JPH08264310A - 希土類−鉄−ボロン系永久磁石の製造方法 - Google Patents

希土類−鉄−ボロン系永久磁石の製造方法

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JPH08264310A
JPH08264310A JP7065517A JP6551795A JPH08264310A JP H08264310 A JPH08264310 A JP H08264310A JP 7065517 A JP7065517 A JP 7065517A JP 6551795 A JP6551795 A JP 6551795A JP H08264310 A JPH08264310 A JP H08264310A
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permanent magnet
iron
boron
corrosion
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Munehisa Hasegawa
統久 長谷川
Takashi Sasaki
崇 佐々木
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Hitachi Metals Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、焼結磁石体表面への耐食性皮膜形
成による磁気特性の低下を防止し、耐食性皮膜と焼結磁
石体との密着性を向上できる希土類−鉄−ボロン系永久
磁石の製造方法を提供することを目的とする。 【構成】 本発明希土類−鉄−ボロン系永久磁石の製造
方法は、R(RはYを含む希土類元素のうち1種または
2種以上)が20〜45wt.%、Feが50〜80w
t.%、Coが0.1〜15wt.%、Bが0.5〜6
wt.%からなる焼結磁石体表面に、耐食性皮膜を形成
した後、不活性ガス雰囲気、非酸化性雰囲気あるいは真
空中、500〜600℃の温度で熱処理することを特徴
とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、残留磁束密度の温度係
数および耐食性の改善を行った希土類−鉄−ボロン系永
久磁石に耐食性皮膜を形成した後熱処理を行うことによ
り、切削加工あるいは電解めっき等による磁気特性の劣
化を改善し、皮膜と磁石体との密着性をも向上させた希
土類−鉄−ボロン系永久磁石の製造方法に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】近年、電子機器や精密機器の小型、軽量
化の市場傾向に伴い、永久磁石においては従来のアルニ
コやフェライト磁石に代わり希土類磁石が多くの分野で
利用されるようになってきた。希土類永久磁石の中で
も、特に、高いエネルギー積が得られる希土類−鉄−ボ
ロン系永久磁石の需要が増加しており、従来以上に高エ
ネルギー積でかつ高保磁力が要求される傾向にある。し
かしながら、この希土類−鉄−ボロン系永久磁石はキュ
リー温度が低いために残留磁束密度の温度係数が大きく
高温減磁する欠点を有している。また、酸化しやすい希
土類元素および鉄を主成分としているために錆びやすい
という欠点も有している。これらの低キュリー温度、低
耐食性を克服するために、Co、Ga、Ni、Sn等の
元素を添加する方法が種々提案されており、従来よりも
キュリー温度および耐食性の向上がはかられている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の元素を添加した希土類−鉄−ボロン系永久磁石であっ
ても、完全な耐食性を付与することはできない。従っ
て、耐食性皮膜を有しない希土類−鉄−ボロン系永久磁
石を電子機器等の磁気回路に組み込むと、酸化が磁石体
表面から発生し磁石体内部に進行する。その結果、磁気
特性が劣化し電子機器等の性能を低下させたり、磁石体
表面の酸化物の脱落により周辺機器への磁性体による汚
染が発生する。このような理由で、希土類−鉄−ボロン
系永久磁石体表面の酸化を防止するために、各種の表面
