JPH081920A - Method and apparatus for washing metal mask - Google Patents
Method and apparatus for washing metal maskInfo
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- JPH081920A JPH081920A JP13523694A JP13523694A JPH081920A JP H081920 A JPH081920 A JP H081920A JP 13523694 A JP13523694 A JP 13523694A JP 13523694 A JP13523694 A JP 13523694A JP H081920 A JPH081920 A JP H081920A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、印刷用のメタルマスク
を洗浄する洗浄方法及び洗浄装置に関する。各種の基板
上に半田ペースト等を印刷する時に、印刷パターンを形
成したメタルマスクを用いるものであり、印刷後のメタ
ルマスクに半田ペースト等が残存するから、所定回数の
印刷後等に於いてメタルマスクを洗浄する必要がある。
その為にメタルマスクの効率の良い洗浄手段が要望され
ている。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cleaning method and a cleaning device for cleaning a metal mask for printing. When printing solder paste, etc. on various substrates, a metal mask with a printed pattern is used.Since the solder paste etc. remains on the metal mask after printing, after printing a certain number of times, metal The mask needs to be cleaned.
Therefore, there is a demand for an efficient cleaning means for the metal mask.
【０００２】[0002]
【従来の技術】各種の電子部品を表面に実装する基板
は、各種電子部品を配置してその端子を半田付けする為
の半田ペーストを、その端子の配置パターンに従った印
刷パターンを形成したメタルマスクを用いて印刷するも
のである。その場合、印刷を繰り返すことにより、メタ
ルマスクに付着して残存する半田ペーストが多くなるか
ら、洗浄する必要が生じる。そこで、従来は、溶剤をノ
ズルでメタルマスクに噴射するシャワー洗浄方法が採用
されていた。2. Description of the Related Art A substrate on which various electronic components are mounted is a metal on which a solder paste for arranging various electronic components and soldering their terminals is formed with a printing pattern according to the arrangement pattern of the terminals. It is printed using a mask. In that case, by repeating printing, a large amount of solder paste adheres to the metal mask and remains, so that cleaning is required. Therefore, conventionally, a shower cleaning method in which a solvent is sprayed onto a metal mask with a nozzle has been adopted.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】前述の従来例のメタル
マスクを洗浄するシャワー洗浄方法は、溶剤をメタルマ
スクに多量に噴射して洗浄し、洗浄後の溶剤はフィルタ
等を通して再使用するものであり、このように溶剤を循
環させる為には多量の溶剤を必要とする。その為に、溶
剤の貯蔵量が多くなり、それを循環させる装置が大型化
する問題があった。又メタルマスク全面を溶剤に浸すよ
うな状態となるから、メタルマスクを乾燥させる為の時
間が長くなる問題があった。又溶剤の主流であったトリ
クロロエタンは、オゾン層破壊の問題から使用ができな
いことになる。In the shower cleaning method for cleaning a metal mask of the above-mentioned conventional example, a large amount of solvent is sprayed on the metal mask for cleaning, and the solvent after cleaning is reused through a filter or the like. Yes, a large amount of solvent is required to circulate the solvent. Therefore, there is a problem that the storage amount of the solvent increases and the device for circulating the solvent increases in size. Further, since the entire surface of the metal mask is soaked in the solvent, there is a problem that it takes a long time to dry the metal mask. Also, trichloroethane, which was the main stream of solvent, cannot be used because of the problem of ozone layer depletion.
【０００４】このような溶剤の代替物としてアルコー
ル，塩化メチレン，グリコールエーテル等があり、アル
コールは、引火性があるから、消防法の適用により多量
の使用は困難となる。又塩化メチレンは、メタルマスク
の製作に使用されるアルミニウムテープの粘着性を劣化
させる問題がある。又グリコールエーテルは、トリクロ
ロエタンの約７倍もの蒸発時間となるから、乾燥時間が
長くなる問題があった。本発明は、溶剤の使用量を削減
し、且つ乾燥時間の短縮を量り、各種の溶剤の使用を可
能とすることを目的とする。Alcohol, methylene chloride, glycol ether and the like are available as substitutes for such a solvent. Since alcohol is flammable, it is difficult to use it in a large amount due to the application of the Fire Service Law. Further, methylene chloride has a problem of deteriorating the adhesiveness of an aluminum tape used for producing a metal mask. Further, glycol ether has an evaporation time of about 7 times that of trichloroethane, and thus there is a problem that the drying time becomes long. An object of the present invention is to reduce the amount of solvent used, shorten the drying time, and use various solvents.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明のメタルマスクの
洗浄方法は、図１を参照して説明すると、（１）洗浄用
ローラ５，６に溶剤を供給してメタルマスク１の上下面
に接触させ、溶剤を介して超音波振動子７から超音波振
動を加えながら、メタルマスク１と洗浄用ローラ５，６
及び超音波振動子７を相対的に移動させて、メタルマス
ク１を洗浄する工程を含むものである。A method of cleaning a metal mask according to the present invention will be described with reference to FIG. 1. (1) A solvent is supplied to the cleaning rollers 5 and 6 so that the upper and lower surfaces of the metal mask 1 are exposed. The metal mask 1 and the cleaning rollers 5, 6 are brought into contact with each other and ultrasonic vibration is applied from the ultrasonic vibrator 7 via a solvent.
And the step of cleaning the metal mask 1 by relatively moving the ultrasonic transducer 7.
【０００６】（２）又メタルマスク１と洗浄用ローラ
５，６及び超音波振動子７とを相対的に移動させると共
に、メタルマスク１に空気を吹き付けて乾燥させる工程
を含むことができる。(2) A step of moving the metal mask 1, the cleaning rollers 5, 6 and the ultrasonic vibrator 7 relative to each other and blowing air to the metal mask 1 to dry it can be included.
【０００７】（３）又メタルマスクの洗浄装置は、メタ
ルマスク１の上面に接触させる上部洗浄用ローラ５と、
この上部洗浄用ローラ５に溶剤を供給する溶剤供給パイ
プ８と、この上部洗浄用ローラ５の表面に付着した残滓
を剥離する剥離部材１０と、この剥離部材１０によって
剥離された残滓と使用済みの溶剤とを排出する排出パイ
プ９と、メタルマスク１に溶剤を介して超音波振動を加
える超音波振動子７とを有する上部洗浄ユニット２と、
メタルマスク１の下面に接触させる下部洗浄用ローラ６
と、この下部洗浄用ローラ６を溶剤に浸漬するように溶
剤を保持する溶剤容器１３と、下部洗浄用ローラ６の表
面に付着した残滓を剥離する剥離部材１５とを有する下
部洗浄ユニット３と、上部洗浄ユニット２と下部洗浄ユ
ニット３とをメタルマスク１と相対的に移動させる駆動
部とを備えている。又１６は排出パイプ、１７は溶剤貯
蔵容器、１８はフィルタの作用を行う沈殿部、１９はポ
ンプ（Ｐ）である。(3) Further, the metal mask cleaning device includes an upper cleaning roller 5 which is brought into contact with the upper surface of the metal mask 1,
A solvent supply pipe 8 for supplying a solvent to the upper cleaning roller 5, a peeling member 10 for peeling off the residue adhering to the surface of the upper cleaning roller 5, and a residue separated by the peeling member 10 and used An upper cleaning unit 2 having a discharge pipe 9 for discharging a solvent and an ultrasonic vibrator 7 for applying ultrasonic vibration to the metal mask 1 via the solvent,
Lower cleaning roller 6 to contact the lower surface of the metal mask 1
A lower cleaning unit 3 having a solvent container 13 for holding the solvent so as to immerse the lower cleaning roller 6 in the solvent, and a peeling member 15 for peeling off the residue adhering to the surface of the lower cleaning roller 6, The drive unit is provided for moving the upper cleaning unit 2 and the lower cleaning unit 3 relative to the metal mask 1. Reference numeral 16 is a discharge pipe, 17 is a solvent storage container, 18 is a settling section that acts as a filter, and 19 is a pump (P).
【０００８】（４）又基板上に位置決めしてメタルマス
ク１を保持する保持部と、メタルマスク１に形成したパ
ターンに従って基板上に印刷するスキージユニットとを
有する印刷部と、上部洗浄用ローラ５と、この上部洗浄
用ローラ５の表面に付着した残滓を剥離する剥離部材１
０と、この剥離部材１０によって剥離された残滓と使用
済みの溶剤とを排出する排出パイプ９と、メタルマスク
１に溶剤を介して超音波振動を加える超音波振動子７と
を有する上部洗浄ユニット２と、下部洗浄用ローラ６
と、この下部洗浄用ローラ６を溶剤に浸漬するように溶
剤を保持する溶剤容器１３と、下部洗浄用ローラ６の表
面に付着した残滓を剥離する剥離部材１５とを有する下
部洗浄ユニット３と、上部洗浄ユニット２と下部洗浄ユ
ニット３とを上下方向に移動して、前記印刷部に於ける
印刷終了後のメタルマスク１に上部洗浄用ローラ５及び
超音波振動子７と、下部洗浄用ローラ６とを接触させ、
且つ上部洗浄ユニット２と下部洗浄ユニット３とをメタ
ルマスク１に対して相対的に移動させる駆動部とを備え
ている。(4) Further, a holding portion for holding the metal mask 1 positioned on the substrate, a printing portion having a squeegee unit for printing on the substrate according to the pattern formed on the metal mask 1, and an upper cleaning roller 5 And a peeling member 1 for peeling off the residue attached to the surface of the upper cleaning roller 5.
0, an upper cleaning unit having a discharge pipe 9 for discharging the residue and the used solvent separated by the separating member 10, and an ultrasonic vibrator 7 for applying ultrasonic vibration to the metal mask 1 via the solvent. 2 and lower cleaning roller 6
A lower cleaning unit 3 having a solvent container 13 for holding the solvent so as to immerse the lower cleaning roller 6 in the solvent, and a peeling member 15 for peeling off the residue adhering to the surface of the lower cleaning roller 6, By moving the upper cleaning unit 2 and the lower cleaning unit 3 in the vertical direction, the upper cleaning roller 5, the ultrasonic vibrator 7, and the lower cleaning roller 6 are provided on the metal mask 1 after printing in the printing unit. Contact with
Further, it is provided with a drive unit for moving the upper cleaning unit 2 and the lower cleaning unit 3 relative to the metal mask 1.
【０００９】（５）又メタルマスク１を用いて印刷部に
於いて印刷中は、上部洗浄ユニット２と下部洗浄ユニッ
ト３とをメタルマスク１に対して退避位置に移動させ、
印刷部に於ける印刷終了後のメタルマスク１の洗浄時
に、印刷部をメタルマスク１に対して退避位置に移動さ
せ、且つ上部洗浄ユニット２と下部洗浄ユニット３とを
メタルマスク１の洗浄位置に移動させる駆動部を備える
ことができる。(5) Further, during printing in the printing section using the metal mask 1, the upper cleaning unit 2 and the lower cleaning unit 3 are moved to the retracted position with respect to the metal mask 1,
When cleaning the metal mask 1 after printing in the printing unit, the printing unit is moved to the retreat position with respect to the metal mask 1, and the upper cleaning unit 2 and the lower cleaning unit 3 are set to the cleaning position of the metal mask 1. It is possible to provide a driving unit for moving.
【００１０】（６）又上部洗浄ユニット２と下部洗浄ユ
ニット３とに、メタルマスク１を乾燥させる空気吹き付
けノズル１１，１２を設けることができる。(6) Further, the upper cleaning unit 2 and the lower cleaning unit 3 can be provided with air blowing nozzles 11 and 12 for drying the metal mask 1.
【００１１】（７）又上部洗浄ユニット２の溶剤供給パ
イプ８と排出パイプ９とに接続して上部洗浄用ローラ５
に溶剤の供給を行うと共に、下部洗浄ユニット３と溶剤
容器１３に接続して溶剤の循環を行う溶剤供給部４を設
けることができる。(7) Further, the upper cleaning roller 5 is connected to the solvent supply pipe 8 and the discharge pipe 9 of the upper cleaning unit 2.
It is possible to provide a solvent supply unit 4 for supplying the solvent to the lower part and connecting the lower cleaning unit 3 and the solvent container 13 to circulate the solvent.
【００１２】（８）又上部洗浄用ローラ５と下部洗浄用
ローラ６との少なくとも表面層を、溶剤を含浸できるフ
ェルトにより構成することができる。(8) Further, at least the surface layers of the upper cleaning roller 5 and the lower cleaning roller 6 can be made of felt which can be impregnated with a solvent.
【００１３】[0013]
（１）メタルマスク１の上下面に溶剤を供給した洗浄用
ローラ５，６を接触させて回転させることにより、メタ
ルマスク１に残存している印刷材料等を溶剤によって溶
解し、且つ拭き取り、又超音波振動子７によって超音波
振動を加えることにより、メタルマスク１のパターン内
に残存する印刷材料等を剥離し、メタルマスク１と洗浄
用ローラ５，６及び超音波振動子７とを相対的に移動さ
せて、メタルマスク１の全面にわたって洗浄する。(1) By contacting and rotating the cleaning rollers 5, 6 supplied with a solvent on the upper and lower surfaces of the metal mask 1, the printing material and the like remaining on the metal mask 1 are dissolved by the solvent and wiped off. By applying ultrasonic vibration with the ultrasonic vibrator 7, the printing material and the like remaining in the pattern of the metal mask 1 is peeled off, and the metal mask 1 and the cleaning rollers 5, 6 and the ultrasonic vibrator 7 are relatively moved. Then, the entire surface of the metal mask 1 is cleaned.
【００１４】（２）又洗浄用ローラ５，６と超音波振動
子７とによってメタルマスク１を洗浄し、その洗浄後に
メタルマスク１に空気を吹き付けて、メタルマスク１に
残存する溶剤の蒸発を促進させて、メタルマスク１を乾
燥させる。(2) Further, the metal mask 1 is cleaned by the cleaning rollers 5 and 6 and the ultrasonic vibrator 7, and air is blown to the metal mask 1 after the cleaning to evaporate the solvent remaining on the metal mask 1. The metal mask 1 is accelerated and dried.
【００１５】（３）又メタルマスクの洗浄装置は、上部
洗浄ユニット２と、下部洗浄ユニット３と、これらとメ
タルマスク１とを相対的に移動させる駆動部とを備えて
おり、上部洗浄ユニット２の上部洗浄用ローラ５に溶剤
供給パイプ８から溶剤を供給して、メタルマスク１の上
面に接触させ、又下部洗浄ユニット３の下部洗浄用ロー
ラ６を溶剤容器１３内の溶剤に浸漬してメタルマスク１
の下面に接触させ、溶剤によってメタルマスク１に残存
している印刷材料等の残滓を溶解し、且つ上部洗浄用ロ
ーラ５と下部洗浄用ローラ６との回転によって洗浄し、
又超音波振動子７によって溶剤を介して超音波振動を加
え、メタルマスク１のパターン内等に残存して上部洗浄
用ローラ５及び下部洗浄用ローラ６によって除去できな
いような印刷材料等の残滓を剥離して除去する。又上部
洗浄用ローラ５と下部洗浄用ローラ６との表面に付着し
た印刷材料等の残滓を剥離部材１０，１５によって剥離
する。そして、送りねじ機構，油圧移動機構，ベルト移
動機構等を含む駆動部によって、メタルマスク１と、上
部洗浄ユニット２及び下部洗浄ユニット３とを相対的に
移動させて、溶剤による洗浄と、上部洗浄用ローラ５及
び下部洗浄用ローラ６の回転しながらの接触洗浄と、超
音波振動子７による超音波振動洗浄とによって、メタル
マスク１の全面を洗浄する。(3) The metal mask cleaning device is provided with an upper cleaning unit 2, a lower cleaning unit 3, and a drive unit for relatively moving these units and the metal mask 1. The solvent is supplied from the solvent supply pipe 8 to the upper cleaning roller 5 of the above, and is brought into contact with the upper surface of the metal mask 1, and the lower cleaning roller 6 of the lower cleaning unit 3 is immersed in the solvent in the solvent container 13 to remove the metal. Mask 1
Of the printing material and the like remaining on the metal mask 1 is dissolved by the solvent, and the upper cleaning roller 5 and the lower cleaning roller 6 are rotated to clean them.
Further, ultrasonic vibration is applied by the ultrasonic vibrator 7 through a solvent, and a residue such as a printing material that remains in the pattern of the metal mask 1 and cannot be removed by the upper cleaning roller 5 and the lower cleaning roller 6 is removed. Peel and remove. Further, the peeling members 10 and 15 remove the residue of the printing material or the like attached to the surfaces of the upper cleaning roller 5 and the lower cleaning roller 6. Then, the metal mask 1 and the upper cleaning unit 2 and the lower cleaning unit 3 are relatively moved by a driving unit including a feed screw mechanism, a hydraulic pressure moving mechanism, a belt moving mechanism, etc., and cleaning with a solvent and upper cleaning are performed. The entire surface of the metal mask 1 is cleaned by contact cleaning while rotating the cleaning roller 5 and the lower cleaning roller 6 and ultrasonic vibration cleaning by the ultrasonic vibrator 7.
【００１６】（４）又印刷部は、メタルマスク１に形成
したパターンに従って基板上にスキージユニットによっ
て印刷する。この印刷に使用したメタルマスク１を、印
刷終了毎又は所定回数の印刷終了後に、印刷工程に引き
続いて、上部洗浄ユニット２の上部洗浄用ローラ５と超
音波振動子７を用いると共に、下部洗浄ユニット３の下
部洗浄用ローラ６を用いて洗浄する。そして、駆動部に
よって、メタルマスク１と上部洗浄ユニット２及び下部
洗浄ユニット３とを相対的に移動させて、印刷終了後の
メタルマスク１の全面を、溶剤の洗浄と、上部洗浄用ロ
ーラ５及び下部洗浄用ローラ６の回転しながらの接触洗
浄と、超音波振動子７による超音波振動洗浄とによる洗
浄工程を、印刷工程に引き続いて実施することができ
る。(4) Further, the printing section prints on the substrate by the squeegee unit according to the pattern formed on the metal mask 1. The metal mask 1 used for this printing is used every time printing is completed or after printing a predetermined number of times, following the printing process, using the upper cleaning roller 5 and the ultrasonic transducer 7 of the upper cleaning unit 2 and the lower cleaning unit. Cleaning is performed using the lower cleaning roller 6 of No. 3. Then, the metal mask 1 and the upper cleaning unit 2 and the lower cleaning unit 3 are relatively moved by the drive unit, and the entire surface of the metal mask 1 after printing is cleaned with the solvent and the upper cleaning roller 5 and The cleaning process by the contact cleaning while rotating the lower cleaning roller 6 and the ultrasonic vibration cleaning by the ultrasonic vibrator 7 can be performed subsequent to the printing process.
【００１７】（５）又印刷部に於いてメタルマスクを用
いて印刷している時は、上部洗浄ユニット２と下部洗浄
ユニット３とを、印刷工程に影響を及ぼさない位置に退
避させておき、印刷終了後のメタルマスク１を洗浄する
時に、印刷部をメタルマスク１に対して退避位置に移動
させ、上部洗浄ユニット２と下部洗浄ユニット３とを洗
浄位置に移動して、上部洗浄ユニット２の上部洗浄用ロ
ーラ５と超音波振動子７とをメタルマスク１の上面に接
触させ、且つ下部洗浄ユニット３の下部洗浄用ローラ６
がメタルマスク１の下面に接触させて、メタルマスク１
と相対的に移動させることにより、印刷終了後のメタル
マスク１を洗浄する。(5) When printing is performed using a metal mask in the printing section, the upper cleaning unit 2 and the lower cleaning unit 3 are retracted to positions that do not affect the printing process, When cleaning the metal mask 1 after printing, the printing unit is moved to the retreat position with respect to the metal mask 1, the upper cleaning unit 2 and the lower cleaning unit 3 are moved to the cleaning position, and the upper cleaning unit 2 The upper cleaning roller 5 and the ultrasonic transducer 7 are brought into contact with the upper surface of the metal mask 1, and the lower cleaning roller 6 of the lower cleaning unit 3
Contact the lower surface of the metal mask 1,
By moving the metal mask 1 relative to the metal mask 1, the metal mask 1 after the printing is cleaned.
【００１８】（６）又上部洗浄ユニット２と下部洗浄ユ
ニット３とを、メタルマスク１に対して相対的に移動し
て、メタルマスク１の洗浄が終了した位置に、空気吹き
付けノズル１１，１２を設け、空気吹き付けによってメ
タルマスク１に残存する溶剤を蒸発させて、メタルマス
ク１を乾燥させる。即ち、洗浄工程と乾燥工程とを連続
して実施させる。(6) Further, the upper cleaning unit 2 and the lower cleaning unit 3 are moved relative to the metal mask 1, and the air blowing nozzles 11 and 12 are installed at the positions where the cleaning of the metal mask 1 is completed. The metal mask 1 is provided, and the solvent remaining on the metal mask 1 is evaporated by blowing air to dry the metal mask 1. That is, the washing process and the drying process are continuously performed.
【００１９】（７）又溶剤供給部４のポンプ１９等によ
って溶剤供給パイプ８から上部洗浄用ローラ５に溶剤を
供給し、又下部洗浄用ローラ６を収容した溶剤容器１３
に溶剤を供給し、排出パイプ９，１６によって排出した
溶剤を溶剤供給部４の溶剤貯蔵容器１７に回収し、印刷
材料等の固形物をフィルタによって除去したり、又は沈
殿部１８に沈殿させて、一点鎖線で示す経路で溶剤を循
環させる。(7) Further, the solvent is supplied from the solvent supply pipe 8 to the upper cleaning roller 5 by the pump 19 of the solvent supply section 4 and the solvent container 13 containing the lower cleaning roller 6 therein.
The solvent discharged from the discharge pipes 9 and 16 is collected in the solvent storage container 17 of the solvent supply unit 4, and solid matters such as printing materials are removed by a filter or settled in the settling unit 18. , The solvent is circulated through the route indicated by the one-dot chain line.
【００２０】（８）又上部洗浄用ローラ５と下部洗浄用
ローラ６との表面層をフェルトにより構成し、溶剤を含
浸することができるから、メタルマスク１に溶剤を供給
しながらメタルマスク１に疵を付けることなく洗浄する
ことができる。(8) Further, since the surface layers of the upper cleaning roller 5 and the lower cleaning roller 6 are made of felt and can be impregnated with the solvent, the metal mask 1 is supplied to the metal mask 1 while supplying the solvent. It can be cleaned without scratches.
【００２１】[0021]
【実施例】図２は本発明の一実施例の説明図であり、図
１と同一符号は同一部分を示し、２１はメタルマスク保
持ユニット、２２はメタルマスク保持フレーム、２３は
上部洗浄ユニットケース、２４は下部洗浄ユニットケー
ス、２５，２６はモータ、２７は超音波振動子の駆動回
路、２８は上部洗浄ユニットの上下動作手段、２９は下
部洗浄ユニットの上下動作手段、３０は支持基板、３１
は真空吸引容器、３２は真空吸引ポンプ、３３はフィル
タ、３４は印刷材料等の沈殿物、３５は駆動部、３６は
案内部である。又ａ，ｂ，ｃはそれぞれ溶剤の循環経路
の接続関係を示し、又ｄは圧縮空気の供給を示す。2 is an explanatory view of an embodiment of the present invention, in which the same reference numerals as those in FIG. 1 designate the same parts, 21 is a metal mask holding unit, 22 is a metal mask holding frame, and 23 is an upper cleaning unit case. Reference numeral 24 is a lower cleaning unit case, 25 and 26 are motors, 27 is a drive circuit for an ultrasonic transducer, 28 is a vertical operating means of an upper cleaning unit, 29 is a vertical operating means of a lower cleaning unit, 30 is a support substrate, 31
Is a vacuum suction container, 32 is a vacuum suction pump, 33 is a filter, 34 is a precipitate such as a printing material, 35 is a drive unit, and 36 is a guide unit. Further, a, b, and c respectively indicate the connection relationship of the solvent circulation path, and d indicates the supply of compressed air.
【００２２】上部洗浄ユニット２は、モータ２５により
ベルト等を介して矢印方向に回転される上部洗浄用ロー
ラ５と、駆動回路２７からの超音波周波数の駆動信号に
よって駆動される超音波振動子７と、上部洗浄用ローラ
５に溶剤を供給する溶剤供給パイプ８と、使用済みの溶
剤を排出する排出パイプ９と、上部洗浄用ローラ５の表
面に付着した半田ペースト等の印刷材料の残滓を剥離す
る剥離部材１０と、メタルマスク１を乾燥させる為の空
気吹き付けノズル１１とを、上部洗浄ユニットケース２
３内に収容して構成されている。The upper cleaning unit 2 includes an upper cleaning roller 5 which is rotated by a motor 25 through a belt or the like in the direction of the arrow, and an ultrasonic vibrator 7 which is driven by a drive signal of an ultrasonic frequency from a drive circuit 27. A solvent supply pipe 8 for supplying a solvent to the upper cleaning roller 5, a discharge pipe 9 for discharging a used solvent, and a residue of a printing material such as a solder paste adhered to the surface of the upper cleaning roller 5 The upper cleaning unit case 2 includes a peeling member 10 for removing the metal mask 1 and an air blowing nozzle 11 for drying the metal mask 1.
It is configured to be housed in 3.
【００２３】又下部洗浄ユニット３は、溶剤を充填した
溶剤容器１３内にモータ２６によりベルト等を介して矢
印方向に回転される下部洗浄用ローラ６1 ，６2 と、そ
れらの表面に付着した半田ペースト等の印刷材料の残滓
を剥離する剥離部材１５1 ，１５2 と、メタルマスク１
を乾燥させる為の空気吹き付けノズル１２とを、下部洗
浄ユニットケース２４内に収容して構成されている。The lower cleaning unit 3 has lower cleaning rollers 6 1 and 6 2 which are rotated in a direction indicated by an arrow by a motor 26 in a solvent container 13 filled with a solvent via a belt or the like, and are attached to the surfaces thereof. Peeling members 15 1 and 15 2 for peeling the residue of the printing material such as solder paste and the metal mask 1
And an air blowing nozzle 12 for drying the air are contained in the lower cleaning unit case 24.
【００２４】又上部洗浄ユニット２と下部洗浄ユニット
３とは、支持基板３０上に上下動作手段２８，２９を介
して支持され、支持基板３０は、案内部３６によって案
内される駆動部３５によって矢印Ａ方向に移動されて洗
浄作用を行い、洗浄後はその反対方向に移動される。又
上下動作手段２８，２９は、メタルマスク１を挟んで上
部洗浄ユニット２と下部洗浄ユニット３とを洗浄時に接
近させ、又洗浄前或いは洗浄後に離間させる上下動作を
行わせるものであり、油圧シリンダ機構，電磁シリンダ
機構，送りねじ機構等の既に知られた各種の構成を適用
することができる。又リンク機構やカム機構等を介して
１個の上下動作手段によって、上部洗浄ユニット２と下
部洗浄ユニット３とを上下動作させる構成とすることも
可能である。The upper cleaning unit 2 and the lower cleaning unit 3 are supported on a supporting substrate 30 by vertical movement means 28, 29, and the supporting substrate 30 is driven by a driving unit 35 guided by a guiding unit 36. It is moved in the direction A to perform a cleaning action, and after cleaning, it is moved in the opposite direction. Further, the vertical movement means 28 and 29 perform vertical movements in which the upper cleaning unit 2 and the lower cleaning unit 3 are brought closer to each other with the metal mask 1 sandwiched therebetween during cleaning, and separated from each other before or after cleaning. Various known structures such as a mechanism, an electromagnetic cylinder mechanism, and a feed screw mechanism can be applied. Further, it is also possible to adopt a configuration in which the upper cleaning unit 2 and the lower cleaning unit 3 are vertically moved by one vertical movement means via a link mechanism, a cam mechanism or the like.
【００２５】又駆動部３５は、棒状の案内部３６に沿っ
て支持基板３０を移動させるものであり、モータ，送り
ねじ機構，油圧移動機構，ベルト移動機構等の各種機構
を用いて構成することができる。或いは、案内部３６を
送りねじとし、駆動部３５の部分を送りねじと噛み合う
構成とし、送りねじを図示を省略しているモータ等によ
って回転させることにより、支持基板３０を移動させる
構成とすることも可能である。なお、上部洗浄ユニット
２と、下部洗浄ユニット３とを上下動作のみ行う構成と
し、これに対してメタルマスク１を保持して矢印Ｂ方向
に移動させることも可能である。この場合、メタルマス
ク１の保持部を構成するメタルマスク保持ユニット２１
とメタルマスク保持フレーム２２とに対して、駆動部を
設けることになる。The drive unit 35 is for moving the support substrate 30 along the rod-shaped guide unit 36, and is constructed by using various mechanisms such as a motor, a feed screw mechanism, a hydraulic pressure moving mechanism, and a belt moving mechanism. You can Alternatively, the guide portion 36 may be a feed screw, the drive portion 35 may be engaged with the feed screw, and the feed screw may be rotated by a motor or the like (not shown) to move the support substrate 30. Is also possible. It is also possible that the upper cleaning unit 2 and the lower cleaning unit 3 are configured to perform only the vertical movement, and the metal mask 1 is held and moved in the direction of arrow B with respect to this. In this case, the metal mask holding unit 21 forming the holding portion of the metal mask 1
A drive unit is provided for the metal mask holding frame 22 and the metal mask holding frame 22.
【００２６】又溶剤供給部４は、溶剤を貯蔵する溶剤貯
蔵容器１７と、回収した溶剤に含まれる半田ペースト等
の印刷材料の比重の大きいもの沈殿させてフィルタの作
用を行わせる沈殿部１８と、比較的比重の小さい不純物
を除去するフィルタ３３と、溶剤を循環させる為のポン
プ１９等を含むものである。又排出パイプ９は、真空吸
引容器３１に接続され、真空吸引ポンプ３２によって真
空吸引容器３１内を減圧することにより、使用済みの溶
剤等をｃの経路で吸引し、ｂの経路で溶剤貯蔵容器１７
へ戻すことになる。The solvent supply section 4 includes a solvent storage container 17 for storing the solvent, and a settling section 18 for causing a printing material such as a solder paste contained in the collected solvent having a large specific gravity to settle out and perform a filter action. A filter 33 for removing impurities having a relatively small specific gravity, a pump 19 for circulating a solvent, and the like are included. The discharge pipe 9 is connected to a vacuum suction container 31, and the vacuum suction pump 32 depressurizes the inside of the vacuum suction container 31 to suck a used solvent or the like through a path c and a solvent storage container through a path b. 17
Will be returned to.
【００２７】又メタルマスク１は、その周辺に補強用及
び取り付け用の枠を有し、その枠を保持部を構成するメ
タルマスク保持ユニット２１とメタルマスク保持フレー
ム２２とにより保持する。このメタルマスク１を用いて
印刷する場合、例えば、表面実装基板上に半田ペースト
のパターンを印刷する場合、そのパターンを形成したメ
タルマスク１を基板上に載置し、メタルマスク１上に載
せた半田ペーストをスキージによって刷り込むものであ
る。このメタルマスク１を用いて印刷を繰り返すことに
より、メタルマスク１に印刷材料としての半田ペースト
が付着して残存することになり、これを洗浄して除去す
る必要がある。The metal mask 1 has a frame for reinforcement and attachment around the metal mask 1, and the frame is held by a metal mask holding unit 21 and a metal mask holding frame 22 which constitute a holding portion. When printing is performed using this metal mask 1, for example, when a solder paste pattern is printed on a surface mounting substrate, the metal mask 1 on which the pattern is formed is placed on the substrate and placed on the metal mask 1. The solder paste is imprinted with a squeegee. By repeating printing using this metal mask 1, the solder paste as a printing material adheres and remains on the metal mask 1, and it is necessary to wash and remove this.
【００２８】本発明のメタルマスクの洗浄方法は、前述
の洗浄装置を利用して実施できるものであり、上部と下
部との洗浄用ローラ５，６1 ，６2 に溶剤を供給してメ
タルマスク１の上下面に接触させ、溶剤を介して超音波
振動子７から超音波振動を加えながら、メタルマスク１
を矢印Ｂ方向或いは洗浄用ローラ５，６1 ，６2 及び超
音波振動子７を矢印Ａ方向に移動させて、メタルマスク
１に付着した残滓を、溶剤によって溶解し、超音波振動
によって剥離させ、且つ洗浄用ローラ５，６1，６2 に
よって除去する工程を含むものである。従って、溶剤は
洗浄用ローラ５，６1 ，６2 によってメタルマスク１に
供給するもので、溶剤の使用量は従来例のシャワー洗浄
方法に比較して著しく少なくすることができる。又洗浄
工程終了後のメタルマスク１を他の乾燥工程に回して乾
燥させることができる。又洗浄直後のメタルマスク１に
空気吹き付けノズル１１，１２から空気を吹き付けて、
洗浄工程直後にメタルマスク１を乾燥することができ
る。The metal mask cleaning method of the present invention can be carried out by using the above-described cleaning device, and a solvent is supplied to the upper and lower cleaning rollers 5, 6 1 and 6 2 to supply the metal mask. The metal mask 1 is brought into contact with the upper and lower surfaces of the metal mask 1 while applying ultrasonic vibration from the ultrasonic vibrator 7 through a solvent.
By moving the cleaning rollers 5, 6 1 , 6 2 and the ultrasonic vibrator 7 in the direction of arrow A in the direction of arrow B to dissolve the residue adhered to the metal mask 1 with a solvent and remove it by ultrasonic vibration. In addition, the step of removing by the cleaning rollers 5, 6 1 , 6 2 is included. Accordingly, solvents with cleaning rollers 5 and 6 1, 6 2 and supplies to the metal mask 1, the amount of solvent used may be greatly reduced as compared to the shower cleaning method of the conventional example. Further, the metal mask 1 after the cleaning step can be sent to another drying step to be dried. Further, by blowing air from the air blowing nozzles 11 and 12 onto the metal mask 1 immediately after cleaning,
The metal mask 1 can be dried immediately after the cleaning process.
