JPH0850079A - Defect inspection device of color filter - Google Patents
Defect inspection device of color filterInfo
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- JPH0850079A JPH0850079A JP18580294A JP18580294A JPH0850079A JP H0850079 A JPH0850079 A JP H0850079A JP 18580294 A JP18580294 A JP 18580294A JP 18580294 A JP18580294 A JP 18580294A JP H0850079 A JPH0850079 A JP H0850079A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、カラー液晶ディスプレ
イ、ＣＣＤなどに用いられるカラーフィルターの表面の
異物や顔料塊による黒点欠陥、及び色抜けである白点欠
陥等、を検査するカラーフィルターの欠陥検査装置に関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a defect of a color filter for inspecting the surface of a color filter used for a color liquid crystal display, a CCD or the like, such as a black dot defect due to a foreign substance or a pigment lump and a white dot defect which is a color loss. Regarding inspection equipment.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図３は、従来のカラーフィルターの白点
欠陥の検査装置の斜視図であり、特開平５−９９７８７
号に開示されているものである。図において、カラーフ
ィルター１を施工したガラス基板２の裏面に、光源３が
設置されており、該基板２の上面側には、検査用フィル
ター４と検査用カメラ５が設置されている。該光源３か
らの照明光６は、該カラーフィルター１を透過して、透
過光７として該検査用フィルター４を透過し、検査光８
として、該カメラ５に入射する。該カラーフィルター１
の一部には、色抜けである白点欠陥９がある。2. Description of the Related Art FIG. 3 is a perspective view of a conventional white spot defect inspection device for a color filter.
It is disclosed in the issue. In the figure, a light source 3 is installed on the back surface of a glass substrate 2 on which a color filter 1 is installed, and an inspection filter 4 and an inspection camera 5 are installed on the upper surface side of the substrate 2. Illumination light 6 from the light source 3 is transmitted through the color filter 1 and is transmitted as transmitted light 7 through the inspection filter 4 and inspection light 8
Is incident on the camera 5. The color filter 1
There is a white spot defect 9, which is a color loss, in a part of.
【０００３】該透過光７には、該白点欠陥９からの透過
光と該カラーフィルター１の正常部からの透過光の両方
を含んでいる。該白点欠陥９からの透過光は、全波長域
の光となっているが、該カラーフィルター１の正常部か
らの透過光は、赤、青、緑等の特定の波長以外の光は、
大幅にカットされている。該検査用フィルター４の特性
を、該赤、青、緑等の特定波長を大幅にカットするよう
に製造することによって、該カメラ５による撮像面に於
て、該白点欠陥９のコントラストを大きくできる。これ
により、該白点欠陥９のみを抽出することが出来る。The transmitted light 7 includes both the transmitted light from the white spot defect 9 and the transmitted light from the normal portion of the color filter 1. The transmitted light from the white spot defect 9 is light in the entire wavelength range, but the transmitted light from the normal part of the color filter 1 is light other than a specific wavelength such as red, blue and green.
It has been cut significantly. By manufacturing the characteristics of the inspection filter 4 so that the specific wavelengths such as red, blue, and green are largely cut, the contrast of the white spot defect 9 on the image pickup surface of the camera 5 is increased. it can. As a result, only the white spot defect 9 can be extracted.
【０００４】図４はカラーフィルターの黒点欠陥の検査
装置の概略説明図であり、特開平５−１１８９９５号に
開示されているものである。図に於て、ガラス基板２の
上面には、Ｃｒ蒸着層であるブラックマトリックス１０
が施工されている。また、図ではカラーフィルター１の
上に異物１１が、該ブラックマトリックス１０の上に異
物１２が付着している場合を示す。該ガラス基板２の上
面側の上方には、鉛直線に対して角度±θの方向に、そ
れぞれカメラ５と第一の光源３ａが設置してある。ま
た、該ガラス基板２の裏面側下方には、該カメラ５の光
軸上に第二の光源３ｂが設置してある。FIG. 4 is a schematic explanatory view of a black dot defect inspection device of a color filter, which is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 5-118995. In the figure, on the upper surface of the glass substrate 2, the black matrix 10 which is a Cr vapor deposition layer is formed.
