JPH0727235A - Non-sliding gate valve - Google Patents
Non-sliding gate valveInfo
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- JPH0727235A JPH0727235A JP19542093A JP19542093A JPH0727235A JP H0727235 A JPH0727235 A JP H0727235A JP 19542093 A JP19542093 A JP 19542093A JP 19542093 A JP19542093 A JP 19542093A JP H0727235 A JPH0727235 A JP H0727235A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は無摺動ゲートバルブに関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a non-sliding gate valve.
【0002】[0002]
【従来の技術及びその問題点】IC、CCD、液晶表示
素子などの半導体製品の製造ラインはその代表例である
が、極く微量の、極く微細な異物粒子(ダスト)の存在
が製品の歩留りを大幅に低下させるために、製造ライン
の清浄度の保持についての要求が近年とみに厳しくなっ
ている。ゲートバルブはその製造ラインに欠くことの出
来ない配管部材であるが、弁本体内部において弁体を開
閉させる機構の構成要素部材が摺動、転動、その他、摩
擦を伴う動きをし、その摩擦によって発生するダストが
製造ラインを汚染し、清浄度を低下させることが多かっ
た。また、この摩擦を減少させるために潤滑剤を使用す
ることも考えられるが、潤滑剤そのものによる汚染の防
止には複雑な技術を要し、かつ潤滑剤の劣化による潤滑
作用の低下もあるので完全な解決策ではない。2. Description of the Related Art A typical example is a production line for semiconductor products such as ICs, CCDs, liquid crystal display devices, etc. However, the presence of extremely small amounts of extremely fine foreign particles (dust) is the main cause of the product. In recent years, demands for maintaining cleanliness of manufacturing lines have become severe in order to significantly reduce the yield. A gate valve is a pipe member that is indispensable in its manufacturing line, but the component members of the mechanism that opens and closes the valve body inside the valve body slides, rolls, and otherwise moves with friction, which causes friction. The dust generated by the pollutants often contaminates the production line and deteriorates the cleanliness. It is also possible to use a lubricant to reduce this friction, but complicated technology is required to prevent contamination by the lubricant itself, and the deterioration of the lubricant may reduce the lubrication effect. Not a solution.
【0003】これらの問題に対処したものとして、特開
平3−204483号公報に「無しゅう動真空ゲートバ
ルブ」が提案されている。この従来例は弁本体の内部に
おいて摩擦部分をなくすようにしたものであり進歩した
ものであるが、未だ十分な解決とはなっていない。すな
わち、図8はこの従来例の無しゅう動真空ゲートバルブ
の部分破断正面図を左半分に、正面図を右半分に示した
ものであり、図9は部分破断側面図であるが、これらの
図を参照して以下にその内容を説明する。As a solution to these problems, a "sliding vacuum gate valve" has been proposed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-204448. Although this conventional example is an improvement in which the frictional portion is eliminated inside the valve body, it is not yet a sufficient solution. That is, FIG. 8 shows a partially cutaway front view of the conventional sliding vacuum gate valve in the left half and a front view in the right half, and FIG. 9 is a partially cutaway side view. The contents will be described below with reference to the drawings.
【0004】この従来例では、ほぼ直方体形状の弁本体
100の相対する側壁に長方形の開口101、102が
形成されている。弁本体100の内部においては、一方
の開口101の周辺に弁座103が設けられており、こ
の弁座103へ押し付けるための、開口101よりやや
大きい輪郭の長方形の弁体110が配置されている。ま
た弁本体100の下壁に形成した円形の開口104を弁
本体100の外部から内部へゆるく貫通して、弁体操作
棒117が設けられており、その先端には、半球状の突
起114を有する弁体押圧部材112が取り付けられ、
更にこの弁体押圧部材112には弁体110がコイルば
ね115を介して取り付けられている。In this conventional example, rectangular openings 101 and 102 are formed in opposite side walls of a valve body 100 having a substantially rectangular parallelepiped shape. Inside the valve body 100, a valve seat 103 is provided around one opening 101, and a rectangular valve body 110 having a slightly larger contour than the opening 101 is arranged for pressing against the valve seat 103. . Further, a valve body operating rod 117 is provided by penetrating the circular opening 104 formed in the lower wall of the valve body 100 from the outside to the inside of the valve body 100, and a hemispherical projection 114 is provided at the tip thereof. The valve body pressing member 112 having is attached,
Further, the valve body 110 is attached to the valve body pressing member 112 via a coil spring 115.
【0005】なお、弁体押圧部材112は弁体110よ
りやや小さい輪郭の長方形状をしており、半球状の突起
114はその中心部にあって、弁体110を押圧するた
めのものである。また、弁体110と弁体押圧部材11
2とは、弁体110の内側に設けたくぼみの横周壁11
9と弁体押圧部材112の段差113との間を、複数の
コイルばね115によって弾性的に連結されている。The valve body pressing member 112 has a rectangular shape with a slightly smaller contour than the valve body 110, and the hemispherical projection 114 is at the center thereof and is for pressing the valve body 110. . Further, the valve body 110 and the valve body pressing member 11
The reference numeral 2 denotes a hollow peripheral wall 11 provided inside the valve body 110.
9 and the step 113 of the valve body pressing member 112 are elastically connected by a plurality of coil springs 115.
【0006】弁本体100の下壁部には支持架台10
5、106が弁本体100の中心に対称的な位置に垂直
に固定されており、それぞれの下部には空気圧シリンダ
140が固定されている。また支持架台105、106
の上部にはピン107が取り付けられており、このピン
107を軸として旋回する垂直部材121とこれらを連
結する水平部材122とからなる上向きコ字状の旋回枠
120が設けられている。更には支持架台105、10
6の下部に固定された空気圧シリンダ140はそのピス
トン棒が旋回枠120の垂直部材121と水平部材12
2との交点を押して、旋回枠120をピン107の回り
に旋回させるような位置関係にある。A support base 10 is provided on the lower wall of the valve body 100.
