JPH08288244A - 光学検出手段 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体ウェーハ等の切削装置において、回転
ブレードのセットアップ時及び検査時にコンタミが検出
部に付着しないようにすると共に、切削液供給管が検査
部のホルダに接触しないようにした、光学検出手段を提
供する。 【構成】 半導体ウェーハを切削する切削装置の回転ブ
レードの基準位置を検出したり、回転ブレードの欠け等
を検出したりする際に使用される光学検出手段におい
て、この光学検出手段の検出端部は対向して配設されて
いて、その端部からエア等の流体が噴出するように構成
される。検出端部から発光素子、受光素子に至る経路が
光ファイバーで形成されており、この光ファイバーには
間隙を形成してカバーが配設され、このカバーに形成さ
れた検出端部孔から前記間隙に供給されたエア等が噴出
する。検出端部はサイドビュータイプに形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウェーハ等を切
削する切削装置の光学検出手段に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウェーハ等を切削するダイサーに
おいては、図８に示すように回転ブレード１のセットア
ップ時にその基準位置を検出したり、或は使用時での回
転ブレードの摩耗等を検出したりするため、回転ブレー
ド１の外周端部を検出する光学検出手段Ｓが、図１に示
す如く移動台Ｍ上の領域Ｒに配設されている。この光学
検出手段Ｓは、従来例えば図９に示すようにホルダＨの
上部に凹陥部Ｑが形成され、この凹陥部Ｑの内側面に発
光素子Ｌと受光素子Ｐとからなる検出部が対設され、ス
ピンドルユニットＵを降下させ回転ブレード１を凹陥部
Ｑ内に挿入して回転ブレード１の基準位置等を光学的に
検出出来るようにしてある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の光
学検出手段Ｓによると、半導体ウェーハ等の切削中に発
生するミスト及びコンタミ等が検出部に付着し、回転ブ
レード１の基準位置等を正確に検出出来ないことがあ
る。又、ブレードカバーＣに取り付けられた切削液供給
管Ｄが、検出時にホルダＨに接触することがあり、この
ため切削液供給管Ｄを標準より上に位置させねばならな
くなってチッピングや切れ味等に悪影響を及ぼす問題が
ある。本発明は、このような従来の問題を解決するため
になされ、検出部にコンタミが付着するのを未然に防止
し、又それと共に検出時に切削液供給管がホルダに接触
しないようにした、光学検出手段を提供することを課題
とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】前記課題を技術的に解決
するための手段として、本発明は、半導体ウェーハ等を
切削する切削装置の回転ブレードの外周端部を検出する
光学検出手段において、この光学検出手段は発光素子、
受光素子を含み、この発光素子、受光素子の検出端部は
対向して配設されていて、その端部から流体が噴出する
ように構成されている光学検出手段を要旨とする。更
に、検出端部から発光素子、受光素子に至る経路が光フ
ァイバーで形成されており、この光ファイバーには間隙
を形成してカバーが配設され、このカバーに形成された
検出端部孔から前記間隙に供給された流体が噴出するこ
と、検出端部はサイドビュータイプであること、を要旨
とするものである。

【０００５】

【作 用】検出端部からエア等の流体を噴出させること
により、コンタミ等が検出部に付着するのを未然に防止
することが出来る。又検出端部をサイドビュータイプに
形成することで、検出時における切削液供給管のホルダ
への接触を避けることが出来る。

【０００６】

【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて
詳説する。図１は切削装置であるダイサーの一例を示す
もので、上下動するカセット載置領域ＡにカセットＢが
載置され、このカセットＢ内に収納されたウェーハＷ
（粘着テープＮを介してフレームＦに固定）が搬出入手
段Ｅにより待機領域Ｇに搬出され、旋回アームを有する
搬送手段ＩでチャックテーブルＴ上に搬送される。この
チャックテーブルＴに保持されたウェーハＷは、横移動
されてアライメント手段Ｊの真下に位置付けられ、アラ
イメントの後に切削領域Ｋに移動され回転ブレード１に
てダイシングされる。

【０００７】２は本発明に係る光学検出手段であり、前
記チャックテーブルＴを保持する移動台Ｍの領域Ｒに配
設され、前記回転ブレード１のセットアップ時の基準位
置の検出及び回転ブレード１の摩耗等を検出する。

