JPH0727235A - Non-sliding gate valve - Google Patents
Non-sliding gate valveInfo
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- JPH0727235A JPH0727235A JP19542093A JP19542093A JPH0727235A JP H0727235 A JPH0727235 A JP H0727235A JP 19542093 A JP19542093 A JP 19542093A JP 19542093 A JP19542093 A JP 19542093A JP H0727235 A JPH0727235 A JP H0727235A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は無摺動ゲートバルブに関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a non-sliding gate valve.
【０００２】[0002]
【従来の技術及びその問題点】ＩＣ、ＣＣＤ、液晶表示
素子などの半導体製品の製造ラインはその代表例である
が、極く微量の、極く微細な異物粒子（ダスト）の存在
が製品の歩留りを大幅に低下させるために、製造ライン
の清浄度の保持についての要求が近年とみに厳しくなっ
ている。ゲートバルブはその製造ラインに欠くことの出
来ない配管部材であるが、弁本体内部において弁体を開
閉させる機構の構成要素部材が摺動、転動、その他、摩
擦を伴う動きをし、その摩擦によって発生するダストが
製造ラインを汚染し、清浄度を低下させることが多かっ
た。また、この摩擦を減少させるために潤滑剤を使用す
ることも考えられるが、潤滑剤そのものによる汚染の防
止には複雑な技術を要し、かつ潤滑剤の劣化による潤滑
作用の低下もあるので完全な解決策ではない。2. Description of the Related Art A typical example is a production line for semiconductor products such as ICs, CCDs, liquid crystal display devices, etc. However, the presence of extremely small amounts of extremely fine foreign particles (dust) is the main cause of the product. In recent years, demands for maintaining cleanliness of manufacturing lines have become severe in order to significantly reduce the yield. A gate valve is a pipe member that is indispensable in its manufacturing line, but the component members of the mechanism that opens and closes the valve body inside the valve body slides, rolls, and otherwise moves with friction, which causes friction. The dust generated by the pollutants often contaminates the production line and deteriorates the cleanliness. It is also possible to use a lubricant to reduce this friction, but complicated technology is required to prevent contamination by the lubricant itself, and the deterioration of the lubricant may reduce the lubrication effect. Not a solution.
【０００３】これらの問題に対処したものとして、特開
平３−２０４４８３号公報に「無しゅう動真空ゲートバ
ルブ」が提案されている。この従来例は弁本体の内部に
おいて摩擦部分をなくすようにしたものであり進歩した
ものであるが、未だ十分な解決とはなっていない。すな
わち、図８はこの従来例の無しゅう動真空ゲートバルブ
の部分破断正面図を左半分に、正面図を右半分に示した
ものであり、図９は部分破断側面図であるが、これらの
図を参照して以下にその内容を説明する。As a solution to these problems, a "sliding vacuum gate valve" has been proposed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-204448. Although this conventional example is an improvement in which the frictional portion is eliminated inside the valve body, it is not yet a sufficient solution. That is, FIG. 8 shows a partially cutaway front view of the conventional sliding vacuum gate valve in the left half and a front view in the right half, and FIG. 9 is a partially cutaway side view. The contents will be described below with reference to the drawings.
【０００４】この従来例では、ほぼ直方体形状の弁本体
１００の相対する側壁に長方形の開口１０１、１０２が
形成されている。弁本体１００の内部においては、一方
の開口１０１の周辺に弁座１０３が設けられており、こ
の弁座１０３へ押し付けるための、開口１０１よりやや
大きい輪郭の長方形の弁体１１０が配置されている。ま
た弁本体１００の下壁に形成した円形の開口１０４を弁
本体１００の外部から内部へゆるく貫通して、弁体操作
棒１１７が設けられており、その先端には、半球状の突
起１１４を有する弁体押圧部材１１２が取り付けられ、
更にこの弁体押圧部材１１２には弁体１１０がコイルば
ね１１５を介して取り付けられている。In this conventional example, rectangular openings 101 and 102 are formed in opposite side walls of a valve body 100 having a substantially rectangular parallelepiped shape. Inside the valve body 100, a valve seat 103 is provided around one opening 101, and a rectangular valve body 110 having a slightly larger contour than the opening 101 is arranged for pressing against the valve seat 103. . Further, a valve body operating rod 117 is provided by penetrating the circular opening 104 formed in the lower wall of the valve body 100 from the outside to the inside of the valve body 100, and a hemispherical projection 114 is provided at the tip thereof. The valve body pressing member 112 having is attached,
Further, the valve body 110 is attached to the valve body pressing member 112 via a coil spring 115.
【０００５】なお、弁体押圧部材１１２は弁体１１０よ
りやや小さい輪郭の長方形状をしており、半球状の突起
１１４はその中心部にあって、弁体１１０を押圧するた
めのものである。また、弁体１１０と弁体押圧部材１１
２とは、弁体１１０の内側に設けたくぼみの横周壁１１
９と弁体押圧部材１１２の段差１１３との間を、複数の
コイルばね１１５によって弾性的に連結されている。The valve body pressing member 112 has a rectangular shape with a slightly smaller contour than the valve body 110, and the hemispherical projection 114 is at the center thereof and is for pressing the valve body 110. . Further, the valve body 110 and the valve body pressing member 11
The reference numeral 2 denotes a hollow peripheral wall 11 provided inside the valve body 110.
9 and the step 113 of the valve body pressing member 112 are elastically connected by a plurality of coil springs 115.
【０００６】弁本体１００の下壁部には支持架台１０
５、１０６が弁本体１００の中心に対称的な位置に垂直
に固定されており、それぞれの下部には空気圧シリンダ
１４０が固定されている。また支持架台１０５、１０６
の上部にはピン１０７が取り付けられており、このピン
１０７を軸として旋回する垂直部材１２１とこれらを連
結する水平部材１２２とからなる上向きコ字状の旋回枠
１２０が設けられている。更には支持架台１０５、１０
６の下部に固定された空気圧シリンダ１４０はそのピス
トン棒が旋回枠１２０の垂直部材１２１と水平部材１２
２との交点を押して、旋回枠１２０をピン１０７の回り
に旋回させるような位置関係にある。A support base 10 is provided on the lower wall of the valve body 100.
