JPH08239270A - 超塑性炭化ケイ素焼結体とその製造方法 - Google Patents
超塑性炭化ケイ素焼結体とその製造方法Info
- Publication number
- JPH08239270A JPH08239270A JP7070609A JP7060995A JPH08239270A JP H08239270 A JPH08239270 A JP H08239270A JP 7070609 A JP7070609 A JP 7070609A JP 7060995 A JP7060995 A JP 7060995A JP H08239270 A JPH08239270 A JP H08239270A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon carbide
- weight
- sintered body
- sintering
- less
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/56—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides
- C04B35/565—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides based on silicon carbide
- C04B35/575—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides based on silicon carbide obtained by pressure sintering
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 １５５０〜１８００℃の温度範囲内における
５０〜２０００ｋｇ／ｃｍ2 の圧縮または引張応力下で
の変形速度が、１０-4／ｓｅｃ以上の超塑性を示す炭化
ケイ素焼結体とその製造方法を提供する。 【構成】 平均粒径が０．３μｍ以下で、比表面積が２
０ｍ2 ／ｇ以上である炭化ケイ素微粉末８６重量％以上
９８．５重量％以下に、１．５重量％を超え１４重量％
未満のＡｌ2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 、ＭｇＯ、ＣａＯ、および
ＳｉＯ2 の内の２種以上を焼結助剤として添加・混合し
た後、アルゴン雰囲気中で１５００〜１９５０℃の温
度、１００〜１０００ｋｇ／ｃｍ2 の圧力下でのホット
プレス焼結、プラズマ焼結等によって得られた超塑性炭
化ケイ素焼結体。
５０〜２０００ｋｇ／ｃｍ2 の圧縮または引張応力下で
の変形速度が、１０-4／ｓｅｃ以上の超塑性を示す炭化
ケイ素焼結体とその製造方法を提供する。 【構成】 平均粒径が０．３μｍ以下で、比表面積が２
０ｍ2 ／ｇ以上である炭化ケイ素微粉末８６重量％以上
９８．５重量％以下に、１．５重量％を超え１４重量％
未満のＡｌ2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 、ＭｇＯ、ＣａＯ、および
ＳｉＯ2 の内の２種以上を焼結助剤として添加・混合し
た後、アルゴン雰囲気中で１５００〜１９５０℃の温
度、１００〜１０００ｋｇ／ｃｍ2 の圧力下でのホット
プレス焼結、プラズマ焼結等によって得られた超塑性炭
化ケイ素焼結体。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、超塑性炭化ケイ素焼
結体とその製造方法に関するものである。さらに詳しく
は、この発明は、高温下でも耐食・耐磨耗性に優れた性
質を有する炭化ケイ素を化学プラント、液体輸送用ポン
プ、エンジン部品等の各種の形状に直接的に塑性加工す
ることのできる焼結体とその製造方法に関するものであ
る。
結体とその製造方法に関するものである。さらに詳しく
は、この発明は、高温下でも耐食・耐磨耗性に優れた性
質を有する炭化ケイ素を化学プラント、液体輸送用ポン
プ、エンジン部品等の各種の形状に直接的に塑性加工す
ることのできる焼結体とその製造方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術とその課題】セラミックスは、金属、有機
高分子材料に比べ低温および高温で高強度、高硬度であ
る等といった優れた性質を持っていることから、低温ま
たは高温で使用する構造材料等の部品への用途が広がっ
ている。とりわけ、炭化ケイ素セラミックスは過酷な条
件下で使用する耐食・耐磨耗性機械部品として実用化が
進展している。しかしながら、炭化ケイ素セラミックス
を含め、セラミックス材料には、加工が困難であるとい
う問題がある。すなわち、金属材料は圧延や鋳造による
成形や、切削、研削等による機械加工が容易であり、そ
のために加工コストが低いという特徴がある。これに対
し、セラミックスは曲げ加工や切削が困難であり、研削
や研磨等に依らざるを得ないが、そのためにダイヤモン
ド製の工具が必要となって加工コストが極めて高くな
り、このコストは、部品価格の半分以上になる場合もあ
る。
高分子材料に比べ低温および高温で高強度、高硬度であ
る等といった優れた性質を持っていることから、低温ま
たは高温で使用する構造材料等の部品への用途が広がっ
ている。とりわけ、炭化ケイ素セラミックスは過酷な条
件下で使用する耐食・耐磨耗性機械部品として実用化が
進展している。しかしながら、炭化ケイ素セラミックス
を含め、セラミックス材料には、加工が困難であるとい
う問題がある。すなわち、金属材料は圧延や鋳造による
成形や、切削、研削等による機械加工が容易であり、そ
のために加工コストが低いという特徴がある。これに対
し、セラミックスは曲げ加工や切削が困難であり、研削
や研磨等に依らざるを得ないが、そのためにダイヤモン
ド製の工具が必要となって加工コストが極めて高くな
り、このコストは、部品価格の半分以上になる場合もあ
る。
【０００３】このようなセラミックスの加工コストを下
げるには、部品を最終形状に近い形状に焼結成形し、そ
の後の加工量を最小にすることが必要である。このため
には、セラミックスを超微細粒子にして、超塑性を利用
することが好ましい。この場合の超塑性とは、一般には
金属の超微細結晶粒が高温において外部応力下で容易に
塑性変形する性質を意味しており、この超塑性を利用す
ることで簡単な形状の材料から複雑な形状の部品を容易
に製造することができる。そのため、セラミックスにお
いてもこのような超塑性が利用できることになれば、金
属と同様な手段で最終部品が得られ、加工コストを大幅
に下げることができる。このような観点から、セラミッ
クスの場合についても超塑性を利用して目的形状とする
ニアネットシェイプ成形に関する検討が進められてい
る。
げるには、部品を最終形状に近い形状に焼結成形し、そ
の後の加工量を最小にすることが必要である。このため
には、セラミックスを超微細粒子にして、超塑性を利用
することが好ましい。この場合の超塑性とは、一般には
金属の超微細結晶粒が高温において外部応力下で容易に
塑性変形する性質を意味しており、この超塑性を利用す
ることで簡単な形状の材料から複雑な形状の部品を容易
に製造することができる。そのため、セラミックスにお
いてもこのような超塑性が利用できることになれば、金
属と同様な手段で最終部品が得られ、加工コストを大幅
に下げることができる。このような観点から、セラミッ
クスの場合についても超塑性を利用して目的形状とする
ニアネットシェイプ成形に関する検討が進められてい
る。
【０００４】すでにこれまでにも、セラミックスのうち
のジルコニア、ムライト、アッパタイトの超微細粒子に
ついては、これらが超塑性を示すことから、これを利用
した実用可能な部品の開発が行われている。また、この
発明の発明者等は、すでに、微細な粒度の窒化ケイ素を
焼結温度より低温で粒成長を抑制しながら焼結すると、
粒子が微細で均一なまま焼結することを見出し、それに
基づいて超塑性窒化ケイ素の焼結方法を開発している。
しかしながら、炭化ケイ素の場合は、窒化ケイ素より２
００℃程高温で焼結しないと高密度焼結体が得られず、
また、このような温度で焼結させると、炭化ケイ素の粒
成長が生じ、平均粒径が２μｍ以上になってしまい、焼
結温度より低温では塑性変形しなくなるという制約があ
る。炭化ケイ素が１９００℃で４０％程度の変形を示す
研究結果が唯一報告されてはいる（Ｃ．Ｃａｒｒｙ ａ
ｎｄ Ａ．Ｍｏｃｏｌｌｉｎ．Ｍａｔｅｒ．Ｒｅｓ．Ｓ
ｏｃ．Ｖｏｌ．１８．ｐ．３９１（１９８４））が、こ
の温度は炭化ケイ素の焼結温度とほぼ同じである。一般
に変形速度は温度に敏感で、焼結温度付近になるとほと
んどの材料は容易に変形することから、この報告は焼結
温度以下での超塑性変形に関するものとは言えない。超
塑性は、焼結温度よりかなり低い温度で大きな変形を示
すことに学問的にも技術的にも意味があることから、こ
れまでの検討によっては超塑性ケイ素焼結体は実現され
ていないのが実情である。炭化ケイ素は、高硬度で、低
温あるいは高温での過酷な条件下でも優れた耐食、耐摩
耗性を有する材料として注目されていることからも、こ
の炭化ケイ素を超塑性変形させ、各種の複雑形状部品の
最終形状に近い形状に焼成することで、研削等の後加工
をできる限り少なくし、安価に製造することのできる、
新しい技術的手段を実現することが強く望まれていた。
のジルコニア、ムライト、アッパタイトの超微細粒子に
ついては、これらが超塑性を示すことから、これを利用
した実用可能な部品の開発が行われている。また、この
発明の発明者等は、すでに、微細な粒度の窒化ケイ素を
焼結温度より低温で粒成長を抑制しながら焼結すると、
粒子が微細で均一なまま焼結することを見出し、それに
基づいて超塑性窒化ケイ素の焼結方法を開発している。
しかしながら、炭化ケイ素の場合は、窒化ケイ素より２
００℃程高温で焼結しないと高密度焼結体が得られず、
また、このような温度で焼結させると、炭化ケイ素の粒
