JPH08271798A - 複数ヘッド顕微鏡 - Google Patents
複数ヘッド顕微鏡Info
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- JPH08271798A JPH08271798A JP7159395A JP7159395A JPH08271798A JP H08271798 A JPH08271798 A JP H08271798A JP 7159395 A JP7159395 A JP 7159395A JP 7159395 A JP7159395 A JP 7159395A JP H08271798 A JPH08271798 A JP H08271798A
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- Japan
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- optical path
- microscope
- optical
- microscope head
- head units
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、目視観察を可能として、精度の高い
観察を実現できる複数ヘッド顕微鏡装置を提供する。 【構成】2個の顕微鏡ヘッドユニット1、2の光路折曲
げミラー6、10からの反射光の光路のいずれか一方を
光路選択ミラー13により選択し、結合レンズ14を通
して接眼レンズ15に入射させる。
観察を実現できる複数ヘッド顕微鏡装置を提供する。 【構成】2個の顕微鏡ヘッドユニット1、2の光路折曲
げミラー6、10からの反射光の光路のいずれか一方を
光路選択ミラー13により選択し、結合レンズ14を通
して接眼レンズ15に入射させる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、標本面に対して複数の
顕微鏡ヘッドを所定間隔をおいて平行移動できるように
した複数ヘッド顕微鏡装置に関するものである。従来、
液晶パネルの製造においては、400×500mm程度
の大型ガラス板が用いられ、このようなガラス板を後工
程で複数に分割してカラーフィルタ基板やTFT基板な
どのガラス基板として製品化するようなことが行われて
いる。
顕微鏡ヘッドを所定間隔をおいて平行移動できるように
した複数ヘッド顕微鏡装置に関するものである。従来、
液晶パネルの製造においては、400×500mm程度
の大型ガラス板が用いられ、このようなガラス板を後工
程で複数に分割してカラーフィルタ基板やTFT基板な
どのガラス基板として製品化するようなことが行われて
いる。
【0002】この場合、ガラス板上には、2、4、6、
8個などの同一パターンが正しい位置関係で描画されて
おり、これら複数の同一パターンの良否についてガラス
基板ごとに検査するようにしている。
8個などの同一パターンが正しい位置関係で描画されて
おり、これら複数の同一パターンの良否についてガラス
基板ごとに検査するようにしている。
【0003】しかして、このようなガラス板上の複数の
同一パターンを検査するものとして、本出願人が提案し
た特願平6−314852号明細書に開示された複数ヘ
ッド顕微鏡装置が考えられている。
同一パターンを検査するものとして、本出願人が提案し
た特願平6−314852号明細書に開示された複数ヘ
ッド顕微鏡装置が考えられている。
【0004】このような複数ヘッド顕微鏡装置によれ
ば、一度のステージ移動により2点の観測が可能になる
ことから、ガラス板上での定点観測については、タクト
タイムが1/2となり、しかも、ステージストロークが
1/2になることからの装置自体の小型化も可能になる
という利点がある。
ば、一度のステージ移動により2点の観測が可能になる
ことから、ガラス板上での定点観測については、タクト
タイムが1/2となり、しかも、ステージストロークが
1/2になることからの装置自体の小型化も可能になる
という利点がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、最近の撮像
技術の進歩は、目覚ましいものがあり、CCDなどによ
り撮像した画像信号をハイビジョンなどにより高精度に
再現するものも実現している。しかし、このような撮像
技術による高精度な再現手段を用いても、今だ解像度や
色再現の点では、人間の目に劣るところがあり、特に、
微分干渉観察や暗視野観察では、TVモニターで観察し
たいところを探し、概略の判定をした後に人間の目によ
る確認のために接眼レンズを覗くようにしている。
技術の進歩は、目覚ましいものがあり、CCDなどによ
り撮像した画像信号をハイビジョンなどにより高精度に
再現するものも実現している。しかし、このような撮像
技術による高精度な再現手段を用いても、今だ解像度や
色再現の点では、人間の目に劣るところがあり、特に、
微分干渉観察や暗視野観察では、TVモニターで観察し
たいところを探し、概略の判定をした後に人間の目によ
る確認のために接眼レンズを覗くようにしている。
【0006】このため、上述の複数ヘッド顕微鏡装置に
ついても目視観察の重要性が問われており、このための
改善が要求されている。本発明は、上記事情に鑑みてな
されたもので、目視観察を可能として、精度の高い観察
を実現できる複数ヘッド顕微鏡装置を提供することを目
的とする。
ついても目視観察の重要性が問われており、このための
改善が要求されている。本発明は、上記事情に鑑みてな
されたもので、目視観察を可能として、精度の高い観察
を実現できる複数ヘッド顕微鏡装置を提供することを目
的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
ステージ上に載置された標本の複数箇所を同時に観察す
るため複数の顕微鏡ヘッドユニットが標本に対し移動可
能に設けられた複数ヘッド顕微鏡において、標本からの
観察光を出力する対物レンズとこの対物レンズからの観
察光を所定の方向に折曲げる光路折曲げ手段をそれぞれ
有するとともに、対物レンズと結像レンズとの間がアフ
ォーカルに構成されており、かつ各光路折曲げ手段によ
り折曲げられた光路が一致するように配置された前記複
数の顕微鏡ヘッドユニットと、この複数の顕微鏡ヘッド
ユニットの相互の間隔を調整する間隔調整手段と、前記
折曲げられ一致された光路中に設けられ前記顕微鏡ヘッ
ドユニットからの観察光を選択的に接眼光学系に送出す
る光路選択手段とにより構成している。
ステージ上に載置された標本の複数箇所を同時に観察す
るため複数の顕微鏡ヘッドユニットが標本に対し移動可
能に設けられた複数ヘッド顕微鏡において、標本からの
観察光を出力する対物レンズとこの対物レンズからの観
察光を所定の方向に折曲げる光路折曲げ手段をそれぞれ
有するとともに、対物レンズと結像レンズとの間がアフ
ォーカルに構成されており、かつ各光路折曲げ手段によ
り折曲げられた光路が一致するように配置された前記複
数の顕微鏡ヘッドユニットと、この複数の顕微鏡ヘッド
ユニットの相互の間隔を調整する間隔調整手段と、前記
折曲げられ一致された光路中に設けられ前記顕微鏡ヘッ
ドユニットからの観察光を選択的に接眼光学系に送出す
る光路選択手段とにより構成している。
【0008】また、請求項2記載の発明では、前記複数
の顕微鏡ヘッドユニットの光路折曲げ手段は、それぞれ
からの光路が一致するように相対向して配置され、前記
