JP3005272B2 - Fluidic flow meter - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は、噴出ノズルから流路内に噴出されるガス
等の流体の振動現象によって生じる交番圧力波を検出し
て流量を検出するフルイディック流量計に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Industrial application field) The present invention detects an alternating pressure wave generated by a vibration phenomenon of a fluid such as gas ejected from an ejection nozzle into a flow path and detects a flow rate of the alternating pressure wave. To a fluidic flow meter that detects

（従来の技術） 一般家庭等に設置され、ガスの流量を計量するフルイ
ディック流量計は、例えば、特開昭63−313018号公報、
特開平１−250725号公報から公知である。このフルイデ
ィック流量計は、流路の入口側に噴出ノズルが設けら
れ、この噴出ノズルから流路に流体を噴出すると、コア
ンダ効果によって噴出流体は、例えば右側の側壁に沿っ
て流れる。この右側の側壁に流れた流体の一部は帰還流
体となり、この帰還流体の流体エネルギが噴出流体に付
与され、噴出流体が左側の側壁に沿って流れるようにな
り、今度は左側の側壁に流れた流体の一部が帰還流体と
なり、この帰還流体の流体エネルギが噴出流体に付与さ
れ、噴出流体が再び右側の側壁に沿って流れるようにな
る。つまり、噴出ノズルから流路内に噴出される流体の
振動現象によって交番圧力波が生じる。この交番圧力液
を圧電膜センサによって検出し、この周波数から流量を
算出して流体の流量を検出している。(Prior Art) Fluidic flow meters installed in ordinary households and the like for measuring the flow rate of gas are disclosed in, for example, JP-A-63-313018,
It is known from JP-A-1-250725. In this fluidic flow meter, an ejection nozzle is provided on the inlet side of the flow path, and when the fluid is ejected from the ejection nozzle into the flow path, the ejected fluid flows, for example, along the right side wall due to the Coanda effect. A part of the fluid flowing to the right side wall becomes return fluid, and the fluid energy of this return fluid is applied to the ejected fluid, and the ejected fluid flows along the left side wall, and then flows to the left side wall. A part of the returned fluid becomes a return fluid, and the fluid energy of the return fluid is applied to the jet fluid, and the jet fluid flows again along the right side wall. That is, an alternating pressure wave is generated by the vibration phenomenon of the fluid ejected from the ejection nozzle into the flow path. The alternating pressure liquid is detected by a piezoelectric film sensor, and the flow rate is calculated from the frequency to detect the flow rate of the fluid.

ところで、前記交番圧力波を検出するためには噴出ノ
ズルの出口近傍の交番圧力波が生じる位置に圧力波導入
部を設ける必要があるが、圧電膜センサの圧力波導入部
の位置および間隔は、一般に交番圧力波が生じる位置お
よび間隔とは異なっており、両者は対応しない。また、
他の構成部材に邪魔されて離れた位置に圧電膜センサを
設置せねばならない場合もある。したがって、従来にお
いては次のような方式で圧力波の伝達を行っている。By the way, in order to detect the alternating pressure wave, it is necessary to provide a pressure wave introducing portion at the position where the alternating pressure wave occurs near the outlet of the ejection nozzle, but the position and interval of the pressure wave introducing portion of the piezoelectric film sensor are Generally, the positions and intervals at which the alternating pressure waves occur are different, and the two do not correspond. Also,
In some cases, the piezoelectric film sensor needs to be installed at a position distant from other components. Therefore, conventionally, pressure waves are transmitted in the following manner.

