JPH08285603A - Base plate laminating method in oscillator support structure and oscillator support structure - Google Patents

Abstract

PURPOSE: To laminate base plates rapidly and accurately and thus stabilize the oscillating style of an oscillator by delivering fluidity damper material on a aligned first base plate and solidifying it between the first base plate and a second base plate aligned and held at a specified position. CONSTITUTION: A specified amount of fluidity damper material 11a is delivered through a nozzle 13 to a specified position on a base plate 4 aligned and held by an aligning jig 12, a base plate 6 held by an other aligning jig 14 is set a specified relative position on the base plate 4 under a sufficient surface contact with the damper material 11a, and the damper material 11a is solidified while a relation between both base plate 4 and 6 is maintained. In this case, the solidifying speed of the damper material 11a heated slightly becomes faster, curing time is not needed, and working efficiency is increased. By this, even if the aligning jigs 12 and 14 are removed, the substrate 6 is aligned accurately at a specified position. Thus the base plate 4 and 6 can be laminated correctly, and the bent oscillating style of the oscillator is stabilized.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、振動ジャイロその他
に用いられる振動子の支持構造における、上下二枚の基
板の積層方法および、それによってもたらされる振動子
支持構造に関し、とくに、振動子の屈曲振動姿勢を安定
化させるものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of stacking two upper and lower substrates in a vibrator supporting structure used for a vibration gyro and the like, and a vibrator supporting structure provided by the method. The vibration posture is stabilized.

【０００２】[0002]

【従来の技術】振動子の支持に当たっては、図７に例示
するように、ほぼ角柱状をなす振動子１の、一の節点と
対応する位置もしくはその近傍部分で、振動子１の稜線
１ａに、正面形状がほぼ門型をなす第１の支持用線条２
を、それの脚部を下方に向けて連結するとともに、振動
子１の他の節点と対応する位置もしくはその近傍部分
で、上記稜線１ａと対抗して位置する他の稜線１ｂに、
これも正面形状がほぼ門型をなす第２の支持用線条３
を、脚部を下方に向けて連結し、そして、第１の支持用
線条２の両脚端を第１の基板４に、また、第２の支持用
線条３の脚端を、第１の基板４に、ダンパー材５を介し
て積層した第２の基板６に、それぞれ固定もしくは固着
することが一般に行われている。2. Description of the Related Art When supporting a vibrator, as shown in FIG. 7, a ridge line 1a of the vibrator 1 is attached at a position corresponding to one node of the vibrator 1 having a substantially prismatic shape or a portion in the vicinity thereof. , The first supporting line 2 whose front shape is almost a gate shape
Is connected to the other ridge line 1b facing the other ridge line 1a at a position corresponding to another node of the vibrator 1 or a portion in the vicinity thereof.
This is also the second supporting wire 3 whose front shape is almost a gate shape.
With the legs directed downward, and the two leg ends of the first supporting wire 2 are connected to the first substrate 4, and the leg ends of the second supporting wire 3 are connected to the first substrate 4. It is generally performed to fix or fix to the second substrate 6 laminated on the substrate 4 with the damper material 5 interposed therebetween.

【０００３】かかる支持構造において、振動子１は、圧
電手段、電磁手段等により、たとえば、図のＹ軸方向に
屈曲振動され、この屈曲振動状態でＺ軸の周りに回動さ
れると、Ｘ軸方向のコリオリの力を発生する。In such a support structure, the vibrator 1 is flexibly vibrated, for example, in the Y-axis direction in the figure by piezoelectric means, electromagnetic means, etc., and when it is rotated around the Z-axis in this flexural vibration state, Generates a Coriolis force in the axial direction.