成長が生じ、平均粒径が２μｍ以上になってしまい、焼
結温度より低温では塑性変形しなくなるという制約があ
る。炭化ケイ素が１９００℃で４０％程度の変形を示す
研究結果が唯一報告されてはいる（Ｃ．Ｃａｒｒｙ ａ
ｎｄ Ａ．Ｍｏｃｏｌｌｉｎ．Ｍａｔｅｒ．Ｒｅｓ．Ｓ
ｏｃ．Ｖｏｌ．１８．ｐ．３９１（１９８４））が、こ
の温度は炭化ケイ素の焼結温度とほぼ同じである。一般
に変形速度は温度に敏感で、焼結温度付近になるとほと
んどの材料は容易に変形することから、この報告は焼結
温度以下での超塑性変形に関するものとは言えない。超
塑性は、焼結温度よりかなり低い温度で大きな変形を示
すことに学問的にも技術的にも意味があることから、こ
れまでの検討によっては超塑性ケイ素焼結体は実現され
ていないのが実情である。炭化ケイ素は、高硬度で、低
温あるいは高温での過酷な条件下でも優れた耐食、耐摩
耗性を有する材料として注目されていることからも、こ
の炭化ケイ素を超塑性変形させ、各種の複雑形状部品の
最終形状に近い形状に焼成することで、研削等の後加工
をできる限り少なくし、安価に製造することのできる、
新しい技術的手段を実現することが強く望まれていた。
【０００５】そこでこの発明は、上記のような従来技術
の問題を解決するために創案されたものであり、超塑性
を示す炭化ケイ素焼結体とその製造方法を提供すること
を目的としている。
の問題を解決するために創案されたものであり、超塑性
を示す炭化ケイ素焼結体とその製造方法を提供すること
を目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、この発明では、（Ｉ）８５重量％以上９８重量％以
下の炭化ケイ素粒子と２重量％を超え１５重量％未満の
粒界相からなり、相対密度が９５％以上であって、炭化
ケイ素粒子は、平均粒径が０．３μｍ以下で、かつ、粒
径が０．５μｍを超える粒子が３重量％以下からなるも
のが、１６００〜１８００℃の温度範囲内における５０
〜２０００ｋｇ／ｃｍ2 の圧縮または引張応力下での変
形速度が、１０-4／ｓｅｃ以上である超塑性炭化ケイ素
焼結体（請求項１）、（II）８５重量％以上９８重量％
以下の炭化ケイ素粒子と２重量％を超え１５重量％未満
の粒界相からなり、相対密度が９５％以上であって、炭
化ケイ素粒子は、平均粒径が０．２μｍ以下で、かつ、
粒径が０．４μｍを超える粒子が１重量％以下からなる
ものが、１５５０〜１７５０℃の温度範囲内における２
００〜１０００ｋｇ／ｃｍ2 の圧縮または引張応力下で
の変形速度が、１０-4／ｓｅｃ以上である超塑性炭化ケ
イ素焼結体（請求項２）を提供する。
に、この発明では、（Ｉ）８５重量％以上９８重量％以
下の炭化ケイ素粒子と２重量％を超え１５重量％未満の
粒界相からなり、相対密度が９５％以上であって、炭化
ケイ素粒子は、平均粒径が０．３μｍ以下で、かつ、粒
径が０．５μｍを超える粒子が３重量％以下からなるも
のが、１６００〜１８００℃の温度範囲内における５０
〜２０００ｋｇ／ｃｍ2 の圧縮または引張応力下での変
形速度が、１０-4／ｓｅｃ以上である超塑性炭化ケイ素
焼結体（請求項１）、（II）８５重量％以上９８重量％
以下の炭化ケイ素粒子と２重量％を超え１５重量％未満
の粒界相からなり、相対密度が９５％以上であって、炭
化ケイ素粒子は、平均粒径が０．２μｍ以下で、かつ、
粒径が０．４μｍを超える粒子が１重量％以下からなる
ものが、１５５０〜１７５０℃の温度範囲内における２
００〜１０００ｋｇ／ｃｍ2 の圧縮または引張応力下で
の変形速度が、１０-4／ｓｅｃ以上である超塑性炭化ケ
イ素焼結体（請求項２）を提供する。
【０００７】そしてこの発明は、上記超塑性炭化ケイ素
焼結体について、粒界相が酸化物からなり、Ａｌ、希土
類金属、アルカリ土類金属の１種以上、およびＳｉの酸
化物からなるガラスであること（請求項３，４）をその
一つの態様としてもいる。さらに詳しく説明すると、セ
ラミックスの高温における変形速度はセラミックスの粒
径に大きく依存するものであり、特に、超塑性変形では
平均粒径の２〜３乗に反比例する。このため、変形中の
粒成長が起こると加工抵抗が増大し、急激に変形速度が
低下する。これが加工硬化と呼ばれる現象である。加工
硬化は細かい粒子の中に大きな粒子が存在すると、それ
が粒成長の核となり、加工中に一部の粒子が成長するこ
とによるものである。そこで、この発明の発明者は、鋭
意研究の結果、超塑性加工が可能なセラミックスを得る
ためには、平均粒径が小さいだけのみでなく、粒成長の
核となる大きな粒子を含まない均一組織からなるものを
使用することが必要であるとの知見に基づき、前述の如
く超塑性炭化ケイ素焼結体が得られていないのは、原料
の粒度が大きく焼結に高温を必要とするためであるとの
結論に達し、平均粒径が小さくかつ粒度分布の狭い炭化
ケイ素粉末に、液相焼結を促進する焼結助剤を添加して
低温で焼結すると粒成長が抑制でき、超塑性を示す炭化
ケイ素焼結体を製造することができることを解明し、こ
の発明を完成するに至った。
焼結体について、粒界相が酸化物からなり、Ａｌ、希土
類金属、アルカリ土類金属の１種以上、およびＳｉの酸
化物からなるガラスであること（請求項３，４）をその
一つの態様としてもいる。さらに詳しく説明すると、セ
ラミックスの高温における変形速度はセラミックスの粒
径に大きく依存するものであり、特に、超塑性変形では
平均粒径の２〜３乗に反比例する。このため、変形中の
粒成長が起こると加工抵抗が増大し、急激に変形速度が
低下する。これが加工硬化と呼ばれる現象である。加工
硬化は細かい粒子の中に大きな粒子が存在すると、それ
が粒成長の核となり、加工中に一部の粒子が成長するこ
とによるものである。そこで、この発明の発明者は、鋭
意研究の結果、超塑性加工が可能なセラミックスを得る
ためには、平均粒径が小さいだけのみでなく、粒成長の
核となる大きな粒子を含まない均一組織からなるものを
使用することが必要であるとの知見に基づき、前述の如
く超塑性炭化ケイ素焼結体が得られていないのは、原料
の粒度が大きく焼結に高温を必要とするためであるとの
結論に達し、平均粒径が小さくかつ粒度分布の狭い炭化
ケイ素粉末に、液相焼結を促進する焼結助剤を添加して
低温で焼結すると粒成長が抑制でき、超塑性を示す炭化
ケイ素焼結体を製造することができることを解明し、こ
の発明を完成するに至った。
【０００８】ここで粒界相は焼結助剤と炭化ケイ素表面
のシリカからなるものであって、焼結助剤を添加するこ
とで焼結時に液相が生成され、高温で粒界すべりを起し
超塑性変形することができるようになるものと考えられ
る。このため、粒界相は２重量％を超え１５重量％未満
とすることが好ましい。２重量％未満であれば、焼結が
困難になるとともに変形速度が低下することから好まし
くない。また、１５重量％を超えると焼結体の機械的特
性が低下することから好ましくない。
のシリカからなるものであって、焼結助剤を添加するこ
とで焼結時に液相が生成され、高温で粒界すべりを起し
超塑性変形することができるようになるものと考えられ
る。このため、粒界相は２重量％を超え１５重量％未満
とすることが好ましい。２重量％未満であれば、焼結が
困難になるとともに変形速度が低下することから好まし
くない。また、１５重量％を超えると焼結体の機械的特
性が低下することから好ましくない。
【０００９】粒界相となる焼結助剤はより好ましくは酸
化物からなるものであり、Ａｌ、希土類金属、アルカリ
土類金属の１種以上、およびＳｉの酸化物からなるガラ
ス、または一部結晶相を含有するガラスであることが、
炭化ケイ素粉末を液相焼結する際、低温で粒成長を抑制
して、焼結できることから好ましい。Ａｌからなるもの
としては、Ａｌ2 Ｏ3 が好ましく、希土類金属からなる
ものとしては、Ｙ2 Ｏ3 、Ｓｃ2Ｏ3 、Ｌａ2 Ｏ3 、Ｃ
ｅＯ2 、Ｐｒ2 Ｏ3 、Ｎｄ2Ｏ3 、Ｓｍ2 Ｏ3 、Ｅｕ2
Ｏ3 、Ｇｄ2 Ｏ3 、Ｔｂ2 Ｏ3 、Ｄｙ2 Ｏ3 、Ｈｏ2Ｏ
3 、Ｅｒ2 Ｏ3 、Ｔｍ2 Ｏ3 、Ｙｂ2 Ｏ3 、Ｌｕ2 Ｏ3
が好ましく、アルカリ土類金属からなるものとしては、
ＭｇＯ、ＣａＯが好ましく、Ｓｉからなるものとしては
ＳｉＯ2 が好ましい。なお、ＳｉＯ2 は炭化ケイ素表面
に酸化層として必ず存在するが、その量が不足の場合は
別途に添加することとする。
化物からなるものであり、Ａｌ、希土類金属、アルカリ
土類金属の１種以上、およびＳｉの酸化物からなるガラ
ス、または一部結晶相を含有するガラスであることが、
炭化ケイ素粉末を液相焼結する際、低温で粒成長を抑制
して、焼結できることから好ましい。Ａｌからなるもの
としては、Ａｌ2 Ｏ3 が好ましく、希土類金属からなる
ものとしては、Ｙ2 Ｏ3 、Ｓｃ2Ｏ3 、Ｌａ2 Ｏ3 、Ｃ
ｅＯ2 、Ｐｒ2 Ｏ3 、Ｎｄ2Ｏ3 、Ｓｍ2 Ｏ3 、Ｅｕ2
Ｏ3 、Ｇｄ2 Ｏ3 、Ｔｂ2 Ｏ3 、Ｄｙ2 Ｏ3 、Ｈｏ2Ｏ
3 、Ｅｒ2 Ｏ3 、Ｔｍ2 Ｏ3 、Ｙｂ2 Ｏ3 、Ｌｕ2 Ｏ3
が好ましく、アルカリ土類金属からなるものとしては、
ＭｇＯ、ＣａＯが好ましく、Ｓｉからなるものとしては
ＳｉＯ2 が好ましい。なお、ＳｉＯ2 は炭化ケイ素表面
に酸化層として必ず存在するが、その量が不足の場合は
別途に添加することとする。
【００１０】そして、ガラスとしては、Ａｌ2 Ｏ3 、Ｙ
2 Ｏ3 、ＭｇＯ、ＣａＯの１種以上、およびＳｉＯ2 か
らなるものであることが望ましい。相対密度は９５％以
上でないと、変形中に緻密化が起こり、ニアネットシェ
イプの目的が達成できない。また、変形中に気孔が成長
し、材料を破壊する場合がある。また、残留気孔が破壊
源となっていることもある。こういったことから、気孔
は５％未満が好ましく、２％未満であることが望まし
い。
2 Ｏ3 、ＭｇＯ、ＣａＯの１種以上、およびＳｉＯ2 か
らなるものであることが望ましい。相対密度は９５％以
上でないと、変形中に緻密化が起こり、ニアネットシェ
イプの目的が達成できない。また、変形中に気孔が成長
し、材料を破壊する場合がある。また、残留気孔が破壊
源となっていることもある。こういったことから、気孔