すなわち、第５図は、流路本体１の側壁に交番圧力波
が生じる位置に対応した間隔に圧力波導入パイプ2,2を
設けている。一方、流路本体１の外側壁には圧電膜セン
サ３を設け、この圧電膜センサ３に設けられた圧力波導
入部4,4と前記圧力波導入パイプ2,2とをビニールチュー
ブ等のパイプ5,5によって接続している。また、第６図
は、流路本体１の側壁に交番圧力波が生じる位置に対応
した間隔に圧力波導入孔6,6を設けている。一方、流路
本体１の外側壁にパッキング７を介してプレート８を設
け、このプレート８にパッキング９を介して圧電膜セン
サ３を設けている。そして、プレート８に圧電膜センサ
３に設けられた圧力波導入部4,4と連通する通孔10a,10a
を設けるとともに、前記圧力波導入孔6,6と連通する通
孔10b,10bを設け、これら通孔10aと10bとをプレート８
の内部で連通して圧力波伝達路10を形成している。That is, in FIG. 5, the pressure wave introduction pipes 2, 2 are provided on the side wall of the flow path main body 1 at intervals corresponding to positions where the alternating pressure waves are generated. On the other hand, a piezoelectric film sensor 3 is provided on the outer wall of the flow path main body 1, and the pressure wave introducing portions 4, 4 provided in the piezoelectric film sensor 3 and the pressure wave introducing pipes 2, 2 are connected to a pipe such as a vinyl tube. Connected by 5,5. In FIG. 6, pressure wave introduction holes 6, 6 are provided on the side wall of the flow path main body 1 at intervals corresponding to positions where the alternating pressure waves are generated. On the other hand, a plate 8 is provided on an outer wall of the flow path main body 1 via a packing 7, and the piezoelectric film sensor 3 is provided on the plate 8 via a packing 9. Then, through holes 10a, 10a communicating with the pressure wave introducing portions 4, 4 provided in the piezoelectric film sensor 3 are formed in the plate 8.
And through holes 10b, 10b communicating with the pressure wave introducing holes 6, 6, and the through holes 10a and 10b are
To form a pressure wave transmission path 10.

（発明が解決しようとする課題） ところが、前述のように、圧電膜センサの圧力波導入
部の間隔と交番圧力波が生じる位置および間隔との違い
を補うために、パイプを接続して圧力波を伝達させるよ
うに構成したものは、パイプを接続するスペースが必要
となり、流量計が大型化するとともに、接続箇所が多く
なり、ガス漏洩の恐れがある。また、プレートを介在
し、このプレートに通孔を設けた構造は、プレートおよ
びパッキングの肉厚分だけ流量計が大型化し、さらに加
工および組立が面倒でコストアップの原因となるという
問題がある。(Problems to be Solved by the Invention) However, as described above, in order to compensate for the difference between the interval between the pressure wave introducing portions of the piezoelectric film sensor and the position and interval at which the alternating pressure wave is generated, a pressure wave is connected by connecting a pipe. In such a configuration, a space for connecting pipes is required, the flowmeter becomes large, the number of connection points increases, and there is a risk of gas leakage. Further, the structure in which the plate is interposed and the through hole is provided in the plate has a problem that the flow meter becomes large by the thickness of the plate and the packing, and furthermore, the processing and the assembly are troublesome and the cost is increased.

この発明は、前記事情に着目してなされたもので、そ
の目的とするところは、簡単な構造で圧力波を伝達する
圧力信号伝達路を形成することができ、流量計の小型化
を図ることができるフルイディック流量計を提供するこ
とにある。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to form a pressure signal transmission path for transmitting a pressure wave with a simple structure, and to reduce the size of a flow meter. It is an object of the present invention to provide a fluidic flow meter capable of performing the above method.