【０００４】[0004]

【発明が解決しようとする課題】そして、このような支
持構造における、第１の基板４と第２の基板６との従来
の積層は、はじめに、図８(a) に示すように、第１の基
板４上に、ゴム等からなるダンパー材５を、そこへの粘
着剤の塗布面を下にして位置決め載置し、次いで、その
ダンパー材５を、図８(b) に示すように、第１の基板４
に押圧して、ダンパー材５の十分な貼着をもたらし、し
かる後は、ダンパー材５の上面に粘着剤を塗布するとと
もに、その粘着剤上に第２の基板６を位置決め載置し、
さらに、第２の基板６をダンパー材５に押圧してそれら
両者の十分なる貼着をもたらすことにより行われてい
る。The conventional stacking of the first substrate 4 and the second substrate 6 in such a supporting structure is first performed as shown in FIG. 8 (a). A damper material 5 made of rubber or the like is positioned and placed on the base plate 4 with the surface coated with the adhesive downward, and then the damper material 5 is placed as shown in FIG. 8 (b). First substrate 4
To bring about a sufficient attachment of the damper material 5, and thereafter, an adhesive is applied to the upper surface of the damper material 5, and the second substrate 6 is positioned and placed on the adhesive.
Further, the second substrate 6 is pressed against the damper material 5 to bring about sufficient attachment of both of them.

【０００５】ところで、このような積層作業において、
ゴム等からなるダンパー材５は、それを一旦変形させた
後は、十分な養生時間を与えることによって、元形状に
完全に復帰させることができるも、そのダンパー材５
を、図８(b) に示すように大きく圧縮変形させて第１の
基板４に貼着させた後、それの元形状への完全復帰を待
って第２の基板６をダンパー材５に貼着させるのでは作
業効率が著しく低下することから、多くは、ダンパー材
５の十分な復帰がないままに、第２の基板６の貼着を行
っている。By the way, in such a laminating operation,
The damper material 5 made of rubber or the like can be completely restored to its original shape by giving sufficient curing time after it is deformed once.
As shown in FIG. 8 (b), after being largely compressed and deformed and attached to the first substrate 4, the second substrate 6 is attached to the damper material 5 after waiting for the complete restoration of the original shape. Since the work efficiency is remarkably reduced when the second substrate 6 is attached, the second substrate 6 is often attached without the damper material 5 being sufficiently restored.

【０００６】これがため、第２の基板６の貼着当初に
は、それと第１の基板４とが、たとえば図８(c) に示す
ように、所期した通りの正確な位置関係を有していて
も、ダンパー材５の経時的な復元作用に起因して、両基
板４, ６の相対位置が、図８(d)に示すように、所期し
た位置から次第にずれることになり、ダンパー材５の完
全復元の後には、それらの基板4 , 6 は、図(e) に平面
図で示すような相対関係を有することもある。Therefore, when the second substrate 6 is first attached, the first substrate 4 and the second substrate 6 have a correct positional relationship as intended, as shown in FIG. 8 (c), for example. However, due to the restoring action of the damper material 5 over time, the relative positions of the two substrates 4 and 6 gradually deviate from the intended positions as shown in FIG. After the complete restoration of the material 5, the substrates 4, 6 may have a relative relationship as shown in plan view in FIG.

【０００７】そして、このような位置ずれを生じたそれ
ぞれの基板４, ６によって振動子１を支持した場合に
は、第２の支持用線条３の、第２の基板上の所定の取付
け位置への固定もしくは固着によって、第２の支持用線
条３の延在形態が、振動子軸線に対して非対称となるこ
とから、振動子１の屈曲振動に際して付加質量として作
用する第２の基板６の、支持用線条３のそれぞれの脚部
における質量バランスが崩れることになり、結果とし
て、振動子１の屈曲振動の方向がＹ軸方向からずれ、振
動姿勢が不安定となる。従って、このようにして支持さ
れた振動子１を、たとえば振動ジャイロとして適用した
場合には、出力のオフセットを生じ、角速度の検出精度
の低下を招くなどの問題があった。When the vibrator 1 is supported by the respective substrates 4 and 6 having such a positional deviation, the second supporting wire 3 is attached at a predetermined mounting position on the second substrate. Since the extending form of the second supporting wire 3 becomes asymmetric with respect to the oscillator axis line when fixed or fixed to the second substrate 6, the second substrate 6 that acts as an additional mass when the oscillator 1 bends and vibrates. However, the mass balance in each leg of the supporting wire 3 is lost, and as a result, the bending vibration direction of the vibrator 1 is deviated from the Y-axis direction, and the vibration posture becomes unstable. Therefore, when the vibrator 1 supported in this way is applied as, for example, a vibration gyro, there is a problem that an output offset occurs and the angular velocity detection accuracy is reduced.

