JPH08334475A - 外観検査装置 - Google Patents
外観検査装置Info
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- JPH08334475A JPH08334475A JP7140236A JP14023695A JPH08334475A JP H08334475 A JPH08334475 A JP H08334475A JP 7140236 A JP7140236 A JP 7140236A JP 14023695 A JP14023695 A JP 14023695A JP H08334475 A JPH08334475 A JP H08334475A
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- Japan
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- unit
- determination
- signal
- processing unit
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- Image Processing (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 不良判定画像のみを記録および再現して解析
することが可能な外観検査装置を提供することを目的と
する。 【構成】 検査開始信号8を入力する入力部16と、カ
メラ2から出力され画像処理部4へ入力される判定画像
の映像信号6を入力および記憶する映像信号入力部12
と第1の画像メモリ部13と、画像処理部4から出力さ
れる良否判定結果信号9を入力する入力部15と、この
良否判定結果信号入力部15が不良判定を示す時、第1
の画像メモリ部13のデータを記憶する第2の画像メモ
リ部14と、このデータを映像信号として表示出力する
映像信号出力部17と、このデータを画像データとして
全て記憶しておく第3の画像メモリ部29と、全体を制
御する制御部18からなる構成とすることにより、画像
処理部4での不良判定画像のみを記録・再現でき、不良
判定画像の解析が容易にできる。
することが可能な外観検査装置を提供することを目的と
する。 【構成】 検査開始信号8を入力する入力部16と、カ
メラ2から出力され画像処理部4へ入力される判定画像
の映像信号6を入力および記憶する映像信号入力部12
と第1の画像メモリ部13と、画像処理部4から出力さ
れる良否判定結果信号9を入力する入力部15と、この
良否判定結果信号入力部15が不良判定を示す時、第1
の画像メモリ部13のデータを記憶する第2の画像メモ
リ部14と、このデータを映像信号として表示出力する
映像信号出力部17と、このデータを画像データとして
全て記憶しておく第3の画像メモリ部29と、全体を制
御する制御部18からなる構成とすることにより、画像
処理部4での不良判定画像のみを記録・再現でき、不良
判定画像の解析が容易にできる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は画像処理を用いた外観検
査装置において、不良判定画像を解析するための補助記
憶機能を付加した外観検査装置を提供することを目的と
するものである。
査装置において、不良判定画像を解析するための補助記
憶機能を付加した外観検査装置を提供することを目的と
するものである。
【0002】
【従来の技術】従来のこの種の外観検査装置について以
下に図面を用いて説明する。
下に図面を用いて説明する。
【0003】図6は従来の画像処理を用いた一般的な外
観検査装置の構成例を示したブロック図であり、図中1
は被検査対象部品または製品、2は被検査対象部品1の
形状画像を取り込むためのカメラ、3は被検査対象部品
1に照射させる照明、4は画像処理部、5は判定画像を
表示するためのモニターテレビ、6は画像処理部4から
出力された判定画像の映像信号、7は機械制御部、8は
機械制御部7から画像処理部4に出力される検査開始信
号、9は画像処理部4から出力される良否判定結果信号
である。
観検査装置の構成例を示したブロック図であり、図中1
は被検査対象部品または製品、2は被検査対象部品1の
形状画像を取り込むためのカメラ、3は被検査対象部品
1に照射させる照明、4は画像処理部、5は判定画像を
表示するためのモニターテレビ、6は画像処理部4から
出力された判定画像の映像信号、7は機械制御部、8は
機械制御部7から画像処理部4に出力される検査開始信
号、9は画像処理部4から出力される良否判定結果信号
である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこのよう
に構成された従来の外観検査装置を人による目視検査に
代えて導入する際、人による目視検査と比較し、本来、
良品と判定すべき被検査対象部品1を不良と判定するこ
とがあり、これは、生産上の様々な不具合、例えば、こ
の外観検査装置が生産ラインと直結されている場合には
生産上の歩留まりの劣化や人による再検査作業、また単
独で検査をしている場合にはその外観検査装置による再
検査を生じさせることがあり、生産上のロスを発生さ
せ、これを改善するために外観検査装置における判定処
理内容を解析する必要が生じ、また、生産上の課題で発
生している外観形状不良がどんな形状をしたものが多く
発生していて、その課題は何があるのか、その要因を検
討するため、外観検査装置での不良判定画像をリアルタ