Reference numerals 5 and 106 are vertically fixed at symmetrical positions with respect to the center of the valve body 100, and a pneumatic cylinder 140 is fixed to the lower portion of each. In addition, the support frames 105 and 106
A pin 107 is attached to the upper part of the above, and an upward U-shaped swivel frame 120 including a vertical member 121 that swivels about the pin 107 and a horizontal member 122 that connects them is provided. Furthermore, the support frames 105 and 10
The pneumatic cylinder 140 fixed to the lower part of the piston 6 has a piston rod having a vertical member 121 and a horizontal member 12 of the swivel frame 120.
The positional relationship is such that the turning frame 120 is turned around the pin 107 by pushing the intersection with 2.
【０００７】弁本体１００の外部において、弁体操作棒
１１７は旋回枠１２０の水平部材１２２に固定された空
気圧シリンダ１３５のピストン棒に連結されている。Outside the valve body 100, the valve body operating rod 117 is connected to a piston rod of a pneumatic cylinder 135 fixed to the horizontal member 122 of the swivel frame 120.
【０００８】なお、弁本体１００の下壁に形成した開口
１０４を気密にシールするためのベローズ１３８が上端
を弁本体１００の下壁に、下端を弁体操作棒１１７に固
定して設けられており、弁体操作棒１１７の動きに応じ
て伸縮するようになっている。A bellows 138 for hermetically sealing the opening 104 formed in the lower wall of the valve body 100 is provided by fixing the upper end to the lower wall of the valve body 100 and the lower end to the valve body operating rod 117. The valve operating rod 117 expands and contracts according to the movement of the valve operating rod 117.
【０００９】従来例の無しゅう動真空ゲートバルブは以
上のように構成されるが、それは次のように作動する。The conventional sliding vacuum gate valve is constructed as described above, and it operates as follows.
【００１０】図８、図９は弁体１１０が弁座１０３から
離れて、従来例のゲートバルブの開から閉、または閉か
ら開の途中の状態を示している。この時、空気圧シリン
ダ１３５のピストン棒は最も押し出した状態、空気圧シ
リンダ１４０のピストン棒は最も引き込んだ状態にあ
る。図８、図９の状態から空気圧シリンダ１３５のピス
トン棒を引き込ませると弁体操作棒１１７も引き下げら
れ、弁本体１００の開口１０１、１０２が連通されてゲ
ートバルブは開の状態になる。FIGS. 8 and 9 show a state in which the valve element 110 is separated from the valve seat 103 and the gate valve of the conventional example is in the middle of opening and closing or closing and opening. At this time, the piston rod of the pneumatic cylinder 135 is in the most pushed state, and the piston rod of the pneumatic cylinder 140 is in the most pulled state. When the piston rod of the pneumatic cylinder 135 is pulled in from the state shown in FIGS. 8 and 9, the valve body operating rod 117 is also pulled down, the openings 101 and 102 of the valve body 100 are communicated, and the gate valve is opened.
【００１１】また図８、図９の状態から空気圧シリンダ
１４０のピストン棒を押し出すと旋回枠１２０は図９に
おいてピン１０７を回転軸として反時計方向に旋回する
ので、この旋回枠１２０に固定されている空気圧シリン
ダ１３５、弁体操作棒１１７、弁体押圧部材１１２、弁
体１１０も反時計方向に旋回されて、弁体１１０はその
外面に設けられているシールリング１１１を弁座１０３
に押し付けて開口１０１を遮蔽し、ゲートバルブは閉の
状態となる。When the piston rod of the pneumatic cylinder 140 is pushed out from the state shown in FIGS. 8 and 9, the swivel frame 120 swivels counterclockwise about the pin 107 in FIG. 9, so it is fixed to the swivel frame 120. The pneumatic cylinder 135, the valve body operating rod 117, the valve body pressing member 112, and the valve body 110 also are rotated counterclockwise, and the valve body 110 has the seal ring 111 provided on the outer surface thereof and the valve seat 103.
The gate valve is closed by pressing it against the opening 101.
【００１２】従来例のゲートバルブは以上のように構成
され作動し、開閉機構は弁本体１００の外部に設けられ
てダストの発生を抑えたものにはなっているが、なお、
以下の点において必ずしも十分なものではない。The conventional gate valve is constructed and operated as described above, and the opening / closing mechanism is provided outside the valve body 100 to suppress the generation of dust.
The following points are not always sufficient.
【００１３】すなわち、弁体１１０はピン１０７を回転
軸とする旋回によって弁座１０３に押圧されるが、この
時に弁座１０３と弁体１１０上のシールリング１１１と
の接圧を全体的に均等なものとするために、複数のコイ
ルばね１１５で弁体押圧部材１１２と弁体１１０とを弾
性的に連結している。このことはコイルばね１１５の屈
曲を前提としており、コイルばね１１５の他部材への接
触や取り付け部での摩擦を生ずる恐れが存在している。
また、弁体押圧部材１１２の半球状突起１１４による弁
体１１０の閉時毎の押圧による摩擦も存在する。更には
弁体支持棒１１７は空気圧シリンダ１３５のピストン棒
に連結されているのみで他に支持点を持たないまま弁本
体１００の内部へ挿通されており、かつ空気圧シリンダ
１３５の固定されている旋回枠１２０はゲートバルブが
閉の状態から戻しコイルばね１０９によって図９の状態
へ戻っているのみであるため、その位置は不安定であり
易く、図９の状態から空気圧シリンダ１３５が作動して
弁体操作棒１１７を引き下げる場合、または引き下げた
位置から図９の状態へ戻す場合に、弁体操作棒１１７は
芯振れを生じて、弁体操作棒１１７それ自身、ないしは
これに連結されている弁体１１０が他部材と接触してダ
ストを生ずる恐れもある。That is, the valve body 110 is pressed against the valve seat 103 by turning around the pin 107 as a rotation axis. At this time, the contact pressure between the valve seat 103 and the seal ring 111 on the valve body 110 is entirely uniform. For this reason, the plurality of coil springs 115 elastically connect the valve body pressing member 112 and the valve body 110. This is premised on the bending of the coil spring 115, and there is a risk that the coil spring 115 may come into contact with other members or cause friction at the mounting portion.
