JPH08500289A - ナノ相固体材料の製造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 約１ｎｍから３０ｎｍの範囲の粒子サイズと結晶子形態を示すナノ相の固体材料を製造する方法を開示する。新規なナノ相固体材料も開示する。

Description

【発明の詳細な説明】 ナノ相固体材料の製造発明の背景 種々の製品を製造する多様な用途で、ナノサイズの粒子で出来ているナノ相（ ｎａｎｏｐｈａｓｅ）材料が用いられている。セラミック産業では、セラミック を基とする製品を製造する目的でしばしばナノ相の固体材料が利用されている。 ナノサイズの材料はまた、電子および超伝導用途のための薄被覆を生じさせる時 にも有用性を示す。ナノ相の固体材料に関する他の使用には、触媒、超伝導体、 並びに記録媒体用の酸化物が含まれる。このようなナノ相材料を種々の技術で高 密度化すると、その結果として高強度の材料がもたらされると共に高密度化した 材料が比較的高いパーセントで含まれている材料がもたらされることから、これ らは上記および他の用途で特に有用性を示す。ナノ相材料はまた電子装置の製造 でも有用性を示す、と言うのは、焼成を行って連続構造物を製造する場合、小さ い粒子の方が焼成温度が低いからである。 このようなナノ相材料の製造では共沈方法が通常用いられている。しかしなが ら、この共沈方法は、格別に高い均一性を示す材料をもたらすことはなくそして しばしばこの方法の再現性が低いと言った欠点を有しており、これはナノ相材料 の合成を行うには一般的な方法でない。加うるに、この通常の共沈方法で製造さ れた材料を用いる場合、それの高密度化を引き起こすには比較的高い焼成温度を 用いる必要がある。焼成温度をより高くすると欠陥部濃度がより高くなることで 破損に対する抵抗力が低くなることから、温度を高くすることは有利でない。数 種のナノ相化合物を合成する目的で気相方法が用いられてきた。これらの方法は 一般的な金属酸化物合成には通常適切でない。更に、生産速度も非常に低い。 その結果として、一般に容易に再現可能であると共にセラミック、触媒、超伝 導体、電子部品被覆などとして用いるに適したナノ相固体材料を与える上記材料 の合成方法に対する要求が存在している。発明の要約 従って、本発明は、ナノ相の固体材料、例えば金属および金属酸化物を基とす る材料などを製造する方法に向けたものであり、この方法は容易に再現可能であ ると共に約１から３０ナノメートルのナノサイズ範囲に入る粒子サイズと結晶子 形態を示す材料をもたらすものである。この方法は、一般に、（Ａ）金属含有溶 液と沈澱剤を加圧し、（Ｂ）それらに高せん断力をかけることでナノサイズ粒子 を生じさせ、そして（Ｃ）この溶液の圧抜きを行うことで該ナノ相固体材料の沈 澱を生じさせる、段階を含んでいる。より好適には、この方法は、（１）金属溶 液、例えば金属塩溶液などを、沈澱剤が入っている溶液と一緒に混合することで 、混合溶液を生じさせ、（２）この混合溶液を加圧し、（３）この加圧した混合 溶液を流動装置（ｆｌｕｉｄｉｚｅｒ ａｐｐａｒａｔｕｓ）の中に送り込み、 この中で、この混合溶液に高せん断力を作用させることにより、ナノサイズ粒子 を含んでいる固体材料を生じさせ、（４）空洞現象（ｃａｖｉｔａｔｉｏｎ）を 起こさせるようにこの混合溶液の圧抜きを行い、そして（５）この空洞現象を受 けさせた（ｃａｖｉｔａｔｅｄ）混合溶液からナノ相固体材料を分離する、段階 を伴っている。好適には、この圧力は約１８，０００ｐｓｉ以上である。 本発明に従う方法では、好適には、本方法の段階３および４を実施す るための特別な装置、例えばＭｉｃｒｏｆｌｕｉｄｉｃｓ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉ ｏｎ Ｎｅｗｔｏｎ、Ｍａｓｓａｃｈｕｓｅｔｔｓが製造しているミクロフルイ ダイザー（Ｍｉｃｒｏｆｌｕｉｄｉｚｅｒ）（商標）装置などを用いる。