JPH08241402A - 外観検査装置 - Google Patents
外観検査装置Info
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- JPH08241402A JPH08241402A JP7074599A JP7459995A JPH08241402A JP H08241402 A JPH08241402 A JP H08241402A JP 7074599 A JP7074599 A JP 7074599A JP 7459995 A JP7459995 A JP 7459995A JP H08241402 A JPH08241402 A JP H08241402A
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Abstract
の内、カメラに取り込まれる光にムラが発生することを
なくした外観検査装置を安価に提供する。 【構成】 検査対象物を照射する照明手段3と、照明手
段3によって照らされた検査対象物1の画像を取り込む
画像取込手段2と、その画像取込手段によって取り込ま
れた検査対象物の画像データに基づいて所定の検査処理
を行う検査処理手段10を有するものであって、照明手
段3が検査対象物1の検査表面の形状に対応した形状を
有し、検査対象物の検査表面に沿うように位置するその
照明手段3と検査対象面に面するように位置する画像取
込手段2とを、照明手段3から検査対象物1に対して照
射された光の内、検査対象物1の表面で正反射する反射
光が画像取込手段2に入射されない位置に配設したもの
である。
Description
その対象物の表面に表された色彩や模様等の外観を検査
する外観検査装置に関し、特に、検査対象物に対して画
像を取り込むための最適な光の照射を行なうことによっ
てその外観を検査する外観検査装置に関する。
画像を取り込んで、その表面に表された色彩や模様の状
態を認識するものである。そこで、例えば従来から、電
解コンデンサの製品チェック等に使用されている。具体
的には、電解コンデンサは本体から出た2本の電極の内
1本がプラスで他の1本がマイナスであるが、基板への
装着に際し取り付けを正確に行なうため、本体表面にそ
れらを区別する識別表示が一方の電極側に施されてい
る。そのため、電解コンデンサを製造する工程では、一
つ一つの電解コンデンサに対して、外観検査装置によっ
て本体表面の識別表示が正確に表示されているか否かを
確認している。そこで、電解コンデンサの外観検査を例
にとって従来の外観検査装置について説明する。
画像取り込み部の概念図を示したものである。これはい
ずれも電解コンデンサ51に対して、照明手段としてラ
イト52,53,54が並行に位置するように配置さ
れ、更にそのライト52,53,54を挟んで電解コン
デンサ51に対になるように撮像カメラ55が設けられ
ている。図9の第1従来例にはライト52にはサークラ
イン蛍光灯が使用され、図10の第2従来例にはライト
53に2本の棒状の蛍光灯を使用されている。更に図1
1の第3従来例のライト54には、電解コンデンサ51
の曲面に沿うように湾曲し、真ん中に画像取り込み用の
穴が形成された特殊加工の照明が使用されている。
ンサ51に対し、ライト52,53,54を挟んで撮像
カメラ55が設けられる従来の外観検査装置では、ライ
ト52,53,54で電解コンデンサ51を照らし、そ
の表面で反射する光を撮像カメラ55によって取り込
み、取り込んだ光データを基に電解コンデンサ51の検
査処理が行なわれる。ここで、図12は、検査処理の概
念を示した図であり、図12のS部は、電解コンデンサ
51の表面の反射する光を画像として取り込んだ際の画
面を表した図であり、図12のT部は、その一部から測
定した表面データが示されたグラフを表した図である。
面61に映し出されたものから分かるように、2本の電
極62,63に重なり合うように所定幅の極性マーク6
4が設けられ、その極性マーク64内には更に細い中心
ライン65が2本の電極62,63に重なり合うように
形成されている。このように、中心ライン65が電極6
2,63に重なる状態にすべく、所定の許容ズレ量を定
めて良品と判断するようにしている。
電極部分を把持された電解コンデンサ51は、図12S
部に示すように電極62,63とライン65とが重なり
合うように、撮像カメラ55に対して配置される。そし
て、配置された電解コンデンサ51は、撮像カメラ55
によって取り込まれた表面の画像が図12S部に示すよ
うに不図示のモニタに写し出される。ここで撮像カメラ
55には、CCDカメラが使用され、各撮像画素毎に画
像が取り込まれる。そして、不図示の処理手段によっ
て、撮像カメラ55の各撮像画素から得られる画像デー
タに基づいてて図12T部に示すような、受けた光の強
弱による分布を示すグラフが得られる。このとき、グラ
フの表示には画面61中の所定の検査領域66内のデー
タに基づいて行なわれる。そして、図12T部のグラフ
