JPH08333038A - Sheet material peeling device - Google Patents
Sheet material peeling deviceInfo
- Publication number
- JPH08333038A JPH08333038A JP16836595A JP16836595A JPH08333038A JP H08333038 A JPH08333038 A JP H08333038A JP 16836595 A JP16836595 A JP 16836595A JP 16836595 A JP16836595 A JP 16836595A JP H08333038 A JPH08333038 A JP H08333038A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet material
- suction
- tool
- suction pad
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、エアー吸引を介してシ
ート材を吸着する吸着具を用いてシート材載置体のシー
ト材を剥離するシート材剥離装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sheet material peeling device for peeling a sheet material of a sheet material mounting body by using a suction tool which sucks the sheet material through air suction.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来から、この種のシート材剥離装置
は、シート材載置体からシート材を剥離して搬送装置に
受け渡したり、或いは搬送装置自体に組み込まれてシー
ト材の剥離・搬送を行なうものとして用いられている。
そして、シート材を剥離するに当たっては、皿状,椀
状,ベローズ状等の種々の形状のいわゆる吸着パッドを
シート材載置体のシート材にその真上から押し付けて吸
引し、この吸着パッドにシート材を吸着させる。次い
で、この状態で吸着パッドを上昇させてシート材載置体
から引き離し、シート材を剥離する。この場合、シート
材がその周縁で僅かにでもシート材載置体から離れると
その後の剥離が容易であるので、通常、吸着パッドの押
し付けはシート材の周縁領域で行なわれている。2. Description of the Related Art Conventionally, this type of sheet material peeling apparatus peels a sheet material from a sheet material placing body and delivers it to a conveying device, or is incorporated in the conveying device itself to peel and convey the sheet material. It is used as something to do.
When peeling the sheet material, a so-called suction pad having various shapes such as a dish shape, a bowl shape, and a bellows shape is pressed against the sheet material of the sheet material mounting body from directly above and sucked, and this suction pad is used. Adsorb the sheet material. Next, in this state, the suction pad is lifted and pulled away from the sheet material mounting body to peel off the sheet material. In this case, if the sheet material is slightly separated from the sheet material mounting body at the peripheral edge thereof, the subsequent peeling is easy, and therefore the suction pad is normally pressed in the peripheral area of the sheet material.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
たシート材剥離装置では、シート材への密着が不可欠な
シート材載置体からシート材を剥離する際に、剥離対象
となるシート材が剥離できないことがあった。これは、
次のような理由による。However, in the above-described sheet material peeling device, when the sheet material is peeled from the sheet material placing body, which is indispensable to adhere to the sheet material, the sheet material to be peeled cannot be peeled. There was an occasion. this is,
The reason is as follows.
【0004】例えば、カラー受像管用のシャドウマスク
やアパーチャグリル,半導体用のリードフレームなどの
製造の過程では、その原材料たる金属薄板を対向プレー
トで密着挟持しこの金属薄板の主面に所定のパターンを
焼き付けることが行なわれる。このような場合には、パ
ターンの焼き付け品質を確保するために、比較的高い度
合いで対向プレート間が真空吸引されるので、金属薄板
がその主面の全域に亘ってプレートに密着している。し
かも、このプレートと金属薄板は、高い精度で滑らかに
整面されているので、その密着の度合いも高い。このた
め、金属薄板をその周縁領域において吸着パッドで吸引
して剥離する際には、金属薄板の内部領域側での密着が
抵抗となる。よって、金属薄板の真空密着力に勝る吸引
力が必要であると共に、金属薄板の大きさに応じて比較
的頻繁に吸引力を調整する必要があとなり、吸引力が不
足すると剥離ができなくなる。また、金属薄板の大きさ
が変わると、それまで良好に吸引・剥離できていたにも
拘らず、吸引力の調整不備により吸引・剥離ができない
ことがあった。For example, in the process of manufacturing shadow masks for apertures for color picture tubes, aperture grilles, lead frames for semiconductors, etc., a metal thin plate, which is the raw material, is closely sandwiched between opposed plates, and a predetermined pattern is formed on the main surface of the metal thin plate. Baking is performed. In such a case, in order to secure the pattern printing quality, a relatively high degree of vacuum suction is performed between the opposing plates, so that the thin metal plate is in close contact with the plate over the entire main surface thereof. In addition, since the plate and the thin metal plate are smoothed with high precision, the degree of close contact is high. For this reason, when the metal thin plate is sucked and peeled off by the suction pad in the peripheral region, the close contact on the inner region side of the metal thin plate becomes a resistance. Therefore, the suction force that exceeds the vacuum adhesion of the thin metal plate is required, and the suction force needs to be adjusted relatively frequently in accordance with the size of the thin metal plate. If the suction force is insufficient, peeling cannot be performed. Further, when the size of the thin metal plate was changed, it was sometimes impossible to perform suction / peeling due to improper adjustment of suction force, although it was able to suction / peele well until then.
【0005】また、通常は、金属薄板の各コーナーの4
箇所で吸着パッドにより吸着を行なうが、その一箇所或
いは二箇所で吸着力が弱いと、金属薄板を剥離して持ち
上げることができなくなる。In addition, usually, 4 of each corner of the thin metal plate is used.
Although suction is performed by the suction pad at one place, if the suction force is weak at one or two places, the metal thin plate cannot be peeled off and lifted.
【0006】本発明は、上記従来の問題を解決するもの
であり、シート材載置体からシート材を確実且つ簡単に
剥離することをその目的とする。The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to reliably and easily peel a sheet material from a sheet material mounting body.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
になされた請求項1記載のシート材剥離装置で採用した
手段は、エアー吸引を介してシート材を吸着する吸着具
と、該吸着具を保持し、シート材載置体に載置されたシ
ート材の周縁領域への前記吸着具の押し付けと前記シー
ト材載置体からの前記吸着具の引き離しとを行なう吸着
具保持手段と、を有し、前記シート材載置体のシート材
を該シート材載置体から剥離するシート材剥離装置であ
って、前記吸着具は、前記シート材で塞がれる開口を包
囲して該開口周囲にエアー吸引空間を形成し、前記シー
ト材に当接して弾性変形する吸引口包囲体を備え、前記
吸着具保持手段は、前記シート材載置体に載置されたシ
ート材の内部領域側から前記周縁領域側に向けて、前記
吸着具を傾斜して保持する傾斜保持手段を備えることを
その要旨とする。[Means for Solving the Problems] Means adopted in a sheet material peeling apparatus according to claim 1 for solving the above-mentioned problems are an adsorbing tool for adsorbing a sheet material through air suction, and the adsorbing tool. And a suction tool holding means for pressing the suction tool to the peripheral region of the sheet material placed on the sheet material support and separating the suction tool from the sheet material support, A sheet material peeling device for peeling a sheet material of the sheet material mounting body from the sheet material mounting body, wherein the suction tool surrounds an opening closed by the sheet material and surrounds the opening. An air suction space is formed in the sheet material, and a suction port enclosure that elastically deforms by contacting the sheet material is provided, and the suction tool holding means is arranged from the inner region side of the sheet material placed on the sheet material placing body. Inclining the suction tool toward the peripheral area side In that it comprises inclined holding means for lifting the gist thereof.
