JPH0831996A - 沸騰冷却装置 - Google Patents

沸騰冷却装置

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JPH0831996A
JPH0831996A JP6160992A JP16099294A JPH0831996A JP H0831996 A JPH0831996 A JP H0831996A JP 6160992 A JP6160992 A JP 6160992A JP 16099294 A JP16099294 A JP 16099294A JP H0831996 A JPH0831996 A JP H0831996A
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heat radiating
boiling
refrigerant
cooling
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長賀部  博之
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清司 川口
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鈴木  昌彦
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NipponDenso Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】例えば、パワー半導体素子等の発熱体を収納し
たパワーパックを、沸騰熱伝達により冷却する、小型で
冷却ファンが不要な沸騰冷却装置を提供することを目的
とする。 【構成】内部を減圧して冷媒15を密封した冷却槽11の側
壁に、パワーパック14を取り付ける。このパワーパック
14は、パワー素子13を取り付けた熱伝導板19が冷媒15と
接触されるように取り付けられ、熱伝導板19の接触部で
沸騰気化された冷媒は、上方に植立された放熱部12に導
入される。放熱部12は、断面偏平状の中空筒体からなる
複数の放熱筒によって構成され、この複数の放熱筒は平
行に所定の間隔で並べられて設定されるもので、その上
端は閉じられ、下端は冷却槽11内に開口して、気化され
た冷媒が導入される。ここで、複数の放熱筒によって上
下方向に空気の自然対流が生じられ、効果的に放熱され
るようにしている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば汎用インバー
タ等の電力制御機器を構成するIGBT等のパワー素子
等の発熱体を冷却するために効果的に用いられ、発熱体
からの熱によって気化された冷媒を放熱部で冷却して液
化する沸騰冷却装置に関する。
【0002】
【従来の技術】例えば、産業用モータの回転数を可変制
御するための汎用インバータにおいては、このインバー
タ回路を構成する主要デバイスであるIGBT等のパワ
ー素子が用いられている。この様なパワー素子は、その
動作時に大きな熱を発生するものであるため、このパワ
ー素子に対しては冷却装置が付随して構成される。
【0003】すなわち、パワー素子等の発熱素子が設定
されるパワーパックを、アルミニウム等の熱伝導性の優
れた材料によって構成した放熱フィンに対して取り付
け、パワー素子で発生された熱が大気中に放出されるよ
うにしている。具体的には、アルミニウム製の放熱フィ
ンにパワーパックをボルト等によって密着固定し、放熱
フィンに対してファンによって発生された空気流を流す
ようにした強制空冷方式が多く採用されている。しか
し、この様な強制空冷方式を採用したのでは、常時冷却
ファンを駆動するものであるため、コストアップさらに
駆動用モータの耐久性等が問題となる。この様な問題点
を解決するために冷却ファンを取り除くことが考えられ
るが、放熱能力が低下するものであるため、放熱フィン
の体格を大きく構成することが要求される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】この発明は上記のよう
な点に鑑みなされたもので、特に発熱体の熱によって冷
媒が沸騰され、放熱部分における温度が比較的高く設定
されるようにして、放熱部分から大気中に高効率で熱の
放出が行えるようにするもので、充分に簡単な構成とす
ることができ、特に耐久性に優れた沸騰冷却装置を提供
しようとするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】この発明に係る沸騰冷却
装置は、壁面に冷却すべき発熱体が取り付けられた冷却
槽内に、発熱体の熱で気化されるようにした冷媒を収納
