JPH0843078A - 輪郭形状測定方法及びその装置 - Google Patents
輪郭形状測定方法及びその装置Info
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- JPH0843078A JPH0843078A JP20009394A JP20009394A JPH0843078A JP H0843078 A JPH0843078 A JP H0843078A JP 20009394 A JP20009394 A JP 20009394A JP 20009394 A JP20009394 A JP 20009394A JP H0843078 A JPH0843078 A JP H0843078A
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
を求める輪郭形状測定方法において、触針先端形状15
aが真円と異なっても高精度で測定ができ、触針15を
高精度に加工したり頻繁に交換する必要がない輪郭形状
測定方法及びその装置を提供する。 【構成】 ナイフエッジまたは既知半径の真円が形成さ
れた基準ゲージ17を測定して触針先端形状15aを求
め、触針先端形状15aの法線方向ごとに補正値δを算
出し、ワークを測定して得られたワーク測定軌跡34の
法線方向ごとに、補正値δを用いてワーク測定軌跡34
を補正し、ワーク輪郭形状35を算出する。
Description
トレースし、そのときの前記触針の変位を検出すること
によって、ワークの表面粗さ及びうねりを含む輪郭形状
を求める輪郭形状測定方法及びその装置に関する。ワー
クの表面粗さ及びうねりを測定する測定機として表面粗
さ測定機、ワークの輪郭形状を測定する測定機として輪
郭形状測定機が知られているが、本明細書では表面粗さ
・うねり・輪郭形状を含めて輪郭形状という。
本的な構成が同じであるので、ここでは輪郭形状測定機
を例にして説明する。一般的な輪郭形状測定機の測定部
10は図7に示すように、ベース11に立設されたコラ
ム12に水平送り装置13が設けられ、触針15を有し
触針15の上下(Z)方向の変位を検出する検出器14
が、水平送り装置13に水平(X)方向移動自在に設け
られている。水平送り装置13には検出器14の水平方
向の移動量を検出するスケールが内蔵されている。これ
によって、ワークWの測定位置に触針15を当接した状
態で検出器14をX方向に移動させると、触針15の上
下方向の変位が検出器14で検出され、検出器14の水
平方向の移動量が水平送り装置13のスケールで検出さ
れて、ワークの測定データが得られる。ワークの測定デ
ータは図示しないデータ処理装置で演算され、ワークの
表面粗さ及びうねりを含む輪郭形状(以下「ワーク輪郭
形状」という)が出力される。
定データからは、触針15の先端近傍の特定部分(基準
点15b)の軌跡であるワーク測定軌跡34が求められ
るが、触針15のワークに当接する部分の触針先端形状
15aは「点」ではなく、ある大きさの円弧になってい
るので、ワーク測定軌跡34とワークの輪郭Waとは一
致しない。そこで、図5の右側の仮想線で表した触針1
5に示すように、データ処理装置ではワーク測定軌跡3
4の法線方向ごとに、触針先端形状15aの円弧半径S
だけ法線方向にワーク測定軌跡34を移動して補正し、
ワーク輪郭形状36とする。
端形状15aは真円ではなく、位置によって半径Sが異
なるとともに、触針15がワークに当接する点の法線方
向とそのときのワーク測定軌跡34の法線方向とが異な
る。このため、ワーク測定軌跡34を補正して求めたワ
ーク輪郭形状36はワークの輪郭Waとは一致しない。
特に、触針15の先端が摩耗してくるとその傾向が著し
くなる。したがって、測定精度を向上させるために、触
針先端形状15aを高精度に加工したり、頻繁に触針1
5を交換しなければならず、測定費用が高価になるとい
う問題がある。
もので、ワークの表面粗さ及びうねりを含む輪郭形状を
求める輪郭形状測定方法及びその装置において、触針先
端形状15aが真円と異なっても高精度で測定ができ、
