JPH08247840A - Electron cooling type infrared-ray detector - Google Patents
Electron cooling type infrared-ray detectorInfo
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- JPH08247840A JPH08247840A JP5404695A JP5404695A JPH08247840A JP H08247840 A JPH08247840 A JP H08247840A JP 5404695 A JP5404695 A JP 5404695A JP 5404695 A JP5404695 A JP 5404695A JP H08247840 A JPH08247840 A JP H08247840A
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- infrared detector
- infrared
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- peltier element
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、赤外線検知器に関し、
特に電子冷却型の赤外線検知器において、気密性の向上
と小型化、およびコストダウンを実現したものに関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to an infrared detector,
In particular, the present invention relates to an electronic cooling type infrared detector having improved airtightness, reduced size, and reduced cost.
【０００２】電子冷却型赤外線検知器は、赤外線検知器
とペルチェ素子からなる電子冷却器とを一体化して、赤
外線透過窓を有する気密容器に収容したものであって、
冷却によって赤外線検知効率を向上させるようにしたも
のである。An electronic cooling type infrared detector is a device in which an infrared detector and an electronic cooler composed of a Peltier element are integrated and housed in an airtight container having an infrared transmitting window.
The infrared detection efficiency is improved by cooling.
【０００３】電子冷却型赤外線検知器においては、容器
の気密性の向上と小型化を達成できるとともに、組み立
て時の作業量の低減と、歩留りの向上を実現できるもの
であることが要望されている。In the electronic cooling type infrared detector, it is demanded that the airtightness of the container and the miniaturization thereof can be achieved, and the work amount at the time of assembly and the yield can be improved. .
【０００４】[0004]
【従来の技術】図５は、従来の電子冷却型赤外線検知器
を示したものであって、（ａ）は外観斜視図を示し、
（ｂ）は断面図を示している。2. Description of the Related Art FIG. 5 shows a conventional electronically cooled infrared detector, in which (a) is an external perspective view.
(B) has shown sectional drawing.
【０００５】電子冷却型赤外線検知器は、赤外線を検出
する赤外線検知素子１と、赤外線検知素子１を冷却する
ペルチェ素子２と、これらを収容する金属製の気密容器
３とからなっている。The electronic cooling type infrared detector comprises an infrared detecting element 1 for detecting infrared rays, a Peltier element 2 for cooling the infrared detecting element 1, and a metal hermetic container 3 for accommodating them.
【０００６】従来の電子冷却型赤外線検知器における気
密容器３は、ベースフランジ１０と、配線用フランジ１
１と、上部フランジ１２の３部分から構成されている。
ベースフランジ１０は、一方が開いた円筒皿状をなし、
その内部中央に、ペルチェ素子２が固定されて取り付け
られるとともに、ペルチェ素子２の上部には、赤外線検
知素子１が固定されて取り付けられている。The airtight container 3 in the conventional electronic cooling type infrared detector has a base flange 10 and a wiring flange 1.
1 and three parts of the upper flange 12.
The base flange 10 has a cylindrical dish shape with one side open.
The Peltier element 2 is fixedly attached to the center of the inside thereof, and the infrared detecting element 1 is fixedly attached to the upper portion of the Peltier element 2.
【０００７】ペルチェ素子２は、例えば周知の多段型素
子からなり、セラミック板からなる上部基板２1,中間基
板２2,下部基板２3 の間に、それぞれ多数の熱電素子２
4 を挟んで固定した構造を有している。各熱電素子は、
ｎ型の半導体素子とｐ型の半導体素子とが対になって、
上下の基板上に設けられた金属電極によって、順次、交
互に直列に接続されていて、両端子間に電流を流すこと
によって、一方の基板側から吸熱して他方の基板側で発
熱するので、赤外線検知素子１を冷却して、ベースフラ
ンジ１０の部分から放熱することができるようになって
いる。The Peltier element 2 comprises, for example, a well-known multi-stage element, and a large number of thermoelectric elements 2 are provided between an upper substrate 2 1, an intermediate substrate 2 2 and a lower substrate 2 3 each made of a ceramic plate.
It has a structure in which it is fixed by sandwiching 4 . Each thermoelectric element is
An n-type semiconductor element and a p-type semiconductor element are paired,
By the metal electrodes provided on the upper and lower substrates, they are sequentially and alternately connected in series, and by passing a current between both terminals, heat is absorbed from one substrate side and heat is generated on the other substrate side. The infrared detecting element 1 can be cooled so that heat can be released from the base flange 10.
