JPH08178872A - X線非破壊検査装置 - Google Patents
X線非破壊検査装置Info
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- JPH08178872A JPH08178872A JP32607994A JP32607994A JPH08178872A JP H08178872 A JPH08178872 A JP H08178872A JP 32607994 A JP32607994 A JP 32607994A JP 32607994 A JP32607994 A JP 32607994A JP H08178872 A JPH08178872 A JP H08178872A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 X線照射による非破壊検査をインラインで自
動的に行う際に、照射したX線が検査空間外に漏洩する
のを防止した上で、広い設置場所を必要とせず、検査対
象を選ばないX線非破壊検査装置を提供する。 【構成】 検査対象19を搬送する搬送部11と、搬送
部11の検査位置に検査対象19を囲う閉空間39を形
成する検査部12と、検査部12に設けられ、検査対象
19の検査部12内への進入を許容する進入開口28
と、検査部12に設けられ、検査対象19の検査部12
内からの送出を許容する送出開口29と、進入開口28
と送出開口29の閉時、閉空間39内の検査対象19に
X線xを照射するX線照射部14と、X線照射部14か
ら照射されたX線xにより検査対象19の内部を撮影す
るX線撮影部15とを有する。
動的に行う際に、照射したX線が検査空間外に漏洩する
のを防止した上で、広い設置場所を必要とせず、検査対
象を選ばないX線非破壊検査装置を提供する。 【構成】 検査対象19を搬送する搬送部11と、搬送
部11の検査位置に検査対象19を囲う閉空間39を形
成する検査部12と、検査部12に設けられ、検査対象
19の検査部12内への進入を許容する進入開口28
と、検査部12に設けられ、検査対象19の検査部12
内からの送出を許容する送出開口29と、進入開口28
と送出開口29の閉時、閉空間39内の検査対象19に
X線xを照射するX線照射部14と、X線照射部14か
ら照射されたX線xにより検査対象19の内部を撮影す
るX線撮影部15とを有する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、検査対象にX線を照射
して検査対象を透視することにより、検査対象の非破壊
検査を行うX線非破壊検査装置に関する。
して検査対象を透視することにより、検査対象の非破壊
検査を行うX線非破壊検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、検査対象にX線を照射して検査対
象の非破壊検査を行うX線非破壊検査装置が知られてい
る。このようなX線非破壊検査装置として、例えば、空
港等で用いられている手荷物用検査装置がある。手荷物
用検査装置は、コンベアに乗って検査対象が移動する途
中に防護カーテンで遮蔽した遮蔽区画を設け、遮蔽区画
内において検査対象にX線を照射し検査を行っている。
象の非破壊検査を行うX線非破壊検査装置が知られてい
る。このようなX線非破壊検査装置として、例えば、空
港等で用いられている手荷物用検査装置がある。手荷物
用検査装置は、コンベアに乗って検査対象が移動する途
中に防護カーテンで遮蔽した遮蔽区画を設け、遮蔽区画
内において検査対象にX線を照射し検査を行っている。
【0003】防護カーテンは、鉛引きゴムシートからな
り、下端がコンベアの進行方向に変位するように、垂れ
下げた状態で取り付けられている。コンベア上を移動す
る検査対象は、防護カーテンを押し開いて遮蔽区間内に
進入する。防護カーテンで遮蔽するのは、検査対象にX
線を照射する際に、照射したX線が遮蔽区画外に漏洩す
るのを防止するためである。
り、下端がコンベアの進行方向に変位するように、垂れ
下げた状態で取り付けられている。コンベア上を移動す
る検査対象は、防護カーテンを押し開いて遮蔽区間内に
進入する。防護カーテンで遮蔽するのは、検査対象にX
線を照射する際に、照射したX線が遮蔽区画外に漏洩す
るのを防止するためである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このX
線非破壊検査装置をインラインでの自動検査に用いよう
としても、コンベア上に遮蔽区画を設けるために複数枚
の防護カーテンを用いると共にコンベアの長さを長くし
なければならないことから、装置を設置するために広い
場所を必要とするという問題点がある。
線非破壊検査装置をインラインでの自動検査に用いよう
としても、コンベア上に遮蔽区画を設けるために複数枚
の防護カーテンを用いると共にコンベアの長さを長くし
なければならないことから、装置を設置するために広い
場所を必要とするという問題点がある。
【0005】また、防護カーテンは、鉛引きゴムシート
からなり重いため、小さく軽い検査対象のように防護カ
ーテンを押し開くことができない検査対象には使用でき
ないという問題点がある。更に、防護カーテンは簾状と
なっているので、X線被曝に対して十分な防護を行うの
は困難であるという問題点もある。
からなり重いため、小さく軽い検査対象のように防護カ
ーテンを押し開くことができない検査対象には使用でき
ないという問題点がある。更に、防護カーテンは簾状と
なっているので、X線被曝に対して十分な防護を行うの
は困難であるという問題点もある。
【0006】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
のであり、その目的は、X線照射による非破壊検査をイ
ンラインで自動的に行う際に、照射したX線が検査空間
外に漏洩するのを防止した上で、装置を設置するために
広い場所を必要とせず、また、検査対象を選ばないX線
非破壊検査装置を提供することにある。
のであり、その目的は、X線照射による非破壊検査をイ
ンラインで自動的に行う際に、照射したX線が検査空間
外に漏洩するのを防止した上で、装置を設置するために
広い場所を必要とせず、また、検査対象を選ばないX線
非破壊検査装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的は、検査対象を
搬送する搬送部と、前記搬送部の検査位置に前記検査対
象を囲う閉空間を形成する検査部と、前記検査部に設け
られ、前記検査対象の前記検査部内への進入を許容する
第1開閉部と、前記検査部に設けられ、前記検査対象の
前記検査部内からの送出を許容する第2開閉部と、前記
第1開閉部と前記第2開閉部の閉時、前記閉空間内の前
記検査対象にX線を照射するX線照射部と、前記X線照
射部から照射されたX線により前記検査対象の内部を撮
影するX線撮影部とを有することを特徴とするX線非破
壊検査装置により達成される。
搬送する搬送部と、前記搬送部の検査位置に前記検査対
象を囲う閉空間を形成する検査部と、前記検査部に設け
られ、前記検査対象の前記検査部内への進入を許容する
第1開閉部と、前記検査部に設けられ、前記検査対象の
前記検査部内からの送出を許容する第2開閉部と、前記
第1開閉部と前記第2開閉部の閉時、前記閉空間内の前
記検査対象にX線を照射するX線照射部と、前記X線照
射部から照射されたX線により前記検査対象の内部を撮
影するX線撮影部とを有することを特徴とするX線非破
壊検査装置により達成される。
【0008】また、上記目的は、前記X線照射部がX線
をパルス状に照射することを特徴とするX線非破壊検査
装置により達成される。また、上記目的は、前記X線照
射部を前記検査対象の上方に位置するように配置したこ
とを特徴とするX線非破壊検査装置により達成される。
また、上記目的は、前記第1開閉部が閉状態にあるのを
検知する第1検知部と、前記第2開閉部が閉状態にある
のを検知する第2検知部とを有し、前記X線照射部が、
前記第1検知部からの第1開閉部閉信号及び前記第2検
知部からの第2開閉部閉信号を受けてX線を照射するこ
とを特徴とするX線非破壊検査装置により達成される。
をパルス状に照射することを特徴とするX線非破壊検査
装置により達成される。また、上記目的は、前記X線照
射部を前記検査対象の上方に位置するように配置したこ
とを特徴とするX線非破壊検査装置により達成される。
また、上記目的は、前記第1開閉部が閉状態にあるのを
検知する第1検知部と、前記第2開閉部が閉状態にある
のを検知する第2検知部とを有し、前記X線照射部が、
前記第1検知部からの第1開閉部閉信号及び前記第2検
知部からの第2開閉部閉信号を受けてX線を照射するこ
とを特徴とするX線非破壊検査装置により達成される。
【0009】更に、上記目的は、X線の照射方向に前記
検査対象が位置するのを検知する対象検知部を有し、前
記X線照射部が、前記第1開閉部閉信号、前記第2開閉
部閉信号、及び前記対象検知部からの対象検知信号を受
けてX線を照射することを特徴とするX線非破壊検査装
置により達成される。
検査対象が位置するのを検知する対象検知部を有し、前
記X線照射部が、前記第1開閉部閉信号、前記第2開閉
部閉信号、及び前記対象検知部からの対象検知信号を受
けてX線を照射することを特徴とするX線非破壊検査装
置により達成される。
【0010】
【作用】本発明によれば、検査対象を搬送する搬送部
と、前記搬送部の検査位置に前記検査対象を囲う閉空間
を形成する検査部と、前記検査部に設けられ、前記検査
対象の前記検査部内への進入を許容する第1開閉部と、
前記検査部に設けられ、前記検査対象の前記検査部内か
らの送出を許容する第2開閉部と、前記第1開閉部と前
記第2開閉部の閉時、前記閉空間内の前記検査対象にX
線を照射するX線照射部と、前記X線照射部から照射さ