Is being constructed. Further, the drawing shows a case where the foreign matter 11 is attached on the color filter 1 and the foreign matter 12 is attached on the black matrix 10. A camera 5 and a first light source 3a are installed above the upper surface of the glass substrate 2 in the direction of an angle ± θ with respect to the vertical line. A second light source 3b is installed on the optical axis of the camera 5 below the rear surface of the glass substrate 2.
【０００５】該第一の光源３ａからの照明光は、該ガラ
ス基板２上面で正反射して該カメラ５に入射するが、該
カラーフィルター１に照射された光は、該カラーフィル
ターを透過して該ガラス基板２の裏面に抜けて、該カメ
ラ５には到達しない。また、該ブラックマトリックス１
０の正常部に照射された光は正反射して該カメラ５に到
達するが、該異物１２に照射された光は散乱して、該カ
メラ５に到達する散乱光の光強度は小さくなる。Illumination light from the first light source 3a is specularly reflected on the upper surface of the glass substrate 2 and enters the camera 5, but the light applied to the color filter 1 passes through the color filter. It does not reach the camera 5 through the rear surface of the glass substrate 2. Also, the black matrix 1
The light radiated to the normal portion of 0 reaches the camera 5 by being specularly reflected, but the light radiated to the foreign substance 12 is scattered, and the light intensity of the scattered light reaching the camera 5 becomes small.
【０００６】該第二の光源３ｂの照明光の一部は、該ブ
ラックマトリックス１０で反射され、他は該カラーフィ
ルター１を透過して、該カメラ５に到達する。しかし、
一部は該異物１１で遮られて、該カメラ５には到達しな
い。該第一の光源３ａと該第二の光源３ｂとを同時照明
すると、該カメラ５の撮像面では、該異物１１，１２の
部分のみが黒点となって（輝度レベルが低くなって）、
異物による黒点欠陥の位置とサイズが検査可能となる。A part of the illumination light of the second light source 3b is reflected by the black matrix 10, and the other light is transmitted through the color filter 1 and reaches the camera 5. But,
Part of it is blocked by the foreign matter 11 and does not reach the camera 5. When the first light source 3a and the second light source 3b are illuminated at the same time, only the portions of the foreign matters 11 and 12 become black dots (the brightness level becomes low) on the imaging surface of the camera 5.
It becomes possible to inspect the position and size of the black spot defect due to the foreign matter.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】図３、図４で説明した
従来のカラーフィルターの欠陥検査装置は、それぞれ白
点欠陥、黒点欠陥を個別に検査することは可能である。
しかし、実際のカラーフィルター施工の生産現場では、
前記２種の欠陥を同時に、かつ同一の検査装置で実施す
ることが望まれている。その理由は、第一に、検査の工
程を分けることは、フィルターに空気中のダスト付着の
確率が高まり、また取扱時にフィルターに傷が発生する
確率が高まることであり、第二に、工場のフロアスペー
スの節約と検査時間の節約であり、第三に、検査装置を
二つも設けることは不経済であること、等である。The conventional color filter defect inspection apparatus described with reference to FIGS. 3 and 4 is capable of individually inspecting white spot defects and black spot defects, respectively.
However, in the actual production site of color filter construction,
It is desired to carry out the two types of defects simultaneously and with the same inspection apparatus. The reason is that, first, dividing the inspection process increases the probability that dust in the air will adhere to the filter and also increases the probability that the filter will be damaged during handling. It saves floor space and inspection time, and thirdly, it is uneconomical to provide two inspection devices.
【０００８】又、図４に示した黒点欠陥検査装置は、正
反射光がカメラに入射するようにするために、該カメラ
５、該光源３ａ，３ｂをある角度θだけ傾斜して設置す
る必要があるが、検査装置のアライメント精度出しの観
点からは、傾斜設置は好ましくない。このような２個の
光源３ａ，３ｂとカメラ５とを組合せた型式の検査装置
については、特開平５−１１８９９５号では、設置角度
については明確に記載されておらず、カメラの設置角度
は傾斜していないと判断されるが、実際に本発明者らが
実験してみた限りでは光源とカメラは傾斜させないと、
正反射とならず、異物の像のコントラストを強くできな
い。Further, in the black spot defect inspection apparatus shown in FIG. 4, the camera 5 and the light sources 3a and 3b are required to be installed at a certain angle θ so that specular reflection light is incident on the camera. However, the tilted installation is not preferable from the viewpoint of improving the alignment accuracy of the inspection device. Regarding the inspection device of the type in which the two light sources 3a and 3b and the camera 5 are combined, JP-A-5-118995 does not clearly describe the installation angle, and the installation angle of the camera is inclined. It is judged that the light source and the camera are not tilted as far as the present inventors have actually conducted experiments.