【０００８】配線用フランジ１１は、ベースフランジ１
０と同径の円筒状をなす上部リング１１1 および下部リ
ング１１2 と、これらの中間に設けられた、中央に円形
穴１１3 を設けた、ベースフランジ１０より大きい外径
を有する、セラミック等の絶縁物からなる円形の鍔状の
配線板１１4 とからなり、上部リング１１1 と、下部リ
ング１１2 とは、配線板１１3 に対して上下から鑞付け
して同軸状に一体化されている。The wiring flange 11 is the base flange 1.
A cylindrical upper ring 11 1 and lower ring 11 2 having the same diameter as that of 0, and a circular hole 11 3 provided in the middle between them and having an outer diameter larger than that of the base flange 10 and the like. A circular brim-shaped wiring board 11 4 made of an insulating material, and the upper ring 11 1 and the lower ring 11 2 are brazed from above and below with respect to the wiring board 11 3 and are coaxially integrated. ing.
【０００９】配線板１１4 には、気密容器の外部となる
部分に多数の端子１４が設けられていて、赤外線検知素
子１およびペルチェ素子２からの接続ワイヤ１３をこれ
に接続することによって、端子１４を介して、外部配線
との接続を行なうことができるようになっている。[0009] wiring board 11 4, have a number of terminals 14 provided on the portion to be the outside of the airtight container, by connecting to the connection wire 13 from the infrared detector element 1 and the Peltier element 2, terminals It is possible to connect to an external wiring via 14.
【００１０】上部フランジ１２は、配線用フランジ１１
と同径の一方が開いた円筒皿状をなし、中央に円形の開
口部１２1 を有している。開口部１２1 の上部には、ゲ
ルマニウム（Ｇｅ）板等からなる赤外線透過窓１５が、
接着等の方法で気密に取り付けられている。The upper flange 12 is a wiring flange 11
It has a cylindrical dish shape with one of the same diameters open, and has a circular opening 12 1 in the center. An infrared transmission window 15 made of a germanium (Ge) plate or the like is provided above the opening 12 1 .
It is attached airtightly by a method such as adhesion.
【００１１】赤外線検知器を組み立てる場合には、ベー
スフランジ１０内にペルチェ素子２と赤外線検知素子１
とを収容したのち、ベースフランジ１０と中間フランジ
１１とを重ね合わせた状態で接合部を溶接し、さらに中
間フランジ１１と上部フランジ１２とを重ね合わせた状
態で接合部を溶接することによって、一体化して気密容
器３を形成する。When assembling the infrared detector, the Peltier element 2 and the infrared detecting element 1 are provided in the base flange 10.
After accommodating and, the base flange 10 and the intermediate flange 11 are overlapped with each other to weld the joint, and the intermediate flange 11 and the upper flange 12 are overlapped with each other to weld the joint. To form the airtight container 3.
【００１２】さらに、ベースフランジ１０に設けられた
排気パイプ１６から排気したのち、排気パイプを封じ切
るとともに、予め内部に設けられているゲッタ（不図
示）を加熱して活性化することによって、気密容器３の
内部を真空に保って、赤外線検知器を完成する。Further, after exhausting from the exhaust pipe 16 provided on the base flange 10, the exhaust pipe is sealed off, and a getter (not shown) provided inside is heated to be activated in advance, whereby airtightness is obtained. The inside of the container 3 is kept vacuum to complete the infrared detector.
【００１３】赤外線検知器は、その内部を真空に保つこ
とによって、内部の空気の対流による熱伝導の影響が除
去されるので、安定に赤外線の検知を行なうことができ
るようになる。By keeping the inside of the infrared detector in a vacuum, the influence of heat conduction due to the convection of the air inside is eliminated, so that infrared detection can be carried out stably.
【００１４】[0014]
【発明が解決しようとする課題】図５に示された従来の
電子冷却型赤外線検知器においては、次のような各種の
問題があった。 赤外線検知素子を収容する気密容器が、ベースフラ
ンジ，配線用フランジ，上部フランジの３つの部分を溶
接して組み立てられるため、溶接箇所が多く作業量が多
いだけでなく、気密性の信頼度も必ずしも高くない。The conventional electronically cooled infrared detector shown in FIG. 5 has the following various problems. Since the airtight container containing the infrared detection element is assembled by welding the three parts of the base flange, the wiring flange, and the upper flange, not only are there many welding points and the amount of work is large, but the reliability of airtightness is not always required. not high.
