JPH08271798A

JPH08271798A - 複数ヘッド顕微鏡

Info

Publication number: JPH08271798A
Application number: JP7159395A
Authority: JP
Inventors: Shinichi Tsuchisaka; 新一土坂
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1995-03-29
Filing date: 1995-03-29
Publication date: 1996-10-18

Abstract

(57)【要約】【目的】本発明は、目視観察を可能として、精度の高い
観察を実現できる複数ヘッド顕微鏡装置を提供する。【構成】２個の顕微鏡ヘッドユニット１、２の光路折曲
げミラー６、１０からの反射光の光路のいずれか一方を
光路選択ミラー１３により選択し、結合レンズ１４を通
して接眼レンズ１５に入射させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、標本面に対して複数の
顕微鏡ヘッドを所定間隔をおいて平行移動できるように
した複数ヘッド顕微鏡装置に関するものである。従来、
液晶パネルの製造においては、４００×５００ｍｍ程度
の大型ガラス板が用いられ、このようなガラス板を後工
程で複数に分割してカラーフィルタ基板やＴＦＴ基板な
どのガラス基板として製品化するようなことが行われて
いる。

【０００２】この場合、ガラス板上には、２、４、６、
８個などの同一パターンが正しい位置関係で描画されて
おり、これら複数の同一パターンの良否についてガラス
基板ごとに検査するようにしている。

【０００３】しかして、このようなガラス板上の複数の
同一パターンを検査するものとして、本出願人が提案し
た特願平６−３１４８５２号明細書に開示された複数ヘ
ッド顕微鏡装置が考えられている。

【０００４】このような複数ヘッド顕微鏡装置によれ
ば、一度のステージ移動により２点の観測が可能になる
ことから、ガラス板上での定点観測については、タクト
タイムが１／２となり、しかも、ステージストロークが
１／２になることからの装置自体の小型化も可能になる
という利点がある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、最近の撮像
技術の進歩は、目覚ましいものがあり、ＣＣＤなどによ
り撮像した画像信号をハイビジョンなどにより高精度に
再現するものも実現している。しかし、このような撮像
技術による高精度な再現手段を用いても、今だ解像度や
色再現の点では、人間の目に劣るところがあり、特に、
微分干渉観察や暗視野観察では、ＴＶモニターで観察し
たいところを探し、概略の判定をした後に人間の目によ
る確認のために接眼レンズを覗くようにしている。

【０００６】このため、上述の複数ヘッド顕微鏡装置に
ついても目視観察の重要性が問われており、このための
改善が要求されている。本発明は、上記事情に鑑みてな
されたもので、目視観察を可能として、精度の高い観察
を実現できる複数ヘッド顕微鏡装置を提供することを目
的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
ステージ上に載置された標本の複数箇所を同時に観察す
るため複数の顕微鏡ヘッドユニットが標本に対し移動可
能に設けられた複数ヘッド顕微鏡において、標本からの
観察光を出力する対物レンズとこの対物レンズからの観
察光を所定の方向に折曲げる光路折曲げ手段をそれぞれ
有するとともに、対物レンズと結像レンズとの間がアフ
ォーカルに構成されており、かつ各光路折曲げ手段によ
り折曲げられた光路が一致するように配置された前記複
数の顕微鏡ヘッドユニットと、この複数の顕微鏡ヘッド
ユニットの相互の間隔を調整する間隔調整手段と、前記
折曲げられ一致された光路中に設けられ前記顕微鏡ヘッ
ドユニットからの観察光を選択的に接眼光学系に送出す
る光路選択手段とにより構成している。

【０００８】また、請求項２記載の発明では、前記複数
の顕微鏡ヘッドユニットの光路折曲げ手段は、それぞれ
からの光路が一致するように相対向して配置され、前記
光路選択手段は、前記一致された光路の中間位置に配置
されている。

【０００９】また、請求項３記載の発明では、前記複数
の顕微鏡ヘッドユニットの光路折曲げ手段は、それぞれ
からの光路が一致するように相対向して配置され、且つ
前記光路折曲げ手段の少なくともひとつを前記光路に対
し選択的に挿脱可能にして光路選択手段を構成してい
る。