は５％未満が好ましく、２％未満であることが望まし
い。
【００１１】炭化ケイ素粒子の平均粒径が０．３μｍ以
下で、かつ、粒径が０．５μｍを超える粒子が３重量％
以下であると、１６００〜１８００℃の温度範囲内にお
ける５０〜２０００ｋｇ／ｃｍ2 の圧縮または引張応力
下で、１０-4／ｓｅｃ以上の速度で変形する。平均粒径
が０．３μｍを超えると塑性変形の速度は低くなり好ま
しくない。また、粒径が０．５μｍを超える粒子が３重
量％を超えると、加工硬化が起こり好ましくない。
下で、かつ、粒径が０．５μｍを超える粒子が３重量％
以下であると、１６００〜１８００℃の温度範囲内にお
ける５０〜２０００ｋｇ／ｃｍ2 の圧縮または引張応力
下で、１０-4／ｓｅｃ以上の速度で変形する。平均粒径
が０．３μｍを超えると塑性変形の速度は低くなり好ま
しくない。また、粒径が０．５μｍを超える粒子が３重
量％を超えると、加工硬化が起こり好ましくない。
【００１２】なお、ここでは、圧縮または引張応力下で
の変形速度を１０-4／ｓｅｃ以上（一時間当たりで３６
％以上変形するもの）としているが、それはこの値以上
の変形速度を超塑性と定義していることによるものであ
る。塑性加工は一般的に５０〜２０００ｋｇ／ｃｍ2 の
圧縮または引張応力で行われる。変形速度が、１０-4／
ｓｅｃ以上であれば、セラミックスとしては充分な加工
速度である。従って、加工温度が１５５０〜１８００℃
の温度範囲であれば本願の炭化ケイ素粉末は超塑性加工
が可能である。１８００℃を超える温度では、加工速度
は高くなるが粒成長が顕著となるとともに表面からの熱
分解が起こり好ましくない。１５５０℃未満の温度では
極めて高い加工圧が必要となり実用的でない。
の変形速度を１０-4／ｓｅｃ以上（一時間当たりで３６
％以上変形するもの）としているが、それはこの値以上
の変形速度を超塑性と定義していることによるものであ
る。塑性加工は一般的に５０〜２０００ｋｇ／ｃｍ2 の
圧縮または引張応力で行われる。変形速度が、１０-4／
ｓｅｃ以上であれば、セラミックスとしては充分な加工
速度である。従って、加工温度が１５５０〜１８００℃
の温度範囲であれば本願の炭化ケイ素粉末は超塑性加工
が可能である。１８００℃を超える温度では、加工速度
は高くなるが粒成長が顕著となるとともに表面からの熱
分解が起こり好ましくない。１５５０℃未満の温度では
極めて高い加工圧が必要となり実用的でない。
【００１３】そして、前記（Ｉ）の焼結体によれば、こ
れまでの炭化ケイ素の焼結温度である１９００℃よりも
１００℃以上低い温度で加工でき、複雑な形状の各種の
部品を製造することができる。さらに、前記（II）の焼
結体によれば、炭化ケイ素粒子が微細で、平均粒径０．
２μｍ以下で、かつ、粒径が０．４μｍを超える粒子が
１体積％以下であると、１５５０〜１７５０℃の温度範
囲内における５０〜２０００ｋｇ／ｃｍ2 の圧縮または
引張応力下で、１０-4／ｓｅｃ以上の速度で超塑性変形
することになり、（Ｉ）によるよりもさらに５０℃以上
低い温度、すなわち、これまでの炭化ケイ素の焼結温度
である１９００℃よりも１５０℃以上低い温度で加工で
きる。
れまでの炭化ケイ素の焼結温度である１９００℃よりも
１００℃以上低い温度で加工でき、複雑な形状の各種の
部品を製造することができる。さらに、前記（II）の焼
結体によれば、炭化ケイ素粒子が微細で、平均粒径０．
２μｍ以下で、かつ、粒径が０．４μｍを超える粒子が
１体積％以下であると、１５５０〜１７５０℃の温度範
囲内における５０〜２０００ｋｇ／ｃｍ2 の圧縮または
引張応力下で、１０-4／ｓｅｃ以上の速度で超塑性変形
することになり、（Ｉ）によるよりもさらに５０℃以上
低い温度、すなわち、これまでの炭化ケイ素の焼結温度
である１９００℃よりも１５０℃以上低い温度で加工で
きる。
【００１４】上記した通りの知見を具体化するものとし
て、また、この発明は、(III)平均粒径が０．３μｍ以
下で、比表面積が２０ｍ2 ／ｇ以上である炭化ケイ素微
粉末８６重量％以上９８．５重量％以下に、１．５重量
％を超え１４重量％未満のＡｌ酸化物、希土類金属酸化
物、アルカリ土類金属酸化物、およびＳｉＯ2 の１種以
上を焼結助剤として添加・混合した後、Ａｒ、Ｈｅ、Ｎ
2 等の中性雰囲気中で、１５００〜１９５０℃の温度、
１００〜１０００ｋｇ／ｃｍ2 の圧力下で焼結すること
を特徴とする超塑性炭化ケイ素焼結体の製造方法を提供
する。
て、また、この発明は、(III)平均粒径が０．３μｍ以
下で、比表面積が２０ｍ2 ／ｇ以上である炭化ケイ素微
粉末８６重量％以上９８．５重量％以下に、１．５重量
％を超え１４重量％未満のＡｌ酸化物、希土類金属酸化
物、アルカリ土類金属酸化物、およびＳｉＯ2 の１種以
上を焼結助剤として添加・混合した後、Ａｒ、Ｈｅ、Ｎ
2 等の中性雰囲気中で、１５００〜１９５０℃の温度、
１００〜１０００ｋｇ／ｃｍ2 の圧力下で焼結すること
を特徴とする超塑性炭化ケイ素焼結体の製造方法を提供
する。
【００１５】ここで、焼結助剤として酸化物からなるも
のであり、Ａｌ、希土類金属、アルカリ土類金属、およ
びＳｉの内の１種以上からなるガラス、または結晶相を
含有するガラスを用い、中性雰囲気としてアルゴン雰囲
気中でホットプレス焼結またはプラズマ焼結されること
が好ましい。とりわけ、焼結助剤はＡｌ2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ
3 、ＭｇＯ、ＣａＯ、およびＳｉＯ2 の１種類以上から
なるものを用いることが望ましい。
のであり、Ａｌ、希土類金属、アルカリ土類金属、およ
びＳｉの内の１種以上からなるガラス、または結晶相を
含有するガラスを用い、中性雰囲気としてアルゴン雰囲
気中でホットプレス焼結またはプラズマ焼結されること
が好ましい。とりわけ、焼結助剤はＡｌ2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ
3 、ＭｇＯ、ＣａＯ、およびＳｉＯ2 の１種類以上から
なるものを用いることが望ましい。
【００１６】また、平均粒径が０．３μｍ以下で、比表
面積が２０ｍ2 ／ｇ以上である炭化ケイ素微粉末８６重
量％以上９８．５重量％以下としたのは、超塑性炭化ケ
イ素焼結体を得るために必要な炭化ケイ素は、平均粒径
が小さくかつ粒度分布の狭い炭化ケイ素微粉末であっ
て、粒成長を抑制して、低温で焼結できるものであるこ
とが必要であることによる。平均粒径０．３μｍを超え
るか、または、比表面積が２０ｍ2 ／ｇに満たない、も
しくは、その両方が成り立つ炭化ケイ素微粉末では、粒
成長のための核が存在し加熱中に核が異常成長すること
になり、焼結ができなくなり好ましくない。このことか
ら、炭化ケイ素としては、平均粒径は０．１〜０．２μ
ｍで、かつ、比表面積２５〜３５ｍ2 ／ｇのものが特に
望ましい。炭化ケイ素粉末には、表面酸化層として常に
１〜３重量％のシリカが存在し、シリカは焼結助剤と反
応して液相を形成する。また、炭化ケイ素粉末には、製
造方法によって異なるが多少の遊離炭素が存在する。該
遊離炭素は液相中の成分と反応し、その量を減らしたり
高融点の化合物を形成することから好ましくない。遊離
炭素の量が２．０重量％を超えると焼結を阻害すること
になるので、遊離炭素の量は２．０重量％以下であるこ
とが望ましい。
面積が２０ｍ2 ／ｇ以上である炭化ケイ素微粉末８６重
量％以上９８．５重量％以下としたのは、超塑性炭化ケ
イ素焼結体を得るために必要な炭化ケイ素は、平均粒径
が小さくかつ粒度分布の狭い炭化ケイ素微粉末であっ
て、粒成長を抑制して、低温で焼結できるものであるこ
とが必要であることによる。平均粒径０．３μｍを超え
るか、または、比表面積が２０ｍ2 ／ｇに満たない、も
しくは、その両方が成り立つ炭化ケイ素微粉末では、粒
成長のための核が存在し加熱中に核が異常成長すること
になり、焼結ができなくなり好ましくない。このことか
ら、炭化ケイ素としては、平均粒径は０．１〜０．２μ
ｍで、かつ、比表面積２５〜３５ｍ2 ／ｇのものが特に
望ましい。炭化ケイ素粉末には、表面酸化層として常に
１〜３重量％のシリカが存在し、シリカは焼結助剤と反
応して液相を形成する。また、炭化ケイ素粉末には、製
造方法によって異なるが多少の遊離炭素が存在する。該
遊離炭素は液相中の成分と反応し、その量を減らしたり
高融点の化合物を形成することから好ましくない。遊離
炭素の量が２．０重量％を超えると焼結を阻害すること
になるので、遊離炭素の量は２．０重量％以下であるこ
とが望ましい。
【００１７】焼結助剤については、前述したように、焼
結と超塑性変形速度とから１．５重量％を超え１４重量
％未満とすることが必要である。焼結は、ホットプレス
焼結、プラズマ焼結が望ましいが、炭化ケイ素微粉末が
１５００〜１９５０℃の温度、１００〜１０００ｋｇ／
ｃｍ2 の圧力下で超塑性変形するような焼結方法であれ
ばよく、前記以外に、例えば、ＨＩＰ（熱間静水圧圧縮
法）等が採用できる。
結と超塑性変形速度とから１．５重量％を超え１４重量
％未満とすることが必要である。焼結は、ホットプレス
焼結、プラズマ焼結が望ましいが、炭化ケイ素微粉末が
１５００〜１９５０℃の温度、１００〜１０００ｋｇ／
ｃｍ2 の圧力下で超塑性変形するような焼結方法であれ
ばよく、前記以外に、例えば、ＨＩＰ（熱間静水圧圧縮
法）等が採用できる。
【００１８】なお、炭化ケイ素焼結体の粒径は、試料を
切断・研磨後、ＣＦ．ガスのマイクロ波プラズマで処理
し、炭化ケイ素粒子を除去し、粒界の酸化物系ガラスを
残留させ、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察した結果
によるものである。平均粒径はＳＥＭによるＳＥＭ写真
から５００個以上の粒子を選択し、画像処理法により研
磨面の粒子の最も短い直径を算出し、平均したものを示
している。
切断・研磨後、ＣＦ．ガスのマイクロ波プラズマで処理
し、炭化ケイ素粒子を除去し、粒界の酸化物系ガラスを
