JPH08313094A - 蓄冷式冷凍機 - Google Patents

蓄冷式冷凍機

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JPH08313094A
JPH08313094A JP11749795A JP11749795A JPH08313094A JP H08313094 A JPH08313094 A JP H08313094A JP 11749795 A JP11749795 A JP 11749795A JP 11749795 A JP11749795 A JP 11749795A JP H08313094 A JPH08313094 A JP H08313094A
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JP
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pulse tube
refrigerator
stage
regenerator
cold storage
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JP11749795A
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English (en)
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Toru Kuriyama
透 栗山
Hideki Nakagome
秀樹 中込
Yasumi Otani
安見 大谷
Tatsuya Yoshino
達哉 吉野
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】最終段に位置する冷却部の冷凍能力を向上でき
る蓄冷式冷凍機を提供する。 【構成】蓄冷器を複数段備えて複数段膨張方式を採用す
る蓄冷式冷凍機において、最低温度を発生させる最終段
冷却部52がパルスチューブ冷凍機を構成しており、パ
ルスチューブ冷凍機におけるパルスチューブ67の高温
端が実質的に常温部まで延びている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、蓄冷器を複数段備えて
複数段膨張方式を採用する蓄冷式冷凍機に関する。
【0002】
【従来の技術】周知のように、現在実用化されている超
電導磁石装置の多くは、断熱容器内に超電導コイルと液
体ヘリウムで代表される極低温冷媒とを一緒に収容する
浸漬冷却方式を採用するとともに断熱容器の断熱層中に
設けられたサーマルシールドを極低温冷凍機で冷却する
方式を採用している。また、最近では断熱容器内に収容
された超電導コイルを極低温冷凍機で直接的に冷却する
冷凍機直冷方式の超電導磁石装置も実用化されつつあ
る。このような超電導磁石装置では、小型で、しかも十
分に低い到達温度が得られるなどの理由から、極低温冷
凍機として蓄冷式冷凍機を用いているものが多い。
【0003】このような蓄冷式冷凍機は、通常、蓄冷器
を複数段備えて複数段膨張方式を採用するとともに冷却
系統全体への高圧ガスの導入および上記冷却系統全体か
らのガス排出を交互に行うガス制御系を常温部に備えて
いる。その代表的なものとしてギフォード・マクマホン
冷凍サイクルを採用した蓄冷式冷凍機を挙げることがで
きる。
【0004】図4にはギフォード・マクマホン冷凍サイ
クルを採用した2段膨張式の蓄冷式冷凍機の概略構成が
示されている。この冷凍機は、たとえばヘリウムガスを
冷却するコールドヘッド1とガス制御系2とで構成され
ている。
【0005】コールドヘッド1では、閉じられたシリン
ダ11内に断熱材で形成されたディスプレーサ12が往
復動自在に収納されている。シリンダ11は、大径の第
1シリンダ14と、この第1シリンダ14に同軸接続さ
れた小径の第2シリンダ15とで構成されている。な
お、第1シリンダ14および第2シリンダ15は、通
常、薄いステンレス鋼板等で形成される。
【0006】第1および第2シリンダ14,15内に
は、第1段および第2段冷却ステージ16,17が設け
られている。すなわち、第1シリンダ14のヘッド壁部
分に圧縮された冷媒ガスを膨張させて寒冷を発生する第
1段冷却ステージ16が設けられ、また第2シリンダ1
5のヘッド壁部分に圧縮された冷媒ガスを膨張させて第
1段冷却ステージ16よりも低温の寒冷を発生する第2
段冷却ステージ17が設けられている。
【0007】ディスプレーサ12は、第1シリンダ14
内を往復動する第1ディスプレーサ18と、第2シリン