し、前記冷却槽の上方の壁には、一方が閉じられると共
に他方が前記冷却槽内に連通するように筒状の中空部材
が取り付けられ、この中空部材によって放熱部材を構成
されるようにするもので、この放熱部材は熱伝導性の良
好な材料によって構成され、冷却槽内の冷媒が前記発熱
体の熱で気化され、前記放熱部材の中空部内で冷却され
て液化されるようにしている。
【0006】
【作用】この様に構成される沸騰冷却装置にあっては、
パワー素子等の発熱体の熱が冷却槽内の冷媒に対して直
接的に伝達され、この冷媒がその熱によって沸騰蒸発さ
れて気化され、その気化された冷媒が放熱部材の中空部
内に上昇する。この放熱部材の内壁は低温の状態である
ため、上昇された冷媒蒸気は凝縮されて放熱部材に熱を
与えることによって液化され、冷却槽内に滴下して戻さ
れる。ここで、放熱部材は冷媒蒸気から熱を受け取ると
共に、放熱機能をも備えているものであるため、冷媒蒸
気から伝えられた熱を大気中に放熱する。放熱部材を構
成する中空部材は、重力に対して垂直の状態に配置され
ているものであるため、自然対流による放熱に伴って高
温とされる空気は上昇され、この放熱部材は効率的に冷
却され、沸騰気化された冷媒が効率的に液化されるよう
になって、パワー素子等の発熱体の冷却が効率的に実行
される。
【0007】
【実施例】以下、図面を参照してこの発明の一実施例を
説明する。図1および図2は沸騰冷却装置の構成を示す
もので、冷却槽11およびこの冷却槽11に一体的に形成さ
れる複数の放熱筒121 、122 、…からなる放熱部12によ
って構成され、例えば汎用インバータを構成するIGB
T等の半導体素子でなるパワー素子13を装備したパワー
パック14は、冷却槽11の側壁部に取り付けられる。そし
て、冷却槽11の内部には例えば水による冷媒15が封入さ
れているもので、この冷却槽11の内部は冷媒15の沸点が
下げられるように減圧した低圧状態に設定されている。
冷却槽11は、例えばアルミニウムや圧延銅板等の金属、
あるいは樹脂によって構成される。
【0008】パワーパック14は、例えばボルト161 、16
2 によって冷却槽11の前側の壁面に固定的に取り付けら
れているもので、このパワー素子13ははんだ等によって
DBC(Direct Bonding Cupper)17 上に接着され、この
DBC17は絶縁性基板18にロー付け等で接着され、この
絶縁性基板18は熱伝導板19にはんだにより接着して取り
付けられている。
【0009】絶縁性基板18は熱伝導性が良好で、且つ電
気絶縁性のよいAlN等によって構成され、さらに熱伝
導板19は熱伝導性の良好な例えば銅によって構成される
もので、この熱伝導板19のパワー素子13の取り付け面と
反対側の背面は、冷却槽11の壁面に形成した開口を介し
て、冷却槽11の内部に封入された冷媒15に直接的に接触
されている。
【0010】放熱部12を構成する放熱筒121 、122 、…
は、それぞれ銅等の熱伝導性の良好な板材を断面偏平状
の中空筒状体で構成してなるもので、その偏平な面が所
定の間隔で平行に設定されるようにして、冷却槽11の上
側壁面上に垂直の状態で植立されている。ここで、この
各放熱筒121 、122 、…それぞれの上端は閉じられ、下
方の端部は冷却槽11の内部に開放されている。
【0011】この様に構成される沸騰冷却装置におい
て、冷却対象であるパワー素子13が発熱すると、その熱
がDBC17および絶縁性基板18を介して熱伝導板19の特
に冷媒15と接触する放熱面191 に伝達され、その熱によ
って放熱面191 に接する冷媒が沸騰され気化される。こ
のとき、冷媒15と熱伝導板19の放熱面191 との間で、冷
媒15の沸騰による高効率な熱伝達が行われるもので、こ
の沸騰時の熱伝達率は自然対流時の100〜1000倍
にも達する。
【0012】この放熱面191 における冷媒の沸騰によっ
て、冷媒15は液体の状態から蒸気の状態に変化し、この
沸騰気化された蒸気は冷却槽11の上部から放熱部12を構
成する放熱筒121 、122 、…の内部に入って上昇する。
そして、図2で矢印で示すように放熱筒121 、122 、…
の内部の中空部通路内を循環される。ここで、この各放
熱筒121 、122 、…それぞれの外周面は大気に接触され
て冷却されている状態となっているものであるため、上
昇された蒸気が放熱筒121 、122 、…それぞれの内面に
接触すると凝縮されて水となって熱を放出し、この凝縮
時の熱伝達率は沸騰時と同様に大きく、高効率な熱伝達
が行われる。
【0013】放熱筒121 、122 、…は、このようにして
蒸気から熱を受取り、その温度が上昇するものである
が、この放熱筒121 、122 、…は放熱フィンの機能をも
