に対してＸ線管６１から
Ｘ線を照射しながら、Ｘ線管６１と検出器６３の回転を
行い、基板のＸ線透過画像を収集し、この収集した透過
画像を加算平均し（なお、本実施例の場合には、ずらし
は不要である）、焦点面である基板の表面に焦点の合っ
た透過画像、すなわち断層像を得る。また、上述したＺ
軸方向の移動に対してオフセットΔＺを加えることによ
り、基板６４の表面を基準にΔＺだけずれた面に焦点を
合わせることもできる。In this state, the X-ray tube 61 and the detector 63 are rotated while irradiating the substrate with X-rays from the X-ray tube 61, and an X-ray transmission image of the substrate is collected. The images are arithmetically averaged (shifting is not necessary in the case of the present embodiment), and a transmission image in which the surface of the substrate, which is the focal plane, is in focus, that is, a tomographic image is obtained. Also, the above-mentioned Z
By adding an offset ΔZ to the movement in the axial direction, it is possible to focus on a surface that is deviated by ΔZ from the surface of the substrate 64.

【０１２７】なお、上記説明では、被検体である基板６
４をＺ軸方向にずらして、基板のそりを補正し、基板表
面に焦点を合わせたが、Ｚ軸方向の移動は省略すること
もできる。この場合には、第１の実施例のように距離測
定装置６９のデータから「ずらし量」を計算し、透過画
像をずらしながら加算平均することにより断層像を得る
ことになる。In the above description, the substrate 6 which is the subject
4 is shifted in the Z-axis direction to correct the warp of the substrate and focus on the substrate surface, but movement in the Z-axis direction can be omitted. In this case, the "shift amount" is calculated from the data of the distance measuring device 69 as in the first embodiment, and the tomographic image is obtained by averaging the transmission images while shifting.

【０１２８】上述した第４の実施例は、第１の実施例の
利点に加えて、Ｚ軸方向の移動を付けた場合には、画像
のずらしが不要となり、加算平均処理のみでよいため、
装置価格が安価となるとともに、処理速度が速くなると
いう利点を有する。また、線源シフト機構７１により断
層像の倍率を変えることも可能となる。この場合、シフ
ト方向を図１３で示す方向にとることにより、焦点面位
置を変えることなく、倍率のみを変えることができる。In addition to the advantages of the first embodiment, the fourth embodiment described above does not require image shift when moving in the Z-axis direction, and only the addition and averaging process is required.
There are advantages that the device price is low and the processing speed is high. Further, it is possible to change the magnification of the tomographic image by the radiation source shift mechanism 71. In this case, by setting the shift direction to the direction shown in FIG. 13, only the magnification can be changed without changing the focal plane position.

【０１２９】図１４は、本発明の第５の実施例に係わる
ラミノグラフの要部の構成を示す図である。この第５の
実施例は、図１２，１３に示した第４の実施例において
Ｘ線管６１のＸ線焦点Ｓを通る軸の周りでＸ線管６１を
回転させる線源回転機構７２を設けた点が異なるのみで
ある。FIG. 14 is a diagram showing a structure of a main part of a laminograph according to a fifth embodiment of the present invention. The fifth embodiment is provided with a radiation source rotating mechanism 72 for rotating the X-ray tube 61 around an axis passing through the X-ray focal point S of the X-ray tube 61 in the fourth embodiment shown in FIGS. The only difference is the difference.

【０１３０】このように構成される第５の実施例におい
ては、図１４に示すようにＸ線管６１を図示しないＸ線
制御装置に接続するための高圧ケーブル７３が図示され
ているが、Ｘ線管６１を回転軸６６に対して回転させる
場合には、該回転と同期させて前記線源回転機構７２に
よってＸ線管６１を逆方向に自転させることにより、前
記高圧ケーブル７３がねじれることなく、一方向に何回
転でも行うことができるようになる。また、固定式と比
べても、太くて曲がりにくい高圧ケーブル７３に対して
無理な力が加わらず、高圧ケーブルの寿命を長くするこ
とができるとともに、ケーブルさばきのスペースが小さ
くてすむ等の利点がある。In the fifth embodiment constructed as described above, a high voltage cable 73 for connecting the X-ray tube 61 to an X-ray controller (not shown) is shown as shown in FIG. When rotating the X-ray tube 61 with respect to the rotating shaft 66, the X-ray tube 61 is rotated in the opposite direction by the radiation source rotating mechanism 72 in synchronization with the rotation, so that the high-voltage cable 73 is not twisted. , You can do any number of rotations in one direction. Further, compared with the fixed type, there is an advantage that the high voltage cable 73 that is thick and difficult to bend is not subjected to an unreasonable force, the life of the high voltage cable can be extended, and the space for separating the cable is small. is there.

【０１３１】図１５（ａ），（ｂ）は、本発明の第６の
実施例に係わるラミノグラフを示す図である。同図
（ａ），（ｂ）は、それぞれ放射線源であるＸ線管１と
放射線面センサである検出器３とを同期して円弧運動お
よび直進運動させるように構成したものを示している。
このような構成で達成される走査方式においても、第４
の実施例と同様に焦点の調整を行うことができる。な
お、図１５において、４は被検体であり、５は距離測定
装置である。15 (a) and 15 (b) are diagrams showing a laminograph according to the sixth embodiment of the present invention. FIGS. 3A and 3B show a configuration in which an X-ray tube 1 which is a radiation source and a detector 3 which is a radiation surface sensor are synchronously moved in an arc and a straight line.
Even in the scanning method achieved by such a configuration, the fourth
The focus can be adjusted in the same manner as in the above embodiment. In addition, in FIG. 15, 4 is an object and 5 is a distance measuring device.

【０１３２】図１６（ａ），（ｂ）は、本発明の第７の
実施例に係わるラミノグラフを示す図である。同図
（ａ），（ｂ）は、それぞれ放射線源であるＸ線管１と
放射線面センサである検出器３とを同期して自転させる
ように構成したものを示している。このような構成で達
成される走査方式においても、第４の実施例と同様に焦
点の調整を行うことができる。なお、図１６において、
４は被検体であり、５は距離測定装置である。FIGS. 16A and 16B are diagrams showing a laminograph according to the seventh embodiment of the present invention. FIGS. 3A and 3B show the structure in which the X-ray tube 1 which is a radiation source and the detector 3 which is a radiation surface sensor are configured to rotate in synchronization with each other. Even in the scanning method achieved by such a configuration, the focus can be adjusted as in the fourth embodiment. In addition, in FIG.
Reference numeral 4 is a subject, and 5 is a distance measuring device.

【０１３３】上述した各実施例では、距離測定装置とし
て、図２に示したように構成されるものを使用している
が、このようなものに限定されるものでなく、距離測定
方式としては、例えば次に示すものがある（第１回産業
における画像センシング技術シンポジウム、ｐ．２７
９、昭和６１年６月１９−２０日）。In each of the above-mentioned embodiments, the distance measuring device configured as shown in FIG. 2 is used, but the present invention is not limited to such a device, and the distance measuring method is not limited to this. , For example: (The 1st Industrial Image Sensing Technology Symposium in Industry, p. 27)
9, 19-20 June 1986).

【０１３４】 図１７（ａ）は、コントラスト法を使用した距離測定装
置の構成を示す図である（「センサ・インタフェーシン
グＮo.２」、ＣＱ出版社１９８３年ｐ．３３）。同図に
示す距離測定装置は、光路がΔＬだけ異なるセンサ１，
２を設け、各センサ（ラインセンサ）で隣接チャンネル
の差分出力よりコントラスト値を出力し、コントラスト
値が等しくなるまで、レンズを移動し、この移動量で距
離を測定するものである。[0134] FIG. 17A is a diagram showing the configuration of a distance measuring device using the contrast method (“Sensor interfacing No. 2”, CQ Publishing Co., 1983, p. 33). The distance measuring device shown in FIG.
2 is provided, each sensor (line sensor) outputs the contrast value from the difference output of the adjacent channel, the lens is moved until the contrast values become equal, and the distance is measured by this movement amount.

【０１３５】すなわち、焦点距離をｆとし、センサ２の
合焦点時の像距離をＢo とすると、被検体である基板ま
での距離Ａは次式のようになる。That is, if the focal length is f and the image distance when the sensor 2 is in focus is Bo, the distance A to the substrate which is the subject is given by the following equation.

【数１】Ａ＝｛Ｂo ＋（ΔＬ／２）｝／｛Ｂo ＋（ΔＬ
／２）−ｆ｝## EQU1 ## A = {Bo + (ΔL / 2)} / {Bo + (ΔL
/ 2) -f}

【０１３６】図１７（ｂ）は、三角測量法の１つの例で
ある像一致法を使用した距離測定装置の構成を示す図で
ある（「センサ・インタフェーシングＮo.２」、ＣＱ出
版社１９８３年ｐ．４１）。同図に示す距離測定装置
は、レンズ光軸を平行移動させて、その時に写るセンサ
上の像のずれ量を検出することにより被検体までの距離
を測定するものである。FIG. 17B is a diagram showing the configuration of a distance measuring device using the image matching method which is one example of the triangulation method ("Sensor Interfacing No. 2", CQ Publishing Company 1983). Year p.41). The distance measuring device shown in the figure measures the distance to the subject by moving the optical axis of the lens in parallel and detecting the amount of deviation of the image on the sensor captured at that time.

【０１３７】検出距離をＡ、像距離をＢ、倍率をＭ、光
軸のずれ量をΔＬ、測定画素間数をΔｎ、画素ピッチを
Ｐ、焦点距離をｆとすると、 Ｍ＝Ｂ／Ａ または Ｍ＝Δｎ・Ｐ／ΔＬ Δｎ＝ｎ2 −ｎ1 従って、被検体までの検出距離Ａは次式のようになる。 Ａ＝ΔＬ・Ｂ／（Δｎ・Ｐ） または Ａ＝ｆ（１＋Ｍ）／ＭLetting A be the detection distance, B be the image distance, M be the magnification, ΔL be the amount of deviation of the optical axis, Δn be the number of measured pixels, P be the pixel pitch, and f be the focal length, then M = B / A or M = [Delta] n.P / [Delta] L [Delta] n = n2-n1 Therefore, the detection distance A to the subject is given by the following equation. A = ΔL · B / (Δn · P) or A = f (1 + M) / M

【０１３８】なお、上記各実施例では、放射線面センサ
として図３に示した検出器を使用しているが、本発明は
これに限定されるものでなく、他のものでも適用可能で
ある。例えば、Ｘ線Ｉ．Ｉ．でもよい。この場合には、
画像の歪がある点が弱点であるが、歪補正を行うことに
より使用可能である。Ｘ線Ｉ．Ｉ．は比較的大きな検出
面を有するので、大きな被検体の場合に特に有効であ
る。In each of the above embodiments, the detector shown in FIG. 3 is used as the radiation surface sensor, but the present invention is not limited to this and other detectors can be applied. For example, X-ray I.D. I. But it is okay. In this case,
The weak point is the distortion of the image, but it can be used by correcting the distortion. X-ray I.D. I. Has a relatively large detection surface and is particularly effective for a large subject.

【０１３９】また、放射線面センサとして、テレビ用の
撮像管もＸ線に感度を有するので、適用可能である。こ
の場合も歪補正が必要である。撮像管は検出面が小さく
高分解能であるが、高エネルギで高透過値からのＸ線に
対しては検出効率が低下するので、好ましくない。従っ
て、Ｘ線が透過しやすい小さな被検体を高精度で検査す
る場合に有効である。Further, as a radiation surface sensor, an image pickup tube for a television is also applicable because it has sensitivity to X-rays. Also in this case, distortion correction is necessary. The image pickup tube has a small detection surface and high resolution, but it is not preferable because the detection efficiency is low for X-rays from high energy and high transmission values. Therefore, it is effective for inspecting a small object that easily transmits X-rays with high accuracy.

【０１４０】更に、蛍光板とテレビカメラを組み合わせ
てもよい。この場合には、Ｘ線Ｉ．Ｉ．より更に大きな
検出面が可能である。その他、２次元の分解能を有する
放射線面センサであれば、いずれの形式のものでも適用
することができる。Furthermore, a fluorescent screen and a television camera may be combined. In this case, the X-ray I.D. I. Even larger detection surfaces are possible. In addition, any type of radiation surface sensor having a two-dimensional resolution can be applied.

【０１４１】また、上述した各実施例は表面実装基板の
半田付け検査を行う場合に適用しているが、本発明の検
査対象はこれに限定されるものでなく、例えば多層基板
の内部パターン、電子部品の内部欠陥、寸法検査、空港
における荷物検査等のように種々のものに適用すること
ができる。Further, although the above-mentioned respective embodiments are applied to the case of performing the soldering inspection of the surface mounting board, the inspection object of the present invention is not limited to this, and for example, the internal pattern of the multilayer board, It can be applied to various things such as internal defects of electronic parts, dimensional inspection, baggage inspection at airports, etc.