残留させ、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察した結果
によるものである。平均粒径はＳＥＭによるＳＥＭ写真
から５００個以上の粒子を選択し、画像処理法により研
磨面の粒子の最も短い直径を算出し、平均したものを示
している。
【００１９】以下、実施例を示し、さらに詳しくこの発
明について説明するもちろんこの発明は以下の例によっ
て限定されるものではない。
明について説明するもちろんこの発明は以下の例によっ
て限定されるものではない。
【００２０】
（実施例１）焼結用原料として市販の炭化ケイ素粉末
（イビデン〓製ベータランダム）１０重量％に、濃度
０．１重量％のカルボキシメチルセルローズ（ＣＭＣ）
水溶液９０重量％添加し、炭化ケイ素製のボールミルで
３時間湿式分散および粉砕を行った。得られたスラリー
を遠心力１４００Ｇで５分間遠心分離し、荒い粒子を沈
澱物として分離した。上澄みのスラリーをさらに遠心力
２８００Ｇで９０分遠心分離し、沈降物を洗浄および乾
燥して炭化ケイ素微粉末を得た。遊離炭素量は空気中６
００℃で３０分加熱し、重量変化から決定した。この結
果原料中の遊離炭化は１．０重量％であったが、焼結用
微粉末では１．６重量％と増加した。微粉末の平均粒径
はレーザー散乱法によって測定した。結果は表１に示す
通りであった。
（イビデン〓製ベータランダム）１０重量％に、濃度
０．１重量％のカルボキシメチルセルローズ（ＣＭＣ）
水溶液９０重量％添加し、炭化ケイ素製のボールミルで
３時間湿式分散および粉砕を行った。得られたスラリー
を遠心力１４００Ｇで５分間遠心分離し、荒い粒子を沈
澱物として分離した。上澄みのスラリーをさらに遠心力
２８００Ｇで９０分遠心分離し、沈降物を洗浄および乾
燥して炭化ケイ素微粉末を得た。遊離炭素量は空気中６
００℃で３０分加熱し、重量変化から決定した。この結
果原料中の遊離炭化は１．０重量％であったが、焼結用
微粉末では１．６重量％と増加した。微粉末の平均粒径
はレーザー散乱法によって測定した。結果は表１に示す
通りであった。
【００２１】次に、この炭化ケイ素微粉末９０重量％
に、Ａｌ2 Ｏ3 （住友化学（株）製ＡＫＰ ２０）７重
量％、Ｙ2 Ｏ3 （信越化学工業（株）製微粉）２重量
％、ＣａＯ（和光純薬（株）製特級試薬）１重量％を添
加し、エタノール中で５時間湿式混合し、乾燥した後解
砕を行った。次いで、この粉末４ｇを１５ｍｍφのカー
ボンダイスに充填し、アルゴン雰囲気中で、１８００
℃、プレス圧２００ｋｇ／ｃｍ2 で１５分間ホットプレ
ス焼結を行った。得られた焼結体について、アルキメデ
ス法により焼結体密度を測定した。そして、焼結体を切
断し、鏡面研磨した後、研磨面をプラズマエッチングし
てＳＥＭによる焼結体組織の観察を行った。さらに、Ｓ
ＥＭ写真を画像解析装置（ニレコ（株）製ルーゼックス
〓）により粒子の評価を行った。評価は５００個以上の
粒子について行い、平均粒径、および粒径が０．５μｍ
以上である粒子量の全粒子に対する割合を重量％として
算出した。結果は表２に示す通りである。
に、Ａｌ2 Ｏ3 （住友化学（株）製ＡＫＰ ２０）７重
量％、Ｙ2 Ｏ3 （信越化学工業（株）製微粉）２重量
％、ＣａＯ（和光純薬（株）製特級試薬）１重量％を添
加し、エタノール中で５時間湿式混合し、乾燥した後解
砕を行った。次いで、この粉末４ｇを１５ｍｍφのカー
ボンダイスに充填し、アルゴン雰囲気中で、１８００
℃、プレス圧２００ｋｇ／ｃｍ2 で１５分間ホットプレ
ス焼結を行った。得られた焼結体について、アルキメデ
ス法により焼結体密度を測定した。そして、焼結体を切
断し、鏡面研磨した後、研磨面をプラズマエッチングし
てＳＥＭによる焼結体組織の観察を行った。さらに、Ｓ
ＥＭ写真を画像解析装置（ニレコ（株）製ルーゼックス
〓）により粒子の評価を行った。評価は５００個以上の
粒子について行い、平均粒径、および粒径が０．５μｍ
以上である粒子量の全粒子に対する割合を重量％として
算出した。結果は表２に示す通りである。
【００２２】この表２によると、この焼結体は、１８０
０℃という低温での焼結であっても十分に緻密化してお
り、その焼結体組織は、粗大粒子を含まない非常に微細
かつ均一な組織であった。なお、粒度分布測定により求
めた平均粒径のほうが、画像解析により求めた平均粒径
より大きい。焼結中に粒子は平均としては必ず成長して
いるものであり、この結果のように見掛け上粉末の状態
の粒径が焼結体の粒径より大きいのは、粒度分布測定は
重量平均であり、一方、画像解析は個数平均であること
によるものである。
０℃という低温での焼結であっても十分に緻密化してお
り、その焼結体組織は、粗大粒子を含まない非常に微細
かつ均一な組織であった。なお、粒度分布測定により求
めた平均粒径のほうが、画像解析により求めた平均粒径
より大きい。焼結中に粒子は平均としては必ず成長して
いるものであり、この結果のように見掛け上粉末の状態
の粒径が焼結体の粒径より大きいのは、粒度分布測定は
重量平均であり、一方、画像解析は個数平均であること
によるものである。
【００２３】次いで、この焼結体を５ｍｍφ×７ｍｍの
形状の研削加工し、アルゴン雰囲気中で、表３に示す温
度、圧力条件下で圧縮による高温クリープ評価を行っ
た。この焼結体は、速度２．１×１０-4／ｓの超塑性現
象を示した。また、この焼結体は、高温クリープ評価後
もクラック等の発生は認められなかった。 （実施例２）焼結用原料として市販の炭化ケイ素超微粉
末（住友セメント（株）製β−ＳｉＣ超微粉末）５重量
％に濃度０．１重量％のＣＭＣ水溶液を９５重量％添加
し、炭化ケイ素製のボールミルにて３時間湿式分散およ
び粉砕を行った。次いで、得られたスラリーを遠心力２
８００Ｇの条件で９０分間遠心分離し、上澄みとして炭
化ケイ素超微粉末中の遊離炭素を除去した後、沈降物を
洗浄および乾燥して炭化ケイ素超微粉末を得た。ここ
で、酸素量、遊離炭素量、比表面積は、実施例１と同様
にして算出した。なお、この実施例においては実施例１
で用いたレーザー散乱法での測定が困難であることか
ら、平均粒径は比表面積より球を仮定して算出した。結
果は表１に示す通りである。
形状の研削加工し、アルゴン雰囲気中で、表３に示す温
度、圧力条件下で圧縮による高温クリープ評価を行っ
た。この焼結体は、速度２．１×１０-4／ｓの超塑性現
象を示した。また、この焼結体は、高温クリープ評価後
もクラック等の発生は認められなかった。 （実施例２）焼結用原料として市販の炭化ケイ素超微粉
末（住友セメント（株）製β−ＳｉＣ超微粉末）５重量
％に濃度０．１重量％のＣＭＣ水溶液を９５重量％添加
し、炭化ケイ素製のボールミルにて３時間湿式分散およ
び粉砕を行った。次いで、得られたスラリーを遠心力２
８００Ｇの条件で９０分間遠心分離し、上澄みとして炭
化ケイ素超微粉末中の遊離炭素を除去した後、沈降物を
洗浄および乾燥して炭化ケイ素超微粉末を得た。ここ
で、酸素量、遊離炭素量、比表面積は、実施例１と同様
にして算出した。なお、この実施例においては実施例１
で用いたレーザー散乱法での測定が困難であることか
ら、平均粒径は比表面積より球を仮定して算出した。結
果は表１に示す通りである。
【００２４】次に、この炭化ケイ素超微粉末９０重量％
に、実施例１と同一のＡｌ2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 、ＣａＯを
それぞれ実施例１と同重量％となるように添加し、エタ
ノール中で５時間湿式混合し、乾燥した後解砕を行っ
た。次いで、この粉末４ｇを１５ｍｍφのカーボンダイ
スに充填し、アルゴン雰囲気中で、１７５０℃、プレス
圧２００ｋｇ／ｃｍ2 で１５分間ホットプレス焼結を行
った。得られた焼結体について、実施例１と同様に焼結
体密度測定、ＳＥＭによる焼結体組織の観察、ＳＥＭ写
真の画像解析を行った。結果は表２に示す通りである。
に、実施例１と同一のＡｌ2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 、ＣａＯを
それぞれ実施例１と同重量％となるように添加し、エタ
ノール中で５時間湿式混合し、乾燥した後解砕を行っ
た。次いで、この粉末４ｇを１５ｍｍφのカーボンダイ
スに充填し、アルゴン雰囲気中で、１７５０℃、プレス
圧２００ｋｇ／ｃｍ2 で１５分間ホットプレス焼結を行
った。得られた焼結体について、実施例１と同様に焼結
体密度測定、ＳＥＭによる焼結体組織の観察、ＳＥＭ写
真の画像解析を行った。結果は表２に示す通りである。
【００２５】表２によると、この焼結体は、１７５０℃
という実施例１よりも更に５０℃低い焼結温度であるに
も係わらず十分に緻密化しており、その焼結体組織は、
０．５μｍ以上の粗大粒子を全く含まない非常に微細か
つ均一な組織であった。図１にそのＳＥＭ写真を示す。
これによれば、この焼結体組織は微細でかつ均一である
ことが分かる。
という実施例１よりも更に５０℃低い焼結温度であるに
も係わらず十分に緻密化しており、その焼結体組織は、
０．５μｍ以上の粗大粒子を全く含まない非常に微細か
つ均一な組織であった。図１にそのＳＥＭ写真を示す。
これによれば、この焼結体組織は微細でかつ均一である
ことが分かる。
【００２６】次いで、この焼結体を実施例１と同様に５
ｍｍφ×７ｍｍの形状に研削加工し、アルゴン雰囲気中
で、表３に示す温度、圧力条件下で圧縮による高温クリ
ープ評価を行った。この焼結体は、歪速度１．８×１０
-4／ｓの超塑性現象を示した。また、この焼結体におい
ても、高温クリープ評価後もクラック等の発生は認めら
れなかった。 （比較例１）実施例１で用いた原料の炭化ケイ素粉末を
用いて、この炭化ケイ素粉末の酸素量、遊離炭素量、比
表面積、粒度分布を実施例１と同様にして測定、算出し
た。結果は表１に示す通りである。
ｍｍφ×７ｍｍの形状に研削加工し、アルゴン雰囲気中
で、表３に示す温度、圧力条件下で圧縮による高温クリ
ープ評価を行った。この焼結体は、歪速度１．８×１０
-4／ｓの超塑性現象を示した。また、この焼結体におい
ても、高温クリープ評価後もクラック等の発生は認めら