［発明の構成］ （課題を解決するための手段及び作用） この発明は、前記目的を達成するために、噴出ノズル
に対向する流路内にターゲットを設けるとともに、この
ターゲットを挟んで両側に側壁を対称的に設け、前記噴
出ノズルから噴出される流体の振動現象によって生じる
交番圧力波を圧電膜センサによって検出して流量を検出
するフルイディック流量計において、前記流路を構成す
る流路本体の底部に前記圧電膜センサを設けるととも
に、流路本体の蓋体で交番圧力波が生じる２箇所に圧力
波導入口を設け、これら圧力波導入口と前記圧電膜セン
サとを前記流路本体の蓋体に設けた溝部および前記側壁
に設けた貫通孔とからなる圧力信号伝達路を介して連通
させたことにある。[Constitution of the Invention] (Means and Actions for Solving the Problems) In order to achieve the above object, the present invention provides a target in a flow path facing a jet nozzle and side walls on both sides of the target. Provided symmetrically, in a fluidic flow meter that detects an alternating pressure wave generated by a vibration phenomenon of a fluid ejected from the ejection nozzle by a piezoelectric film sensor to detect a flow rate, Along with providing the piezoelectric film sensor at the bottom, pressure wave inlets are provided at two places where alternating pressure waves occur in the lid of the flow channel body, and these pressure wave inlets and the piezoelectric film sensor are provided on the lid of the flow channel body. The communication is established through a pressure signal transmission path including a groove provided and a through hole provided in the side wall.

噴出ノズルから流路内に噴出される流体の振動現象に
よって生じる交番圧力波は圧力波導入口から溝部および
貫通孔からなる圧力信号伝達路を介して圧電膜センサに
伝達され、圧電膜センサによって流量が計測される。The alternating pressure wave generated by the vibration phenomenon of the fluid ejected from the ejection nozzle into the flow path is transmitted from the pressure wave introduction port to the piezoelectric film sensor via the pressure signal transmission path including the groove and the through hole, and the flow rate is changed by the piezoelectric film sensor. Measured.

（実施例） 以下、この発明の一実施例を図面に基づいて説明す
る。Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

第３図および第４図はフルイディック流量計の全体を
示すもので、11はケースである。このケース11は矩形箱
状のケース本体12と、このケース本体12の開口部を閉塞
する蓋体13とから構成されている。ケース本体12の下部
にはガス流入口体14とガス流出口体15が並設され、上部
には表示窓（図示しない）が設けられている。ケース11
の内部における下部には後述するフルイディック素子17
および遮断弁18が設置されている。FIGS. 3 and 4 show the entire fluidic flow meter, and 11 is a case. The case 11 includes a rectangular box-shaped case main body 12 and a lid 13 that closes an opening of the case main body 12. A gas inlet 14 and a gas outlet 15 are provided side by side at the lower part of the case body 12, and a display window (not shown) is provided at the upper part. Case 11
In the lower part of the inside of the
And a shutoff valve 18 are provided.

前記フルイディック素子17について説明すると、第１
図および第２図に示すように構成されている。すなわ
ち、23はダイキャスト等によって形成された流路本体で
あり、この流路本体23の開口部をパッキング24を介して
蓋体25によって閉塞することにより、流路26が構成され
ている。この流路26は隔壁27によって区画され、上流側
流路28は前記ガス流入口体14に連通し、下流側流路29は
前記ガス流出口体15に連通している。上流側流路28の途
中には弁座30が設けられ、この弁座30には前記遮断弁18
の弁体31が対向している。すなわち、前記圧力スイッ
チ、感震器（図示しない）が異常を感知したとき、遮断
弁18によって流路26を遮断することができるように構成
されている。The fluidic element 17 will be described.
It is configured as shown in FIG. 2 and FIG. That is, 23 is a flow path main body formed by die casting or the like, and the flow path 26 is configured by closing the opening of the flow path main body 23 with the lid 25 via the packing 24. The flow path 26 is defined by a partition wall 27, the upstream flow path 28 communicates with the gas inlet 14, and the downstream flow path 29 communicates with the gas outlet 15. A valve seat 30 is provided in the middle of the upstream flow passage 28, and the valve seat 30
Are opposed to each other. That is, when the pressure switch and the seismic sensor (not shown) detect an abnormality, the shut-off valve 18 can shut off the flow path 26.