【０００８】この発明は、従来技術の有するこのような
問題点を解決することを課題として検討した結果なされ
たものであり、この発明の主たる目的は、第１の基板と
第２の基板との、ダンパー材を介した積層を、常に正確
かつ迅速ならしめて、作業効率の低下なしに、振動子の
振動姿勢を十分安定させることができる、振動子支持構
造における基板の積層方法および、それによってもたら
される振動子支持構造を提供するにある。The present invention has been made as a result of studying to solve such problems of the prior art, and a main object of the present invention is to provide a first substrate and a second substrate. , A method of laminating substrates in a vibrator supporting structure, which can make stacking via a damper material always accurate and quick, and can sufficiently stabilize a vibration posture of a vibrator without lowering work efficiency, and a method for laminating the same. To provide a vibrator support structure.

【０００９】[0009]

【課題を解決するための手段】この発明の、振動子支持
構造における基板の積層方法は、とくに、位置決め保持
した第１の基板上に、比較的高粘度の流動性ダンパー材
を吐出するとともに、その流動性ダンパー材を、第１の
基板と、所定位置に位置決め保持した第２の基板との間
で、それらの両基板への接触状態で固化させることにあ
る。ここで、流動性ダンパー材の吐出は、第２の基板の
位置決め保持に先立って行うことの他、予め位置決め保
持した第１および第２の基板間へ、たとえば、第２の基
板に設けた貫通孔を経て行うこともできる。According to the method of laminating substrates in a vibrator supporting structure of the present invention, in particular, a fluid damper material having a relatively high viscosity is discharged onto a first substrate that is positioned and held, and That is, the fluid damper material is solidified between the first substrate and the second substrate positioned and held at a predetermined position in a state of contacting those substrates. Here, the discharge of the fluid damper material is performed prior to the positioning and holding of the second substrate, and also between the first and second substrates that are positioned and held in advance, for example, the penetrating provided on the second substrate. It can also be done via holes.

【００１０】また、この発明の振動子支持構造は、第２
の基板を、固化した流動性ダンパー材によって第１の基
板に接合し、これらのそれぞれの基板に、振動子に連結
した二本のそれぞれの支持用線条の脚部を固定もしくは
固着するものである。The vibrator support structure of the present invention is the second structure.
The above substrate is joined to the first substrate by a solidified fluid damper material, and the legs of the two supporting filaments connected to the vibrator are fixed or fixed to the respective substrates. is there.

【００１１】ここで好ましくは、流動性ダンパー材を、
発泡シリコーンゴムにより構成する。Preferably, the fluid damper material is
It is made of foamed silicone rubber.

【００１２】[0012]

【作用】この発明の積層方法によれば、第１の基板上に
吐出した流動性ダンパー材を、それの吐出時期のいかん
にかかわらず、相互に正確に位置決め保持した第１の基
板と第２の基板との間で固化させることにより、それら
の両基板は、固化した流動性ダンパー材によって、所期
した通りの相対位置に確実に接合されることになる。従
って、二枚の基板をこのようにして積層た振動子支持構
造によれば、第２の基板による付加質量は、支持用線条
のそれぞれの脚部に均等に配分されることになって、振
動子の屈曲振動方向はＹ軸方向に正確に維持されるの
で、それの振動姿勢を極めて安定したものとすることが
できる。According to the stacking method of the present invention, the first substrate and the second substrate in which the fluid damper material discharged onto the first substrate is accurately positioned and held with respect to each other regardless of the discharge timing thereof. By solidifying between the two substrates, the two substrates are securely bonded to the intended relative position by the solidified fluid damper material. Therefore, according to the vibrator support structure in which the two substrates are stacked in this way, the additional mass of the second substrate is evenly distributed to the respective leg portions of the supporting wire, Since the bending vibration direction of the vibrator is accurately maintained in the Y-axis direction, the vibration posture of the vibrator can be made extremely stable.

【００１３】なお、この支持構造において、流動性ダン
パー材を発泡シリコーンゴムにて構成した場合には、振
動子の屈曲振動に伴って生じる、第２の基板の振動を有
効に減衰させることができ、また、第１および第２のそ
れぞれの基板のそれぞれの振動の相互作用を有効に低減
させることができるので、振動子の屈曲振動方向を一層
安定させることができる。In this support structure, when the fluid damper material is made of foamed silicone rubber, it is possible to effectively damp the vibration of the second substrate caused by the bending vibration of the vibrator. Moreover, since the interaction of the respective vibrations of the first and second substrates can be effectively reduced, the bending vibration direction of the vibrator can be further stabilized.