【０００８】前記光学検出手段２は、図２に示すように
ホルダ本体３を有しこのホルダ本体３の上部には凹陥部
３ａが形成され、この凹陥部３ａを挟む両壁には図３の
ように取付孔３ｂが対設され、且つこれらの取付孔に上
部が開口すると共にホルダ本体の底部孔３ｄに下部が開
口するエア、Ｎ₂ ガス、純水等の流体供給用孔３ｃがそ
れぞれ形成されている。

【０００９】４はエルボ状に曲管形成されたカバーであ
り、図４に示すように先端面に流体噴出用孔４ａがあけ
られ、側面の下部には流体流入用孔４ｂが形成されてい
る。このカバー４は、先端部が前記ホルダ本体３の取付
孔３ｂに嵌着固定され、前記凹陥部３ａに若干突出して
２つのカバー４の先端面が対向し、且つカバー４の流体
流入用孔４ｂが前記ホルダ本体３の流体供給用孔３ｃに
それぞれ合致するようにしてある。

【００１０】前記カバー４の内部には、このカバーの内
径より細い光ファイバー５が保持部材６を介して挿着さ
れ、先端の検出部５ａは前記流体噴出用孔４ａに臨んで
おり、カバー４の先端部内には間隙７が形成されてい
る。従って、ホルダ本体３の底部孔３ｄから例えば圧縮
エアが送り込まれると、そのエアは前記流体供給用孔３
ｃから流入用孔４ｂを経て間隙７内に流入し、カバー４
の先端の流体噴出用孔４ａから外部に噴出される。

【００１１】前記２つの光ファイバー５は、図示は省略
したが一方の端部を発光素子に、他方の端部を受光素子
にそれぞれ導くことにより光学検出部を構成することが
出来る。

【００１２】本発明に係る光学検出手段２は上記のよう
に構成され、前記回転ブレード１のセットアップ時にス
ピンドルユニットを降下させ回転ブレード１をホルダ本
体３の凹陥部３ａに挿入し、光ファイバー５の検出部５
ａによって回転ブレード１の基準位置を検出することが
出来る。常時前記カバー４の流体噴出用孔４ａから圧縮
エア（例えば０．１ＭＰａ）等の流体を噴出させれば、
ミスト及びコンタミの付着を未然に防止することが出
来、回転ブレード１の基準位置の検出を正確に行うこと
が出来る。回転ブレード１の検査（摩耗、欠け等）も、
これと同様に正確に行うことが出来る。

【００１３】図５は本発明に係る光学検出手段の他の実
施例を示すもので、サイドビュータイプに形成され、即
ち光ファイバーを挿着した直管型のカバー１４がホルダ
本体１３の上部から突出した状態で配設されている。

【００１４】前記ホルダ本体１３は、底部から上部に貫
通する取付孔１３ａが対設されると共に、これらの取付
孔１３ａ間に位置させてＴ字型の流体供給用孔１３ｂが
形成され、その上部の両端は取付孔１３ａの中間部に開
口し、下端部はホルダ本体１３の底部に開口している。

【００１５】前記カバー１４は図６に示すように、上部
の側面に流体噴出用孔１４ａが形成されると共に、その
下方には流体流入用孔１４ｂが形成され、前記ホルダ本
体１３の取付孔１３ａにそれぞれ嵌着固定され、前記流
体噴出用孔１４ａはホルダ本体１３の上部から突出して
対向し、且つ流体流入用孔１４ｂは前記流体供給用孔１
３ｂにそれぞれ合致するようにしてある。

【００１６】前記カバー１４の内部にはこのカバー１４
の内径より細い光ファイバー１５が保持部材１６を介し
て挿着され、その先端部にはプリズム等の光線屈折部材
１８が設けられ、側面には検出部１５ａが形成されてお
り、この検出部１５ａは前記流体噴出用孔１４ａに臨ま
せ、カバー１４の先端部内に間隙１７が形成されてい
る。従って、ホルダ本体１３の底部から流体供給用孔１
３ｂに圧縮エア等が送り込まれると、前記流体流入用孔
１４ｂを経て間隙１７内に流入し、カバー４の流体噴出
用孔１４ａから外部に噴出される。

【００１７】前記２つの光ファイバー１５は、前記と同
様に一方を発光素子に、他方を受光素子に導くことによ
って光学検出部を構成することが出来、前記光線屈折部
材１８によって光線の向きが９０度変えられる。尚、カ
バー１４は図７に示すようにホルダ本体１３の上部に形
成した屋根状の傾斜面部１３ｃから斜めに突出させるよ
うにしても良い。