【００１０】

【作用】この結果、本発明によれば、複数の顕微鏡ヘッ
ドユニットは、それぞれ標本からの観察光を出力する対
物レンズの観察光を所定方向に折曲げる光路折曲げ手段
からの光路が一致するように配置され、これら一致され
た光路中に光路選択手段を配置して顕微鏡ヘッドユニッ
トからの観察光を選択的に接眼光学系に送出できるよう
にしているので、所望する顕微鏡ヘッドユニットによる
観察像を選択的に目視できることになり、かかる目視観
察による人間の目の確認により、さらに精度の高い標本
観察を実現できる。また、標本に描画されたパターンの
ピッチに合わせ、ヘッド間隔を調整できることから、２
つのパターンの同一部を１度のステージ移動で観察する
ことができる。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に従い説明す
る。（第１実施例）図１は本発明を２個の顕微鏡ヘッドを有
する複数ヘッド顕微鏡装置に適用した第１実施例の概略
的構成を示している。

【００１２】図において、１、２は顕微鏡ヘッドユニッ
トで、対物レンズ５、９と結像レンズ１４間がアフォー
カル光学系で構成され、これら顕微鏡ヘッドユニット
１、２は、それぞれこのアフォーカル部で、図示矢印の
接離方向に移動可能にしている。この場合、顕微鏡ヘッ
ドユニット１は、落射用光源３からの可視照明光をハー
フミラー４で反射させ、対物レンズ５を通して図示しな
いステージ上に載置されたガラス板１１上のパターン１
２に照射し、このパターン１２面からの反射光を対物レ
ンズ５、ハーフミラー４を通して光路折曲げミラー６に
入射させ、この光路折曲げミラー６からの反射光の光路
を顕微鏡ヘッドユニット２側に向かう水平光として出力
するようにしている。また、顕微鏡ヘッドユニット２に
ついても、顕微鏡ヘッドユニット１と同様な配置関係
で、光源７、ハーフミラー８、対物レンズ９、光路折曲
げミラー１０を設けている。この場合、光路折曲げミラ
ー１０からの反射光の光路を顕微鏡ヘッド１の光路折曲
げミラー６からの光路とその光軸一致する水平光として
出力するようにしている。

【００１３】そして、これら顕微鏡ヘッドユニット１、
２の光路折曲げミラー６、１０からの一致された光路中
で顕微鏡ヘッドユニット１と２の間に光路選択ミラー１
３を設けるようにしている。この光路選択ミラー１３
は、光路折曲げミラー６または１０からの反射光の光路
のいずれか一方を選択するもので、この光路選択ミラー
１３で選択された光路を結像レンズ１４を通して接眼レ
ンズ１５に入射させるようになっている。

【００１４】この場合、光路選択ミラー１３は、図示実
線と破線の位置切換により光路折曲げミラー６または１
０からの反射光の光路を選択するようにしている。勿
論、このような手段の他に、ミラーを回転させたり、相
対向する方向に傾斜した反射面を有するミラーを挿脱す
るようなものを用いてもよい。

【００１５】しかして、このような顕微鏡ヘッドユニッ
ト１、２は、製品毎に異なるガラス板１１の幅Ｌ0 、パ
ターン１２のパターン長Ｌp 、パターン間隔ｄ1 、縁巾
ｄ2などの値に基づいて、図示矢印の接離方向の移動量
が設定される。この移動量は、製品ごとにそれぞれの値
が決められることから、１製品ロット毎に調整されるよ
うになる。

【００１６】これにより、顕微鏡ヘッドユニット１、２
について、これら相互の間隔ＬS をＬp ＋ｄ1 ＝ＬS に
設定すれば、ガラス板１１を載置する図示しないステー
ジを移動させることで、ガラス板１１上の同一パターン
１２について各パターンの対応する位置の２点観察を同
時にできることになる。

【００１７】そして、これら顕微鏡ヘッドユニット１、
２の光路折曲げミラー６、１０からの反射光の光路のい
ずれか一方を光路選択ミラー１３により選択し、結像レ
ンズ１４を通して接眼レンズ１５に入射させることで、
所望する顕微鏡ヘッドユニット１、２による観察像を選
択的に目視できるようになり、かかる目視観察による人
間の目の確認により、さらに精度の高い標本観察を実現
できる。