処理方法が提案されている。例えば、スプレーまたは電
着塗装による樹脂塗装、真空蒸着、イオンスパッタリン
グ、イオンプレーティングによる気相めっき法、Cr、
Ni等の金属あるいは合金をめっきをする電解めっき法
あるいは無電解めっき法がある。これらのうち、電解め
っき法あるいは無電解めっき法では、めっきの前処理と
してアルカリ、酸による脱脂あるいは活性化処理等を行
うために、前処理時に磁石体表面部分から保磁力を担う
粒界相が溶出し、その結果、磁石体表面部で磁気特性の
劣化した層が生成し磁石体の磁気特性が低下する。特
に、薄型の磁石では磁気特性における劣化の割合が大き
くなるという問題点がある。
【0004】また、希土類−鉄−ボロン系永久磁石体を
電子機器に組み込むためには、コーティング前に磁石体
の全面あるいは所要表面を切削加工する必要があるが、
この時にも、磁石体表面が荒らされて加工劣化層が生成
し磁気特性が低下する。そして、この加工劣化層の上に
コーティングを施すと、この加工劣化層部分でコーティ
ング剥離が発生しやすくなりコーティングの密着性も悪
くなるという問題点がある。このような切削加工等に伴
う磁気特性の劣化を改善するために、Ti、W等の金属
元素とCe、La、Nd等の希土類元素との合金薄膜層
を真空蒸着、イオンスパッタリング等の気相めっき法で
形成した後、真空あるいは不活性雰囲気中で400〜9
00℃、1分〜3時間の熱処理をすることが提案されて
いる(特開昭62−192566号)。しかしながら、
活性な希土類元素を50at.%以上含むために耐食性
が悪いと同時に、コスト的にも高くなる。また、内穴、
溝部へのコーティングができないという問題点もある。
また、特開昭63−211703号では、耐食性、密着
力、耐磨耗性を向上させるために、電気めっき法あるい
は無電解めっき法でNi−Pの合金層を形成した後10
0〜500℃の温度、10分〜数時間の熱処理をする方
法が提案されており、実施例でもNi−Pめっき層を形
成した後150、180℃の温度で熱処理する方法が示
されている。しかしながら、この実施例に示される温度
での熱処理は、一般的に知られているようなめっきで吸
蔵された水素を除くための熱処理である。また、500
℃よりも低い温度であるために、希土類−鉄−ボロン系
永久磁石内に液相が十分に生成せず、切削加工等による
磁気特性の劣化を回復させたり、磁石体とめっき層との
密着性を向上させたりすることができないという問題点
がある。特開平1−139705号では、耐酸化性皮膜
と磁石体との密着性向上を目的として、磁石体表面にP
d、Pt等の貴金属層と、Ni等の卑金属層とを積層
し、400〜700℃で拡散熱処理することが提案され
ている。しかしながら、Pd、Pt等の貴金属を10〜
100オングストロームの膜厚で磁石体表面に形成する
気相めっき法あるいは貴金属コロイドを吸着させる方法
では、貴金属層が薄く多孔性になりやすく、これが原因
でその上に付ける卑金属層にピンホールが発生しやすく
なり耐食性が低下する。また、貴金属はコスト的にも高
くなるという問題点がある。したがって、本発明は、焼
結磁石体表面への耐食性皮膜形成による磁気特性の低下
を防止し、耐食性皮膜と焼結磁石体との密着性を向上で
きる希土類−鉄−ボロン系永久磁石の製造方法を提供す
ることを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本永久磁石の製造方法は、希土類元素R(RはYを含
む希土類元素のうち少なくとも1種または2種以上の組
合せ)が20〜45wt.%、Feが50〜80wt.
%、Coが0.1〜15wt.%、Bが0.5〜6w
t.%からなる焼結磁石体表面に、耐食性皮膜を形成し
た後、不活性ガス雰囲気、非酸化性雰囲気あるいは真空
中、500〜600℃の温度で熱処理する希土類−鉄−
ボロン系永久磁石の製造方法、あるいは希土類元素R
(RはYを含む希土類元素のうち少なくとも1種または
2種以上の組合せ)が20〜45wt.%、Feが50
〜80wt.%、Coが0.1〜15wt.%、Bが
0.5〜6wt.%およびM(MはAl、Si、Nb、
Mo、V、Mn、Sn、Ni、Zn、Ti、Cr、T
a、W、Ge、Zr、Hf、Gaのうち少なくとも1種
