JPH08323621A - ダイヤモンドドレッサ - Google Patents
ダイヤモンドドレッサInfo
- Publication number
- JPH08323621A JPH08323621A JP15983695A JP15983695A JPH08323621A JP H08323621 A JPH08323621 A JP H08323621A JP 15983695 A JP15983695 A JP 15983695A JP 15983695 A JP15983695 A JP 15983695A JP H08323621 A JPH08323621 A JP H08323621A
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- JP
- Japan
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- diamond
- dresser
- angle
- laser
- dressing
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- Pending
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- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 柱状ダイヤモンドの埋設配置にあたり耐摩角
度の見出しを容易とし、ドレッサのダイヤモンド配置を
確実ならしめて寿命の増大を図る。 【構成】 単結晶の合成ダイヤモンドから板状に劈開
し、更にレーザービームによって全体の深さの30〜7
0%をレーザーカットすると共に残りを上記レーザーカ
ット面に対し略20°の角度で斜めに劈開して得た、
(110)の端面と、(111)面及びレーザーカット
された(211)ならびに該面から略20°の角度で斜
めに劈開された(111)面の夫々互いに平行な一対の
側面を備えた六角柱ダイヤモンド1を用い、略110°
の稜内角の中心線とドレッシング方向を一致させてドレ
ッサ本体2中に埋設せしめたダイヤモンドドレッサであ
る。
度の見出しを容易とし、ドレッサのダイヤモンド配置を
確実ならしめて寿命の増大を図る。 【構成】 単結晶の合成ダイヤモンドから板状に劈開
し、更にレーザービームによって全体の深さの30〜7
0%をレーザーカットすると共に残りを上記レーザーカ
ット面に対し略20°の角度で斜めに劈開して得た、
(110)の端面と、(111)面及びレーザーカット
された(211)ならびに該面から略20°の角度で斜
めに劈開された(111)面の夫々互いに平行な一対の
側面を備えた六角柱ダイヤモンド1を用い、略110°
の稜内角の中心線とドレッシング方向を一致させてドレ
ッサ本体2中に埋設せしめたダイヤモンドドレッサであ
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は柱状ダイヤモンドを用い
たダイヤモンドドレッサに関するものである。
たダイヤモンドドレッサに関するものである。
【0002】
【従来の技術】回転している研削砥石の研削面にダイヤ
モンドの一部を露出せしめたドレッシング面を押し付け
ることによって研削砥石のドレッシングを行うダイヤモ
ンドドレッサは公知であり、ダイヤモンドを焼結金属等
に埋設したドレッシング部をシャンクの先端に取り付
け、あるいは円盤状基体外周面又は円筒状の基体端面に
取り付けてブレード形ドレッサあるいはロータリドレッ
サとして広く用いられて来た。
モンドの一部を露出せしめたドレッシング面を押し付け
ることによって研削砥石のドレッシングを行うダイヤモ
ンドドレッサは公知であり、ダイヤモンドを焼結金属等
に埋設したドレッシング部をシャンクの先端に取り付
け、あるいは円盤状基体外周面又は円筒状の基体端面に
取り付けてブレード形ドレッサあるいはロータリドレッ
サとして広く用いられて来た。
【0003】ところが上記従来、用いられて来たダイヤ
モンドドレッサにおいてはそのドレッシング面に埋設さ
れたダイヤモンドは一般に粒状のダイヤモンドが用いら
れていたため、サイズが一定でなく、使用時、粒状ダイ
ヤモンドの摩耗に伴い、粒状ダイヤモンドの断面形状の