光路選択手段は、前記一致された光路の中間位置に配置
されている。
の顕微鏡ヘッドユニットの光路折曲げ手段は、それぞれ
からの光路が一致するように相対向して配置され、前記
光路選択手段は、前記一致された光路の中間位置に配置
されている。
【0009】また、請求項3記載の発明では、前記複数
の顕微鏡ヘッドユニットの光路折曲げ手段は、それぞれ
からの光路が一致するように相対向して配置され、且つ
前記光路折曲げ手段の少なくともひとつを前記光路に対
し選択的に挿脱可能にして光路選択手段を構成してい
る。
の顕微鏡ヘッドユニットの光路折曲げ手段は、それぞれ
からの光路が一致するように相対向して配置され、且つ
前記光路折曲げ手段の少なくともひとつを前記光路に対
し選択的に挿脱可能にして光路選択手段を構成してい
る。
【0010】
【作用】この結果、本発明によれば、複数の顕微鏡ヘッ
ドユニットは、それぞれ標本からの観察光を出力する対
物レンズの観察光を所定方向に折曲げる光路折曲げ手段
からの光路が一致するように配置され、これら一致され
た光路中に光路選択手段を配置して顕微鏡ヘッドユニッ
トからの観察光を選択的に接眼光学系に送出できるよう
にしているので、所望する顕微鏡ヘッドユニットによる
観察像を選択的に目視できることになり、かかる目視観
察による人間の目の確認により、さらに精度の高い標本
観察を実現できる。また、標本に描画されたパターンの
ピッチに合わせ、ヘッド間隔を調整できることから、2
つのパターンの同一部を1度のステージ移動で観察する
ことができる。
ドユニットは、それぞれ標本からの観察光を出力する対
物レンズの観察光を所定方向に折曲げる光路折曲げ手段
からの光路が一致するように配置され、これら一致され
た光路中に光路選択手段を配置して顕微鏡ヘッドユニッ
トからの観察光を選択的に接眼光学系に送出できるよう
にしているので、所望する顕微鏡ヘッドユニットによる
観察像を選択的に目視できることになり、かかる目視観
察による人間の目の確認により、さらに精度の高い標本
観察を実現できる。また、標本に描画されたパターンの
ピッチに合わせ、ヘッド間隔を調整できることから、2
つのパターンの同一部を1度のステージ移動で観察する
ことができる。
【0011】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に従い説明す
る。 (第1実施例)図1は本発明を2個の顕微鏡ヘッドを有
する複数ヘッド顕微鏡装置に適用した第1実施例の概略
的構成を示している。
る。 (第1実施例)図1は本発明を2個の顕微鏡ヘッドを有
する複数ヘッド顕微鏡装置に適用した第1実施例の概略
的構成を示している。
【0012】図において、1、2は顕微鏡ヘッドユニッ
トで、対物レンズ5、9と結像レンズ14間がアフォー
カル光学系で構成され、これら顕微鏡ヘッドユニット
1、2は、それぞれこのアフォーカル部で、図示矢印の
接離方向に移動可能にしている。この場合、顕微鏡ヘッ
ドユニット1は、落射用光源3からの可視照明光をハー
フミラー4で反射させ、対物レンズ5を通して図示しな
いステージ上に載置されたガラス板11上のパターン1
2に照射し、このパターン12面からの反射光を対物レ
ンズ5、ハーフミラー4を通して光路折曲げミラー6に
入射させ、この光路折曲げミラー6からの反射光の光路
を顕微鏡ヘッドユニット2側に向かう水平光として出力
するようにしている。また、顕微鏡ヘッドユニット2に
ついても、顕微鏡ヘッドユニット1と同様な配置関係
で、光源7、ハーフミラー8、対物レンズ9、光路折曲
げミラー10を設けている。この場合、光路折曲げミラ
ー10からの反射光の光路を顕微鏡ヘッド1の光路折曲
げミラー6からの光路とその光軸一致する水平光として
出力するようにしている。
トで、対物レンズ5、9と結像レンズ14間がアフォー
カル光学系で構成され、これら顕微鏡ヘッドユニット
1、2は、それぞれこのアフォーカル部で、図示矢印の
接離方向に移動可能にしている。この場合、顕微鏡ヘッ
ドユニット1は、落射用光源3からの可視照明光をハー
フミラー4で反射させ、対物レンズ5を通して図示しな
いステージ上に載置されたガラス板11上のパターン1
2に照射し、このパターン12面からの反射光を対物レ
ンズ5、ハーフミラー4を通して光路折曲げミラー6に
入射させ、この光路折曲げミラー6からの反射光の光路
を顕微鏡ヘッドユニット2側に向かう水平光として出力
するようにしている。また、顕微鏡ヘッドユニット2に
ついても、顕微鏡ヘッドユニット1と同様な配置関係
で、光源7、ハーフミラー8、対物レンズ9、光路折曲
げミラー10を設けている。この場合、光路折曲げミラ
ー10からの反射光の光路を顕微鏡ヘッド1の光路折曲
げミラー6からの光路とその光軸一致する水平光として
出力するようにしている。
【0013】そして、これら顕微鏡ヘッドユニット1、
2の光路折曲げミラー6、10からの一致された光路中
で顕微鏡ヘッドユニット1と2の間に光路選択ミラー1
3を設けるようにしている。この光路選択ミラー13
は、光路折曲げミラー6または10からの反射光の光路
のいずれか一方を選択するもので、この光路選択ミラー
13で選択された光路を結像レンズ14を通して接眼レ
ンズ15に入射させるようになっている。
2の光路折曲げミラー6、10からの一致された光路中
で顕微鏡ヘッドユニット1と2の間に光路選択ミラー1
3を設けるようにしている。この光路選択ミラー13
は、光路折曲げミラー6または10からの反射光の光路
のいずれか一方を選択するもので、この光路選択ミラー
13で選択された光路を結像レンズ14を通して接眼レ
ンズ15に入射させるようになっている。
【0014】この場合、光路選択ミラー13は、図示実
線と破線の位置切換により光路折曲げミラー6または1
0からの反射光の光路を選択するようにしている。勿
論、このような手段の他に、ミラーを回転させたり、相
対向する方向に傾斜した反射面を有するミラーを挿脱す
るようなものを用いてもよい。
線と破線の位置切換により光路折曲げミラー6または1
0からの反射光の光路を選択するようにしている。勿
論、このような手段の他に、ミラーを回転させたり、相
対向する方向に傾斜した反射面を有するミラーを挿脱す
るようなものを用いてもよい。
【0015】しかして、このような顕微鏡ヘッドユニッ
ト1、2は、製品毎に異なるガラス板11の幅L0 、パ
ターン12のパターン長Lp 、パターン間隔d1 、縁巾
d2などの値に基づいて、図示矢印の接離方向の移動量
が設定される。この移動量は、製品ごとにそれぞれの値
が決められることから、1製品ロット毎に調整されるよ
うになる。
ト1、2は、製品毎に異なるガラス板11の幅L0 、パ
ターン12のパターン長Lp 、パターン間隔d1 、縁巾
d2などの値に基づいて、図示矢印の接離方向の移動量
が設定される。この移動量は、製品ごとにそれぞれの値
が決められることから、1製品ロット毎に調整されるよ
うになる。
【0016】これにより、顕微鏡ヘッドユニット1、2
について、これら相互の間隔LS をLp +d1 =LS に
設定すれば、ガラス板11を載置する図示しないステー
ジを移動させることで、ガラス板11上の同一パターン
12について各パターンの対応する位置の2点観察を同
時にできることになる。
について、これら相互の間隔LS をLp +d1 =LS に
設定すれば、ガラス板11を載置する図示しないステー
ジを移動させることで、ガラス板11上の同一パターン
12について各パターンの対応する位置の2点観察を同
時にできることになる。
