JPH083470B2 - Foreign material inspection method for metal particles - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、移送ライン上に存する金属粒から異物混入
の有無を検査する方法に関し、特に、自動化・省力化に
つながる電気的検査方法に係る。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for inspecting metal particles existing on a transfer line for the presence of foreign matter, and particularly to an electrical inspection method leading to automation and labor saving. .

（従来技術） 精錬された金属は、合金用素材たる製品として出荷さ
れるが、この出荷前に異物混入の有無を検査する、いわ
ゆる品質管理検査が行われる。(Prior Art) Smelted metal is shipped as a product as an alloy material, but before this shipping, a so-called quality control inspection is performed to inspect whether foreign matter is mixed.

例えば、チタン製造工場においては、クロール法等に
より生成されたスポンジチタンが所望寸法（通常１〜10
0mm程度）に破砕され、ベルトコンベアで出荷工程へと
流され、この過程で、鉄、合金、ビニール片、木片、小
石、或いは化学反応を生じたチタン等混入異物や不良品
の除去が行われる。For example, in a titanium manufacturing plant, sponge titanium produced by the Kroll method or the like has a desired size (usually 1 to 10).
It is crushed to about 0 mm) and sent to the shipping process on a belt conveyor, and in this process, foreign substances and defective products such as iron, alloys, vinyl pieces, wood pieces, pebbles, or titanium that has chemically reacted are removed. .

（発明が解決しようとする問題点） 上述の異物検査は、異物が鉄等磁性体である場合に
は、磁選法で自動的に検出除去できるが、磁性を有しな
い異物に対しては適用できず、目視による感能検査を余
儀なくされていた。従って、異物検査の自動化・省力化
を図る上で何等かの有効な手段が望まれていた。本発明
はこの要望に応えるものである。(Problems to be solved by the invention) The foreign matter inspection described above can be automatically detected and removed by the magnetic separation method when the foreign matter is a magnetic substance such as iron, but it is not applicable to the foreign matter having no magnetism. Instead, he was obliged to perform a visual sensitivity test. Therefore, some effective means has been desired in order to automate the foreign matter inspection and save labor. The present invention meets this need.

（発明の成立過程） 本発明者は、反射光による三原色の波長の総量の差
（変化）によって異物の混入の有無を判断すべく、カラ
ーセンサ（色判別装置）の利用に着目した。このカラー
センサは、従来、穀物や茶の選別に用いられていたが、
金属粒への異物混入チェックには全く採用されていない
ものである。このカラーセンサの原理は、反射光を構成
する光学三原色個々の波長の総量を求め、この際の出力
量の比により判別を行なうものであり、従来は二つの波
長の大きさを入力してデータ処理を行っていた。(Formation Process of the Invention) The present inventor has focused on the use of a color sensor (color discrimination device) in order to determine the presence or absence of foreign matter based on the difference (change) in the total amount of wavelengths of the three primary colors due to reflected light. This color sensor has been used to sort grain and tea,
It is not used at all for checking foreign matter inclusion in metal particles. The principle of this color sensor is to find the total amount of the individual wavelengths of the three optical primary colors that make up the reflected light, and then make a distinction based on the ratio of the output amounts at this time. It was processing.

確かに理論的に三つの波長の相対比を求めることが可
能であり、そうすることによって判別能力が向上するの
であるが、三つの波長処理を行うためには三個のセンサ
を備えねばならず、各センサ間に対応性のバラツキがあ
って補正項の設定が容易でなく、実用化されていなかっ
た。ところが近年に至り、上述したセンサ間のバラツキ
を解消する技術が開発された。Certainly, it is theoretically possible to obtain the relative ratio of the three wavelengths, and by doing so, the discrimination ability is improved, but in order to perform the three wavelength processing, three sensors must be provided. However, there was variation in compatibility among the sensors, and it was not easy to set the correction term, and it was not put into practical use. However, in recent years, a technique has been developed to eliminate the above-mentioned variation among sensors.

すなわち、第２図に示すように一つの半導体チップ11
上に三個の光電素子12,13,14を配設し、これに赤、緑、
青のフィルタ15,16,17を冠せることにより、従来生じて
いたセンサ間のバラツキを解消せしめたものである。そ
してこの技術は、近年になって色判別装置に利用され、
約12色の判別に供されている。That is, as shown in FIG.
Three photoelectric elements 12, 13, 14 are arranged on the top, and red, green,
By adding the blue filters 15, 16 and 17, the variation between the sensors which has been conventionally caused is eliminated. And this technology has been used in color discrimination devices in recent years,
It is used for distinguishing about 12 colors.