【０１４２】図１８は、本発明の第８の実施例に係わる
ラミノグラフの構成を示す図である。この第８の実施例
に係わるラミノグラフは、上述した各実施例が距離測定
装置を使用して焦点面である基板１４の表面１４ａまで
の距離を測定し、この測定した距離に基づいて焦点面に
ピントを合わせるようにしているのに対して、画像上の
パターンを用いてピントを合わせるものであり、このパ
ターンとしては、例えば配線パターン、半田パターン、
予め設定データとして得られる基板パターン等が使用さ
れる。FIG. 18 is a diagram showing the construction of a laminograph according to the eighth embodiment of the present invention. In the laminograph according to the eighth embodiment, each of the above-described embodiments measures the distance to the surface 14a of the substrate 14 which is the focal plane by using the distance measuring device, and the focal plane is measured based on the measured distance. While the focus is adjusted, the focus is adjusted using a pattern on the image. Examples of this pattern include a wiring pattern, a solder pattern,
A board pattern or the like obtained as setting data in advance is used.

【０１４３】図１８においては、放射線源５１の放射線
焦点Ｓから発生する放射線ビーム５２は被検体５４を透
過し、放射線面センサ５３で検出される。放射線面セン
サ５３は同図に示すようにｘｙ平面を測定面として設定
されている。被検体５４は、同図においてその表面にＡ
という文字が設けられ、裏面にＢという文字が設けられ
ており、該被検体５４は図示しない走査手段によりｘ軸
方向に平行に移動させられ、等しい走査量毎に放射線面
センサ５３と図示しないデータ収集装置により被検体５
４の透過画像が得られる。図示しない画像処理装置は透
過画像をそれぞれ微分し２値化した後、ｘ方向にずらし
ながら、基準画像と相関を取る。そして、パターンが合
致した位置で相関値Ｉが大きくなる。In FIG. 18, the radiation beam 52 generated from the radiation focus S of the radiation source 51 passes through the subject 54 and is detected by the radiation surface sensor 53. The radiation surface sensor 53 is set with the xy plane as the measurement surface, as shown in FIG. The subject 54 has an A on the surface in FIG.
Is provided, and the letter B is provided on the back surface. The subject 54 is moved in parallel in the x-axis direction by the scanning means (not shown), and the radiation surface sensor 53 and the data (not shown) are set for each equal scanning amount. Subject 5 by collecting device
A transmission image of 4 is obtained. An image processing apparatus (not shown) differentiates the transmission image and binarizes the transmission image, and then shifts the transmission image in the x direction to obtain a correlation with the reference image. Then, the correlation value I increases at the position where the patterns match.

【０１４４】すなわち、図１９に示すように、画像処理
装置において微分し２値化された透過画像をｘ軸方向に
ずらしながら、基準画像と相関をとると、被検体５４の
表面のパターンＡが合致する場合と、裏面のパターンＢ
が合致する場合の２つのずらし量ξ1 ，ξ2 で相関値Ｉ
がピークとなるというように２つのピークが現れる。That is, as shown in FIG. 19, when the transmission image which has been differentiated and binarized in the image processing apparatus is shifted in the x-axis direction and correlated with the reference image, the pattern A on the surface of the subject 54 is obtained. When they match, pattern B on the back
When the two values are equal to each other, the correlation value I
There are two peaks such that the peak is a peak.

【０１４５】被検体５４が表面にパターンＡを有し、裏
面にパターンＢを有する２層基板の場合には、放射線源
５１に近い方の表面はずらし量の大きい方にピークを形
成し、遠い方の裏面はずらし量の小さい方にピークを形
成する。従って、表面のパターンＡにピントを合わせた
い場合には、２つのピークのうち大きい方のずらし量ξ
1 を選択するように指定制御する。そして、画像処理装
置は透過画像をｘ方向にずらし量ξ1 だけずらして基準
画像に加算平均する。この処理を全透過画像について行
うことにより、被検体５４の表面に焦点の合った透過画
像である断層像を得ることができる。When the subject 54 is a two-layer substrate having the pattern A on the front surface and the pattern B on the back surface, a peak is formed on the side closer to the radiation source 51 with a large amount of surface offset, and is far away. A peak is formed on the side with the smaller offset amount on the back side. Therefore, when it is desired to focus on the surface pattern A, the larger displacement amount ξ of the two peaks
Specified control to select 1. Then, the image processing apparatus shifts the transparent image in the x direction by the shift amount ξ1 and averages the average with the reference image. By performing this processing on all transmission images, a tomographic image that is a transmission image in which the surface of the subject 54 is in focus can be obtained.

【０１４６】なお、例えば被検体５４が４層の基板の場
合には、上述したように相関を取ると、４つのピークが
できるので、このうちずらし量が大きい方から何番目か
を指定することにより、所望の層に焦点の合った透過画
像を得ることができる。For example, when the object 54 is a four-layer substrate, four peaks are formed when the correlation is obtained as described above. Therefore, it is necessary to specify which of the larger shift amounts is larger. Thus, it is possible to obtain a transmission image in which a desired layer is in focus.

【０１４７】図２０（ａ），（ｂ）は、それぞれ本発明
の第９の実施例に係わるラミノグラフの構成を示す正面
図および平面図であり、同図（ａ）の一部は同図（ｂ）
のＡ−Ａ線から見た断面を示している。20 (a) and 20 (b) are respectively a front view and a plan view showing the configuration of a laminograph according to the ninth embodiment of the present invention, and a part of FIG. 20 (a) is shown in FIG. b)
The cross section seen from the AA line of FIG.

【０１４８】図２０に示すラミノグラフは、図１に示し
た第１の実施例の構成において距離測定装置２３がない
ことを除いて第１の実施例の構成と同じ構成である。ま
た、図２０に示すラミノグラフに使用されている検出器
１３は、図３に示した第１の実施例のものと同じであ
る。The laminograph shown in FIG. 20 has the same configuration as that of the first embodiment except that the distance measuring device 23 is not provided in the configuration of the first embodiment shown in FIG. Further, the detector 13 used in the laminograph shown in FIG. 20 is the same as that of the first embodiment shown in FIG.

【０１４９】次に、図２０に示す第９の実施例の作用を
図２１〜２４を参照して説明する。図２１は、前述した
図４に示す図と同じ図であり、基板１４を示している
が、距離測定位置Ｑが特に指定されていないものであ
る。Next, the operation of the ninth embodiment shown in FIG. 20 will be described with reference to FIGS. FIG. 21 is the same drawing as that shown in FIG. 4 and shows the substrate 14, but the distance measurement position Q is not specified.

【０１５０】図２１に示す基板１４をｘ移動機構１６お
よびｙ移動機構１８により移動させて、走査領域Ａ1 〜
Ａ4 の透過画像をデータ収集装置２０で順次得て、画像
処理装置２１により検査領域２６ａ〜２６ｆの断層像を
順次作成する。これらの走査領域と検査領域の位置は基
板１４の一端を始点とするＸ，Ｙ座標で記述され、予め
基板の形式毎に機構制御装置に記憶しておくので、操作
者は形式を指定するだけで検査領域の断層像を得ること
ができる。The substrate 14 shown in FIG. 21 is moved by the x-moving mechanism 16 and the y-moving mechanism 18 to scan the scanning areas A1 ...
A transmission image of A4 is sequentially acquired by the data acquisition device 20, and the image processing device 21 sequentially creates tomographic images of the inspection regions 26a to 26f. The positions of the scanning area and the inspection area are described in X and Y coordinates with one end of the board 14 as a starting point and are stored in advance in the mechanism control device for each board type, so that the operator only needs to specify the format. It is possible to obtain a tomographic image of the inspection region.

【０１５１】図２１に示す基板１４は前述した図５に示
すような半田付け部２５を有し、基板１４の表面１４ａ
が焦点面になっている。このような基板１４に対して、
基板の裏面やおもて面の部品に邪魔されることなく、半
田付け部を検査するために、おもて面の表面１４ａに焦
点を合わせる必要がある。ここで、基板１４にそりがあ
る場合には、１つの焦点面に焦点が合うだけであるの
で、すべての検査領域の半田付け部に同時に焦点を合わ
せることはできなくなる。そこで、本実施例では、検査
領域それぞれで別々の焦点面を設定して断層像を作成す
るようにしている。The board 14 shown in FIG. 21 has the soldering portion 25 as shown in FIG.
Is the focal plane. For such a substrate 14,
It is necessary to focus on the front surface 14a in order to inspect the soldered part without being disturbed by the components on the back surface or front surface of the board. Here, when there is a warp on the substrate 14, only one focal plane is focused, so that it is not possible to simultaneously focus on the soldered portions of all the inspection areas. Therefore, in this embodiment, tomographic images are created by setting different focal planes for each examination region.

【０１５２】次に、図２２〜図２４を参照して、１つの
検査領域２６ａについてその断層像が画像処理装置２１
で作成される作用を説明する。Next, referring to FIGS. 22 to 24, the tomographic image of one inspection region 26a is obtained by the image processing device 21.
The operation created by will be described.

【０１５３】まず、図２２に示すように、基板１４がｘ
軸方向に移動させられ（移動量をＰとする）、その移動
量変化ΔＰ毎に透過画像を収集し、この透過画像をすべ
て画像処理装置２１のメモリに一旦記憶する。次に、移
動量Ｐo とＰo ＋Ｎ・Ｐo の２つの透過画像を使用し、
「ずらし量」を求める。なお、Ｐo とＮは検査領域の基
板上の位置によって決められ、検査領域の位置が透過画
像の両端に近くなる２つの透過画像が選択される。First, as shown in FIG. 22, the substrate 14 is x
It is moved in the axial direction (the moving amount is P), a transparent image is collected for each change ΔP in the moving amount, and all the transparent images are temporarily stored in the memory of the image processing device 21. Next, using two transmitted images of the movement amount Po and Po + N · Po,
Calculate the "shift amount". Note that Po and N are determined by the position of the inspection area on the substrate, and two transparent images in which the positions of the inspection area are close to both ends of the transparent image are selected.

【０１５４】このように選択された移動量Ｐo とＰo ＋
Ｎ・Ｐo の２つの透過画像をそれぞれ微分（エッジ強
調）および２値化処理を行うと、図２３に示すように輪
郭のみの画像が得られる。そこで、これらの相関を取
る。相関を取る方法には種々あるが、ここでは対応する
画素間の論理演算を行い、その結果の画像のすべての画
像を足し合わせる方法を取る。そして、画像をｘ軸方向
にずらしながら検査領域のみの相関をとっていき、ずら
し量ξについて相関値Ｉのピークを検出する。The movement amounts Po and Po + selected in this way
By performing differentiation (edge emphasis) and binarization processing on the two N.P.O. transparent images, respectively, an image with only contours is obtained as shown in FIG. Therefore, these correlations are taken. There are various methods of obtaining the correlation, but here, a method of performing a logical operation between corresponding pixels and adding all the images of the resulting images is used. Then, while shifting the image in the x-axis direction, the correlation of only the inspection region is taken, and the peak of the correlation value I is detected for the shift amount ξ.

【０１５５】４層の基板の場合には、図２３に示すよう
に、各層のパターンの相関に対応して４つのピークが現
れる。これは、ずらし量ξの大きい順からＸ線管１１に
近い面に対応し、それぞれずらし量ξ1 ，ξ2 ，ξ3 ，
ξ4 が求められる。なお、ずらし量ξ1 〜ξ4 の両外側
に小さなピークが現れるが、これは電子部品の内部にあ
るパターンからできるものである。この小さなピークは
しきい値でカットし、カウントしない。In the case of a four-layer substrate, as shown in FIG. 23, four peaks appear corresponding to the correlation of the patterns of each layer. This corresponds to the surface closer to the X-ray tube 11 from the larger displacement amount ξ, and the displacement amounts ξ1, ξ2, ξ3,
ξ4 is required. It should be noted that small peaks appear on both outer sides of the shift amounts ξ1 to ξ4, which are caused by the pattern inside the electronic component. This small peak is cut at the threshold and not counted.

【０１５６】上述したように、ピークができる一番小さ
なずらし量ξ4 がここで求める基板１４の表面１４ａに
対応するものである。As described above, the smallest shift amount ξ 4 at which the peak is generated corresponds to the surface 14a of the substrate 14 obtained here.

【０１５７】次に、ずらし量ξ4 から前記移動量変化Δ
Ｐ’である隣接する透過画像間のずらし量ΔＰ’を次式
から算出する。 ΔＰ’＝ξ4 ／Ｎ …（４） 以上のようにして、ΔＰ’が得られると、次に画像処理
装置２１において加算平均処理を行う。これは、図２４
に示すように、同一移動位置Ｐで得られた複数の検出器
１３による画像を検出器１３の間隔をとってｘ，ｙ平面
に並べて、１枚の画像とし（検出器が１個の場合にはそ
のままでよい）、ΔＰ毎に複数枚の画像をそれぞれｘ軸
方向に前記ΔＰ’ずつずらして加算平均する（１次補間
計算を含む）。Next, from the shift amount ξ4, the movement amount change Δ
The shift amount ΔP ′ between the adjacent transmission images, which is P ′, is calculated from the following equation. .DELTA.P '=. Xi.4 / N (4) When .DELTA.P' is obtained as described above, the image processing apparatus 21 next performs addition averaging processing. This is shown in FIG.
As shown in, the images obtained by the plurality of detectors 13 obtained at the same movement position P are arranged on the x and y planes at intervals of the detectors 13 to form one image (in the case where there is one detector, May be left unchanged), and a plurality of images are shifted by ΔP ′ in the x-axis direction for each ΔP, and averaged (including primary interpolation calculation).