【0017】そして、これら顕微鏡ヘッドユニット1、
2の光路折曲げミラー6、10からの反射光の光路のい
ずれか一方を光路選択ミラー13により選択し、結像レ
ンズ14を通して接眼レンズ15に入射させることで、
所望する顕微鏡ヘッドユニット1、2による観察像を選
択的に目視できるようになり、かかる目視観察による人
間の目の確認により、さらに精度の高い標本観察を実現
できる。
2の光路折曲げミラー6、10からの反射光の光路のい
ずれか一方を光路選択ミラー13により選択し、結像レ
ンズ14を通して接眼レンズ15に入射させることで、
所望する顕微鏡ヘッドユニット1、2による観察像を選
択的に目視できるようになり、かかる目視観察による人
間の目の確認により、さらに精度の高い標本観察を実現
できる。
【0018】ところで、第1実施例で述べた構成のもの
は、対物レンズ5(9)の胴付部と折曲げミラー6(1
3)の間Lobは、落射用光源3(7)や対物レンズ5
(9)のレボルバが入る関係で最低100mm位は必要
になる。一方、このような結像レンズと結像レンズの間
がアフォーカルな無限遠設計の光学系では、この間が2
00mm位までとれる。そして、論理的には、0〜20
0mmまでの変化に対し像の機能は維持される。する
と、顕微鏡ヘッドユニット1(2)の光軸と、光路選択
ミラー13と結像レンズ14を結ぶ光軸との間の距離L
TLは、光路選択ミラー13と結像レンズ14との距離が
Lh =30mm程度であることを考慮すると、70mm
が最大になって、パターン長LP は、140mm程度が
限度となる。ところが、最近では、図2に示すように液
晶パネルの画面の対角寸法は、10′程度の製品が主流
になっており、このことを考慮すると、パターン長LP
は、画面部a以外の配線部bを含めると、240mm程
度までのものが要求されている。
は、対物レンズ5(9)の胴付部と折曲げミラー6(1
3)の間Lobは、落射用光源3(7)や対物レンズ5
(9)のレボルバが入る関係で最低100mm位は必要
になる。一方、このような結像レンズと結像レンズの間
がアフォーカルな無限遠設計の光学系では、この間が2
00mm位までとれる。そして、論理的には、0〜20
0mmまでの変化に対し像の機能は維持される。する
と、顕微鏡ヘッドユニット1(2)の光軸と、光路選択
ミラー13と結像レンズ14を結ぶ光軸との間の距離L
TLは、光路選択ミラー13と結像レンズ14との距離が
Lh =30mm程度であることを考慮すると、70mm
が最大になって、パターン長LP は、140mm程度が
限度となる。ところが、最近では、図2に示すように液
晶パネルの画面の対角寸法は、10′程度の製品が主流
になっており、このことを考慮すると、パターン長LP
は、画面部a以外の配線部bを含めると、240mm程
度までのものが要求されている。
【0019】そこで、第2実施例では、上述した距離L
TLを大きくして、パターン長LP の大きなものまで適用
できるようにしている。 (第2実施例)図3は、第2実施例の概略構成を示して
いる。
TLを大きくして、パターン長LP の大きなものまで適用
できるようにしている。 (第2実施例)図3は、第2実施例の概略構成を示して
いる。
【0020】図において、21はベースで、このベース
21のY軸方向に沿ってガイド22が設けられ、このガ
イド22に沿って移動可能にYステージ23を設けてい
る。このYステージ23は、モータ24によりY軸方向
の移動量が制御されるようになっている。また、Yステ
ージ23には、X軸方向に沿ってガイド25が設けら
れ、このガイド25に沿って移動可能にXステージ26
を設けている。このXステージ26は、モータ27によ
りX軸方向の移動量が制御されるようになっている。
21のY軸方向に沿ってガイド22が設けられ、このガ
イド22に沿って移動可能にYステージ23を設けてい
る。このYステージ23は、モータ24によりY軸方向
の移動量が制御されるようになっている。また、Yステ
ージ23には、X軸方向に沿ってガイド25が設けら
れ、このガイド25に沿って移動可能にXステージ26
を設けている。このXステージ26は、モータ27によ
りX軸方向の移動量が制御されるようになっている。
【0021】そして、このXステージ26上に複数の同
一パターン29を形成したガラス板28を載置し、この
ガラス板28をX−Y方向に任意に移動できるようにし
ている。
一パターン29を形成したガラス板28を載置し、この
ガラス板28をX−Y方向に任意に移動できるようにし
ている。
【0022】一方、ベース21には、X軸方向に沿って
X、Yステージ23、26を跨ぐようにアーム30を設
けている。そして、このアーム30に顕微鏡ヘッドユニ
ット31、32を支持している。
X、Yステージ23、26を跨ぐようにアーム30を設
けている。そして、このアーム30に顕微鏡ヘッドユニ
ット31、32を支持している。
【0023】この場合、顕微鏡ヘッドユニット31、3
2は、図示しないガイドによりアーム21に沿ってX軸
方向に移動可能にしている。この顕微鏡ヘッドユニット
31、32のX軸方向の移動量は、モータ33、34に
より制御されるようになっている。
2は、図示しないガイドによりアーム21に沿ってX軸
方向に移動可能にしている。この顕微鏡ヘッドユニット
31、32のX軸方向の移動量は、モータ33、34に
より制御されるようになっている。
【0024】顕微鏡ヘッドユニット31は、対物レンズ
311、光ファイバ312を介して図示しない光源から
の可視照明光が入射される投光器313、TVカメラ3
14、該TVカメラ314または接眼レンズ36側のい
ずれかに光路を切換える切換えミラーシリンダ315な
どを有している。また、顕微鏡ヘッドユニット32につ
いても同様で、対物レンズ321、光ファイバ322を
介して図示しない光源からの可視照明光が入射される投
光器323、TVカメラ324、該TVカメラ324ま
たは接眼レンズ36側のいずれかに光路を切換える切換
えミラーシリンダ325などを有している。
311、光ファイバ312を介して図示しない光源から
の可視照明光が入射される投光器313、TVカメラ3
14、該TVカメラ314または接眼レンズ36側のい
ずれかに光路を切換える切換えミラーシリンダ315な
どを有している。また、顕微鏡ヘッドユニット32につ
いても同様で、対物レンズ321、光ファイバ322を
介して図示しない光源からの可視照明光が入射される投
光器323、TVカメラ324、該TVカメラ324ま
たは接眼レンズ36側のいずれかに光路を切換える切換
えミラーシリンダ325などを有している。
【0025】また、アーム30には、顕微鏡ヘッドユニ
ット31と32の間に、リレー鏡筒35を配置し、この
リレー鏡筒35の先端に接眼レンズ36を設けている。
リレー鏡筒35には、顕微鏡ヘッドユニット31からの
観察光の光路と顕微鏡ヘッドユニット32からの観察光
の光路のいずれかを選択する後述の光路選択ミラー35
3を有し、この光路選択ミラー353で選択された光路
の観察光を接眼レンズ36に入射するようにしている。
ット31と32の間に、リレー鏡筒35を配置し、この
リレー鏡筒35の先端に接眼レンズ36を設けている。
リレー鏡筒35には、顕微鏡ヘッドユニット31からの
観察光の光路と顕微鏡ヘッドユニット32からの観察光
の光路のいずれかを選択する後述の光路選択ミラー35
3を有し、この光路選択ミラー353で選択された光路
の観察光を接眼レンズ36に入射するようにしている。
