JPH08285718A - リーク量測定装置 - Google Patents
リーク量測定装置Info
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- JPH08285718A JPH08285718A JP7110009A JP11000995A JPH08285718A JP H08285718 A JPH08285718 A JP H08285718A JP 7110009 A JP7110009 A JP 7110009A JP 11000995 A JP11000995 A JP 11000995A JP H08285718 A JPH08285718 A JP H08285718A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被測定物のリーク量を精度良く測定可能なリ
ーク量測定装置を提供する。 【構成】 ヘリウムディテクタ10と、載置面12aと
通路12bを有する測定用工具12と、真空部品11と
面12bの間にあるOリング13と、部品11を面12
bに固定する押え金具14とを備え、通路12b内を真
空引きし、ヘリウムを部品11周辺の外部空間に充満さ
せることにより、部品11を通って通路12b内の真空
空間にリークするヘリウムを測定するリーク量測定装置
において、部品11、金具14及び面12aの間に、外
部空間のヘリウムが部品11、金具14及び工具12の
各接触部分を通ってOリングの周囲に達するのを遮断す
る液体シール部20が設けられている。測定時間を長く
しても、外部空間のヘリウムがOリング13を通って真
空空間にリークしない。
ーク量測定装置を提供する。 【構成】 ヘリウムディテクタ10と、載置面12aと
通路12bを有する測定用工具12と、真空部品11と
面12bの間にあるOリング13と、部品11を面12
bに固定する押え金具14とを備え、通路12b内を真
空引きし、ヘリウムを部品11周辺の外部空間に充満さ
せることにより、部品11を通って通路12b内の真空
空間にリークするヘリウムを測定するリーク量測定装置
において、部品11、金具14及び面12aの間に、外
部空間のヘリウムが部品11、金具14及び工具12の
各接触部分を通ってOリングの周囲に達するのを遮断す
る液体シール部20が設けられている。測定時間を長く
しても、外部空間のヘリウムがOリング13を通って真
空空間にリークしない。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、赤外線撮像装置に用
いられる真空容器を構成する真空部品等の被測定物のリ
ーク量を測定するリーク量測定装置に関する。
いられる真空容器を構成する真空部品等の被測定物のリ
ーク量を測定するリーク量測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、赤外線撮像装置に使用される赤
外線検知器を真空断熱して保持する真空容器を製造する
際には、その真空容器を構成する各真空部品についてリ
ーク量の測定(リーク検査)を行い、リーク量が許容値
以下である真空部品を用いて真空容器を組み立てる。
外線検知器を真空断熱して保持する真空容器を製造する
際には、その真空容器を構成する各真空部品についてリ
ーク量の測定(リーク検査)を行い、リーク量が許容値
以下である真空部品を用いて真空容器を組み立てる。
【0003】従来のリーク測定量装置としては、例え
ば、図4及び図5に示すようなヘリウムリークディテク
タを使用するものが知られている。
ば、図4及び図5に示すようなヘリウムリークディテク
タを使用するものが知られている。
【0004】図4及び図5に示すリーク測定量装置は、
ヘリウムを検出するヘリウムディテクタ(以下、単にデ
ィテクタという)40と、被測定物である真空部品41
が載置される載置面42aと真空部品41を通過するヘ
リウムをディテクタ40へ導く通路42bとを有する測
定用工具42を備えている。真空部品41と載置面42
aとの間にOリング43が設けられている。真空部品4
1を載置面42aに押えつける環状の押え金具44が、
複数のボルト45によって載置面42aに固定されてい
る。真空部品41は、開口部を有する板部材41aに窓
部材41bを接着剤で接合したものである。
ヘリウムを検出するヘリウムディテクタ(以下、単にデ
ィテクタという)40と、被測定物である真空部品41