Specular reflection does not occur and the contrast of the image of the foreign matter cannot be increased.
【０００９】本発明は、カラーフィルターの黒点欠陥と
白点欠陥が同時に同一の検査装置で検査可能であり、そ
の結果、検査能率が高く、工場スペースを取らない、安
価な検査装置が提供できること、また、検査装置のアラ
イメント精度出しの容易な検査装置の構成を可能とする
こと、等を目的とする。According to the present invention, a black dot defect and a white dot defect of a color filter can be inspected at the same time by the same inspection device, and as a result, it is possible to provide an inexpensive inspection device which has a high inspection efficiency and does not occupy a factory space. Another object of the present invention is to make it possible to configure an inspection device in which alignment accuracy of the inspection device can be easily obtained.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成すべく、透明基板上面上方に光源とハーフミラーを設
置し、ハーフミラーを介して基板の上面に法線方向から
照明光を投射するようにし、また、同基板裏面下方に全
反射ミラーを設置すると共に、ハーフミラーの上方に検
査カメラを設置し、同カメラの撮像データを処理する画
像処理判別装置とを設けることで、従来例の黒点欠陥検
査装置と同等の効果を有し、かつ該検査カメラや該光源
のアライメント精度出しが容易な構成とする。In order to achieve the above object, the present invention provides a light source and a half mirror above the upper surface of a transparent substrate and projects illumination light from the normal direction onto the upper surface of the substrate through the half mirror. In addition, a total reflection mirror is installed below the back surface of the substrate, an inspection camera is installed above the half mirror, and an image processing determination device that processes image data of the camera is provided. It has the same effect as that of the black spot defect inspection device, and the alignment accuracy of the inspection camera and the light source can be easily obtained.
【００１１】即ち、本発明は、透明基板上面に施工した
カラーフィルターの欠陥検査装置であって、同透明基板
上面上方に設置した光源と、前記透明基板裏面下方に設
置した反射ミラーと、前記光源からの照明光を前記透明
基板上面の法線方向に投射すると共に、同照明光の前記
透明基板上面からの反射光及び同透明基板上面の前記カ
ラーフィルターを透過し、前記全反射ミラーから反射す
る反射光を通過せしめるハーフミラーと、同ハーフミラ
ーの上方に設置され、同ハーフミラーからの通過光を受
光する検査カメラと、同検査カメラの撮像データを入力
し、画像処理して前記透明基板表面、前記カラーフィル
ター及びこれらの表面の欠陥を処理判別する画像処理判
別装置とを設けてなり、同欠陥を識別し、検出すること
を特徴とするカラーフィルターの欠陥検査装置を提供す
る。That is, the present invention is a defect inspection apparatus for a color filter formed on the upper surface of a transparent substrate, wherein the light source is installed above the upper surface of the transparent substrate, the reflection mirror is installed below the back surface of the transparent substrate, and the light source is provided. While projecting the illumination light from the normal direction of the transparent substrate upper surface, the reflected light of the illumination light from the transparent substrate upper surface and the color filter on the transparent substrate upper surface, and reflected from the total reflection mirror. A half mirror that allows reflected light to pass therethrough, an inspection camera that is installed above the half mirror and that receives the passing light from the same half mirror, and the image pickup data of the inspection camera is input, and image processing is performed to perform the transparent substrate surface. A color filter and an image processing discriminating device for discriminating defects on the surface of the color filters, and the defect is identified and detected. Providing a defect inspection apparatus of the filter.
