JPH08315633A - Manufacture of fine conductor - Google Patents
Manufacture of fine conductorInfo
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- JPH08315633A JPH08315633A JP7139989A JP13998995A JPH08315633A JP H08315633 A JPH08315633 A JP H08315633A JP 7139989 A JP7139989 A JP 7139989A JP 13998995 A JP13998995 A JP 13998995A JP H08315633 A JPH08315633 A JP H08315633A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、例えば電気、電子の分
野での電気信号の伝達に用いる微細な導体の製造方法に
係り、特にナノメートルから１ミクロンの径を持つ微細
な導体の製造方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a fine conductor used for transmitting electric signals in the fields of electricity and electronics, and particularly to a method for producing a fine conductor having a diameter of nanometer to 1 micron. It is about.
【０００２】[0002]
【従来の技術】電気、電子、通信の分野で用いられる電
子素子の集積化、微細化技術の更なる高度化が求められ
ている。また同時にこれらの素子間を電気的に接続する
微細な導体の作製技術の開発が必要となっている。2. Description of the Related Art There is a demand for further integration of electronic devices used in the fields of electricity, electronics, and communication and further miniaturization technology. At the same time, it is necessary to develop a technique for producing a fine conductor that electrically connects these elements.
【０００３】従来、微細径導線の製造方法の一つとし
て、カーボンナノチューブに金属または分子をインター
カレートする方法が提案されている。ここでカーボンナ
ノチューブは炭素原子で構成される複数のシートが同心
円筒状の構造を形成したものであり、その直径がナノメ
ートルから１ミクロン程度のものである。ナノチューブ
には完全に閉じた同心円筒構造をもつものとシートが完
全に閉じていないものがある。またインターカレーショ
ンはグラファイトなどの層状構造を有する物質の層間に
他の金属または化合物が挿入される現象であり、またこ
れらを挿入することをインターカレートするという。一
般にインターカレーションによりインターカレートした
金属または化合物から層状物質のシートに自由電子、あ
るいはホールが供給され、層状物質を金属化する。例え
ば同心円筒構造が不完全なカーボンナノチューブのイン
ターカレーションによる微細径導線の製造には、密閉さ
れた容器内で他の金属または化合物を加熱することによ
ってインターカレーションが起こり得る蒸気圧以上の蒸
気圧を発生させ、その蒸気中にナノチューブを曝す方法
が用いられてきた（特願平５−１１２５５９号公報、特
開平６−３２５６２３号公報）。しかし、この方法には
以下のような問題点があることを知見した。Conventionally, a method of intercalating a metal or a molecule into a carbon nanotube has been proposed as one of the methods for producing a fine wire. Here, the carbon nanotube has a structure in which a plurality of sheets composed of carbon atoms form a concentric cylindrical structure, and has a diameter of about nanometer to 1 micron. Some nanotubes have a completely closed concentric cylinder structure and some do not have a completely closed sheet. Further, intercalation is a phenomenon in which another metal or compound is inserted between layers of a substance having a layered structure such as graphite, and the insertion of these is called intercalation. Generally, free electrons or holes are supplied from a metal or compound intercalated by intercalation to a sheet of a layered material to metallize the layered material. For example, in the production of fine wire by intercalation of carbon nanotubes with incomplete concentric cylindrical structure, heating other metals or compounds in a sealed container causes vaporization above the vapor pressure at which intercalation can occur. A method of generating a pressure and exposing the nanotubes to the vapor has been used (Japanese Patent Application No. 5-112559 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-325623). However, we have found that this method has the following problems.
【０００４】１．反応容器内が金属、または化合物の蒸
気で満たされるためインターカレーションに専用の容器
を用意する必要があり、更にその中に金属または化合
物、並びにナノチューブを封入し、また反応に必要な蒸
気圧を得るために、金属または化合物を適当な温度に保
って加熱する必要がある。これらのことから、簡便な手
法によりインターカレーションさせることができない。1. Since the inside of the reaction vessel is filled with the vapor of the metal or compound, it is necessary to prepare a dedicated vessel for intercalation. Further, the metal or the compound and the nanotube are enclosed in the vessel, and the vapor pressure required for the reaction is adjusted. To obtain it, it is necessary to heat the metal or compound while maintaining it at a suitable temperature. For these reasons, intercalation cannot be performed by a simple method.