【0008】また、請求項2のシート材剥離装置で採用
した手段は、エアー吸引を介してシート材を吸着する吸
着具と、該吸着具を保持し、シート材載置体に載置され
たシート材の周縁領域への前記吸着具の押し付けと前記
シート材載置体からの前記吸着具の引き離しとを行なう
吸着具保持手段と、を有し、前記シート材載置体のシー
ト材を該シート材載置体から剥離するシート材剥離装置
であって、前記吸着具は、前記シート材で塞がれる開口
を包囲して該開口周囲にエアー吸引空間を形成し、前記
シート材に当接して弾性変形する吸引口包囲体を備え、
該吸引口包囲体は、前記シート材載置体に載置されたシ
ート材の内側に当たる領域に比べて前記シート材の周縁
側に当たる領域の方が容易に弾性変形する変形性を備
え、前記吸着具保持手段は、前記シート材載置体におけ
るシート材の周縁側では前記吸引口包囲が弾性変形する
際の変形変位の程度に余裕を持たせて、前記吸着具を前
記シート材の周縁領域に押し付ける吸着具押し付け手段
を備えることをその要旨とする。Further, the means adopted in the sheet material peeling apparatus according to claim 2 is an adsorption tool for adsorbing a sheet material via air suction, and a holding means for the adsorption tool, which is placed on a sheet material placing body. A suction member holding means for pressing the suction member to the peripheral region of the sheet material and separating the suction member from the sheet material mounting body; and a sheet material of the sheet material mounting body, A sheet material peeling device for peeling from a sheet material mounting body, wherein the suction tool surrounds an opening closed by the sheet material, forms an air suction space around the opening, and abuts on the sheet material. Equipped with a suction port envelope that elastically deforms,
The suction port enclosure has a deformability that elastically deforms more easily in a region corresponding to a peripheral side of the sheet material than in a region corresponding to an inner side of the sheet material placed on the sheet material placing body, The tool holding means provides a margin to the extent of deformation displacement when the suction port surrounding is elastically deformed on the peripheral side of the sheet material in the sheet material mounting body, and the suction tool is provided in the peripheral area of the sheet material. The gist of the present invention is to provide a suction tool pressing means for pressing.
【0009】請求項3記載のシート剥離装置では、更
に、前記シート材載置体に載置されたシート材の周縁端
に向けて配置されたエアーノズルと、前記吸着具保持手
段による前記吸着具の引き離しの際に、前記エアーノズ
ルからエアーを送風する送風手段と、を有する。In the sheet peeling apparatus according to claim 3, further, an air nozzle arranged toward a peripheral edge of the sheet material placed on the sheet material placing body, and the suction tool by the suction tool holding means. And a blowing unit that blows air from the air nozzle at the time of separation.
【0010】[0010]
【作用】上記した請求項1記載のシート材剥離装置で
は、吸着具保持手段によりシート材の周縁領域に押し付
けられる吸着具は、傾斜保持手段によりシート材載置体
のシート材に対して、その内部領域側から周縁領域側に
向けて傾斜して保持されている。従って、この吸着具が
シート材の周縁領域に押し付けられると、吸着具の吸引
口包囲体は、シート材の内部領域側に当初当接し、その
後はこの当初の当接箇所において弾性変形を起こして、
やがて周縁領域側でも当接する。このため、吸引口包囲
体は、シート材の内部領域側では大きく弾性変形し周縁
領域側では比較的弾性変形することなくシート材に当接
し、この状態で開口がシート材で塞がれてその周囲のエ
アー吸引空間は気密とされる。つまり、吸引口包囲体
は、その弾性変形の変位量がシート材の周縁領域側では
内部領域側に比べて少ない状態で、シート材に当接す
る。そして、このエアー吸引空間のエアーが吸引される
ので、シート材はその周縁領域で吸着具に吸着される。
この際、シート材には吸引口包囲体に向けて吸引力が作
用するので、シート材は吸引口包囲体に引き付けられる
ことになる。In the sheet material peeling apparatus according to the above-mentioned claim 1, the suction tool which is pressed against the peripheral area of the sheet material by the suction tool holding means is provided with respect to the sheet material of the sheet material mounting body by the tilt holding means. It is held so as to be inclined from the inner region side toward the peripheral region side. Therefore, when this suction tool is pressed against the peripheral area of the sheet material, the suction port enclosure of the suction tool initially contacts the inner area side of the sheet material, and thereafter elastically deforms at this initial contact point. ,
Eventually, the peripheral region side will also come into contact. Therefore, the suction port enclosure abuts on the sheet material without being largely elastically deformed on the inner region side of the sheet material and relatively elastically deformed on the peripheral region side, and in this state, the opening is closed by the sheet material. The surrounding air suction space is airtight. That is, the suction port enclosure comes into contact with the sheet material in a state in which the amount of elastic deformation of the suction port enclosure is smaller on the peripheral region side of the sheet material than on the inner region side. Then, since the air in the air suction space is sucked, the sheet material is sucked by the suction tool in the peripheral region thereof.
At this time, since the suction force acts on the sheet material toward the suction port enclosure, the sheet material is attracted to the suction port enclosure.
【0011】ところで、シート材の周縁領域側では内部
領域側に比べて吸引口包囲体の弾性変形の変位量が少な
いことから、吸引口包囲体へのシート材の引き付けによ
り、吸引口包囲体は、弾性変形の変位量が少ない周縁領
域側で更に弾性変形する。このため、シート材載置体の
シート材は、周縁領域側での吸引口包囲体の更なる弾性
変形に伴ってその周縁端側がシート材載置体からめくり
剥され、この際に、シート材の内部領域側でのシート材
載置体に対する密着による抵抗を受けることは少ない。By the way, since the displacement amount of the elastic deformation of the suction port enclosure on the peripheral region side of the sheet material is smaller than that on the inner region side, the suction port enclosure is formed by attracting the sheet material to the suction port enclosure. Further, elastic deformation is further performed on the peripheral region side where the amount of elastic deformation is small. For this reason, the sheet material of the sheet material mounting body is peeled off from the sheet material mounting body at the peripheral edge side due to further elastic deformation of the suction port enclosure on the peripheral area side. The resistance due to the close contact with the sheet material mounting body on the side of the inner region of is less likely to occur.
【0012】また、請求項2記載のシート材剥離装置で
は、シート材の周縁領域に押し付けられる吸着具の吸引
口包囲体を、シート材載置体に載置されたシート材の内
側に当たる領域に比べてシート材の周縁側に当たる領域
の方が容易に弾性変形する変形性を備えるものとした。
そして、吸着具のシート材の周縁領域への押し付けに当
たっては、吸着具保持手段の吸着具押し付け手段によ
り、シート材の周縁側では吸引口包囲が弾性変形する際
の変形変位の程度に余裕を持たせることとした。よっ
て、吸引口包囲体におけるシート材の周縁側に当たる領
域では、シート材の内側に当たる領域に比べて吸引口包
囲体の更なる弾性変形の余地が残されていることにな
る。Further, in the sheet material peeling apparatus according to the second aspect, the suction port enclosure of the suction tool which is pressed against the peripheral area of the sheet material is provided in the area inside the sheet material placed on the sheet material placing body. In comparison, the region of the sheet material that is in contact with the peripheral edge side is more elastically deformable.
When the suction tool is pressed against the peripheral area of the sheet material, the suction tool pressing means of the suction tool holding means has a margin in the degree of deformation displacement when the suction port surrounding is elastically deformed on the peripheral side of the sheet material. I decided to let it. Therefore, in the area of the suction port enclosure that is in contact with the peripheral edge of the sheet material, there is room for further elastic deformation of the suction port enclosure as compared with the area that is inward of the sheet material.
【0013】そして、吸着具のシート材の周縁領域への
押し付けを通して吸引口包囲体の開口がシート材で塞が
れてその周囲のエアー吸引空間が気密とされ、この状態
で、エアー吸引空間のエアーが吸引されるので、シート
材はその周縁領域で吸着具に吸着される。この際、シー
ト材には吸引口包囲体に向けて吸引力が作用するので、
シート材は吸引口包囲体に引き付けられることになる。Then, the suction member is pressed against the peripheral region of the sheet material to close the opening of the suction port enclosure with the sheet material to hermetically seal the air suction space around the sheet material. Since the air is sucked, the sheet material is sucked by the suction tool in the peripheral region thereof. At this time, since the suction force acts on the sheet material toward the suction port enclosure,
The sheet material will be attracted to the suction port enclosure.