【００１２】[0012]
【作用】本発明はこのような手段により、光源からの照
明光はハーフミラーにより透明基板上に投射され、反射
し、ハーフミラーを通過して検査カメラに入射する。透
明基板の上面、即ち、ブラックマトリックス上に異物が
存在すると、照明光はこの異物の表面で散乱し、検査カ
メラの撮像画面では正常な反射光と比べると、輝度レベ
ルの低い点となる。又、透明基板上に施工されたカラー
フィルターでは、この照明光はこのフィルターを透過し
て全反射ミラーで正反射し、再びカラーフィルターを透
過してハーフミラーを通過し、検査カメラに入射する
が、このカラーフィルター上に異物が存在すると、前述
のように照明光がこの異物で散乱し、検査カメラの撮像
面では異物の部分の輝度が正常部より低くなる。従っ
て、この検査カメラからの撮像データを画像処理判別装
置に入力し、適当な２値化のしきい値で２値化画面で画
像処理すれば異物の像を識別することができる。According to the present invention, the illumination light from the light source is projected onto the transparent substrate by the half mirror, reflected by the half mirror, and passes through the half mirror to enter the inspection camera. When a foreign substance is present on the upper surface of the transparent substrate, that is, on the black matrix, the illumination light is scattered on the surface of the foreign substance, and the image pickup screen of the inspection camera has a lower luminance level than the normal reflected light. Also, in the color filter installed on the transparent substrate, this illumination light passes through this filter, is regularly reflected by the total reflection mirror, passes through the color filter again, passes through the half mirror, and enters the inspection camera. When a foreign substance is present on the color filter, the illumination light is scattered by the foreign substance as described above, and the brightness of the foreign substance portion becomes lower than the normal portion on the imaging surface of the inspection camera. Therefore, the image of the foreign substance can be identified by inputting the image pickup data from the inspection camera to the image processing discrimination device and performing image processing on the binarized screen with an appropriate binarization threshold value.
【００１３】更に、カラーフィルターに白色欠陥（色抜
け）が存在すると、照明光はカラーフィルターを透過
し、全反射ミラーで反射して、再び、カラーフィルター
を透過してハーフミラーを通過して検査カメラに入射す
る。この過程において、全反射ミラーからの反射光は、
カラーフィルターからの透過光が反射したものであり、
透明基板、実際にはガラス基板を用いるが、この厚みは
例えば、１．１ｍｍで、カラーフィルターの厚み、例え
ば、１μｍ、に比して非常に大きく、赤、青、緑の特定
の波長域の光が混在している。また、カラーフィルター
の色抜けである白点欠陥を通過する反射光は赤、青、緑
の波長域光が混在しているが、カラーフィルター正常部
を透過する反射光は、赤、青、緑のいずれかの特定波長
域の光である。その結果、検査カメラの撮像データを画
像処理判別装置で画像処理することによって、該白点欠
陥を識別して検査することが可能である。Further, when a white defect (color loss) exists in the color filter, the illumination light passes through the color filter, is reflected by the total reflection mirror, passes through the color filter again, passes through the half mirror, and is inspected. Incident on the camera. In this process, the reflected light from the total reflection mirror is
The transmitted light from the color filter is reflected,
A transparent substrate, which is actually a glass substrate, is used, and its thickness is 1.1 mm, which is very large compared to the thickness of the color filter, for example, 1 μm, and it has a specific wavelength range of red, blue, and green. The light is mixed. Also, the reflected light that passes through the white spot defect, which is the color dropout of the color filter, contains a mixture of red, blue, and green wavelength light, but the reflected light that passes through the normal part of the color filter is red, blue, and green. Of the specific wavelength range. As a result, it is possible to identify and inspect the white spot defect by performing image processing on the image pickup data of the inspection camera by the image processing discrimination device.
【００１４】[0014]
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて具体
的に説明する。図１は本発明の一実施例に係るカラーフ
ィルターの欠陥検査装置の構成を示すブロック図で、図
２は同実施例における検査カメラのカラー撮像面を示す
図である。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a color filter defect inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a view showing a color image pickup surface of an inspection camera in the embodiment.
【００１５】図１において、ガラス基板２の上面には、
カラーフィルター１が１ａ，１ｂ等のように配置され、
これらとブラックマトリックス１０が施工されている。
該カラーフィルター１ａの上には異物１１が、また、該
ブラックマトリックス１０の上には異物１２が、更に、
該カラーフィルター１ｂには白点欠陥９（色抜け）が存
在する場合を図示している。In FIG. 1, on the upper surface of the glass substrate 2,
Color filters 1 are arranged like 1a, 1b,
These and the black matrix 10 are applied.