【００１８】ところで、第１実施例で述べた構成のもの
は、対物レンズ５（９）の胴付部と折曲げミラー６（１
３）の間Ｌobは、落射用光源３（７）や対物レンズ５
（９）のレボルバが入る関係で最低１００ｍｍ位は必要
になる。一方、このような結像レンズと結像レンズの間
がアフォーカルな無限遠設計の光学系では、この間が２
００ｍｍ位までとれる。そして、論理的には、０〜２０
０ｍｍまでの変化に対し像の機能は維持される。する
と、顕微鏡ヘッドユニット１（２）の光軸と、光路選択
ミラー１３と結像レンズ１４を結ぶ光軸との間の距離Ｌ
TLは、光路選択ミラー１３と結像レンズ１４との距離が
Ｌh ＝３０ｍｍ程度であることを考慮すると、７０ｍｍ
が最大になって、パターン長ＬP は、１４０ｍｍ程度が
限度となる。ところが、最近では、図２に示すように液
晶パネルの画面の対角寸法は、１０′程度の製品が主流
になっており、このことを考慮すると、パターン長ＬP
は、画面部ａ以外の配線部ｂを含めると、２４０ｍｍ程
度までのものが要求されている。

【００１９】そこで、第２実施例では、上述した距離Ｌ
TLを大きくして、パターン長ＬP の大きなものまで適用
できるようにしている。（第２実施例）図３は、第２実施例の概略構成を示して
いる。

【００２０】図において、２１はベースで、このベース
２１のＹ軸方向に沿ってガイド２２が設けられ、このガ
イド２２に沿って移動可能にＹステージ２３を設けてい
る。このＹステージ２３は、モータ２４によりＹ軸方向
の移動量が制御されるようになっている。また、Ｙステ
ージ２３には、Ｘ軸方向に沿ってガイド２５が設けら
れ、このガイド２５に沿って移動可能にＸステージ２６
を設けている。このＸステージ２６は、モータ２７によ
りＸ軸方向の移動量が制御されるようになっている。

【００２１】そして、このＸステージ２６上に複数の同
一パターン２９を形成したガラス板２８を載置し、この
ガラス板２８をＸ−Ｙ方向に任意に移動できるようにし
ている。

【００２２】一方、ベース２１には、Ｘ軸方向に沿って
Ｘ、Ｙステージ２３、２６を跨ぐようにアーム３０を設
けている。そして、このアーム３０に顕微鏡ヘッドユニ
ット３１、３２を支持している。

【００２３】この場合、顕微鏡ヘッドユニット３１、３
２は、図示しないガイドによりアーム２１に沿ってＸ軸
方向に移動可能にしている。この顕微鏡ヘッドユニット
３１、３２のＸ軸方向の移動量は、モータ３３、３４に
より制御されるようになっている。

【００２４】顕微鏡ヘッドユニット３１は、対物レンズ
３１１、光ファイバ３１２を介して図示しない光源から
の可視照明光が入射される投光器３１３、ＴＶカメラ３
１４、該ＴＶカメラ３１４または接眼レンズ３６側のい
ずれかに光路を切換える切換えミラーシリンダ３１５な
どを有している。また、顕微鏡ヘッドユニット３２につ
いても同様で、対物レンズ３２１、光ファイバ３２２を
介して図示しない光源からの可視照明光が入射される投
光器３２３、ＴＶカメラ３２４、該ＴＶカメラ３２４ま
たは接眼レンズ３６側のいずれかに光路を切換える切換
えミラーシリンダ３２５などを有している。

【００２５】また、アーム３０には、顕微鏡ヘッドユニ
ット３１と３２の間に、リレー鏡筒３５を配置し、この
リレー鏡筒３５の先端に接眼レンズ３６を設けている。
リレー鏡筒３５には、顕微鏡ヘッドユニット３１からの
観察光の光路と顕微鏡ヘッドユニット３２からの観察光
の光路のいずれかを選択する後述の光路選択ミラー３５
３を有し、この光路選択ミラー３５３で選択された光路
の観察光を接眼レンズ３６に入射するようにしている。