【００１４】[0014]

【実施例】以下に、この発明の実施例を図面に基づいて
説明する。図１は、振動子支持構造を例示する斜視図で
あり、図中、従来技術で述べた部分と同様の部分にはそ
れと同一の符号を示す。すなわち、図中１は、ここでは
四角柱状をなす振動子を、１ａ，１ｂはそれぞれ、振動
子１の下縁および上縁としての稜線をそれぞれ示し、２
は、稜線部１ａに、前述したと同様にして連結した、正
面形状がほぼ門型の第１の支持用線条を、そして３は、
これもほぼ門型をなし、稜線１ｂに、前述したと同様に
連結した第２の支持用線条をそれぞれ示す。ここで、こ
の例では、第１の支持用線条２の脚端を固定もしくは固
着する第１の基板４と、第２の支持用線条３の脚端を固
定もしくは固着する第２の基板６とを、固化した流動性
ダンパー材11によって相互接合する。なお、ここにおけ
る流動性ダンパー材11は、発泡もしくは非発泡のゴム材
料またはプラスチック材料等により構成することができ
る。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view illustrating a vibrator support structure. In the figure, the same parts as those described in the related art are designated by the same reference numerals. That is, in the figure, reference numeral 1 denotes a quadrangular prism-shaped oscillator here, and 1a and 1b respectively indicate ridge lines as a lower edge and an upper edge of the oscillator 1.
Is a first supporting line having a substantially gate-shaped front shape, which is connected to the ridge portion 1a in the same manner as described above, and 3 is
This is also substantially gate-shaped, and shows the second supporting filaments connected to the ridgeline 1b in the same manner as described above. Here, in this example, the first substrate 4 for fixing or fixing the leg ends of the first supporting wire 2 and the second substrate for fixing or fixing the leg ends of the second supporting wire 3 6 and 6 are mutually joined by the solidified fluid damper material 11. The fluid damper material 11 here can be made of a foamed or non-foamed rubber material, a plastic material, or the like.

【００１５】ところで、両基板４, ６のこのような相互
接合は、たとえば、図２(a) に示すように、位置決め治
具12によって位置決め保持した第１の基板４の所定位置
に、ノズル13によって所定量の流動性ダンパー材11a を
吐出させ、次いで、図２(b)に示すように、他の位置決
め治具14にて保持した第２の基板６を、流動性ダンパー
材11a に対する十分な面接触状態で、第１の基板４に対
する所定の相対位置にセットし、そしてその相対関係を
維持したまま、流動性ダンパー材11a を固化させる。こ
こで、流動性ダンパー材11a の固化速度を速めるために
は、それを幾分加熱することが好ましく、これによっ
て、ダンパー材の養生時間を不用ならしめて、作業能率
を大きく高めることができる。By the way, such mutual joining of the two substrates 4 and 6 is performed by, for example, as shown in FIG. 2A, a nozzle 13 at a predetermined position of the first substrate 4 positioned and held by a positioning jig 12. A predetermined amount of the fluid damper material 11a is discharged by using the second substrate 6 held by another positioning jig 14 as shown in FIG. 2 (b). In a surface contact state, the fluid damper material 11a is set to a predetermined relative position with respect to the first substrate 4, and the fluid damper material 11a is solidified while maintaining the relative relationship. Here, in order to increase the solidification rate of the fluid damper material 11a, it is preferable to heat it somewhat, which makes it possible to eliminate the curing time of the damper material and greatly improve the work efficiency.