【００１５】 配線用フランジがあるため、赤外線検
知器の外形が大きくなる。 排気パイプをベースフランジに取り付けているの
で、排気パイプが切断されると再利用ができない。 赤外線検知素子と赤外線透過窓との位置合わせを目
視によって行なわなければならないため、作業性が悪
い。Due to the wiring flange, the outer shape of the infrared detector becomes large. Since the exhaust pipe is attached to the base flange, it cannot be reused if the exhaust pipe is cut. Since the infrared detection element and the infrared transmission window have to be visually aligned, workability is poor.
【００１６】 ペルチェ素子の放熱性をよくするた
め、ベースフランジを大きくする必要がある。In order to improve the heat dissipation of the Peltier element, it is necessary to enlarge the base flange.
【００１７】本発明は、このような従来技術の課題を解
決しようとするものであって、電子冷却型赤外線検知器
において、容器の形状を改善することによって、上述の
ような問題点を解決して、赤外線検知器を小型化すると
ともに、組み立て時の作業量を低減して歩留りを向上さ
せ、さらに容器の気密性を強化することを目的としてい
る。The present invention is intended to solve the problems of the prior art, and in the electronic cooling type infrared detector, the shape of the container is improved to solve the above problems. In addition to downsizing the infrared detector, the amount of work during assembly is reduced, the yield is improved, and the airtightness of the container is further strengthened.
【００１８】[0018]
(1) 赤外線検知素子１をこの赤外線検出素子と一体化し
て設けられたペルチェ素子２によって冷却するようにし
た電子冷却型赤外線検知器において、赤外線検知素子１
とペルチェ素子２とを収容する気密容器３を、基体とな
るベースフランジ２０と、ベースフランジを覆う上部フ
ランジ２１とから構成し、ベースフランジ２０の下部を
突出させてペルチェ素子の外形に適合した凸型部２０1
を形成して、この凸型部２０1 にペルチェ素子２を収容
するとともに、凸型部２０1 の外側に放熱部材２２を結
合してベースフランジ２０を冷却する。(1) In an electronic cooling type infrared detector in which the infrared detecting element 1 is cooled by a Peltier element 2 provided integrally with the infrared detecting element, the infrared detecting element 1
The airtight container 3 containing the Peltier element 2 and the Peltier element 2 is composed of a base flange 20 serving as a base body and an upper flange 21 covering the base flange. Mold part 20 1
To form, together with the housing the Peltier element 2 to the convex portion 20 1, and coupling the heat dissipation member 22 to the outside of the convex portion 20 1 for cooling the base flange 20.
【００１９】(2) (1) の場合に、赤外線検知素子１とペ
ルチェ素子２とを外部配線と接続する電極ピン２７を、
ベースフランジ２０に設ける。(2) In the case of (1), the electrode pin 27 for connecting the infrared detecting element 1 and the Peltier element 2 to the external wiring is
It is provided on the base flange 20.
【００２０】(3) (1) の場合に、気密容器３の内部を排
気するための排気パイプ２９を、上部フランジ２１に設
ける。(3) In the case of (1), the upper flange 21 is provided with an exhaust pipe 29 for exhausting the inside of the airtight container 3.
【００２１】(4) (1) の場合に、ベースフランジ２０に
ガイドピン２３を設けてペルチェ素子２の位置合わせを
行なうとともに、ペルチェ素子２にガイド部材２４を設
けて赤外線検知素子１の位置合わせを行なうようにす
る。(4) In the case of (1), the base flange 20 is provided with the guide pin 23 to align the Peltier element 2 and the Peltier element 2 is provided with the guide member 24 to align the infrared detecting element 1. To do.
【００２２】(5) (1) の場合に、ゲッタを排気パイプ２
９内に設ける。(5) In the case of (1), the getter is attached to the exhaust pipe 2
Provided within 9.
【００２３】(6) (1) の場合に、凸型部２０1 と放熱部
材２２とをはめ合わせる。または熱伝導性の向上のため
に、鑞付け、一例として銀蝋付けを行なってもよい。(6) In the case of (1), the convex portion 20 1 and the heat radiation member 22 are fitted together. Alternatively, in order to improve thermal conductivity, brazing, for example, silver brazing may be performed.
