JPH08268730A - Refining method of fluoride compound glass raw material and refining device therefor - Google Patents
Refining method of fluoride compound glass raw material and refining device thereforInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、フッ化物ガラス原料の
精製方法及びその精製装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for purifying a fluoride glass raw material and a refining apparatus therefor.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、希土類をドープしたフッ化物ガラ
ス原料を用いたレーザガラスの研究が盛んに行われてい
る。特に、Ｐｒをフッ化物ガラス原料にドープして製造
したフッ化物ガラス光ファイバは、光通信で重要な波長
である１．３μｍ帯において、レーザ発振が得られると
共に光増幅が可能であるため、光ファイバ増幅器として
の応用が注目されている。2. Description of the Related Art In recent years, laser glass using a rare earth doped fluoride glass material has been actively researched. In particular, a fluoride glass optical fiber produced by doping a fluoride glass raw material with Pr can obtain laser oscillation and optical amplification in the 1.3 μm band, which is a wavelength important for optical communication, The application as a fiber amplifier is drawing attention.
【０００３】このようなフッ化物ガラス光ファイバは、
次のようにして製造されている。ＺｒＦ4 ，ＢａＦ2 ，
ＬａＦ3 ，ＡｌＦ3 ，ＮａＦなどのフッ化物ガラス原料
を白金や金などのるつぼ内に入れ、不活性ガス雰囲気中
で加熱溶融し、得られた融液を高温状態で所定時間保持
した後、金属製の鋳型に流し込んで急冷することにより
ガラスロッドを作製し、サクションキャスティング法な
どでコア及びクラッドの導波構造を作製することにより
フッ化物ガラス光ファイバ母材を得、このフッ化物ガラ
ス光ファイバ母材を軟化温度まで加熱して引っ張る（線
引く）ことによりフッ化物ガラス光ファイバが得られ
る。Such a fluoride glass optical fiber is
It is manufactured as follows. ZrF 4 , BaF 2 ,
Fluoride glass raw materials such as LaF 3 , AlF 3 and NaF are placed in a crucible such as platinum and gold, heated and melted in an inert gas atmosphere, and the obtained melt is kept at a high temperature for a predetermined time, and then metal A glass rod is produced by pouring it into a casting mold and rapidly cooling it, and a fluoride glass optical fiber preform is obtained by producing a core and a clad waveguide structure by a suction casting method or the like. A fluoride glass optical fiber is obtained by heating the material to a softening temperature and pulling (drawing) the material.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】前述したようなフッ化
物ガラス光ファイバでは、伝送損失を極力低減させたも
のが強く望まれている。上記伝送損失を決定する主要因
は、フッ化物ガラス原料の純度である。特に、フッ化物
ガラス原料中の遷移金属や酸素の不純物の量は、伝送損
失を大きく左右している。なぜなら、遷移金属不純物
は、光通信で使用する赤外光領域の波長を吸収して伝送
損失を著しく増加させてしまい、酸素不純物は、フッ化
物ガラス原料中で結晶核となって微結晶を生成しやすい
ため、フッ化物ガラス光ファイバ中で散乱輝点となって
伝送損失を著しく増加させてしまうからである。In the above-mentioned fluoride glass optical fiber, it is strongly desired to reduce the transmission loss as much as possible. The main factor that determines the transmission loss is the purity of the fluoride glass raw material. In particular, the amounts of impurities such as transition metals and oxygen in the fluoride glass raw material greatly affect the transmission loss. This is because the transition metal impurities absorb the wavelength in the infrared light region used in optical communication and significantly increase the transmission loss, and the oxygen impurities form crystal nuclei in the fluoride glass raw material to form microcrystals. It is easy to do so, and it becomes a scattering bright point in the fluoride glass optical fiber, which significantly increases the transmission loss.
【０００５】そこで、石英ガラス系光ファイバの場合と
同様にして、前記不純物の除去工程をフッ化物ガラス光
ファイバの製造ラインに組み込むことが考えられるが、
フッ化物ガラス光ファイバは、その製造条件が石英ガラ
ス系光ファイバの場合と大きく異なるため、上記除去工
程の組み込みが非常に困難となっている。即ち、石英ガ
ラス系光ファイバでは、その軟化温度が非常に高い（２
０００℃）だけでなく、その製造法である気相合成法に
おいて原料と不純物とが気化特性に大きな違いを有して
いることから、光ファイバ母材の製造時に不純物を全て
除去して高純度化することができるものの、フッ化物ガ
ラス光ファイバでは、その軟化温度が低い（約３００
℃）だけでなく、その製造法である溶融法において原料
と不純物とが混在してしまうことから、不純物の除去が
困難となっているのである。Therefore, it is conceivable to incorporate the above-mentioned impurity removal step into the fluoride glass optical fiber production line in the same manner as in the case of the silica glass optical fiber.
Since the manufacturing conditions of the fluoride glass optical fiber are significantly different from those of the silica glass optical fiber, it is very difficult to incorporate the above removal step. That is, the softening temperature of the silica glass optical fiber is very high (2
(000 ° C.) and the vapor phase synthesis method, which is a manufacturing method thereof, has a large difference in vaporization characteristics between the raw material and the impurities. Therefore, when the optical fiber preform is manufactured, all impurities are removed to obtain high purity. Fluoride glass optical fibers have a low softening temperature (about 300
Not only in (.degree. C.) but also in the melting method which is the manufacturing method thereof, the raw material and the impurities are mixed, so that it is difficult to remove the impurities.
【０００６】このようなことから、フッ化物ガラス光フ
ァイバでは、フッ化物ガラス原料の時点で前記不純物を
除去、即ち、フッ化物ガラス原料を精製するようにして
いる。例えば、ＺｒＦ4 やＡｌＦ3 などの原料では、特
開昭６０−３６３０４号公報に開示されているように、
原料を昇華することにより、遷移金属や酸素の不純物を
除去して容易に精製することができ、ＢＦ3 などの原料
では、共沈法や溶媒抽出法などにより、遷移金属不純物
を除去することができる。しかしながら、ＢＦ 3 などの
原料から酸素不純物を除去する場合には、特開平１−３
２０２３５号公報に開示されているように、原料を入れ
た容器を加熱炉内に入れて活性ガスを供給すると共に原
料を加熱することにより、活性ガスと酸素不純物とを反
応させて酸素不純物を原料中から除去するようにしてい
るものの、活性ガスが原料中に十分に分散されないた
め、酸素不純物が原料中に残留してしまっていた。From the above, the fluoride glass optical fiber is
In the case of fiber, the above impurities are removed at the time of fluoride glass raw material.
Removal, that is, refining the fluoride glass raw material
There is. For example, ZrFFourAnd AlF3For raw materials such as
As disclosed in JP-A-60-36304,
By sublimating the raw material, impurities such as transition metals and oxygen are removed.
BF can be easily purified by removing3Raw materials such as
Then, by the coprecipitation method or solvent extraction method, transition metal impurities
Can be removed. However, BF 3Such as
When removing oxygen impurities from a raw material, JP-A 1-3
As disclosed in 20235 publication,
Put the container into the heating furnace to supply the active gas and
By heating the material, the active gas and oxygen impurities are
To remove oxygen impurities from the raw materials.
However, the active gas was not sufficiently dispersed in the raw material
Therefore, oxygen impurities were left in the raw material.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】前述した課題を解決する
ための、本発明によるフッ化物ガラス原料の精製方法
は、フッ化物ガラス原料の環境を真空減圧した後、当該
フッ化物ガラス原料の環境を活性ガスに置換し、当該フ
ッ化物ガラス原料を加熱処理することを特徴とする。In order to solve the above-mentioned problems, a method of refining a fluoride glass raw material according to the present invention comprises decompressing the environment of the fluoride glass raw material in vacuum and then changing the environment of the fluoride glass raw material. It is characterized in that the fluoride glass raw material is heat-treated by substituting it with an active gas.
【０００８】本発明に係るフッ化物ガラス原料の精製方
法は、前記フッ化物ガラス原料中に前記活性ガスを通過
させながら当該フッ化物ガラス原料を加熱処理すること
を特徴とする。The method of refining a fluoride glass raw material according to the present invention is characterized in that the fluoride glass raw material is heat-treated while allowing the active gas to pass through the fluoride glass raw material.
【０００９】本発明に係るフッ化物ガラス原料の精製方
法は、前記活性ガスがＨＦ，Ｆ2 ，ＣＦ4 ，Ｃ2 Ｆ6 ，
ＮＦ3 ，ＳＦ6 ，ＸｅＦ2 のうちの少なくとも一種類か
らなることを特徴とする。In the method for purifying a fluoride glass raw material according to the present invention, the active gas is HF, F 2 , CF 4 , C 2 F 6 ,
It is characterized by being composed of at least one of NF 3 , SF 6 , and XeF 2 .
【００１０】本発明に係るフッ化物ガラス原料の精製方
法は、加熱処理後、前記フッ化物ガラス原料の環境を不
活性ガスに置換することを特徴とする。The method for purifying a fluoride glass raw material according to the present invention is characterized in that after the heat treatment, the environment of the fluoride glass raw material is replaced with an inert gas.
【００１１】本発明に係るフッ化物ガラス原料の精製方
法は、前記不活性ガスに置換後、不活性ガスの環境下で
前記フッ化物ガラス原料を後処理することを特徴とす
る。The method for refining a fluoride glass raw material according to the present invention is characterized in that after the inert gas is replaced, the fluoride glass raw material is post-treated in an inert gas environment.
【００１２】本発明に係るフッ化物ガラス原料の精製方
法は、前記不活性ガスの露点が−６０℃以下であること
を特徴とする。The method for purifying a fluoride glass raw material according to the present invention is characterized in that the dew point of the inert gas is -60 ° C or lower.