Foreign matter 11 is present on the color filter 1a, and foreign matter 12 is further present on the black matrix 10.
The case where a white spot defect 9 (color loss) is present in the color filter 1b is illustrated.
【００１６】該基板２の上方には光源３とハーフミラー
１３とが設けてあり、該光源３から照明光１４を照射
し、該照明光１４は、該ハーフミラー１３で反射され
て、該基板２に垂直な下方向の照明光１５となる。該基
板２の裏面下方には、全反射ミラー１６が設置してあ
り、該カラーフィルター１ａ，１ｂからの透過光は、次
のように該全反射ミラー１６で反射されて、再び該カラ
ーフィルターを１ａ，１ｂを透過する。A light source 3 and a half mirror 13 are provided above the substrate 2, and illumination light 14 is emitted from the light source 3, and the illumination light 14 is reflected by the half mirror 13 and the substrate It becomes the illumination light 15 in the downward direction perpendicular to 2. A total reflection mirror 16 is installed below the back surface of the substrate 2, and the transmitted light from the color filters 1a and 1b is reflected by the total reflection mirror 16 as follows, and the color filter is reflected again. It passes through 1a and 1b.
【００１７】即ち、該照明光１５は該ブラックマトリッ
クス１０の正常部では反射光１７となり、カラーフィル
ター１ａ，１ｂからの透過光は該全反射ミラー１６で反
射され、該反射光は、該カラーフィルター１ａの正常部
では透過光１８となり、該白点欠陥９では通過光１９と
なる。しかし、該異物１１，１２に投射された該照明光
１５は、散乱によって反射強度が低くなる。また、該異
物１１は該カラーフィルター１ａの裏面からの透過光も
遮断する。That is, the illumination light 15 becomes reflected light 17 in the normal part of the black matrix 10, the transmitted light from the color filters 1a and 1b is reflected by the total reflection mirror 16, and the reflected light is the color filter. The normal portion 1a becomes the transmitted light 18, and the white spot defect 9 becomes the transmitted light 19. However, the reflection intensity of the illumination light 15 projected on the foreign matters 11 and 12 becomes low due to scattering. The foreign material 11 also blocks the transmitted light from the back surface of the color filter 1a.
【００１８】これらの反射光、透過光等は、該ハーフミ
ラー１３を透過し、透過光２０となり、検査カメラ５に
受光される。該検査カメラ５で受光され、撮影された撮
像データは、信号線２１を介して画像処理判別装置２２
に伝達される。These reflected light, transmitted light, etc. are transmitted through the half mirror 13 and become transmitted light 20, which is received by the inspection camera 5. The image pickup data received and photographed by the inspection camera 5 is sent to the image processing discriminating device 22 through the signal line 21.
Is transmitted to
【００１９】該基板２は、詳細図示省略した位置決め駆
動装置３０に取付けられており、制御装置２３からの指
令によって矢印２４の方向に駆動位置決めされるように
なっているが、該基板２の位置座標データは、該制御装
置２３から信号線２５を介して、該画像処理判別装置２
２に入力されるようになっている。画像処理判別装置２
２で判別された画像は制御装置２３からの指令に基づい
て必要に応じて表示装置２６に表示することができる。The substrate 2 is attached to a positioning drive device 30 not shown in detail, and is driven and positioned in the direction of an arrow 24 in accordance with a command from the control device 23. The coordinate data is transmitted from the control device 23 via the signal line 25 to the image processing determination device 2
It is designed to be input to 2. Image processing discrimination device 2
The image discriminated in 2 can be displayed on the display device 26 as needed based on a command from the control device 23.
