JPH08167178A - 光記録媒体用スタンパー原盤の製造方法 - Google Patents
光記録媒体用スタンパー原盤の製造方法Info
- Publication number
- JPH08167178A JPH08167178A JP30727294A JP30727294A JPH08167178A JP H08167178 A JPH08167178 A JP H08167178A JP 30727294 A JP30727294 A JP 30727294A JP 30727294 A JP30727294 A JP 30727294A JP H08167178 A JPH08167178 A JP H08167178A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin
- glass substrate
- porous glass
- vacuum
- stamper
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Heating, Cooling, Or Curing Plastics Or The Like In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 樹脂表面に気泡欠陥の全くないオリジナル型
の凹凸パターンを忠実に転写したスタンパー用原盤が得
られる製造方法を提供する。 【構成】 レプリカ作成時に多孔質ガラスを用い、か
つ、少なくとも多孔質ガラス面側を一定時間真空系に保
持した状態でレプリカ成形したことを特徴とする光記録
媒体用スタンパー原盤の製造方法。
の凹凸パターンを忠実に転写したスタンパー用原盤が得
られる製造方法を提供する。 【構成】 レプリカ作成時に多孔質ガラスを用い、か
つ、少なくとも多孔質ガラス面側を一定時間真空系に保
持した状態でレプリカ成形したことを特徴とする光記録
媒体用スタンパー原盤の製造方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光記録媒体用基板の製
造に用いるスタンパー用原盤の製造方法に関し、特にス
タンパー用原盤を作成する工程中の光硬化性樹脂（以
下、「２Ｐ」と略記する）によってオリジナル型から２
Ｐレプリカを製造する方法に関する。
造に用いるスタンパー用原盤の製造方法に関し、特にス
タンパー用原盤を作成する工程中の光硬化性樹脂（以
下、「２Ｐ」と略記する）によってオリジナル型から２
Ｐレプリカを製造する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、光記録媒体用スタンパー原盤
の一般的製造方法として、オリジナル型とレプリカ用基
板との少なくとも何れか一方に、２Ｐ樹脂を塗布または
滴下（以下、ディスペンスと称する）し、その後オリジ
ナル型とレプリカ用基板とを重ね合わせて２Ｐ樹脂を展
伸（以下、スプレッドと称する）し、その状態で少なく
とも何れか一方より光を照射し２Ｐ樹脂を硬化し、その
後オリジナル型とレプリカ用基板とを剥離して、基板上
に２Ｐ樹脂レプリカを転写製造していた。
の一般的製造方法として、オリジナル型とレプリカ用基
板との少なくとも何れか一方に、２Ｐ樹脂を塗布または
滴下（以下、ディスペンスと称する）し、その後オリジ
ナル型とレプリカ用基板とを重ね合わせて２Ｐ樹脂を展
伸（以下、スプレッドと称する）し、その状態で少なく
とも何れか一方より光を照射し２Ｐ樹脂を硬化し、その
後オリジナル型とレプリカ用基板とを剥離して、基板上
に２Ｐ樹脂レプリカを転写製造していた。
【０００３】図３（ａ）〜（ｃ）に、この従来の工程を
例示する。まず、オリジナル型１を固定板８に固定し、
オリジナル型１上に２Ｐ樹脂３を一定量ディスペンスす
る［図３（ａ）］。しかる後にガラス基板を重ね合わ
せ、２Ｐ樹脂３をオリジナル型１とガラス基板７の間全
面にスプレッドし、ガラス基板７上より紫外線光（ＵＶ
光）を照射し２Ｐ樹脂３を硬化させる［図３（ｂ）］。
その後、硬化した２Ｐ樹脂３をガラス基板７と共にオリ
ジナル型１から剥離することにより硬化２Ｐ樹脂３（２
Ｐレプリカ）を製造していた［図３（ｃ）］。
例示する。まず、オリジナル型１を固定板８に固定し、
オリジナル型１上に２Ｐ樹脂３を一定量ディスペンスす
る［図３（ａ）］。しかる後にガラス基板を重ね合わ
せ、２Ｐ樹脂３をオリジナル型１とガラス基板７の間全
面にスプレッドし、ガラス基板７上より紫外線光（ＵＶ
光）を照射し２Ｐ樹脂３を硬化させる［図３（ｂ）］。
その後、硬化した２Ｐ樹脂３をガラス基板７と共にオリ
ジナル型１から剥離することにより硬化２Ｐ樹脂３（２
Ｐレプリカ）を製造していた［図３（ｃ）］。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来法においては、重ね合わせ時やスプレッドの際
に、樹脂中に気泡が混入するという問題があった。
うな従来法においては、重ね合わせ時やスプレッドの際
に、樹脂中に気泡が混入するという問題があった。
【０００５】この問題を解決する技術として、特開昭６
１−２１３１３０号公報に記載のような、スプレッドを
真空中で行なう方法や、さらには特開平６−１６８４８
２号公報に記載のような、基板に２Ｐ樹脂注入口及び同
排出口を設け２Ｐ樹脂の注入を自重を利用して真空中で
行ない気泡混入を抑止する方法がある。
１−２１３１３０号公報に記載のような、スプレッドを
真空中で行なう方法や、さらには特開平６−１６８４８
２号公報に記載のような、基板に２Ｐ樹脂注入口及び同
排出口を設け２Ｐ樹脂の注入を自重を利用して真空中で
行ない気泡混入を抑止する方法がある。
【０００６】しかしながら、このように真空中で２Ｐ樹
脂をスプレッドまたは注入する場合、気圧低下に伴う泡
の発生が生じ、気泡混入が防げない場合がある。また、
紫外線硬化時の発熱により２Ｐ樹脂に含まれている水分
が泡となり、気泡欠陥の原因となる。
脂をスプレッドまたは注入する場合、気圧低下に伴う泡
の発生が生じ、気泡混入が防げない場合がある。また、
紫外線硬化時の発熱により２Ｐ樹脂に含まれている水分
が泡となり、気泡欠陥の原因となる。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、凹凸パ
ターンを有するオリジナル型と平坦な表面を有する基板
を対向し、オリジナル型と基板の間に２Ｐ樹脂を封入
し、光硬化させた後、オリジナル型と基板を剥離して基
板面にオリジナル型のレプリカを形成するスタンパー用
原盤の製造方法において、前記基板に多孔質ガラスを用
い、かつ、少なくとも多孔質ガラス面側を一定時間真空
系内に保持した状態で光硬化させることにより、２Ｐ樹
脂封入（注入）時に混入した気泡、あるいは２Ｐ樹脂に
含まれている水分が光硬化時の発熱により気化した泡
を、除去できる。完全に除去できないまでも、２Ｐ樹脂
／オリジナル型界面に存在する泡を２Ｐ樹脂／多孔質ガ
ラス基板界面方向へ移動させることができ、剥離後の２
Ｐ樹脂表面には、気泡欠陥の全くない、かつオリジナル
型の凹凸パターンを忠実に転写したスタンパー用原盤が
製造できる。
ターンを有するオリジナル型と平坦な表面を有する基板
を対向し、オリジナル型と基板の間に２Ｐ樹脂を封入
し、光硬化させた後、オリジナル型と基板を剥離して基
板面にオリジナル型のレプリカを形成するスタンパー用
原盤の製造方法において、前記基板に多孔質ガラスを用
い、かつ、少なくとも多孔質ガラス面側を一定時間真空
系内に保持した状態で光硬化させることにより、２Ｐ樹
脂封入（注入）時に混入した気泡、あるいは２Ｐ樹脂に
含まれている水分が光硬化時の発熱により気化した泡
を、除去できる。完全に除去できないまでも、２Ｐ樹脂
／オリジナル型界面に存在する泡を２Ｐ樹脂／多孔質ガ
ラス基板界面方向へ移動させることができ、剥離後の２
Ｐ樹脂表面には、気泡欠陥の全くない、かつオリジナル
型の凹凸パターンを忠実に転写したスタンパー用原盤が
製造できる。
【０００８】
【実施例】以下、図面を参照して本発明を詳細に説明す
る。 （実施例１）図１は本発明の特徴をよく表わす図であ
る。すなわち、凹凸パターン１’を有するガラス基板等
よりなるオリジナル型１と多孔質ガラス基板２の間に、
一定量の２Ｐ樹脂３を挟み込み、０．１Ｔｏｒｒ以下の
透明チャンバー４内に１時間以上放置したあと、２Ｐ樹
脂３をＵＶ硬化させるところである。ここで用いる多孔
質ガラス基板２は液状２Ｐ樹脂３に対しては透過性がな
く、かつガス透過性を有するものであればよい。これに
より、ＵＶ硬化後の２Ｐ樹脂表面（凹凸パターン面）に
は気泡欠陥の全くない、かつ、オリジナル型の凹凸パタ
ーンを正確に転写したスタンパー用原盤が製造できる。
る。 （実施例１）図１は本発明の特徴をよく表わす図であ
る。すなわち、凹凸パターン１’を有するガラス基板等
よりなるオリジナル型１と多孔質ガラス基板２の間に、
一定量の２Ｐ樹脂３を挟み込み、０．１Ｔｏｒｒ以下の
透明チャンバー４内に１時間以上放置したあと、２Ｐ樹
脂３をＵＶ硬化させるところである。ここで用いる多孔
質ガラス基板２は液状２Ｐ樹脂３に対しては透過性がな
く、かつガス透過性を有するものであればよい。これに
より、ＵＶ硬化後の２Ｐ樹脂表面（凹凸パターン面）に
は気泡欠陥の全くない、かつ、オリジナル型の凹凸パタ
ーンを正確に転写したスタンパー用原盤が製造できる。
【０００９】パターンエリアが２５０×２５０ｍｍであ
る３００×３００ｍｍ、厚み１０ｍｍのオリジナル型１
及び３４０×３４０ｍｍ、厚み１０ｍｍの多孔質ガラス
基板２（コーニング社製バイコール(R) 平均孔径４０オ
ングストローム）間に２Ｐ樹脂３（日本化薬社製、商品
名ＩＮＣ−１１８）をディスペンスし、オリジナル型１
と多孔質ガラス基板２を重ね合わせて２Ｐ樹脂３を延展
させた。尚、多硬質ガラス基板の孔径は１００オングス
トローム以下が好ましい。このようにして得られたオリ
ジナル型／未硬化２Ｐ樹脂／多孔質ガラス基板の積層体
を図１に示すように透明チャンバー４内に設置する。次
に排気口５から透明チャンバー４内の空気を排気し、内
部の圧力を０．１Ｔｏｒｒとし、その真空度で２時間保
持した。延展時に混入した気泡は完全に除去されてい
た。次に、上記の真空度を維持したまま、多孔質ガラス
基板側より紫外線を照射して２Ｐ樹脂を硬化させた。そ
の後、オリジナル型１と多孔質ガラス基板２を剥離した
ところ、２Ｐ樹脂３表面上には気泡が全くなく、オリジ
ナル型１の凹凸パターンを忠実に転写した２Ｐレプリカ
が得られた。真空度及び真空系内の放置時間は１Ｔｏｒ
ｒ以下１時間以上が好ましい。 （実施例２）実施例１と同様のオリジナル型１と、パタ
ーン有効エリア外に配置された注入口（φ１０ｍｍ）を
有する３４０×３４０ｍｍ、厚み１０ｍｍの多孔質ガラ
ス基板２（コーニング社製バイコール、平均孔径４０オ
ングストローム）を、厚さ８０μｍのスペーサ材６（ポ
リエチレンテレフタレートフィルム）を介して対向させ
た後、未硬化２Ｐ樹脂３を注入した。なお、スペーサ材
６はオリジナル型１の外周縁部に幅５ｍｍで配置した。
このようにして得られたオリジナル型／未硬化２Ｐ樹脂
／多孔質ガラス基板の積層体を図２に示すように、多孔
質ガラス基板側を真空系に保持できるように設置する。
次に排気口５から透明チャンバー４内の空気を排気し、
内部の圧力を０．１Ｔｏｒｒとし、その真空度で２時間
保持した。注入時に混入した気泡は完全に除去されてい
た。次に、上記の真空度を維持したまま、多孔質ガラス
基板側より紫外線を照射して２Ｐ樹脂３を硬化させた。
その後、オリジナル型１と多孔質ガラス基板２を剥離し
たところ、２Ｐ樹脂表面上には気泡が全くなく、オリジ
ナル型の凹凸パターンを忠実に転写した２Ｐレプリカが
得られた。
る３００×３００ｍｍ、厚み１０ｍｍのオリジナル型１
及び３４０×３４０ｍｍ、厚み１０ｍｍの多孔質ガラス
基板２（コーニング社製バイコール(R) 平均孔径４０オ
ングストローム）間に２Ｐ樹脂３（日本化薬社製、商品
名ＩＮＣ−１１８）をディスペンスし、オリジナル型１
と多孔質ガラス基板２を重ね合わせて２Ｐ樹脂３を延展
させた。尚、多硬質ガラス基板の孔径は１００オングス
トローム以下が好ましい。このようにして得られたオリ
ジナル型／未硬化２Ｐ樹脂／多孔質ガラス基板の積層体
を図１に示すように透明チャンバー４内に設置する。次
に排気口５から透明チャンバー４内の空気を排気し、内
部の圧力を０．１Ｔｏｒｒとし、その真空度で２時間保
持した。延展時に混入した気泡は完全に除去されてい
た。次に、上記の真空度を維持したまま、多孔質ガラス
基板側より紫外線を照射して２Ｐ樹脂を硬化させた。そ
の後、オリジナル型１と多孔質ガラス基板２を剥離した
ところ、２Ｐ樹脂３表面上には気泡が全くなく、オリジ
ナル型１の凹凸パターンを忠実に転写した２Ｐレプリカ
が得られた。真空度及び真空系内の放置時間は１Ｔｏｒ
ｒ以下１時間以上が好ましい。 （実施例２）実施例１と同様のオリジナル型１と、パタ
ーン有効エリア外に配置された注入口（φ１０ｍｍ）を
有する３４０×３４０ｍｍ、厚み１０ｍｍの多孔質ガラ
ス基板２（コーニング社製バイコール、平均孔径４０オ
ングストローム）を、厚さ８０μｍのスペーサ材６（ポ
リエチレンテレフタレートフィルム）を介して対向させ
た後、未硬化２Ｐ樹脂３を注入した。なお、スペーサ材
６はオリジナル型１の外周縁部に幅５ｍｍで配置した。
このようにして得られたオリジナル型／未硬化２Ｐ樹脂
／多孔質ガラス基板の積層体を図２に示すように、多孔
質ガラス基板側を真空系に保持できるように設置する。
次に排気口５から透明チャンバー４内の空気を排気し、
内部の圧力を０．１Ｔｏｒｒとし、その真空度で２時間
保持した。注入時に混入した気泡は完全に除去されてい
た。次に、上記の真空度を維持したまま、多孔質ガラス
基板側より紫外線を照射して２Ｐ樹脂３を硬化させた。
その後、オリジナル型１と多孔質ガラス基板２を剥離し
たところ、２Ｐ樹脂表面上には気泡が全くなく、オリジ
ナル型の凹凸パターンを忠実に転写した２Ｐレプリカが
得られた。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
オリジナル型と多孔質ガラス基板の間に未硬化２Ｐ樹脂
を封入したあと、少なくとも多孔質ガラス基板側を真空
系内に一定時間保持することによって、２Ｐ樹脂封入時
に混入した気泡を取り除くことができ、かつ、真空状態
で２Ｐ樹脂を硬化することにより、硬化時の発熱で発生
する泡を除去あるいはオリジナル型／２Ｐ樹脂界面での
泡の残存を防止できる。それゆえ、ＵＶ硬化後の２Ｐ樹
脂表面には、気泡欠陥の全くない、オリジナル型の凹凸
パターンを忠実に転写した２Ｐレプリカが得られる効果
がある。
オリジナル型と多孔質ガラス基板の間に未硬化２Ｐ樹脂
を封入したあと、少なくとも多孔質ガラス基板側を真空
系内に一定時間保持することによって、２Ｐ樹脂封入時
に混入した気泡を取り除くことができ、かつ、真空状態
で２Ｐ樹脂を硬化することにより、硬化時の発熱で発生
する泡を除去あるいはオリジナル型／２Ｐ樹脂界面での
泡の残存を防止できる。それゆえ、ＵＶ硬化後の２Ｐ樹
脂表面には、気泡欠陥の全くない、オリジナル型の凹凸
パターンを忠実に転写した２Ｐレプリカが得られる効果
がある。
【図１】実施例１における製造方法を示す説明図。
【図２】実施例２における製造方法を示す説明図。
【図３】従来例における製造方法を示す説明図。
１ オリジナル型 １’ 凹凸パターン ２ 多孔質ガラス基板 ３ ２Ｐ樹脂 ４ 透明チャンバー ５ 排気口 ６ スペーサ材 ７ ガラス基板 ８ 固定板 ９ 気泡
Claims (1)
- 【請求項１】 プリフォーマットを有するオリジナル型
のレプリカを作製し、これに電鋳してスタンパーを製造
する工程において、該レプリカの作製時に多孔質ガラス
を用い、かつ少なくとも多孔質ガラス面側を一定時間真
空系内に保持した状態でレプリカ成形したことを特徴と
する光記録媒体用スタンパー原盤の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30727294A JPH08167178A (ja) | 1994-12-12 | 1994-12-12 | 光記録媒体用スタンパー原盤の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30727294A JPH08167178A (ja) | 1994-12-12 | 1994-12-12 | 光記録媒体用スタンパー原盤の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08167178A true JPH08167178A (ja) | 1996-06-25 |
Family
ID=17967130
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30727294A Pending JPH08167178A (ja) | 1994-12-12 | 1994-12-12 | 光記録媒体用スタンパー原盤の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08167178A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8007867B2 (en) | 2005-08-30 | 2011-08-30 | Panasonic Corporation | Multilayered information recording medium and process for producing said multilayered information recording medium, and apparatus for producing multilayered information recording medium and screen constituting said production apparatus for producing multilayered information recording medium |
| JP2015026847A (ja) * | 2014-09-10 | 2015-02-05 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および、物品の製造方法 |
-
1994
- 1994-12-12 JP JP30727294A patent/JPH08167178A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8007867B2 (en) | 2005-08-30 | 2011-08-30 | Panasonic Corporation | Multilayered information recording medium and process for producing said multilayered information recording medium, and apparatus for producing multilayered information recording medium and screen constituting said production apparatus for producing multilayered information recording medium |
| JP2015026847A (ja) * | 2014-09-10 | 2015-02-05 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および、物品の製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101020634B1 (ko) | 기능성 나노패턴을 갖는 렌즈의 제조방법 | |
| JP2000194142A (ja) | パタ―ン形成方法及び半導体装置の製造方法 | |
| JP2006337985A (ja) | ハイサグレンズの製作方法及びこれを利用し製作されたレンズ | |
| US5281372A (en) | Process for producing resin moldings having a concave-convex pattern on the surface | |
| JPH02126434A (ja) | 光デイスク基板成形方法 | |
| KR100230244B1 (ko) | 다층 광 기록 매체의 제조방법 및 그 장치 | |
| EP0189905B1 (en) | Method of manufacturing recording discs | |
| JPH08167178A (ja) | 光記録媒体用スタンパー原盤の製造方法 | |
| JP2001126322A (ja) | 情報記録媒体用基板の製造方法 | |
| JPH08171744A (ja) | 光記録媒体用スタンパー原盤の製造方法 | |
| JP2006119423A (ja) | 複合型光学素子及びその製造方法 | |
| JPS59232826A (ja) | 光デイスク用基板の製造方法 | |
| JPH03225646A (ja) | スタンパの製造方法 | |
| JP3005109B2 (ja) | 表面に凹凸パターンを有する樹脂成形品の製造方法、スタンパ用原盤の製造方法、及び樹脂成形品の製造装置 | |
| JPH08180473A (ja) | 光記録媒体用スタンパー原盤の製造方法 | |
| JP2513386B2 (ja) | パタ―ン転写方法 | |
| JPH08161774A (ja) | 光記録媒体用スタンパー原盤の製造方法 | |
| JPH04339335A (ja) | 光ディスク基板の製造方法及び光ディスク基板 | |
| JPH01107338A (ja) | 光デイスク用スタンパの作製方法 | |
| JP2003084134A (ja) | 偏光分離素子の作製方法 | |
| JPH0744899A (ja) | 光記録媒体用スタンパー原盤の製造方法 | |
| JPH01251449A (ja) | 光ディスク基板の製造法 | |
| JPH0559615U (ja) | 透明スタンパ | |
| JPH06168482A (ja) | 光記録媒体用スタンパー原盤の製造方法 | |
| JPH08180469A (ja) | 光記録媒体用スタンパ原盤の製造方法 |