JPH08273150A - Magnetic recording medium - Google Patents

Abstract

PURPOSE: To obtain a magnetic recording medium having superior durability, less liable to a change of magnetic characteristics with the lapse of time because of superior rust preventiveness and having high reliability. CONSTITUTION: In this magnetic recording medium with at least a metallic magnetic thin film and a protective film on the nonmagnetic substrate, the protective film is made of a diamondlike carbon film formed by chemical vapor growth using a gaseous hydrocarbon compd. and a gaseous arom. hydroxy compd. This arom. hydroxy compd. is at least one of catechol and naphthalene diol.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、非磁性支持体上に金属
磁性薄膜と保護膜とが形成された、いわゆる金属磁性薄
膜型の磁気記録媒体に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a so-called metal magnetic thin film type magnetic recording medium in which a metal magnetic thin film and a protective film are formed on a non-magnetic support.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来より、磁気記録媒体としては、非磁
性支持体上に酸化物磁性粉末あるいは合金磁性粉末等の
粉末磁性材料を塩化ビニル−酢酸ビニル系共重合体，ポ
リエステル樹脂，ウレタン樹脂，ポリウレタン樹脂等の
有機結合剤中に分散せしめた磁性塗料を塗布、乾燥する
ことにより作製される、いわゆる塗布型の磁気記録媒体
が広く使用されている。2. Description of the Related Art Conventionally, as a magnetic recording medium, a powder magnetic material such as an oxide magnetic powder or an alloy magnetic powder is coated on a non-magnetic support with a vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, polyester resin, urethane resin, A so-called coating type magnetic recording medium, which is prepared by coating and drying a magnetic coating material dispersed in an organic binder such as a polyurethane resin, is widely used.

【０００３】これに対して、高密度記録への要求の高ま
りとともに、Ｃｏ−Ｎｉ合金，Ｃｏ−Ｃｒ合金，Ｃｏ−
Ｏ等の金属磁性材料を、メッキや真空薄膜形成手段（真
空蒸着法，スパッタリング法，イオンプレーティング法
等）によって非磁性支持体上に直接被着した、いわゆる
金属磁性薄膜型の磁気記録媒体が提案されて注目を集め
ている。On the other hand, with the increasing demand for high-density recording, Co--Ni alloys, Co--Cr alloys, Co--
A so-called metal magnetic thin film type magnetic recording medium in which a metal magnetic material such as O is directly deposited on a non-magnetic support by plating or vacuum thin film forming means (vacuum deposition method, sputtering method, ion plating method, etc.) It has been proposed and attracts attention.

【０００４】この金属磁性薄膜型の磁気記録媒体は抗磁
力や角形比等に優れ、短波長での電磁変換特性に優れる
ばかりでなく、磁性層の厚みをきわめて薄くできる為、
記録減磁や再生時の厚み損失が著しく小さいこと、磁性
層中に非磁性材であるその結合剤を混入する必要が無い
ため磁性材料の充填密度を高めることが出来ることな
ど、数々の利点を有している。This metal magnetic thin film type magnetic recording medium is excellent not only in coercive force and squareness ratio but also in electromagnetic conversion characteristics at short wavelengths, and the magnetic layer can be extremely thin,
There are many advantages such as remarkably small thickness loss during recording demagnetization and reproduction, and higher packing density of the magnetic material because there is no need to mix the binder, which is a non-magnetic material, into the magnetic layer. Have

【０００５】さらに、この種の磁気記録媒体の電磁変換
特性を向上させ、より大きな出力を得ることができるよ
うにするため、該磁気記録媒体の磁性層を形成するに際
し、磁性層を斜めに蒸着する、いわゆる斜方蒸着が提案
され実用化されている。Further, in order to improve the electromagnetic conversion characteristics of this kind of magnetic recording medium and to obtain a larger output, the magnetic layer is obliquely vapor-deposited when forming the magnetic layer of the magnetic recording medium. The so-called oblique vapor deposition has been proposed and put to practical use.

【０００６】ところで、上述したような磁気記録媒体に
おいては、耐錆性に問題があるといわれている。特に、
金属磁性薄膜を構成する強磁性金属材料は、表面活性が
高く、大気中で酸化され易いものである。そして、酸化
が進行することによって、磁化量の低下や場合によって
は抗磁力の低下が起こり、強磁性金属材料が本来有する
特性を損なうことになる。このため、金属磁性薄膜型の
磁気記録媒体においては、酸化によって経時的な磁気特
性の劣化を起こさないように、非磁性支持体上に金属磁
性薄膜を形成してテープ原反とした後、金属磁性薄膜の
表面を防錆効果を有する化合物により表面処理すること
が行われている。By the way, it is said that the magnetic recording medium as described above has a problem in rust resistance. In particular,
The ferromagnetic metal material forming the metal magnetic thin film has high surface activity and is easily oxidized in the atmosphere. Then, the progress of oxidation causes a decrease in the amount of magnetization and, in some cases, a decrease in coercive force, impairing the inherent properties of the ferromagnetic metal material. For this reason, in the magnetic recording medium of the metal magnetic thin film type, the metal magnetic thin film is formed on the non-magnetic support so as to prevent the deterioration of the magnetic characteristics over time due to the oxidation, and then the metal tape is formed. The surface of the magnetic thin film is treated with a compound having an anticorrosive effect.