【０１５８】このようにすることにより、基板１４の上
層である検査面、すなわち焦点面上の点は常に同一位置
に重ね合わされるので、強調され、その面上にない点は
ずれて重ね合わされるので、目立たなくなる。このよう
にして、基板１４の上層にピントの合った透過画像であ
る断層像が得られる。By doing so, the points on the inspection surface which is the upper layer of the substrate 14, that is, the points on the focal plane are always superposed at the same position, so that they are emphasized, and the points not on the surface are deviated and superposed. , Becomes unnoticeable. In this way, a tomographic image that is a transmission image in focus on the upper layer of the substrate 14 is obtained.

【０１５９】なお、上記実施例において、Ｐo とＮの異
なる複数組の透過画像からそれぞれΔＰ’を求め平均化
して、ΔＰ’を得ることにより統計精度を上げることも
できる。In the above embodiment, it is also possible to improve the statistical accuracy by obtaining ΔP ′ by deriving and averaging ΔP ′ from a plurality of sets of transmission images having different Po and N.

【０１６０】また、上記実施例において、焦点面位置は
ΔＰ’に微小補正項を加えることにより、基板１４の上
層よりもわずかに上または下にセットすることも可能で
あり、半田の厚さを考慮して、より半田に焦点面を合わ
せることもできる。Further, in the above embodiment, the focal plane position can be set slightly above or below the upper layer of the substrate 14 by adding a small correction term to ΔP ′, and the solder thickness can be set. Considering this, the focal plane can be more focused on the solder.

【０１６１】更に、１枚１枚の透過画像についてそれぞ
れ基準透過画像と相関をとって、ずらし量を求めること
もできる。この場合には、データ収集ピッチΔＰは一定
である必要はなく、全く未知の値であってもよい。Further, it is possible to obtain the shift amount by correlating each transparent image with the reference transparent image. In this case, the data collection pitch ΔP does not have to be constant and may be a completely unknown value.

【０１６２】上記実施例では、基板にそりがあっても、
検査面に焦点の合った断層像を得ることができる。ま
た、基板の厚さが変わって、または基板クランプ１９の
仕方が悪く、検査面位置がずれても、調整することな
く、検査面に焦点の合った断層像を得ることができる。
更に、機械的な位置関係がずれていても（すなわち、未
調整でも）、検査面に焦点の合った断層像を得ることが
できる。In the above embodiment, even if the substrate has a warp,
It is possible to obtain a tomographic image focused on the inspection surface. Further, even if the inspection plane position is displaced due to a change in the thickness of the substrate or the substrate clamp 19 is not properly operated, a tomographic image focused on the inspection plane can be obtained without adjustment.
Further, even if the mechanical positional relationship is deviated (that is, even if it is not adjusted), a tomographic image focused on the inspection surface can be obtained.

【０１６３】また、上記実施例では、光学的、機械的な
基板面位置測定手段または基板位置合わせ手段を用いる
ことなく、透過画像のみから検査面への焦点合わせがで
き、検査面に焦点の合った断層像が得られる。Further, in the above-mentioned embodiment, it is possible to focus only on the transmission image to the inspection surface without using optical or mechanical substrate surface position measuring means or substrate positioning means, and the inspection surface is focused. A tomographic image can be obtained.

【０１６４】図２５は、本発明の第１０の実施例に係わ
るラミノグラフの作用を示す説明図である。なお、この
第１０の実施例を達成するラミノグラフの構成は、図２
０に示した第９の実施例のものと同じである。FIG. 25 is an explanatory diagram showing the operation of the laminograph according to the tenth embodiment of the present invention. The configuration of the laminograph that achieves this tenth embodiment is shown in FIG.
This is the same as that of the ninth embodiment shown in FIG.

【０１６５】この第１０の実施例は、上述した第９の実
施例が基板上の配線パターンを用いて焦点合わせを行っ
たのに対して、半田パターンを用いて焦点合わせを行う
ものである。In the tenth embodiment, the focus is adjusted using the wiring pattern on the substrate in the ninth embodiment, whereas the focus is adjusted using the solder pattern.

【０１６６】図２５（ａ）に示す透過画像を見ると、半
田部分の濃度が高いことがわかるが、本実施例はこの濃
度の高い半田部分を利用して、これを２値化し、図２５
（ｂ）に示す画像を作成する。なお、図２５において、
２８はコンデンサであり、２４ａは検査対象のＩＣであ
る。From the transmission image shown in FIG. 25 (a), it can be seen that the density of the solder portion is high. In this embodiment, the solder portion having this high density is utilized to binarize this,
The image shown in (b) is created. In addition, in FIG.
28 is a capacitor, and 24a is an IC to be inspected.

【０１６７】図２５（ｂ）に示す画像では、配線パター
ンは取り除かれるが、コンデンサ２８等の吸収の強い部
品はまだ残っている。そこで、次に２値化の低レベル部
（図の黒部）の１つながり毎にラベル付けを行い、画像
処理のヒストグラム機能を使用して、各ラベルの面積を
求める。そして、面積の大きなラベル部分を取り除くこ
とにより、図２５（ｃ）に示す画像が得られる。In the image shown in FIG. 25 (b), the wiring pattern is removed, but components such as the capacitor 28 having strong absorption still remain. Therefore, next, labeling is performed for each connection of the binarized low-level portion (black portion in the figure), and the area of each label is obtained using the histogram function of image processing. Then, by removing the label portion having a large area, the image shown in FIG. 25 (c) is obtained.

【０１６８】このようにして作成したおくり量Ｐ＝Ｐo
とＰ＝Ｐo ＋Ｎ・ΔＰの画像間で図２６に示すように相
関を取り、前記第９の実施例と同様にずらし量ΔＰ’を
求める。以降の処理は第９の実施例と同様の処理を行う
ことにより断層像を得ることができる。[0168] The amount of surplus P thus created is P = Po
26 and P = Po + N.multidot..DELTA.P are correlated with each other as shown in FIG. 26, and the shift amount .DELTA.P 'is obtained as in the ninth embodiment. The subsequent processing can obtain a tomographic image by performing the same processing as in the ninth embodiment.

【０１６９】なお、本実施例では、直接半田パターンを
用いてピント合わせを行っているので、配線パターンの
状態に影響されず、誤動作の少ないピント合わせが可能
であるとともに、または微分処理等の時間のかかる画像
処理を省くことができ、計算時間を短縮することができ
る。In this embodiment, since the direct soldering pattern is used for focusing, it is possible to perform focusing with less malfunction without being influenced by the state of the wiring pattern, or the time required for the differential processing or the like. Such image processing can be omitted, and the calculation time can be shortened.

【０１７０】また、第１０の実施例においては、第９の
実施例と同様に、Ｐo とＮの複数組の透過画像からΔ
Ｐ’を求め平均化して、統計精度を上げることができ、
またΔＰ’に微小補正項を加えることにより焦点面の微
調が可能であり、１枚１枚の透過画像をそれぞれ基準透
過画像と相関を取り、単独にずらし量を求めることも可
能である。Further, in the tenth embodiment, as in the ninth embodiment, Δ is calculated from a plurality of sets of transmission images Po and N.
P'can be calculated and averaged to improve statistical accuracy,
Further, the focal plane can be finely adjusted by adding a small correction term to ΔP ′, and it is also possible to obtain the shift amount independently by correlating each transmission image with the reference transmission image.

【０１７１】図２７は、本発明の第１１の実施例に係わ
るラミノグラフを示す図である。この第１１の実施例
は、Ｘ線焦点Ｓを有するＸ線管８１とＸ線面センサであ
る検出器８３とを被検体である基板８４を挟んで対向さ
せるとともに、両者を回転軸８６の周りで同期して回転
させるようにしたものである。なお、図２７において、
８２はＸ線管８１から出力されるＸ線ビームである。FIG. 27 is a diagram showing a laminograph according to the eleventh embodiment of the present invention. In the eleventh embodiment, an X-ray tube 81 having an X-ray focal point S and a detector 83, which is an X-ray surface sensor, are opposed to each other with a substrate 84, which is an object to be examined, interposed therebetween, and both are arranged around a rotation axis 86. It is designed to rotate in synchronization with. Note that in FIG. 27,
Reference numeral 82 is an X-ray beam output from the X-ray tube 81.

【０１７２】本実施例では、Ｘ線面センサである検出器
８３はｘｙ平面で示される測定面を回転面と平行にし
て、その方位を維持しつつ回転軸８６の周囲を回転させ
られ、この回転走査の等しい回転角毎に被検体の透過画
像が得られる。In the present embodiment, the detector 83, which is an X-ray surface sensor, is rotated around the rotary shaft 86 while maintaining its orientation by making the measurement plane indicated by the xy plane parallel to the plane of rotation. A transmission image of the subject is obtained for each equal rotation angle of the rotation scan.

【０１７３】また、本実施例では、図２８に示すよう
に、画像処理手段は、透過画像をそれぞれ微分、２値化
した後、ｘ，ｙ軸方向にずらしながら、基準画像と相関
を取る。パターンが合致した位置で相関値Ｉが大きくな
り、２層にパターンがある場合、相関値Ｉは、ｘ軸方向
のずらし量ξとｙ軸方向のずらし量ηにおいて（ξ1 ，
η1 ）、（ξ2 ，η2 ）の２ヶ所でピークができる。そ
して、ずらし量（ξ2 ＋η2 ）1/2 が大きい方がＸ線管
８１に近い層のパターンによって生じるピークであり、
小さい方が遠い層のパターンによって生じるピークであ
る。Further, in the present embodiment, as shown in FIG. 28, the image processing means differentiates and binarizes the transmission image, respectively, and then shifts the transmission image in the x and y axis directions to obtain a correlation with the reference image. When the correlation value I becomes large at the position where the patterns match and there are patterns in two layers, the correlation value I becomes (ξ 1,
There are two peaks at η1) and (ξ2, η2). The larger the shift amount (ξ 2 + η 2 ) 1/2 is the peak generated by the pattern of the layer closer to the X-ray tube 81,
The smaller one is the peak caused by the pattern of the distant layer.

【０１７４】図２７，２８に示す実施例では、被検体で
ある基板の上層のパターンＡに焦点を合わせる場合、ず
らし量は大きい方の（ξ1 ，η1 ）を選択する。各透過
画像について同様にずらし量を求め、加算平均化を行う
ことにより、上層Ａに焦点の合った透過画像が得られ
る。In the embodiments shown in FIGS. 27 and 28, when focusing on the pattern A on the upper layer of the substrate which is the subject, the one with the larger shift amount is selected (ξ 1, η 1). By similarly obtaining the shift amount for each transmission image and performing addition averaging, a transmission image in which the upper layer A is in focus can be obtained.

【０１７５】透過画像収集が等回転角度毎に行われる場
合には、上述した相関取りはすべての透過画像について
行う必要はない。図２９に示すように、α°画像を基準
として、１８０°離れたα°＋１８０°画像との相関を
取り、ずらし量（ξ1 ，η1）を得る。以降の処理は、
（０，０）−（ξ1 ，η1 ）を直径とする円を描き、収
集角度ピッチ毎に割り振れば、各透過画像のずらし量
（ξ，η）を求めることができる。When transmission image collection is performed for each equal rotation angle, the above-described correlation need not be performed for all transmission images. As shown in FIG. 29, a shift amount (ξ1, η1) is obtained by taking a correlation with an α ° + 180 ° image 180 ° apart with the α ° image as a reference. Subsequent processing,
By drawing a circle having a diameter of (0, 0)-(ξ1, η1) and allocating it for each collection angle pitch, the shift amount (ξ, η) of each transmission image can be obtained.

【０１７６】また、前記第９および第１０の実施例と同
様に相関取りの組を何組か設け平均化して、ずらし量を
求めることにより、統計精度を向上することができ、前
記ずらし量の円の直径を同心で少し変えることにより、
焦点面の微調も可能である。Further, as in the ninth and tenth embodiments, by providing some correlation sets and averaging them to obtain the shift amount, the statistical accuracy can be improved, and the shift amount can be improved. By changing the diameter of the circle slightly concentrically,
Fine adjustment of the focal plane is also possible.

【０１７７】図３０は、本発明の第１２の実施例に係わ
るラミノグラフの作用を示す説明図である。この第１２
の実施例のラミノグラフの構成は、図２０に示した第９
の実施例に示した構成と同じである。前記第９の実施例
では、透過画像間の相関を取ることにより、ずらし量を
求めたが、この第１２の実施例では、透過画像と予め設
定データとして得られている基板パターンとの間の相関
を取ることによりずらし量を求めている。FIG. 30 is an explanatory diagram showing the operation of the laminograph according to the twelfth embodiment of the present invention. This 12th
The configuration of the laminograph of the embodiment of FIG.
The configuration is the same as that shown in the embodiment. In the ninth embodiment, the shift amount is obtained by taking the correlation between the transparent images, but in the twelfth embodiment, the shift amount between the transparent image and the substrate pattern obtained as the preset data is obtained. The shift amount is obtained by taking the correlation.