【００２６】図４は、このように構成した複数ヘッド顕
微鏡装置の光学系を示している。この場合、顕微鏡ヘッ
ドユニット３１では、光ファイバ３１２を介して図示し
ない光源からの可視照明光が投光器３１３に入射される
と、この投光器３１３からの可視照明光をハーフミラー
３１６で反射させ、対物レンズ３１１を通して図示しな
いステージ上に載置された標本に照射し、この標本から
の反射光を対物レンズ３１３、ハーフミラー３１６を通
して光路切換えミラー３１７に入射させる。光路切換え
ミラー３１７は、前述した切換えミラーシリンダ３１５
の動作によりＴＶカメラ３１４またはリレー鏡筒３５側
のいずれかに光路を切換えるようにしている。この場
合、ＴＶカメラ３１４側に切換えられた光路は、結像レ
ンズ３１８を介してＴＶカメラ３１４に入射され、ま
た、リレー鏡筒３５側に切換えられた光路は、該リレー
鏡筒３５の光路選択ミラー３５３に対して出射されるよ
うになっている。

【００２７】ここで、切換えミラー３１７は、光路の折
曲げ方向と直進方向に光量を０：１００、１００：０に
振り分けるような光量分割プリズムからなっていて、モ
ニター観察時はＴＶカメラ３１４側の直進方向に１００
％の光量を送るようにしている。勿論、光量を振り分け
る比はいくつでも適当なものを選択すればよい。

【００２８】なお、上述では、直行する光路にはＴＶカ
メラ３１４を設けているが、その他、ＡＦ装置や分光測
光機などを設けるようにしてもよい。顕微鏡ヘッドユニ
ット３２についても同様で、光ファイバ３２２を介して
図示しない光源からの可視照明光が投光器３２３に入射
されると、この投光器３２３からの可視照明光をハーフ
ミラー３２６で反射させ、対物レンズ３２１を通して図
示しないステージ上に載置された標本に照射し、この標
本からの反射光を対物レンズ３２３、ハーフミラー３２
６を通して光路切換えミラー３２７に入射させる。光路
切換えミラー３２７も、前述した切換えミラーシリンダ
３２５の動作によりＴＶカメラ３２４またはリレー鏡筒
３５側のいずれかに光路を切換えるようにしている。そ
して、ＴＶカメラ３２４側に切換えられた光路は、結像
レンズ３２８を介してＴＶカメラ３２４に入射され、ま
た、リレー鏡筒３５側に切換えられた光路は、該リレー
鏡筒３５の光路選択ミラー３５３に対し出射されるよう
になっている。この場合、切換えミラー３２７から光路
選択ミラー３５３に入射される光路は、切換えミラー３
１７から光路選択ミラー３５３に入射される光路とその
光軸を一致している。

【００２９】ここでの切換えミラー３２７についても、
上述した切換えミラー３１７と同様であり、また、切換
えミラー３２７を介して直行する光路にはＴＶカメラ３
１４の他に、ＡＦ装置や分光測光機などを設けるように
してもよい。

【００３０】一方、顕微鏡ヘッドユニット３１と３２の
間に設けられる固定ユニットのリレー鏡筒３５では、顕
微鏡ヘッドユニット３１からの光路が結像レンズ３５１
を介して光路選択ミラー３５３に入射され、顕微鏡ヘッ
ドユニット３２からの光路が結像レンズ３５２を介して
光路選択ミラー３５３に入射される。光路選択ミラー３
５３は、結像レンズ３５１を通った光路と結像レンズ３
５２を通った光路のいずれかを選択するもので、この光
路選択ミラー３５３で選択された光路を反射ミラー３５
４で反射させ、リレー光学系３５５を通し反射ミラー３
５６で反射させて接眼レンズ３６に入射させるようにし
ている。

【００３１】なお、図４では、対物レンズ３１１、３２
１の下方にコンデンサ３１９、３２９を配置している
が、これは、透過照明検鏡用のものであり、対物レンズ
３１１、３２１の移動と同期して動くようになってい
る。