れなかった。 （比較例１）実施例１で用いた原料の炭化ケイ素粉末を
用いて、この炭化ケイ素粉末の酸素量、遊離炭素量、比
表面積、粒度分布を実施例１と同様にして測定、算出し
た。結果は表１に示す通りである。
【００２７】次に、この炭化ケイ素粉末９０重量％に、
実施例１と同一のＡｌ2 Ｏ3 、Ｙ2Ｏ3 、ＣａＯをそれ
ぞれ実施例１と同重量％となるように添加し、エタノー
ル中で５時間湿式混合し、乾燥した後解砕を行った。次
いで、この粉末４ｇを１５ｍｍφのカーボンダイスに充
填し、アルゴン雰囲気中で、１９００℃、プレス圧２０
０ｋｇ／ｃｍ2 で１５分間ホットプレス焼結を行った。
得られた焼結体について、実施例１と同様に焼結体密度
測定、ＳＥＭによる焼結体組織の観察、ＳＥＭ写真の画
像解析を行った。結果は表２に示す通りであり、平均粒
径は０．２３μｍではあるが、０．５μｍ以上の粒径の
ものが３０．１体積％も含まれている。これは、粒成長
が生じたものと考えられる。図２にそのＳＥＭ写真を示
す。これによれば、この焼結体組織は粗く粒径は不均一
であって、焼結による粒成長を裏付けている。
実施例１と同一のＡｌ2 Ｏ3 、Ｙ2Ｏ3 、ＣａＯをそれ
ぞれ実施例１と同重量％となるように添加し、エタノー
ル中で５時間湿式混合し、乾燥した後解砕を行った。次
いで、この粉末４ｇを１５ｍｍφのカーボンダイスに充
填し、アルゴン雰囲気中で、１９００℃、プレス圧２０
０ｋｇ／ｃｍ2 で１５分間ホットプレス焼結を行った。
得られた焼結体について、実施例１と同様に焼結体密度
測定、ＳＥＭによる焼結体組織の観察、ＳＥＭ写真の画
像解析を行った。結果は表２に示す通りであり、平均粒
径は０．２３μｍではあるが、０．５μｍ以上の粒径の
ものが３０．１体積％も含まれている。これは、粒成長
が生じたものと考えられる。図２にそのＳＥＭ写真を示
す。これによれば、この焼結体組織は粗く粒径は不均一
であって、焼結による粒成長を裏付けている。
【００２８】次いで、この焼結体を実施例１と同様に５
ｍｍφ×７ｍｍの形状に研削加工し、アルゴン雰囲気中
で、表３に示す温度、圧力条件下で圧縮による高温クリ
ープ評価を行った。歪速度の結果は表３の通りで、１７
００℃と実施例１、２よりも高温のクリープ試験温度で
あっても実施例１、２と比べ２桁も違い、超塑性を示す
ものではなかった。 （比較例２）実施例２で用いた原料の炭化ケイ素超微粉
末を用いて、この炭化ケイ素超微粉末の酸素量、遊離炭
素量、比表面積を実施例１と同様にして測定、算出し
た。比較例２においては実施例１で用いたレーザー散乱
法での測定が困難であることから、実施例２と同様、平
均粒径は比表面積より球を仮定して算出した。結果は表
１に示す通りである。
ｍｍφ×７ｍｍの形状に研削加工し、アルゴン雰囲気中
で、表３に示す温度、圧力条件下で圧縮による高温クリ
ープ評価を行った。歪速度の結果は表３の通りで、１７
００℃と実施例１、２よりも高温のクリープ試験温度で
あっても実施例１、２と比べ２桁も違い、超塑性を示す
ものではなかった。 （比較例２）実施例２で用いた原料の炭化ケイ素超微粉
末を用いて、この炭化ケイ素超微粉末の酸素量、遊離炭
素量、比表面積を実施例１と同様にして測定、算出し
た。比較例２においては実施例１で用いたレーザー散乱
法での測定が困難であることから、実施例２と同様、平
均粒径は比表面積より球を仮定して算出した。結果は表
１に示す通りである。
【００２９】次に、この炭化ケイ素超微粉末９０重量％
に、実施例１と同一のＡｌ2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 、ＣａＯを
それぞれ実施例１と同重量％となるように添加し、エタ
ノール中で５時間湿式混合し、乾燥した後解砕を行っ
た。次いで、この粉末４ｇを１５ｍｍφのカーボンダイ
スに充填し、アルゴン雰囲気中で、１８５０℃、プレス
圧２００ｋｇ／ｃｍ2 で１５分間ホットプレス焼結を行
った。得られた焼結体について、実施例１と同様に焼結
体密度測定、ＳＥＭによる焼結体組織の観察、ＳＥＭ写
真の画像解析を行った。結果は表２に示す通りであり、
これも粒成長が生じているものである。
に、実施例１と同一のＡｌ2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 、ＣａＯを
それぞれ実施例１と同重量％となるように添加し、エタ
ノール中で５時間湿式混合し、乾燥した後解砕を行っ
た。次いで、この粉末４ｇを１５ｍｍφのカーボンダイ
スに充填し、アルゴン雰囲気中で、１８５０℃、プレス
圧２００ｋｇ／ｃｍ2 で１５分間ホットプレス焼結を行
った。得られた焼結体について、実施例１と同様に焼結
体密度測定、ＳＥＭによる焼結体組織の観察、ＳＥＭ写
真の画像解析を行った。結果は表２に示す通りであり、
これも粒成長が生じているものである。
【００３０】次いで、この焼結体を実施例１と同様に５
ｍｍφ×７ｍｍの形状に研削加工し、アルゴン雰囲気中
で、表３に示す温度、圧力条件下で圧縮による高温クリ
ープ評価を行った。歪速度の結果は表３の通りであり超
塑性を示すものではなかった。
ｍｍφ×７ｍｍの形状に研削加工し、アルゴン雰囲気中
で、表３に示す温度、圧力条件下で圧縮による高温クリ
ープ評価を行った。歪速度の結果は表３の通りであり超
塑性を示すものではなかった。
【００３１】
【表１】
【００３２】
【表２】
【００３３】
【表３】 （実施例３）実施例２で用いた炭化ケイ素超微粉末を用
い、該炭化ケイ素超微粉末９０重量％に、実施例１と同
一のＡｌ2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 、ＣａＯをそれぞれ実施例１
と同重量％となるように添加し、エタノール中で５時間
湿式混合し、乾燥した後解砕を行った。次いで、この粉
末４ｇを１００ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で金型成形した後、
３トン／ｃｍ2 の圧力で静水圧（ＣＩＰ）成形した。得
られたＣＩＰ成形体を、ＢＮを塗布したカーボンるつぼ
にＳｉＣとＡｌ2 Ｏ3 とからなる詰粉とともに充填し、
アルゴン雰囲気中で、１８００℃、１時間の常圧焼結を
行った。得られた焼結体について、実施例１と同様に焼
結体密度測定、ＳＥＭによる焼結体組織の観察、ＳＥＭ
写真の画像解析を行った。
い、該炭化ケイ素超微粉末９０重量％に、実施例１と同
一のＡｌ2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 、ＣａＯをそれぞれ実施例１
と同重量％となるように添加し、エタノール中で５時間
湿式混合し、乾燥した後解砕を行った。次いで、この粉
末４ｇを１００ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で金型成形した後、
３トン／ｃｍ2 の圧力で静水圧（ＣＩＰ）成形した。得
られたＣＩＰ成形体を、ＢＮを塗布したカーボンるつぼ
にＳｉＣとＡｌ2 Ｏ3 とからなる詰粉とともに充填し、
アルゴン雰囲気中で、１８００℃、１時間の常圧焼結を
行った。得られた焼結体について、実施例１と同様に焼
結体密度測定、ＳＥＭによる焼結体組織の観察、ＳＥＭ
写真の画像解析を行った。
【００３４】次いで、この焼結体を実施例１と同様に５
ｍｍφ×７ｍｍの形状に研削加工し、アルゴン雰囲気中
で、温度１７００℃、圧力５００ｋｇ／ｃｍ2 の条件下
で圧縮による高温クリープ評価を行った。結果は表４に
示す通りである。この焼結体も微細で均一な焼結体組織
をしており、歪速度２．７×１０-4／ｓの超塑性現象を
示した。 （比較例３）比較例１で用いた炭化ケイ素粉末を用い、
該炭化ケイ素粉末９０重量％に、実施例１と同一のＡｌ
2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 、ＣａＯをそれぞれ実施例１と同重量
％となるように添加し、エタノール中で５時間湿式混合
し、乾燥した後解砕を行った。次いで、実施例３と同
様、この粉末４ｇを１００ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で金型成
形した後、３トン／ｃｍ2 の圧力で静水圧（ＣＩＰ）成
形した。得られたＣＩＰ成形体を、ＢＮを塗布したカー
ボンるつぼにＳｉＣとＡｌ2 Ｏ3 とからなる詰粉ととも
に充填し、アルゴン雰囲気中において、１９００℃で１
時間の常圧焼結を行った。得られた焼結体について、実
施例１と同様に焼結体密度測定、ＳＥＭによる焼結体組
織の観察、ＳＥＭ写真の画像解析を行った。
ｍｍφ×７ｍｍの形状に研削加工し、アルゴン雰囲気中
で、温度１７００℃、圧力５００ｋｇ／ｃｍ2 の条件下
で圧縮による高温クリープ評価を行った。結果は表４に
示す通りである。この焼結体も微細で均一な焼結体組織
をしており、歪速度２．７×１０-4／ｓの超塑性現象を
示した。 （比較例３）比較例１で用いた炭化ケイ素粉末を用い、
該炭化ケイ素粉末９０重量％に、実施例１と同一のＡｌ
2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 、ＣａＯをそれぞれ実施例１と同重量
％となるように添加し、エタノール中で５時間湿式混合
し、乾燥した後解砕を行った。次いで、実施例３と同
様、この粉末４ｇを１００ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で金型成
形した後、３トン／ｃｍ2 の圧力で静水圧（ＣＩＰ）成
形した。得られたＣＩＰ成形体を、ＢＮを塗布したカー
ボンるつぼにＳｉＣとＡｌ2 Ｏ3 とからなる詰粉ととも
に充填し、アルゴン雰囲気中において、１９００℃で１
時間の常圧焼結を行った。得られた焼結体について、実
施例１と同様に焼結体密度測定、ＳＥＭによる焼結体組
織の観察、ＳＥＭ写真の画像解析を行った。
【００３５】次いで、この焼結体を実施例１と同様に５
ｍｍφ×７ｍｍの形状に研削加工し、アルゴン雰囲気中
で、温度１７００℃、圧力５００ｋｇ／ｃｍ2 の条件下
で圧縮による高温クリープ評価を行った。結果は表４に
示す通りである。超塑性を示すものではなかった。以上
の実施例および比較例の結果からも、これらの炭化ケイ
素焼結体では高温時、粒界がすべりを生じ超塑性変形を
起こさせるものと考えられる。
ｍｍφ×７ｍｍの形状に研削加工し、アルゴン雰囲気中
で、温度１７００℃、圧力５００ｋｇ／ｃｍ2 の条件下
で圧縮による高温クリープ評価を行った。結果は表４に
示す通りである。超塑性を示すものではなかった。以上
の実施例および比較例の結果からも、これらの炭化ケイ
素焼結体では高温時、粒界がすべりを生じ超塑性変形を
起こさせるものと考えられる。
【００３６】
【表４】 （実施例４）実施例２で用いた炭化ケイ素超微粉末を用
い、該炭化ケイ素超微粉末９１重量％に実施例１と同一
のＡｌ2 Ｏ3 ４重量％、高純度のＭｇＯとＳｉＯ2 をそ
れぞれ４重量％添加し、実施例１と同様に混合した。こ
の混合物を乾燥後、約１６ｇをＢＮ粉末を塗った直径２
０ｍｍの黒鉛型に入れ、５００ｋｇ／ｃｍ2 の圧力下、
放電プラズマ炉（住友石炭鉱業製）で加熱した。雰囲気
は３×１０-3Ｔｏｒｒの減圧下とし、昇温速度３００℃
／分で急速加熱し、１７００℃に５分間保持した。焼結
体の相対密度は９６．１％、平均粒径は０．０６μｍで
あった。焼結体から５×５ｍｍ 長さ１５ｍｍの試料を
切り出し、アルゴン雰囲気、１７００℃で圧力５００ｋ
ｇ／ｍ2 の圧力下で圧縮試験を行なった。この結果、歪
速度６．２×１０-4／ｓの超塑性領域の値を示した。
い、該炭化ケイ素超微粉末９１重量％に実施例１と同一
のＡｌ2 Ｏ3 ４重量％、高純度のＭｇＯとＳｉＯ2 をそ
れぞれ４重量％添加し、実施例１と同様に混合した。こ
の混合物を乾燥後、約１６ｇをＢＮ粉末を塗った直径２
０ｍｍの黒鉛型に入れ、５００ｋｇ／ｃｍ2 の圧力下、
放電プラズマ炉（住友石炭鉱業製）で加熱した。雰囲気
は３×１０-3Ｔｏｒｒの減圧下とし、昇温速度３００℃
／分で急速加熱し、１７００℃に５分間保持した。焼結
体の相対密度は９６．１％、平均粒径は０．０６μｍで
あった。焼結体から５×５ｍｍ 長さ１５ｍｍの試料を
切り出し、アルゴン雰囲気、１７００℃で圧力５００ｋ
ｇ／ｍ2 の圧力下で圧縮試験を行なった。この結果、歪
速度６．２×１０-4／ｓの超塑性領域の値を示した。
【００３７】
【発明の効果】この発明により、以上詳しく説明した通
り、炭化ケイ素の焼結温度よりも低温である１５５０〜
１８００℃の温度範囲内において、５０〜２０００ｋｇ
／ｃｍ 2 の圧縮または引張応力下での変形速度が、１０
-4／ｓｅｃ以上の超塑性を示す炭化ケイ素焼結体が提供
される。その結果、従来加工が困難であった炭化ケイ素
焼結体を用いた各種の複雑な形状の部品等が超塑性を利
用することで、各種の部品の最終形状に近い状態に、安
価にかつ容易に製造することができるようになる。その
ため、各種の部品製造のための時間が短縮することもで
きる。
り、炭化ケイ素の焼結温度よりも低温である１５５０〜
１８００℃の温度範囲内において、５０〜２０００ｋｇ
／ｃｍ 2 の圧縮または引張応力下での変形速度が、１０
-4／ｓｅｃ以上の超塑性を示す炭化ケイ素焼結体が提供
される。その結果、従来加工が困難であった炭化ケイ素
焼結体を用いた各種の複雑な形状の部品等が超塑性を利
用することで、各種の部品の最終形状に近い状態に、安
価にかつ容易に製造することができるようになる。その
ため、各種の部品製造のための時間が短縮することもで
きる。
【図１】この発明の超塑性炭化ケイ素焼結体である実施
例２の図面に代わる電子顕微鏡（ＳＥＭ）写真である。
例２の図面に代わる電子顕微鏡（ＳＥＭ）写真である。
【図２】比較例１の炭化ケイ素焼結体の図面に代わる電
子顕微鏡（ＳＥＭ）写真である。
子顕微鏡（ＳＥＭ）写真である。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成７年９月７日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３６】
【表４】 （実施例４）実施例２で用いた炭化ケイ素超微粉末を用
い、該炭化ケイ素超微粉末９１重量％に実施例１と同一
のＡｌ２Ｏ３４重量％、高純度のＭｇＯとＳｉＯ２をそ
れぞれ２．５重量％添加し、実施例１と同様に混合し
た。この混合物を乾燥後、約１６ｇをＢＮ粉末を塗った
直径２０ｍｍの黒鉛型に入れ、５００ｋｇ／ｃｍ２の圧
力下、放電プラズマ炉（住友石炭鉱業製）で加熱した。
雰囲気は３×１０−３Ｔｏｒｒの減圧下とし、昇温速度
３００℃／分で急速加熱し、１７００℃に５分間保持し
た。焼結体の相対密度は９６．１％、平均粒径は、０．
０６μｍであった。焼結体から５×５ｍｍ長さ１５ｍｍ
の試料を切り出し、アルゴン雰囲気、１７００℃で圧力
５００ｋｇ／ｍ２の圧力下で圧縮試験を行なった。この
結果、歪速度６．２×１０−４／ｓの超塑性領域の値を
示した。
い、該炭化ケイ素超微粉末９１重量％に実施例１と同一
のＡｌ２Ｏ３４重量％、高純度のＭｇＯとＳｉＯ２をそ
れぞれ２．５重量％添加し、実施例１と同様に混合し
た。この混合物を乾燥後、約１６ｇをＢＮ粉末を塗った
直径２０ｍｍの黒鉛型に入れ、５００ｋｇ／ｃｍ２の圧
力下、放電プラズマ炉（住友石炭鉱業製）で加熱した。
雰囲気は３×１０−３Ｔｏｒｒの減圧下とし、昇温速度
３００℃／分で急速加熱し、１７００℃に５分間保持し
た。焼結体の相対密度は９６．１％、平均粒径は、０．
０６μｍであった。焼結体から５×５ｍｍ長さ１５ｍｍ
の試料を切り出し、アルゴン雰囲気、１７００℃で圧力
５００ｋｇ／ｍ２の圧力下で圧縮試験を行なった。この
結果、歪速度６．２×１０−４／ｓの超塑性領域の値を
示した。
Claims (7)
- 【請求項１】 ８５重量％以上９８重量％以下の炭化ケ
イ素粒子と２重量％を超え１５重量％未満の粒界相から
なり、相対密度が９５％以上である炭化ケイ素焼結体で
あって、炭化ケイ素粒子は、平均粒径が０．３μｍ以下
で、かつ、粒径が０．５μｍを超える粒子が３重量％以
下であり、１６００〜１８００℃の温度範囲内における
５０〜２０００ｋｇ／ｃｍ2 の圧縮または引張応力下で
の変形速度が、１０-4／ｓｅｃ以上であることを特徴と
する超塑性炭化ケイ素焼結体。 - 【請求項２】 ８５重量％以上９８重量％以下の炭化ケ
イ素粒子と２重量％を超え１５重量％未満の粒界相から
なり、相対密度が９５％以上である炭化ケイ素焼結体で
あって、炭化ケイ素粒子は、平均粒径が０．２μｍ以下
で、かつ、粒径が０．４μｍを超える粒子が１重量％以
下であり、１５５０〜１７５０℃の温度範囲内における
２００〜１０００ｋｇ／ｃｍ2 の圧縮または引張応力下
での変形速度が、１０-4／ｓｅｃ以上であることを特徴
とする超塑性炭化ケイ素焼結体。 - 【請求項３】 粒界相が酸化物からなるものであり、Ａ
ｌ、希土類金属、アルカリ土類金属の１種以上、および
Ｓｉの元素の酸化物からなるガラス、または結晶相を含
有するガラスであることを特徴とする請求項１または２
記載の超塑性炭化ケイ素焼結体。 - 【請求項４】 請求項３においてガラスが、Ａｌ
2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 、ＭｇＯ、ＣａＯの１種以上、および
ＳｉＯ2 からなるものであることを特徴とする超塑性炭
化ケイ素焼結体。 - 【請求項５】 平均粒径が０．３μｍ以下で、比表面積
が２０ｍ2 ／ｇ以上である炭化ケイ素微粉末８６重量％
以上９８．５重量％以下に、１．５重量％を超え１４重
量％未満のＡｌ酸化物、希土類金属酸化物、アルカリ土
類金属酸化物、およびＳｉＯ2 のうちの１種類以上を焼
結助剤として添加・混合した後、中性雰囲気中で、１５
００〜１９５０℃の温度、１００〜１０００ｋｇ／ｃｍ
2 の圧力下で焼結することを特徴とする超塑性炭化ケイ
素焼結体の製造方法。 - 【請求項６】 焼結助剤として酸化物からなるものであ
り、Ａｌ、希土類金属、アルカリ土類金属の１種以上、
およびＳｉのガラス、または結晶相を含有するガラスが
用いられ、中性雰囲気がアルゴン雰囲気であり、焼結が
ホットプレス焼結またはプラズマ焼結であることを特徴
とする請求項４記載の超塑性炭化ケイ素焼結体の製造方
法。 - 【請求項７】 請求項５において、焼結助剤がＡｌ2 Ｏ
3 、Ｙ2 Ｏ3 、ＭｇＯ、ＣａＯ、およびＳｉＯ2 のうち
の１種類以上の酸化物からなるものであることを特徴と
する超塑性炭化ケイ素焼結体の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7070609A JP2671945B2 (ja) | 1995-03-03 | 1995-03-03 | 超塑性炭化ケイ素焼結体とその製造方法 |
| US08/539,337 US5591685A (en) | 1995-03-03 | 1995-10-04 | Superplastic silicon carbide sintered body |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7070609A JP2671945B2 (ja) | 1995-03-03 | 1995-03-03 | 超塑性炭化ケイ素焼結体とその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08239270A true JPH08239270A (ja) | 1996-09-17 |
| JP2671945B2 JP2671945B2 (ja) | 1997-11-05 |
Family
ID=13436510
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7070609A Expired - Lifetime JP2671945B2 (ja) | 1995-03-03 | 1995-03-03 | 超塑性炭化ケイ素焼結体とその製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5591685A (ja) |