【０００７】防錆剤としては、例えばフェノール類、ナ
フトール類が一般に使用されており、このような防錆剤
を塗布することにより良好な防錆効果が得られている。As the rust preventive agent, for example, phenols and naphthols are generally used, and a good rust preventive effect is obtained by applying such a rust preventive agent.

【０００８】[0008]

【発明が解決しようとする課題】ところで、金属磁性薄
膜には耐久性の問題もあり、耐久性を確保するために金
属磁性薄膜上に真空成膜法によりカーボン膜等よりなる
保護膜を設けることが必要とされてきている。この場合
には、上述したような防錆剤は、保護膜形成後、この保
護膜の上に塗布されることとなる。The metallic magnetic thin film also has a problem of durability. To secure the durability, a protective film made of a carbon film or the like is provided on the metallic magnetic thin film by a vacuum film forming method. Have been needed. In this case, the rust preventive agent as described above is applied on the protective film after forming the protective film.

【０００９】しかしながら、保護膜上に上述したような
防錆剤を塗布すると、該防錆剤が、金属磁性薄膜に直接
的に接触しないため、十分な防錆効果を発揮することが
できなくなる。However, when the above-mentioned rust preventive agent is applied onto the protective film, the rust preventive agent does not come into direct contact with the metal magnetic thin film, so that the sufficient rust preventive effect cannot be exerted.

【００１０】そこで、本発明はこのような従来の実情に
鑑みて提案されたものであり、十分な耐久性が確保でき
るような保護膜を有するとともに、錆の発生も抑制され
た構成を有する磁気記録媒体を提供することを目的とす
る。Therefore, the present invention has been proposed in view of the above-mentioned conventional circumstances, and has a magnetic film having a protective film capable of ensuring sufficient durability and having a structure in which rust generation is suppressed. The purpose is to provide a recording medium.

【００１１】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明に係る磁気記録媒
体は、上述の目的を達成するため提案されたものであ
り、非磁性支持体上に少なくとも金属磁性薄膜と保護膜
とを有し、前記保護膜が、炭化水素系化合物のガスと芳
香族ヒドロキシ化合物のガスとを用いた化学的気相成長
（以下、ＣＶＤと称する。）によって成膜されてなるも
のである。A magnetic recording medium according to the present invention is proposed to achieve the above-mentioned object, and has at least a metal magnetic thin film and a protective film on a non-magnetic support, The protective film is formed by chemical vapor deposition (hereinafter referred to as CVD) using a hydrocarbon compound gas and an aromatic hydroxy compound gas.

【００１２】ここで、炭化水素系化合物のガスと芳香族
ヒドロキシ化合物のガスとは、混合してから供給しても
よいが、走行する前記非磁性支持体上の前記金属磁性薄
膜に対して、前記炭化水素系化合物のガスと前記芳香族
ヒドロキシ化合物のガスとを、この順に逐次的に供給し
てもよい。Here, the gas of the hydrocarbon compound and the gas of the aromatic hydroxy compound may be supplied after being mixed, but with respect to the running metal magnetic thin film on the non-magnetic support, The gas of the hydrocarbon compound and the gas of the aromatic hydroxy compound may be sequentially supplied in this order.

【００１３】ここで、ＣＶＤは、プラズマＣＶＤ法，Ｅ
ＣＲプラズマＣＶＤ法，アークジェットプラズマＣＶＤ
法等、従来公知のいずれの方法を適用して行ってもよ
い。Here, the CVD is a plasma CVD method, E
CR plasma CVD method, arc jet plasma CVD
Any conventionally known method such as a method may be applied.

【００１４】前記芳香族ヒドロキシ化合物としては、フ
ェノール、カテコール、レゾルミン、ヒドロキノン、オ
ルシン、ウルシオール、ピロカロール、フロログルシ
ン、ヒドロキシヒドロキノン、ビスフェノールＡ、ナフ
トール、ナフタレンジオール、ビナフトール、アントロ
ール、アントラヒドロキノン類やこれらの変成品が挙げ
られるが、特に、カテコール、ナフタレンジオールの少
なくともいずれかであって好適である。Examples of the aromatic hydroxy compound include phenol, catechol, resormine, hydroquinone, orcin, urushiol, pyrocarol, phloroglucin, hydroxyhydroquinone, bisphenol A, naphthol, naphthalene diol, binaphthol, anthrol, anthrahydroquinone and the like. Modified products can be mentioned, and at least one of catechol and naphthalenediol is particularly preferable.

【００１５】また、この磁気記録媒体において、前記保
護膜は、ダイヤモンド状カーボン膜であって好適であ
る。Further, in this magnetic recording medium, the protective film is preferably a diamond-like carbon film.

【００１６】本発明は、いわゆる金属磁性薄膜型の磁気
記録媒体に関するものであるが、非磁性支持体や金属磁
性薄膜の材料や構成等は特に限定されない。The present invention relates to a so-called metal magnetic thin film type magnetic recording medium, but the materials and configurations of the non-magnetic support and the metal magnetic thin film are not particularly limited.