イムに表示させて人が目で見て解析する必要が生じる場
合もあるという課題を有していた。
に構成された従来の外観検査装置を人による目視検査に
代えて導入する際、人による目視検査と比較し、本来、
良品と判定すべき被検査対象部品1を不良と判定するこ
とがあり、これは、生産上の様々な不具合、例えば、こ
の外観検査装置が生産ラインと直結されている場合には
生産上の歩留まりの劣化や人による再検査作業、また単
独で検査をしている場合にはその外観検査装置による再
検査を生じさせることがあり、生産上のロスを発生さ
せ、これを改善するために外観検査装置における判定処
理内容を解析する必要が生じ、また、生産上の課題で発
生している外観形状不良がどんな形状をしたものが多く
発生していて、その課題は何があるのか、その要因を検
討するため、外観検査装置での不良判定画像をリアルタ
イムに表示させて人が目で見て解析する必要が生じる場
合もあるという課題を有していた。
【0005】しかし、上記図6に示したような従来の構
成では、特に高速で処理されている外観検査装置では、
モニターテレビ5に表示される不良判定処理画像は一瞬
にて消え去り、人が目で見て期待通りの判定が実現でき
ているかを解析するには困難を要し、また、解析のため
に不良判定処理画像を確認できるスピードに落とすこと
は生産性を落とすことになり、さらに、たとえモニター
テレビ5に表示される不良判定処理画像が見えても、取
り込んだ画像に対して画像処理部4の処理データを詳細
に調べないと、なぜ良品と判定すべきものを不良と判定
したのか判らない場合があり、このような理由から不良
判定処理内容を解析するには、不良判定した被検査部品
または被検査製品1多数個分の画像処理部4における判
定時の内部のデータのすべてを記憶しておくことが考え
られるが、上記図6に示したような従来の構成では、膨
大な記憶容量のメモリを必要とし、装置コストが高くな
り、低コストを要求される画像処理部4の構成上実現し
にくいという課題を有していた。
成では、特に高速で処理されている外観検査装置では、
モニターテレビ5に表示される不良判定処理画像は一瞬
にて消え去り、人が目で見て期待通りの判定が実現でき
ているかを解析するには困難を要し、また、解析のため
に不良判定処理画像を確認できるスピードに落とすこと
は生産性を落とすことになり、さらに、たとえモニター
テレビ5に表示される不良判定処理画像が見えても、取
り込んだ画像に対して画像処理部4の処理データを詳細
に調べないと、なぜ良品と判定すべきものを不良と判定
したのか判らない場合があり、このような理由から不良
判定処理内容を解析するには、不良判定した被検査部品
または被検査製品1多数個分の画像処理部4における判
定時の内部のデータのすべてを記憶しておくことが考え
られるが、上記図6に示したような従来の構成では、膨
大な記憶容量のメモリを必要とし、装置コストが高くな
り、低コストを要求される画像処理部4の構成上実現し
にくいという課題を有していた。
【0006】なお、上記判定処理内容を解析するための
別の方法として、判定した被検査対象部品または製品1
の多数個分の画像処理部4における判定時の内部のデー
タのすべてを外部の装置に出力して外部の装置に記憶さ
せることが考えられるが、画像処理部4のマイクロコン
ピュータの出力処理時間がかかり、高速処理を必要とす
る場合に不利となり、汎用的な方法ではなく、さらに別
の方法として、判定した被検査部品または製品1の多数
個分の画像処理部4における判定時の入力画像データを
記憶する方法が考えられるが、そのためには膨大な記憶
容量の画像メモリを必要とし、装置コストが高くなり、
低コストを要求される画像処理部4の構成上実現しにく
いという課題を有していた。
別の方法として、判定した被検査対象部品または製品1
の多数個分の画像処理部4における判定時の内部のデー
タのすべてを外部の装置に出力して外部の装置に記憶さ
せることが考えられるが、画像処理部4のマイクロコン
ピュータの出力処理時間がかかり、高速処理を必要とす
る場合に不利となり、汎用的な方法ではなく、さらに別
の方法として、判定した被検査部品または製品1の多数
個分の画像処理部4における判定時の入力画像データを
記憶する方法が考えられるが、そのためには膨大な記憶
容量の画像メモリを必要とし、装置コストが高くなり、
低コストを要求される画像処理部4の構成上実現しにく
いという課題を有していた。
【0007】本発明はこのような従来の課題を解決し、
容易、かつ、安価な構成で正確な解析を行うことが可能
な補助記憶装置として外観検査装置不良判定画像の解析
装置を提供することを目的とするものである。
容易、かつ、安価な構成で正確な解析を行うことが可能
な補助記憶装置として外観検査装置不良判定画像の解析
装置を提供することを目的とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明の外観検査装置は、良否判定結果信号を従来の
外観検査装置の画像処理部から取り出し入力するための
良否判定結果信号入力部と、カメラから従来の外観検査
装置へ入力させている映像信号を同時に入力できる画像
入力部と、入力した映像信号を画像データとして順次正
確に記憶できる第1の画像記憶部と、この第1の画像記
憶部に接続されて上記画像処理部で特定の項目不良また
は総合的に不良と判定した部品または製品の画像のみを
第1の画像記憶部から取り出して記憶する第2の画像記
憶部と、この第2の画像記憶部に記憶した画像を忠実に
再生し画像信号として出力できる画像出力部と、この画