【００１３】また、前述した課題を解決するための、本
発明によるフッ化物ガラス原料の精製装置は、内部にフ
ッ化物ガラス原料が入れられ、内部と外部とを連通させ
る第一連通部及び第二連通部を有する本体と、前記本体
の内部の前記フッ化物ガラス原料を加熱処理する加熱手
段と、前記本体の前記第一連通部へ連結され、当該第一
連通部へ活性ガスを送る活性ガス送給手段と、前記本体
の前記第二連通部へ連結され、当該本体の内部の雰囲気
を排出する雰囲気排出手段と、を備えてなることを特徴
とする。In order to solve the above-mentioned problems, the apparatus for refining a fluoride glass raw material according to the present invention has a fluoride glass raw material placed inside and a first series of communicating portions for connecting the inside and the outside. A main body having two communicating parts, a heating means for heat-treating the fluoride glass raw material inside the main body, and a main body connected to the first continuous part of the main body, and an active gas is sent to the first continuous part. It is characterized by comprising an active gas supply means and an atmosphere discharge means connected to the second communication part of the main body and discharging the atmosphere inside the main body.
【００１４】本発明に係るフッ化物ガラス原料の精製装
置は、上述したフッ化物ガラス原料の精製装置におい
て、前記本体と連結され、内部に不活性ガスの充てんが
可能な不活性ガス容器と、前記本体の内部の前記フッ化
物ガラス原料を前記不活性ガス容器の内部に移動できる
ように当該フッ化物ガラス原料を支持する移動手段とを
備えてなることを特徴とする。The apparatus for purifying a fluoride glass raw material according to the present invention is the above-mentioned apparatus for purifying a fluoride glass raw material, which is connected to the main body and has an inert gas container capable of being filled with an inert gas. And a moving means for supporting the fluoride glass raw material inside the main body so that the fluoride glass raw material can be moved inside the inert gas container.
【００１５】本発明に係るフッ化物ガラス原料の精製装
置は、前記不活性ガス容器がグローブボックスであり、
前記移動手段が前記フッ化物ガラス原料を支持するテー
ブルと、当該テーブルを移動させる駆動手段とを備えて
なることを特徴とする。In the apparatus for purifying a fluoride glass raw material according to the present invention, the inert gas container is a glove box,
It is characterized in that the moving means comprises a table for supporting the fluoride glass raw material and a driving means for moving the table.
【００１６】本発明に係るフッ化物ガラス原料の精製装
置は、前記本体が前記本体が外部容器と、前記外部容器
の内部に収納される内部容器と、前記内部容器の内部に
収納され、内部に前記フッ化物ガラス原料を収納すると
共に、前記第一連通部及び前記第二連通部を介して内部
が前記外部容器の外部と連通する原料容器とを備えてな
ることを特徴とする。In the apparatus for purifying a fluoride glass raw material according to the present invention, the main body comprises an outer container, an inner container housed in the outer container, and an inner container housed in the inner container. It is characterized in that it comprises a raw material container that accommodates the fluoride glass raw material and has an interior communicating with the exterior of the external container via the first series communication portion and the second communication portion.
【００１７】本発明に係るフッ化物ガラス原料の精製装
置は、前記原料容器が底部に複数の通気孔を有すると共
に、前記第一連通部と当該原料容器の内部とが当該通気
孔を介して連通されていることを特徴とする。In the apparatus for purifying a fluoride glass raw material according to the present invention, the raw material container has a plurality of vent holes at the bottom, and the first series passage and the inside of the raw material container are provided with the vent holes. It is characterized by being communicated.
【００１８】本発明に係るフッ化物ガラス原料の精製装
置は、前記通気孔の大きさが５０μｍ以上１ｍｍ以下で
あることを特徴とする。The apparatus for purifying a fluoride glass raw material according to the present invention is characterized in that the size of the vent hole is 50 μm or more and 1 mm or less.
【００１９】本発明に係るフッ化物ガラス原料の精製装
置は、前記本体が前記活性ガスに対して高耐久性を有す
る材料からなることを特徴とする。The apparatus for purifying a fluoride glass raw material according to the present invention is characterized in that the main body is made of a material having high durability against the active gas.
【００２０】本発明に係るフッ化物ガラス原料の精製装
置は、前記材料がフッ素樹脂、アルミニウム、アルミ
ナ、グラッシーカーボン（ｇｌａｓｓｙ ｃａｒｂｏ
ｎ）、モネルメタル、ニッケル、ステンレス、金、白
金、イリジウムのうちの少なくとも一種類、またはこれ
らの組み合わせで得られる複合体からなることを特徴と
する。In the apparatus for purifying a fluoride glass raw material according to the present invention, the materials are fluororesin, aluminum, alumina, and glassy carbon.
n), at least one of monel metal, nickel, stainless steel, gold, platinum, and iridium, or a combination thereof.
【００２１】本発明に係るフッ化物ガラス原料の精製装
置は、前記加熱手段が前記本体の外部に設けられている
ことを特徴とする。The apparatus for purifying a fluoride glass raw material according to the present invention is characterized in that the heating means is provided outside the main body.
【００２２】[0022]
【作用】前述したように構成された本発明のフッ化物ガ
ラス原料の精製方法によれば、フッ化物ガラス原料の環
境を真空減圧した後に活性ガス環境に置換することによ
り、フッ化物ガラス原料の環境の活性ガスへの置換をム
ラなく行うことができるので、加熱処理によるフッ化物
ガラス原料の精製効果を高めることができる。According to the method for purifying a fluoride glass raw material of the present invention configured as described above, the environment of the fluoride glass raw material is reduced by decompressing the environment of the fluoride glass raw material and then replacing it with the active gas environment. Since it can be uniformly replaced with the active gas, the refining effect of the fluoride glass raw material by the heat treatment can be enhanced.
【００２３】さらに、フッ化物ガラス原料中に活性ガス
を通過させながらフッ化物ガラス原料を加熱処理すれ
ば、新規な活性ガスをフッ化物ガラス原料中に常に存在
させながら加熱処理することができるようになるので、
フッ化物ガラス原料の精製効果をより高めることができ
る。Furthermore, if the fluoride glass raw material is heat-treated while passing the active gas through the fluoride glass raw material, it is possible to perform the heat treatment while the new active gas is always present in the fluoride glass raw material. So
The refining effect of the fluoride glass raw material can be further enhanced.
【００２４】このような活性ガスが前述したようなもの
であれば、フッ化物ガラス原料中の酸素不純物や水分な
どを効率よく除去することができる。なぜなら、例え
ば、ＢａＦ2 中に混在するＢａＯやＨ2 Ｏなどは、例え
ば、Ｆ2 ガスとＨＦガスとの混合ガスにより下記に示す
ようにして容易にフッ素化されて、系内から除去される
からである。If such an active gas is one as described above, it is possible to efficiently remove oxygen impurities, water and the like in the fluoride glass raw material. This is because, for example, BaO and H 2 O mixed in BaF 2 are easily fluorinated by a mixed gas of F 2 gas and HF gas as shown below and removed from the system. Because.
【化１】 Embedded image
【００２５】また、加熱処理後にフッ化物ガラス原料の
環境を不活性ガスに置換することにより、処理後のフッ
化物ガラス原料への酸素や水分などの混入を防止するこ
とができる。Further, by replacing the environment of the fluoride glass raw material with an inert gas after the heat treatment, it is possible to prevent oxygen and water from being mixed into the fluoride glass raw material after the treatment.
【００２６】また、不活性ガスの環境下でフッ化物ガラ
ス原料を後処理することにより、後処理中のフッ化物ガ
ラス原料への酸素や水分などの混入を防止することがで
きる。Further, by post-treating the fluoride glass raw material in an environment of an inert gas, it is possible to prevent oxygen, water, etc. from being mixed into the fluoride glass raw material during the post-treatment.
【００２７】このような不活性ガスの露点が−６０℃以
下であれば、フッ化物ガラス原料への水分の混入をより
確実に防止することができる。なぜなら、−６０℃より
も高い露点の不活性ガスであると、フッ化物ガラス原料
との接触による温度変化に伴ってフッ化物ガラス原料の
表面に生じる水分の量が許容範囲を越える恐れがあるか
らである。When the dew point of such an inert gas is -60 ° C or lower, it is possible to more reliably prevent the mixing of water into the fluoride glass raw material. Because, if the inert gas has a dew point higher than −60 ° C., the amount of water generated on the surface of the fluoride glass raw material due to the temperature change due to contact with the fluoride glass raw material may exceed the allowable range. Is.
【００２８】一方、前述したように構成された本発明の
フッ化物ガラス原料の精製装置によれば、本体の内部に
フッ化物ガラス原料を入れ、雰囲気排出手段で本体の内
部の雰囲気を排出することにより、フッ化物ガラス原料
の環境が真空減圧となる。次に、活性ガス送給手段で活
性ガスを本体の内部に送ることにより、フッ化物ガラス
原料の環境が活性ガスにムラなく置換される。このた
め、加熱手段でフッ化物ガラス原料を加熱処理すること
により、フッ化物ガラス原料を効果的に精製することが
できる。On the other hand, according to the apparatus for purifying a fluoride glass raw material of the present invention constructed as described above, the fluoride glass raw material is put inside the main body, and the atmosphere inside the main body is discharged by the atmosphere discharging means. Thereby, the environment of the fluoride glass raw material is reduced in vacuum. Next, the environment of the fluoride glass raw material is uniformly replaced with the active gas by sending the active gas into the main body by the active gas supply means. Therefore, by heating the fluoride glass raw material with the heating means, the fluoride glass raw material can be effectively refined.
【００２９】このようにして加熱処理したフッ化物ガラ
ス原料を不活性ガスの充てんされた不活性ガス容器に移
動手段で移動することにより、加熱処理後のフッ化物ガ
ラス原料の環境を不活性ガスに置換することができる。By moving the heat-treated fluoride glass raw material to the inert gas container filled with the inert gas by the moving means, the environment of the heat-treated fluoride glass raw material is changed to the inert gas. Can be replaced.
【００３０】ここで、不活性ガス容器がグローブボック
スであり、移動手段が前述したようなテーブルと駆動手
段とを備えてなるものであれば、加熱処理後のフッ化物
ガラス原料の環境を不活性ガスに容易に置換することが
できると共に、フッ化物ガラス原料を不活性ガスの環境
下で容易に後処理することができる。Here, if the inert gas container is a glove box and the moving means comprises the table and the driving means as described above, the environment of the fluoride glass raw material after the heat treatment is made inert. The gas can be easily replaced, and the fluoride glass raw material can be easily post-treated in an inert gas environment.