れたX線により前記検査対象の内部を撮影するX線撮影
部とを有するので、第1開閉部と第2開閉部を閉じて検
査部内に閉空間を形成すると、X線に対してほぼ完全な
遮蔽が可能となり、この状態で、閉空間内の検査対象に
X線を照射し検査対象の内部を撮影する。
と、前記搬送部の検査位置に前記検査対象を囲う閉空間
を形成する検査部と、前記検査部に設けられ、前記検査
対象の前記検査部内への進入を許容する第1開閉部と、
前記検査部に設けられ、前記検査対象の前記検査部内か
らの送出を許容する第2開閉部と、前記第1開閉部と前
記第2開閉部の閉時、前記閉空間内の前記検査対象にX
線を照射するX線照射部と、前記X線照射部から照射さ
れたX線により前記検査対象の内部を撮影するX線撮影
部とを有するので、第1開閉部と第2開閉部を閉じて検
査部内に閉空間を形成すると、X線に対してほぼ完全な
遮蔽が可能となり、この状態で、閉空間内の検査対象に
X線を照射し検査対象の内部を撮影する。
【0011】また、前記X線照射部がX線をパルス状に
照射すれば、X線を閉空間内で断続的に照射することが
可能である。また、前記X線照射部を前記検査対象の上
方に位置するように配置すれば、装置を搬送部に対して
上下方向に設置することができ、装置の設置スペースを
より小さくすることができる。
照射すれば、X線を閉空間内で断続的に照射することが
可能である。また、前記X線照射部を前記検査対象の上
方に位置するように配置すれば、装置を搬送部に対して
上下方向に設置することができ、装置の設置スペースを
より小さくすることができる。
【0012】また、前記第1開閉部が閉状態にあるのを
検知する第1検知部と、前記第2開閉部が閉状態にある
のを検知する第2検知部とを有し、前記X線照射部が、
前記第1検知部からの第1開閉部閉信号及び前記第2検
知部からの第2開閉部閉信号を受けてX線を照射すれ
ば、X線照射時は、第1開閉部及び第2開閉部が閉じた
状態を確実に確認した上で、閉空間内でX線照射が行わ
れる。
検知する第1検知部と、前記第2開閉部が閉状態にある
のを検知する第2検知部とを有し、前記X線照射部が、
前記第1検知部からの第1開閉部閉信号及び前記第2検
知部からの第2開閉部閉信号を受けてX線を照射すれ
ば、X線照射時は、第1開閉部及び第2開閉部が閉じた
状態を確実に確認した上で、閉空間内でX線照射が行わ
れる。
【0013】更に、X線の照射方向に前記検査対象が位
置するのを検知する対象検知部を有し、前記X線照射部
が、前記第1開閉部閉信号、前記第2開閉部閉信号、及
び前記対象検知部からの対象検知信号を受けてX線を照
射すれば、X線照射時は、第1開閉部及び第2開閉部が
閉じ且つ検査対象を検知した状態を確実に確認した上
で、閉空間内で検知対象に対してX線照射が行われる。
置するのを検知する対象検知部を有し、前記X線照射部
が、前記第1開閉部閉信号、前記第2開閉部閉信号、及
び前記対象検知部からの対象検知信号を受けてX線を照
射すれば、X線照射時は、第1開閉部及び第2開閉部が
閉じ且つ検査対象を検知した状態を確実に確認した上
で、閉空間内で検知対象に対してX線照射が行われる。
【0014】
【実施例】以下、本発明の一実施例によるX線非破壊検
査装置を図1乃至図15を参照して説明する。図1に示
すように、X線非破壊検査装置10は、搬送部11と、
検査部12と、X線照射部13と、X線撮影部14と、
画像表示部15とを有する。
査装置を図1乃至図15を参照して説明する。図1に示
すように、X線非破壊検査装置10は、搬送部11と、
検査部12と、X線照射部13と、X線撮影部14と、
画像表示部15とを有する。
【0015】搬送部11は、流入用ベルトコンベア16
と、検査部内ベルトコンベア17と、流出用ベルトコン
ベア18とを有している。流入用ベルトコンベア16に
載置されて移動する検査対象19は、流入用ベルトコン
ベア16から検査部内ベルトコンベア17に移って移動
し、更に、検査部内ベルトコンベア17から流出用ベル
トコンベア18に移って移動する。
と、検査部内ベルトコンベア17と、流出用ベルトコン
ベア18とを有している。流入用ベルトコンベア16に
載置されて移動する検査対象19は、流入用ベルトコン
ベア16から検査部内ベルトコンベア17に移って移動
し、更に、検査部内ベルトコンベア17から流出用ベル
トコンベア18に移って移動する。
【0016】従って、検査対象19は、検査部内ベルト
コンベア17を経て、流入用ベルトコンベア16から流
出用ベルトコンベア18へと搬送される。検査部内ベル
トコンベア17は、リング状のベルト20と、駆動モー
タ21とを有している。ベルト20は、4個の回転ロー
ラ22a,22b,22c,22dに掛け渡されてお
り、上部に位置する一対の回転ローラ22a,22bに
よって平坦な載置面17aが形成される。駆動モータ2
1の回転軸21aは、ベルト20に圧接している。駆動
モータ21の回転により回転軸21aが回転し、回転軸
21aの回転によりベルト20が回転することで、載置
面17aは一定方向(図1において右から左、矢印参
照)に移動する。この載置面17aは、検査対象19を
載置したまま移動することができる。
コンベア17を経て、流入用ベルトコンベア16から流
出用ベルトコンベア18へと搬送される。検査部内ベル
トコンベア17は、リング状のベルト20と、駆動モー
タ21とを有している。ベルト20は、4個の回転ロー
ラ22a,22b,22c,22dに掛け渡されてお
り、上部に位置する一対の回転ローラ22a,22bに
よって平坦な載置面17aが形成される。駆動モータ2
1の回転軸21aは、ベルト20に圧接している。駆動
モータ21の回転により回転軸21aが回転し、回転軸
21aの回転によりベルト20が回転することで、載置
面17aは一定方向(図1において右から左、矢印参
照)に移動する。この載置面17aは、検査対象19を
載置したまま移動することができる。
【0017】検査対象19は、非破壊検査を行うための
製品等である。このX線非破壊検査装置10により、例
えば製品等の内部に異物等が混入しているか否かを非破
壊状態で検査することができる。流入用ベルトコンベア
16は、検査対象19を載置して移動する載置面16a
を有しており、載置面16aは、検査部内ベルトコンベ
ア17の載置面17aと同一高さに位置している。流入
用ベルトコンベア16が図示しない駆動手段により回転
駆動されると、載置面16aは検査部内ベルトコンベア
17方向に移動する(図1において右から左、矢印参
照)。この流入用ベルトコンベア16の移動先端16b
は、後述する進入開口28に臨んでおり、検査部内ベル
トコンベア17の移動後端17bに隣接している。
製品等である。このX線非破壊検査装置10により、例
えば製品等の内部に異物等が混入しているか否かを非破
壊状態で検査することができる。流入用ベルトコンベア
16は、検査対象19を載置して移動する載置面16a
を有しており、載置面16aは、検査部内ベルトコンベ
ア17の載置面17aと同一高さに位置している。流入
用ベルトコンベア16が図示しない駆動手段により回転
駆動されると、載置面16aは検査部内ベルトコンベア
17方向に移動する(図1において右から左、矢印参
照)。この流入用ベルトコンベア16の移動先端16b
は、後述する進入開口28に臨んでおり、検査部内ベル
トコンベア17の移動後端17bに隣接している。
【0018】流出用ベルトコンベア18は、検査対象1
9を載置して移動する載置面18aを有しており、載置
面18aは、検査部内ベルトコンベア17の載置面17
aと同一高さに位置している。流出用ベルトコンベア1
8が図示しない駆動手段により回転駆動されると、載置
面18aは検査部内ベルトコンベア17から離反する方
向に移動する(図1において右から左、矢印参照)。こ
の流出用ベルトコンベア18の移動後端18bは、後述
する送出開口29に臨んでおり、検査部内ベルトコンベ
ア17の移動先端17cに隣接している。
9を載置して移動する載置面18aを有しており、載置
面18aは、検査部内ベルトコンベア17の載置面17
aと同一高さに位置している。流出用ベルトコンベア1
8が図示しない駆動手段により回転駆動されると、載置
面18aは検査部内ベルトコンベア17から離反する方
向に移動する(図1において右から左、矢印参照)。こ
の流出用ベルトコンベア18の移動後端18bは、後述
する送出開口29に臨んでおり、検査部内ベルトコンベ
ア17の移動先端17cに隣接している。
【0019】検査部12は、図2に示すように、上壁面
24と底壁面25(図1参照)、及び4枚の側壁面26
a,26b,26c,26dに囲まれた縦長箱状に形成
されている。この検査部12は、検査部内ベルトコンベ
ア17を覆って設置されている。従って、搬送部11
は、検査部内ベルトコンベア17を介して、検査部12
の上下方向ほぼ中央部を貫通した状態となる。
24と底壁面25(図1参照)、及び4枚の側壁面26
a,26b,26c,26dに囲まれた縦長箱状に形成
されている。この検査部12は、検査部内ベルトコンベ
ア17を覆って設置されている。従って、搬送部11
は、検査部内ベルトコンベア17を介して、検査部12
の上下方向ほぼ中央部を貫通した状態となる。
【0020】検査部12内の載置面17aの周囲には、
載置面17aと同一面を形成する隔壁27が設けられて
いる。この隔壁27と載置面17aにより、検査部12
内は上下に区分される(図2参照)。載置面17aの両
端に位置する両側壁面26a,26cには、それぞれ検
査対象19の通過が可能な形状及び大きさを有する矩形
状の進入開口28及び送出開口29が形成されている
(図1及び図2参照)。
載置面17aと同一面を形成する隔壁27が設けられて
いる。この隔壁27と載置面17aにより、検査部12
内は上下に区分される(図2参照)。載置面17aの両
端に位置する両側壁面26a,26cには、それぞれ検
査対象19の通過が可能な形状及び大きさを有する矩形
状の進入開口28及び送出開口29が形成されている
(図1及び図2参照)。
【0021】進入開口28及び送出開口29は、共に、
進入口蓋30及び送出口蓋31により塞ぐことができ
る。進入口蓋30は、進入開口28と相似形を有し進入
開口28より大きい板体によって形成されている。送出
口蓋31は、送出開口29と相似形を有し送出開口29
より大きい板体によって形成されている。進入口蓋30
の両側部は、図3に示すように、進入開口28の両側に
設けられた案内部32に、上下方向へと摺動可能に保持
されている。
進入口蓋30及び送出口蓋31により塞ぐことができ
る。進入口蓋30は、進入開口28と相似形を有し進入
開口28より大きい板体によって形成されている。送出
口蓋31は、送出開口29と相似形を有し送出開口29
より大きい板体によって形成されている。進入口蓋30
の両側部は、図3に示すように、進入開口28の両側に
設けられた案内部32に、上下方向へと摺動可能に保持
されている。
【0022】この進入口蓋30の下端部には、軸部30
aが形成されている(図1参照)。軸部30aには、連
結腕33の一端が回転自在に軸支されている。連結腕3
3の他端は、回転腕34の先端に突設された軸部34a
に回転自在に軸支されている。回転腕34は、駆動モー
タ35の回転軸に装着されている。駆動モータ35が作
動して回転軸が回転すると、回転腕34が回転して連結
腕33が回転する。連結腕33が回転することにより、
進入口蓋30は、案内部32に案内されて上下動する。
進入口蓋30の上方移動により、進入口蓋30は進入開
口28を塞ぐことができ、進入口蓋30の下方移動によ
り、進入開口28を開けることができる(図1矢印参
照)。
aが形成されている(図1参照)。軸部30aには、連
結腕33の一端が回転自在に軸支されている。連結腕3
3の他端は、回転腕34の先端に突設された軸部34a
に回転自在に軸支されている。回転腕34は、駆動モー
タ35の回転軸に装着されている。駆動モータ35が作
動して回転軸が回転すると、回転腕34が回転して連結
腕33が回転する。連結腕33が回転することにより、
進入口蓋30は、案内部32に案内されて上下動する。
進入口蓋30の上方移動により、進入口蓋30は進入開
口28を塞ぐことができ、進入口蓋30の下方移動によ
り、進入開口28を開けることができる(図1矢印参
照)。
【0023】送出口蓋31の両側部は、送出開口29の
両側に設けられた、案内部32と同様の案内部(図示せ
ず)に、上下方向へと摺動可能に保持されている。この
送出口蓋31の下端部には、軸部31aが形成されてい
る(図1参照)。軸部31aには、連結腕36の一端が
回転自在に軸支されている。連結腕36の他端は、回転
腕37の先端に突設された軸部37aに回転自在に軸支
されている。回転腕37は、駆動モータ38の回転軸に
装着されている。
両側に設けられた、案内部32と同様の案内部(図示せ
ず)に、上下方向へと摺動可能に保持されている。この
送出口蓋31の下端部には、軸部31aが形成されてい
る(図1参照)。軸部31aには、連結腕36の一端が
回転自在に軸支されている。連結腕36の他端は、回転
腕37の先端に突設された軸部37aに回転自在に軸支
されている。回転腕37は、駆動モータ38の回転軸に
装着されている。
【0024】駆動モータ38が作動して回転軸が回転す
ると、回転腕37が回転して連結腕36が回転する。連
結腕36が回転することにより、送出口蓋31は、案内
部に案内されて上下動する。送出口蓋31の上方移動に
より、送出口蓋31は送出開口29を塞ぐことができ、
送出口蓋31の下方移動により、送出開口29を開ける
ことができる(図1矢印参照)。
ると、回転腕37が回転して連結腕36が回転する。連
結腕36が回転することにより、送出口蓋31は、案内
部に案内されて上下動する。送出口蓋31の上方移動に
より、送出口蓋31は送出開口29を塞ぐことができ、
送出口蓋31の下方移動により、送出開口29を開ける
ことができる(図1矢印参照)。
【0025】即ち、進入口蓋30及び送出口蓋31の閉
時、進入開口28と送出開口29を共に塞ぐことができ
る。従って、進入開口28と進入口蓋30は、載置面1
7aへの検査対象19の進入を許容する第1開閉部とし
て機能し、送出開口29と送出口蓋31は、載置面17
aからの検査対象19の送出を許容する第2開閉部とし
て機能する。
時、進入開口28と送出開口29を共に塞ぐことができ
る。従って、進入開口28と進入口蓋30は、載置面1
7aへの検査対象19の進入を許容する第1開閉部とし
て機能し、送出開口29と送出口蓋31は、載置面17
aからの検査対象19の送出を許容する第2開閉部とし
て機能する。
【0026】そして、進入開口28を進入口蓋30で塞
ぎ、送出開口29を送出口蓋31で塞ぐことで、検査部
12内の上部には、載置面17aと隔壁27を底面とす
る閉空間39が形成される。即ち、検査部12により、
搬送部11の検査位置である検査部内ベルトコンベア1
7には、載置面17a上の検査対象19を囲う閉空間3
9が形成される。
ぎ、送出開口29を送出口蓋31で塞ぐことで、検査部
12内の上部には、載置面17aと隔壁27を底面とす
る閉空間39が形成される。即ち、検査部12により、
搬送部11の検査位置である検査部内ベルトコンベア1
7には、載置面17a上の検査対象19を囲う閉空間3
9が形成される。
【0027】駆動モータ35及び駆動モータ38の作動
は、図4に示すように、開閉制御部40からの作動信号
により制御されている。開閉制御部40には、進入前検
知部41、進入後検知部42、送出前検知部43、及び
送出後検知部44からの検知信号がそれぞれ入力する。
各検知部41,42,43,44は、例えば光センサか
らなり、各載置面16a,17a,18aを挟んで両側
に、発光部と受光部の一対が設置されている。
は、図4に示すように、開閉制御部40からの作動信号
により制御されている。開閉制御部40には、進入前検
知部41、進入後検知部42、送出前検知部43、及び
送出後検知部44からの検知信号がそれぞれ入力する。
各検知部41,42,43,44は、例えば光センサか
らなり、各載置面16a,17a,18aを挟んで両側
に、発光部と受光部の一対が設置されている。
【0028】これら進入前検知部41、進入後検知部4
2、送出前検知部43、及び送出後検知部44の配置位
置を、図5に示す。進入前検知部41は、進入開口28
の前方である流入用ベルトコンベア16側の、進入開口
28直前に配置されている。進入後検知部42は、進入
開口28の後方である検査部内ベルトコンベア17側
の、検査対象19が進入開口28を完全に通過した位置
に配置されている。送出前検知部43は、送出開口29
の前方である検査部内ベルトコンベア17側の、送出開
口29直前に配置されている。送出後検知部44は、送
出開口29の後方である流出用ベルトコンベア18側
の、検査対象19が送出開口29を完全に通過した位置
に配置されている。
2、送出前検知部43、及び送出後検知部44の配置位
置を、図5に示す。進入前検知部41は、進入開口28
の前方である流入用ベルトコンベア16側の、進入開口
28直前に配置されている。進入後検知部42は、進入
開口28の後方である検査部内ベルトコンベア17側
の、検査対象19が進入開口28を完全に通過した位置
に配置されている。送出前検知部43は、送出開口29
の前方である検査部内ベルトコンベア17側の、送出開
口29直前に配置されている。送出後検知部44は、送
出開口29の後方である流出用ベルトコンベア18側
の、検査対象19が送出開口29を完全に通過した位置
に配置されている。
【0029】各載置面16a,17a,18aに載置さ
れて移動する検査対象19が、これら各検知部41,4
2,43,44を通過すると、各検知部41,42,4
3,44は、それぞれ検知信号を開閉制御部40へ出力
する。進入前検知部41が、検査対象19を検知したO
N信号を出力すると、開閉制御部40が駆動モータ35
へ開命令を出す。開命令により、駆動モータ35が作動
して進入口蓋30が下方移動し、進入開口28が開く
(図8参照)。進入後検知部42が検査対象19を検知
したON信号を出力すると、開閉制御部40が駆動モー
タ35へ閉命令を出す。閉命令により、駆動モータ35
が作動して進入口蓋30が上方移動し、進入開口28が
閉じる(図9参照)。
れて移動する検査対象19が、これら各検知部41,4
2,43,44を通過すると、各検知部41,42,4
3,44は、それぞれ検知信号を開閉制御部40へ出力
する。進入前検知部41が、検査対象19を検知したO
N信号を出力すると、開閉制御部40が駆動モータ35
へ開命令を出す。開命令により、駆動モータ35が作動
して進入口蓋30が下方移動し、進入開口28が開く
(図8参照)。進入後検知部42が検査対象19を検知
したON信号を出力すると、開閉制御部40が駆動モー
タ35へ閉命令を出す。閉命令により、駆動モータ35
が作動して進入口蓋30が上方移動し、進入開口28が
閉じる(図9参照)。
【0030】送出前検知部43が検査対象19を検知し
たON信号を出力すると、開閉制御部40が駆動モータ
38へ開命令を出す。開命令により、駆動モータ38が
作動して送出口蓋31が下方移動し、送出開口29が開
く(図12参照)。送出後検知部44が検査対象19を
検知したON信号を出力すると、開閉制御部40が駆動
モータ38へ閉命令を出す。閉命令により、駆動モータ
38が作動して送出口蓋31が上方移動し、送出開口2
9が閉じる(図13参照)。
たON信号を出力すると、開閉制御部40が駆動モータ
38へ開命令を出す。開命令により、駆動モータ38が
作動して送出口蓋31が下方移動し、送出開口29が開
く(図12参照)。送出後検知部44が検査対象19を
検知したON信号を出力すると、開閉制御部40が駆動
モータ38へ閉命令を出す。閉命令により、駆動モータ
38が作動して送出口蓋31が上方移動し、送出開口2
9が閉じる(図13参照)。
【0031】X線照射部13は、図6に示すように、X
線管45と、X線管制御部46と、撮影制御部47と、
進入部リミットスイッチ48と、送出部リミットスイッ
チ49と、対象検知部50とを有している。X線管45
は、検査部12の上壁面24内側に設置されており、検
査対象19の上方に位置するように、X線撮影部14の
ほぼ真上に配置されている(図1参照)。X線管45の
照射口45aは、照射方向を検査対象19に向けてお
り、載置面17a上の検査対象19にX線xを照射する
ことができる。
線管45と、X線管制御部46と、撮影制御部47と、
進入部リミットスイッチ48と、送出部リミットスイッ
チ49と、対象検知部50とを有している。X線管45
は、検査部12の上壁面24内側に設置されており、検
査対象19の上方に位置するように、X線撮影部14の
ほぼ真上に配置されている(図1参照)。X線管45の
照射口45aは、照射方向を検査対象19に向けてお
り、載置面17a上の検査対象19にX線xを照射する
ことができる。
【0032】X線管制御部46は、X線管45がX線x
を照射するための照射信号を出力する。照射信号は、X
線管制御部46が発生するX線管45用の高電圧によ
り、パルス制御されている。この照射信号は、検査部1
2に閉空間39が形成される進入開口28と送出開口2
9の閉時に、X線管45へ出力される。照射信号がX線
管45に入力すると、X線管45は照射口45aからX
線xをパルス状に照射する(図10及び図15参照)。
を照射するための照射信号を出力する。照射信号は、X
線管制御部46が発生するX線管45用の高電圧によ
り、パルス制御されている。この照射信号は、検査部1
2に閉空間39が形成される進入開口28と送出開口2
9の閉時に、X線管45へ出力される。照射信号がX線
管45に入力すると、X線管45は照射口45aからX
線xをパルス状に照射する(図10及び図15参照)。
【0033】従って、X線xは、検査部12に閉空間3
9が形成されてX線管45下方に検査対象19が位置し
た場合のみ、必要な量が照射される。撮影制御部47
は、X線管制御部46が照射信号を出力する時期を制御
している。撮影制御部47には、進入部リミットスイッ
チ48、送出部リミットスイッチ49及び対象検知部5
0からの各検知信号がそれぞれ入力する。
9が形成されてX線管45下方に検査対象19が位置し
た場合のみ、必要な量が照射される。撮影制御部47
は、X線管制御部46が照射信号を出力する時期を制御
している。撮影制御部47には、進入部リミットスイッ
チ48、送出部リミットスイッチ49及び対象検知部5
0からの各検知信号がそれぞれ入力する。
【0034】進入部リミットスイッチ48は、図7に示
すように、進入口蓋30が上方移動して進入開口28を
閉じた状態になるとONになるスイッチであり、進入開
口28の上端に位置して進入開口28が閉状態にあるの
を検知することができる。進入部リミットスイッチ48
がONになると第1開閉部閉信号aが出力される。第1
開閉部閉信号aは検知信号として撮影制御部47に入力
する。
すように、進入口蓋30が上方移動して進入開口28を
閉じた状態になるとONになるスイッチであり、進入開
口28の上端に位置して進入開口28が閉状態にあるの
を検知することができる。進入部リミットスイッチ48
がONになると第1開閉部閉信号aが出力される。第1
開閉部閉信号aは検知信号として撮影制御部47に入力
する。
【0035】送出部リミットスイッチ49は、図7に示
すように、送出口蓋31が上方移動して送出開口29を
閉じた状態になるとONになるスイッチであり、送出開
口29の上端に位置して送出開口29が閉状態にあるの
を検知することができる。送出部リミットスイッチ49
がONになると第2開閉部閉信号bが出力される。第2
開閉部閉信号bは検知信号として撮影制御部47に入力
する。
すように、送出口蓋31が上方移動して送出開口29を
閉じた状態になるとONになるスイッチであり、送出開
口29の上端に位置して送出開口29が閉状態にあるの
を検知することができる。送出部リミットスイッチ49
がONになると第2開閉部閉信号bが出力される。第2
開閉部閉信号bは検知信号として撮影制御部47に入力
する。
【0036】従って、進入部リミットスイッチ48は、
進入開口28が閉状態にあるのを検知する第1検知部と
して機能する。同様に、送出部リミットスイッチ49
は、送出開口29が閉状態にあるのを検知する第2検知
部として機能する。対象検知部50は、例えば光センサ
からなり、載置面17aを挟んで両側に、発光部と受光
部の一対が設置されている。
進入開口28が閉状態にあるのを検知する第1検知部と
して機能する。同様に、送出部リミットスイッチ49
は、送出開口29が閉状態にあるのを検知する第2検知
部として機能する。対象検知部50は、例えば光センサ
からなり、載置面17aを挟んで両側に、発光部と受光
部の一対が設置されている。
【0037】この対象検知部50は、図7に示すよう
に、検査部内ベルトコンベア17の移動方向ほぼ中央に
配置されている。載置面17aと共に移動する検査対象
19が対象検知部50に差し掛かると、対象検知部50
がそれを検知し対象検知信号cを出力する。このとき、
検査対象19の中心は、X線管45のほぼ真下に位置す
る(図10参照)。
に、検査部内ベルトコンベア17の移動方向ほぼ中央に
配置されている。載置面17aと共に移動する検査対象
19が対象検知部50に差し掛かると、対象検知部50
がそれを検知し対象検知信号cを出力する。このとき、
検査対象19の中心は、X線管45のほぼ真下に位置す
る(図10参照)。
【0038】つまり、対象検知部50が対象検知信号c
を出力することで、X線管45からX線xが照射され
る。X線xの照射は、対象検知部50が検査対象19を
検知した時点から開始され、一定(例えば5〜0.5m
s)の幅を有する。そして、撮影制御部47は、第1開
閉部閉信号a及び第2開閉部閉信号bの入力後に対象検
知信号cが入力した場合に、X線管制御部46へ照射信
号出力信号dを出力する。即ち、第1開閉部閉信号a及
び第2開閉部閉信号bの入力を前提とし、第1開閉部閉
信号a及び第2開閉部閉信号bに加えて対象検知信号c
が入力することにより、撮影制御部47は照射信号出力
信号dを出力する。
を出力することで、X線管45からX線xが照射され
る。X線xの照射は、対象検知部50が検査対象19を
検知した時点から開始され、一定(例えば5〜0.5m
s)の幅を有する。そして、撮影制御部47は、第1開
閉部閉信号a及び第2開閉部閉信号bの入力後に対象検
知信号cが入力した場合に、X線管制御部46へ照射信
号出力信号dを出力する。即ち、第1開閉部閉信号a及
び第2開閉部閉信号bの入力を前提とし、第1開閉部閉
信号a及び第2開閉部閉信号bに加えて対象検知信号c
が入力することにより、撮影制御部47は照射信号出力
信号dを出力する。
【0039】照射信号出力信号dの入力により、X線管
制御部46は、X線管45へ照射信号eを出力する。ま
た、撮影制御部47は、照射信号出力信号dを出力する
と共に、X線撮影部14へ撮影信号fを出力する(図6
参照)。X線撮影部14は、検査部12内の載置面17
a下方に位置して、X線管45に対向して設けられたX
線撮影カメラ51を有している。X線撮影カメラ51の
撮影レンズ51aは、載置面17a上の検査対象19に
向けられている(図2参照)。X線撮影部14に撮影信
号fが入力すると、X線撮影カメラ51がX線管45か
らのX線照射に対応して検査対象19の内部を撮影す
る。このX線撮影カメラ51は、二次元のエリアセンサ
を用いているが、一次元のリニアセンサを用いてもよ
い。
制御部46は、X線管45へ照射信号eを出力する。ま
た、撮影制御部47は、照射信号出力信号dを出力する
と共に、X線撮影部14へ撮影信号fを出力する(図6
参照)。X線撮影部14は、検査部12内の載置面17
a下方に位置して、X線管45に対向して設けられたX
線撮影カメラ51を有している。X線撮影カメラ51の
撮影レンズ51aは、載置面17a上の検査対象19に
向けられている(図2参照)。X線撮影部14に撮影信
号fが入力すると、X線撮影カメラ51がX線管45か
らのX線照射に対応して検査対象19の内部を撮影す
る。このX線撮影カメラ51は、二次元のエリアセンサ
を用いているが、一次元のリニアセンサを用いてもよ
い。
【0040】撮影制御部47からX線撮影部14へ出力
される撮影信号fは、X線管45からのX線照射時、X
線撮影カメラ51が検査対象19を撮影することができ
るように、X線照射時期に同期している。画像表示部1
5は、画像処理部52と、ディスプレイ53とを有して
いる(図6参照)。X線撮影カメラ51により撮影され
た検査対象19の撮影情報gは、画像処理部52によっ
て画像処理され、ディスプレイ53に送られる。ディス
プレイ53は、検査対象19の透視像を画像表示する。
される撮影信号fは、X線管45からのX線照射時、X
線撮影カメラ51が検査対象19を撮影することができ
るように、X線照射時期に同期している。画像表示部1
5は、画像処理部52と、ディスプレイ53とを有して
いる(図6参照)。X線撮影カメラ51により撮影され
た検査対象19の撮影情報gは、画像処理部52によっ
て画像処理され、ディスプレイ53に送られる。ディス
プレイ53は、検査対象19の透視像を画像表示する。
【0041】次に、X線非破壊検査装置の作用を、図7
乃至図15を参照して説明する。先ず、流入用ベルトコ
ンベア16により、載置面17aに載置された検査対象
19が検査部内ベルトコンベア17に向かって運ばれて
来る。この際、進入部リミットスイッチ48及び送出部
リミットスイッチ49は、共にONであり進入開口28
及び送出開口29は閉じている(図14参照)。
乃至図15を参照して説明する。先ず、流入用ベルトコ
ンベア16により、載置面17aに載置された検査対象
19が検査部内ベルトコンベア17に向かって運ばれて
来る。この際、進入部リミットスイッチ48及び送出部
リミットスイッチ49は、共にONであり進入開口28
及び送出開口29は閉じている(図14参照)。
【0042】続いて、載置面17aと共に移動する検査
対象19が、進入開口28の手前に達し(図7参照)、
進入前検知部41を通る(図8参照)。検査対象19が
進入前検知部41に差し掛かると、進入前検知部41か
ら開閉制御部40へON信号が出力される。開閉制御部
40にON信号が入力して進入部リミットスイッチ48
がOFFになると、進入開口28が開状態となる(図8
及び図14参照)。載置面17aと共に移動する検査対
象19は、進入開口28を通って検査部内ベルトコンベ
ア17の載置面17aに乗り移り、流入用ベルトコンベ
ア16から検査部内ベルトコンベア17へと移動する
(図9参照)。
対象19が、進入開口28の手前に達し(図7参照)、
進入前検知部41を通る(図8参照)。検査対象19が
進入前検知部41に差し掛かると、進入前検知部41か
ら開閉制御部40へON信号が出力される。開閉制御部
40にON信号が入力して進入部リミットスイッチ48
がOFFになると、進入開口28が開状態となる(図8
及び図14参照)。載置面17aと共に移動する検査対
象19は、進入開口28を通って検査部内ベルトコンベ
ア17の載置面17aに乗り移り、流入用ベルトコンベ
ア16から検査部内ベルトコンベア17へと移動する
(図9参照)。
【0043】次に、検査部内ベルトコンベア17へ移っ
た検査対象19が進入後検知部42に差し掛かると、進
入後検知部42から開閉制御部40へOFF信号が出力
される。開閉制御部40にOFF信号が入力し進入部リ
ミットスイッチ48がONになると、進入開口28が閉
状態となる(図9及び図14参照)。続いて、検査部1
2内を載置面17aと共に移動する検査対象19が、検
査部内ベルトコンベア17のほぼ中央に達すると(図1
0参照)、対象検知部50から撮影制御部47へON信
号が出力される。撮影制御部47にON信号が入力して
X線管制御部46からX線管45へ照射信号が出力され
ると、X線管45は照射口45aからX線xをパルス状
に照射する(図10及び図15参照)。
た検査対象19が進入後検知部42に差し掛かると、進
入後検知部42から開閉制御部40へOFF信号が出力
される。開閉制御部40にOFF信号が入力し進入部リ
ミットスイッチ48がONになると、進入開口28が閉
状態となる(図9及び図14参照)。続いて、検査部1
2内を載置面17aと共に移動する検査対象19が、検
査部内ベルトコンベア17のほぼ中央に達すると(図1
0参照)、対象検知部50から撮影制御部47へON信
号が出力される。撮影制御部47にON信号が入力して
X線管制御部46からX線管45へ照射信号が出力され
ると、X線管45は照射口45aからX線xをパルス状
に照射する(図10及び図15参照)。
【0044】X線xが照射されると、X線管45からの
X線照射時期に同期して、X線撮影カメラ51が検査対
象19を撮影する(図15参照)。X線撮影カメラ50
が撮影した検査対象19の撮影情報gに基づき、ディス
プレイ53には検査対象19の透視像が画像表示され
る。この検査対象19の透視像を検査者が目で見ること
により、検査対象19を破壊することなく、検査対象1
9である製品等の内部に例えば異物等が混入しているか
否かを検査することができる。
X線照射時期に同期して、X線撮影カメラ51が検査対
象19を撮影する(図15参照)。X線撮影カメラ50
が撮影した検査対象19の撮影情報gに基づき、ディス
プレイ53には検査対象19の透視像が画像表示され
る。この検査対象19の透視像を検査者が目で見ること
により、検査対象19を破壊することなく、検査対象1
9である製品等の内部に例えば異物等が混入しているか
否かを検査することができる。
【0045】X線管45からのX線照射時、撮影制御部
47には、第1開閉部閉信号aであるON信号及び第2
開閉部閉信号bであるON信号に加えて、対象検知信号
cであるON信号が入力している。即ち、第1開閉部で
ある進入開口28及び第2開閉部である送出開口29
は、共に閉状態にある(図10及び図15参照)。従っ
て、進入開口28及び送出開口29が共に閉じ、且つ検
査対象19を検知した状態を確実に確認した上で、閉空
間39内で検知対象19に対してX線照射が行われる。
47には、第1開閉部閉信号aであるON信号及び第2
開閉部閉信号bであるON信号に加えて、対象検知信号
cであるON信号が入力している。即ち、第1開閉部で
ある進入開口28及び第2開閉部である送出開口29
は、共に閉状態にある(図10及び図15参照)。従っ
て、進入開口28及び送出開口29が共に閉じ、且つ検
査対象19を検知した状態を確実に確認した上で、閉空
間39内で検知対象19に対してX線照射が行われる。
【0046】また、X線xは、検査部12内に検査対象
19が1個入り込み閉空間39が形成される毎に、X線
撮影カメラ51の撮影に必要な量のみ断続的に照射され
ることとなり、検査対象19には、X線撮影時のみX線
xが照射される(図10及び図15参照)。このため、
検査対象19のX線撮影時に、X線管45から照射され
るX線xが検査部12外に漏洩することはない。
19が1個入り込み閉空間39が形成される毎に、X線
撮影カメラ51の撮影に必要な量のみ断続的に照射され
ることとなり、検査対象19には、X線撮影時のみX線
xが照射される(図10及び図15参照)。このため、
検査対象19のX線撮影時に、X線管45から照射され
るX線xが検査部12外に漏洩することはない。
【0047】次に、検査部12内を載置面17aと共に
移動する検査対象19が、送出開口29の手前に達し
(図11参照)、送出前検知部43を通る(図12参
照)。検査対象19が送出前検知部43に差し掛かる
と、送出前検知部43から開閉制御部40へON信号が
出力される。開閉制御部40にON信号が入力し送出部
リミットスイッチ49がOFFになると、送出開口29
が開状態となる(図12及び図14参照)。載置面17
aと共に移動する検査対象19は、送出開口29を通っ
て流出用ベルトコンベア18の載置面17aへ乗り移
り、検査部内ベルトコンベア17から流出用ベルトコン
ベア18へと移動する(図13参照)。
移動する検査対象19が、送出開口29の手前に達し
(図11参照)、送出前検知部43を通る(図12参
照)。検査対象19が送出前検知部43に差し掛かる
と、送出前検知部43から開閉制御部40へON信号が
出力される。開閉制御部40にON信号が入力し送出部
リミットスイッチ49がOFFになると、送出開口29
が開状態となる(図12及び図14参照)。載置面17
aと共に移動する検査対象19は、送出開口29を通っ
て流出用ベルトコンベア18の載置面17aへ乗り移
り、検査部内ベルトコンベア17から流出用ベルトコン
ベア18へと移動する(図13参照)。
【0048】続いて、流出用ベルトコンベア18へ移っ
た検査対象19が送出後検知部44に差し掛かると、送
出後検知部44から開閉制御部40へOFF信号が出力
される。開閉制御部40にOFF信号が入力し送出部リ
ミットスイッチ49がONになると、送出開口29が閉
状態となる(図13及び図14参照)。このとき、流入
用ベルトコンベア16により検査部内ベルトコンベア1
7に向かって運ばれて来た次の検査対象19が、進入開
口28の手前に達している(図13参照)。この際、進
入開口28及び送出開口29を同時に開口して、検査部
内ベルトコンベア17に対する検査対象19の進入と送
出を同時に行ってもよいし、進入開口28及び送出開口
29を別々に開口して、検査対象19の進入と送出を順
次行ってもよい。
た検査対象19が送出後検知部44に差し掛かると、送
出後検知部44から開閉制御部40へOFF信号が出力
される。開閉制御部40にOFF信号が入力し送出部リ
ミットスイッチ49がONになると、送出開口29が閉
状態となる(図13及び図14参照)。このとき、流入
用ベルトコンベア16により検査部内ベルトコンベア1
7に向かって運ばれて来た次の検査対象19が、進入開
口28の手前に達している(図13参照)。この際、進
入開口28及び送出開口29を同時に開口して、検査部
内ベルトコンベア17に対する検査対象19の進入と送
出を同時に行ってもよいし、進入開口28及び送出開口
29を別々に開口して、検査対象19の進入と送出を順
次行ってもよい。
【0049】以後、検査部12内の閉空間39で、順
次、検査対象19のX線撮影が行われる。このように、
X線非破壊検査装置10により、搬送部11の検査部内
ベルトコンベア17部分に閉空間39を形成し、閉空間
39が形成されたことを確認した上で閉空間39内でX
線xを照射し検査を行うことができるので、検査対象1
9のインラインでの自動検査が可能となる。
次、検査対象19のX線撮影が行われる。このように、
X線非破壊検査装置10により、搬送部11の検査部内
ベルトコンベア17部分に閉空間39を形成し、閉空間
39が形成されたことを確認した上で閉空間39内でX
線xを照射し検査を行うことができるので、検査対象1
9のインラインでの自動検査が可能となる。
【0050】この結果、検査者が手で検査対象19を取
り扱う必要がなく、また、X線xの漏洩を防止すること
で、X線被曝に対する安全性を確保して非破壊検査の完
全自動化及び高速処理が実現できる。また、X線xを検
査対象19が所定位置に達した際に照射してX線xの照
射時間を制限すると共に、X線xの照射を閉空間39内
で行うことで、X線xに対してほぼ完全な遮蔽が可能と
なるため、X線照射による非破壊検査を行う際に、照射
したX線xが検査空間外に漏洩するのを防止することが
できる。
り扱う必要がなく、また、X線xの漏洩を防止すること
で、X線被曝に対する安全性を確保して非破壊検査の完
全自動化及び高速処理が実現できる。また、X線xを検
査対象19が所定位置に達した際に照射してX線xの照
射時間を制限すると共に、X線xの照射を閉空間39内
で行うことで、X線xに対してほぼ完全な遮蔽が可能と
なるため、X線照射による非破壊検査を行う際に、照射
したX線xが検査空間外に漏洩するのを防止することが
できる。
【0051】また、進入口蓋30及び送出口蓋31によ
り進入開口28及び送出開口29を共に塞いで、検査部
12に閉空間39を形成することができるため、検査部
内ベルトコンベア17を長くする必要がなく、装置を設
置するために広い場所を必要としない。また、進入開口
28及び送出開口29が完全な開口となるので、従来の
防護カーテンでは通過が困難であった例えば小さく軽い
物にも対応でき、検査対象19を選ばない。
り進入開口28及び送出開口29を共に塞いで、検査部
12に閉空間39を形成することができるため、検査部
内ベルトコンベア17を長くする必要がなく、装置を設
置するために広い場所を必要としない。また、進入開口
28及び送出開口29が完全な開口となるので、従来の
防護カーテンでは通過が困難であった例えば小さく軽い
物にも対応でき、検査対象19を選ばない。
【0052】更に、検査対象19が検査部12に対し進
入送出する進入開口28及び送出開口29は、進入口蓋
30及び送出口蓋31の開閉によって行われるため、従
来の防護カーテンでは起こり得る、例えばX線照射中に
誤って検査者が検査部12内に手を入れてしまうことを
防止することができる。従って、本願発明に係るX線非
破壊検査装置10の使用に当り、作業者に対し十分な被
曝防護が可能であるため、安全管理区域はないものとみ
なして良く、その結果、X線作業主任者の選任も必要と
しない。
入送出する進入開口28及び送出開口29は、進入口蓋
30及び送出口蓋31の開閉によって行われるため、従
来の防護カーテンでは起こり得る、例えばX線照射中に
誤って検査者が検査部12内に手を入れてしまうことを
防止することができる。従って、本願発明に係るX線非
破壊検査装置10の使用に当り、作業者に対し十分な被
曝防護が可能であるため、安全管理区域はないものとみ
なして良く、その結果、X線作業主任者の選任も必要と
しない。
【0053】なお、本発明は上記実施例に限らず種々の
変形が可能であり、例えば、X線管45を、照射口45
aの照射方向を変えて複数個設けてもよい。配置の一例
として、照射口45aを検査対象19の上方、進行方向
前方、進行方向後方の3ヶ所でもよい。また、進入部リ
ミットスイッチ48の代りに、例えば光センサからなる
検知手段を設けてもよい。この検知手段は、進入口蓋3
0が移動して進入開口28が塞がれた状態に進入口蓋3
0が位置するのを検知する。送出部リミットスイッチ4
9についても同様であり、検知手段は、送出口蓋31が
移動して送出開口29が塞がれた状態に送出口蓋31が
位置するのを検知する。
変形が可能であり、例えば、X線管45を、照射口45
aの照射方向を変えて複数個設けてもよい。配置の一例
として、照射口45aを検査対象19の上方、進行方向
前方、進行方向後方の3ヶ所でもよい。また、進入部リ
ミットスイッチ48の代りに、例えば光センサからなる
検知手段を設けてもよい。この検知手段は、進入口蓋3
0が移動して進入開口28が塞がれた状態に進入口蓋3
0が位置するのを検知する。送出部リミットスイッチ4
9についても同様であり、検知手段は、送出口蓋31が
移動して送出開口29が塞がれた状態に送出口蓋31が
位置するのを検知する。
【0054】また、X線照射部13は、第1開閉部閉信
号a、第2開閉部閉信号b、及び対象検知信号cを受け
て、X線xを照射する他、第1開閉部閉信号a及び第2
開閉部閉信号bを受けて、X線xを照射してもよい。こ
の場合、照射したX線xが検査空間外に漏洩するのを防
止することができる上に、対象検知部50を設けず装置
の簡略化が可能となる。
号a、第2開閉部閉信号b、及び対象検知信号cを受け
て、X線xを照射する他、第1開閉部閉信号a及び第2
開閉部閉信号bを受けて、X線xを照射してもよい。こ
の場合、照射したX線xが検査空間外に漏洩するのを防
止することができる上に、対象検知部50を設けず装置
の簡略化が可能となる。
【0055】また、画像表示部を設けず、製品等の内部
に異物等が混入していた場合、例えば、赤色ランプ或は
ブザー等により報知してもよい。この場合、製品等の内
部に混入している異物等を検出する検知手段を設け、検
知手段からの検知情報に基づき赤色ランプ或はブザー等
を作動させる。従って、検査対象19の透視像を検査者
が目で見てチェックすることなく、自動的にチェックす
ることができる。また、画像表示部と報知手段とを併用
してもよい。この場合、検査者が透視像を目で見るのに
加えて赤色ランプ或はブザー等により、検査対象19の
確実なチェックが可能となる。
に異物等が混入していた場合、例えば、赤色ランプ或は
ブザー等により報知してもよい。この場合、製品等の内
部に混入している異物等を検出する検知手段を設け、検
知手段からの検知情報に基づき赤色ランプ或はブザー等
を作動させる。従って、検査対象19の透視像を検査者
が目で見てチェックすることなく、自動的にチェックす
ることができる。また、画像表示部と報知手段とを併用
してもよい。この場合、検査者が透視像を目で見るのに
加えて赤色ランプ或はブザー等により、検査対象19の
確実なチェックが可能となる。
【0056】更に、X線照射部13とX線撮影部14
を、検査対象19に対してX線xが横から照射されるよ
うに、検査部内ベルトコンベア17の載置面17aを挟
んで検査対象19の横方向に配置してもよい。
を、検査対象19に対してX線xが横から照射されるよ
うに、検査部内ベルトコンベア17の載置面17aを挟
んで検査対象19の横方向に配置してもよい。
【0057】
【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、検査対象
を搬送する搬送部と、前記搬送部の検査位置に前記検査
対象を囲う閉空間を形成する検査部と、前記検査部に開
閉可能に設けられ、開時、前記検査対象の前記検査部内
への進入を許容する第1開閉部と、前記検査部に開閉可
能に設けられ、開時、前記検査対象の前記検査部内から
の送出を許容する第2開閉部と、前記第1開閉部と前記
第2開閉部の閉時、前記閉空間内の前記検査対象にX線
を照射するX線照射部と、前記X線照射部から照射され
たX線により前記検査対象の内部を撮影するX線撮影部
とを有するので、X線に対してほぼ完全な遮蔽が可能と
なり、X線照射による非破壊検査をインラインで自動的
に行う際に、照射したX線が検査空間外に漏洩するのを
防止した上で、装置を設置するために広い場所を必要と
せず、また、検査対象を選ぶこともない。
を搬送する搬送部と、前記搬送部の検査位置に前記検査
対象を囲う閉空間を形成する検査部と、前記検査部に開
閉可能に設けられ、開時、前記検査対象の前記検査部内
への進入を許容する第1開閉部と、前記検査部に開閉可
能に設けられ、開時、前記検査対象の前記検査部内から
の送出を許容する第2開閉部と、前記第1開閉部と前記
第2開閉部の閉時、前記閉空間内の前記検査対象にX線
を照射するX線照射部と、前記X線照射部から照射され
たX線により前記検査対象の内部を撮影するX線撮影部
とを有するので、X線に対してほぼ完全な遮蔽が可能と
なり、X線照射による非破壊検査をインラインで自動的
に行う際に、照射したX線が検査空間外に漏洩するのを
防止した上で、装置を設置するために広い場所を必要と
せず、また、検査対象を選ぶこともない。
【0058】また、前記X線照射部がX線をパルス状に
照射すれば、閉空間内の検査対象に対してX線を断続的
に照射することが可能である。また、前記X線照射部を
前記検査対象の上方に位置するように配置すれば、装置
を搬送部に対して上下方向に設置することができ、装置
の設置スペースをより小さくすることができる。
照射すれば、閉空間内の検査対象に対してX線を断続的
に照射することが可能である。また、前記X線照射部を
前記検査対象の上方に位置するように配置すれば、装置
を搬送部に対して上下方向に設置することができ、装置
の設置スペースをより小さくすることができる。
【0059】また、前記第1開閉部が閉状態にあるのを
検知する第1検知部と、前記第2開閉部が閉状態にある
のを検知する第2検知部とを有し、前記X線照射部が、
前記第1検知部からの第1開閉部閉信号及び前記第2検
知部からの第2開閉部閉信号を受けてX線を照射すれ
ば、X線照射時は、第1開閉部及び第2開閉部が閉じた
状態を確実に確認した上で、閉空間内で検知対象に対し
てX線照射が行われ、X線照射による非破壊検査をイン
ラインで自動的に行う際に、照射したX線が検査空間外
に漏洩するのを確実に防止することができる。
検知する第1検知部と、前記第2開閉部が閉状態にある
のを検知する第2検知部とを有し、前記X線照射部が、
前記第1検知部からの第1開閉部閉信号及び前記第2検
知部からの第2開閉部閉信号を受けてX線を照射すれ
ば、X線照射時は、第1開閉部及び第2開閉部が閉じた
状態を確実に確認した上で、閉空間内で検知対象に対し
てX線照射が行われ、X線照射による非破壊検査をイン
ラインで自動的に行う際に、照射したX線が検査空間外
に漏洩するのを確実に防止することができる。
【0060】更に、X線の照射方向に前記検査対象が位
置するのを検知する対象検知部を有し、前記X線照射部
が、前記第1開閉部閉信号、前記第2開閉部閉信号、及
び前記対象検知部からの対象検知信号を受けてX線を照
射すれば、第1開閉部及び第2開閉部が閉じ且つ検査対
象を検知した状態を確実に確認した上で、閉空間内で検
知対象に対してX線照射が行われ、X線照射による非破
壊検査をインラインで自動的に行う際に、照射したX線
が検査空間外に漏洩するのをより確実に防止することが
できる。
置するのを検知する対象検知部を有し、前記X線照射部
が、前記第1開閉部閉信号、前記第2開閉部閉信号、及
び前記対象検知部からの対象検知信号を受けてX線を照
射すれば、第1開閉部及び第2開閉部が閉じ且つ検査対
象を検知した状態を確実に確認した上で、閉空間内で検
知対象に対してX線照射が行われ、X線照射による非破
壊検査をインラインで自動的に行う際に、照射したX線
が検査空間外に漏洩するのをより確実に防止することが
できる。
【図1】本発明の一実施例によるX線非破壊検査装置の
説明図である。
説明図である。
【図2】図1に示す検査部の一部破断した斜視図であ
る。
る。
【図3】図1に示す進入開口に設けられた案内部の説明
図である。
図である。
【図4】図1に示す駆動モータの作動信号の流れを示す
ブロック図である。
ブロック図である。
【図5】図1に示す搬送部における各検知部の配置位置
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図6】本発明の一実施例によるX線非破壊検査装置の
X線照射時における情報の流れを示すブロック図であ
る。
X線照射時における情報の流れを示すブロック図であ
る。
【図7】本発明の一実施例によるX線非破壊検査装置が
形成する搬送路を移動する検査対象を示す説明図(その
1)である。
形成する搬送路を移動する検査対象を示す説明図(その
1)である。
【図8】本発明の一実施例によるX線非破壊検査装置が
形成する搬送路を移動する検査対象を示す説明図(その
2)である。
形成する搬送路を移動する検査対象を示す説明図(その
2)である。
【図9】本発明の一実施例によるX線非破壊検査装置が
形成する搬送路を移動する検査対象を示す説明図(その
3)である。
形成する搬送路を移動する検査対象を示す説明図(その
3)である。
【図10】本発明の一実施例によるX線非破壊検査装置
が形成する搬送路を移動する検査対象を示す説明図(そ
の4)である。
が形成する搬送路を移動する検査対象を示す説明図(そ
の4)である。
【図11】本発明の一実施例によるX線非破壊検査装置
が形成する搬送路を移動する検査対象を示す説明図(そ
の5)である。
が形成する搬送路を移動する検査対象を示す説明図(そ
の5)である。
【図12】本発明の一実施例によるX線非破壊検査装置
が形成する搬送路を移動する検査対象を示す説明図(そ
の6)である。
が形成する搬送路を移動する検査対象を示す説明図(そ
の6)である。
【図13】本発明の一実施例によるX線非破壊検査装置
が形成する搬送路を移動する検査対象を示す説明図(そ
の7)である。
が形成する搬送路を移動する検査対象を示す説明図(そ
の7)である。
【図14】本発明の一実施例によるX線非破壊検査装置
における検査対象の移動に伴う各作動部分の作動状態を
示す説明図(その1)である。
における検査対象の移動に伴う各作動部分の作動状態を
示す説明図(その1)である。
【図15】本発明の一実施例によるX線非破壊検査装置
における検査対象の移動に伴う各作動部分の作動状態を
示す説明図(その2)である。
における検査対象の移動に伴う各作動部分の作動状態を
示す説明図(その2)である。
10…X線非破壊検査装置 11…搬送部 11a…移動後端 11b…移動先端 12…検査部 13…X線照射部 14…X線撮影部 15…画像表示部 16…流入用ベルトコンベア 16a…載置面 16b…移動先端 17…検査部内ベルトコンベア 17a…載置面 17b…移動後端 17c…移動先端 18…流出用ベルトコンベア 18a…載置面 18b…移動後端 19…検査対象 20…ベルト 21…駆動モータ 21a…回転軸 22a…回転ローラ 22b…回転ローラ 22c…回転ローラ 22d…回転ローラ 24…上壁面 25…底壁面 26a…側壁面 26b…側壁面 26c…側壁面 26d…側壁面 27…隔壁 28…進入開口 29…送出開口 30…進入口蓋 30a…軸部 31…送出口蓋 31a…軸部 32…案内部 33…連結腕 34…回転腕 34a…軸部 35…駆動モータ 36…連結腕 37…回転腕 37a…軸部 38…駆動モータ 39…閉空間 40…開閉制御部 41…進入前検知部 42…進入後検知部 43…送出前検知部 44…送出後検知部 45…X線管 45a…照射口 46…X線管制御部 47…撮影制御部 48…進入部リミットスイッチ 49…送出部リミットスイッチ 50…対象検知部 51…X線撮影カメラ 51a…撮影レンズ 52…画像処理部 53…ディスプレイ a…第1開閉部閉信号 b…第2開閉部閉信号 c…対象検知信号 d…照射信号出力信号 e…照射信号 f…撮影信号 g…撮影情報 x…X線
Claims (5)
- 【請求項1】 検査対象を搬送する搬送部と、 前記搬送部の検査位置に前記検査対象を囲う閉空間を形
成する検査部と、 前記検査部に設けられ、前記検査対象の前記検査部内へ
の進入を許容する第1開閉部と、 前記検査部に設けられ、前記検査対象の前記検査部内か
らの送出を許容する第2開閉部と、 前記第1開閉部と前記第2開閉部の閉時、前記閉空間内
の前記検査対象にX線を照射するX線照射部と、 前記X線照射部から照射されたX線により前記検査対象
の内部を撮影するX線撮影部とを有することを特徴とす
るX線非破壊検査装置。 - 【請求項2】 請求項1記載のX線非破壊検査装置にお
いて、 前記X線照射部は、X線をパルス状に照射することを特
徴とするX線非破壊検査装置。 - 【請求項3】 請求項1又は2記載のX線非破壊検査装
置において、 前記X線照射部を、前記検査対象の上方に位置するよう
に配置したことを特徴とするX線非破壊検査装置。 - 【請求項4】 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の
X線非破壊検査装置において、 前記第1開閉部が閉状態にあるのを検知する第1検知部
と、 前記第2開閉部が閉状態にあるのを検知する第2検知部
とを有し、 前記X線照射部は、前記第1検知部からの第1開閉部閉
信号及び前記第2検知部からの第2開閉部閉信号を受け
て、X線を照射することを特徴とするX線非破壊検査装
置。 - 【請求項5】 請求項4記載のX線非破壊検査装置にお
いて、 X線の照射方向に前記検査対象が位置するのを検知する
対象検知部を有し、 前記X線照射部は、前記第1開閉部閉信号、前記第2開
閉部閉信号、及び前記対象検知部からの対象検知信号を
受けて、X線を照射することを特徴とするX線非破壊検
査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32607994A JP3011360B2 (ja) | 1994-12-27 | 1994-12-27 | X線非破壊検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32607994A JP3011360B2 (ja) | 1994-12-27 | 1994-12-27 | X線非破壊検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08178872A true JPH08178872A (ja) | 1996-07-12 |
JP3011360B2 JP3011360B2 (ja) | 2000-02-21 |
Family
ID=18183883
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32607994A Expired - Fee Related JP3011360B2 (ja) | 1994-12-27 | 1994-12-27 | X線非破壊検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3011360B2 (ja) |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11160487A (ja) * | 1997-11-27 | 1999-06-18 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | X線検査装置 |
JPH11304726A (ja) * | 1998-04-24 | 1999-11-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | X線による検査方法及びx線検査装置 |
WO2000052972A1 (fr) * | 1999-03-02 | 2000-09-08 | Hamamatsu Photonics K.K. | Generateur de rayons x, installation de radiographie et systeme d'inspection aux rayons x |
JP2002005856A (ja) * | 2000-06-20 | 2002-01-09 | Anritsu Corp | X線異物検出装置 |
GB2370634A (en) * | 2000-09-04 | 2002-07-03 | Ishida Seisakusho | X-ray foreign matter detecting apparatus |
JP2004069575A (ja) * | 2002-08-08 | 2004-03-04 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | X線検査装置付き保安ゲート |
CN100360927C (zh) * | 2000-09-08 | 2008-01-09 | 株式会社石田 | X射线异物检查装置 |
JP2009503558A (ja) * | 2006-10-13 | 2009-01-29 | ヌクテック カンパニー リミテッド | 放射線ソースに用いられた制御ユニットとその制御方法及び放射線検査システムとその方法 |
JP2013122405A (ja) * | 2011-12-09 | 2013-06-20 | Yamaha Motor Co Ltd | X線検査装置 |
JP2015083991A (ja) * | 2009-02-25 | 2015-04-30 | シーエックスアール リミテッド | X線スキャナ |
JP2017053630A (ja) * | 2015-09-07 | 2017-03-16 | リョーエイ株式会社 | X線ct装置およびct検査方法 |
US9675306B2 (en) | 2003-04-25 | 2017-06-13 | Rapiscan Systems, Inc. | X-ray scanning system |
JP2018077091A (ja) * | 2016-11-08 | 2018-05-17 | アンリツインフィビス株式会社 | X線検査装置 |
JP2018124084A (ja) * | 2017-01-30 | 2018-08-09 | 日本信号株式会社 | X線検査装置及び手荷物検査装置 |
US10175381B2 (en) | 2003-04-25 | 2019-01-08 | Rapiscan Systems, Inc. | X-ray scanners having source points with less than a predefined variation in brightness |
US10295483B2 (en) | 2005-12-16 | 2019-05-21 | Rapiscan Systems, Inc. | Data collection, processing and storage systems for X-ray tomographic images |
US10591424B2 (en) | 2003-04-25 | 2020-03-17 | Rapiscan Systems, Inc. | X-ray tomographic inspection systems for the identification of specific target items |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3946609B2 (ja) * | 2002-10-03 | 2007-07-18 | 株式会社イシダ | X線検査装置 |
JP3946612B2 (ja) * | 2002-10-09 | 2007-07-18 | 株式会社イシダ | X線検査装置 |
-
1994
- 1994-12-27 JP JP32607994A patent/JP3011360B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11160487A (ja) * | 1997-11-27 | 1999-06-18 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | X線検査装置 |
JPH11304726A (ja) * | 1998-04-24 | 1999-11-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | X線による検査方法及びx線検査装置 |
US6816573B2 (en) | 1999-03-02 | 2004-11-09 | Hamamatsu Photonics K.K. | X-ray generating apparatus, X-ray imaging apparatus, and X-ray inspection system |
WO2000052972A1 (fr) * | 1999-03-02 | 2000-09-08 | Hamamatsu Photonics K.K. | Generateur de rayons x, installation de radiographie et systeme d'inspection aux rayons x |
JP2000252095A (ja) * | 1999-03-02 | 2000-09-14 | Hamamatsu Photonics Kk | X線発生装置、x線撮像装置及びx線検査システム |
KR100731455B1 (ko) * | 1999-03-02 | 2007-06-21 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | X선 발생 장치, x선 촬상 장치 및 x선 검사 시스템 |
JP2002005856A (ja) * | 2000-06-20 | 2002-01-09 | Anritsu Corp | X線異物検出装置 |
GB2370634B (en) * | 2000-09-04 | 2005-02-09 | Ishida Seisakusho | X-ray foreign matter detecting apparatus |
GB2370634A (en) * | 2000-09-04 | 2002-07-03 | Ishida Seisakusho | X-ray foreign matter detecting apparatus |
CN100360927C (zh) * | 2000-09-08 | 2008-01-09 | 株式会社石田 | X射线异物检查装置 |
JP2004069575A (ja) * | 2002-08-08 | 2004-03-04 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | X線検査装置付き保安ゲート |
US11796711B2 (en) | 2003-04-25 | 2023-10-24 | Rapiscan Systems, Inc. | Modular CT scanning system |
US10175381B2 (en) | 2003-04-25 | 2019-01-08 | Rapiscan Systems, Inc. | X-ray scanners having source points with less than a predefined variation in brightness |
US10901112B2 (en) | 2003-04-25 | 2021-01-26 | Rapiscan Systems, Inc. | X-ray scanning system with stationary x-ray sources |
US10591424B2 (en) | 2003-04-25 | 2020-03-17 | Rapiscan Systems, Inc. | X-ray tomographic inspection systems for the identification of specific target items |
US9675306B2 (en) | 2003-04-25 | 2017-06-13 | Rapiscan Systems, Inc. | X-ray scanning system |
US10976271B2 (en) | 2005-12-16 | 2021-04-13 | Rapiscan Systems, Inc. | Stationary tomographic X-ray imaging systems for automatically sorting objects based on generated tomographic images |
US10295483B2 (en) | 2005-12-16 | 2019-05-21 | Rapiscan Systems, Inc. | Data collection, processing and storage systems for X-ray tomographic images |
US7989770B2 (en) | 2006-10-13 | 2011-08-02 | Nuctech Company Limited | Control unit and control method for radiation source and radiation inspection system and method thereof |
JP2009503558A (ja) * | 2006-10-13 | 2009-01-29 | ヌクテック カンパニー リミテッド | 放射線ソースに用いられた制御ユニットとその制御方法及び放射線検査システムとその方法 |
JP2015083991A (ja) * | 2009-02-25 | 2015-04-30 | シーエックスアール リミテッド | X線スキャナ |
JP2013122405A (ja) * | 2011-12-09 | 2013-06-20 | Yamaha Motor Co Ltd | X線検査装置 |
JP2017053630A (ja) * | 2015-09-07 | 2017-03-16 | リョーエイ株式会社 | X線ct装置およびct検査方法 |
JP2018077091A (ja) * | 2016-11-08 | 2018-05-17 | アンリツインフィビス株式会社 | X線検査装置 |
JP2018124084A (ja) * | 2017-01-30 | 2018-08-09 | 日本信号株式会社 | X線検査装置及び手荷物検査装置 |
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