像出力部から出力された画像信号を表示する画像表示部
からなる構成としたものである。
に本発明の外観検査装置は、良否判定結果信号を従来の
外観検査装置の画像処理部から取り出し入力するための
良否判定結果信号入力部と、カメラから従来の外観検査
装置へ入力させている映像信号を同時に入力できる画像
入力部と、入力した映像信号を画像データとして順次正
確に記憶できる第1の画像記憶部と、この第1の画像記
憶部に接続されて上記画像処理部で特定の項目不良また
は総合的に不良と判定した部品または製品の画像のみを
第1の画像記憶部から取り出して記憶する第2の画像記
憶部と、この第2の画像記憶部に記憶した画像を忠実に
再生し画像信号として出力できる画像出力部と、この画
像出力部から出力された画像信号を表示する画像表示部
からなる構成としたものである。
【0009】
【作用】この構成により第2の画像記憶部に記憶された
特定の項目不良または総合的に不良と判定した部品また
は製品の画像のみを画像出力部から生産現場でリアルタ
イムに、もしくは生産とは離れたオフラインで時間をか
けて出力させて画像表示部で表示させることにより、人
による目視検査の不良判定レベルと一致しているかどう
かを画像で確認することができる。
特定の項目不良または総合的に不良と判定した部品また
は製品の画像のみを画像出力部から生産現場でリアルタ
イムに、もしくは生産とは離れたオフラインで時間をか
けて出力させて画像表示部で表示させることにより、人
による目視検査の不良判定レベルと一致しているかどう
かを画像で確認することができる。
【0010】また、生産とは離れたオフラインで時間を
かけ、この外観検査装置の解析部の画像出力部から第2
の画像記憶部に記憶された特定の項目不良または総合的
に不良と判定した部品または製品の画像を映像信号とし
て出力させ、再度、同一または同一の構成内容を持つ別
の画像処理装置の画像入力部にカメラからの映像信号の
代わりに入力させて判定させることにより、外観検査装
置の内部での判定処理データを再現させ、解析すること
により、人による目視検査の不良判定レベルとの不一致
要因を調査するための解析部を容易、かつ、安価な構成
で提供することができる。さらに、その解析結果、画像
処理部が画像を取り込んだ後の判定処理アルゴリズムが
不適切で発生している要因であると判明したならば、そ
の判定処理アルゴリズムの改善案を検討し、改善した判
定処理アルゴリズムを盛り込んだ画像処理部でその不良
判定画像に対し正しく良品の判定処理を行うか、評価実
験を実施することが可能である。
かけ、この外観検査装置の解析部の画像出力部から第2
の画像記憶部に記憶された特定の項目不良または総合的
に不良と判定した部品または製品の画像を映像信号とし
て出力させ、再度、同一または同一の構成内容を持つ別
の画像処理装置の画像入力部にカメラからの映像信号の
代わりに入力させて判定させることにより、外観検査装
置の内部での判定処理データを再現させ、解析すること
により、人による目視検査の不良判定レベルとの不一致
要因を調査するための解析部を容易、かつ、安価な構成
で提供することができる。さらに、その解析結果、画像
処理部が画像を取り込んだ後の判定処理アルゴリズムが
不適切で発生している要因であると判明したならば、そ
の判定処理アルゴリズムの改善案を検討し、改善した判
定処理アルゴリズムを盛り込んだ画像処理部でその不良
判定画像に対し正しく良品の判定処理を行うか、評価実
験を実施することが可能である。
【0011】また、解析部は、生産しながら解析のため
のデータを取得でき、得られた内容により外観検査装置
の判定処理が人による目視検査の判定レベルに近づき安
定すれば、外観検査装置から解析部のみを切り放すこと
ができ、調整ツールとして汎用的に共用して使用するこ
とができ、設備コストを抑えることができる。
のデータを取得でき、得られた内容により外観検査装置
の判定処理が人による目視検査の判定レベルに近づき安
定すれば、外観検査装置から解析部のみを切り放すこと
ができ、調整ツールとして汎用的に共用して使用するこ
とができ、設備コストを抑えることができる。
【0012】
(実施例1)以下、本発明の第1の実施例を図面を用い
て説明する。
て説明する。
【0013】図1は同実施例による外観検査装置の全体
構成を示すブロック図であり、従来例と同じ構成の部品
には同じ符号を付与して説明する。
構成を示すブロック図であり、従来例と同じ構成の部品
には同じ符号を付与して説明する。
【0014】図1において、16は機械制御部7から出
力される検査開始信号8を入力する検査開始信号入力
部、12は検査開始信号8が発生したタイミングでカメ
ラ2から出力され画像処理部4へ入力される判定画像の
映像信号6を同時に順次入力および記憶するための判定
画像の映像信号入力部、13は判定画像の第1の画像メ
モリ部、15は画像処理部4から出力される良否判定結
果信号9を入力するための良否判定結果信号入力部、1
4はこの良否判定結果信号入力部15が特定の項目不良
または総合的に不良判定を示す時、判定画像の第1の画
像メモリ部13のデータを記憶するための判定画像の第
2の画像メモリ部、17はこのデータを映像信号として
表示出力するための判定画像の解析用映像信号出力部、
29はこのデータを画像データとしてすべて記憶してお
くための第3の画像メモリ部、18は全体を制御するた
めの制御部であり、これらを構成する符号10で示す部
分が解析部である。
力される検査開始信号8を入力する検査開始信号入力
部、12は検査開始信号8が発生したタイミングでカメ
ラ2から出力され画像処理部4へ入力される判定画像の