Reference numerals 5 and 106 are vertically fixed at symmetrical positions with respect to the center of the valve body 100, and a pneumatic cylinder 140 is fixed to the lower portion of each. In addition, the support frames 105 and 106
A pin 107 is attached to the upper part of the above, and an upward U-shaped swivel frame 120 including a vertical member 121 that swivels about the pin 107 and a horizontal member 122 that connects them is provided. Furthermore, the support frames 105 and 10
The pneumatic cylinder 140 fixed to the lower part of the piston 6 has a piston rod having a vertical member 121 and a horizontal member 12 of the swivel frame 120.
The positional relationship is such that the turning frame 120 is turned around the pin 107 by pushing the intersection with 2.
【0007】弁本体100の外部において、弁体操作棒
117は旋回枠120の水平部材122に固定された空
気圧シリンダ135のピストン棒に連結されている。Outside the valve body 100, the valve body operating rod 117 is connected to a piston rod of a pneumatic cylinder 135 fixed to the horizontal member 122 of the swivel frame 120.
【0008】なお、弁本体100の下壁に形成した開口
104を気密にシールするためのベローズ138が上端
を弁本体100の下壁に、下端を弁体操作棒117に固
定して設けられており、弁体操作棒117の動きに応じ
て伸縮するようになっている。A bellows 138 for hermetically sealing the opening 104 formed in the lower wall of the valve body 100 is provided by fixing the upper end to the lower wall of the valve body 100 and the lower end to the valve body operating rod 117. The valve operating rod 117 expands and contracts according to the movement of the valve operating rod 117.
【0009】従来例の無しゅう動真空ゲートバルブは以
上のように構成されるが、それは次のように作動する。The conventional sliding vacuum gate valve is constructed as described above, and it operates as follows.
【0010】図8、図9は弁体110が弁座103から
離れて、従来例のゲートバルブの開から閉、または閉か
ら開の途中の状態を示している。この時、空気圧シリン
ダ135のピストン棒は最も押し出した状態、空気圧シ
リンダ140のピストン棒は最も引き込んだ状態にあ
る。図8、図9の状態から空気圧シリンダ135のピス
トン棒を引き込ませると弁体操作棒117も引き下げら
れ、弁本体100の開口101、102が連通されてゲ
ートバルブは開の状態になる。FIGS. 8 and 9 show a state in which the valve element 110 is separated from the valve seat 103 and the gate valve of the conventional example is in the middle of opening and closing or closing and opening. At this time, the piston rod of the pneumatic cylinder 135 is in the most pushed state, and the piston rod of the pneumatic cylinder 140 is in the most pulled state. When the piston rod of the pneumatic cylinder 135 is pulled in from the state shown in FIGS. 8 and 9, the valve body operating rod 117 is also pulled down, the openings 101 and 102 of the valve body 100 are communicated, and the gate valve is opened.
【0011】また図8、図9の状態から空気圧シリンダ
140のピストン棒を押し出すと旋回枠120は図9に
おいてピン107を回転軸として反時計方向に旋回する
ので、この旋回枠120に固定されている空気圧シリン
ダ135、弁体操作棒117、弁体押圧部材112、弁
体110も反時計方向に旋回されて、弁体110はその
外面に設けられているシールリング111を弁座103
に押し付けて開口101を遮蔽し、ゲートバルブは閉の
状態となる。When the piston rod of the pneumatic cylinder 140 is pushed out from the state shown in FIGS. 8 and 9, the swivel frame 120 swivels counterclockwise about the pin 107 in FIG. 9, so it is fixed to the swivel frame 120. The pneumatic cylinder 135, the valve body operating rod 117, the valve body pressing member 112, and the valve body 110 also are rotated counterclockwise, and the valve body 110 has the seal ring 111 provided on the outer surface thereof and the valve seat 103.
The gate valve is closed by pressing it against the opening 101.
【0012】従来例のゲートバルブは以上のように構成
され作動し、開閉機構は弁本体100の外部に設けられ
てダストの発生を抑えたものにはなっているが、なお、
以下の点において必ずしも十分なものではない。The conventional gate valve is constructed and operated as described above, and the opening / closing mechanism is provided outside the valve body 100 to suppress the generation of dust.
The following points are not always sufficient.
【0013】すなわち、弁体110はピン107を回転
軸とする旋回によって弁座103に押圧されるが、この
時に弁座103と弁体110上のシールリング111と
の接圧を全体的に均等なものとするために、複数のコイ
ルばね115で弁体押圧部材112と弁体110とを弾
性的に連結している。このことはコイルばね115の屈
曲を前提としており、コイルばね115の他部材への接
触や取り付け部での摩擦を生ずる恐れが存在している。
また、弁体押圧部材112の半球状突起114による弁
体110の閉時毎の押圧による摩擦も存在する。更には
弁体支持棒117は空気圧シリンダ135のピストン棒
に連結されているのみで他に支持点を持たないまま弁本
体100の内部へ挿通されており、かつ空気圧シリンダ
135の固定されている旋回枠120はゲートバルブが
閉の状態から戻しコイルばね109によって図9の状態
へ戻っているのみであるため、その位置は不安定であり
易く、図9の状態から空気圧シリンダ135が作動して
弁体操作棒117を引き下げる場合、または引き下げた
位置から図9の状態へ戻す場合に、弁体操作棒117は
芯振れを生じて、弁体操作棒117それ自身、ないしは
これに連結されている弁体110が他部材と接触してダ
ストを生ずる恐れもある。That is, the valve body 110 is pressed against the valve seat 103 by turning around the pin 107 as a rotation axis. At this time, the contact pressure between the valve seat 103 and the seal ring 111 on the valve body 110 is entirely uniform. For this reason, the plurality of coil springs 115 elastically connect the valve body pressing member 112 and the valve body 110. This is premised on the bending of the coil spring 115, and there is a risk that the coil spring 115 may come into contact with other members or cause friction at the mounting portion.