【００２０】次に、このような構成の検査装置の作用を
説明する。ブラックマトリックス１０の正常部では、照
明光１５が正反射され、検査カメラ５への入射光２０に
含まれる。しかし、該ブラックマトリックス１０上の異
物１２に照射された該照明光１５は、該異物表面で散乱
し、該検査カメラ５の撮像画面では、輝度レベルの低い
点となる。したがって、適当な２値化のしきい値で該撮
像画面を白黒の２値化画面とすれば、該異物１２の像は
黒点となる。Next, the operation of the inspection device having such a configuration will be described. In the normal portion of the black matrix 10, the illumination light 15 is specularly reflected and included in the incident light 20 on the inspection camera 5. However, the illumination light 15 applied to the foreign matter 12 on the black matrix 10 is scattered on the surface of the foreign matter, and becomes a point of low brightness level on the image pickup screen of the inspection camera 5. Therefore, if the imaging screen is a black and white binarization screen with an appropriate binarization threshold value, the image of the foreign matter 12 becomes a black dot.
【００２１】カラーフィルター１ａ，１ｂの正常部で
は、該照明光１５が該カラーフィルター１ａ，１ｂを透
過して、全反射ミラー１６で正反射するので、この反射
光は再び該カラーフィルター１ａ，１ｂを透過する。一
方、該カラーフィルター１ａの異物１１では、該照明光
１５は散乱し、また該全反射ミラー１６からの反射光も
遮断される。その結果、該検査カメラ５の撮像面では、
該カラーフィルター正常部は輝度が高く、該異物１１の
部分は輝度が低くなり、適当な２値化しきい値を設定す
ると、該異物１１は画像面で黒点として抽出出来る。In the normal part of the color filters 1a and 1b, the illumination light 15 passes through the color filters 1a and 1b and is specularly reflected by the total reflection mirror 16, so that the reflected light is again reflected. Through. On the other hand, the foreign matter 11 of the color filter 1a scatters the illumination light 15 and also blocks the reflected light from the total reflection mirror 16. As a result, on the imaging surface of the inspection camera 5,
The normal part of the color filter has a high brightness, and the part of the foreign matter 11 has a low brightness, and the foreign matter 11 can be extracted as a black dot on the image surface by setting an appropriate binarization threshold value.
【００２２】この画像の様子を図２に示す該検査カメラ
５のカラー撮像面で説明する。同図の１ａ，１ｂはそれ
ぞれ赤、青のカラーフィルターとすると、１ａは赤の
縞、１ｂは青の縞である。該異物１１，１２は輝度レベ
ルの低い点となっている。The state of this image will be described with reference to the color image pickup surface of the inspection camera 5 shown in FIG. If 1a and 1b in the figure are red and blue color filters, respectively, 1a is a red stripe and 1b is a blue stripe. The foreign matters 11 and 12 are at low brightness levels.
【００２３】次に、該白点欠陥９の検出・検査に関して
説明する。該基板２は厚み１．１ｍｍであり、該カラー
フィルター１ａ，１ｂは厚み１〜２μｍである。また、
該カラーフィルター１ａ，１ｂの幅は約１００μｍであ
るので、該全反射ミラー１６の設定位置を該基板２から
十分離せば、該全反射ミラー１６からの反射光は、該カ
ラーフィルター１ａ，１ｂに到達する位置では、実質的
に赤、青、緑の混合色となる。したがって、該白色欠陥
９を透過する反射光は、赤、青、緑の混合色となるが、
正常部の該カラーフィルター１ｂを透過する該反射光
は、透過後には、青の波長域以外は大幅にカットされ
る。Next, the detection / inspection of the white spot defect 9 will be described. The substrate 2 has a thickness of 1.1 mm, and the color filters 1a and 1b have a thickness of 1 to 2 μm. Also,
Since the width of the color filters 1a and 1b is about 100 μm, if the set position of the total reflection mirror 16 is sufficiently separated from the substrate 2, the reflected light from the total reflection mirror 16 will be reflected by the color filters 1a and 1b. At the arriving position, it is substantially a mixed color of red, blue, and green. Therefore, the reflected light transmitted through the white defect 9 is a mixed color of red, blue and green,
The reflected light that passes through the color filter 1b in the normal portion is largely cut after transmission, except in the blue wavelength range.