【0014】ところで、吸引口包囲体の更なる弾性変形
の余地はシート材の周縁側に当たる領域でシート材の内
側に当たる領域に比べて残されていることから、吸引口
包囲体へのシート材の引き付けにより、吸引口包囲体
は、更なる弾性変形の余地が残されているシート材の周
縁側に当たる領域で更に弾性変形する。このため、シー
ト材載置体のシート材は、周縁領域側での吸引口包囲体
の更なる弾性変形に伴ってその周縁端側がシート材載置
体からめくり剥され、この際に、シート材の内部領域側
でのシート材載置体に対する密着による抵抗を受けるこ
とはない。By the way, since the room for further elastic deformation of the suction port enclosure is left in the region corresponding to the peripheral side of the sheet material as compared with the region corresponding to the inner side of the sheet material, the sheet material to the suction port enclosure is Due to the attraction, the suction port enclosure is further elastically deformed in a region corresponding to the peripheral side of the sheet material, which has room for further elastic deformation. For this reason, the sheet material of the sheet material mounting body is peeled off from the sheet material mounting body at the peripheral edge side due to further elastic deformation of the suction port enclosure on the peripheral area side. There is no resistance due to the close contact with the sheet material mounting body on the inner region side.
【0015】請求項3記載のシート材剥離装置では、吸
着具保持手段による吸着具の引き離しの際に、送風手段
によりエアーノズルからエアーを送風するので、このエ
アーはシート材の周縁端に向けて吹き付けられる。この
ため、周縁領域側での吸引口包囲体の更なる弾性変形に
伴ってめくり剥されたシート材の周縁端側から、シート
材とシート材載置体との間にエアーが入り込み、シート
材がその内側領域においてもシート材載置体から離れ
る。In the sheet material peeling apparatus according to the third aspect, when the suction tool holding means separates the suction tool, air is blown from the air nozzle by the blower means, so this air is directed toward the peripheral edge of the sheet material. To be sprayed. Therefore, air is introduced between the sheet material and the sheet material mounting body from the peripheral edge side of the sheet material peeled off due to the further elastic deformation of the suction port enclosure on the peripheral area side, and the sheet material Also separates from the sheet material mounting body in the inner region.
【0016】[0016]
【実施例】次に、本発明にかかるシート材剥離装置の実
施例について、当該シート材剥離装置を露光装置におけ
る搬送装置に組み込んだ場合を例に採り説明する。ま
ず、実施例の露光装置の全体構成および動作の概況につ
いて説明する。EXAMPLE Next, an example of a sheet material peeling apparatus according to the present invention will be described by taking as an example the case where the sheet material peeling apparatus is incorporated in a conveying device in an exposure apparatus. First, an overall configuration of the exposure apparatus of the embodiment and an overview of its operation will be described.
【0017】この露光装置30は、カラー受像管用のシ
ャドウマスクの原材料である金属薄板の表裏の主面に透
孔の配列パターンを同時に焼き付け・露光するための装
置であり、次のような構成を備える。露光装置30は、
その概略正面図である図1に示すように、その中央に露
光部32を備え、その左右には、露光部32に金属薄板
Kを搬入するための供給部34と、露光部32から搬出
された金属薄板Kを受け取る排出部36を備える。供給
部34は、その上面に外部から搬入・載置された金属薄
板Kを当該上面で予備的に位置合わせする。排出部36
は、露光済みの金属薄板Kを露光部32から受け取り、
後工程であるエッチング装置に金属薄板Kを排出する。The exposure apparatus 30 is an apparatus for simultaneously printing and exposing an array pattern of through holes on the front and back main surfaces of a thin metal plate which is a raw material of a shadow mask for a color picture tube, and has the following configuration. Prepare The exposure apparatus 30 is
As shown in FIG. 1 which is a schematic front view thereof, an exposure unit 32 is provided at the center thereof, and a supply unit 34 for loading the metal thin plate K into the exposure unit 32 and a carry-out unit from the exposure unit 32 are provided on the left and right sides thereof. A discharge unit 36 for receiving the thin metal plate K is provided. The supply unit 34 preliminarily aligns the thin metal plate K, which is loaded and placed on the upper surface thereof from the outside, on the upper surface. Ejector 36
Receives the exposed thin metal plate K from the exposure unit 32,
The thin metal plate K is discharged to an etching device which is a post process.
【0018】露光部32は、上下に露光光源38,40
を備え、両光源の間に、金属薄板Kを密着挟持し金属薄
板Kの表裏の主面に焼き付けパターンを密着するための
マスク部42を有する。マスク部42は、上マスク部4
4と下マスク部46とを近接離間可能に対向して有し、
この上下のマスク部を平行に備える。上マスク部44
は、その下面側に上マスクプレート48を上プレート吸
着枠50と一体に吸着保持し、下マスク部46は、その
上面側に下マスクプレート52を下プレート吸着枠54
と一体に吸着保持する。上マスクプレート48,下マス
クプレート52は、紫外領域の波長の光の透過効率が高
い透光性を有し、上マスクプレート48の下面および下
マスクプレート52の上面には、それぞれ所定の焼き付
けパターンが予め設けられている。The exposure unit 32 includes upper and lower exposure light sources 38 and 40.
And a mask portion 42 for closely sandwiching the metal thin plate K between both light sources and closely contacting the baking pattern to the front and back main surfaces of the metal thin plate K. The mask portion 42 is the upper mask portion 4
4 and the lower mask portion 46 are opposed to each other so that they can approach and separate,
The upper and lower mask portions are provided in parallel. Upper mask part 44
Holds the upper mask plate 48 on its lower surface side integrally with the upper plate suction frame 50 by suction, and the lower mask portion 46 holds the lower mask plate 52 on its upper surface side by the lower plate suction frame 54.
It is adsorbed and held together with. The upper mask plate 48 and the lower mask plate 52 have a light-transmitting property with high transmission efficiency of light having a wavelength in the ultraviolet region, and a predetermined baking pattern is formed on the lower surface of the upper mask plate 48 and the upper surface of the lower mask plate 52, respectively. Is provided in advance.
【0019】そして、下プレート吸着枠54下方の2台
のCCDカメラ20,22を用いて両マスクプレートの
位置合わせを行ない、その後、両マスクプレートの間に
金属薄板Kを挟持してその周囲をシール体55により気
密とし、真空吸引を経てこれらを真空密着する。次い
で、この状態で露光光源38,40を点灯制御して、金
属薄板Kの表裏の主面に、各マスクプレートのパターン
を焼き付ける。Then, the two CCD cameras 20 and 22 below the lower plate suction frame 54 are used to align the positions of both mask plates, and then a thin metal plate K is sandwiched between the mask plates to surround them. The seal body 55 is made airtight, and vacuum suction is performed to bring them into vacuum contact. Next, in this state, the exposure light sources 38 and 40 are controlled to be lighted, and the pattern of each mask plate is printed on the front and back main surfaces of the metal thin plate K.
【0020】なお、上マスク部44および下マスク部4
6は、それぞれのプレート吸着枠を介在させて、各マス
クプレートを上マスクプレート支持台56,下マスクプ
レート支持台60で支持しており、各支持台は上保持枠
58,下保持枠62でその三方で取り囲まれて保持され
ている。The upper mask portion 44 and the lower mask portion 4
6, each mask plate is supported by an upper mask plate support base 56 and a lower mask plate support base 60 via respective plate suction frames, and each support base is an upper holding frame 58 and a lower holding frame 62. It is surrounded and held on all three sides.