変化に起因してドレッシング条件が変化すると共に、粒
状ダイヤモンド自体の脱粒によりドレッシング機能が不
安定となって研削砥石の研削面を粗らす場合がある等の
問題があった。
モンドドレッサにおいてはそのドレッシング面に埋設さ
れたダイヤモンドは一般に粒状のダイヤモンドが用いら
れていたため、サイズが一定でなく、使用時、粒状ダイ
ヤモンドの摩耗に伴い、粒状ダイヤモンドの断面形状の
変化に起因してドレッシング条件が変化すると共に、粒
状ダイヤモンド自体の脱粒によりドレッシング機能が不
安定となって研削砥石の研削面を粗らす場合がある等の
問題があった。
【0004】そこで、上記の問題を解消すべく、長さ方
向において、略同様な断面形状を備えた単結晶の柱状ダ
イヤモンドに着目し、図6に示す如く上記柱状ダイヤモ
ンドを(110)の端面と、(211)及び(111)
の互いに平行する一対の側面をもつ矩形断面角柱とし、
矩形状方向またはその対角線方向をドレッシング方向
(矢示方向)としてドレッサ本体内に埋設配置したダイ
ヤモンドドレッサが提案されている。(特公平6−69
666号公報参照)
向において、略同様な断面形状を備えた単結晶の柱状ダ
イヤモンドに着目し、図6に示す如く上記柱状ダイヤモ
ンドを(110)の端面と、(211)及び(111)
の互いに平行する一対の側面をもつ矩形断面角柱とし、
矩形状方向またはその対角線方向をドレッシング方向
(矢示方向)としてドレッサ本体内に埋設配置したダイ
ヤモンドドレッサが提案されている。(特公平6−69
666号公報参照)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記提案に係るダイヤ
モンドドレッサは、上述の如く矩形断面の対角線方向を
ドレッシング方向とすることで、(a)ドレッシング方
向に対し斜め切れ刃として機能するため研削砥石の砥粒
を能率よく破砕しドレッシング性能を高める、(b)対
角線方向は矩形断面において耐摩耗方向(正確には54
°44´)に近い55°であるため寿命が長くなる等の
点で優れているが、しかしこのような略断面矩形の角柱
ダイヤモンドを得ようとするには深くまでレーザービー
ムでカットすることが必要であり、製造上の工数に問題
がある。また、対角線方向は耐摩方向に近いとは云え、
なお、ずれがあることは否定できない。
モンドドレッサは、上述の如く矩形断面の対角線方向を
ドレッシング方向とすることで、(a)ドレッシング方
向に対し斜め切れ刃として機能するため研削砥石の砥粒
を能率よく破砕しドレッシング性能を高める、(b)対
角線方向は矩形断面において耐摩耗方向(正確には54
°44´)に近い55°であるため寿命が長くなる等の
点で優れているが、しかしこのような略断面矩形の角柱
ダイヤモンドを得ようとするには深くまでレーザービー
ムでカットすることが必要であり、製造上の工数に問題
がある。また、対角線方向は耐摩方向に近いとは云え、
なお、ずれがあることは否定できない。
【0006】本発明は上述の如き実状に対処し、レーザ
ーカットの深さを少なくし、そこから劈開させた断面変
形六角形状として六角柱ダイヤモンドの1つの内角を略
110°とし、その中心線を耐摩方向と一致させて埋設
することにより、耐摩角度の見出しを容易とし、ドレッ
サのダイヤモンド配置を確実ならしめて寿命の増大を図
ることを目的とするものである。
ーカットの深さを少なくし、そこから劈開させた断面変
形六角形状として六角柱ダイヤモンドの1つの内角を略
110°とし、その中心線を耐摩方向と一致させて埋設
することにより、耐摩角度の見出しを容易とし、ドレッ
サのダイヤモンド配置を確実ならしめて寿命の増大を図
ることを目的とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】即ち、上記目的に適合す
る本発明ダイヤモンドドレッサの特徴とするところは、
単結晶の柱状ダイヤモンドをドレッシング面に一部露出
させた状態でドレッサ本体中に埋設してなるダイヤモン
ドドレッサの構成において、前記柱状ダイヤモンドを略
110°の稜内角をもつ断面六角形状で形成し、その端
面をドレッシング面としてその稜内角中心線とドレッシ
ング方向を一致させてドレッサ本体中に埋設せしめた点
にある。
る本発明ダイヤモンドドレッサの特徴とするところは、
単結晶の柱状ダイヤモンドをドレッシング面に一部露出