【００２４】したがって、図２に示す検査カメラ５の撮
像面では、該カラーフィルター１ｂは青の縞となり、そ
の中に、該白点欠陥９が青、赤、緑の波長域を有する点
として現れる。そこで、該画像処理判別装置２２で、カ
ラー画像処理を行って、該縞１ｂの中で、該白点欠陥９
を白点として抽出することが出来る。前記カラー画像処
理としては、例えば、青の波長域の光をカットすれば、
該縞は輝度レベルが小さくなり、該白点欠陥部９は赤、
緑の波長域の光を有する点となる。Therefore, on the image pickup surface of the inspection camera 5 shown in FIG. 2, the color filter 1b becomes a blue stripe, in which the white spot defect 9 appears as a point having a wavelength range of blue, red and green. . Therefore, the image processing discriminating device 22 performs color image processing so that the white spot defects 9 are present in the stripes 1b.
Can be extracted as a white dot. As the color image processing, for example, by cutting light in the blue wavelength range,
The stripes have a smaller brightness level, the white spot defect portion 9 is red,
This is a point having light in the green wavelength range.
【００２５】該カラーフィルター１ａ，１ｂ等が、撮像
面のどの位置にあるかは、該制御装置２３から該画像処
理判別装置２２に供給される該基板２の位置情報から算
出できる。したがって、該撮像面の撮像データをカラー
画像処理し、これを予め用意する基準パターンと比較す
ることによって、白点欠陥、黒点欠陥を識別することが
可能となる。The position of the color filters 1a, 1b etc. on the image pickup surface can be calculated from the position information of the substrate 2 supplied from the control device 23 to the image processing discriminating device 22. Therefore, it is possible to identify a white spot defect and a black spot defect by performing color image processing on the image pickup data of the image pickup surface and comparing this with a reference pattern prepared in advance.
【００２６】又、画像処理した結果を表示装置２６に表
示させて白点欠陥、黒点欠陥の有無を調べることによ
り、カラーフィルターの生産現場で同時に同一の検査装
置でこれら欠陥が検査でき、検査装置自体も、従来のよ
うに光源、カメラ、等のアライメントの調整もなく、信
頼性のある割安なものとなり、生産ラインでの設置面積
も節約できるようになるものである。Further, by displaying the result of image processing on the display device 26 and checking for the presence or absence of white spot defects and black spot defects, these defects can be inspected at the same time by the same inspection device at the color filter production site. The device itself does not require alignment adjustment of the light source, the camera, etc. as in the conventional case, and is reliable and inexpensive, and the installation area on the production line can be saved.
【００２７】[0027]
【発明の効果】以上、具体的に説明したように、本発明
においては、透明基板上面上方に光源とハーフミラーを
設置し、ハーフミラーを介して基板の上面に照明光を投
射し、基板の裏面には全反射ミラーを設置すると共にハ
ーフミラー上方に検査カメラを設け、同カメラの撮像デ
ータを処理する画像処理判別装置とを設けたカラーフィ
ルターの欠陥検査装置としたので、次のような効果を有
するものである。As described above in detail, in the present invention, the light source and the half mirror are installed above the upper surface of the transparent substrate, and the illumination light is projected onto the upper surface of the substrate through the half mirror, and the The color filter defect inspection device is equipped with a total reflection mirror on the back side, an inspection camera above the half mirror, and an image processing discrimination device that processes the image data of the camera. Is to have.
【００２８】（１）カラーフィルターの異物、顔料塊等
による黒点欠陥と、色抜けによる白点欠陥を同時に、同
一の検査装置で検査できるので検査時間が短縮できる。(1) Since black spot defects due to foreign matters and pigment lumps on the color filter and white spot defects due to color loss can be inspected at the same time by the same inspection device, the inspection time can be shortened.
【００２９】（２）検査カメラ、光源、ハーフミラー等
の光学機器は、鉛直方向または水平方向に配置すること
が出来るので、アライメント精度が出し易い。(2) Since the optical devices such as the inspection camera, the light source, and the half mirror can be arranged in the vertical direction or the horizontal direction, the alignment accuracy can be easily obtained.
【００３０】（３）一つの検査装置内で、上記の２種類
の欠陥検査が出来るので、検査装置自体が割安となり、
また、職場のフロアー面積を節約できる。(3) Since the above-mentioned two types of defect inspection can be performed in one inspection device, the inspection device itself becomes cheaper,
It also saves floor space in the workplace.