兼ね備えていて、大気中にこの受取った熱を自然対流に
よって放出する。ここで、この放熱筒121 、122 、…は
断面偏平状に構成され、その偏平面が所定の間隔で平行
に対向設定されるようにして垂直の状態で植立されてい
るものであるため、各放熱筒121 、122 、…の外周面か
ら熱を受取った空気は、高温となって上昇され、効率の
よい自然対流による大気への放熱作用が行われる。
【0014】この様に構成される沸騰冷却装置にあって
は、大気中に熱を放出する放熱部12を構成する放熱筒12
1 、122 、…の温度が、高い熱伝達率を有する沸騰およ
び凝縮を用いることによって高く設定される。したがっ
て、この放熱筒121 、122 、…それぞれと大気との温度
差を大きくとることができるので、より多くの熱の放出
が可能となって、構造の簡素化と共に製造コストの低減
化が容易に図れる。
【0015】従来の一般的な放熱構造は、発熱体をアル
ミニウム製の放熱フィンに取り付けるようにしている。
しかし、この様な構造では放熱フィンの温度を充分に上
昇させることができず、したがって放熱フィンの面積を
大きくするか、あるいは冷却ファンによって強制空冷す
る必要がある。放熱フィンの面積を大きくすると、必然
的に冷却装置の体格が非常に大きくなり、冷却ファンで
強制空冷すると、冷却ファン並びにこれを駆動する機構
が必要となって、大型化と共にコストの上昇および耐久
性の低下を招く。
【0016】この点、実施例で示したような構成とする
ことにより、沸騰による高い熱伝達率によって放熱筒12
1 、122 、…の温度が容易に高く設定され、小さな体格
によって自然対流による効率的な空冷が可能とされる。
【0017】上記第1の実施例においては、放熱部12を
構成する複数の断面偏平状の放熱筒121 、122 、…は、
所定の間隔で面が平行に設定されるように、それぞれ独
立的に冷却槽11の上に植立した。しかし、複数の断面偏
平状の放熱筒121 、122 、…用いる放熱部12はさらに任
意に構成できるもので、図3で示す第2の実施例のよう
に複数の放熱筒121 、122 、…を、冷却槽11の上に延び
る1つの線を対称にして集合し、この線を中心に放射状
に配置される構造とすることができる。この場合、集合
された複数の放熱筒121 、122 、…は、集合する線の部
分でその内部が共通に連続されるようにしたり、図4で
示す第3の実施例のように、断面櫛の歯状の構成とする
こともできる。
【0018】この様に構成すれば、図1で示した第1の
実施例と同様の冷却機能が発生されて、垂直の状態に設
定される放熱筒121 、122 、…それぞれの外周面に添っ
て上昇する空気の自然対流が生じて、充分に効率的な冷
却機能が発揮される。しかも複数の放熱筒121 、122 、
…が束とされた状態で放熱部12が構成されるものである
ため、放熱面積の拡大が容易に行われてより多くの熱を
大気中に放出できる。この場合、各放熱筒121 、122 、
…の幅を狭くして、さらに放熱筒の数が容易に増加でき
るので、さらに放熱量の増大が可能とされる。そして、
この様な集合構造とすることにより、その内部を低圧に
した場合の減圧下における機械的な強度も確実に向上さ
れる。
【0019】図5は第4の実施例を示すもので、この実
施例にあっては平行に設定される放熱筒121 、122 、…
それぞれの冷却槽11に連通している側と反対側、すなわ
ち上端を上部槽36に共通に連通するように構成してい
る。この様に構成することによって、放熱筒121 、122
、…内の蒸気の循環がさらに促進されるようになり、
放熱性能が向上される。穴35は放熱筒121 、122 、…の
下部において暖められた空気の一部が上部へ抜けるため
のものであり、さらに冷却効果が促進される。
【0020】図6に示す第5の実施例にあっては、第1
の実施例のように断面偏平状の複数の放熱筒121 、122
、…を所定の間隔で平行状態に配置設定する場合に、
平面で対向される各放熱筒121 、122 、…それぞれの面
に接触され、ロー付けするようにして、熱伝導性の良好
な板材を波型に成形した放熱フィン201 、202 、…が取
り付けられ、放熱面積が拡大されるようにする。
【0021】ここで、この放熱フィン201 、202 、…
は、その波型に成形した折曲線に対応する空気流の流路
方向が、各放熱筒121 、122 、…それぞれの延びる軸方
向、すなわち上下の方向に延びるように設定され、放熱
筒121 、122 、…の外周面に生ずる空気の自然対流の方
向に一致されるようにしている。
【0022】この場合、放熱フィンを高密度に配置して
その放熱面積を拡大させるようにする構造は、通常の自
然空冷の場合には放熱フィンが高密度になり過ぎて充分
な放熱効果を発揮することが困難となる。しかし、この