【００２４】(7) (1) の場合に、ベースフランジ２０と
上部フランジ２１との間に熱絶縁物からなる熱絶縁リン
グ３０を介在させる。(7) In the case of (1), the heat insulating ring 30 made of a heat insulating material is interposed between the base flange 20 and the upper flange 21.
【００２５】以上においては、電子冷却型赤外線検知器
を円形として説明したが、電子冷却型赤外線検知器の形
状は必ずしも、円形に限るものではない。Although the electronic cooling type infrared detector has been described as a circular shape in the above, the shape of the electronic cooling type infrared detector is not necessarily limited to a circular shape.
【００２６】[0026]
【作用】以下、本発明の作用を図１〜図３に示す実施例
の図面を用いて説明する。 (1) 電子冷却型赤外線検知器の気密容器をベースフラン
ジ２０と上部フランジ２１の２部分から構成したので、
気密容器の組み立て時の溶接箇所が少なくなり、気密性
を向上することができる。The operation of the present invention will be described below with reference to the drawings of the embodiments shown in FIGS. (1) Since the airtight container of the electronic cooling type infrared detector is composed of two parts, the base flange 20 and the upper flange 21,
The number of welding points during assembly of the airtight container is reduced, and the airtightness can be improved.
【００２７】(2) 外部配線と接続するための電極ピン２
５を、ベースフランジ２０に設けたので、配線用フラン
ジを別に設ける必要がなくなり、赤外線検知器を小型化
でき、コストダウンが実現される。(2) Electrode pin 2 for connecting to external wiring
Since 5 is provided on the base flange 20, it is not necessary to separately provide a wiring flange, the infrared detector can be downsized, and the cost can be reduced.
【００２８】(3) 排気パイプ２９を上部フランジ２１に
設けたので、容器の気密性に問題を生じた場合等に、排
気パイプを含む上部フランジのみを交換すればよいの
で、検知素子１およびペルチェ素子２を含むベースフラ
ンジ２０の部分を再利用することができ、作業性を向上
するとともに、歩留りを改善することができる。(3) Since the exhaust pipe 29 is provided on the upper flange 21, only the upper flange including the exhaust pipe needs to be replaced when a problem occurs in the airtightness of the container. The part of the base flange 20 including the element 2 can be reused, and the workability can be improved and the yield can be improved.
【００２９】(4) ベースフランジ２０の下部を凸型部２
０1 として、この部分に放熱部材２２を取り付けるよう
にしたので、放熱性が向上して赤外線検知器を小型化で
きるようになるとともに、熱設計が容易になる。(4) The lower part of the base flange 20 is provided with the convex portion 2
Since the heat dissipation member 22 is attached to this portion as No. 1 , heat dissipation is improved, the infrared detector can be downsized, and thermal design is facilitated.
【００３０】(5) ベースフランジ２０の凸型部２０1 の
内部にガイドピン２３を設けて、ペルチェ素子２との位
置合わせを行なうとともに、ペルチェ素子２の上部にガ
イド部材２４を設けて、赤外線検知素子１を位置合わせ
して取り付けられるようにしたので、赤外線検知素子１
をベースフランジ２０に対して位置合わせすることがで
き、従って、目視による上部フランジ２１に設けられた
赤外線透過窓２８との位置合わせが不要になり、作業性
を向上することができる。(5) A guide pin 23 is provided inside the convex portion 20 1 of the base flange 20 to align with the Peltier element 2, and a guide member 24 is provided on the upper portion of the Peltier element 2 to provide infrared rays. Since the detection element 1 is aligned and attached, the infrared detection element 1
Can be aligned with the base flange 20. Therefore, it is not necessary to visually align with the infrared transmission window 28 provided in the upper flange 21, and the workability can be improved.
【００３１】(6) 容器内を真空に保つためのゲッタを排
気パイプ２９内に収容して、ゲッタの高温活性化を、排
気パイプの部分で行なうようにしたので、他の部分に対
する高温の影響を少なくすることができ、従って、赤外
線検知器自体を小型化することができる。(6) Since the getter for keeping the inside of the container in vacuum is housed in the exhaust pipe 29, and the high temperature activation of the getter is performed in the exhaust pipe portion, the influence of high temperature on other portions. Therefore, the infrared detector itself can be downsized.