そこで本発明者は、上記改良センサを用いた金属粒へ
の異物検査を具体化しようとしたのであるが、例えば金
属粒がスポンジチタンである場合、スポンジチタンがね
ずみ色を呈しており、従来の方法では異物を選別する機
能を有していなかった。Therefore, the present inventor has tried to embody a foreign substance inspection on metal particles using the improved sensor. For example, when the metal particles are titanium sponge, the titanium sponge exhibits a gray color, which is a conventional method. Does not have the function of selecting foreign matter.

すなわち、従来の改良センサは、有彩色を判別する機
能を有するものの、その判別は高々12色というマクロ的
なものであり、スポンジチタン等の金属のような灰色を
有した無彩色物から異物を選別する機能は備えていなか
った。しかしながら、精錬されたスポンジチタン等の金
属は、純粋な均質物であり、略々一定の波長を発生する
はずである。従って、異物からの反射光を、さらにミク
ロ的に、彩度（色の鮮やかさの度合）まで検出する手段
があれば、カラーセンサを金属粒の異物検査方法に適用
できるはずである。本発明はこのような視点に立脚して
後述する如く種々実験を重ね完成に至ったものである。That is, although the conventional improved sensor has a function of discriminating chromatic colors, the discrimination is macroscopic with at most 12 colors, and foreign matter is detected from an achromatic substance having a gray color such as metal such as titanium sponge. It did not have the function of sorting. However, refined metals such as titanium sponge are pure homogenous materials and should generate a substantially constant wavelength. Therefore, the color sensor should be applicable to the method of inspecting foreign matter for metal particles if there is a means for microscopically detecting the reflected light from the foreign matter up to the saturation (degree of color vividness). The present invention has been completed based on this viewpoint through various experiments as will be described later.

（問題点を解決するための手段） 本発明は、第１に、移送される被検査物に、複数方向
から光を投射し、被検査物からの反射光より赤、緑、青
の波長を取出し、これらをそれぞれ電気信号に数値変換
し、これらと、良品を以て予め作成してある基準値とを
比較して、被検査物中の異物を判別することを基本発明
とし、さらに、第２に、移送される被検査物に、複数方
向から光を投射し、被検査物からの反射光の光学三原色
の波長をそれぞれ電気信号に数値変換し、該数値を下記
〜の判定式のうち少なくとも三式の代入して三以上
の判定値を求め、これら判定値を良品を以て予め作成し
てある基準値と比較し、統計学的手法により消去法を以
て被検査物中の異物を判別することを要旨とする。(Means for Solving Problems) First of all, the present invention projects light from a plurality of directions onto an object to be inspected to be transferred so that red, green, and blue wavelengths are reflected from reflected light from the object to be inspected. The basic invention is to take out, numerically convert each of these into an electric signal, and compare these with a reference value created in advance with a non-defective product to determine the foreign matter in the inspected object. , The light to be inspected is projected from a plurality of directions, the wavelengths of the optical three primary colors of the reflected light from the object to be inspected are converted into electric signals, and the numerical values are at least three of the following judgment formulas. Substituting a formula to obtain three or more judgment values, comparing these judgment values with a reference value created in advance using a non-defective product, and determining the foreign matter in the inspected object by the erasing method using a statistical method. And

判定式： R/G R/B G/B Ｔ＝Ｒ＋Ｇ＋Ｂ （R/G）/T （R/B）/T （G/B）/T Ｒ…赤の波長の総量 Ｇ…緑の波長の総量 Ｂ…青の波長の総量 尚、上記判定式のうち、〜式及び〜式はいず
れも「比」を表わしており、例えばR/GをG/Rとして用い
てもよい。Judgment formula: R / GR / BG / B T = R + G + B (R / G) / T (R / B) / T (G / B) / T R ... total amount of red wavelengths G ... total amount of green wavelengths B ... total amount of blue wavelengths The formulas and the formulas each represent “ratio”, and R / G may be used as G / R, for example.

また「少なくとも三式」と限定した理由は、使用する
判定式は多ければ多いほどよいが、被検査物のロットに
よっては、三式四式の使用で十分な場合があるが、二式
のみであると異物判別機能が著しく低下し、実用に供す
ることができないゆえである。Also, the reason for limiting it to "at least 3 formulas" is that the more judgment formulas are used, the better. However, depending on the lot of the inspected product, the use of 3 formulas and 4 formulas may be sufficient. This is because the foreign matter discriminating function remarkably deteriorates and it cannot be put to practical use.