【０００５】２．従来の方法では金属あるいは化合物が
ナノチューブにインターカレートし得るためには、ナノ
チューブの円筒面を構成するカーボンシートの端部が必
要である。更にインターカレーションにより、ナノチュ
ーブを構成する隣り合うシート面間の間隔が広がる必要
がある。これらのため、従来の方法では、完全に閉じた
円筒面から形成されるナノチューブ、あるいは完全な閉
殻構造を有するグラファイト微粒子ではインターカレー
ションによる金属化を起こすことができない。[0005] 2. In the conventional method, the end portion of the carbon sheet forming the cylindrical surface of the nanotube is necessary in order that the metal or compound can intercalate into the nanotube. Furthermore, it is necessary to widen the distance between the adjacent sheet surfaces forming the nanotube by intercalation. For these reasons, the conventional method cannot cause metallization by intercalation with nanotubes formed from a completely closed cylindrical surface or graphite fine particles having a completely closed shell structure.
【０００６】３．更に従来の方法では容器内の全てのナ
ノチューブがインターカレートする金属または化合物の
蒸気に曝されるため、金属化の局所的な制御を行うこと
ができない。[0006] 3. Furthermore, conventional methods do not allow local control of metallization because all nanotubes in the vessel are exposed to intercalating metal or compound vapors.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】上で述べたように、従
来のナノチューブ、またはグラファイト微粒子のインタ
ーカレーションによる微細な導体の製造方法では、イン
ターカレーションのために専用の容器を用意し、その中
にインターカレートする物質、及びナノチューブまたは
グラファイト微粒子を封入し、それらを適度に加熱する
必要があった。従って簡便な手法によりインターカレー
ションさせることができなかった。As described above, in the conventional method for producing a fine conductor by intercalation of nanotubes or graphite fine particles, a dedicated container is prepared for intercalation, and It was necessary to enclose the substance to be intercalated and the nanotube or graphite fine particles therein and heat them appropriately. Therefore, it was not possible to intercalate by a simple method.
【０００８】また、完全に閉じた円筒面を有するナノチ
ューブ、または完全な閉殻構造を有するグラファイト微
粒子を導線化することができなかった。Further, it has not been possible to convert a nanotube having a completely closed cylindrical surface or graphite fine particles having a completely closed shell structure into a wire.
【０００９】更に、従来の方法では容器内の全てのナノ
チューブ、またはグラファイト微粒子の全ての部分が等
しくインターカレートする金属または化合物の蒸気圧中
に曝されるため、局所的な金属化の制御をすることがで
きなかった。In addition, conventional methods expose all nanotubes in the vessel, or all portions of the graphite particles, to the vapor pressure of the equally intercalating metal or compound, thus providing localized control of metallization. I couldn't.
【００１０】本発明の目的はこれらの問題点を解決した
微細な導体の製造方法を提供することにある。An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a fine conductor which solves these problems.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】本発明の微細な導体の製
造方法の第一は、ナノチューブまたはグラファイト微粒
子の表面に、金属または化合物を真空中あるいは希ガス
雰囲気中で堆積し、前記金属または化合物をナノチュー
ブまたはグラファイト微粒子の面間にインターカレート
することを特徴とする。The first of the methods for producing a fine conductor of the present invention is to deposit a metal or compound on the surface of nanotube or graphite fine particles in a vacuum or in a rare gas atmosphere. Is intercalated between the surfaces of the nanotubes or graphite particles.
【００１２】本発明の微細な導体の製造方法の第二は、
前記第一の方法において、ナノチューブ、またはグラフ
ァイト微粒子に金属または化合物を真空中、または希ガ
ス中で堆積し、これに放射線を照射することにより、前
記金属または化合物を積層構造を有するナノチューブ、
またはグラファイト微粒子の面間にインターカレートす
ることを特徴とする。The second method for producing a fine conductor of the present invention is
In the first method, a nanotube or a nanotube having a laminated structure of a metal or a compound is deposited on a fine graphite particle in a vacuum or in a rare gas, and the metal or the compound is irradiated with radiation,
Alternatively, it is characterized by intercalating between the surfaces of the graphite fine particles.
【００１３】本発明の微細な導体の製造方法の第三は、
前記第一の方法において、ナノチューブ、またはグラフ
ァイト微粒子に金属または化合物を真空中、または希ガ
ス中で堆積し、これに電子顕微鏡内で電子線を照射し、
前記金属または化合物を積層構造を有するナノチュー
ブ、またはグラファイト微粒子の面間へのインターカレ
ーションを局所的に制御することを特徴とする。The third method of producing a fine conductor of the present invention is
In the first method, a metal or a compound is deposited on a nanotube or a graphite fine particle in a vacuum or in a rare gas, and an electron beam is irradiated on this in an electron microscope.