【００１７】非磁性支持体としては、ポリエステル類、
ポリオレフィン類、セルロース類、ビニル類、ポリイミ
ド類、ポリカーボネート類に代表されるような高分子材
料によって形成される高分子基板や、アルミニウム合
金、チタン合金からなる金属基板、アルミガラス等のセ
ラミックス基板、ガラス基板等が挙げられ、その形状も
何等限定されないが、本発明を磁気テープに適用する場
合には、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエ
チレンナフタレートフィルム、アラミドフィルム等を用
いて好適である。また、これらのフィルムには、表面粗
度を制御するためにフィラーが内添されていてもよい
し、表面に表面粗度を制御するための層が形成されてい
てもよい。As the non-magnetic support, polyesters,
Polymer substrates formed of polymer materials typified by polyolefins, celluloses, vinyls, polyimides, polycarbonates, metal substrates made of aluminum alloys and titanium alloys, ceramic substrates such as aluminum glass, and glass Examples of the substrate include a substrate, and the shape thereof is not limited. When the present invention is applied to a magnetic tape, a polyethylene terephthalate film, a polyethylene naphthalate film, an aramid film or the like is preferably used. Further, a filler may be internally added to these films in order to control the surface roughness, or a layer for controlling the surface roughness may be formed on the surface.

【００１８】金属磁性薄膜としては、通常、金属磁性薄
膜型の磁気記録媒体に用いられる金属磁性材料がいずれ
も使用可能である。例示するならば、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ
などの強磁性金属、Ｆｅ−Ｃｏ，Ｆｅ−Ｎｉ，Ｃｏ−Ｎ
ｉ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｂ，Ｆｅ−Ｎｉ−
Ｂ，Ｆｅ−Ｃｕ，Ｃｏ−Ｃｕ，Ｃｏ−Ａｕ，Ｃｏ−Ｐ
ｔ，Ｍｎ−Ｂｉ，Ｍｎ−Ａｌ，Ｆｅ−Ｃｒ，Ｃｏ−Ｃ
ｒ，Ｎｉ−Ｃｒ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｃｒ，Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃ
ｒ，Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ，Ｆｅ
−Ｃｏ−Ｎｉ−Ｂ等の強磁性合金からなる面内磁化記録
用の金属磁性薄膜や、Ｃｏ−Ｃｒ系合金薄膜、Ｃｏ−Ｏ
系薄膜等の垂直磁化記録用の金属磁性薄膜が挙げられ
る。As the metal magnetic thin film, any metal magnetic material usually used in a magnetic recording medium of the metal magnetic thin film type can be used. For example, Fe, Co, Ni
Ferromagnetic metals such as Fe-Co, Fe-Ni, Co-N
i, Fe-Co-Ni, Fe-Co-B, Fe-Ni-
B, Fe-Cu, Co-Cu, Co-Au, Co-P
t, Mn-Bi, Mn-Al, Fe-Cr, Co-C
r, Ni-Cr, Fe-Co-Cr, Co-Ni-C
r, Co-Ni-Pt, Fe-Co-Ni-Cr, Fe
-Co-Ni-B or other magnetic alloy thin film made of a ferromagnetic alloy for in-plane magnetization recording, Co-Cr alloy thin film, Co-O
Examples thereof include metal magnetic thin films for perpendicular magnetization recording such as system thin films.

【００１９】これら金属磁性材料は、真空下で強磁性金
属磁性材料を加熱蒸発させ支持体上に沈着させる真空蒸
着法や、強磁性金属材料の蒸発を放電中で行うイオンプ
レーティング法、アルゴンを主成分とする雰囲気中でグ
ロー放電を越こし生じたアルゴンイオンでターゲット表
面の原子をたたき出すスパッタ法等のいわゆるＰＶＤ技
術によって薄膜とされる。磁性層としてはこれら手法に
よって成膜される金属磁性薄膜の単層膜あるいは多層膜
のいずれでも良い。なお、非磁性支持体と金属磁性薄膜
の間，さらには金属磁性薄膜が多層膜である場合には金
属磁性薄膜同士の間に、各層間の付着力向上、抗磁力の
制御等を図るために下地層や中間層を設けるようにして
も良い。また、これら金属磁性薄膜の表面近傍は、耐蝕
性改善等を目的として酸化物層となっていてもよい。These metal magnetic materials include a vacuum vapor deposition method of evaporating a ferromagnetic metal magnetic material under vacuum to deposit it on a support, an ion plating method of evaporating a ferromagnetic metal material in a discharge, and argon. A thin film is formed by a so-called PVD technique such as a sputtering method in which atoms on the target surface are knocked out by argon ions generated through a glow discharge in an atmosphere containing the main component. The magnetic layer may be either a single layer film or a multi-layer film of a metal magnetic thin film formed by these methods. In order to improve the adhesive force between layers and control the coercive force between the non-magnetic support and the metal magnetic thin film, or between the metal magnetic thin films when the metal magnetic thin film is a multilayer film. A base layer or an intermediate layer may be provided. Further, the vicinity of the surface of these metal magnetic thin films may be an oxide layer for the purpose of improving corrosion resistance and the like.