実施例のように沸騰冷却による放熱によって、放熱筒12
1 、122 、…部の温度を高くすることができる場合に
は、自然対流による放熱が高効率で行われる。
【0023】ここで使用される放熱フィン201 、202 …
は、金属板を波型に折曲して構成するのみでも充分にそ
の効果が発揮されるが、さらにその波型に折曲した面に
多数の切り起こしによるルーバ21を形成すれば、このル
ーバ21の前縁効果により平均熱伝達率が向上され、さら
に放熱量の増大が可能とされる。
【0024】図7に示す第6の実施例にあっては、放熱
筒121 、122 、…それぞれに対応して放熱フィン201 、
202 、…を設定するものであるが、その各放熱フィン20
1 、202 、…はそれぞれ分割放熱フィン2011、2012、
…、2021、2022、…、…によって構成されるようにす
る。すなわち、図6のように設定された放熱フィン201
、202 、…それぞれを、空気流路の方向に添って複数
に分割するもので、例えば放熱筒の下部で暖められた空
気は、上部に伝達される以前に側部から大気中に放出さ
れるようになる。したがって、放熱フィンによる冷却効
果がより増大されて、この冷却装置の性能が向上され
る。
【0025】この様に放熱フィン201 、202 、…それぞ
れを上下方向に分割して放熱フィン2011、2012、…、20
21、2022、…、…を形成した場合において、下方で暖め
られた空気の流れをより効率的に制御されるようにする
と効果的である。
【0026】図8は第7の実施例を示すもので、分割さ
れた放熱フィン2011、2012、…それぞれの間に、傾斜し
た案内板221 、222 、…を設定する。すなわち、最も下
側の分割放熱フィン2013を通過して上方に抜けた空気
は、案内板222 に添って例えば後方に向けて排出され、
放熱フィン2013の上方の放熱フィン2012の下側には、前
方からの空気流が導入されるようにする。そして、この
放熱フィン2012の上方からの暖めらにれた空気は案内板
221 で後方に排出され、その上の放熱フィン2011の下側
には前方から導入された空気流が導かれる。
【0027】すなわち、放熱筒121 、122 、…それぞれ
の放熱部を構成している放熱フィン201 、202 、…それ
ぞれを分割した分割フィン部に対しての空気の自然対流
の経路が、案内板221 、222 、…によって明確に区分形
成され、図に矢印で示すような空気流の通路が形成され
るものであるため、より効果的な放熱が行われる。
【0028】図9で示す第8の実施例は、平行な状態で
植立されている放熱筒121 、122 、…のそれぞれの間
に、肉薄の板材で構成された放熱フィン231 、232 、…
を複数段にして設定するもので、これらの放熱フィン23
1 、232 、…は所定の間隔で上下方向に並べられ、且つ
それぞれ同じ方向に傾斜して設定されるようにする。す
なわち、この放熱フィン231 、232 、…によって、複数
の放熱筒121 、122 、…によって構成された放熱部12
の、例えば前方面から後方面の方向に横切る空気流のガ
イド構造が形成され、放熱フィン231 、232 、…の空気
流との接触面に、空気流の対流経路が設定される。した
がって、放熱フィン231 、232 、…の部分には常に温度
の低い空気が流入され、その放熱量が効果的に増大され
て、冷却装置としての機能が向上される。
【0029】図10で示す第9の実施例にあっては、熱
伝導性の良好な金属板を波型に成形した放熱フィン241
、242 、…を放熱筒121 、122 、…の相互間に介在さ
せ、適宜ロー付け設定する。この場合、各放熱フィン24
1 、242 、…の波型の折曲線に添った空気流の方向が、
前後の方向に傾斜して設定されているもので、例えば放
熱部12の前側から後方に向けた斜めの空気流流路が形成
されるようにする。
【0030】これまでの実施例においては、放熱部12を
構成する放熱筒121 、122 、…は、断面偏平状の中空筒
体によって構成され、鉛直方向にその断面形状が一様と
されるように、垂直状態で冷却槽11に対して取り付けら
れている。しかし、図11で示す第10の実施例で示す
ように、各放熱筒121 、122 、…それぞれをその側面の
方向にやや傾斜して設定されるようにしてもよい。この
様に構成しても、放熱筒121 、122 、…の側面に添った
対流空気の流路が形成されるものであるため、この放熱
部12における放熱効果は充分に期待できる。
【0031】すなわち、この実施例の放熱部12において
も、自然対流による空冷方式が実現できるもので、この
放熱筒121 、122 、…にあっても鉛直方向の断面形状が
一様に設定されて、温度上昇された空気が障害なく上昇