映像信号6を同時に順次入力および記憶するための判定
画像の映像信号入力部、13は判定画像の第1の画像メ
モリ部、15は画像処理部4から出力される良否判定結
果信号9を入力するための良否判定結果信号入力部、1
4はこの良否判定結果信号入力部15が特定の項目不良
または総合的に不良判定を示す時、判定画像の第1の画
像メモリ部13のデータを記憶するための判定画像の第
2の画像メモリ部、17はこのデータを映像信号として
表示出力するための判定画像の解析用映像信号出力部、
29はこのデータを画像データとしてすべて記憶してお
くための第3の画像メモリ部、18は全体を制御するた
めの制御部であり、これらを構成する符号10で示す部
分が解析部である。
【0015】以上のように構成された本実施例の外観検
査装置について以下にその動作を説明する。まず、画像
処理部4は機械制御部7より出力された検査開始信号8
を入力し、そのタイミングでカメラ2より被検査対象部
品1の画像を判定画像の映像信号6として取り込む。ま
た、同様に解析部10も機械制御部7より出力された検
査開始信号8を入力し、そのタイミングでカメラ2より
被検査対象部品1の画像を判定画像の映像信号6として
取り込み、判定画像の第1の画像メモリ部13に記憶す
る。
査装置について以下にその動作を説明する。まず、画像
処理部4は機械制御部7より出力された検査開始信号8
を入力し、そのタイミングでカメラ2より被検査対象部
品1の画像を判定画像の映像信号6として取り込む。ま
た、同様に解析部10も機械制御部7より出力された検
査開始信号8を入力し、そのタイミングでカメラ2より
被検査対象部品1の画像を判定画像の映像信号6として
取り込み、判定画像の第1の画像メモリ部13に記憶す
る。
【0016】次に、画像処理部4が判定処理を終了し、
良否判定結果信号9を機械制御部7に出力する。解析部
10は、画像処理部4が判定処理を終了し、良否判定結
果信号9を同時に入力し、その結果が不良判定時、制御
部18は判定画像の第1の画像メモリ部13に記憶した
データを判定画像の第2の画像メモリ部14に記憶させ
る。判定画像の第2の画像メモリ部14に記憶されたデ
ータは、判定画像の解析用映像信号出力部17でリアル
タイムに映像信号として出力される。
良否判定結果信号9を機械制御部7に出力する。解析部
10は、画像処理部4が判定処理を終了し、良否判定結
果信号9を同時に入力し、その結果が不良判定時、制御
部18は判定画像の第1の画像メモリ部13に記憶した
データを判定画像の第2の画像メモリ部14に記憶させ
る。判定画像の第2の画像メモリ部14に記憶されたデ
ータは、判定画像の解析用映像信号出力部17でリアル
タイムに映像信号として出力される。
【0017】すなわち、判定画像の第2の画像メモリ部
14に記憶されたデータは不良判定した画像データであ
り、判定画像の解析用映像信号出力部17で不良と判定
したときの判定画像のみの画像データの映像信号、すな
わち解析画像の映像信号11としてリアルタイムに出力
されることになる。さらに第3の画像メモリ部29に記
憶された画像データを判定画像の解析用映像信号出力部
17を介して映像出力させることにより、解析したい時
に画像を見ることができる。
14に記憶されたデータは不良判定した画像データであ
り、判定画像の解析用映像信号出力部17で不良と判定
したときの判定画像のみの画像データの映像信号、すな
わち解析画像の映像信号11としてリアルタイムに出力
されることになる。さらに第3の画像メモリ部29に記
憶された画像データを判定画像の解析用映像信号出力部
17を介して映像出力させることにより、解析したい時
に画像を見ることができる。
【0018】さらに本実施例による外観検査装置は、不
良画像のみをモニターテレビ5Aに表示することによ
り、不良判定の妥当性がその場で、もしくはオフライン
で人が見ることができ、不良判定する確率が非常に低い
場合でも有効な視覚手段を得ることができ、また、第3
の画像メモリ部29が大容量のメモリ、例えばハードデ
ィスクや光ディスクであれば、上記構成を取ることによ
り、本実施例の外観検査装置の解析部10を従来の図6
に示した外観検査装置に付帯設置することにより不良判
定画像が自動的に蓄積され、オフラインで不良判定画像
が再現でき、解析作業の効率化を図ることができるもの
である。
良画像のみをモニターテレビ5Aに表示することによ
り、不良判定の妥当性がその場で、もしくはオフライン
で人が見ることができ、不良判定する確率が非常に低い
場合でも有効な視覚手段を得ることができ、また、第3
の画像メモリ部29が大容量のメモリ、例えばハードデ
ィスクや光ディスクであれば、上記構成を取ることによ
り、本実施例の外観検査装置の解析部10を従来の図6
に示した外観検査装置に付帯設置することにより不良判
定画像が自動的に蓄積され、オフラインで不良判定画像
が再現でき、解析作業の効率化を図ることができるもの
である。
【0019】(実施例2)以下、本発明の第2の実施例
について以下に図面を用いて説明する。
について以下に図面を用いて説明する。
【0020】上記実施例1で述べた画像処理部4は、一
般的にカメラ2から画像取り込み完了後、その画像処理
部4の内部画像メモリに記憶された判定画像をモニター
テレビ5に映像信号として出力される場合が多く、図2
はこのような場合の別の実施例による外観検査装置を用
いた不良判定画像を記録する際のブロック図であり、上
記実施例1に示した図1と同一部分は説明を省略し、異
なる部分のみ説明する。
般的にカメラ2から画像取り込み完了後、その画像処理