Further, there is friction caused by the pressing of the valve body 110 by the hemispherical projection 114 of the valve body pressing member 112 every time the valve body 110 is closed. Further, the valve body support rod 117 is only connected to the piston rod of the pneumatic cylinder 135, is inserted into the inside of the valve body 100 without any other supporting point, and is fixed to the pneumatic cylinder 135. Since the frame 120 only returns from the closed state of the gate valve to the state of FIG. 9 by the return coil spring 109, its position is likely to be unstable, and the pneumatic cylinder 135 operates from the state of FIG. 9 to operate the valve. When the body operating rod 117 is pulled down or returned from the lowered position to the state shown in FIG. 9, the valve body operating rod 117 causes a runout, and the valve body operating rod 117 itself or the valve connected to it. The body 110 may come into contact with other members to generate dust.
【0014】[0014]
【発明が解決しようとする問題点】本発明は上述の問題
に鑑みてなされたものであり、ゲートバルブの開閉時に
弁本体の内部において摺動、転動、その他による摩擦部
分を無くして、摩擦によるダストの発生を皆無とし、高
い清浄度の要求される製造ラインでの使用に好適な無摺
動ゲートバルブを提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and eliminates frictional parts due to sliding, rolling, and the like inside the valve body when the gate valve is opened / closed to eliminate friction. It is an object of the present invention to provide a non-sliding gate valve suitable for use in a production line that requires high cleanliness and that does not generate dust by itself.
【0015】[0015]
【問題点を解決するための手段】以上の目的は、側壁に
開口を有する弁本体と、該弁本体の内部にあって前記開
口を遮蔽する弁体と、前記弁本体の外部から内部へ挿通
されており、その先端部に取り付けられた前記弁体を操
作する弁軸と、前記弁本体の外部に設けられ前記弁軸を
操作する開閉機構とからなり、前記開閉機構は前記弁体
を前記開口の周縁部に着座させかつ離座させる作動と、
前記弁体を前記開口に対向する位置から離隔させかつ前
記開口に対向する位置へ戻す作動とを行なう無摺動ゲー
トバルブにおいて、前記開閉機構は、前記弁軸の他端が
前記弁本体に固定された往復動機構によって駆動される
スライド部に、該スライド部と固定されている傾動機構
を介して、連結されており、前記往復動機構が作動する
と、前記弁本体に前記弁軸と同方向に垂直に固定されて
いる支持柱と一体的なレール上を前記スライド部に付属
するローラが転動することによって、前記スライド部が
往復自在にスライドし、前記スライド部と共に前記弁軸
が往復動して、前記弁体を前記開口に対向する位置から
離隔させかつ前記開口へ対向する位置へ戻すように作動
し、更には前記弁軸が前記スライド部に支持された傾動
ピンに連結されており、前記スライド部に固定されて前
記弁軸と連結されている前記傾動機構が作動すると、前
記弁軸が傾動ピンを回転軸として傾動して、前記弁体を
前記開口の周縁部に着座させかつ離座させるように作動
することを特徴とする無摺動ゲートバルブ、によって達
成される。[Means for Solving the Problems] The above object is to provide a valve main body having an opening in a side wall, a valve body inside the valve main body for blocking the opening, and a valve body inserted from the outside to the inside. And a valve shaft mounted on the tip of the valve shaft for operating the valve body, and an opening / closing mechanism provided outside the valve body for operating the valve shaft. An operation of seating on and off the periphery of the opening,
In a non-sliding gate valve that performs an operation of separating the valve body from a position facing the opening and returning to a position facing the opening, the opening / closing mechanism fixes the other end of the valve shaft to the valve body. Is connected to a slide portion driven by the reciprocating mechanism, which is connected via a tilting mechanism fixed to the slide portion, and when the reciprocating mechanism operates, the valve main body moves in the same direction as the valve shaft. When a roller attached to the slide portion rolls on a rail that is integral with a support column that is fixed vertically to the slide portion, the slide portion slides reciprocally, and the valve shaft reciprocates together with the slide portion. The valve body is separated from the position facing the opening and returned to the position facing the opening, and the valve shaft is connected to a tilting pin supported by the slide portion. When the tilting mechanism fixed to the slide portion and connected to the valve shaft operates, the valve shaft tilts with the tilting pin as a rotation axis, and the valve body is seated on the peripheral portion of the opening. And a non-sliding gate valve characterized by being operated so as to be separated.
【0016】また以上の目的は、前記弁軸の傾動によっ
て前記弁体が前記開口を遮蔽する時に、前記弁体の面が
前記開口の面と平行して均等に接するように、前記弁体
が予め前記弁軸の軸心とは傾斜して前記弁軸に取り付け
られている請求項1に記載の無摺動ゲートバルブ、によ
って達成される。Further, the above object is such that when the valve body blocks the opening due to the tilting of the valve shaft, the valve body is so arranged that the surface of the valve body is evenly contacted in parallel with the surface of the opening. It is achieved by the non-sliding gate valve according to claim 1, which is attached to the valve shaft in advance with an inclination with respect to the axis of the valve shaft.
【0017】また以上の目的は、前記弁軸が前記弁本体
へ挿通されている箇所を気密にシールするための、一端
を前記弁本体に固定し、他端を前記弁軸に固定して設け
られたベローズを有する請求項1または請求項2に記載
の無摺動ゲートバルブ、によって達成される。Further, the above-mentioned object is provided by fixing one end to the valve body and fixing the other end to the valve shaft for hermetically sealing a portion where the valve shaft is inserted into the valve body. A non-slidable gate valve according to claim 1 or claim 2 having an enclosed bellows.