あるいは2種以上の組合せ)が10wt.%以下からな
る焼結磁石体表面に耐食性皮膜を形成した後、不活性ガ
ス雰囲気、非酸化性雰囲気あるいは真空中、500〜6
00℃の温度で熱処理する希土類−鉄−ボロン系永久磁
石の製造方法であり、前記耐食性皮膜はZn、Cr、N
i、Cu、Sn、Pb、Cd、Ti、W、Co、Al、
Taのうち少なくとも1種または2種以上の元素からな
る単層膜または多層膜、あるいは該耐食性皮膜がC、
P、S、O、B、Hの少なくとも1種または2種以上の
元素とZn、Cr、Ni、Cu、Sn、Pb、Cd、T
i、W、Co、Al、Taのうち少なくとも1種または
2種以上の元素からなる単層膜または多層膜とするのが
好ましい。本発明において、耐食性皮膜は単層膜または
多層膜いづれでもよい。単層膜とする場合、皮膜の厚さ
は10μm以上とする。また、多層膜とする場合、磁石
体と接する皮膜の膜厚を0.1μm以上とし、耐食性皮
膜全体の厚さを10μm以上とするのが好ましい。ま
た、本発明においては、磁石体と耐食性皮膜との密着性
を向上させるために耐食性皮膜形成前に磁石体表面の脱
脂、活性化処理等の前処理を行うことが好ましい。
【0006】
【作用】本発明は、残留磁束密度の温度係数および耐食
性の改善を行った希土類−鉄−ボロン系永久磁石に耐食
性皮膜を形成した後熱処理を行うことにより、切削加工
あるいは電解めっき等による磁気特性の劣化を改善し、
コーティング膜と磁石体との密着性をも向上させた希土
類−鉄−ボロン系永久磁石の製造方法に関するものであ
る。すなわち、希土類−鉄−ボロン系永久磁石の保磁力
機構はニュークリエーションタイプに属しているため
に、保磁力の大きさは逆磁区の芽となる主相R2F14B
内にある格子欠陥や転位の数あるいは逆磁区の芽をピン
止めしていると考えられる主相R2F14Bを囲む粒界相
の結晶組織や量等により決定される。それゆえ、切削加
工により主相内にクラックや歪みが生成したり、粒界相
を持たない主相が露出すると、逆磁区の芽が発生しやす
くなったり、磁壁が動きやすくなり保磁力が低下する。
また、耐食性皮膜コーティング時に行う酸あるいはアル
カリを用いた前処理では、磁石体表面部分の粒界相が溶
出するために、磁石体表面部分の保磁力は低下し、その
結果、磁石体全体での磁気特性も低下する。特に、薄物
の磁石体ではこれら切削加工あるいはめっきの前処理に
よる磁気特性の劣化は大きくなる。
【0007】そこで、本発明は、粒界相に余剰に存在す
る希土類リッチ相、Bリッチ相等を活用したもので、耐
食性皮膜を形成した後不活性雰囲気、非酸化性雰囲気あ
るいは真空中、500〜600℃で熱処理することを特
徴とする。熱処理温度は500〜550℃とするのが特
に好ましい。本発明は、Coを含有させることにより焼
結磁石体の温度特性および耐食性を向上させるととも
に、耐酸化性あるいは耐食性皮膜を形成した後液相が出
現ししかも保磁力が向上する温度500〜600℃で熱
処理することにより、粒界に存在する希土類リッチ相を
磁石体表面部分と耐食性皮膜との界面に一部吐き出さ
せ、切削加工により生成した加工劣化層部分あるいは
酸、アルカリの前処理で溶出した粒界相部分を修復し磁
気特性を回復させる永久磁石の製造方法である。本発明
において、耐食性皮膜の厚さを10μm以上としたの
は、耐食性皮膜の厚さが10μm未満であるとピンホー
ルが形成しやすく、熱処理によりピンホールから希土類
リッチ相がしみ出し、充分な耐食性が得られないからで
ある。また、厚さが50μmを越えると耐食性皮膜の平
滑性が低下するので、耐食性皮膜の厚さは50μm以下
とするのが好ましい。耐食性皮膜は単層膜でもよいが、
多層膜とし、磁石体と接する皮膜の厚さを0.1μm以
上とするのが好ましい。多層膜とすることにより、耐食
性皮膜表面から磁石体表面に貫通するピンホールが減少
し、ピンホールからの腐食を防止することができる。ま
た、磁石体と接する皮膜の厚さが0.1μm未満である
と皮膜が薄く多孔性となりやすく、それが原因でその上
に付ける皮膜にピンホールが生成しやすくなるので、磁
石体に接する皮膜の厚さは0.1μm以上とするのが好
ましい。
【0008】以下、本発明の限定理由について示す。本
発明の永久磁石に用いる希土類元素Rは、20〜45w
