JPH08240469A - Flowmeter - Google Patents
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- JPH08240469A JPH08240469A JP12601895A JP12601895A JPH08240469A JP H08240469 A JPH08240469 A JP H08240469A JP 12601895 A JP12601895 A JP 12601895A JP 12601895 A JP12601895 A JP 12601895A JP H08240469 A JPH08240469 A JP H08240469A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/20—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow
- G01F1/32—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow using swirl flowmeters
- G01F1/3227—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow using swirl flowmeters using fluidic oscillators
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、広い流量範囲で流量を
計測できるようにした流量計に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flow meter capable of measuring a flow rate in a wide flow rate range.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、ガスメータ等に利用される流量計
として、配管中を流れる流体の流速を熱線流速計等の流
速センサにより測定し、その流速から流量を求める流量
計や、フルイディック流量計が知られている。フルイデ
ィック流量計は、噴流を発生させるノズルの下流側に、
一対の側壁によって流路拡大部を形成すると共に、側壁
の外側に設けられたリターンガイドによって、ノズルを
通過した流体を各側壁の外側に沿ってノズルの噴出口側
へ導く一対のフィードバック流路を形成し、ノズルを通
過した流体が一対のフィードバック流路を交互に流れる
現象（本出願において、フルイディック発振という。）
を利用し、フルイディック発振の周波数や周期に基づい
て流体の流量を計測するものである。2. Description of the Related Art Conventionally, as a flow meter used in a gas meter or the like, a flow meter or a fluidic flow meter in which the flow velocity of a fluid flowing in a pipe is measured by a flow velocity sensor such as a hot wire flow velocity meter and the flow rate is obtained from the flow velocity. It has been known. The fluidic flowmeter is located on the downstream side of the nozzle that generates the jet.
The pair of side walls form a flow passage enlarged portion, and the return guides provided outside the side walls form a pair of feedback flow passages that guide the fluid that has passed through the nozzles to the ejection port side of the nozzles along the outside of each side wall. A phenomenon in which a fluid that has been formed and has passed through a nozzle alternately flows through a pair of feedback channels (in this application, referred to as fluidic oscillation).
Is used to measure the fluid flow rate based on the frequency and period of fluidic oscillation.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
フルイディック流量計では、流量の計測領域があまり広
くないという問題点があった。また、従来の流速センサ
を用いた流量計では、配管中の流速が、配管形状の違い
や曲がり部、分岐部等の存在、あるいは流量の大小によ
って、同一断面上の流速分布が異なることから、流速の
測定値を正確に求めることができず、その結果、流量の
計測範囲を広くすることができないという問題点があっ
た。However, the conventional fluidic flowmeter has a problem that the flow rate measurement region is not very wide. Further, in a flow meter using a conventional flow velocity sensor, the flow velocity in the pipe is different from the flow velocity distribution on the same cross section due to the difference in the pipe shape, the presence of a bent portion, a branch portion, etc., or the magnitude of the flow amount, There is a problem that the measured value of the flow velocity cannot be accurately obtained, and as a result, the measurement range of the flow rate cannot be widened.
【０００４】なお、上述のように従来のフルイディック
流量計は計測領域があまり広くないため、例えば特開昭
６２−１７５６１９号公報に示されるように、それぞれ
フルイディック発振を生成、検出する大流量用の測定部
と小流量用の測定部とを直列に接続した流量計も提案さ
れている。この流量計では、小流量用の測定部を迂回す
るバイパス通路と、このバイパス通路を開閉する弁とが
設けられ、上流側圧力と下流側圧力との差圧の大きさが
設定値未満のときは弁を閉じ、差圧の大きさが設定値以
上になったら弁を開けるようになっている。As described above, since the conventional fluidic flowmeter does not have a wide measurement area, for example, as shown in Japanese Patent Laid-Open No. 175619/1987, large flowrates for generating and detecting fluidic oscillations are detected. There is also proposed a flow meter in which a measurement unit for air flow and a measurement unit for small flow rate are connected in series. This flow meter is provided with a bypass passage that bypasses the measuring portion for small flow rate and a valve that opens and closes the bypass passage, and when the magnitude of the differential pressure between the upstream pressure and the downstream pressure is less than the set value. Closes the valve and opens the valve when the differential pressure exceeds a set value.
【０００５】しかしながら、前記公報に示される流量計
では、上流側圧力と下流側圧力との差圧の大きさが設定
値以上になったらバイパス通路を開閉する弁を開けるた
め、この流量計をガスメータとして用いた場合、大流量
時に弁が開くまでに圧力損失が大きくなり、ガスの供給
不良を生じるおそれがある。また、ガスに圧力変動があ
った場合、特に小流量用の測定部においてフルイディッ
ク発振が乱れ、正確な流量を計測できなくなる場合があ
るという問題点がある。However, in the flowmeter disclosed in the above publication, the valve for opening and closing the bypass passage is opened when the magnitude of the differential pressure between the upstream pressure and the downstream pressure exceeds a set value. When used as, the pressure loss increases until the valve opens at a large flow rate, which may cause gas supply failure. Further, there is a problem that when the gas has a pressure fluctuation, the fluidic oscillation is disturbed particularly in the measuring unit for a small flow rate, and the accurate flow rate cannot be measured.
【０００６】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その第１の目的は、広い流量範囲で流量を計測で
きるようにした流量計を提供することにある。The present invention has been made in view of the above problems, and a first object thereof is to provide a flow meter capable of measuring the flow rate in a wide flow rate range.
【０００７】本発明の第２の目的は、上記目的に加え、
大流量時における圧力損失を小さくすることができ、且
つ圧力変動の影響を受けやすい小流量時において圧力変
動を影響を低減して正確に流量を計測できるようにした
流量計を提供することにある。A second object of the present invention is, in addition to the above objects,
(EN) It is possible to provide a flow meter capable of reducing a pressure loss at a large flow rate and easily measuring a flow rate by reducing an influence of a pressure fluctuation at a small flow rate which is easily influenced by a pressure fluctuation. .
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】請求項１記載の流量計
は、流体が通過する大流量計測用の第１の流路と、この
第１の流路と並行するように形成された小流量計測用の
第２の流路と、第１の流路を通過する流体の流量に応じ
た信号を出力する第１の流量計測部と、第２の流路を通
過する流体の流量に応じた信号を出力する第２の流量計
測部と、第１の流路を開閉する第１の遮断弁と、第２の
流路を開閉する第２の遮断弁と、第１の流量計測部の出
力と第２の流量計測部の出力の少なくとも一方に基づい
て流量を算出する流量演算手段と、この流量演算手段に
よって算出された流量に応じて第１の遮断弁と第２の遮
断弁を制御して、流体が第１の流路を通過する状態と流
体が第２の流路を通過する状態と第１の流路および第２
の流路が共に閉じられた状態とを選択する弁制御手段と
を備えたものである。A flowmeter according to claim 1, wherein a first flow path for measuring a large flow rate through which a fluid passes and a small flow rate formed in parallel with the first flow path. A second flow path for measurement, a first flow rate measurement unit that outputs a signal according to the flow rate of the fluid passing through the first flow path, and a flow rate of the fluid passing through the second flow path A second flow rate measurement unit that outputs a signal, a first cutoff valve that opens and closes the first flow path, a second cutoff valve that opens and closes the second flow path, and an output of the first flow rate measurement unit And a flow rate calculating means for calculating the flow rate based on at least one of the outputs of the second flow rate measuring section, and controlling the first shutoff valve and the second shutoff valve according to the flow rate calculated by the flow rate computing means. A state where the fluid passes through the first channel, a state where the fluid passes through the second channel, the first channel and the second channel.
And a valve control means for selecting a state in which both flow paths are closed.
【０００９】この流量計では、第１の流量計測部によっ
て、第１の流路を通過する流体の流量に応じた信号が出
力され、第２の流量計測部によって、第２の流路を通過
する流体の流量に応じた信号が出力され、流量演算手段
によって、第１の流量計測部の出力と第２の流量計測部
の出力の少なくとも一方に基づいて流量が算出される。
弁制御手段は、流量演算手段によって算出された流量に
応じて第１の遮断弁と第２の遮断弁を制御して、流体が
第１の流路を通過する状態と流体が第２の流路を通過す
る状態と第１の流路および第２の流路が共に閉じられた
状態とを選択する。In this flow meter, the first flow rate measuring section outputs a signal corresponding to the flow rate of the fluid passing through the first flow path, and the second flow rate measuring section passes through the second flow path. A signal corresponding to the flow rate of the fluid to be output is output, and the flow rate calculation means calculates the flow rate based on at least one of the output of the first flow rate measurement unit and the output of the second flow rate measurement unit.
The valve control means controls the first shutoff valve and the second shutoff valve in accordance with the flow rate calculated by the flow rate calculation means, and a state in which the fluid passes through the first flow path and a fluid flows in the second flow path. A state of passing through the passage and a state in which both the first flow passage and the second flow passage are closed are selected.
【００１０】請求項２記載の流量計は、請求項１記載の
流量計において、第２の流路が第１の流路よりも断面積
が小さく形成され、第２の流量計測部が第２の流路を通
過する流体の流速を検出する流速センサを含むように構
成したものである。A flowmeter according to a second aspect is the flowmeter according to the first aspect, in which the second flow passage is formed to have a smaller cross-sectional area than the first flow passage, and the second flow rate measuring section has the second flow passage. It is configured to include a flow velocity sensor that detects the flow velocity of the fluid passing through the flow path.