させた状態でドレッサ本体中に埋設してなるダイヤモン
ドドレッサの構成において、前記柱状ダイヤモンドを略
110°の稜内角をもつ断面六角形状で形成し、その端
面をドレッシング面としてその稜内角中心線とドレッシ
ング方向を一致させてドレッサ本体中に埋設せしめた点
にある。
【0008】ここで、上記略110°の稜内角をもつ断
面六角形状の柱状ダイヤモンドは単結晶の合成ダイヤモ
ンドから板状に劈開し、更にレーザービームによって全
体の深さの30〜70%をレーザーカットすると共に残
りを上記レーザーカット面に対し略20°の角度で斜め
に劈開して得た、(110)の端面と、(111)面及
びレーザーカットされた(211)面ならびに該面から
略20°の角度で斜めに劈開された(111)面の夫々
互いに平行な一対の側面を備えた六角柱ダイヤモンドで
ある。
面六角形状の柱状ダイヤモンドは単結晶の合成ダイヤモ
ンドから板状に劈開し、更にレーザービームによって全
体の深さの30〜70%をレーザーカットすると共に残
りを上記レーザーカット面に対し略20°の角度で斜め
に劈開して得た、(110)の端面と、(111)面及
びレーザーカットされた(211)面ならびに該面から
略20°の角度で斜めに劈開された(111)面の夫々
互いに平行な一対の側面を備えた六角柱ダイヤモンドで
ある。
【0009】しかして、上記柱状ダイヤモンドはブレー
ド形ドレッサのシャンクに連続するドレッサ本体に埋設
して用いられ、あるいはロータリドレッサの円盤状又は
円筒状のドレッサに埋設配置されて、その略110°の
稜内角の中心線がドレッシング方向に一致するように向
けられる。
ド形ドレッサのシャンクに連続するドレッサ本体に埋設
して用いられ、あるいはロータリドレッサの円盤状又は
円筒状のドレッサに埋設配置されて、その略110°の
稜内角の中心線がドレッシング方向に一致するように向
けられる。
【0010】なお、上記何れの場合においても配列は1
列に限らず、複数列であってもよく、更に複数列の場
合、千鳥状配列であってもよい。
列に限らず、複数列であってもよく、更に複数列の場
合、千鳥状配列であってもよい。
【0011】
【作用】上記本発明に係るダイヤモンドドレッサを用い
ることにより、稜角中心線をドレッシング方向となるよ
う配置すればドレッシング方向が耐摩方向と一致するこ
とになり、従前のダイヤモンドに比しダイヤモンドをド
レッサ内に埋設配置することが容易となる。
ることにより、稜角中心線をドレッシング方向となるよ
う配置すればドレッシング方向が耐摩方向と一致するこ
とになり、従前のダイヤモンドに比しダイヤモンドをド
レッサ内に埋設配置することが容易となる。
【0012】即ち、従来のものでは耐摩方向と、摩耗さ
れ易い方向の見極めが困難であったが、本発明では稜角
部をドレッシング方向に向けるだけで済むため極めて簡
単となり、耐摩性の向上に寄与する。
れ易い方向の見極めが困難であったが、本発明では稜角
部をドレッシング方向に向けるだけで済むため極めて簡
単となり、耐摩性の向上に寄与する。
【0013】
【実施例】以下、更に添付図面を参照し、本発明の実施
例を説明する。
例を説明する。
【0014】図1は本発明における柱状ダイヤモンドの
1例を示す斜視図であり、図2はその断面形状を示す図
である。これら図において柱状ダイヤモンド1はその端
面が(110)面、上下面は互いに平行な(111)面
となっていると共に、両側面は上部が互いに平行な(2
11)面、下部が上記上部の(211)面に対し20°
の角度で傾斜した互いに平行な(111)面に形成され
て全体として6個の面を有する断面六角形状の角柱とし
て構成されている。
1例を示す斜視図であり、図2はその断面形状を示す図
である。これら図において柱状ダイヤモンド1はその端
面が(110)面、上下面は互いに平行な(111)面
となっていると共に、両側面は上部が互いに平行な(2
11)面、下部が上記上部の(211)面に対し20°
の角度で傾斜した互いに平行な(111)面に形成され
て全体として6個の面を有する断面六角形状の角柱とし
て構成されている。
【0015】ここで両側面における上部の(211)面
と下部の傾斜した(111)面との割合は前者が上下面
間の深さの30〜70%、後者が70〜30%程度であ
り、これによって図2に示すように傾斜した(111)