It is characterized in that the metal or compound is locally controlled for intercalation between planes of nanotubes or graphite fine particles having a laminated structure.
【００１４】[0014]
【作用】本発明の第一の微細な導体の製造法によりナノ
チューブ、またはグラファイト微粒子の表面に金属また
は化合物を真空中、または希ガス中で堆積する。前記金
属または化合物は不完全な円筒構造を有するナノチュー
ブの円筒面間、あるいは不完全な閉殻構造を有するグラ
ファイト微粒子のシート面間に表面から内部に向かって
拡散によりインターカレートする。インターカレーショ
ンにより生成した化合物は真空中、希ガス中では変質し
ない。インターカレートした前記金属または化合物は電
子または正孔をナノチューブの円筒面に供給する。この
電子、または正孔は円筒面内を自由に移動できる。本手
法によれば、金属、または化合物の堆積時に容器内を金
属、または化合物の蒸気に曝す必要はなく、特に専用の
容器を用意する必要はない。また金属または化合物を堆
積した後、特に加熱の必要もない。従って本発明の目的
である簡便な手法による微細な導体の製造方法を提供す
ることができる。According to the first method for producing a fine conductor of the present invention, a metal or compound is deposited on the surface of nanotubes or graphite fine particles in vacuum or in a rare gas. The metal or compound is intercalated from the surface to the inside by diffusion between the cylindrical surfaces of the nanotubes having an incomplete cylindrical structure or between the sheet surfaces of the graphite fine particles having an incomplete closed shell structure. The compound produced by intercalation does not deteriorate in a vacuum or a rare gas. The intercalated metal or compound supplies electrons or holes to the cylindrical surface of the nanotube. The electrons or holes can move freely in the cylindrical surface. According to this method, it is not necessary to expose the inside of the container to the vapor of the metal or the compound when depositing the metal or the compound, and it is not necessary to prepare a special container. Also, no special heating is required after depositing the metal or compound. Therefore, it is possible to provide a method for producing a fine conductor by a simple method which is an object of the present invention.
【００１５】本発明の第二の微細径導線の製造法により
真空中で金属または化合物が堆積された完全な円筒構造
を有するナノチューブ、または完全な閉殻構造を有する
グラファイト微粒子に放射線を照射する。照射する放射
線のエネルギーがナノチューブ、またはグラファイト微
粒子を形成する原子同士の結合を切断するのに十分な場
合、円筒、または閉殻が部分的に破断される。この破断
により各円筒、または各閉殻面の間隔が広がり得るよう
になり、また破断箇所から前記金属または化合物がナノ
チューブ、またはグラファイト微粒子にインターカレー
トすることが可能になるため、完全な円筒構造を有する
ナノチューブ、または完全な閉殻構造を有するグラファ
イト微粒子でも金属または化合物をインターカレートす
ることが可能になる。従って本発明の目的である完全な
円筒構造を有するナノチューブ、または完全な閉殻構造
を有するグラファイト微粒子の金属化を達成できる。ま
た、円筒、または閉殻の破断後の前記金属または化合物
のナノチューブ、またはグラファイト微粒子内への拡散
には放射線の照射によって発生する熱が寄与している。According to the second method for producing a fine wire according to the present invention, a nanotube having a perfect cylindrical structure or a fine graphite particle having a perfect closed shell structure, on which a metal or a compound is deposited, is irradiated in a vacuum. When the energy of the irradiation radiation is sufficient to break the bonds between the atoms forming the nanotubes or graphite particles, the cylinder or closed shell is partially broken. By this fracture, the distance between the cylinders or the closed shell surfaces can be expanded, and the metal or compound can intercalate into the nanotubes or the graphite fine particles from the fracture site, so that a complete cylindrical structure can be obtained. It is possible to intercalate a metal or compound even with the nanotubes or the graphite fine particles having a completely closed shell structure. Therefore, the metallization of nanotubes having a perfect cylindrical structure or graphite fine particles having a perfect closed shell structure, which is the object of the present invention, can be achieved. Further, heat generated by irradiation of radiation contributes to the diffusion of the metal or compound into the nanotubes or the graphite fine particles after the breakage of the cylinder or the closed shell.