【００３２】しかして、このようにしても、顕微鏡ヘッ
ドユニット３１、３２について、これら相互の間隔を所
定の距離に設定すれば、Ｘ、Ｙステージ２３、２６を移
動させることで、標本上の同一パターンについて、各パ
ターンの対応する位置の２点観察を同時にできることに
なる。

【００３３】また、顕微鏡ヘッドユニット３１、３２で
の光路切換えミラー３１７、３２５からの光路のいずれ
か一方をリレー鏡筒３５の光路選択ミラー３５３により
選択し、リレー光学系３５５を通して接眼レンズ３６に
入射させることで、所望する顕微鏡ヘッドユニット３
１、３２からの観察像を選択的に目視できるようにな
り、かかる目視観察による人間の目の確認により、さら
に精度の高い標本観察を実現できる。

【００３４】また、リレー鏡筒３５の光路選択ミラー３
５３は、光路切換えミラー３１７、３２５側にそれぞれ
等距離で結像レンズ３５１、３５２を配置し、さらに、
これら結像レンズ３５１、３５２を有する光路選択ミラ
ー３５３と接眼レンズ３６との間にリレー光学系３５５
を配置していることにより、顕微鏡ヘッドユニット３
１、３２のそれぞれの光軸と、切換えミラー３５３とリ
レー光学系３５５を結ぶ光軸との間の距離ＬTL1 、ＬTL
2 の理論上の制限がなくなり、観察するパターン長の大
きなものにも対応できるようになる。ただし、パターン
ピッチの対応幅（調整幅）は、体物レンズと結像レンズ
間が最大で２００ｍｍ程度とした場合、前述した議論と
同様に対物レンズ３１９と光路選択ミラー３１７との距
離は１００ｍｍ程度必要なので、光路選択ミラー３１７
と結像レンズ３５１間は最大で１００ｍｍ程度となり、
実際は、光路選択ミラー３１７の大きさやレンズ枠の関
係で６０ｍｍの調整距離となる。（第３実施例）図５は、第３実施例の概略構成を示して
いる。

【００３５】図において、４１、４２は顕微鏡ヘッドユ
ニットで、これら顕微鏡ヘッドユニット４１、４２は、
それぞれ図示矢印の接離方向に移動可能にしている。こ
の場合、顕微鏡ヘッドユニット４１は、落射用光源４３
からの可視照明光をハーフミラー４４で反射させ、対物
レンズ４５を通して図示しないステージ上に載置された
ガラス板５１上のパターン５２に照射し、このパターン
５２面からの反射光を対物レンズ４５、ハーフミラー４
４を通して光路折曲げミラー４６に入射させ、この光路
折曲げミラー４６からの反射光の光路を、顕微鏡ヘッド
ユニット４２側に向かう水平光として出力するようにし
ている。また、顕微鏡ヘッドユニット４２についても、
顕微鏡ヘッドユニット４１と同様な配置関係で、光源４
７、ハーフミラー４８、対物レンズ４９、光路折曲げミ
ラー５０を設け、光路折曲げミラー５０からの反射光
を、光路折曲げミラー４６の反射光の光路と同じ方向
で、その光軸一致する水平光として出力するようにして
いる。

【００３６】この場合、光路折曲げミラー５０は、光路
に対して挿脱可能になっていて、光路折曲げミラー５０
を光路から除去した状態で、光路折曲げミラー４６から
の反射光の光路を結合レンズ５４を通して接眼レンズ５
５に入射させ、光路折曲げミラー５０を光路に挿入した
状態で、光路折曲げミラー５０からの反射光の光路を結
合レンズ５４を通して接眼レンズ５５に入射させるよう
にしている。

【００３７】しかして、このような構成としても、顕微
鏡ヘッドユニット４１、４２について、これら相互の間
隔を所定距離に設定すれば、ガラス板５１を載置する図
示しないステージを移動させることで、ガラス板５１上
の同一パターン５２に対する２点観察を同時にできるこ
とになる。