【００１１】請求項３記載の流量計は、請求項１または
２記載の流量計において、第１の流量計測部が第１の流
路を通過する流体の流速を検出する流速センサを含むよ
うに構成したものである。According to a third aspect of the present invention, in the flowmeter according to the first or second aspect, the first flow rate measuring section includes a flow velocity sensor for detecting a flow velocity of the fluid passing through the first flow path. It is composed.
【００１２】請求項４記載の流量計は、請求項１または
２記載の流量計において、第１の流量計測部が第１の流
路を通過する流体の流速を複数箇所で検出する複数の流
速センサを含み、流量演算手段が第１の流量計測部の出
力に基づいて流量を算出する場合、複数の流速センサに
よって検出される流速の平均値に基づいて流量を算出す
るように構成したものである。A flowmeter according to a fourth aspect is the flowmeter according to the first or second aspect, in which the first flow rate measuring section detects a plurality of flow rates of the fluid passing through the first flow path. When the flow rate calculation means includes a sensor and calculates the flow rate based on the output of the first flow rate measurement unit, the flow rate calculation means calculates the flow rate based on the average value of the flow rates detected by the plurality of flow rate sensors. is there.
【００１３】請求項５記載の流量計は、請求項２記載の
流量計において、第２の流路内において流速センサの上
流側に設けられ、流体の圧力変動を吸収する圧力変動吸
収部を更に備えたものである。A flowmeter according to a fifth aspect of the present invention is the flowmeter according to the second aspect, further comprising a pressure fluctuation absorbing portion provided upstream of the flow velocity sensor in the second flow path and absorbing a pressure fluctuation of the fluid. Be prepared.
【００１４】この流量計では、圧力変動吸収部を通過し
た流体が第２の流路を通過する状態では、圧力変動吸収
部によって流体の圧力変動を吸収しながら、流速センサ
の出力に基づいて流量を計測することが可能となる。流
体が第１の流路を通過する状態では、流体の圧力損失を
抑えながら、第１の流量計測部の出力に基づいて流量を
計測することが可能となる。In this flowmeter, when the fluid that has passed through the pressure fluctuation absorbing portion passes through the second flow path, the flow fluctuation is absorbed based on the output of the flow velocity sensor while absorbing the pressure fluctuation of the fluid by the pressure fluctuation absorbing portion. Can be measured. When the fluid passes through the first flow path, it is possible to measure the flow rate based on the output of the first flow rate measurement unit while suppressing the pressure loss of the fluid.
【００１５】請求項６記載の流量計は、請求項５記載の
流量計において、圧力変動吸収部が、流体収容室を形成
する容器と、流体が流体収容室内を通過するように容器
に設けられた２つの孔とを有するように構成したもので
ある。A flowmeter according to a sixth aspect of the present invention is the flowmeter according to the fifth aspect, wherein the pressure fluctuation absorber is provided in the container forming the fluid storage chamber and in the container so that the fluid passes through the fluid storage chamber. It is configured to have two holes.
【００１６】請求項７記載の流量計は、請求項１、２、
５または６記載の流量計において、第１の流量計測部
が、第１の流路内に設けられ、ノズルから噴出される流
体によるフルイディック発振を生成するフルイディック
発振生成部と、このフルイディック発振生成部によって
生成されるフルイディック発振を検出するフルイディッ
ク発振検出センサとを含むように構成したものである。A flowmeter according to claim 7 is the flowmeter according to claim 1, 2 or
In the flowmeter according to 5 or 6, the first flow rate measurement unit is provided in the first flow path, and a fluidic oscillation generation unit that generates fluidic oscillation by the fluid ejected from the nozzle; and the fluidic oscillation generation unit. It is configured to include a fluidic oscillation detection sensor that detects fluidic oscillation generated by the oscillation generation unit.
【００１７】[0017]
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て詳細に説明する。Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings.
【００１８】図１は本発明の第１の実施例に係る流量計
の構成を示す断面図、図２は図１のＡ−Ａ矢視方向の断
面図である。本実施例に係る流量計は、ガスメータとし
て使用されるものである。図１に示すように、流量計
は、気体（ガス）を受け入れる入口部１１と気体を排出
する出口部１２とを有する本体１０を備えている。本体
１０内には、隔壁１３が設けられ、入口部１１から隔壁
１３にかけて流路１４が設けられ、隔壁１３から出口部
１２にかけて大流量計測用の第１の流路としての流路１
５が設けられている。隔壁１３には開口部１６が設けら
れている。開口部１６の上流側には、開口部１６を開閉
する遮断弁４１が設けられている。遮断弁４０にはロッ
ド４２の一端が接続されている。このロッド４２の他端
側は、本体１０に固定されたアクチュエータ５１に接続
されている。このアクチュエータ５１はロッド４２を介
して遮断弁４１を駆動して開口部１６を開閉するように
なっている。FIG. 1 is a sectional view showing the structure of a flowmeter according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view taken along the line AA of FIG. The flowmeter according to the present embodiment is used as a gas meter. As shown in FIG. 1, the flow meter includes a main body 10 having an inlet portion 11 for receiving gas (gas) and an outlet portion 12 for discharging gas. A partition wall 13 is provided in the main body 10, a flow channel 14 is provided from the inlet portion 11 to the partition wall 13, and a flow channel 1 as a first flow channel for large flow rate measurement from the partition wall 13 to the outlet portion 12.
5 are provided. The partition wall 13 is provided with an opening 16. A shutoff valve 41 that opens and closes the opening 16 is provided on the upstream side of the opening 16. One end of a rod 42 is connected to the shutoff valve 40. The other end of the rod 42 is connected to an actuator 51 fixed to the main body 10. The actuator 51 drives the shutoff valve 41 via the rod 42 to open and close the opening 16.
【００１９】本体１０内には、更に、隔壁１６の上流側
から流路１５の途中まで、流路１５と並行するように、
小流量計測用流路１７が設けられている。この小流量計
測用流路１７は流路１５よりも断面積が小さく形成され
ている。小流量計測用流路１７内には、この小流量計測
用流路１７を通過する気体の流速を検出する流速センサ
１８が設けられている。流速センサ１８は、図示しない
が、発熱部とこの発熱部の上流側および下流側に配設さ
れた２つの温度センサを有し、２つの温度センサによっ
て検出される温度の差を一定に保つために必要な発熱部
に対する供給電力から流速に対応する流量を求めたり、
一定電流または一定電力で発熱部を加熱し、２つの温度
センサによって検出される温度の差から流量を求めるこ
とができるようになっている。小流量計測用流路１７の
上流側には、小流量計測用流路１７の入口部を開閉する
遮断弁４３が設けられている。遮断弁４３にはロッド４
４の一端が接続されている。このロッド４４の他端側
は、本体１０に固定されたアクチュエータ５２に接続さ
れている。このアクチュエータ５２はロッド４４を介し
て遮断弁４３を駆動して小流量計測用流路１７の入口部
を開閉するようになっている。Further, in the main body 10, from the upstream side of the partition wall 16 to the middle of the flow path 15, the flow path 15 is arranged in parallel with the flow path 15.
A small flow rate measurement flow path 17 is provided. The small flow rate measuring flow path 17 is formed to have a smaller cross-sectional area than the flow path 15. In the small flow rate measurement flow path 17, a flow rate sensor 18 that detects the flow rate of the gas passing through the small flow rate measurement flow path 17 is provided. Although not shown, the flow velocity sensor 18 has a heat generating part and two temperature sensors arranged on the upstream side and the downstream side of the heat generating part, in order to keep a constant temperature difference detected by the two temperature sensors. To find the flow rate corresponding to the flow velocity from the power supplied to the heat generating part required for
The heat generating portion is heated with a constant current or constant power, and the flow rate can be obtained from the difference in temperature detected by the two temperature sensors. A cutoff valve 43 that opens and closes the inlet of the small flow rate measurement flow path 17 is provided on the upstream side of the small flow rate measurement flow path 17. The shut-off valve 43 has a rod 4
One end of 4 is connected. The other end of the rod 44 is connected to the actuator 52 fixed to the main body 10. The actuator 52 drives the shutoff valve 43 via the rod 44 to open and close the inlet portion of the small flow rate measurement flow path 17.
【００２０】小流量計測用流路１７の出口部よりも下流
側における本体１０の外側には、流路１５に連通するガ
イド部材挿入部２１が設けられている。ガイド部材挿入
部２１には円筒形状のガイド部材２２が挿入されてい
る。ガイド部材２２は鋼等の金属や樹脂等により形成さ
れる。このガイド部材２２は、流路１５内に挿入される
部分に、気体ａの流れ方向に沿って複数、例えば３個の
流体通過孔２３1 ，２３2 ，２３3 が設けられている。
ガイド部材２２の内部中空部には長手方向に沿って板状
の仕切部２５が設けられ、この仕切部２５の両側にそれ
ぞれ図３に示すように半円柱状のユニット挿入部２２
ａ，２２ｂが設けられている。仕切部２５には３個の流
体通過孔２３1 ，２３2 ，２３3 に対応して同じく３個
の流体通過孔２６1 ，２６2 ，２６3 が形成されてい
る。A guide member insertion portion 21 communicating with the flow passage 15 is provided outside the main body 10 on the downstream side of the outlet of the small flow rate measuring flow passage 17. A cylindrical guide member 22 is inserted into the guide member insertion portion 21. The guide member 22 is formed of metal such as steel or resin. The guide member 22 is provided with a plurality of, for example, three fluid passage holes 23 1 , 23 2 , 23 3 along the flow direction of the gas a in a portion inserted into the flow path 15.