【００３１】また、本体が前述したような外部容器と内
部容器と原料容器とを備えてなるものであれば、原料容
器の内部を外部容器の外部と連通させながらも、外部容
器、内部容器、原料容器の内部と外部容器の外部とを確
実にしゃへいすることができる。If the main body comprises the above-mentioned outer container, inner container, and raw material container, the outer container, inner container, It is possible to reliably shield the inside of the raw material container and the outside of the external container.
【００３２】また、原料容器が底部に複数の通気孔を有
すると共に、第一連通部と原料容器の内部とが上記通気
孔を介して連通されていれば、活性ガス送給手段からの
活性ガスをフッ化物ガラス原料中に通過させることがで
きるので、加熱処理によるフッ化物ガラス原料の精製効
果をより高めることができる。If the raw material container has a plurality of ventilation holes at the bottom and the first communicating portion and the inside of the raw material container are communicated with each other through the ventilation holes, the activity from the active gas supply means is increased. Since the gas can be passed through the fluoride glass raw material, the effect of refining the fluoride glass raw material by the heat treatment can be further enhanced.
【００３３】このような通気孔の大きさが５０μｍ以上
１ｍｍ以下であれば、フッ化物ガラス原料中への活性ガ
スの通過を効率よく行うことができる。なぜなら、通気
孔の大きさが５０μｍよりも小さいと、活性ガスがフッ
化物ガラス原料中にまんべんなく通過しにくくなり、通
気孔の大きさが１ｍｍよりも大きいと、フッ化物ガラス
原料が通気孔から抜け落ちてしまう場合があるからであ
る。When the size of such ventilation holes is 50 μm or more and 1 mm or less, the active gas can be efficiently passed through the fluoride glass raw material. This is because if the size of the vent hole is smaller than 50 μm, it becomes difficult for the active gas to evenly pass through the fluoride glass raw material, and if the size of the vent hole is larger than 1 mm, the fluoride glass raw material falls out of the vent hole. This is because there are cases where it will end up.
【００３４】また、本体が活性ガスに対して高耐久性を
有する材料からなるものであれば、本体は活性ガスに対
して侵されにくくなるので、保守・管理が容易となり、
作業効率を向上させることができる。If the main body is made of a material having a high durability against an active gas, the main body is less likely to be invaded by the active gas, so that maintenance and management becomes easier.
Work efficiency can be improved.
【００３５】このような材料が前述したようなものであ
れば、保守・管理が容易となって作業効率を向上させる
ことができるのはもちろんのこと、遷移金属等による汚
染を受けることもないので、長期間にわたって安定して
使用することができる。If such a material as described above is used, not only maintenance and management can be facilitated and work efficiency can be improved, but also contamination by transition metals and the like will not occur. , Can be used stably for a long period of time.
【００３６】また、加熱手段を本体の外部に設ければ、
加熱手段が活性ガスに接触することはないので、加熱手
段が活性ガスに対する耐久性を有する必要はない。If the heating means is provided outside the main body,
Since the heating means does not come into contact with the active gas, the heating means does not need to have durability against the active gas.
【００３７】[0037]
【実施例】本発明によるフッ化物ガラス原料の精製装置
の一実施例を図１を用いて説明する。なお、図１は、そ
の概略構造図である。EXAMPLE An example of the apparatus for purifying a fluoride glass raw material according to the present invention will be described with reference to FIG. Note that FIG. 1 is a schematic structural diagram thereof.
【００３８】図１に示すように、外部容器１の外面は、
加熱手段である加熱装置４で覆われている。これら外部
容器１、加熱装置４は、図示しないグローブボックスの
内部に入れられている。外部容器１の内部には、内部容
器２が入れられている。外部容器１の底部には、当該外
部容器１の内側と外側とを連通させる第一連通部である
パイプ１ａが形成されており、このパイプ１ａは、上記
内部容器２の底面を貫通して当該内部容器２の内側と連
通している。上記パイプ１ａの外端側には、活性ガス送
給手段である図示しない活性ガスボンベ及び不活性ガス
ボンベが切換バルブを介して連結され、当該パイプ１ａ
と内部容器２との隙間は、シール具５でシールされるよ
うになっている。内部容器２の内部には、フッ化物ガラ
ス原料２０を入れる原料容器３が入れられている。原料
容器３の底部は、複数の通気孔を有する通気板３ａとな
っている。原料容器３の内部は、前記通気孔を介して前
記パイプ１ａと連通するようになっている。As shown in FIG. 1, the outer surface of the outer container 1 is
It is covered with a heating device 4 which is a heating means. The outer container 1 and the heating device 4 are placed inside a glove box (not shown). The inner container 2 is placed inside the outer container 1. At the bottom of the outer container 1, there is formed a pipe 1a that is a first series of communicating portions that communicates the inside and the outside of the outer container 1, and the pipe 1a penetrates the bottom surface of the inner container 2. It communicates with the inside of the inner container 2. To the outer end side of the pipe 1a, an active gas cylinder and an inert gas cylinder (not shown), which are active gas feeding means, are connected via a switching valve, and the pipe 1a is connected.
The gap between the inner container 2 and the inner container 2 is sealed by the seal member 5. Inside the inner container 2, a raw material container 3 for containing a fluoride glass raw material 20 is placed. The bottom of the raw material container 3 is a ventilation plate 3a having a plurality of ventilation holes. The inside of the raw material container 3 communicates with the pipe 1a through the ventilation hole.
【００３９】内部容器２の上部には、蓋２ａが嵌合され
ている。外部容器１の上端縁部には、フランジ１ｂが形
成され、このフランジ１ｂには、溝１ｃが当該フランジ
１ｂの周縁に添って形成され、この溝１ｃには、Ｏリン
グ６が嵌合されている。外部容器１の上部には、上記フ
ランジ１ｂの外径と同等の外径をなす円板型の蓋１ｄが
載せられており、この蓋１ｄは、上記フランジ１ｂにボ
ルトで固定されるようになっている。上記蓋１ｄには、
当該蓋１ｄの表側と裏側とを連通、即ち、外部容器１の
外側と内側とを連通させる第二連通部であるパイプ１ｅ
が形成されており、このパイプ１ｅは、その蓋１ｄの裏
側の端部が内部容器２の蓋２ａを貫通して当該内部容器
２の内部と連通し、その蓋１ｄの表側の端部が雰囲気排
出手段である図示しない真空ポンプ及びスクラバに連結
されている。A lid 2a is fitted on the upper portion of the inner container 2. A flange 1b is formed on the upper edge of the outer container 1, and a groove 1c is formed along the periphery of the flange 1b in the flange 1b. An O-ring 6 is fitted in the groove 1c. There is. A disc-shaped lid 1d having an outer diameter equivalent to that of the flange 1b is placed on the upper portion of the outer container 1, and the lid 1d is fixed to the flange 1b with a bolt. ing. The lid 1d has
A pipe 1e, which is a second communicating portion that communicates the front side and the back side of the lid 1d, that is, the outer side and the inner side of the outer container 1.
In this pipe 1e, the end portion on the back side of the lid 1d penetrates the lid 2a of the inner container 2 and communicates with the inside of the inner container 2, and the end portion on the front side of the lid 1d is an atmosphere. It is connected to a vacuum pump (not shown) and a scrubber, which are discharging means.
【００４０】このような外部容器１、内部容器２、原料
容器３などにより、本実施例では本体を構成している。The outer container 1, the inner container 2, the raw material container 3 and the like constitute a main body in this embodiment.
【００４１】このような精製装置を用いたフッ化物ガラ
ス原料の精製方法の一実施例を以下に説明する。原料容
器３の内部にフッ化物ガラス原料２０を入れ、内部容器
２に蓋２ａを嵌合し、外部容器１に蓋１ｄを載せてボル
トで固定する。外部容器１のパイプ１ａの前記バルブを
操作する一方、前記真空ポンプを作動して、外部容器
１、内部容器２、原料容器３の内部を真空減圧する。真
空減圧終了後、当該真空ポンプを停止し、外部容器１の
パイプ１ａの前記バルブを操作して、前記活性ガスボン
ベから活性ガスを送給し、外部容器１、内部容器２、原
料容器３の内部を活性ガスで置換する。An example of a method of refining a fluoride glass raw material using such a refining apparatus will be described below. The fluoride glass raw material 20 is put inside the raw material container 3, the lid 2a is fitted to the inner container 2, the lid 1d is placed on the outer container 1 and fixed with bolts. While operating the valve of the pipe 1a of the outer container 1, the vacuum pump is operated to evacuate the inside of the outer container 1, the inner container 2, and the raw material container 3 in vacuum. After the vacuum decompression is finished, the vacuum pump is stopped, the valve of the pipe 1a of the outer container 1 is operated, and the active gas is fed from the active gas cylinder, and the inside of the outer container 1, the inner container 2, and the raw material container 3 Is replaced with active gas.
【００４２】置換終了後、外部容器１のパイプ１ｅと前
記スクラバとを連通させた状態で外部容器１のパイプ１
ａから活性ガスを送給して、原料容器３内のフッ化物ガ
ラス原料２０中に活性ガスを通過させながら加熱装置４
でフッ化物ガラス原料２０を加熱処理する。加熱処理終
了後、加熱装置４を停止し、フッ化物ガラス原料２０を
そのままの状態で所定の温度まで放冷した後、外部容器
１のパイプ１ａの前記バルブを操作して、活性ガスの送
給を停止する一方、上記パイプ１ａを閉鎖し、前記真空
ポンプを作動して、外部容器１、内部容器２、原料容器
３の内部を再度真空減圧し、フッ化物ガラス原料２０を
室温まで冷却する。冷却終了後、前記真空ポンプを停止
し、外部容器１のパイプ１ａの前記バルブを操作して、
前記不活性ガスボンベから不活性ガスを送給し、外部容
器１、内部容器２、原料容器３の内部を不活性ガスで置
換する。After the replacement is completed, the pipe 1e of the external container 1 and the scrubber are in communication with each other, and the pipe 1 of the external container 1 is connected.
The heating device 4 is fed with the active gas from a to pass the active gas through the fluoride glass raw material 20 in the raw material container 3.