Further, there is friction caused by the pressing of the valve body 110 by the hemispherical projection 114 of the valve body pressing member 112 every time the valve body 110 is closed. Further, the valve body support rod 117 is only connected to the piston rod of the pneumatic cylinder 135, is inserted into the inside of the valve body 100 without any other supporting point, and is fixed to the pneumatic cylinder 135. Since the frame 120 only returns from the closed state of the gate valve to the state of FIG. 9 by the return coil spring 109, its position is likely to be unstable, and the pneumatic cylinder 135 operates from the state of FIG. 9 to operate the valve. When the body operating rod 117 is pulled down or returned from the lowered position to the state shown in FIG. 9, the valve body operating rod 117 causes a runout, and the valve body operating rod 117 itself or the valve connected to it. The body 110 may come into contact with other members to generate dust.
【００１４】[0014]
【発明が解決しようとする問題点】本発明は上述の問題
に鑑みてなされたものであり、ゲートバルブの開閉時に
弁本体の内部において摺動、転動、その他による摩擦部
分を無くして、摩擦によるダストの発生を皆無とし、高
い清浄度の要求される製造ラインでの使用に好適な無摺
動ゲートバルブを提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and eliminates frictional parts due to sliding, rolling, and the like inside the valve body when the gate valve is opened / closed to eliminate friction. It is an object of the present invention to provide a non-sliding gate valve suitable for use in a production line that requires high cleanliness and that does not generate dust by itself.
【００１５】[0015]
【問題点を解決するための手段】以上の目的は、側壁に
開口を有する弁本体と、該弁本体の内部にあって前記開
口を遮蔽する弁体と、前記弁本体の外部から内部へ挿通
されており、その先端部に取り付けられた前記弁体を操
作する弁軸と、前記弁本体の外部に設けられ前記弁軸を
操作する開閉機構とからなり、前記開閉機構は前記弁体
を前記開口の周縁部に着座させかつ離座させる作動と、
前記弁体を前記開口に対向する位置から離隔させかつ前
記開口に対向する位置へ戻す作動とを行なう無摺動ゲー
トバルブにおいて、前記開閉機構は、前記弁軸の他端が
前記弁本体に固定された往復動機構によって駆動される
スライド部に、該スライド部と固定されている傾動機構
を介して、連結されており、前記往復動機構が作動する
と、前記弁本体に前記弁軸と同方向に垂直に固定されて
いる支持柱と一体的なレール上を前記スライド部に付属
するローラが転動することによって、前記スライド部が
往復自在にスライドし、前記スライド部と共に前記弁軸
が往復動して、前記弁体を前記開口に対向する位置から
離隔させかつ前記開口へ対向する位置へ戻すように作動
し、更には前記弁軸が前記スライド部に支持された傾動
ピンに連結されており、前記スライド部に固定されて前
記弁軸と連結されている前記傾動機構が作動すると、前
記弁軸が傾動ピンを回転軸として傾動して、前記弁体を
前記開口の周縁部に着座させかつ離座させるように作動
することを特徴とする無摺動ゲートバルブ、によって達
成される。[Means for Solving the Problems] The above object is to provide a valve main body having an opening in a side wall, a valve body inside the valve main body for blocking the opening, and a valve body inserted from the outside to the inside. And a valve shaft mounted on the tip of the valve shaft for operating the valve body, and an opening / closing mechanism provided outside the valve body for operating the valve shaft. An operation of seating on and off the periphery of the opening,
In a non-sliding gate valve that performs an operation of separating the valve body from a position facing the opening and returning to a position facing the opening, the opening / closing mechanism fixes the other end of the valve shaft to the valve body. Is connected to a slide portion driven by the reciprocating mechanism, which is connected via a tilting mechanism fixed to the slide portion, and when the reciprocating mechanism operates, the valve main body moves in the same direction as the valve shaft. When a roller attached to the slide portion rolls on a rail that is integral with a support column that is fixed vertically to the slide portion, the slide portion slides reciprocally, and the valve shaft reciprocates together with the slide portion. The valve body is separated from the position facing the opening and returned to the position facing the opening, and the valve shaft is connected to a tilting pin supported by the slide portion. When the tilting mechanism fixed to the slide portion and connected to the valve shaft operates, the valve shaft tilts with the tilting pin as a rotation axis, and the valve body is seated on the peripheral portion of the opening. And a non-sliding gate valve characterized by being operated so as to be separated.
【００１６】また以上の目的は、前記弁軸の傾動によっ
て前記弁体が前記開口を遮蔽する時に、前記弁体の面が
前記開口の面と平行して均等に接するように、前記弁体
が予め前記弁軸の軸心とは傾斜して前記弁軸に取り付け
られている請求項１に記載の無摺動ゲートバルブ、によ
って達成される。Further, the above object is such that when the valve body blocks the opening due to the tilting of the valve shaft, the valve body is so arranged that the surface of the valve body is evenly contacted in parallel with the surface of the opening. It is achieved by the non-sliding gate valve according to claim 1, which is attached to the valve shaft in advance with an inclination with respect to the axis of the valve shaft.
【００１７】また以上の目的は、前記弁軸が前記弁本体
へ挿通されている箇所を気密にシールするための、一端
を前記弁本体に固定し、他端を前記弁軸に固定して設け
られたベローズを有する請求項１または請求項２に記載
の無摺動ゲートバルブ、によって達成される。Further, the above-mentioned object is provided by fixing one end to the valve body and fixing the other end to the valve shaft for hermetically sealing a portion where the valve shaft is inserted into the valve body. A non-slidable gate valve according to claim 1 or claim 2 having an enclosed bellows.