t.%を占めるが、Yを含む希土類元素の1種または2
種以上の組合せであって、20wt.%未満ではα−F
eが生成し高保磁力が得られず、45wt.%を超える
と非磁性相である希土類リッチ相が多くなり、残留磁束
密度が低下して優れた特性の永久磁石が得られない。よ
って、Rは20〜45wt.%の範囲が好ましい。B
は、上記永久磁石における必須元素であって、0.5w
t.%未満では菱面体構造が主相となり高保磁力が得ら
れず、6wt.%を超えるとBリッチな非磁性相が多く
なり、残留磁束密度が低下するため、優れた永久磁石が
得られない。よって、Bは0.5〜6wt.%の範囲が
好ましい。Feも、上記永久磁石において必須元素であ
り、50wt.%未満では残留磁束密度が低下し、80
wt.%を超えると高保磁力が得られないので、Feは
50〜80wt.%の範囲が好ましい。Coは温度特性
および耐食性を向上させるために必要であり、Coの添
加量が0.1wt.%以下では十分な効果が得られず、
15wt.%を超えると保磁力が低下する。よって、C
oの添加量は0.1〜15wt.%の範囲が好ましい。
また、永久磁石体の磁気特性あるいは物理特性等を向上
させるために、Ni、Nb、Ta、W、Al、Ti、Z
r、Si、Ga、Mo、V、Sn、Cr、Mn、Zn、
Ge、Hfの1種または2種以上の元素を10wt.%
以下の範囲で添加しても良く、本発明の永久磁石は、結
晶質の合金粉末を磁場中成形で異方性化した後焼結して
得られる焼結異方性永久磁石で、平均結晶粒径が1〜5
0μmの範囲にある正方晶系の結晶構造を有する化合物
を主相とし、最大エネルギー積が20MGOe以上に達
する。かくして得られた希土類−鉄−ボロン系永久磁石
体をリン酸、水酸化ナトリウム等の酸あるいはアルカリ
溶液で前処理を行った後、耐食性皮膜を電解めっき、無
電解めっき、気相めっき法などの一般的に知られている
方法で作製する。その後、不活性雰囲気、非酸化性雰囲
気あるいは真空中、500〜600℃で熱処理をする。
耐食性皮膜の形成方法としては、コスト面および皮膜厚
さの均一性から電解めっき、無電解めっきが望ましい。
また、耐食性皮膜を形成後熱処理し、さらに耐食性皮膜
を形成することができる。耐食性皮膜は熱処理により結
晶化し脆くなるので、熱処理後さらに耐食性皮膜を形成
することにより強度を補うことができる。熱処理後に耐
食性皮膜を形成する場合、リン酸、水酸化ナトリウム等
の酸あるいはアルカリ溶液で前処理を行った後、耐食性
皮膜を電解めっき、無電解めっき、気相めっき法などの
一般的に知られている方法で作製することができる。ま
た、樹脂コート等の皮膜を形成しても良い。
【0009】
【実施例】以下、本発明を実施例によって具体的に説明
するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるも
のではない。
【0010】(実施例1)Nd18.1wt.%、Pr
5.2wt.%、Dy9.0wt.%、Al0.3w
t.%、Nb1.0wt.%、B1.03wt.%、C
o4.0wt.%、Ga0.15wt.%、残部Feよ
りなる磁石合金を不活性雰囲気中で高周波溶解し鋳造イ
ンゴットを得た。このインゴットを50mm角以下に破
断した後、破断塊を密閉容器内に挿入しArガスを20
分間流入させて空気と置換し、1kgf/cm2の水素
ガスで2時間処理後機械的に粉砕し平均粒子径が500
μmの粉末にした。この粗粉をジェットミルを用いて平
均粒子径が5.0μmの粉末に微粉砕した。この微粉を
ダイス、下パンチで形成される成形空間に充填し、約1
0kOeの磁場中で配向させながら、2ton/cm2
にて加圧成形し成形体を得た。この成形体を1080
℃、2時間の条件で焼結し、530℃、1時間の熱処理
を施し永久磁石を作製した。この磁石体から10x11
x8mm(磁化方向:8mm)の試料を切り出し表面研
磨後、リン酸により前処理を行いワット浴を用いて、平
均厚み20μmの電解Niめっきを行った。このNiめ
っき膜を施した試料をArガス雰囲気中で、530℃、
1時間の熱処理を行った後、磁気特性、加熱温度に対す
る不可逆減磁率の変化およびコーティング膜の密着強度