【００３２】[0032]
【実施例】図１は、本発明の一実施例の構成を示したも
のであって、（ａ）は外観斜視図を示し、（ｂ）は断面
図を示している。1 shows the structure of an embodiment of the present invention, in which (a) is an external perspective view and (b) is a sectional view.
【００３３】本発明の電子冷却型赤外線検知器における
気密容器３は、基体となるベースフランジ２０と、ベー
スフランジ２０の上部を覆う上部フランジ２１の２部分
から構成されている。さらにベースフランジ２０の下部
には、放熱部材が取り付けられるようになっている。The airtight container 3 in the electronic cooling type infrared detector of the present invention is composed of a base flange 20 which is a base body and an upper flange 21 which covers the upper portion of the base flange 20. Further, a heat radiating member is attached to the lower portion of the base flange 20.
【００３４】ベースフランジ２０は、コバール等の金属
からなり、一方が開いた円筒皿状の椀形をなす凸型部２
０1 と、その上部に連接する円形の鍔部２０2 とからな
っている。The base flange 20 is made of a metal such as Kovar and has a cylindrical dish-shaped convex portion 2 which is open on one side.
0 1 and a circular collar portion 20 2 connected to the upper part thereof.
【００３５】凸型部２０1 は、その内部がペルチェ素子
２に適合した大きさを有しているとともに、内面にガイ
ドピン２３を有し、ペルチェ素子２を凸型部２０1 の内
部に固定するとき、ガイドピン２３をペルチェ素子２の
下部基板２3 の底面に設けられたガイド穴と嵌合するこ
とによって、ペルチェ素子２の位置合わせを行なうこと
ができるようになっている。The inside of the convex portion 20 1 has a size suitable for the Peltier element 2 and also has a guide pin 23 on the inner surface so that the Peltier element 2 is fixed inside the convex portion 20 1. to time, by guiding hole and fitting it provided with guide pins 23 on the bottom surface of the lower substrate 2 3 of the Peltier element 2, thereby making it possible to perform alignment of the Peltier element 2.
【００３６】ペルチェ素子２は、従来と同様の構成を有
しているが、その上部基板２1 上に、赤外線検知素子１
を収容するガイド部材２４が固定されている点が異なっ
ている。The Peltier element 2 has the same structure as the conventional one , but the infrared detecting element 1 is formed on the upper substrate 21.
The difference is that the guide member 24 that accommodates is fixed.
【００３７】図２は、ガイド部材を例示したものであっ
て、（ａ）は上面図を示し、（ｂ）は赤外線検知素子を
装着した状態の上面図を示している。ガイド部材２４
は、セラミック板からなり、その上面に赤外線検知素子
１に適合する凹部２４1 を有しており、赤外線検知素子
１をこの部分に嵌合することによって、赤外線検知素子
１の位置合わせを自動的に行なうことができるようにな
っている。2A and 2B show an example of the guide member. FIG. 2A is a top view and FIG. 2B is a top view with an infrared detecting element mounted. Guide member 24
Is made of a ceramic plate, and has a recess 24 1 on its upper surface that fits the infrared detecting element 1. By fitting the infrared detecting element 1 in this portion, the infrared detecting element 1 is automatically aligned. It can be done at any time.
【００３８】鍔部２０2 には、複数の電極ピン２５が設
けられていて、赤外線検知素子１およびペルチェ素子２
からの接続ワイヤ２６を接続することによって、電極ピ
ン２５を介して、外部配線との接続を行なうことができ
るようになっている。電極ピン２５は、絶縁部２７を介
して鍔部２０2 に固定されている。The collar portion 20 2 is provided with a plurality of electrode pins 25, and the infrared detecting element 1 and the Peltier element 2 are provided.
By connecting the connection wire 26 from the above, the connection with the external wiring can be performed via the electrode pin 25. The electrode pin 25 is fixed to the collar portion 20 2 via the insulating portion 27.
【００３９】上部フランジ２１は、コバール等の金属か
らなり、一方が開いた円筒皿状の椀形をなし、中央に円
形の開口部２１1 を有している。開口部２１1 の上部に
は、ゲルマニウム（Ｇｅ）板等からなる赤外線透過窓２
８が、接着等の方法で気密に取り付けられている。The upper flange 21 is made of metal such as Kovar, has a cylindrical dish-like bowl shape with one side open, and has a circular opening 21 1 in the center. An infrared transmitting window 2 made of a germanium (Ge) plate or the like is provided above the opening 21 1.