【００２０】特に面内磁化記録用の金属磁性薄膜の場
合、予め非磁性支持体上にＢｉ、Ｓｂ、Ｐｂ、Ｓｎ、Ｇ
ａ、Ｉｎ、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｔｉ等の低融点非磁性材料の下
地膜を形成しておき、金属磁性材料を垂直方向から蒸着
あるいはスパッタし、金属磁性薄膜中にこれら低融点非
磁性材料を拡散せしめ、配向性を解消して面内等方性を
確保するとともに抗磁力を向上するようにしてもよい。Particularly in the case of a metal magnetic thin film for in-plane magnetization recording, Bi, Sb, Pb, Sn and G are previously formed on a non-magnetic support.
A base film of a low melting point non-magnetic material such as a, In, Ge, Si, Ti is formed in advance, and a metallic magnetic material is vapor-deposited or sputtered from the vertical direction to diffuse the low melting point non-magnetic material into the metallic magnetic thin film. However, the orientation may be eliminated to secure the in-plane isotropy and improve the coercive force.

【００２１】また、本発明の磁気記録媒体においては、
非磁性支持体の金属磁性薄膜が形成されている側とは反
対側の面にバックコート層が形成されたり、保護膜上に
さらに潤滑剤や極圧剤等よりなるトップコート層が塗布
されたものであっても良い。これらの層に用いられる材
料には、従来公知のものがいずれも使用可能である。例
えば、バックコート層は、通常の磁気記録媒体において
形成されているようなカーボンブラック等の帯電防止効
果や摩擦低減効果を有する非磁性粉末が結合剤中に分散
されてなる非磁性層であればよい。In the magnetic recording medium of the present invention,
A back coat layer was formed on the surface of the non-magnetic support opposite to the side on which the metal magnetic thin film was formed, or a top coat layer made of a lubricant or extreme pressure agent was applied on the protective film. It may be one. As a material used for these layers, any conventionally known material can be used. For example, the back coat layer is a non-magnetic layer in which a non-magnetic powder having an antistatic effect and a friction reducing effect, such as carbon black formed in a normal magnetic recording medium, is dispersed in a binder. Good.

【００２２】[0022]

【作用】芳香族ヒドロキシ化合物は、一般に防錆剤とし
て用いられるものであり、金属磁性薄膜上に保持される
ことにより、防錆効果を発揮する。金属磁性薄膜上に保
護膜を形成してから防錆剤を塗布すると、十分な防錆効
果が得られないが、本発明のように、保護膜の成膜時
に、防錆剤をガス化して供給することにより、防錆効果
を有する保護膜を形成することが可能となる。The aromatic hydroxy compound is generally used as a rust preventive agent, and exhibits an rust preventive effect by being retained on the metal magnetic thin film. If a rust preventive agent is applied after forming a protective film on the metal magnetic thin film, a sufficient rust preventive effect cannot be obtained, but as in the present invention, when the protective film is formed, the rust preventive agent is gasified. By supplying, it becomes possible to form a protective film having an anticorrosive effect.

【００２３】また、本発明においては、防錆剤である芳
香族ヒドロキシ化合物をガス化して用いるため、溶媒に
溶解させて塗布する必要がない。即ち、溶媒が不要であ
り、これに伴い、塗布工程、溶媒の回収工程も不要とな
る。Further, in the present invention, since the aromatic hydroxy compound which is a rust preventive agent is gasified and used, it is not necessary to dissolve it in a solvent and apply it. That is, the solvent is unnecessary, and accordingly, the coating step and the solvent recovery step are also unnecessary.

【００２４】[0024]

【実施例】以下、本発明の具体的な実施例について説明
するが、本発明がこの実施例に限定されるものでないこ
とは言うまでもない。EXAMPLES Hereinafter, specific examples of the present invention will be described, but it goes without saying that the present invention is not limited to these examples.

【００２５】実施例１ 本実施例では、金属磁性薄膜上に、トルエンとカテコー
ルとの混合ガスを用いたＣＶＤによってダイヤモンド状
カーボン膜よりなる保護膜を形成することによって磁気
テープを作製した。 Example 1 In this example, a magnetic tape was produced by forming a protective film made of a diamond-like carbon film on a metal magnetic thin film by CVD using a mixed gas of toluene and catechol.

【００２６】具体的には、まず、厚さ１０μｍのポリエ
チレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムに対して、Ｃ
ｏ₈₀−Ｎｉ₂₀（数字は組成比を示す。）を蒸着源に用い
た真空蒸着を行うことにより、膜厚０．１５μｍの金属
磁性薄膜を成膜した。金属磁性薄膜の成膜条件は下記の
とおりである。Specifically, first, for a polyethylene terephthalate (PET) film having a thickness of 10 μm, C
A metal magnetic thin film having a film thickness of 0.15 μm was formed by vacuum vapor deposition using o ₈₀ —Ni ₂₀ (numbers indicate composition ratio) as a vapor deposition source. The film forming conditions for the metal magnetic thin film are as follows.