触針15を高精度に加工したり頻繁に交換する必要がな
い輪郭形状測定方法及びその装置を提供することを目的
とする。
するために、輪郭形状測定方法を、 (イ)ナイフエッジまたは既知半径の真円が形成された
基準ゲージ17を測定して触針15の触針先端形状15
aを求め、触針先端形状15aの法線方向ごとに補正値
δを算出する。 (ロ)ワークを測定して触針の軌跡であるワーク測定軌
跡34を求め、ワーク測定軌跡34の法線方向ごとに、
補正値δを用いてワーク測定軌跡34を補正し、ワーク
輪郭形状35を算出する。 以上のようにした。
5でワークの輪郭をトレースし、そのときの触針15の
変位を検出することによって、ワーク測定データを検出
する測定部10と、(ロ)ナイフエッジまたは既知半径
の真円が形成された基準ゲージ17と、(ハ)基準ゲー
ジ17を測定して触針15の触針先端形状15aを求
め、触針先端形状15aの法線方向ごとに補正値δを算
出する補正値演算部21と、(ニ)算出された補正値δ
を記憶する補正値記憶部22と、(ホ)ワークを測定し
て検出されたワークの測定データから触針15の軌跡で
あるワーク測定軌跡34を求めるとともに、ワーク測定
軌跡34の法線方向ごとに、記憶された補正値δを用い
てワーク測定軌跡34を補正して、ワーク輪郭形状35
を算出する輪郭形状演算部23と、(ヘ)算出されたワ
ーク輪郭形状35を出力する出力部24と、(ト)基準
ゲージ17の測定か、ワークの測定か、測定内容を作業
者が補正値演算部21及び輪郭形状演算部23に指示す
る入力部25と、から構成した。
とによって触針15の触針先端形状15aが得られるの
で、これから触針先端形状15aの法線方向ごとに補正
値δを算出する。補正値δは触針先端形状15a上の各
点と触針15の先端近傍に設定された基準点15bとの
接線方向距離P及び法線方向距離Qである。次に、ワー
クを測定して得られたワーク測定軌跡34の法線方向ご
とに、接線方向にP、法線方向にQだけワーク測定軌跡
34を移動して補正し、ワーク輪郭形状35とする。
成を表すブロック図を図2に示す。図2において、測定
部10は従来の技術で説明したもの(図7に示したも
の)と同じである。補正値演算部21は基準ゲージ17
を測定して得られた触針15の触針先端形状15aか
ら、触針先端形状15aの法線方向ごとに補正値δを算
出する。補正値記憶部22は算出された補正値δを記憶
する。輪郭形状演算部23はワークを測定して検出され
たワークの測定データから触針15の軌跡であるワーク
測定軌跡34を求めるとともに、ワーク測定軌跡34の
法線方向ごとに、補正値δを用いてワーク測定軌跡34
を補正して、ワーク輪郭形状35を算出する。出力部2
4は算出されたワーク輪郭形状35をCRTに表示した
り、X−Yプロッターに出力する。入力部25は、基準
ゲージ17の測定か、ワークの測定か、測定内容を作業
者が補正値演算部21及び輪郭形状演算部23に指示す
るものである。
フローチャートを図1に示す。まず、入力部25から作
業者が基準ゲージ17の測定であることを指示し(ステ
ップ41)、測定部10で基準ゲージ17を測定すると
(ステップ42)、補正値演算部21で触針15の触針
先端形状15aが求められるとともに、触針先端形状1
5aの法線方向ごとに補正値δが算出されて、補正値δ
が補正値記憶部22に記憶される(ステップ43)。次
に、入力部25から作業者がワークの測定であることを
指示し(ステップ44)、測定部10でワークを測定す
ると(ステップ45)、ワークの測定データが得られ、
輪郭形状演算部23でワークの測定データから触針15
の軌跡であるワーク測定軌跡34が求められるととも
に、ワーク測定軌跡34の法線方向ごとに、補正値δを
用いてワーク測定軌跡34が補正され、ワーク輪郭形状
35が算出されて(ステップ46)、出力部24から測
定結果が出力される(ステップ47)。
出する方法を説明する。図3に触針15と基準ゲージ1
7が当接した状態を示す。図3において、基準ゲージ1
7は先端にナイフエッジ17aが形成されている。基準
点15bは触針15の先端近傍に設定された計算上の点
である。θは触針15と基準ゲージ17の当接点15c
の法線方向を示す法線角度、Pは当接点15cと基準点
15bとの接線方向距離、Qは当接点15cと基準点1
5bとの法線方向距離である。また、Lは当接点15c
と基準点15bとのX方向の距離、Mは当接点15cと
基準点15bとのZ方向の距離で、Mは検出器14で検
出される測定値、Lは検出器14の水平方向の移動量と
してスケールで検出される測定値に相当する。
P、法線方向距離Qは測定値L及びMから、次の式で算
出される。ただし、この式で、X方向は基準点15bを
原点とし基準点15bの右側をマイナスに、左側をプラ
スにしている。 tan(90−θ)=dM/dL (dM/dLはMをLで微分
した値) P=Lsinθ−Mcosθ Q2=L2+M2−P2
ベクトルで表すと、R及びαは次の式で算出される。 tan(θ−α)=P/Q R2=L2+M2
を測定(角度で120度程度の範囲)すると、基準ゲー
ジ測定データ31が得られるが、基準ゲージ測定データ
31は触針先端形状15aを反転した形状32になるの
で、基準ゲージ測定データ31を反転することによっ
て、触針先端形状15aが求められる。この場合、基準
ゲージ測定データ31には基準ゲージ17のナイフエッ
ジ17aの形状を含んでいるが、ナイフエッジ17aの
大きは非常に小さく(円弧形状とみると半径で0.5μ
m程度)、触針先端形状15aの半径(小さいもので2
5μm程度)に比べて無視できる大きさであり、触針測
定データ31を反転した形状32と触針先端形状15a
とはほぼ一致する。
aでなく半径が既知の真円が形成されたものでもよい。
この場合、基準ゲージ17を測定(角度で120度程度
の範囲)すると、図4に示す基準ゲージ測定データ33
が得られるが、基準ゲージ測定データ33を法線方向に
真円の半径rだけ補正すると、基準ゲージ測定データ3
1と同様の基準ゲージ測定データが得られるので、ナイ
フエッジ17aが形成された基準ゲージ17の場合と同
様にして触針先端形状15aを求めることができる。
補正値δを用いてワーク測定軌跡を補正する例を、図5
に示す。図5において、Waはワークの輪郭で、触針1
5の先端が当接点15dでワークの輪郭Waに当接して
いる。このような状態で触針15がX方向に移動する
と、基準点15bの軌跡であるワーク測定軌跡34が得
られる。ワーク測定軌跡34はワークの測定データから
検出機構上の誤差を補正して算出される。次に、得られ
たワーク測定軌跡34の法線角度θごとに、同じ法線角
度θに対応する触針先端形状15aの補正値δを補正値
記憶部22から呼び出し、α方向にRだけ移動する。移
動した基準点15bの軌跡がワーク輪郭形状35とな
る。
に、触針15の先端がワークの輪郭Waに当接している
当接点15dにおける法線角度θoと、そのときのワー
ク測定軌跡34における基準点15bの法線角度θとは
必ずしも一致しない。そのために、本来、当接点15d
における法線角度θoに基づいた補正値δoを用いるべ
きところを、ワーク測定軌跡34における法線角度θに
基づいた補正値δを用いるので、補正した点が当接点1
5dではなく当接点15eになってしまい、誤差が生じ
る。しかし、ワークの輪郭Waが滑らかな連続形状であ
る場合は、法線角度θoと法線角度θとの差は無視でき
るほど小さいので、前述した誤差は測定精度上問題にな
る値とはならない。したがって、図5において、算出さ
れたワーク輪郭形状35とワークの輪郭Waとは一致し
て記載している。
の補正方法で得られたワーク輪郭形状36も記載してい
るが、触針先端形状15aが真円から外れるほど、算出
されたワーク輪郭形状36がワークの輪郭Waから外れ
ることがわかる。
状測定機でワークの表面粗さ及びうねりを含む輪郭形状
を測定する場合について説明したが、これに限らず、変
位プローブ(ある範囲の測定が可能な電子プローブ)を
備えた座標測定機でワーク輪郭形状を測定する場合につ
いても、本発明を適用して変位プローブの測定子先端形
状を補正することができる。
ークの表面粗さ及びうねりを含む輪郭形状を求める輪郭
形状測定方法を、ナイフエッジまたは既知半径の真円が
形成された基準ゲージ17を測定して触針先端形状15
aを求め、触針先端形状15aの法線方向ごとに補正値
δを算出し、ワークを測定して得られたワーク測定軌跡
34の法線方向ごとに、補正値δを用いてワーク測定軌
跡34を補正し、ワーク輪郭形状35を算出するように
した。したがって、触針先端形状15aが真円と異なっ
ても高精度で測定ができ、触針15を高精度に加工した
り頻繁に交換する必要がない輪郭形状測定方法及びその
装置を提供することができる。
ーチャート
ック図
説明図
図
のワーク測定軌跡補正例の説明図
図
Claims (2)
- 【請求項1】触針でワークの輪郭をトレースし、そのと
きの前記触針の変位を検出することによって、ワークの
表面粗さ及びうねりを含む輪郭形状を求める輪郭形状測
定方法において、 ナイフエッジまたは既知半径の真円が形成された基準ゲ
ージを測定して前記触針の触針先端形状を求め、 前記触針先端形状の法線方向ごとに補正値を算出し、 ワークを測定して前記触針の軌跡であるワーク測定軌跡
を求め、 前記ワーク測定軌跡の法線方向ごとに、前記補正値を用
いて前記ワーク測定軌跡を補正し、 ワークの表面粗さ及びうねりを含む輪郭形状を算出する
ことを特徴とする輪郭形状測定方法。 - 【請求項2】触針でワークの輪郭をトレースし、そのと
きの前記触針の変位を検出することによって、ワークの
測定データを検出する測定部と、 ナイフエッジまたは既知半径の真円が形成された基準ゲ
ージと、 前記基準ゲージを測定して前記触針の触針先端形状を求
め、前記触針先端形状の法線方向ごとに補正値を算出す
る補正値演算部と、 算出された前記補正値を記憶する補正値記憶部と、 検出された前記ワークの測定データから前記触針の軌跡
であるワーク測定軌跡を求めるとともに、前記ワーク測
定軌跡の法線方向ごとに、記憶された前記補正値を用い
て前記ワーク測定軌跡を補正して、ワークの表面粗さ及
びうねりを含む輪郭形状を算出する輪郭形状演算部と、 算出された前記ワークの表面粗さ及びうねりを含む輪郭
形状を出力する出力部と、 前記基準ゲージの測定か、ワークの測定か、測定内容を
作業者が前記補正値演算部及び前記輪郭形状演算部に指
示する入力部と、 から構成されたことを特徴とする輪郭形状測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6200093A JP3025413B2 (ja) | 1994-08-02 | 1994-08-02 | 輪郭形状測定方法及びその装置 |
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JPH0843078A true JPH0843078A (ja) | 1996-02-16 |
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GB2499672A (en) * | 2012-02-27 | 2013-08-28 | Taylor Hobson Ltd | Surface measurement apparatus and method. |
Families Citing this family (1)
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-
1994
- 1994-08-02 JP JP6200093A patent/JP3025413B2/ja not_active Expired - Fee Related
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DE10115288B4 (de) | 2000-03-29 | 2019-02-28 | Mitutoyo Corp. | Messvorrichtung für Oberflächenstrukturen und Messverfahren für Oberflächenstrukturen |
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