されて、放熱部12における放熱効率は確保される。
【0032】図12で示す第11の実施例にあっては、
パワーパック14を冷却槽11の側壁部に取り付けるに際し
て、熱伝導板19のパワー素子13の取り付け面と反対側の
背面が、冷却槽11の内部に封入した冷媒15に直接的に接
触されないようにしている。この様に構成すれば、パワ
ーパック14の保守点検等に際して、冷媒15は外部に露出
されることがないものであるため、改めて内部の減圧等
の処置を行う必要がなく、作業性が良好である。
【0033】図13で示す第12の実施例にあっては、
放熱筒121 、122 、…それぞれの内部にインナーフィン
30を挿入するようにしている。このインナーフィン30
は、熱伝導性の良好なAlやCu等の金属材料によって
構成され、放熱筒121 、121 、…それぞれの内部にロー
付けやはんだ付けによって接合されている。この様にイ
ンナーフィン30を挿入することによって、凝縮面積がさ
らに増大され、放熱効果がさらに向上される。
【0034】図14で示す第13の実施例にあっては、
コルゲーテッドルーバフィン31によってインナーフィン
を構成するようにしている。この様に構成することによ
り蒸気の拡散が起こって放熱筒121 、122 、…の内部で
の熱の偏りを防止するようになり、且つルーバによって
凝縮による液膜の成長を抑制することができ、液膜の熱
抵抗の増大による放熱性能の低下を防止して、放熱性能
がさらに向上させることができる。
【0035】図15および図16は第14の実施例を示
すもので、この実施例にあっては放熱筒121 が冷却槽11
の上部で傾斜して取り付けられている。すなわち、図6
および図7で示した実施例において示された、冷却槽11
の上で垂直に設定されている放熱筒121 、122 、…が、
冷却槽11のパワーパック14の取り付けられた前方に向け
て傾斜して設定され、その各放熱筒121 、122 、…のそ
れぞれの相互間に適宜放熱フィン201 202 、…が設定さ
れるようにする。この様に放熱筒121 を傾斜して設定す
ることにより、その相互間に設定される放熱フィン201
、201 、…において、熱交換流体の流路が放熱筒121
の傾斜角に対応して傾斜されて、下部より上部への熱交
換流体の流れに対する妨げがなくなり、矢印43で示すよ
うな空気流によって放熱効果が促進される。
【0036】図17は沸騰冷却装置を制御ボックス42の
内部に収納設定した状態を示すもので、この制御ボック
ス42の上部に排気窓41を形成すると共に、例えば前方の
扉部分に対応して吹気窓44が配置形成されるようなって
いる場合には、例えば放熱筒121 部が背面の壁面40から
離れるように、前方に傾斜設定されるようにすると、放
熱筒121 の背面の空間を用いて空気の流れ通路が形成さ
れ、放熱効果が促進されるようになる。
【0037】図18は沸騰冷却装置を自動車等の車両45
のエンジンルーム内に収納設置した場合を示しているも
ので、この車両の走行風46に対して放熱フィン201 が最
も抵抗の少ない状態とされるように、放熱筒121 を冷却
槽11に対して傾斜して設定する。この様に設定すること
によって、この車両45が走行する状態において、より効
率の良好な放熱冷却が行われる。
【0038】
【発明の効果】以上のようにこの発明に係る沸騰冷却装
置にあっては、例えばIGBT等のパワー素子からなる
発熱体で発生される熱によって冷却槽内の冷媒が沸騰さ
れ、気化された冷媒が冷却槽上方に植立して設定され
た、複数の偏平状中空筒体からなる放熱筒部分に導入さ
れ。そして、この複数の放熱筒は空気の自然対流による
空冷が効率的に実行されるようになっているものである
ため、充分に簡単な構成としながらも、効率的な沸騰冷
却が可能とされる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例に係る沸騰冷却装置を示す
外観図。
【図2】上記沸騰冷却装置の断面構造を説明する図。
【図3】この発明の第2の実施例を説明するための図。
【図4】この発明の第3の実施例を説明するための図。
【図5】この発明の第4の実施例を説明するための図。
【図6】この発明の第5の実施例を説明するための図。
【図7】この発明の第6の実施例を説明するための図。
【図8】この発明の第7の実施例を説明するための側面
から見た断面図。
【図9】この発明の第8の実施例を説明するための図。
【図10】この発明の第9の実施例を説明するための
図。
【図11】この発明の第10の実施例を説明するための
図。
【図12】この発明の第11の実施例を説明するための
側面から見た断面構成図。
【図13】この発明の第12の実施例を説明するための
図。
【図14】この発明の第13の実施例を説明するための