A plate-shaped partition portion 25 is provided in the inner hollow portion of the guide member 22 along the longitudinal direction, and a semicylindrical unit insertion portion 22 is provided on both sides of the partition portion 25 as shown in FIG.
a and 22b are provided. The partition portion 25 is also formed with three fluid passage holes 26 1 , 26 2 , 26 3 corresponding to the three fluid passage holes 23 1 , 23 2 , 23 3 .
【００２１】ガイド部材２２の本体１０の外部に位置し
ている部分には、流体通過孔２３1，２３2 ，２３3 の
長手方向（すなわち気体ａの流れ方向）に沿って、板状
の指標部２４が設けられ、ガイド部材２２をガイド部材
挿入部２１に挿入した後、この指標部２４を見て、流体
通過孔２３1 ，２３2 ，２３3 を気体ａの流れ方向に正
確に向けることができるようになっている。なお、この
指標部２４はガイド部材２２の設置方向を定めることが
できるものであれば良く、マーク表示等でも良い。At the portion of the guide member 22 located outside the main body 10, a plate-shaped index is provided along the longitudinal direction of the fluid passage holes 23 1 , 23 2 , 23 3 (that is, the flow direction of the gas a). A portion 24 is provided, and after inserting the guide member 22 into the guide member insertion portion 21, by looking at the index portion 24, the fluid passage holes 23 1 , 23 2 , 23 3 are accurately oriented in the flow direction of the gas a. You can do it. It should be noted that the index portion 24 may be any one that can determine the installation direction of the guide member 22, and may be a mark display or the like.
【００２２】ガイド部材２２には流速センサユニット２
７が挿入されるようになっている。流速センサユニット
２７は、例えば樹脂で形成された円柱状部材を２つ割り
にした構造であり、２つの半円柱状のユニット部材２７
Ａ，２７Ｂから構成されている。これらユニット部材２
７Ａ，２７Ｂには、ガイド部材２２に形成された３個の
流体通過孔２３1 ，２３2 ，２３3 に対応して３個の流
体通過孔２８1 ，２８2 ，２８3 が形成されている。２
つのユニット部材２７Ａ，２７Ｂのうち、気体ａの流れ
方向に対して下流側に位置するユニット部材２７Ｂに
は、流体通過孔２３1 ，２３2 ，２３3 の各々に臨むよ
うに流速センサ２９1 ，２９2 ，２９3 が配設されてい
る。The guide member 22 includes a flow velocity sensor unit 2
7 is to be inserted. The flow velocity sensor unit 27 has a structure in which a columnar member made of, for example, resin is divided into two, and has two semi-columnar unit members 27.
It is composed of A and 27B. These unit members 2
7A and 27B are formed with three fluid passage holes 28 1 , 28 2 and 28 3 corresponding to the three fluid passage holes 23 1 , 23 2 and 23 3 formed in the guide member 22. . Two
Of the two unit members 27A and 27B, the unit member 27B located on the downstream side with respect to the flow direction of the gas a has a flow velocity sensor 29 1 , so as to face each of the fluid passage holes 23 1 , 23 2 , and 23 3 . 29 2 and 29 3 are provided.
【００２３】図３はガイド部材２２と流速センサユニッ
ト２７とを取り出して、流速センサユニット２７の取付
状態を表すものである。ガイド部材２２のユニット挿入
部２２ａには流速センサユニット２７を構成する一方の
ユニット部材２７Ａが、ユニット挿入部２２ｂには流速
センサユニット２７を構成する他方のユニット部材２７
Ｂがそれぞれ挿入される。FIG. 3 shows the mounting state of the flow velocity sensor unit 27 with the guide member 22 and the flow velocity sensor unit 27 taken out. The unit insertion portion 22a of the guide member 22 has one unit member 27A constituting the flow velocity sensor unit 27, and the unit insertion portion 22b has the other unit member 27 constituting the flow velocity sensor unit 27.
B is inserted respectively.
【００２４】ガイド部材挿入部２１よりも下流側におけ
る本体１０には、流路１５の内外を連通する導圧孔３０
が設けられている。導圧孔３０に対応する本体２０の外
側には、導圧孔３０を介して流路１５内の気体の圧力を
検出する圧力センサ３１が設けられている。The body 10 on the downstream side of the guide member insertion portion 21 has a pressure guiding hole 30 for communicating the inside and outside of the flow path 15.
Is provided. A pressure sensor 31 that detects the pressure of the gas in the flow path 15 via the pressure guiding hole 30 is provided outside the main body 20 corresponding to the pressure guiding hole 30.
【００２５】図４は本実施例に係る流量計の回路部分の
構成を示すブロック図である。この図に示すように、流
量計は、流速センサ１８の出力信号に基づいて流速を演
算する流速演算部６１と、流速センサ２９1 ，２９2 ，
２９3 各々の出力信号に基づいて、流路１５内の複数の
位置における流速の平均値を演算する平均流速演算部６
２と、流速演算部６１の出力と平均流速演算部６２の出
力の少なくとも一方に基づいて流量を算出する流量演算
部６４と、この流量演算部６４によって算出された流量
を積算して積算流量を算出する積算流量演算部６５と、
この積算流量演算部６５によって算出された積算流量を
表示する表示部６６と、流量演算部６４によって算出さ
れた流量と圧力センサ３１の出力信号に応じて、アクチ
ュエータ５１，５２を制御すると共に、異常時に表示部
６６を用いて警報表示を行う弁制御部６７とを備えてい
る。流量演算部６４は、流速演算部６１で求められた流
速あるいは平均流速演算部６２で求められた流速の平均
値に所定の配管形状係数を掛けて流量を算出するように
なっている。流速演算部６１、平均流速演算部６２、流
量演算部６４、積算流量演算部６５および弁制御部６７
は、例えばマイクロコンピュータによって構成される。FIG. 4 is a block diagram showing the configuration of the circuit portion of the flowmeter according to this embodiment. As shown in this figure, the flowmeter includes a flow velocity calculation unit 61 that calculates the flow velocity based on the output signal of the flow velocity sensor 18, flow velocity sensors 29 1 , 29 2 ,
29 3 An average flow velocity calculation unit 6 that calculates the average value of the flow velocity at a plurality of positions in the flow path 15 based on the output signal of each of them.
2, a flow rate calculation unit 64 that calculates a flow rate based on at least one of the output of the flow velocity calculation unit 61 and the output of the average flow velocity calculation unit 62, and the flow rate calculated by this flow rate calculation unit 64 is integrated to obtain an integrated flow rate. An integrated flow rate calculation unit 65 for calculating,
A display unit 66 that displays the integrated flow rate calculated by the integrated flow rate calculation unit 65, and controls the actuators 51 and 52 according to the flow rate calculated by the flow rate calculation unit 64 and the output signal of the pressure sensor 31. A valve control unit 67 for displaying an alarm using the display unit 66 is provided. The flow rate calculation unit 64 calculates the flow rate by multiplying the flow velocity calculated by the flow velocity calculation unit 61 or the average value of the flow velocity calculated by the average flow velocity calculation unit 62 by a predetermined pipe shape factor. Flow velocity calculation unit 61, average flow velocity calculation unit 62, flow rate calculation unit 64, integrated flow rate calculation unit 65, and valve control unit 67.
Is composed of, for example, a microcomputer.
【００２６】次に、本実施例に係る流量計の動作につい
て説明する。Next, the operation of the flowmeter according to this embodiment will be described.
【００２７】初めは、図１に示したように、遮断弁４１
が開口部１６を閉じ且つ遮断弁４３が小流量計測用流路
１７を開放した状態になっている。この状態では、入口
部１１から取り入れられた気体は小流量計測用流路１７
を流れ、ガイド部材２２に形成された流体通過孔２
３1 ，２３2 ，２３3 、流速センサユニット２７に形成
された流体通過孔２８1 ，２８2 ，２８3 、および仕切
部２５に形成された流体通過孔２６1 ，２６2 ，２６3
を通過して、出口部１２から排出される。流速センサ１
８は小流量計測用流路１７を通過する気体の流速を検出
し、流速センサ２９1 ，２９2 ，２９3 は流体通過孔２
３1 〜２３3 ，２８1 〜２８3 ，２６1 〜２６3 を通過
する気体の流速を検出する。流速演算部６１は流速セン
サ１８の出力信号に基づいて流速を演算し、平均流速演
算部６２は流速センサ２９1 ，２９2，２９3 各々の出
力信号に基づいて流速の平均値を演算する。Initially, as shown in FIG. 1, the shut-off valve 41
Closes the opening 16 and the shutoff valve 43 opens the small flow rate measuring flow path 17. In this state, the gas taken in from the inlet portion 11 has a small flow rate measuring flow path 17
Flow passage 2 formed in the guide member 22
3 1 , 23 2 , 23 3 , fluid passage holes 28 1 , 28 2 , 28 3 formed in the flow velocity sensor unit 27, and fluid passage holes 26 1 , 26 2 , 26 3 formed in the partition 25.