【００３８】また、顕微鏡ヘッドユニット４１の光路折
曲げミラー４６からの反射光の光路と顕微鏡ヘッドユニ
ット４２の光路折曲げミラー５０からの反射光の光路
を、この光路折曲げミラー５０の光路に対する挿脱によ
り選択して、結像レンズ５４を通して接眼レンズ５５に
入射させることにより、所望する顕微鏡ヘッドユニット
４１、４２からの観察像を選択的に目視できるようにな
り、かかる目視観察による人間の目の確認により、さら
に精度の高い標本観察を実現できる。また、この光学系
では、ミラー５０をハーフミラーにすることにより、２
つのパターンの同一位置を重ねて観察できる。ただし、
大きなパターンには、対物レンズ、結像レンズ間の距離
の制限から対応できない。（第４実施例）図６は，第４実施例の概略構成を示して
いる。

【００３９】図において、６１、６２は顕微鏡ヘッドユ
ニットで、これら顕微鏡ヘッドユニット６１、６２は、
それぞれ図示矢印の接離方向に移動可能にしている。こ
の場合、顕微鏡ヘッドユニット６１は、落射用光源６３
からの可視照明光をハーフミラー６４で反射させ、対物
レンズ６５を通して図示しないステージ上に載置された
標本に照射し、標本からの反射光を対物レンズ６５、ハ
ーフミラー６４を通して光路切換えミラー６６に入射さ
せる。

【００４０】この光路切換えミラー６６は、ＴＶカメラ
または顕微鏡ヘッドユニット３２側のいずれかに光路を
切換えるようにしている。この場合、ＴＶカメラ側に切
換えられた光路は、結像レンズ６７を介してＣＣＤ６８
に入射され、顕微鏡ヘッドユニット３２側に切換えられ
た光路は、水平光としてリレーレンズ６９側に出射され
るようになっている。この場合、リレーレンズ６９は、
対物レンズ６５から送られてくるアフォーカルな光束を
アフォーカルな光束のままで後述する接眼レンズ７７側
に伝送するものである。

【００４１】また、顕微鏡ヘッドユニット６２について
も、顕微鏡ヘッドユニット６１と同様な配置関係で、光
源７０、ハーフミラー７１、対物レンズ７２、光路切換
えミラー７３を設けている。この光路切換えミラー７３
は、ＴＶカメラまた後述の接眼レンズ７７側のいずれか
に光路を切換えるようにしている。この場合、ＴＶカメ
ラ側に切換えられた光路は、結像レンズ７４を介してＣ
ＣＤ７５に入射され、接眼レンズ７７側に切換えられた
光路は、結像レンズ７６を通して接眼レンズ７７に入射
させるようにしている。この場合、切換えミラー６６か
ら接眼レンズ７７に入射される光路は、切換えミラー７
３から接眼レンズ７７に入射される光路とその光軸を一
致している。

【００４２】この場合、光路切換えミラー７３は、光路
に対して挿脱可能になっていて、光路から除去した状態
で、リレーレンズ６９からの光束の光路を直接接眼レン
ズ７７に入射させ、光路に挿入した状態で、光路切換え
ミラー７３での反射光の光路を接眼レンズ７７に入射さ
せるようにしている。

【００４３】しかして、このような構成としても、顕微
鏡ヘッドユニット６１、６２について、これら相互の間
隔を所定距離に設定すれば、図示しないステージを移動
させることで、ステージ上の同一パターンに対する２点
観察を同時にできることになる。

【００４４】また、顕微鏡ヘッドユニット６１の光路折
曲げミラー６６からの反射光の光路と顕微鏡ヘッドユニ
ット６２の光路折曲げミラー７３からの反射光の光路
を、この光路折曲げミラー７３の光路に対する挿脱によ
り選択して、結合レンズ７６を通して接眼レンズ７７に
入射させることにより、所望する顕微鏡ヘッドユニット
６１、６２からの観察像を選択的に目視できるようにな
り、かかる目視観察による人間の目の確認により、さら
に精度の高い標本観察を実現できる。