| JP (1) | JP2671945B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010260754A (ja) * | 2009-05-01 | 2010-11-18 | National Institute For Materials Science | 炭化ケイ素焼結体とその製造方法 |
| JPWO2015030238A1 (ja) * | 2013-09-02 | 2017-03-02 | 日本碍子株式会社 | セラミックス材料、および熱スイッチ |
Families Citing this family (41)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19730770C2 (de) * | 1996-08-06 | 2001-05-10 | Wacker Chemie Gmbh | Porenfreie Sinterkörper auf Basis von Siliciumcarbid, Verfahren zu ihrer Herstellung und ihre Verwendung als Substrate für Festplattenspeicher |
| DE19933194A1 (de) * | 1999-07-15 | 2001-01-18 | Kempten Elektroschmelz Gmbh | Flüssigphasengesinterte SiC-Formkörper mit verbesserter Bruchzähigkeit sowie hohem elektrischen Widerstand und Verfahren zu ihrer Herstellung |
| US6680267B2 (en) * | 2001-08-20 | 2004-01-20 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Silicon carbide ceramic composition and method of making |
| US6762140B2 (en) | 2001-08-20 | 2004-07-13 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Silicon carbide ceramic composition and method of making |
| EP2658680B1 (en) | 2010-12-31 | 2020-12-09 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive articles comprising abrasive particles having particular shapes and methods of forming such articles |
| EP2726248B1 (en) * | 2011-06-30 | 2019-06-19 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Liquid phase sintered silicon carbide abrasive particles |
| CN108262695A (zh) | 2011-06-30 | 2018-07-10 | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 | 包括氮化硅磨粒的磨料制品 |
| BR112014007089A2 (pt) | 2011-09-26 | 2017-03-28 | Saint-Gobain Ceram & Plastics Inc | artigos abrasivos incluindo materiais de partículas abrasivas, abrasivos revestidos usando os materiais de partículas abrasivas e os métodos de formação |
| KR20170018102A (ko) | 2011-12-30 | 2017-02-15 | 생-고뱅 세라믹스 앤드 플라스틱스, 인코포레이티드 | 형상화 연마입자 및 이의 형성방법 |
| JP5903502B2 (ja) | 2011-12-30 | 2016-04-13 | サン−ゴバン セラミックス アンド プラスティクス，インコーポレイティド | 成形研磨粒子を備える粒子材料 |
| CA2862453A1 (en) | 2011-12-30 | 2013-07-04 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Forming shaped abrasive particles |
| WO2013106602A1 (en) | 2012-01-10 | 2013-07-18 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive particles having particular shapes and methods of forming such particles |
| WO2013106597A1 (en) | 2012-01-10 | 2013-07-18 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive particles having complex shapes and methods of forming same |
| US9242346B2 (en) | 2012-03-30 | 2016-01-26 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive products having fibrillated fibers |
| FR2989970A1 (fr) * | 2012-04-27 | 2013-11-01 | Saint Gobain Ct Recherches | Produit en carbure de silicium dense |
| EP4302955A3 (en) | 2012-05-23 | 2024-04-17 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Shaped abrasive particles and methods of forming same |
| KR20150023034A (ko) | 2012-06-29 | 2015-03-04 | 생-고뱅 세라믹스 앤드 플라스틱스, 인코포레이티드 | 특정 형상을 가지는 연마입자들 및 이러한 입자들 형성방법 |
| KR101736085B1 (ko) | 2012-10-15 | 2017-05-16 | 생-고뱅 어브레이시브즈, 인코포레이티드 | 특정한 형태들을 가진 연마 입자들 및 이러한 입자들을 형성하는 방법들 |
| KR101818946B1 (ko) | 2012-12-31 | 2018-01-17 | 생-고뱅 세라믹스 앤드 플라스틱스, 인코포레이티드 | 미립자 소재 및 이의 형성방법 |
| MX2015013831A (es) | 2013-03-29 | 2016-03-01 | Saint Gobain Abrasives Inc | Particulas abrasivas con formas particulares y metodos para elaborar las particulas. |
| TW201502263A (zh) | 2013-06-28 | 2015-01-16 | Saint Gobain Ceramics | 包含成形研磨粒子之研磨物品 |
| CN105764653B (zh) | 2013-09-30 | 2020-09-11 | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 | 成形磨粒及其形成方法 |
| US9566689B2 (en) | 2013-12-31 | 2017-02-14 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive article including shaped abrasive particles |
| US9771507B2 (en) | 2014-01-31 | 2017-09-26 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Shaped abrasive particle including dopant material and method of forming same |
| CN110055032A (zh) | 2014-04-14 | 2019-07-26 | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 | 包括成形磨粒的研磨制品 |
| ES2972193T3 (es) | 2014-04-14 | 2024-06-11 | Saint Gobain Ceramics | Artículo abrasivo que incluye partículas abrasivas conformadas |
| WO2015184355A1 (en) | 2014-05-30 | 2015-12-03 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Method of using an abrasive article including shaped abrasive particles |