【０１７８】すなわち、図３０において９６で示すＣＡ
Ｄデータによる基板の表面パターン像と、Ｐ＝Ｐo の時
の透過画像を微分、２値化した透過画像との相関を取
り、その相関値Ｉのピーク値を与えるずらし量ξo を求
めるとともに、図３１において同様に９６で示すＣＡＤ
データによる基板の表面パターン像と、Ｐ＝Ｐo ＋Ｎ・
ΔＰの時の透過画像を微分、２値化した透過画像との相
関を取り、その相関のピーク値を与えるずらし量ξN を
求める。そして、このようにして求めたずらし量ξo と
ξN から次式により隣合う透過画像間のずらし量ΔＰ’
を求め、各透過画像をΔＰ’ずつずらしながら加算平均
化することにより、所望の基板パターンにピントの合っ
た断層像を得ることができる。That is, CA indicated by 96 in FIG.
The surface pattern image of the substrate by the D data and the transmission image obtained by differentiating and binarizing the transmission image when P = Po are taken to obtain the shift amount ξo giving the peak value of the correlation value I, and CAD indicated by 96 similarly in 31
The surface pattern image of the substrate based on the data, P = Po + N.
The transmission image at ΔP is differentiated and the correlation with the binarized transmission image is obtained, and the shift amount ξ N giving the peak value of the correlation is obtained. Then, from the shift amounts ξo and ξN thus obtained, the shift amount ΔP 'between the adjacent transmission images is calculated by the following equation.
Then, the transmission images are shifted by ΔP ′ and added and averaged to obtain a tomographic image in focus on the desired substrate pattern.

【０１７９】この第１２の実施例では、相関取りで大き
なピークは１ヶ所のみとなるので、確実にずらし量が求
まり、基板の上層、下層にパターンと部品が複雑に組み
合わされた実装基板にも容易に適用することができる。In the twelfth embodiment, since there is only one large peak in correlation, the shift amount can be reliably obtained, and it can be applied to a mounting board in which patterns and parts are complicatedly combined in the upper and lower layers of the board. Can be easily applied.

【０１８０】また、第１２の実施例では、Ｘ線焦点ずれ
が生じても、検査面に焦点の合った断層像を得ることが
できる。Further, in the twelfth embodiment, it is possible to obtain a tomographic image focused on the inspection surface even if X-ray defocus occurs.

【０１８１】なお、上述した第９〜第１２の実施例のラ
ミノグラフは、前述した図１５および図１６に示したよ
うな走査方式のラミノグラフにも適用可能であることは
勿論である。The laminographs of the ninth to twelfth embodiments described above can, of course, be applied to the scanning laminographs shown in FIGS. 15 and 16.

【０１８２】図３２は、本発明の第１３の実施例に係わ
るラミノグラフの構成を示すブロック図である。FIG. 32 is a block diagram showing the structure of a laminograph according to the thirteenth embodiment of the present invention.

【０１８３】上述した各実施例においては、異なる多数
の方向から得た透視画像をピント面のみが重なるように
重ね合わせて、ピント面以外の画像をぼかすことにより
ピント面の断層像を得ているが、ピント面以外の画像中
に濃度的にピント面に存在する画像よりも支配的なもの
が存在すると、完成した断層像のＳＮ比は劣化するとい
う問題がある。そこで、ＳＮ比を改良するためには、す
なわちピント面以外の情報をぼかすためには、より角度
がついた、より多くの方向の画像が必要になり、データ
収集が難しく、複雑になり、時間も多くかかることにな
るという問題がある。In each of the above-described embodiments, perspective images obtained from a number of different directions are superposed so that only the focus planes overlap, and the images other than the focus planes are blurred to obtain a tomographic image of the focus planes. However, if an image other than the focus plane is more dominant in density than the image existing on the focus plane, there is a problem that the SN ratio of the completed tomographic image deteriorates. Therefore, in order to improve the SN ratio, that is, in order to blur information other than the focus plane, images with more angles and more directions are required, which makes data collection difficult, complicated, and time-consuming. There is a problem that it will take a lot.

【０１８４】そこで、第１３の実施例では、上記問題を
解消するために、画像再構成処理において前処理を行う
ことにより、ピント面の画像のＳＮ比を改善するもので
ある。また、深さ方向で多くのラミノ画像を得ることが
できるが、その画像表示についても３次元的表示により
立体的に行うものである。Therefore, in the thirteenth embodiment, in order to solve the above problem, pre-processing is performed in the image reconstruction processing to improve the SN ratio of the image on the focus plane. Further, although many lamino images can be obtained in the depth direction, the image display is also three-dimensionally performed by three-dimensional display.

【０１８５】この第１３の実施例のラミノグラフの基本
的原理について説明すると、ピント面の画像は予め濃度
範囲を予想できるが、透視画像の段階で予想した濃度を
上回るかまたは下回る画像濃度を有する画素がある場合
には、この画素をデータ変換して、加算画像に対して影
響を緩和させる。また、ピント面の画像は予め画像構成
要素の形状を予測し得るが、透視画像の段階で予想した
形状以外の画像は濃度的または形状的なデータ変換を行
い、加算画像に対する影響を緩和させる。更に、多数の
ラミノ画像は画像強調を行ってから、加算処理して１枚
の画像として表示することにより、全体の把握を能率よ
く行うものである。Explaining the basic principle of the laminograph of the thirteenth embodiment, the image of the focus plane can predict the density range in advance, but the pixels having the image density higher or lower than the density expected at the stage of the perspective image. If so, this pixel is data-converted to reduce the influence on the added image. Further, the image of the focus plane can predict the shape of the image constituent element in advance, but the image other than the shape predicted at the stage of the perspective image is subjected to density or shape data conversion to reduce the influence on the added image. Further, a large number of lamino images are subjected to image enhancement, then subjected to addition processing and displayed as one image, so that the entire image can be grasped efficiently.

【０１８６】図３２を参照して、本実施例の構成につい
て説明する。図３２に示す本実施例のラミノグラフは、
Ｘ線を被検体に向けて発生するＸ線管１１１、該Ｘ線管
１１１を制御するＸ線制御装置１１０、前記Ｘ線管１１
１に被検体１１３を挟んで対向して設けられているＸ線
検出器を含むＸ線データ収集部１１２、被検体１１３を
移動させる機構部１１５、該機構部１１５および前記Ｘ
線制御装置１１０を制御する機構制御装置５０１からな
るＸ線データ収集装置１２０、および該Ｘ線データ収集
装置１２０に接続されている中央制御装置１１６、該中
央制御装置１１６に接続されているＣＲＴ６１２、ポイ
ンティングデバイス６１２１を有する。The configuration of this embodiment will be described with reference to FIG. The laminograph of this example shown in FIG. 32 is
An X-ray tube 111 that emits X-rays toward a subject, an X-ray controller 110 that controls the X-ray tube 111, and the X-ray tube 11
1, an X-ray data acquisition unit 112 including an X-ray detector provided to face each other with the subject 113 interposed therebetween, a mechanism unit 115 for moving the subject 113, the mechanism unit 115 and the X
An X-ray data acquisition device 120 including a mechanism control device 501 for controlling the X-ray control device 110, a central control device 116 connected to the X-ray data acquisition device 120, a CRT 612 connected to the central control device 116, It has a pointing device 6121.

【０１８７】前記中央制御装置１１６は、Ｘ線データ収
集装置１２０からＸ線データを受信してラミノグラフィ
として動作し、合成断面画像を作成するなどの画像処理
を行うものであり、全体の動作を制御するＣＰＵ６０
１、外部記憶装置６０２、Ｉ／Ｏインタフェース６０
６、データＩ／Ｏインタフェース６０７、画像メモリ６
０８、加算平均部６０９、画像処理部６１０、ディスプ
レイインタフェース６１１、濃度変換部６１３、形状フ
ィルタ部６１４、空間フィルタ部６１５、論理フィルタ
部６１６、特異点検出部６１７、およびこれらの各部を
接続するバス６０３，６０４，６０５を有する。The central control unit 116 receives the X-ray data from the X-ray data acquisition unit 120, operates as a laminography, and performs image processing such as creating a composite sectional image, and controls the overall operation. CPU 60
1, external storage device 602, I / O interface 60
6, data I / O interface 607, image memory 6
08, addition averaging unit 609, image processing unit 610, display interface 611, density conversion unit 613, shape filter unit 614, spatial filter unit 615, logical filter unit 616, singular point detection unit 617, and bus connecting these units. 603, 604, and 605.

【０１８８】以上のように構成されるラミノグラフにお
いて、ラミノ画像はピント面に対応する各異なる方向の
画像をシフトし、重ね合わせる方法、被検体を回転させ
て得た異なる方向の画像をピント面に応じてシフトや圧
縮、伸長を行い、重ね合わせる方法等を用いて再構成さ
れるが、本実施例では、Ｘ線透過の視野の中を被検体１
１３がＸ線データ収集部１１２の検出面と平行に移動す
るときに透視画像を得て、ラミノ画像を再構成する。In the laminograph configured as described above, the lamino image is a method of shifting and superimposing images in different directions corresponding to the focus plane, and images of different directions obtained by rotating the subject on the focus plane. According to the present embodiment, the object 1 is moved in the X-ray transmission visual field though it is reconstructed by a method such as shifting, compression, expansion, and superposition.
A fluoroscopic image is obtained when 13 moves in parallel to the detection surface of the X-ray data acquisition unit 112, and a lamino image is reconstructed.

【０１８９】被検体１１３が機構部１１５によって制御
されて移動すると、ピント面はその移動面における位置
により決まるセンサ上でのシフト量を有する。各透視画
像に対してピント面の移動によるシフトを与えた後加算
することにより、ピント面の情報のみが積分され、その
ほかの画像はぼけを生じる。When the object 113 moves under the control of the mechanism unit 115, the focus surface has a shift amount on the sensor which is determined by the position on the moving surface. By adding a shift due to the movement of the focus plane to each perspective image and then adding, only the information of the focus plane is integrated, and the other images are blurred.

【０１９０】次に、図３３に示すフローチャートを参照
して、図３２に示すラミノグラフの作用を説明する。図
３３においては、透視画像を収集し（ステップ３３１
０）、この透視画像を前処理し（ステップ３３２０）、
それからラミノ処理を行う。前処理は、透視画像から、
指定したしきい値Ｄt より高い濃度Ｄを有する領域を抽
出して２値化する（ステップ３３３０）。それから、画
像全体の濃度平均値を算出し（ステップ３３４０）、前
記２値化領域の濃度をその平均値Ｐd に置き換え（ステ
ップ３３５０）、そして画像加算することにより（ステ
ップ３３６０）、前処理済みの画像が得られる（ステッ
プ３３７０）。Next, the operation of the laminograph shown in FIG. 32 will be described with reference to the flowchart shown in FIG. In FIG. 33, perspective images are collected (step 331).
0), pre-process this perspective image (step 3320),
Then lamino treatment is performed. The preprocessing is from the perspective image,
A region having a density D higher than the designated threshold Dt is extracted and binarized (step 3330). Then, the density average value of the entire image is calculated (step 3340), the density of the binarized area is replaced with the average value Pd (step 3350), and the images are added (step 3360) to obtain the preprocessed image. An image is obtained (step 3370).

【０１９１】このようにして前処理済みの画像に対して
画像シフト（ステップ３３８０）および加算平均処理
（ステップ３３９０）を行い、これによりピント面の断
面画像を得る（ステップ３３９５）。この実施例では、
高濃度の画像がピント面に存在する可能性の少ないこと
が予想される場合に有効である。ピント面の画像の性質
が予測できない場合は、平均濃度に重みをつけた係数を
作用させてから抽出領域の画像データを変換する。ステ
ップ３３３０において、画像濃度Ｄが濃度しきい値Ｄt
よりも大きい領域を２値化したが、ピント面の画像の性
質により濃度しきい値Ｄt よりも小さい領域や濃度のバ
ンドを指定する。Image shift (step 3380) and averaging process (step 3390) are performed on the preprocessed image in this way, and a cross-sectional image of the focus plane is obtained (step 3395). In this example,
This is effective when it is expected that a high-density image is unlikely to exist on the focus surface. If the image quality of the image on the focus plane cannot be predicted, the weighted average density coefficient is applied and then the image data of the extraction region is converted. In step 3330, the image density D is the density threshold Dt.
Although a larger area is binarized, an area smaller than the density threshold Dt or a band having a density is designated due to the nature of the image on the focus surface.

【０１９２】前記前処理は、ピント面の画像ＳＮ比を改
善するためのものであるが、種々の前処理がある。The pre-processing is for improving the image SN ratio of the focus surface, but there are various pre-processings.

【０１９３】図３４は、前処理として形状フィルタを適
用するものであり、この処理は主として前記中央制御装
置１１６内の形状フィルタ部６１４により行われる。In FIG. 34, a shape filter is applied as preprocessing, and this processing is mainly performed by the shape filter unit 614 in the central control unit 116.

【０１９４】図３４の処理では、まず形状を処理する画
像の対象を抽出するために２値化を行う（ステップ３４
１０）。そして、この２値化された画像に対して２値化
領域形状フィルタリングを行う（ステップ３４２０）。
この処理では、まず２値化された画像に対してラベリン
グを行い（ステップ３４３０）、処理対象を認識する。
それから、対象画像の円形度を測定する（ステップ３４
４０）。指定した円形度のしきい値を上回る画像Ｐxyを
抽出し（ステップ３４５０）、この抽出した画像領域の
濃度変換を行い（ステップ３４６０）、加算し（ステッ
プ３４７０）、このように加算処理を行った前処理済み
の画像（ステップ３４８０）に対して、次の処理として
ラミノ処理を行う。なお、濃度変換は画像全体や局所の
濃度平均値、隣接画素の値などに変換する。In the processing of FIG. 34, first, binarization is performed to extract the object of the image whose shape is to be processed (step 34).
10). Then, binarized region shape filtering is performed on the binarized image (step 3420).
In this process, first, the binarized image is labeled (step 3430) to recognize the process target.
Then, the circularity of the target image is measured (step 34).
40). An image Pxy that exceeds the specified circularity threshold value is extracted (step 3450), the density of the extracted image area is converted (step 3460), and added (step 3470), and the addition processing is performed in this manner. Lamina processing is performed as the next processing on the preprocessed image (step 3480). It should be noted that the density conversion is performed by converting the density of the entire image or a local average value, the value of an adjacent pixel, or the like.