The fluoride glass raw material 20 is heat-treated. After completion of the heat treatment, the heating device 4 is stopped, and the fluoride glass raw material 20 is allowed to cool to a predetermined temperature as it is, and then the valve of the pipe 1a of the outer container 1 is operated to feed the active gas. On the other hand, the pipe 1a is closed and the vacuum pump is operated to evacuate the insides of the outer container 1, the inner container 2 and the raw material container 3 again to cool the fluoride glass raw material 20 to room temperature. After cooling, the vacuum pump is stopped, the valve of the pipe 1a of the outer container 1 is operated,
An inert gas is fed from the inert gas cylinder to replace the inside of the outer container 1, the inner container 2 and the raw material container 3 with the inert gas.
【００４３】置換終了後、外部容器１の蓋１ｄを取り外
し、内部容器２から蓋１ａを外し、不活性ガス雰囲気と
した前記グローブボックス内に原料容器３を取り出す。After the replacement is completed, the lid 1d of the outer container 1 is removed, the lid 1a is removed from the inner container 2, and the raw material container 3 is taken out into the glove box having an inert gas atmosphere.
【００４４】つまり、フッ化物ガラス原料２０の環境を
真空減圧した後に、フッ化物ガラス原料２０の環境を活
性ガスに置換することにより、フッ化物ガラス原料２０
の環境の活性ガスへの置換をムラなく行い、フッ化物ガ
ラス原料２０中に活性ガスを通過させながらフッ化物ガ
ラス原料２０を加熱処理することにより、フッ化物ガラ
ス原料２０中に新規な活性ガスを常に存在させた状態で
精製処理し、加熱処理後にフッ化物ガラス原料２０の環
境を不活性ガスに置換して、フッ化物ガラス原料２０を
不活性ガス環境下で後処理することにより、後処理中の
フッ化物ガラス原料２０への酸素や水分などの混入を防
止するのである。That is, after the environment of the fluoride glass raw material 20 is decompressed in vacuum, the environment of the fluoride glass raw material 20 is replaced with the active gas, whereby the fluoride glass raw material 20 is replaced.
By uniformly performing the replacement of the environment of the glass with an active gas and heat-treating the fluoride glass raw material 20 while passing the active gas through the fluoride glass raw material 20, a new active gas is added to the fluoride glass raw material 20. During the post-treatment by performing the refining treatment in the state of being always present, replacing the environment of the fluoride glass raw material 20 with an inert gas after the heat treatment, and performing the post-treatment on the fluoride glass raw material 20 in the inert gas environment. This prevents the mixture of oxygen and water into the fluoride glass raw material 20.
【００４５】従って、フッ化物ガラス原料２０中に存在
する酸素不純物や水分などを残留させることなく除去す
ることができる一方、処理後のフッ化物ガラス原料２０
中への酸素や水分などの混入を防止することができ、高
純度に精製されたフッ化物ガラス原料２０を得ることが
できる。Therefore, the oxygen impurities and water present in the fluoride glass raw material 20 can be removed without leaving them, while the fluoride glass raw material 20 after the treatment is removed.
It is possible to prevent oxygen and water from entering the inside, and it is possible to obtain a highly purified fluoride glass raw material 20.
【００４６】また、前記原料容器３の通気板３ａの通気
孔の大きさが５０μｍ以上１ｍｍ以下であると、フッ化
物ガラス原料２０中への活性ガスの通過を効率よく行う
ことができ、約２５０μｍ程度であると、最適な条件と
なりやすい。なぜなら、上記通気孔の大きさが５０μｍ
よりも小さいと、活性ガスがフッ化物ガラス原料２０中
へまんべんなく通過しにくくなり、当該通気孔の大きさ
が１ｍｍよりも大きいと、フッ化物ガラス原料２０が当
該通気孔から抜け落ちてしまう場合があり、当該通気孔
の大きさが約２５０μｍ程度であると、上述の不具合が
最もバランスよく解決されるからである。If the size of the ventilation holes of the ventilation plate 3a of the raw material container 3 is 50 μm or more and 1 mm or less, it is possible to efficiently pass the active gas into the fluoride glass raw material 20 and about 250 μm. When the degree is small, the optimum condition is likely to be obtained. Because the size of the vent hole is 50 μm
If it is smaller than this, it becomes difficult for the active gas to evenly pass into the fluoride glass raw material 20, and if the size of the ventilation hole is larger than 1 mm, the fluoride glass raw material 20 may fall out of the ventilation hole. If the size of the vent hole is about 250 μm, the above-mentioned problems can be solved in the most balanced manner.
【００４７】また、前記活性ガスが、容易に活性化され
るフッ素原子を有するガスである含フッ素ガス、例え
ば、ＨＦ，Ｆ2 ，ＣＦ4 ，Ｃ2 Ｆ6 ，ＮＦ3 ，ＳＦ6 ，
ＸｅＦ 2 のうちの少なくとも一種類からなるものである
と、フッ化物ガラス原料２０中の酸素不純物や水分など
を効率よく除去することができる。なぜなら、例えば、
ＢａＦ2 中に混在するＢａＯやＨ2 Ｏなどは、例えば、
Ｆ2 ガスとＨＦガスとの混合ガスにより下記に示すよう
にして容易にフッ素化されて、系内から除去されるから
である。Further, the active gas is easily activated.
Fluorine-containing gas, which is a gas containing fluorine atoms, such as
For example, HF, F2, CFFour, C2F6, NF3, SF6,
XeF 2Of at least one of
And oxygen impurities and water in the fluoride glass raw material 20
Can be efficiently removed. Because, for example,
BaF2BaO and H mixed in2O and the like are, for example,
F2As shown below depending on the mixed gas of gas and HF gas
Is easily fluorinated and removed from the system.
Is.
【化２】 Embedded image
【００４８】また、前記外部容器１、内部容器２、原料
容器３などが活性ガスに対して高耐久性を有する材料か
らなるものであると、これら部材１，２，３は活性ガス
に対して侵されにくくなるので、保守・点検が容易とな
り、作業効率を向上させることができる。When the outer container 1, the inner container 2, the raw material container 3 and the like are made of a material having a high durability against an active gas, these members 1, 2 and 3 are opposed to the active gas. Since it is less likely to be invaded, maintenance / inspection becomes easier and work efficiency can be improved.
【００４９】つまり、活性ガスが前述したような含フッ
素ガスである場合、上記材料にフッ素樹脂、アルミニウ
ム、アルミナ、グラッシーカーボン（ｇｌａｓｓｙ ｃ
ａｒｂｏｎ）、モネルメタル、ニッケル、ステンレス、
金、白金、イリジウムのうちの少なくとも一種類、また
はこれらの組み合わせで得られる複合体を使用すると、
保守・点検が容易となって作業効率を向上させることが
できるのはもちろんのこと、フッ化物ガラス原料２０中
に含有される遷移金属等による汚染を受けることもない
ので、長期間にわたって安定して使用することができる
のである。That is, when the active gas is a fluorine-containing gas as described above, the above-mentioned materials are made of fluororesin, aluminum, alumina, glassy carbon (glassy c).
arbon), monel metal, nickel, stainless steel,
When a composite obtained by using at least one of gold, platinum, iridium, or a combination thereof is used,
Not only can maintenance and inspection be facilitated and work efficiency can be improved, but since it is not contaminated by the transition metals contained in the fluoride glass raw material 20, it is stable over a long period of time. It can be used.
【００５０】また、加熱装置４を外部容器１の外部に設
けることにより、加熱装置４の活性ガスへの接触を避け
ることができるので、外部容器１、内部容器２、原料容
器３などに用いられる前述したような材料を加熱装置４
に適用する必要がなく、一般的に利用されている加熱装
置を用いることができる。By providing the heating device 4 outside the outer container 1, it is possible to avoid contact of the heating device 4 with the active gas, so that the heating device 4 is used for the outer container 1, the inner container 2, the raw material container 3 and the like. The above-mentioned materials are used for the heating device 4
It is not necessary to apply to the above, and a commonly used heating device can be used.
【００５１】また、加熱処理後に使用される不活性ガス
の露点が−６０℃以下であると、フッ化物ガラス原料２
０への水分の混入をより確実に防止することができる。
なぜなら、−６０℃よりも高い露点の不活性ガスである
と、フッ化物ガラス原料２０との接触による温度変化に
伴ってフッ化物ガラス原料２０の表面に生じる水分の量
が許容範囲を超える恐れがあるからである。When the dew point of the inert gas used after the heat treatment is -60 ° C or lower, the fluoride glass raw material 2
It is possible to more reliably prevent the entry of water into 0.
Because, when the inert gas has a dew point higher than −60 ° C., the amount of water generated on the surface of the fluoride glass raw material 20 due to the temperature change due to contact with the fluoride glass raw material 20 may exceed the allowable range. Because there is.
【００５２】本発明によるフッ化物ガラス原料の精製装
置の他の実施例を図２を用いて説明する。なお、図２
は、その概略構造図である。但し、前述した実施例と同
様な部材については、前述した実施例と同様な符号を用
いることにより、その説明を省略する。Another embodiment of the apparatus for purifying a fluoride glass raw material according to the present invention will be described with reference to FIG. Note that FIG.
FIG. 3 is a schematic structural diagram thereof. However, for the same members as those in the above-described embodiment, the same reference numerals as those in the above-described embodiment are used, and the description thereof will be omitted.
【００５３】図２に示すように、脚部７ｂを有すると共
に、供給口７ａから内部に不活性ガスが供給される不活
性ガス容器であるグローブボックス７の下方には、モー
タ８ａにより支持プレート８ｂを昇降させる駆動手段で
ある昇降装置８が配置されている。昇降装置８の支持プ
レート８ｂ上には、支持柱９が立設され、この支持柱９
は、上記グローブボックス７の底面を摺動可能に貫通し
ている。支持柱９の上端には、テーブル１０が設けられ
ている。つまり、昇降装置８のモータ８ａを作動して支
持プレート８ｂを昇降させることにより、支持柱９が昇
降して、テーブル１０がグローブボックス７内を昇降す
るのである。As shown in FIG. 2, a supporting plate 8b is provided by a motor 8a below a glove box 7 which has a leg portion 7b and is supplied with an inert gas from the supply port 7a. An elevating device 8 which is a driving means for elevating and lowering is disposed. A support column 9 is erected on the support plate 8b of the lifting device 8, and the support column 9 is
Penetrates the bottom surface of the glove box 7 slidably. A table 10 is provided on the upper end of the support column 9. That is, by operating the motor 8a of the elevating device 8 to elevate the support plate 8b, the support column 9 elevates and the table 10 elevates in the glove box 7.