【0026】図4は、このように構成した複数ヘッド顕
微鏡装置の光学系を示している。この場合、顕微鏡ヘッ
ドユニット31では、光ファイバ312を介して図示し
ない光源からの可視照明光が投光器313に入射される
と、この投光器313からの可視照明光をハーフミラー
316で反射させ、対物レンズ311を通して図示しな
いステージ上に載置された標本に照射し、この標本から
の反射光を対物レンズ313、ハーフミラー316を通
して光路切換えミラー317に入射させる。光路切換え
ミラー317は、前述した切換えミラーシリンダ315
の動作によりTVカメラ314またはリレー鏡筒35側
のいずれかに光路を切換えるようにしている。この場
合、TVカメラ314側に切換えられた光路は、結像レ
ンズ318を介してTVカメラ314に入射され、ま
た、リレー鏡筒35側に切換えられた光路は、該リレー
鏡筒35の光路選択ミラー353に対して出射されるよ
うになっている。
微鏡装置の光学系を示している。この場合、顕微鏡ヘッ
ドユニット31では、光ファイバ312を介して図示し
ない光源からの可視照明光が投光器313に入射される
と、この投光器313からの可視照明光をハーフミラー
316で反射させ、対物レンズ311を通して図示しな
いステージ上に載置された標本に照射し、この標本から
の反射光を対物レンズ313、ハーフミラー316を通
して光路切換えミラー317に入射させる。光路切換え
ミラー317は、前述した切換えミラーシリンダ315
の動作によりTVカメラ314またはリレー鏡筒35側
のいずれかに光路を切換えるようにしている。この場
合、TVカメラ314側に切換えられた光路は、結像レ
ンズ318を介してTVカメラ314に入射され、ま
た、リレー鏡筒35側に切換えられた光路は、該リレー
鏡筒35の光路選択ミラー353に対して出射されるよ
うになっている。
【0027】ここで、切換えミラー317は、光路の折
曲げ方向と直進方向に光量を0:100、100:0に
振り分けるような光量分割プリズムからなっていて、モ
ニター観察時はTVカメラ314側の直進方向に100
%の光量を送るようにしている。勿論、光量を振り分け
る比はいくつでも適当なものを選択すればよい。
曲げ方向と直進方向に光量を0:100、100:0に
振り分けるような光量分割プリズムからなっていて、モ
ニター観察時はTVカメラ314側の直進方向に100
%の光量を送るようにしている。勿論、光量を振り分け
る比はいくつでも適当なものを選択すればよい。
【0028】なお、上述では、直行する光路にはTVカ
メラ314を設けているが、その他、AF装置や分光測
光機などを設けるようにしてもよい。顕微鏡ヘッドユニ
ット32についても同様で、光ファイバ322を介して
図示しない光源からの可視照明光が投光器323に入射
されると、この投光器323からの可視照明光をハーフ
ミラー326で反射させ、対物レンズ321を通して図
示しないステージ上に載置された標本に照射し、この標
本からの反射光を対物レンズ323、ハーフミラー32
6を通して光路切換えミラー327に入射させる。光路
切換えミラー327も、前述した切換えミラーシリンダ
325の動作によりTVカメラ324またはリレー鏡筒
35側のいずれかに光路を切換えるようにしている。そ
して、TVカメラ324側に切換えられた光路は、結像
レンズ328を介してTVカメラ324に入射され、ま
た、リレー鏡筒35側に切換えられた光路は、該リレー
鏡筒35の光路選択ミラー353に対し出射されるよう
になっている。この場合、切換えミラー327から光路
選択ミラー353に入射される光路は、切換えミラー3
17から光路選択ミラー353に入射される光路とその
光軸を一致している。
メラ314を設けているが、その他、AF装置や分光測
光機などを設けるようにしてもよい。顕微鏡ヘッドユニ
ット32についても同様で、光ファイバ322を介して
図示しない光源からの可視照明光が投光器323に入射
されると、この投光器323からの可視照明光をハーフ
ミラー326で反射させ、対物レンズ321を通して図
示しないステージ上に載置された標本に照射し、この標
本からの反射光を対物レンズ323、ハーフミラー32
6を通して光路切換えミラー327に入射させる。光路
切換えミラー327も、前述した切換えミラーシリンダ
325の動作によりTVカメラ324またはリレー鏡筒
35側のいずれかに光路を切換えるようにしている。そ
して、TVカメラ324側に切換えられた光路は、結像
レンズ328を介してTVカメラ324に入射され、ま
た、リレー鏡筒35側に切換えられた光路は、該リレー
鏡筒35の光路選択ミラー353に対し出射されるよう
になっている。この場合、切換えミラー327から光路
選択ミラー353に入射される光路は、切換えミラー3
17から光路選択ミラー353に入射される光路とその
光軸を一致している。
【0029】ここでの切換えミラー327についても、
上述した切換えミラー317と同様であり、また、切換
えミラー327を介して直行する光路にはTVカメラ3
14の他に、AF装置や分光測光機などを設けるように
してもよい。
上述した切換えミラー317と同様であり、また、切換
えミラー327を介して直行する光路にはTVカメラ3
14の他に、AF装置や分光測光機などを設けるように
してもよい。
【0030】一方、顕微鏡ヘッドユニット31と32の
間に設けられる固定ユニットのリレー鏡筒35では、顕
微鏡ヘッドユニット31からの光路が結像レンズ351
を介して光路選択ミラー353に入射され、顕微鏡ヘッ
ドユニット32からの光路が結像レンズ352を介して
光路選択ミラー353に入射される。光路選択ミラー3
53は、結像レンズ351を通った光路と結像レンズ3
52を通った光路のいずれかを選択するもので、この光
路選択ミラー353で選択された光路を反射ミラー35
4で反射させ、リレー光学系355を通し反射ミラー3
56で反射させて接眼レンズ36に入射させるようにし
ている。
間に設けられる固定ユニットのリレー鏡筒35では、顕
微鏡ヘッドユニット31からの光路が結像レンズ351
を介して光路選択ミラー353に入射され、顕微鏡ヘッ
ドユニット32からの光路が結像レンズ352を介して
光路選択ミラー353に入射される。光路選択ミラー3
53は、結像レンズ351を通った光路と結像レンズ3
52を通った光路のいずれかを選択するもので、この光
路選択ミラー353で選択された光路を反射ミラー35
4で反射させ、リレー光学系355を通し反射ミラー3
56で反射させて接眼レンズ36に入射させるようにし
ている。
【0031】なお、図4では、対物レンズ311、32
1の下方にコンデンサ319、329を配置している
が、これは、透過照明検鏡用のものであり、対物レンズ
311、321の移動と同期して動くようになってい
る。
1の下方にコンデンサ319、329を配置している
が、これは、透過照明検鏡用のものであり、対物レンズ
311、321の移動と同期して動くようになってい
る。
【0032】しかして、このようにしても、顕微鏡ヘッ
ドユニット31、32について、これら相互の間隔を所
定の距離に設定すれば、X、Yステージ23、26を移
動させることで、標本上の同一パターンについて、各パ
ターンの対応する位置の2点観察を同時にできることに
なる。
ドユニット31、32について、これら相互の間隔を所
定の距離に設定すれば、X、Yステージ23、26を移
動させることで、標本上の同一パターンについて、各パ
ターンの対応する位置の2点観察を同時にできることに