【0021】供給部34と露光部32との間には、搬送
装置70が設置されており、この搬送装置70は、供給
部34の載置台に載置された金属薄板Kを吸着してこれ
を保持し、当該金属薄板Kを供給部34から持ち上げた
後に露光部32まで搬送する。そして、搬送した金属薄
板Kを下マスク部46における下マスクプレート52の
所定位置に載置する。一方、露光部32と供給部34と
の間にも、この搬送装置70と同一構成の搬送装置70
aが設けられており、この搬送装置70aは、下マスク
プレート52の露光済み金属薄板Kの吸着・保持および
搬送を行ない、露光済み金属薄板Kを排出部36の載置
台の所定位置に載置するなお、供給部34から或いは排
出部36への金属薄板Kの搬送の際には、シャッター3
2a,32bが開閉制御される。A transfer device 70 is installed between the supply part 34 and the exposure part 32. The transfer device 70 adsorbs the thin metal plate K placed on the mounting table of the supply part 34. Is held, and the thin metal plate K is lifted from the supply unit 34 and then conveyed to the exposure unit 32. Then, the conveyed metal thin plate K is placed on a predetermined position of the lower mask plate 52 in the lower mask portion 46. On the other hand, between the exposure unit 32 and the supply unit 34, the transfer device 70 having the same configuration as the transfer device 70 is also provided.
a is provided, the carrying device 70a sucks and holds the exposed thin metal plate K of the lower mask plate 52, and carries it, and places the exposed thin metal plate K at a predetermined position of the placing table of the discharging section 36. When transporting the thin metal plate K from the supply unit 34 or the discharge unit 36, the shutter 3
Opening / closing control of 2a and 32b is carried out.
【0022】次に、搬送装置70と搬送装置70aの構
成について、搬送装置70を例に採り説明する。搬送装
置70は、その概略斜視図である図2に示すように、シ
ート材剥離装置71を中心に備え、このシート材剥離装
置71は、両端に吸着パッド72を有する吸着パッド保
持板74を4枚有する。この図2や図3に示すように、
各吸着パッド保持板74は、搬送板76の下面に位置
し、固定螺子ハンドル78の図示しない雄螺子部が搬送
板76の長孔76aを貫通し吸着パッド保持板74の雌
螺子孔に螺合している。よって、この固定螺子ハンドル
78により、吸着パッド保持板74は長孔76aの任意
の位置に固定される。Next, the structure of the carrier device 70 and the carrier device 70a will be described by taking the carrier device 70 as an example. As shown in FIG. 2, which is a schematic perspective view, the carrying device 70 mainly includes a sheet material peeling device 71, and the sheet material peeling device 71 includes a suction pad holding plate 74 having suction pads 72 at both ends. I have one. As shown in FIGS. 2 and 3,
Each suction pad holding plate 74 is located on the lower surface of the transfer plate 76, and a male screw portion (not shown) of the fixed screw handle 78 penetrates the elongated hole 76 a of the transfer plate 76 and is screwed into the female screw hole of the suction pad holding plate 74. are doing. Therefore, the suction pad holding plate 74 is fixed to an arbitrary position of the long hole 76a by the fixing screw handle 78.
【0023】図示するように、吸着パッド72は、ベロ
ーズ状の外観をなし、弾性に富んだ材料であるシリコー
ンゴムやシリコーン樹脂等の合成ゴムや合成樹脂から成
形されている。As shown in the figure, the suction pad 72 has a bellows-like appearance and is molded from synthetic rubber or synthetic resin such as silicone rubber or silicone resin, which is a highly elastic material.
【0024】また、吸着パッド保持板74には、長孔7
4aが設けられており、この長孔74aには、次のよう
にして吸着パッド72が組み込まれている。図3とその
4−4線断面図に示すように、長孔74aには、その上
下から断面がT字状のスライド駒80,82が摺動可能
に嵌め込まれており、この両スライド駒80,82は図
示しないボルトにて固定されいる。スライド駒80,8
2には、外側に傾斜して吸着パッド連通管84が嵌合固
定されており、その先端に吸着パッド72が設けられて
いる。従って、吸着パッド72は、その下方の供給部3
4に載置された供給部34の金属薄板Kに対して、スラ
イド駒80,82を介して、金属薄板Kの内部領域側か
ら周縁領域側に向けて傾斜して保持されることになる。
そして、吸着パッド72は、スライド駒80,82が長
孔74aに沿って図中矢印Aに示すように摺動すること
で、長孔74aの任意の位置に保持される。なお、吸着
パッド連通管84は、図示しない吸引機器と接続されて
いる。The suction pad holding plate 74 has a long hole 7
4a is provided, and the suction pad 72 is incorporated in the long hole 74a as follows. As shown in FIG. 3 and a sectional view taken along line 4-4 thereof, slide pieces 80 and 82 having a T-shaped cross section are slidably fitted in the long hole 74a from above and below. , 82 are fixed by bolts (not shown). Slide pieces 80, 8
The suction pad communication pipe 84 is fitted and fixed to the second member 2 while being inclined outward, and the suction pad 72 is provided at the tip thereof. Therefore, the suction pad 72 is provided below the supply unit 3
With respect to the thin metal plate K of the supply unit 34 placed on the sheet 4, the slanting pieces 80 and 82 hold the thin metal plate K inclined from the inner region side toward the peripheral region side.
The suction pad 72 is held at an arbitrary position in the long hole 74a by sliding the slide pieces 80 and 82 along the long hole 74a as shown by an arrow A in the figure. The suction pad communication pipe 84 is connected to a suction device (not shown).
【0025】また、搬送装置70は、搬送板76のスラ
イドブロック86を図2における矢印Bに示すように水
平に案内する水平スライドシャフト88a,88bと、
当該シャフトが固定される端部ブロック90と、この端
部ブロック90を図中矢印Cに示すように垂直に案内す
る垂直リニアガイド92とを備える。水平スライドシャ
フト88a,88bは、供給部34と露光部32との間
に亘って架設されているので、図示しないシリンダによ
るスライドブロック86の水平スライドを通して、搬送
装置70は、シート材剥離装置71を供給部34と露光
部32との間を往復動する。一方、垂直リニアガイド9
2は、供給部34の金属薄板K載置面および露光部32
における下マスク部46の下マスクプレート52上面か
ら所定高さまで架設されているので、図示しないシリン
ダによる端部ブロック90の垂直スライドを通して、搬
送装置70は、シート材剥離装置71を供給部34およ
び露光部32において昇降する。従って、搬送装置70
は、供給部34の金属薄板K載置面から露光部32の下
マスクプレート52上面まで、金属薄板Kを搬送する。Further, the carrier device 70 includes horizontal slide shafts 88a and 88b for horizontally guiding the slide block 86 of the carrier plate 76 as shown by an arrow B in FIG.
An end block 90 to which the shaft is fixed, and a vertical linear guide 92 that vertically guides the end block 90 as shown by an arrow C in the drawing are provided. Since the horizontal slide shafts 88a and 88b are installed so as to extend between the supply unit 34 and the exposure unit 32, the transport device 70 causes the sheet material peeling device 71 to pass through the horizontal slide of the slide block 86 by a cylinder (not shown). It reciprocates between the supply unit 34 and the exposure unit 32. On the other hand, the vertical linear guide 9
2 is a surface of the supply unit 34 on which the thin metal plate K is placed and the exposure unit 32.
Since it is erected from the upper surface of the lower mask plate 52 of the lower mask portion 46 up to a predetermined height, the conveying device 70 causes the sheet material peeling device 71 to expose the sheet feeding device 34 and the exposure through the vertical slide of the end block 90 by a cylinder (not shown). The part 32 moves up and down. Therefore, the transfer device 70
Transports the thin metal plate K from the surface of the supply unit 34 on which the thin metal plate K is placed to the upper surface of the lower mask plate 52 of the exposure unit 32.
【0026】更に、シート材剥離装置71は、図示しな
いエアー送風器に接続されたエアーノズル94を、その
吹き出し端が吸着パッド72の先端に向くよう吸着パッ
ド保持板74に固定して備える。Further, the sheet material peeling device 71 is provided with an air nozzle 94 connected to an air blower (not shown), which is fixed to the suction pad holding plate 74 so that its blowing end faces the tip of the suction pad 72.