【0018】[0018]
【作用】請求項1による無摺動ゲートバルブは、摺動、
転動、その他を伴うゲートバルブの開閉機構を弁本体の
外部に設けていることに加えて、弁軸の往復動を弁本体
に固定された往復動機構の駆動によるものとしているこ
と、更には一端で往復動機構に連結され他端で弁軸に連
結されているスライド部が、それ自身に付属するローラ
を介し、弁本体に垂直に固定されている支持柱と一体的
なレールに沿ってスライドするようにしていることによ
って、弁軸の芯振れがなく、弁本体の内部において構成
要素部材同志の接触によるダスト発生の恐れがない。The non-sliding gate valve according to claim 1 is a sliding
In addition to providing a gate valve opening / closing mechanism with rolling and the like outside the valve body, reciprocating the valve shaft is driven by a reciprocating mechanism fixed to the valve body. A slide part, which is connected to the reciprocating mechanism at one end and connected to the valve shaft at the other end, extends along a rail integrated with a support column vertically fixed to the valve body via a roller attached to itself. Since it slides, there is no center runout of the valve shaft, and there is no risk of dust generation due to contact between the constituent element members inside the valve body.
【0019】また請求項2による無摺動ゲートバルブ
は、請求項1の無摺動ゲートバルブの作用のほかに、弁
体が開口を遮蔽する時に弁体の面と開口の面とが平行し
て均等に接するように、弁体を予め傾斜させて弁軸に可
動部を介さずに取り付けているので、弁体の動きによる
構成要素部材同志の接触もなく、従ってそれによるダス
ト発生の恐れもない。In addition to the function of the non-slide gate valve of the first aspect, the non-slide gate valve according to the second aspect is such that the surface of the valve element and the surface of the opening are parallel to each other when the valve element blocks the opening. Since the valve element is pre-tilted and attached to the valve shaft without a moving part so that they contact each other evenly, there is no contact between the component members due to the movement of the valve element, and therefore there is a risk of dust generation. Absent.
【0020】また請求項3による無摺動ゲートバルブ
は、請求項1または請求項2の無摺動ゲートバルブの作
用のほかに、弁軸が弁本体を挿通している箇所をベロー
ズが完全にシールしているので、弁本体の内部と外部と
の間の高度な差圧下での使用を可とするほか、この間隙
からの汚染を防ぐ。In addition to the function of the non-slide gate valve of the first or second aspect, the non-slide gate valve according to the third aspect is such that the bellows completely seals the portion where the valve shaft is inserted through the valve body. Since it is sealed, it can be used under a high pressure differential between the inside and outside of the valve body, and it also prevents contamination from this gap.
【0021】[0021]
【実施例】以下、本発明の実施例による無摺動ゲートバ
ルブについて、図面を参照して説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A non-sliding gate valve according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0022】図1〜図7は本実施例の無摺動ゲートバル
ブを示す図である。図1は同バルブの部分破断正面図を
左半分に、正面図を右半分に示したものであり、図2は
同バルブの側面図、図3は同バルブの、図1における
[3]−[3]線方向の部分側面図、図4は同バルブ
の、図1における[4]−[4]線方向の要部を拡大し
た破断側面図であり、開から閉、または閉から開の途中
の状態を示す図、図5は図4に対応する破断側面図であ
り、同バルブが閉の状態を示す図、図6は図4に対応す
る破断側面図であり、同バルブが開の状態を示す図、図
7は同バルブの下面図である。1 to 7 are views showing a non-sliding gate valve of this embodiment. FIG. 1 shows a partially cutaway front view of the valve in the left half and a front view in the right half. FIG. 2 is a side view of the valve, and FIG. 3 is the valve [3] -in FIG. [3] Partial side view in the direction of the line, and FIG. 4 is an enlarged side view of the valve in the direction [4]-[4] in FIG. 5 is a cutaway side view corresponding to FIG. 4, and FIG. 5 is a cutaway side view corresponding to FIG. 4. FIG. 6 is a cutaway side view corresponding to FIG. The figure which shows a state, FIG. 7 is a bottom view of the same valve.
【0023】本実施例の無摺動ゲートバルブは概しては
ベースプレート40の上部の弁本体10と下部の開閉機
構とから構成されている。弁本体10はほぼ直方体の形
状をした箱体からなり、ベースプレート40上にキャッ
プボルト43で固定されている。また弁本体10の面積
の大きい相対する側面にはほぼ長方形の開口12、13
が形成されている。弁本体10の内部においては、一方
の開口12の周縁に弁座14が設けられており、この弁
座14へ押し付けて開口12を遮蔽するための、開口1
2よりやや大きい輪郭の長方形の弁体53が配置されて
いる。The non-sliding gate valve of this embodiment is generally composed of a valve body 10 above the base plate 40 and an opening / closing mechanism below. The valve body 10 is formed of a box body having a substantially rectangular parallelepiped shape, and is fixed on the base plate 40 with a cap bolt 43. In addition, substantially rectangular openings 12 and 13 are formed on opposite side surfaces of the valve body 10 having a large area.
Are formed. Inside the valve body 10, a valve seat 14 is provided on the periphery of one opening 12, and an opening 1 for pressing the valve seat 14 to shield the opening 12 is provided.
A rectangular valve body 53 having a contour slightly larger than 2 is arranged.
【0024】更には、ベースプレート40の中心部に形
成させた円形の開口41及び弁本体の下壁15に形成さ
せた円形開口11を弁本体10の外部から内部へ弁軸5
1がゆるく貫通しており、その先端には、取付部材52
を介して、弁体53が取り付けられている。弁体53の
表面には上述の弁座14に対応する位置にシールリング
54が埋められている。Further, a circular opening 41 formed in the central portion of the base plate 40 and a circular opening 11 formed in the lower wall 15 of the valve body 10 are provided from the outside of the valve body 10 to the inside thereof.
1 penetrates loosely, and a mounting member 52 is attached to the tip thereof.
The valve body 53 is attached via. A seal ring 54 is embedded in the surface of the valve body 53 at a position corresponding to the valve seat 14 described above.