【００２７】金属磁性薄膜に成膜条件 蒸着粒子の入射角 ： ４５〜９０° 酸素の導入量 ： ３．３×１０^-6 ｍ³ ／秒 蒸着時の真空度 ： ７×１０^-2 Ｐａ なお、酸素の導入によってＣｏ₈₀−Ｎｉ₂₀を部分酸化す
ることにより、金属磁性薄膜の保磁力Ｈｃを１１０ｋＡ
／ｍ、残留磁束密度Ｂｒを０．４５Ｔに調整した。Film forming conditions on metal magnetic thin film Incident angle of vapor deposition particles: 45 to 90 ° Amount of oxygen introduced: 3.3 × 10 ⁻⁶ m ³ / sec Vacuum degree during vapor deposition: 7 × 10 ⁻² Pa By partially oxidizing Co ₈₀ —Ni ₂₀ by introducing oxygen, the coercive force Hc of the metal magnetic thin film is 110 kA.
/ M and residual magnetic flux density Br were adjusted to 0.45T.

【００２８】次に、保護膜を成膜するが、これに先立っ
て、成膜に用いたプラズマＣＶＤ装置について説明す
る。Next, the protective film is formed. Prior to this, the plasma CVD apparatus used for the film formation will be described.

【００２９】図１に示されるように、このプラズマＣＶ
Ｄ装置は、真空排気系８によって排気されて内部が真空
状態となされた真空室１内に、送りロール３，巻き取り
ロール４とが配設されており、これら送りロール３から
巻き取りロール４に向かって、上述したように非磁性支
持体上に金属磁性薄膜が成膜されてなるテープ２が順次
走行されるようになされている。As shown in FIG. 1, this plasma CV
In the device D, a feed roll 3 and a take-up roll 4 are arranged in a vacuum chamber 1 which is evacuated by a vacuum exhaust system 8 and has a vacuum inside. As described above, the tape 2 in which the metal magnetic thin film is formed on the non-magnetic support member is sequentially run toward.

【００３０】これら送りロール３から巻き取りロール４
側に上記テープ２が走行する中途部には、上記各ロール
３，４よりも大径となされた円筒キャン５が配設されて
いる。These feed roll 3 to take-up roll 4
A cylindrical can 5 having a diameter larger than that of each of the rolls 3 and 4 is disposed in the middle of the running of the tape 2 to the side.

【００３１】この円筒キャン５は、上記テープ２を図中
下方に引き出すように設けられている。この円筒キャン
５には、内部に冷却装置（図示せず。）が設けられてお
り、上記テープ２の温度上昇による変形等を抑制し得る
ようになされている。The cylindrical can 5 is provided so as to pull out the tape 2 downward in the drawing. A cooling device (not shown) is provided inside the cylindrical can 5 so as to suppress deformation of the tape 2 due to a temperature rise.

【００３２】なお、上記送りロール３，巻き取りロール
４及び円筒キャン５は、それぞれ上記テープ２の幅と略
同じ長さからなる円筒状をなすものである。ここでは、
円筒キャン５の直径を６０ｃｍとした。The feed roll 3, the winding roll 4 and the cylindrical can 5 each have a cylindrical shape having a length substantially the same as the width of the tape 2. here,
The diameter of the cylindrical can 5 was set to 60 cm.

【００３３】以上のような構成を有するプラズマＣＶＤ
装置において、上記テープ２は、上記送りロール３から
順次送り出され、上記円筒キャン５の周面に沿って移動
走行され、更に上記巻き取りロール４に順次巻き取られ
ることとなる。Plasma CVD having the above structure
In the apparatus, the tape 2 is sequentially fed from the feed roll 3, moved and run along the peripheral surface of the cylindrical can 5, and further wound on the winding roll 4 in sequence.

【００３４】また、上記送りロール３と上記円筒キャン
５との間、及び該円筒キャン５と上記巻き取りロール４
との間には、各ロール３，４より小径のガイドロール
６，７がそれぞれ配設され、上記送りロール３から上記
円筒キャン５、該円筒キャン５から上記巻き取りロール
４に亘って走行する上記テープ２に所定のテンションを
かけ、該テープ２が円滑に走行するようになされてい
る。Between the feed roll 3 and the cylindrical can 5, and between the cylindrical can 5 and the take-up roll 4.
And guide rolls 6 and 7 having a smaller diameter than the rolls 3 and 4, respectively, and run from the feed roll 3 to the cylindrical can 5 and from the cylindrical can 5 to the take-up roll 4. A predetermined tension is applied to the tape 2 so that the tape 2 runs smoothly.

【００３５】上記円筒キャン５の下方には、該円筒キャ
ン５の周面に略平行となるように曲面化された開口を有
するガス反応管９が設けられ、その内部に金属よりなる
メッシュ状の電極１０が配されている。この電極１０に
は、５００Ｖ〜２０００Ｖなる電圧を印加できるように
なされている。Below the cylindrical can 5, there is provided a gas reaction tube 9 having an opening that is curved so as to be substantially parallel to the peripheral surface of the cylindrical can 5, and inside thereof is a mesh-shaped metal mesh. The electrode 10 is arranged. A voltage of 500 V to 2000 V can be applied to this electrode 10.