【００１６】これらのことによれば、基板６は、それぞ
れの位置決め治具12, 14を取外してもなお、図２(c),
(d) に示すように、所期した通りの位置に極めて正確に
位置することになる。従って、第１の基板上に、前述し
た第１の支持用線条２の脚端を、そして、第２の基板上
に、第２の支持用線条２の脚端を、それぞれ固定もしく
は固着した、図１に示す支持構造によれば、振動子１の
屈曲振動に際し、第２の基板６による付加質量を、第２
の支持用線条３のそれぞれの脚部に充分均等に分配し
て、その振動子１の屈曲振動姿勢を安定なものとするこ
とができ、併せて、第２の基板６の振動を減少させ、ま
た、両基板４, ６のそれぞれの振動の相互作用の影響を
低減させることができる。なお、両基板４, ６を上述し
たようにして接合させるに当たり、それらの両者を、予
め所定位置に位置決め保持した後に、基板６の少なくと
も一の側部から流動性ダンパー材11を注入することも可
能である。According to these facts, the board 6 is still shown in FIG. 2 (c), even if the respective positioning jigs 12 and 14 are removed.
As shown in (d), it will be positioned exactly as intended. Therefore, the leg ends of the first supporting wire 2 described above are fixed or fixed on the first substrate, and the leg ends of the second supporting wire 2 are fixed or fixed on the second substrate, respectively. According to the support structure shown in FIG. 1, the additional mass of the second substrate 6 is reduced by
Can be sufficiently evenly distributed to the legs of the supporting wire 3 to stabilize the bending vibration posture of the vibrator 1, and at the same time, reduce the vibration of the second substrate 6. Moreover, it is possible to reduce the influence of the interaction of the vibrations of the two substrates 4 and 6. In joining the two substrates 4 and 6 as described above, it is also possible to inject the fluid damper material 11 from at least one side portion of the substrate 6 after preliminarily positioning and holding them in a predetermined position. It is possible.

【００１７】図３は、基板４, ６の他の接合例を示す工
程図であり、これは、両基板４, ６を、図３(a) に示す
ように、それぞれの位置決め治具12, 14によって、予め
所定の相対位置に正確に位置決め保持し、次いで、図３
(b) に示すように、基板６の中央部に設けた貫通孔６ａ
に挿入したノズル13から、両基板間に所定量の流動性ダ
ンパー材11a を注入し、そこでその流動性ダンパー材11
a を、好ましくは加熱下にて固化させるものである。こ
の例によってもまた、両基板４, ６は、位置決め治具1
2, 14の取外し後においても、図２(c),(d) に示すよう
に、所期した通りの相対位置に正確に位置することとな
り、これがため、この積層体を振動子の支持構造に適用
した場合は、前述した実施例と同様の効果をもたらすこ
とができる。FIG. 3 is a process diagram showing another example of joining the substrates 4 and 6 to each other, as shown in FIG. 3 (a). Predetermined relative position is accurately held in advance by 14 and then, as shown in FIG.
As shown in (b), the through hole 6a provided in the central portion of the substrate 6
A predetermined amount of the fluid damper material 11a is injected between both substrates from the nozzle 13 inserted in the
Preferably, a is solidified under heating. Also in this example, the boards 4 and 6 are not aligned with the positioning jig 1.
Even after the removal of 2 and 14, as shown in Fig. 2 (c) and (d), they are accurately positioned at the intended relative positions. When applied to, the same effect as that of the above-described embodiment can be obtained.

【００１８】図４は、両基板４, ６の接合をもたらす流
動性ダンパー材を発泡シリコーンゴム21により構成した
振動子支持構造の例であり、この場合の、基板4 , 6 の
接合は、たとえば、図５もしくは６に示すようにして行
うことができる。FIG. 4 shows an example of a vibrator supporting structure in which a fluid damper material for joining the substrates 4 and 6 is made of foamed silicone rubber 21. In this case, the substrates 4 and 6 are joined to each other, for example. It can be performed as shown in FIG.