8 is airtightly attached by a method such as adhesion.
【００４０】赤外線検知器を組み立てる場合には、ベー
スフランジ２０内にペルチェ素子２と赤外線検知素子１
とを収容して、所要の配線を行なったたのち、ベースフ
ランジ２０と上部フランジ２１とを重ね合わせた状態で
接合部を溶接することによって、一体化して気密容器３
を形成する。When assembling the infrared detector, the Peltier element 2 and the infrared detecting element 1 are provided in the base flange 20.
After accommodating and carrying out the required wiring, the base flange 20 and the upper flange 21 are welded to each other in a state where they are overlapped with each other, whereby the airtight container 3 is integrated.
To form.
【００４１】さらに、上部フランジ２１に設けられた排
気パイプ２９を通じて排気したのち、排気パイプを封じ
切るとともに、予め排気パイプ２９の内部に設けられて
いるゲッタ（不図示）を加熱して活性化することによっ
て、気密容器３の内部を真空に保って、赤外線検知器を
完成する。本発明の場合、ゲッタを排気パイプ内に収容
することによって、ゲッタの高温活性化を排気パイプの
部分の小さいスペースで実現することができる。従っ
て、赤外線検知器の小型化を図ることが可能になる。Further, after exhausting through the exhaust pipe 29 provided on the upper flange 21, the exhaust pipe is sealed off and a getter (not shown) previously provided inside the exhaust pipe 29 is heated and activated. By doing so, the inside of the airtight container 3 is kept in a vacuum, and the infrared detector is completed. In the case of the present invention, by accommodating the getter in the exhaust pipe, high temperature activation of the getter can be realized in a small space of the exhaust pipe. Therefore, it is possible to reduce the size of the infrared detector.
【００４２】その後、ベースフランジ２０の下部に放熱
部材２２を取り付ける。図３は、放熱部材を例示したも
のであって、（ａ）は断面図を示し、（ｂ）は赤外線検
知器に装着した状態を示している。Thereafter, the heat radiation member 22 is attached to the lower portion of the base flange 20. 3A and 3B show an example of a heat dissipation member, where FIG. 3A is a sectional view and FIG. 3B is a state in which it is mounted on an infrared detector.
【００４３】放熱部材２２は、その上面に一方が開いた
円筒皿状の凹型部２２1 を有し、凹型部２２1 は赤外線
検知器の気密容器３のベースフランジ２０の凸型部２０
1 と嵌合する形状を有している。従ってこの部分で、放
熱部材２２を赤外線検知器にはめ合わせて取り付けるこ
とによって、ベースフランジ２０を有効に冷却すること
ができる。なおこの際、接合面に銀（Ａｇ）ペースト等
を塗布して加熱して、蝋付けを行なうことによって、接
合部の熱伝導性を改善することにより、一層効率的に放
熱を行なうことができる。The heat radiating member 22 has a cylindrical dish-shaped concave portion 22 1 with one side open on the upper surface, and the concave portion 22 1 is the convex portion 20 of the base flange 20 of the airtight container 3 of the infrared detector.
It has a shape that fits with 1 . Therefore, the base flange 20 can be effectively cooled by fitting the heat radiation member 22 to the infrared detector at this portion. At this time, by applying a silver (Ag) paste or the like to the joint surface and heating and brazing the joint surface, the heat conductivity of the joint portion is improved, so that heat can be radiated more efficiently. .
【００４４】さらに放熱部材２２の下部を取り付け部２
２2 として、ビス留め用の取り付け穴２２3 を設けるこ
とによって、この部分で、筐体等に取り付けることがで
きるので、赤外線検知器の固定が容易になる。Further, the lower portion of the heat radiation member 22 is attached to the mounting portion 2.
By providing a mounting hole 22 3 for screw fastening as 2 2 , it can be mounted on a housing or the like at this portion, so that the infrared detector can be fixed easily.
【００４５】図４は、本発明の他の実施例の構成を示し
たものであって、図１におけると同じものを同じ番号で
示し、３０はセラミックまたはプラスチック等の熱絶縁
物からなる熱絶縁リングである。FIG. 4 shows the structure of another embodiment of the present invention, in which the same parts as those in FIG. 1 are designated by the same reference numerals, and 30 is a heat insulating material made of a heat insulating material such as ceramic or plastic. It's a ring.