なる。
【0033】また、顕微鏡ヘッドユニット31、32で
の光路切換えミラー317、325からの光路のいずれ
か一方をリレー鏡筒35の光路選択ミラー353により
選択し、リレー光学系355を通して接眼レンズ36に
入射させることで、所望する顕微鏡ヘッドユニット3
1、32からの観察像を選択的に目視できるようにな
り、かかる目視観察による人間の目の確認により、さら
に精度の高い標本観察を実現できる。
の光路切換えミラー317、325からの光路のいずれ
か一方をリレー鏡筒35の光路選択ミラー353により
選択し、リレー光学系355を通して接眼レンズ36に
入射させることで、所望する顕微鏡ヘッドユニット3
1、32からの観察像を選択的に目視できるようにな
り、かかる目視観察による人間の目の確認により、さら
に精度の高い標本観察を実現できる。
【0034】また、リレー鏡筒35の光路選択ミラー3
53は、光路切換えミラー317、325側にそれぞれ
等距離で結像レンズ351、352を配置し、さらに、
これら結像レンズ351、352を有する光路選択ミラ
ー353と接眼レンズ36との間にリレー光学系355
を配置していることにより、顕微鏡ヘッドユニット3
1、32のそれぞれの光軸と、切換えミラー353とリ
レー光学系355を結ぶ光軸との間の距離LTL1 、LTL
2 の理論上の制限がなくなり、観察するパターン長の大
きなものにも対応できるようになる。ただし、パターン
ピッチの対応幅(調整幅)は、体物レンズと結像レンズ
間が最大で200mm程度とした場合、前述した議論と
同様に対物レンズ319と光路選択ミラー317との距
離は100mm程度必要なので、光路選択ミラー317
と結像レンズ351間は最大で100mm程度となり、
実際は、光路選択ミラー317の大きさやレンズ枠の関
係で60mmの調整距離となる。 (第3実施例)図5は、第3実施例の概略構成を示して
いる。
53は、光路切換えミラー317、325側にそれぞれ
等距離で結像レンズ351、352を配置し、さらに、
これら結像レンズ351、352を有する光路選択ミラ
ー353と接眼レンズ36との間にリレー光学系355
を配置していることにより、顕微鏡ヘッドユニット3
1、32のそれぞれの光軸と、切換えミラー353とリ
レー光学系355を結ぶ光軸との間の距離LTL1 、LTL
2 の理論上の制限がなくなり、観察するパターン長の大
きなものにも対応できるようになる。ただし、パターン
ピッチの対応幅(調整幅)は、体物レンズと結像レンズ
間が最大で200mm程度とした場合、前述した議論と
同様に対物レンズ319と光路選択ミラー317との距
離は100mm程度必要なので、光路選択ミラー317
と結像レンズ351間は最大で100mm程度となり、
実際は、光路選択ミラー317の大きさやレンズ枠の関
係で60mmの調整距離となる。 (第3実施例)図5は、第3実施例の概略構成を示して
いる。
【0035】図において、41、42は顕微鏡ヘッドユ
ニットで、これら顕微鏡ヘッドユニット41、42は、
それぞれ図示矢印の接離方向に移動可能にしている。こ
の場合、顕微鏡ヘッドユニット41は、落射用光源43
からの可視照明光をハーフミラー44で反射させ、対物
レンズ45を通して図示しないステージ上に載置された
ガラス板51上のパターン52に照射し、このパターン
52面からの反射光を対物レンズ45、ハーフミラー4
4を通して光路折曲げミラー46に入射させ、この光路
折曲げミラー46からの反射光の光路を、顕微鏡ヘッド
ユニット42側に向かう水平光として出力するようにし
ている。また、顕微鏡ヘッドユニット42についても、
顕微鏡ヘッドユニット41と同様な配置関係で、光源4
7、ハーフミラー48、対物レンズ49、光路折曲げミ
ラー50を設け、光路折曲げミラー50からの反射光
を、光路折曲げミラー46の反射光の光路と同じ方向
で、その光軸一致する水平光として出力するようにして
いる。
ニットで、これら顕微鏡ヘッドユニット41、42は、
それぞれ図示矢印の接離方向に移動可能にしている。こ
の場合、顕微鏡ヘッドユニット41は、落射用光源43
からの可視照明光をハーフミラー44で反射させ、対物
レンズ45を通して図示しないステージ上に載置された
ガラス板51上のパターン52に照射し、このパターン
52面からの反射光を対物レンズ45、ハーフミラー4
4を通して光路折曲げミラー46に入射させ、この光路
折曲げミラー46からの反射光の光路を、顕微鏡ヘッド
ユニット42側に向かう水平光として出力するようにし
ている。また、顕微鏡ヘッドユニット42についても、
顕微鏡ヘッドユニット41と同様な配置関係で、光源4
7、ハーフミラー48、対物レンズ49、光路折曲げミ
ラー50を設け、光路折曲げミラー50からの反射光
を、光路折曲げミラー46の反射光の光路と同じ方向
で、その光軸一致する水平光として出力するようにして
いる。
【0036】この場合、光路折曲げミラー50は、光路
に対して挿脱可能になっていて、光路折曲げミラー50
を光路から除去した状態で、光路折曲げミラー46から
の反射光の光路を結合レンズ54を通して接眼レンズ5
5に入射させ、光路折曲げミラー50を光路に挿入した
状態で、光路折曲げミラー50からの反射光の光路を結
合レンズ54を通して接眼レンズ55に入射させるよう
にしている。
に対して挿脱可能になっていて、光路折曲げミラー50
を光路から除去した状態で、光路折曲げミラー46から
の反射光の光路を結合レンズ54を通して接眼レンズ5
5に入射させ、光路折曲げミラー50を光路に挿入した
状態で、光路折曲げミラー50からの反射光の光路を結
合レンズ54を通して接眼レンズ55に入射させるよう
にしている。
【0037】しかして、このような構成としても、顕微
鏡ヘッドユニット41、42について、これら相互の間
隔を所定距離に設定すれば、ガラス板51を載置する図
示しないステージを移動させることで、ガラス板51上
の同一パターン52に対する2点観察を同時にできるこ
とになる。
鏡ヘッドユニット41、42について、これら相互の間
隔を所定距離に設定すれば、ガラス板51を載置する図
示しないステージを移動させることで、ガラス板51上
の同一パターン52に対する2点観察を同時にできるこ
とになる。
【0038】また、顕微鏡ヘッドユニット41の光路折
曲げミラー46からの反射光の光路と顕微鏡ヘッドユニ
ット42の光路折曲げミラー50からの反射光の光路
を、この光路折曲げミラー50の光路に対する挿脱によ
り選択して、結像レンズ54を通して接眼レンズ55に
入射させることにより、所望する顕微鏡ヘッドユニット
41、42からの観察像を選択的に目視できるようにな
り、かかる目視観察による人間の目の確認により、さら
に精度の高い標本観察を実現できる。また、この光学系
では、ミラー50をハーフミラーにすることにより、2
つのパターンの同一位置を重ねて観察できる。ただし、
大きなパターンには、対物レンズ、結像レンズ間の距離
の制限から対応できない。 (第4実施例)図6は,第4実施例の概略構成を示して
いる。
曲げミラー46からの反射光の光路と顕微鏡ヘッドユニ
ット42の光路折曲げミラー50からの反射光の光路
を、この光路折曲げミラー50の光路に対する挿脱によ
り選択して、結像レンズ54を通して接眼レンズ55に
入射させることにより、所望する顕微鏡ヘッドユニット
41、42からの観察像を選択的に目視できるようにな
り、かかる目視観察による人間の目の確認により、さら
に精度の高い標本観察を実現できる。また、この光学系