の内高くなった部分は、電解コンデンサ51表面から強
く光の反射した部分である。従って、極性マーク64の
部分は低く表示され、その中でも中心ライン65の部分
が高く表示される。このようなデータに基づいて所定の
検査処理が行なわれ、その良否の判断がなされる。
来の外観検査装置では次のような問題があった。即ち、
従来から当然のように、検査対象物である電解コンデン
サ51とそれに対向する撮像カメラ55との間にライト
52を配置させ、電解コンデンサ51から反射する光を
撮像カメラ55で取り込んで一連の処理を行なってい
た。ところが、上記第1従来例のものの場合では、ライ
ト52の照射方向から撮像カメラ55によって画像を取
り込んでいたため、電解コンデンサ51表面で反射する
光の内、図9又は図12S部で示すように正反射部分7
1で正反射する光が、直接撮像カメラ55に入射するこ
ととなる。このことは第2従来例でもいえることであ
り、ライト53,53によって正反射部分72で正反射
した光が、直接撮像カメラ55に入射することとなる。
な外観検査装置では、正反射する光の入射によって均一
な反射光を取り込むことができなかった。即ち、検査対
象物である電解コンデンサ51表面には、照射された光
が正反射して明るくとらえられる部位と、そうではない
乱反射して暗くとらえられる部位とが生じ、明部と暗部
のムラによって良好な映像が得られず、その結果、検出
データの正確さにも影響を与えることとなった。具体的
には、図12T部に示すように暗部を示すD部分のデー
タが持ち上げられS/N比が悪くなり、このデータに基
づく処理能力が低下することとなった。一方、図11に
示した第3従来例のものでは、電解コンデンサ51の曲
面に沿って湾曲した形状により多方向から照射すること
としたため、明部又は暗部のムラは解消されるが、特殊
加工を必要とするため装置自体のコストを上げることに
なってしまった。
く、ライトから照射された検査対象物の反射光の内、カ
メラに取り込まれる光ムラが発生することをなくした外
観検査装置を安価に提供することを目的とする。
は、検査対象物を照射する照明手段と、その照明手段に
よって照らされた検査対象物の画像を取り込む画像取込
手段と、その画像取込手段によって取り込まれた検査対
象物の画像データに基づいて所定の検査処理を行う検査
処理手段を有するものであって、円筒形状部品である検
査対象物に対して同軸上に配設する円または半円形で構
成した照明手段と検査対象面に面するように位置する画
像取込手段とを、照明手段から検査対象物に対して照射
された光の内、検査表面で正反射する反射光が画像取込
手段に入射されない位置に配設したものである。また、
本発明の外観検査装置は、前記照明手段を検査対象物の
両側に配設したものであることが望ましい。
円筒形状部品に対して同軸上に配置した円または半円形
の照明手段によって照射するので、その照明手段から照
射された光の内検査対象物表面上で正反射された光は、
検査対象面に面するように位置した画像取込手段には入
射されず、乱反射した光のみが画像取込手段に入射さ
れ、その画像取込手段によって取り込まれた検査対象物
の画像データに基づいて、検査処理手段が所定の検査処
理を行うが、その際画像取込手段が取り込む画像には光
のムラがなく、正確な画像データによって質の高い検査
処理を行なうことができる。また、本発明の外観検査装
置は、検査対象物をその両側に配置した照明手段によっ
て照射し、ムラのない、より明るい光によって得られる
画像データによって、検査処理手段が質の高い検査処理
を行うことができる。
例について説明する。図1は、本実施例の外観検査装置
の特徴部分である画像取り込み部の概念図を示したもの
である。本実施例においても検査対象物を電解コンデン
サとした場合について説明する。本実施例の外観検査装
置では、不図示のハンドチャックによってライト3と撮
像カメラ2が設けられた画像取り込み部に電解コンデン
サ1が配置される。そのライト3には、光ファイバー3
aからの光を円形のライトガイド3bからリング状に照
射するものが使用され、また撮像カメラ2には、CCD
カメラが使用される。そして、その画像取り込み部に
は、画像を取り込むために設けられた撮像カメラ2が電
解コンデンサ1の側面の検査対象面に面して配設され、
照明手段としてのライト3が電解コンデンサ1に対して
同軸になるよう配設されている。そして、このときの撮
像カメラ2とライト3とは、ライト3から照射される光
の内、電解コンデンサ1の表面で反射の法則に従って方
向を変える正反射の光Aが、直接撮像カメラ2に入射さ
れない関係が保たれている。
構成について説明する。図2は外観検査装置の検査処理
手段を示したブロック図である。画像処理手段10は、
上記位置になるように配置された撮像カメラ2に接続さ
れている。この検査処理手段10には、先ずアナログ信
号をデジタル信号に変換するA/Dコンバータ11が撮
像カメラ2に直接接続されている。そして、このA/D
コンバータ11には、撮像カメラ2で取り込んだ画像デ