面と下面の(111)面とのなす鈍角側の稜内角θは1
10°となり、この稜内角θの中心線は110°を2分
する55°方向である。従って、その中心線方向55°
は正確には54°44´の耐摩方向に沿うことになる。
勿論、上記の110°は最も好ましい中心的角度であ
り、それ以外を全く排除するものではなく、±3°程度
のばらつきは許容されよう。
と下部の傾斜した(111)面との割合は前者が上下面
間の深さの30〜70%、後者が70〜30%程度であ
り、これによって図2に示すように傾斜した(111)
面と下面の(111)面とのなす鈍角側の稜内角θは1
10°となり、この稜内角θの中心線は110°を2分
する55°方向である。従って、その中心線方向55°
は正確には54°44´の耐摩方向に沿うことになる。
勿論、上記の110°は最も好ましい中心的角度であ
り、それ以外を全く排除するものではなく、±3°程度
のばらつきは許容されよう。
【0016】ところで、上記の如き柱状ダイヤモンド1
は単結晶の合成ダイヤモンドを板状に劈開し、レーザー
ビームによって切断することにより、提供される。即
ち、単結晶の合成ダイヤモンドを板状に劈開し、更にレ
ーザービームによって全体深さの30〜70%をレーザ
ーカットすると共に残りを上記レーザーカット面に対し
略20°の角度で(111)面に沿って斜めに劈開する
ことによって得られる。なお、斜めの劈開はレーザーカ
ット面から図示するように(111)面に沿って略20
°の角度で起こる。20°の角度は最も好ましいが、ば
らつきがあることを考慮すれば多少の許容範囲を全く否
定するものではない。しかし、110°の角度を形成す
る上から多くの許容範囲は適当でなく、精々1〜3°位
である。
は単結晶の合成ダイヤモンドを板状に劈開し、レーザー
ビームによって切断することにより、提供される。即
ち、単結晶の合成ダイヤモンドを板状に劈開し、更にレ
ーザービームによって全体深さの30〜70%をレーザ
ーカットすると共に残りを上記レーザーカット面に対し
略20°の角度で(111)面に沿って斜めに劈開する
ことによって得られる。なお、斜めの劈開はレーザーカ
ット面から図示するように(111)面に沿って略20
°の角度で起こる。20°の角度は最も好ましいが、ば
らつきがあることを考慮すれば多少の許容範囲を全く否
定するものではない。しかし、110°の角度を形成す
る上から多くの許容範囲は適当でなく、精々1〜3°位
である。
【0017】本発明は以上の得られた断面六角形状の柱
状ダイヤモンド1をドレッサ本体2中に埋設配置する
が、ドレッサ本体2中への埋設に際しては、露出断面に
おいて図3に示すように柱状ダイヤモンド1の110°
の稜内角を有する角部を矢示ドレッシング方向に向け、
即ち稜内角の中心線方向をドレッシング方向と一致させ
て埋設配置する。配置は1列に限らず、複数列でも差支
えないこと、また、複数列の場合、千鳥配列としてもよ
いことは前述の通りである。
状ダイヤモンド1をドレッサ本体2中に埋設配置する
が、ドレッサ本体2中への埋設に際しては、露出断面に
おいて図3に示すように柱状ダイヤモンド1の110°
の稜内角を有する角部を矢示ドレッシング方向に向け、
即ち稜内角の中心線方向をドレッシング方向と一致させ
て埋設配置する。配置は1列に限らず、複数列でも差支
えないこと、また、複数列の場合、千鳥配列としてもよ
いことは前述の通りである。
【0018】図4及び図5は上記柱状ダイヤモンド1を
用いたダイヤモンドドレッサの例であり、図4に示すよ
うに柱状ダイヤモンド1は取付孔4を有するシャンク3
に連続するドレッサ本体2内に110°の稜内角がドレ
ッシング方向に向くように埋設されて図5に示すように
基体6の取付部5にその取付孔4を介して取り付けら
れ、研削砥石7の研削面に略接線方向をなして把持され
て所定の研削量に対応する分だけ研削砥石の研削面に押
し込まれ、研削が施される。
用いたダイヤモンドドレッサの例であり、図4に示すよ
うに柱状ダイヤモンド1は取付孔4を有するシャンク3
に連続するドレッサ本体2内に110°の稜内角がドレ
ッシング方向に向くように埋設されて図5に示すように
基体6の取付部5にその取付孔4を介して取り付けら
れ、研削砥石7の研削面に略接線方向をなして把持され
て所定の研削量に対応する分だけ研削砥石の研削面に押