この流 動装置内でその混合溶液に高せん断力を受けさせるに先立ってこれの圧力を調節 することにより、最終的に製造するナノ相固体材料の粒子サイズを調節すること ができる。この圧力を大気圧から、約１，０００から５０，０００ｐｓｉｇ以上 、好適には約１８，０００ｐｓｉｇ以上、より好適には約２５，０００から５０ ，０００ｐｓｉｇにまで上昇させると、その混合溶液内で固体材料の粒子サイズ が小さくなる結果として、この固体材料内で種々の金属が均一に分布することが 助長される。更に、特にこの圧力が比較的高い場合、例えば約１８，０００から ５０，０００ｐｓｉｇ以上の場合、一般に、圧抜きを行っている時に作り出され る空洞現象の結果として、通常の共沈方法では個別の段階として通常行われてい る操作である熱焼成がインサイチューで起こる。 本発明に従う方法は、電子および超伝導用途における被覆物として、並びにセ ラミック材料として用いるに適した金属酸化物などの如きナノ相固体材料を製造 するに特に適切である。上記材料は、経済的に大量生産可能であると共に、約０ ．１μｍの範囲に入るずっと大きな結晶子サイズを有する古典的に製造された材 料よりもずっと低い温度（約１００から１５０℃）で高密度化してそれらの最大 密度を生じ得る。この高密度化の温度を下げることは価値のあることであり、こ れは、その加工すべき金属酸化物に非常に大きく依存している。図の簡単な説明 図１は、本発明の１つの態様に関する工程図である。 図２は、本発明の別の態様に関する工程図である。 図３−５は、ＦｅＯ（図３）、ＭｇＯ（図４）および酸化チタン（アナターゼ ）（図５）の電子回折パターンである。 図６は、２００，０００倍率におけるＴｉＯ₂（アナターゼ）のＴＥＭ写真で ある。好適な態様の詳細な説明 図を参照して、本発明に従う１つの態様である連続方法を図１に示す。示すよ うに、貯蔵容器１０の中に入っている金属含有溶液、例えば金属塩溶液と、貯蔵 容器１２の中に入っている沈澱剤含有溶液を、それぞれ計量ポンプ１１および１ ２を通して送り込み、そして高圧ポンプ１６に入る直前にこれらを一緒にして混 合溶液を生じさせる。溶液内の金属イオンが沈澱するのを助長するに適切なｐＨ にその沈澱剤溶液を維持する必要がある。この金属溶液および沈澱剤に応じて、 このｐＨは一般に約７．５から１２である。流動装置１８の外側にポンプ１６を 示すが、これはこの装置内に配置されていてもよい。この混合溶液はその高圧ポ ンプ１６を通り、このポンプの作用により圧力が約１，０００から５０，０００ ｐｓｉｇ、好適には１８，０００ｐｓｉｇ以上、より好適には約２０，０００か ら５０，０００ｐｓｉｇの圧力にまで上昇する。この用いる圧力は所望の最終生 成物と粒子サイズに依存している。一般に、この圧力を高くすればするほど、金 属成分の粒子サイズが小さくなる。 次に、この高圧の混合溶液を流動装置１８に導く。装置１８内でこの混合溶液 を激しく混合する。好適には、この装置内でこの混合溶液を２つの流れに分割し た後、この２つの流れが互いに衝突するようにこれら の再方向付けを行うことによってこれらを再び一緒にすることにより、混合を行 う。この衝突地点で、この混合溶液は激しい混合と高せん断を受けながら、それ と本質的に同時に大気圧に戻る。この混合溶液の２つの流れを約４０メートル／ 秒の速度で移動させながらこれらを互いに衝突させると本発明の目的に充分な高 せん断混合が生じるが、より速い約１００から５００メートル／秒以上の速度を 用いるのが好適である。圧力を約１，０００ｐｓｉｇ以上の圧力から大気圧にま で急速に低下させる時、通常、この混合溶液内に気泡が生じ、そしてその後これ らは急速に崩壊してエネルギーを放出する。これらの気泡が崩壊する時に放出さ れるエネルギー（「空洞現象」として知られている）は、この液体内に懸濁して いる沈澱した金属材料に移行する。このエネルギーが放出される時のこのような 急速な加熱に続く急速な局所冷却により、高い分散状態で生じて来た固体金属材 料の有効な高温焼成がもたらされる。