【００１６】本発明の第三の微細径導線の製造法により
金属または化合物が堆積されたナノチューブ、またはグ
ラファイト微粒子に電子顕微鏡内で電子線を照射する。
これにより上に述べたように金属、または化合物がナノ
チューブ、またはグラファイト微粒子にインターカレー
トする。このとき個々のナノチューブ、またはグラファ
イト微粒子、あるいはその各場所のインターカレーショ
ンの様子を電子顕微鏡像で観察できるので、電子線の照
射場所、その強度、またはエネルギーを制御することに
より、インターカレーションの局所的な制御を行うこと
ができる。また表面に付着した余分な金属、または化合
物は適当な加熱処理により昇華させることができる。従
って本発明の目的である局所的な電気伝導度の制御が可
能な微細な導体の製造方法を提供することができる。Nanotubes or graphite fine particles on which a metal or a compound is deposited by the third method for producing a fine wire according to the present invention are irradiated with an electron beam in an electron microscope.
This causes the metal or compound to intercalate into the nanotube or graphite particles, as described above. At this time, it is possible to observe the state of intercalation of individual nanotubes, graphite fine particles, or their respective locations with an electron microscope image. Therefore, by controlling the electron beam irradiation location, its intensity, or energy, the intercalation Local control can be performed. Further, excess metal or compound attached to the surface can be sublimated by an appropriate heat treatment. Therefore, it is possible to provide a method for producing a fine conductor capable of controlling the local electric conductivity, which is the object of the present invention.
【００１７】[0017]
（実施例１）図１は本発明の第一の実施例を説明する図
であって、１１は真空槽、１２は電流導入端子、１３は
カリウム蒸着源、１４は不完全な円筒構造を有するカー
ボンナノチューブ、１５は試料ホルダ、１６は不要な部
分へのポタシウムの蒸着を避けるための先端に穴をあけ
たガラス管である。(Embodiment 1) FIG. 1 is a diagram for explaining a first embodiment of the present invention, in which 11 is a vacuum chamber, 12 is a current introducing terminal, 13 is a potassium vapor deposition source, and 14 is an incomplete cylindrical structure. A carbon nanotube, 15 is a sample holder, and 16 is a glass tube having a hole at its tip to avoid vapor deposition of potassium on unnecessary portions.
【００１８】電源を電流導入端子１２に接続し、カリウ
ム蒸着源１３を通電加熱してカーボンナノチューブ１５
にカリウムを１０ｎｍ蒸着した。カリウム蒸着後、真空
中、室温で１０日間放置することによってカリウムがカ
ーボンナノチューブ１４にインターカレートし、微細な
導線が製造できた。A carbon power source is connected to the current introducing terminal 12 and the potassium vapor deposition source 13 is electrically heated to heat the carbon nanotubes 15.
Was evaporated to a thickness of 10 nm. After depositing potassium, the carbon nanotubes 14 were intercalated with potassium by leaving it in a vacuum for 10 days at room temperature, and a fine conductor wire could be manufactured.
【００１９】以上の点から明らかなように、本発明によ
れば、インターカレーションに専用の容器を用意するこ
となく、真空蒸着という簡便な手法により微細な導体の
製造が可能になった。As is clear from the above points, according to the present invention, it is possible to manufacture a fine conductor by a simple technique such as vacuum deposition without preparing a container dedicated to intercalation.
【００２０】図２に本実施例により作製したカーボンナ
ノチューブの透過電子顕微鏡像を示す。表面から１０ナ
ノメートル程度の深さまでインターカレーションにより
面間隔が広がっていることがわかる。FIG. 2 shows a transmission electron microscope image of the carbon nanotubes produced in this example. It can be seen that the interplanar spacing extends from the surface to a depth of about 10 nm by intercalation.
【００２１】インターカレートする金属または化合物と
してはカリウムの他にリナウム、ルビジウム、セシウ
ム、カルシウム、バリウム、塩化鉄、塩化銅などが考え
られる。As the intercalating metal or compound, in addition to potassium, linium, rubidium, cesium, calcium, barium, iron chloride, copper chloride and the like can be considered.
【００２２】インターカレートされる微小物質としては
カーボンナノチューブの他に六方晶窒化ホウ素など他の
層状物質で形成されたナノチューブ、微粒子が考えられ
る。As the minute substance to be intercalated, there can be considered nanotubes and fine particles formed of other layered substances such as hexagonal boron nitride in addition to carbon nanotubes.
