JPH0819878A - Method for forming guide grooves for optical fiber and guiding base plate for optical fiber - Google Patents
Method for forming guide grooves for optical fiber and guiding base plate for optical fiberInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は光ファイバー用ガイド溝
の形成方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for forming a guide groove for an optical fiber.
【０００２】[0002]
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来の
アブレーションによる光ファイバー用ガイド溝の形成方
法においてはレーザー光のスキャンを行っていないた
め、例えば特開平４−２５１８０６号公報に示されるよ
うに溝パターンは矩形に近いものに限られていた。しか
しながら実際には壁面を垂直に形成することは難しく、
スリットパターンを移動させながら形成させたり、実加
工上の不備（例えばアブレーション時に生じるカーボン
の付着）や工夫の余地が残されていた。2. Description of the Related Art In the conventional method for forming a guide groove for an optical fiber by ablation, since the laser beam is not scanned, for example, as shown in JP-A-4-251806. The pattern was limited to something close to a rectangle. However, it is actually difficult to form the wall vertically,
The slit pattern was formed while moving, defects in actual processing (for example, adhesion of carbon generated during ablation), and room for improvement were left.
【０００３】その結果光ファイバーの位置決めには溝の
深さ、幅を含めたパターン精度を求められることとな
り、光ファイバーバラツキを含めた深さ幅にパターンを
形成させることが必要となり、光ファイバー中心位置に
バラツキを与える結果となっている。また従来の方法に
おいてはアブレーションにより形成した溝板を光学素子
に位置決めする必要があった。As a result, positioning of the optical fiber requires pattern accuracy including the depth and width of the groove, and it is necessary to form a pattern with a depth width including the optical fiber variation, which results in variation in the center position of the optical fiber. The result is given. Further, in the conventional method, it is necessary to position the groove plate formed by ablation on the optical element.
【０００４】本発明はこのような従来の問題点を解決す
るためになしたもので、溝形状を光ファイバー外形に合
わせて形成でき、光ファイバー中心位置の位置ずれを最
小限にとどめることができる光ファイバー用ガイド溝の
形成方法を提供することを目的とする。The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems. For optical fibers, the groove shape can be formed in conformity with the outer shape of the optical fiber, and the positional deviation of the center position of the optical fiber can be minimized. It is an object to provide a method for forming a guide groove.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明に係る光ファイバ
ー用ガイド溝の形成方法は上記目的を達成するために、
ポリイミド、ＰＥＴ、ＰＣ等エキシマレーザ光に吸収を
持つ板状あるいはフィルム状の樹脂材に、スリット状レ
ーザービームを照射して光ファイバー用ガイド溝を形成
させる方法において、被加工物となる樹脂材を設置する
Ｘ−Ｙ−Ｚテーブルの作動と照射レーザ光を同期させ、
光ファイバーの外形に合致したガイド溝を形成すること
を特徴とする。In order to achieve the above-mentioned object, a method of forming a guide groove for an optical fiber according to the present invention comprises:
In a method of forming a guide groove for an optical fiber by irradiating a slit-shaped laser beam on a plate-shaped or film-shaped resin material that absorbs excimer laser light such as polyimide, PET, PC, etc., a resin material to be processed is set. Synchronize the operation of the XYZ table and the irradiation laser beam,
It is characterized in that the guide groove is formed to match the outer shape of the optical fiber.
【０００６】本発明に係る光ファイバー用ガイド溝の形
成方法は、被加工物となる樹脂材を素子基板上に設置し
た後、素子位置に合わせてガイド溝を形成するものとす
ることができる。In the method of forming the guide groove for an optical fiber according to the present invention, after the resin material to be processed is placed on the element substrate, the guide groove can be formed according to the element position.
【０００７】本発明に係る光ファイバー用ガイド溝の形
成方法は、投影用マスクパターンに複数のスリットを設
け、複数のガイド溝を同時に形成するものとすることが
できる。The optical fiber guide groove forming method according to the present invention can provide a plurality of slits in the projection mask pattern and simultaneously form a plurality of guide grooves.
【０００８】本発明に係る光ファイバー用ガイド溝の形
成方法は、溝加工時にアシストガスを加工部に吹きつけ
ながら加工するものとすることができる。The optical fiber guide groove forming method according to the present invention can be carried out by blowing an assist gas to the processing portion during groove processing.
【０００９】本発明に係る光ファイバー用ガイド溝の形
成方法は、アシストガス吹きつけ口と対をなす位置に吸
気口を配して吸気するものとすることができる。In the method of forming the guide groove for an optical fiber according to the present invention, the intake port may be arranged at a position which makes a pair with the assist gas blowing port for intake.
【００１０】本発明に係る光ファイバー用ガイド溝の形
成方法は、ガイド溝と同時に付属部品の封入穴を形成す
るものとすることができる。The method of forming the guide groove for an optical fiber according to the present invention can form the enclosing hole for the accessory part simultaneously with the guide groove.
【００１１】本発明に係る光ファイバー用ガイド基板
は、上記いずれかの光ファイバー用ガイド溝の形成方法
によりガイド溝を形成してなることを特徴とする。An optical fiber guide substrate according to the present invention is characterized in that a guide groove is formed by any one of the above methods for forming an optical fiber guide groove.
【００１２】[0012]
【実施例】以下本発明を図面を参照して説明するが、ま
ず本発明の実施に用いるレーザ加工機の概要を図１によ
り説明する。レーザ発振器１より発振されたレーザ光Ｌ
はアッテネータ２にて適正なエネルギーに下げられた
後、整形レンズ系３においてビーム内強度分布の均一化
やビームの形状を整える。この後マスク４によって必要
なパターンを形作り、これを結像レンズ５によりＸ−Ｙ
−Ｚテーブル６上に設置した基板（図示せず）にパター
ンを結像させ溝加工を行う。図２は溝を形成すべきガイ
ド基板７に光学素子８を有する基板９を接合した状態を
示しており、光学素子の位置に合わせてガイド基板７に
ガイド溝を形成する。図中１０が溝形成部である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the drawings. First, an outline of a laser processing machine used for carrying out the present invention will be described with reference to FIG. Laser light L oscillated from the laser oscillator 1
After being reduced to an appropriate energy by the attenuator 2, the shaping lens system 3 homogenizes the intensity distribution in the beam and adjusts the shape of the beam. After that, a required pattern is formed by the mask 4, and this is formed by the imaging lens 5 in XY direction.
A groove is formed by imaging a pattern on a substrate (not shown) installed on the Z table 6. FIG. 2 shows a state in which a substrate 9 having an optical element 8 is bonded to a guide substrate 7 in which a groove is to be formed, and a guide groove is formed in the guide substrate 7 according to the position of the optical element. In the figure, 10 is a groove forming portion.
【００１３】レーザー光Ｌの照射による加工部位には、
図３に示すようにアシストガスの吹きつけ口１１と吸引
口１２を対向させて配し、加工部位にアシストガスの安
定した流れを形成する。これによって基板９の光学素子
８を設けた部位にカーボン粒子等を付着させることをな
くし、周辺の環境を清浄に保つようにしている。At the processed portion by the irradiation of the laser beam L,
As shown in FIG. 3, the assist gas blowing port 11 and the suction port 12 are disposed so as to face each other, and a stable flow of the assist gas is formed at the processed portion. As a result, carbon particles or the like are not attached to the portion of the substrate 9 where the optical element 8 is provided, and the surrounding environment is kept clean.
【００１４】溝の形成加工においては、Ｘ−Ｙ−Ｚテー
ブル６とレーザ発振器１のレーザ発振を同期させ、パル
ス毎にＸ−Ｙ−Ｚテーブル６を移動させ、台形やアール
に近い溝底部形状を形成し、光ファイバーの形状にフィ
ットした溝形状を得る。図４（Ａ）〜（Ｄ）に溝の形成
例を示す。レーザーの照射によりガイド基板７への元ス
リットのみの加工で得られるガイド溝１３の形状が
（Ａ）とすると、Ｘ−Ｙ−Ｚテーブル６の位置をガイド
基板７の短手方向に移動させながら溝加工を行うことに
より（Ｂ）〜（Ｄ）に示すような形状のガイド溝１４、
１５、１６を得ることができる。これを図５で示す断面
で見ると、例えば断面が矩形のガイド溝１７に光ファイ
バ１８を入れると、光ファイバ１８の径のバラツキや落
とし込みのためのマージンのため、光ファイバ１８の位
置にバラツキが生じる（Ａ）。一方、上記のような加工
によって形成したガイド溝１９では、光ファイバ１８の
中心位置のずれが極めて小さくなる（Ｂ）。In forming the groove, the XYZ table 6 and the laser oscillation of the laser oscillator 1 are synchronized, the XYZ table 6 is moved for each pulse, and the groove bottom shape close to a trapezoid or a round shape is formed. To obtain a groove shape that fits the shape of the optical fiber. 4A to 4D show examples of forming the groove. If the shape of the guide groove 13 obtained by processing only the original slit on the guide substrate 7 by laser irradiation is (A), the position of the XYZ table 6 is moved in the lateral direction of the guide substrate 7. By performing groove processing, the guide groove 14 having a shape as shown in (B) to (D),
15, 16 can be obtained. Looking at this in the cross section shown in FIG. 5, for example, when the optical fiber 18 is inserted into the guide groove 17 having a rectangular cross section, there is a variation in the diameter of the optical fiber 18 and a margin for dropping the optical fiber 18, so that there is variation in the position of the optical fiber 18. Occurs (A). On the other hand, in the guide groove 19 formed by the above processing, the deviation of the center position of the optical fiber 18 becomes extremely small (B).
【００１５】また図１の状態として光学素子８の位置に
合わせて溝パターンを形成すれば、溝形成後にガイド基
板７を位置決めする工程を省略でき、より精度の良い位
置決めが可能となる。マスク４に複数のスリットを設け
て加工すれば、一度に複数の溝加工が可能となり、加工
効率が向上する。さらに、溝加工時にＨｅ、Ｏ2、Ｎ2、
ドライエアー等のアシストガスを加工部に吹きつけれ
ば、アブレーションにより飛散するカーボンをＣＯ2の
ようなガスとして、あるいはカーボン粒子として吹き飛
ばし、さらにアシストガスによってもガス化しなかった
残カーボンを光学素子機能にダメージを与えない側や吸
気口へ排出することができ、ガイド基板７あるいはその
周辺部に付着することを防止できる。Further, if the groove pattern is formed in accordance with the position of the optical element 8 in the state of FIG. 1, the step of positioning the guide substrate 7 after the groove is formed can be omitted, and more accurate positioning can be performed. If the mask 4 is provided with a plurality of slits for processing, a plurality of grooves can be processed at one time, and the processing efficiency is improved. Furthermore, when grooving, He, O 2 , N 2 ,
If an assist gas such as dry air is blown to the processing part, the carbon scattered by ablation is blown off as a gas such as CO 2 or as carbon particles, and the residual carbon that has not been gasified by the assist gas is used as an optical element function. It can be discharged to the non-damaged side or the intake port, and can be prevented from adhering to the guide substrate 7 or its peripheral portion.
【００１６】さらに図６に示すように、ガイド基板７に
ガイド溝を形成するのと同時に、付属部品、例えば光フ
ァイバー１８の端部に形成したボール状集光レンズ部２
０の封入穴２１を形成するようにしてもよい。Further, as shown in FIG. 6, at the same time when the guide groove is formed in the guide substrate 7, an accessory part, for example, the ball-shaped condenser lens portion 2 formed at the end of the optical fiber 18 is formed.
You may make it form the sealing hole 21 of 0.
【００１７】[0017]
【発明の効果】請求項１の光ファイバー用ガイド溝の形
成方法は、Ｘ−Ｙ−Ｚテーブルとレーザ発振を同期させ
ているので、パルス毎にテーブルを移動させることによ
り台形やアールに近い溝底部形状を形成することがで
き、光ファイバー形状にフィットした溝形状を得ること
ができ、光ファイバー中心位置のずれを極めて小さくす
ることができるという効果がある。According to the optical fiber guide groove forming method of the present invention, since the XYZ table and the laser oscillation are synchronized, by moving the table for each pulse, the groove bottom close to a trapezoid or a round shape is obtained. There is an effect that a shape can be formed, a groove shape that fits the shape of the optical fiber can be obtained, and the deviation of the center position of the optical fiber can be made extremely small.
【００１８】請求項２の光ファイバー用ガイド溝の形成
方法は、光学素子位置に合わせて溝パターンを形成する
ので、溝形成後にガイド板を位置決めする工程を省略で
き、より精度の良い位置決めが可能となるという効果が
ある。In the optical fiber guide groove forming method of the second aspect, since the groove pattern is formed in accordance with the position of the optical element, the step of positioning the guide plate after the groove is formed can be omitted, and more accurate positioning is possible. There is an effect that.
【００１９】請求項３の光ファイバー用ガイド溝の形成
方法は、マスクパターンに複数のスリットを設けるよう
にしたため、一度に複数の溝加工が可能となり、加工効
率を向上させることができるという効果がある。In the method for forming the optical fiber guide groove according to the third aspect of the present invention, since the mask pattern is provided with a plurality of slits, a plurality of grooves can be processed at one time, and the processing efficiency can be improved. .
【００２０】請求項４の光ファイバー用ガイド溝の形成
方法は、溝加工時にＨｅ、Ｏ2、Ｎ2、ドライエアー等の
アシストガスを加工部に吹きつけるようにしたため、ア
ブレーションにより飛散するカーボンをＣＯ2のような
ガスとしてあるいはカーボン粒子として吹き飛ばし、溝
基板あるいはその周辺部に付着することを防止し、光学
素子等の機能にダメージを与えることなく良好な溝形状
加工を行うことができるようになるという効果がある。In the method of forming the guide groove for an optical fiber according to the fourth aspect, assist gas such as He, O 2 , N 2 and dry air is blown to the processed portion during the groove processing. Therefore, carbon scattered by ablation is CO It becomes possible to blow off as a gas such as 2 or as carbon particles, prevent it from adhering to the groove substrate or its peripheral portion, and perform good groove shape processing without damaging the function of the optical element etc. There is an effect.
【００２１】請求項５の光ファイバー用ガイド溝の形成
方法は、アシストガス吹きつけ口と対向する位置に吸引
口を設置するようにしたため、アシストガスの流れが安
定し、光学素子部にカーボン粒子等を付着させることな
く、周辺の環境を清浄に保つことができるという効果が
ある。In the method of forming the guide groove for an optical fiber according to the fifth aspect, since the suction port is installed at a position facing the assist gas blowing port, the flow of the assist gas is stable and carbon particles or the like are provided in the optical element section. There is an effect that the surrounding environment can be kept clean without adhering.
【００２２】請求項６の光ファイバー用ガイド溝の形成
方法は、光学素子部に合わせてガイド溝と同時に付属部
品の封入穴を形成するようにしたため、光ファイバー端
部に形成させたボール状集光レンズ部等を封入すべき穴
を同時に形成することができるようになるという効果が
ある。In the method of forming the guide groove for the optical fiber according to the sixth aspect, since the guide groove is formed at the same time as the guide groove in accordance with the optical element portion, the ball-shaped condenser lens formed at the end portion of the optical fiber is formed. There is an effect that it becomes possible to simultaneously form a hole for enclosing a portion and the like.
【００２３】請求項７の光ファイバー用ガイド基板は、
本発明に係る光ファイバー用ガイド溝の形成方法により
ガイド溝を形成してなるので、光ファイバー形状にフィ
ットした溝形状を有するものとなり、光ファイバー中心
位置のずれを極めて小さなものとなるという効果があ
る。The optical fiber guide board according to claim 7 is:
Since the guide groove is formed by the method for forming a guide groove for an optical fiber according to the present invention, it has a groove shape that fits the shape of the optical fiber, and there is an effect that the deviation of the center position of the optical fiber becomes extremely small.
【図１】本発明の実施に用いるレーザ加工機の概要を示
す図である。FIG. 1 is a diagram showing an outline of a laser processing machine used for carrying out the present invention.
【図２】溝を形成すべきガイド基板に光学素子を有する
基板を接合した状態を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a state in which a substrate having an optical element is bonded to a guide substrate on which a groove is to be formed.
【図３】レーザー光の照射部位に配したアシストガスの
吹きつけ口と吸引口を示す図である。FIG. 3 is a view showing an assist gas blowing port and a suction port disposed at a laser light irradiation site.
【図４】溝の形成例を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing an example of forming grooves.
【図５】溝形状による光ファイバの位置決め状態を示す
図である。FIG. 5 is a diagram showing a positioning state of an optical fiber according to a groove shape.
【図６】ガイド基板にガイド溝と同時に付属部品の封入
穴を形成した例を示す図である。FIG. 6 is a view showing an example in which a guide groove and an enclosing hole for an accessory are formed in the guide substrate at the same time.
１ レーザ発振器 ２ アッテネータ ３ 整形レンズ系 ４ マスク ５ 結像レンズ ６ Ｘ−Ｙ−Ｚテーブル ７ ガイド基板 ８ 光学素子 ９ 基板 １０ 溝形成部 １１ アシストガスの吹きつけ口 １２ アシストガスの吸引口 １３、１４、１５、１６ ガイド溝形状 １７ ガイド溝 １８ 光ファイバ １９ ガイド溝 ２０ ボール状集光レンズ部 ２１ 封入穴 Ｌ レーザ光 1 Laser Oscillator 2 Attenuator 3 Shaping Lens System 4 Mask 5 Imaging Lens 6 XYZ Table 7 Guide Substrate 8 Optical Element 9 Substrate 10 Groove Forming Part 11 Assist Gas Blowing Port 12 Assist Gas Suction Ports 13, 14 , 15, 16 Guide groove shape 17 Guide groove 18 Optical fiber 19 Guide groove 20 Ball-shaped condenser lens 21 Encapsulation hole L Laser light
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０２Ｂ 6/00 ３４６ 6/40 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Office reference number FI technical display location G02B 6/00 346 6/40
Claims (7)
ーザ光に吸収を持つ板状あるいはフィルム状の樹脂材
に、スリット状レーザービームを照射して光ファイバー
用ガイド溝を形成させる方法において、被加工物となる
樹脂材を設置するＸ−Ｙ−Ｚテーブルの作動と照射レー
ザ光を同期させ、光ファイバーの外形に合致したガイド
溝を形成することを特徴とする光ファイバー用ガイド溝
の形成方法。1. A method of forming a guide groove for an optical fiber by irradiating a slit-shaped laser beam on a plate-shaped or film-shaped resin material such as polyimide, PET, or PC that absorbs excimer laser light to form an optical fiber guide groove. A method for forming an optical fiber guide groove, characterized in that the operation of an XYZ table on which the following resin material is installed and irradiation laser light are synchronized to form a guide groove that matches the outer shape of the optical fiber.
成方法において、被加工物となる樹脂材を素子基板上に
設置した後、素子位置に合わせてガイド溝を形成するこ
とを特徴とする光ファイバー用ガイド溝の形成方法。2. The optical fiber guide groove forming method according to claim 1, wherein after the resin material to be processed is placed on the element substrate, the guide groove is formed according to the element position. For forming guide groove for use.
ド溝の形成方法において、投影用マスクパターンに複数
のスリットを設け、複数のガイド溝を同時に形成するこ
とを特徴とする光ファイバー用ガイド溝の形成方法。3. The method for forming an optical fiber guide groove according to claim 1 or 2, wherein a plurality of slits are provided in the projection mask pattern and the plurality of guide grooves are formed at the same time. Method.
成方法において、溝加工時にアシストガスを加工部に吹
きつけながら加工することを特徴とする光ファイバー用
ガイド溝の形成方法。4. The method of forming a guide groove for an optical fiber according to claim 3, wherein the groove is processed by blowing an assist gas onto the processing portion.
成方法において、アシストガス吹きつけ口と対をなす位
置に吸気口を配して吸気することを特徴とする光ファイ
バー用ガイド溝の形成方法。5. The method for forming a guide groove for an optical fiber according to claim 4, wherein an intake port is arranged at a position that forms a pair with the assist gas blowing port for intake.
成方法において、ガイド溝と同時に付属部品の封入穴を
形成することを特徴とする光ファイバー用ガイド溝の形
成方法。6. The method of forming a guide groove for an optical fiber according to claim 5, wherein an enclosing hole for an accessory is formed simultaneously with the guide groove.
バー用ガイド溝の形成方法によりガイド溝を形成してな
る光ファイバー用ガイド基板。7. An optical fiber guide board having a guide groove formed by the method for forming an optical fiber guide groove according to claim 1. Description:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6177636A JPH0819878A (en) | 1994-07-05 | 1994-07-05 | Method for forming guide grooves for optical fiber and guiding base plate for optical fiber |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6177636A JPH0819878A (en) | 1994-07-05 | 1994-07-05 | Method for forming guide grooves for optical fiber and guiding base plate for optical fiber |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0819878A true JPH0819878A (en) | 1996-01-23 |
Family
ID=16034463
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6177636A Pending JPH0819878A (en) | 1994-07-05 | 1994-07-05 | Method for forming guide grooves for optical fiber and guiding base plate for optical fiber |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0819878A (en) |
Cited By (5)
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-
1994
- 1994-07-05 JP JP6177636A patent/JPH0819878A/en active Pending
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