【００３６】なお、ガス反応管９は、これに対向する円
筒キャン５と略同じ幅を有するものであり、ここでは、
高さ２０ｃｍ、テープ２の走行方向の長さ１０ｃｍの直
方体である。なお、このガス反応管９は石英管パイレッ
クスガラス、プラスチック等より構成される。また、こ
のガス反応管９には、この内部にガスを供給するための
ガス供給管１１が接続されている。The gas reaction tube 9 has substantially the same width as the cylindrical can 5 facing it, and here,
It is a rectangular parallelepiped having a height of 20 cm and a length of 10 cm in the running direction of the tape 2. The gas reaction tube 9 is made of quartz tube Pyrex glass, plastic, or the like. Further, a gas supply pipe 11 for supplying a gas to the inside is connected to the gas reaction pipe 9.

【００３７】したがって、電極１０に所定の直流電圧を
印加した状態にて、ガス供給管１４から炭化水素系化合
物および芳香族ヒドロキシ化合物の混合ガスを供給する
と、電極１０のメッシュを通過して所定の反応を起こ
し、この分解生成物が円筒キャン５の周面を走行するテ
ープ２の表面に連続的に被着することとなる。Therefore, when a mixed gas of a hydrocarbon compound and an aromatic hydroxy compound is supplied from the gas supply pipe 14 in a state where a predetermined DC voltage is applied to the electrode 10, it passes through the mesh of the electrode 10 and becomes a predetermined amount. A reaction occurs, and this decomposition product is continuously deposited on the surface of the tape 2 running on the peripheral surface of the cylindrical can 5.

【００３８】このような構成を有するプラズマＣＶＤを
用い、実際に保護膜を成膜するには、まず、非磁性支持
体上に金属磁性薄膜が成膜されたテープ２を円筒キャン
５の周面に３ｍ／分なる速度で走行させた。また、トル
エンに１０重量％のカテコールを添加し、これをガス化
したものを、ガス供給管１１よりガス反応管９内へ２０
ｓｃｃｍなる流量にて供給し、真空室１内の圧力を１０
Ｐａとした。In order to actually form a protective film by using the plasma CVD having such a structure, first, the tape 2 having the metal magnetic thin film formed on the non-magnetic support is attached to the peripheral surface of the cylindrical can 5. It was run at a speed of 3 m / min. Further, 10% by weight of catechol was added to toluene, and a gasified product of the catechol was introduced into the gas reaction tube 9 from the gas supply tube 11.
It is supplied at a flow rate of sccm, and the pressure in the vacuum chamber 1 is 10
It was Pa.

【００３９】そして、電極１０に２ｋＶの直流電圧を印
加してグロー放電を行うことにより、上述の混合ガスの
分解生成物を走行するテープ２の表面に被着させた。Then, a DC voltage of 2 kV was applied to the electrode 10 to perform glow discharge, so that the decomposition product of the mixed gas described above was deposited on the surface of the running tape 2.

【００４０】これにより、非磁性支持体上の金属磁性薄
膜表面に、ダイヤモンド状カーボン膜よりなる保護膜が
１０ｎｍなる厚さに成膜された。As a result, a protective film made of a diamond-like carbon film was formed to a thickness of 10 nm on the surface of the metal magnetic thin film on the non-magnetic support.

【００４１】その後、以上のようにして金属磁性薄膜上
に保護膜を成膜した後、８ｍｍ幅に裁断することにより
磁気テープを完成し、これを実施例１のサンプルテープ
とした。Then, after forming a protective film on the metal magnetic thin film as described above, the magnetic tape was completed by cutting into a width of 8 mm, and this was used as the sample tape of Example 1.

【００４２】実施例２ 本実施例では、保護膜の成膜時に、カテコールの代わり
にナフタレンジオールを用いた。 Example 2 In this example, naphthalenediol was used in place of catechol during the formation of the protective film.

【００４３】具体的には、トルエンに１０重量％のナフ
タレンジオールを添加し、これをガス化したものを、ガ
ス供給管１１よりガス反応管９内へ２０ｓｃｃｍなる流
量にて供給した以外は、実施例１と同様にして保護膜を
成膜して磁気テープを完成した。これにより、実施例２
のサンプルテープを得た。Concretely, except that 10% by weight of naphthalenediol was added to toluene and the gasified product was supplied from the gas supply pipe 11 into the gas reaction pipe 9 at a flow rate of 20 sccm. A protective film was formed in the same manner as in Example 1 to complete a magnetic tape. As a result, the second embodiment
A sample tape of

【００４４】比較例１ 比較のため、保護膜を成膜後、ナフタレンジオールを塗
布して磁気テープを作製した。 Comparative Example 1 For comparison, after forming a protective film, naphthalene diol was applied to prepare a magnetic tape.