部4の内部画像メモリに記憶された判定画像をモニター
テレビ5に映像信号として出力される場合が多く、図2
はこのような場合の別の実施例による外観検査装置を用
いた不良判定画像を記録する際のブロック図であり、上
記実施例1に示した図1と同一部分は説明を省略し、異
なる部分のみ説明する。
【0021】図2において、上記図1の構成要素以外
に、検査開始信号8が発生したタイミングで画像処理部
4から出力される判定画像の映像信号6を順次入力およ
び記憶するための判定画像の映像信号入力部12と判定
画像の第1の画像メモリ部13を備え、画像処理部4か
ら出力される画像取り込み完了信号19を入力するため
の画像取り込み完了信号入力部20を設けた構成として
いる。
に、検査開始信号8が発生したタイミングで画像処理部
4から出力される判定画像の映像信号6を順次入力およ
び記憶するための判定画像の映像信号入力部12と判定
画像の第1の画像メモリ部13を備え、画像処理部4か
ら出力される画像取り込み完了信号19を入力するため
の画像取り込み完了信号入力部20を設けた構成として
いる。
【0022】以上のように構成された本実施例の外観検
査装置について以下にその動作を説明する。
査装置について以下にその動作を説明する。
【0023】まず、画像処理部4は機械制御部7より出
力された検査開始信号8を入力し、そのタイミングでカ
メラ2より被検査対象部品または製品1の画像を判定画
像の映像信号6として取り込む。また、同様に解析部1
0も機械制御部7より出力された検査開始信号8を入力
し、その後画像取り込み完了信号19を入力し、そのタ
イミングで画像処理部4より出力される被検査対象部品
または製品1の記憶された画像を判定画像の映像信号6
として取り込み、判定画像の第1の画像メモリ部13に
記憶する。
力された検査開始信号8を入力し、そのタイミングでカ
メラ2より被検査対象部品または製品1の画像を判定画
像の映像信号6として取り込む。また、同様に解析部1
0も機械制御部7より出力された検査開始信号8を入力
し、その後画像取り込み完了信号19を入力し、そのタ
イミングで画像処理部4より出力される被検査対象部品
または製品1の記憶された画像を判定画像の映像信号6
として取り込み、判定画像の第1の画像メモリ部13に
記憶する。
【0024】次に、画像処理部4が判定処理を終了し、
良否判定結果信号9を機械制御部7に出力する。解析部
10は、画像処理部4が判定処理を終了し、良否判定結
果信号9を同時に入力し、その結果が不良判定時、制御
部18は判定画像の第1の画像メモリ部13に記憶した
データを判定画像の第2の画像メモリ部14に記憶させ
る。判定画像の第2の画像メモリ部14に記憶されたデ
ータは、判定画像の解析用映像信号出力部17でリアル
タイムに映像信号として出力される。すなわち、判定画
像の第2の画像メモリ部14に記憶されたデータは不良
判定した画像データであり、判定画像の解析用映像信号
出力部17で不良と判定したときの判定画像のみの画像
データの映像信号、すなわち解析画像の映像信号11と
してリアルタイムに出力されることになる。
良否判定結果信号9を機械制御部7に出力する。解析部
10は、画像処理部4が判定処理を終了し、良否判定結
果信号9を同時に入力し、その結果が不良判定時、制御
部18は判定画像の第1の画像メモリ部13に記憶した
データを判定画像の第2の画像メモリ部14に記憶させ
る。判定画像の第2の画像メモリ部14に記憶されたデ
ータは、判定画像の解析用映像信号出力部17でリアル
タイムに映像信号として出力される。すなわち、判定画
像の第2の画像メモリ部14に記憶されたデータは不良
判定した画像データであり、判定画像の解析用映像信号
出力部17で不良と判定したときの判定画像のみの画像
データの映像信号、すなわち解析画像の映像信号11と
してリアルタイムに出力されることになる。
【0025】このような構成により本実施例による外観
検査装置は、上記図1に示した実施例1と同様の効果が
得られると共に、以下の異なった効果が得られるもので
ある。すなわち、画像処理部4が画像を前処理、例えば
2値化画像処理、微分処理、平滑化フィルタ処理、シェ
ーディング補正のようなリアルタイム処理後の画像を画
像処理部4の内部画像メモリへ記憶後、判定画像の映像
信号6として出力される場合、その前処理後の不良判定
画像そのものが、視覚認識でき、その前処理の妥当性も
含めて視覚できる。また、照明3がストロボ発光照明で
ある場合や、カメラ2が電子シャッタカメラの場合、実
施例1に対し実施例2は、画像処理部4が記憶した画像
自体を確認したい場合は、実現しやすいという効果を有
するものである。
検査装置は、上記図1に示した実施例1と同様の効果が
得られると共に、以下の異なった効果が得られるもので
ある。すなわち、画像処理部4が画像を前処理、例えば
2値化画像処理、微分処理、平滑化フィルタ処理、シェ
ーディング補正のようなリアルタイム処理後の画像を画
像処理部4の内部画像メモリへ記憶後、判定画像の映像
信号6として出力される場合、その前処理後の不良判定
画像そのものが、視覚認識でき、その前処理の妥当性も
含めて視覚できる。また、照明3がストロボ発光照明で
ある場合や、カメラ2が電子シャッタカメラの場合、実
施例1に対し実施例2は、画像処理部4が記憶した画像
自体を確認したい場合は、実現しやすいという効果を有
するものである。
【0026】なお、画像取り込み完了信号19を持たな
い画像処理部4の場合、映像信号規格の時間規約にもと
づくタイミングの時間遅延を持たせることにより同様の
