JPH08193958A - 基板検査装置及び基板検査方法 - Google Patents
基板検査装置及び基板検査方法Info
- Publication number
- JPH08193958A JPH08193958A JP20835195A JP20835195A JPH08193958A JP H08193958 A JPH08193958 A JP H08193958A JP 20835195 A JP20835195 A JP 20835195A JP 20835195 A JP20835195 A JP 20835195A JP H08193958 A JPH08193958 A JP H08193958A
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- Japan
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- imaging
- magnification
- board
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- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 短時間で被検査プリント基板の細部を検査す
ることができる基板検査装置及び基板検査方法を提供す
る。 【構成】 部品Ｃが実装されたプリント基板Ｐを撮像し
て得られる画像データを処理してプリント基板Ｐ上の部
品Ｃの実装状態を検査する基板検査装置であって、異な
る撮像倍率を選択可能なＴＶカメラ１と、プリント基板
Ｐ上の所定の撮像エリアを、同一撮像倍率毎に抽出する
抽出手段たる処理部３と、処理部３により同一撮像倍率
について抽出された前記所定の撮像エリアを撮像するよ
うに制御するＣＰＵ３ａとで構成している。
ることができる基板検査装置及び基板検査方法を提供す
る。 【構成】 部品Ｃが実装されたプリント基板Ｐを撮像し
て得られる画像データを処理してプリント基板Ｐ上の部
品Ｃの実装状態を検査する基板検査装置であって、異な
る撮像倍率を選択可能なＴＶカメラ１と、プリント基板
Ｐ上の所定の撮像エリアを、同一撮像倍率毎に抽出する
抽出手段たる処理部３と、処理部３により同一撮像倍率
について抽出された前記所定の撮像エリアを撮像するよ
うに制御するＣＰＵ３ａとで構成している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プリント基板をＴＶカ
メラにより撮像して検査を行う基板検査装置及び基板検
査方法に関する。
メラにより撮像して検査を行う基板検査装置及び基板検
査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来この種の基板検査装置及び基板検査
方法は、被検査プリント基板全域を所定の一定倍率で撮
像し、画像信号をＡ／Ｄ変換して基板状の各部品の特徴
パラメータなどの被検査パターンを抽出し、基準パター
ン（基準特徴パラメータ）と比較し、部品が基板状の正
しい位置に実装されているか否かを検査していた。
方法は、被検査プリント基板全域を所定の一定倍率で撮
像し、画像信号をＡ／Ｄ変換して基板状の各部品の特徴
パラメータなどの被検査パターンを抽出し、基準パター
ン（基準特徴パラメータ）と比較し、部品が基板状の正
しい位置に実装されているか否かを検査していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
装置及び方法にあっては、一定の倍率で撮像して判定す
るために、例えば基板上のチップ部品が高密度実装され
たエリアなどの細部の判定が困難となる問題点がある。
装置及び方法にあっては、一定の倍率で撮像して判定す
るために、例えば基板上のチップ部品が高密度実装され
たエリアなどの細部の判定が困難となる問題点がある。
【０００４】他方、上記の細部判定のためには基板上を
高倍率で撮像する必要があるが、この場合には基板全域
を判定することは時間がかかり、現実の部品実装ライン
では実際的ではないという問題点がある。
高倍率で撮像する必要があるが、この場合には基板全域
を判定することは時間がかかり、現実の部品実装ライン
では実際的ではないという問題点がある。
【０００５】本発明は上記問題点に鑑み、短時間で被検
査プリント基板の細部を検査することができる基板検査
装置及び基板検査方法を提供することを目的とする。
査プリント基板の細部を検査することができる基板検査
装置及び基板検査方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【問題点を解決するための手段】上記問題点を解決する
ために、本発明の基板検査装置は、部品が実装された被
検査基板を撮像して得られる画像データを処理して前記
被検査基板上の部品の実装状態を検査する基板検査装置
において、異なる撮像倍率を選択可能な撮像手段と、前
記被検査基板上の所定の撮像エリアを、同一撮像倍率毎
に抽出する抽出手段と、前記抽出手段により同一撮像倍
率について抽出された前記所定の撮像エリアを撮像する
ように制御する制御手段と、を有することを特徴とす
る。
ために、本発明の基板検査装置は、部品が実装された被
検査基板を撮像して得られる画像データを処理して前記
被検査基板上の部品の実装状態を検査する基板検査装置
において、異なる撮像倍率を選択可能な撮像手段と、前
記被検査基板上の所定の撮像エリアを、同一撮像倍率毎
に抽出する抽出手段と、前記抽出手段により同一撮像倍
率について抽出された前記所定の撮像エリアを撮像する
ように制御する制御手段と、を有することを特徴とす
る。
【０００７】また、本発明の基板検査方法は、異なる複
数の撮像倍率を選択可能な撮像手段を備え、予め前記撮
像倍率毎に被検査基板上を複数の撮像エリアに分割し、
当該撮像エリアを同一倍率毎にグループ分けし、これら
各グループに適合した撮像倍率を記憶しておき、前記撮
像手段により予め記憶された前記同一撮像倍率について
記憶された所定の撮像エリアを順次撮像して、この撮像
によって得られた画像データに基づいて実装部品の実装
状態を検査することを特徴とする。
数の撮像倍率を選択可能な撮像手段を備え、予め前記撮
像倍率毎に被検査基板上を複数の撮像エリアに分割し、
当該撮像エリアを同一倍率毎にグループ分けし、これら
各グループに適合した撮像倍率を記憶しておき、前記撮
像手段により予め記憶された前記同一撮像倍率について
記憶された所定の撮像エリアを順次撮像して、この撮像
によって得られた画像データに基づいて実装部品の実装
状態を検査することを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明は、部品が実装された被検査基板を撮像
して得られる画像データを処理して被検査基板上の部品
の実装状態を検査する場合、同一撮像倍率での撮像エリ
アをまとめて撮像して検査することとなる。
して得られる画像データを処理して被検査基板上の部品
の実装状態を検査する場合、同一撮像倍率での撮像エリ
アをまとめて撮像して検査することとなる。
【０００９】また、本発明は、同一撮像倍率での撮像エ
リアを撮像する場合、基準特徴パラメータのうち少なく
とも部品の座標と部品の識別情報を、部品搭載工程の部
品搭載データから使用して、撮像倍率のグループ分け時
に被検査基板を見ながらグループ分けする必要がない。
リアを撮像する場合、基準特徴パラメータのうち少なく
とも部品の座標と部品の識別情報を、部品搭載工程の部
品搭載データから使用して、撮像倍率のグループ分け時
に被検査基板を見ながらグループ分けする必要がない。
【００１０】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の基板検査装置
及び基板検査方法を説明する。第１図は本発明に係る基
板検査装置の一実施例を示すブロック図である。
及び基板検査方法を説明する。第１図は本発明に係る基
板検査装置の一実施例を示すブロック図である。
【００１１】本装置は、チップ部品Ｃが搭載された被検
査基板であるプリント基板Ｐを撮像する撮像手段である
ＴＶカメラ１を有し、ＴＶカメラ１はズーミング機構及
びオートフォーカス機構を備え、異なる複数の撮像倍率
が選択可能となっている。尚、このＴＶカメラ１は、カ
ラーＴＶカメラでも白黒ＴＶカメラでもよい。
査基板であるプリント基板Ｐを撮像する撮像手段である
ＴＶカメラ１を有し、ＴＶカメラ１はズーミング機構及
びオートフォーカス機構を備え、異なる複数の撮像倍率
が選択可能となっている。尚、このＴＶカメラ１は、カ
ラーＴＶカメラでも白黒ＴＶカメラでもよい。
【００１２】本装置はまた、プリント基板Ｐを載置・固
定してＸＹ方向に移動させるＸＹステージ２と、後述す
る処理部３と、プリント基板Ｐを検査する際の基準とな
る各部品Ｃの識別番号や座標、面積、形状、重心などの
特徴パラメータより構成される基準データを入力した
り、また第２図に示すようにＴＶカメラ１の撮像倍率
（Ａ倍、３Ａ倍、５Ａ倍）毎のプリント基板Ｐの撮像エ
リアの位置情報である座標（ｘ1 ，ｙ2 ）〜（ｘn ，ｙ
n ）や各倍率のフォーカシングを行う位置座標（後述）
を入力したり、各処理手順を入力する入力部４と、プリ
ンタやＣＲＴディスプレイなどの検査結果や入力データ
を出力する出力部５を有する。
定してＸＹ方向に移動させるＸＹステージ２と、後述す
る処理部３と、プリント基板Ｐを検査する際の基準とな
る各部品Ｃの識別番号や座標、面積、形状、重心などの
特徴パラメータより構成される基準データを入力した
り、また第２図に示すようにＴＶカメラ１の撮像倍率
（Ａ倍、３Ａ倍、５Ａ倍）毎のプリント基板Ｐの撮像エ
リアの位置情報である座標（ｘ1 ，ｙ2 ）〜（ｘn ，ｙ
n ）や各倍率のフォーカシングを行う位置座標（後述）
を入力したり、各処理手順を入力する入力部４と、プリ
ンタやＣＲＴディスプレイなどの検査結果や入力データ
を出力する出力部５を有する。
【００１３】前述した処理部３は、制御手段である中央
処理装置（ＣＰＵ）３ａと、ＴＶカメラ１により撮像さ
れたプリント基板Ｐ上の各部品Ｃの画像信号をＡ／Ｄ変
換して各部品Ｃの特徴腹メータを抽出する画像処理部３
ｂを有する。
処理装置（ＣＰＵ）３ａと、ＴＶカメラ１により撮像さ
れたプリント基板Ｐ上の各部品Ｃの画像信号をＡ／Ｄ変
換して各部品Ｃの特徴腹メータを抽出する画像処理部３
ｂを有する。
【００１４】尚、プリント基板Ｐを検査するための基準
データは前述したような入力部４を介して入力する代り
に、ＸＹステージ２上に基準基板を予め載置し、画像処
理部３ｂにより各部品Ｃの基準特徴パラメータを抽出し
て入力するようにしてもよい。また、この基準特徴パラ
メータは、本検査行程の前の部品搭載工程で用いられる
マウント装置の部品搭載データを用いてもよい。
データは前述したような入力部４を介して入力する代り
に、ＸＹステージ２上に基準基板を予め載置し、画像処
理部３ｂにより各部品Ｃの基準特徴パラメータを抽出し
て入力するようにしてもよい。また、この基準特徴パラ
メータは、本検査行程の前の部品搭載工程で用いられる
マウント装置の部品搭載データを用いてもよい。
【００１５】処理部３はまた、データメモリ３ｃとＣＰ
Ｕ３ａの実行プログラムを格納したプログラムメモリ３
ｄと、その他不図示のＸＹステージ２の駆動制御部など
を有する。データメモリ３ｃには、前述した基準特徴パ
ラメータや、第２図に示すようにＴＶカメラ１の撮像倍
率（Ａ倍、３Ａ倍、５Ａ倍）毎の基板Ｐの所定の領域で
ある撮像エリアの位置情報が予め記憶される。すなわ
ち、このデータメモリ３ｃは、ＴＶカメラ１の撮像倍率
及び撮像領域の位置情報（これらを一括して撮像倍率情
報という）を記憶する撮像倍率情報記憶手段としての役
割を担う。
Ｕ３ａの実行プログラムを格納したプログラムメモリ３
ｄと、その他不図示のＸＹステージ２の駆動制御部など
を有する。データメモリ３ｃには、前述した基準特徴パ
ラメータや、第２図に示すようにＴＶカメラ１の撮像倍
率（Ａ倍、３Ａ倍、５Ａ倍）毎の基板Ｐの所定の領域で
ある撮像エリアの位置情報が予め記憶される。すなわ
ち、このデータメモリ３ｃは、ＴＶカメラ１の撮像倍率
及び撮像領域の位置情報（これらを一括して撮像倍率情
報という）を記憶する撮像倍率情報記憶手段としての役
割を担う。
【００１６】第２図の撮像倍率毎の撮像エリアを第３図
を参照して説明して、本発明の基板検査方法を説明する
こととする。まず、第３図（イ）において、図示矢印は
ＴＶカメラ１がプリント基板Ｐ上を順次撮像して行く所
謂ラスタスキャン方式による撮像方向を示し、実際には
ＴＶカメラ１は固定されてプリント基板Ｐを載置したＸ
Ｙステージ２が移動する。
を参照して説明して、本発明の基板検査方法を説明する
こととする。まず、第３図（イ）において、図示矢印は
ＴＶカメラ１がプリント基板Ｐ上を順次撮像して行く所
謂ラスタスキャン方式による撮像方向を示し、実際には
ＴＶカメラ１は固定されてプリント基板Ｐを載置したＸ
Ｙステージ２が移動する。
【００１７】第３図において、図示実線のエリアは部品
が比較的粗に搭載され、図示破線のエリアは比較的密に
搭載され、図示点線のエリアは最も密に実装されてお
り、したがって第３図（ロ）に示すようにまず最も近傍
のフォーカシングマークｆ1 でＴＶカメラ１をＡ倍でズ
ーミングするとともに合焦し、比較的粗のエリアを撮像
する。次いで第３図（ハ）に示すようにＡ倍撮像後最も
近傍のフォーカシングマークｆ2 でＴＶカメラ１を３Ａ
倍にズーミングするとともに合焦し、比較的密なエリア
を撮像する。同様に、３Ａ倍撮像後に最も近傍のフォー
カシングマークｆ3 でＴＶカメラ１を５Ａ倍にズーミン
グするとともに合焦し、最も密なエリアを撮像する。
が比較的粗に搭載され、図示破線のエリアは比較的密に
搭載され、図示点線のエリアは最も密に実装されてお
り、したがって第３図（ロ）に示すようにまず最も近傍
のフォーカシングマークｆ1 でＴＶカメラ１をＡ倍でズ
ーミングするとともに合焦し、比較的粗のエリアを撮像
する。次いで第３図（ハ）に示すようにＡ倍撮像後最も
近傍のフォーカシングマークｆ2 でＴＶカメラ１を３Ａ
倍にズーミングするとともに合焦し、比較的密なエリア
を撮像する。同様に、３Ａ倍撮像後に最も近傍のフォー
カシングマークｆ3 でＴＶカメラ１を５Ａ倍にズーミン
グするとともに合焦し、最も密なエリアを撮像する。
【００１８】尚、ＴＶカメラの合焦方法は、プリント基
板Ｐ上に複数のフォーカシングマーク（ｆ1 〜ｆ2 ）を
設けてもよいが、プリント基板Ｐの配線パターンや部品
を撮像して行ってもよい。また、変倍率はＡ倍、３Ａ
倍、５Ａ倍率に限らず他の倍率でもよいことは勿論であ
る。
板Ｐ上に複数のフォーカシングマーク（ｆ1 〜ｆ2 ）を
設けてもよいが、プリント基板Ｐの配線パターンや部品
を撮像して行ってもよい。また、変倍率はＡ倍、３Ａ
倍、５Ａ倍率に限らず他の倍率でもよいことは勿論であ
る。
【００１９】したがって、上述の如くＡ倍ズーミング及
び合焦後撮像、３Ａ倍ズーミング及び合焦後撮像、５Ａ
倍ズーミング及び合焦後撮像を行う場合、第２図に示す
ようにＡ倍の撮像エリア、３Ａ倍の撮像エリア及び５Ａ
倍の撮像エリアを予め入力部４を介してデータメモリ３
ｃに記憶する。尚、第２図における座標（ｘ1 ，ｙ2）
〜（ｘn ，ｙn ）はプリント基板Ｐ上におけるＴＶカメ
ラ１の視野の中心を示し、この座標によりＴＶカメラ１
の撮像エリアが特定される。また、第３図（ハ）
（ニ）において拡大倍率で撮像する場合、撮像エリアは
第３図（イ）のＡ倍撮像エリアに比べて小さくなるた
め、当該エリア全てを撮像するように行う。
び合焦後撮像、３Ａ倍ズーミング及び合焦後撮像、５Ａ
倍ズーミング及び合焦後撮像を行う場合、第２図に示す
ようにＡ倍の撮像エリア、３Ａ倍の撮像エリア及び５Ａ
倍の撮像エリアを予め入力部４を介してデータメモリ３
ｃに記憶する。尚、第２図における座標（ｘ1 ，ｙ2）
〜（ｘn ，ｙn ）はプリント基板Ｐ上におけるＴＶカメ
ラ１の視野の中心を示し、この座標によりＴＶカメラ１
の撮像エリアが特定される。また、第３図（ハ）
（ニ）において拡大倍率で撮像する場合、撮像エリアは
第３図（イ）のＡ倍撮像エリアに比べて小さくなるた
め、当該エリア全てを撮像するように行う。
【００２０】第４図は処理部３のＣＰＵ３ａの概略動作
を説明するためのフローチャートであり、まず、それぞ
れステップ（以下、ＳＴという。）１，２において、第
２図に示すようなデータメモリ３ｃの設定倍率の読み込
み、各倍率のエリア（座標）の抽出を行う。
を説明するためのフローチャートであり、まず、それぞ
れステップ（以下、ＳＴという。）１，２において、第
２図に示すようなデータメモリ３ｃの設定倍率の読み込
み、各倍率のエリア（座標）の抽出を行う。
【００２１】次いでＳＴ３において読出した倍率（Ａ
倍）がＴＶカメラ１の現在の設定倍率と一致しているか
否かを判別し、一致しない場合にはＳＴ４へ分岐する。
ＳＴ４では第３図（イ）に示すように、ＸＹステージ２
を移動してＴＶカメラ１をプリント基板Ｐのフォーカシ
ングマークｆ1 （又は当該倍率の最初の撮像エリア内の
配線パターンや部品）を撮像させて当該倍率（Ａ倍）に
ズーミングし、また続くＳＴ５においてフォーカシング
を行う。
倍）がＴＶカメラ１の現在の設定倍率と一致しているか
否かを判別し、一致しない場合にはＳＴ４へ分岐する。
ＳＴ４では第３図（イ）に示すように、ＸＹステージ２
を移動してＴＶカメラ１をプリント基板Ｐのフォーカシ
ングマークｆ1 （又は当該倍率の最初の撮像エリア内の
配線パターンや部品）を撮像させて当該倍率（Ａ倍）に
ズーミングし、また続くＳＴ５においてフォーカシング
を行う。
【００２２】ＳＴ５においてフォーカシングが完了する
とＳＴ６へ進み、当該倍率（Ａ倍）のエリアを順次ＴＶ
カメラ１により撮像して画像信号を取込み、画像処理部
３ｂにより画像信号をＡ／Ｄ変換後各部品の特徴パラメ
ータを抽出し、データメモリ３ｃに記憶する。
とＳＴ６へ進み、当該倍率（Ａ倍）のエリアを順次ＴＶ
カメラ１により撮像して画像信号を取込み、画像処理部
３ｂにより画像信号をＡ／Ｄ変換後各部品の特徴パラメ
ータを抽出し、データメモリ３ｃに記憶する。
【００２３】ＳＴ７では、プリント基板Ｐの全域の撮像
が完了したかどうかを判別し、ＮＯの場合にはＳＴ３へ
戻って新たな倍率（３Ａ倍）について処理を行う。以
下、各倍率についてそれぞれズーミング（ＳＴ４）、フ
ォーカシング（ＳＴ５）を行った後、当該倍率の撮像
（第３図（ハ）の破線、第３図（ニ）の点線）を行い、
基板Ｐの全域における部品Ｃのデータ（特徴パラメー
タ）を得る。
が完了したかどうかを判別し、ＮＯの場合にはＳＴ３へ
戻って新たな倍率（３Ａ倍）について処理を行う。以
下、各倍率についてそれぞれズーミング（ＳＴ４）、フ
ォーカシング（ＳＴ５）を行った後、当該倍率の撮像
（第３図（ハ）の破線、第３図（ニ）の点線）を行い、
基板Ｐの全域における部品Ｃのデータ（特徴パラメー
タ）を得る。
【００２４】上記の如く、プリント基板Ｐ上の全ての部
品Ｃについて特徴パラメータを抽出するとＳＴ７からＳ
Ｔ８へ進み、データメモリ３ｃに予め記憶されている各
部品Ｃの基準パラメータと比較し、続くＳＴ９において
入力部４から指示があれば検査結果を出力部５を介して
出力する。
品Ｃについて特徴パラメータを抽出するとＳＴ７からＳ
Ｔ８へ進み、データメモリ３ｃに予め記憶されている各
部品Ｃの基準パラメータと比較し、続くＳＴ９において
入力部４から指示があれば検査結果を出力部５を介して
出力する。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、同一撮像
倍率での撮像エリアをまとめて撮像して検査するので、
撮像エリアを変更する毎に倍率の設定動作が不要にな
り、短時間で効率良く被検査基板状の細部まで部品の実
装状態を検査することができる。
倍率での撮像エリアをまとめて撮像して検査するので、
撮像エリアを変更する毎に倍率の設定動作が不要にな
り、短時間で効率良く被検査基板状の細部まで部品の実
装状態を検査することができる。
【００２６】また、本発明は、同一撮像倍率での撮像エ
リアを撮像する場合、基準特徴パラメータのうち少なく
とも部品の座標と部品の識別情報を、部品搭載工程の部
品搭載データから使用するようにしたので、撮像倍率の
グループ分け時に被検査基板を見ながらグループ分けせ
ずに、グループ分けの判断基準に基準パラメータのうち
少なくとも部品の座標と部品の識別情報を簡単に使用で
きる。
リアを撮像する場合、基準特徴パラメータのうち少なく
とも部品の座標と部品の識別情報を、部品搭載工程の部
品搭載データから使用するようにしたので、撮像倍率の
グループ分け時に被検査基板を見ながらグループ分けせ
ずに、グループ分けの判断基準に基準パラメータのうち
少なくとも部品の座標と部品の識別情報を簡単に使用で
きる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板検査装置の一実施例を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
【図２】図１におけるデータメモリの要部記憶内容説明
図である。
図である。
【図３】図１の装置の撮像手順を示す説明図である。
【図４】図２におけるＣＰＵの概略動作を説明するため
のフローチャートである。
のフローチャートである。
１ ＴＶカメラ（撮像手段） ３ａ 中央処理装置（ＣＰＵ）（制御手段） ３ｂ 処理部（抽出手段） ３ｃ データメモリ（撮像倍率情報記憶手段） Ｐ プリント基板（被検査基板）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 立石 義雄 京都府京都市右京区花園土堂町10番地 立 石電機株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 部品が実装された被検査基板を撮像して
得られる画像データを処理して前記被検査基板上の部品
の実装状態を検査する基板検査装置において、 異なる撮像倍率を選択可能な撮像手段と、 前記被検査基板上の所定の撮像エリアを、被検査基板に
搭載された各部品の基準特徴パラメータのうち少なくと
も部品の座標および部品の識別情報を部品搭載工程の部
品搭載データに基づいて使用して、同一撮像倍率毎に抽
出する抽出手段と、 前記抽出手段により同一撮像倍率について抽出された前
記所定の撮像エリアを撮像するように制御する制御手段
と、 を有することを特徴とする基板検査装置。 - 【請求項２】 部品が実装された被検査基板を撮像して
得られる画像データを処理して前記検査基板上の部品の
実装状態を検査する基板検査方法において、 異なる複数の撮像倍率を選択可能とする撮像手段を備
え、予め前記撮像倍率毎に被検査基板上を複数の撮像エ
リアに分割し、当該撮像エリアを、予め被検査基板に搭
載された各部品の基準特徴パラメータのうち少なくとも
部品の座標および部品の識別情報を部品搭載工程の部品
搭載データに基づいて使用して、同一倍率毎にグループ
分けし、これら各グループに適合した撮像倍率を記憶し
ておき、前記撮像手段により記憶された前記同一撮像倍
率について記憶された所定の撮像エリアを順次撮像し
て、この撮像によって得られた画像データに基づいて実
装部品の実装状態を検査することを特徴とする基板検査
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7208351A JP2570650B2 (ja) | 1995-07-24 | 1995-07-24 | 基板検査装置及び基板検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7208351A JP2570650B2 (ja) | 1995-07-24 | 1995-07-24 | 基板検査装置及び基板検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08193958A true JPH08193958A (ja) | 1996-07-30 |
| JP2570650B2 JP2570650B2 (ja) | 1997-01-08 |
Family
ID=16554851
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7208351A Expired - Lifetime JP2570650B2 (ja) | 1995-07-24 | 1995-07-24 | 基板検査装置及び基板検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2570650B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007041639A (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-15 | Fujitsu Ltd | 部品特定プログラム |
| JP2008298693A (ja) * | 2007-06-01 | 2008-12-11 | Panasonic Corp | 検査条件決定方法 |
| KR100922698B1 (ko) * | 2002-12-27 | 2009-10-20 | 엘지디스플레이 주식회사 | 카메라가 구비된 투영기 및 그 투영방법 |
| JP2010014504A (ja) * | 2008-07-02 | 2010-01-21 | Panasonic Corp | 検査条件決定方法、検査条件決定装置、外観検査機およびプログラム |
-
1995
- 1995-07-24 JP JP7208351A patent/JP2570650B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| JP2007041639A (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-15 | Fujitsu Ltd | 部品特定プログラム |
| JP4571894B2 (ja) * | 2005-07-29 | 2010-10-27 | 富士通株式会社 | 部品特定プログラム |
| JP2008298693A (ja) * | 2007-06-01 | 2008-12-11 | Panasonic Corp | 検査条件決定方法 |
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| JP2570650B2 (ja) | 1997-01-08 |
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