前記流路本体23の隔壁27には噴出ノズル32が設けられ
ている。この噴出ノズル32は流路本体23の奥行き方向全
体に亘って開口するスリット状で、その長手方向の開口
両側縁には上流側流路28に突出する突出部32a,32bを有
し、ノズル通路長を延長させている。この噴出ノズル32
に対向する下流側流路29には流体の流動方向切換安定化
を図るための第１のターゲット33が設けられている。こ
の第１のターゲット33を挟んで両側には側壁34a,34bが
対称的に設けられている。さらに、前記第１のターゲッ
ト33より下流側に位置する中央部には第２のターゲット
35が設けられ、さらに下流側には下流側流路29の幅方向
に延長するリターン壁36が設けられている。そして、前
記側壁34a,34bの外側に帰還流路37a,37bが形成され、リ
ターン壁36の両端外側に排出通路38a,38bが設けられて
いる。A jet nozzle 32 is provided on the partition wall 27 of the flow path main body 23. The ejection nozzle 32 has a slit shape that opens over the entire depth direction of the flow path main body 23, and has projections 32a and 32b that protrude into the upstream flow path 28 on both side edges in the longitudinal direction thereof. The length has been extended. This jet nozzle 32
A first target 33 for stabilizing the switching of the flow direction of the fluid is provided in the downstream flow path 29 opposite to the first flow path. Side walls 34a and 34b are provided symmetrically on both sides of the first target 33. Further, a second target is located at a central portion located downstream of the first target 33.
A return wall 36 is further provided on the downstream side and extends in the width direction of the downstream flow path 29. Then, return channels 37a, 37b are formed outside the side walls 34a, 34b, and discharge channels 38a, 38b are provided outside both ends of the return wall 36.

したがって、前記噴出ノズル32から下流側流路29に向
かって流体が噴出されると、コアンダ効果によって噴出
流体は、例えば右側の側壁34aの内側に沿って流れる。
この右側の側壁34aに流れた流体の大部分は排出通路38a
に向かうが、一部は帰還流体となり、帰還通路37aに向
かう。この帰還流体の流体エネルギが噴出流体に付与さ
れ、噴出流体が左側の側壁34bの内側に沿って流れるよ
うになり、今度は左側の側壁34bに流れた流体の一部が
帰還流体となり、この帰還流体の流体エネルギが噴出流
体に付与され、噴出流体が再び右側の側壁34aの内側に
沿って流れるようになる。つまり、噴出ノズル32から下
流側流路29内に噴出される流体の振動現象によって交番
圧力波が生じるように構成されている。Therefore, when the fluid is ejected from the ejection nozzle 32 toward the downstream flow path 29, the ejected fluid flows along, for example, the inside of the right side wall 34a due to the Coanda effect.
Most of the fluid flowing to the right side wall 34a is discharged to the discharge passage 38a.
, But a part thereof becomes the return fluid and goes to the return passage 37a. The fluid energy of the return fluid is applied to the ejected fluid, and the ejected fluid flows along the inside of the left side wall 34b, and a part of the fluid flowing to the left side wall 34b becomes the return fluid this time, The fluid energy of the fluid is applied to the ejected fluid, and the ejected fluid again flows along the inside of the right side wall 34a. That is, the configuration is such that the alternating pressure wave is generated by the vibration phenomenon of the fluid ejected from the ejection nozzle 32 into the downstream flow path 29.