さらに「統計学的手法」とは、基準値の作成に際し、
正常品と異常品の限界領域を標準偏差値Ｓによって定め
ることを意味し、具体的には統計管理の定法通り、標準
偏差値の二倍又は三倍以内を良品幅とするものである。Furthermore, "statistical method" means that when the standard value is created,
This means that the limit regions of normal products and abnormal products are defined by the standard deviation value S, and specifically, as in the standard method of statistical management, the good product width is within two or three times the standard deviation value.

又式のＴは、Ｒ＋Ｇ＋Ｂ、及び、 のいずれを用いてもよい。実際は後者の方が正確である
が、処理回路が２乗回路となって応答が遅くなる。Also, T in the equation is R + G + B, and Any of these may be used. Actually, the latter is more accurate, but the processing circuit becomes a square circuit and the response becomes slower.

次に上記判定式〜の採用理由について説明する。 Next, the reasons for adopting the above judgment formulas (1) to (5) will be described.

本発明者は、カラーセンサで得られる三種の電気信号
を、適当に処理して数値変換し、該数値のうち基準値か
ら外れるものを異物として取扱えばよいとの考えに基づ
いて、信号処理式（以下「判定式」と称する。）として
使えるであろうと考えた下記〜式について実際に試
験を行なってみた。The present inventor appropriately processes the three kinds of electric signals obtained by the color sensor and converts them into numerical values, and based on the idea that those that deviate from the reference value among the numerical values may be treated as foreign matter, a signal processing equation (Hereinafter, referred to as “judgment formula”.) An experiment was actually conducted with respect to the following formulas that were considered to be usable.

R/G R/B G/B Ｔ＝Ｒ＋Ｇ＋Ｂ RGR＝（R/G）/T RBR＝（R/B）/T GBR＝（G/B）/T RGB＝（Ｒ＋Ｇ）/2B RBG＝（Ｒ＋Ｂ）/2G GBR＝（Ｇ＋Ｂ）/2R LRGB＝|R/B−RGB|＋|G/B−RGB| LRBG＝|R/G−RBG|＋|B/G−RBG| LGBR＝|G/R−GBR|＋|B/R−GBR| DRG＝（Ｒ＋Ｇ）/2−Ｂ DRB＝（Ｒ＋Ｂ）/2−Ｇ DGB＝（Ｇ＋Ｂ）/2−Ｒ すなわち、まず、白色光を複数方向から白紙に当て、
その反射光の赤、緑、青の波長の総量を一定数値（任意
に定めればよい。本発明者の用いた演算器では255に設
定した。）となるように電気的に基準値を設定した。R / GR / BG / B T = R + G + B RGR = (R / G) / T RBR = (R / B) / T GBR = (G / B) / T RGB = (R + G) / 2B RBG = (R + B) / 2G GBR = (G + B) / 2R LRGB = | R / B-RGB | + | G / B-RGB | LRBG = | R / G-RBG | + | B / G-RBG | LGBR = | G / R-GBR | + | B / R-GBR | DRG = (R + G) / 2-B DRB = (R + B) / 2-G DGB = (G + B) / 2-R That is, first, white light is applied to white paper from a plurality of directions,
The reference value is electrically set so that the total amount of the red, green, and blue wavelengths of the reflected light becomes a constant numerical value (it may be arbitrarily set. It is set to 255 in the arithmetic unit used by the present inventor). did.

次に目視によって検査が済んでいる正常品を約50個基
準試験片として用意し、この基準試験片に対し、同上の
白色光を当てて各式の平均値と標準偏差値とを求め、こ
の平均値と標準偏差値から例えば、 良品幅＝平均値±２×標準偏差値（Ｓ） 或いは、 良品幅＝平均値±３×標準偏差値（Ｓ） と決める。Next, prepare about 50 normal products that have been visually inspected as standard test pieces, and for this standard test piece, apply the white light above to obtain the average value and standard deviation value of each formula, From the average value and the standard deviation value, for example, good product width = average value ± 2 × standard deviation value (S) or good product width = average value ± 3 × standard deviation value (S) is determined.