図。
【図15】この発明の第14の実施例を説明するための
側面から見た断面構成図。
【図16】上記実施例の外観を示す図。
【図17】制御ボックスに収納されたこの発明の第15
の実施例を説明する断面構成図。
【図18】車両に搭載した第16の実施例を説明する
図。
【符号の説明】
11…冷却槽、12…放熱部、121 、122 、…放熱筒、13…
パワー素子、14…パワーパック、15…冷媒(水)、19…
熱伝導板、201 、202 、…、231 、232 、…、241 、24
2 、…放熱フィン、21…ルーバ、221 、222 、…案内
板。

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 壁面に冷却すべき発熱体が取り付けら
    れ、この発熱体の発生する熱で気化されるようにした冷
    媒を収納した冷却槽と、 一方の開口面が前記冷却槽に連通して上下方向に延びる
    ように取り付けられると共に、他方の開口面単独、ある
    いは他の開口面と連通して密閉して取り付けられた筒状
    の中空部材でなる放熱部材とを具備し、 この放熱部材は熱伝導性の良好な材料によって軸がほぼ
    上下方向に延びるように形成され、前記冷却槽内の冷媒
    が前記発熱体の熱で気化されて上昇し、前記放熱部材の
    中空部内で冷却されて液化されるようにしたことを特徴
    とする沸騰冷却装置。
  2. 【請求項2】 前記放熱部材は、前記冷却槽の上方に延
    びるように設定されて、断面がへこみを持つ中空部材に
    よって構成されるようにした請求項1記載の沸騰冷却装
    置。
  3. 【請求項3】 前記放熱部材は、前記冷却槽の上方に延
    びるように設定されて、偏平状の中空部材によって構成
    されるようにした請求項1記載の沸騰冷却装置。
  4. 【請求項4】 前記放熱部材は、前記冷却槽に配置され
    て傾斜して上下方向に延びるように設定された複数の中
    空部材によって構成されるようにした請求項1乃至3の
    いずれか1つに記載の沸騰冷却装置。
  5. 【請求項5】 前記放熱部は平行な状態で植立された複
    数の中空部材によって構成されて、この放熱部は熱交換
    流体によって冷却されるもので、この中空部材の相互間
    には上下方向に前記熱交換流体の流路が形成されるよう
    に、軸が前記放熱部とほぼ平行とされるようにした放熱
    フィンが介在されるようにした請求項1乃至4のいずれ
    か1つに記載の沸騰冷却装置。
  6. 【請求項6】 前記放熱部は平行な状態で植立された複
    数の中空部材によって構成されると共に、この放熱部は
    熱交換流体によって冷却されるようにしているもので、
    この中空部材の相互間には斜めの方向に前記熱交換流体
    の流路が形成されるように、軸が前記放熱部に対して斜
    めにされるようにした放熱フィンが介在されるようにし
    た請求項1乃至4のいずれか1つに記載の沸騰冷却装
    置。
  7. 【請求項7】 前記放熱フィンは、熱伝導性の良好な板
    材を上下方向に延びる線に添って折曲した波型成形部材
    によって構成されるようにした請求項5および6にいず
    れかに記載の沸騰冷却装置。
  8. 【請求項8】 前記放熱フィンは、その側面部に切り起
    こしによるルーバが形成されるようにした請求項5乃至
    7のいずれか1つに記載の沸騰冷却装置。
  9. 【請求項9】 前記放熱フィンは上下の方向に複数に分
    割して構成されるようにした請求項5乃至8のいずれか
    1つに記載の沸騰冷却装置。
  10. 【請求項10】 前記放熱フィンは上下の方向に複数に
    分割した複数のフィン単体で構成されるようにすると共
    に、その各フィン単体の相互間には傾斜した流体案内板
    が設定され、各フィン単体を通過した熱交換流体はその
    外部に排出されるようにした請求項5乃至8のいずれか
    1つに記載の沸騰冷却装置。
  11. 【請求項11】 前記放熱部は平行な状態で植立された
    複数の中空部材によって構成されると共に、この放熱部
    は熱交換流体によって冷却されるようにしているもので
    あり、前記中空部材の相互間には傾斜された放熱フィン
    を兼ねる複数の案内板が介在され、上下方向に延びる前
    記中空部材の外周面で斜め上下に向けた前後面を結ぶ前
    記熱交換流体の流路が形成されるようにした請求項1乃
    至4のいずれか1つに記載の沸騰冷却装置。
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