| US9707529B2 (en) | 2014-12-23 | 2017-07-18 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Composite shaped abrasive particles and method of forming same |
| US9914864B2 (en) | 2014-12-23 | 2018-03-13 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Shaped abrasive particles and method of forming same |
| US9676981B2 (en) | 2014-12-24 | 2017-06-13 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Shaped abrasive particle fractions and method of forming same |
| TWI634200B (zh) | 2015-03-31 | 2018-09-01 | 聖高拜磨料有限公司 | 固定磨料物品及其形成方法 |
| CN107636109A (zh) | 2015-03-31 | 2018-01-26 | 圣戈班磨料磨具有限公司 | 固定磨料制品和其形成方法 |
| EP3307483B1 (en) | 2015-06-11 | 2020-06-17 | Saint-Gobain Ceramics&Plastics, Inc. | Abrasive article including shaped abrasive particles |
| CN109462993A (zh) | 2016-05-10 | 2019-03-12 | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 | 磨料颗粒及其形成方法 |
| US11718774B2 (en) | 2016-05-10 | 2023-08-08 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive particles and methods of forming same |
| US11230653B2 (en) | 2016-09-29 | 2022-01-25 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Fixed abrasive articles and methods of forming same |
| US10759024B2 (en) | 2017-01-31 | 2020-09-01 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive article including shaped abrasive particles |
| US10563105B2 (en) | 2017-01-31 | 2020-02-18 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive article including shaped abrasive particles |
| EP3642293A4 (en) | 2017-06-21 | 2021-03-17 | Saint-Gobain Ceramics&Plastics, Inc. | PARTICULATE MATERIALS AND METHOD FOR MANUFACTURING THEREOF |
| CN112739664B (zh) * | 2018-09-28 | 2023-07-21 | 福吉米株式会社 | 覆盖碳化硅颗粒粉体 |
| KR20220116556A (ko) | 2019-12-27 | 2022-08-23 | 세인트-고바인 세라믹스 앤드 플라스틱스, 인크. | 연마 물품 및 이의 형성 방법 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4502983A (en) * | 1983-06-28 | 1985-03-05 | Mamoru Omori | Composite silicon carbide sintered shapes and its manufacture |
| US4829027A (en) * | 1987-01-12 | 1989-05-09 | Ceramatec, Inc. | Liquid phase sintering of silicon carbide |
| US4876226A (en) * | 1987-01-12 | 1989-10-24 | Fuentes Ricardo I | Silicon carbide sintering |
| US5298470A (en) * | 1989-09-22 | 1994-03-29 | The Carborundum Company | Silicon carbide bodies having high toughness and fracture resistance and method of making same |
| IE73477B1 (en) * | 1989-10-26 | 1997-06-04 | Advanced Materials Enterprise | Dense siC ceramic products |
| US5281564A (en) * | 1992-12-29 | 1994-01-25 | Matsumoto Roger L K | Crystallization of grain boundary phases in SiC ceramics through catalytic deoxygenation |
-
1995
- 1995-03-03 JP JP7070609A patent/JP2671945B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1995-10-04 US US08/539,337 patent/US5591685A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010260754A (ja) * | 2009-05-01 | 2010-11-18 | National Institute For Materials Science | 炭化ケイ素焼結体とその製造方法 |
| JPWO2015030238A1 (ja) * | 2013-09-02 | 2017-03-02 | 日本碍子株式会社 | セラミックス材料、および熱スイッチ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2671945B2 (ja) | 1997-11-05 |
| US5591685A (en) | 1997-01-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2671945B2 (ja) | 超塑性炭化ケイ素焼結体とその製造方法 | |
| JP2001080964A (ja) | 多結晶ＳｉＣ成形体、その製法及びそれからなる応用品 | |
| JPH06100370A (ja) | 窒化ケイ素系焼結体及びその製造方法 | |
| Zhou et al. | Tailoring the mechanical properties of silicon carbide ceramics by modification of the intergranular phase chemistry and microstructure | |
| US5100847A (en) | Super tough monolithic silicon nitride | |
| JP2507479B2 (ja) | ＳｉＣ−Ａｌ▲下２▼Ｏ▲下３▼複合焼結体及びその製造法 | |
| JP2003112963A (ja) | アルミナ焼結体およびその製造方法 | |
| JPH06219840A (ja) | 窒化珪素焼結体及びその製造方法 | |
| JP3145470B2 (ja) | 炭化タングステン−アルミナ質焼結体およびその製法 | |
| JPH06305837A (ja) | 窒化ケイ素系焼結体 | |
| JP2773976B2 (ja) | 超靭性モノリシック窒化ケイ素 | |
| US5324693A (en) | Ceramic composites and process for manufacturing the same | |
| JP2920482B2 (ja) | 靱性に優れた炭化ケイ素焼結体及び製造方法 | |
| JP2723170B2 (ja) | 超塑性窒化ケイ素焼結体 | |
| JP3137405B2 (ja) | 窒化珪素基セラミックスの製造法 | |
| JP3223822B2 (ja) | ＭｇＯ複合セラミックス及びその製造方法 | |
| JP2979703B2 (ja) | 複合セラミックス材料及びその製造方法 | |
| JPH04305064A (ja) | セラミツク組成物 | |
| JP2985519B2 (ja) | 粒子分散型ＺｒＯ２系セラミックス材料及びその製造方法 | |
| JPH05319910A (ja) | セラミックス複合材料及びその製造方法 | |
| JP4394784B2 (ja) | 炭化珪素焼結体 | |
| JPH05194022A (ja) | セラミックス複合材料及びその製造方法 | |
| JP2944787B2 (ja) | ＳｉＣ系酸化物焼結体およびその製造方法 | |
| JP2001019550A (ja) | 微細結晶粒超塑性炭化珪素焼結体とその製造方法 | |
| JP2003073167A (ja) | Ｓｉ３Ｎ４−ＳｉＣ複合焼結体の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |