JPH08167178A - 光記録媒体用スタンパー原盤の製造方法 - Google Patents
光記録媒体用スタンパー原盤の製造方法Info
- Publication number
- JPH08167178A JPH08167178A JP30727294A JP30727294A JPH08167178A JP H08167178 A JPH08167178 A JP H08167178A JP 30727294 A JP30727294 A JP 30727294A JP 30727294 A JP30727294 A JP 30727294A JP H08167178 A JPH08167178 A JP H08167178A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin
- glass substrate
- porous glass
- vacuum
- stamper
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Heating, Cooling, Or Curing Plastics Or The Like In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 樹脂表面に気泡欠陥の全くないオリジナル型
の凹凸パターンを忠実に転写したスタンパー用原盤が得
られる製造方法を提供する。 【構成】 レプリカ作成時に多孔質ガラスを用い、か
つ、少なくとも多孔質ガラス面側を一定時間真空系に保
持した状態でレプリカ成形したことを特徴とする光記録
媒体用スタンパー原盤の製造方法。
の凹凸パターンを忠実に転写したスタンパー用原盤が得
られる製造方法を提供する。 【構成】 レプリカ作成時に多孔質ガラスを用い、か
つ、少なくとも多孔質ガラス面側を一定時間真空系に保
持した状態でレプリカ成形したことを特徴とする光記録
媒体用スタンパー原盤の製造方法。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光記録媒体用基板の製
造に用いるスタンパー用原盤の製造方法に関し、特にス
タンパー用原盤を作成する工程中の光硬化性樹脂(以
下、「2P」と略記する)によってオリジナル型から2
Pレプリカを製造する方法に関する。
造に用いるスタンパー用原盤の製造方法に関し、特にス
タンパー用原盤を作成する工程中の光硬化性樹脂(以
下、「2P」と略記する)によってオリジナル型から2
Pレプリカを製造する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、光記録媒体用スタンパー原盤
の一般的製造方法として、オリジナル型とレプリカ用基
板との少なくとも何れか一方に、2P樹脂を塗布または
滴下(以下、ディスペンスと称する)し、その後オリジ
ナル型とレプリカ用基板とを重ね合わせて2P樹脂を展
伸(以下、スプレッドと称する)し、その状態で少なく
とも何れか一方より光を照射し2P樹脂を硬化し、その
後オリジナル型とレプリカ用基板とを剥離して、基板上
に2P樹脂レプリカを転写製造していた。
の一般的製造方法として、オリジナル型とレプリカ用基
板との少なくとも何れか一方に、2P樹脂を塗布または
滴下(以下、ディスペンスと称する)し、その後オリジ
ナル型とレプリカ用基板とを重ね合わせて2P樹脂を展
伸(以下、スプレッドと称する)し、その状態で少なく
とも何れか一方より光を照射し2P樹脂を硬化し、その
後オリジナル型とレプリカ用基板とを剥離して、基板上
に2P樹脂レプリカを転写製造していた。
【0003】図3(a)〜(c)に、この従来の工程を
例示する。まず、オリジナル型1を固定板8に固定し、
オリジナル型1上に2P樹脂3を一定量ディスペンスす
る[図3(a)]。しかる後にガラス基板を重ね合わ
せ、2P樹脂3をオリジナル型1とガラス基板7の間全
面にスプレッドし、ガラス基板7上より紫外線光(UV
光)を照射し2P樹脂3を硬化させる[図3(b)]。
その後、硬化した2P樹脂3をガラス基板7と共にオリ
ジナル型1から剥離することにより硬化2P樹脂3(2
Pレプリカ)を製造していた[図3(c)]。
例示する。まず、オリジナル型1を固定板8に固定し、
オリジナル型1上に2P樹脂3を一定量ディスペンスす
る[図3(a)]。しかる後にガラス基板を重ね合わ
せ、2P樹脂3をオリジナル型1とガラス基板7の間全
面にスプレッドし、ガラス基板7上より紫外線光(UV
光)を照射し2P樹脂3を硬化させる[図3(b)]。
その後、硬化した2P樹脂3をガラス基板7と共にオリ
ジナル型1から剥離することにより硬化2P樹脂3(2
Pレプリカ)を製造していた[図3(c)]。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来法においては、重ね合わせ時やスプレッドの際
に、樹脂中に気泡が混入するという問題があった。
うな従来法においては、重ね合わせ時やスプレッドの際
に、樹脂中に気泡が混入するという問題があった。
【0005】この問題を解決する技術として、特開昭6
1−213130号公報に記載のような、スプレッドを
真空中で行なう方法や、さらには特開平6−16848
2号公報に記載のような、基板に2P樹脂注入口及び同
排出口を設け2P樹脂の注入を自重を利用して真空中で
行ない気泡混入を抑止する方法がある。
1−213130号公報に記載のような、スプレッドを
真空中で行なう方法や、さらには特開平6−16848
2号公報に記載のような、基板に2P樹脂注入口及び同
排出口を設け2P樹脂の注入を自重を利用して真空中で
行ない気泡混入を抑止する方法がある。
【0006】しかしながら、このように真空中で2P樹
脂をスプレッドまたは注入する場合、気圧低下に伴う泡
の発生が生じ、気泡混入が防げない場合がある。また、
紫外線硬化時の発熱により2P樹脂に含まれている水分
が泡となり、気泡欠陥の原因となる。
脂をスプレッドまたは注入する場合、気圧低下に伴う泡
の発生が生じ、気泡混入が防げない場合がある。また、
紫外線硬化時の発熱により2P樹脂に含まれている水分
が泡となり、気泡欠陥の原因となる。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、凹凸パ
ターンを有するオリジナル型と平坦な表面を有する基板
を対向し、オリジナル型と基板の間に2P樹脂を封入
し、光硬化させた後、オリジナル型と基板を剥離して基
板面にオリジナル型のレプリカを形成するスタンパー用
原盤の製造方法において、前記基板に多孔質ガラスを用
い、かつ、少なくとも多孔質ガラス面側を一定時間真空
系内に保持した状態で光硬化させることにより、2P樹
脂封入(注入)時に混入した気泡、あるいは2P樹脂に
含まれている水分が光硬化時の発熱により気化した泡
を、除去できる。完全に除去できないまでも、2P樹脂
/オリジナル型界面に存在する泡を2P樹脂/多孔質ガ
ラス基板界面方向へ移動させることができ、剥離後の2
P樹脂表面には、気泡欠陥の全くない、かつオリジナル
型の凹凸パターンを忠実に転写したスタンパー用原盤が
製造できる。
ターンを有するオリジナル型と平坦な表面を有する基板
を対向し、オリジナル型と基板の間に2P樹脂を封入
し、光硬化させた後、オリジナル型と基板を剥離して基
板面にオリジナル型のレプリカを形成するスタンパー用
原盤の製造方法において、前記基板に多孔質ガラスを用
い、かつ、少なくとも多孔質ガラス面側を一定時間真空
系内に保持した状態で光硬化させることにより、2P樹
脂封入(注入)時に混入した気泡、あるいは2P樹脂に
含まれている水分が光硬化時の発熱により気化した泡
を、除去できる。完全に除去できないまでも、2P樹脂
/オリジナル型界面に存在する泡を2P樹脂/多孔質ガ
ラス基板界面方向へ移動させることができ、剥離後の2
P樹脂表面には、気泡欠陥の全くない、かつオリジナル
型の凹凸パターンを忠実に転写したスタンパー用原盤が
製造できる。
【0008】
【実施例】以下、図面を参照して本発明を詳細に説明す
る。 (実施例1)図1は本発明の特徴をよく表わす図であ
る。すなわち、凹凸パターン1’を有するガラス基板等
よりなるオリジナル型1と多孔質ガラス基板2の間に、
一定量の2P樹脂3を挟み込み、0.1Torr以下の
透明チャンバー4内に1時間以上放置したあと、2P樹
脂3をUV硬化させるところである。ここで用いる多孔
質ガラス基板2は液状2P樹脂3に対しては透過性がな
く、かつガス透過性を有するものであればよい。これに
より、UV硬化後の2P樹脂表面(凹凸パターン面)に
は気泡欠陥の全くない、かつ、オリジナル型の凹凸パタ
ーンを正確に転写したスタンパー用原盤が製造できる。
る。 (実施例1)図1は本発明の特徴をよく表わす図であ
る。すなわち、凹凸パターン1’を有するガラス基板等
よりなるオリジナル型1と多孔質ガラス基板2の間に、
一定量の2P樹脂3を挟み込み、0.1Torr以下の
透明チャンバー4内に1時間以上放置したあと、2P樹
脂3をUV硬化させるところである。ここで用いる多孔
質ガラス基板2は液状2P樹脂3に対しては透過性がな
く、かつガス透過性を有するものであればよい。これに
より、UV硬化後の2P樹脂表面(凹凸パターン面)に
は気泡欠陥の全くない、かつ、オリジナル型の凹凸パタ
ーンを正確に転写したスタンパー用原盤が製造できる。
【0009】パターンエリアが250×250mmであ
る300×300mm、厚み10mmのオリジナル型1
及び340×340mm、厚み10mmの多孔質ガラス
基板2(コーニング社製バイコール(R) 平均孔径40オ
ングストローム)間に2P樹脂3(日本化薬社製、商品
名INC−118)をディスペンスし、オリジナル型1
と多孔質ガラス基板2を重ね合わせて2P樹脂3を延展
させた。尚、多硬質ガラス基板の孔径は100オングス
トローム以下が好ましい。このようにして得られたオリ
ジナル型/未硬化2P樹脂/多孔質ガラス基板の積層体
を図1に示すように透明チャンバー4内に設置する。次
に排気口5から透明チャンバー4内の空気を排気し、内
部の圧力を0.1Torrとし、その真空度で2時間保
持した。延展時に混入した気泡は完全に除去されてい
た。次に、上記の真空度を維持したまま、多孔質ガラス
基板側より紫外線を照射して2P樹脂を硬化させた。そ
の後、オリジナル型1と多孔質ガラス基板2を剥離した
ところ、2P樹脂3表面上には気泡が全くなく、オリジ
ナル型1の凹凸パターンを忠実に転写した2Pレプリカ
が得られた。真空度及び真空系内の放置時間は1Tor
r以下1時間以上が好ましい。 (実施例2)実施例1と同様のオリジナル型1と、パタ
ーン有効エリア外に配置された注入口(φ10mm)を
有する340×340mm、厚み10mmの多孔質ガラ
ス基板2(コーニング社製バイコール、平均孔径40オ
ングストローム)を、厚さ80μmのスペーサ材6(ポ
リエチレンテレフタレートフィルム)を介して対向させ
た後、未硬化2P樹脂3を注入した。なお、スペーサ材
6はオリジナル型1の外周縁部に幅5mmで配置した。
このようにして得られたオリジナル型/未硬化2P樹脂
/多孔質ガラス基板の積層体を図2に示すように、多孔
質ガラス基板側を真空系に保持できるように設置する。
次に排気口5から透明チャンバー4内の空気を排気し、
内部の圧力を0.1Torrとし、その真空度で2時間
保持した。注入時に混入した気泡は完全に除去されてい
た。次に、上記の真空度を維持したまま、多孔質ガラス
基板側より紫外線を照射して2P樹脂3を硬化させた。
その後、オリジナル型1と多孔質ガラス基板2を剥離し
たところ、2P樹脂表面上には気泡が全くなく、オリジ
ナル型の凹凸パターンを忠実に転写した2Pレプリカが
得られた。
る300×300mm、厚み10mmのオリジナル型1
及び340×340mm、厚み10mmの多孔質ガラス
基板2(コーニング社製バイコール(R) 平均孔径40オ
ングストローム)間に2P樹脂3(日本化薬社製、商品
名INC−118)をディスペンスし、オリジナル型1
と多孔質ガラス基板2を重ね合わせて2P樹脂3を延展
させた。尚、多硬質ガラス基板の孔径は100オングス
トローム以下が好ましい。このようにして得られたオリ
ジナル型/未硬化2P樹脂/多孔質ガラス基板の積層体
を図1に示すように透明チャンバー4内に設置する。次
に排気口5から透明チャンバー4内の空気を排気し、内
部の圧力を0.1Torrとし、その真空度で2時間保
持した。延展時に混入した気泡は完全に除去されてい
た。次に、上記の真空度を維持したまま、多孔質ガラス
基板側より紫外線を照射して2P樹脂を硬化させた。そ
の後、オリジナル型1と多孔質ガラス基板2を剥離した
ところ、2P樹脂3表面上には気泡が全くなく、オリジ
ナル型1の凹凸パターンを忠実に転写した2Pレプリカ
が得られた。真空度及び真空系内の放置時間は1Tor
r以下1時間以上が好ましい。 (実施例2)実施例1と同様のオリジナル型1と、パタ
ーン有効エリア外に配置された注入口(φ10mm)を
有する340×340mm、厚み10mmの多孔質ガラ
ス基板2(コーニング社製バイコール、平均孔径40オ
ングストローム)を、厚さ80μmのスペーサ材6(ポ
リエチレンテレフタレートフィルム)を介して対向させ
た後、未硬化2P樹脂3を注入した。なお、スペーサ材
6はオリジナル型1の外周縁部に幅5mmで配置した。
このようにして得られたオリジナル型/未硬化2P樹脂
/多孔質ガラス基板の積層体を図2に示すように、多孔
質ガラス基板側を真空系に保持できるように設置する。
次に排気口5から透明チャンバー4内の空気を排気し、
内部の圧力を0.1Torrとし、その真空度で2時間
保持した。注入時に混入した気泡は完全に除去されてい
た。次に、上記の真空度を維持したまま、多孔質ガラス
基板側より紫外線を照射して2P樹脂3を硬化させた。
その後、オリジナル型1と多孔質ガラス基板2を剥離し
たところ、2P樹脂表面上には気泡が全くなく、オリジ
ナル型の凹凸パターンを忠実に転写した2Pレプリカが
得られた。
【0010】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
オリジナル型と多孔質ガラス基板の間に未硬化2P樹脂
を封入したあと、少なくとも多孔質ガラス基板側を真空
系内に一定時間保持することによって、2P樹脂封入時
に混入した気泡を取り除くことができ、かつ、真空状態
で2P樹脂を硬化することにより、硬化時の発熱で発生
する泡を除去あるいはオリジナル型/2P樹脂界面での
泡の残存を防止できる。それゆえ、UV硬化後の2P樹
脂表面には、気泡欠陥の全くない、オリジナル型の凹凸
パターンを忠実に転写した2Pレプリカが得られる効果
がある。
オリジナル型と多孔質ガラス基板の間に未硬化2P樹脂
を封入したあと、少なくとも多孔質ガラス基板側を真空
系内に一定時間保持することによって、2P樹脂封入時
に混入した気泡を取り除くことができ、かつ、真空状態
で2P樹脂を硬化することにより、硬化時の発熱で発生
する泡を除去あるいはオリジナル型/2P樹脂界面での
泡の残存を防止できる。それゆえ、UV硬化後の2P樹
脂表面には、気泡欠陥の全くない、オリジナル型の凹凸
パターンを忠実に転写した2Pレプリカが得られる効果
がある。
【図1】実施例1における製造方法を示す説明図。
【図2】実施例2における製造方法を示す説明図。
【図3】従来例における製造方法を示す説明図。
1 オリジナル型 1’ 凹凸パターン 2 多孔質ガラス基板 3 2P樹脂 4 透明チャンバー 5 排気口 6 スペーサ材 7 ガラス基板 8 固定板 9 気泡
Claims (1)
- 【請求項1】 プリフォーマットを有するオリジナル型
のレプリカを作製し、これに電鋳してスタンパーを製造
する工程において、該レプリカの作製時に多孔質ガラス
を用い、かつ少なくとも多孔質ガラス面側を一定時間真
空系内に保持した状態でレプリカ成形したことを特徴と
する光記録媒体用スタンパー原盤の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30727294A JPH08167178A (ja) | 1994-12-12 | 1994-12-12 | 光記録媒体用スタンパー原盤の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30727294A JPH08167178A (ja) | 1994-12-12 | 1994-12-12 | 光記録媒体用スタンパー原盤の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08167178A true JPH08167178A (ja) | 1996-06-25 |
Family
ID=17967130
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30727294A Pending JPH08167178A (ja) | 1994-12-12 | 1994-12-12 | 光記録媒体用スタンパー原盤の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08167178A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8007867B2 (en) | 2005-08-30 | 2011-08-30 | Panasonic Corporation | Multilayered information recording medium and process for producing said multilayered information recording medium, and apparatus for producing multilayered information recording medium and screen constituting said production apparatus for producing multilayered information recording medium |
JP2015026847A (ja) * | 2014-09-10 | 2015-02-05 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および、物品の製造方法 |
-
1994
- 1994-12-12 JP JP30727294A patent/JPH08167178A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8007867B2 (en) | 2005-08-30 | 2011-08-30 | Panasonic Corporation | Multilayered information recording medium and process for producing said multilayered information recording medium, and apparatus for producing multilayered information recording medium and screen constituting said production apparatus for producing multilayered information recording medium |
JP2015026847A (ja) * | 2014-09-10 | 2015-02-05 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および、物品の製造方法 |
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