(QUAD GROUP社製SEVASTIAN 5)
を測定した。不可逆減磁率は下記に示す方法で行った。
まず、着磁後の試料の磁束φ0を室温で測定し、次に、
100〜260℃の各温度で1時間加熱保持した後、室
温に戻し1時間以上放置後磁束φを測定して下記の定義
式により算出した。 不可逆減磁率={(φ−φ0)/φ0}x100 % なお、加熱は100℃で測定後、120℃に加熱という
ように累積加熱した。表1に磁気特性、図1に4πI−
Hカーブ、図2に加熱温度に対する不可逆減磁率の変
化、表2に密着強度を示す。
【0011】(実施例2)Nd18.1wt.%、Pr
5.2wt.%、Dy9.0wt.%、Al0.3w
t.%、Nb1.0wt.%、B1.03wt.%、C
o4.0wt.%、Ga0.15wt.%、残部Feよ
りなる焼結体に、530℃、1時間の熱処理を施した。
この磁石体から10x11x8mm(磁化方向:8m
m)の試料を切り出し表面研磨後、リン酸により前処理
を行いワット浴を用いて、平均厚み20μmの電解Ni
めっきを行った。このNiめっき膜を施した試料をAr
ガス雰囲気中で、510℃、1時間の熱処理を行った
後、磁気特性および加熱温度に対する不可逆減磁率の変
化を測定した。表1に磁気特性、図1に4πI−Hカー
ブ、図2に加熱温度に対する不可逆減磁率の変化を示
す。
【0012】(実施例3)Nd18.1wt.%、Pr
5.2wt.%、Dy9.0wt.%、Al0.3w
t.%、Nb1.0wt.%、B1.03wt.%、C
o4.0wt.%、Ga0.15wt.%、残部Feよ
りなる焼結体に、530℃、1時間の熱処理を施した。
この磁石体から10x11x8mm(磁化方向:8m
m)の試料を切り出し表面研磨後、硝酸、過酸化水素
水、酢酸でめっきの前処理を行った。次に、ワット浴を
用いて下地層として2μmの電解Niめっき層、ピロリ
ン酸Cu浴により14μmの電解Cuめっき層、ワット
浴による4μmの電解Niめっき層を施し総膜厚20μ
mのNi−Cu−Niめっき膜を作製した。この試料を
Arガス雰囲気中で、530℃、1時間の熱処理を行っ
た後、磁気特性および加熱温度に対する不可逆減磁率の
変化を測定した。表1に磁気特性、図1に4πI−Hカ
ーブ、図2に加熱温度に対する不可逆減磁率の変化を示
す。
【0013】(比較例1)Nd18.1wt.%、Pr
5.2wt.%、Dy9.0wt.%、Al0.3w
t.%、Nb1.0wt.%、B1.03wt.%、C
o4.0wt.%、Ga0.15wt.%、残部Feよ
りなる焼結体に、530℃、1時間の熱処理を施した。
この磁石体から10x11x8mm(磁化方向:8m
m)の試料を切り出し表面研磨後、リン酸により前処理
を行いワット浴を用いて、平均厚み20μmの電解Ni
めっきを行った。このNiめっき膜を施した試料をAr
ガス雰囲気中で、200℃、1時間の熱処理を行った
後、磁気特性、加熱温度に対する不可逆減磁率の変化お
よびコーティング膜の密着強度(QUAD GROUP
社製SEVASTIAN 5)を測定した。表1に磁気
特性、図1に4πI−Hカーブ、図2に加熱温度に対す
る不可逆減磁率の変化、表2に密着強度を示す。実施例
1、2よりも減磁曲線の角形性が悪く、密着性も低くな
っている。
【0014】(比較例2)Nd18.1wt.%、Pr
5.2wt.%、Dy9.0wt.%、Al0.3w
t.%、Nb1.0wt.%、B1.03wt.%、C
o4.0wt.%、Ga0.15wt.%、残部Feよ
りなる焼結体に、530℃、1時間の熱処理を施した。
この磁石体から10x11x8mm(磁化方向:8m
m)の試料を切り出し表面研磨後、リン酸により前処理
を行いワット浴を用いて、平均厚み20μmの電解Ni
めっきを行った。このNiめっき膜を施した試料をAr
ガス雰囲気中で、400℃、1時間の熱処理を行った
後、磁気特性および加熱温度に対する不可逆減磁率の変
化を測定した。表1に磁気特性、図1に4πI−Hカー
ブ、図2に加熱温度に対する不可逆減磁率の変化を示
す。実施例1、2よりも減磁曲線の角形性が低下してい
る。
【0015】(比較例3)Nd18.1wt.%、Pr
5.2wt.%、Dy9.0wt.%、Al0.3w
t.%、Nb1.0wt.%、B1.03wt.%、C