And is discharged from the outlet 12. Flow velocity sensor 1
8 detects the flow velocity of the gas passing through the small flow rate measuring flow path 17, and the flow velocity sensors 29 1 , 29 2 , 29 3 are the fluid passage holes 2
The flow velocity of the gas passing through 3 1 to 23 3 , 28 1 to 28 3 , 26 1 to 26 3 is detected. The flow velocity calculation unit 61 calculates the flow velocity based on the output signal of the flow velocity sensor 18, and the average flow velocity calculation unit 62 calculates the average value of the flow velocity based on the output signals of the flow velocity sensors 29 1 , 29 2 , 29 3 .
【００２８】流量演算部６４は、例えば、流速演算部６
１の出力と平均流速演算部６２の出力に基づいてそれぞ
れ流量を算出し、平均流速演算部６２の出力に基づいて
算出した流量が、予め範囲が設定された小流量側の流量
域にあるときには、流速演算部６１の出力に基づいて算
出した流量を表す信号を積算流量演算部６５に出力す
る。積算流量演算部６５は流量演算部６４の出力信号に
基づいて積算流量を算出し、この積算流量は表示部６６
によって表示される。なお、流量演算部６４において、
流速演算部６１の出力に基づいて算出される流量範囲は
例えば０〜５００リットル／時間であり、平均流速演算
部６２の出力に基づいて算出される流量範囲は例えば０
〜５０ｍ3 ／時間である。The flow rate calculator 64 is, for example, the flow velocity calculator 6
When the flow rate calculated based on the output of No. 1 and the output of the average flow velocity calculation unit 62 is within the flow amount range on the small flow rate side, the flow amount calculated based on the output of the average flow velocity calculation unit 62 is A signal representing the flow rate calculated based on the output of the flow velocity calculation unit 61 is output to the integrated flow rate calculation unit 65. The integrated flow rate calculation unit 65 calculates the integrated flow rate based on the output signal of the flow rate calculation unit 64, and the integrated flow rate is displayed on the display unit 66.
Displayed by. In the flow rate calculation unit 64,
The flow rate range calculated based on the output of the flow velocity calculation unit 61 is, for example, 0 to 500 liters / hour, and the flow rate range calculated based on the output of the average flow velocity calculation unit 62 is 0, for example.
~ 50 m 3 / hour.
【００２９】この状態から、流量が増加して、流量演算
部６１において平均流速演算部６２の出力に基づいて算
出した流量が、予め範囲が設定された大流量側の流量域
に入ると、弁制御部６７はアクチュエータ５１を動作さ
せて、遮断弁４１が開口部１６を開放した状態にする。
この状態では、気体は開口部１６を通過し、流路１５を
通過し、流体通過孔２３1 〜２３3 ，２８1 〜２８3 ，
２６1 〜２６3 を通過して、出口部１２から排出され
る。また、流量演算部６４は、平均流速演算部６２の出
力に基づいて算出した流量を表す信号を積算流量演算部
６５に出力する。From this state, when the flow rate is increased and the flow rate calculated by the flow rate calculation section 61 based on the output of the average flow velocity calculation section 62 enters the flow rate range on the large flow rate side, the range is set, The control unit 67 operates the actuator 51 so that the shutoff valve 41 opens the opening 16.
In this state, the gas passes through the opening 16 and the flow path 15, and the fluid passage holes 23 1 to 23 3 , 28 1 to 28 3 ,
After passing through 26 1 to 26 3 , it is discharged from the outlet section 12. The flow rate calculation unit 64 also outputs a signal representing the flow rate calculated based on the output of the average flow velocity calculation unit 62 to the integrated flow rate calculation unit 65.
【００３０】この状態から、流量が減少して再び小流量
側の流量域に入ると、弁制御部６７はアクチュエータ５
１を動作させて、遮断弁４１が開口部１６を閉じ且つ遮
断弁４３が小流量計測用流路１７を開放した状態とす
る。また、流量演算部６４は、流速演算部６１の出力に
基づいて算出した流量を表す信号を積算流量演算部６５
に出力する。From this state, when the flow rate decreases and enters the flow rate region on the small flow rate side again, the valve control section 67 causes the actuator 5
1 is operated so that the shutoff valve 41 closes the opening 16 and the shutoff valve 43 opens the small flow rate measurement flow path 17. In addition, the flow rate calculation unit 64 outputs a signal representing the flow rate calculated based on the output of the flow velocity calculation unit 61 to the integrated flow rate calculation unit 65.
Output to.
【００３１】また、弁制御部６７は、流量演算部６４が
所定量以上の流量を検出した場合や所定の流量を所定時
間以上検出した場合や、圧力センサ３１によって気体の
圧力が所定値以下に低下したことが検出された場合等の
異常時に、アクチュエータ５１，５２を動作させ、遮断
弁４１が開口部１６を閉じ且つ遮断弁４３が小流量計測
用流路１７を閉じた状態とする。この状態では、流路１
５と小流量計測用流路１７が共に閉じられ、流量計の下
流側への気体（ガス）の供給が遮断される。また、弁制
御部６７は、異常時には、表示部６６を用いて警報表示
を行う。Further, the valve control section 67 detects that the flow rate calculating section 64 detects a flow rate of a predetermined amount or more, or detects a predetermined flow rate for a predetermined time or more, or the pressure sensor 31 makes the pressure of gas below a predetermined value. In the event of an abnormality such as when a decrease is detected, the actuators 51 and 52 are operated so that the shutoff valve 41 closes the opening 16 and the shutoff valve 43 closes the small flow rate measurement flow path 17. In this state, the flow path 1
5 and the small flow rate measurement flow path 17 are both closed, and the supply of gas to the downstream side of the flow meter is shut off. Further, the valve control unit 67 uses the display unit 66 to display an alarm when an abnormality occurs.
【００３２】以上説明したように本実施例によれば、流
路１５と並行に断面積の小さい小流量計測用流路１７を
設け、大流量側の流量域では流路１５内に設けられた複
数の流速センサ２９1 ，２９2 ，２９3 によって検出さ
れる流速の平均値に基づいて流量および積算流量を算出
し、小流量側の流量域では小流量計測用流路１７内に設
けられた流速センサ１８の出力に基づいて流量および積
算流量を算出するようにしたので、広い流量範囲で流量
および積算流量を計測することができる。しかも、大流
量側の流量域では、複数の流速センサ２９1 ，２９2 ，
２９3 によって検出される流速の平均値に基づいて流量
を算出しているため、流量の大小等によって流路１５内
の流速分布が変化しても、１つの流速センサの出力に基
づいて流量を算出する場合に比べて、より正確に流量を
計測することができ、流量計測範囲を広くすることがで
きる。As described above, according to the present embodiment, the small flow rate measuring flow path 17 having a small cross-sectional area is provided in parallel with the flow path 15, and the flow rate region on the large flow rate side is provided in the flow path 15. calculating the flow rate and the integrated flow rate based on the average value of the flow velocity detected by the plurality of flow velocity sensors 29 1, 29 2, 29 3, the flow rate range of small flow rate side provided on the small flow rate measuring flow path 17 Since the flow rate and the integrated flow rate are calculated based on the output of the flow velocity sensor 18, the flow rate and the integrated flow rate can be measured in a wide flow rate range. Moreover, in the flow rate region on the large flow rate side, a plurality of flow velocity sensors 29 1 , 29 2 ,
Because it calculates the flow rate based on the average value of the flow velocity detected by the 29 3, even if the flow velocity distribution in the flow channel 15 by the flow rate magnitude such as the changes, the flow rate based on the output of one flow sensor The flow rate can be measured more accurately and the flow rate measurement range can be widened as compared with the case of calculation.
【００３３】また、流路１５と並行に、小流量時におけ
る流量を計測するための断面積の小さい専用の小流量計
測用流路１７を設け、流量に応じて遮断弁４１，４３に
よって流路を切り換え、小流量時には気体が小流量計測
用流路１７を通過し、大流量時には気体が断面積の大き
い流路１５を通過するようにしたので、大流量時におけ
る圧力損失を大きくすることなく、小流量時における気
体の流速を大きくすることができるので、小流量時にお
ける流量計測の精度を向上させることができる。Further, in parallel with the flow path 15, a dedicated small flow rate measuring flow path 17 having a small cross-sectional area for measuring the flow rate at the time of a small flow rate is provided, and the flow paths are cut off by the shutoff valves 41 and 43 according to the flow rate. Since the gas passes through the small flow rate measuring flow path 17 at the time of the small flow rate and the gas passes through the flow path 15 having a large cross-sectional area at the time of the large flow rate without increasing the pressure loss at the time of the large flow rate. Since the flow velocity of gas at a small flow rate can be increased, the accuracy of flow rate measurement at a small flow rate can be improved.