より具体的には、第３図に示される。すなわち、この
グラフは、前記判定式を正常品50個に適用し、横軸は
正常品No.を、また縦軸は電気信号量（出力）の数値を
示したもので、該グラフによれば、3S内の範囲で99.7％
が良品として把握されることになる。More specifically, it is shown in FIG. That is, in this graph, the above judgment formula is applied to 50 normal products, the horizontal axis shows the normal product No., and the vertical axis shows the numerical value of the electric signal amount (output). According to the graph, , 99.7% within 3S
Will be understood as a good product.

次に、種々の異物について判定式を適用し、第４図
に示すグラフを得た。横軸は異物No.を、また縦軸は電
気信号量の数値を示している。この図において、上側の
破線より上の部分が異物として設定されることとなる。Next, the judgment formula was applied to various foreign matters to obtain the graph shown in FIG. The horizontal axis shows the foreign substance number, and the vertical axis shows the numerical value of the electric signal amount. In this figure, the portion above the upper broken line is set as a foreign substance.

この第３図から明らかなように、判定式によって
も、良品が不良品として検出されることがあり、逆に第
４図に示すように、異物が正常品の領域にあって検出さ
れない場合もある。As is apparent from FIG. 3, a good product may be detected as a defective product even by the determination formula, and conversely, as shown in FIG. 4, a foreign substance may not be detected in the normal product area. is there.

それゆえに、本発明者は、上述の如く多数の判定式を
用い、いずれかの判定式で異物とされたものは、異物と
して取扱うという所謂消去法を採用することとし、上記
〜式のうち使用可能性について試験を行なった。Therefore, the present inventor adopts a so-called erasing method in which a large number of judgment formulas are used as described above, and those judged as foreign matter by any of the judgment formulas are treated as foreign matter. Tested for feasibility.

〜式についての試験結果を、末尾に表−１として
示す。表−１の左端の算用数字は、異物の品番を表らわ
し、異物によっては表裏の色彩が異なるため、二面から
のチェックを行なっている。表−１における各品番の上
欄がＡ面、下欄がＢ面を示し、異物として検出した場合
をＸ印で示している。~ The test results for the formulas are shown in Table 1 at the end. The numerical value at the left end of Table-1 indicates the part number of the foreign matter, and the color of the front and back differs depending on the foreign matter, so the check is performed from two sides. The upper column of each part number in Table-1 shows the A-side, the lower column shows the B-side, and the case where it is detected as a foreign substance is shown by an X mark.

また、上記〜式は正常品についても同様の試験を
行っている。すなわち、いかに異物検知能力を有してい
ても、正常品を異物としてしまっては意味がないからで
ある。この試験結果は表−２に示す通りであり、左端欄
は約50個の（したがって約50の試験No.を有する。）正
常品のうちの該当試験No.で、最下欄は正常品を異物と
して判定した個数、右端欄は正常品を異物として判定し
た数を示している。In addition, the above-mentioned expressions (1) to (8) have been tested in the same manner for normal products. That is, no matter how good the foreign matter detection capability is, it is meaningless to regard a normal product as a foreign matter. The results of this test are shown in Table 2. The leftmost column shows the relevant test No. out of about 50 normal products (thus having about 50 test No.), and the bottom column shows the normal product. The number determined as foreign matter, and the right end column shows the number of normal products determined as foreign matter.

本発明の判定式〜は上記試験結果に基いて採用さ
れるに至ったものである。The judgment formulas ~ of the present invention have been adopted based on the above test results.

（作 用） 上記本発明によれば、実験で示された如く、採用する
判定式それぞれが固有の範囲において異物を設定して行
き、この結果、総和として加算的に異物判定が行われ、
確率の高い実用に供しうる識別が可能となる。(Operation) According to the present invention, as shown in the experiment, the determination formulas to be adopted set the foreign matter within a unique range, and as a result, the foreign matter determination is additively performed as a sum,
It is possible to perform identification with high probability for practical use.

（実施例） 以下、例示図面に基づき本発明を説明する。(Example) Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