【００１８】[0018]
【作用】請求項１による無摺動ゲートバルブは、摺動、
転動、その他を伴うゲートバルブの開閉機構を弁本体の
外部に設けていることに加えて、弁軸の往復動を弁本体
に固定された往復動機構の駆動によるものとしているこ
と、更には一端で往復動機構に連結され他端で弁軸に連
結されているスライド部が、それ自身に付属するローラ
を介し、弁本体に垂直に固定されている支持柱と一体的
なレールに沿ってスライドするようにしていることによ
って、弁軸の芯振れがなく、弁本体の内部において構成
要素部材同志の接触によるダスト発生の恐れがない。The non-sliding gate valve according to claim 1 is a sliding
In addition to providing a gate valve opening / closing mechanism with rolling and the like outside the valve body, reciprocating the valve shaft is driven by a reciprocating mechanism fixed to the valve body. A slide part, which is connected to the reciprocating mechanism at one end and connected to the valve shaft at the other end, extends along a rail integrated with a support column vertically fixed to the valve body via a roller attached to itself. Since it slides, there is no center runout of the valve shaft, and there is no risk of dust generation due to contact between the constituent element members inside the valve body.
【００１９】また請求項２による無摺動ゲートバルブ
は、請求項１の無摺動ゲートバルブの作用のほかに、弁
体が開口を遮蔽する時に弁体の面と開口の面とが平行し
て均等に接するように、弁体を予め傾斜させて弁軸に可
動部を介さずに取り付けているので、弁体の動きによる
構成要素部材同志の接触もなく、従ってそれによるダス
ト発生の恐れもない。In addition to the function of the non-slide gate valve of the first aspect, the non-slide gate valve according to the second aspect is such that the surface of the valve element and the surface of the opening are parallel to each other when the valve element blocks the opening. Since the valve element is pre-tilted and attached to the valve shaft without a moving part so that they contact each other evenly, there is no contact between the component members due to the movement of the valve element, and therefore there is a risk of dust generation. Absent.
【００２０】また請求項３による無摺動ゲートバルブ
は、請求項１または請求項２の無摺動ゲートバルブの作
用のほかに、弁軸が弁本体を挿通している箇所をベロー
ズが完全にシールしているので、弁本体の内部と外部と
の間の高度な差圧下での使用を可とするほか、この間隙
からの汚染を防ぐ。In addition to the function of the non-slide gate valve of the first or second aspect, the non-slide gate valve according to the third aspect is such that the bellows completely seals the portion where the valve shaft is inserted through the valve body. Since it is sealed, it can be used under a high pressure differential between the inside and outside of the valve body, and it also prevents contamination from this gap.
【００２１】[0021]
【実施例】以下、本発明の実施例による無摺動ゲートバ
ルブについて、図面を参照して説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A non-sliding gate valve according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００２２】図１〜図７は本実施例の無摺動ゲートバル
ブを示す図である。図１は同バルブの部分破断正面図を
左半分に、正面図を右半分に示したものであり、図２は
同バルブの側面図、図３は同バルブの、図１における
［３］−［３］線方向の部分側面図、図４は同バルブ
の、図１における［４］−［４］線方向の要部を拡大し
た破断側面図であり、開から閉、または閉から開の途中
の状態を示す図、図５は図４に対応する破断側面図であ
り、同バルブが閉の状態を示す図、図６は図４に対応す
る破断側面図であり、同バルブが開の状態を示す図、図
７は同バルブの下面図である。1 to 7 are views showing a non-sliding gate valve of this embodiment. FIG. 1 shows a partially cutaway front view of the valve in the left half and a front view in the right half. FIG. 2 is a side view of the valve, and FIG. 3 is the valve [3] -in FIG. [3] Partial side view in the direction of the line, and FIG. 4 is an enlarged side view of the valve in the direction [4]-[4] in FIG. 5 is a cutaway side view corresponding to FIG. 4, and FIG. 5 is a cutaway side view corresponding to FIG. 4. FIG. 6 is a cutaway side view corresponding to FIG. The figure which shows a state, FIG. 7 is a bottom view of the same valve.
【００２３】本実施例の無摺動ゲートバルブは概しては
ベースプレート４０の上部の弁本体１０と下部の開閉機
構とから構成されている。弁本体１０はほぼ直方体の形
状をした箱体からなり、ベースプレート４０上にキャッ
プボルト４３で固定されている。また弁本体１０の面積
の大きい相対する側面にはほぼ長方形の開口１２、１３
が形成されている。弁本体１０の内部においては、一方
の開口１２の周縁に弁座１４が設けられており、この弁
座１４へ押し付けて開口１２を遮蔽するための、開口１
２よりやや大きい輪郭の長方形の弁体５３が配置されて
いる。The non-sliding gate valve of this embodiment is generally composed of a valve body 10 above the base plate 40 and an opening / closing mechanism below. The valve body 10 is formed of a box body having a substantially rectangular parallelepiped shape, and is fixed on the base plate 40 with a cap bolt 43. In addition, substantially rectangular openings 12 and 13 are formed on opposite side surfaces of the valve body 10 having a large area.
Are formed. Inside the valve body 10, a valve seat 14 is provided on the periphery of one opening 12, and an opening 1 for pressing the valve seat 14 to shield the opening 12 is provided.
A rectangular valve body 53 having a contour slightly larger than 2 is arranged.
【００２４】更には、ベースプレート４０の中心部に形
成させた円形の開口４１及び弁本体の下壁１５に形成さ
せた円形開口１１を弁本体１０の外部から内部へ弁軸５
１がゆるく貫通しており、その先端には、取付部材５２
を介して、弁体５３が取り付けられている。弁体５３の
表面には上述の弁座１４に対応する位置にシールリング
５４が埋められている。Further, a circular opening 41 formed in the central portion of the base plate 40 and a circular opening 11 formed in the lower wall 15 of the valve body 10 are provided from the outside of the valve body 10 to the inside thereof.
1 penetrates loosely, and a mounting member 52 is attached to the tip thereof.
The valve body 53 is attached via. A seal ring 54 is embedded in the surface of the valve body 53 at a position corresponding to the valve seat 14 described above.