【０１９５】図３５は、前処理として空間フィルタを使
用するものであり、この処理は主として前記中央制御装
置１１６内の空間フィルタ部６１５により行われる。In FIG. 35, a spatial filter is used as preprocessing, and this processing is mainly performed by the spatial filter unit 615 in the central control unit 116.

【０１９６】図３５（ａ）の処理では、２値化（ステッ
プ３５１０）された後の領域の多値画像に対して、フィ
ルタ関数を使用させる（ステップ３５２０）。このフィ
ルタ関数の例を図３５（ｂ）において３４４で示す。こ
れは、５×５のマトリックスでぼかし処理を行うもので
ある。２値化領域とその他の領域を合成した後、前処理
済み画像とし（ステップ３５３０，３５４０）、この前
処理済みの画像に対して、次の処理としてラミノ処理が
行われる。In the process of FIG. 35 (a), the filter function is used for the multivalued image of the area after binarization (step 3510) (step 3520). An example of this filter function is shown by 344 in FIG. This is for performing blurring processing with a 5 × 5 matrix. After synthesizing the binarized area and other areas, a preprocessed image is obtained (steps 3530 and 3540), and the preprocessed image is subjected to the lamino processing as the next processing.

【０１９７】上述した各前処理は、複数組み合わせて使
用すると、より効果を発揮する場合が多い。透視画像の
特徴を強調したり、弱めたり、または消去する画像処理
手段は画像濃度、画像形状、画像の空間周波数領域で空
間周波数、論理フィルタリング、画像間演算、形態学的
処理（Morphological ）等の処理が可能である。When a plurality of the above-mentioned pretreatments are used in combination, the effect is often more exerted. Image processing means for emphasizing, weakening or erasing the characteristics of a fluoroscopic image include image density, image shape, spatial frequency in the spatial frequency region of an image, logical filtering, inter-image operation, morphological processing (Morphological), etc. It can be processed.

【０１９８】なお、前処理済み画像は通常の透視画像と
して図３３のステップ３３８０，３３９０で示したよう
に画像シフト、加算平均処理を行い、ピント面の断面画
像を得る。これらの処理は透視画像を取り込みながら、
予め指定した処理を自動的に実行できる。The preprocessed image is a normal perspective image, and is subjected to image shifting and averaging as shown in steps 3380 and 3390 of FIG. 33 to obtain a cross-sectional image of the focus plane. These processes, while capturing the fluoroscopic image,
The process specified in advance can be automatically executed.

【０１９９】次に、ここで図３２に示したラミノグラフ
の全体の作用を整理して説明する。被検体１１３が機構
部１１５により移動する間に、Ｘ線管１１１から放射さ
れるＸ線で被検体１１３は透過され、Ｘ線データ収集部
１１２に透視画像として取り込まれ、これにより移動中
に多方向の透視画像が得られる。透視データはデータＩ
／Ｏインタフェース６０７を介して中央制御装置１１６
の画像メモリ６０８に取り込まれる。２値化領域の切り
出し、形状の特徴パラメータの測定、空間フィルタ等の
処理は画像処理部６１０で行われる。加算平均部６０９
でピント面に応じたシフト量を与えた透視画像を作成
し、加算平均部６０９で加算平均を行い、所望のピント
面の断面像を得る。このデータ収集方式では、得られる
画像は被検体の移動方向と平行な面である。Next, the overall operation of the laminograph shown in FIG. 32 will be summarized and described. While the subject 113 is moving by the mechanism unit 115, the subject 113 is transmitted by the X-rays emitted from the X-ray tube 111 and is captured as a fluoroscopic image in the X-ray data acquisition unit 112. A perspective image of the direction is obtained. Perspective data is data I
Central controller 116 via the I / O interface 607
Of the image memory 608. The image processing unit 610 performs processing such as clipping of a binarized region, measurement of shape feature parameters, and spatial filtering. Averaging unit 609
A perspective image with a shift amount according to the focus plane is created in step S6, and arithmetic averaging is performed in the arithmetic averaging unit 609 to obtain a cross-sectional image of a desired focus plane. In this data acquisition method, the image obtained is a plane parallel to the moving direction of the subject.

【０２００】次に、完成したラミノ画像の表示について
図３６および図３７を参照して説明する。図３６の処理
において、ラミノ画像はシフト量等を変化させることに
よりピント面を移動させることができる。１度の透視動
作で得られる透視画像から厚さ方向に異なる面のラミノ
画像を得る（ステップ３６１０，３６２０）。ラミノ画
像を観察する目的に応じて断面画像の特徴点の抽出や、
強調を行う（ステップ３６３０）。この処理の例として
は、ステップ４０３１ａ〜ｃおよび図３７に示すよう
に、画像の形状が重要である場合には、空間フィルタで
エッジ強調を行い（ステップ４０３１ａおよび図３７
（ａ））、濃度的なものである場合には、指定する階調
のウィンドウ処理を行い（ステップ４０３１ｂおよび図
３７（ｂ））、同様に目的に応じた論理フィルタ、形状
フィルタを適用して画像の特徴付けを行うことができる
（ステップ４０３１ｃおよび図３７（ｃ））。画像処理
手段は、画像濃度、画像形状、画像の空間周波数領域で
空間周波数、論理フィルタリング、画像間演算、形態学
的処理（Morphological ）などを適用することができ
る。Next, the display of the completed lamino image will be described with reference to FIGS. 36 and 37. In the process of FIG. 36, the focus plane of the lamino image can be moved by changing the shift amount or the like. From the fluoroscopic image obtained by one fluoroscopic operation, lamino images of different planes in the thickness direction are obtained (steps 3610 and 3620). Extraction of feature points of cross-sectional image according to the purpose of observing the lamino image,
Emphasis is made (step 3630). As an example of this process, as shown in steps 4031a to 40c and FIG. 37, when the shape of the image is important, edge enhancement is performed by a spatial filter (steps 4031a and 37).
(A)) If it is a density one, window processing of a designated gradation is performed (step 4031b and FIG. 37 (b)), and similarly, a logical filter and a shape filter according to the purpose are applied. Image characterization can be performed (step 4031c and FIG. 37 (c)). The image processing means can apply image density, image shape, spatial frequency in the spatial frequency domain of the image, logical filtering, inter-image operation, morphological processing, and the like.

【０２０１】処理済みの画像を画像間加算処理を行う
と、多数の断面画像を１枚の画像として１度に観察し、
所望の情報を得ることができる（ステップ３６４０，３
６５０）。画像の視認性を改善するために、各画像の加
算時には単純加算のほかに画像間で何らかの重み付けを
行う。When the processed images are subjected to inter-image addition processing, a large number of cross-sectional images are observed as one image at a time,
The desired information can be obtained (steps 3640, 3
650). In order to improve the visibility of images, in addition to simple addition, some weighting is performed between images when adding each image.

【０２０２】図３８は３次元的な表示を行うものを示し
ている。ラミノ画像を奥行きの方向でずらして重ねるこ
とにより３次元的な画像表示が可能である。各画像で前
記画像強調を行っておくことにより、必要な情報が立体
的に表現される。奥行きに応じて画像濃度に重み付けを
行うと、半透明的表示も可能である。３次元表示自体は
多くの方法が公知になっており、前記半透明表示のほか
にワイヤーフレーム、表面表示等を用いてもよい。FIG. 38 shows what is displayed three-dimensionally. A three-dimensional image display is possible by shifting and stacking the lamino images in the depth direction. By performing the image enhancement on each image, necessary information is three-dimensionally expressed. A semi-transparent display is also possible by weighting the image density according to the depth. Many methods have been publicly known for three-dimensional display itself, and in addition to the semi-transparent display, a wire frame, surface display or the like may be used.

【０２０３】図３８において、５１および５１１は３次
元表示の画像上で指定した位置の断面画像を表示するも
のであり、奥行きをＣＲＴの走査線と対応させ、矢印を
移動させることにより次々に元の断面を呼び出して表示
する。奥行き方向は５１の３次元画像を拡大し、指定箇
所の指定を自由に行うことができる。この時に使用され
る画像の奥行き範囲は自由に選定し指定することができ
る。In FIG. 38, 51 and 511 are for displaying a cross-sectional image at a specified position on a three-dimensional display image, and the depth is made to correspond to the scanning line of the CRT, and the arrows are moved to successively reproduce the original image. Call and display the cross section of. In the depth direction, the three-dimensional image of 51 can be enlarged and the designated portion can be freely designated. The depth range of the image used at this time can be freely selected and specified.

【０２０４】図３９は３次元画像の中で指定した断面を
強調して表示するものである。カーソルで指定した画像
を通常の階調で表示し、他の画像を階調の圧縮を行い、
３次元表示する。このほかにも、強調の方法は多くあ
り、前記濃度、形状、各種フィルタによるものなどを用
いてもよい。また、指定画像のみをカラー表示してもよ
い。FIG. 39 shows the designated cross section in the three-dimensional image in an emphasized manner. Display the image specified by the cursor in normal gradation, compress the gradation of other images,
3D display. In addition to this, there are many emphasis methods, and the density, shape, and various filters may be used. Alternatively, only the designated image may be displayed in color.

【０２０５】上述した実施例では、ＳＮ比の優れたラミ
ノ画像を得ることができる。また、図３３に示すように
濃度的な特徴を有する領域の画像を改善することができ
る。更に、図３４および図３５にそれぞれ示すように形
状および空間周波数の上でピント面のＳＮ比を改善する
ことができる。３次元的表示により立体的な画像表示が
可能である。３次元画像の中で所望の画像を強調して見
ることができ、全体として把握しながら関心領域の観察
ができる。更に、加算した画像を観察することにより検
査能率を向上することができる。In the above-mentioned embodiment, a lamino image having an excellent SN ratio can be obtained. Further, as shown in FIG. 33, it is possible to improve the image of a region having a density characteristic. Further, as shown in FIGS. 34 and 35, respectively, the SN ratio of the focus surface can be improved in terms of shape and spatial frequency. A three-dimensional display enables a three-dimensional image display. A desired image can be emphasized in the three-dimensional image, and the region of interest can be observed while grasping as a whole. Furthermore, the inspection efficiency can be improved by observing the added images.

【０２０６】図４０は、本発明の第１４の実施例の定ピ
ッチ加算画像の表示を示す説明図である。同図におい
て、指定したビットの範囲のラミノ画像（図４０
（ａ））を加算して、図４０（ｂ）に示すような加算画
像を得て、図４０（ｃ）に示すように３次元的表示を行
っている。多数のラミノ画像の中で関心のある画像をま
とめて観察することにより能率を向上し、また見逃しを
防止することができる。FIG. 40 is an explanatory diagram showing display of a constant pitch addition image according to the 14th embodiment of the present invention. In the figure, a lamino image (Fig.
(A)) is added to obtain an added image as shown in FIG. 40 (b), and three-dimensional display is performed as shown in FIG. 40 (c). By collectively observing the images of interest among a large number of lamino images, efficiency can be improved and overlooking can be prevented.

【０２０７】図４１は本発明の第１５の実施例の特異画
像の検出と消去を示す説明図である。同図においては、
１方向に被検体を走査しながら透視画像を取ると、走査
方向に長い画像情報がピント面以外にあった場合には、
これをぼかすことが不可能である。そこで、透視画像の
特異点として、進行方向に連なる画像情報を検出し、情
報の影響度を少なくするか、予め取り除くか、または透
視方向を変更する指示や警告を発する。FIG. 41 is an explanatory diagram showing the detection and deletion of a peculiar image according to the fifteenth embodiment of the present invention. In the figure,
When a fluoroscopic image is taken while scanning the subject in one direction, if long image information in the scanning direction is present on a surface other than the focus plane,
It is impossible to blur this. Therefore, as a singular point of the fluoroscopic image, image information that is continuous in the traveling direction is detected, and an instruction or a warning is issued to reduce the degree of influence of the information, remove it in advance, or change the fluoroscopic direction.

【０２０８】図４２は、図４１に示した特異画像の検出
および消去処理を示すフローチャートである。この図４
２では、情報を取り除く場合と、透視方向を変更する場
合を示している。すなわち、図４２においては、透視画
像を２値化し（ステップ４２１０）、進行方向の直線の
検出にＨｏｕｇｈ変換を使用している（ステップ４２２
０）。なお、この変換は図３２の特異点検出部６１７で
行われる。Ｈｏｕｇｈ変換の後、透視方向を変更した
り、または原画像から直線を消去し（ステップ４２３
０）、ラミノ処理が行われる。また、被検体の走査方向
は予め分かっているので、その方向の画素の連結を見る
ことで簡単に検出可能である。Ｈｏｕｇｈ変換の場合
も、走査方向のみのパラメータを指定して処理を行う。
以上のようにして、断面画像上で間違った情報を表現す
ることを防止することができる。FIG. 42 is a flow chart showing the detection and deletion processing of the peculiar image shown in FIG. This Figure 4
2 shows a case where information is removed and a case where the perspective direction is changed. That is, in FIG. 42, the perspective image is binarized (step 4210), and Hough transform is used to detect a straight line in the traveling direction (step 422).
0). Note that this conversion is performed by the singular point detection unit 617 in FIG. After Hough conversion, the perspective direction is changed or a straight line is deleted from the original image (step 423).
0), lamino processing is performed. Further, since the scanning direction of the subject is known in advance, it can be easily detected by looking at the connection of the pixels in that direction. Also in the case of Hough conversion, the processing is performed by designating the parameters only in the scanning direction.
As described above, it is possible to prevent incorrect information from being expressed on the cross-sectional image.