【0027】次に、この搬送装置70による金属薄板K
の吸着の様子と金属薄板Kの剥離の様子について説明す
る。まず、図3に示す吸着開始位置にあるシート材剥離
装置71を、端部ブロック90の垂直スライド降下を通
して金属薄板Kに近づけ、吸着パッド72を金属薄板K
の周縁領域に押し付ける。すると、上記したように傾斜
して保持されている吸着パッド72は、図5に示すよう
に、その開口72a(図3参照)の周壁を金属薄板Kの
内部領域側73aでこの金属薄板Kに当初当接させる
(図5(a))。そして、引き続き押し付けられると、
吸着パッド72は、この当初の当接側である内部領域側
73aでそのベローズ形状を弾性変形(圧縮変形)を起
こして、やがては金属薄板Kの周縁領域側73bでも弾
性変形を起こして、開口72aの周壁をその全域に亘っ
て金属薄板Kに当接させる(図5(b))。この状態で
は、吸着パッド72は、周縁領域側73bでは比較的弾
性変形することなく、内部領域側73aがより大きく弾
性変形して金属薄板Kに当接し、開口72aが金属薄板
Kで塞がれその周囲のエアー吸引空間72b(図3参
照)は気密とされる。つまり、吸着パッド72は、その
弾性変形の変位量が周縁領域側73bでは内部領域側7
3aに比べて少ない状態で、金属薄板Kに当接する。Next, a thin metal plate K produced by the carrying device 70.
The state of adsorption of and the state of peeling of the thin metal plate K will be described. First, the sheet material peeling device 71 at the suction start position shown in FIG. 3 is brought close to the metal thin plate K through the vertical slide descent of the end block 90, and the suction pad 72 is moved to the metal thin plate K.
Press on the peripheral area of. Then, as shown in FIG. 5, the suction pad 72 held in an inclined manner as described above has the peripheral wall of the opening 72a (see FIG. 3) formed on the metal thin plate K at the inner region side 73a of the metal thin plate K. Initially abut (FIG. 5 (a)). And when it is continuously pressed,
The suction pad 72 elastically deforms (compresses and deforms) the bellows shape on the inner region side 73a which is the initial contact side, and eventually also elastically deforms on the peripheral region side 73b of the metal thin plate K to open. The peripheral wall of 72a is brought into contact with the thin metal plate K over its entire area (FIG. 5B). In this state, the suction pad 72 is not relatively elastically deformed on the peripheral area side 73b, the inner area side 73a is elastically deformed to a greater extent and abuts the metal thin plate K, and the opening 72a is closed by the metal thin plate K. The air suction space 72b (see FIG. 3) around it is airtight. That is, in the suction pad 72, the displacement amount of the elastic deformation of the suction pad 72 is 7 in the peripheral area side 7
It contacts the thin metal plate K in a smaller amount than 3a.
【0028】このようにエアー吸引空間72bが気密と
されると、このエアー吸引空間72bのエアー吸引が開
始され、当該空間のエアーは吸着パッド連通管84を経
て吸引機器に継続して吸引される。すると、金属薄板K
は、このエアー吸引によりその周縁領域で吸着パッド7
2に吸着され、吸着パッド72に向けた吸引力を受けて
吸着パッド72に引き付けられることになる。この場
合、吸着パッド72の周縁領域側73bではその弾性変
形の変位量が内部領域側73aに比べて少ないので、吸
着パッド72への金属薄板Kの引き付けにより、吸着パ
ッド72は、周縁領域側73bが、内部領域側73aと
同程度の変位量となるように更に弾性変形する(図5
(c))。このため、供給部34に載置された金属薄板
Kは、吸着パッド72の周縁領域側73bでの更なる弾
性変形に伴ってその周縁端側が供給部34からめくり剥
される。When the air suction space 72b is thus made airtight, air suction of the air suction space 72b is started, and the air in the space is continuously sucked into the suction device via the suction pad communication pipe 84. . Then, the thin metal plate K
Is sucked in the peripheral area by this air suction.
2 is attracted to the suction pad 72 and is attracted to the suction pad 72 by receiving the suction force toward the suction pad 72. In this case, since the displacement amount of the elastic deformation of the suction pad 72 on the peripheral region side 73b is smaller than that on the inner region side 73a, the suction pad 72 is attracted to the peripheral region side 73b by attracting the metal thin plate K to the suction pad 72. Is further elastically deformed so that the displacement amount becomes the same as that of the inner region side 73a (see FIG. 5).
(C)). Therefore, the metal thin plate K placed on the supply unit 34 is peeled off from the supply unit 34 at the peripheral edge side due to further elastic deformation on the peripheral region side 73b of the suction pad 72.
【0029】こうして金属薄板Kの周縁端側が剥される
と、搬送装置70は、端部ブロック90の垂直スライド
上昇を通してシート材剥離装置71を供給部34から図
3の吸着開始位置まで持ち上げ、吸着パッド72を供給
部34から引き離す。そして、この引き離しと共に、或
いはこの引き離しに先立つ前述の周縁端部のめくり剥し
時において、エアーノズル94から、吸着パッド72の
先端、即ち金属薄板Kの剥離箇所に向けてエアーを吹き
付ける。その後、搬送装置70は、スライドブロック8
6の水平スライドを通して、シート材剥離装置71を供
給部34から露光部32に搬送し、露光部32では、シ
ート材剥離装置71の降下,エアー吸引の停止,シート
材剥離装置71の上昇を行ない、露光部32の下マスク
プレート52に金属薄板Kを載置する。そして、搬送装
置70は、シート材剥離装置71と共に、供給部34上
方の吸着開始位置に復帰する。When the peripheral edge side of the thin metal plate K is peeled off in this manner, the transport device 70 lifts the sheet material peeling device 71 from the supply portion 34 to the suction start position of FIG. The pad 72 is separated from the supply unit 34. Then, at the time of this separation, or at the time of peeling off the peripheral edge portion described above prior to this separation, air is blown from the air nozzle 94 toward the tip of the suction pad 72, that is, the peeled portion of the metal thin plate K. After that, the transfer device 70 moves the slide block 8
The sheet material peeling device 71 is conveyed from the supply unit 34 to the exposure unit 32 through the horizontal slide 6 and the exposure unit 32 lowers the sheet material peeling device 71, stops air suction, and raises the sheet material peeling device 71. The metal thin plate K is placed on the lower mask plate 52 of the exposure unit 32. Then, the transport device 70 returns to the suction start position above the supply unit 34 together with the sheet material peeling device 71.
【0030】以上説明したように、本実施例のシート材
剥離装置71では、吸着パッド72の周縁領域側73b
での更なる弾性変形に伴って金属薄板Kの周縁端側を供
給部34からめくり剥すので、この際に、金属薄板Kの
内部領域側での供給部34に対する密着による抵抗を受
けることはない。このため、本実施例のシート材剥離装
置71によれば、金属薄板Kの内部領域側での密着抵抗
に勝る吸引力の発揮や当該吸引力の調整を必要としない
ので、金属薄板Kを供給部34から確実且つ簡単に剥離
することができる。As described above, in the sheet material peeling device 71 of this embodiment, the suction pad 72 has a peripheral region side 73b.
Since the peripheral edge side of the metal thin plate K is peeled off from the supply part 34 in accordance with the further elastic deformation in the above, there is no resistance due to the close contact with the supply part 34 on the inner region side of the metal thin plate K at this time. . Therefore, according to the sheet material peeling device 71 of the present embodiment, since it is not necessary to exert the suction force that exceeds the adhesion resistance on the inner region side of the metal thin plate K or to adjust the suction force, the metal thin plate K is supplied. It can be reliably and easily peeled from the portion 34.
【0031】また、本実施例のシート材剥離装置71で
は、金属薄板Kの剥離の際に、吸着パッド72の周縁領
域側73bでの更なる弾性変形に伴ってその周縁端側で
めくり剥された金属薄板Kにエアーを吹き付ける。よっ
て、金属薄板Kは、金属薄板Kと供給部34との間への
エアーの吹き込みを通して、金属薄板Kの内側領域にお
いても供給部34から離される。よって、本実施例のシ
ート材剥離装置71によれば、供給部34からの金属薄
板Kの剥離を速やかに行なうことができる。In addition, in the sheet material peeling device 71 of this embodiment, when the thin metal plate K is peeled off, it is peeled off on the peripheral edge side due to the further elastic deformation of the peripheral area side 73b of the suction pad 72. Air is blown on the thin metal plate K. Therefore, the metal thin plate K is separated from the supply unit 34 even in the inner region of the metal thin plate K by blowing air between the metal thin plate K and the supply unit 34. Therefore, according to the sheet material peeling device 71 of the present embodiment, the thin metal plate K can be quickly peeled from the supply unit 34.