【００２５】ベースプレート４０の下部には、その中心
に対称的な両端部に支持柱４２がそれぞれキャップボル
ト４５で垂直に固定されており、更にそれらの下部には
ガイドレール４４がキャップボルト４６で一体的に固定
されている。In the lower part of the base plate 40, support columns 42 are vertically fixed by cap bolts 45 at both ends symmetrical to the center thereof, and guide rails 44 are integrated by cap bolts 46 in the lower part thereof. Fixed.
【００２６】またベースプレート４０の下部には、支持
柱４２の内側において対称位置に弁軸５１を上下動させ
るための空気圧シリンダ２０が固定されており、そのピ
ストン棒２１にはスライドブロック２２がネジ２３で留
めて連結されている。更には夫々のスライドブロック２
２にはローラピン２４を介してローラ２５が４個設けら
れており、上述のガイドレール４４を挟んで２個ずつの
ローラ２５が転動することによって、スライドブロック
２２が上下自在にスライドするようになっている。ま
た、夫々のスライドブロック２２の下側端部には弁軸５
１を傾動させるための空気圧シリンダ２７が固定されて
おり、それらのピストン棒２８には弁軸５１の下端部に
螺着された軸受ブロック５６ａに固定されている軸受ブ
ロック５６ｂの端部が連結されている。また、スライド
ブロック２２の上部には傾動ピン２６が取り付けられて
おり、これを回転軸とする傾動アーム５７の他端が軸受
ブロック５６ｂにキャップボルト５８で固定されてい
る。Further, a pneumatic cylinder 20 for vertically moving the valve shaft 51 is fixed to a lower portion of the base plate 40 at a symmetrical position inside the support column 42, and a slide block 22 is provided with a screw 23 on a piston rod 21 thereof. It is fastened with and connected. Furthermore, each slide block 2
2 is provided with four rollers 25 via roller pins 24, so that the slide block 22 can slide up and down by rolling two rollers 25 by sandwiching the guide rail 44. Has become. In addition, the valve shaft 5 is attached to the lower end of each slide block 22.
A pneumatic cylinder 27 for inclining 1 is fixed, and an end portion of a bearing block 56b fixed to a bearing block 56a screwed to a lower end portion of a valve shaft 51 is connected to these piston rods 28. ing. Further, a tilt pin 26 is attached to the upper part of the slide block 22, and the other end of the tilt arm 57 having this as a rotation axis is fixed to the bearing block 56b with a cap bolt 58.
【００２７】なお、ベースプレート４０及び弁本体の下
壁１５に形成された円形開口４１、１１をシールするた
めに、ベースプレート４０への取付部材６１、弁軸５１
への取付部材６２を介してベローズ６３が一端をベース
プレート４０に他端を弁軸５１に固定され、弁本体１０
の内部を気密にシールすると共に、弁軸５１の上下動に
応じて伸縮するようになっている。In order to seal the circular openings 41, 11 formed in the base plate 40 and the lower wall 15 of the valve body, a mounting member 61 to the base plate 40 and a valve shaft 51.
The bellows 63 has one end fixed to the base plate 40 and the other end fixed to the valve shaft 51 via a mounting member 62 to the valve body 10.
The inside of the valve is hermetically sealed and expands and contracts in accordance with the vertical movement of the valve shaft 51.
【００２８】また、空気圧シリンダ２０にはリードスイ
ッチ７１、７２が取り付けられており、これらは空気圧
シリンダ２０のピストン棒２１に取り付けられている図
示しないマグネットリングによってオン・オフするの
で、これによってピストン棒２１の位置を検知すること
が出来る。更には、スライドブロック２２に取り付けら
れているフォトセンサ７３は軸受ブロック５６ｂに取り
付けられているキッカー７４と組合わされて、キッカー
７４がフォトセンサ７３の発光素子と受光素子との間の
光を遮断している時は弁軸５１が傾動しておらず弁体５
３が弁座１４から離れて図４または図６の状態にあるこ
と、キッカー７４が光を遮断していない時は弁軸５１が
傾動して弁体５３が弁座１４に押し付けられ、ゲートバ
ルブが図５に示す閉の状態にあることを確認するための
ものである。なお、これらのリードスイッチ７１、７
２、フォトセンサ７３による検知、確認は図示しない回
路を通じ、図示しない制御部によって行なわれる。Reed switches 71 and 72 are attached to the pneumatic cylinder 20, and these are turned on and off by a magnet ring (not shown) attached to the piston rod 21 of the pneumatic cylinder 20. The position of 21 can be detected. Further, the photo sensor 73 attached to the slide block 22 is combined with the kicker 74 attached to the bearing block 56b so that the kicker 74 blocks light between the light emitting element and the light receiving element of the photo sensor 73. Valve shaft 51 is not tilted when the valve body 5
3 is away from the valve seat 14 and is in the state of FIG. 4 or FIG. 6, and when the kicker 74 does not block the light, the valve shaft 51 tilts and the valve body 53 is pressed against the valve seat 14, and the gate valve Is for confirming that it is in the closed state shown in FIG. In addition, these reed switches 71, 7
2. The detection and confirmation by the photo sensor 73 is performed by a control unit (not shown) through a circuit (not shown).
【００２９】本発明の実施例は上記のように構成される
が、次にその作動を説明する。The embodiment of the present invention is constructed as described above, and its operation will be described below.