【０２０９】[0209]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
被検体の焦点面の位置を測定し、この測定した焦点面の
位置に基づいて前記ずらしの量を算出しているので、所
望の面の断層像を適確に得ることができる。As described above, according to the present invention,
Since the position of the focal plane of the subject is measured and the shift amount is calculated based on the measured position of the focal plane, a tomographic image of the desired plane can be obtained accurately.

【０２１０】また、本発明によれば、ずらしの量を透過
画像上のパターンにより決定しているので、被検体の放
射線による透過画像の処理のみで所望の面に焦点を合わ
せることができ、所望の面の断層像を適確に得ることが
できる。Further, according to the present invention, since the shift amount is determined by the pattern on the transmission image, it is possible to focus on a desired surface only by processing the transmission image by the radiation of the subject. A tomographic image of the plane can be accurately obtained.

【０２１１】更に、本発明によれば、透過画像の特徴を
強調したり、弱めたり、消去した処理後の透過画像をラ
ミノグラフィ処理しているので、ラミノグラフィ画像の
ＳＮ比を改善することができるとともに、所望の画像情
報を強調したラミノグラフィ画像を得ることができ、ま
たラミノグラフィ画像群を加算した小数の画像として観
察することができる。Furthermore, according to the present invention, since the transparent image after the processing in which the characteristic of the transparent image is emphasized, weakened or erased is subjected to the laminography processing, the SN ratio of the laminography image can be improved. A laminography image in which desired image information is emphasized can be obtained, and the laminography image group can be observed as a small number of images.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明の第１の実施例に係わるラミノグラフの
構成を示す正面図および平面図であり、同図（ａ）の一
部は同図（ｂ）のＡ−Ａ線から見た断面を示している。1A and 1B are a front view and a plan view showing a configuration of a laminograph according to a first embodiment of the present invention, a part of FIG. 1A being a cross section taken along line AA of FIG. 1B. Is shown.

【図２】図１に示すラミノグラフに使用されている距離
測定装置の詳細な構成を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a detailed configuration of a distance measuring device used in the laminograph shown in FIG.

【図３】図１に示すラミノグラフに使用されている検出
器の詳細な構成を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a detailed configuration of a detector used in the laminograph shown in FIG.

【図４】図１に示すラミノグラフに使用されている被検
体である基板を示す図である。FIG. 4 is a view showing a substrate which is a subject used in the laminograph shown in FIG.

【図５】図４に示す基板の断面を示す図である。5 is a view showing a cross section of the substrate shown in FIG.

【図６】図１に示すラミノグラフの作用を示す説明図で
ある。FIG. 6 is an explanatory diagram showing the operation of the laminograph shown in FIG.

【図７】図１に示すラミノグラフの作用を示す説明図で
ある。FIG. 7 is an explanatory diagram showing the operation of the laminograph shown in FIG.

【図８】本発明の第２の実施例に係わるラミノグラフの
作用を説明するために使用される被検体である基板を示
す図である。FIG. 8 is a diagram showing a substrate which is an object used for explaining the operation of the laminograph according to the second embodiment of the present invention.

【図９】図８に示す基板を複数の三角形の領域のフェイ
スに分割した図である。9 is a diagram in which the substrate shown in FIG. 8 is divided into faces in a plurality of triangular regions.

【図１０】図８および図９に示す基板に対するポイント
ファイル、フェイステーブル、検査領域ファイルを示す
図である。FIG. 10 is a diagram showing a point file, a face table, and an inspection area file for the board shown in FIGS. 8 and 9;

【図１１】本発明の第３の実施例に係わるラミノグラフ
を説明するための図である。FIG. 11 is a diagram for explaining a laminograph according to the third embodiment of the present invention.

【図１２】本発明の第４の実施例に係わるラミノグラフ
を示す図である。FIG. 12 is a diagram showing a laminograph according to a fourth embodiment of the present invention.

【図１３】図１２に示す第４の実施例のラミノグラフの
構成を示す図である。13 is a diagram showing the configuration of a laminograph of the fourth embodiment shown in FIG.

【図１４】本発明の第５の実施例に係わるラミノグラフ
の要部の構成を示す図である。FIG. 14 is a diagram showing a configuration of a main part of a laminograph according to a fifth embodiment of the present invention.

【図１５】本発明の第６の実施例に係わるラミノグラフ
を示す図である。FIG. 15 is a diagram showing a laminograph according to a sixth embodiment of the present invention.

【図１６】本発明の第７の実施例に係わるラミノグラフ
を示す図である。FIG. 16 is a diagram showing a laminograph according to a seventh embodiment of the present invention.

【図１７】コントラスト法および三角測量法の１つの例
である像一致法を使用した距離測定装置の構成を示す図
である。FIG. 17 is a diagram showing a configuration of a distance measuring device using an image matching method which is one example of a contrast method and a triangulation method.

【図１８】本発明の第８の実施例に係わるラミノグラフ
の構成を示す図である。FIG. 18 is a diagram showing a configuration of a laminograph according to an eighth embodiment of the present invention.

【図１９】図１８に示すラミノグラフの作用を示す説明
図である。FIG. 19 is an explanatory diagram showing the operation of the laminograph shown in FIG.

【図２０】本発明の第９の実施例に係わるラミノグラフ
の構成を示す正面図および平面図であり、同図（ａ）の
一部は同図（ｂ）のＡ−Ａ線から見た断面を示してい
る。FIG. 20 is a front view and a plan view showing the configuration of a laminograph according to a ninth embodiment of the present invention, part of which is a cross section taken along line AA of FIG. Is shown.

【図２１】図２０に示すラミノグラフに使用されている
被検体である基板を示す図である。21 is a diagram showing a substrate which is a subject used in the laminograph shown in FIG. 20. FIG.

【図２２】図２０に示すラミノグラフの作用を示す説明
図である。22 is an explanatory diagram showing the operation of the laminograph shown in FIG.

【図２３】図２０に示すラミノグラフの作用を示す説明
図である。FIG. 23 is an explanatory diagram showing the operation of the laminograph shown in FIG. 20.

【図２４】図２０に示すラミノグラフの作用を示す説明
図である。24 is an explanatory diagram showing the operation of the laminograph shown in FIG.

【図２５】本発明の第１０の実施例に係わるラミノグラ
フの作用を示す説明図である。FIG. 25 is an explanatory diagram showing the operation of the laminograph according to the tenth embodiment of the present invention.

【図２６】図２５に示すラミノグラフの作用を示す説明
図である。FIG. 26 is an explanatory diagram showing the operation of the laminograph shown in FIG. 25.

【図２７】本発明の第１１の実施例に係わるラミノグラ
フを示す図である。FIG. 27 is a diagram showing a laminograph according to an eleventh embodiment of the present invention.

【図２８】図２７に示すラミノグラフの作用を示す説明
図である。28 is an explanatory diagram showing the operation of the laminograph shown in FIG. 27. FIG.

【図２９】図２７に示すラミノグラフの作用を示す説明
図である。FIG. 29 is an explanatory diagram showing the operation of the laminograph shown in FIG. 27.

【図３０】本発明の第１２の実施例に係わるラミノグラ
フの作用を示す説明図である。FIG. 30 is an explanatory diagram showing the operation of the laminograph according to the twelfth embodiment of the present invention.

【図３１】図３０に示すラミノグラフの作用を示す説明
図である。31 is an explanatory diagram showing the operation of the laminograph shown in FIG. 30. FIG.

【図３２】本発明の第１３の実施例に係わるラミノグラ
フの構成を示すブロック図である。FIG. 32 is a block diagram showing the structure of a laminograph according to a thirteenth embodiment of the present invention.

【図３３】図３２に示すラミノグラフの作用を示すフロ
ーチャートである。33 is a flowchart showing the operation of the laminograph shown in FIG. 32.

【図３４】図３２に示すラミノグラフにおける前処理と
して形状フィルタを適用した場合の処理を示すフローチ
ャートである。34 is a flowchart showing processing when a shape filter is applied as preprocessing in the laminograph shown in FIG. 32.

【図３５】図３２に示すラミノグラフにおける前処理と
して空間フィルタを使用した場合の処理を示すフローチ
ャートである。FIG. 35 is a flowchart showing processing when a spatial filter is used as preprocessing in the laminograph shown in FIG. 32.

【図３６】図３２に示すラミノグラフの作用を示すフロ
ーチャートである。FIG. 36 is a flowchart showing the operation of the laminograph shown in FIG. 32.

【図３７】図３６に示す処理に使用されている画像表示
処理（ラミノ画像処理）を示す図である。37 is a diagram showing an image display process (lamino image process) used in the process shown in FIG. 36.

【図３８】図３２に示すラミノグラフにおいて３次元的
な表示を行うものを示す図である。FIG. 38 is a diagram showing a three-dimensional display in the laminograph shown in FIG. 32.

【図３９】図３２に示すラミノグラフにおいて３次元画
像の中で指定した断面を強調して表示するものを示す図
である。FIG. 39 is a diagram showing the laminograph shown in FIG. 32 in which a designated cross section in a three-dimensional image is emphasized and displayed.

【図４０】本発明の第１４の実施例の定ピッチ加算画像
の表示を示す説明図である。FIG. 40 is an explanatory diagram showing display of a constant pitch addition image according to the fourteenth embodiment of the present invention.

【図４１】本発明の第１５の実施例の特異画像の検出と
消去を示す説明図である。FIG. 41 is an explanatory diagram showing detection and deletion of a peculiar image according to the fifteenth embodiment of the present invention.

【図４２】図４１に示した特異画像の検出および消去処
理を示すフローチャートである。42 is a flowchart showing the detection and deletion processing of the unique image shown in FIG. 41.

【図４３】従来のラミノグラフを示す図である。FIG. 43 is a diagram showing a conventional laminograph.

【図４４】従来のラミノグラフを示す図である。FIG. 44 is a diagram showing a conventional laminograph.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１１ Ｘ線管 １３ 検出器 １４ 基板（被検体） １５ ｘフレーム １６ ｘ移動機構 １７ ｙフレーム １８ ｙ移動機構 ２０ データ収集装置 ２１ 画像処理装置 ２２ 表示装置 ２３ 距離測定装置 11 X-ray tube 13 Detector 14 Substrate (subject) 15 x Frame 16 x Moving Mechanism 17 y Frame 18 y Moving Mechanism 20 Data Collecting Device 21 Image Processing Device 22 Display Device 23 Distance Measuring Device

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０５Ｋ 3/46 Ｗ 6921−4Ｅ (72)発明者 森 三樹 神奈川県横浜市磯子区新磯子町33 株式会 社東芝生産技術研究所内 (72)発明者 鈴木 博勝 東京都府中市東芝町１番地 株式会社東芝 府中工場内 (72)発明者 小菅 英男 東京都港区芝浦一丁目１番１号 株式会社 東芝本社事務所内─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification number Reference number within the agency FI Technical indication location H05K 3/46 W 6921-4E (72) Inventor Miki Mori 33, Isogo-cho, Isogo-ku, Yokohama-shi, Kanagawa (72) Inventor Hirokatsu Suzuki 1st Toshiba Town, Fuchu-shi, Tokyo Toshiba Fuchu Factory Ltd. (72) Inventor Hideo Kosuge 1-1-1, Shibaura, Minato-ku, Tokyo Toshiba Corporation Head office