【0032】また、シート材剥離装置71では、吸着パ
ッド72をスライド駒80,82により上記したように
傾斜して保持するだけで金属薄板Kの剥離を確実且つ簡
単に行なうことができる。よって、吸着パッド72を金
属薄板Kに真上から押し付ける既存のシート材剥離装置
を、簡単な改造で金属薄板Kの剥離が確実且つ簡単なも
のとすることができ、既存設備の有効理由を図ることが
できる。Further, in the sheet material peeling device 71, the thin metal plate K can be reliably and easily peeled off only by holding the suction pad 72 with the slide pieces 80 and 82 inclined as described above. Therefore, the existing sheet material peeling device for pressing the suction pad 72 onto the metal thin plate K from directly above can be surely and easily peeled off the metal thin plate K by simple modification, and the effective reason for the existing equipment is aimed at. be able to.
【0033】更に、本実施例では、シート材剥離装置7
1を露光装置30の搬送装置70に組み込むことで、金
属薄板Kの速やかな剥離を通して、金属薄板Kの搬送時
間の短縮化と露光処理の効率向上を図ることができる。Further, in this embodiment, the sheet material peeling device 7 is used.
By incorporating 1 into the transport device 70 of the exposure apparatus 30, it is possible to shorten the transport time of the metal thin plate K and improve the efficiency of the exposure process through rapid peeling of the metal thin plate K.
【0034】次に、その他の実施例について説明する。
第2実施例では、上記の第1実施例における吸着パッド
72に替わって、図6に示す吸着パッド96を用いた。
この吸着パッド96は、吸着パッド72と同様に、弾性
に富んだ材料であるシリコーンゴムやシリコーン樹脂等
の合成ゴムや合成樹脂から成形されているものの、深底
のカップ状をなす。そして、金属薄板Kの内部領域側9
6aでは吸着パッド96の周壁の肉厚が厚く、周縁領域
側96bでは周壁の肉厚が薄くされている。そして、吸
着パッド連通管84およびスライド駒80,82(図示
せず)を介して、金属薄板Kに対してほぼ垂直に保持さ
れており、この姿勢で金属薄板Kに押し付けられる。Next, other embodiments will be described.
In the second embodiment, the suction pad 96 shown in FIG. 6 is used instead of the suction pad 72 in the first embodiment.
Like the suction pad 72, the suction pad 96 is molded from synthetic rubber or synthetic resin such as silicone rubber or silicone resin, which is a highly elastic material, but has a deep cup shape. Then, the inner region side 9 of the thin metal plate K
In 6a, the thickness of the peripheral wall of the suction pad 96 is thick, and in the peripheral region side 96b, the thickness of the peripheral wall is thin. Then, it is held substantially perpendicular to the metal thin plate K via the suction pad communication pipe 84 and slide pieces 80, 82 (not shown), and is pressed against the metal thin plate K in this posture.
【0035】従って、この吸着パッド96を用いた第2
実施例では、金属薄板Kの周縁領域に吸着パッド96が
押し付けられると、吸着パッド96の周壁の肉厚の相違
により、周縁領域側96bの方が内部領域側96aに比
べて容易に弾性変形することになる。このため、周縁領
域側96bでは、金属薄板Kへの押し付けにより弾性変
形する際の変形変位の程度に余裕ができ、内部領域側9
6aに比べて更なる弾性変形の余地が残される。Therefore, the second using the suction pad 96
In the embodiment, when the suction pad 96 is pressed against the peripheral region of the thin metal plate K, the peripheral region side 96b is elastically deformed more easily than the inner region side 96a due to the difference in the wall thickness of the suction pad 96. It will be. For this reason, on the peripheral region side 96b, there is a margin in the degree of deformation displacement when elastically deformed by being pressed against the metal thin plate K, and the inner region side 9b.
There is still room for further elastic deformation as compared with 6a.
【0036】そして、吸着パッド96の開口が金属薄板
Kで塞がれてその周囲のエアー吸引空間が気密とされ、
この状態で、エアー吸引空間からエアーを吸引する。す
ると、金属薄板Kはエアー吸引による吸引力を受けて吸
着パッド96に引き付けられ、更なる弾性変形の余地が
残っている周縁領域側96bで、図中二点鎖線に示すよ
うに吸着パッド96が更に弾性変形する。このため、供
給部34に載置されている金属薄板Kは、上記の第1実
施例の場合と同様、周縁端側が供給部34からめくり剥
される。よって、吸着パッド96を用いた第2実施例に
よっても、金属薄板Kを供給部34から確実且つ簡単に
剥離することができる。Then, the opening of the suction pad 96 is closed by the thin metal plate K to hermetically seal the air suction space around it.
In this state, air is sucked from the air suction space. Then, the metal thin plate K is attracted by the suction force by the air suction to the suction pad 96, and the suction pad 96 is moved to the peripheral area side 96b where there is room for further elastic deformation, as shown by the two-dot chain line in the figure. Further elastically deforms. Therefore, the metal thin plate K placed on the supply unit 34 is peeled off from the supply unit 34 at the peripheral edge side, as in the case of the first embodiment. Therefore, also according to the second embodiment using the suction pad 96, the thin metal plate K can be reliably and easily peeled from the supply section 34.
【0037】また、この第2実施例では、吸着パッドを
金属薄板Kに押し付ける際の向きは従来のものと同じ真
上からであり、吸着パッドの構成のみ異なるに過ぎな
い。よって、この第2実施例によれば、吸着パッドの交
換のみで、既存のシート材剥離装置を金属薄板Kの剥離
が確実且つ簡単なものに改造することができる。Further, in the second embodiment, the direction in which the suction pad is pressed against the thin metal plate K is the same as that of the conventional one, and only the construction of the suction pad is different. Therefore, according to the second embodiment, it is possible to modify the existing sheet material peeling device into one that reliably and easily peels the thin metal plate K, only by exchanging the suction pad.
【0038】第3実施例では、上記の第2実施例におけ
る吸着パッド96に替わって、図7に示す吸着パッド9
8を用いた。この吸着パッド98は、吸着パッド96と
同様に、深底のカップ状をなすが、以下の点でその構成
が異なる。即ち、吸着パッド98は、異なる弾性を有す
る二種類の合成ゴム,合成樹脂等の弾性材料を、いわゆ
る二色成形して形成されている。具体的に説明すると、
吸着パッド98の製造金型の左半分には弾性の比較的少
ない弾性材料を、右半分には弾性の大きい弾性材料を、
それぞれ同時に射出等して送り込んで吸着パッド98を
製造する。こうして製造された吸着パッド98は、その
周壁の肉厚は同じではあるものの、左半分の範囲に当た
る金属薄板Kの内部領域側98aでは弾性が小さく、右
半分の範囲に当たる周縁領域側98bでは弾性が大きく
なる。In the third embodiment, instead of the suction pad 96 in the second embodiment, the suction pad 9 shown in FIG. 7 is used.
8 was used. Like the suction pad 96, the suction pad 98 has a deep cup shape, but the configuration is different in the following points. That is, the suction pad 98 is formed by so-called two-color molding using two types of elastic materials having different elasticity, such as synthetic rubber and synthetic resin. Specifically,
An elastic material having relatively little elasticity is provided on the left half of the mold for manufacturing the suction pad 98, and an elastic material having large elasticity is provided on the right half.
The suction pads 98 are manufactured by injecting them at the same time. Although the suction pad 98 manufactured in this manner has the same thickness of the peripheral wall, the elasticity is small on the inner region side 98a of the metal thin plate K which corresponds to the left half range, and the elasticity on the peripheral region side 98b which corresponds to the right half range. growing.