【００３０】図１〜図４は弁体５３が弁座１４から離れ
た位置にあって、本実施例の無摺動ゲートバルブは開か
ら閉へ、また閉から開への途中の状態にあることを示し
ている。この時、空気圧シリンダ２７のピストン棒２８
及び空気圧シリンダ２０のピストン棒２１は共に最も引
き込んだ状態にある。この状態から空気圧シリンダ２７
を作動させてピストン棒２８を押し出すと、これに連結
されている軸受ブロック５６ｂ、５６ａが図１において
紙面の裏から表の方向へ押圧されるので、軸受ブロック
５６ｂ、５６ａ、これに固定されている弁軸５１は傾動
アーム５７を介し傾動ピストン２６を回転軸として傾動
し、弁本体１０の内部においては図４の状態にあった弁
体５３は傾動ピン２６を回転軸として反時計方向に移動
され、図５に示すようにシールリング５４が弁座１４に
押し付けられて、弁体５３が開口１２を遮蔽し、本実施
例の無摺動ゲートバルブは閉の状態になる。なお、シー
ルリング５４が弁座１４に押し付けられた時に弁体５３
の面と弁座１４の面とが平行になって均等に接するよう
に、弁体５３は予め計算され得る傾斜を付けて弁軸５１
に取り付けられている。1 to 4, the valve body 53 is located at a position away from the valve seat 14, and the non-sliding gate valve of this embodiment is in the state of being opened to closed or being closed to open. It is shown that. At this time, the piston rod 28 of the pneumatic cylinder 27
Also, the piston rod 21 of the pneumatic cylinder 20 is in the most retracted state. From this state, the pneumatic cylinder 27
Is operated to push out the piston rod 28, the bearing blocks 56b and 56a connected to the piston rod 28 are pressed from the back side of the paper surface to the front direction in FIG. 1, so that the bearing blocks 56b and 56a are fixed to the bearing blocks 56b and 56a. The valve shaft 51 is tilted via the tilting arm 57 with the tilting piston 26 as a rotation axis, and the valve body 53 in the state of FIG. 4 inside the valve body 10 moves counterclockwise with the tilting pin 26 as a rotation axis. Then, as shown in FIG. 5, the seal ring 54 is pressed against the valve seat 14, the valve body 53 blocks the opening 12, and the non-sliding gate valve of this embodiment is closed. When the seal ring 54 is pressed against the valve seat 14, the valve body 53
The valve element 53 is provided with an inclination that can be calculated in advance so that the surface of the valve seat 14 and the surface of the valve seat 14 are parallel and evenly contact.
Is attached to.
【００３１】この閉の状態から本実施例の無摺動ゲート
バルブを開とするには、空気圧シリンダ２７のピストン
棒２８を引っ込めて弁軸５１を図１〜図４の状態に戻
し、次いで空気圧シリンダ２０を作動させてピストン棒
２１を押し出すと、これに連結されているスライドブロ
ック２２はガイドレール４４の両面を転動するローラ２
５に導かれて図１において下方へスライドし、スライド
ブロック２２に固定されている空気圧シリンダ２７、こ
れに連結されている軸受ブロック５６ｂ、５６ａを介し
て弁軸５１も同時に下方へ図１、図２の一点鎖線位置ま
で引き下げられる。この状態においては、図６に示すよ
うに弁本体１０の内部において弁体５３も開口１２に対
向する位置から引き下げられるので、開口１２と開口１
３とは連通状態になり、本実施例の無摺動ゲートバルブ
は完全に開の状態となる。In order to open the non-sliding gate valve of this embodiment from this closed state, the piston rod 28 of the pneumatic cylinder 27 is retracted to return the valve shaft 51 to the state shown in FIGS. When the cylinder 20 is operated and the piston rod 21 is pushed out, the slide block 22 connected to this pushes the piston rod 21, and the slide block 22 rolls on both sides of the guide rail 44.
5, the valve shaft 51 also slides downward in FIG. 1 through the pneumatic cylinder 27 fixed to the slide block 22 and the bearing blocks 56b and 56a connected to the slide block 22. 2 is lowered to the position indicated by the one-dot chain line. In this state, the valve body 53 is also pulled down from the position facing the opening 12 inside the valve body 10 as shown in FIG.
3 is in a communication state, and the non-sliding gate valve of this embodiment is in a completely open state.
【００３２】開の状態から空気圧シリンダ２０のピスト
ン棒２１を引っ込めて弁軸５１を引き上げると図１〜図
４の状態へ戻ることになる。When the piston rod 21 of the pneumatic cylinder 20 is retracted and the valve shaft 51 is pulled up from the open state, the state shown in FIGS. 1 to 4 is restored.
【００３３】なお実際には、空気圧シリンダ２０、２７
の作動は図示しない制御部からの指令による。すなわ
ち、本実施例の無摺動ゲートバルブを開から閉とする時
には、制御部からの信号によって圧縮空気が空気圧シリ
ンダ２０に注入され、そのピストン棒２１が下限位置か
ら上限位置まで引き込められる（弁軸５１が上方へ引き
上げられる）とリードスイッチ７２がオフ、リードスイ
ッチ７１がオンになるので、制御部はこれを検知して空
気圧シリンダ２０への圧縮空気の注入を止める信号を出
し、次いで空気圧シリンダ２７に圧縮空気を注入する信
号を出す。これによって空気圧シリンダ２７のピストン
棒２８が押し出され、弁軸５１が傾動してキッカー７４
がフォトセンサ７３の光を遮断しなくなるとその信号が
入力されるので、制御部は弁体５３が開口１２を遮蔽し
たことを検知する。Actually, the pneumatic cylinders 20, 27 are
Is operated by a command from a control unit (not shown). That is, when the non-sliding gate valve of this embodiment is opened to closed, compressed air is injected into the pneumatic cylinder 20 by a signal from the control unit, and the piston rod 21 thereof is retracted from the lower limit position to the upper limit position ( When the valve shaft 51 is pulled up), the reed switch 72 is turned off and the reed switch 71 is turned on. Therefore, the control unit detects this and issues a signal to stop the injection of the compressed air into the pneumatic cylinder 20, and then the pneumatic pressure. A signal for injecting compressed air into the cylinder 27 is issued. As a result, the piston rod 28 of the pneumatic cylinder 27 is pushed out, the valve shaft 51 is tilted, and the kicker 74 is pushed.
When the signal from the photo sensor 73 is no longer blocked, the signal is input, and the control unit detects that the valve body 53 has blocked the opening 12.