【図１】本発明の一実施例に係るカラーフィルターの欠
陥検査装置の全体構成を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing an overall configuration of a color filter defect inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の一実施例に係るカラーフィルターの欠
陥検査装置による検査カメラの撮像面の図である。FIG. 2 is a view of an image pickup surface of an inspection camera by the color filter defect inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図３】従来のカラーフィルターの白点欠陥検査装置の
概略構成図である。FIG. 3 is a schematic configuration diagram of a conventional white spot defect inspection device for a color filter.
【図４】従来のカラーフィルターの黒点欠陥検査装置の
概略構成図である。FIG. 4 is a schematic configuration diagram of a conventional black spot defect inspection device for a color filter.
１ カラーフィルター ２ ガラス基板 ３ 光源 ５ 検査カメラ ９ 白点欠陥 １０ ブラックマトリックス １１ 異物 １２ 異物 １３ ハーフミラー １５ 照明光 １６ 全反射ミラー １７ 反射光 １８ 透過光 １９ 通過光 ２０ 透過光 ２２ 画像処理判別装置 ２３ 制御装置 ２６ 表示装置 ３０ 位置決め駆動装置 1 Color Filter 2 Glass Substrate 3 Light Source 5 Inspection Camera 9 White Spot Defect 10 Black Matrix 11 Foreign Material 12 Foreign Material 13 Half Mirror 15 Illumination Light 16 Total Reflection Mirror 17 Reflected Light 18 Transmitted Light 19 Passed Light 20 Transmitted Light 22 Image Processing Discrimination Device 23 Control device 26 Display device 30 Positioning drive device
Claims (1)
ーの欠陥検査装置であって、同透明基板上面上方に設置
した光源と、前記透明基板裏面下方に設置した反射ミラ
ーと、前記光源からの照明光を前記透明基板上面の法線
方向に投射すると共に、同照明光の前記透明基板上面か
らの反射光及び同透明基板上面の前記カラーフィルター
を透過し、前記全反射ミラーから反射する反射光を通過
せしめるハーフミラーと、同ハーフミラーの上方に設置
され、同ハーフミラーからの通過光を受光する検査カメ
ラと、同検査カメラの撮像データを入力し、画像処理し
て前記透明基板表面、前記カラーフィルター及びこれら
の表面の欠陥を処理判別する画像処理判別装置とを設け
てなり、同欠陥を識別し、検出することを特徴とするカ
ラーフィルターの欠陥検査装置。1. A defect inspection apparatus for a color filter, which is installed on the upper surface of a transparent substrate, comprising a light source installed above the upper surface of the transparent substrate, a reflection mirror installed below the back surface of the transparent substrate, and illumination light from the light source. While projecting in the direction normal to the upper surface of the transparent substrate, the reflected light of the same illumination light from the upper surface of the transparent substrate and the color filter on the upper surface of the transparent substrate pass through the reflected light reflected from the total reflection mirror. The half mirror and the inspection camera that is installed above the half mirror and receives the light passing through from the half mirror, and the image data of the inspection camera is input and the image is processed to perform the transparent substrate surface and the color filter. And an image processing discriminating device for discriminating these surface defects, and a defect of a color filter characterized by identifying and detecting the defect. Defect inspection device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18580294A JPH0850079A (en) | 1994-08-08 | 1994-08-08 | Defect inspection device of color filter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18580294A JPH0850079A (en) | 1994-08-08 | 1994-08-08 | Defect inspection device of color filter |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0850079A true JPH0850079A (en) | 1996-02-20 |
Family
ID=16177149
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18580294A Withdrawn JPH0850079A (en) | 1994-08-08 | 1994-08-08 | Defect inspection device of color filter |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0850079A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006300892A (en) * | 2005-04-25 | 2006-11-02 | Dainippon Printing Co Ltd | Method and apparatus for inspecting foreign matter in color filter forming substrate |
| CN113218966A (en) * | 2015-06-03 | 2021-08-06 | 美题隆公司 | Automatic defect detection and mapping for optical filters |
-
1994
- 1994-08-08 JP JP18580294A patent/JPH0850079A/en not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006300892A (en) * | 2005-04-25 | 2006-11-02 | Dainippon Printing Co Ltd | Method and apparatus for inspecting foreign matter in color filter forming substrate |
| CN113218966A (en) * | 2015-06-03 | 2021-08-06 | 美题隆公司 | Automatic defect detection and mapping for optical filters |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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