【００１９】図５に示す接合工程は、流動性ダンパー材
の材質を除いて図２に示したところと同様であり、この
例では、図５(a) に示すように、第１の基板上に所定量
の発泡シリコーンゴム21a を吐出した後、その第１の基
板４に対して、図５(b) に示すように、正確に位置決め
保持した第２の基板６を、発泡シリコーンゴム21a の発
泡および固化の双方が完了するまでそのまま維持するこ
とによって、図５(c),(d) に示すように、固化後の発泡
シリコーンゴム21による、第２の基板６の適正なる接合
をもたらすことができる。なお、この場合にも、発泡シ
リコーンゴム21a を加熱することによって、それの発泡
固化時間を速めて、接合作業効率を高めることができ
る。The joining process shown in FIG. 5 is the same as that shown in FIG. 2 except for the material of the fluid damper material. In this example, as shown in FIG. After discharging a predetermined amount of the foamed silicone rubber 21a onto the first substrate 4, as shown in FIG. 5 (b), the second substrate 6 which is accurately positioned and held is fixed to the foamed silicone rubber 21a. By maintaining it as it is until both foaming and solidification are completed, as shown in FIGS. 5 (c) and 5 (d), proper bonding of the second substrate 6 by the foamed silicone rubber 21 after solidification is brought about. You can Also in this case, by heating the foamed silicone rubber 21a, it is possible to accelerate the foaming and solidifying time of the foamed silicone rubber 21a and improve the bonding work efficiency.

【００２０】また、図６に示す接合工程は、流動性ダン
パー材の材質を除いて図３に示したところと同様であ
る。従って、正確な相対関係をもって予め位置決め保持
した両基板間に、第２の基板６の貫通孔６ａを経て吐出
した発泡シリコーンゴム21a の発泡および固化の完了を
待って、それぞれの位置決め治具12, 14を取り外すこと
によって、第２の基板６の、第１の基板４に対する相対
位置を所期した通りのものとすることができる。The joining process shown in FIG. 6 is the same as that shown in FIG. 3 except for the material of the fluid damper material. Therefore, after the completion of the foaming and solidification of the foamed silicone rubber 21a discharged through the through hole 6a of the second substrate 6, the positioning jigs 12 and 12 of the respective positioning jigs 12, By removing 14, the relative position of the second substrate 6 with respect to the first substrate 4 can be made as intended.

【００２１】このように、図５および図６のいずれの接
合工程によっても、第２の基板６を、第１の基板４に対
して所期した通りの位置に十分正確に接合させることが
できるので、図４に示す支持構造によってもまた、前記
実施例の場合と同様に、振動子１を常に安定した姿勢で
屈曲振動させることができる。しかも、この支持構造で
は、発泡シリコーンゴム21にて両基板４, ６を接合して
いることから、振動子１の屈曲振動に伴って生じる第２
の基板６の振動を有効に減衰させるとともに、両基板
４, ６のそれぞれの振動の相互作用を有効に低減させる
ことができ、この結果として、振動子１の屈曲振動方向
を一層安定させることができる。As described above, the second substrate 6 can be bonded to the first substrate 4 at a desired position with sufficient accuracy by any of the bonding steps of FIGS. 5 and 6. Therefore, also by the support structure shown in FIG. 4, the vibrator 1 can always be flexurally vibrated in a stable posture, as in the case of the above-described embodiment. Moreover, in this support structure, since the substrates 4 and 6 are joined together by the foamed silicone rubber 21, the second vibration caused by the bending vibration of the vibrator 1 is generated.
It is possible to effectively damp the vibration of the substrate 6 and to effectively reduce the interaction of the vibrations of the both substrates 4 and 6, and as a result, to further stabilize the bending vibration direction of the vibrator 1. it can.

【００２２】ところで、ここでは、多数の発泡材料の中
から、とくにシリコーンゴムを選択することによって、
広い温度範囲に亘って安定したゴム弾性が発現され、し
たがって、安定したダンパー効果を広温度範囲にわたっ
て維持することができる。By the way, here, by selecting a silicone rubber from a large number of foam materials,
Stable rubber elasticity is exhibited over a wide temperature range, so that a stable damper effect can be maintained over a wide temperature range.

【００２３】[0023]

【発明の効果】かくして、この発明の方法によれば、二
枚の基板の積層に当たって、第２の基板を、第１の基板
に対し、所期した通りの相対位置に極めて正確に接合さ
せることができる。また、この発明の支持構造によれ
ば、第２の基板の作用に基づく付加質量を、第２の支持
用線条のそれぞれの脚部に充分均等に分配して、振動子
に安定した屈曲振動を行わせることができ、これがた
め、その支持構造を振動ジャイロに適用した場合に、出
力ドリフトの安定化、検出精度の向上などをもたらすこ
とができる。As described above, according to the method of the present invention, when the two substrates are laminated, the second substrate is bonded to the first substrate at the intended relative position with great accuracy. You can Further, according to the supporting structure of the present invention, the additional mass based on the action of the second substrate is sufficiently evenly distributed to the respective leg portions of the second supporting wire, and the bending vibration is stable in the vibrator. Therefore, when the support structure is applied to the vibration gyro, the output drift can be stabilized and the detection accuracy can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】この発明の支持構造を例示する斜視図である。FIG. 1 is a perspective view illustrating a support structure of the present invention.

