JPH0836144A

JPH0836144A - レーザ分岐装置

Info

Publication number: JPH0836144A
Application number: JP6191820A
Authority: JP
Inventors: Takahiro Uchida; ▲高▼弘内田
Original assignee: Miyachi Technos Corp
Current assignee: Miyachi Technos Corp
Priority date: 1994-07-22
Filing date: 1994-07-22
Publication date: 1996-02-06

Abstract

(57)【要約】［目的］減衰板を用いることなく全ての分岐レーザ光の
レーザ出力を正確に一致させ、あるいは個々に所望の値
に調整できるようにする。［構成］共振ミラー１２より出力される原ＹＡＧレーザ
光ＬＢ0 の光軸上に４枚の部分反射透過ミラー１４Ａ，
１４Ｂ，１４Ｃ，１４Ｄが同一の傾き角度（たとえば４
５゜）で一定の間隔を置いてそれぞれ定位置に配置され
る。原ＹＡＧレーザ光ＬＢ0 の光軸に対して部分反射透
過ミラー１４Ａ〜１４Ｄの反射側には、シャッタ１６Ａ
〜１６Ｄを介して入射ユニット１８Ａ〜１８Ｄが配置さ
れており、入射ユニット１８Ａ〜１８Ｄの他端部には光
ファイバ１０４Ａ〜１０４Ｄが接続されている。各ミラ
ー位置調整機構２４におけるミラー位置調整によって、
各部分反射透過ミラー１４Ａ〜１４Ｄの反射率および透
過率（Ｒ，Ｔ）が所望の値に設定調整される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、１本の原レーザ光を複
数のレーザ光に同時に分岐するレーザ分岐装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】レーザ分岐装置は、レーザ発振器より出
力されたレーザ光を複数のレーザ光に分岐して異なるポ
ジションへ向けるもので、たとえばレーザ溶接のマルチ
・ポジション加工等で利用されている。

【０００３】図６に、レーザ溶接のマルチ・ポジション
加工システムを示す。１台のレーザ装置本体１００に複
数個たとえば４個の出射ユニット１０２Ａ〜１０２Ｄが
それぞれ光ファイバ１０４Ａ〜１０４Ｄを介して接続さ
れる。レーザ装置本体１００内では、レーザ発振器で発
生したレーザ光がレーザ分岐装置によって４本のレーザ
光に分岐され、それら４本の分岐レーザ光がそれぞれ入
射ユニットによって光ファイバ１０４Ａ〜１０４Ｄの一
端面に入射される。各光ファイバ１０４Ａ〜１０４Ｄを
通って各出射ユニット１０２Ａ〜１０２Ｄまで伝送され
た各分岐レーザ光は、そこで各ワークＷへ向けて集光照
射されるようになっている。このようなマルチ・ポジシ
ョン加工によれば、１台のレーザ装置本体１００で複数
個（この例では４個）のワークＷを同時に溶接加工でき
るため、生産効率を高めることができる。

【０００４】図７に、上記したようなマルチ・ポジショ
ン加工システムにおいて同時４分岐を行うための従来の
レーザ分岐装置の要部の構成を示す。このレーザ分岐装
置はレーザ発振部（図示せず）より出力される原レーザ
光ＬＢ0 の光軸上に３枚の部分反射透過ミラー１０６
Ａ，１０６Ｂ，１０６Ｃおよび１枚の全反射ミラー１０
６Ｄを一定角度たとえば４５゜傾けてこの順に配置して
なるものである。

【０００５】原レーザ光ＬＢ0 が最初に入射する第１の
部分反射透過ミラー１０６Ａには、反射率が約２５％、
透過率が約７５％の部分反射透過ミラーが用いられる。
次の第２の部分反射透過ミラー１０６Ｂには、反射率が
約３３％、透過率が約６７％の部分反射透過ミラーが用
いられる。第３の部分反射透過ミラー１０６Ｂには、反
射率が約５０％、透過率が約５０％の部分反射透過ミラ
ーが用いられる。最後の全反射ミラー１０６Ｄには、反
射率が約１００％、透過率が約０％の全反射ミラーが用
いられる。

【０００６】原レーザ光ＬＢ0 が第１の部分反射透過ミ
ラー１０６Ａに入射すると、そこで約２５％分（約０．
２５ＬＢ0 ）が反射して、残りの約７５％分（約０．７
５ＬＢ0 ）は透過する。