ダ15内を往復動する第2ディスプレーサ19とから構
成されている。第1ディスプレーサ18と第2ディスプ
レーサ19とは、連結機構20によって軸方向に連結さ
れている。
【0008】第1ディスプレーサ18の内部には第1段
の蓄冷器を構成するための流体通路21が軸方向に形成
されており、この流体通路21にはたとえば銅で作られ
たメッシュ構造の蓄冷材22が収容されている。同様
に、第2ディスプレーサ19の内部には第2段(最終
段)の蓄冷器を構成するための流体通路23が形成され
ており、この流体通路23にはたとえば鉛あるいはEr
3 Ni等のような磁気相転移に伴う異常磁気比熱等を利
用した磁性蓄冷材からなる蓄冷材24が収容されてい
る。
【0009】第1ディスプレーサ18の外周面上部と第
1シリンダ14の内周面との間および第2ディスプレー
サ19の外周面と第2シリンダ15の内周面との間に
は、それぞれシール装置25,26が装着されている。
【0010】第1ディスプレーサ18の上端は、連結ロ
ッド31、スコッチヨークあるいはクランク軸32等を
介してモータ13の回転軸に連結されている。したがっ
て、モータ13が回転すると、この回転に同期してディ
スプレーサ12が図中実線矢印33で示すように往復動
する。
【0011】第1シリンダ14の上部側壁にはヘリウム
ガスの導入口34および排出口35が設けてあり、これ
ら導入口34および排出口35は、ガス制御系2に接続
されている。
【0012】ガス制御系2は、排出口35を低圧弁3
6,コンプレッサ37,高圧弁38を介して導入口34
に接続している。低圧弁36および高圧弁38は、モー
タ13の回転に同期して後述する関係に開閉制御され
る。このガス制御系2は、シリンダ11を経由するヘリ
ウムガス循環系を構成している。すなわち、低圧(約8
atm)のヘリウムガスをコンプレッサ37で高圧(約
20atm)に圧縮してシリンダ11内に送り込む動作
と、シリンダ11内のヘリウムガスを排気する動作とを
交互に行うようにしている。なお、図中41は、この冷
凍機が取付けられる断熱容器の外壁を示している。
【0013】このように構成された蓄冷式冷凍機の冷凍
動作を簡単に説明すると、以下の通りである。寒冷の発
生は第1段冷却ステージ16および第2段冷却ステージ
17で行われる。第1段冷却ステージ16は、熱負荷の
ない理想状態では30K程度まで冷却される。また、第
2段冷却ステージ17は、蓄冷材24として鉛を用いた
場合には8K程度まで、Er3 Ni等のような磁性蓄冷
材を用いた場合には4K程度まで冷却される。したがっ
て、第1ディスプレーサ18の上下端間には常温(30
0K)から30Kまでの温度勾配が生じ、また第2ディ
スプレーサ19の上下端間には30Kから8K(4K)
までの温度勾配が生じる。勿論、第1および第2段冷却
ステージ16,17の温度は熱負荷によって変化する。
【0014】モータ13が回転を開始すると、ディスプ
レーサ12が下死点(図中最上点)と上死点(図中最下
点)との間を往復動する。ディスプレーサ12が上死点
に達した時点で高圧弁38が開き、高圧ヘリウムガスが
コールドヘッド1内に流入し、次にディスプレーサ12
が下死点へと移動する。
【0015】前述の如く、第1ディスプレーサ18の外
周面と第1シリンダ14の内周面との間および第2ディ
スプレーサ19の外周面と第2シリンダ15の内周面と
の間にはそれぞれシール装置25,26が装着されてい
るので、ディスプレーサ12が下死点に向かうと、高圧
ヘリウムガスが第1ディスプレーサ18に形成された流
体通路21および第2ディスプレーサ19に形成された
流体通路23を通って第1ディスプレーサ18と第1シ
リンダ14のヘッド壁との間に形成された第1段膨張室
39および第2ディスプレーサ19と第2シリンダ15
のヘッド壁との間に形成された第2段膨張室40へと流
れる。この流れに伴って、高圧ヘリウムガスは、蓄冷材
22,24によって冷却され、第1段膨張室39に流れ
込んだ高圧ヘリウムガスは30K程度に、また第2段膨
張室40に流れ込んだ高圧ヘリウムガスはたとえば8K
程度に冷却される。
【0016】ここで、ディスプレーサ12が下死点に達
すると、高圧弁38が閉じ、低圧弁36が開く。このよ
うに低圧弁36が開くと、第1段膨張室39内および第
2段膨張室40内の高圧ヘリウムガスが断熱膨張して寒
冷を発生する。この寒冷によって第1段冷却ステージ1
6が外部から吸熱し、また第2段冷却ステージ17も外
部から吸熱する。そして、ディスプレーサ12が再び上
死点へと移動すると、これに伴って第1段膨張室39内
および第2段膨張室40内の低温のヘリウムガスが流体