【図２】二枚の基板の接合工程を例示する図である。FIG. 2 is a diagram illustrating a step of joining two substrates.

【図３】二枚の基板の他の接合工程を例示する図であ
る。FIG. 3 is a diagram illustrating another bonding process of two substrates.

【図４】この発明の他の支持構造を例示する斜視図であ
る。FIG. 4 is a perspective view illustrating another support structure of the present invention.

【図５】二枚の基板の接合工程を例示する図である。FIG. 5 is a diagram illustrating a step of joining two substrates.

【図６】二枚の基板の他の接合工程を例示する図であ
る。FIG. 6 is a diagram illustrating another bonding step of two substrates.

【図７】従来の支持構造を例示する斜視図である。FIG. 7 is a perspective view illustrating a conventional support structure.

【図８】基板の接合工程を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing a step of joining substrates.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 振動子 １ａ，１ｂ 稜線 ２ 第１の支持用線条 ３ 第２の支持用線条 ４ 第１の基板 ６ 第２の基板 ６ａ 貫通孔 11 固化した流動性ダンパー材 11a 流動性ダンパー材 12, 14 位置決め治具 13 ノズル 21 固化した発泡シリコーンゴム 21a シリコーンゴム 1 Transducer 1a, 1b Ridge line 2 First supporting line 3 Second supporting line 4 First substrate 6 Second substrate 6a Through hole 11 Solidified fluid damper material 11a Fluid damper material 12, 14 Positioning jig 13 Nozzle 21 Solidified silicone foam rubber 21a Silicone rubber

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 上下に積層した第１および第２のそれぞ
れの基板上に、振動子に連結した第１および第２のそれ
ぞれの支持用線条の脚端を取付けて振動子を支持するに
当たり、 位置決め保持した第１の基板上に流動性ダンパー材を吐
出するとともに、その流動性ダンパー材を、第１の基板
と、所定位置に位置決め保持した第２の基板との間で、
それらの両基板への接触状態で固化させることを特徴と
する振動子支持構造における基板の積層方法。1. A vibrator is supported by mounting leg ends of first and second supporting filaments connected to a vibrator on first and second substrates which are vertically stacked. , The fluid damper material is discharged onto the first substrate which is positioned and held, and the fluid damper material is discharged between the first substrate and the second substrate which is positioned and held at a predetermined position.
A method for laminating substrates in a vibrator supporting structure, characterized in that the substrates are solidified in a contact state with both substrates. 【請求項２】 流動性ダンパー材の吐出を、第２の基板
の位置決め保持に先立って行うことを特徴とする請求項
１記載の振動子支持構造における基板の積層方法。2. The method for laminating substrates in a vibrator support structure according to claim 1, wherein the fluid damper material is discharged prior to positioning and holding the second substrate. 【請求項３】 流動性ダンパー材の吐出を、予め位置決
め保持した第１および第２の両面板間に行うことを特徴
とする請求項１記載の振動子支持構造における基板の積
層方法。3. The method for laminating substrates in a vibrator support structure according to claim 1, wherein the fluid damper material is discharged between the first and second double-sided plates that are positioned and held in advance. 【請求項４】 第１の基板上に、固化した流動性ダンパ
ー材により第２の基板を接合し、これらのそれぞれの基
板に、振動子に連結した第１および第２の支持用線条の
脚端を取付けてなる振動子支持構造。4. A second substrate is bonded onto the first substrate by means of a solidified fluid damper material, and the respective first and second supporting filaments connected to the vibrator are connected to these respective substrates. Transducer support structure with leg ends attached. 【請求項５】 前記流動性ダンパー材を発泡シリコーン
ゴムにより構成してなる請求項４に記載の振動子支持構
造。5. The vibrator support structure according to claim 4, wherein the fluid damper material is made of foamed silicone rubber.