さらに、前記噴出ノズル32に対応する前記流路本体23
の底部にはフローセンサ40および圧電膜センサ41が設け
られている。フローセンサ40は、センサ本体42と、発熱
部および感温部からなる検出部を備えたセンサチップ43
とからなり、センサ本体42を前記流路本体23の底部に固
定し、センサチップ43を噴出ノズル32に臨ませている。
すなわち、フローセンサ40は、微小流量域の計測を行う
ために、流路が狭められて流速が最も速くなる位置に設
置されている。また、前記圧電膜センサ41は大流量域の
計測を行うためのもので、センサ本体44と、圧力波導入
部45とからなり、センサ本体44を前記流路本体23の底部
に固定し、圧力波導入部45は後述する圧力信号伝達路46
に連通している。Further, the flow path main body 23 corresponding to the ejection nozzle 32
A flow sensor 40 and a piezoelectric film sensor 41 are provided at the bottom of the sensor. The flow sensor 40 includes a sensor main body 42 and a sensor chip 43 including a detection unit including a heating unit and a temperature sensing unit.
The sensor body 42 is fixed to the bottom of the flow path body 23, and the sensor chip 43 faces the ejection nozzle 32.
That is, the flow sensor 40 is installed at a position where the flow path is narrowed and the flow velocity becomes the fastest in order to measure the minute flow rate region. Further, the piezoelectric film sensor 41 is for measuring in a large flow rate region, and includes a sensor main body 44 and a pressure wave introducing section 45, and fixes the sensor main body 44 to the bottom of the flow path main body 23, The wave introduction part 45 is provided with a pressure signal transmission path 46 described later.
Is in communication with

すなわち、前記一対の側壁34a,34bにはこの長手方向
に貫通する貫通孔47が穿設され、この一端は前記圧力波
導入部45に開口し、他端は側壁34a,34bの先端面に開口
している。また、前記蓋体25の内側とパッキング24との
間には噴出ノズル32と側壁34a,34bとの間を覆う仕切り
板48が設けられている。この仕切り板48における前記噴
出ノズル32の出口近傍で、振動現象によって生じる交番
圧力波の最適取出し位置には一対の圧力波導入口49,49
が穿設されているとともに、前記側壁34a,34bに穿設し
た貫通孔47と対向する部分には通孔50,50が穿設されて
いる。さらに、仕切り板48に重合する前記蓋体25にはプ
レス加工等によって形成した溝部51,51が設けられ、こ
れら溝部51,51によって前記圧力波導入口49と通孔50と
を連通しており、圧力波導入口49,49と圧電膜センサ41
とを連通する圧力信号伝達路46を構成している。すなわ
ち、この圧力信号伝達路46によって圧力信号の迂回通路
を形成し、圧電膜センサ41のセンサ本体44が前記フロー
センサ40のセンサ本体42とオーバラップするのを避け、
流路本体23の同一側面にフローセンサ40と圧電膜センサ
41を並設することを可能としている。That is, a through hole 47 penetrating in the longitudinal direction is formed in the pair of side walls 34a and 34b, one end of which is open to the pressure wave introduction part 45, and the other end is open to the front end surfaces of the side walls 34a and 34b. are doing. A partition plate 48 is provided between the inside of the lid 25 and the packing 24 so as to cover the space between the ejection nozzle 32 and the side walls 34a and 34b. Near the outlet of the ejection nozzle 32 in the partition plate 48, a pair of pressure wave inlets 49, 49
Are formed, and through holes 50, 50 are formed in portions facing the through holes 47 formed in the side walls 34a, 34b. Further, the lid 25 superposed on the partition plate 48 is provided with grooves 51, 51 formed by press working or the like, and the pressure wave introduction port 49 and the through hole 50 are communicated by these grooves 51, 51, Pressure wave inlets 49, 49 and piezoelectric film sensor 41
And a pressure signal transmission path 46 that communicates with the pressure signal transmission path 46. That is, a bypass path for the pressure signal is formed by the pressure signal transmission path 46, and the sensor body 44 of the piezoelectric film sensor 41 is prevented from overlapping the sensor body 42 of the flow sensor 40,
Flow sensor 40 and piezoelectric film sensor on the same side of flow path main body 23
It is possible to arrange 41 side by side.

一方、前記上流側流路28には金網からなる平板状の第
１の整流板52と金網からなる山形状の第２の整流板53が
設置され、これらは流路本体23に対して着脱可能に設け
られている。On the other hand, a flat plate-shaped first rectifying plate 52 made of a wire mesh and a mountain-shaped second rectifying plate 53 made of a wire mesh are installed in the upstream flow path 28, and these are detachable from the flow path main body 23. It is provided in.