次に、適切な分離技術を用いてその所望の 固体金属材料を溶液から取り出す。上記技術には、真空濾過、濾過および蒸発が 含まれる。このようにして生じさせたナノ相の固体材料はナノメートルの粒子サ イズを示すことから一般に濾過は望ましくない。むしろ、水または溶液の液体を 蒸発させてその高度に分散している固体金属材料を残すのが好適な分離方法であ る。次に、適切な手段を用いてこれらの材料の乾燥を行う。大部分の場合、この ナノ相の固体金属材料は、装置１８内で起こる空洞現象の結果として、焼成を行 う必要なく使用準備が出来ている。通常、処理中に用いる圧力が約２０，０００ ｐｓｉ以上である場合、追加的焼成を行う必要はない。 上に記述したのと本質的に同じ度合の高せん断混合を達成する如何な る装置も、この激しい混合を達成する目的で使用可能であり、特に好適な装置は 、米国特許第４，５３３，２５４号および４，９０８，１５４号（これらの主題 事項は引用することによって本明細書に組み入れられる）の中に開示されている 装置である。最も好適な装置は、Ｍｉｃｒｏｆｌｕｉｄｉｃｓ Ｃｏｒｐ．、Ｎ ｅｗｔｏｎ、Ｍａｓｓｓａｃｈｕｓｅｔｔｓが製造しているミクロフルイダイザ ー（商標）装置であり、これは、高せん断混合と好適な空洞現象の両方を同時に 達成する。 本発明に従う別の態様を図２に示す。この態様には、流動装置２０内で処理し た混合溶液を再循環させるための再循環ラインを加える。示すように、貯蔵容器 ２２（管接続口Ａ）の中に位置させた金属塩溶液を循環させ、そして貯蔵容器２ ４の中に蓄えられている沈澱剤含有溶液と混合する。流動装置２０の中に位置さ せた高圧ポンプ２６に入る直前の管接続口Ｂの所で最初にこれらの２つの溶液を 混合する。この流動装置２０は図１の流動装置１８と同じ様式で作動する。この 流動装置２０の中で激しい混合と空洞現象を受けさせた後、この混合溶液を貯蔵 容器２２に送って再循環させる。この混合溶液は循環し続けながら、その沈澱剤 を徐々に添加している間、一般に約３０から４０分間に渡って、この流動装置内 で処理を受ける。この範囲に渡ってこの時間を変化させてもよいが、混合する材 料の量に応じてこの範囲外も可能である。この沈澱剤の添加が終了して一般に約 １０から４０分間、より好適には約２０から４０分間、この再循環を継続する。 この再循環期間は、望まれる最終生成物および所望粒子サイズに依存しており、 本明細書で詳述した一般的範囲を外れて変化させてもよい。この再循環期間が長 ければ長いほど、通常、高い度合の相純度を示す最終生成物に移行すると共に粒 子サイズ が小さくなる。 現在のところ好適である別の態様（示していない）では、図２の貯蔵容器２２ に沈澱剤溶液を入れ、そして貯蔵容器２４に再循環ライン添加用金属塩溶液を入 れる。この２個の貯蔵容器を逆にする以外は図２の態様と同じ様式で、この態様 の操作を行う。この態様が今のところ最も好適な態様である、と言うのは、沈澱 したナノ相固体材料を再循環させており、その結果として、再循環を行っている 間に粒子サイズが更に小さくなると共に、追加的高温焼成が実現化されるからで ある。 更に別の態様では、この金属塩溶液と沈澱剤溶液を１個の貯蔵容器内で予め混 合した後、加圧ポンプを通して流動装置の中に送り込む。再循環の有り無しでこ の態様を用いることができるが、ナノサイズの材料を達成するには再循環を行う のが好適である。最初の通過では主にナノ相粒子が生じ、そして再循環を行って いる間に、堅く固まっていない凝集物の崩壊がもたらされると共に、追加的焼成 が生じる。 特定の場合、特に混合金属酸化物触媒の製造方法を用いる場合、時には、異な る金属塩溶液を貯蔵する目的で個別の貯蔵容器を用いる必要がある。これは、個 々の金属塩がそれが溶解する個々の溶媒を必要としていることによるものである 。従って、異なる金属塩の溶解を行うには、異なる溶媒が入っている異なる貯蔵 容器が必要となり得る。このような場合、加圧ポンプに入る直前にその個別の金 属塩溶液を沈澱剤溶液と一緒にする。 