効果が期待できるものである。
い画像処理部4の場合、映像信号規格の時間規約にもと
づくタイミングの時間遅延を持たせることにより同様の
効果が期待できるものである。
【0027】(実施例3)以下、本発明の第3の実施例
について以下に図面を用いて説明する。
について以下に図面を用いて説明する。
【0028】上記実施例1、実施例2で示した図1、図
2の第1の画像メモリ部13と第2の画像メモリ部14
および第3の画像メモリ部29は、図3に示すように大
容量の画像メモリブロック21、アドレス制御回路2
2、メモリ入力アドレス切り替え回路23、およびメモ
リ出力アドレス切り替え回路24とで構成しても良いも
のであり、この実施例の動作を以下に図3を用いて説明
する。
2の第1の画像メモリ部13と第2の画像メモリ部14
および第3の画像メモリ部29は、図3に示すように大
容量の画像メモリブロック21、アドレス制御回路2
2、メモリ入力アドレス切り替え回路23、およびメモ
リ出力アドレス切り替え回路24とで構成しても良いも
のであり、この実施例の動作を以下に図3を用いて説明
する。
【0029】図1および図2での判定画像の第1の画像
メモリ部13に記憶するタイミングで判定画像の映像信
号6を記憶し、良否判定結果信号9が良品の時はアドレ
ス制御回路22で大容量の画像メモリブロック21のア
ドレスをインクリメントせず、メモリ入力アドレス切り
替え回路23、メモリ出力アドレス切り替え回路24を
切り換えない。一方、良否判定結果信号9が不良の時は
アドレス制御回路22で大容量の画像メモリブロック2
1のアドレスをインクリメントし、メモリ入力アドレス
切り替え回路23、メモリ出力アドレス切り替え回路2
4を切り換える。こうすることにより、良品時は次の判
定画像が上書きされ、不良時の判定画像のみ残存するこ
とになる。
メモリ部13に記憶するタイミングで判定画像の映像信
号6を記憶し、良否判定結果信号9が良品の時はアドレ
ス制御回路22で大容量の画像メモリブロック21のア
ドレスをインクリメントせず、メモリ入力アドレス切り
替え回路23、メモリ出力アドレス切り替え回路24を
切り換えない。一方、良否判定結果信号9が不良の時は
アドレス制御回路22で大容量の画像メモリブロック2
1のアドレスをインクリメントし、メモリ入力アドレス
切り替え回路23、メモリ出力アドレス切り替え回路2
4を切り換える。こうすることにより、良品時は次の判
定画像が上書きされ、不良時の判定画像のみ残存するこ
とになる。
【0030】第1の実施例で判定画像の第1の画像メモ
リ部13、判定画像の第2の画像メモリ部14、第3の
画像メモリ部29の各メモリが高精度の濃淡階調画像メ
モリ、たとえば256階調画像メモリで画像が記憶でき
る場合や、第2の実施例でも画像処理部4の内部画像メ
モリが同様の高精度の濃淡階調画像メモリを持ち、か
つ、判定画像の第1の画像メモリ部13、判定画像の第
2の画像メモリ部14、第3の画像メモリ部29の各メ
モリも同様の高精度の濃淡階調画像メモリを持つなら
ば、不良判定画像の映像信号を再現発生させ、画像処理
部4と同一、または同一の構成内容を持つ別の画像処理
部4Aにカメラ2の映像信号の代わりに入力し、画像処
理部4の処理データを再現することができる。
リ部13、判定画像の第2の画像メモリ部14、第3の
画像メモリ部29の各メモリが高精度の濃淡階調画像メ
モリ、たとえば256階調画像メモリで画像が記憶でき
る場合や、第2の実施例でも画像処理部4の内部画像メ
モリが同様の高精度の濃淡階調画像メモリを持ち、か
つ、判定画像の第1の画像メモリ部13、判定画像の第
2の画像メモリ部14、第3の画像メモリ部29の各メ
モリも同様の高精度の濃淡階調画像メモリを持つなら
ば、不良判定画像の映像信号を再現発生させ、画像処理
部4と同一、または同一の構成内容を持つ別の画像処理
部4Aにカメラ2の映像信号の代わりに入力し、画像処
理部4の処理データを再現することができる。
【0031】図4はその場合のブロック図であり、以下
その動作を図4を用いて説明する。第3の画像メモリ部
29に記載されている複数枚の画像データを順次判定画
像の解析用映像信号出力部17を介して映像信号にして
出力させ、その映像信号、すなわちカメラ2の映像信号
の代わりに入力する不良判定画像の再現映像信号27を
画像処理部に入力し、検査開始信号8を入力する。そう
することにより、画像処理部4Aの判定処理の内部デー
タをオフラインで時間をかけて検討できる。また、その
解析結果、画像処理部4Aの判定処理アルゴリズムに課
題を発見し、その改善処理を盛り込んだ画像処理部4A
に再度再現映像信号27を入力し、その結果を確認でき
る。
その動作を図4を用いて説明する。第3の画像メモリ部
29に記載されている複数枚の画像データを順次判定画
像の解析用映像信号出力部17を介して映像信号にして
出力させ、その映像信号、すなわちカメラ2の映像信号
の代わりに入力する不良判定画像の再現映像信号27を
画像処理部に入力し、検査開始信号8を入力する。そう
することにより、画像処理部4Aの判定処理の内部デー
タをオフラインで時間をかけて検討できる。また、その
解析結果、画像処理部4Aの判定処理アルゴリズムに課
題を発見し、その改善処理を盛り込んだ画像処理部4A
に再度再現映像信号27を入力し、その結果を確認でき
る。
【0032】なお、上記画像処理部4Aがカメラ2に対
し、外部同期信号制御方式をとっている場合、図4の構
成では入力する映像信号27と画像処理部4Aの同期信
号が合わない場合があり、この場合には、図5のような