【００３４】図５は本発明の第２の実施例に係る流量計
の構成を示す断面図である。この図に示すように、本実
施例では、流路１５の途中に、第１の実施例における流
速センサユニット２７の代わりにフルイディック発振生
成部７０を設けている。フルイディック発振生成部７０
は、ノズル７１と、このノズル７１の下流側に設けら
れ、拡大された流路を形成する一対の側壁７３，７４を
有している。この側壁７３，７４の間は、所定の間隔を
開けて、上流側に第１ターゲット７５、下流側に第２タ
ーゲット７６がそれぞれ配設されている。側壁７３，７
４の外側には、ノズル７１を通過した気体を各側壁７
３，７４の外周部に沿ってノズル７１の噴出口側へ帰還
させる一対のフィードバック流路７７，７８を形成する
リターンガイド７９が配設されている。フィードバック
流路７７，７８の各出口部分と出口部１２との間には、
リターンガイド７９の背面と本体１０とによって、一対
の排出路８１，８２が形成されている。ノズル７１の噴
出口の近傍には導圧孔８３，８４が設けられ、本体１０
の底部の外側には、図示しない導圧路を介して導圧孔８
３，８４に連通し、導圧孔８３と導圧孔８４における差
圧を検出するフルイディック発振検出センサとしての圧
電膜センサ８５（図５では図示せず。）が設けられてい
る。なお、本実施例では、導圧孔３０および圧力センサ
３１は、フルイディック発振生成部７０の上流側に設け
られている。FIG. 5 is a sectional view showing the structure of a flowmeter according to the second embodiment of the present invention. As shown in this figure, in the present embodiment, a fluidic oscillation generator 70 is provided in the flow path 15 instead of the flow velocity sensor unit 27 in the first embodiment. Fluidic oscillation generator 70
Has a nozzle 71 and a pair of side walls 73, 74 provided on the downstream side of the nozzle 71 and forming an enlarged flow path. A first target 75 is arranged on the upstream side and a second target 76 is arranged on the downstream side with a predetermined space between the side walls 73 and 74. Side walls 73,7
The gas that has passed through the nozzle 71 is provided outside each of the side walls 7
A return guide 79 is provided along the outer circumference of the nozzles 3, 74 to form a pair of feedback channels 77, 78 for returning to the ejection port side of the nozzle 71. Between each outlet portion of the feedback flow paths 77 and 78 and the outlet portion 12,
The rear surface of the return guide 79 and the main body 10 form a pair of discharge paths 81 and 82. Pressure guiding holes 83 and 84 are provided in the vicinity of the ejection port of the nozzle 71, and the main body 10
The pressure guiding hole 8 is provided outside the bottom of the
A piezoelectric film sensor 85 (not shown in FIG. 5) is provided as a fluidic oscillation detecting sensor that communicates with the pressure guiding holes 83 and 84 and that detects the pressure difference between the pressure guiding holes 83 and 84. In this embodiment, the pressure guiding hole 30 and the pressure sensor 31 are provided on the upstream side of the fluidic oscillation generator 70.
【００３５】図６は本実施例に係る流量計の回路部分の
構成を示すブロック図である。この図に示すように、本
実施例に係る流量計は、第１の実施例における流速セン
サ２９1 ，２９2 ，２９3 および平均流速演算部６２の
代わりに、圧電膜センサ８５と、この圧電膜センサ８５
の出力信号を増幅するアナログ増幅器６８と、このアナ
ログ増幅器６８の出力を波形整形してパルスを生成する
波形整形回路６９とを備えている。流量演算部６４は、
例えば、流速演算部６１の出力と波形整形回路６９の出
力に基づいてそれぞれ流量を算出し、波形整形回路６９
の出力に基づいて算出した流量が、予め範囲が設定され
た小流量側の流量域にあるときには、流速演算部６１の
出力に基づいて算出した流量を表す信号を積算流量演算
部６５に出力し、大流量側の流量域にあるときは波形整
形回路６９の出力に基づいて算出した流量を表す信号を
積算流量演算部６５に出力するようになっている。FIG. 6 is a block diagram showing the configuration of the circuit portion of the flowmeter according to this embodiment. As shown in this figure, the flow meter according to this embodiment, in place of the first flow rate sensor 29 1 in the embodiment of, 29 2, 29 3 and the average flow velocity calculating unit 62, the piezoelectric film sensor 85, the piezoelectric Membrane sensor 85
An analog amplifier 68 that amplifies the output signal of the above-mentioned, and a waveform shaping circuit 69 that waveform-shapes the output of the analog amplifier 68 to generate a pulse. The flow rate calculation unit 64 is
For example, the flow rate is calculated based on the output of the flow velocity calculation unit 61 and the output of the waveform shaping circuit 69, and the waveform shaping circuit 69 is calculated.
When the flow rate calculated based on the output of 1 is in the flow rate region on the small flow rate side where the range is set in advance, a signal indicating the flow rate calculated based on the output of the flow velocity calculation section 61 is output to the integrated flow rate calculation section 65. When in the flow rate region on the large flow rate side, a signal representing the flow rate calculated based on the output of the waveform shaping circuit 69 is output to the integrated flow rate calculation unit 65.
【００３６】本実施例では、開口部１６あるいは小流量
計測用流路１７を通過した気体はフルイディック発振生
成部７０に達する。ここで、ノズル７１を通過した気体
は、噴流となって噴出口より噴出される。噴出口より噴
出された気体は、コアンダ効果により一方の側壁に沿っ
て流れる。ここでは、まず側壁７３に沿って流れるもの
とする。側壁７３に沿って流れた気体は、更にフィード
バック流路７７を経て、ノズル７１の噴出口側へ帰還さ
れ、排出路８１を経て出口部１２に排出される。このと
き、ノズル７１より噴出された気体は、フィードバック
流路７７を流れてきた気体によって方向が変えられ、今
度は他方の側壁７４に沿って流れるようになる。この気
体は、更にフィードバック流路７８を経て、ノズル７１
の噴出口側へ帰還され、排出路８２を経て出口部１２に
排出される。すると、ノズル７１より噴出された気体
は、今度は、フィードバック流路７８を流れてきた気体
によって方向が変えられ、再び側壁７３、フィードバッ
ク流路７７に沿って流れるようになる。以上の動作を繰
り返すことにより、ノズル７１を通過した気体は一対の
フィードバック流路７７，７８を交互に流れるフルイデ
ィック発振を行う。このフルイディック発振の周波数、
周期は流量と対応関係がある。フルイディック発振は圧
電膜センサ８５によって検出される。流量演算部６４
は、小流量側の流量域では流速演算部６１の出力に基づ
いて算出した流量を表す信号を積算流量演算部６５に出
力し、大流量側の流量域では圧電膜センサ８５の出力
（波形整形回路６９の出力）に基づいて算出した流量を
表す信号を積算流量演算部６５に出力する。In this embodiment, the gas that has passed through the opening 16 or the small flow rate measuring flow path 17 reaches the fluidic oscillation generator 70. Here, the gas that has passed through the nozzle 71 becomes a jet stream and is jetted from the jet outlet. The gas ejected from the ejection port flows along one side wall due to the Coanda effect. Here, it is assumed that the material flows first along the side wall 73. The gas flowing along the side wall 73 is further returned to the ejection port side of the nozzle 71 through the feedback flow path 77, and is discharged to the outlet section 12 through the discharge path 81. At this time, the direction of the gas ejected from the nozzle 71 is changed by the gas flowing through the feedback flow path 77, and this time the gas flows along the other side wall 74. This gas further passes through the feedback flow path 78, and the nozzle 71
Is discharged to the outlet portion 12 via the discharge passage 82. Then, the direction of the gas ejected from the nozzle 71 is changed by the gas flowing through the feedback channel 78, and the gas flows again along the side wall 73 and the feedback channel 77. By repeating the above operation, the gas that has passed through the nozzle 71 performs fluidic oscillation that alternately flows through the pair of feedback flow paths 77 and 78. The frequency of this fluidic oscillation,
The cycle has a relationship with the flow rate. The fluidic oscillation is detected by the piezoelectric film sensor 85. Flow rate calculator 64
Outputs a signal representing the flow rate calculated based on the output of the flow velocity calculating section 61 to the integrated flow rate calculating section 65 in the flow rate range on the small flow rate side, and outputs the waveform (waveform shaping) from the piezoelectric film sensor 85 in the flow rate range on the high flow rate side. A signal representing the flow rate calculated based on the output of the circuit 69) is output to the integrated flow rate calculation unit 65.
【００３７】このように、本実施例では、流路１５にフ
ルイディック発振生成部７０を設け、大流量側の流量域
ではフルイディック発振を検出する圧電膜センサ８５の
出力に基づいて流量および積算流量を算出するようにし
たので、流路１５内の流速分布にかかわらず、正確に流
量および積算流量を求めることができる。本実施例のそ
の他の構成、動作および効果は第１の実施例と同様であ
る。As described above, in this embodiment, the fluidic oscillation generating section 70 is provided in the flow path 15, and in the flow rate region on the large flow rate side, the flow rate and the integration are calculated based on the output of the piezoelectric film sensor 85 for detecting the fluidic oscillation. Since the flow rate is calculated, the flow rate and the integrated flow rate can be accurately obtained regardless of the flow velocity distribution in the flow path 15. Other configurations, operations and effects of this embodiment are similar to those of the first embodiment.