本明細書に記述する如きナノ相固体材料の合成を行うには各製造で特定の化学 量論が必要である。一般に、金属溶液の化学量論は所望固体金属の化学量論と同 じである。 沈澱剤を再循環させる態様では、その混合溶液のｐＨを塩基性側、即ち約７． ５から１２、より好適には約８．５から１２に維持するのが望ましい。しかしな がら、この範囲はまさにその合成する固体金属に依存している。ある場合には、 この再循環している混合溶液に追加的沈澱剤を添加してそのｐＨを高い範囲であ る約８から１２に維持する必要がある。この金属溶液を再循環させそしてそのポ ンプに入る直前にその沈澱剤を加える場合、この再循環している混合溶液のｐＨ が約８から１２の範囲になるまでゆっくりと上昇するように、この沈澱剤の全量 を加える。 本発明の方法は、ナノ相の固体金属を基とする材料、例えば金属酸化物などの 製造を行うに特に有効である。上記製品を製造する場合、この製品を構成してい る金属を溶液内に溶解させた１種以上の金属の形態で加える。大部分の金属は塩 の形態である。しかしながら、特定の貴金属の場合、クロロ白金酸などの如き酸 の形態でこの金属を加えてもよい。適切な塩の例には硝酸塩、硫酸塩、酢酸塩、 塩化物、臭化物、水酸化物、しゅう酸塩およびアセチルアセトン塩などが含まれ る。これらの個々の金属は、勿論、製造する個々の製品に依存している。例えば 、所望の固体材料がバリウムチタナイトである場合、適切な金属塩溶液には水中 の酢酸バリウムとイソプロピルアルコール中のチタンテトライソプロポキサイド が含まれる。ジルコニアの場合に適切な金属塩溶液は水中の硝酸ジルコニルであ り、そしてアルミナの如きセラミックでは硝酸アルミニウムを用いる。酸化鉄の 如き金属酸化物の場合、硝酸第二鉄水化物の如き金属塩を用いる。ランタナの如 きセラミックは硝酸ランタンから製造可能である。硝酸マグネシウムの如き塩溶 液を用いて酸化マグネシウムを製造することができる。 これらの金属塩を溶解させる溶液は個々の金属塩に依存している。適切な液体 には水、硝酸水、アルコール類、アセトン、炭化水素、塩化炭化水素などが含ま れる。 この沈澱剤は適切な如何なる塩基性材料から選択されてもよく、例えば炭酸ナ トリウム、炭酸アンモニウム、炭酸カリウム、水酸化アンモニウム、置換アンモ ニウムの水酸化物、アルカリ金属の水酸化物、および水に溶解する他の塩基性材 料であるか、或はこの金属塩が自然発生的に水と反応する場合水自身であっても よい。 本発明の方法で製造した製品に含まれている成分は、この組成物全体に渡って 高度に分散していており、その結果として、これは従来技術の方法で製造された 同じ製品に比較して優れた相純度を示す。これらのナノ相製品は、サイズが約１ から１，０００ｎｍ、より好適には約１から３０ｎｍ、更により好適には約１０ ｎｍ未満、最も好適には約０．１から３ｎｍの範囲のナノサイズ粒子で構成され ている。これらの粒子の形態は、製造する材料に応じて変化し、そしてこれは、 組み合わされた結晶から不規則な混合結晶、そして非晶質粒子、薄盤状物（０． ５ｎｍ）および針状物（１０ｎｍ）に至る範囲であり得る。 本発明に従うナノ相材料の例には、バリウムチタネート、ジルコニア、マグネ シア、酸化鉄、ランタナ、アルミナおよびチタニアが含まれる。これらの材料は 約１から３０ｎｍのナノメートル範囲に入る粒子サイズを有していると共に結晶 性を示す。 以下に示す実施例では、本発明のナノ相固体材料および上記材料の製造で用い る本発明の新規な方法をより特定的に記述する。これらの実施例では、電子回折 およびＴＥＭパターンを表す図を参照してこれらのパ ターンを考察する。ここではまた、通常に製造された材料と、本発明の方法に従 って製造した材料とを比較する。実施例１ 本発明の方法を用い、適切な塩を水の中に溶解させた後、この塩溶液を図２に 示す貯蔵容器２４の中に仕込むことを通して、表ＩＩに挙げる材料全部の合成を 行った。