【００４６】図４に示された実施例においては、ベース
フランジ２０と上部フランジ２１との間に、熱絶縁リン
グ３０を介在させて、ベースフランジと上部フランジと
を結合する。この場合、ベースフランジ２０と熱絶縁リ
ング３０、および熱絶縁リング３０と上部フランジ２１
とは、接着剤等を用いて接合する。In the embodiment shown in FIG. 4, a heat insulating ring 30 is interposed between the base flange 20 and the upper flange 21 to connect the base flange and the upper flange. In this case, the base flange 20 and the heat insulating ring 30, and the heat insulating ring 30 and the upper flange 21.
And are joined using an adhesive or the like.
【００４７】このようにすることによって、ベースフラ
ンジ２０からの熱が上部フランジ２１に伝わらないよう
になるので、上部フランジ２１の内面からの熱輻射が、
赤外線検知素子１の動作に影響しないようにすることが
できる。By doing so, the heat from the base flange 20 is prevented from being transferred to the upper flange 21, so that the heat radiation from the inner surface of the upper flange 21 is
It is possible to prevent the operation of the infrared detection element 1 from being affected.
【００４８】[0048]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、電
子冷却型赤外線検知器において、小型化を実現するとと
もに、気密性の向上を図ることできる。さらに組み立て
時の作業量を低減するとともに、製造時の歩留りを向上
することができ、コストダウンに寄与することができ
る。As described above, according to the present invention, the electronic cooling type infrared detector can be downsized and the airtightness can be improved. Further, the work amount at the time of assembly can be reduced, and the yield at the time of manufacturing can be improved, which can contribute to cost reduction.
【図１】本発明の一実施例の構成を示す図であって、
（ａ）は外観斜視図を示し、（ｂ）は断面図を示す。FIG. 1 is a diagram showing a configuration of an embodiment of the present invention,
(A) shows an external perspective view, and (b) shows a sectional view.
【図２】ガイド部材を例示する図であって、（ａ）は上
面図を示し、（ｂ）は赤外線検知素子を装着した状態の
上面図を示す。2A and 2B are views illustrating a guide member, in which FIG. 2A is a top view and FIG. 2B is a top view in a state where an infrared detection element is mounted.
【図３】放熱部材を例示する図であって、（ａ）は断面
図を示し、（ｂ）は赤外線検知器に装着した状態を示す
図である。3A and 3B are diagrams illustrating a heat dissipation member, FIG. 3A is a cross-sectional view, and FIG. 3B is a view showing a state where the heat radiation member is mounted on an infrared detector.
【図４】本発明の他の実施例の構成を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing the configuration of another embodiment of the present invention.
【図５】従来の電子冷却型赤外線検知器を示す図であっ
て、（ａ）は外観斜視図を示し、（ｂ）は断面図を示
す。5A and 5B are views showing a conventional electronic cooling type infrared detector, in which FIG. 5A is an external perspective view and FIG. 5B is a sectional view.
１ 赤外線検知素子 ２ ペルチェ素子 ３ 気密容器 ２０ ベースフランジ ２０1 凸型部 ２１ 上部フランジ ２２ 放熱部材 ２９ 排気パイプ ２３ ガイドピン ２４ ガイド部材 ３０ 熱絶縁リング1 infrared detection element 2 Peltier element 3 airtight container 20 base flange 20 1 convex part 21 upper flange 22 heat dissipation member 29 exhaust pipe 23 guide pin 24 guide member 30 thermal insulation ring
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 濱嶋 茂樹 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 廣田 耕治 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 佐藤 徳朋 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page (72) Inventor Shigeki Hamajima 1015 Kamiodanaka, Nakahara-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture Fujitsu Limited (72) Inventor, Koji Hirota 1015, Kamitadanaka, Nakahara-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture Fujitsu Limited (72) Inventor Tokutomo Sato 1015 Kamiodanaka, Nakahara-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture, Fujitsu Limited
Claims (7)
体化して設けられたペルチェ素子によって冷却するよう
にした電子冷却型赤外線検知器において、 前記赤外線検知素子とペルチェ素子とを収容する気密容
器を、基体となるベースフランジと、該ベースフランジ
の開口部を覆う上部フランジとから構成し、 該ベースフランジの下部を突出させてペルチェ素子の外
形に適合した凸型部を形成して、該凸型部にペルチェ素
子を収容するとともに、該凸型部の外側に放熱部材を結
合することを特徴とする電子冷却型赤外線検知器。1. An electronic cooling type infrared detector in which an infrared detecting element is cooled by a Peltier element provided integrally with the infrared detecting element, wherein an airtight container for accommodating the infrared detecting element and the Peltier element is provided. A base flange that serves as a base body and an upper flange that covers the opening of the base flange, and the lower portion of the base flange is projected to form a convex portion that conforms to the outer shape of the Peltier element. An electronic cooling infrared detector characterized in that a Peltier element is housed in the portion and a heat dissipation member is coupled to the outside of the convex portion.
