JPH0842716A - Gate valve - Google Patents
Gate valveInfo
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- JPH0842716A JPH0842716A JP21946795A JP21946795A JPH0842716A JP H0842716 A JPH0842716 A JP H0842716A JP 21946795 A JP21946795 A JP 21946795A JP 21946795 A JP21946795 A JP 21946795A JP H0842716 A JPH0842716 A JP H0842716A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はゲートバルブ、特に
半導体ウエハー等の処理装置に用いるゲートバルブに関
するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gate valve, and more particularly to a gate valve used in a processing apparatus for semiconductor wafers and the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体ウエハーや液晶基板等の処理装置
においては、ウエハーや基板を種々の処理室に通路を介
して出し入れすることが行われており、上記通路には夫
々ゲートバルブが設けられている。上記の処理室にはで
きるだけ不純物が混入しないようにする必要がある。2. Description of the Related Art In a processing apparatus for processing semiconductor wafers, liquid crystal substrates, etc., wafers and substrates are put into and taken out of various processing chambers through passages, and gates are provided in the respective passages. There is. It is necessary to prevent impurities from entering the processing chamber as much as possible.
【０００３】また上記ゲートバルブとしては例えば実開
昭５１−１１５６３９号公報や特開昭５８−１５６７８
１号公報に示すものがある。このような例においては、
弁デスクを弁座に対して離間した状態で上下動し、弁座
に対向した位置で弁デスクをその側方から押圧すること
によって弁座に対接せしめている。The above gate valve is disclosed in, for example, Japanese Utility Model Laid-Open No. 51-15639 and Japanese Patent Laid-Open No. 58-15678.
There is one shown in Japanese Patent Publication No. In such an example,
The valve desk is moved up and down in a state of being separated from the valve seat, and is pressed against the valve seat from a side thereof at a position facing the valve seat, thereby bringing the valve desk into contact with the valve seat.
【０００４】また、実開昭５２−９３９３０号公報に示
すように弁箱の外側から挿入された弁ロッドを傾斜させ
ることにより弁デスクを弁座に押圧するようにしたゲー
トバルブ駆動装置も既知である。Also, as disclosed in Japanese Utility Model Laid-Open No. 52-93930, a gate valve drive device is known in which the valve desk inserted from the outside of the valve box is tilted to press the valve desk against the valve seat. is there.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】然しながら上記従来の
前者のゲートバルブでは弁デスクを弁座に押圧するた
め、弁抑え、柱体、スプリング、ストッパー、ローラ等
の多くの機械的可動部分が上記通路内に位置しており、
これらから機械的磨耗等により発生する不純物が上記処
理室内に混入するおそれが多い欠点があった。However, in the above-mentioned conventional gate valve, since the valve desk is pressed against the valve seat, many mechanically movable parts such as valve restraints, pillars, springs, stoppers, rollers and the like are formed in the passage. Located within
There is a drawback that impurities generated by mechanical abrasion or the like from these materials are likely to be mixed into the processing chamber.
【０００６】また、上記従来の後者のものではゲートバ
ルブを斜めに下向せしめてこれをシール材に当接し閉塞
するものであり、僅かではあるが両者が互いに摺動する
ようになる。従ってシール材の摩耗による通路内の汚染
はまぬがれない。Further, in the latter conventional type, the gate valve is obliquely downwardly directed and abuts against the sealing material to close the gate valve, and the two slide slightly with each other. Therefore, the contamination in the passage due to the wear of the sealing material cannot be prevented.