最終生成物を製造する目的で用いた塩を表Ｉに示す。 次に、水の中に塩基性を示す水酸化アンモニウムが入っている溶液である、ミ クロフルイダイザー（ｍｉｃｒｏｆｌｕｉｄｉｚｅｒ）の中に再循環させる溶液 に、上記塩溶液を３０分かけて加えることにより、混合溶液を生じさせた。ポン プ２６を用いて、この混合溶液を約１２，０ ００から２０，０００ｐｓｉｇの圧力にまで加圧した。次に、この混合溶液を流 動装置２０の中に送り込み、ここで、空洞現象を受けさせた。この塩溶液を添加 した後、再循環を３０分間継続した。ロータリーエバポレーターを用い真空（圧 力＝４０トール）下で溶媒を蒸発させることによって、その得られる生成物の分 離を行った。 このようにして合成した材料をＸＲＤ分析で分析した結果、これらがミクロ結 晶性であるか、非晶質であるか或は両方の混合物であることを示す反射は全く示 されなかった。これらをまた透過電子顕微鏡（Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ Ｅｌ ｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｏｐｙ）（ＴＥＭ）および選択領域電子回折（ｓｅ ｌｅｃｔｅｄ ａｒｅａ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ）（ＳＡ Ｄ）でも分析した。製造した材料の各々に関する、ＴＥＭで測定した時の結晶子 形態およびＳＡＤで判断した時の結晶度は、下記の通りであった。 選択領域電子回折分析では、全部の材料が明瞭な環パターンを与えた。ジルコ ニウム、コバルト、マグネシウム、鉄、ランタンおよびチタンの酸化物サンプル は、強い環パターンを与えた。これらの環パターンを、コンピューターで生じさ せた環パターンと比較したが、これは、各組成物に関して、全ての公知構造物に 関する格子パラメーターと構造を基としてこれらのパターンを計算するものであ る。この技術を用いることにより、ＺｒＯ₂（正方晶または立方晶）、ＣｏＯ（ 立方晶）、Ｆｅ₂Ｏ₃（立方晶）およびＴｉＯ₂（アナターゼ）として合成した材 料の明確な同定を行うことが可能になった。このように、測定したパターンと計 算したパターンとを比較することにより、酸化鉄で可能な構造物としての ＦｅｏとＦｅ₃Ｏ₄、酸化コバルトで可能な構造物としてのＣｏ₂Ｏ₃、並びに酸化 チタンで可能な構造物としてのＴｉＯ₂（板チタン石）とＴｉＯ₂（ルチル）を明 確に排除することができた。バリウム−チタンの酸化物は、酸化ランタンと同様 に弱い環と中間的強度の非晶質反射を与えたが、しかしながら、これらの材料を ＢａＴｉＯ₃およびＬａ₂Ｏ₃に割り当てることは可能であった。 酸化鉄に関するＴＥＭ分析で得られた選択領域ミクロ回折（ＳＡＤ）パターン を図３に示し、そして酸化マグネシウムに関するパターンを図４に示す。これら のデータは、これらのナノ相材料が結晶性を示すことを実証している。ＳＡＤ分 析における環パターンは、これらが結晶性を示すことを立証している。１００， ０００倍率で撮ったＴＥＭ写真により、粒子サイズと形態を測定した。処理圧力 を９，０００から２０，０００ｐｓｉに連続的に上昇させてＴｉＯ₂を製造する 試験では、この圧力を上昇させるにつれてＴｉＯ₂（アナターゼ）に関する電子 回折パターンがより鮮明かつより明瞭になることが示され、このことから、ナノ 相微細結晶度がより高くなって来ることが示された。この圧力範囲に渡るＴＥＭ 分析により、圧力を上昇させるにつれて、より小さい粒子が生じることが示され た。実施例２ この実施例では、本発明の方法を用いてセラミックをナノメートルサイズの微細 結晶子として合成することを示す。この実施例は更に、空洞現象効果の度合を大 きくすることにより、如何なる後処理焼成も行うことなく、この処理で高温相を 直接得ることができることを示している。