ータを記憶する画像メモリ12、与えられた信号を混合
して出力するビデオミキサ13、そして画像データから
その外観を所定計算方法で計算する計算ロジック14が
それぞれ接続されている。また、画像メモリ12、そし
て計算ロジック14には、それぞれの各動作を規定する
コントロールロジック15が接続されている。また、計
算ロジック14には、計算されたデータを格納するため
の射影メモリ22が接続されている。
2、そしてこの検査処理手段10をの演算処理、制御処
理を統括的に行なうCPU16がそれぞれ双方向に接続
されている。また、このCPU16には、ROM17と
RAM18が接続されている。更に、CPU16には入
出力装置19が接続され、その入出力装置19に、外観
検査装置を駆動するためのスタート手段と、電解コンデ
ンサ1が正常か否かを検査する検査表示手段(いずれも
不図示)が接続され、また、外部入力手段としてキーボ
ード20が接続されている。また、電解コンデンサ1の
外観は、演算処理されるとともに人の目で認識できるよ
うに、取り込んだ画像を表示するディスプレイモニタ2
1がビデオミキサ13に接続されている
検査装置は次のように作用する。電解コンデンサ1は、
従来例でも示したように図3のように2本の電極31
a,31bが設けられ、本体32にはマイナス側の電極
31a側に、電極31a,31bと重なるように極性マ
ーク33が印刷されている。従って、正常に極性マーク
33が印刷されているときには、図4に示すようにディ
スプレイモニタ21の画面21aに表示された電解コン
デンサ1は、電極31a,31bが重ねられて1本に見
え、その延長上に極性マーク33が表示される。このよ
うな電解コンデンサ1を良品とする。一方、図5に示す
ように極性マーク33がズレて印刷されている場合が不
良品とされる。本実施例の外観検査装置は、このような
電解コンデンサ1の極性マーク33の良否を検査するも
のである。以下、検査の作用について説明する。
理のフローチャートを示した図である。先ず、不図示の
スタートボタンをONにすることにより検査処理手段に
電源が投入され、外観検査処理が開始される。即ち、外
観検査装置に電源が投入されると入出力装置19にスタ
ート信号が入力され、CPU16によって検査処理手段
10が駆動される。また、それと同時に電解コンデンサ
1が、所定時間間隔で図1に示した所定位置に、不図示
のハンドチャックによって配置される。そして、電解コ
ンデンサ1は、撮像カメラ2によってレンズを介してそ
の外観の映像が取り込まれることとなる。その時、電解
コンデンサ1は、その表面の映像がはっきりと現れるよ
うにライト3によって照らされる。
ンデンサ1の表面で正反射あるいは乱反射するが、図1
に示すような画像取り込み部の構成によって正反射する
光Aは、撮像カメラ2のレンズに入射されずに他の方向
へ逃げることとなる。即ち、電解コンデンサ1表面上で
反射の法則に従って方向を変える光の方向に撮像カメラ
2のレンズがないために、そのレンズには図1の点線で
示した乱反射された光Bのみが入射される。従って、電
解コンデンサ1の表面で反射され撮像カメラ2のレンズ
に入射される光は、ムラのない均一な光量の光となる。
た光Bが撮像カメラ2のレンズから入射することによ
り、外観検査処理のステップ(以下、単に「S」で表
す)1で、撮像カメラ2を構成する多数の撮像素子によ
って撮像され、更にデジタルデータへの変換を行なうこ
とによってその映像のデータが取り込まれる。即ち、撮
像カメラ2によって取り込まれた映像は、各撮像素子毎
の画像データとして検査処理手段10のA/Dコンバー
タ11に入力される。そして、そのアナログ信号である
画像データは、A/Dコンバータ11でデジタルデータ
に変換されて画像メモリ12、ビデオミキサ13、そし
て計算ロジック14に入力される。
図である。そして、図のP部はディスプレイモニタ21
に映し出される電解コンデンサ1の画像を示した図、Q
部は射影データのグラフを示した図、そしてR部は射影
データに基づく列データを示した図である。
のようにして取り込まれたデジタル画像によって行なわ
れるが、その全てのデータに基づいて行なわれる訳では
なく、画面21a中央の所定の検査領域41が設定され
て行なわれる。そこで、先ずその検査領域41のY方向
の射影データの計算が行なわれる(S2)。図8は、そ
の計算の概念図を示したものであるが、ここでは検査領
域41を便宜的に簡略化して4×3画素として示した。
Y方向の全てのデータ値を加算した列データ42が算出
される。図の各画素単位毎に示した数値は、撮像カメラ
2の撮像素子が取り込んだ光の輝度であり、具体的に
は、明るい部分が大きい値を示している。従って、図8
の例では、左端を第1データとすると、Y方向の全てを
加算した100+200+100=400の値が算出さ
れる。このように順次X方向に列データ42は、コント
ロールロジック15に基づき、計算ロジック14によっ
て算出されて射影メモリ22に記憶される。そして、こ
の列データ42によって図のQ部のグラフに示したよう