【００５４】また、図２に示すように、グローブボック
ス７の上部には、第二連通部であるパイプ１ｅを上部に
形成した外部容器１が設けられている。グローブボック
ス７の内側と外部容器１の内部とは連通され、グローブ
ボックス７と外部容器１との間は、Ｏリング６によりシ
ールされている。前記テーブル１０の上面の周縁には、
Ｏリング６が設けられており、当該テーブル１０は、そ
の上面がグローブボックス７と当接することにより、グ
ローブボックス７と外部容器１との間をシールできるよ
うになっている。内部容器２の底面には、第一連通部で
あるパイプ２ｂが形成され、このパイプ２ｂは、その下
端側が前記テーブル１０を貫通すると共に当該テーブル
１０に固定されている。このパイプ２ｂの下端には、ホ
ース１１の先端が連結され、このホース１１の他端は、
グローブボックス７の外部に配置された図示しない活性
ガスボンベ及び不活性ガスボンベに切換バルブを介して
連結されている。Further, as shown in FIG. 2, an outer container 1 having a pipe 1e as a second communicating portion formed on the upper portion thereof is provided on the upper portion of the glove box 7. The inside of the glove box 7 and the inside of the outer container 1 communicate with each other, and the O-ring 6 seals between the glove box 7 and the outer container 1. At the periphery of the upper surface of the table 10,
An O-ring 6 is provided, and the table 10 can seal between the glove box 7 and the outer container 1 by contacting the upper surface of the table 10 with the glove box 7. A pipe 2b, which is a first communicating portion, is formed on the bottom surface of the inner container 2, and the lower end side of the pipe 2b penetrates the table 10 and is fixed to the table 10. The tip of the hose 11 is connected to the lower end of the pipe 2b, and the other end of the hose 11 is
An active gas cylinder and an inert gas cylinder (not shown) arranged outside the glove box 7 are connected via a switching valve.
【００５５】つまり、昇降装置８を作動させてテーブル
１０を上昇させると、テーブル１０が外部容器とグロー
ブボックス７との間をシールする一方、内部容器２が上
昇し、この内部容器２の上昇に伴って、原料容器３内の
フッ化物ガラス原料２０が外部容器１の内部に密閉され
るのである。また、昇降装置８を作動させてテーブル１
０を下降させると、内部容器２が下降し、この内部容器
２の下降に伴って、原料容器３のフッ化物ガラス原料２
０がグローブボックス７の内部に移動するのである。That is, when the elevating device 8 is operated to raise the table 10, the table 10 seals between the outer container and the glove box 7, while the inner container 2 rises and the inner container 2 is raised. Accordingly, the fluoride glass raw material 20 in the raw material container 3 is sealed inside the outer container 1. Further, the lifting device 8 is operated to operate the table 1
When 0 is lowered, the inner container 2 is lowered, and as the inner container 2 is lowered, the fluoride glass raw material 2 in the raw material container 3 is
0 moves inside the glove box 7.
【００５６】このような精製装置では、原料容器３の内
部にフッ化物ガラス２０を入れた後、昇降装置８を作動
して、テーブル１０を上昇させ、外部容器１とグローブ
ボックス７との間をシールすると共に、フッ化物ガラス
原料２０を外部容器１内に位置させ、前述した実施例と
同様にしてフッ化物ガラス原料２０の環境を真空減圧す
る。続いて、ホース１１から活性ガスを送給して、フッ
化物ガラス原料２０の環境を活性ガスに置換し、前述し
た実施例と同様にして、活性ガスを送給しながらフッ化
物ガラス原料２０を加熱処理した後、所定の温度まで放
冷する。次に、グローブボックス７内を不活性ガスで置
換し、昇降装置８を作動して、フッ化物ガラス原料２０
をグローブボックス７内に移動し、フッ化物ガラス原料
２０の環境を不活性ガスに置換し、フッ化物ガラス原料
２０をグローブボックス７内で後処理する。In such a refining apparatus, after the fluoride glass 20 is put inside the raw material container 3, the elevating device 8 is operated to raise the table 10 so that the space between the outer container 1 and the glove box 7 is increased. At the same time as sealing, the fluoride glass raw material 20 is positioned in the outer container 1, and the environment of the fluoride glass raw material 20 is vacuum-decompressed in the same manner as in the above-described embodiment. Then, the active gas is fed from the hose 11 to replace the environment of the fluoride glass raw material 20 with the active gas, and the fluoride glass raw material 20 is fed while feeding the active gas in the same manner as in the above-mentioned embodiment. After the heat treatment, it is left to cool to a predetermined temperature. Next, the inside of the glove box 7 is replaced with an inert gas, the elevating device 8 is operated, and the fluoride glass raw material 20
Is moved into the glove box 7, the environment of the fluoride glass raw material 20 is replaced with an inert gas, and the fluoride glass raw material 20 is post-treated in the glove box 7.
【００５７】従って、前述した実施例と同様な効果を得
ることができる。Therefore, the same effect as that of the above-described embodiment can be obtained.
【００５８】このような本発明によるフッ化物ガラス原
料の精製方法及びその精製装置の効果を確認するため、
次のような実験を行った。In order to confirm the effects of the refining method of the fluoride glass raw material and the refining apparatus therefor according to the present invention,
The following experiment was conducted.
【００５９】試験例１ 本例では、精製フッ化物ガラス原料としてＢａＦ2 ＨＦ
を用いるため、まず、上記原料の製造を下記のようにし
て行った。Ｂａ（ＮＯ3 ）2 から遷移金属不純物を共沈
法により除去し、ＮＨ4 Ｆ溶液を加えてＢａＦ2 を沈澱
生成させ、ＨＦ溶液を加えてＢａＦ2 ＨＦを製造し、自
然乾燥後、室温で真空乾燥を１２０時間行って、ＢａＦ
2 ＨＦ原料を得た。Test Example 1 In this example, BaF 2 HF was used as a purified fluoride glass raw material.
First, the above raw materials were produced as follows. Transition metal impurities were removed from Ba (NO 3 ) 2 by coprecipitation method, NH 4 F solution was added to precipitate BaF 2 , and HF solution was added to produce BaF 2 HF. After vacuum drying for 120 hours, BaF
2 HF raw material was obtained.
【００６０】次に、図１に示した装置を用いて、前述し
たようにしてＢａＦ2 ＨＦ原料を精製処理した。この時
の主要な条件は、下記の通りである。 ・外部容器１の材料：アルミニウム ・蓋１ｄの材料：アルミニウム ・内部容器２の材料：フッ素樹脂 ・原料容器３の材料：フッ素樹脂 ・通気板３ａの材料：フッ素樹脂 ・通気板３ａの通気孔の大きさ：２５０μｍ ・活性ガスの種類：ＨＦとＦ2 との混合ガス（混合比
７：３） ・活性ガスの送給量：毎分３００ｃｍ3 ・加熱処理温度：２００℃ ・加熱処理時間：２時間 ・不活性ガス置換時温度：１００℃以下 ・不活性ガスの種類：Ａｒガス ・不活性ガスの露点：−９０℃以下Next, using the apparatus shown in FIG. 1, the BaF 2 HF raw material was purified as described above. The main conditions at this time are as follows. -Material of the outer container 1: Aluminum-Material of the lid 1d: Aluminum-Material of the inner container 2: Fluorine resin-Material of the raw material container 3: Fluorine resin-Material of the ventilation plate 3a: Fluorine resin-Ventilation hole of the ventilation plate 3a Size: 250 μm ・ Type of active gas: Mixed gas of HF and F 2 (mixing ratio
7: 3) ・ Feed amount of active gas: 300 cm 3 / min ・ Heat treatment temperature: 200 ℃ ・ Heat treatment time: 2 hours ・ Temperature at the time of inert gas replacement: 100 ℃ or less ・ Type of inert gas: Ar gas・ Inert gas dew point: -90 ° C or lower
【００６１】上記のような条件で精製処理した精製Ｂａ
Ｆ2 ＨＦ原料を用いて、内径５ｍｍのモールドでサクシ
ョンキャスティング法により下記のようなフッ化物ガラ
ス光ファイバ母材を製作した。 ・コアの組成成分及びその組成比（ｍｏ１％）：５６Ｚ
ｒＦ4 −１４ＢａＦ2 −１５ＰｂＦ2 −３．５ＬａＦ3
−２ＹＦ3 −２．５ＡｌＦ3 −７ＬｉＦ ・クラッドの組成成分及びその組成比（ｍｏ１％）：４
６．５ＺｒＦ4 −２３．５ＢａＦ2 −３．５ＬａＦ3 −
２ＹＦ3 −４．５ＡｌＦ3 −２０ＮａＦ ・外径：５．０ｍｍ ・長さ：１５０ｍｍ ・比屈折率差：Δｎ＝４．２％ このようなフッ化物ガラス光ファイバ母材を線引きし
て、下記のようなフッ化物ガラス光ファイバを製作し
た。 ・コア径：１０μｍ ・長さ：１００ｍPurified Ba that has been purified under the above conditions
Using the F 2 HF raw material, the following fluoride glass optical fiber preform was manufactured by a suction casting method with a mold having an inner diameter of 5 mm.・ Core composition component and its composition ratio (mo1%): 56Z
rF 4 -14BaF 2 -15PbF 2 -3.5LaF 3
-2YF 3 -2.5AlF 3 composition components -7LiF · cladding and the composition ratio (mo1%): 4
6.5 ZrF 4 -23.5BaF 2 -3.5LaF 3-
2YF 3 -4.5AlF 3 -20NaF ・ Outer diameter: 5.0 mm ・ Length: 150 mm ・ Specific refractive index difference: Δn = 4.2% By drawing out such a fluoride glass optical fiber preform, Such a fluoride glass optical fiber was manufactured.・ Core diameter: 10 μm ・ Length: 100 m
【００６２】上述のようにして得られたフッ化物ガラス
光ファイバにおける各波長毎の伝送損失を測定した。そ
の結果を図３に示す。図３に示すように、この光ファイ
バは、マルチモード光ファイバであり、光通信で重要な
波長である１．３μｍの伝送損失値が０．０５ｄＢ／ｍ
と小さいものであった。The transmission loss for each wavelength in the fluoride glass optical fiber obtained as described above was measured. The result is shown in FIG. As shown in FIG. 3, this optical fiber is a multimode optical fiber, and has a transmission loss value of 0.05 dB / m at 1.3 μm, which is an important wavelength in optical communication.