【0039】よって、この吸着パッド98が第2実施例
の吸着パッド96と同様に金属薄板Kの周縁領域に押し
付けられると、吸着パッド98の周壁の弾性の相違によ
り、周縁領域側98bの方が内部領域側98aに比べて
容易に弾性変形することになる。このため、この吸着パ
ッド98であっても、吸着パッド96と同様に周縁領域
側98bでは弾性変形する際の変形変位の程度に余裕が
できて、内部領域側98aに比べて更なる弾性変形の余
地が残される。従って、吸着パッド98を用いた第3実
施例によっても、第2実施例と同様に、金属薄板Kを供
給部34から確実且つ簡単に剥離することができると共
に、既存のシート材剥離装置を金属薄板Kの剥離が確実
且つ簡単なものに容易に改造することができる。Therefore, when this suction pad 98 is pressed against the peripheral area of the metal thin plate K, like the suction pad 96 of the second embodiment, the peripheral area 98b is closer to the peripheral area side due to the difference in elasticity of the peripheral wall of the suction pad 98. It will be elastically deformed more easily than the inner region side 98a. For this reason, even with this suction pad 98, as with the suction pad 96, there is a margin in the degree of deformation displacement when elastically deforming on the peripheral area side 98b, and further elastic deformation is possible compared to the internal area 98a. There is room left. Therefore, according to the third embodiment using the suction pad 98, as in the second embodiment, the thin metal plate K can be reliably and easily peeled from the supply unit 34, and the existing sheet material peeling device can be used for the metal peeling. It is possible to easily modify the thin plate K so that it can be peeled reliably and easily.
【0040】以上本発明の実施例について説明したが、
本発明はこの様な実施例になんら限定されるものではな
く、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々なる態
様で実施し得ることは勿論である。例えば、露光装置3
0に限らず、シート材の剥離やその後のシート材の搬送
を必要とする装置であれば、本実施例のシート材剥離装
置71を適用することができることは勿論である。The embodiments of the present invention have been described above.
The present invention is not limited to such embodiments, and it goes without saying that the present invention can be carried out in various modes without departing from the scope of the present invention. For example, the exposure device 3
It is needless to say that the sheet material peeling device 71 of the present embodiment can be applied to any device that requires peeling of the sheet material and subsequent conveyance of the sheet material, not limited to 0.
【0041】[0041]
【発明の効果】以上説明したように、請求項1および請
求項2記載のシート材剥離装置では、シート材をその周
縁領域で吸着具に吸着する際に、吸着具の吸引口包囲体
を、シート材の周縁領域側で更に弾性変形させる。この
ため、シート材載置体のシート材の周縁端側を、その周
縁領域側での吸引口包囲体の更なる弾性変形に伴ってシ
ート材載置体からめくり剥すことができ、この際に、シ
ート材の内部領域側でのシート材載置体に対する密着に
よる抵抗を受けることはない。よって、請求項1および
請求項2記載のシート材剥離装置によれば、シート材の
内部領域側での密着抵抗に勝る吸引力の発揮や当該吸引
力の調整を必要としないので、シート材をシート材載置
体から確実且つ簡単に剥離することができる。As described above, in the sheet material peeling apparatus according to the first and second aspects, when the sheet material is sucked onto the suction tool in the peripheral region thereof, the suction port enclosure of the suction tool is The sheet material is further elastically deformed on the peripheral region side. Therefore, the peripheral edge side of the sheet material of the sheet material mounting body can be peeled off from the sheet material mounting body along with further elastic deformation of the suction port enclosure on the peripheral area side. Therefore, the resistance due to the close contact with the sheet material mounting body on the inner region side of the sheet material is not received. Therefore, according to the sheet material peeling apparatus according to the first and second aspects, since it is not necessary to exert the suction force exceeding the adhesion resistance on the inner region side of the sheet material or to adjust the suction force, the sheet material is removed. It can be reliably and easily peeled off from the sheet material mounting body.
【0042】請求項3記載のシート材剥離装置では、周
縁領域側での吸引口包囲体の更なる弾性変形に伴ってそ
の周縁端側でめくり剥されたシート材を、シート材とシ
ート材載置体との間へのエアーの吹き込みを通して、そ
の内側領域においてもシート材載置体から離す。よっ
て、請求項3記載のシート材剥離装置によれば、シート
材載置体からのシート材の剥離を速やかに行なうことが
できる。In the sheet material peeling apparatus according to the third aspect, the sheet material peeled off at the peripheral edge side due to the further elastic deformation of the suction port enclosure on the peripheral area side is placed on the sheet material and the sheet material. Air is blown into the space between the sheet material placement body and the sheet material placement body in the inner region. Therefore, according to the sheet material peeling device of the third aspect, it is possible to quickly peel the sheet material from the sheet material mounting body.
【図1】本発明に係る実施例のシート材剥離装置71を
適用した露光装置30の概略正面図。FIG. 1 is a schematic front view of an exposure device 30 to which a sheet material peeling device 71 according to an embodiment of the present invention is applied.
【図2】シート材剥離装置71が組み込まれた搬送装置
70の概略斜視図。FIG. 2 is a schematic perspective view of a conveyance device 70 in which a sheet material peeling device 71 is incorporated.
【図3】シート材剥離装置71の要部を説明する説明
図。FIG. 3 is an explanatory diagram illustrating a main part of a sheet material peeling device 71.
【図4】図3の4−4線断面図。4 is a sectional view taken along line 4-4 of FIG.
【図5】シート材剥離装置71による金属薄板Kの吸着
の様子と供給部34からの剥離の様子を説明する説明
図。FIG. 5 is an explanatory view for explaining how the thin metal plate K is attracted by the sheet material peeling device 71 and how it is peeled from the supply section 34.
【図6】第2実施例のシート材剥離装置における吸着パ
ッド96の断面図。FIG. 6 is a sectional view of a suction pad 96 in the sheet material peeling device of the second embodiment.
【図7】第3実施例のシート材剥離装置における吸着パ
ッド98の断面図。FIG. 7 is a sectional view of a suction pad 98 in the sheet material peeling device of the third embodiment.
30…露光装置 32…露光部 34…供給部 36…排出部 38,40…露光光源 42…マスク部 44…上マスク部 46…下マスク部 52…下マスクプレート 54…下プレート吸着枠 60…下マスクプレート支持台 62…下保持枠 70…搬送装置 70a…搬送装置 71…シート材剥離装置 72…吸着パッド 72a…開口 72b…エアー吸引空間 73a…内部領域側 73b…周縁領域側 74…吸着パッド保持板 76…搬送板 80,82…スライド駒 84…吸着パッド連通管 86…スライドブロック 88a,88b…水平スライドシャフト 90…端部ブロック 92…垂直リニアガイド 94…エアーノズル 96…吸着パッド 96a…内部領域側 96b…周縁領域側 98…吸着パッド 98a…内部領域側 98b…周縁領域側 K…金属薄板 30 ... Exposure device 32 ... Exposure part 34 ... Supply part 36 ... Ejection part 38, 40 ... Exposure light source 42 ... Mask part 44 ... Upper mask part 46 ... Lower mask part 52 ... Lower mask plate 54 ... Lower plate suction frame 60 ... Lower Mask plate supporting base 62 ... Lower holding frame 70 ... Conveying device 70a ... Conveying device 71 ... Sheet material peeling device 72 ... Adsorption pad 72a ... Opening 72b ... Air suction space 73a ... Internal area side 73b ... Peripheral area side 74 ... Adsorption pad holding Plate 76 ... Conveying plate 80,82 ... Slide piece 84 ... Suction pad communication pipe 86 ... Slide block 88a, 88b ... Horizontal slide shaft 90 ... End block 92 ... Vertical linear guide 94 ... Air nozzle 96 ... Suction pad 96a ... Internal area Side 96b ... Edge area side 98 ... Adsorption pad 98a ... Inner area side 98b ... Edge area side K ... Genus thin
Claims (3)
吸着具と、 該吸着具を保持し、シート材載置体に載置されたシート
材の周縁領域への前記吸着具の押し付けと前記シート材
載置体からの前記吸着具の引き離しとを行なう吸着具保
持手段と、を有し、 前記シート材載置体のシート材を該シート材載置体から
剥離するシート材剥離装置であって、 前記吸着具は、前記シート材で塞がれる開口を包囲して
該開口周囲にエアー吸引空間を形成し、前記シート材に
当接して弾性変形する吸引口包囲体を備え、 前記吸着具保持手段は、前記シート材載置体に載置され
たシート材の内部領域側から前記周縁領域側に向けて、
前記吸着具を傾斜して保持する傾斜保持手段を備えるこ
とを特徴とするシート材剥離装置。1. An adsorbing tool for adsorbing a sheet material through air suction, and holding the adsorbing tool and pressing the adsorbing tool against a peripheral region of the sheet material placed on a sheet material placing body and And a suction tool holding means for separating the suction tool from the sheet material mounting body, and a sheet material peeling device for peeling the sheet material of the sheet material mounting body from the sheet material mounting body. The suction tool includes a suction port enclosure that surrounds an opening closed by the sheet material to form an air suction space around the opening and elastically deforms by abutting the sheet material. The holding means, from the inner region side of the sheet material placed on the sheet material placing body toward the peripheral region side,
A sheet material peeling apparatus comprising an inclined holding means for holding the suction tool in an inclined manner.
