JPH08166439A - 超音波センサを備えた検出装置 - Google Patents
超音波センサを備えた検出装置Info
- Publication number
- JPH08166439A JPH08166439A JP6333911A JP33391194A JPH08166439A JP H08166439 A JPH08166439 A JP H08166439A JP 6333911 A JP6333911 A JP 6333911A JP 33391194 A JP33391194 A JP 33391194A JP H08166439 A JPH08166439 A JP H08166439A
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- JP
- Japan
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- circuit
- coaxial cable
- ultrasonic element
- drive
- ultrasonic
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- Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Measurement Of Velocity Or Position Using Acoustic Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 発振回路を含むドライブ側の回路に同軸ケー
ブルを介して超音波素子を接続した検出装置において、
同軸ケーブルの長さにかかわらず安定した動作と良好な
検出感度を得る。 【構成】 同軸ケーブルの長さを変えた場合にも、同軸
ケーブルおよび超音波素子を含む負荷側の回路のインピ
ーダンスが一定となる周波数に、ドライブ側の回路の駆
動周波数を設定した。
ブルを介して超音波素子を接続した検出装置において、
同軸ケーブルの長さにかかわらず安定した動作と良好な
検出感度を得る。 【構成】 同軸ケーブルの長さを変えた場合にも、同軸
ケーブルおよび超音波素子を含む負荷側の回路のインピ
ーダンスが一定となる周波数に、ドライブ側の回路の駆
動周波数を設定した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、たとえば超音波パルス
を対象物に送波し、対象物からの反射波を受波する超音
波センサを備えた検出装置に関するものである。
を対象物に送波し、対象物からの反射波を受波する超音
波センサを備えた検出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、超音波センサとしては、圧電
素子などの超音波素子をインパルスまたは定電流を用い
て高周波駆動するようにしたものが知られている。ま
た、超音波素子にインダクタを直列に接続して直列共振
系を構成し、それにより、送受信効率を高めたものも知
られている（たとえば、特開昭６１−２２０５９１号公
報参照）。
素子などの超音波素子をインパルスまたは定電流を用い
て高周波駆動するようにしたものが知られている。ま
た、超音波素子にインダクタを直列に接続して直列共振
系を構成し、それにより、送受信効率を高めたものも知
られている（たとえば、特開昭６１−２２０５９１号公
報参照）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、医療用の超
音波診断装置などでは、超音波素子とドライブ側の回路
とを接続する同軸ケーブルの長さが短く、かつ、一定で
あるのに対し、工場の貯蔵タンクなどの液面レベル計な
どでは、同軸ケーブルの長さが長く、また、工場や現場
の状況により、同軸ケーブルの長さをその都度変える必
要がある。
音波診断装置などでは、超音波素子とドライブ側の回路
とを接続する同軸ケーブルの長さが短く、かつ、一定で
あるのに対し、工場の貯蔵タンクなどの液面レベル計な
どでは、同軸ケーブルの長さが長く、また、工場や現場
の状況により、同軸ケーブルの長さをその都度変える必
要がある。
【０００４】ここで、超音波素子を定電流で駆動する場
合、同軸ケーブルが電気的に静電容量となるため、同軸
ケーブルが長くなると、超音波素子に供給される電流が
減少し、振幅が小さくなって検出感度が低下する。
合、同軸ケーブルが電気的に静電容量となるため、同軸
ケーブルが長くなると、超音波素子に供給される電流が