Was a small one.
【００６３】また、図２に示した精製装置を用いて、下
記に示すような条件で前述したようにしてＢａＦ2 ＨＦ
原料を精製した。但し、下記以外の条件は、上述した場
合と同様である。 ・外部容器１の材料：モネルメタル ・内部容器２の材料：アルミニウム ・原料容器２の材料：アルミニウム ・通気板３ａの材料：フッ素樹脂 ・不活性ガスの種類：Ｎ2 ガス ・不活性ガスの露点：−７０℃以下 このような条件で精製処理した精製ＢａＦ2 ＨＦ原料を
用いて、上述した場合と同様にしてフッ化物ガラス光フ
ァイバ母材を製作し、得られたフッ化物ガラス光ファイ
バ母材から上述した場合と同様にしてフッ化物ガラス光
ファイバを製作し、このマルチモードのフッ化物ガラス
光ファイバの伝送損失を測定した結果、上述したマルチ
モードのフッ化物ガラス光ファイバの場合と同様な結果
が得られた。Further, using the refining apparatus shown in FIG. 2, the BaF 2 HF was prepared as described above under the following conditions.
The raw material was purified. However, the conditions other than the following are the same as those described above. External container 1 material: Monel metal, the inner container 2 of the material: Aluminum raw material container 2 materials: materials for aluminum airway plate 3a: fluororesin-inert gas type: the N 2 gas an inert gas dew point: −70 ° C. or less Using the refined BaF 2 HF raw material refined under such conditions, a fluoride glass optical fiber preform is manufactured in the same manner as described above, and the obtained fluoride glass optical fiber preform is used. A fluoride glass optical fiber was manufactured in the same manner as the above-mentioned case, and as a result of measuring the transmission loss of this multimode fluoride glass optical fiber, the same result as in the case of the above-mentioned multimode fluoride glass optical fiber was obtained. Was obtained.
【００６４】また、図１及び図２に示した精製装置にお
ける内部容器２及び原料容器３の材料を前述したような
各種の材料にそれぞれ置き換えて、上述した場合と同様
にして精製及び光ファイバの製作をそれぞれ行い、伝送
損失を測定した結果、上述した光ファイバの場合と同様
な結果がそれぞれ得られた。Further, the materials of the inner container 2 and the raw material container 3 in the refining apparatus shown in FIGS. 1 and 2 are replaced with various materials as described above, and the refining and optical fiber of As a result of making each of them and measuring the transmission loss, the same results as in the case of the above-mentioned optical fiber were obtained.
【００６５】比較例１ 試験例１で得られたＢａＦ2 ＨＦ原料を精製せずにその
まま用いて試験例１と同様にしてフッ化物ガラス光ファ
イバ母材を製作して、試験例１と同様にしてフッ化物ガ
ラス光ファイバを製作し、各波長毎の伝送損失を測定し
た。その結果、１．３μｍの伝送損失値は、０．２ｄＢ
／ｍとなり、試験例１の場合よりも４倍も大きな値を示
した。Comparative Example 1 A fluoride glass optical fiber preform was manufactured in the same manner as in Test Example 1 using the BaF 2 HF raw material obtained in Test Example 1 as it was without purification, and then in the same manner as in Test Example 1. Then, a fluoride glass optical fiber was manufactured, and the transmission loss at each wavelength was measured. As a result, the transmission loss value of 1.3 μm is 0.2 dB.
/ M, which is four times as large as that in Test Example 1.
【００６６】試験例２ 本例では、精製フッ化物ガラス原料としてＩｎＦ3 を用
いるため、まず、上記原料の製造を下記のようにして行
った。金属ＩｎをＨＣｌ溶液中で溶解し、ＮＨ4 ＯＨ溶
液を加えて中和し、ＨＦ溶液を加えてＩｎＦ3 を沈澱精
製させて製造し、自然乾燥後、室温で真空乾燥を１２０
時間行って、ＩｎＦ3 原料を得た。Test Example 2 In this example, since InF 3 is used as a purified fluoride glass raw material, first, the above raw material was manufactured as follows. Metal In was dissolved in HCl solution, neutralized by adding NH 4 OH solution, and HF solution was added to precipitate and purify InF 3, which was air-dried and then vacuum-dried at room temperature for 120 hours.
After a while, InF 3 raw material was obtained.
【００６７】次に、図１に示した装置を用いて、前述し
たようにしてＩｎＦ3 原料を精製処理した。この時の主
要な条件は、下記の通りである。 ・外部容器１の材料：アルミニウム ・蓋１ｄの材料：アルミニウム ・内部容器２の材料：アルミニウム ・原料容器３の材料：アルミニウム ・通気板３ａの材料：アルミニウム ・通気板３ａの通気孔の大きさ：２５０μｍ ・活性ガスの種類：ＡｒとＦ2 との混合ガス（混合比
８：２） ・活性ガスの送給量：毎分２００ｃｍ2 ・加熱温度：４００℃ ・加熱処理時間：２時間 ・不活性ガス置換時温度：１００℃以下 ・不活性ガスの種類：Ａｒガス ・不活性ガスの露点：−９０℃以下Next, using the apparatus shown in FIG. 1, the InF 3 raw material was purified as described above. The main conditions at this time are as follows. -Material of outer container 1: Aluminum-Material of lid 1d: Aluminum-Material of inner container 2: Aluminum-Material of raw material container 3: Aluminum-Material of ventilation plate 3a: Aluminum-Size of ventilation hole of ventilation plate 3a: 250 μm ・ Type of active gas: mixed gas of Ar and F 2 (mixing ratio
8: 2) ・ Feed amount of active gas: 200 cm 2 / min ・ Heating temperature: 400 ° C ・ Heat treatment time: 2 hours ・ Temperature during inert gas replacement: 100 ° C or less ・ Type of inert gas: Ar gas ・Dew point of inert gas: -90 ° C or lower
【００６８】上記のような条件で精製処理した精製Ｉｎ
Ｆ3 原料を用いて、内径５ｍｍのモールドでサクション
キャスティング法により下記のようなフッ化物ガラス光
ファイバ母材を製作した。 ・コアの組成成分及びその組成比（ｍｏ１％）：３０Ｉ
ｎＦ3 −２０ＺｎＦ2 −２０ＢａＦ2 −１０ＳｒＦ2 −
５ＰｂＦ2 −５ＧａＦ3 −１０ＮａＦ ・クラッドの組成成分及びその組成比（ｍｏ１％）：３
５ＩｎＦ3 −２０ＺｎＦ2 −２０ＢａＦ2 −１０ＳｒＦ
2 −５ＡｌＦ3 −１０ＮａＦ ・外径：５．０ｍｍ ・長さ：１５０ｍｍ ・比屈折率差：Δｎ＝３．０％ このようなフッ化物ガラス光ファイバ母材を線引きし
て、下記のようなフッ化物ガラス光ファイバを製作し
た。 ・コア径：１５μｍ ・長さ：１０ｍPurified In purified by the above-mentioned conditions
Using the F 3 raw material, the following fluoride glass optical fiber preform was manufactured by a suction casting method with a mold having an inner diameter of 5 mm.・ Core composition component and its composition ratio (mo1%): 30I
nF 3 -20ZnF 2 -20BaF 2 -10SrF 2 -
5PbF 2 -5GaF 3 composition components -10NaF · cladding and the composition ratio (mo1%): 3
5InF 3 -20ZnF 2 -20BaF 2 -10SrF
2 -5AlF 3 -10NaF · outer diameter: 5.0 mm · Length: 150 mm · relative refractive index difference: [Delta] n = 3.0% by drawing such a fluoride glass optical fiber preform, fluoride as follows I made a compound glass optical fiber.・ Core diameter: 15μm ・ Length: 10m
【００６９】上述のようにして得られたマルチモードの
フッ化物ガラス光ファイバにおける各波長毎の伝送損失
を測定した。その結果、１．３μｍの伝送損失値は、
０．１５ｄＢ／ｍとなった。The transmission loss for each wavelength in the multimode fluoride glass optical fiber obtained as described above was measured. As a result, the transmission loss value of 1.3 μm is
It became 0.15 dB / m.
【００７０】試験例３ 本例では、試験例２で製作したフッ化物ガラス光ファイ
バの組成成分のうち、ＩｎＦ3 に加えて、ＺｎＦ2 ，Ｓ
ｒＦ2 ，ＰｂＦ2 ，ＧａＦ3 ，ＡｌＦ3 ，ＮａＦなどの
他のフッ化物ガラス原料も試験例２と同様にしてそれぞ
れ精製処理し、これら原料を用いて試験例２の場合と同
様にしてフッ化物ガラス光ファイバを製作した。このよ
うにして得られたマルチモードのフッ化物ガラス光ファ
イバの各波長毎の伝送損失を測定した結果、１．３μｍ
の伝送損失値は、０．０５ｄＢ／ｍとなり、試験例２の
場合よりも大幅に小さな値とすることができた。Test Example 3 In this example, among the composition components of the fluoride glass optical fiber manufactured in Test Example 2, ZnF 2 , S was added in addition to InF 3.
Other fluoride glass raw materials such as rF 2 , PbF 2 , GaF 3 , AlF 3 and NaF were also purified in the same manner as in Test Example 2, and these raw materials were used to perform fluoride treatment in the same manner as in Test Example 2. A glass optical fiber was manufactured. As a result of measuring the transmission loss for each wavelength of the thus obtained multimode fluoride glass optical fiber, 1.3 μm
The transmission loss value was 0.05 dB / m, which was significantly smaller than that in the case of Test Example 2.
【００７１】また、上述した精製処理条件における活性
ガスを前述したような各種のものに代えて、上述した場
合と同様にして精製及び光ファイバの製作を行い、伝送
損失を測定した結果、上述した光ファイバの場合と同様
な結果が得られた。Further, the active gas under the above-mentioned refining treatment conditions was replaced with various kinds of gas as described above, the refining and the optical fiber were manufactured in the same manner as in the above-mentioned case, and the transmission loss was measured. Similar results were obtained with the optical fiber.