では、ミラー50をハーフミラーにすることにより、2
つのパターンの同一位置を重ねて観察できる。ただし、
大きなパターンには、対物レンズ、結像レンズ間の距離
の制限から対応できない。 (第4実施例)図6は,第4実施例の概略構成を示して
いる。
【0039】図において、61、62は顕微鏡ヘッドユ
ニットで、これら顕微鏡ヘッドユニット61、62は、
それぞれ図示矢印の接離方向に移動可能にしている。こ
の場合、顕微鏡ヘッドユニット61は、落射用光源63
からの可視照明光をハーフミラー64で反射させ、対物
レンズ65を通して図示しないステージ上に載置された
標本に照射し、標本からの反射光を対物レンズ65、ハ
ーフミラー64を通して光路切換えミラー66に入射さ
せる。
ニットで、これら顕微鏡ヘッドユニット61、62は、
それぞれ図示矢印の接離方向に移動可能にしている。こ
の場合、顕微鏡ヘッドユニット61は、落射用光源63
からの可視照明光をハーフミラー64で反射させ、対物
レンズ65を通して図示しないステージ上に載置された
標本に照射し、標本からの反射光を対物レンズ65、ハ
ーフミラー64を通して光路切換えミラー66に入射さ
せる。
【0040】この光路切換えミラー66は、TVカメラ
または顕微鏡ヘッドユニット32側のいずれかに光路を
切換えるようにしている。この場合、TVカメラ側に切
換えられた光路は、結像レンズ67を介してCCD68
に入射され、顕微鏡ヘッドユニット32側に切換えられ
た光路は、水平光としてリレーレンズ69側に出射され
るようになっている。この場合、リレーレンズ69は、
対物レンズ65から送られてくるアフォーカルな光束を
アフォーカルな光束のままで後述する接眼レンズ77側
に伝送するものである。
または顕微鏡ヘッドユニット32側のいずれかに光路を
切換えるようにしている。この場合、TVカメラ側に切
換えられた光路は、結像レンズ67を介してCCD68
に入射され、顕微鏡ヘッドユニット32側に切換えられ
た光路は、水平光としてリレーレンズ69側に出射され
るようになっている。この場合、リレーレンズ69は、
対物レンズ65から送られてくるアフォーカルな光束を
アフォーカルな光束のままで後述する接眼レンズ77側
に伝送するものである。
【0041】また、顕微鏡ヘッドユニット62について
も、顕微鏡ヘッドユニット61と同様な配置関係で、光
源70、ハーフミラー71、対物レンズ72、光路切換
えミラー73を設けている。この光路切換えミラー73
は、TVカメラまた後述の接眼レンズ77側のいずれか
に光路を切換えるようにしている。この場合、TVカメ
ラ側に切換えられた光路は、結像レンズ74を介してC
CD75に入射され、接眼レンズ77側に切換えられた
光路は、結像レンズ76を通して接眼レンズ77に入射
させるようにしている。この場合、切換えミラー66か
ら接眼レンズ77に入射される光路は、切換えミラー7
3から接眼レンズ77に入射される光路とその光軸を一
致している。
も、顕微鏡ヘッドユニット61と同様な配置関係で、光
源70、ハーフミラー71、対物レンズ72、光路切換
えミラー73を設けている。この光路切換えミラー73
は、TVカメラまた後述の接眼レンズ77側のいずれか
に光路を切換えるようにしている。この場合、TVカメ
ラ側に切換えられた光路は、結像レンズ74を介してC
CD75に入射され、接眼レンズ77側に切換えられた
光路は、結像レンズ76を通して接眼レンズ77に入射
させるようにしている。この場合、切換えミラー66か
ら接眼レンズ77に入射される光路は、切換えミラー7
3から接眼レンズ77に入射される光路とその光軸を一
致している。
【0042】この場合、光路切換えミラー73は、光路
に対して挿脱可能になっていて、光路から除去した状態
で、リレーレンズ69からの光束の光路を直接接眼レン
ズ77に入射させ、光路に挿入した状態で、光路切換え
ミラー73での反射光の光路を接眼レンズ77に入射さ
せるようにしている。
に対して挿脱可能になっていて、光路から除去した状態
で、リレーレンズ69からの光束の光路を直接接眼レン
ズ77に入射させ、光路に挿入した状態で、光路切換え
ミラー73での反射光の光路を接眼レンズ77に入射さ
せるようにしている。
【0043】しかして、このような構成としても、顕微
鏡ヘッドユニット61、62について、これら相互の間
隔を所定距離に設定すれば、図示しないステージを移動
させることで、ステージ上の同一パターンに対する2点
観察を同時にできることになる。
鏡ヘッドユニット61、62について、これら相互の間
隔を所定距離に設定すれば、図示しないステージを移動
させることで、ステージ上の同一パターンに対する2点
観察を同時にできることになる。
【0044】また、顕微鏡ヘッドユニット61の光路折
曲げミラー66からの反射光の光路と顕微鏡ヘッドユニ
ット62の光路折曲げミラー73からの反射光の光路
を、この光路折曲げミラー73の光路に対する挿脱によ
り選択して、結合レンズ76を通して接眼レンズ77に
入射させることにより、所望する顕微鏡ヘッドユニット
61、62からの観察像を選択的に目視できるようにな
り、かかる目視観察による人間の目の確認により、さら
に精度の高い標本観察を実現できる。
曲げミラー66からの反射光の光路と顕微鏡ヘッドユニ
ット62の光路折曲げミラー73からの反射光の光路
を、この光路折曲げミラー73の光路に対する挿脱によ
り選択して、結合レンズ76を通して接眼レンズ77に
入射させることにより、所望する顕微鏡ヘッドユニット
61、62からの観察像を選択的に目視できるようにな
り、かかる目視観察による人間の目の確認により、さら
に精度の高い標本観察を実現できる。
【0045】さらに、顕微鏡ヘッドユニット61、62
の光路折曲げミラー66、73の間に対物レンズ65か
ら送られてくるアフォーカルな光束をアフォーカルな光
束のままで結像レンズ77側に伝送するリレーレンズ6
9を介在させているので、顕微鏡ヘッドユニット61、
62の間の距離を変化させるだけで、観察するパターン
長の大きさなものにも対応できるようになる。また、ハ
ーフミラーを使用した時の重ね合わせ観察は、実施例
1、3と同様に可能である。
の光路折曲げミラー66、73の間に対物レンズ65か
ら送られてくるアフォーカルな光束をアフォーカルな光
束のままで結像レンズ77側に伝送するリレーレンズ6
9を介在させているので、顕微鏡ヘッドユニット61、
62の間の距離を変化させるだけで、観察するパターン
長の大きさなものにも対応できるようになる。また、ハ
ーフミラーを使用した時の重ね合わせ観察は、実施例
1、3と同様に可能である。
【0046】なお、上述した実施例では、いずれも顕微
鏡ヘッドユニットが2個の場合を述べたが、第1および
第2実施例のものでは、切換ミラーを回転型にすれば、
顕微鏡ヘッドユニットが3個以上でも適用できる。ま
た、第3および第4実施例のものでも顕微鏡ヘッドユニ
ットは、2個に限定されない。また、上述した実施例で
は、各顕微鏡ヘッドユニットが移動可能になっている
が、ステージストロークに余裕があれば一方のみを移動
するようにもできる。
鏡ヘッドユニットが2個の場合を述べたが、第1および
第2実施例のものでは、切換ミラーを回転型にすれば、
顕微鏡ヘッドユニットが3個以上でも適用できる。ま
た、第3および第4実施例のものでも顕微鏡ヘッドユニ
ットは、2個に限定されない。また、上述した実施例で
は、各顕微鏡ヘッドユニットが移動可能になっている
が、ステージストロークに余裕があれば一方のみを移動