【0025】ベースプレート40の下部には、その中心
に対称的な両端部に支持柱42がそれぞれキャップボル
ト45で垂直に固定されており、更にそれらの下部には
ガイドレール44がキャップボルト46で一体的に固定
されている。In the lower part of the base plate 40, support columns 42 are vertically fixed by cap bolts 45 at both ends symmetrical to the center thereof, and guide rails 44 are integrated by cap bolts 46 in the lower part thereof. Fixed.
【0026】またベースプレート40の下部には、支持
柱42の内側において対称位置に弁軸51を上下動させ
るための空気圧シリンダ20が固定されており、そのピ
ストン棒21にはスライドブロック22がネジ23で留
めて連結されている。更には夫々のスライドブロック2
2にはローラピン24を介してローラ25が4個設けら
れており、上述のガイドレール44を挟んで2個ずつの
ローラ25が転動することによって、スライドブロック
22が上下自在にスライドするようになっている。ま
た、夫々のスライドブロック22の下側端部には弁軸5
1を傾動させるための空気圧シリンダ27が固定されて
おり、それらのピストン棒28には弁軸51の下端部に
螺着された軸受ブロック56aに固定されている軸受ブ
ロック56bの端部が連結されている。また、スライド
ブロック22の上部には傾動ピン26が取り付けられて
おり、これを回転軸とする傾動アーム57の他端が軸受
ブロック56bにキャップボルト58で固定されてい
る。Further, a pneumatic cylinder 20 for vertically moving the valve shaft 51 is fixed to a lower portion of the base plate 40 at a symmetrical position inside the support column 42, and a slide block 22 is provided with a screw 23 on a piston rod 21 thereof. It is fastened with and connected. Furthermore, each slide block 2
2 is provided with four rollers 25 via roller pins 24, so that the slide block 22 can slide up and down by rolling two rollers 25 by sandwiching the guide rail 44. Has become. In addition, the valve shaft 5 is attached to the lower end of each slide block 22.
A pneumatic cylinder 27 for inclining 1 is fixed, and an end portion of a bearing block 56b fixed to a bearing block 56a screwed to a lower end portion of a valve shaft 51 is connected to these piston rods 28. ing. Further, a tilt pin 26 is attached to the upper part of the slide block 22, and the other end of the tilt arm 57 having this as a rotation axis is fixed to the bearing block 56b with a cap bolt 58.
【0027】なお、ベースプレート40及び弁本体の下
壁15に形成された円形開口41、11をシールするた
めに、ベースプレート40への取付部材61、弁軸51
への取付部材62を介してベローズ63が一端をベース
プレート40に他端を弁軸51に固定され、弁本体10
の内部を気密にシールすると共に、弁軸51の上下動に
応じて伸縮するようになっている。In order to seal the circular openings 41, 11 formed in the base plate 40 and the lower wall 15 of the valve body, a mounting member 61 to the base plate 40 and a valve shaft 51.
The bellows 63 has one end fixed to the base plate 40 and the other end fixed to the valve shaft 51 via a mounting member 62 to the valve body 10.
The inside of the valve is hermetically sealed and expands and contracts in accordance with the vertical movement of the valve shaft 51.
【0028】また、空気圧シリンダ20にはリードスイ
ッチ71、72が取り付けられており、これらは空気圧
シリンダ20のピストン棒21に取り付けられている図
示しないマグネットリングによってオン・オフするの
で、これによってピストン棒21の位置を検知すること
が出来る。更には、スライドブロック22に取り付けら
れているフォトセンサ73は軸受ブロック56bに取り
付けられているキッカー74と組合わされて、キッカー
74がフォトセンサ73の発光素子と受光素子との間の
光を遮断している時は弁軸51が傾動しておらず弁体5
3が弁座14から離れて図4または図6の状態にあるこ
と、キッカー74が光を遮断していない時は弁軸51が
傾動して弁体53が弁座14に押し付けられ、ゲートバ
ルブが図5に示す閉の状態にあることを確認するための
ものである。なお、これらのリードスイッチ71、7
2、フォトセンサ73による検知、確認は図示しない回
路を通じ、図示しない制御部によって行なわれる。Reed switches 71 and 72 are attached to the pneumatic cylinder 20, and these are turned on and off by a magnet ring (not shown) attached to the piston rod 21 of the pneumatic cylinder 20. The position of 21 can be detected. Further, the photo sensor 73 attached to the slide block 22 is combined with the kicker 74 attached to the bearing block 56b so that the kicker 74 blocks light between the light emitting element and the light receiving element of the photo sensor 73. Valve shaft 51 is not tilted when the valve body 5
3 is away from the valve seat 14 and is in the state of FIG. 4 or FIG. 6, and when the kicker 74 does not block the light, the valve shaft 51 tilts and the valve body 53 is pressed against the valve seat 14, and the gate valve Is for confirming that it is in the closed state shown in FIG. In addition, these reed switches 71, 7
2. The detection and confirmation by the photo sensor 73 is performed by a control unit (not shown) through a circuit (not shown).
【0029】本発明の実施例は上記のように構成される
が、次にその作動を説明する。The embodiment of the present invention is constructed as described above, and its operation will be described below.