【０００７】第１の部分反射透過ミラー１０６Ａからの
透過光（約０．７５ＬＢ0 ）が第２の部分反射透過ミラ
ー１０６Ｂに入射すると、そこで約３３％分（約０．２
５ＬＢ0 ）が反射して、残りの約６７％分（約０．５０
ＬＢ0 ）は透過する。

【０００８】第２の部分反射透過ミラー１０６Ｂからの
透過光（約０．５０ＬＢ0 ）が第３の部分反射透過ミラ
ー１０６Ｃに入射すると、そこで約５０％分（約０．２
５ＬＢ0 ）が反射して、残りの約５０％分（約０．２５
ＬＢ0 ）は透過する。

【０００９】第３の部分反射透過ミラー１０６Ｃからの
透過光（約０．２５ＬＢ0 ）は全反射ミラー１０６Ｄに
入射し、そこで全部反射する。

【００１０】このようにして、４枚のミラー１０６Ａ〜
１０６Ｄよりほぼ等しいレーザ出力を有する４つの反射
光が分岐レーザ光ＬＢA 〜ＬＢD としてそれぞれ取り出
されるようになっている。

【００１１】図８は、別の従来のレーザ分岐装置の構成
を示す。このレーザ分岐装置は、３枚の部分反射透過ミ
ラー１０８Ａ，１０８Ａ’，１０８Ｃ’と３枚の全反射
ミラー１０８Ｂ，１０８Ｃ，１０８Ｄを原レーザ光ＬＢ
0 の光軸に対して図示のように直角ジグザグ状に配置し
てなるものである。各部分反射透過ミラー１０８Ａ，１
０８Ａ’，１０８Ｃ’には、反射率が約５０％、透過率
が約５０％の部分反射ミラーが用いられる。

【００１２】このレーザ分岐装置では、原レーザ光ＬＢ
0 が最初に部分反射透過ミラー１０８Ａに入射すると、
そこで約５０％分（約０．５０ＬＢ0 ）が反射して、残
りの約５０％分（約０．５０ＬＢ0 ）は透過する。

【００１３】第１の部分反射透過ミラー１０８Ａからの
反射光（約０．５０ＬＢ0 ）は部分反射透過ミラー１０
８Ａ’に入射し、そこで約５０％分（約０．２５ＬＢ0
）が反射して、残りの約５０％分（約０．２５ＬＢ0
）は透過する。この部分反射透過ミラー１０８Ａ’か
らの透過光は全反射ミラー１０８Ｂに入射し、そこで全
部反射する。

【００１４】第１の部分反射透過ミラー１０８Ａからの
透過光（約０．５０ＬＢ0 ）は全反射ミラー１０８Ｃを
介して部分反射透過ミラー１０８Ｃ’に入射し、そこで
約５０％分（約０．２５ＬＢ0 ）が反射して、残りの約
５０％分（約０．２５ＬＢ0）は透過する。この部分反
射透過ミラー１０８Ｃ’からの透過光は全反射ミラー１
０８Ｄに入射し、そこで全部反射する。

【００１５】このようにして、４枚のミラー１０８
Ａ’，１０８Ｂ，１０８Ｃ’，１０８Ｄより、ほぼ等し
いレーザ出力を有する４つの透過光または反射光が分岐
レーザ光ＬＢA 〜ＬＢD としてそれぞれ取り出されるよ
うになっている。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、実際に
は部分反射透過ミラーの反射率および透過率にバラツキ
があること、およびレーザ光の偏光成分が反射光と透過
光との間で異なりやすいこと等から、上記したような従
来のレーザ分岐装置では、原レーザ光ＬＢ0 のレーザ出
力を正確に等分分割することが難しく、各分岐レーザ光
ＬＢA 〜ＬＢD の出力にバラツキがあった。このため、
上記したような同時分岐によるマルチ・ポジション加工
においてワークＷの加工品質にバラツキが出るという不
具合があった。

【００１７】そこで、従来は、各分岐レーザ光ＬＢA 〜
ＬＢD の中でレーザ出力の最も低いものを基準値とし、
他の分岐レーザ光に対してはそれぞれのレーザ出力を該
基準値に一致させる（揃わせる）よう減衰板によって減
衰させていた。

【００１８】たとえば、図７の従来装置において、ミラ
ー１０６Ａからの分岐レーザ光ＬＢA のレーザ出力が最
も低い値（たとえば０．２２ＬＢ0 ）であるときは、他
のミラー１０６Ｂ，１０６Ｃ，１０６Ｄからの分岐レー
ザ光ＬＢA 〜ＬＢD の光軸上に点線で示すように減衰板
１１０を配置し、各分岐レーザ光ＬＢA 〜ＬＢD のレー
ザ出力を基準値（０．２２ＬＢ0 ）まで減衰させてい
た。

【００１９】また、図８の従来装置でも、たとえばミラ
ー１０８Ｃ’からの分岐レーザ光ＬＢC のレーザ出力が
最も低い値（たとえば０．２１ＬＢ0 ）であるときは、
他のミラー１０８Ａ’，１０８Ｂ，１０８Ｄからの分岐
レーザ光ＬＢA ，ＬＢB ，ＬＢD の光軸上にやはり減衰
板１１０を配置し、それらのレーザ出力を基準値（０．
２１ＬＢ0 ）まで減衰させていた。

【００２０】しかし、このように減衰板１１０を用いて
他の全ての分岐レーザ光のレーザ出力を基準値（最小
値）に揃えることで、それらの分岐レーザ光ＬＢのレー
ザ出力が減衰板１１０で無駄に失われ、エネルギ効率の
低下を来すという不具合があった。また、減衰板１１０
におけるレーザ出力減衰率は板の枚数に比例した割合で
段階的にしか増減しないため、分岐レーザ光のレーザ出
力を精細に調整するのが難しいという不便もあった。

【００２１】本発明は、かかる問題点に鑑みてなされた
もので、減衰板を用いることなく全ての分岐レーザ光の
レーザ出力を正確に一致させ、あるいは個々に所望の値
に調整することができるようにしたレーザ分岐装置を提
供することを目的とする。

【００２２】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明のレーザ分岐装置は、前記原レーザ光の波
長に対する反射率および透過率が一次元または二次元方
向でほぼ連続的に変化する１枚または複数枚の部分反射
透過ミラーをそれぞれ所定の向きで所定の位置に配置
し、各々の前記部分反射透過ミラーに入射するレーザ光
が所望の反射率および透過率で所定の方向に反射および
透過するように各々の部分反射ミラーの位置を調整し、
各々の前記部分反射透過ミラーからの反射光または透過
光を前記分岐レーザ光とする構成とした。

【００２３】

【作用】本発明では、各部分反射透過ミラーにおいてミ
ラーの位置調整により反射率および透過率を任意の値に
可変調整できるため、各ミラー間のバラツキの問題はな
く、原レーザ光のレーザ出力を正確に等分分割すること
も、個々の分岐レーザ光毎にレーザ出力を任意に設定調
整することも容易に行える。また、同一構造の部分反射
透過ミラーだけ用いて装置を構成することも可能であ
り、組立、保管、メンテナンス等の面でも有利である。

【００２４】

【実施例】以下、図１〜図５を参照して本発明の実施例
を説明する。

【００２５】図１は、本発明の一実施例によるレーザ分
岐装置の要部の構成を示す。このレーザ分岐装置は、た
とえば図６のマルチ・ポジション加工システムに適用可
能なものである。

【００２６】図１において、ＹＡＧレーザ発振器１０よ
り出力された原レーザ光ＬＢ0 は、一対の共振ミラー１
２（一方のみ図示）の間で反射を繰り返して共振増幅の
のち共振ミラー１２より出射されるようになっている。
本実施例では、この原ＹＡＧレーザ光ＬＢ0 の光軸上に
４枚の部分反射透過ミラー１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃ，１
４Ｄが同一の傾き角度（たとえば４５゜）で一定の間隔
を置いてそれぞれ定位置に配置されている。原ＹＡＧレ
ーザ光ＬＢ0 の光軸に対して部分反射透過ミラー１４Ａ
〜１４Ｄの反射側には、シャッタ１６Ａ〜１６Ｄを介し
て入射ユニット１８Ａ〜１８Ｄが配置されており、入射
ユニット１８Ａ〜１８Ｄの他端部には光ファイバ１０４
Ａ〜１０４Ｄが接続されている。

【００２７】図２に模式的に示すように、各部分反射透
過ミラー１４Ａ〜１４Ｄは、ＹＡＧレーザ光をほぼ１０
０％透過する材質たとえばガラスまたは石英等からなる
ミラー基板２０を有し、このミラー基板２０の表面また
は背面にＹＡＧレーザ光に対する反射率および透過率
（Ｒ，Ｔ）が（ＲMAX,ＴMIN)〜（ＲMIN,ＴMAX)の範囲で
ミラー基板２０の長手方向（Ｘ方向）でほぼ連続的に変
化するように多層膜の部分反射透過膜２２がコーティン
グされている。

【００２８】たとえば、この実施例では、（ＲMAX,ＴMI
N)が（１００％，０％）に選ばれ、（ＲMIN,ＴMAX)が
（０％，１００％）に選ばれる。したがって、一枚の部
分反射透過ミラー１４が、ＹＡＧレーザ光ＬＢの入射す
るミラーの位置に応じて、ＹＡＧレーザ光をほぼ１００
％反射する全反射ミラーとして機能することも可能であ
れば、ＹＡＧレーザ光をほぼ１００％透過する全透過板
として機能することも可能であり、全反射ミラーと全透
過板との間で任意の反射率および透過率（Ｒ，Ｔ）を有
する狭義の部分反射透過ミラーとして機能することも可
能である。

【００２９】このように、本実施例の部分反射透過ミラ
ー１４においては、このミラーに入射するＹＡＧレーザ
光ＬＢの入射スポット位置を基板長手方向（Ｘ方向）で
変えることで、反射光ＬＢR および透過光ＬＢT のレー
ザ出力の割合を（１００％，０％）〜（０％，１００
％）の範囲内でほぼ連続的に可変調整することが可能で
ある。

【００３０】図３および図４に、部分反射透過ミラー１
４の反射率および透過率（Ｒ，Ｔ）を可変調整するため
のミラー位置調整機構２４の構成例を示す。

【００３１】図２に示すものは、部分反射透過ミラー１
４を垂直に保持する垂直保持板２６を水平支持板２８上
でＸ方向に摺動可能に立設し、垂直保持板２６の基端部
に形成したＸ方向の螺子穴２６ａにボールネジ３０を回
転可能に通したものである。ボールネジ３０のつまみ３
０ａを回すことで、垂直保持板２６および部分反射透過
ミラー１４をＸ方向に精細に移動または変位させること
ができる。

【００３２】図３に示すものは、断面Ｔ状の垂直保持板
２６’の水平フランジ部２６’ｃにＸ方向に延在する溝
２６’ｄを形成し、この溝２６’ｄを通してボルト３２
を水平支持板２８’の螺子穴（図示せず）に螺子込むよ
うにしたものである。ボルト３２を緩めることで、垂直
保持板２６’および部分反射透過ミラー１４を手動でＸ
方向に精細に移動または変位させることができる。

【００３３】再び図１において、本実施例のレーザ分岐
装置で同時４分岐を行うためには、上記したような各ミ
ラー位置調整機構２４で各部分反射透過ミラー１４Ａ〜
１４Ｄの反射率および透過率（Ｒ，Ｔ）を次のような値
に設定調整すればよい。

【００３４】共振ミラー１２に一番近い第１の部分反射
透過ミラー１４Ａの反射率および透過率（ＲA ，ＴA ）
は（約２５％，約７５％）に設定調整すればよい。次の
第２の部分反射透過ミラー１４Ｂの反射率および透過率
（ＲB ，ＴB ）は（約３３％，約６７％）に設定調整す
ればよい。第３の部分反射透過ミラー１４Ｃの反射率お
よび透過率（ＲC ，ＴC ）は（約５０％，約５０％）に
設定調整すればよい。第４の部分反射透過ミラー１４Ｄ
の反射率および透過率（ＲD ，ＴD ）は（約０％，約１
００％）に設定調整すればよい。

【００３５】このように部分反射透過ミラー１４Ａ〜１
４Ｄの反射率Ｒおよび透過率Ｔを設定調整すると、共振
ミラー１２からの原ＹＡＧレーザ光ＬＢ0 について各部
分反射透過ミラー１４Ａ〜１４Ｄで次のような反射およ
び透過が行われる。

【００３６】先ず、原ＹＡＧレーザ光ＬＢ0 が第１の部
分反射透過ミラー１４Ａに入射すると、そこで約２５％
分（約０．２５ＬＢ0 ）が反射して、残りの約７５％分
（約０．７５ＬＢ0 ）は透過する。

【００３７】第１の部分反射透過ミラー１４Ａからの透
過光（約０．７５ＬＢ0 ）が第２の部分反射透過ミラー
１４Ｂに入射すると、そこで約３３％分（約０．２５Ｌ
Ｂ0）が反射して、残りの約６７％分（約０．５０ＬＢ0
）は透過する。

【００３８】第２の部分反射透過ミラー１４Ｂからの透
過光（約０．５０ＬＢ0 ）が第３の部分反射透過ミラー
１４Ｃに入射すると、そこで約５０％分（約０．２５Ｌ
Ｂ0）が反射して、残りの約５０％分（約０．２５ＬＢ0
）は透過する。

【００３９】第３の部分反射透過ミラー１４Ｃからの透
過光（約０．２５ＬＢ0 ）は全反射ミラー１４Ｄに入射
し、そこで全部反射する。

【００４０】このようにして、４枚の部分反射透過ミラ
ー１４Ａ〜１４Ｄよりほぼ等しいレーザ出力を有する４
つの反射光が分岐レーザ光ＬＢA 〜ＬＢD としてそれぞ
れ取り出される。これらの分岐レーザ光ＬＢA 〜ＬＢD
はそれぞれシャッタ１６Ａ〜１６Ｄを通って入射ユニッ
ト１８Ａ〜１８Ｄへ同時に入射し、入射ユニット内で集
光レンズにより集光されて光ファイバ１０４Ａ〜１０４
Ｄの一端面に同時に入射する。

【００４１】光ファイバ１０４Ａ〜１０４Ｄの一端面に
同時に入射した分岐レーザ光ＬＢA〜ＬＢD は、光ファ
イバ１０４Ａ〜１０４Ｄの中を通って出射ユニット１０
２Ａ〜１０２Ｄまで伝送され、出射ユニット１０２Ａ〜
１０２ＤよりそれぞれのワークＷへ向けて同時に集光照
射される。

【００４２】なお、シャッタ１６Ａ〜１６Ｄは必要に応
じて各分岐レーザ光ＬＢA 〜ＬＢDの伝送を選択的また
は独立的に制御し、時間差多分岐を可能とするものであ
る。シャッタ１６が開いている限りは、分岐レーザ光Ｌ
Ｂはそのまま通り抜けるようになっており、ここで減衰
することはない。

【００４３】上記したように、本実施例のレーザ分岐装
置によれば、各部分反射透過ミラー１４Ａ〜１４Ｄにお
いて反射率および透過率（Ｒ，Ｔ）を任意の値に可変調
整できるため、各ミラーの反射・透過特性のバラツキや
レーザ光の偏光成分のバラツキ等の問題は解消し（可変
調整によって容易に補正でき）、減衰板を用いなくて
も、原レーザ光ＬＢ0 のレーザ出力を正確に等分分割す
ることが可能であり、図６のようなマルチ・ポジション
加工においてワークＷの加工品質を一定とし、信頼性を
向上させることができる。また、減衰板を用いないの
で、レーザ光のレーザ出力を無駄に損失させなくて済
み、エネルギ効率を向上させることもできる。

【００４４】さらに、本実施例のレーザ分岐装置では、
全て同じ型番の部分反射透過ミラー１４Ａ〜１４Ｄを用
いているので、在庫管理やメンテナンスコストの点でも
有利である。

【００４５】もっとも、上記したような同時多分岐を行
う場合には、各部分反射透過ミラー１４Ａ〜１４Ｄの反
射率および透過率（Ｒ，Ｔ）の設定値が予め定まってい
るので、各部分反射透過ミラー１４Ａ〜１４Ｄ毎に反射
率および透過率の可変範囲（ＲMAX,ＴMIN)〜（ＲMIN,Ｔ
MAX)を各設定値を含む狭いウィンドウ幅に選ぶことによ
って、各部分反射透過ミラー１４Ａ〜１４Ｄにおける反
射率および透過率の分解能が高くなり、より精細な設定
調整が可能である。

【００４６】たとえば、上記の例では、第１の部分反射
透過ミラー１４Ａについては、その反射率および透過率
の可変範囲（ＲMAX,ＴMIN)〜（ＲMIN,ＴMAX)が（約３０
％，約７０％）〜（約２０％，約８０％）となるものを
用いてよい。第２の部分反射透過ミラー１４Ｂについて
は、その反射率および透過率の可変範囲（ＲMAX,ＴMIN)
〜（ＲMIN,ＴMAX)が（約２８％，約７２％）〜（約３８
％，約６２％）となるものを用いてよい。第３の部分反
射透過ミラー１４Ｃについては、その反射率および透過
率の可変範囲（ＲMAX,ＴMIN)〜（ＲMIN,ＴMAX)が（約４
５％，約５５％）〜（約５５％，約４５％）となるもの
を用いてよい。第４（最後段）の部分反射透過ミラー１
４Ｄは、これを普通の全反射ミラーで置き換えてもよ
い。

【００４７】また、第４の入射ユニット１８Ｄを第３の
部分反射透過ミラー１４Ｃの後方（透過側）に配置し、
第３の部分反射透過ミラー１４Ｃからの透過光を第４の
分岐レーザ光ＬＢD とすることで、第４のミラー１４Ｄ
を省くことも可能である。

【００４８】また、上記した実施例では同時４分岐を行
う場合について説明したが、同時３分岐等の他の同時多
分岐も可能であり、個々の部分反射透過ミラー１４Ａ〜
１４Ｃの透過率および反射率（Ｒ，Ｔ）を任意に可変調
整することで、個々の分岐レーザ光ＬＢA 〜ＬＢD 毎に
独立した（異なる）レーザ出力値に設定調整することも
可能である。

【００４９】本発明で用いる部分反射透過ミラー１４の
形状・構造は、図２に示すようなものに限定されるわけ
ではない。たとえば、図５に示すように、円盤状のミラ
ー基板２０’の表面または裏面にレーザ光に対する反射
率および透過率（Ｒ，Ｔ）が（ＲMAX,ＴMIN)〜（ＲMIN,
ＴMAX)の範囲でミラー基板２０’の円周方向（θ方向）
でほぼ連続的に変化するように多層膜の部分反射透過膜
２２’がコーティングされたものでもよい。この場合
は、適当なミラー回転位置調整手段（図示せず）によっ
てミラー基板２０’がθ方向に回転変位できるように構
成される。

【００５０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のレーザ分
岐装置によれば、原レーザ光の波長に対する反射率およ
び透過率が一次元または二次元方向でほぼ連続的に変化
する１枚または複数枚の部分反射透過ミラーを使用し、
各々の部分反射透過ミラーに入射するレーザ光が所望の
反射率および透過率で所定の方向に反射および透過する
ように各々の部分反射ミラーの位置を調整し、各々の部
分反射透過ミラーからの反射光または透過光を分岐レー
ザ光とするようにしたので、減衰板を用いることなく全
ての分岐レーザ光のレーザ出力を正確に一致させ、ある
いは個々に所望の値に調整することが可能であり、エネ
ルギ効率の向上、調整作業の改善および加工品質等の信
頼性の向上をはかることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例によるレーザ分岐装置の構成
を示す略平面図である。

【図２】実施例における部分反射透過ミラーの構成を示
す斜視図である。

【図３】実施例において部分反射透過ミラーの透過率お
よび反射率を可変調整するためのミラー位置調整機構の
一構成例を示す斜視図である。

【図４】実施例において部分反射透過ミラーの透過率お
よび反射率を可変調整するためのミラー位置調整機構の
別の構成例を示す斜視図である。

【図５】実施例における部分反射透過ミラーの変形例を
示す斜視図である。

【図６】レーザ溶接のマルチ・ポイント加工システムを
示す略斜視図である。

【図７】従来のレーザ分岐装置の一構成例を示す図であ
る。

【図８】従来のレーザ分岐装置の別の構成例を示す図で
ある。

【符号の説明】

１０レーザ発振器１４Ａ〜１４Ｄ部分反射透過ミラー１８Ａ〜１８Ｄ入射ユニット２０，２０’ ミラー基板２２，２２’ 部分反射透過膜２４ミラー位置調整機構

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】１つの原レーザ光から複数の分岐レーザ
光を生成するレーザ分岐装置において、前記原レーザ光の波長に対する反射率および透過率が一
次元または二次元方向でほぼ連続的に変化する１枚また
は複数枚の部分反射透過ミラーをそれぞれ所定の向きで
所定の位置に配置し、各々の前記部分反射透過ミラーに
入射するレーザ光が所望の反射率および透過率で所定の
方向に反射および透過するように各々の部分反射ミラー
の位置を調整し、各々の前記部分反射透過ミラーからの
反射光または透過光を前記分岐レーザ光とすることを特
徴とするレーザ分岐装置。