通路21,23内を通過し、この通過の際に蓄冷材2
2,24を冷却する。温度の上昇したヘリウムガスは、
コールドヘッド1から低圧弁36を介してコンプレッサ
37へと排出される。
【0017】上述したサイクルが繰り返されて冷凍運転
が実行される。このタイプの冷凍機は、断熱容器の断熱
槽内に配置されているサーマルシールドの冷却、超電導
コイルの直接冷却、赤外線センサの冷却、クライオソー
プションポンプの冷却源として使用される。
【0018】このように構成された従来の蓄冷式冷凍機
にあっては次のような問題のあることが指摘されてい
る。すなわち、シール装置25は常温部と第1段膨張室
39との間においてヘリウムガスが第1シリンダ14と
第1ディスプレーサ18との間の隙間を通して流れるの
を防止し、またシール装置26は第1段膨張室39と第
2段膨張室40との間においてヘリウムガスが第2シリ
ンダ15と第2ディスプレーサ19との間の隙間を通し
て流れるのを防止している。これらのシール装置25,
26では、ヘリウムガスの純度(99.99%)の維持および凍
結による動作不良を防止するために潤滑油を用いること
はできない。
【0019】ここで、第1段膨張室39内の温度が30
K、第2段膨張室40内の温度が10Kである場合を例
にとると、シール装置26の部分で漏れが生じると、3
0Kのヘリウムガスが第2ディスプレーサ19内の蓄冷
材24に接触することなく第2段膨張室40内に入り、
また逆に10Kのヘリウムガスが第1段膨張室39内に
入ることになる。この結果、第1段冷却ステージ16の
温度が下降し、第2段冷却ステージ17の温度が上昇し
てしまうことになる。
【0020】なお、シール装置25の部分で漏れが生じ
ると、同様の現象が第1シリンダ14の上部空間と第1
段膨張室39との間で生じ、第1段冷却ステージ16の
温度上昇を招く。しかし、シール装置26の方が、極低
温部に位置しているために漏れ低減が困難なこと、第1
段冷却ステージ16に比べて第2段冷却ステージ17で
の寒冷発生量が少ないことなどからその影響が非常に大
きい。
【0021】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来の蓄
冷式冷凍機にあっては、極低温部に摺動シール要素が設
けられているので、このシール部での漏れによって冷凍
性能が著しく低下し、安定した冷凍性能を保つことが本
質的に困難であった。そこで本発明は、上述した不具合
を解消できる蓄冷式冷凍機を提供することを目的として
いる。
【0022】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、複数段の蓄冷器および膨張機を備えた蓄
冷式冷凍機において、少なくとも最低温度を発生させる
最終段が膨張機としてのパルスチューブを備えたパルス
チューブ冷凍機で構成されており、前記パルスチューブ
の高温端が実質的に常温部まで延出していることを特徴
としている。
【0023】なお、前記パルスチューブ冷凍機の位相制
御機構を常温部に設けることが好ましい。また、前記パ
ルスチューブの前記高温端側の内部に蓄冷材を収容して
熱侵入抑制部を形成することが好ましい。さらに、前記
パルスチューブの高温端側を前記位相制御機構の動作に
連動して開閉する弁を介して上記位相制御機構に通じさ
せてもよい。また、前記パルスチューブの高温端側を常
温部に設けられたバッファータンクおよび前記蓄冷式冷
凍機の第1段冷却部におけるガス導入排出部の少なくと
も一方に流量絞り要素を介して通じさせてもよい。さら
にまた前記蓄冷式冷凍機の少なくとも1段目は、冷凍サ
イクルがギフォード・マクマホン冷凍サイクル、スター
リング冷凍サイクル、修正型ソルベー冷凍サイクルのい
ずれかに構成されていてもよい。
【0024】
【作用】冷却系統における最終段冷却部がパルスチュー
ブ冷凍機に構成されている。パルスチューブ冷凍機は、
可動部分が全く存在していないので、摺動シール要素も
必要としない。したがって、摺動シール要素の存在によ
って起こる冷凍能力の低下を防止することが可能とな
る。
【0025】また、パルスチューブ冷凍機におけるパル
スチューブの高温端を実質的に常温部に位置させる構成
を採用しているので、パルスチューブ冷凍機で必要な位
相制御、つまり圧力変化位相とガスの変位位相との間に
所定の位相差を持たせるための機構を容易に設けること
ができる。つまり、パルスチューブ冷凍機の位相制御機
構を常温部に配置しているので、操作性、メンテナンス
の容易性、信頼性等が向上する。
【0026】
【実施例】以下、図面を参照しながら実施例を説明す
る。図1には本発明の一実施例に係る蓄冷式冷凍機の概