【００３８】図７は本発明の第３の実施例に係る流量計
の構成を示す断面図である。この流量計は、気体（ガ
ス）を受け入れる入口部１１１と気体を排出する出口部
１１２とを有する本体１１０を備えている。本体１１０
内には、第２の実施例と同様のフルイディック発振生成
部７０と、入口部１１１から取り入れられた気体をフル
イディック発振生成部７０に導く流路１１３ａ，１１３
ｂと、フルイディック発振生成部７０から排出された気
体を出口部１１２へ導く流路１１４とが設けられてい
る。FIG. 7 is a sectional view showing the structure of a flowmeter according to the third embodiment of the present invention. This flowmeter includes a main body 110 having an inlet portion 111 that receives gas (gas) and an outlet portion 112 that discharges gas. Body 110
A fluidic oscillation generator 70 similar to that of the second embodiment and channels 113a and 113 for guiding the gas taken in through the inlet 111 to the fluidic oscillator generator 70 are provided therein.
b and a flow path 114 that guides the gas discharged from the fluidic oscillation generator 70 to the outlet 112.
【００３９】流路１１３ａと流路１１３ｂの間には、隔
壁１１５が設けられ、この隔壁１１５には開口部１１６
が設けられている。なお、流路１１３ａは隔壁１１５よ
りも入口部１１１側の流路、流路１１３ｂは隔壁１１５
よりもフルイディック発振生成部７０側の流路である。
開口部１１６の上流側には、開口部１１６を開閉する遮
断弁１３８が設けられている。遮断弁１３８にはロッド
１３９の一端が接続されている。このロッド１３９の他
端側は、本体１１０に固定されたアクチュエータ１５１
に接続されている。A partition wall 115 is provided between the flow channel 113a and the flow channel 113b, and the partition wall 115 has an opening 116.
Is provided. The flow channel 113a is a flow channel closer to the inlet portion 111 than the partition wall 115, and the flow channel 113b is a partition wall 115.
Is a flow path on the fluidic oscillation generation unit 70 side.
A shutoff valve 138 that opens and closes the opening 116 is provided on the upstream side of the opening 116. One end of a rod 139 is connected to the shutoff valve 138. The other end of the rod 139 has an actuator 151 fixed to the main body 110.
It is connected to the.
【００４０】本体１１０内には、更に、隔壁１１５の上
流側からノズル７１の手前にかけて、流路１１３ｂと並
行するように、小流量計測用流路１１７が設けられてい
る。小流量計測用流路１１７内には、この小流量計測用
流路１１７を通過する気体の流速を検出する第２の実施
例と同様の流速センサ１８が設けられている。In the main body 110, a small flow rate measuring flow path 117 is further provided from the upstream side of the partition wall 115 to the front side of the nozzle 71 so as to be parallel to the flow path 113b. In the small flow rate measurement flow path 117, a flow rate sensor 18 similar to that of the second embodiment for detecting the flow rate of the gas passing through the small flow rate measurement flow path 117 is provided.
【００４１】小流量計測用流路１１７内における流速セ
ンサ１８の上流側には圧力変動吸収部１４０が設けられ
ている。この圧力変動吸収部１４０は、内部に気体収容
室１４３を形成する容器１４２と、この容器１４２の上
流側端部に設けられた孔１４４と、容器１４２の下流側
端部に設けられた孔１４５と、容器１４２内において孔
１４４に対向する位置に設けられた逆止弁１４６と、こ
の逆止弁１４６に接続されたロッド１４７と、このロッ
ド１４７を摺動自在に保持するガイド１４８とを備えて
いる。逆止弁１４６は、孔１４４を通過する気体の圧力
によって上昇して孔１４４を開放すると共に、容器１４
２内から孔１４４の外側への気体の逆流を防止するよう
になっている。なお、小流量計測用流路１１７は、圧力
変動吸収部１４０が設けられている部分を除き、流路１
１３ｂよりも断面積が小さくなっている。A pressure fluctuation absorbing section 140 is provided upstream of the flow velocity sensor 18 in the small flow rate measuring flow path 117. The pressure fluctuation absorbing unit 140 has a container 142 that forms a gas storage chamber 143 therein, a hole 144 provided at an upstream end of the container 142, and a hole 145 provided at a downstream end of the container 142. A check valve 146 provided at a position facing the hole 144 in the container 142, a rod 147 connected to the check valve 146, and a guide 148 slidably holding the rod 147. ing. The check valve 146 is raised by the pressure of the gas passing through the hole 144 to open the hole 144, and
The backflow of gas from the inside to the outside of the hole 144 is prevented. It should be noted that the small flow rate measurement flow path 117 is the same as the flow path 1 except for the portion where the pressure fluctuation absorber 140 is provided.
The cross-sectional area is smaller than 13b.
【００４２】孔１４５の下流側には、孔１４５を開閉す
る遮断弁１４９が設けられている。遮断弁１４９にはロ
ッド１５０の一端が接続されている。このロッド１５０
の他端側は、本体１１０に固定されたアクチュエータ１
５２に接続されている。A cutoff valve 149 for opening and closing the hole 145 is provided on the downstream side of the hole 145. One end of a rod 150 is connected to the shutoff valve 149. This rod 150
The other end side of the actuator 1 is fixed to the main body 110.
It is connected to 52.
【００４３】図８は本実施例に係る流量計の回路部分の
構成を示すブロック図である。この図に示すように、本
実施例に係る流量計の回路構成は、弁制御部６７が第２
の実施例におけるアクチュエータ５１，５２の代わりに
アクチュエータ１５１，１５２を制御する点、および圧
力センサ３１が設けられていない点以外は、第２の実施
例と同様である。FIG. 8 is a block diagram showing the configuration of the circuit portion of the flowmeter according to this embodiment. As shown in this figure, in the circuit configuration of the flowmeter according to the present embodiment, the valve control unit 67 is the second
The second embodiment is the same as the second embodiment except that the actuators 151 and 152 are controlled in place of the actuators 51 and 52 in this embodiment and that the pressure sensor 31 is not provided.
【００４４】次に、本実施例に係る流量計の動作につい
て説明する。Next, the operation of the flowmeter according to this embodiment will be described.
【００４５】初めは、図７に示したように、遮断弁１３
８が開口部１１６を閉じ且つ遮断弁１４９が孔１４５を
開放した状態になっている。この状態では、入口部１１
１から取り入れられた気体は圧力変動吸収部１４０の孔
１４４、気体収容室１４３および孔１４５を通過して小
流量計測用流路１１７を流れ、フルイディック生成部７
０を通過して、流路１１４を経て出口部１１２から排出
される。圧力変動吸収部１４０の孔１４４，１４５は抵
抗として作用し、気体収容室１４３はコンデンサに対応
し、孔１４４、気体収容室１４３および孔１４５によっ
て構成される圧力変動吸収部１４０は高周波除去フィル
タとして作用するため、気体が孔１４４、気体収容室１
４３および孔１４５を通過する際、気体の圧力変動が吸
収される。流速センサ１８は、小流量計測用流路１１７
を通過する気体の流速を検出する。流量演算部６４は、
予め範囲が設定された小流量側の流量域では流速センサ
１８の出力（流速演算部６１の出力）に基づいて流量を
算出する。Initially, as shown in FIG. 7, the shut-off valve 13
8 closes the opening 116 and the shutoff valve 149 opens the hole 145. In this state, the entrance 11
The gas taken in from No. 1 passes through the hole 144, the gas storage chamber 143, and the hole 145 of the pressure fluctuation absorbing unit 140, flows through the small flow rate measurement flow path 117, and the fluidic generation unit 7
After passing through 0, it is discharged from the outlet 112 through the flow path 114. The holes 144 and 145 of the pressure fluctuation absorbing section 140 act as a resistance, the gas storage chamber 143 corresponds to a condenser, and the pressure fluctuation absorbing section 140 constituted by the hole 144, the gas storage chamber 143, and the hole 145 functions as a high-frequency removal filter. Because of the action of the gas, the holes 144, the gas storage chamber 1
As it passes through 43 and hole 145, pressure fluctuations of the gas are absorbed. The flow velocity sensor 18 has a small flow rate measuring channel 117.
The flow velocity of the gas passing through is detected. The flow rate calculation unit 64 is
In the flow rate region on the small flow rate side where the range is set in advance, the flow rate is calculated based on the output of the flow velocity sensor 18 (output of the flow velocity calculation unit 61).
【００４６】この状態から、流量が増加して所定値を越
え、予め範囲が設定された大流量側の流量域になると、
弁制御部６７はアクチュエータ１５１を動作させて、遮
断弁１３８が開口部１１６を開放した状態にする。この
状態では、気体は開口部１１６を通過し、流路１１３ｂ
を通過してフルイディック生成部７０に達する。フルイ
ディック生成部７０で生成されるフルイディックは圧電
膜センサ８５によって検出される。流量演算部６４は、
大流量側の流量域では圧電膜センサ８５の出力（波形整
形回路６９の出力）に基づいて流量を算出する。From this state, when the flow rate increases and exceeds the predetermined value to reach the flow rate region on the large flow rate side where the range is set in advance,
The valve control unit 67 operates the actuator 151 so that the shutoff valve 138 opens the opening 116. In this state, the gas passes through the opening 116 and the flow path 113b.