【００４５】具体的には、ガス供給管１１からトルエン
のみをガス化して、２０ｓｃｃｍなる流量にて供給し、
真空室１内の圧力を１０Ｐａとした以外は、実施例１と
同様にして保護膜を成膜し、その後、ナフタレンジオー
ルを２０ｍｇ／ｍ² となるように塗布してから、実施例
１と同様に裁断等を行って磁気テープを完成した。これ
により、比較例１のサンプルテープを得た。Specifically, only toluene is gasified from the gas supply pipe 11 and supplied at a flow rate of 20 sccm,
A protective film was formed in the same manner as in Example 1 except that the pressure in the vacuum chamber 1 was changed to 10 Pa, and then naphthalene diol was applied at 20 mg / m ² , and then the same as in Example 1. Then, the magnetic tape was completed by cutting it. As a result, the sample tape of Comparative Example 1 was obtained.

【００４６】比較例２ ここでは、カテコールやナフタレンジオールといった芳
香族ヒドロキシ化合物を、保護膜の成膜時にも、成膜後
にも用いずに磁気テープを作製した。 Comparative Example 2 Here, a magnetic tape was produced without using an aromatic hydroxy compound such as catechol or naphthalenediol during or after the formation of the protective film.

【００４７】具体的には、ガス供給管１１からトルエン
のみをガス化して、２０ｓｃｃｍなる流量にて供給し、
真空室１内の圧力を１０Ｐａとした以外は、実施例１と
同様にして保護膜を成膜し、その後、芳香族ヒドロキシ
化合物を塗布することなく磁気テープを作製した。これ
により、比較例２のサンプルテープを得た。Specifically, only toluene is gasified from the gas supply pipe 11 and supplied at a flow rate of 20 sccm,
A protective film was formed in the same manner as in Example 1 except that the pressure in the vacuum chamber 1 was set to 10 Pa, and then a magnetic tape was produced without applying an aromatic hydroxy compound. Thereby, the sample tape of Comparative Example 2 was obtained.

【００４８】特性の評価 以上のようにして作製された各サンプルテープに対し、
シャトル耐久性、スチル耐久性、防錆特性を調べた。 Evaluation of characteristics For each sample tape manufactured as described above,
The shuttle durability, still durability, and rust prevention properties were examined.

【００４９】ここで、シャトル耐久性およびスチル耐久
性の測定には、トラック幅２０μｍのセンダストヘッド
が搭載された８ｍｍビデオデッキ（ソニー社製，商品名
ＣＶＤ−１０００）を用いた。シャトル耐久性は、サン
プルテープに対して２０℃６０％ＲＨなる雰囲気下にて
信号を記録し、これを１００回再生走行させた後の出力
レベルを測定し、初期の出力レベルを０ｄＢとして相対
値換算することで評価した。また、スチル耐久性は、上
述と同様の雰囲気下でスチル再生を行い、再生出力が３
ｄＢ低下するまでの時間として評価した。Here, for measuring the shuttle durability and the still durability, an 8 mm video deck (manufactured by Sony Corporation, trade name CVD-1000) equipped with a sendust head having a track width of 20 μm was used. The shuttle durability is a relative value with the signal level recorded on the sample tape in an atmosphere of 20 ° C. and 60% RH, the output level after 100 times of reproduction and running, and the initial output level being 0 dB. It was evaluated by converting. In addition, the still durability was 3 when the still reproduction was performed under the same atmosphere as described above, and the reproduction output was 3
It was evaluated as the time until the dB decreased.

【００５０】一方、防錆特性については、各サンプルテ
ープを６５℃９０％ＲＨなる雰囲気下に７日間放置し、
初期の磁化量と放置後磁化量とを、それぞれ試料振動式
磁気特性測定装置（ＶＳＭ）によって測定し、放置によ
る磁化量の劣化率を式１に基づいて求めた。On the other hand, regarding the rustproof property, each sample tape was left to stand in an atmosphere of 65 ° C. and 90% RH for 7 days,
The initial amount of magnetization and the amount of magnetization after standing were respectively measured by a sample vibration type magnetic characteristic measuring device (VSM), and the deterioration rate of the amount of magnetization due to standing was calculated based on Equation 1.

【００５１】 磁化量の劣化率（％）＝（φｒ₀ −φｒ₁ ）／φｒ₀ ×１００ ・・・（１） φｒ₀ ：初期磁化量 φｒ₁ ：放置後磁化量 これらの結果を表１に示す。Deterioration rate (%) of magnetization amount = (φr ₀ −φr ₁ ) / φr ₀ × 100 (1) φr ₀ : initial magnetization amount φr ₁ : magnetization amount after standing These results are shown in Table 1. Show.

【００５２】[0052]

【表１】 [Table 1]

【００５３】なお、表１には、各サンプルテープにおけ
る保護膜の硬度（Ｈｖ）についても併せて示す。Table 1 also shows the hardness (Hv) of the protective film in each sample tape.

【００５４】表１より、いずれのサンプルテープも、保
護膜の硬度に優れ、十分なシャトル耐久性およびスチル
耐久性を有することがわかる。しかしながら、防錆剤が
保持されていない比較例２のサンプルテープは、磁化量
の劣化率が非常に大きく、保護膜の成膜後に防錆剤を塗
布した比較例１のサンプルテープは、比較例２よりは磁
化量の劣化率が小さくなっているものの十分ではない。
これに対し、実施例１および実施例２のサンプルテープ
においては、磁化量の劣化率が非常に小さくなってい
る。It can be seen from Table 1 that all the sample tapes have excellent hardness of the protective film and have sufficient shuttle durability and still durability. However, the sample tape of Comparative Example 2 in which the rust preventive agent is not retained has a very large deterioration rate of the magnetization amount, and the sample tape of Comparative Example 1 in which the rust preventive agent is applied after the formation of the protective film is the Comparative Example. Although the deterioration rate of the magnetization amount is smaller than 2, it is not sufficient.
On the other hand, in the sample tapes of Example 1 and Example 2, the deterioration rate of the magnetization amount was very small.