な変化をとらえることができる。
と、射影メモリ22に記憶された列データ42の内から
最大値Qmax及び最小値Qminが選択される(S
3)。そして、その値を基に計算ロジック14によっ
て、良否を検査する際の閾値Qxが計算される(S
4)。本実施例では、その閾値Qxを(Qmax+Qm
in)÷2で計算する。もちろん、数字の2に固定しな
くとも、以後の処理が期待する結果となるようキーボー
ド20により変更できる構成としてもよい。
内閾値Qxを示す画素が4個存在するはずである。そこ
で、射影メモリ22に記憶された列データ42をスキャ
ンして、閾値Qxと同値のデータを抜き出し、検査領域
41における座標Xの値を求め、閾値Qxとして記憶す
る(S5)。このとき座標は、図7の検査領域41にお
ける左下角を原点として求める。そして、求めたXの値
を原点側からそれぞれP1x,M1x,M2x,P2xとす
と、図からも分かるように、P1x,P2xが電解コンデ
ンサ1の端部のX座標を示し、M1x,M2xが極性マー
ク33の端部のX座標を示す。ここで、S5において、
閾値Qxと同値のデータを抜き出すと説明したが、これ
はQ部に示したグラフの様に連続的な変化とした場合に
は成り立つが、実際の列データ42は離散的データなの
で、列データ42のn番目のデータをAnとすると、A
n−1<閾値<An又はAn−1>閾値>Anとなる様な
Anを抜き出せばよい。
座標が求められた後は、電解コンデンサ1における極性
マーク33の良否が検査される(S6)。このときの良
否の検査は、 |(M1x−P1x)−(P2x−M2x)| < Z の計算によって行なわれる。即ち、この計算では、極性
マーク33の中心が電極31a,31bに重なった位置
からのX方向へのズレを算出する。また、Zの値は、極
性マーク33のズレの許容量を示す値であり、キーボー
ド20から入力することにより記憶される。
って電解コンデンサ1に付された極性マーク33の良否
が検査される(S6)。そして、この条件を満たさない
場合には不良品であると判断され、その信号が入出力装
置19を介して不図示の検査表示手段に送られて、そこ
で不良品との検査結果が表示される(S7)。一方、上
記条件が満たされる場合には、同じようにしてその検査
結果が検査表示手段に表示される(S7)。このように
して、1個の電解コンデンサに対して極性マークの良否
が検査され、その後もさらに順次不図示のハンドチャッ
クによって配置される電解コンデンサに対しても同様に
して検査が行なわれ、不良品と判断されたものは排除さ
れることとなる。
例について説明したが、本実施例の外観検査装置によれ
ば、撮像カメラ2とライト3とは、ライト3から照射さ
れる光の内、電解コンデンサ1の表面で反射の法則に従
って方向を変える正反射の光Aが、直接撮像カメラ2に
入射されないようにしたので、電解コンデンサ1の検査
対象表面で正反射する光が直接撮像カメラ2のレンズに
入ることがなく、光のムラによる影響を受けることのな
い射影データが取り込むことが可能となった。従って、
曲面の物体の映像を取り込むのに、そこから反射する均
一な光を取り込むことによって、まるで平面の物体から
の画像のごとく取り込むので、極性マーク33等の位置
関係を正確に認識することが可能となった。このような
ことによって、射影データを基に行なわれる極性マーク
33の良否のための検査処理が正確に行なうことが可能
となり、製品としても精度の高いものの提供が可能とな
った。また、本実施例では、特殊な装置を使用しないで
コストアップさせることなく検査処理の精度を増すこと
ができた。
が、本発明はこれに限定されるわけではなく、その趣旨
を逸脱しない範囲で様々な変更可能である。例えば、上
記実施例では、電解コンデンサを一方のみから照らした
が、両方から照らすようにしてもよい。また、照明手段
にリング状の光を照射するものを使用したが、撮像カメ
ラで取り込む電解コンデンサの上面側だけを照らす半円
状のものでもよい。更に、使用する照明手段には家庭用
のサークライン蛍光灯や、ハロゲンリングライトのよう
な一般に市販されているものでよい。また、上記実施例
では検査対象物を電解コンデンサとして説明したが、こ
のほかにも様々な物の外観検査に使用することができる
のはもちろんである。
査対象物の検査表面に対応した形状を有し、検査対象物
の検査表面に沿うように位置するその照明手段と検査対
象面に面するように位置する画像取込手段とを、照明手
段から検査対象物に対して照射された光の内、検査表面
で正反射する反射光が画像取込手段に入射されない位置
に配設したので、照明手段から照射された検査対象物の
反射光の内、画像取込手段に取り込まれる光にムラが発
生することをなくした外観検査装置を安価に提供するこ
とが可能となった。
り込み部を示した図である。
理部を示したブロック図である。
る。
状態を示した図である。
た状態を示した図である。
像検査処理のフローチャートを示した図である。
像検査処理におけるデータ処理の概念を示した図であ