減少し、振幅が小さくなって検出感度が低下する。
【０００５】一方、直列共振系で超音波素子を駆動する
場合は、インダクタと超音波素子の電極間静電容量およ
び同軸ケーブルの容量を考慮して、超音波素子の固有振
動数に合致する共振周波数を設定している。しかし、か
かる共振系では、同軸ケーブルの長さが変わることによ
り、回路全体の容量が変化するのに伴い、回路のインピ
ーダンスが大きく変化するので、共振点を外れてしま
い、超音波素子が振動しなくなる。
場合は、インダクタと超音波素子の電極間静電容量およ
び同軸ケーブルの容量を考慮して、超音波素子の固有振
動数に合致する共振周波数を設定している。しかし、か
かる共振系では、同軸ケーブルの長さが変わることによ
り、回路全体の容量が変化するのに伴い、回路のインピ
ーダンスが大きく変化するので、共振点を外れてしま
い、超音波素子が振動しなくなる。
【０００６】本発明は上記従来の問題点に鑑みてなされ
たもので、その目的は、同軸ケーブルを介して超音波素
子とドライブ側の回路を接続した超音波センサを備えた
検出装置において、同軸ケーブルの長さにかかわらず安
定した動作を得ることである。
たもので、その目的は、同軸ケーブルを介して超音波素
子とドライブ側の回路を接続した超音波センサを備えた
検出装置において、同軸ケーブルの長さにかかわらず安
定した動作を得ることである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、同軸ケーブルの長さを変えた場合にも、
同軸ケーブルおよび超音波素子を含む負荷側の回路のイ
ンピーダンスが一定となる周波数に、ドライブ側の回路
の駆動周波数が設定されている。
に、本発明は、同軸ケーブルの長さを変えた場合にも、
同軸ケーブルおよび超音波素子を含む負荷側の回路のイ
ンピーダンスが一定となる周波数に、ドライブ側の回路
の駆動周波数が設定されている。
【０００８】
【作用】つぎに、本発明の原理について説明する。図６
は、超音波素子に同軸ケーブルを接続した場合におい
て、同軸ケーブルの長さＬａを変化させて、駆動周波数
に対するインピーダンスＺの変化を実験により得た値を
示す。ここで、図５に示すように、同軸ケーブル３の容
量Ｃ２は、超音波素子１の容量Ｃ１と並列に接続される
ことになるから、Ｃ成分に対してＬ成分の割合が増加す
るため、同軸ケーブル３の長さＬａを長くすると、負荷
側の回路全体１３のインピーダンスＺは、図６に示すよ
うに、一般に小さくなる。しかし、本発明者は、特定の
周波数ｆａにおいては、同軸ケーブル３の長さＬａを変
えても、インピーダンスＺａが変化しないことを発見
し、本発明を完成した。このインピーダンスＺａが変化
しない理由は、同軸ケーブル３にも、抵抗Ｒ２やインダ
クタＬ２が直列に入っていると見なすことができるから
であると推測される。
は、超音波素子に同軸ケーブルを接続した場合におい
て、同軸ケーブルの長さＬａを変化させて、駆動周波数
に対するインピーダンスＺの変化を実験により得た値を
示す。ここで、図５に示すように、同軸ケーブル３の容
量Ｃ２は、超音波素子１の容量Ｃ１と並列に接続される
ことになるから、Ｃ成分に対してＬ成分の割合が増加す
るため、同軸ケーブル３の長さＬａを長くすると、負荷
側の回路全体１３のインピーダンスＺは、図６に示すよ
うに、一般に小さくなる。しかし、本発明者は、特定の
周波数ｆａにおいては、同軸ケーブル３の長さＬａを変
えても、インピーダンスＺａが変化しないことを発見
し、本発明を完成した。このインピーダンスＺａが変化
しない理由は、同軸ケーブル３にも、抵抗Ｒ２やインダ
クタＬ２が直列に入っていると見なすことができるから
であると推測される。
【０００９】本発明では、同軸ケーブル３の長さＬａが
変化しても、負荷側の回路のインピーダンスが一定とな
るから、たとえば定電圧駆動することにより、超音波素
子１への供給電流を一定にすることができる。
変化しても、負荷側の回路のインピーダンスが一定とな
るから、たとえば定電圧駆動することにより、超音波素
子１への供給電流を一定にすることができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面にしたがって説
明する。本実施例では、液面レベル計に適用した場合に
ついて説明する。図１に示すように、食料用液体６の貯
蔵タンク５の外壁面には、２個の超音波素子１1 ，１2
が取り付けられている。上部の超音波素子１1 は液面の
上限レベル位置に、下部の超音波素子１2 は液面の下限
レベル位置にそれぞれ取り付けてある。
明する。本実施例では、液面レベル計に適用した場合に