し込まれ、研削が施される。
【0019】なお、上記柱状ダイヤモンドを円盤状又は
円筒状のドレッサ本体の径方向に埋設配置することによ
りロータリードレッサとして用いられる。
円筒状のドレッサ本体の径方向に埋設配置することによ
りロータリードレッサとして用いられる。
【0020】本発明は以上説明した構成よりなるが、要
部を逸脱しない限り、設計的改変の許容されることは勿
論であり、更に前記得られた断面六角形状の柱状ダイヤ
モンド端面を柱長手方向に傾斜角度をもち、かつ屈曲し
た側面の上下各面に対し傾斜角度をもって切断すること
により、切断面を(111)面として耐摩性、耐久性を
より向上させることもできる。
部を逸脱しない限り、設計的改変の許容されることは勿
論であり、更に前記得られた断面六角形状の柱状ダイヤ
モンド端面を柱長手方向に傾斜角度をもち、かつ屈曲し
た側面の上下各面に対し傾斜角度をもって切断すること
により、切断面を(111)面として耐摩性、耐久性を
より向上させることもできる。
【0021】
【発明の効果】本発明は以上のようにドレッシング面に
一部露出させて埋設配置する柱状ダイヤモンドを略11
0°の稜内角を持つ断面六角形状で形成し、該六角形状
の面をドレッシング面としてその稜内角中心線をドレッ
シング方向に合わせてドレッサ本体内に埋設せしめたも
のであり、稜内角部をドレッシング方向に向けて配置す
ればドレッシング方向は自ら柱状ダイヤモンドの耐摩方
向と一致するため、耐摩角度を見出すことが容易であ
り、ダイヤモンドをドレッサに配置する上で耐摩方向の
見極めが簡単で間違いを起こす恐れがなく、確実かつ安
定した柱状ダイヤモンドの配置を行うことができ、ドレ
ッシング機能の安定性とドレッサの耐久性を高める実用
的効果を有する。
一部露出させて埋設配置する柱状ダイヤモンドを略11
0°の稜内角を持つ断面六角形状で形成し、該六角形状
の面をドレッシング面としてその稜内角中心線をドレッ
シング方向に合わせてドレッサ本体内に埋設せしめたも
のであり、稜内角部をドレッシング方向に向けて配置す
ればドレッシング方向は自ら柱状ダイヤモンドの耐摩方
向と一致するため、耐摩角度を見出すことが容易であ
り、ダイヤモンドをドレッサに配置する上で耐摩方向の
見極めが簡単で間違いを起こす恐れがなく、確実かつ安
定した柱状ダイヤモンドの配置を行うことができ、ドレ
ッシング機能の安定性とドレッサの耐久性を高める実用
的効果を有する。
【図1】本発明に用いる柱状ダイヤモンドの1例を示す
部分斜視図である。
部分斜視図である。
【図2】上記柱状ダイヤモンド断面の形状を示す図であ
る。
る。
【図3】上記柱状ダイヤモンドをドレッサ本体に埋設配
置した状態図である。
置した状態図である。
【図4】上記柱状ダイヤモンドを用いたブレード形ドレ
ッサの斜視図である。
ッサの斜視図である。
【図5】上記ブレード形ドレッサの使用状態図である。
【図6】既知の柱状ダイヤモンドを示す例で(イ)はそ
の形状例、(ロ)はドレッサ本体への埋設配置例であ
る。
の形状例、(ロ)はドレッサ本体への埋設配置例であ
る。
1 柱状ダイヤモンド 2 ドレッサ本体 3 シャンク 4 取付孔
Claims (4)
- 【請求項1】 単結晶の柱状ダイヤモンドをドレッシン
グ面に一部露出させた状態でドレッサ本体中に埋設して
なるダイヤモンドドレッサにおいて、前記柱状ダイヤモ
ンドを略110°の稜内角をもつ断面六角形状で形成
し、その端面をドレッシング面としてその稜角中心線と
ドレッシング方向を一致させてドレッサ本体中に埋設せ
しめたことを特徴とするダイヤモンドドレッサ。 - 【請求項2】 略110°の稜内角をもつ断面六角形状
の柱状ダイヤモンドが単結晶の合成ダイヤモンドから板
状に劈開し、更にレーザービームによって全体の深さの
30〜70%をレーザーカットすると共に残りを上記レ
ーザーカット面に対し略20°の角度で斜めに劈開して
得た、(110)の端面と、(111)面及びレーザー
カットされた(211)面ならびに該面から略20°の
角度で斜めに劈開された(111)面の夫々互いに平行
な一対の側面を備えた柱状ダイヤモンドである請求項1
記載のダイヤモンドドレッサ。 - 【請求項3】 ドレッサ本体がシャンクに連続するブレ
ード形ドレッサ本体である請求項1又は2記載のダイヤ
