JPH08185609A - Thin-film magnetic head - Google Patents

Abstract

PURPOSE: To suppress the occurrence of a contour effect and to obtain high output. CONSTITUTION: Respective magnetic core half bodies 11, 12 are formed on butt surfaces 1a, 2b of the substrates 1, 2 from their upper parts by a thin film forming technique. Windings are executed similarly by the thin film forming technique from groove part 16, 17 formed on the butt surfaces 1a, 1b of the respective substrates 1, 2 to form a thin film coil. The substrates 1, 2 are joined by the butt surfaces 1a, 1b to dispose the respective magnetic metallic films 15 to face each other, by which a magnetic gap a (g) is formed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ビデオテープレコーダ
や磁気ディスク装置等に好適な磁気ヘッドに関し、特に
コイルを薄膜工程により形成してなる磁気ヘッド及びそ
の製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head suitable for video tape recorders, magnetic disk devices and the like, and more particularly to a magnetic head having a coil formed by a thin film process and a method for manufacturing the same.

【０００２】[0002]

【従来の技術】ビデオテープレコーダ（ＶＴＲ）や磁気
ディスク装置等の磁気記録再生装置の磁気ヘッドとして
は、フェライトよりなる磁気コアの磁気ギャップ形成面
に金属磁性膜を成膜した、いわゆるメタル・イン・ギャ
ップ型磁気ヘッドや、一対の非磁性材料よりなる基板で
金属磁性膜を挟み込んだ形の、いわゆるラミネート型磁
気ヘッド等が使用されているが、今後の高画質化、デジ
タル化等に対応するためには、より高周波域で良好な電
磁変換特性を示すことが必要である。2. Description of the Related Art As a magnetic head of a magnetic recording / reproducing apparatus such as a video tape recorder (VTR) or a magnetic disk apparatus, a so-called metal-in film is formed by forming a metal magnetic film on a magnetic gap forming surface of a magnetic core made of ferrite.・ Gap type magnetic heads and so-called laminated type magnetic heads in which a metal magnetic film is sandwiched between a pair of substrates made of non-magnetic materials are used, but they are compatible with future high image quality and digitalization. In order to achieve this, it is necessary to exhibit good electromagnetic conversion characteristics in a higher frequency range.

【０００３】しかしながら、上記メタル・イン・ギャッ
プ型磁気ヘッドは、インピーダンスが大きく、高周波数
における使用には適さない。However, the metal-in-gap type magnetic head has a large impedance and is not suitable for use at high frequencies.

【０００４】また、上記ラミネート型磁気ヘッドは、高
密度記録化のためにトラック幅を減少させる場合、磁路
を構成する金属磁性膜の膜厚を減少させる必要があり、
再生効率が低下する。さらに、磁路が金属磁性膜のみで
形成されるため、金属磁性膜の磁気異方性の制御に問題
があり、高い再生効率を得るのが困難である。なぜな
ら、一般に磁気ヘッドの磁気異方性は、磁化容易軸が磁
束の方向に対して常に垂直方向であるのが理想である
が、金属磁性膜の磁化容易軸を磁束の方向に対して常に
垂直方向になるようにすることは難しく、現状では異方
性のない等方（無配向）膜か、異方性があっても一方向
の一軸異方性を持つものしかないからである。Further, in the laminated magnetic head, when the track width is reduced for high density recording, it is necessary to reduce the thickness of the metal magnetic film forming the magnetic path.
Regeneration efficiency decreases. Further, since the magnetic path is formed only by the metal magnetic film, there is a problem in controlling the magnetic anisotropy of the metal magnetic film, and it is difficult to obtain high reproduction efficiency. In general, the magnetic anisotropy of the magnetic head is ideally such that the easy axis of magnetization is always perpendicular to the direction of the magnetic flux, but the easy axis of magnetization of the metal magnetic film is always perpendicular to the direction of the magnetic flux. This is because it is difficult to make the film oriented in the direction, and at present, there is only an isotropic (non-oriented) film having no anisotropy or a film having anisotropy but having uniaxial anisotropy.

【０００５】そこで、一軸異方性を利用して高透磁率を
得る磁気ヘッドとして、薄膜形成技術を用いて上層コ
ア，下層コアが所定の磁気ギャップをもって成膜され、
同様に薄膜形成技術によりスパイラル状の巻線が形成さ
れてなるいわゆる誘導型（インダクティブ型）の薄膜磁
気ヘッドが提案されている。この薄膜磁気ヘッドは主に
ハードディスク等に搭載されるものである。Therefore, as a magnetic head which obtains high magnetic permeability by utilizing uniaxial anisotropy, an upper layer core and a lower layer core are formed with a predetermined magnetic gap by using a thin film forming technique.
Similarly, a so-called induction type (inductive type) thin film magnetic head in which spiral windings are formed by a thin film forming technique has been proposed. This thin film magnetic head is mainly mounted on a hard disk or the like.

【０００６】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記薄
膜磁気ヘッドでは、その磁気記録媒体の摺動面におい
て、上層コア及び／又は下層コアのエッジが磁気ギャッ
プから数μｍ程度のところに位置し、当該エッジと磁気
ギャップとが略々平行とされる。このエッジの影響によ
り、いわゆるコンター効果が生じて再生時における信号
波形にうねりが発生することになる。この再生時のうね
りは磁気記録装置の種類によって著しく大きくなる場合
があり、コンター効果の防止策の案出が大きな課題とさ
れている現状である。However, in the above-mentioned thin film magnetic head, the edges of the upper core and / or the lower core are located at a position of several μm from the magnetic gap on the sliding surface of the magnetic recording medium. The edge and the magnetic gap are substantially parallel. Due to the influence of this edge, a so-called contour effect occurs, and waviness occurs in the signal waveform during reproduction. The waviness at the time of reproduction may become extremely large depending on the type of the magnetic recording device, and the present situation is to devise a measure for preventing the contour effect.

【０００７】そこで本発明は、上述の従来の磁気ヘッド
の有する欠点を解消すべく提案されたものであって、コ
ンター効果の発生を抑止し且つ高出力を得ることを可能
とする薄膜磁気ヘッドを提供することを目的とする。Therefore, the present invention has been proposed in order to solve the above-mentioned drawbacks of the conventional magnetic head, and a thin film magnetic head capable of suppressing the occurrence of the contour effect and obtaining a high output is provided. The purpose is to provide.

【０００８】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明の対象とするもの
は、突き合わせ面にそれぞれ第１の金属磁性膜が磁気コ
ア半体として成膜された一対の基体を突き合わせ、これ
ら第１の金属磁性膜の対向面間に磁気ギャップを形成し
てなる薄膜磁気ヘッドである。The object of the present invention is to abut a pair of bases each having a first metallic magnetic film formed as a magnetic core half on their abutting surfaces, and A thin film magnetic head having a magnetic gap formed between opposed surfaces of a film.

【０００９】本発明の磁気ヘッドは、磁気記録媒体摺動
面に臨む前記第１の金属磁性膜の磁気記録媒体摺動方向
における長さが拡大されていることを特徴とするもので
ある。The magnetic head of the present invention is characterized in that the length of the first metal magnetic film facing the sliding surface of the magnetic recording medium is enlarged in the sliding direction of the magnetic recording medium.

【００１０】具体的には、非磁性材よりなる第１の基板
の上部に一対の非磁性板にて第２の金属磁性膜を挟持し
てなる第２の基板が接合されて基体とされ、第１の金属
磁性膜が突き合わせ面に成膜された第２の金属磁性膜と
連なって磁気記録媒体摺動面に臨む前記第１の金属磁性
膜の磁気記録媒体摺動方向における長さが拡大されてい
るものが考えられる。このとき、上記磁気コア半体の少
なくとも一方に薄膜コイルを形成する必要があり、また
金属磁性膜と磁気コア半体とを同一の材料から形成する
ことが好ましい。Specifically, a second substrate having a second metal magnetic film sandwiched by a pair of non-magnetic plates is bonded to the upper part of the first substrate made of a non-magnetic material to form a substrate. The length of the first metal magnetic film in the sliding direction of the magnetic recording medium, which is continuous with the second metal magnetic film formed on the abutting surface and faces the sliding surface of the magnetic recording medium, is increased. What is being considered is considered. At this time, it is necessary to form a thin film coil on at least one of the magnetic core halves, and it is preferable that the metal magnetic film and the magnetic core halves are made of the same material.

【００１１】この場合、金属磁性膜及び磁気コア半体の
材料としては、それぞれＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金，Ｆｅ
−Ｎｉ系合金，Ｆｅ−Ａｌ−Ｇｅ系合金，Ｆｅ−Ｇａ−
Ｇｅ系合金，Ｆｅ−Ｓｉ−Ｇａ系合金，Ｆｅ−Ｓｉ−Ｇ
ｅ系合金，Ｆｅ−Ｓｉ−Ｇａ−Ｒｕ系合金，Ｆｅ−Ｃｏ
−Ｓｉ−Ａｌ系合金，アモルファス合金等のうちの１種
を用いることが望ましい。ここで、上記アモルファス合
金としては、例えばＦｅ，Ｎｉ，Ｃｏのうち１つ以上の
元素とＰ，Ｃ，Ｂ，ＳＩのうち１つ以上の元素とからな
る合金や、これらの元素を主成分としてＡｌ，Ｇｅ，Ｂ
ｅ，Ｉｎ，Ｍｏ，Ｗ，Ｔｉ，Ｍｎ，Ｃｒ，Ｚｒ，Ｈｆ，
Ｎｂ等を含有した合金等のメタル−メタロイド系アモル
ファス合金、或はＣｏ，Ｈｆ，Ｚｒ等の遷移元素や希土
類元素等を主成分とするメタル−メタル系アモルファス
合金等が挙げられる。In this case, the materials for the metal magnetic film and the magnetic core half body are Fe--Al--Si alloy and Fe, respectively.
-Ni alloy, Fe-Al-Ge alloy, Fe-Ga-
Ge-based alloy, Fe-Si-Ga-based alloy, Fe-Si-G
e-based alloy, Fe-Si-Ga-Ru-based alloy, Fe-Co
It is desirable to use one of a --Si--Al alloy and an amorphous alloy. Here, as the amorphous alloy, for example, an alloy composed of one or more elements of Fe, Ni, and Co and one or more elements of P, C, B, and SI, or those elements as main components Al, Ge, B
e, In, Mo, W, Ti, Mn, Cr, Zr, Hf,
Examples thereof include metal-metalloid type amorphous alloys such as alloys containing Nb and the like, or metal-metal type amorphous alloys containing transition elements such as Co, Hf, Zr and rare earth elements as main components.

【００１２】さらに、上記金属磁性膜及び磁気コア半体
の材料としては、それぞれＴｉ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｚｒ，Ｎ
ｂ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｗ，Ｒｕ，Ｏｓ，Ｒｈ，Ｉｒ，Ｒｅ，
Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｈｆ，Ｖ等のうちの少なくとも１種
を添加したものであることが好ましい。Further, the materials of the metal magnetic film and the magnetic core half body are Ti, Cr, Mn, Zr and N, respectively.
b, Mo, Ta, W, Ru, Os, Rh, Ir, Re,
It is preferable to add at least one of Ni, Pd, Pt, Hf, V and the like.

【００１３】[0013]

【作用】本発明に係る薄膜磁気ヘッドにおいては、磁気
記録媒体摺動面に臨む前記第１の金属磁性膜の磁気記録
媒体摺動方向における長さが拡大されている、具体的に
は、非磁性材よりなる第１の基板の上部に一対の非磁性
板にて第２の金属磁性膜を挟持してなる第２の基板が接
合されて基体とされ、第１の金属磁性膜が突き合わせ面
に成膜された第２の金属磁性膜と連なって磁気記録媒体
摺動面に臨む前記第１の金属磁性膜の磁気記録媒体摺動
方向における長さが拡大されている。このとき、各第２
の基板の第２の金属磁性膜の対向面から第１の基板の対
向面にかけて磁気コア半体である第１の金属磁性膜が直
接成膜されており、第１の金属磁性膜と第２の金属磁性
膜とは磁気的に接続されたかたちとされている。したが
ってこの場合、当該薄膜磁気ヘッドの磁気記録媒体摺動
面において、磁気ギャップの近傍には見かけ上磁気的な
段差が存在しないために再生時に当該磁気ギャップのみ
で信号を拾うようになってコンター効果（信号波形に生
じるうねり）が抑止される。しかも、各磁気コア半体が
薄膜として形成されているためにインダクタンスが極め
て小さく、その分巻線数の多い薄膜コイルを形成するこ
とが可能となって高出力が得られる。In the thin-film magnetic head according to the present invention, the length of the first metal magnetic film facing the sliding surface of the magnetic recording medium is enlarged in the sliding direction of the magnetic recording medium. A second substrate formed by sandwiching a second metal magnetic film between a pair of non-magnetic plates is joined to the upper part of the first substrate made of a magnetic material to form a base body, and the first metal magnetic film is abutting surface. The length in the sliding direction of the magnetic recording medium of the first metal magnetic film which is continuous with the second metal magnetic film formed on the magnetic recording medium and faces the sliding surface of the magnetic recording medium is enlarged. At this time, each second
The first metal magnetic film, which is a magnetic core half body, is directly deposited from the surface of the second substrate facing the second metal magnetic film to the surface of the first substrate facing the first metal magnetic film. It is said that the metal magnetic film is magnetically connected. Therefore, in this case, on the sliding surface of the magnetic recording medium of the thin-film magnetic head, since there is apparently no magnetic step near the magnetic gap, the signal is picked up only by the magnetic gap during reproduction, and the contour effect is obtained. (Waviness occurring in the signal waveform) is suppressed. Moreover, since each magnetic core half body is formed as a thin film, the inductance is extremely small, and it is possible to form a thin film coil having a large number of windings, and a high output can be obtained.

【００１４】[0014]

【実施例】以下、本発明を適用した薄膜磁気ヘッドの具
体的な実施例について、図面を用いて詳細に説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Specific embodiments of the thin film magnetic head to which the present invention is applied will be described in detail below with reference to the drawings.

【００１５】本実施例の磁気薄膜ヘッドは、図１〜図３
に示すように、一対の基体１，２の突き合わせ面１ａ，
２ｂに薄膜形成技術により第１の金属薄膜である各磁気
コア半体１１，１２がそれぞれ成膜され、当該各基体
１，２が突き合わせられて閉磁路が形成されてなるもの
である。The magnetic thin film head of this embodiment is shown in FIGS.
As shown in FIG.
The magnetic core halves 11 and 12 as the first metal thin film are formed on the film 2b by a thin film forming technique, and the bases 1 and 2 are butted to form a closed magnetic circuit.

【００１６】上記各基体１，２は、それぞれ第１の基板
３及び第２の基板４から構成されており、非磁性材より
なる第１の基板３の上に第２の基板４が接合固定されて
いる。この第２の基板４は、一対の非磁性板１３，１４
が薄膜形成技術により成膜された第２の金属磁性膜１５
（以下、単に金属磁性膜１５と記す。）を挟持したかた
ちに形成されている。このとき、第２の基板４にはその
上面に所定の円筒研削が施されて磁気記録媒体の摺動面
ａが形成されている。Each of the bases 1 and 2 is composed of a first substrate 3 and a second substrate 4, respectively, and the second substrate 4 is bonded and fixed onto the first substrate 3 made of a non-magnetic material. Has been done. The second substrate 4 includes a pair of non-magnetic plates 13 and 14
A second metal magnetic film 15 formed by a thin film forming technique.
(Hereinafter, simply referred to as the metal magnetic film 15.) It is formed so as to sandwich it. At this time, the second substrate 4 has its upper surface subjected to predetermined cylindrical grinding to form a sliding surface a of the magnetic recording medium.

【００１７】上記各磁気コア半体１１，１２は、図２及
び図３に示すように、上記基体１，２の突き合わせ面１
ａ，２ｂにおいてそれらの上部から薄膜形成技術により
成膜されており、各基体１，２の突き合わせ面１ａ，２
ｂに形成された各溝部１６から同様に薄膜形成技術によ
り巻線が施されて薄膜コイル（図示は省略する。）が形
成されている。そして、これら磁気コア半体１１，１２
の表面に所定のギャップ膜が成膜され、突き合わせ面１
ａ，２ｂにて上記基体１，２が融合ガラス５により接合
されて、各金属磁性膜１５が対向して磁気ギャップｇが
形成される。As shown in FIGS. 2 and 3, each of the magnetic core halves 11 and 12 has an abutting surface 1 of the bases 1 and 2.
a and 2b are formed from above by a thin film forming technique, and the abutting surfaces 1a and 2 of the bases 1 and 2 are formed.
A winding is similarly applied from each groove 16 formed in b by a thin film forming technique to form a thin film coil (not shown). Then, these magnetic core halves 11, 12
A predetermined gap film is formed on the surface of the
The substrates 1 and 2 are joined by the fused glass 5 at a and 2b, and the metal magnetic films 15 face each other to form a magnetic gap g.

【００１８】ここで、上記金属磁性膜１５及び磁気コア
半体１１，１２は、それぞれ高飽和磁束密度を有し且つ
軟磁気特性に優れた強磁性合金材料よりなるものであ
り、この材料としては、例えば、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合
金，Ｆｅ−Ｎｉ系合金，Ｆｅ−Ａｌ−Ｇｅ系合金，Ｆｅ
−Ｇａ−Ｇｅ系合金，Ｆｅ−Ｓｉ−Ｇａ系合金，Ｆｅ−
Ｓｉ−Ｇｅ系合金，Ｆｅ−Ｓｉ−Ｇａ−Ｒｕ系合金，Ｆ
ｅ−Ｃｏ−Ｓｉ−Ａｌ系合金，アモルファス合金等のう
ちの１種を用いることが望ましい。ここで、上記アモル
ファス合金としては、例えばＦｅ，Ｎｉ，Ｃｏのうち１
つ以上の元素とＰ，Ｃ，Ｂ，ＳＩのうち１つ以上の元素
とからなる合金や、これらの元素を主成分としてＡｌ，
Ｇｅ，Ｂｅ，Ｉｎ，Ｍｏ，Ｗ，Ｔｉ，Ｍｎ，Ｃｒ，Ｚ
ｒ，Ｈｆ，Ｎｂ等を含有した合金等のメタル−メタロイ
ド系アモルファス合金、或はＣｏ，Ｈｆ，Ｚｒ等の遷移
元素や希土類元素等を主成分とするメタル−メタル系ア
モルファス合金等が挙げられる。さらに、金属磁性膜１
５としては、高周波領域における渦電流損失を回避する
ために金属磁性層と絶縁層とを交互に積層してなる多層
膜構造に形成したものを用いてもよい。The metal magnetic film 15 and the magnetic core halves 11 and 12 are made of a ferromagnetic alloy material having a high saturation magnetic flux density and excellent soft magnetic characteristics. , For example, Fe-Al-Si alloys, Fe-Ni alloys, Fe-Al-Ge alloys, Fe
-Ga-Ge based alloy, Fe-Si-Ga based alloy, Fe-
Si-Ge based alloy, Fe-Si-Ga-Ru based alloy, F
It is desirable to use one of e-Co-Si-Al alloys and amorphous alloys. Here, the amorphous alloy is, for example, one of Fe, Ni, and Co.
Alloy consisting of one or more elements and one or more elements of P, C, B, and SI, Al containing these elements as main components,
Ge, Be, In, Mo, W, Ti, Mn, Cr, Z
A metal-metalloid amorphous alloy such as an alloy containing r, Hf, Nb, or the like, or a metal-metal amorphous alloy containing a transition element such as Co, Hf, Zr, or a rare earth element as a main component can be used. Furthermore, the metal magnetic film 1
As the material 5, there may be used one having a multilayer film structure in which metal magnetic layers and insulating layers are alternately laminated in order to avoid eddy current loss in the high frequency region.

【００１９】このように、上記薄膜磁気ヘッドにおいて
は、第２の基板４が一対の非磁性板１３，１４にて金属
磁性膜１５を挟持してなり、薄膜の磁気コア半体１１，
１２がそれぞれ成膜されている一対の基体１，２が突き
合わせられて対向する各金属磁性膜１５により磁気ギャ
ップｇが形成されている。このとき、各第２の基板４の
突き合わせ面１ａ，２ｂにおいて、金属磁性膜１５から
第１の基板３に架けて磁気コア半体１１，１２が直接成
膜されており、金属磁性膜１５と磁気コア半体１１，１
２とは磁気的に接続されたかたちとされている。したが
ってこの場合、当該薄膜磁気ヘッドの磁気記録媒体との
摺動面において、磁気ギャップｇの近傍には見かけ上磁
気的な段差が存在しないために再生時に当該磁気ギャッ
プのみで信号を拾うようになってコンター効果（信号波
形に生じるうねり）が抑止される。しかも、各磁気コア
半体が薄膜として形成されているためにインダクタンス
が極めて小さく、その分巻線数の多い薄膜コイルを形成
することが可能となって高出力が得られる。As described above, in the above-mentioned thin film magnetic head, the second substrate 4 is formed by sandwiching the metal magnetic film 15 between the pair of non-magnetic plates 13 and 14, and the thin film magnetic core half 11,
A magnetic gap g is formed by the metal magnetic films 15 facing each other by abutting a pair of substrates 1 and 2 on which 12 are respectively formed. At this time, the magnetic core halves 11 and 12 are directly formed on the abutting surfaces 1a and 2b of the respective second substrates 4 so as to extend from the metal magnetic film 15 to the first substrate 3. Magnetic core half 11,1
2 is in a magnetically connected form. Therefore, in this case, on the sliding surface of the thin film magnetic head with respect to the magnetic recording medium, there is apparently no magnetic step in the vicinity of the magnetic gap g, so that the signal is picked up only by the magnetic gap during reproduction. The contour effect (waviness occurring in the signal waveform) is suppressed. Moreover, since each magnetic core half body is formed as a thin film, the inductance is extremely small, and it is possible to form a thin film coil having a large number of windings, and a high output can be obtained.

【００２０】ここで、上記薄膜磁気ヘッドを作製するに
は、先ず図４に示すように、非磁性材よりなる短冊状の
ブロック２１の一側面に真空薄膜形成技術により所定の
金属磁性材を材料として所要厚の金属膜２２を成膜す
る。このように金属膜２２を成膜したブロック２１を複
数（ここでは４つ）用意し、金属膜２２を有しないブロ
ック２３を図中右端に載置して各金属膜２２がブロック
２１（及びブロック２３）により挟持されるように接合
して上部ブロック３１を作製する。そして、図５に示す
ように、非磁性材よりなる下部ブロック３２上に上記上
部ブロック３１を載置固定して基体ブロック３３を作製
する。In order to manufacture the thin film magnetic head, first, as shown in FIG. 4, a predetermined metal magnetic material is formed on one side surface of a strip-shaped block 21 made of a nonmagnetic material by a vacuum thin film forming technique. As a result, a metal film 22 having a required thickness is formed. A plurality of blocks 21 (four in this case) on which the metal films 22 are formed are prepared, and a block 23 having no metal film 22 is placed at the right end in the drawing so that each metal film 22 is a block 21 (and a block 21). The upper block 31 is manufactured by joining so as to be sandwiched by 23). Then, as shown in FIG. 5, the base block 33 is manufactured by mounting and fixing the upper block 31 on the lower block 32 made of a non-magnetic material.

【００２１】次に、図６に示すように、基体ブロック３
３の一側面３３ｂに、上部ブロック３１から下部ブロッ
ク３２に架けて当該基体ブロック３３の長手方向に平行
に帯状の溝部３３ａを形成する。その後、図７に示すよ
うに、上記一側面３３ｂの各金属膜２２のエッジから溝
部３３ａに架けて真空薄膜形成技術により磁気コア半体
１１（及び磁気コア半体１２）を所要厚に成膜する。Next, as shown in FIG. 6, the base block 3
A strip-shaped groove 33a is formed on one side surface 33b of No. 3 so as to extend from the upper block 31 to the lower block 32 in parallel with the longitudinal direction of the base block 33. After that, as shown in FIG. 7, the magnetic core half body 11 (and the magnetic core half body 12) is formed to a required thickness by extending from the edge of each metal film 22 on the one side surface 33b to the groove portion 33a by a vacuum thin film forming technique. To do.

【００２２】なお、上記各金属膜２２及び磁気コア半体
１１，１２の成膜方法としては、具体的には膜厚制御性
に優れたスパッタリング法や、真空蒸着法、イオンプレ
ーミング法、イオンビーム法等の手法を用いることが好
ましい。The metal film 22 and the magnetic core halves 11 and 12 are formed by a sputtering method, a vacuum deposition method, an ion preming method, an ion method, or the like, which is excellent in film thickness controllability. It is preferable to use a method such as a beam method.

【００２３】そして、上記の真空薄膜形成技術により各
磁気コア半体１１（及び磁気コア半体１２）に薄膜コイ
ルを形成し、溶融した融着ガラスを用いて一対の上記基
体ブロック３３を接合して、円筒研削等の後処理を施し
所要のヘッドチップ（図示は省略する。）に切り出す。
このようにして上記薄膜磁気ヘッドが完成する。Then, a thin film coil is formed on each magnetic core half body 11 (and magnetic core half body 12) by the above vacuum thin film forming technique, and a pair of the above base block 33 is joined by using fused glass. Then, post-processing such as cylindrical grinding is performed, and a desired head chip (not shown) is cut out.
In this way, the thin film magnetic head is completed.

【００２４】[0024]

【発明の効果】本発明の薄膜磁気ヘッドによれば、コン
ター効果の発生を抑止し且つ高出力を得ることが可能と
なる。According to the thin film magnetic head of the present invention, it is possible to suppress the occurrence of the contour effect and obtain a high output.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本実施例の薄膜磁気ヘッドを模式的に示す斜視
図である。FIG. 1 is a perspective view schematically showing a thin film magnetic head of this embodiment.

【図２】磁気コア半体が成膜された基体を模式的に示す
側面図である。FIG. 2 is a side view schematically showing a substrate on which a magnetic core half body is formed.

【図３】磁気コア半体が成膜された基体を模式的に示す
正面図である。FIG. 3 is a front view schematically showing a substrate on which a magnetic core half body is formed.

【図４】上部ブロック及び下部ブロックが作製された様
子を模式的に示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view schematically showing how an upper block and a lower block are manufactured.

【図５】上部ブロックと下部ブロックとが接合されて基
体ブロックが作製された様子を模式的に示す斜視図であ
る。FIG. 5 is a perspective view schematically showing a state where an upper block and a lower block are joined together to form a base block.

【図６】基体ブロックに溝部が形成された様子を模式的
に示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view schematically showing how a groove is formed in a base block.

【図７】基体ブロックに各磁気コア半体が成膜された様
子を模式的に示す斜視図である。FIG. 7 is a perspective view schematically showing a state in which each magnetic core half body is formed on a base block.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１，２ 基体 ３ 第１の基板 ４ 第２の基板 ５ 融着ガラス １１，１２ 磁気コア半体１１，１２ １３，１４ 非磁性板 １５ 金属磁性膜 1, 2 base 3 first substrate 4 second substrate 5 fused glass 11, 12 magnetic core halves 11, 12 13, 14 non-magnetic plate 15 metal magnetic film

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 突き合わせ面にそれぞれ第１の金属磁性
膜が磁気コア半体として成膜された一対の基体を突き合
わせ、これら第１の金属磁性膜の対向面間に磁気ギャッ
プを形成してなる薄膜磁気ヘッドにおいて、 磁気記録媒体摺動面に臨む前記第１の金属磁性膜の磁気
記録媒体摺動方向における長さが拡大されていることを
特徴とする薄膜磁気ヘッド。1. A pair of bases, each having a first metallic magnetic film formed as a magnetic core half body, are abutted on the abutting surfaces, and a magnetic gap is formed between the opposing surfaces of the first metallic magnetic films. In the thin film magnetic head, the length of the first metal magnetic film facing the sliding surface of the magnetic recording medium is enlarged in the sliding direction of the magnetic recording medium. 【請求項２】 非磁性材よりなる第１の基板の上部に一
対の非磁性板にて第２の金属磁性膜を挟持してなる第２
の基板が接合されて基体とされ、 第１の金属磁性膜が突き合わせ面に成膜された第２の金
属磁性膜と連なって磁気記録媒体摺動面に臨む前記第１
の金属磁性膜の磁気記録媒体摺動方向における長さが拡
大されていることを特徴とする請求項１記載の薄膜磁気
ヘッド。2. A second metal magnetic film sandwiched between a pair of nonmagnetic plates on a first substrate made of a nonmagnetic material.
The first metal magnetic film is joined to the second metal magnetic film formed on the abutting surface to face the sliding surface of the magnetic recording medium.
2. The thin-film magnetic head according to claim 1, wherein the length of the metal magnetic film in the sliding direction of the magnetic recording medium is increased. 【請求項３】 磁気コア半体の少なくとも一方に薄膜コ
イルが形成されていることを特徴とする請求項１記載の
薄膜磁気ヘッド。3. The thin film magnetic head according to claim 1, wherein a thin film coil is formed on at least one of the magnetic core halves. 【請求項４】 第２の基板の金属磁性膜と磁気コア半体
とが同一の材料からなることを特徴とする請求項１記載
の薄膜磁気ヘッド。4. The thin-film magnetic head according to claim 1, wherein the metal magnetic film of the second substrate and the magnetic core half body are made of the same material. 【請求項５】 金属磁性膜及び磁気コア半体がそれぞれ
Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金，Ｆｅ−Ｎｉ系合金，Ｆｅ−Ａ
ｌ−Ｇｅ系合金，Ｆｅ−Ｇａ−Ｇｅ系合金，Ｆｅ−Ｓｉ
−Ｇａ系合金，Ｆｅ−Ｓｉ−Ｇｅ系合金，Ｆｅ−Ｓｉ−
Ｇａ−Ｒｕ系合金，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｓｉ−Ａｌ系合金，ア
モルファス合金のうちの１種よりなることを特徴とする
請求項１記載の薄膜磁気ヘッド。5. The metallic magnetic film and the magnetic core half body are an Fe—Al—Si based alloy, an Fe—Ni based alloy, and an Fe—A, respectively.
1-Ge alloy, Fe-Ga-Ge alloy, Fe-Si
-Ga-based alloy, Fe-Si-Ge-based alloy, Fe-Si-
The thin film magnetic head according to claim 1, wherein the thin film magnetic head is made of one of a Ga-Ru alloy, a Fe-Co-Si-Al alloy, and an amorphous alloy. 【請求項６】 金属磁性膜及び磁気コア半体がそれぞれ
Ｔｉ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｗ，Ｒ
ｕ，Ｏｓ，Ｒｈ，Ｉｒ，Ｒｅ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｈ
ｆ，Ｖのうちの少なくとも１種を含有することを特徴と
する請求項５記載の薄膜磁気ヘッド。6. The metal magnetic film and the magnetic core half are Ti, Cr, Mn, Zr, Nb, Mo, Ta, W and R, respectively.
u, Os, Rh, Ir, Re, Ni, Pd, Pt, H
6. The thin-film magnetic head according to claim 5, containing at least one of f and V.