【０００７】本発明は上記の欠点を除くようにしたもの
である。The present invention eliminates the above-mentioned drawbacks.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明のゲートバルブ
は、弁箱と、この弁箱内に設けた弁座に対接されるよう
上記弁箱内に配置した弁デスクと、この弁デスクに連結
した、上記弁箱内から弁箱外にベローズを介して上下動
及び傾動自在に気密に突出する弁ロッドと、この弁ロッ
ドを介して上記弁デクスを上記弁座に対向する位置と対
向しない位置に移動自在ならしめ、上記弁デスクが上記
弁座にこれから離間して対向する位置となった後、上記
弁ロッドを傾動して上記弁デスクが上記弁座に押圧され
るようにした、弁箱外部に設けた移動手段とより成り、
上記移動手段が、ピストンシリンダと、このピストンシ
リンダのピストンロッドに連結されたヨークと、上記弁
ロッドの上部に連結されたブロックと、このブロックの
上面に形成した段部と、この段部と対向するよう上記ヨ
ークの下面に形成した段部と、上記両段部間に傾斜して
配置した断面菱形の板状カムと、上記ヨーク及びブロッ
クを軸方向の相対移動を抑制するよう互いに連結するば
ねと、上記ブロックを上下動及び傾動自在にガイドする
ため上記ピストンシリンダの側面に形成したガイドとよ
り成り、上記ヨークを上記ブロックに対して接近するよ
う押圧した際、上記板状カムが水平状となって上記弁ロ
ッドが上記ブロックを中心として傾斜し、上記弁デスク
が上記弁座に押圧されるようになることを特徴とする。A gate valve according to the present invention comprises a valve box, a valve desk arranged in the valve box so as to be in contact with a valve seat provided in the valve box, and A connected valve rod that vertically and tiltably projects airtightly from the inside of the valve box to the outside of the valve box via a bellows, and the valve index does not face the position facing the valve seat via the valve rod. The valve is tilted to a position, and after the valve desk is separated from the valve seat and becomes a position facing the valve seat, the valve rod is tilted so that the valve desk is pressed against the valve seat. Consisting of moving means provided outside the box,
The moving means includes a piston cylinder, a yoke connected to a piston rod of the piston cylinder, a block connected to an upper portion of the valve rod, a step portion formed on an upper surface of the block, and a step portion facing the step portion. So that the stepped portion formed on the lower surface of the yoke, the plate-like cam having a rhombic cross-section that is inclined between the stepped portions, and the spring that connects the yoke and the block to each other so as to suppress relative movement in the axial direction. And a guide formed on the side surface of the piston cylinder to guide the block vertically and tiltably, and when the yoke is pressed toward the block, the plate-like cam is horizontal. Then, the valve rod is inclined around the block, and the valve desk is pressed against the valve seat.
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】以下図面によって本発明の実施例
を説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１０】図１〜図５において、１は弁箱、２はこの
弁箱１内に設けた矩形状の弁座、３はこの弁座２に対接
されるよう上記弁箱１内に配置した矩形板状の弁デス
ク、４は上記弁箱１の上部両側に設けたピストンシリン
ダ、５はそのピストン、６はピストンロッド、７はこの
ピストンロッド６の上部に連結したヨーク、８は上記弁
デスク３から上記弁箱１外に突出する弁ロッドを示す。1 to 5, 1 is a valve box, 2 is a rectangular valve seat provided in the valve box 1, and 3 is arranged in the valve box 1 so as to be in contact with the valve seat 2. A rectangular plate-like valve desk, 4 are piston cylinders provided on both sides of the upper portion of the valve box 1, 5 are pistons, 6 is a piston rod, 7 is a yoke connected to the upper portion of the piston rod 6, and 8 is the valve. A valve rod protruding from the desk 3 to the outside of the valve box 1 is shown.
【００１１】本発明においては上記弁ロッド８の上記弁
箱１外に突出した部分に、軸方向に伸縮自在な筒状ベロ
ーズ９の一端を気密に接続し、他端を上記弁箱１に気密
に固定し、上記弁ロッド８が上記弁箱１内から弁箱１外
に気密に突出されるようにする。In the present invention, one end of an axially expandable tubular bellows 9 is airtightly connected to the portion of the valve rod 8 protruding outside the valve box 1, and the other end is airtightly connected to the valve box 1. The valve rod 8 is made to protrude from the inside of the valve box 1 to the outside of the valve box 1 in an airtight manner.
【００１２】また、上記弁ロッドの上部にブロック１０
を連結し、このブロック１０の両側中心線上に枢軸１１
を、上記弁座２に対する上記弁デスク３の押圧方向と直
角の方向に延びるよう突設し、この枢軸１１をガイドす
る所定長さのガイド溝１２を上記２つのピストンシリン
ダ４の側面中心線上に夫々設け、上記ピストンシリンダ
４の側面に形成したガイド溝１２の下端によって上記枢
軸１１が支持されている状態で上記ブロック１０を図１
に示す矢印Ａ方向に押せば上記枢軸１１を中心として上
記弁ロッド８が傾動し、この弁ロッド８の下端に連結さ
れた上記弁デスク３が図１の矢印Ｂ方向に移動し上記弁
座２に押圧されるようにする。A block 10 is provided above the valve rod.
To connect the shafts 11 to the center lines on both sides of the block 10.
Projecting so as to extend in a direction perpendicular to the direction in which the valve desk 3 is pressed against the valve seat 2, and a guide groove 12 having a predetermined length for guiding the pivot 11 is provided on the center line of the side surface of the two piston cylinders 4. The block 10 is provided with the pivot 11 supported by the lower end of a guide groove 12 formed on the side surface of the piston cylinder 4 as shown in FIG.
