JPH08285718A - リーク量測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 被測定物のリーク量を精度良く測定可能なリ
ーク量測定装置を提供する。 【構成】 ヘリウムディテクタ１０と、載置面１２ａと
通路１２ｂを有する測定用工具１２と、真空部品１１と
面１２ｂの間にあるＯリング１３と、部品１１を面１２
ｂに固定する押え金具１４とを備え、通路１２ｂ内を真
空引きし、ヘリウムを部品１１周辺の外部空間に充満さ
せることにより、部品１１を通って通路１２ｂ内の真空
空間にリークするヘリウムを測定するリーク量測定装置
において、部品１１、金具１４及び面１２ａの間に、外
部空間のヘリウムが部品１１、金具１４及び工具１２の
各接触部分を通ってＯリングの周囲に達するのを遮断す
る液体シール部２０が設けられている。測定時間を長く
しても、外部空間のヘリウムがＯリング１３を通って真
空空間にリークしない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、赤外線撮像装置に用
いられる真空容器を構成する真空部品等の被測定物のリ
ーク量を測定するリーク量測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、赤外線撮像装置に使用される赤
外線検知器を真空断熱して保持する真空容器を製造する
際には、その真空容器を構成する各真空部品についてリ
ーク量の測定（リーク検査）を行い、リーク量が許容値
以下である真空部品を用いて真空容器を組み立てる。

【０００３】従来のリーク測定量装置としては、例え
ば、図４及び図５に示すようなヘリウムリークディテク
タを使用するものが知られている。

【０００４】図４及び図５に示すリーク測定量装置は、
ヘリウムを検出するヘリウムディテクタ（以下、単にデ
ィテクタという）４０と、被測定物である真空部品４１
が載置される載置面４２ａと真空部品４１を通過するヘ
リウムをディテクタ４０へ導く通路４２ｂとを有する測
定用工具４２を備えている。真空部品４１と載置面４２
ａとの間にＯリング４３が設けられている。真空部品４
１を載置面４２ａに押えつける環状の押え金具４４が、
複数のボルト４５によって載置面４２ａに固定されてい
る。真空部品４１は、開口部を有する板部材４１ａに窓
部材４１ｂを接着剤で接合したものである。

【０００５】図４に示すリーク量測定装置では、ディテ
クタ４０によって通路４２ｂ内を真空引きした状態で、
フード４６で覆われた真空部品４１周囲の外部空間にボ
ンベ４７のノズル４７ａから吹き出るヘリウムを充満さ
せることにより、真空部品４１を通過するヘリウムをデ
ィテクタ４０で検知する。一方、図５に示すリーク量測
定装置では、ディテクタ４０によって通路４２ｂ内を真
空引きした状態で、ボンベ４７のノズル４７ａから吹き
出るヘリウムを真空部品４１周囲の外部空間に直接吹き
かけることにより、真空部品４１の接合部４０ｃの部分
を通過するヘリウムをディテクタ４０で検知する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記両
従来技術では、真空部品４１周囲の外部空間にあるヘリ
ウムが、真空部品４１と押え金具４４との接触部分及び
押え金具４４と測定用工４２の載置面４２ａとの接触部
分を通り、さらに真空部品４１と載置面４２ａとの接触
部分を通ってＯリング４３に達し、さらにＯリング４３
の分子間を通過して通路４２ｂ内の真空空間にリークし
てしまう。このようなリークがあると、実際に測定した
いリーク量、すなわち真空部品４１の接合部４１ｃを通
過したヘリウムのリーク量を測定することができない。
また、ヘリウムがＯリング４３の分子間を通過するには
測定開始から数分（例えば、３〜５分程度）の時間がか
かる。

【０００７】このような理由により、上記従来技術で
は、ヘリウムがＯリング４３の分子間を通過する前に、
すなわち測定開始から短時間（例えば３０秒程度）でリ
ーク量の測定を終了するのが一般的である。

【０００８】一方、ディテクタ４０自体のヘリウム検出
感度を上げるには限界があるので、真空部品４１を通過
するヘリウムの検知感度を高め、ヘリウムのリーク量を
精度良く測定するには、測定時間を長くする必要があ
る。例えば、真空部品４１の接合部４０ｃに非常に長い
ピンホールが発生することがある。この場合、ヘリウム
がそのピンホールを通過するのに数十分（例えば、１５
〜２０分程度）かかるので、真空部品４１を通過するヘ
リウムの微小なリーク量を精度良く測定するには、１５
〜２０分程度以上の長い時間をかけて測定する必要があ
る。ところが、上記両従来技術では、測定開始から数分
（例えば、３〜５分程度）の時間が経過するとヘリウム
がＯリング４３の分子間を通過してしまうため、測定時
間を長くすることができない。したがって、真空部品４
１を通過するヘリウムの微小なリーク量を精度良く測定
することができず、真空部品４１等の被測定物のリーク
量を精度良く測定することができないという問題があ
る。

【０００９】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題は被測定物のリーク量を精度良く測
定可能なリーク量測定装置を提供することである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め請求項１記載の発明に係るリーク量測定装置は、ヘリ
ウムを検出するヘリウムディテクタと、被測定物が載置
される載置面と被測定物を通過するヘリウムを前記ディ
テクタへ導く通路とを有する測定用工具と、前記被測定
物と前記載置面との間に設けられた樹脂材料からなる封
止部材と、前記被測定物を前記載置面に固定する押え部
材とを備え、前記通路内を真空引きした状態でヘリウム
を前記被測定物周辺の外部空間に充満させ又は吹きかけ
ることにより、前記被測定物を通って前記通路内の真空
空間にリークするヘリウムを測定するリーク量測定装置
において、前記押え部材又は前記測定用工具は、前記外
部空間にあるヘリウムが、前記押え部材、前記被測定物
及び前記測定用工具の各々の接触部分を通って前記封止
部材の周囲に達するのを遮断する液体シール部を有して
いる。

【００１１】

【作用】請求項１記載の発明に係るリーク量測定装置で
は、外部空間にあるヘリウムが押え部材、被測定物及び
測定用工具の各々の接触部分を通って封止部材の周囲に
達するのを液体シール部が遮断する。これによって、ヘ
リウムのリーク量を精度良く測定するために測定時間を
長くしても、外部空間にあるヘリウムが封止部材を通っ
て測定用工具の通路内の真空空間にリークしない。

【００１２】

【実施例】以下この発明の実施例を図面に基づいて説明
する。なお、各実施例の説明において同様の部位には同
一の符号を付して重複した説明を省略する。

【００１３】図１はこの発明の第１実施例に係るリーク
量測定装置を示しており、図２は図１のＡ矢視図であ
る。

【００１４】リーク量測定装置は、図１に示すように、
ヘリウムを検出するヘリウムディテクタ（以下、単にデ
ィテクタという）１０と、被測定物である真空部品１１
が載置される載置面１２ａと真空部品１１を通過するヘ
リウムをディテクタ１０へ導く通路１２ｂとを有する測
定用工具１２を備えている。

【００１５】真空部品１１と載置面１２ａとの間にＯリ
ング（樹脂材料からなる封止部材）１３が設けられてい
る。真空部品１１を載置面１２ａに押えつける環状の押
え金具（押え部材）１４が、４本のボルト１５（図２参
照）によって載置面１２ａを有する測定用工具１２の円
盤状支持部１２ｃに固定されている。真空部品１１は、
開口部を有する板部材１１ａに窓部材１１ｂを接着剤で
接合したものである。リーク量測定装置で測定可能な真
空部品は、２部材を接合したものに限らず、１枚の薄い
板状のものでもよい。

【００１６】リーク量測定装置は、ディテクタ１０によ
って通路１２ｂ内を真空引きした状態で、フード１６で
覆われた真空部品１１周囲の外部空間にボンベ１７のノ
ズル１７ａから吹き出るヘリウムを充満させることによ
り、真空部品１１を通過するヘリウムをディテクタ１０
で検知するように構成されている。

【００１７】真空部品１１の板部材１１ａ、押え金具１
４及び測定用工具１２の載置面１２ａの間に、前記外部
空間にあるヘリウムが、真空部品１１の板部材１１ａ、
押え金具１４及び測定用工具１２の各々の接触部分を通
ってＯリング１３の周囲に達するのを遮断する液体シー
ル部２０が設けられている。

【００１８】液体シール部２０は、図１及び図２に示す
ように、真空部品１１の板部材１１ａ、押え金具１４及
び測定用工具１２の載置面１２ａの間に形成された環状
の液体収容空間２１と、この空間２１内に注入された水
やアルコール等の液体２２とからなる。押え金具１４に
は、環状の液体収容空間２１内に液体を注入するための
注入口１４ａが形成されている。

【００１９】上記第１実施例に係るリーク量測定装置で
は、外部空間にあるヘリウムが真空部品１１、押え金具
１４部材及び測定用工具１２の載置面１２ａの各々の接
触部分を通ってＯリング１３の周囲に達するのを液体シ
ール部２２が遮断する。これによって、ヘリウムのリー
ク量を精度良く測定するために測定時間を長くしても、
外部空間にあるヘリウムがＯリング１３を通って測定用
工具１２の通路１２ｂ内の真空空間にリークしない。

【００２０】すなわち、ディテクタ１０によって通路１
２ｂ内を真空引きした状態で、フード１６で覆われた真
空部品１１周囲の外部空間にヘリウムを充満させるリー
ク量の測定を１５〜２０分程度以上の長い時間行なって
も、真空部品１１の接合部１１ｃを通過するヘリウムの
みをディテクタ１０で検知することができる。したがっ
て、真空部品１１を通過するヘリウムの微小なリーク量
を精度良く測定することができ、真空部品１のリーク量
を精度良く測定することができる。

【００２１】なお、Ｏリング１３が真空部品１１と測定
用工具１２の載置面１２ａとの間を気密に封止している
ので、ディテクタ１０による通路１２ｂ内の真空引きが
可能になっている。また、Ｏリング１３は、液体シール
部２０内の液体２２が測定用工具１２の通路１２ｂ内に
浸入するのを遮断している。

【００２２】図３はこの発明の第２実施例に係るリーク
量測定装置を示している。

【００２３】この第２実施例では、液体シール部２０の
環状の液体収容空間２１´が、真空部品１１の板部材１
１ａ、押え金具１４、測定用工具１２の円盤状支持部１
２ｃ及びＯリング１３の外周面によって形成されてい
る。これによって、液体収容空間２１´内の液体２２が
Ｏリング１３の外周面に接触している。

【００２４】上記第２実施例によれば、液体収容空間２
１´の容積が上記第１実施例の液体収容空間２１よりも
大きく、液体２２の量が第１実施例よりも多くなるの
で、外部空間にあるヘリウムが、真空部品１１の板部材
１１ａ、押え金具１４及び測定用工具１２の各々の接触
部分を通ってＯリング１３の周囲に達するのをより効果
的に遮断することができる。

【００２５】なお、この発明は、上記各実施例のように
フード１６を用いたものに限定されるものではなく、図
５に示す上記従来のリーク量測定装置のようにヘリウム
を真空部品１１周囲の外部空間に直接吹きかけるものに
も適用できる。

【００２６】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載の発
明に係るリーク量測定装置によれば、外部空間にあるヘ
リウムが押え部材、被測定物及び測定用工具の各々の接
触部分を通って封止部材の周囲に達するのを液体シール
部が遮断する。これによって、ヘリウムのリーク量を精
度良く測定するために測定時間を長くしても、外部空間
にあるヘリウムが封止部材を通って測定用工具の通路内
の真空空間にリークしない。したがって、被測定物のリ
ーク量を精度良く測定可能することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１はこの発明の第１実施例に係るリーク量測
定装置を示す概略構成図である。

【図２】図２は図１のＡ矢視図である。

【図３】図３はこの発明の第２実施例に係るリーク量測
定装置を示す概略構成図である。

【図４】図４は従来のリーク量測定装置を示す概略構成
図である。

【図５】図５は別の従来例を示す概略構成図である。

【符号の説明】

１０ ヘリウムディテクタ １１ 真空部品（被測定物） １２ 測定用工具 １２ａ 載置面 １２ｂ 通路 １３ Ｏリング（樹脂材料からなる封止部材） １４ 押え金具（押え部材） ２０ 液体シール部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ヘリウムを検出するヘリウムディテクタ
   と、被測定物が載置される載置面と被測定物を通過する
   ヘリウムを前記ディテクタへ導く通路とを有する測定用
   工具と、前記被測定物と前記載置面との間に設けられた
   樹脂材料からなる封止部材と、前記被測定物を前記載置
   面に固定する押え部材とを備え、前記通路内を真空引き
   した状態でヘリウムを前記被測定物周辺の外部空間に充
   満させ又は吹きかけることにより、前記被測定物を通っ
   て前記通路内の真空空間にリークするヘリウムを測定す
   るリーク量測定装置において、 前記押え部材又は前記測定用工具は、前記外部空間にあ
   るヘリウムが、前記押え部材、前記被測定物及び前記測
   定用工具の各々の接触部分を通って前記封止部材の周囲
   に達するのを遮断する液体シール部を有していることを
   特徴とするリーク量測定装置。