【００３４】本実施例の無摺動ゲートバルブを閉から開
とする時も同様に制御部が空気圧シリンダ２７、２０を
順次作動させるが、空気圧シリンダ２０のピストン棒２
１が上限位置から下限位置まで押し出されると、リード
スイッチ７１がオフ、リードスイッチ７２がオンとなっ
てその信号が入力されるので、制御部は完全に開になっ
たことを検知する。Similarly, when the non-sliding gate valve of this embodiment is opened to closed, the control section similarly operates the pneumatic cylinders 27 and 20 in sequence.
When 1 is pushed out from the upper limit position to the lower limit position, the reed switch 71 is turned off and the reed switch 72 is turned on to input the signal, so that the control unit detects that it is completely opened.
【００３５】本実施例による無摺動ゲートバルブは以上
説明したように、摺動、転動、その他、摩擦を伴う開閉
機構を弁本体１０の外部へ設けたことに加え、弁軸５１
の上下動をベースプレート４０に固定された空気圧シリ
ンダ２０の駆動によるものとし、更には空気圧シリンダ
２０のピストン棒２１に連結されているスライドブロッ
ク２２が、それ自身に付属するローラ２５を介し、ベー
スプレート４０に垂直に固定されている支持柱４２と一
体的なガイドレール４４に沿ってスライドするようにし
ているので、弁軸５１の上下動時における芯振れがな
く、従って弁軸５１自身、または弁軸５１に取り付けら
れている弁体５３と他の構成要素部材との接触、それに
よるダスト発生の恐れは解消されている。As described above, in the non-sliding gate valve according to this embodiment, the opening / closing mechanism involving sliding, rolling, and friction is provided outside the valve body 10, and in addition, the valve shaft 51 is provided.
Is driven by the pneumatic cylinder 20 fixed to the base plate 40, and the slide block 22 connected to the piston rod 21 of the pneumatic cylinder 20 is connected to the base plate 40 via the roller 25 attached thereto. Since it slides along the guide rail 44 that is integrated with the support column 42 that is vertically fixed to the valve shaft 51, there is no center runout when the valve shaft 51 moves up and down, and therefore the valve shaft 51 itself or the valve shaft The contact between the valve body 53 attached to the valve 51 and other component members and the risk of dust generation due to the contact are eliminated.
【００３６】なお、本実施例による無摺動ゲートバルブ
は弁軸５１が弁体５３のシールリング５４を弁座１３に
押し付ける構造であるために、弁本体１０の内部が外部
より高圧である場合は勿論のこと、内部が真空で外部が
常圧の場合も含めて内部が外部より低圧である場合に
も、開口１２の遮蔽はシール洩れを起こすことはない。Since the non-sliding gate valve according to this embodiment has a structure in which the valve shaft 51 presses the seal ring 54 of the valve body 53 against the valve seat 13, when the inside of the valve body 10 is at a higher pressure than the outside. Of course, even when the inside is at a lower pressure than the outside, including the case where the inside is vacuum and the outside is normal pressure, the shielding of the opening 12 does not cause seal leakage.
【００３７】以上、本発明の実施例について説明した
が、勿論、本発明はこれに限定されることなく、本発明
の技術的思想に基いて種々の変形が可能である。Although the embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to this, and various modifications can be made based on the technical idea of the present invention.
【００３８】例えば実施例においては、無摺動ゲートバ
ルブの閉時に、弁体５３の面と弁座１４の面とが平行に
なって均等に接するように、弁体５３を弁軸５１に対し
予め傾斜させて取り付けたが、弁体５４は傾斜させずに
弁軸５１に取り付け、弁座１４に傾斜を与えてもよい。For example, in the embodiment, when the non-sliding gate valve is closed, the valve body 53 and the valve seat 14 are parallel to each other and evenly contact the valve body 53 with respect to the valve shaft 51. Although the valve body 54 is attached inclining in advance, the valve body 54 may be attached to the valve shaft 51 without inclining and the valve seat 14 may be inclined.
【００３９】また実施例においては、弁本体１０を上側
に、開閉機構を下側としたが、この上下が逆であっても
よく、更には横に寝かせた状態においてもその機能は変
わらない。Further, in the embodiment, the valve body 10 is on the upper side and the opening / closing mechanism is on the lower side, but the upper and lower sides may be reversed, and the function does not change even when lying sideways.
【００４０】また実施例においては、長方形の開口１
２、１３を有する無摺動ゲートバルブを取り上げたが、
円形の開口としてもよいことは言うまでもない。Also, in the embodiment, the rectangular opening 1
I took up a non-sliding gate valve with 2 and 13,
It goes without saying that a circular opening may be used.
【００４１】更には実施例においては、開閉機構の駆動
に空気圧シリンダ２０、２７を採用したが、これを他の
公知の駆動源、例えば油圧シリンダとすることも出来
る。Further, in the embodiment, the pneumatic cylinders 20 and 27 are used to drive the opening / closing mechanism, but other known drive sources such as hydraulic cylinders may be used.
【００４２】[0042]
【発明の効果】本発明の無摺動ゲートバルブは摺動、転
動、その他、摩擦を伴う開閉機構を弁本体の外部へ設け
たことのほかに、弁軸の往復動時に芯振れすることのな
いようにしていること、更には可動部を介さずに弁体を
弁軸に取り付けていることによって弁本体の内部におい
てはゲートバルブの構成要素部材同志の摩擦が生起せ
ず、従ってダスト発生の恐れがないので、本発明の無摺
動ゲートバルブを使用する製造ラインの清浄度を保証す
ることが出来る。The non-sliding gate valve of the present invention is provided with an opening / closing mechanism involving sliding, rolling, and other friction outside the valve body, and also has center runout when the valve shaft reciprocates. Since the valve body is attached to the valve shaft without passing through the movable part, friction between the constituent elements of the gate valve does not occur inside the valve body, and therefore dust is generated. Therefore, the cleanliness of the manufacturing line using the non-sliding gate valve of the present invention can be guaranteed.
【図１】本発明の実施例による無摺動ゲートバルブの部
分破断正面図を左半分に、正面図を右半分に示した図で
ある。FIG. 1 is a partially cutaway front view of a non-sliding gate valve according to an embodiment of the present invention in a left half and a front view in a right half.