これらの実験の各々において、（１） 空洞現象用チャンバ内の圧力を上昇 させ、そして（２）空洞現象を生じさせる目的で用いる市販のミクロフルイダイ ザー（商標）装置のフローチャンネルオリフィスを大型のものから小型のものに 変えることによって、空洞現象効果の強さを調整した。 この実施例では、空洞現象処理条件を調整することにより、酸化チタンを中間 的な大きさの粒子から、本発明の非常に微細なナノメートルサイズの粒子に至る 範囲で製造することを示す。加うるに、この処理条件で他の調整を行うことによ り、空洞現象効果を受ける溶液内に高温焼成をインサイチューで起こさせること で高温形態のＴｉＯ₂を生じさせることができることが示された。これらの合成 結果を古典的な共沈製造と比較した。 この方法では、３０ｍＬのヘキサンの中に２６．５ｍＬのチタンテトラブトキ サイドを溶解させた溶液を用いた。この溶液は空気内で反応性を示すことから、 ドライボックスの中でこれをビウレットの中に仕込み、そしてこれを図２に示す 管接続口Ａの所でミクロフルイダイザー（商標）装置の中に仕込む時点で、窒素 雰囲気を用いてこれを大気から保護した。Ａｌｄｒｉｃｈ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｃｏｍｐａｎｙの市販界面活性剤であるＴｗｅｅｎが１重量％入っている蒸留水 ２００ｍＬを、図１の管接続口Ｂの所で貯蔵容器の中に入れた後、この溶液を２ ０，０００ｐｓｉｇの圧力下でこの流動装置を通して循環させた。この場合、こ の溶液の水は迅速に上記アルコキサイドと反応してＴｉＯ₂を生じる。１分当た り１．５−２．０ｍＬで再循環している溶液に、チタンブトキサイド溶液を加え た。この添加が終了した後、この溶液を４０分間再循環させた。このミクロフル イダイザー装置に備わっている空洞現象発生セクションの中でこの流動装置の異 なる２種のフローチャンネルを用いて、２つ の実験を２０，０００ｐｓｉｇで実施した。各場合において、０．２ミクロンの 濾紙を用い、その濾液を繰り返してフィルターパッドに通すことにより、その製 造した固体の取り出しを行った。最初、これらの固体の大部分がそのフィルター を通過した。最終的な乾燥を室温で行った後、８０℃で１０時間加熱を行った。 この流動装置の空洞現象セクション内で小さい方のフローチャンネルオリフィ スを用いることによって得られる材料に関するＸＲＤは、アナターゼ型のＴｉＯ₂ に一致した回折角の所に非常に低い強度を示す幅広い反射が示された。透過電 子顕微鏡（ＴＥＭ）評価を図６に示し、これは、この微細結晶子の平均粒子サイ ズが４．５ナノメートルであることを示している。図５の選択領域ミクロ回折（ ＳＡＤ）パターンにより、この材料は結晶性を示すことが示された。また、電子 回折環パターンの分析により、３．４８、２．３７、１．９３、１．６６および １．４５Ａのｄ−面間隔の所に反射が現れることが示された。ＪＣＰＤＳファイ ル標準スペクトルにより、３．５２、２．３７、１．８９、１．６７および１． ４８Ａの所の反射はアナターゼ形態のＴｉＯ₂に相当していることが示された。 この空洞現象処理方法では、処理（ミクロフルイダイザー（商標）装置の運転） 条件を調整することにより、高温形態のチタニア、即ちアナターゼがもたらされ た。 用いる空洞現象チャンバへのフローチャンネルオリフィスをより大きくした実 験でもまた、ＳＡＤ分析で示されるように、微細結晶性のチタニア相が得られた 。しかしながら、このチタニアの相は３．２６、２．４９、２．００、１．７４ および１．４５Ａのｄ−面間隔の所に反射を示すことから、不明のものであった 。この実験におけるチタニアの平均 粒子サイズは１０．０ナノメートルであった。 古典的な合成方法を用いた平行実験でチタニアの合成を行った。この合成では 、同じ量および濃度で試薬を用いた。この合成における相違点は、上記空洞現象 合成と同じ速度ではあるが、ヘキサンの中に入れたチタンテトラブトキサイド溶 液を、充分に撹拌されている反応フラスコの中に入っている水中１％のＴｗｅｅ ｎ溶液に滴下した点であった。