【0030】図1〜図4は弁体53が弁座14から離れ
た位置にあって、本実施例の無摺動ゲートバルブは開か
ら閉へ、また閉から開への途中の状態にあることを示し
ている。この時、空気圧シリンダ27のピストン棒28
及び空気圧シリンダ20のピストン棒21は共に最も引
き込んだ状態にある。この状態から空気圧シリンダ27
を作動させてピストン棒28を押し出すと、これに連結
されている軸受ブロック56b、56aが図1において
紙面の裏から表の方向へ押圧されるので、軸受ブロック
56b、56a、これに固定されている弁軸51は傾動
アーム57を介し傾動ピストン26を回転軸として傾動
し、弁本体10の内部においては図4の状態にあった弁
体53は傾動ピン26を回転軸として反時計方向に移動
され、図5に示すようにシールリング54が弁座14に
押し付けられて、弁体53が開口12を遮蔽し、本実施
例の無摺動ゲートバルブは閉の状態になる。なお、シー
ルリング54が弁座14に押し付けられた時に弁体53
の面と弁座14の面とが平行になって均等に接するよう
に、弁体53は予め計算され得る傾斜を付けて弁軸51
に取り付けられている。1 to 4, the valve body 53 is located at a position away from the valve seat 14, and the non-sliding gate valve of this embodiment is in the state of being opened to closed or being closed to open. It is shown that. At this time, the piston rod 28 of the pneumatic cylinder 27
Also, the piston rod 21 of the pneumatic cylinder 20 is in the most retracted state. From this state, the pneumatic cylinder 27
Is operated to push out the piston rod 28, the bearing blocks 56b and 56a connected to the piston rod 28 are pressed from the back side of the paper surface to the front direction in FIG. 1, so that the bearing blocks 56b and 56a are fixed to the bearing blocks 56b and 56a. The valve shaft 51 is tilted via the tilting arm 57 with the tilting piston 26 as a rotation axis, and the valve body 53 in the state of FIG. 4 inside the valve body 10 moves counterclockwise with the tilting pin 26 as a rotation axis. Then, as shown in FIG. 5, the seal ring 54 is pressed against the valve seat 14, the valve body 53 blocks the opening 12, and the non-sliding gate valve of this embodiment is closed. When the seal ring 54 is pressed against the valve seat 14, the valve body 53
The valve element 53 is provided with an inclination that can be calculated in advance so that the surface of the valve seat 14 and the surface of the valve seat 14 are parallel and evenly contact.
Is attached to.
【0031】この閉の状態から本実施例の無摺動ゲート
バルブを開とするには、空気圧シリンダ27のピストン
棒28を引っ込めて弁軸51を図1〜図4の状態に戻
し、次いで空気圧シリンダ20を作動させてピストン棒
21を押し出すと、これに連結されているスライドブロ
ック22はガイドレール44の両面を転動するローラ2
5に導かれて図1において下方へスライドし、スライド
ブロック22に固定されている空気圧シリンダ27、こ
れに連結されている軸受ブロック56b、56aを介し
て弁軸51も同時に下方へ図1、図2の一点鎖線位置ま
で引き下げられる。この状態においては、図6に示すよ
うに弁本体10の内部において弁体53も開口12に対
向する位置から引き下げられるので、開口12と開口1
3とは連通状態になり、本実施例の無摺動ゲートバルブ
は完全に開の状態となる。In order to open the non-sliding gate valve of this embodiment from this closed state, the piston rod 28 of the pneumatic cylinder 27 is retracted to return the valve shaft 51 to the state shown in FIGS. When the cylinder 20 is operated and the piston rod 21 is pushed out, the slide block 22 connected to this pushes the piston rod 21, and the slide block 22 rolls on both sides of the guide rail 44.
5, the valve shaft 51 also slides downward in FIG. 1 through the pneumatic cylinder 27 fixed to the slide block 22 and the bearing blocks 56b and 56a connected to the slide block 22. 2 is lowered to the position indicated by the one-dot chain line. In this state, the valve body 53 is also pulled down from the position facing the opening 12 inside the valve body 10 as shown in FIG.
3 is in a communication state, and the non-sliding gate valve of this embodiment is in a completely open state.
【0032】開の状態から空気圧シリンダ20のピスト
ン棒21を引っ込めて弁軸51を引き上げると図1〜図
4の状態へ戻ることになる。When the piston rod 21 of the pneumatic cylinder 20 is retracted and the valve shaft 51 is pulled up from the open state, the state shown in FIGS. 1 to 4 is restored.
【0033】なお実際には、空気圧シリンダ20、27
の作動は図示しない制御部からの指令による。すなわ
ち、本実施例の無摺動ゲートバルブを開から閉とする時
には、制御部からの信号によって圧縮空気が空気圧シリ
ンダ20に注入され、そのピストン棒21が下限位置か
ら上限位置まで引き込められる(弁軸51が上方へ引き
上げられる)とリードスイッチ72がオフ、リードスイ
ッチ71がオンになるので、制御部はこれを検知して空
気圧シリンダ20への圧縮空気の注入を止める信号を出
し、次いで空気圧シリンダ27に圧縮空気を注入する信
号を出す。これによって空気圧シリンダ27のピストン
棒28が押し出され、弁軸51が傾動してキッカー74
がフォトセンサ73の光を遮断しなくなるとその信号が
入力されるので、制御部は弁体53が開口12を遮蔽し
たことを検知する。Actually, the pneumatic cylinders 20, 27 are
Is operated by a command from a control unit (not shown). That is, when the non-sliding gate valve of this embodiment is opened to closed, compressed air is injected into the pneumatic cylinder 20 by a signal from the control unit, and the piston rod 21 thereof is retracted from the lower limit position to the upper limit position ( When the valve shaft 51 is pulled up), the reed switch 72 is turned off and the reed switch 71 is turned on. Therefore, the control unit detects this and issues a signal to stop the injection of the compressed air into the pneumatic cylinder 20, and then the pneumatic pressure. A signal for injecting compressed air into the cylinder 27 is issued. As a result, the piston rod 28 of the pneumatic cylinder 27 is pushed out, the valve shaft 51 is tilted, and the kicker 74 is pushed.
When the signal from the photo sensor 73 is no longer blocked, the signal is input, and the control unit detects that the valve body 53 has blocked the opening 12.
【0034】本実施例の無摺動ゲートバルブを閉から開
とする時も同様に制御部が空気圧シリンダ27、20を
順次作動させるが、空気圧シリンダ20のピストン棒2
1が上限位置から下限位置まで押し出されると、リード
スイッチ71がオフ、リードスイッチ72がオンとなっ
てその信号が入力されるので、制御部は完全に開になっ
たことを検知する。Similarly, when the non-sliding gate valve of this embodiment is opened to closed, the control section similarly operates the pneumatic cylinders 27 and 20 in sequence.