略構成が示されている。なお、この図では図4と同一機
能部分が同一符号で示されている。したがって、重複す
る部分の詳しい説明は省略する。
【0027】この蓄冷式冷凍機は、2段膨張式を採用し
たもので、コールドヘッド1aと、ガス制御系2aとで
構成されている。なお、ガス制御系2はコールドヘッド
1a内に配置することが可能であるが、説明の都合上図
1においてはコールドヘッド1aの外に描いている。
【0028】コールドヘッド1aは、第1段冷却部51
と、これに直列に接続された第2段冷却部52とで構成
されている。第1段冷却部51は第4図に示した従来の
ものと同じギフォード・マクマホン冷凍サイクルを採用
しており、また第2段冷却部52はパルスチューブ冷凍
サイクルを採用している。
【0029】第2段冷却部52は次のように構成されて
いる。すなわち、シリンダ14のヘッド壁にシリンダ1
4内に通じる関係に配管61の一端側を接続し、この配
管61の他端側を第2段の蓄冷器62の一方の接続口に
接続している。第2段の蓄冷器62は、断熱材で形成さ
れた容器63と、この容器63内に収容されたEr3
i等からなる磁気相転移に伴う異常磁気比熱等を利用し
た磁性蓄冷材64とで構成されている。そして、第2段
の蓄冷器62の他方の接続口は、第2段冷却ステージ6
5を構成する吸熱管66を介してパルスチューブ67の
一端側に接続されている。
【0030】このパルスチューブ67は、吸熱管66よ
り大径に形成されてシリンダ14の軸心線と平行に第1
段冷却ステージ16と同程度のレベルまで上方に向けて
延びたパルスチューブ本体68と、このパルスチューブ
本体68より小径に形成されて一端側がパルスチューブ
本体68の上端部に通じるとともに他端側が断熱容器の
外壁41を気密に貫通して外部、つまり常温部まで延び
た細管69とで構成されている。そして、パルスチュー
ブ本体68と細管69との境界部分は熱伝導部材70を
介して第1段冷却ステージ16に熱的に接続されてい
る。また、細管69内には、鉛の粒などからなる蓄冷材
71が収容されおり、常温部からパルスチューブ本体6
8内へ熱が侵入するのを抑制している。
【0031】一方、ガス制御系2aは、排出口35を低
圧弁36,コンプレッサ37,高圧弁38を介して導入
口34に接続し、さらにコンプレッサ37のガス吐出端
を補助高圧弁72を介して細管69における常温部に突
出している端部に接続し、またコンプレッサ37のガス
吸込端を補助低圧弁73を介して細管69における常温
部に突出している端部に接続している。なお、低圧弁3
6、高圧弁38は、モータ13の回転に同期し、第シリ
ンダ14内に形成される第1膨張室の体積(体積変化0
〜Vmax )との関連において図2に示す関係に開閉制御
される。また、補助高圧弁72および補助低圧弁73
は、第2段冷却部52を構成しているパルスチューブ冷
凍機における圧力変化位相とガスの変位位相との間に所
定の位相差を設定するためのもので、モータ13の回転
に同期して同様に図2に示す関係に開閉制御される。
【0032】次に、上記のように構成された蓄冷式冷凍
機の動作を説明する。第1段冷却部51の第1段冷却ス
テージ16における寒冷の発生は、図4に示される従来
のものと同様にギフォード・マクマホン冷凍サイクルに
よる。
【0033】一方、第2段冷却部52の第2段冷却ステ
ージ65における寒冷の発生は、パルスチューブ67を
膨張機とするパルスチューブ冷凍サイクルによる。すな
わち、低圧弁36および高圧弁38の開閉によってコー
ルドヘッド1a内に作られる高・低圧の圧力波によりパ
ルスチューブ67の低温端、つまり吸熱管66との境界
部分に寒冷を発生する。
【0034】この実施例では、パルスチューブ67内で
の圧力変化の位相とガスの変位位相との間に所定の位相
差を設けて第2段冷却ステージ65での寒冷発生量を増
大させるために、細管69の常温部に突出している部分
から高圧のヘリウムガスを供給、排出するための補助高
圧弁72および補助低圧弁73を設けている。この補助
高圧弁72および補助低圧弁73は、ディスプレーサ1
8の往復動に連動して開閉制御される。具体的には、図
2に示すように、補助高圧弁72は高圧弁38より早い
タイミングで、また補助低圧弁73は低圧弁36より早
いタイミングで開閉制御される。このような制御によっ
て第2段冷却ステージ65での寒冷発生量を増大させる
ことができる。
【0035】また、この実施例では、補助高圧弁72を
介して常温のヘリウムガスがパルスチューブ本体68に
流入するのを防止するために、細管69内に蓄冷材71
を収容し、この蓄冷材71によって常温部からの熱侵入