次に、前述のように構成されたフルイディック流量計
の作用について説明する。ガス流入口体14から流入した
流体は流路26の上流側流路28を通過し、さらに第１の整
流板52および第２の整流板53によって整流された後、噴
出ノズル32に向かう。噴出ノズル32は流路が狭められて
いるために、流体の流速が増し、噴出ノズル32から下流
側流路29に流体が噴出される。流体が噴出ノズル32を通
過するとき、その流速がフローセンサ40によって検出さ
れる。噴出ノズル32から下流側流路29に向かって流体が
噴出されると、コアンダ効果によって噴出流体は、例え
ば右側の側壁34aの内側に沿って流れる。この右側の側
壁34aに流れた流体の大部分は排出通路38aに向かうが、
一部は帰還流体となり、帰還通路37aに向かう。この帰
還流体の流体エネルギが噴出流体に付与され、噴出流体
が左側の側壁34bの内側に沿って流れるようになり、今
度は左側の側壁34bに流れた流体の一部が帰還流体とな
り、この帰還流体の流体エネルギが噴出流体に付与さ
れ、噴出流体が再び右側の側壁34aの内側に沿って流れ
るようになる。つまり、噴出ノズル32から下流側流路29
内に噴出される流体の振動現象によって交番圧力波が生
じる。この交番圧力波、つまり噴出ノズル32からの噴流
の流動方向の変化に起因する圧力変化は圧力波導入口4
9,49,溝部51,51、通孔50,50および貫通孔47,47からなる
圧力信号伝達路46,46を介して圧電膜センサ41によって
検出される。Next, the operation of the fluidic flow meter configured as described above will be described. The fluid flowing from the gas inlet 14 passes through the upstream flow path 28 of the flow path 26, is further rectified by the first rectifying plate 52 and the second rectifying plate 53, and then flows toward the ejection nozzle 32. Since the flow path of the ejection nozzle 32 is narrowed, the flow velocity of the fluid increases, and the fluid is ejected from the ejection nozzle 32 to the downstream channel 29. When the fluid passes through the ejection nozzle 32, its flow velocity is detected by the flow sensor 40. When the fluid is ejected from the ejection nozzle 32 toward the downstream flow path 29, the ejected fluid flows, for example, along the inside of the right side wall 34a due to the Coanda effect. Most of the fluid flowing to the right side wall 34a goes to the discharge passage 38a,
A part becomes return fluid and goes to return passage 37a. The fluid energy of the return fluid is applied to the ejected fluid, and the ejected fluid flows along the inside of the left side wall 34b, and a part of the fluid flowing to the left side wall 34b becomes the return fluid this time, The fluid energy of the fluid is applied to the ejected fluid, and the ejected fluid again flows along the inside of the right side wall 34a. In other words, the downstream flow path 29
An alternating pressure wave is generated by the vibration phenomenon of the fluid ejected into the inside. This alternating pressure wave, that is, the pressure change caused by the change in the flow direction of the jet from the jet nozzle 32, is
9, 49, the grooves 51, 51, the through holes 50, 50 and the through holes 47, 47 are detected by the piezoelectric film sensor 41 via the pressure signal transmission paths 46, 46.

フローセンサ40および圧電膜センサ41からの波形信号
はその周波数から流体流量を算出して表示窓に表示され
る。The waveform signals from the flow sensor 40 and the piezoelectric film sensor 41 are used to calculate the fluid flow rate from the frequency and displayed on the display window.

また、流路本体23に対してフローセンサ40および圧電
膜センサ41を組付けるに当たっては、流路本体23の同一
側面にフローセンサ40と圧電膜センサ41を同方向から取
付けるため、組み立て作業性の向上を図ることができ、
さらに保守点検および修理の際にも作業性が向上する。In mounting the flow sensor 40 and the piezoelectric film sensor 41 to the flow path main body 23, the flow sensor 40 and the piezoelectric film sensor 41 are mounted on the same side surface of the flow path main body 23 in the same direction. Can be improved,
Further, workability is improved during maintenance and inspection and repair.

［発明の効果］ 以上説明したように、この発明によれば、流路を構成
する流路本体の蓋体側の交番圧力波が生じる２箇所に圧
力波導入口を設けるとともに、側壁に貫通孔を設け、さ
らに蓋体に圧力波導入口と貫通孔とを連通する溝部を設
けて圧力信号伝達路を形成したから、従来のパイプやプ
レートを追加して圧力信号伝達路を形成したものに比較
して流量計の小型化を図ることができる。しかも、組立
で作業性が向上し、コストダウンを図ることができると
いう効果がある。[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, pressure wave introduction ports are provided at two places where alternating pressure waves are generated on the lid side of a flow path main body constituting a flow path, and through holes are provided in side walls. In addition, since the pressure signal transmission path was formed by providing a groove that communicates the pressure wave introduction port and the through hole in the lid, the flow rate was compared with that in which a pressure signal transmission path was formed by adding a conventional pipe or plate. The total size can be reduced. In addition, there is an effect that workability is improved by assembly and cost can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第１図〜第４図はこの発明の一実施例を示すもので、第
１図はフルイディック流量計の縦断正面図、第２図は同
縦断側面図、第３図はフルイディック素子の縦断正面
図、第４図は同縦断側面図、第５図および第６図は従来
のフルイディック流量計の圧力信号伝達路の構造を示す
断面図である。 11……ケース、23……流路本体、26……流路、32……噴
出ノズル、33……ターゲット、41……圧電膜センサ、43
a,43b……側壁、46……圧力信号伝達路、47……貫通
孔、49……圧力波導入口、51……溝部。1 to 4 show an embodiment of the present invention. FIG. 1 is a vertical sectional front view of a fluidic flow meter, FIG. 2 is a vertical sectional side view of the same, and FIG. FIG. 4 is a front view, FIG. 4 is a vertical sectional side view, and FIGS. 5 and 6 are sectional views showing the structure of a pressure signal transmission path of a conventional fluidic flow meter. 11 ... case, 23 ... channel body, 26 ... channel, 32 ... ejection nozzle, 33 ... target, 41 ... piezoelectric film sensor, 43
a, 43b ... side wall, 46 ... pressure signal transmission path, 47 ... through hole, 49 ... pressure wave inlet, 51 ... groove.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】流路内に流体を噴出する噴出ノズルを有
し、この噴出ノズルに対向する流路内にターゲットを設
けるとともに、このターゲットを挟んで両側に側壁を対
称的に設け、前記噴出ノズルから噴出される流体の振動
現象によって生じる交番圧力波を圧電膜センサによって
検出して流量を検出するフルイディック流量計におい
て、前記流路を構成する流路本体の底部に前記圧電膜セ
ンサを設けるとともに、流路本体の蓋体側の交番圧力波
が生じる２箇所に圧力波導入口を設け、これら圧力波導
入口と前記圧電膜センサとを前記流路本体の蓋体に設け
た溝部および前記側壁に設けた貫通孔とからなる圧力信
号伝達路を介して連通させたことを特徴とするフルイデ
ィック流量計。An ejection nozzle for ejecting a fluid into the flow path, a target provided in the flow path opposed to the ejection nozzle, and side walls provided symmetrically on both sides of the target so as to sandwich the target; In a fluidic flow meter for detecting a flow rate by detecting an alternating pressure wave generated by a vibration phenomenon of a fluid ejected from a nozzle by a piezoelectric membrane sensor, the piezoelectric membrane sensor is provided at a bottom of a flow path main body constituting the flow path. At the same time, pressure wave introduction ports are provided at two places where alternating pressure waves are generated on the lid side of the flow path main body, and these pressure wave introduction ports and the piezoelectric film sensor are provided on the groove and the side wall provided on the lid of the flow path main body. A fluid signal which is communicated via a pressure signal transmission path comprising a through hole.