【００７２】試験例４ 本例では、ドープするフッ化物ガラス原料として用いる
ＰｒＦ3 を精製するため、ＰｒＦ3 を試験例１の場合と
同様にして精製処理した。次いで、この精製ＰｒＦ3 原
料をドープした下記のようなフッ化物ガラス光ファイバ
母材をサクションキャスティング法により製作した。 ・ＰｒＦ3 のドープ量：５００ｐｐｍ ・コアの組成成分及びその組成比（ｍｏ１％）：５６Ｚ
ｒＦ4 −１４ＢａＦ2 −１５ＰｂＦ2 −３．５ＬａＦ3
−２ＹＦ3 −２．５ＡｌＦ3 −７ＬｉＦ ・クラッドの組成成分及びその組成比（ｍｏ１％）：４
６．５ＺｒＦ4 −２３．５ＢａＦ2 −３．５ＬａＦ3 −
２ＹＦ3 −４．５ＡｌＦ3 −２０ＮａＦ ・外径：５．０ｍｍ ・長さ：１５０ｍｍ ・比屈折率差：Δｎ＝４．２％[0072] In Test Example 4 This example, for the purification of PrF 3 is used as the fluoride glass material to be doped, and purification in the same manner as the PrF 3 of Test Example 1. Next, the following fluoride glass optical fiber preform doped with this purified PrF 3 raw material was manufactured by the suction casting method.・ PrF 3 dope amount: 500 ppm ・ Composition component of core and its composition ratio (mo1%): 56Z
rF 4 -14BaF 2 -15PbF 2 -3.5LaF 3
-2YF 3 -2.5AlF 3 composition components -7LiF · cladding and the composition ratio (mo1%): 4
6.5 ZrF 4 -23.5BaF 2 -3.5LaF 3-
2YF 3 -4.5AlF 3 -20NaF ・ Outer diameter: 5.0 mm ・ Length: 150 mm ・ Relative refractive index difference: Δn = 4.2%
【００７３】一方、上記母材のうちクラッドと同一組成
のフッ化物ガラスジャケット管（外径：１５ｍｍ，内
径：５．０ｍｍ，長さ：１５０ｍｍ）をローテショナル
キャスティング法により製作する。上記ジャケット管及
び前記母材の外周面を研磨、エッチングした後、真空脱
気により表面水分を除去し、露点−１００℃の不活性ガ
ス雰囲気下のグローブボックス内で当該ジャケット管に
当該母材を挿入して、延伸用母材を製作する。On the other hand, a fluoride glass jacket tube (outer diameter: 15 mm, inner diameter: 5.0 mm, length: 150 mm) having the same composition as the clad of the above-mentioned base material is manufactured by the rotational casting method. After polishing and etching the outer peripheral surfaces of the jacket tube and the base material, surface moisture is removed by vacuum deaeration, and the base material is applied to the jacket tube in a glove box under an inert gas atmosphere with a dew point of −100 ° C. Insert and produce a base material for stretching.
【００７４】このようにして製作した延伸用母材を加熱
炉の上部にセットし、内部を７５０Ｔｏｒｒに保持し、
毎分２ｍｍの速度でジャケット管を上方から加熱炉へ送
り込み、軟化させて下方に引っ張り、外径５ｍｍに延伸
する。次いで、この延伸工程で得た母材からコア径が
０．２ｍｍの部分を切り出し、切り出した母材を別のジ
ャケット管に挿入して線引き用母材を製作し、内圧を７
５０Ｔｏｒｒに保持し、毎分２ｍｍの速度でジャケット
管を上方から加熱炉へ送り込み、軟化させて下方に引っ
張り、下記のようなＰｒＦ3 ドープのフッ化物ガラス光
ファイバを製作した。 ・外径：１２５μｍ ・コア径：１．７μｍ ・長さ：５００ｍThe drawing base material thus produced was set on the upper part of the heating furnace, and the inside was kept at 750 Torr.
The jacket tube is fed into the heating furnace from above at a speed of 2 mm per minute, softened, pulled downward, and stretched to an outer diameter of 5 mm. Next, a portion having a core diameter of 0.2 mm was cut out from the base material obtained in this drawing step, and the cut base material was inserted into another jacket tube to produce a base material for drawing, and the internal pressure was adjusted to 7
While holding at 50 Torr, the jacket tube was fed into the heating furnace from above at a speed of 2 mm / min, softened and pulled downward, and the following PrF 3 -doped fluoride glass optical fiber was manufactured.・ Outer diameter: 125 μm ・ Core diameter: 1.7 μm ・ Length: 500 m
【００７５】上述のようにして得られたＰｒＦ3 ドープ
のフッ化物ガラス光ファイバの各波長毎の伝送損失を測
定した。その結果を図４に示す。図４に示すように、こ
の光ファイバは、０．９５μｍにカットオフ波長を有す
る単一モードの光ファイバであり、１．３μｍの伝送損
失値が０．２ｄＢ／ｍと小さいものであった。なお、図
４中の大きなピークは、Ｐｒ3+に起因する吸収である。
また、上述の光ファイバを用いて、光励起により１．０
１７μｍ波長を１．３１μｍ波長へ増幅させる増幅器を
製作し、増幅効果を測定した結果、０．２ｄＢ／ｍＷの
利得係数を得ることができた。The transmission loss of each wavelength of the PrF 3 -doped fluoride glass optical fiber obtained as described above was measured. FIG. 4 shows the results. As shown in FIG. 4, this optical fiber was a single-mode optical fiber having a cutoff wavelength at 0.95 μm, and the transmission loss value at 1.3 μm was as small as 0.2 dB / m. The large peak in FIG. 4 is absorption due to Pr 3+ .
Further, by using the above optical fiber, 1.0
An amplifier for amplifying the 17 μm wavelength to 1.31 μm wavelength was manufactured and the amplification effect was measured. As a result, a gain coefficient of 0.2 dB / mW could be obtained.
【００７６】また、本例で用いたＰｒＦ3 に代えて、Ｅ
ｒＦ3 ，ＴｍＦ3 ，ＨｏＦ3 ，ＹｂＦ3 ，ＮｄＦ3 など
の他のフッ化希土類を、ドープするフッ化物ガラス原料
として用い、これらフッ化希土類をＰｒＦ3 の場合と同
様にして精製処理し、ＰｒＦ 3 の場合と同様にしてフッ
化希土類ドープの単一モードのフッ化物ガラス光ファイ
バをそれぞれ製作し、各波長毎の伝送損失をそれぞれ測
定した結果、ＰｒＦ3の場合と同様な結果をそれぞれ得
ることができた。Further, the PrF used in this example3Instead of E
rF3, TmF3, HoF3, YbF3, NdF3Such
Fluoride glass raw material for doping other rare earth fluorides
And use these rare earth fluorides as PrF3Same as
Purify in the same manner 3In the same manner as in
Rare earth-doped single-mode fluoride glass optical phi
Manufactured separately, and measured the transmission loss for each wavelength.
As a result, PrF3With similar results to
I was able to
【００７７】比較例２ 未精製のＰｒＦ3 を用いて、試験例４の場合と同様にし
てＰｒＦ3 ドープのフッ化物ガラス光ファイバを製作
し、各波長毎の伝送損失をそれぞれ測定した結果、１．
３μｍの伝送損失値は、１ｄＢ／ｍとなり、試験例４の
場合よりも５倍も大きい値を示した。Comparative Example 2 A PrF 3 -doped fluoride glass optical fiber was manufactured in the same manner as in Test Example 4 using unpurified PrF 3, and the transmission loss at each wavelength was measured. ．
The transmission loss value of 3 μm was 1 dB / m, which was 5 times larger than that in Test Example 4.
【００７８】試験例５ 本例では、試験例１で製作したフッ化物ガラス光ファイ
バの組成のうち、ＢａＦ2 ＨＦに加えて、ＨＦ3 ，Ｌａ
Ｆ3 のフッ化物ガラス原料も試験例１と同様にしてそれ
ぞれ精製処理し、これら原料を用いて試験例１の場合と
同様にしてフッ化物ガラス光ファイバを製作した。この
ようにして得られたマルチモードのフッ化物ガラス光フ
ァイバの各波長毎の伝送損失を測定した結果、１．３μ
ｍの伝送損失値は、０．０１ｄｂ／ｍとなり、試験例１
の場合よりもさらに低損失となった。Test Example 5 In this example, among the compositions of the fluoride glass optical fiber manufactured in Test Example 1, in addition to BaF 2 HF, HF 3 , La were added.
The fluoride glass raw material of F 3 was also purified in the same manner as in Test Example 1, and a fluoride glass optical fiber was manufactured in the same manner as in Test Example 1 using these raw materials. As a result of measuring the transmission loss of each wavelength of the thus obtained multimode fluoride glass optical fiber, 1.3 μm was obtained.
The transmission loss value of m is 0.01 db / m, and the test example 1
The loss was even lower than the case.
【００７９】以上のような各実験結果から、本発明によ
るフッ化物ガラス原料の精製方法及びその精製装置で
は、フッ化物ガラス原料を効率よく精製することがで
き、精製したフッ化物ガラス原料を用いることで伝送損
失の非常に少ないフッ化物ガラス光ファイバを得られる
ことが確認された。From the above experimental results, it is possible to efficiently purify a fluoride glass raw material in the method and apparatus for purifying a fluoride glass raw material according to the present invention, and use the purified fluoride glass raw material. It was confirmed that a fluoride glass optical fiber with extremely low transmission loss can be obtained.