構成で同期信号を合わせることが必要となり、その実施
例を図5を用いて説明する。
し、外部同期信号制御方式をとっている場合、図4の構
成では入力する映像信号27と画像処理部4Aの同期信
号が合わない場合があり、この場合には、図5のような
構成で同期信号を合わせることが必要となり、その実施
例を図5を用いて説明する。
【0033】図5において、画像処理部4Aのモニター
映像信号出力28は画像処理部4Aの同期信号と当然同
期しており、その信号を同期分離回路26を介して同期
信号30のみを取り出す。その同期信号30を用いて判
定画像の解析用映像信号出力部17からの出力信号を同
期させ、かつ、その画像信号と同期信号30とを同期信
号合成回路25で合成させ、判定画像の解析用映像信号
として発生させるものである。こうすることにより、あ
たかもカメラ2からの映像信号のように画像処理部4A
の同期信号に同期した映像信号が得られ、不良判定画像
を再現して画像処理部4Aに取り込め、画像処理部4A
の内部判定処理データが再現できる。
映像信号出力28は画像処理部4Aの同期信号と当然同
期しており、その信号を同期分離回路26を介して同期
信号30のみを取り出す。その同期信号30を用いて判
定画像の解析用映像信号出力部17からの出力信号を同
期させ、かつ、その画像信号と同期信号30とを同期信
号合成回路25で合成させ、判定画像の解析用映像信号
として発生させるものである。こうすることにより、あ
たかもカメラ2からの映像信号のように画像処理部4A
の同期信号に同期した映像信号が得られ、不良判定画像
を再現して画像処理部4Aに取り込め、画像処理部4A
の内部判定処理データが再現できる。
【0034】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、従来の外
観検査装置のコストや構成および生産性を変えることな
く、きわめて合理的な不良判定画像の記録が自動的に実
施でき、かつ、きわめて合理的な画像処理データの再現
と解析を行えると同時に、低コストで解析機能を備えた
外観検査装置を構成することができるものである。
観検査装置のコストや構成および生産性を変えることな
く、きわめて合理的な不良判定画像の記録が自動的に実
施でき、かつ、きわめて合理的な画像処理データの再現
と解析を行えると同時に、低コストで解析機能を備えた
外観検査装置を構成することができるものである。
【0035】また、上記のような判定処理の妥当性の解
析以外に、不良画像のリアルタイム表示という機能でも
って前工程、たとえば加工工程の不具合状況を画像で瞬
時に表示することで課題の把握を容易に行うことができ
る外観検査装置を提供できるものである。
析以外に、不良画像のリアルタイム表示という機能でも
って前工程、たとえば加工工程の不具合状況を画像で瞬
時に表示することで課題の把握を容易に行うことができ
る外観検査装置を提供できるものである。
【図1】本発明の第1の実施例による外観検査装置の全
体構成を示すブロック図
体構成を示すブロック図
【図2】本発明の第2の実施例による外観検査装置の全
体構成を示すブロック図
体構成を示すブロック図
【図3】第1および第2の実施例における不良判定画像
に対する画像処理部の処理データの再現を説明するため
のブロック図
に対する画像処理部の処理データの再現を説明するため
のブロック図
【図4】不良判定画像の映像信号を再現発生させ、図1
および図2の画像処理部と同一、または同一の構成内容
を持つ別の画像処理部にカメラの映像信号の代わりに入
力し、不良判定時の画像処理部の内部処理データを再現
する場合のブロック図
および図2の画像処理部と同一、または同一の構成内容
を持つ別の画像処理部にカメラの映像信号の代わりに入
力し、不良判定時の画像処理部の内部処理データを再現
する場合のブロック図
【図5】図4の構成に画像処理部4Aの同期信号に同期
させた映像信号を発生させる機能を追加した場合の実施
例を示すブロック図
させた映像信号を発生させる機能を追加した場合の実施
例を示すブロック図
【図6】従来の画像処理機能を備えた一般的な外観検査
装置の構成を示すブロック図
装置の構成を示すブロック図
1 被検査対象部品、または製品 2 カメラ 3 照明 4 画像処理部 5,5A モニターテレビ 6 判定画像の映像信号 7 機械制御部 8 検査開始信号 9 良否判定結果信号 10 解析部 11 解析画像の映像信号 12 判定画像の映像信号入力部 13 判定画像の第1の画像メモリ部 14 判定画像の第2の画像メモリ部 15 良否判定結果信号入力部 16 検査開始信号入力部 17 判定画像の解析用映像信号出力部 18 制御部 19 画像取り込み完了信号 20 画像取り込み完了信号入力部 29 第3の画像メモリ部
Claims (2)
- 【請求項1】 カメラを介して連続して取り込んだ部品
や製品の画像を順次判定する画像記憶部を備えた画像処
理部と、上記画像記憶部からの映像信号を入力信号と
し、この入力信号を順次記憶する第1の画像記憶部と、
この第1の画像記憶部に接続されて上記画像処理部で特
定の項目の不良または総合的に不良と判定された部品ま
たは製品の画像のみを第1の画像記録部から取り出して
記憶する第2の画像記憶部と、この第2の画像記憶部に
記憶された画像を取り出して画像を表示する画像表示部
からなる解析部を備えた外観検査装置。 - 【請求項2】 第2の画像記憶部と画像表示部の間に第