【００５５】以上の結果より、保護膜の成膜時に、炭化
水素系化合物と芳香族ヒドロキシ化合物との混合ガスを
供給すると、耐久性に優れるとともに、防錆性に非常に
優れた磁気テープが得られることがわかった。From the above results, when a mixed gas of a hydrocarbon compound and an aromatic hydroxy compound was supplied during the formation of the protective film, a magnetic tape having excellent durability and rust prevention was obtained. I found out that

【００５６】以上、本発明に係る磁気記録媒体について
説明したが、本発明は上述の実施例に限定されるもので
はなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で適宜変形変更
が可能である。例えば、保護膜を成膜するためのプラズ
マＣＶＤ装置のガス反応管９が、図２に示されるよう
に、仕切板１２によって２分割され、その２つの空間１
３，１４にそれぞれガスを供給するガス供給管１５，１
６が設けられた構成となされてもよい。この場合、例え
ば、円筒キャン５の周面を走行するテープ２に対して比
較的上流側にて対向する空間１３に、トルエン等の炭化
水素系化合物のガスを供給し、比較的下流側にてテープ
２に対向する空間１４に、カテコール、ナフタレンジオ
ール等の芳香族ヒドロキシ化合物のガスを供給すればよ
い。Although the magnetic recording medium according to the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications and changes can be made without departing from the spirit of the present invention. For example, a gas reaction tube 9 of a plasma CVD apparatus for forming a protective film is divided into two by a partition plate 12 as shown in FIG.
Gas supply pipes 15 and 1 for supplying gas to 3 and 14 respectively
6 may be provided. In this case, for example, a gas of a hydrocarbon compound such as toluene is supplied to the space 13 facing the tape 2 running on the circumferential surface of the cylindrical can 5 on the relatively upstream side, and the gas is supplied on the relatively downstream side. Gases of aromatic hydroxy compounds such as catechol and naphthalenediol may be supplied to the space 14 facing the tape 2.

【００５７】[0057]

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明を適用すると、優れた耐久性を有するとともに、防錆
性に優れた磁気記録媒体が得られる。このため、耐食性
に優れ、磁気特性の経時変化が少ない、信頼性の高い磁
気記録媒体を提供することができる。As is apparent from the above description, the application of the present invention makes it possible to obtain a magnetic recording medium having excellent durability and rust prevention. Therefore, it is possible to provide a highly reliable magnetic recording medium that has excellent corrosion resistance and has little change in magnetic characteristics over time.

【００５８】また、本発明においては、防錆剤の塗布を
必要としないため、溶媒が不要であり、塗布工程、溶媒
の回収工程も不要となる。したがって、上述したような
優れた特性を有する磁気記録媒体を低コストで提供する
ことが可能となる。Further, in the present invention, since the coating of the rust preventive agent is not required, the solvent is not required, and the coating step and the solvent collecting step are also unnecessary. Therefore, it is possible to provide the magnetic recording medium having the above-described excellent characteristics at low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】金属磁性薄膜上に保護膜を成膜するためのプラ
ズマＣＶＤ装置の構成例を示す模式図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration example of a plasma CVD apparatus for forming a protective film on a metal magnetic thin film.

【図２】金属磁性薄膜上に保護膜を成膜するためのプラ
ズマＣＶＤ装置の他の構成例を示す模式図である。FIG. 2 is a schematic diagram showing another configuration example of a plasma CVD apparatus for forming a protective film on a metal magnetic thin film.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 真空室 ２ テープ ５ 円筒キャン ９ ガス反応管 １０ 電極 １１ ガス供給管 1 vacuum chamber 2 tape 5 cylindrical can 9 gas reaction tube 10 electrode 11 gas supply tube

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 非磁性支持体上に少なくとも金属磁性薄
膜と保護膜とを有する磁気記録媒体において、 前記保護膜が、炭化水素系化合物のガスと芳香族ヒドロ
キシ化合物のガスとを用いた化学的気相成長によって成
膜されてなることを特徴とする磁気記録媒体。1. A magnetic recording medium having at least a metal magnetic thin film and a protective film on a non-magnetic support, wherein the protective film is chemically formed by using a hydrocarbon compound gas and an aromatic hydroxy compound gas. A magnetic recording medium, which is formed by vapor deposition. 【請求項２】 前記芳香族ヒドロキシ化合物がカテコー
ル、ナフタレンジオールの少なくともいずれかであるこ
とを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体。2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the aromatic hydroxy compound is at least one of catechol and naphthalenediol. 【請求項３】 前記保護膜が、ダイヤモンド状カーボン
膜よりなることを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒
体。3. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the protective film is a diamond-like carbon film.