モンドドレッサ。 - 【請求項4】 ドレッサ本体が円盤状あるいは円筒状か
らなるロータリドレッサ本体である請求項1又は2記載
のダイヤモンドドレッサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15983695A JPH08323621A (ja) | 1995-06-01 | 1995-06-01 | ダイヤモンドドレッサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15983695A JPH08323621A (ja) | 1995-06-01 | 1995-06-01 | ダイヤモンドドレッサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08323621A true JPH08323621A (ja) | 1996-12-10 |
Family
ID=15702313
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15983695A Pending JPH08323621A (ja) | 1995-06-01 | 1995-06-01 | ダイヤモンドドレッサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08323621A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000024548A1 (fr) * | 1998-10-28 | 2000-05-04 | Hitachi, Ltd. | Dispositif de polissage et procede de fabrication de semi-conducteurs au moyen dudit dispositif |
US7166013B2 (en) | 1998-10-28 | 2007-01-23 | Hitachi, Ltd. | Polishing apparatus and method for producing semiconductors using the apparatus |
JP2010221311A (ja) * | 2009-03-19 | 2010-10-07 | Noritake Super Dresser:Kk | ドレッサ |
JP7338924B1 (ja) * | 2023-01-11 | 2023-09-05 | 株式会社ツールテックス | ダイヤモンドドレッサの製造方法 |
-
1995
- 1995-06-01 JP JP15983695A patent/JPH08323621A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000024548A1 (fr) * | 1998-10-28 | 2000-05-04 | Hitachi, Ltd. | Dispositif de polissage et procede de fabrication de semi-conducteurs au moyen dudit dispositif |
US7137866B2 (en) | 1998-10-28 | 2006-11-21 | Hitachi Ltd. | Polishing apparatus and method for producing semiconductors using the apparatus |
US7166013B2 (en) | 1998-10-28 | 2007-01-23 | Hitachi, Ltd. | Polishing apparatus and method for producing semiconductors using the apparatus |
JP2010221311A (ja) * | 2009-03-19 | 2010-10-07 | Noritake Super Dresser:Kk | ドレッサ |
JP7338924B1 (ja) * | 2023-01-11 | 2023-09-05 | 株式会社ツールテックス | ダイヤモンドドレッサの製造方法 |
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