When pushed in the direction of arrow A shown in FIG. 2, the valve rod 8 tilts about the pivot 11, and the valve desk 3 connected to the lower end of the valve rod 8 moves in the direction of arrow B in FIG. To be pressed.
【００１３】更に、上記ブロック１０の上記両側に溝１
３を形成し、この溝１３内に引張ばね１５を配置すると
共に、上記ヨーク７の上記弁座２側の側面に垂下部分１
４を設け、この垂下部分１４に引張ばね１５の一端を取
り付け、他端を上記ブロック１０に固定する。Further, grooves 1 are provided on both sides of the block 10.
3, a tension spring 15 is disposed in the groove 13, and a hanging portion 1 is formed on a side surface of the yoke 7 on the valve seat 2 side.
4 is provided, one end of the tension spring 15 is attached to the hanging portion 14, and the other end is fixed to the block 10.
【００１４】また、上記ブロック１０の上面及びヨーク
７の下面に夫々対向する段部１６ａ，１６ｂを形成し、
両者間に断面が菱形の板状カム１７を傾斜して配置せし
め、上記ピストンシリンダ４のピストンロッド６によっ
て上記ヨーク７を下降せしめた場合、上記ブロック１０
と共に下降し、上記ブロック１０の枢軸１１が上記ピス
トンシリンダ４の側面に形成したガイド溝１２の下端に
接するようになった状態で更に上記ヨーク７をブロック
１０に向かって押し下げた場合、上記傾斜した板状カム
１７が略水平となりその結果上記ブロック１０が上記枢
軸１１を中心として上記引張ばね１５のばね力に抗して
上記矢印Ａ方向に移動されるようにする。Further, opposing steps 16a and 16b are formed on the upper surface of the block 10 and the lower surface of the yoke 7, respectively.
When the plate-like cam 17 having a rhombic cross section is disposed between the two and inclined, and the yoke 7 is lowered by the piston rod 6 of the piston cylinder 4, the block 10
When the yoke 7 is further pushed down toward the block 10 in a state where the pivot 11 of the block 10 comes into contact with the lower end of the guide groove 12 formed on the side surface of the piston cylinder 4, the inclination The plate-like cam 17 becomes substantially horizontal, so that the block 10 is moved about the pivot 11 against the spring force of the tension spring 15 in the direction of the arrow A.
【００１５】なお、上記板状カム１７と引張ばね１５の
配置関係は、図１に示すように常時ハの字形を形成する
ように定めるのが好ましい。It is preferable that the positional relationship between the plate-like cam 17 and the tension spring 15 is determined so as to always form a C-shape as shown in FIG.
【００１６】本発明のゲートバルブは上記のような構成
であるから、弁を閉じるときは、ピストンシリンダ４を
操作してヨーク７を下降せしめれば同時にブロック１０
が引張ばね１５によってヨーク７の垂下部分１４に摩擦
結合されたまま一体に下降し、その結果図１，図２に示
すように弁デスク３が弁座２に対向する位置に下降し、
この位置で枢軸１１が上記ガイド溝１２の下端に接して
位置決めされるようになる。Since the gate valve of the present invention has the above-described structure, when closing the valve, the piston cylinder 4 is operated to lower the yoke 7, and at the same time, the block 10 is closed.
Are lowered integrally while being frictionally coupled to the hanging portion 14 of the yoke 7 by the tension spring 15, and as a result, the valve desk 3 is lowered to a position facing the valve seat 2 as shown in FIGS.
At this position, the pivot 11 comes into contact with the lower end of the guide groove 12 and is positioned.
【００１７】この状態では上記ブロック１０はそれ以上
下降しないが、ヨーク７は更に下降を続け、ヨーク７が
ブロック１０に対して押し下げられ、傾斜している板状
カム１７が略水平となり、これに伴ってブロック１０が
引張ばね１５のばね力に抗して水平方向に移動され、こ
の移動によりブロック１０が枢軸１１を中心として引張
ばね１５のばね力に抗して上記矢印Ａ方向に傾動し、こ
の結果、弁ロッド８の下端に連結された弁デスク３が上
記矢印Ｂ方向に移動して弁座２に強く押圧されるように
なる。In this state, the block 10 does not descend further, but the yoke 7 continues to descend further, the yoke 7 is pushed down with respect to the block 10, and the inclined plate-like cam 17 becomes substantially horizontal. Along with this, the block 10 is moved in the horizontal direction against the spring force of the tension spring 15, and this movement causes the block 10 to tilt in the direction of arrow A against the spring force of the tension spring 15 around the pivot 11. As a result, the valve desk 3 connected to the lower end of the valve rod 8 moves in the direction of the arrow B and is strongly pressed against the valve seat 2.
【００１８】なお、この状態でピストンシリンダ４によ
るヨーク７の下降を停止すれば、弁デスク３は弁座２に
押圧された状態に維持される。If the lowering of the yoke 7 by the piston cylinder 4 is stopped in this state, the valve disc 3 is kept pressed by the valve seat 2.
【００１９】弁を開く場合には、ピストンシリンダ４を
操作してヨーク７を上昇せしめる。この場合、ブロック
１０は、弁座２と弁デスク３間の摩擦力が大きいため直
ちに上昇することはなく、一方ブロック１０の側面は上
記ヨーク７の垂下部分１４から離間して両者は摩擦結合
されていないためヨーク７のみがブロック１０に相対的
に上方に引き離されるようになり、この結果引張ばね１
５の作用により板状カム１７が再び傾斜し、同時に弁ロ
ッド８の傾斜が解除され、弁デスク３が上記矢印Ｂ方向
と反対方向に移動して弁座２から離れ、続いてヨーク７
と共にブロック１０が弁デスク３と共に上昇し、図３に
示すように弁が開くようになる。When opening the valve, the piston cylinder 4 is operated to raise the yoke 7. In this case, the block 10 does not immediately rise due to the large frictional force between the valve seat 2 and the valve desk 3, while the side surface of the block 10 is separated from the hanging portion 14 of the yoke 7 and the two are frictionally connected. As a result, only the yoke 7 is pulled upward relative to the block 10 so that the tension spring 1
5, the plate cam 17 tilts again, and at the same time, the tilt of the valve rod 8 is released, and the valve desk 3 moves in the direction opposite to the direction of the arrow B to separate from the valve seat 2, and then the yoke 7
At the same time, the block 10 rises together with the valve desk 3 to open the valve as shown in FIG.
【００２０】なお上記実施例においては、上記弁ロッド
８が傾斜する際筒状ベローズ９も傾斜変形するようにな
るが、上記枢軸１１の位置決めされる位置を上記筒状ベ
ローズ９の略中間の高さならしめれば、上記ベローズ９
の傾斜変形を最小ならしめることができるので好まし
い。In the above embodiment, when the valve rod 8 is tilted, the cylindrical bellows 9 is also tilted and deformed. However, the position at which the pivot 11 is positioned is set at a substantially middle height of the cylindrical bellows 9. By the way, the bellows 9
It is preferable because the inclination deformation of can be minimized.
【００２１】[0021]
【発明の効果】上記のように本発明のゲートバルブによ
れば、ベローズ９によって外部から気密に区劃された弁
箱１内には弁デスク３を弁座２に対し押圧するための機
械部品が全く含まれておらず、また、弁デスク３は弁座
２に対向する位置迄下降した後これに直角に押圧される
ので従来のもののように弁箱１内で磨耗その他による不
純物を発生するおそれが無いと共に、上記弁デスク３の
駆動手段を極めて簡単な構成とすることができる。ま
た、ブロック１０はピストンシリンダ４間に配置されて
いるのでその高さを低くでき、ゲートバルブ全体の形状
を小型化できる等大きな利益がある。As described above, according to the gate valve of the present invention, a mechanical part for pressing the valve desk 3 against the valve seat 2 in the valve box 1 airtightly partitioned from the outside by the bellows 9. And the valve desk 3 descends to a position facing the valve seat 2 and is pressed at right angles thereto, so that impurities such as wear and the like are generated in the valve box 1 as in the conventional case. There is no danger, and the driving means for the valve desk 3 can have an extremely simple configuration. In addition, since the block 10 is disposed between the piston cylinders 4, there is a great advantage that the height can be reduced and the shape of the entire gate valve can be reduced.
【図１】弁が閉じる直前の状態における本発明のゲート
バルブの縦断側面図である。FIG. 1 is a vertical cross-sectional side view of a gate valve of the present invention immediately before the valve is closed.
【図２】弁が閉じる直前の状態における本発明のゲート
バルブの縦断正面図である。FIG. 2 is a longitudinal sectional front view of the gate valve of the present invention in a state immediately before the valve is closed.
【図３】弁を開いた状態における本発明のゲートバルブ
の正面図である。FIG. 3 is a front view of the gate valve of the present invention in a state where the valve is opened.
【図４】本発明のゲートバルブのピストンシリンダ部分
の斜視図である。FIG. 4 is a perspective view of a piston cylinder portion of the gate valve of the present invention.
【図５】本発明のゲートバルブのブロック部分の斜視図
である。FIG. 5 is a perspective view of a block portion of the gate valve of the present invention.
１ 弁箱 ２ 弁座 ３ 弁デスク ４ ピストンシリンダ ５ ピストン ６ ピストンロッド ７ ヨーク ８ 弁ロッド ９ 筒状ベローズ １０ ブロック １１ 枢軸 １２ ガイド溝 １３ 溝 １４ 垂下部分 １５ 引張ばね １６ａ 段部 １６ｂ 段部 １７ 板状カム DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Valve box 2 Valve seat 3 Valve desk 4 Piston cylinder 5 Piston 6 Piston rod 7 Yoke 8 Valve rod 9 Cylindrical bellows 10 Block 11 Axis 12 Guide groove 13 Groove 14 Hanging part 15 Tension spring 16a Step 16b Step 17 Plate cam
Claims (1)
されるよう上記弁箱内に配置した弁デスクと、この弁デ
スクに連結した、上記弁箱内から弁箱外にベローズを介
して上下動及び傾動自在に気密に突出する弁ロッドと、
この弁ロッドを介して上記弁デクスを上記弁座に対向す
る位置と対向しない位置に移動自在ならしめ、上記弁デ
スクが上記弁座にこれから離間して対向する位置となっ
た後、上記弁ロッドを傾動して上記弁デスクが上記弁座
に押圧されるようにした、弁箱外部に設けた移動手段と
より成り、上記移動手段が、ピストンシリンダと、この
ピストンシリンダのピストンロッドに連結されたヨーク
と、上記弁ロッドの上部に連結されたブロックと、この
ブロックの上面に形成した段部と、この段部と対向する
よう上記ヨークの下面に形成した段部と、上記両段部間
に傾斜して配置した断面菱形の板状カムと、上記ヨーク
及びブロックを軸方向の相対移動を抑制するよう互いに
連結するばねと、上記ブロックを上下動及び傾動自在に
ガイドするため上記ピストンシリンダの側面に形成した
ガイドとより成り、上記ヨークを上記ブロックに対して
接近するよう押圧した際、上記板状カムが水平状となっ
て上記弁ロッドが上記ブロックを中心として傾斜し、上
記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになることを特
徴とするゲートバルブ。1. A valve box, a valve desk arranged in the valve box so as to be in contact with a valve seat provided in the valve box, and a valve box connected to the valve desk, from inside the valve box to outside the valve box. A valve rod protruding airtightly vertically and tiltably via bellows,
The valve index is movable via the valve rod to a position facing the valve seat and a position not facing the valve seat. After the valve desk is separated from the valve seat and faces the valve seat, And a moving means provided outside the valve box so that the valve desk is pressed against the valve seat. The moving means is connected to a piston cylinder and a piston rod of the piston cylinder. A yoke, a block connected to the upper part of the valve rod, a step formed on the upper surface of the block, a step formed on the lower surface of the yoke so as to face the step, and between the two steps. A plate-like cam having a rhombic cross section arranged in an inclined manner, a spring connecting the yoke and the block to each other so as to suppress relative movement in the axial direction, and an upper spring for guiding the block vertically and tiltably. When the yoke is pressed so as to approach the block, the plate-like cam becomes horizontal and the valve rod inclines about the block, A gate valve, wherein a valve desk is pressed against the valve seat.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21946795A JP2649662B2 (en) | 1993-07-22 | 1995-08-07 | Gate valve |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20130993 | 1993-07-22 | ||
| JP5-201309 | 1993-07-22 | ||
| JP21946795A JP2649662B2 (en) | 1993-07-22 | 1995-08-07 | Gate valve |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5342760A Division JP2613171B2 (en) | 1993-07-22 | 1993-12-16 | Gate valve |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0842716A true JPH0842716A (en) | 1996-02-16 |
| JP2649662B2 JP2649662B2 (en) | 1997-09-03 |
Family
ID=26512717
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21946795A Expired - Lifetime JP2649662B2 (en) | 1993-07-22 | 1995-08-07 | Gate valve |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2649662B2 (en) |
-
1995
- 1995-08-07 JP JP21946795A patent/JP2649662B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2649662B2 (en) | 1997-09-03 |
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