を抑制して第1段冷却ステージ16の温度と同程度の温
度のヘリウムガスがパルスチューブ本体68の高温端に
流入するようにしている。
【0036】このように、本実施例に係る蓄冷式冷凍機
では、冷却系統の最終段に位置する第2段冷却部52を
パルスチューブ冷凍機に構成している。パルスチューブ
冷凍機は、可動部分が全く存在していないので、摺動シ
ール要素も必要としない。したがって、摺動シール要素
の存在によって起こる冷凍能力の低下を防止することが
可能となる。
【0037】また、パルスチューブ冷凍機におけるパル
スチューブ67の高温端を実質的に常温部に位置させる
構成を採用しているので、パルスチューブ冷凍機で必要
な位相制御機構を容易に設けることができ、パルスチュ
ーブ67での寒冷発生量を増大させることができるの
で、冷凍性能を大幅に向上させることができる。つま
り、上記位相制御機構を常温部に設けたことにより、弁
などの操作性、信頼性、メンテナンスの容易性等が格段
に向上する。
【0038】なお、上述した実施例では、熱伝導部材7
0を用いてパルスチューブ本体68と細管69との境界
部分の温度を第1段冷却ステージ16とほぼ同じ温度に
しているが、熱伝導部材70を省略することもできる。
また、パルスチューブ67を大径なパルスチューブ本体
68と細管69とで構成しているが、パルスチューブ全
体を同一径としたり、また蓄冷材を収容することなく、
その高温端を常温部に突出させ、補助高圧弁および補助
低圧弁に接続するようにしてもよい。
【0039】図3には本発明の別の実施例に係る蓄冷式
冷凍機の概略構成が示されている。なお、この図では図
1および図4と同一機能部分が同一符号で示されてい
る。したがって、重複する部分の詳しい説明は省略す
る。
【0040】この実施例に係る蓄冷式冷凍機が図1に示
されるものと異なる点は、第2段冷却部52を構成して
いるパルスチューブ冷凍機の位相制御機構の構成にあ
る。すなわち、細管69の常温部に突出している部分を
流量調整弁81を介して第1段冷却部51におけるガス
導入・排出部、つまりシリンダ14の上部空間に通じさ
せるとともにオリフィス弁82を介して常温部に設けら
れたバッファータンク83に通じさせている。
【0041】このような構成を採用することによって、
第2段冷却部52はダブルインレット型のパルスチュー
ブ冷凍機となり、寒冷の発生量を増大させることが可能
となる。したがって、図1に示す実施例と同様の効果を
発揮させることができる。
【0042】なお、本実施例において、流量調整バルブ
81およびオリフィス弁82をこれらと同等の流動抵抗
を持つ細管などの流量絞り要素に置代えることもでき
る。また、本実施例においても、熱伝導部材70を省略
することができる。また、パルスチューブ67を大径な
パルスチューブ本体68と細管69とで構成している
が、パルスチューブ全体を同一径としたり、また蓄冷材
を収容することなく、その高温端を常温部に突出させ、
シリンダ14の上部空間およびバッファータンク83に
通じさせてもよい。また、いずれか一方のみに通じさせ
るようにしてもよい。
【0043】また、図1および図3に示す実施例では、
容器63内に磁性蓄冷材64等の蓄冷材を直接収容して
いるが、蓄冷材を収容した容器を容器63内に収容し、
両容器間にシール材を介在させてもよい。この場合に
は、シール材が静止しているので、漏れ量も少なく、冷
凍性能に影響を与えることはない。
【0044】また、上記各実施例では、第1段冷却部5
1にギフォード・マクマホン冷凍サイクルを採用してい
るが、最終段以外の冷却部にスターリング冷凍サイクル
や修正型ソルベー冷凍サイクルを採用することもでき
る。また、上記各実施例では、冷却部を2段設けて冷却
系統を構成しているが、3段以上設けてもよい。
【0045】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
最終段冷却部を可動部分が全く存在しない、つまり摺動
シール要素を必要としないパルスチューブ冷凍機に構成
しているので、摺動シール要素の存在によって起こる冷
凍能力の低下を防止でき、冷凍能力を向上させることが
できる。また、パルスチューブ冷凍機におけるパルスチ
ューブの高温端を実質的に常温部に位置させる構成を採
用しているので、パルスチューブ冷凍機で必要な位相制
御機構を容易に設けることができ、好ましい位相差設定
を図れるので、なお一層冷凍能力を向上させることがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係る蓄冷式冷凍機の概略構
成図
【図2】同冷凍機に組込まれた位相制御用弁の開閉タイ