が載置される載置面42aと真空部品41を通過するヘ
リウムをディテクタ40へ導く通路42bとを有する測
定用工具42を備えている。真空部品41と載置面42
aとの間にOリング43が設けられている。真空部品4
1を載置面42aに押えつける環状の押え金具44が、
複数のボルト45によって載置面42aに固定されてい
る。真空部品41は、開口部を有する板部材41aに窓
部材41bを接着剤で接合したものである。
【0005】図4に示すリーク量測定装置では、ディテ
クタ40によって通路42b内を真空引きした状態で、
フード46で覆われた真空部品41周囲の外部空間にボ
ンベ47のノズル47aから吹き出るヘリウムを充満さ
せることにより、真空部品41を通過するヘリウムをデ
ィテクタ40で検知する。一方、図5に示すリーク量測
定装置では、ディテクタ40によって通路42b内を真
空引きした状態で、ボンベ47のノズル47aから吹き
出るヘリウムを真空部品41周囲の外部空間に直接吹き
かけることにより、真空部品41の接合部40cの部分
を通過するヘリウムをディテクタ40で検知する。
クタ40によって通路42b内を真空引きした状態で、
フード46で覆われた真空部品41周囲の外部空間にボ
ンベ47のノズル47aから吹き出るヘリウムを充満さ
せることにより、真空部品41を通過するヘリウムをデ
ィテクタ40で検知する。一方、図5に示すリーク量測
定装置では、ディテクタ40によって通路42b内を真
空引きした状態で、ボンベ47のノズル47aから吹き
出るヘリウムを真空部品41周囲の外部空間に直接吹き
かけることにより、真空部品41の接合部40cの部分
を通過するヘリウムをディテクタ40で検知する。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記両
従来技術では、真空部品41周囲の外部空間にあるヘリ
ウムが、真空部品41と押え金具44との接触部分及び
押え金具44と測定用工42の載置面42aとの接触部
分を通り、さらに真空部品41と載置面42aとの接触
部分を通ってOリング43に達し、さらにOリング43
の分子間を通過して通路42b内の真空空間にリークし
てしまう。このようなリークがあると、実際に測定した
いリーク量、すなわち真空部品41の接合部41cを通
過したヘリウムのリーク量を測定することができない。
また、ヘリウムがOリング43の分子間を通過するには
測定開始から数分(例えば、3〜5分程度)の時間がか
かる。
従来技術では、真空部品41周囲の外部空間にあるヘリ
ウムが、真空部品41と押え金具44との接触部分及び
押え金具44と測定用工42の載置面42aとの接触部
分を通り、さらに真空部品41と載置面42aとの接触
部分を通ってOリング43に達し、さらにOリング43
の分子間を通過して通路42b内の真空空間にリークし
てしまう。このようなリークがあると、実際に測定した
いリーク量、すなわち真空部品41の接合部41cを通
過したヘリウムのリーク量を測定することができない。
また、ヘリウムがOリング43の分子間を通過するには
測定開始から数分(例えば、3〜5分程度)の時間がか
かる。
【0007】このような理由により、上記従来技術で
は、ヘリウムがOリング43の分子間を通過する前に、
すなわち測定開始から短時間(例えば30秒程度)でリ
ーク量の測定を終了するのが一般的である。
は、ヘリウムがOリング43の分子間を通過する前に、
すなわち測定開始から短時間(例えば30秒程度)でリ
ーク量の測定を終了するのが一般的である。
【0008】一方、ディテクタ40自体のヘリウム検出
感度を上げるには限界があるので、真空部品41を通過
するヘリウムの検知感度を高め、ヘリウムのリーク量を
精度良く測定するには、測定時間を長くする必要があ
る。例えば、真空部品41の接合部40cに非常に長い
ピンホールが発生することがある。この場合、ヘリウム
がそのピンホールを通過するのに数十分(例えば、15
〜20分程度)かかるので、真空部品41を通過するヘ
リウムの微小なリーク量を精度良く測定するには、15
〜20分程度以上の長い時間をかけて測定する必要があ
る。ところが、上記両従来技術では、測定開始から数分
(例えば、3〜5分程度)の時間が経過するとヘリウム
がOリング43の分子間を通過してしまうため、測定時
間を長くすることができない。したがって、真空部品4
1を通過するヘリウムの微小なリーク量を精度良く測定
することができず、真空部品41等の被測定物のリーク