【００２３】インターカレートする金属または化合物の
堆積法としては、蒸着の他にスパッタリングなども使用
できる。As a method for depositing the metal or compound for intercalating, sputtering or the like can be used in addition to vapor deposition.
【００２４】インターカレートする金属または化合物を
堆積する前に、ナノチューブを大気中で８００℃の加熱
を５分行うなどの処理により、あらかじめナノチューブ
の欠陥密度を増加させておくことによりインターカレー
ションを促進することができる。Before depositing the metal or compound to be intercalated, the nanotubes are heated in air at 800 ° C. for 5 minutes to increase the defect density of the nanotubes for intercalation. Can be promoted.
【００２５】また、インターカレートする金属または化
合物を堆積したナノチューブ、またはグラファイト微粒
子を、適度に加熱することにより、金属、または化合物
の拡散を促進し、インターカレーションを促進できる。Further, by appropriately heating the nanotube or graphite fine particles on which the metal or compound to be intercalated is deposited, diffusion of the metal or compound can be promoted and intercalation can be promoted.
【００２６】（実施例２）図３は本発明の第二の実施例
を説明する図であって、３１は電子銃、３２はカリウム
蒸着源、３３は不要な部分へのポタシウムの蒸着を避け
るための先端に穴をあけたガラス管、３４は完全な閉殻
構造を有するグラファイト微粒子である。(Embodiment 2) FIG. 3 is a view for explaining a second embodiment of the present invention, in which 31 is an electron gun, 32 is a potassium vapor deposition source, and 33 is vapor deposition of unnecessary portions on potassium. A glass tube having a hole at its tip for the purpose, and 34 is graphite fine particles having a completely closed shell structure.
【００２７】カリウム蒸着源３２に通電加熱を行い、グ
ラファイト微粒子３４にカリウムを１０ｎｍ真空蒸着し
た。このグラファイト微粒子は閉殻構造を有しており、
図４に示すようにポタシウムを蒸着してから１０日後も
インターカレーションは起こらなかった。その後、電子
銃３１により２００ｋＶに加速した電流密度０．１Ａｍ
2の電子線をグラファイト微粒子３４に３０秒間照射し
た。なお、グラファイト中のカーボン原子の結合は約１
４０ｋＶ以上に加速された電子線により切断される。照
射によりカリウムがグラファイト面間にインターカレー
トされ、完全な閉殻構造を有するグラファイト微粒子３
４の金属化を達成できた。Electric current was applied to the potassium vapor deposition source 32 to vacuum deposit 10 nm of potassium on the graphite fine particles 34. The fine graphite particles have a closed shell structure,
As shown in FIG. 4, intercalation did not occur even 10 days after the deposition of potassium. After that, the current density accelerated by the electron gun 31 to 200 kV was 0.1 Am.
The graphite fine particles 34 were irradiated with the electron beam of 2 for 30 seconds. The bond of carbon atoms in graphite is about 1
It is cut by the electron beam accelerated to 40 kV or more. By irradiation, potassium is intercalated between graphite surfaces, and graphite fine particles 3 having a completely closed shell structure 3
A metallization of 4 could be achieved.
【００２８】インターカレーション後のグラファイト微
粒子の透過電子顕微鏡像を図５に示す。以上の点から明
らかなように、本発明により完全な閉殻構造を有するグ
ラファイト微粒子の金属化を達成できた。A transmission electron microscope image of the graphite fine particles after intercalation is shown in FIG. As is clear from the above points, the present invention has made it possible to achieve metallization of graphite fine particles having a completely closed shell structure.
【００２９】放射線の種類としては、電子線の他にもα
線、γ線、中性子線、イオン線などが考えられる。The types of radiation include α and α
Rays, γ rays, neutron rays, ion rays, etc. are considered.
【００３０】（実施例３）図６は本発明の第三の実施例
を説明する図であって、６１はカリウムを１０ｎｍ蒸着
したカーボンナノチューブ、６２は電子ビームである。
図６に示すように顕微鏡像を観察しながら特定のカーボ
ンナノチューブの特定の箇所に電子線を照射することに
より、当該箇所のみをインターカレーションさせること
ができる。その後、カーボンナノチューブの表面に付着
した余分なカリウムを１００ｋＶの電子線照射による加
熱により昇華させる。これにより局所的な金属化を達成
することができた。(Embodiment 3) FIG. 6 is a diagram for explaining a third embodiment of the present invention, in which 61 is a carbon nanotube in which potassium is evaporated to a thickness of 10 nm, and 62 is an electron beam.