To reach the fluidic generator 70. The fluidic generated by the fluidic generator 70 is detected by the piezoelectric film sensor 85. The flow rate calculation unit 64 is
In the flow rate region on the large flow rate side, the flow rate is calculated based on the output of the piezoelectric film sensor 85 (output of the waveform shaping circuit 69).
【００４７】この状態から、流量が減少して再び小流量
側の流量域になると、弁制御部６７はアクチュエータ１
５１を動作させて、遮断弁１３８が開口部１１６を閉じ
且つ遮断弁１４９が孔１４５を開放した状態とする。ま
た、流量演算部６４は、流速センサ１８の出力（流速演
算部６１の出力）に基づいて流量を算出する。From this state, when the flow rate decreases and returns to the flow rate region on the small flow rate side, the valve control unit 67 causes the actuator 1
51 is operated so that the cutoff valve 138 closes the opening 116 and the cutoff valve 149 opens the hole 145. Further, the flow rate calculation unit 64 calculates the flow rate based on the output of the flow velocity sensor 18 (output of the flow velocity calculation unit 61).
【００４８】また、弁制御部６７は、流量演算部６４が
所定量以上の流量を検出した場合や所定の流量を所定時
間以上検出した場合等の異常時に、アクチュエータ１５
１，１５２を動作させ、遮断弁１３８が開口部１１６を
閉じ且つ遮断弁１４９が孔１４５を閉じた状態とする。
この状態では、流路１１３ｂと小流量計測用流路１１７
が共に閉じられ、流量計の下流側への気体（ガス）の供
給が遮断される。Further, the valve control unit 67 is arranged so that the actuator 15 can be operated in the event of an abnormality such as when the flow rate calculation unit 64 detects a flow rate of a predetermined amount or more, or when the flow rate is detected for a predetermined time or more.
1, 152 are operated so that the shutoff valve 138 closes the opening 116 and the shutoff valve 149 closes the hole 145.
In this state, the flow path 113b and the small flow rate measurement flow path 117 are provided.
Are closed together, and the supply of gas to the downstream side of the flow meter is shut off.
【００４９】以上説明したように本実施例によれば、フ
ルイディック発振生成部７０に到る流路１１３ｂと並行
に断面積の小さい小流量計測用流路１１７を設け、この
小流量計測用流路１１７内に流速センサ１８を設け、大
流量側の流量域ではフルイディック発振を検出する圧電
膜センサ８５の出力に基づいて流量を算出し、小流量側
の流量域では流速センサ１８の出力に基づいて流量を算
出するようにしたので、広い流量範囲で流量を計測する
ことができる。また、流量に応じて遮断弁１３８，１４
９によって流路を切り換え、大流量時には気体が断面積
の大きい流路１１３ｂを通過するようにしたので、圧力
低下によるガスの供給不良を生じることがない。As described above, according to the present embodiment, the small flow rate measuring flow path 117 having a small cross-sectional area is provided in parallel with the flow path 113b reaching the fluidic oscillation generator 70, and the small flow rate measuring flow path is provided. The flow velocity sensor 18 is provided in the path 117, the flow rate is calculated based on the output of the piezoelectric film sensor 85 that detects fluidic oscillation in the flow rate range on the large flow rate side, and the flow rate sensor 18 outputs the flow rate sensor 18 in the flow rate range on the small flow rate side. Since the flow rate is calculated based on this, the flow rate can be measured in a wide flow rate range. In addition, the shutoff valves 138, 14 are
The flow path is switched by 9 so that the gas passes through the flow path 113b having a large cross-sectional area at a large flow rate, so that the gas supply failure due to the pressure decrease does not occur.
【００５０】また、小流量時には、気体が圧力変動吸収
部１４０を通過するようにしたので、圧力変動の影響を
受けやすい小流量時において圧力変動を影響を低減で
き、流量計測の精度を向上させることができる。Further, since the gas is made to pass through the pressure fluctuation absorbing portion 140 at the time of the small flow rate, the influence of the pressure fluctuation can be reduced at the time of the small flow rate which is easily affected by the pressure fluctuation, and the accuracy of the flow rate measurement can be improved. be able to.
【００５１】また、小流量時における流量を計測するた
めの断面積の小さい専用の小流量計測用流路１１７を設
けたので、大流量時における圧力損失を大きくすること
なく、小流量時における気体の流速を大きくすることが
できるので、小流量時における流量計測の精度を向上さ
せることができる。本実施例のその他の構成、動作およ
び効果は第２の実施例と同様である。Further, since the dedicated small flow rate measuring flow path 117 having a small cross-sectional area for measuring the flow rate at the small flow rate is provided, the gas loss at the small flow rate is increased without increasing the pressure loss at the large flow rate. Since the flow velocity can be increased, the accuracy of flow rate measurement at a small flow rate can be improved. Other configurations, operations and effects of this embodiment are similar to those of the second embodiment.
【００５２】なお、本発明は上記各実施例に限定され
ず、例えば、小流量計測用流路１７，１１７に、流速セ
ンサ１８の代わりに、小流量計測用のフルイディック発
振生成部と圧電膜センサとを設けても良い。また、流速
センサとしては、発熱部と２つの温度センサを有するも
のに限らず、例えば、１つの発熱部を有し、この発熱部
の温度（抵抗）を一定に保つために必要な発熱部に対す
る供給電力から流速を求めたり、一定電流または一定電
力で発熱部を加熱し、発熱部の温度（抵抗）から流速を
求めるものでも良い。The present invention is not limited to the above embodiments, and for example, instead of the flow velocity sensor 18 in the small flow rate measuring flow paths 17 and 117, a fluidic oscillation generating section for measuring a small flow rate and a piezoelectric film. A sensor may be provided. Further, the flow velocity sensor is not limited to the one having the heat generating portion and the two temperature sensors, and for example, the heat generating portion having one heat generating portion and necessary for keeping the temperature (resistance) of the heat generating portion constant. The flow velocity may be obtained from the supplied power, or the heat generating portion may be heated with a constant current or constant power and the flow velocity may be determined from the temperature (resistance) of the heat generating portion.
【００５３】また、本発明は、気体のみならず液体の流
量を計測する流量計にも適用することができる。Further, the present invention can be applied to a flow meter for measuring the flow rate of not only gas but also liquid.
【００５４】[0054]
【発明の効果】以上説明したように請求項１ないし７の
いずれか１に記載の流量計によれば、大流量計測用の第
１の流路と、小流量計測用の第２の流路と、第１の流路
を通過する流体の流量に応じた信号を出力する第１の流
量計測部と、第２の流路を通過する流体の流量に応じた
信号を出力する第２の流量計測部と、第１の流路を開閉
する第１の遮断弁と、第２の流路を開閉する第２の遮断
弁とを設け、弁制御手段によって、流量に応じて第１の
遮断弁と第２の遮断弁を制御して、流体が第１の流路を
通過する状態と流体が第２の流路を通過する状態と第１
の流路および第２の流路が共に閉じられた状態とを選択
し、また、流量演算部によって、第１の流量計測部の出
力と第２の流量計測部の出力の少なくとも一方に基づい
て流量を算出するようにしたので、広い流量範囲で流量
を計測することができるという効果がある。As described above, according to the flowmeter according to any one of claims 1 to 7, the first flow path for measuring a large flow rate and the second flow path for measuring a small flow rate are provided. And a first flow rate measuring unit that outputs a signal according to the flow rate of the fluid passing through the first flow path, and a second flow rate that outputs a signal according to the flow rate of the fluid passing through the second flow path. A measurement unit, a first cutoff valve that opens and closes the first flow path, and a second cutoff valve that opens and closes the second flow path are provided, and the valve control means controls the first cutoff valve according to the flow rate. And a second cutoff valve are controlled so that the fluid passes through the first flow path and the fluid passes through the second flow path.
And a state in which both the second flow channel and the second flow channel are closed, and the flow rate calculation unit determines whether the flow rate calculation unit is based on at least one of the output of the first flow rate measurement unit and the output of the second flow rate measurement unit. Since the flow rate is calculated, there is an effect that the flow rate can be measured in a wide flow rate range.
【００５５】また、請求項４記載の流量計によれば、第
１の流量計測部が第１の流路を通過する流体の流速を複
数箇所で検出する複数の流速センサを含み、流量演算手
段が第１の流量計測部の出力に基づいて流量を算出する
場合、複数の流速センサによって検出される流速の平均
値に基づいて流量を算出するように構成したので、上記
第１の効果に加え、大流量側の流量をより正確に計測す
ることができるという効果がある。According to the flowmeter of the fourth aspect, the first flow rate measuring section includes a plurality of flow rate sensors for detecting the flow rate of the fluid passing through the first flow path at a plurality of points, and the flow rate calculating means. When the flow rate is calculated based on the output of the first flow rate measuring unit, the flow rate is calculated based on the average value of the flow rates detected by the plurality of flow rate sensors. The effect is that the flow rate on the large flow rate side can be measured more accurately.