器において、前記赤外線検知素子とペルチェ素子とを外
部配線と接続する電極ピンを、ベースフランジに設けた
ことを特徴とする電子冷却型赤外線検知器。2. The electronic cooling type infrared detector according to claim 1, wherein electrode pins for connecting the infrared detection element and the Peltier element to external wiring are provided on a base flange. Infrared detector.
器において、前記気密容器の内部を排気するための排気
パイプを、上部フランジに設けたことを特徴とする電子
冷却型赤外線検知器。3. The electronic cooling infrared detector according to claim 1, wherein an exhaust pipe for exhausting the inside of the airtight container is provided on the upper flange.
器において、前記ベースフランジにガイドピンを設けて
ペルチェ素子の位置合わせを行なうとともに、該ペルチ
ェ素子にガイド部材を設けて前記赤外線検知素子の位置
合わせを行なうようにしたことを特徴とする電子冷却型
赤外線検知器。4. The infrared-cooled infrared detector according to claim 1, wherein a guide pin is provided on the base flange to align a Peltier element, and a guide member is provided on the Peltier element. An electronic cooling type infrared detector characterized in that the position of the infrared detector is adjusted.
器において、ゲッタを前記排気パイプ内に設けたことを
特徴とする電子冷却型赤外線検知器。5. The electronic cooling type infrared detector according to claim 1, wherein a getter is provided in the exhaust pipe.
器において、前記凸型部と放熱部材との結合をはめ合わ
せまたは蝋付けによって行なうことを特徴とする電子冷
却型赤外線検知器。6. The electronic cooling infrared detector according to claim 1, wherein the convex portion and the heat dissipation member are joined by fitting or brazing.
器において、前記ベースフランジと上部フランジとの間
に熱絶縁物からなる熱絶縁リングを介在させることを特
徴とする電子冷却型赤外線検知器。7. The electronic cooling type infrared detector according to claim 1, wherein a heat insulating ring made of a heat insulating material is interposed between the base flange and the upper flange. vessel.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5404695A JPH08247840A (en) | 1995-03-14 | 1995-03-14 | Electron cooling type infrared-ray detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5404695A JPH08247840A (en) | 1995-03-14 | 1995-03-14 | Electron cooling type infrared-ray detector |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08247840A true JPH08247840A (en) | 1996-09-27 |
Family
ID=12959671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5404695A Withdrawn JPH08247840A (en) | 1995-03-14 | 1995-03-14 | Electron cooling type infrared-ray detector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08247840A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006300765A (en) * | 2005-04-21 | 2006-11-02 | Mori Seiki Co Ltd | Temperature measuring instrument |
| JP2013029229A (en) * | 2011-07-27 | 2013-02-07 | Sharp Corp | Heating cooker |
| CN114093954A (en) * | 2021-10-27 | 2022-02-25 | 中国电子科技集团公司第十一研究所 | Infrared detector packaging assembly and infrared detector with same |
-
1995
- 1995-03-14 JP JP5404695A patent/JPH08247840A/en not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006300765A (en) * | 2005-04-21 | 2006-11-02 | Mori Seiki Co Ltd | Temperature measuring instrument |
| JP2013029229A (en) * | 2011-07-27 | 2013-02-07 | Sharp Corp | Heating cooker |
| CN114093954A (en) * | 2021-10-27 | 2022-02-25 | 中国电子科技集团公司第十一研究所 | Infrared detector packaging assembly and infrared detector with same |
| CN114093954B (en) * | 2021-10-27 | 2024-04-19 | 中国电子科技集团公司第十一研究所 | Infrared detector packaging assembly and infrared detector with same |
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