o4.0wt.%、Ga0.15wt.%、残部Feよ
りなる焼結体に、530℃、1時間の熱処理を施した。
この磁石体から10x11x8mm(磁化方向:8m
m)の試料を切り出し表面研磨後、リン酸により前処理
を行いワット浴を用いて、平均厚み20μmの電解Ni
めっきを行った。このNiめっき膜を施した試料をAr
ガス雰囲気中で、650℃、1時間の熱処理を行った
後、磁気特性および加熱温度に対する不可逆減磁率の変
化を測定した。表1に磁気特性、図1に4πI−Hカー
ブ、図2に加熱温度に対する不可逆減磁率の変化を示
す。実施例1、2よりも減磁曲線の角形性および保磁力
が低下している。
【0016】
【表1】
【0017】
【表2】
【0018】
【発明の効果】本発明によれば、温度特性および耐食性
を向上させたR−Fe−B系永久磁石に耐食性皮膜を形
成し、不活性雰囲気、非酸化性雰囲気あるいは真空中、
500〜600℃で熱処理することにより、切削加工あ
るいは電解めっき等で劣化した結晶組織部を修復させ、
磁気特性の劣化および磁気特性の経年変化を改善すると
共に、コーティング膜と磁石体との密着性をも向上させ
ることができ、工業上その利用価値は極めて高いもので
ある。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1〜3および比較例1〜3の4πI−H
カーブを示す図である。
【図2】実施例1〜3および比較例1〜3の加熱温度に
対する不可逆減磁率の変化を比較す図である。

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 R(RはYを含む希土類元素のうち1種
    または2種以上)が20〜45wt.%、Feが50〜
    80wt.%、Coが0.1〜15wt.%、Bが0.
    5〜6wt.%からなる焼結磁石体表面に、耐食性皮膜
    を形成した後、不活性ガス雰囲気、非酸化性雰囲気ある
    いは真空中、500〜600℃の温度で熱処理すること
    を特徴とする希土類−鉄−ボロン系永久磁石の製造方
    法。
  2. 【請求項2】 R(RはYを含む希土類元素のうち1種
    または2種以上)が20〜45wt.%、Feが50〜
    80wt.%、Coが0.1〜15wt.%、Bが0.
    5〜6wt.%およびM(MはAl、Si、Nb、M
    o、V、Mn、Sn、Ni、Zn、Ti、Cr、Ta、
    W、Ge、Zr、Hf、Gaのうち1種または2種以
    上)が10wt.%以下からなる焼結磁石体表面に、厚
    さ10μm以上の耐食性皮膜を形成した後、不活性ガス
    雰囲気、非酸化性雰囲気あるいは真空中、500〜60
    0℃の温度で熱処理することを特徴とする希土類−鉄−
    ボロン系永久磁石の製造方法。
  3. 【請求項3】 耐食性皮膜がZn、Cr、Ni、Cu、
    Sn、Pb、Cd、Ti、W、Co、Al、Taのうち
    1種または2種以上の元素からなる請求項1または2に
    記載の希土類−鉄−ボロン系永久磁石の製造方法。
  4. 【請求項4】 耐食性皮膜がC、P、S、O、B、Hの
    少なくとも1種または2種以上の元素と、Zn、Cr、
    Ni、Cu、Sn、Pb、Cd、Ti、W、Co、A
    l、Taのうち少なくとも1種または2種以上の元素か
    らなる請求項1または2に記載の希土類−鉄−ボロン系
    永久磁石の製造方法。
  5. 【請求項5】 耐食性皮膜が厚さ10μm以上の単層膜
    である請求項1ないし4のいづれかに記載の希土類−鉄
    −ボロン系永久磁石の製造方法。
  6. 【請求項6】 耐食性皮膜が多層膜であって、磁石体と
    接する皮膜の膜厚が0.1μm以上であることを特徴と
    する請求項1ないし4のいずれかに記載の希土類−鉄−
    ボロン系永久磁石の製造方法。
  7. 【請求項7】 熱処理後、さらに耐食性皮膜を形成する
    請求項1または2に記載の希土類−鉄−ボロン系永久磁
    石の製造方法。
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