ミングを示す図
【図3】本発明の別の実施例に係る蓄冷式冷凍機の概略
構成図
【図4】従来の蓄冷式冷凍機の概略構成図
【符号の説明】
1a…コールドヘッド 2,2a…ガス制御系 51…ギフォード・マクマホン冷凍サイクルを採用した
第1段冷却部 52…パルスチューブ冷凍サイクルを採用した第2段冷
却部 16…第1段冷却ステージ 62…蓄冷器 64…磁性蓄冷材 65…第2段冷却ステージ 66…吸熱管 67…パルスチューブ 68…パルスチューブ本体 69…細管 71…蓄冷材 72…補助高圧弁 73…補助低圧弁 81…流量調整弁 82…オリフィス弁 83…バッファータンク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉野 達哉 神奈川県川崎市幸区小向東芝町1番地 株 式会社東芝研究開発センター内

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数段の蓄冷器および膨張機を備えた蓄冷
    式冷凍機において、 少なくとも最低温度を発生させる最終段は膨張機として
    のパルスチューブを備えたパルスチューブ冷凍機で構成
    されており、前記パルスチューブの高温端は実質的に常
    温部まで延出していることを特徴とする蓄冷式冷凍機。
  2. 【請求項2】前記パルスチューブ冷凍機の位相制御機構
    を常温部に備えたことを特徴とする請求項1に記載の蓄
    冷式冷凍機。
  3. 【請求項3】前記パルスチューブは、前記高温側の内部
    に蓄冷材が収容されて熱侵入抑制部が形成されているこ
    とを特徴とする請求項1または2に記載の蓄冷式冷凍
    機。
  4. 【請求項4】前記パルスチューブの高温端側は、前記位
    相制御機構の動作に連動して開閉する弁を介して上記位
    相制御機構に通じていることを特徴とする請求項2に記
    載の蓄冷式冷凍機。
  5. 【請求項5】前記パルスチューブの高温端側は、常温部
    に設けられたバッファータンクおよび前記蓄冷式冷凍機
    の第1段冷却部におけるガス導入排出部の少なくとも一
    方に流量絞り要素を介して通じていることを特徴とする
    請求項1に記載の蓄冷式冷凍機。
  6. 【請求項6】前記蓄冷式冷凍機の少なくとも1段目は、
    冷凍サイクルがギフォード・マクマホン冷凍サイクル、
    スターリング冷凍サイクル、修正型ソルベー冷凍サイク
    ルのいずれかに構成されていることを特徴とする請求項
    1に記載の蓄冷式冷凍機。
JP11749795A 1995-05-16 1995-05-16 蓄冷式冷凍機 Pending JPH08313094A (ja)

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GB9726479A GB2318176B (en) 1995-05-16 1996-05-15 A refrigerator having a plurality of cooling stages
GB9610150A GB2301426B (en) 1995-05-16 1996-05-15 A refrigerator having a plurality of cooling stages
US08/647,741 US5711157A (en) 1995-05-16 1996-05-15 Cooling system having a plurality of cooling stages in which refrigerant-filled chamber type refrigerators are used

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100386578C (zh) * 2006-04-28 2008-05-07 浙江大学 带冷端气库的脉管制冷机
CN112639378A (zh) * 2018-09-07 2021-04-09 住友重机械工业株式会社 超低温制冷机

Cited By (3)

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CN100386578C (zh) * 2006-04-28 2008-05-07 浙江大学 带冷端气库的脉管制冷机
CN112639378A (zh) * 2018-09-07 2021-04-09 住友重机械工业株式会社 超低温制冷机
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