するようにもできる。
【0047】以上、実施例に基づいて説明したが、本発
明中には以下の発明が含まれる。 (1)ステージ上に載置された標本の複数箇所を同時に
観察するため複数の顕微鏡ヘッドユニットが標本に対し
移動可能に設けられた複数ヘッド顕微鏡において、標本
からの観察光を出力する対物レンズとこの対物レンズか
らの観察光を所定の方向に折曲げる光路折曲げ手段をそ
れぞれ有するとともに、対物レンズと結像レンズとの間
がアフォーカルに構成されており、かつ各光路折曲げ手
段により折曲げられた光路が一致するように配置された
前記複数の顕微鏡ヘッドユニットと、この複数の顕微鏡
ヘッドユニットの相互の間隔を調整する間隔調整手段
と、前記折曲げられ一致された光路中に設けられ前記顕
微鏡ヘッドユニットからの観察光を選択的に接眼光学系
に送出する光路選択手段とを備えたことを特徴とする複
数ヘッド顕微鏡。
明中には以下の発明が含まれる。 (1)ステージ上に載置された標本の複数箇所を同時に
観察するため複数の顕微鏡ヘッドユニットが標本に対し
移動可能に設けられた複数ヘッド顕微鏡において、標本
からの観察光を出力する対物レンズとこの対物レンズか
らの観察光を所定の方向に折曲げる光路折曲げ手段をそ
れぞれ有するとともに、対物レンズと結像レンズとの間
がアフォーカルに構成されており、かつ各光路折曲げ手
段により折曲げられた光路が一致するように配置された
前記複数の顕微鏡ヘッドユニットと、この複数の顕微鏡
ヘッドユニットの相互の間隔を調整する間隔調整手段
と、前記折曲げられ一致された光路中に設けられ前記顕
微鏡ヘッドユニットからの観察光を選択的に接眼光学系
に送出する光路選択手段とを備えたことを特徴とする複
数ヘッド顕微鏡。
【0048】このようにすれば、所望する顕微鏡ヘッド
ユニットによる観察像を選択的に目視できることにな
り、かかる目視観察による人間の目の確認により、さら
に精度の高い標本観察を実現できる。
ユニットによる観察像を選択的に目視できることにな
り、かかる目視観察による人間の目の確認により、さら
に精度の高い標本観察を実現できる。
【0049】(2)(1)記載の複数ヘッド顕微鏡にお
いて、前記複数の顕微鏡ヘッドユニットの光路折曲げ手
段は、それぞれからの光路が一致するように相対向して
配置され、前記光路選択手段は、前記一致された光路の
中間位置に配置されている。
いて、前記複数の顕微鏡ヘッドユニットの光路折曲げ手
段は、それぞれからの光路が一致するように相対向して
配置され、前記光路選択手段は、前記一致された光路の
中間位置に配置されている。
【0050】このようにしても、(1)と同様な効果が
得られる。 (3)(1)記載の複数ヘッド顕微鏡において、前記複
数の顕微鏡ヘッドユニットの光路折曲げ手段は、それぞ
れからの光路が一致するように相対向して配置され、且
つ前記光路折曲げ手段の少なくともひとつを前記光路に
対し選択的に挿脱可能にして光路選択手段を構成してい
る。
得られる。 (3)(1)記載の複数ヘッド顕微鏡において、前記複
数の顕微鏡ヘッドユニットの光路折曲げ手段は、それぞ
れからの光路が一致するように相対向して配置され、且
つ前記光路折曲げ手段の少なくともひとつを前記光路に
対し選択的に挿脱可能にして光路選択手段を構成してい
る。
【0051】このようにしても、(1)と同様な効果が
得られる。 (4)(2)記載の複数ヘッド顕微鏡において、前記光
路選択手段は、各光路折曲げ手段側にそれぞれ等距離で
結像光学系を配置するとともに、前記光路選択手段と接
眼光学系の間にリレー光学系を配置している。
得られる。 (4)(2)記載の複数ヘッド顕微鏡において、前記光
路選択手段は、各光路折曲げ手段側にそれぞれ等距離で
結像光学系を配置するとともに、前記光路選択手段と接
眼光学系の間にリレー光学系を配置している。
【0052】このようにすると、観察するパターン長の
大きなものにも対応できるようになる。 (5)(3)記載の複数ヘッド顕微鏡において、複数の
顕微鏡ヘッドユニットの光路折曲げ手段の間にアフォー
カルな光束をアフォーカルな光束のままで接眼光学系側
に伝送するリレー光学系を配置している。
大きなものにも対応できるようになる。 (5)(3)記載の複数ヘッド顕微鏡において、複数の
顕微鏡ヘッドユニットの光路折曲げ手段の間にアフォー
カルな光束をアフォーカルな光束のままで接眼光学系側
に伝送するリレー光学系を配置している。
【0053】このようにすれば、顕微鏡ヘッドユニット
の間の距離を変化させるだけで、観察するパターン長の
大きさなものにも対応できる。 (6)(1)記載の複数ヘッド顕微鏡において、光路折
曲げ手段は、所定方向に折曲げられる光路の光量と直進
する光路の光量を所定の光量比で分割する光量分割プリ
ズムからなっている。
の間の距離を変化させるだけで、観察するパターン長の
大きさなものにも対応できる。 (6)(1)記載の複数ヘッド顕微鏡において、光路折
曲げ手段は、所定方向に折曲げられる光路の光量と直進
する光路の光量を所定の光量比で分割する光量分割プリ
ズムからなっている。
【0054】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、複
数の顕微鏡ヘッドユニットのうち所望するものの観察像
を選択的に目視できるようになり、かかる目視観察によ
る人間の目の確認により、さらに精度の高い標本観察を
実現できる。勿論、この場合、複数ヘッド顕微鏡による
高タクトと装置の小型化をも得られる。
数の顕微鏡ヘッドユニットのうち所望するものの観察像
を選択的に目視できるようになり、かかる目視観察によ
る人間の目の確認により、さらに精度の高い標本観察を
実現できる。勿論、この場合、複数ヘッド顕微鏡による
高タクトと装置の小型化をも得られる。
【図1】本発明の第1実施例の概略構成を示す図。
【図2】本発明が適用される液晶パネルを示す図。
【図3】本発明の第2実施例の概略構成を示す図。
【図4】第2実施例の光学系の概略構成を示す図。
【図5】本発明の第3実施例の概略構成を示す図。
【図6】本発明の第4実施例の概略構成を示す図。
1、2…顕微鏡ヘッドユニット、3…落射用光源、4…
ハーフミラー、5…対物レンズ、6…光路折曲げミラ
ー、7…光源、8…ハーフミラー、9…対物レンズ、1
0…光路折曲げミラー、11…ガラス板、12…パター
ン、13…光路選択ミラー、14…結像レンズ、15…
接眼レンズ、21…ベース、22…ガイド、23…Yス
テージ、24…モータ、25…ガイド、26…Xステー
ジ、27…モータ、28…ガラス板、29…パターン、
30…アーム、31、32…顕微鏡ヘッドユニット、3
11、321…対物レンズ、312、322…光ファイ
バ、313、323…投光器、314、324…TVカ
メラ、315、325…切換えミラーシリンダ、31
6、326…ハーフミラー、317、327…光路切換
えミラー、318、328…結像レンズ、319、32
9…コンデンサ、33、34…モータ、35…リレー鏡
筒、351、352…結像レンズ、353…光路選択ミ
ラー、354…反射ミラー、355…リレー光学系、3
56…反射ミラー、36…接眼レンズ、41、42…顕
微鏡ヘッドユニット、43…落射用光源、44…ハーフ
ミラー、45…対物レンズ、46…光路折曲げミラー、
47…光源、48…ハーフミラー、49…対物レンズ、
50…光路折曲げミラー、51…ガラス板、52…パタ
ーン、53…、54…結像レンズ、55…接眼レンズ、
61、62…顕微鏡ヘッドユニット、63…落射用光
源、64…ハーフミラー、65…対物レンズ、66…光
路切換えミラー、67…結像レンズ、68…CCD、6
9…リレーレンズ、70…光源、71…ハーフミラー、
72…対物レンズ、73…光路切換えミラー、74…結
像レンズ、75…CCD、76…結像レンズ、77…接
眼レンズ。
ハーフミラー、5…対物レンズ、6…光路折曲げミラ
ー、7…光源、8…ハーフミラー、9…対物レンズ、1
0…光路折曲げミラー、11…ガラス板、12…パター
ン、13…光路選択ミラー、14…結像レンズ、15…
接眼レンズ、21…ベース、22…ガイド、23…Yス
テージ、24…モータ、25…ガイド、26…Xステー
ジ、27…モータ、28…ガラス板、29…パターン、
30…アーム、31、32…顕微鏡ヘッドユニット、3
11、321…対物レンズ、312、322…光ファイ
バ、313、323…投光器、314、324…TVカ
メラ、315、325…切換えミラーシリンダ、31
6、326…ハーフミラー、317、327…光路切換
えミラー、318、328…結像レンズ、319、32
9…コンデンサ、33、34…モータ、35…リレー鏡
筒、351、352…結像レンズ、353…光路選択ミ
ラー、354…反射ミラー、355…リレー光学系、3
56…反射ミラー、36…接眼レンズ、41、42…顕
微鏡ヘッドユニット、43…落射用光源、44…ハーフ
ミラー、45…対物レンズ、46…光路折曲げミラー、
47…光源、48…ハーフミラー、49…対物レンズ、
50…光路折曲げミラー、51…ガラス板、52…パタ
ーン、53…、54…結像レンズ、55…接眼レンズ、
61、62…顕微鏡ヘッドユニット、63…落射用光
源、64…ハーフミラー、65…対物レンズ、66…光
路切換えミラー、67…結像レンズ、68…CCD、6
9…リレーレンズ、70…光源、71…ハーフミラー、
72…対物レンズ、73…光路切換えミラー、74…結
像レンズ、75…CCD、76…結像レンズ、77…接
眼レンズ。
Claims (3)
- 【請求項1】 ステージ上に載置された標本の複数箇所
を同時に観察するため複数の顕微鏡ヘッドユニットが標
本に対し移動可能に設けられた複数ヘッド顕微鏡におい
て、 標本からの観察光を出力する対物レンズとこの対物レン
ズからの観察光を所定の方向に折曲げる光路折曲げ手段
をそれぞれ有するとともに、対物レンズと結像レンズと
の間がアフォーカルに構成されており、かつ各光路折曲
げ手段により折曲げられた光路が一致するように配置さ
れた前記複数の顕微鏡ヘッドユニットと、 この複数の顕微鏡ヘッドユニットの相互の間隔を調整す
る間隔調整手段と、 前記折曲げられ一致された光路中に設けられ前記顕微鏡
ヘッドユニットからの観察光を選択的に接眼光学系に送
出する光路選択手段とを備えたことを特徴とする複数ヘ
ッド顕微鏡。 - 【請求項2】 前記複数の顕微鏡ヘッドユニットの光路
折曲げ手段は、それぞれからの光路が一致するように相
対向して配置され、前記光路選択手段は、前記一致され
た光路の中間位置に配置されることを特徴とする請求項
1記載の複数ヘッド顕微鏡。 - 【請求項3】 前記複数の顕微鏡ヘッドユニットの光路
折曲げ手段は、それぞれからの光路が一致するように相
対向して配置され、且つ前記光路折曲げ手段の少なくと
もひとつを前記光路に対し選択的に挿脱可能にして光路
選択手段を構成したことを特徴とする請求項1記載の複
数ヘッド顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7159395A JPH08271798A (ja) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | 複数ヘッド顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7159395A JPH08271798A (ja) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | 複数ヘッド顕微鏡 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08271798A true JPH08271798A (ja) | 1996-10-18 |
Family
ID=13465130
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7159395A Pending JPH08271798A (ja) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | 複数ヘッド顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08271798A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003040711A1 (fr) * | 2001-11-05 | 2003-05-15 | Olympus Corporation | Dispositif de controle de substrat |
JP2006308334A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Horiba Ltd | パネル部材検査装置及びそれに適用される位置情報補正プログラム |
JP2007120994A (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-17 | Horiba Ltd | パネル部材検査装置及びそれに適用されるパネル部材検査用プログラム |
CN112113663A (zh) * | 2020-09-27 | 2020-12-22 | 上海东冠纸业有限公司 | 一种复杂图案的目视比色装置 |
-
1995
- 1995-03-29 JP JP7159395A patent/JPH08271798A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003040711A1 (fr) * | 2001-11-05 | 2003-05-15 | Olympus Corporation | Dispositif de controle de substrat |
CN100368794C (zh) * | 2001-11-05 | 2008-02-13 | 奥林巴斯株式会社 | 基板检查装置 |
JP2006308334A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Horiba Ltd | パネル部材検査装置及びそれに適用される位置情報補正プログラム |
JP2007120994A (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-17 | Horiba Ltd | パネル部材検査装置及びそれに適用されるパネル部材検査用プログラム |
JP4578383B2 (ja) * | 2005-10-25 | 2010-11-10 | 株式会社堀場製作所 | パネル部材検査装置及びそれに適用されるパネル部材検査用プログラム |
CN112113663A (zh) * | 2020-09-27 | 2020-12-22 | 上海东冠纸业有限公司 | 一种复杂图案的目视比色装置 |
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