By irradiating a specific portion of a specific carbon nanotube with an electron beam while observing a microscope image as shown in FIG. 6, it is possible to intercalate only that portion. After that, excess potassium attached to the surface of the carbon nanotube is sublimated by heating with electron beam irradiation of 100 kV. This allowed local metallization to be achieved.
【００３１】[0031]
【発明の効果】以上述べたように本発明の第一によれ
ば、簡便な手法により微細な導体を製造することができ
る。As described above, according to the first aspect of the present invention, a fine conductor can be manufactured by a simple method.
【００３２】本発明の第二によれば、閉じた円筒面を有
するナノチューブ、あるいは閉殻構造を有するグラファ
イト微粒子の金属化を達成できる。According to the second aspect of the present invention, it is possible to achieve metallization of nanotubes having a closed cylindrical surface or graphite fine particles having a closed shell structure.
【００３３】また本発明の第三によれば、ナノチュー
ブ、またはグラファイト微粒子の局所的な金属化の制御
を行うことができる。According to the third aspect of the present invention, it is possible to control the local metallization of nanotubes or graphite fine particles.
【図１】本発明の第一の実施例を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の第一の実施例により製造した微細な径
を有する導線の透過電子顕微鏡像である。FIG. 2 is a transmission electron microscope image of a conductor having a fine diameter manufactured according to the first embodiment of the present invention.
【図３】本発明の第二の実施例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a second embodiment of the present invention.
【図４】電子線を照射による金属化を行う前に撮影した
グラファイト微粒子の透過電子顕微鏡像である。FIG. 4 is a transmission electron microscope image of graphite fine particles photographed before metallization by irradiation with an electron beam.
【図５】電子線照射による金属化を行った後に撮影した
図４に示したグラファイト微粒子の透過電子顕微鏡像で
ある。5 is a transmission electron microscope image of the graphite fine particles shown in FIG. 4 taken after metallization by electron beam irradiation.
【図６】本発明の第三の実施例を説明する図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a third embodiment of the present invention.
１１ 真空容器、 １２ 電流導入端子、 １３ カリウム蒸着源、 １４ カーボンナノチューブ、 １５ 試料ホルダ、 １６ ガラス管、 ３１ 電子銃、 ３２ カリウム蒸着源、 ３３ ガラス管、 ３４ グラファイト微粒子、 ６１ カリウムを１０ｎｍ蒸着したグラファイト微粒
子、 ６２ 電子ビーム。11 vacuum container, 12 current introduction terminal, 13 potassium vapor deposition source, 14 carbon nanotube, 15 sample holder, 16 glass tube, 31 electron gun, 32 potassium vapor deposition source, 33 glass tube, 34 graphite fine particles, 61 graphite with 10 nm vapor deposition of potassium Fine particles, 62 electron beam.
Claims (3)
の表面に、金属または化合物を真空中あるいは希ガス雰
囲気中で堆積し、前記金属または化合物をナノチューブ
またはグラファイト微粒子にインターカレートすること
を特徴とする微細な導体の製造方法。1. A fine conductor characterized in that a metal or compound is deposited on the surface of nanotube or graphite fine particles in a vacuum or in a rare gas atmosphere, and the metal or compound is intercalated into the nanotube or graphite fine particles. Manufacturing method.
化合物をナノチューブまたはグラファイト微粒子にイン
ターカレートすることを特徴とする請求項１記載の微細
な導体の製造方法。2. The method for producing a fine conductor according to claim 1, wherein the metal or compound is intercalated into the nanotube or graphite fine particles by irradiating with radiation.
より金属または化合物をナノチューブまたはグラファイ
ト微粒子にインターカレートすることを特徴とする請求
項１記載の微細な導体の製造方法。3. The method for producing a fine conductor according to claim 1, wherein the metal or the compound is intercalated into the nanotube or graphite fine particles by irradiating an electron beam in an electron microscope.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7139989A JPH08315633A (en) | 1995-05-15 | 1995-05-15 | Manufacture of fine conductor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7139989A JPH08315633A (en) | 1995-05-15 | 1995-05-15 | Manufacture of fine conductor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08315633A true JPH08315633A (en) | 1996-11-29 |
Family
ID=15258352
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7139989A Pending JPH08315633A (en) | 1995-05-15 | 1995-05-15 | Manufacture of fine conductor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08315633A (en) |
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