3の画像記憶部を設けた請求項1記載の外観検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7140236A JPH08334475A (ja) | 1995-06-07 | 1995-06-07 | 外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7140236A JPH08334475A (ja) | 1995-06-07 | 1995-06-07 | 外観検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08334475A true JPH08334475A (ja) | 1996-12-17 |
Family
ID=15264080
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7140236A Pending JPH08334475A (ja) | 1995-06-07 | 1995-06-07 | 外観検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08334475A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1099948A2 (de) * | 1999-11-09 | 2001-05-16 | Krones Ag | Vorrichtung und Verfahren zur optischen Inspektion |
JP2002277408A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-09-25 | Saki Corp:Kk | 外観検査装置 |
JP2007128306A (ja) * | 2005-11-04 | 2007-05-24 | Omron Corp | 画像処理装置 |
JP2007316977A (ja) * | 2006-05-26 | 2007-12-06 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 画像処理装置の画像データ保存方法及び画像データ処理方法 |
JP2008061161A (ja) * | 2006-09-04 | 2008-03-13 | Toppan Printing Co Ltd | 画像データ転送方式 |
JP2009123070A (ja) * | 2007-11-16 | 2009-06-04 | Keyence Corp | 検査支援システム及び画像処理コントローラ |
JP2016206452A (ja) * | 2015-04-23 | 2016-12-08 | 株式会社Screenホールディングス | 検査装置および基板処理装置 |
US10546766B2 (en) | 2015-04-23 | 2020-01-28 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Inspection device and substrate processing apparatus |
-
1995
- 1995-06-07 JP JP7140236A patent/JPH08334475A/ja active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1099948A2 (de) * | 1999-11-09 | 2001-05-16 | Krones Ag | Vorrichtung und Verfahren zur optischen Inspektion |
EP1099948A3 (de) * | 1999-11-09 | 2001-11-14 | Krones Ag | Vorrichtung und Verfahren zur optischen Inspektion |
JP2002277408A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-09-25 | Saki Corp:Kk | 外観検査装置 |
JP2007128306A (ja) * | 2005-11-04 | 2007-05-24 | Omron Corp | 画像処理装置 |
JP2007316977A (ja) * | 2006-05-26 | 2007-12-06 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 画像処理装置の画像データ保存方法及び画像データ処理方法 |
JP2008061161A (ja) * | 2006-09-04 | 2008-03-13 | Toppan Printing Co Ltd | 画像データ転送方式 |
JP2009123070A (ja) * | 2007-11-16 | 2009-06-04 | Keyence Corp | 検査支援システム及び画像処理コントローラ |
JP2016206452A (ja) * | 2015-04-23 | 2016-12-08 | 株式会社Screenホールディングス | 検査装置および基板処理装置 |
US10546766B2 (en) | 2015-04-23 | 2020-01-28 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Inspection device and substrate processing apparatus |
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