【図２】同バルブの側面図である。FIG. 2 is a side view of the valve.
【図３】同バルブの、図１における［３］−［３］線方
向の部分側面図である。3 is a partial side view of the same valve taken along line [3]-[3] in FIG.
【図４】同バルブの、図１における［４］−［４］線方
向の要部を拡大した破断側面図である。FIG. 4 is a cutaway side view showing an enlarged main part of the valve in the direction of the line [4]-[4] in FIG. 1.
【図５】図４に対応する破断側面図であり、同バルブが
閉の状態を示す図である。FIG. 5 is a broken side view corresponding to FIG. 4, showing the valve in a closed state.
【図６】図４に対応する破断側面図であり、同バルブが
開の状態を示す図である。FIG. 6 is a cutaway side view corresponding to FIG. 4, showing the valve in an open state.
【図７】同バルブの下面図である。FIG. 7 is a bottom view of the valve.
【図８】従来例の無摺動ゲートバルブの正面図を右半
分、部分破断正面図を左半分に示した図である。FIG. 8 is a diagram showing a front view of a conventional non-sliding gate valve in a right half and a partially cutaway front view in a left half.
【図９】同バルブの部分破断側面図である。FIG. 9 is a partially cutaway side view of the valve.
１０ 弁本体 １２ 開口 １４ 弁座 ２０ 空気圧シリンダ ２２ スライドブロック ２５ ローラ ２６ 傾動ピン ２７ 空気圧シリンダ ３８ ベローズ ４０ ベースプレート ４２ 支持柱 ４４ ガイドレール ５１ 弁軸 ５３ 弁体 ５６ａ 軸受ブロック ５６ｂ 軸受ブロック ５７ 傾動アーム 10 valve body 12 opening 14 valve seat 20 pneumatic cylinder 22 slide block 25 roller 26 tilting pin 27 pneumatic cylinder 38 bellows 40 base plate 42 support pillar 44 guide rail 51 valve shaft 53 valve body 56a bearing block 56b bearing block 57 tilting arm
Claims (3)
の内部にあって前記開口を遮蔽する弁体と、前記弁本体
の外部から内部へ挿通されており、その先端部に取り付
けられた前記弁体を操作する弁軸と、前記弁本体の外部
に設けられ前記弁軸を操作する開閉機構とからなり、前
記開閉機構は前記弁体を前記開口の周縁部に着座させか
つ離座させる作動と、前記弁体を前記開口に対向する位
置から離隔させかつ前記開口に対向する位置へ戻す作動
とを行なう無摺動ゲートバルブにおいて、前記開閉機構
は、前記弁軸の他端が前記弁本体に固定された往復動機
構によって駆動されるスライド部に、該スライド部と固
定されている傾動機構を介して、連結されており、前記
往復動機構が作動すると、前記弁本体に前記弁軸と同方
向に垂直に固定されている支持柱と一体的なレール上を
前記スライド部に付属するローラが転動することによっ
て、前記スライド部が往復自在にスライドし、前記スラ
イド部と共に前記弁軸が往復動して、前記弁体を前記開
口に対向する位置から離隔させかつ前記開口へ対向する
位置へ戻すように作動し、更には前記弁軸が前記スライ
ド部に支持された傾動ピンに連結されており、前記スラ
イド部に固定されて前記弁軸と連結されている前記傾動
機構が作動すると、前記弁軸が傾動ピンを回転軸として
傾動して、前記弁体を前記開口の周縁部に着座させかつ
離座させるように作動することを特徴とする無摺動ゲー
トバルブ。1. A valve main body having an opening in a side wall, a valve body inside the valve main body that shields the opening, and a valve body that is inserted from the outside to the inside of the valve main body, and is attached to a tip portion thereof. A valve shaft for operating the valve body, and an opening / closing mechanism provided outside the valve body for operating the valve shaft, the opening / closing mechanism seating the valve body on the peripheral portion of the opening and separating the valve body. In the non-sliding gate valve that performs an operation of causing the valve body to separate from the position facing the opening and returning to a position facing the opening, the opening / closing mechanism has the other end of the valve shaft It is connected to a slide part driven by a reciprocating mechanism fixed to the valve body via a tilting mechanism fixed to the slide part, and when the reciprocating mechanism operates, the valve body is connected to the valve. Fixed vertically in the same direction as the axis When a roller attached to the slide portion rolls on a rail integral with the supporting pillar, the slide portion slides reciprocally, the valve shaft reciprocates together with the slide portion, and the valve The body is operated to separate from the position facing the opening and returned to the position facing the opening, and further, the valve shaft is connected to a tilting pin supported by the slide part, When the tilting mechanism that is fixed and connected to the valve shaft operates, the valve shaft tilts with the tilting pin as a rotation shaft, and the valve body is seated on the peripheral portion of the opening and separated from the seat. A non-sliding gate valve that operates.
開口を遮蔽する時に、前記弁体の面が前記開口の面と平
行して均等に接するように、前記弁体が予め前記弁軸の
軸心とは傾斜して前記弁軸に取り付けられている請求項
１に記載の無摺動ゲートバルブ。2. The valve shaft is preliminarily provided with the valve shaft so that when the valve shaft blocks the opening due to tilting of the valve shaft, the surface of the valve body is in parallel contact with the surface of the opening evenly. The non-sliding gate valve according to claim 1, wherein the non-sliding gate valve is attached to the valve shaft at an angle with respect to the axis of the valve shaft.
箇所を気密にシールするための、一端を前記弁本体に固
定し、他端を前記弁軸に固定して設けられたベローズを
有する請求項１または請求項２に記載の無摺動ゲートバ
ルブ。3. A bellows having one end fixed to the valve body and the other end fixed to the valve shaft for airtightly sealing a portion where the valve shaft is inserted into the valve body. The non-sliding gate valve according to claim 1, which has.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19542093A JP3330686B2 (en) | 1993-07-12 | 1993-07-12 | Non-sliding gate valve |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0727235A true JPH0727235A (en) | 1995-01-27 |
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| Country | Link |
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