吸着具と、 該吸着具を保持し、シート材載置体に載置されたシート
材の周縁領域への前記吸着具の押し付けと前記シート材
載置体からの前記吸着具の引き離しとを行なう吸着具保
持手段と、を有し、 前記シート材載置体のシート材を該シート材載置体から
剥離するシート材剥離装置であって、 前記吸着具は、前記シート材で塞がれる開口を包囲して
該開口周囲にエアー吸引空間を形成し、前記シート材に
当接して弾性変形する吸引口包囲体を備え、 該吸引口包囲体は、前記シート材載置体に載置されたシ
ート材の内側に当たる領域に比べて前記シート材の周縁
側に当たる領域の方が容易に弾性変形する変形性を備
え、 前記吸着具保持手段は、前記シート材載置体におけるシ
ート材の周縁側では前記吸引口包囲が弾性変形する際の
変形変位の程度に余裕を持たせて、前記吸着具を前記シ
ート材の周縁領域に押し付ける吸着具押し付け手段を備
えることを特徴とするシート材剥離装置。2. An adsorbing tool for adsorbing a sheet material through air suction, and holding the adsorbing tool and pressing the adsorbing tool against the peripheral region of the sheet material placed on the sheet material placing body and And a suction tool holding means for separating the suction tool from the sheet material mounting body, and a sheet material peeling device for peeling the sheet material of the sheet material mounting body from the sheet material mounting body. The suction tool includes a suction port enclosure that surrounds the opening closed by the sheet material to form an air suction space around the opening and elastically deforms by contacting the sheet material. The envelope body is provided with deformability such that the region of the sheet material placed on the sheet material placing body is elastically deformed more easily in the region of the sheet material peripheral edge side than in the region of the sheet material placed body. Is the circumference of the sheet material in the sheet material mounting body. The sheet material peeling apparatus is characterized in that the sheet material peeling apparatus further comprises suction tool pressing means for pressing the suction tool against the peripheral region of the sheet material while allowing a margin for deformation displacement when the suction port surrounding elastically deforms. .
装置であって、 更に、 前記シート材載置体に載置されたシート材の周縁端に向
けて配置されたエアーノズルと、 前記吸着具保持手段による前記吸着具の引き離しの際
に、前記エアーノズルからエアーを送風する送風手段
と、を有するシート材剥離装置。3. The sheet peeling apparatus according to claim 1, further comprising an air nozzle arranged toward a peripheral edge of a sheet material placed on the sheet material placing body, A sheet material peeling apparatus comprising: a blowing unit that blows air from the air nozzle when the suction member holding unit separates the suction member.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16836595A JP3346683B2 (en) | 1995-06-09 | 1995-06-09 | Sheet material peeling device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16836595A JP3346683B2 (en) | 1995-06-09 | 1995-06-09 | Sheet material peeling device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08333038A true JPH08333038A (en) | 1996-12-17 |
JP3346683B2 JP3346683B2 (en) | 2002-11-18 |
Family
ID=15866742
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16836595A Expired - Fee Related JP3346683B2 (en) | 1995-06-09 | 1995-06-09 | Sheet material peeling device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3346683B2 (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6729837B1 (en) | 1999-09-17 | 2004-05-04 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Sheet feeder and sheet feeding method |
US20110266709A1 (en) * | 2010-04-30 | 2011-11-03 | Song Tae-Joon | Apparatus and method of fabricating flat panel display device |
CN110626853A (en) * | 2019-10-24 | 2019-12-31 | 东莞市宏文机械科技有限公司 | CCD chip mounter |
-
1995
- 1995-06-09 JP JP16836595A patent/JP3346683B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6729837B1 (en) | 1999-09-17 | 2004-05-04 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Sheet feeder and sheet feeding method |
US6929258B2 (en) | 1999-09-17 | 2005-08-16 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Sheet feeder and sheet feeding method |
US20110266709A1 (en) * | 2010-04-30 | 2011-11-03 | Song Tae-Joon | Apparatus and method of fabricating flat panel display device |
CN102236199A (en) * | 2010-04-30 | 2011-11-09 | 乐金显示有限公司 | Apparatus and method of fabricating flat panel display device |
US8858859B2 (en) * | 2010-04-30 | 2014-10-14 | Lg Display Co., Ltd. | Apparatus and method of fabricating flat panel display device |
CN110626853A (en) * | 2019-10-24 | 2019-12-31 | 东莞市宏文机械科技有限公司 | CCD chip mounter |
CN110626853B (en) * | 2019-10-24 | 2023-10-13 | 宏文科技(广东)有限公司 | CCD chip mounter |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3346683B2 (en) | 2002-11-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20020081118A (en) | Substrate processing unit | |
KR102229484B1 (en) | Work stage and exposure apparatus | |
US20070125491A1 (en) | Method of removing particle on substrate, apparatus therefor, and coating and development apparatus | |
JP4249869B2 (en) | Substrate transfer device | |
WO2018149378A1 (en) | Plastic packaging material transferring apparatus and method | |
WO2001037326A1 (en) | Processing apparatus for microelectronic devices in which polymeric bellows are used to help accomplish substrate transport inside of the apparatus | |
JP2534196B2 (en) | Wafer sticking method | |
JPH08333038A (en) | Sheet material peeling device | |
JP6894034B2 (en) | Work suction holding method, work stage and exposure equipment | |
KR100325905B1 (en) | Die Bonding Device | |
JP2004102215A (en) | Substrate assembling apparatus | |
CN107148152B (en) | Exposure device for printed board | |
KR102398207B1 (en) | Resin molding apparatus and resin molded product manufacturing method | |
JPH0567551A (en) | Wafer chuck | |
US4764794A (en) | Original film discharge mechanism in an inclined-type exposing apparatus | |
JP6789368B2 (en) | Exposure equipment for printed circuit boards | |
JPH06270087A (en) | Vacuum suction device | |
JP2001068394A (en) | Resist removing method and apparatus | |
JPH11112198A (en) | Substrate retaining equipment | |
JP2731458B2 (en) | Wafer bonding equipment | |
JPH08314149A (en) | Precision one-side exposure device and exposure method | |
JPH0781949A (en) | Transfer device for optical glass blank | |
JPS6019657B2 (en) | Mask aligner wafer adhesion/separation mechanism | |
JPH02139191A (en) | Suction holder for braun tube | |
JP2001085312A (en) | Method and apparatus for removing resist |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080906 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |