JPH08210352A - 磁気軸受装置 - Google Patents
磁気軸受装置Info
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- JPH08210352A JPH08210352A JP7288096A JP28809695A JPH08210352A JP H08210352 A JPH08210352 A JP H08210352A JP 7288096 A JP7288096 A JP 7288096A JP 28809695 A JP28809695 A JP 28809695A JP H08210352 A JPH08210352 A JP H08210352A
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- F16C2240/80—Pitch circle diameters [PCD]
- F16C2240/82—Degree of filling, i.e. sum of diameters of rolling elements in relation to PCD
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- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
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- F16C2360/44—Centrifugal pumps
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- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Motor Or Generator Frames (AREA)
- Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 タッチダウン軸受の軌道面およびタッチダウ
ン側周面の耐摩耗強度および耐焼付性を向上させ、長期
にわたり磁気軸受の電源断時の際のロータを回転可能に
支持しうるようにした磁気軸受装置を提供する。 【解決手段】 ロータ３を磁気軸受６，７，８で浮揚状
態に支持し、かつ磁気軸受の電源断時にタッチダウン用
転がり軸受１２，１３，１４によりロータ３を回転可能
に支持するようにした磁気軸受装置１において、前記タ
ッチダウン用転がり軸受を総ボール型式とし、該タッチ
ダウン用転がり軸受の回転輪１５のタッチダウン側周面
１５１に第１の金属系固体潤滑被膜層Ａを形成するとと
もに、該タッチダウン用転がり軸受の軌道面１５２，１
６１に第２の金属系固体潤滑被膜層Ａを形成する
ン側周面の耐摩耗強度および耐焼付性を向上させ、長期
にわたり磁気軸受の電源断時の際のロータを回転可能に
支持しうるようにした磁気軸受装置を提供する。 【解決手段】 ロータ３を磁気軸受６，７，８で浮揚状
態に支持し、かつ磁気軸受の電源断時にタッチダウン用
転がり軸受１２，１３，１４によりロータ３を回転可能
に支持するようにした磁気軸受装置１において、前記タ
ッチダウン用転がり軸受を総ボール型式とし、該タッチ
ダウン用転がり軸受の回転輪１５のタッチダウン側周面
１５１に第１の金属系固体潤滑被膜層Ａを形成するとと
もに、該タッチダウン用転がり軸受の軌道面１５２，１
６１に第２の金属系固体潤滑被膜層Ａを形成する
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空用機器等に用
いる磁気軸受装置、特に、磁気軸受のロータを支承する
タッチダウン軸受を有する磁気軸受装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】例えば、ターボ分子ポンプなどの真空用
機器に組込まれる磁気軸受装置においては、ロータはそ
の高速回転中磁気軸受にて非接触状態に支承され、回転
停止時にはロータが磁気軸受のステータやモータ等に接
触して破損せぬようタッチダウン軸受を設けている。と
ころで、通常の磁気軸受装置の使用停止時には、ロータ
がその回転速度を除々に落とされ、かなり低速になって
からタッチダウン軸受に接触させられるようにしている
ためタッチダウン軸受等の損傷はない。しかし、磁気軸
受装置の使用中に停電等の原因にて瞬時に磁気軸受が作
動しなくなった場合、ロータは高速回転を続けた状態で
タッチダウン軸受に接触し、回転停止するまでタッチダ
ウン軸受にて支承されることにより、ロータの損傷や軸
受寿命が短くなる等の問題がある。これは、タッチダウ
ン軸受の回転輪の瞬時の急加速性が悪いことに起因す
る。上述の問題点を解消するため、特に真空中で使用す
る磁気軸受装置のタッチダウン軸受では、転動体表面に
銀などの金属膜層を形成したのちに二硫化モリブデンな
どの固体潤滑剤を被膜することにより軸受寿命を延長す
る磁気軸受装置（特開昭６１−１６５０２１号）などが
考案されている。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
場合も、固体潤滑剤の磨耗、剥離が進行するにつれ、タ
ッチダウン軸受の回転トルクが高くなり、タッチダウン
側周面でのすべりの増大、軌道部でのころがり運動のす
べり率の増大により、特に真空中においては上記部材が
容易に高温になり、転動体表面や軌道面あるいはタッチ
ダウン側周面に焼付けが発生し、早期に軸受寿命に到達
してしまう。本発明は、上述の問題点を解消するもので
あり、その目的とするところは、タッチダウン軸受の軌
道面およびタッチダウン側周面の耐摩耗強度および耐焼
付性を向上させ、長期にわたり磁気軸受の電源断時の際
のロータを回転可能に支持しうるようにした磁気軸受装
置を提供することにある。 【０００４】 【課題を解決するための手段】本発明の磁気軸受装置
は、ロータを磁気軸受で浮揚状態に支持し、かつ磁気軸
受の電源断時にタッチダウン用転がり軸受によりロータ
を回転可能に支持するようにした磁気軸受装置におい
て、前記タッチダウン用転がり軸受を総ボール型式と
し、該タッチダウン用転がり軸受の回転輪のタッチダウ
ン側周面に第１の金属系固体潤滑被膜層を形成するとと
もに、該タッチダウン用転がり軸受の軌道面に第２の金
属系固体潤滑被膜層を形成することにより上記目的を達
成するものである。 【０００５】 【作用】例えば、電源断時のように急激な回転トルクが
磁気軸受装置のタッチダウン軸受に作用する場合でも、
タッチダウン軸受の軌道面およびタッチダウン側周面に
ＴｉＣもしくはＴｉＮ等の金属系固体潤滑被膜層を形成
しているため、完全ドライな潤滑を保持して耐摩耗強度
と耐焼付性を向上させることができる。よって、タッチ
ダウン軸受あるいはロータを損傷することなく、長期に
わたりロータに良好に追従して磁気軸受装置の寿命を向
上させうる。 【０００６】 【発明の実施の形態】以下に本発明を実施例について詳
述する。例えば、第１図に示すように、本発明の磁気軸
受装置１は、有底円筒状のケース２内に下端部が細軸４
となる段付き軸受に形成され、かつ該細軸４の下端に円
盤部５を有するロータ３を挿入している。前記ロータ３
の上部は、ケース２の内壁２ａに固定された磁気軸受６
にて支承され、前記ロータ３の下部の円盤部５は、ケー
ス２の底壁２ｂに固定された磁気軸受７と該磁気軸受７
より若干上方でケース２の内壁２ａに固定された磁気軸
受８との間に位置して両磁気軸受７、８にて支承され
る。前記上方の磁気軸受６は、ロータ３の軸線に直交す
る方向に磁力を出すラジアル軸受として作用し、下方の
二個の磁気軸受７、８は、ロータ３の軸線方向すなわち
円盤部５の上下面５ａ、５ｂに直交する方向に磁力を出
すスラスト軸受として作用する。９は高周波モータでロ
ータ３を回転させるためのものである。また磁気軸受６
の上方のケース２の内壁２ａからは半径方向にフランジ
１０が一体に設けられ、該フランジ１０の端部１０ａに
形成した周状凹溝１１内に、タッチダウン軸受として総
ボール形式の深みぞ玉軸受１２が装着固定され、ロータ
３の回転停止時のラジアル負荷を受ける。 【０００７】さらに下方の両磁気軸受７、８のうち、円
盤部５の上面側に配置された磁気軸受８のコアー８ｂの
ロータ３に対向する側面８ａには、タッチダウン軸受と
して二個の総ボール形式のアンギュラ玉軸受１３、１４
が上下に正面組合わせで装着固定されている。この両タ
ッチダウン軸受１３、１４のうち上部の軸受１３により
ロータ３の段付き面３ａおよび細軸４が支承され、下部
の軸受１４によりロータ３の細軸４のみが支承される。
ここで第１図の実施例はロータ３の回転中の状態を示し
ているが、ロータ３の回転停止時にはロータ３はタッチ
ダウン軸受１２、１３、１４のみにて支承され、磁気軸
受６、７、８には非接触状態を保つよう、寸法関係が考
慮されていることはもちろんである。 【０００８】次に前記タッチダウン軸受について詳述す
る。なお、ここでは便宜上タッチダウン軸受１２を代表
して説明するが、他の軸受１３、１４の構成についても
同様であることはいうまでもない。第２図に示すよう
に、タッチダウン軸受１２は、軸受鋼を素材とした内輪
１５、外輪１６、および、内外輪１５、１６の間に介装
された転動体１７である。Ａは、膜厚約数μｍのＴｉＮ
薄膜層であり、タッチダウン時の回転輪となる内輪１５
のタッチダウン側周面すなわち内周面１５１、内輪１５
の軌道面１５２、および外輪１６の軌道面１６１に、ス
パッタリング法、イオンプレーティング法あるいはＣＶ
Ｄ法等のコーティングにより形成されている。前記Ｔｉ
Ｎの薄膜層Ａは、従来の二流化モリブデン等の固体潤滑
剤層に比べ、機械的摩耗に対して強く、長期にわたりタ
ッチダウンに耐えられ、しかも高温での摩耗係数が小さ
く、タッチダウン時の内輪内周面１５１および内外輪の
軌道面１５２、１６１での摩擦係数を小さく、すなわち
摩擦トルクを小さくさせることができ、高温での安定性
と耐焼付性は数段に優れたものとなる。もちろん、真空
中で使用されるタッチダウン軸受に要求される完全ドラ
イ潤滑性も失われることがない。 【０００９】上記薄膜層Ａとしては、ＴｉＮの他ＴｉＣ
なども同等の効果が得られる。さらに、これらを複数積
層にして用いることも可能である。第３図には、従来技
術である銀膜上に二硫化モリブデンを被覆したタッチダ
ウン軸受と、本発明のＴｉＮ層を被覆したタッチダウン
軸受との低真空中３００℃での摩擦係数の変化状態を示
す比較グラフである。第３図から明らかなように、本発
明の軸受の方が、長期間にわたり摩擦係数を小さく維持
できることが明らかである。これは、Ａｇ、ＭO Ｓ2 が
低真空中であっても、わずかに存在する酸素のため、高
温中で酸化が進み、潤滑性を失って行くが、ＴｉＮ層は
高温条件下においても劣化しないことと、高速回転によ
っても剥離しにくいからである。したがって、高温条件
下において高速回転で使用しても、支障なく長期にわた
って軸受機能を発揮することができる。 【００１０】上記実施例では、総ボール形式の玉軸受に
ついて説明したが、保持器付きの玉軸受でもよい。ま
た、他の形式のころがり軸受でもよい。また、本発明の
他の実施例として、前記実施例において内輪１５と外輪
１６との間に介装される転動体１７をセラミックス製と
してもよい。この場合には、セラミックスの潤滑性によ
り転動体１７と軌道面１５２、１６１間の摩擦を効果的
に小さくできるばかりでなく、異種材料の使用による焼
付性の向上が得られる。さらにまた、本発明の他の実施
例として第１図および第２図の実施例において、タッチ
ダウン軸受の回転輪１５の内周面１５１に対向するロー
タ３の外周面３１にＴｉＮ薄膜層をコーティングにより
形成してもよい。 【００１１】 【発明の効果】本発明は、ロータを磁気軸受で浮揚状態
に支持し、かつ磁気軸受の電源断時にタッチダウン用転
がり軸受によりロータを回転可能に支持するようにした
磁気軸受装置において、前記タッチダウン用転がり軸受
を総ボール型式とし、該タッチダウン用転がり軸受の回
転輪のタッチダウン側周面に第１の金属系固体潤滑被膜
層を形成するとともに、該タッチダウン用転がり軸受の
軌道面に第２の金属系固体潤滑被膜層を形成した構成で
あるから、急激な回転トルクが負荷されても、初期トル
クの低減を長時間にわたり可能とし、しかも磁気軸受の
信頼性を向上させ、回転軸や軸受の損傷を防止でき、磁
気軸受装置の寿命を向上させうる。
いる磁気軸受装置、特に、磁気軸受のロータを支承する
タッチダウン軸受を有する磁気軸受装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】例えば、ターボ分子ポンプなどの真空用
機器に組込まれる磁気軸受装置においては、ロータはそ
の高速回転中磁気軸受にて非接触状態に支承され、回転
停止時にはロータが磁気軸受のステータやモータ等に接
触して破損せぬようタッチダウン軸受を設けている。と
ころで、通常の磁気軸受装置の使用停止時には、ロータ
がその回転速度を除々に落とされ、かなり低速になって
からタッチダウン軸受に接触させられるようにしている
ためタッチダウン軸受等の損傷はない。しかし、磁気軸
受装置の使用中に停電等の原因にて瞬時に磁気軸受が作
動しなくなった場合、ロータは高速回転を続けた状態で
タッチダウン軸受に接触し、回転停止するまでタッチダ
ウン軸受にて支承されることにより、ロータの損傷や軸
受寿命が短くなる等の問題がある。これは、タッチダウ
ン軸受の回転輪の瞬時の急加速性が悪いことに起因す
る。上述の問題点を解消するため、特に真空中で使用す
る磁気軸受装置のタッチダウン軸受では、転動体表面に
銀などの金属膜層を形成したのちに二硫化モリブデンな
どの固体潤滑剤を被膜することにより軸受寿命を延長す
る磁気軸受装置（特開昭６１−１６５０２１号）などが
考案されている。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
場合も、固体潤滑剤の磨耗、剥離が進行するにつれ、タ
ッチダウン軸受の回転トルクが高くなり、タッチダウン
側周面でのすべりの増大、軌道部でのころがり運動のす
べり率の増大により、特に真空中においては上記部材が
容易に高温になり、転動体表面や軌道面あるいはタッチ
ダウン側周面に焼付けが発生し、早期に軸受寿命に到達
してしまう。本発明は、上述の問題点を解消するもので
あり、その目的とするところは、タッチダウン軸受の軌
道面およびタッチダウン側周面の耐摩耗強度および耐焼
付性を向上させ、長期にわたり磁気軸受の電源断時の際
のロータを回転可能に支持しうるようにした磁気軸受装
置を提供することにある。 【０００４】 【課題を解決するための手段】本発明の磁気軸受装置
は、ロータを磁気軸受で浮揚状態に支持し、かつ磁気軸
受の電源断時にタッチダウン用転がり軸受によりロータ
を回転可能に支持するようにした磁気軸受装置におい
て、前記タッチダウン用転がり軸受を総ボール型式と
し、該タッチダウン用転がり軸受の回転輪のタッチダウ
ン側周面に第１の金属系固体潤滑被膜層を形成するとと
もに、該タッチダウン用転がり軸受の軌道面に第２の金
属系固体潤滑被膜層を形成することにより上記目的を達
成するものである。 【０００５】 【作用】例えば、電源断時のように急激な回転トルクが
磁気軸受装置のタッチダウン軸受に作用する場合でも、
タッチダウン軸受の軌道面およびタッチダウン側周面に
ＴｉＣもしくはＴｉＮ等の金属系固体潤滑被膜層を形成
しているため、完全ドライな潤滑を保持して耐摩耗強度
と耐焼付性を向上させることができる。よって、タッチ
ダウン軸受あるいはロータを損傷することなく、長期に
わたりロータに良好に追従して磁気軸受装置の寿命を向
上させうる。 【０００６】 【発明の実施の形態】以下に本発明を実施例について詳
述する。例えば、第１図に示すように、本発明の磁気軸
受装置１は、有底円筒状のケース２内に下端部が細軸４
となる段付き軸受に形成され、かつ該細軸４の下端に円
盤部５を有するロータ３を挿入している。前記ロータ３
の上部は、ケース２の内壁２ａに固定された磁気軸受６
にて支承され、前記ロータ３の下部の円盤部５は、ケー
ス２の底壁２ｂに固定された磁気軸受７と該磁気軸受７
より若干上方でケース２の内壁２ａに固定された磁気軸
受８との間に位置して両磁気軸受７、８にて支承され
る。前記上方の磁気軸受６は、ロータ３の軸線に直交す
る方向に磁力を出すラジアル軸受として作用し、下方の
二個の磁気軸受７、８は、ロータ３の軸線方向すなわち
円盤部５の上下面５ａ、５ｂに直交する方向に磁力を出
すスラスト軸受として作用する。９は高周波モータでロ
ータ３を回転させるためのものである。また磁気軸受６
の上方のケース２の内壁２ａからは半径方向にフランジ
１０が一体に設けられ、該フランジ１０の端部１０ａに
形成した周状凹溝１１内に、タッチダウン軸受として総
ボール形式の深みぞ玉軸受１２が装着固定され、ロータ
３の回転停止時のラジアル負荷を受ける。 【０００７】さらに下方の両磁気軸受７、８のうち、円
盤部５の上面側に配置された磁気軸受８のコアー８ｂの
ロータ３に対向する側面８ａには、タッチダウン軸受と
して二個の総ボール形式のアンギュラ玉軸受１３、１４
が上下に正面組合わせで装着固定されている。この両タ
ッチダウン軸受１３、１４のうち上部の軸受１３により
ロータ３の段付き面３ａおよび細軸４が支承され、下部
の軸受１４によりロータ３の細軸４のみが支承される。
ここで第１図の実施例はロータ３の回転中の状態を示し
ているが、ロータ３の回転停止時にはロータ３はタッチ
ダウン軸受１２、１３、１４のみにて支承され、磁気軸
受６、７、８には非接触状態を保つよう、寸法関係が考
慮されていることはもちろんである。 【０００８】次に前記タッチダウン軸受について詳述す
る。なお、ここでは便宜上タッチダウン軸受１２を代表
して説明するが、他の軸受１３、１４の構成についても
同様であることはいうまでもない。第２図に示すよう
に、タッチダウン軸受１２は、軸受鋼を素材とした内輪
１５、外輪１６、および、内外輪１５、１６の間に介装
された転動体１７である。Ａは、膜厚約数μｍのＴｉＮ
薄膜層であり、タッチダウン時の回転輪となる内輪１５
のタッチダウン側周面すなわち内周面１５１、内輪１５
の軌道面１５２、および外輪１６の軌道面１６１に、ス
パッタリング法、イオンプレーティング法あるいはＣＶ
Ｄ法等のコーティングにより形成されている。前記Ｔｉ
Ｎの薄膜層Ａは、従来の二流化モリブデン等の固体潤滑
剤層に比べ、機械的摩耗に対して強く、長期にわたりタ
ッチダウンに耐えられ、しかも高温での摩耗係数が小さ
く、タッチダウン時の内輪内周面１５１および内外輪の
軌道面１５２、１６１での摩擦係数を小さく、すなわち
摩擦トルクを小さくさせることができ、高温での安定性
と耐焼付性は数段に優れたものとなる。もちろん、真空
中で使用されるタッチダウン軸受に要求される完全ドラ
イ潤滑性も失われることがない。 【０００９】上記薄膜層Ａとしては、ＴｉＮの他ＴｉＣ
なども同等の効果が得られる。さらに、これらを複数積
層にして用いることも可能である。第３図には、従来技
術である銀膜上に二硫化モリブデンを被覆したタッチダ
ウン軸受と、本発明のＴｉＮ層を被覆したタッチダウン
軸受との低真空中３００℃での摩擦係数の変化状態を示
す比較グラフである。第３図から明らかなように、本発
明の軸受の方が、長期間にわたり摩擦係数を小さく維持
できることが明らかである。これは、Ａｇ、ＭO Ｓ2 が
低真空中であっても、わずかに存在する酸素のため、高
温中で酸化が進み、潤滑性を失って行くが、ＴｉＮ層は
高温条件下においても劣化しないことと、高速回転によ
っても剥離しにくいからである。したがって、高温条件
下において高速回転で使用しても、支障なく長期にわた
って軸受機能を発揮することができる。 【００１０】上記実施例では、総ボール形式の玉軸受に
ついて説明したが、保持器付きの玉軸受でもよい。ま
た、他の形式のころがり軸受でもよい。また、本発明の
他の実施例として、前記実施例において内輪１５と外輪
１６との間に介装される転動体１７をセラミックス製と
してもよい。この場合には、セラミックスの潤滑性によ
り転動体１７と軌道面１５２、１６１間の摩擦を効果的
に小さくできるばかりでなく、異種材料の使用による焼
付性の向上が得られる。さらにまた、本発明の他の実施
例として第１図および第２図の実施例において、タッチ
ダウン軸受の回転輪１５の内周面１５１に対向するロー
タ３の外周面３１にＴｉＮ薄膜層をコーティングにより
形成してもよい。 【００１１】 【発明の効果】本発明は、ロータを磁気軸受で浮揚状態
に支持し、かつ磁気軸受の電源断時にタッチダウン用転
がり軸受によりロータを回転可能に支持するようにした
磁気軸受装置において、前記タッチダウン用転がり軸受
を総ボール型式とし、該タッチダウン用転がり軸受の回
転輪のタッチダウン側周面に第１の金属系固体潤滑被膜
層を形成するとともに、該タッチダウン用転がり軸受の
軌道面に第２の金属系固体潤滑被膜層を形成した構成で
あるから、急激な回転トルクが負荷されても、初期トル
クの低減を長時間にわたり可能とし、しかも磁気軸受の
信頼性を向上させ、回転軸や軸受の損傷を防止でき、磁
気軸受装置の寿命を向上させうる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の縦断面図である。
【図２】第１図の実施例におけるタッチダウン軸受の要
部拡大断面図である。 【図３】本発明のタッチダウン軸受と従来のタッチダウ
ン軸受の摩擦係数の変化状態を示す比較グラフである。 【符号の説明】 ３ ロータ ６、７、８ 磁気軸受 １２、１３、１４ タッチダウン軸受 Ａ 固体潤滑膜
部拡大断面図である。 【図３】本発明のタッチダウン軸受と従来のタッチダウ
ン軸受の摩擦係数の変化状態を示す比較グラフである。 【符号の説明】 ３ ロータ ６、７、８ 磁気軸受 １２、１３、１４ タッチダウン軸受 Ａ 固体潤滑膜
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）ロータを磁気軸受で浮揚状態に支持し、かつ磁気
軸受の電源断時にタッチダウン用転がり軸受によりロー
タを回転可能に支持するようにした磁気軸受装置におい
て、 前記タッチダウン用転がり軸受を総ボール型式とし、該
タッチダウン用転がり軸受の回転輪のタッチダウン側周
面に第１の金属系固体潤滑被膜層を形成するとともに、
該タッチダウン用転がり軸受の軌道面に第２の金属系固
体潤滑被膜層を形成してなる磁気軸受装置。 （２）前記タッチダウン用転がり軸受の転動体がセラミ
ックスでなる特許請求の範囲第１項に記載の磁気軸受装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7288096A JP3061168B2 (ja) | 1995-10-09 | 1995-10-09 | 磁気軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7288096A JP3061168B2 (ja) | 1995-10-09 | 1995-10-09 | 磁気軸受装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10827087A Division JPS63275815A (ja) | 1987-04-30 | 1987-04-30 | 磁気軸受装置 |
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|---|---|---|---|---|
| CN109322917A (zh) * | 2018-11-05 | 2019-02-12 | 南京航空航天大学 | 一种磁悬浮轴承径向和轴向保护结构 |
| CN109322918A (zh) * | 2018-11-05 | 2019-02-12 | 南京航空航天大学 | 一种磁悬浮轴承径向保护结构 |
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Citations (4)
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|---|---|---|---|---|
| JPS58174718A (ja) * | 1982-04-05 | 1983-10-13 | Ulvac Corp | ころがり軸受 |
| JPS61165021A (ja) * | 1985-01-11 | 1986-07-25 | Koyo Seiko Co Ltd | ころがり軸受 |
| JPS61197487A (ja) * | 1985-02-22 | 1986-09-01 | 株式会社 陶研産業 | 耐摩耗焼結球 |
| JPS61215813A (ja) * | 1985-03-18 | 1986-09-25 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | セラミツクス製ころがり軸受 |
-
1995
- 1995-10-09 JP JP7288096A patent/JP3061168B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
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|---|---|---|---|---|
| JPS58174718A (ja) * | 1982-04-05 | 1983-10-13 | Ulvac Corp | ころがり軸受 |
| JPS61165021A (ja) * | 1985-01-11 | 1986-07-25 | Koyo Seiko Co Ltd | ころがり軸受 |
| JPS61197487A (ja) * | 1985-02-22 | 1986-09-01 | 株式会社 陶研産業 | 耐摩耗焼結球 |
| JPS61215813A (ja) * | 1985-03-18 | 1986-09-25 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | セラミツクス製ころがり軸受 |
Cited By (3)
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|---|---|---|---|---|
| CN109322917A (zh) * | 2018-11-05 | 2019-02-12 | 南京航空航天大学 | 一种磁悬浮轴承径向和轴向保护结构 |
| CN109322918A (zh) * | 2018-11-05 | 2019-02-12 | 南京航空航天大学 | 一种磁悬浮轴承径向保护结构 |
| CN109356933A (zh) * | 2018-11-05 | 2019-02-19 | 南京航空航天大学 | 一种配合磁悬浮轴承使用的径向保护环结构 |
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