When 1 is pushed out from the upper limit position to the lower limit position, the reed switch 71 is turned off and the reed switch 72 is turned on to input the signal, so that the control unit detects that it is completely opened.
【0035】本実施例による無摺動ゲートバルブは以上
説明したように、摺動、転動、その他、摩擦を伴う開閉
機構を弁本体10の外部へ設けたことに加え、弁軸51
の上下動をベースプレート40に固定された空気圧シリ
ンダ20の駆動によるものとし、更には空気圧シリンダ
20のピストン棒21に連結されているスライドブロッ
ク22が、それ自身に付属するローラ25を介し、ベー
スプレート40に垂直に固定されている支持柱42と一
体的なガイドレール44に沿ってスライドするようにし
ているので、弁軸51の上下動時における芯振れがな
く、従って弁軸51自身、または弁軸51に取り付けら
れている弁体53と他の構成要素部材との接触、それに
よるダスト発生の恐れは解消されている。As described above, in the non-sliding gate valve according to this embodiment, the opening / closing mechanism involving sliding, rolling, and friction is provided outside the valve body 10, and in addition, the valve shaft 51 is provided.
Is driven by the pneumatic cylinder 20 fixed to the base plate 40, and the slide block 22 connected to the piston rod 21 of the pneumatic cylinder 20 is connected to the base plate 40 via the roller 25 attached thereto. Since it slides along the guide rail 44 that is integrated with the support column 42 that is vertically fixed to the valve shaft 51, there is no center runout when the valve shaft 51 moves up and down, and therefore the valve shaft 51 itself or the valve shaft The contact between the valve body 53 attached to the valve 51 and other component members and the risk of dust generation due to the contact are eliminated.
【0036】なお、本実施例による無摺動ゲートバルブ
は弁軸51が弁体53のシールリング54を弁座13に
押し付ける構造であるために、弁本体10の内部が外部
より高圧である場合は勿論のこと、内部が真空で外部が
常圧の場合も含めて内部が外部より低圧である場合に
も、開口12の遮蔽はシール洩れを起こすことはない。Since the non-sliding gate valve according to this embodiment has a structure in which the valve shaft 51 presses the seal ring 54 of the valve body 53 against the valve seat 13, when the inside of the valve body 10 is at a higher pressure than the outside. Of course, even when the inside is at a lower pressure than the outside, including the case where the inside is vacuum and the outside is normal pressure, the shielding of the opening 12 does not cause seal leakage.
【0037】以上、本発明の実施例について説明した
が、勿論、本発明はこれに限定されることなく、本発明
の技術的思想に基いて種々の変形が可能である。Although the embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to this, and various modifications can be made based on the technical idea of the present invention.
【0038】例えば実施例においては、無摺動ゲートバ
ルブの閉時に、弁体53の面と弁座14の面とが平行に
なって均等に接するように、弁体53を弁軸51に対し
予め傾斜させて取り付けたが、弁体54は傾斜させずに
弁軸51に取り付け、弁座14に傾斜を与えてもよい。For example, in the embodiment, when the non-sliding gate valve is closed, the valve body 53 and the valve seat 14 are parallel to each other and evenly contact the valve body 53 with respect to the valve shaft 51. Although the valve body 54 is attached inclining in advance, the valve body 54 may be attached to the valve shaft 51 without inclining and the valve seat 14 may be inclined.
【0039】また実施例においては、弁本体10を上側
に、開閉機構を下側としたが、この上下が逆であっても
よく、更には横に寝かせた状態においてもその機能は変
わらない。Further, in the embodiment, the valve body 10 is on the upper side and the opening / closing mechanism is on the lower side, but the upper and lower sides may be reversed, and the function does not change even when lying sideways.
【0040】また実施例においては、長方形の開口1
2、13を有する無摺動ゲートバルブを取り上げたが、
円形の開口としてもよいことは言うまでもない。Also, in the embodiment, the rectangular opening 1
I took up a non-sliding gate valve with 2 and 13,
It goes without saying that a circular opening may be used.
【0041】更には実施例においては、開閉機構の駆動
に空気圧シリンダ20、27を採用したが、これを他の
公知の駆動源、例えば油圧シリンダとすることも出来
る。Further, in the embodiment, the pneumatic cylinders 20 and 27 are used to drive the opening / closing mechanism, but other known drive sources such as hydraulic cylinders may be used.
【0042】[0042]
【発明の効果】本発明の無摺動ゲートバルブは摺動、転
動、その他、摩擦を伴う開閉機構を弁本体の外部へ設け
たことのほかに、弁軸の往復動時に芯振れすることのな
いようにしていること、更には可動部を介さずに弁体を
弁軸に取り付けていることによって弁本体の内部におい
てはゲートバルブの構成要素部材同志の摩擦が生起せ
ず、従ってダスト発生の恐れがないので、本発明の無摺
動ゲートバルブを使用する製造ラインの清浄度を保証す
ることが出来る。The non-sliding gate valve of the present invention is provided with an opening / closing mechanism involving sliding, rolling, and other friction outside the valve body, and also has center runout when the valve shaft reciprocates. Since the valve body is attached to the valve shaft without passing through the movable part, friction between the constituent elements of the gate valve does not occur inside the valve body, and therefore dust is generated. Therefore, the cleanliness of the manufacturing line using the non-sliding gate valve of the present invention can be guaranteed.
【図1】本発明の実施例による無摺動ゲートバルブの部
分破断正面図を左半分に、正面図を右半分に示した図で
ある。FIG. 1 is a partially cutaway front view of a non-sliding gate valve according to an embodiment of the present invention in a left half and a front view in a right half.
【図2】同バルブの側面図である。FIG. 2 is a side view of the valve.