る。
像検査処理における計算処理の概念を示した図である。
部を示した図である。
み部を示した図である。
み部を示した図である。
査処理におけるデータ処理の概念を示した図である。
は、検査対象物を照射する照明手段と、その照明手段に
よって照らされた検査対象物の画像を取り込む画像取込
手段と、その画像取込手段によって取り込まれた検査対
象物の画像データに基づいて所定の検査処理を行う検査
処理手段を有するものであって、円筒形状部品である検
査対象物の側面に対して同軸上に配設する円または半円
形で構成した照明手段と検査対象物の側面に面するよう
に位置する画像取込手段とを、照明手段から検査対象物
の側面に対して照射された光の内、検査表面で正反射す
る反射光が画像取込手段に入射されない位置に配設した
ものである。また、本発明の外観検査装置は、前記照明
手段を検査対象物の両側に配設したものであることが望
ましい。
Claims (2)
- 【請求項1】 検査対象物を照射する照明手段と、その
照明手段によって照らされた検査対象物の画像を取り込
む画像取込手段と、その画像取込手段によって取り込ま
れた検査対象物の画像データに基づいて所定の検査処理
を行う検査処理手段を有する外観検査装置において、 円筒形状部品である検査対象物に対して同軸上に配設す
る円または半円形で構成した照明手段と、検査対象面に
面するように位置する画像取込手段とを、 照明手段から検査対象物に対して照射された光の内、検
査表面で正反射する反射光が画像取込手段に入射されな
い位置に配設したことを特徴とする外観検査装置。 - 【請求項2】 請求項1に記載の外観検査装置におい
て、 前記照明手段を検査対象物の両側に配設したことを特徴
とする外観検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP07459995A JP3161680B2 (ja) | 1995-03-06 | 1995-03-06 | 外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP07459995A JP3161680B2 (ja) | 1995-03-06 | 1995-03-06 | 外観検査装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JPH08241402A true JPH08241402A (ja) | 1996-09-17 |
JP3161680B2 JP3161680B2 (ja) | 2001-04-25 |
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Family Applications (1)
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JP07459995A Expired - Fee Related JP3161680B2 (ja) | 1995-03-06 | 1995-03-06 | 外観検査装置 |
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JP (1) | JP3161680B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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EP3287722B1 (en) | 2016-08-23 | 2020-07-15 | Dometic Sweden AB | Cabinet for a recreational vehicle |
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-
1995
- 1995-03-06 JP JP07459995A patent/JP3161680B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2135048A2 (en) * | 2007-04-13 | 2009-12-23 | GII Acquisition, LLC DBA General Inspection, LLC | Method and system for inspecting manufactured parts and sorting the inspected parts |
EP2135048A4 (en) * | 2007-04-13 | 2013-06-19 | Gii Acquisition Llc Dba General Inspection Llc | METHOD AND SYSTEM FOR EXAMINING MANUFACTURED PARTS AND SORTING INSPECTED PARTS |
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