【００１８】このように形成されたサイドビュータイプ
の光学検出手段においては、前記回転ブレード１のセッ
トアップ時にカバー１４の間に回転ブレード１を挿入
し、光ファイバー１５の光線によって回転ブレード１の
基準位置を検出することが出来る。常時前記カバー１４
の流体噴出用孔１４ａから圧縮エア等が噴出されるの
で、コンタミの付着を未然に防止すると共にコンタミを
排除することが出来、光ファイバー１５による基準位置
の検出を正確に行うことが出来る。これと同様に、切削
時での回転ブレード１の検査（摩耗、欠け等）も正確に
行うことが出来る。

【００１９】特に、この場合は回転ブレード１と切削液
供給管Ｄとの間に、カバー１４（光ファイバー１５に関
連して比較的小径に形成されている）が位置するので回
転ブレード１の降下に伴って切削液供給管Ｄがホルダ本
体１３に接触することはなく、このため切削液供給管Ｄ
を標準位置にセットすることが出来、チッピングや切れ
味等に悪影響を及ぼすことはない。

【００２０】尚、流体として純水等の液体を用い、流体
噴出用孔４ａ、１４ａから常時噴出させる場合は、検出
部のコンタミ等の付着を略完全に防止することが出来
る。しかし、ブレードを検出する際には、光が屈折して
正確な検出が出来なくなるので液体の噴出を止め、エア
等のガスの噴出に切り替えて検出部の液体を排除する必
要がある。又、前記実施例では光ファイバーを用いて検
出部を形成したが、光ファイバーを介さないで検出端部
に発光素子、受光素子をそれぞれ配設して実施すること
も可能である。但し、光ファイバーを使用する場合に比
べ大径となる欠点がある。

【００２１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
切削装置における回転ブレードのセットアップ時の基準
位置の検出又は検査に際して、検出端部から流体が噴出
していることにより検出部にコンタミが付着するのを未
然に防止することが出来る。従って、回転ブレードのセ
ットアップ又は摩耗や欠け等の検査を正確に行うことが
出来、更に検出端部をサイドビュータイプにすることで
切削液供給管のホルダ本体への接触を避け、チッピング
や切れ味に悪影響を及ぼさない等の優れた効果を奏す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係る光学検出手段を配設したダイサ
ーの一例を示す斜視図である。

【図２】 光学検出手段と、回転ブレード及び切削液供
給管との位置関係を示す説明図である。

【図３】 同、概略断面図である。

【図４】 光学検出手段の要部の断面図である。

【図５】 光学検出手段の他の実施例を示す説明図であ
る。

【図６】 (イ) はその光学検出手段の要部の断面図、
(ロ) は側面図である。

【図７】 検出部を上部から斜めに突出させた例を示す
斜視図である。

【図８】 従来例を示す要部の斜視図である。

【図９】 従来の光学検出手段と、回転ブレード及び切
削液供給管との位置関係を示す説明図である。

【符号の説明】

１…回転ブレード ２…光学検出手段 ３…ホルダ
本体 ３ａ…凹陥部 ３ｂ…取付孔 ３ｃ…流体供給用孔 ３ｄ…底部孔
４…カバー ４ａ…流体噴出用孔 ４ｂ…流体
流入用孔 ５…光ファイバー ５ａ…検出部 ６…保持部材 ７…間隔 １３…ホルダ本体 １３ａ…取付孔 １３ｂ…流体
供給用孔 １４…カバー １４ａ…流体噴出用孔
１４ｂ…流体流入用孔 １５…光ファイバー １
５ａ…検出部 １６…保持部材 １７…間隔 １
８…光線屈折部材

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体ウェーハ等を切削する切削装置の
   回転ブレードの外周端部を検出する光学検出手段におい
   て、この光学検出手段は発光素子、受光素子を含み、こ
   の発光素子、受光素子の検出端部は対向して配設されて
   いて、その端部から流体が噴出するように構成されてい
   ることを特徴とする光学検出手段。
2. 【請求項２】 検出端部から発光素子、受光素子に至る
   経路が光ファイバーで形成されており、この光ファイバ
   ーには間隙を形成してカバーが配設され、このカバーに
   形成された検出端部孔から前記間隙に供給された流体が
   噴出する、請求項１記載の光学検出手段。
3. 【請求項３】 検出端部はサイドビュータイプである、
   請求項１乃至２記載の光学検出手段。