量を精度良く測定することができないという問題があ
る。
感度を上げるには限界があるので、真空部品41を通過
するヘリウムの検知感度を高め、ヘリウムのリーク量を
精度良く測定するには、測定時間を長くする必要があ
る。例えば、真空部品41の接合部40cに非常に長い
ピンホールが発生することがある。この場合、ヘリウム
がそのピンホールを通過するのに数十分(例えば、15
〜20分程度)かかるので、真空部品41を通過するヘ
リウムの微小なリーク量を精度良く測定するには、15
〜20分程度以上の長い時間をかけて測定する必要があ
る。ところが、上記両従来技術では、測定開始から数分
(例えば、3〜5分程度)の時間が経過するとヘリウム
がOリング43の分子間を通過してしまうため、測定時
間を長くすることができない。したがって、真空部品4
1を通過するヘリウムの微小なリーク量を精度良く測定
することができず、真空部品41等の被測定物のリーク
量を精度良く測定することができないという問題があ
る。
【0009】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題は被測定物のリーク量を精度良く測
定可能なリーク量測定装置を提供することである。
たもので、その課題は被測定物のリーク量を精度良く測
定可能なリーク量測定装置を提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め請求項1記載の発明に係るリーク量測定装置は、ヘリ
ウムを検出するヘリウムディテクタと、被測定物が載置
される載置面と被測定物を通過するヘリウムを前記ディ
テクタへ導く通路とを有する測定用工具と、前記被測定
物と前記載置面との間に設けられた樹脂材料からなる封
止部材と、前記被測定物を前記載置面に固定する押え部
材とを備え、前記通路内を真空引きした状態でヘリウム
を前記被測定物周辺の外部空間に充満させ又は吹きかけ
ることにより、前記被測定物を通って前記通路内の真空
空間にリークするヘリウムを測定するリーク量測定装置
において、前記押え部材又は前記測定用工具は、前記外
部空間にあるヘリウムが、前記押え部材、前記被測定物
及び前記測定用工具の各々の接触部分を通って前記封止
部材の周囲に達するのを遮断する液体シール部を有して
いる。
め請求項1記載の発明に係るリーク量測定装置は、ヘリ
ウムを検出するヘリウムディテクタと、被測定物が載置
される載置面と被測定物を通過するヘリウムを前記ディ
テクタへ導く通路とを有する測定用工具と、前記被測定
物と前記載置面との間に設けられた樹脂材料からなる封
止部材と、前記被測定物を前記載置面に固定する押え部
材とを備え、前記通路内を真空引きした状態でヘリウム
を前記被測定物周辺の外部空間に充満させ又は吹きかけ
ることにより、前記被測定物を通って前記通路内の真空
空間にリークするヘリウムを測定するリーク量測定装置
において、前記押え部材又は前記測定用工具は、前記外
部空間にあるヘリウムが、前記押え部材、前記被測定物
及び前記測定用工具の各々の接触部分を通って前記封止
部材の周囲に達するのを遮断する液体シール部を有して
いる。
【0011】
【作用】請求項1記載の発明に係るリーク量測定装置で
は、外部空間にあるヘリウムが押え部材、被測定物及び
測定用工具の各々の接触部分を通って封止部材の周囲に
達するのを液体シール部が遮断する。これによって、ヘ
リウムのリーク量を精度良く測定するために測定時間を
長くしても、外部空間にあるヘリウムが封止部材を通っ
て測定用工具の通路内の真空空間にリークしない。
は、外部空間にあるヘリウムが押え部材、被測定物及び
測定用工具の各々の接触部分を通って封止部材の周囲に
達するのを液体シール部が遮断する。これによって、ヘ
リウムのリーク量を精度良く測定するために測定時間を
長くしても、外部空間にあるヘリウムが封止部材を通っ
て測定用工具の通路内の真空空間にリークしない。
【0012】
【実施例】以下この発明の実施例を図面に基づいて説明
する。なお、各実施例の説明において同様の部位には同
一の符号を付して重複した説明を省略する。
する。なお、各実施例の説明において同様の部位には同
一の符号を付して重複した説明を省略する。
【0013】図1はこの発明の第1実施例に係るリーク
量測定装置を示しており、図2は図1のA矢視図であ
る。
量測定装置を示しており、図2は図1のA矢視図であ
る。
【0014】リーク量測定装置は、図1に示すように、