この材料のＴＥＭ分析を行った結果、これは微細 結晶性を示さないことが示され、そしてＸＲＤパターンは、１０と５０度２シー タの間に反射を全く表さなかった。従って、製造された材料は非晶質であった。実施例３ 空洞現象チャンバ内の圧力を変化させる、即ち９，０００、１３，５００、１ ８，０００および２０，０００ｐｓｉｇの圧力を用いる以外は実施例２に記述し たのと同じ空洞現象合成を実施した。個々のサンプルを走査電子顕微鏡（ＳＥＭ ）で分析した結果、この空洞現象過程の圧力を上昇させるにつれてその固体チタ ニアの粒子サイズが次第に小さくなることが観察された。この４つの製造で最も 大きな粒子は、９，０００ｐｓｉｇにおいて７０ｎｍ、１３，５００ｐｓｉｇに おいて２４ｎｍ、１８，０００ｐｓｉｇにおいて１０ｎｍそして２０，０００ｐ ｓｉｇにおいて５ｎｍであった。これらの粒子サイズは、凝集した微細結晶が示 すサイズであった。この空洞現象チャンバ内で小さい方のフローチャンネルオリ フィスを用い２０，０００ｐｓｉｇで行った時の凝集粒子サイズは、凝集した粒 子で０．２ｎｍであった。これらのサンプルのＴＥＭ分析を行った結果、この空 洞現象の圧力を上昇させるにつれてこの凝集物を構成している個々の粒子の大き さが小さくなることが示された。こ のような一連の圧力で得られるサンプルのＸＲＤ分析を行った結果、低い圧力下 では明瞭なピークが現れず、そしてこの圧力を上昇させるにつれて低強度の幅広 いピークが現れた。この一連の合成は、工程パラメーターを調整することにより 、調節様式で、この空洞現象を用いて製造する材料の粒子サイズを変化させるこ とができることを示している。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ Ｃ０１Ｇ 23/053 8516−4Ｇ 25/02 8216−4Ｇ 49/04 9151−4Ｇ 51/04 9343−4Ｇ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １． 金属含有溶液と沈澱剤からナノ相の固体材料を製造する方法において、 （Ａ）金属含有溶液と沈澱剤を加圧し、（Ｂ）上記加圧した混合物に高せん断力 をかけることでナノサイズ粒子を生じさせ、そして（Ｃ）この溶液の圧抜きを行 うことで該ナノ相の固体材料を沈澱させる、段階を含む方法。 ２． （１）金属含有溶液と、沈澱剤が入っている第二溶液とを一緒に混合す ることで、混合溶液を生じさせ、（２）この混合溶液を加圧し、（３）この混合 溶液を流動装置の中に送り込み、この中で、この混合溶液に高せん断力を作用さ せることにより、約１から３０ｎｍの平均粒子サイズを示すナノ相の固体材料を 生じさせ、（４）空洞現象を起こさせるに充分なほど迅速にこの混合溶液の圧抜 きを行い、そして（５）この空洞現象を受けさせた混合溶液から該ナノ相の固体 材料を分離する、ことを含む請求の範囲１の方法。 ３． 該混合溶液を約１０００から５０，０００ｐｓｉｇに加圧する請求の範 囲１の方法。 ４． 該圧力が約１８，０００から５０，０００ｐｓｉｇである請求の範囲２ の方法。 ５． 該流動装置の中に送り込むに先立って該金属含有溶液と該沈澱剤含有溶 液とを混合する請求の範囲２の方法。 ６． 該流動装置を通して該混合溶液を再循環させる請求の範囲２の方法。 ７． 該混合溶液を再循環させながらこれに該沈澱剤溶液を加える請求の範囲 ６の方法。 ８． 該混合溶液を再循環させながらこれに金属含有溶液を加える請求の範囲 ２の方法。 ９． 該金属含有溶液と該沈澱剤とが加圧用ポンプの中に入る時にこれらの混 合を行う請求の範囲１の方法。 １０． 該金属含有溶液が金属塩溶液である請求の範囲１の方法。 １１． 該平均粒子サイズが約１０ｎｍ未満である請求の範囲１の方法。 １２． 該平均粒子サイズが約１から３ｎｍである請求の範囲１の方法。 １３． 該固体材料を結晶化させる請求の範囲１の方法。 １４． 該金属含有溶液と該沈澱剤とを個別の容器内で一緒に混合する請求の 範囲１の方法。