JPH08220178A - プリント基板検査装置 - Google Patents

プリント基板検査装置

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JPH08220178A
JPH08220178A JP7053485A JP5348595A JPH08220178A JP H08220178 A JPH08220178 A JP H08220178A JP 7053485 A JP7053485 A JP 7053485A JP 5348595 A JP5348595 A JP 5348595A JP H08220178 A JPH08220178 A JP H08220178A
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JP
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circuit board
printed circuit
inspection
patch
universal head
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JP7053485A
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Tadashi Ito
正 伊藤
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NIPPON LEASE KK
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  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明はプリント基板の導通検査等を行う際
に使用する検査装置に関し、導通検査を行うためのスイ
ッチング素子を集積したICのパッケージとして汎用品
を用いることができるプリント基板検査装置を提供す
る。 【構成】 本発明のプリント基板検査装置1は、検査用
のプリント基板NのランドRに対して、ユニバーサルヘ
ッド2の片面に形成された接触端子たるパッチ21を導
通状態に保つように臨ませて導通検査を行う装置におい
て、前記パッチ21とスイッチング素子との結線は、多
層化した基板の各層における配線パターン27によって
行うことを特徴とする。また前記スイッチング素子はI
C22内に集積されることを特徴とする。また前記パッ
チ21の径はピッチの50%以下であることを特徴とす
る。また主シリンダ151及び微調整シリンダ152に
よってプリント基板Nをユニバーサルヘッド2に対して
押圧することを特徴とする

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の目的】
【産業上の利用分野】本発明はプリント基板の導通検査
等を行う際に使用する検査装置に関し、特にユニバーサ
ルヘッドに設けられる接触端子の数を飛躍的に増大する
ことができ、なお且つユニバーサルヘッドとプリント基
板との間にアダプタを設置する必要がないプリント基板
検査装置において、導通検査を行うためのスイッチング
素子を集積したICのパッケージとして汎用品を用いる
ことができるプリント基板検査装置に係るものである。
【0002】
【発明の背景】IC等の電子部品を実装するプリント基
板の導通検査を行う装置として本出願人は、ユニバーサ
ルヘッドを有し、ユニバーサルヘッドとプリント基板の
ランドとの間にアダプタを設けることなく従来よりも迅
速確実な検査を行うことができる、プリント基板検査方
法並びにその装置の開発を試み、特願平6−19474
4号「プリント基板検査方法並びにその装置」として出
願に至っている。このものは従来のプリント基板検査装
置においてアダプタを用いることに起因するアダプタの
製作費、管理費、プリント基板の版数アップに伴う改造
等に要する経済的課題と、接点が増えることに起因する
信頼性での課題を排除したものであった。
【0003】しかしながらユニバーサルヘッドにおける
接触端子たるパッチのピッチが、従来の2.54mmに
比べ0.635mmと極端に密度が高いため、導通検査
を行うためのスイッチング素子をBGAパッケージのI
C内に集積させ、パッチとスイッチング素子との配線
は、ICの下面全域から突出したスイッチング素子と結
線された端子と、パッチが形成される面と反対の面に形
成されるパッチと導通状態にある端子との接触によって
行う。このため、一例として1024ピンのBGAパッ
ケージを用いるのであるが、このようなパッケージはカ
スタム品であり、コスト、保守性等を考慮した場合、汎
用品を用いることが好ましいという改善の余地が残され
ていた。更に検査を行うにあたっては、プリント基板を
ユニバーサルヘッドに対して押圧して行うのであるが、
この押圧の際、プリント基板の破損を防止しなければな
らず、このための配慮を加える余地が残されていた。
【0004】
【開発を試みた技術的事項】本発明はこのような背景を
考慮してなされたものであって、0.635mmピッチ
と極端に密度が高い接触端子を具えたユニバーサルヘッ
ドを用いたプリント基板検査装置において、スイッチン
グ素子を集積させた汎用パッケージのICを用いること
ができる、新規なプリント基板検査装置の開発を試みた
ものである。
【0005】
【発明の構成】
【目的達成の手段】すなわち請求項1記載のプリント基
板検査装置は、検査用のプリント基板のランドに対し
て、ユニバーサルヘッドの片面に形成された接触端子た
るパッチを導通状態に保つように臨ませて導通検査を行
う装置において、前記パッチとスイッチング素子との配
線は、多層化した積層板における配線パターンによって
行うことを特徴とする。
【0006】また請求項2記載のプリント基板検査装置
は、前記要件に加え、前記スイッチング素子はIC内に
集積されることを特徴とする。
【0007】更にまた請求項3記載のプリント基板検査
装置は、前記要件に加え、前記パッチの径はピッチの5
0%以下であることを特徴とする。
【0008】更にまた請求項4記載のプリント基板検査
装置は、前記要件に加え、主シリンダ及び微調整シリン
ダによってプリント基板をユニバーサルヘッドに対して
押圧することを特徴とする。これら発明により、前記目
的を達成しようとするものである。
【0009】
【発明の作用】請求項1記載の発明によれば、パッチと
スイッチング素子との配線は、多層化した積層板におけ
る配線パターンによって行うので、配線による占有空間
が少なくて済み、プリント基板検査装置全体の小型化が
可能になる。また配線作業に工数を要さないので製造コ
ストが低減される。
【0010】請求項2記載の発明によれば、スイッチン
グ素子はIC内に集積され、パッチとスイッチング素子
との配線は、多層化した積層板における配線パターンに
よって行うので、端子の配置は自由に選択することがで
き、ICの端子の配置形態が制限されない。
【0011】請求項3記載の発明によれば、パッチの径
はピッチの50%以下であるので、隣接するランドがパ
ッチによりシュートする確率が低減する。
【0012】請求項4記載の発明によれば、主シリンダ
及び微調整シリンダによってプリント基板をユニバーサ
ルヘッドに対して押圧するので、適切な圧力下での検査
が可能になるとともに検査用プリント基板を傷つけるこ
とがない。
【0013】
【実施例】以下本発明を図示の実施例に基づいて説明す
る。図1は本発明のプリント基板検査装置1を用いたシ
ステムを示すものである。このものは本体11の上面側
にユニバーサルヘッド2を内蔵する。また本体11の手
前には操作パネル12が、右手後方には表示パネル13
が、同じく右手前方にはプリンタ14がそれぞれ設けら
れるとともに、本体11の上方には加圧装置15が四本
の支持棒16に支えられて設けられる。
【0014】そして加圧装置15の下面側には押圧部1
8が設けられる。具体的な構成は図2に示すように、加
圧装置15内に主シリンダ151を設け、主シリンダ1
51のロッド17に対して押圧板181を取り付ける。
押圧板181の下面に対しては微調整シリンダ152を
介して押圧板182が取り付けられる。微調整シリンダ
152は一例としてロードセルあるいは圧力センサを具
えた基準圧力発生装置等であり、一例として対角状に四
カ所に設けられる。また押圧部18の押圧作用部の一部
を、ガラスエポキシ樹脂等の非導電性の硬質な素材から
成る板状部材に対し線材である導体31の両端部を両平
面から突出させるように維持したフラットコネクタ30
とする。。導体31の配列は図6に示すように、ユニバ
ーサルヘッド2における端子28より細かい、一例とし
て0.05mm×0.10mmのピッチで配列する。こ
のようなフラットコネクタ30の上方に導通板5を昇降
可能に取り付ける。導通板5は導電性の高い金属板であ
る。なお、プリント基板Nの両面にプリント配線がなさ
れている場合には、押圧部18側にもユニバーサルヘッ
ド2を設けて、プリント基板Nの両面を一度に検査でき
るようにしてもよい。
【0015】以下本発明の特徴的構成であるユニバーサ
ルヘッド2及びその周辺部材について具体的に説明す
る。
【0016】まず本発明の特徴的構成であるユニバーサ
ルヘッド2について説明する。このものは図3(b)に
示すように、一例としてガラスエポキシ樹脂等適宜の非
導電性素材から成る0.3mm厚程度の積層板26を積
層して平板を構成する。平板の最上層の積層板26の表
面には、金、銅等の金属、またはその他の導体から成る
一例として直径0.2mmの円形状のパッチ21を0.
635mmピッチのグリッドの対角線の交点群をグリッ
ドとして使用するダブルグリッド状に配列する。パッチ
21の形態は、図3(a)に示すように一例として円形
であり、且つ直径は請求項3で定義したようにピッチの
50%以下、好ましくは30%〜50%であり、一例と
して直径0.2mmとする。もちろんパッチ21の形態
並びにグリッドのピッチ、形態並びに平板厚は測定対象
に応じて適宜のものを選択できる。このパッチ21が配
列された部分を検査ゾーンZiと呼ぶ。因みにパッチ2
1の数は、検査ゾーンZiが150mm×150mmで
あると110,450個、180mm×250mm(B
4サイズ)であると218,400個となる。
【0017】またユニバーサルヘッド2には図3
(b)、図4に示すように一例として検査ゾーンZiの
四辺に隣接してIC配列ゾーンZaを形成する。IC配
列ゾーンZaの表面には、一例として金、銅等の金属を
エッチングにより形成される端子28が後述するIC2
2の端子221と同ピッチで配列される。
【0018】そして最上層の平板以外の各積層板26の
表面には、図3(b)に示すように配線パターン27が
線幅100μ以下好ましくは20μ〜50μで形成され
る。配線パターン27は、検査ゾーンZiに配列された
パッチ21とIC配列ゾーンZaに形成される端子28
とを導通されるための線路であり、一例として金、銅等
の金属をエッチングにより形成される。またパッチ21
及び端子28と配線パターン27との導通は一例として
スルーホールを形成し、ここに胴メッキ等を施すことに
よってなされる。
【0019】またIC22の交換、パッチ21の摩耗等
に対応する保守を考慮した場合、検査ゾーンZiとIC
配列ゾーンZaとを着脱可能にしてもよい。
【0020】次にユニバーサルヘッド2におけるIC配
列ゾーンZaに取り付けられるIC22を図5に示すと
ともに説明する。このものはプリント基板Nの導通検査
を行うためのスイッチング素子等を集積したICであ
り、パッケージ222は、BGA、PGA、FPGA
等、汎用のものを使用する。IC22の端子221の数
は16ピン〜1024ピン程度の中から適宜のものを選
択する。
【0021】そしてIC22はユニバーサルヘッド2に
対してハンダ付けされ、導通状態に保持される。つまり
IC22の端子221と、ユニバーサルヘッド2におけ
る端子28とは同一ピッチで配列されるので、この部分
を図3(b)に示すようにハンダ付けするのである。ま
たIC22がユニバーサルヘッド2に対して導通状態に
保持される機構については、本出願人による出願である
特願平6−194744号「プリント基板検査方法並び
にその装置」に開示されるような手法を採ることもでき
る。具体的には、前記IC22における端子221とユ
ニバーサルヘッド2における端子28とを押圧板によっ
て接触させ、この接触部を気密室内に収容する。この気
密室はゴム等適宜の素材から成るパッキンと押圧板とに
よって気密性が保たれるものであり、その内部に窒素ガ
ス等の不活性ガスを充填し、導電性部材の変質を防ぐの
である。また請求項1記載の技術的思想に基づけば、I
C22内に集積されていないスイッチング素子を個々の
端子28に対して接続してもよい。
【0022】次にフラットコネクタ3について説明す
る。このものは検査用のプリント基板Nと、ユニバーサ
ルヘッド2との間に介在される部材であり、両者間の導
通を確実に行うために設けられるものである。図6、7
に示すように、ゴム等の非導電性のフレキシブルな素材
から成る板状部材に対し、湾曲した線材である導体31
の両端部を両平面から突出させるように維持する。導体
31の配列は、ユニバーサルヘッド2におけるパッチ2
1より細かい、一例として0.05mm×0.10mm
のピッチで配列する。このような構成とすることで、図
7(b)において拡大して示すように、ユニバーサルヘ
ッド2にフラットコネクタ3を載置した状態で、一つの
パッチ21に対して複数個の導体31が接することにな
る。
【0023】また導体31を湾曲した線材とすること
で、平面への加圧によって導体31に垂直方向の荷重が
かかったときには、すべての導体31は互いに接触する
ことなく同一方向に撓む。従ってテスト用のプリント基
板Nをユニバーサルヘッド2上にフラットコネクタ3を
介して載せた状態で上からプリント基板Nを押せば、端
部がプリント基板Nに圧接した状態で導体31を変形さ
せることになる。
【0024】次に図14に示すIC22の内部構成につ
いて説明する。このものは電圧印加系と電圧検出系とか
ら成り、それぞれコントロール回路226と電圧印加回
路227、コントロール回路228と電圧検出回路22
9とにより構成される。電圧印加回路227及び電圧検
出回路229はCMOSの変形回路であり、ゲートの入
力電圧をそれぞれコントロール回路226とコントロー
ル回路228とにより個別に与えるものである。ただし
双方の入力電圧は同一である。そして電圧印加回路22
7及び電圧検出回路229を駆動する駆動回路をそれぞ
れコントロール回路226及びコントロール回路228
として個別に設け、電圧印加回路227は印加電圧ライ
ンの電圧を電源電圧とし、また電圧検出回路229は電
圧読込ラインの電圧を電源電圧とする。
【0025】このような内部構造のIC22は、電圧印
加系の入力端子223と、電圧検出系の出力端子224
と、コントロール端子225とを有し、これらは図1
3、14に示したようにバスラインBに接続される。そ
してこのバスラインBの数はICの列数となる。
【0026】本発明のプリント基板検査装置1は以上述
べたような構造を有するものであり、以下このものを使
用してプリント基板Nの導通テストを行う状態について
説明する。まずプリント基板検査装置1を作動状態と
し、この状態でユニバーサルヘッド2の上にフラットコ
ネクタ3を載置し、この上にプリント基板Nをセットす
る。この際、図8(a)に示すように一例としてL字形
の外形ガイド25を設け、位置を固定してもよい。また
ユニバーサルヘッド2上面に、プリント基板Nの位置合
わせ用の突起を一例として四カ所に形成し、突起により
位置合わせしてもよい。
【0027】次に操作パネル12を操作して加圧装置1
5を駆動させると、押圧部18が下降してプリント基板
Nを押圧する。この際、微調整シリンダ152に具えた
圧力センサにより、個々の微調整シリンダ152による
押圧力は一定となり、押圧板182によるプリント基板
Nの押圧力は全域にわたって均一になる。そして押圧板
182による押圧力によりフラットコネクタ3の各導体
31がすべて一定方向に撓み、その復原作用により両端
がプリント基板Nの各ランドRとユニバーサルヘッド2
の各パッチ21に対して圧接する。これによりプリント
基板Nから電圧印加回路227もしくは電圧検出回路2
29までの回路が形成され、プリント基板Nの導通テス
トを行うことができる。なお、検査の結果は電圧値等が
表示パネル13に表示され、必要な場合にはプリンタ1
4に記録することができる。
【0028】検査を実施するにあたって使用するパッチ
21及びスイッチング素子の分布はマスターデータとし
て記憶される。以下、マスターデータの作成方法につい
て説明する。
【0029】(1)マスターデータの作成 (i) CADデータがある場合 はじめに基板設計データとしてCADデータがある場合
について説明する。まずCADデータから検査用編集装
置によって基板設計上のパターンネットを作成する。パ
ターンネットとは具体的には、プリント基板Nにおける
ランドRの分布態様である。そしてこのパターンネット
をマスターデータとして制御部19内に記憶する。
【0030】(ii)CADデータが無い場合 次にCADデータが無い場合について説明する。まずマ
スターデータ作成用のプリント基板Nを前述のようにし
てユニバーサルヘッド2上にセットする。そして検査ゾ
ーンZi内のすべてのパッチ21に電圧を印加して、プ
リント基板Nの個々のランドRとそれぞれ導通状態にあ
るパッチ21を追跡する。このようにしてパターンネッ
トを作成し、マスターデータとして制御部19内に記憶
する。
【0031】(2)検査に用いるパッチの選択 (i)外形ガイドを用いる場合 図8(a)に示すように外形ガイド25を用いる場合
は、マスターデータに記憶されたパターンネットを位置
決めされたプリント基板Nのセット位置に対応させる。
そしてパターンネットに対応するパッチ21に対して電
圧を印加し、個々のランドRがこれらのパッチ21と導
通状態であるかどうかを判断する。すべてのランドRが
パターンネットに対応するパッチ21と導通状態であれ
ば検査可能である。この際プリント基板Nの製作誤差等
により、図11(a)に示すようにパターンネットに対
応する電圧印加状態のパッチ21と導通状態でないラン
ドR1 がある場合には、図11(b)に示すように電圧
を印加するパッチ21を、全体をシフトするように隣接
のパッチ21に変更する。更にこの状態でずれてしまっ
たランドR2 に関しては個別に微調整を行い、ランドR
2 と接触状態にあるパッチ212を使用するようにす
る。
【0032】(ii) 外形ガイドを用いない場合 外形ガイド25を用いない場合は、図8(b)(c)に
示すように、検査用のプリント基板Nはユニバーサルヘ
ッド2における任意の位置にセットされる。このため検
査毎にすべてのパッチ21に電圧を印加して、すべての
ランドRとそれぞれ導通状態にあるパッチ21を追跡し
て、パターンネットを作成する。そしてこれらパターン
ネットに対応するパッチ21を用いて検査を行う。
【0033】(3)検査 上述のようにして検査に使用するパッチ21の選択を行
った後、以下のようにして検査を行う。プリント基板N
の導通テストには二つの目的があり、一つはパターンが
製造時に断線状態にないかどうかを確認することであ
り、オープン検査と称する。もう一つは、パターンと他
のパターンとが電気的に導通していないかどうかを確認
することであり、ショート検査と称する。図12に示す
検査用のプリント基板Nは一例として四層基板であり、
配線の始端と終端とが反対面にあるパターンと、配線の
始端と終端とが同一面にあるパターンとが混在してい
る。
【0034】配線の始端と終端とが反対面にあるパター
ンの場合、図12(b)に示すように導通板5を下降さ
せ目的のランドRに電圧を印加し、導通板5に電圧が現
れればそのパターンは断線していないことが確認でき
る。更に図12(a)に示すように導通板5を上昇さ
せ、目的のランドRに電圧を印加し、他のランドRに電
圧が現れなければそのパターンはショートしていないこ
とが確認できる。このような検査をプリント基板Nの両
面に対して行うことで、すべてのパターンの検査を行う
ことができる。
【0035】また配線の始点と終点とが同一面にあるパ
ターンの場合、図12(a)に示すように導通板5を上
昇させ、プリント基板Nを裏返しそれぞれの面をオープ
ン検査、ショート検査すればよい。
【0036】検査の際、図10に示すようにプリント基
板N上の一つのランドR1 に対して複数のパッチ21が
接するような場合、隣接するランドRをショートさせて
しまうパッチ213には0.1mm程度の厚さのマイラ
ーフィルム等によりマスキングを行う。
【0037】また図9(a)に示すように、ランドRの
一部にレジストがかかり、この部分にパッチ21が接し
ているような場合、一つのランドRに対して図9(b)
(c)に示すように複数のパッチ21が接していれば複
数に通電することで良品を不良品と判定することがな
い。
【0038】
【発明の効果】請求項1記載の発明によれば、パッチ2
1とスイッチング素子との配線は、多層化した積層板2
6における配線パターン27によって行うので、配線に
よる占有空間が少なくて済み、プリント基板検査装置1
全体の小型化が可能になる。また配線作業に工数を要さ
ないので製造コストが低減される。
【0039】請求項2記載の発明によれば、スイッチン
グ素子はIC22内に集積され、パッチ21とスイッチ
ング素子との配線は、多層化した積層板26における配
線パターン27によって行うので、端子28の配置は自
由に選択することができ、IC22の端子221の配置
形態が制限されない。このためIC22のパッケージ2
22として汎用品を使用することができ、製造コストが
低減され、保守コストも低減される。
【0040】請求項3記載の発明によれば、パッチ21
の径はピッチの50%以下であるので、隣接するランド
Rがパッチ21によりシュートする確率が低減する。こ
のため検査可能なランドRの最小ピッチがより小さくな
る。
【0041】請求項4記載の発明によれば、主シリンダ
151及び微調整シリンダ152によってプリント基板
Nをユニバーサルヘッド2に対して押圧するので、適切
な圧力下での検査が可能になるとともに検査用のプリン
ト基板Nを傷つけることがない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のプリント基板検査装置を用いたシステ
ムを示す斜視図である。
【図2】同上検査部位周辺を拡大して示す縦断側面図で
ある。
【図3】ユニバーサルヘッドを示す平面図並びに縦断側
面図である。
【図4】ユニバーサルヘッドにおける検査ゾーンとIC
配列ゾーンとを示す平面図である。
【図5】パッケージを異ならせた二種のICを示す側面
図並びに下面図である。
【図6】フラットコネクタを示す平面図である。
【図7】同上無負荷時と負荷時の状態を併せ示す縦断側
面図である。
【図8】検査用の基板のセット状態を示す平面図であ
る。
【図9】ランドの一部にレジストがかかった状態並びに
ランドに複数のパッチが接触している二種の態様を併せ
示す平面図である。
【図10】パッチによりランドがショートしている態様
を示す平面図である。
【図11】検査に使用するパッチの選択の様子を示す平
面図である。
【図12】ショート検査の場合とオープン検査の場合と
の導通板の作用位置を対比して示す縦断側面図である。
【図13】ICとバスラインとの接続態様の一例を示す
ブロック図である。
【図14】ICの内部構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
1 プリント基板検査装置 2 ユニバーサルヘッド 3 フラットコネクタ 5 導通板 11 本体 12 操作パネル 13 表示パネル 14 プリンタ 15 加圧装置 151 主シリンダ 152 微調整シリンダ 16 支持棒 17 ロッド 18 押圧部 181 押圧板 182 押圧板 19 制御部 21 パッチ 212 パッチ 213 パッチ 22 IC 221 端子 222 パッケージ 223 入力端子 224 出力端子 225 コントロール端子 226 コントロール回路 227 電圧印加回路 228 コントロール回路 229 電圧検出回路 25 外形ガイド 26 積層板 27 配線パターン 28 端子 30 フラットコネクタ 31 導体 B バスライン N プリント基板 R ランド R1 ランド R2 ランド Zi 検査ゾーン Za IC配列ゾーン

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 検査用のプリント基板のランドに対し
    て、ユニバーサルヘッドの片面に形成された接触端子た
    るパッチを導通状態に保つように臨ませて導通検査を行
    う装置において、前記パッチとスイッチング素子との配
    線は、多層化した積層板における配線パターンによって
    行うことを特徴とするプリント基板検査装置。
  2. 【請求項2】 前記スイッチング素子はIC内に集積さ
    れることを特徴とする請求項1記載のプリント基板検査
    装置。
  3. 【請求項3】 前記パッチの径はピッチの50%以下で
    あることを特徴とする請求項1、または2記載のプリン
    ト基板検査装置。
  4. 【請求項4】 主シリンダ及び微調整シリンダによって
    プリント基板をユニバーサルヘッドに対して押圧するこ
    とを特徴とする請求項1、2または3記載のプリント基
    板検査装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008185444A (ja) * 2007-01-30 2008-08-14 Tsutomu Takahashi プリント基板検査装置
JP2010513850A (ja) * 2006-12-15 2010-04-30 アーテーゲー ルーテル ウント メルツァー ゲーエムベーハー 回路基板を試験するテスター用モジュール

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010513850A (ja) * 2006-12-15 2010-04-30 アーテーゲー ルーテル ウント メルツァー ゲーエムベーハー 回路基板を試験するテスター用モジュール
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