ヘリウムを検出するヘリウムディテクタ(以下、単にデ
ィテクタという)10と、被測定物である真空部品11
が載置される載置面12aと真空部品11を通過するヘ
リウムをディテクタ10へ導く通路12bとを有する測
定用工具12を備えている。
ヘリウムを検出するヘリウムディテクタ(以下、単にデ
ィテクタという)10と、被測定物である真空部品11
が載置される載置面12aと真空部品11を通過するヘ
リウムをディテクタ10へ導く通路12bとを有する測
定用工具12を備えている。
【0015】真空部品11と載置面12aとの間にOリ
ング(樹脂材料からなる封止部材)13が設けられてい
る。真空部品11を載置面12aに押えつける環状の押
え金具(押え部材)14が、4本のボルト15(図2参
照)によって載置面12aを有する測定用工具12の円
盤状支持部12cに固定されている。真空部品11は、
開口部を有する板部材11aに窓部材11bを接着剤で
接合したものである。リーク量測定装置で測定可能な真
空部品は、2部材を接合したものに限らず、1枚の薄い
板状のものでもよい。
ング(樹脂材料からなる封止部材)13が設けられてい
る。真空部品11を載置面12aに押えつける環状の押
え金具(押え部材)14が、4本のボルト15(図2参
照)によって載置面12aを有する測定用工具12の円
盤状支持部12cに固定されている。真空部品11は、
開口部を有する板部材11aに窓部材11bを接着剤で
接合したものである。リーク量測定装置で測定可能な真
空部品は、2部材を接合したものに限らず、1枚の薄い
板状のものでもよい。
【0016】リーク量測定装置は、ディテクタ10によ
って通路12b内を真空引きした状態で、フード16で
覆われた真空部品11周囲の外部空間にボンベ17のノ
ズル17aから吹き出るヘリウムを充満させることによ
り、真空部品11を通過するヘリウムをディテクタ10
で検知するように構成されている。
って通路12b内を真空引きした状態で、フード16で
覆われた真空部品11周囲の外部空間にボンベ17のノ
ズル17aから吹き出るヘリウムを充満させることによ
り、真空部品11を通過するヘリウムをディテクタ10
で検知するように構成されている。
【0017】真空部品11の板部材11a、押え金具1
4及び測定用工具12の載置面12aの間に、前記外部
空間にあるヘリウムが、真空部品11の板部材11a、
押え金具14及び測定用工具12の各々の接触部分を通
ってOリング13の周囲に達するのを遮断する液体シー
ル部20が設けられている。
4及び測定用工具12の載置面12aの間に、前記外部
空間にあるヘリウムが、真空部品11の板部材11a、
押え金具14及び測定用工具12の各々の接触部分を通
ってOリング13の周囲に達するのを遮断する液体シー
ル部20が設けられている。
【0018】液体シール部20は、図1及び図2に示す
ように、真空部品11の板部材11a、押え金具14及
び測定用工具12の載置面12aの間に形成された環状
の液体収容空間21と、この空間21内に注入された水
やアルコール等の液体22とからなる。押え金具14に
は、環状の液体収容空間21内に液体を注入するための
注入口14aが形成されている。
ように、真空部品11の板部材11a、押え金具14及
び測定用工具12の載置面12aの間に形成された環状
の液体収容空間21と、この空間21内に注入された水
やアルコール等の液体22とからなる。押え金具14に
は、環状の液体収容空間21内に液体を注入するための
注入口14aが形成されている。
【0019】上記第1実施例に係るリーク量測定装置で
は、外部空間にあるヘリウムが真空部品11、押え金具
14部材及び測定用工具12の載置面12aの各々の接
触部分を通ってOリング13の周囲に達するのを液体シ
ール部22が遮断する。これによって、ヘリウムのリー
ク量を精度良く測定するために測定時間を長くしても、
外部空間にあるヘリウムがOリング13を通って測定用
工具12の通路12b内の真空空間にリークしない。
は、外部空間にあるヘリウムが真空部品11、押え金具
14部材及び測定用工具12の載置面12aの各々の接
触部分を通ってOリング13の周囲に達するのを液体シ
ール部22が遮断する。これによって、ヘリウムのリー
ク量を精度良く測定するために測定時間を長くしても、
外部空間にあるヘリウムがOリング13を通って測定用
工具12の通路12b内の真空空間にリークしない。
【0020】すなわち、ディテクタ10によって通路1
2b内を真空引きした状態で、フード16で覆われた真
空部品11周囲の外部空間にヘリウムを充満させるリー
ク量の測定を15〜20分程度以上の長い時間行なって
も、真空部品11の接合部11cを通過するヘリウムの
みをディテクタ10で検知することができる。したがっ
て、真空部品11を通過するヘリウムの微小なリーク量
を精度良く測定することができ、真空部品1のリーク量
を精度良く測定することができる。
2b内を真空引きした状態で、フード16で覆われた真
空部品11周囲の外部空間にヘリウムを充満させるリー
ク量の測定を15〜20分程度以上の長い時間行なって
も、真空部品11の接合部11cを通過するヘリウムの
みをディテクタ10で検知することができる。したがっ
て、真空部品11を通過するヘリウムの微小なリーク量
を精度良く測定することができ、真空部品1のリーク量
を精度良く測定することができる。
【0021】なお、Oリング13が真空部品11と測定
用工具12の載置面12aとの間を気密に封止している
ので、ディテクタ10による通路12b内の真空引きが
可能になっている。また、Oリング13は、液体シール
部20内の液体22が測定用工具12の通路12b内に
浸入するのを遮断している。
用工具12の載置面12aとの間を気密に封止している
ので、ディテクタ10による通路12b内の真空引きが
可能になっている。また、Oリング13は、液体シール
部20内の液体22が測定用工具12の通路12b内に
浸入するのを遮断している。
【0022】図3はこの発明の第2実施例に係るリーク
量測定装置を示している。
量測定装置を示している。
【0023】この第2実施例では、液体シール部20の
環状の液体収容空間21´が、真空部品11の板部材1
1a、押え金具14、測定用工具12の円盤状支持部1
2c及びOリング13の外周面によって形成されてい
る。これによって、液体収容空間21´内の液体22が
Oリング13の外周面に接触している。
環状の液体収容空間21´が、真空部品11の板部材1
1a、押え金具14、測定用工具12の円盤状支持部1
2c及びOリング13の外周面によって形成されてい
る。これによって、液体収容空間21´内の液体22が
Oリング13の外周面に接触している。
【0024】上記第2実施例によれば、液体収容空間2
1´の容積が上記第1実施例の液体収容空間21よりも
大きく、液体22の量が第1実施例よりも多くなるの
で、外部空間にあるヘリウムが、真空部品11の板部材
11a、押え金具14及び測定用工具12の各々の接触
部分を通ってOリング13の周囲に達するのをより効果
的に遮断することができる。
1´の容積が上記第1実施例の液体収容空間21よりも
大きく、液体22の量が第1実施例よりも多くなるの
で、外部空間にあるヘリウムが、真空部品11の板部材
11a、押え金具14及び測定用工具12の各々の接触
部分を通ってOリング13の周囲に達するのをより効果
的に遮断することができる。
【0025】なお、この発明は、上記各実施例のように
フード16を用いたものに限定されるものではなく、図
5に示す上記従来のリーク量測定装置のようにヘリウム
を真空部品11周囲の外部空間に直接吹きかけるものに
も適用できる。
フード16を用いたものに限定されるものではなく、図
5に示す上記従来のリーク量測定装置のようにヘリウム
を真空部品11周囲の外部空間に直接吹きかけるものに
も適用できる。
【0026】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1記載の発
明に係るリーク量測定装置によれば、外部空間にあるヘ
リウムが押え部材、被測定物及び測定用工具の各々の接
触部分を通って封止部材の周囲に達するのを液体シール
部が遮断する。これによって、ヘリウムのリーク量を精
度良く測定するために測定時間を長くしても、外部空間
にあるヘリウムが封止部材を通って測定用工具の通路内
の真空空間にリークしない。したがって、被測定物のリ
ーク量を精度良く測定可能することができる。
明に係るリーク量測定装置によれば、外部空間にあるヘ
リウムが押え部材、被測定物及び測定用工具の各々の接
触部分を通って封止部材の周囲に達するのを液体シール
部が遮断する。これによって、ヘリウムのリーク量を精
度良く測定するために測定時間を長くしても、外部空間
にあるヘリウムが封止部材を通って測定用工具の通路内
の真空空間にリークしない。したがって、被測定物のリ
ーク量を精度良く測定可能することができる。
【図1】図1はこの発明の第1実施例に係るリーク量測
定装置を示す概略構成図である。
定装置を示す概略構成図である。
【図2】図2は図1のA矢視図である。
【図3】図3はこの発明の第2実施例に係るリーク量測
定装置を示す概略構成図である。
定装置を示す概略構成図である。
【図4】図4は従来のリーク量測定装置を示す概略構成
図である。
図である。
【図5】図5は別の従来例を示す概略構成図である。
10 ヘリウムディテクタ 11 真空部品(被測定物) 12 測定用工具 12a 載置面 12b 通路 13 Oリング(樹脂材料からなる封止部材) 14 押え金具(押え部材) 20 液体シール部
Claims (1)
- 【請求項1】 ヘリウムを検出するヘリウムディテクタ
と、被測定物が載置される載置面と被測定物を通過する
ヘリウムを前記ディテクタへ導く通路とを有する測定用
工具と、前記被測定物と前記載置面との間に設けられた
樹脂材料からなる封止部材と、前記被測定物を前記載置
面に固定する押え部材とを備え、前記通路内を真空引き
した状態でヘリウムを前記被測定物周辺の外部空間に充
満させ又は吹きかけることにより、前記被測定物を通っ
て前記通路内の真空空間にリークするヘリウムを測定す
るリーク量測定装置において、 前記押え部材又は前記測定用工具は、前記外部空間にあ
るヘリウムが、前記押え部材、前記被測定物及び前記測
定用工具の各々の接触部分を通って前記封止部材の周囲
に達するのを遮断する液体シール部を有していることを
特徴とするリーク量測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7110009A JPH08285718A (ja) | 1995-04-11 | 1995-04-11 | リーク量測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7110009A JPH08285718A (ja) | 1995-04-11 | 1995-04-11 | リーク量測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08285718A true JPH08285718A (ja) | 1996-11-01 |
Family
ID=14524806
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7110009A Withdrawn JPH08285718A (ja) | 1995-04-11 | 1995-04-11 | リーク量測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08285718A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013524226A (ja) * | 2010-04-09 | 2013-06-17 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 検査対象の漏れ検査を行う方法 |
KR101402336B1 (ko) * | 2013-10-02 | 2014-06-02 | 정경재 | 차량용 오일펌프 커버의 리크 검사장치 |
CN112289469A (zh) * | 2020-11-03 | 2021-01-29 | 浙江伦特机电有限公司 | 一种泄漏测试装置 |
CN114518202A (zh) * | 2022-01-24 | 2022-05-20 | 威胜集团有限公司 | 液态电池检测装置 |
-
1995
- 1995-04-11 JP JP7110009A patent/JPH08285718A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
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---|---|---|---|---|
JP2013524226A (ja) * | 2010-04-09 | 2013-06-17 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 検査対象の漏れ検査を行う方法 |
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