Claims (40)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 被検体に向けて放射線を発生する放射線
源と、該放射線源に対向して設けられ、被検体を透過し
た前記放射線源からの放射線を２次元の分解能をもって
検出する放射線面センサと、前記放射線源と前記放射線
面センサとの間で被検体に異なった配置を順次取らせ、
この異なった各配置の被検体を前記放射線源からの放射
線で走査する走査手段と、該走査手段による走査の間に
前記放射線面センサの出力を順次収集し、透過方向の異
なる被検体の複数の透過画像を得るデータ収集手段と、
被検体の１つの焦点面に焦点の合った透過画像を作成す
べく前記データ収集手段で収集した前記複数の透過画像
を互いにずらしながら加算平均する画像処理手段と、被
検体の前記焦点面の位置を測定する位置測定手段と、該
位置測定手段で測定した前記焦点面の位置に基づいて前
記画像処理手段における前記ずらしの量を算出するずら
し量算出手段とを有することを特徴とするラミノグラ
フ。1. A radiation source that emits radiation toward a subject, and a radiation surface sensor that is provided so as to face the radiation source and that detects radiation from the radiation source that has passed through the subject with two-dimensional resolution. And causing the subject to sequentially take different arrangements between the radiation source and the radiation surface sensor,
A scanning unit that scans the differently arranged subjects with radiation from the radiation source, and outputs of the radiation surface sensor are sequentially collected during the scanning by the scanning unit, and a plurality of subjects having different transmission directions are collected. Data collection means for obtaining a transmission image,
Image processing means for adding and averaging the plurality of transmission images collected by the data collecting means while shifting them relative to each other to create a transmission image focused on one focal plane of the subject, and the position of the focal plane of the subject. A laminograph comprising: a position measuring unit that measures the position of the object; and a shift amount calculating unit that calculates the amount of the shift in the image processing unit based on the position of the focal plane measured by the position measuring unit. 【請求項２】 前記被検体は実装基板であることを特徴
とする請求項１記載のラミノグラフ。2. The laminograph according to claim 1, wherein the subject is a mounting substrate. 【請求項３】 前記走査手段は、ｘｙ平面を測定面とす
る前記放射線面センサと放射線源との間を被検体をｘ方
向に移動させる移動手段を有することを特徴とする請求
項１記載のラミノグラフ。3. The scanning means comprises moving means for moving the object in the x direction between the radiation surface sensor having an xy plane as a measurement surface and the radiation source. Laminograph. 【請求項４】 前記走査手段は、前記放射線面センサの
測定面にほぼ垂直な１つの回転軸に対して前記放射線源
を回転させ、この回転に同期して前記回転軸に対して前
記放射線面センサを方位を維持したまま公転させる手段
を有することを特徴とする請求項１記載のラミノグラ
フ。4. The scanning means rotates the radiation source about one rotation axis substantially perpendicular to a measurement surface of the radiation surface sensor, and the radiation surface is rotated relative to the rotation axis in synchronization with the rotation. The laminograph according to claim 1, further comprising means for revolving the sensor while maintaining its orientation. 【請求項５】 被検体を互いに直交するｘ，ｙ方向にそ
れぞれ移動させる移動手段と、前記ｘ，ｙ方向によって
形成されるｘｙ平面に平行な測定平面を有する放射線面
センサと、被検体を挟んで前記放射線面センサと対向し
て配設され、被検体に向けて放射線を発生する放射線源
と、被検体の表面に前記ｘ，ｙ方向と直角方向の位置を
測定する位置測定手段と、前記放射線面センサの出力を
被検体のｘ方向への移動の間に順次収集し、被検体の複
数の透過画像を得るデータ収集手段と、該データ収集手
段で得た前記複数の透過画像をｘ方向に互いにずらしな
がら加算平均し、被検体のｘｙ平面に平行な１つの平面
に対して焦点の合った透過画像を作成する画像処理手段
と、前記位置測定手段の出力に基づいて被検体の表面を
基準に焦点面ができるように前記画像処理手段における
前記ずらしの量を算出するずらし量算出手段とを有する
ことを特徴とするラミノグラフ。5. A moving means for moving a subject in x and y directions orthogonal to each other, a radiation surface sensor having a measurement plane parallel to an xy plane formed by the x and y directions, and the subject being sandwiched therebetween. A radiation source that is arranged to face the radiation surface sensor and that emits radiation toward the subject; and position measuring means that measures the position of the surface of the subject in the direction perpendicular to the x and y directions. Data collecting means for sequentially collecting outputs of the radiation surface sensor during movement of the subject in the x direction to obtain a plurality of transmission images of the subject, and the plurality of transmission images obtained by the data collecting means in the x direction. Image processing means for creating a transmission image focused on one plane parallel to the xy plane of the subject, and the surface of the subject based on the output of the position measuring means. The focal plane to the reference And a shift amount calculating means for calculating the shift amount in the image processing means. 【請求項６】 被検体は、その長手方向をｘｙ平面にほ
ぼ平行に配設された板状体であり、前記位置測定手段
は、前記板状体の表面のｚ方向の位置を測定し、前記画
像処理手段は、前記板状体の表面または表面から所望の
長さ離れたｘｙ面にほぼ平行な焦点面の透過画像を作成
することを特徴とする請求項５記載のラミノグラフ。6. The subject is a plate-shaped body whose longitudinal direction is arranged substantially parallel to the xy plane, and the position measuring means measures the position of the surface of the plate-shaped body in the z direction. 6. The laminograph according to claim 5, wherein the image processing means creates a transmission image of a focal plane that is substantially parallel to the surface of the plate or a xy plane that is a desired length away from the surface. 【請求項７】 前記位置測定手段は、前記板状体の設定
された複数の透過画像作成領域毎に被検体の表面の位置
を測定し、前記画像処理手段は、前記各位置を基準に透
過画像を作成することを特徴とする請求項６記載のラミ
ノグラフ。7. The position measuring means measures the position of the surface of the subject for each of a plurality of transmission image forming areas in which the plate-shaped body is set, and the image processing means transmits the position based on each position. The laminograph according to claim 6, wherein an image is created. 【請求項８】 前記位置測定手段は、前記板状体に散在
させた表面測定位置で板状体の表面のｚ方向の位置を測
定し、前記画像処理手段は、設定された複数の透過画像
作成領域毎に被検体の表面のｚ方向位置を前記測定位置
から補間計算により算出し、この算出した各位置を基準
に透過画像を作成することを特徴とする請求項６記載の
ラミノグラフ。8. The position measuring means measures the position of the surface of the plate in the z direction at surface measurement positions scattered on the plate, and the image processing means sets a plurality of set transmission images. The laminograph according to claim 6, wherein the z-direction position of the surface of the subject is calculated for each creation region from the measurement position by interpolation calculation, and a transmission image is created based on each of the calculated positions. 【請求項９】 被検体に向けて放射線を発生する放射線
源と、該放射線源に対向して設けられ、被検体を透過し
た前記放射線源からの放射線を２次元の分解能をもって
検出する放射線面センサと、前記放射線源と前記放射線
面センサとの間で被検体に異なった配置を順次取らせ、
この異なった各配置の被検体を前記放射線源からの放射
線で走査する走査手段と、該走査手段による走査の間に
前記放射線面センサの出力を順次収集し、透過方向の異
なる被検体の複数の透過画像を得るデータ収集手段と、
前記透過画像を加算平均する画像処理手段と、被検体の
表面の位置を測定する位置測定手段と、該位置測定手段
で測定した被検体の表面の位置を基準とする焦点を合わ
せたい位置が前記放射線源と前記放射線面センサの配置
が作成する焦点面に一致するように被検体または前記放
射線源と前記放射線面センサを移動する焦点合わせ手段
とを有することを特徴とするラミノグラフ。9. A radiation source that emits radiation toward a subject, and a radiation surface sensor that is provided so as to face the radiation source and that detects radiation from the radiation source that has passed through the subject with two-dimensional resolution. And causing the subject to sequentially take different arrangements between the radiation source and the radiation surface sensor,
A scanning unit that scans the differently arranged subjects with radiation from the radiation source, and outputs of the radiation surface sensor are sequentially collected during the scanning by the scanning unit, and a plurality of subjects having different transmission directions are collected. Data collection means for obtaining a transmission image,
The image processing means for averaging the transmission images, the position measuring means for measuring the position of the surface of the subject, and the position to be focused on the basis of the position of the surface of the subject measured by the position measuring means A laminograph comprising a subject or the radiation source and focusing means for moving the radiation surface sensor so that an arrangement of the radiation source and the radiation surface sensor coincides with a focal plane created. 【請求項１０】 前記被検体は実装基板であることを特
徴とする請求項９記載のラミノグラフ。10. The laminograph according to claim 9, wherein the subject is a mounting substrate. 【請求項１１】 前記走査手段は、ｘｙ平面を測定面と
する前記放射線面センサと放射線源との間を被検体をｘ
方向に移動させる移動手段を有することを特徴とする請
求項９記載のラミノグラフ。11. The scanning means scans an object between the radiation surface sensor having a measurement plane in the xy plane and a radiation source as x.
10. The laminograph according to claim 9, further comprising moving means for moving in the direction. 【請求項１２】 前記走査手段は、前記放射線面センサ
の測定面にほぼ垂直な１つの回転軸に対して前記放射線
源を回転させ、この回転に同期して前記回転軸に対して
前記放射線面センサを方位を維持したまま公転させる手
段を有することを特徴とする請求項９記載のラミノグラ
フ。12. The scanning means rotates the radiation source with respect to one rotation axis substantially perpendicular to a measurement surface of the radiation surface sensor, and the radiation surface with respect to the rotation axis is synchronized with the rotation. The laminograph according to claim 9, further comprising means for revolving the sensor while maintaining its orientation. 【請求項１３】 被検体に向けて放射線を発生する放射
線源と、該放射線源に対向して設けられ、被検体を透過
した前記放射線源からの放射線を２次元の分解能をもっ
て検出する放射線面センサと、前記放射線源をｚ軸方向
の１つの回転軸に対して回転させ、この回転に同期して
ほぼ１８０°の位相差をもって前記回転軸に対して前記
放射線面センサを検出面をほぼ回転軸に直角に維持する
とともにその方位を維持したまま公転させる走査手段
と、被検体を前記放射線面センサと前記放射線源との間
の前記回転軸の上に設定する被検***置決め手段と、前
記走査手段による走査を行いながら、前記放射線面セン
サの出力を順次収集して被検体の複数の透過画像を得る
データ収集手段と、前記複数の透過画像を加算平均し
て、被検体の前記検出面に平行な１つの平面に対して焦
点の合った透過画像を作成する画像処理手段と、前記回
転軸上に配設され、被検体の表面のｚ軸方向の位置を測
定する位置測定手段と、該位置測定手段の出力に基づき
被検体の表面の位置を基準とする焦点を合わせたい位置
が前記放射線源と前記放射線面センサの配置が作成する
焦点面に一致するように被検体を移動させる焦点合わせ
手段とを有することを特徴とするラミノグラフ。13. A radiation source that emits radiation toward a subject, and a radiation surface sensor that is provided so as to face the radiation source and that detects radiation from the radiation source that has passed through the subject with two-dimensional resolution. And rotating the radiation source with respect to one rotation axis in the z-axis direction and synchronizing the rotation with a phase difference of about 180 °, the radiation surface sensor detects the detection surface about the rotation axis. Scanning means for maintaining a right angle with respect to and revolving while maintaining its azimuth, subject positioning means for setting the subject on the rotation axis between the radiation surface sensor and the radiation source, and the scanning means. Data acquisition means for sequentially collecting the outputs of the radiation surface sensor to obtain a plurality of transmission images of the subject while performing scanning by the scanning means, and averaging the plurality of transmission images to obtain the detection surface of the subject. Image processing means for creating a transmission image focused on one parallel plane; position measuring means arranged on the rotation axis for measuring the position of the surface of the subject in the z-axis direction; Focusing for moving the subject so that the position to be focused on the basis of the position of the surface of the subject based on the output of the position measuring means coincides with the focal plane created by the arrangement of the radiation source and the radiation surface sensor. A laminograph comprising means. 【請求項１４】 前記被検***置決め手段は、前記回転
軸と直交するとともに、それぞれが直交するｘ，ｙ軸に
対して被検体を移動して、透過画像を得る検査領域が前
記回転軸上に位置するように位置決めするｘｙテーブル
を有することを特徴とする請求項１３記載のラミノグラ
フ。14. The subject positioning means is orthogonal to the rotation axis and moves the subject with respect to x and y axes which are orthogonal to each other, and an inspection region for obtaining a transmission image is provided on the rotation axis. 14. The laminograph of claim 13 having an xy table positioned to position. 【請求項１５】 前記焦点合わせ手段は、被検体をｚ軸
方向に移動させるｚテーブルを有することを特徴とする
請求項１４記載のラミノグラフ。15. The laminograph according to claim 14, wherein the focusing means has az table for moving the subject in the z-axis direction. 【請求項１６】 前記放射線源を該放射線源と前記放射
線面センサを結ぶ線上方向にシフトさせ、該シフトによ
り透過画像の倍率を可変する手段を有することを特徴と
する請求項１３記載のラミノグラフ。16. The laminograph according to claim 13, further comprising means for shifting the radiation source in a direction on a line connecting the radiation source and the radiation surface sensor, and varying the magnification of the transmission image by the shift. 【請求項１７】 前記放射線源をその放射線発生点を通
る自転軸に対して自転させる自転手段を有することを特
徴とする請求項１３記載のラミノグラフ。17. The laminograph according to claim 13, further comprising a rotation means for rotating the radiation source about an axis of rotation passing through the radiation generation point. 【請求項１８】 被検体に向けて放射線を発生する放射
線源と、該放射線源に対向して設けられ、被検体を透過
した前記放射線源からの放射線を２次元の分解能をもっ
て検出する放射線面センサと、前記放射線源と前記放射
線面センサとの間で被検体に異なった配置を順次取ら
せ、この異なった各配置の被検体を前記放射線源からの
放射線で走査する走査手段と、該走査手段による走査の
間に前記放射線面センサの出力を順次収集し、透過方向
の異なる被検体の複数の透過画像を得るデータ収集手段
と、被検体の１つの焦点面に焦点の合った透過画像を作
成すべく前記データ収集手段で収集した前記複数の透過
画像を互いにずらしながら加算平均する画像処理手段
と、該画像処理手段における前記ずらしの量を前記透過
画像上のパターンにより決定するずらし量決定手段とを