【００５６】また、請求項５または６記載の流量計によ
れば、圧力変動吸収部を通過した流体が第２の流路を通
過する状態では、圧力変動吸収部によって流体の圧力変
動を吸収しながら、流速センサの出力に基づいて流量を
計測することが可能となり、流体が第１の流路を通過す
る状態では、流体の圧力損失を抑えながら、第１の流量
計測部の出力に基づいて流量を計測することが可能とな
り、上記第１の効果に加え、大流量時における圧力損失
を小さくすることができ、且つ圧力変動の影響を受けや
すい小流量時において圧力変動を影響を低減して正確に
流量を計測することができるという効果がある。According to the flowmeter of the fifth or sixth aspect, in the state where the fluid passing through the pressure fluctuation absorbing section passes through the second flow path, the pressure fluctuation absorbing section absorbs the pressure fluctuation of the fluid. However, it becomes possible to measure the flow rate based on the output of the flow velocity sensor, and in the state where the fluid passes through the first flow path, while suppressing the pressure loss of the fluid, based on the output of the first flow rate measurement unit. It becomes possible to measure the flow rate, and in addition to the above-mentioned first effect, it is possible to reduce the pressure loss at the time of a large flow rate, and reduce the influence of the pressure fluctuation at the time of a small flow rate which is easily affected by the pressure fluctuation. There is an effect that the flow rate can be accurately measured.
【図１】本発明の第１の実施例に係る流量計の構成を示
す断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing a configuration of a flow meter according to a first embodiment of the present invention.
【図２】図１のＡ−Ａ矢視方向の断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along the line AA of FIG.
【図３】図１に示した流量計のガイド部材および流速セ
ンサユニットを取り出して示す分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view showing a guide member and a flow velocity sensor unit of the flow meter shown in FIG. 1, taken out.
【図４】本発明の第１の実施例に係る流量計の回路構成
を示すブロック図である。FIG. 4 is a block diagram showing a circuit configuration of a flowmeter according to the first embodiment of the present invention.
【図５】本発明の第２の実施例に係る流量計の構成を示
す断面図である。FIG. 5 is a sectional view showing a configuration of a flow meter according to a second embodiment of the present invention.
【図６】本発明の第２の実施例に係る流量計の回路構成
を示すブロック図である。FIG. 6 is a block diagram showing a circuit configuration of a flowmeter according to a second embodiment of the present invention.
【図７】本発明の第３の実施例に係る流量計の構成を示
す断面図である。FIG. 7 is a sectional view showing a configuration of a flow meter according to a third embodiment of the present invention.
【図８】本発明の第３の実施例に係る流量計の回路構成
を示すブロック図である。FIG. 8 is a block diagram showing a circuit configuration of a flowmeter according to a third embodiment of the present invention.
１４，１５ 流路 １７ 小流量計測用流路 １８，２９1 ，２９2 ，２９3 流速センサ ４１，４３ 遮断弁 ５１，５２ アクチュエータ ６１ 流速演算部 ６２ 平均流速演算部 ６４ 流量演算部 ６７ 弁制御部14, 15 Flow path 17 Small flow rate measurement flow path 18, 29 1 , 29 2 , 29 3 Flow velocity sensor 41, 43 Shut-off valve 51, 52 Actuator 61 Flow velocity calculation unit 62 Average flow velocity calculation unit 64 Flow rate calculation unit 67 Valve control unit
フロントページの続き (72)発明者 陶山 毅一 神奈川県横浜市磯子区汐見台３−３ 3305 棟514号室 (72)発明者 佐藤 左右文 神奈川県川崎市高津区梶ケ谷２−11−２ (72)発明者 佐藤 真一 東京都八王子市北野町543−15Continuation of the front page (72) Inventor Kiichi Suyama 3-3, Shiomidai, Isogo-ku, Yokohama, Kanagawa Prefecture, 3305, Room 514, Room 372 (72) Inventor, Sobun Sato 2-11-2, Kajigaya, Takatsu-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa (72) Invention Sato Shinichi 543-15 Kitano-cho, Hachioji-shi, Tokyo
Claims (7)
路と、 この第１の流路と並行するように形成された小流量計測
用の第２の流路と、 前記第１の流路を通過する流体の流量に応じた信号を出
力する第１の流量計測部と、 前記第２の流路を通過する流体の流量に応じた信号を出
力する第２の流量計測部と、 前記第１の流路を開閉する第１の遮断弁と、 前記第２の流路を開閉する第２の遮断弁と、 前記第１の流量計測部の出力と前記第２の流量計測部の
出力の少なくとも一方に基づいて流量を算出する流量演
算手段と、 この流量演算手段によって算出された流量に応じて前記
第１の遮断弁と第２の遮断弁を制御して、流体が第１の
流路を通過する状態と流体が第２の流路を通過する状態
と第１の流路および第２の流路が共に閉じられた状態と
を選択する弁制御手段とを備えたことを特徴とする流量
計。1. A first flow path for measuring a large flow rate through which a fluid passes, a second flow path for measuring a small flow rate which is formed in parallel with the first flow path, and the first flow path. A first flow rate measuring unit for outputting a signal according to the flow rate of the fluid passing through the second flow path, and a second flow rate measuring unit for outputting a signal according to the flow rate of the fluid passing through the second flow path. A first shutoff valve that opens and closes the first flow path, a second shutoff valve that opens and closes the second flow path, an output of the first flow rate measurement unit, and the second flow rate measurement unit Flow rate calculation means for calculating a flow rate based on at least one of the outputs of the first and second cutoff valves in accordance with the flow rate calculated by the flow rate calculation means, so that the fluid becomes the first State where the first passage and the second passage are closed, a state where the fluid passes through the second passage, a state where the fluid passes through the second passage, and a state where both the first passage and the second passage are closed. Flowmeter is characterized in that a valve control means for selecting and.
積が小さく形成され、前記第２の流量計測部は第２の流
路を通過する流体の流速を検出する流速センサを含むこ
とを特徴とする請求項１記載の流量計。2. The second flow passage is formed to have a smaller cross-sectional area than the first flow passage, and the second flow rate measuring unit detects a flow velocity of a fluid passing through the second flow passage. The flowmeter according to claim 1, further comprising:
過する流体の流速を検出する流速センサを含むことを特
徴とする請求項１または２記載の流量計。3. The flowmeter according to claim 1, wherein the first flow rate measuring unit includes a flow velocity sensor that detects a flow velocity of the fluid passing through the first flow path.
過する流体の流速を複数箇所で検出する複数の流速セン
サを含み、前記流量演算手段は第１の流量計測部の出力
に基づいて流量を算出する場合、複数の流速センサによ
って検出される流速の平均値に基づいて流量を算出する
ことを特徴とする請求項１または２記載の流量計。4. The first flow rate measuring section includes a plurality of flow rate sensors for detecting a flow rate of a fluid passing through the first flow path at a plurality of locations, and the flow rate calculating means outputs the output of the first flow rate measuring section. The flowmeter according to claim 1, wherein the flowrate is calculated based on an average value of the flowrates detected by the plurality of flowrate sensors when the flowrate is calculated based on the flowrate.
サの上流側に設けられ、流体の圧力変動を吸収する圧力
変動吸収部を更に備えたことを特徴とする請求項２記載
の流量計。5. The flow meter according to claim 2, further comprising a pressure fluctuation absorbing section that is provided in the second flow path upstream of the flow velocity sensor and that absorbs a pressure fluctuation of the fluid. .
成する容器と、流体が前記流体収容室内を通過するよう
に前記容器に設けられた２つの孔とを有することを特徴
とする請求項５記載の流量計。6. The pressure fluctuation absorbing section has a container forming a fluid storage chamber, and two holes provided in the container so that a fluid passes through the fluid storage chamber. Item 5. The flowmeter according to item 5.
に設けられ、ノズルから噴出される流体によるフルイデ
ィック発振を生成するフルイディック発振生成部と、こ
のフルイディック発振生成部によって生成されるフルイ
ディック発振を検出するフルイディック発振検出センサ
とを含むことを特徴とする請求項１、２、５または６記
載の流量計。7. The first flow rate measurement unit is provided in the first flow path, and generates a fluidic oscillation by a fluid ejected from a nozzle, and a fluidic oscillation generation unit. 7. A flowmeter according to claim 1, 2, 5 or 6, further comprising a fluidic oscillation detection sensor that detects fluidic oscillation generated by the above.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12601895A JPH08240469A (en) | 1995-01-06 | 1995-04-26 | Flowmeter |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1643195 | 1995-01-06 | ||
| JP7-16431 | 1995-01-06 | ||
| JP12601895A JPH08240469A (en) | 1995-01-06 | 1995-04-26 | Flowmeter |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08240469A true JPH08240469A (en) | 1996-09-17 |
Family
ID=26352780
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12601895A Pending JPH08240469A (en) | 1995-01-06 | 1995-04-26 | Flowmeter |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08240469A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999019694A1 (en) | 1997-10-15 | 1999-04-22 | Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. | Flow rate sensor, flow meter, and discharge rate control apparatus for liquid discharge machines |
| WO1999031467A1 (en) * | 1997-12-15 | 1999-06-24 | Tokyo Gas Co., Ltd. | Flowmeter |
| US11959788B2 (en) | 2018-12-12 | 2024-04-16 | Avl List Gmbh | Wide range flow measuring device having two Coriolis meters arranged in series and a bypass line to bypass the second Coriolis meter |
-
1995
- 1995-04-26 JP JP12601895A patent/JPH08240469A/en active Pending
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| US6446503B1 (en) | 1997-12-15 | 2002-09-10 | Tokyo Gas Co., Ltd. | Flow velocity measuring apparatus and methods using sensors for measuring larger and smaller flow quantities |
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