【図3】同バルブの、図1における[3]−[3]線方
向の部分側面図である。3 is a partial side view of the same valve taken along line [3]-[3] in FIG.
【図4】同バルブの、図1における[4]−[4]線方
向の要部を拡大した破断側面図である。FIG. 4 is a cutaway side view showing an enlarged main part of the valve in the direction of the line [4]-[4] in FIG. 1.
【図5】図4に対応する破断側面図であり、同バルブが
閉の状態を示す図である。FIG. 5 is a broken side view corresponding to FIG. 4, showing the valve in a closed state.
【図6】図4に対応する破断側面図であり、同バルブが
開の状態を示す図である。FIG. 6 is a cutaway side view corresponding to FIG. 4, showing the valve in an open state.
【図7】同バルブの下面図である。FIG. 7 is a bottom view of the valve.
【図8】従来例の無摺動ゲートバルブの正面図を右半
分、部分破断正面図を左半分に示した図である。FIG. 8 is a diagram showing a front view of a conventional non-sliding gate valve in a right half and a partially cutaway front view in a left half.
【図9】同バルブの部分破断側面図である。FIG. 9 is a partially cutaway side view of the valve.
10 弁本体 12 開口 14 弁座 20 空気圧シリンダ 22 スライドブロック 25 ローラ 26 傾動ピン 27 空気圧シリンダ 38 ベローズ 40 ベースプレート 42 支持柱 44 ガイドレール 51 弁軸 53 弁体 56a 軸受ブロック 56b 軸受ブロック 57 傾動アーム 10 valve body 12 opening 14 valve seat 20 pneumatic cylinder 22 slide block 25 roller 26 tilting pin 27 pneumatic cylinder 38 bellows 40 base plate 42 support pillar 44 guide rail 51 valve shaft 53 valve body 56a bearing block 56b bearing block 57 tilting arm
Claims (3)
の内部にあって前記開口を遮蔽する弁体と、前記弁本体
の外部から内部へ挿通されており、その先端部に取り付
けられた前記弁体を操作する弁軸と、前記弁本体の外部
に設けられ前記弁軸を操作する開閉機構とからなり、前
記開閉機構は前記弁体を前記開口の周縁部に着座させか
つ離座させる作動と、前記弁体を前記開口に対向する位
置から離隔させかつ前記開口に対向する位置へ戻す作動
とを行なう無摺動ゲートバルブにおいて、前記開閉機構
は、前記弁軸の他端が前記弁本体に固定された往復動機
構によって駆動されるスライド部に、該スライド部と固
定されている傾動機構を介して、連結されており、前記
往復動機構が作動すると、前記弁本体に前記弁軸と同方
向に垂直に固定されている支持柱と一体的なレール上を
前記スライド部に付属するローラが転動することによっ
て、前記スライド部が往復自在にスライドし、前記スラ
イド部と共に前記弁軸が往復動して、前記弁体を前記開
口に対向する位置から離隔させかつ前記開口へ対向する
位置へ戻すように作動し、更には前記弁軸が前記スライ
ド部に支持された傾動ピンに連結されており、前記スラ
イド部に固定されて前記弁軸と連結されている前記傾動
機構が作動すると、前記弁軸が傾動ピンを回転軸として
傾動して、前記弁体を前記開口の周縁部に着座させかつ
離座させるように作動することを特徴とする無摺動ゲー
トバルブ。1. A valve main body having an opening in a side wall, a valve body inside the valve main body that shields the opening, and a valve body that is inserted from the outside to the inside of the valve main body, and is attached to a tip portion thereof. A valve shaft for operating the valve body, and an opening / closing mechanism provided outside the valve body for operating the valve shaft, the opening / closing mechanism seating the valve body on the peripheral portion of the opening and separating the valve body. In the non-sliding gate valve that performs an operation of causing the valve body to separate from the position facing the opening and returning to a position facing the opening, the opening / closing mechanism has the other end of the valve shaft It is connected to a slide part driven by a reciprocating mechanism fixed to the valve body via a tilting mechanism fixed to the slide part, and when the reciprocating mechanism operates, the valve body is connected to the valve. Fixed vertically in the same direction as the axis When a roller attached to the slide portion rolls on a rail integral with the supporting pillar, the slide portion slides reciprocally, the valve shaft reciprocates together with the slide portion, and the valve The body is operated to separate from the position facing the opening and returned to the position facing the opening, and further, the valve shaft is connected to a tilting pin supported by the slide part, When the tilting mechanism that is fixed and connected to the valve shaft operates, the valve shaft tilts with the tilting pin as a rotation shaft, and the valve body is seated on the peripheral portion of the opening and separated from the seat. A non-sliding gate valve that operates.
開口を遮蔽する時に、前記弁体の面が前記開口の面と平
行して均等に接するように、前記弁体が予め前記弁軸の
軸心とは傾斜して前記弁軸に取り付けられている請求項
1に記載の無摺動ゲートバルブ。2. The valve shaft is preliminarily provided with the valve shaft so that when the valve shaft blocks the opening due to tilting of the valve shaft, the surface of the valve body is in parallel contact with the surface of the opening evenly. The non-sliding gate valve according to claim 1, wherein the non-sliding gate valve is attached to the valve shaft at an angle with respect to the axis of the valve shaft.
箇所を気密にシールするための、一端を前記弁本体に固
定し、他端を前記弁軸に固定して設けられたベローズを
有する請求項1または請求項2に記載の無摺動ゲートバ
ルブ。3. A bellows having one end fixed to the valve body and the other end fixed to the valve shaft for airtightly sealing a portion where the valve shaft is inserted into the valve body. The non-sliding gate valve according to claim 1, which has.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP19542093A JP3330686B2 (en) | 1993-07-12 | 1993-07-12 | Non-sliding gate valve |
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Publication Number | Publication Date |
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JPH0727235A true JPH0727235A (en) | 1995-01-27 |
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JP3330686B2 (en) | 2002-09-30 |
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