有することを特徴とするラミノグラフ。18. A radiation source that emits radiation toward a subject, and a radiation surface sensor that is provided so as to face the radiation source and that detects radiation from the radiation source that has passed through the subject with two-dimensional resolution. And scanning means for causing the subject to sequentially take different arrangements between the radiation source and the radiation surface sensor, and scanning the subject in each of the different arrangements with the radiation from the radiation source, and the scanning means. Data acquisition means for sequentially collecting the outputs of the radiation surface sensor during scanning by means of a plurality of transmission images of the subject having different transmission directions, and a transmission image focused on one focal plane of the subject. In order to do so, the image processing means for adding and averaging the plurality of transmission images collected by the data collection means while shifting them from each other, and the amount of shift in the image processing means are determined by a pattern on the transmission image A laminograph comprising a shift amount determining means for determining. 【請求項１９】 前記ずらし量決定手段は、前記透過画
像のパターンを異なる透過画像同志で相関を取ることに
より前記ずらしの量を求める手段を有することを特徴と
する請求項１８記載のラミノグラフ。19. The laminograph according to claim 18, wherein the shift amount determining means has a means for obtaining the shift amount by correlating the patterns of the transmission image between different transmission images. 【請求項２０】 前記ずらし量決定手段は、所定のパタ
ーンと透過画像との照合を取ることにより前記ずらしの
量を求める手段を有する請求項１８記載のラミノグラ
フ。20. The laminograph according to claim 18, wherein the shift amount determining means has a means for obtaining the shift amount by matching a predetermined pattern with a transmission image. 【請求項２１】 前記ずらし量決定手段は、前記走査の
離れた透過画像間でのずらしの量を求め、その間の透過
画像のずらしの量を補間で求める手段を有することを特
徴とする請求項１９または２０記載のラミノグラフ。21. The shift amount determining means includes means for determining a shift amount between the transmission images separated by the scanning and interpolating a shift amount of the transmission images during the shift. The laminograph according to 19 or 20. 【請求項２２】 前記ずらし量決定手段は、前記走査の
離れた透過画像間でのずらしの量を複数組について求
め、平均化して補間し、統計精度を向上する手段を有す
ることを特徴とする請求項２１記載のラミノグラフ。22. The shift amount determining means includes means for obtaining shift amounts between the transmission images separated by the scanning for a plurality of sets, averaging and interpolating, and improving statistical accuracy. A laminograph according to claim 21. 【請求項２３】 前記被検体は実装基板であり、前記パ
ターンは前記実装基板上の半田によって形成されるパタ
ーンである請求項１８記載のラミノグラフ。23. The laminograph according to claim 18, wherein the object is a mounting substrate, and the pattern is a pattern formed by solder on the mounting substrate. 【請求項２４】 前記ずらし量決定手段は、前記半田の
パターンを２値化により抽出し、異なる透過画像同志で
相関を取ることにより前記ずらしの量を求め、半田部に
焦点の合った透過画像を得る手段を有することを特徴と
する請求項２３記載のラミノグラフ。24. The shift amount determining means extracts the solder pattern by binarization, obtains the shift amount by correlating different transmission images with each other, and the transmission image focused on the solder portion is obtained. 24. A laminograph according to claim 23, characterized in that it comprises means for obtaining 【請求項２５】 前記ずらし量決定手段は、前記走査の
離れた透過画像間でのずらしの量を求め、その間の透過
画像のずらしの量を補間で求める手段を有することを特
徴とする請求項２４記載のラミノグラフ。25. The shift amount determining means includes means for obtaining a shift amount between the transmission images separated by the scanning, and obtaining a shift amount of the transmission images during the interpolation by interpolation. 24. The laminograph described in 24. 【請求項２６】 前記ずらし量決定手段は、前記走査の
離れた透過画像間でのずらしの量を複数組について求
め、平均化して補間し、統計精度を向上する手段を有す
ることを特徴とする請求項２５記載のラミノグラフ。26. The shift amount determining means includes means for obtaining shift amounts between the transmission images separated by the scanning for a plurality of sets, averaging and interpolating, and improving statistical accuracy. A laminograph according to claim 25. 【請求項２７】 前記ずらし量決定手段は、透過画像を
微分処理したエッジ強調後のパターンについて相関を取
る手段を有することを特徴とする請求項１９記載のラミ
ノグラフ。27. The laminograph according to claim 19, wherein said shift amount determining means has means for obtaining a correlation with respect to a pattern after edge enhancement obtained by differentiating a transmission image. 【請求項２８】 前記ずらし量決定手段は、前記微分処
理後に２値化してから相関を取る手段を有することを特
徴とする請求項２７記載のラミノグラフ。28. The laminograph according to claim 27, wherein the shift amount determining means has a means for binarizing and then taking a correlation after the differential processing. 【請求項２９】 被検体に向けて放射線を発生する放射
線源、該放射線源に対向して設けられ、被検体を透過し
た前記放射線源からの放射線を２次元の分解能をもって
検出する放射線面センサ、前記放射線源と前記放射線面
センサとの間で被検体に異なった配置を順次取らせ、こ
の異なった各配置の被検体を前記放射線源からの放射線
で走査する走査手段、該走査手段による走査の間に前記
放射線面センサの出力を順次収集し、透過方向の異なる
被検体の複数の透過画像を得るデータ収集手段、および
該データ収集手段で得た前記複数の透過画像と透過方向
の情報から所望の面の断層像を再構成するラミノグラフ
画像再構成手段を有するラミノグラフにおいて、前記透
過画像の特徴を強調したり、弱めたり、消去する画像処
理手段を有し、該処理後の透過画像をラミノグラフィ処
理することにより所望の情報のＳＮ比を改善することが
できることを特徴とするラミノグラフ。29. A radiation source that emits radiation toward a subject, a radiation surface sensor that is provided so as to face the radiation source, and that detects radiation from the radiation source that has passed through the subject with two-dimensional resolution. Scanning means for causing the subject to sequentially take different arrangements between the radiation source and the radiation surface sensor, and scanning the subject of each of the different arrangements with the radiation from the radiation source, the scanning by the scanning means A data collecting unit that sequentially collects the outputs of the radiation surface sensors in the meantime to obtain a plurality of transmission images of a subject having different transmission directions, and a desired one from the plurality of transmission images and the transmission direction information obtained by the data collecting unit. In a laminograph having a laminograph image reconstructing means for reconstructing a tomographic image of the plane of, the image processing means for emphasizing, weakening, or erasing the characteristics of the transmission image is provided. A laminograph characterized in that the SN ratio of desired information can be improved by subjecting a transmission image after processing to laminography processing. 【請求項３０】 前記画像処理手段は、画像濃度、画像
形状、画像の空間周波数領域で空間周波数、論理フィル
タリング、画像間演算、形態学的処理を含む処理の１つ
以上の処理を行う手段を有することを特徴とする請求項
２９記載のラミノグラフ。30. The image processing means is a means for performing one or more processing including image density, image shape, spatial frequency of image, spatial frequency, logical filtering, inter-image operation, and morphological processing. 30. The laminograph of claim 29, having. 【請求項３１】 被検体に向けて放射線を発生する放射
線源、該放射線源に対向して設けられ、被検体を透過し
た前記放射線源からの放射線を２次元の分解能をもって
検出する放射線面センサ、前記放射線源と前記放射線面
センサとの間で被検体に異なった配置を順次取らせ、こ
の異なった各配置の被検体を前記放射線源からの放射線
で走査する走査手段、該走査手段による走査の間に前記
放射線面センサの出力を順次収集し、透過方向の異なる
被検体の複数の透過画像を得るデータ収集手段、および
該データ収集手段で得た前記複数の透過画像と透過方向
の情報から所望の面の断層像を再構成するラミノグラフ
画像再構成手段を有するラミノグラフにおいて、前記透
過方向を変化させる方向と同一方向に連なる画像を検出
し、特異点の検出信号を出力する特異点検出手段を有す
ることを特徴とするラミノグラフ。31. A radiation source that generates radiation toward a subject, a radiation surface sensor that is provided so as to face the radiation source, and that detects radiation from the radiation source that has passed through the subject with two-dimensional resolution. Scanning means for causing the subject to sequentially take different arrangements between the radiation source and the radiation surface sensor, and scanning the subject of each of the different arrangements with the radiation from the radiation source, the scanning by the scanning means A data collecting unit that sequentially collects the outputs of the radiation surface sensors in the meantime to obtain a plurality of transmission images of a subject having different transmission directions, and a desired one from the plurality of transmission images and the transmission direction information obtained by the data collecting unit In a laminograph having a laminograph image reconstructing means for reconstructing a tomographic image of the plane of the plane, an image continuous in the same direction as the direction in which the transmission direction is changed is detected to detect a singular point A laminograph having singularity detection means for outputting a signal. 【請求項３２】 前記データ収集手段で得た前記透過画
像の特徴を強調したり、弱めたり、消去する画像処理手
段を有し、前記検出した特異点について前記画像処理手
段で所望の処理を行うことができることを特徴とする請
求項３１記載のラミノグラフ。32. An image processing means for enhancing, weakening, or erasing the characteristics of the transmission image obtained by the data collecting means is provided, and desired processing is performed by the image processing means on the detected singular point. 32. A laminograph according to claim 31, characterized in that it is capable of 【請求項３３】 被検体に向けて放射線を発生する放射
線源、該放射線源に対向して設けられ、被検体を透過し
た前記放射線源からの放射線を２次元の分解能をもって
検出する放射線面センサ、前記放射線源と前記放射線面
センサとの間で被検体に異なった配置を順次取らせ、こ
の異なった各配置の被検体を前記放射線源からの放射線
で走査する走査手段、該走査手段による走査の間に前記
放射線面センサの出力を順次収集し、透過方向の異なる
被検体の複数の透過画像を得るデータ収集手段、および
該データ収集手段で得た前記複数の透過画像と透過方向
の情報から所望の面の断層像を再構成するラミノグラフ
画像再構成手段を有するラミノグラフにおいて、前記ラ
ミノグラフ画像再構成手段は、得られたラミノ画像群を
加算処理して、合成ラミノ画像を作成する手段を有する
ことを特徴とするラミノグラフ。33. A radiation source that emits radiation toward a subject, a radiation surface sensor that is provided so as to face the radiation source, and that detects radiation from the radiation source that has passed through the subject with two-dimensional resolution. Scanning means for causing the subject to sequentially take different arrangements between the radiation source and the radiation surface sensor, and scanning the subject of each of the different arrangements with the radiation from the radiation source, the scanning by the scanning means A data collecting unit that sequentially collects the outputs of the radiation surface sensors in the meantime to obtain a plurality of transmission images of a subject having different transmission directions, and a desired one from the plurality of transmission images and the transmission direction information obtained by the data collecting unit. In a laminograph having laminograph image reconstructing means for reconstructing a tomographic image of the plane, the laminograph image reconstructing means performs addition processing on the obtained lamino image group to synthesize A laminograph comprising means for producing a lamino image. 【請求項３４】 前記合成ラミノ画像は、３次元表示さ
れたものであることを特徴とする請求項３３記載のラミ
ノグラフ。34. The laminograph according to claim 33, wherein the composite lamino image is displayed three-dimensionally. 【請求項３５】 前記合成ラミノ画像は、奥行き方向を
指定したピッチの画像群について加算処理を行い、各加
算処理後の画像について３次元表示を行ったものである
請求項３４記載のラミノグラフ。35. The laminograph according to claim 34, wherein the composite lamino image is obtained by performing addition processing on an image group having a pitch in which a depth direction is designated and performing three-dimensional display on the image after each addition processing. 【請求項３６】 前記合成ラミノ画像の３次元表示は、
奥行き方向の位置を指定する指定手段を有し、該指定さ
れた位置の断面画像を呼び出して表示することができる
ことを特徴とする請求項３４または３５記載のラミノグ
ラフ。36. A three-dimensional display of the composite lamino image comprises:
36. The laminograph according to claim 34, further comprising a designating unit for designating a position in the depth direction, wherein the cross-sectional image at the designated position can be called and displayed. 【請求項３７】 画像の特徴を強調したり、弱めたり、
消去したりする特徴処理手段を有し、所望の画像処理後
のラミノ画像群を基に合成ラミノ画像、３次元画像を作
成表示することを特徴とする請求項３３ないし３６のい
ずれかに記載のラミノグラフ。37. An image feature is emphasized or weakened,
37. A synthesizing laminar image and a three-dimensional image are created and displayed on the basis of a laminar image group after desired image processing, which has erasing characteristic processing means. Laminograph. 【請求項３８】 前記特徴処理手段は、画像濃度、画像
形状、画像の空間周波数領域で空間周波数、論理フィル
タリング、画像間演算、形態学的処理を含む処理の１つ
以上の処理を行う手段を有することを特徴とする請求項
３７記載のラミノグラフ。38. The feature processing means is a means for performing one or more processing including image density, image shape, spatial frequency of image, spatial frequency, logical filtering, inter-image operation, and morphological processing. 38. A laminograph according to claim 37, characterized in that it comprises. 【請求項３９】 合成ラミノ画像の奥行き方向の位置を
指定する指定手段を有し、該指定した位置の断面画像に
ついて指定した画像以外のものと相対的に画像強調処理
を行った後、加算処理することにより所望の断面を強調
することができることを特徴とする請求項３３または３
４または３５または３７または３８記載のラミノグラ
フ。39. An addition process is provided which has a designation unit for designating a position in the depth direction of the composite lamin image, and performs relative image enhancement processing with respect to a cross-sectional image at the designated position other than the designated image. 34. The desired cross section can be emphasized by performing
The laminograph according to 4 or 35 or 37 or 38. 【請求項４０】 前記被検体は印刷配線基板であること
を特徴とする請求項２９ないし３９のいずれかに記載の
ラミノグラフ。40. The laminograph according to claim 29, wherein the subject is a printed wiring board.
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