【００２９】前述のメタルマスクの洗浄装置に於いて、
メタルマスク１の洗浄時は、上下動作手段２８，２９に
よって上部洗浄ユニット２を下降させ、下部洗浄ユニッ
ト３を上昇させて、上部洗浄ユニット２と下部洗浄ユニ
ット３とを図示の状態とし、溶剤供給部４から溶剤容器
１３内に溶剤を供給し、且つ溶剤供給パイプ８を介して
上部洗浄用ローラ５に溶剤を供給する。又排出パイプ９
によって使用済みの溶剤を排出する。又メタルマスク１
の上面に接触する上部洗浄用ローラ５をモータ２５によ
って矢印方向に回転させ、超音波振動子７に駆動回路２
７から超音波周波数の駆動信号を加える。In the above-mentioned metal mask cleaning device,
When cleaning the metal mask 1, the upper and lower operating units 28 and 29 lower the upper cleaning unit 2 and raise the lower cleaning unit 3 to bring the upper cleaning unit 2 and the lower cleaning unit 3 into the illustrated state, and supply the solvent. The solvent is supplied from the section 4 into the solvent container 13, and the solvent is supplied to the upper cleaning roller 5 through the solvent supply pipe 8. Also discharge pipe 9
Discharge the used solvent by. Also metal mask 1
The upper cleaning roller 5 contacting the upper surface of the ultrasonic wave is rotated by the motor 25 in the direction of the arrow, and the ultrasonic transducer 7 is driven by the drive circuit 2.
A drive signal of ultrasonic frequency is added from 7.
【００３０】又メタルマスク１の下面に接触する下部洗
浄用ローラ６1 ，６2 をモータ２６によって矢印方向に
回転させ、図示を省略した空気圧縮機から空気吹き付け
ノズル１１，１２に空気を供給する。この場合、空気圧
縮機と加熱手段とを用いて熱風を空気吹き付けノズル１
１，１２から吹き付けて、乾燥時間を短縮する構成とす
ること可能である。又案内部３６に沿って駆動部３５に
より上部洗浄ユニット２と下部洗浄ユニット３とを矢印
Ａ方向に移動させる。Further, the lower cleaning rollers 6 1 , 6 2 contacting the lower surface of the metal mask 1 are rotated in the direction of the arrow by the motor 26, and air is supplied to the air blowing nozzles 11, 12 from an air compressor (not shown). . In this case, the hot air is blown into the nozzle 1 using the air compressor and the heating means.
It is possible to spray from Nos. 1 and 12 to shorten the drying time. Further, the drive unit 35 moves the upper cleaning unit 2 and the lower cleaning unit 3 in the direction of arrow A along the guide unit 36.
【００３１】図３は本発明の一実施例の要部拡大説明図
であり、上部洗浄ユニット２と下部洗浄ユニット３との
要部を示し、上部洗浄用ローラ５の表面層５ａと、下部
洗浄用ローラ６1 ，６2 の表面層６ａとを、溶剤を含浸
できるフェルトにより構成する。従って、溶剤供給パイ
プ８から供給された溶剤Ｃは、矢印方向に回転する上部
洗浄用ローラ５によってメタルマスク１の上面に供給さ
れる。又矢印方向に回転する下部洗浄用ローラ６1 ，６
2 によって溶剤容器内の溶剤Ｃがメタルマスク１の下面
に供給される。FIG. 3 is an enlarged explanatory view of an essential part of an embodiment of the present invention, showing the essential parts of the upper cleaning unit 2 and the lower cleaning unit 3, the surface layer 5a of the upper cleaning roller 5 and the lower cleaning. The surface layers 6a of the rollers 6 1 and 6 2 are made of felt that can be impregnated with a solvent. Therefore, the solvent C supplied from the solvent supply pipe 8 is supplied to the upper surface of the metal mask 1 by the upper cleaning roller 5 rotating in the arrow direction. Also, the lower cleaning rollers 6 1 , 6 rotating in the direction of the arrow
The solvent C in the solvent container is supplied to the lower surface of the metal mask 1 by 2 .
【００３２】従って、メタルマスク１の表面及びパター
ン開口部１ａ内の半田ペースト等の印刷材料の残滓Ｄ
は、溶剤Ｃによって溶解されると共に上部洗浄用ローラ
５及び下部洗浄用ローラ６1 ，６2 によって除去され
る。又超音波振動子７は、下部洗浄用ローラ６2 に対向
する位置に設けた場合を示し、この下部洗浄用ローラ６
2からパターン開口部１ａを介してメタルマスク１の上
面に供給された溶剤Ｃ、又は上部洗浄用ローラ５を介し
て供給された溶剤Ｃが、超音波振動子７とメタルマスク
１の上面との間に流入し、この溶剤Ｃを介して超音波振
動子７から超音波振動を加える。この溶剤Ｃを介して加
えられる超音波振動によって微細なパターン開口部１ａ
内に残存する半田ペースト等の印刷材料の残滓Ｄであっ
ても、溶剤Ｄの流れ及び下部洗浄用ローラ６2 の回転に
よって除去することができる。Therefore, the residue D of the printing material such as the solder paste on the surface of the metal mask 1 and in the pattern openings 1a.
Is dissolved by the solvent C and removed by the upper cleaning roller 5 and the lower cleaning rollers 6 1 , 6 2 . Further, the ultrasonic vibrator 7 is shown in a case where it is provided at a position facing the lower cleaning roller 6 2.
The solvent C supplied from 2 to the upper surface of the metal mask 1 through the pattern opening 1a or the solvent C supplied through the upper cleaning roller 5 causes the ultrasonic transducer 7 and the upper surface of the metal mask 1 to be separated from each other. It flows in between and the ultrasonic vibration is applied from the ultrasonic vibrator 7 through this solvent C. By the ultrasonic vibration applied through the solvent C, the fine pattern opening 1a is formed.
Even the residue D of the printing material such as the solder paste remaining inside can be removed by the flow of the solvent D and the rotation of the lower cleaning roller 6 2 .
【００３３】又半田ペースト等の印刷材料は比較的粘着
性を有するものであるから、上部洗浄用ローラ５と下部
洗浄用ローラ６1 ，６2 との表面に付着することがあ
る。このような残滓Ｄを剥離部材１０，１５によって剥
離する。従って、上部洗浄用ローラ５と下部洗浄用ロー
ラ６1 ，６2 との表面は常に清浄となり、メタルマスク
１の洗浄力を維持することができる。又上部洗浄用ロー
ラ５の表面から剥離部材１０によって剥離した残滓Ｄ
は、使用済みの溶剤Ｃと共に排出パイプ９によって排出
される。又下部洗浄用ローラ６1 ，６2 の表面から剥離
部材１５1 ，１５2によって剥離した残滓Ｄは、溶剤の
循環によって溶剤容器１３から溶剤貯蔵容器１７に排出
される。Further, since the printing material such as the solder paste has a relatively adhesive property, it may adhere to the surfaces of the upper cleaning roller 5 and the lower cleaning rollers 6 1 and 6 2 . Such a residue D is peeled off by the peeling members 10 and 15. Therefore, the surfaces of the upper cleaning roller 5 and the lower cleaning rollers 6 1 , 6 2 are always clean, and the cleaning power of the metal mask 1 can be maintained. In addition, the residue D peeled from the surface of the upper cleaning roller 5 by the peeling member 10
Is discharged by the discharge pipe 9 together with the used solvent C. Further, the residue D peeled from the surfaces of the lower cleaning rollers 6 1 , 6 2 by the peeling members 15 1 , 15 2 is discharged from the solvent container 13 to the solvent storage container 17 by circulation of the solvent.
【００３４】排出パイプ９から真空吸引容器３１を介し
て溶剤貯蔵容器１７に排出された溶剤及び溶剤容器１３
から溶剤貯蔵容器１７に排出された溶剤には、前述の半
田ペースト等の印刷材料の残滓Ｄが含まれており、半田
ペーストの場合は比重が大きいから、溶剤貯蔵容器１７
の下部の沈殿部１８に沈殿することになる。従って、溶
剤貯蔵容器１７の上層部の溶剤をポンプ１９によって供
給することにより、一旦除去した残滓Ｄを再供給しない
ようにすることができる。又フィルタ３３によって比重
の比較的小さい不純物を除去することができる。The solvent discharged from the discharge pipe 9 to the solvent storage container 17 through the vacuum suction container 31 and the solvent container 13
The solvent discharged from the solvent storage container 17 contains the residue D of the printing material such as the above-mentioned solder paste, and in the case of the solder paste, the specific gravity is large.
Will settle in the settling section 18 below. Therefore, by supplying the solvent in the upper layer portion of the solvent storage container 17 by the pump 19, it is possible to prevent the residue D once removed from being supplied again. Further, the filter 33 can remove impurities having a relatively small specific gravity.
【００３５】又上部洗浄ユニット２と下部洗浄ユニット
３とを矢印Ａ（図２参照）方向に移動させることによ
り、メタルマスク１の全面にわたって洗浄することがで
きるものであり、その場合に、溶剤供給部４と真空吸引
容器３１とを固定基板上に配置した場合は、ａ，ｂ，
ｃ，ｄの経路は、可撓性のパイプによってそれぞれ接続
することになる。又メタルマスク１を矢印Ｂ（図２参
照）方向に移動させる場合は、ａ，ｂ，ｃ，ｄの経路は
固定的なパイプ接続で済むことになる。By moving the upper cleaning unit 2 and the lower cleaning unit 3 in the direction of arrow A (see FIG. 2), the entire surface of the metal mask 1 can be cleaned. When the part 4 and the vacuum suction container 31 are arranged on a fixed substrate, a, b,
The paths c and d are connected by flexible pipes. Further, when the metal mask 1 is moved in the direction of the arrow B (see FIG. 2), the routes of a, b, c, d need only be fixed pipe connections.
【００３６】図４は本発明の他の実施例の説明図であ
り、図１と同一符号は同一部分を示し、印刷部４０は、
基板４１を載置して上下動作する支持テーブル４２と、
この支持テーブル４２に基板４１を搬入するベルトコン
ベア４３と搬出するベルトコンベア４４と、半田ペース
ト４６をメタルマスク１に形成されたパターンに従って
基板４１上に印刷するスキージユニット４５とを含む構
成である。FIG. 4 is an explanatory view of another embodiment of the present invention. The same reference numerals as those in FIG.
A support table 42 on which a substrate 41 is placed and which moves up and down;
The support table 42 includes a belt conveyor 43 for loading the substrate 41, a belt conveyor 44 for unloading the substrate 41, and a squeegee unit 45 for printing the solder paste 46 on the substrate 41 according to a pattern formed on the metal mask 1.
【００３７】又洗浄部５０は、前述の図１及び図２に示
す上部洗浄ユニット２と下部洗浄ユニット３とを含み、
案内部３６と駆動部３５とは上部洗浄ユニット２側に設
けた場合を示し、上部洗浄ユニット２は上下動作手段２
８により上下動作され、又下部洗浄ユニット３は上下動
作手段２９により上下動作されて、印刷部４０に於ける
印刷工程中は、上部洗浄ユニット２と下部洗浄ユニット
３とを離間させ、且つ駆動部３５によって印刷工程に支
障のない位置に退避させる。The cleaning unit 50 includes the upper cleaning unit 2 and the lower cleaning unit 3 shown in FIGS.
The case where the guide portion 36 and the drive portion 35 are provided on the upper cleaning unit 2 side is shown.
8, the lower cleaning unit 3 is moved up and down, and the lower cleaning unit 3 is moved up and down by the up-and-down moving unit 29 to separate the upper cleaning unit 2 and the lower cleaning unit 3 from each other during the printing process in the printing unit 40, and to drive the driving unit. By 35, it is retracted to a position that does not interfere with the printing process.
【００３８】印刷パターンが形成され且つ周辺を枠で補
強されたメタルマスク１は、支持テーブル４１の上方
に、その枠部分を保持されて固定されている。又ベルト
コンベア４３によって支持テーブル４２上に基板４１が
搬入されて真空吸引等によって保持されると、メタルマ
スク１に基板４１が接触するように、支持テーブル４２
は点線位置に上昇する。その時点では、洗浄部５０は印
刷工程に支障のない位置、即ち、メタルマスク１より右
側の位置に退避されており、又スキージユニット４５は
メタルマスク１の右端に位置している。The metal mask 1 on which a print pattern is formed and whose periphery is reinforced with a frame is fixed above the support table 41 while holding the frame portion thereof. Further, when the substrate 41 is carried onto the supporting table 42 by the belt conveyor 43 and held by vacuum suction or the like, the supporting table 42 contacts the substrate 41 to the metal mask 1.
Rises to the dotted position. At that time, the cleaning unit 50 is retracted to a position that does not interfere with the printing process, that is, a position on the right side of the metal mask 1, and the squeegee unit 45 is located at the right end of the metal mask 1.
【００３９】メタルマスク１上に半田ペースト４６が供
給され、スキージユニット４５は、図示を省略した駆動
機構によって左方向に移動される。この駆動機構は、モ
ータ等を駆動源とした送りねじ機構，油圧送り機構，ベ
ルト送り機構等の既に知られている各種の構成を採用で
きるものである。スキージユニット４５が右端から左端
に向かって移動することにより、基板４１上にメタルマ
スク１に形成されたパターンに従った半田ペースト４６
のパターンが印刷される。The solder paste 46 is supplied onto the metal mask 1, and the squeegee unit 45 is moved leftward by a drive mechanism (not shown). This drive mechanism can employ various known structures such as a feed screw mechanism using a motor as a drive source, a hydraulic pressure feed mechanism, a belt feed mechanism, and the like. As the squeegee unit 45 moves from the right end to the left end, the solder paste 46 according to the pattern formed on the metal mask 1 on the substrate 41.
Pattern is printed.
【００４０】この印刷工程が終了すると、支持テーブル
４２は実線位置に下降し、基板４１はベルトコンベア４
４によって搬出される。又洗浄部５０は支持テーブル４
２が実線位置に下降したことにより、退避位置から図示
位置に駆動部３５によって移動し、上下動作手段２８，
２９によって上部洗浄ユニット２と下部洗浄ユニット３
とを、メタルマスク１を挟んで接近させ、メタルマスク
１の上面に上部洗浄用ローラ５と超音波振動子７とを接
触させ、メタルマスク１の下面に下部洗浄用ローラ６を
接触させる。When this printing process is completed, the support table 42 is lowered to the solid line position, and the substrate 41 is moved to the belt conveyor 4
4 is carried out. The cleaning unit 50 is the support table 4
When 2 is lowered to the solid line position, it is moved from the retracted position to the illustrated position by the drive unit 35, and the vertical movement means 28,
29 includes an upper cleaning unit 2 and a lower cleaning unit 3
Are brought close to each other with the metal mask 1 interposed therebetween, the upper cleaning roller 5 and the ultrasonic transducer 7 are brought into contact with the upper surface of the metal mask 1, and the lower cleaning roller 6 is brought into contact with the lower surface of the metal mask 1.
【００４１】そして、前述の実施例のように、上部洗浄
用ローラ５に溶剤を供給し、且つ下部洗浄用ローラ６を
溶剤容器１３内の溶剤に浸漬して、それぞれ回転させる
ことにより、溶剤をメタルマスク１に供給しながら洗浄
し、且つ超音波振動子７によってメタルマスク１の残滓
を除去する。Then, as in the above-described embodiment, the solvent is supplied to the upper cleaning roller 5, and the lower cleaning roller 6 is dipped in the solvent in the solvent container 13 and rotated to remove the solvent. The metal mask 1 is washed while being supplied to the metal mask 1, and the residue of the metal mask 1 is removed by the ultrasonic vibrator 7.
【００４２】そして、駆動部３５によってメタルマスク
１の右端から左端に移動させることにより、メタルマス
ク１の全面を洗浄することができる。この場合、空気吹
き付けノズル１１，１２（図２参照）から圧縮空気をメ
タルマスク１に吹き付けることにより、メタルマスク１
に残存する溶剤の蒸発を促進させて乾燥することができ
る。この場合、空気加熱装置を付加して熱風を吹き付け
ることにより、乾燥時間を更に短縮することができる。Then, by moving from the right end of the metal mask 1 to the left end by the drive unit 35, the entire surface of the metal mask 1 can be cleaned. In this case, by blowing compressed air onto the metal mask 1 from the air blowing nozzles 11 and 12 (see FIG. 2), the metal mask 1
It is possible to accelerate the evaporation of the solvent remaining in the solvent and dry it. In this case, the drying time can be further shortened by adding an air heating device and blowing hot air.
【００４３】洗浄部５０によるメタルマスク１の洗浄工
程が終了すると、上部洗浄ユニット２と下部洗浄ユニッ
ト３とを離間させると共に、駆動部３５によって最初の
退避位置に移動させ、又スキージユニット４５をメタル
マスク１の右端に移動することにより、支持テーブル４
２上に新たに保持された基板４１に対する印刷工程を開
始することができる。When the cleaning process of the metal mask 1 by the cleaning unit 50 is completed, the upper cleaning unit 2 and the lower cleaning unit 3 are separated from each other, and the driving unit 35 moves them to the first retracted position, and the squeegee unit 45 is moved to the metal position. By moving to the right end of the mask 1, the support table 4
The printing process for the substrate 41 newly held on the substrate 2 can be started.
【００４４】この印刷部を有する洗浄装置に於いて、メ
タルマスク１を用いた基板４１の印刷枚数をカウント
し、予めセットした枚数の印刷が終了した時に、自動的
に洗浄部５０によるメタルマスク１の洗浄工程を実施さ
せる構成とすることができる。このような構成による
と、長時間無人運転が可能となる。又メタルマスク１の
洗浄工程は、製造図番の切替時に実施するように構成す
ることも可能である。即ち、製造図番切替えによるメタ
ルマスク１の交換前に、使用済みのメタルマスクを洗浄
して乾燥し、そのメタルマスクを取り外して保管し、新
たな製造図番対応のメタルマスクをセットして印刷を開
始することができる。In the cleaning device having this printing unit, the number of printed sheets of the substrate 41 using the metal mask 1 is counted, and when the preset number of printings are completed, the cleaning unit 50 automatically uses the metal mask 1 The cleaning step may be performed. With such a configuration, unmanned operation can be performed for a long time. Further, the cleaning process of the metal mask 1 can be configured to be performed at the time of switching the manufacturing drawing number. That is, before the metal mask 1 is replaced by changing the manufacturing drawing number, the used metal mask is washed and dried, the metal mask is removed and stored, and a new metal mask corresponding to the manufacturing drawing number is set and printed. Can start.
【００４５】本発明は、前述の各実施例にのみ限定され
るものではなく、種々付加変更することができるもので
あり、例えば、半田ペースト以外の印刷材料を用いるこ
とも可能であり、又上部洗浄用ローラ５と下部洗浄用ロ
ーラ６との表面をブラシ状とすることも可能である。The present invention is not limited to the above-mentioned respective embodiments, but various additions and modifications can be made. For example, a printing material other than the solder paste can be used, and the upper part can be used. The surfaces of the cleaning roller 5 and the lower cleaning roller 6 may be brush-shaped.
【００４６】[0046]
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、洗浄用
ローラ５，６に溶剤を供給してメタルマスク１の洗浄を
行うと共に、超音波振動子７から超音波振動を加えるこ
とにより、少ない溶剤でメタルマスク１の洗浄を行うこ
とができる。従って、オゾン層破壊の問題がなく、且つ
乾燥性に優れて比較的廉価なアルコール系溶剤の使用が
可能となる利点がある。この場合、メタルマスク１と洗
浄用ローラ５，６及び超音波振動子７との何れか一方を
移動する構成とするか、或いは両方を反対方向に移動す
る構成として、メタルマスク１の全面を洗浄することが
できる。又少ない溶剤の使用により、空気吹き付けによ
ってメタルマスク１の乾燥が容易となり、洗浄後に直ち
に保管するか或いは印刷工程に入ることができる利点が
ある。As described above, according to the present invention, by supplying the solvent to the cleaning rollers 5 and 6 to clean the metal mask 1 and applying ultrasonic vibration from the ultrasonic vibrator 7, The metal mask 1 can be cleaned with a small amount of solvent. Therefore, there is an advantage that there is no problem of ozone layer depletion, and it is possible to use a relatively inexpensive alcohol solvent which is excellent in drying property. In this case, either the metal mask 1 and the cleaning rollers 5, 6 and the ultrasonic transducer 7 are moved, or both are moved in the opposite directions to clean the entire surface of the metal mask 1. can do. Further, the use of a small amount of solvent facilitates drying of the metal mask 1 by blowing air, and there is an advantage that the metal mask 1 can be stored immediately after cleaning or can enter the printing process.
【００４７】又上部洗浄用ローラ５に溶剤供給パイプ８
から溶剤を供給してメタルマスク１の洗浄を行い、排出
パイプ９により使用済みの溶剤や残滓を排出し、又超音
波振動子７により超音波振動を加えて、メタルマスクの
パターン開口部等に付着した印刷材料等を除去すること
ができる。又溶剤容器１３内の溶剤に下部洗浄用ローラ
６を浸漬してメタルマスク１の下面の洗浄を行い、剥離
部材１０，１５によって洗浄用ローラ５，６の表面に付
着した残滓を除去する構成としたことにより、メタルマ
スク１を少ない溶剤を用いて自動的に洗浄することが可
能となる。Further, a solvent supply pipe 8 is attached to the upper cleaning roller 5.
The metal mask 1 is cleaned by supplying a solvent from it, and the used solvent and residue are discharged through the discharge pipe 9, and ultrasonic vibration is applied by the ultrasonic vibrator 7 to the pattern opening of the metal mask. The attached printing material can be removed. Further, the lower cleaning roller 6 is immersed in the solvent in the solvent container 13 to clean the lower surface of the metal mask 1, and the peeling members 10 and 15 remove the residue adhered to the surfaces of the cleaning rollers 5 and 6. By doing so, it becomes possible to automatically clean the metal mask 1 with a small amount of solvent.
【００４８】又印刷部と洗浄部とを備えて、印刷部に於
ける印刷工程が終了したメタルマスクを引き続き洗浄部
によって洗浄することができるから、メタルマスク１を
取り外すことなく、長時間の自動印刷が可能となる利点
がある。又洗浄部を印刷工程中は退避させ、印刷工程終
了後にメタルマスク１の洗浄工程位置へ移動し、メタル
マスク１を所定の位置に固定した状態で、印刷工程と洗
浄工程とを行うことができる。Further, since the metal mask having the printing section and the cleaning section is provided and the printing step in the printing section is completed can be continuously cleaned by the cleaning section, the metal mask 1 can be automatically removed for a long time without removing it. There is an advantage that printing is possible. Further, the cleaning unit can be evacuated during the printing process, moved to the cleaning process position of the metal mask 1 after the printing process, and the printing process and the cleaning process can be performed with the metal mask 1 fixed at a predetermined position. .
【００４９】又上部洗浄ユニット２と下部洗浄ユニット
３とに空気吹き付けノズル１１，１２を設けて、洗浄後
のメタルマスク１の乾燥を行うことができるから、洗浄
後のメタルマスク１を直ちに保管するか又は次の印刷工
程に入ることができる利点がある。又溶剤供給部４によ
って溶剤供給パイプ８から上部洗浄用ローラ５に溶剤を
供給し、又溶剤容器１３内の溶剤を循環することができ
る。又上部洗浄用ローラ５と下部洗浄用ローラ６との表
面層を、フェルトにより構成することにより、溶剤を含
浸してメタルマスク１に供給し、且つメタルマスク１の
表面を疵つけることなく洗浄することができる利点があ
る。Further, the upper cleaning unit 2 and the lower cleaning unit 3 can be provided with air blowing nozzles 11 and 12 to dry the metal mask 1 after cleaning, so that the metal mask 1 after cleaning is immediately stored. Alternatively, there is an advantage that the next printing process can be started. Further, the solvent supply unit 4 can supply the solvent from the solvent supply pipe 8 to the upper cleaning roller 5 and circulate the solvent in the solvent container 13. Further, by forming the surface layers of the upper cleaning roller 5 and the lower cleaning roller 6 from felt, the solvent is impregnated and supplied to the metal mask 1, and the surface of the metal mask 1 is cleaned without being scratched. There is an advantage that can be.
【図１】本発明の原理説明図である。FIG. 1 is a diagram illustrating the principle of the present invention.
【図２】本発明の一実施例の説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram of an embodiment of the present invention.
【図３】本発明の一実施例の要部拡大説明図である。FIG. 3 is an enlarged explanatory view of a main part of the embodiment of the present invention.
【図４】本発明の他の実施例の説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of another embodiment of the present invention.
１ メタルマスク ２ 上部洗浄ユニット ３ 下部洗浄ユニット ４ 溶剤供給部 ５ 上部洗浄用ローラ ６ 下部洗浄用ローラ ７ 超音波振動子 ８ 溶剤供給パイプ ９ 排出パイプ １０ 剥離部材 １１ 空気吹き付けノズル １２ 空気吹き付けノズル １３ 溶剤容器 １５ 剥離部材 1 Metal Mask 2 Upper Cleaning Unit 3 Lower Cleaning Unit 4 Solvent Supply Section 5 Upper Cleaning Roller 6 Lower Cleaning Roller 7 Ultrasonic Transducer 8 Solvent Supply Pipe 9 Discharge Pipe 10 Peeling Member 11 Air Spray Nozzle 12 Air Spray Nozzle 13 Solvent Container 15 peeling member
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０５Ｋ 3/34 ５０５ Ｄ 8718−4Ｅ ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Office reference number FI technical display location H05K 3/34 505 D 8718-4E
Claims (8)
於いて、 洗浄用ローラ（５），（６）に溶剤を供給して前記メタ
ルマスク（１）の上下面に接触させ、前記溶剤を介して
超音波振動子（７）から超音波振動を加えながら前記メ
タルマスク（１）と前記洗浄用ローラ（５），（６）及
び前記超音波振動子（７）を相対的に移動させて、前記
メタルマスク（１）を洗浄する工程を含むことを特徴と
するメタルマスクの洗浄方法。1. A method of cleaning a metal mask for printing, wherein a solvent is supplied to cleaning rollers (5), (6) to contact the upper and lower surfaces of the metal mask (1), and the solvent is removed. By moving the metal mask (1), the cleaning rollers (5) and (6) and the ultrasonic vibrator (7) relatively while applying ultrasonic vibration from the ultrasonic vibrator (7). A method for cleaning a metal mask, comprising: cleaning the metal mask (1).
ーラ（５），（６）及び前記超音波振動子（７）とを相
対的に移動させると共に、前記メタルマスク（１）に空
気を吹き付けて乾燥させる工程を含むことを特徴とする
請求項１記載のメタルマスクの洗浄方法。2. The metal mask (1), the cleaning rollers (5), (6) and the ultrasonic transducer (7) are moved relative to each other, and air is applied to the metal mask (1). The method of cleaning a metal mask according to claim 1, further comprising a step of spraying and drying.
上部洗浄用ローラ（５）と、該上部洗浄用ローラ（５）
に溶剤を供給する溶剤供給パイプ（８）と、該上部洗浄
用ローラ（５）の表面に付着した残滓を剥離する剥離部
材（１０）と、該剥離部材（１０）によって剥離された
残滓と使用済みの溶剤とを排出する排出パイプ（９）
と、前記メタルマスク（１）に前記溶剤を介して超音波
振動を加える超音波振動子（７）とを有する上部洗浄ユ
ニット（２）と、 前記メタルマスク（１）の下面に接触させる下部洗浄用
ローラ（６）と、該下部洗浄用ローラ（６）を溶剤に浸
漬するように溶剤を保持する溶剤容器（１３）と、前記
下部洗浄用ローラ（６）の表面に付着した残滓を剥離す
る剥離部材（１５）とを有する下部洗浄ユニット（３）
と、 前記上部洗浄ユニット（２）と前記下部洗浄ユニット
（３）とを前記メタルマスク（１）と相対的に移動させ
る駆動部とを備えたことを特徴とするメタルマスクの洗
浄装置。3. An upper cleaning roller (5) to be brought into contact with the upper surface of the metal mask (1), and the upper cleaning roller (5).
Use a solvent supply pipe (8) for supplying a solvent to the peeling member, a peeling member (10) for peeling off the residue attached to the surface of the upper cleaning roller (5), and the residue separated by the peeling member (10) Discharge pipe (9) for discharging the used solvent
And an upper cleaning unit (2) having an ultrasonic vibrator (7) for applying ultrasonic vibration to the metal mask (1) through the solvent, and a lower cleaning unit for contacting the lower surface of the metal mask (1). Roller (6), a solvent container (13) for holding the solvent so as to immerse the lower cleaning roller (6) in a solvent, and a residue adhered to the surface of the lower cleaning roller (6). Lower cleaning unit (3) having peeling member (15)
And a drive unit for moving the upper cleaning unit (2) and the lower cleaning unit (3) relative to the metal mask (1).
（１）を保持する保持部と、前記メタルマスク（１）に
形成したパターンに従って前記基板上に印刷するスキー
ジユニットとを有する印刷部と、 上部洗浄用ローラ（５）と、該上部洗浄用ローラ（５）
に溶剤を供給する溶剤供給パイプ（８）と、該上部洗浄
用ローラ（５）の表面に付着した残滓を剥離する剥離部
材（１０）と、該剥離部材（１０）によって剥離された
残滓と使用済みの溶剤とを排出する排出パイプ（９）
と、前記メタルマスク（１）に前記溶剤を介して超音波
振動を加える超音波振動子（７）とを有する上部洗浄ユ
ニット（２）と、 下部洗浄用ローラ（６）と、該下部洗浄用ローラ（６）
を溶剤に浸漬するように溶剤を保持する溶剤容器（１
３）と、前記下部洗浄用ローラ（６）の表面に付着した
残滓を剥離する剥離部材（１５）とを有する下部洗浄ユ
ニット（３）と、前記上部洗浄ユニット（２）と前記下
部洗浄ユニット（３）とを上下方向に移動して、前記印
刷部に於ける印刷終了後の前記メタルマスク（１）に、
前記上部洗浄用ローラ（５）及び超音波振動子（７）
と、前記下部洗浄用ローラ（６）とを接触させ、且つ前
記上部洗浄ユニット（２）と前記下部洗浄ユニット
（３）とを前記メタルマスク（１）に対して相対的に移
動させる駆動部とを備えたことを特徴とする印刷部を有
するメタルマスクの洗浄装置。4. A printing unit having a holding unit which is positioned on the substrate and holds the metal mask (1), and a squeegee unit which prints on the substrate according to a pattern formed on the metal mask (1), and an upper portion. Cleaning roller (5) and the upper cleaning roller (5)
Use a solvent supply pipe (8) for supplying a solvent to the peeling member, a peeling member (10) for peeling off the residue attached to the surface of the upper cleaning roller (5), and the residue separated by the peeling member (10) Discharge pipe (9) for discharging the used solvent
An upper cleaning unit (2) having an ultrasonic vibrator (7) for applying ultrasonic vibration to the metal mask (1) via the solvent, a lower cleaning roller (6), and a lower cleaning unit Laura (6)
Solvent container (1) that holds the solvent so that
3) and a lower cleaning unit (3) having a peeling member (15) for peeling the residue adhering to the surface of the lower cleaning roller (6), the upper cleaning unit (2) and the lower cleaning unit (3). 3) and are moved up and down to the metal mask (1) after printing in the printing unit,
The upper cleaning roller (5) and the ultrasonic transducer (7)
And a driving unit for bringing the lower cleaning roller (6) into contact with each other and for moving the upper cleaning unit (2) and the lower cleaning unit (3) relative to the metal mask (1). An apparatus for cleaning a metal mask having a printing unit, comprising:
刷部に於いて印刷中は、前記上部洗浄ユニット（２）と
前記下部洗浄ユニット（３）とを前記メタルマスク
（１）に対して退避位置に移動させ、前記印刷部に於け
る印刷終了後の前記メタルマスク（１）の洗浄時に、前
記印刷部を前記メタルマスク（１）に対して退避位置に
移動させ、且つ前記上部洗浄ユニット（２）と前記下部
洗浄ユニット（３）とを前記メタルマスク（１）の洗浄
位置に移動させる駆動部を備えたことを特徴とする請求
項４記載の印刷部を有するメタルマスクの洗浄装置。5. The upper cleaning unit (2) and the lower cleaning unit (3) with respect to the metal mask (1) during printing in the printing section using the metal mask (1). When the metal mask (1) is moved to the retreat position and the printing is finished in the printing unit, the printing unit is moved to the retreat position with respect to the metal mask (1), and the upper cleaning unit The apparatus for cleaning a metal mask having a printing unit according to claim 4, further comprising a drive unit for moving the (2) and the lower cleaning unit (3) to a cleaning position for the metal mask (1).
洗浄ユニット（３）とに、前記メタルマスク（１）を乾
燥させる空気吹き付けノズル（１１），（１２）を設け
たことを特徴とする請求項３又は４記載のメタルマスク
の洗浄装置。6. The upper cleaning unit (2) and the lower cleaning unit (3) are provided with air blowing nozzles (11), (12) for drying the metal mask (1). The cleaning device for a metal mask according to claim 3 or 4.
供給パイプ（８）と前記排出パイプ（９）とに接続して
前記上部洗浄用ローラ（５）に溶剤の供給を行うと共
に、前記下部洗浄ユニット（３）の前記溶剤容器（１
３）に接続して溶剤を循環させる溶剤供給部（４）を設
けたことを特徴とする請求項３又は４記載のメタルマス
クの洗浄装置。7. The upper cleaning roller (5) is connected to the solvent supply pipe (8) and the discharge pipe (9) of the upper cleaning unit (2) to supply the solvent to the upper cleaning roller (5) and the lower part The solvent container (1) of the cleaning unit (3)
The metal mask cleaning apparatus according to claim 3 or 4, further comprising a solvent supply unit (4) connected to 3) to circulate the solvent.
洗浄用ローラ（６）との少なくとも表面層を、前記溶剤
を含浸できるフェルトにより構成したことを特徴とする
請求項３又は４記載のメタルマスクの洗浄装置。8. The felt according to claim 3, wherein at least surface layers of the upper cleaning roller (5) and the lower cleaning roller (6) are made of felt capable of impregnating the solvent. Cleaning device for metal masks.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13523694A JPH081920A (en) | 1994-06-17 | 1994-06-17 | Method and apparatus for washing metal mask |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13523694A JPH081920A (en) | 1994-06-17 | 1994-06-17 | Method and apparatus for washing metal mask |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH081920A true JPH081920A (en) | 1996-01-09 |
Family
ID=15147000
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13523694A Withdrawn JPH081920A (en) | 1994-06-17 | 1994-06-17 | Method and apparatus for washing metal mask |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH081920A (en) |
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-
1994
- 1994-06-17 JP JP13523694A patent/JPH081920A/en not_active Withdrawn
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