第１図（１）は使用装置の原理図（斜視図）、第１図
（２）はセンサプローブとハロゲンランプの位置関係を
示す側面図である。図中１は電磁フィーダ1a付きのベル
トコンベアで、所望寸法（通常１〜10mm程度）のスポン
ジチタン粒を主とする被検査物Ａを搬送する。このベル
トコンベア１の中途一側には、被検査物Ａの流れ幅を細
条になすための整流板２が配され、該電磁整流装置２の
下流に、複数（実施例では２個）の投光３用ハロゲンラ
ンプ４、及び被検査物Ａからの反射光５を受けるセンサ
プローブ６が配設されている。ハロゲンランプ４を二個
配置した理由は、複数方向から投光することによって被
検査物Ａの流れ内に陰をつくらないようにするためであ
る。そして、該ハロゲンランプ４の投光は、第１図
（２）に示すように、センサプローブ６を挟んで上流側
及び下流側の双方からセンサプローブ６直下の被検査物
Ａに投射するのが好ましい。FIG. 1 (1) is a principle view (perspective view) of the apparatus used, and FIG. 1 (2) is a side view showing the positional relationship between the sensor probe and the halogen lamp. In the figure, reference numeral 1 is a belt conveyor with an electromagnetic feeder 1a, which conveys an object A to be inspected, which mainly contains sponge titanium particles having a desired size (usually about 1 to 10 mm). A rectifying plate 2 for narrowing the flow width of the inspection object A is disposed on one side of the belt conveyor 1, and a plurality of (two in the embodiment) downstream of the electromagnetic rectifying device 2. A halogen lamp 4 for projecting light 3 and a sensor probe 6 that receives reflected light 5 from the inspection object A are provided. The reason for arranging two halogen lamps 4 is to prevent shadows in the flow of the inspection object A by projecting light from a plurality of directions. Then, as shown in FIG. 1 (2), the light emitted from the halogen lamp 4 is projected from both the upstream side and the downstream side of the sensor probe 6 to the inspection object A directly below the sensor probe 6. preferable.

センサプローブ６は、レンズ等の集光系と光ファイバ
ー７から成り、被検査物Ａからの反射光５に基づく光信
号を色測定装置８内にある改良カラーセンサに導く。第
１図（３）は上記原理を利用した一実施例の縦断面図
で、ベルトコンベア１上に上記センサプローブ６を一次
元的に配し、光ファイバ７を使用して離れた場所に存す
るカラーセンサー6aに光信号を導くように構成した。こ
のような構成を採ることにより、あたかも多数のフィル
タ付光電素子を被検査物上に配設したかのような結果と
なる。このため１〜10mm程度の細い金属粒子径に十分対
応させることが可能となる。尚、センサプロープ６内に
レンズ等の集光系と改良カラーセンサの組み合せたもの
を一次元的に構成実現することも可能であり、このよう
な構成も本発明の範囲を越えるものではない。また後述
する演算器９等を検査ラインから離れた位置に置くこと
ができることになる。The sensor probe 6 is composed of a condensing system such as a lens and an optical fiber 7, and guides an optical signal based on the reflected light 5 from the inspection object A to an improved color sensor in the color measuring device 8. FIG. 1 (3) is a longitudinal sectional view of an embodiment utilizing the above principle, in which the sensor probe 6 is arranged one-dimensionally on the belt conveyor 1 and the optical fiber 7 is used to be present at a remote place. The color sensor 6a is configured to guide an optical signal. By adopting such a configuration, the result is as if a large number of photoelectric elements with filters were arranged on the object to be inspected. Therefore, it becomes possible to sufficiently cope with a fine metal particle diameter of about 1 to 10 mm. It is also possible to realize a one-dimensional configuration of a combination of a condensing system such as a lens and the improved color sensor in the sensor probe 6, and such a configuration does not exceed the scope of the present invention. Further, the arithmetic unit 9 and the like described later can be placed at a position away from the inspection line.

９は演算器で、上記色測定装置８から送られてきた数
値信号を処理する。この演算器９に、上述の判定式〜
がプログラムとして組込まれている。また、10は演算
器９に接続された表示器で、異物の検出を目視可能に表
示する役割を有している。Reference numeral 9 denotes a computing unit, which processes the numerical signal sent from the color measuring device 8. This computing unit 9 is provided with the above-mentioned judgment formula
Is incorporated as a program. Reference numeral 10 is a display connected to the computing unit 9 and has a role of visually displaying the detection of foreign matter.

上記構成の装置において、ベルトコンベア１及び電磁
フィーダ1aを駆動して被検査物Ａを流し、複数のハロゲ
ンランプ４投光下に、センサ６、色測定装置８、〜
の判定式を入力付勢した演算装置９、及び表示器10に通
電し、良品幅を入力して異物検査を行なう。In the apparatus having the above configuration, the belt conveyor 1 and the electromagnetic feeder 1a are driven to flow the inspection object A, and the sensor 6, the color measuring device 8, ...
The arithmetic unit 9 and the display device 10, which have been activated by inputting the judgment formula of (1), are energized, and a non-defective product width is input to perform a foreign matter inspection.

前記〜式全てを使用し、標準偏差値の二倍、及び
三倍を良品幅として実施した場合の結果を表−３として
示す。尚、過検出率とは、異物として検出された良品の
パーセントを示すものである。Table 3 shows the results when all of the above formulas (1) to (3) were used and the standard deviation value was doubled and tripled with a non-defective product width. The over-detection rate indicates the percentage of non-defective products detected as foreign matter.

（発明の効果） 以上説明したように、本発明によれば、単に投光器、
センサに接続された演算装置を用意するのみで自動的に
異物検出ができ、従来懸案とされていた金属粒の異物検
査の自動化・省力化が実現するという顕著な効果を奏す
るものとなる。As described above, according to the present invention, the projector is simply
The foreign substance can be automatically detected only by preparing an arithmetic unit connected to the sensor, and the remarkable effect that the foreign substance inspection of the metal particles, which has been a problem in the past, can be automated and labor-saving is realized.

尚、本発明の方法はスポンジチタンの異物検査に限ら
ず、例えばペレットその他の金属粒の異物検査にも使用
できるものである。The method of the present invention can be used not only for foreign matter inspection of sponge titanium, but also for foreign matter inspection of pellets and other metal particles.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第１図（１）使用装置の原理図、第１図（２）はセンサ
とハロゲンランプの位置関係を説明する側面図、第１図
（３）は本発明の実施に用いる装置の縦断面図、第２図
は改良カラーセンサの断面図、第３図は式を適用した
場合の試験結果のグラフ、第４図は異物に式を適用し
た場合の試験結果のグラフを示す。 Ａ……被検査物、１……ベルトコンベア ４……ハロゲンランプ、５……反射光 ６……センサプローブ、９……演算器FIG. 1 (1) is a principle view of the apparatus used, FIG. 1 (2) is a side view for explaining the positional relationship between the sensor and the halogen lamp, and FIG. 1 (3) is a vertical sectional view of the apparatus used for carrying out the present invention. 2, FIG. 2 is a cross-sectional view of the improved color sensor, FIG. 3 is a graph of test results when the formula is applied, and FIG. 4 is a graph of test results when the formula is applied to foreign matter. A ... Inspected object, 1 ... Belt conveyor, 4 ... Halogen lamp, 5 ... Reflected light, 6 ... Sensor probe, 9 ... Computing unit

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】移送される被検査物に、複数方向から光を
投射し、被検査物からの反射光より赤、緑、青の波長を
取出し、これらをそれぞれ電気信号に数値変換し、これ
らと、良品を以て予め作成してある基準値とを比較し
て、被検査物中の異物を判別することを特徴とする金属
粒の異物検査方法。1. Lights are projected from a plurality of directions onto an object to be inspected to be transferred, wavelengths of red, green and blue are extracted from reflected light from the object to be inspected, and these are numerically converted into electric signals. And a reference value created in advance using a non-defective product to compare the foreign substances in the object to be inspected to determine the foreign substances in the metal particles. 【請求項２】移送される被検査物に、複数方向から光を
投射し、被検査物からの反射光より赤、緑、青の波長を
取出し、これらをそれぞれ電気信号に数値変換し、該数
値を下記〜の判定式のうち少なくとも三式に代入し
て三以上の判定値を求め、これらの判定値と、良品を以
て予め作成してある基準値とを比較し、統計学的手法に
より消去法を以て被検査物中の異物を判別することを特
徴とする金属粒の異物検査方法。 判定式： R/G R/B G/B Ｔ＝Ｒ＋Ｇ＋Ｂ （R/G）/T （R/B）/T （G/B）/T Ｒ…赤の波長の総量 Ｇ…緑の波長の総量 Ｂ…青の波長の総量2. The object to be inspected to be transferred is projected with light from a plurality of directions, the wavelengths of red, green and blue are extracted from the reflected light from the object to be inspected, and these are converted into electric signals numerically. Numerical values are substituted into at least three of the following judgment formulas to obtain three or more judgment values, these judgment values are compared with the reference values created in advance for non-defective products, and erased by a statistical method. A method for inspecting foreign matter in a metal particle, which comprises determining a foreign matter in an object to be inspected by a method. Judgment formula: R / GR / BG / B T = R + G + B (R / G) / T (R / B) / T (G / B) / T R… total amount of red wavelength G… total amount of green wavelength B… total amount of blue wavelength