【００８０】[0080]
【発明の効果】以上、実施例などで詳細に説明したよう
に、本発明によるフッ化物ガラス原料の精製方法及びそ
の精製装置では、フッ化物ガラス原料から酸素不純物や
水分を確実に除去することができる。このため、例え
ば、前述のようにして精製したフッ化物ガラス原料を用
いてフッ化物ガラス光ファイバを製作すれば、当該光フ
ァイバの伝送損失を非常に小さくすることができ、ま
た、このように精製処理したフッ化希土類からなるフッ
化物ガラス原料をドープしたフッ化物ガラス光ファイバ
を製作すれば、増幅器としての利得係数を増大させるこ
とができるので、光通信システムの高性能化及び低コス
ト化を容易に実現することができる。As described above in detail in the embodiments and the like, the method for purifying a fluoride glass raw material and the refining apparatus therefor according to the present invention can reliably remove oxygen impurities and water from the fluoride glass raw material. it can. Therefore, for example, if a fluoride glass optical fiber is manufactured by using the fluoride glass raw material purified as described above, the transmission loss of the optical fiber can be made extremely small. If a fluoride glass optical fiber doped with a fluoride glass raw material made of treated rare earth fluoride can be manufactured, the gain coefficient as an amplifier can be increased, so that it is easy to improve the performance and cost of the optical communication system. Can be realized.
【図１】本発明によるフッ化物ガラス原料の精製装置の
一実施例の概略構造図である。FIG. 1 is a schematic structural diagram of an embodiment of a device for purifying a fluoride glass raw material according to the present invention.
【図２】本発明によるフッ化物ガラス原料の精製装置の
他の実施例の概略構造図である。FIG. 2 is a schematic structural diagram of another embodiment of the apparatus for purifying a fluoride glass raw material according to the present invention.
【図３】本発明に基づく試験例１で得られたフッ化物ガ
ラス光ファイバの各波長毎の伝送損失値を表すグラフで
ある。FIG. 3 is a graph showing the transmission loss value for each wavelength of the fluoride glass optical fiber obtained in Test Example 1 according to the present invention.
【図４】本発明に基づく試験例４で得られたフッ化希土
類ドープのフッ化物ガラス光ファイバの各波長毎の伝送
損失値を表すグラフである。FIG. 4 is a graph showing transmission loss values for each wavelength of a rare earth fluoride-doped fluoride glass optical fiber obtained in Test Example 4 according to the present invention.
１ 外部容器 １ａ，１ｅ パイプ ２ 内部容器 ２ｂ パイプ ３ 原料容器 ３ａ 通気板 ４ 加熱装置 ７ グローブボックス ８ 昇降装置 １０ テーブル １１ ホース ２０ フッ化物ガラス原料 1 Outer Container 1a, 1e Pipe 2 Inner Container 2b Pipe 3 Raw Material Container 3a Ventilation Plate 4 Heating Device 7 Glove Box 8 Lifting Device 10 Table 11 Hose 20 Fluoride Glass Raw Material
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 照沼 幸雄 東京都千代田区内幸町一丁目１番６号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 藤浦 和夫 東京都千代田区内幸町一丁目１番６号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 須藤 昭一 東京都千代田区内幸町一丁目１番６号 日 本電信電話株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Yukio Terunuma 1-6, Uchisaiwai-cho, Chiyoda-ku, Tokyo Inside Nippon Telegraph and Telephone Corporation (72) Inventor Kazuo Fujiura 1-6, Uchisai-cho, Chiyoda-ku, Tokyo Nippon Telegraph and Telephone Corp. (72) Inventor Shoichi Sudo 1-1-6 Uchisaiwaicho, Chiyoda-ku, Tokyo Nihon Telegraph and Telephone Corp.
Claims (15)
た後、当該フッ化物ガラス原料の環境を活性ガスに置換
し、当該フッ化物ガラス原料を加熱処理することを特徴
とするフッ化物ガラス原料の精製方法。1. An environment of the fluoride glass raw material is vacuum-decompressed, the environment of the fluoride glass raw material is replaced with an active gas, and the fluoride glass raw material is heat-treated. Purification method.
スを通過させながら当該フッ化物ガラス原料を加熱処理
することを特徴とする請求項１に記載のフッ化物ガラス
原料の精製方法。2. The method for purifying a fluoride glass raw material according to claim 1, wherein the fluoride glass raw material is heat-treated while allowing the active gas to pass through the fluoride glass raw material.
2 Ｆ6 ，ＮＦ3 ，ＳＦ6 ，ＸｅＦ2 のうちの少なくとも
一種類からなることを特徴とする請求項１または２に記
載のフッ化物ガラス原料の精製方法。3. The active gas is HF, F 2 , CF 4 , C
The method for refining a fluoride glass raw material according to claim 1 or 2, comprising at least one kind of 2 F 6 , NF 3 , SF 6 , and XeF 2 .
環境を不活性ガスに置換することを特徴とする請求項１
から３のいずれかに記載のフッ化物ガラス原料の精製方
法。4. After the heat treatment, the environment of the fluoride glass raw material is replaced with an inert gas.
5. The method for purifying a fluoride glass raw material according to any one of 1 to 3.
環境下で前記フッ化物ガラス原料を後処理することを特
徴とする請求項４に記載のフッ化物ガラス原料の精製方
法。5. The method for purifying a fluoride glass raw material according to claim 4, wherein after the replacement with the inert gas, the fluoride glass raw material is post-treated in an inert gas environment.
あることを特徴とする請求項４または５に記載のフッ化
物ガラス原料の精製方法。6. The method for purifying a fluoride glass raw material according to claim 4, wherein the dew point of the inert gas is −60 ° C. or lower.
内部と外部とを連通させる第一連通部及び第二連通部を
有する本体と、 前記本体の内部の前記フッ化物ガラス原料を加熱処理す
る加熱手段と、 前記本体の前記第一連通部へ連結され、当該第一連通部
へ活性ガスを送る活性ガス送給手段と、 前記本体の前記第二連通部へ連結され、当該本体の内部
の雰囲気を排出する雰囲気排出手段と、 を備えてなることを特徴とするフッ化物ガラス原料の精
製装置。7. A fluoride glass raw material is placed inside,
A main body having a first communication part and a second communication part for communicating the inside and the outside, a heating means for heat-treating the fluoride glass raw material inside the main body, and to the first communication part of the main body An active gas supply unit connected to the second communication unit of the main body, and an atmosphere discharge unit connected to the second communication unit of the main body to discharge the atmosphere inside the main body. An apparatus for refining a fluoride glass raw material, characterized in that
の充てんが可能な不活性ガス容器と、 前記本体の内部の前記フッ化物ガラス原料を前記不活性
ガス容器の内部に移動できるように当該フッ化物ガラス
原料を支持する移動手段とを備えてなることを特徴とす
る請求項７に記載のフッ化物ガラス原料の精製装置。8. An inert gas container, which is connected to the main body and can be filled with an inert gas, and the fluoride glass raw material inside the main body can be moved to the inside of the inert gas container. The apparatus for refining a fluoride glass raw material according to claim 7, further comprising a moving unit that supports the fluoride glass raw material.
であり、 前記移動手段が前記フッ化物ガラス原料を支持するテー
ブルと、当該テーブルを移動させる駆動手段とを備えて
なることを特徴とする請求項８に記載のフッ化物ガラス
原料の精製装置。9. The inert gas container is a glove box, and the moving means is provided with a table for supporting the fluoride glass raw material and a driving means for moving the table. 8. The apparatus for purifying a fluoride glass raw material according to item 8.
ラス原料を収納すると共に、前記第一連通部及び前記第
二連通部を介して内部が前記外部容器の外部と連通する
原料容器とを備えてなることを特徴とする請求項７から
９のいずれかに記載のフッ化物ガラス原料の精製装置。10. The main body is housed in an outer container, an inner container housed in the outer container, the inner container, the fluoride glass raw material being housed in the inner container, and the first series. The raw material container having an interior communicating with the exterior of the external container via a communicating portion and the second communicating portion, and refining of the fluoride glass raw material according to any one of claims 7 to 9. apparatus.
有すると共に、前記第一連通部と当該原料容器の内部と
が当該通気孔を介して連通されていることを特徴とする
請求項１０に記載のフッ化物ガラス原料の精製装置。11. The raw material container has a plurality of ventilation holes at a bottom portion thereof, and the first communication portion and the inside of the raw material container are communicated with each other through the ventilation holes. 10. The apparatus for purifying a fluoride glass raw material according to 10.
ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１１に記載のフ
ッ化物ガラス原料の精製装置。12. The size of the vent hole is 50 μm or more 1
The apparatus for refining a fluoride glass raw material according to claim 11, wherein the refining device has a diameter of not more than mm.
久性を有する材料からなることを特徴とする請求項７か
ら１２のいずれかに記載のフッ化物ガラス原料の精製装
置。13. The apparatus for purifying a fluoride glass raw material according to claim 7, wherein the main body is made of a material having high durability against the active gas.
ム、アルミナ、グラッシーカーボン（ｇｌａｓｓｙ ｃ
ａｒｂｏｎ）、モネルメタル、ニッケル、ステンレス、
金、白金、イリジウムのうちの少なくとも一種類、また
はこれらの組み合わせで得られる複合体からなることを
特徴とする請求項１３に記載のフッ化物ガラス原料の精
製装置。14. The material is a fluororesin, aluminum, alumina, or glassy carbon.
arbon), monel metal, nickel, stainless steel,
14. The apparatus for purifying a fluoride glass raw material according to claim 13, which is made of at least one kind of gold, platinum, and iridium, or a composite obtained by a combination thereof.
られていることを特徴とする請求項７から１４のいずれ
かに記載のフッ化物ガラス原料の精製装置。15. The apparatus for purifying a fluoride glass raw material according to claim 7, wherein the heating means is provided outside the main body.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7074888A JPH08268730A (en) | 1995-03-31 | 1995-03-31 | Refining method of fluoride compound glass raw material and refining device therefor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7074888A JPH08268730A (en) | 1995-03-31 | 1995-03-31 | Refining method of fluoride compound glass raw material and refining device therefor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08268730A true JPH08268730A (en) | 1996-10-15 |
Family
ID=13560367
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7074888A Pending JPH08268730A (en) | 1995-03-31 | 1995-03-31 | Refining method of fluoride compound glass raw material and refining device therefor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08268730A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009214860A (en) * | 2008-02-12 | 2009-09-24 | Jtekt Corp | Vehicular steering device and method for transferring its sub assembly |
-
1995
- 1995-03-31 JP JP7074888A patent/JPH08268730A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009214860A (en) * | 2008-02-12 | 2009-09-24 | Jtekt Corp | Vehicular steering device and method for transferring its sub assembly |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030121 |