【００４５】さらに、顕微鏡ヘッドユニット６１、６２
の光路折曲げミラー６６、７３の間に対物レンズ６５か
ら送られてくるアフォーカルな光束をアフォーカルな光
束のままで結像レンズ７７側に伝送するリレーレンズ６
９を介在させているので、顕微鏡ヘッドユニット６１、
６２の間の距離を変化させるだけで、観察するパターン
長の大きさなものにも対応できるようになる。また、ハ
ーフミラーを使用した時の重ね合わせ観察は、実施例
１、３と同様に可能である。

【００４６】なお、上述した実施例では、いずれも顕微
鏡ヘッドユニットが２個の場合を述べたが、第１および
第２実施例のものでは、切換ミラーを回転型にすれば、
顕微鏡ヘッドユニットが３個以上でも適用できる。ま
た、第３および第４実施例のものでも顕微鏡ヘッドユニ
ットは、２個に限定されない。また、上述した実施例で
は、各顕微鏡ヘッドユニットが移動可能になっている
が、ステージストロークに余裕があれば一方のみを移動
するようにもできる。

【００４７】以上、実施例に基づいて説明したが、本発
明中には以下の発明が含まれる。（１）ステージ上に載置された標本の複数箇所を同時に
観察するため複数の顕微鏡ヘッドユニットが標本に対し
移動可能に設けられた複数ヘッド顕微鏡において、標本
からの観察光を出力する対物レンズとこの対物レンズか
らの観察光を所定の方向に折曲げる光路折曲げ手段をそ
れぞれ有するとともに、対物レンズと結像レンズとの間
がアフォーカルに構成されており、かつ各光路折曲げ手
段により折曲げられた光路が一致するように配置された
前記複数の顕微鏡ヘッドユニットと、この複数の顕微鏡
ヘッドユニットの相互の間隔を調整する間隔調整手段
と、前記折曲げられ一致された光路中に設けられ前記顕
微鏡ヘッドユニットからの観察光を選択的に接眼光学系
に送出する光路選択手段とを備えたことを特徴とする複
数ヘッド顕微鏡。

【００４８】このようにすれば、所望する顕微鏡ヘッド
ユニットによる観察像を選択的に目視できることにな
り、かかる目視観察による人間の目の確認により、さら
に精度の高い標本観察を実現できる。

【００４９】（２）（１）記載の複数ヘッド顕微鏡にお
いて、前記複数の顕微鏡ヘッドユニットの光路折曲げ手
段は、それぞれからの光路が一致するように相対向して
配置され、前記光路選択手段は、前記一致された光路の
中間位置に配置されている。

【００５０】このようにしても、（１）と同様な効果が
得られる。（３）（１）記載の複数ヘッド顕微鏡において、前記複
数の顕微鏡ヘッドユニットの光路折曲げ手段は、それぞ
れからの光路が一致するように相対向して配置され、且
つ前記光路折曲げ手段の少なくともひとつを前記光路に
対し選択的に挿脱可能にして光路選択手段を構成してい
る。

【００５１】このようにしても、（１）と同様な効果が
得られる。（４）（２）記載の複数ヘッド顕微鏡において、前記光
路選択手段は、各光路折曲げ手段側にそれぞれ等距離で
結像光学系を配置するとともに、前記光路選択手段と接
眼光学系の間にリレー光学系を配置している。

【００５２】このようにすると、観察するパターン長の
大きなものにも対応できるようになる。（５）（３）記載の複数ヘッド顕微鏡において、複数の
顕微鏡ヘッドユニットの光路折曲げ手段の間にアフォー
カルな光束をアフォーカルな光束のままで接眼光学系側
に伝送するリレー光学系を配置している。

【００５３】このようにすれば、顕微鏡ヘッドユニット
の間の距離を変化させるだけで、観察するパターン長の
大きさなものにも対応できる。（６）（１）記載の複数ヘッド顕微鏡において、光路折
曲げ手段は、所定方向に折曲げられる光路の光量と直進
する光路の光量を所定の光量比で分割する光量分割プリ
ズムからなっている。

【００５４】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、複
数の顕微鏡ヘッドユニットのうち所望するものの観察像
を選択的に目視できるようになり、かかる目視観察によ
る人間の目の確認により、さらに精度の高い標本観察を
実現できる。勿論、この場合、複数ヘッド顕微鏡による
高タクトと装置の小型化をも得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例の概略構成を示す図。

【図２】本発明が適用される液晶パネルを示す図。

【図３】本発明の第２実施例の概略構成を示す図。

【図４】第２実施例の光学系の概略構成を示す図。

【図５】本発明の第３実施例の概略構成を示す図。

【図６】本発明の第４実施例の概略構成を示す図。

【符号の説明】

１、２…顕微鏡ヘッドユニット、３…落射用光源、４…
ハーフミラー、５…対物レンズ、６…光路折曲げミラ
ー、７…光源、８…ハーフミラー、９…対物レンズ、１
０…光路折曲げミラー、１１…ガラス板、１２…パター
ン、１３…光路選択ミラー、１４…結像レンズ、１５…
接眼レンズ、２１…ベース、２２…ガイド、２３…Ｙス
テージ、２４…モータ、２５…ガイド、２６…Ｘステー
ジ、２７…モータ、２８…ガラス板、２９…パターン、
３０…アーム、３１、３２…顕微鏡ヘッドユニット、３
１１、３２１…対物レンズ、３１２、３２２…光ファイ
バ、３１３、３２３…投光器、３１４、３２４…ＴＶカ
メラ、３１５、３２５…切換えミラーシリンダ、３１
６、３２６…ハーフミラー、３１７、３２７…光路切換
えミラー、３１８、３２８…結像レンズ、３１９、３２
９…コンデンサ、３３、３４…モータ、３５…リレー鏡
筒、３５１、３５２…結像レンズ、３５３…光路選択ミ
ラー、３５４…反射ミラー、３５５…リレー光学系、３
５６…反射ミラー、３６…接眼レンズ、４１、４２…顕
微鏡ヘッドユニット、４３…落射用光源、４４…ハーフ
ミラー、４５…対物レンズ、４６…光路折曲げミラー、
４７…光源、４８…ハーフミラー、４９…対物レンズ、
５０…光路折曲げミラー、５１…ガラス板、５２…パタ
ーン、５３…、５４…結像レンズ、５５…接眼レンズ、
６１、６２…顕微鏡ヘッドユニット、６３…落射用光
源、６４…ハーフミラー、６５…対物レンズ、６６…光
路切換えミラー、６７…結像レンズ、６８…ＣＣＤ、６
９…リレーレンズ、７０…光源、７１…ハーフミラー、
７２…対物レンズ、７３…光路切換えミラー、７４…結
像レンズ、７５…ＣＣＤ、７６…結像レンズ、７７…接
眼レンズ。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ステージ上に載置された標本の複数箇所
を同時に観察するため複数の顕微鏡ヘッドユニットが標
本に対し移動可能に設けられた複数ヘッド顕微鏡におい
て、標本からの観察光を出力する対物レンズとこの対物レン
ズからの観察光を所定の方向に折曲げる光路折曲げ手段
をそれぞれ有するとともに、対物レンズと結像レンズと
の間がアフォーカルに構成されており、かつ各光路折曲
げ手段により折曲げられた光路が一致するように配置さ
れた前記複数の顕微鏡ヘッドユニットと、この複数の顕微鏡ヘッドユニットの相互の間隔を調整す
る間隔調整手段と、前記折曲げられ一致された光路中に設けられ前記顕微鏡
ヘッドユニットからの観察光を選択的に接眼光学系に送
出する光路選択手段とを備えたことを特徴とする複数ヘ
ッド顕微鏡。
【請求項２】前記複数の顕微鏡ヘッドユニットの光路
折曲げ手段は、それぞれからの光路が一致するように相
対向して配置され、前記光路選択手段は、前記一致され
た光路の中間位置に配置されることを特徴とする請求項
１記載の複数ヘッド顕微鏡。
【請求項３】前記複数の顕微鏡ヘッドユニットの光路
折曲げ手段は、それぞれからの光路が一致するように相
対向して配置され、且つ前記光路折曲げ手段の少なくと
もひとつを前記光路に対し選択的に挿脱可能にして光路
選択手段を構成したことを特徴とする請求項１記載の複
数ヘッド顕微鏡。