ついて説明する。図１に示すように、食料用液体６の貯
蔵タンク５の外壁面には、２個の超音波素子１1 ，１2
が取り付けられている。上部の超音波素子１1 は液面の
上限レベル位置に、下部の超音波素子１2 は液面の下限
レベル位置にそれぞれ取り付けてある。
【００１１】図３において、超音波素子１は同軸ケーブ
ル３を介してドライブ側の回路２に接続されている。ド
ライブ側の回路２は、発振回路２１およびドライブ回路
２２からなる送信系と、受信回路２３、検波回路２４、
信号処理回路２５および出力回路２６からなる受信系と
を備えている。発振回路２１は、超音波素子１の固有振
動数と同じ周波数の発振信号ａをドライブ回路２２に出
力する。このドライブ回路２２の駆動周波数は、図６の
ように、同軸ケーブル３の長さＬａが変化した場合に
も、同軸ケーブル３および超音波素子１を含む負荷側の
回路１３（図３）のインピーダンスＺが一定Ｚａとなる
周波数ｆａに設定されている。
ル３を介してドライブ側の回路２に接続されている。ド
ライブ側の回路２は、発振回路２１およびドライブ回路
２２からなる送信系と、受信回路２３、検波回路２４、
信号処理回路２５および出力回路２６からなる受信系と
を備えている。発振回路２１は、超音波素子１の固有振
動数と同じ周波数の発振信号ａをドライブ回路２２に出
力する。このドライブ回路２２の駆動周波数は、図６の
ように、同軸ケーブル３の長さＬａが変化した場合に
も、同軸ケーブル３および超音波素子１を含む負荷側の
回路１３（図３）のインピーダンスＺが一定Ｚａとなる
周波数ｆａに設定されている。
【００１２】ドライブ回路２２の一例を図４に示す。図
４において、トランスＴは１次側に発振信号ａを受けて
駆動し、トランスＴの２次側に矢印方向に電圧が誘起さ
れた時に、ＮＰＮ型のトランジスタＱ１のベース電圧が
エミッタ電圧よりも高くなることにより、トランジスタ
Ｑ１がオンし、ｂ点に１２０Ｖの電圧があらわれる。一
方、トランスＴの２次側に反矢印方向に電圧が誘起され
た時に、ＰＮＰ型のトランジスタＱ２のベース電圧がエ
ミッタ電圧よりも低くなることによりトランジスタＱ２
がオンし、ｂ点の電位が０Ｖとなる。以後、同様に両ト
ランジスタＱ１，Ｑ２が発振信号ａにより交互にオン・
オフされる。すなわち、ドライブ回路２２は、図３の超
音波素子１および同軸ケーブル３からなる負荷側の回路
１３の定電圧源として作用する。
４において、トランスＴは１次側に発振信号ａを受けて
駆動し、トランスＴの２次側に矢印方向に電圧が誘起さ
れた時に、ＮＰＮ型のトランジスタＱ１のベース電圧が
エミッタ電圧よりも高くなることにより、トランジスタ
Ｑ１がオンし、ｂ点に１２０Ｖの電圧があらわれる。一
方、トランスＴの２次側に反矢印方向に電圧が誘起され
た時に、ＰＮＰ型のトランジスタＱ２のベース電圧がエ
ミッタ電圧よりも低くなることによりトランジスタＱ２
がオンし、ｂ点の電位が０Ｖとなる。以後、同様に両ト
ランジスタＱ１，Ｑ２が発振信号ａにより交互にオン・
オフされる。すなわち、ドライブ回路２２は、図３の超
音波素子１および同軸ケーブル３からなる負荷側の回路
１３の定電圧源として作用する。
【００１３】このように、図４の両トランジスタＱ１，
Ｑ２のベース−エミッタ間電圧は低電圧である発振信号
ａによりトランスＴを介して変化し、プッシュプル動作
が行われる。したがって、両トランジスタＱ１，Ｑ２を
数ＭＨｚの高い周波数に対して遅れを生じることなくス
イッチングすることができる。なお、パワーＣ−ＭＯＳ
電界トランジスタＱ３，Ｑ４は、１２０Ｖの高電圧に迅
速に昇圧し、０Ｖに迅速に降圧するために設けられてい
る。
Ｑ２のベース−エミッタ間電圧は低電圧である発振信号
ａによりトランスＴを介して変化し、プッシュプル動作
が行われる。したがって、両トランジスタＱ１，Ｑ２を
数ＭＨｚの高い周波数に対して遅れを生じることなくス
イッチングすることができる。なお、パワーＣ−ＭＯＳ
電界トランジスタＱ３，Ｑ４は、１２０Ｖの高電圧に迅
速に昇圧し、０Ｖに迅速に降圧するために設けられてい
る。
【００１４】図３において、発振信号ａは上記のように
１２０Ｖに増幅されたのちに、同軸ケーブル３を通じて
超音波素子１に印加される。これにより、超音波パルス
が発生し、タンク５の内側に向かって送波され、タンク
５の壁面（境界面）で反射した反射パルスが、超音波素
子１により再び電気信号に変換される。この電気信号
は、同軸ケーブル３を通じて受信回路２３に入力されて
増幅される。この増幅された受信信号ｃは検波回路２４
で検波信号ｄとして出力され、信号処理回路２５で信号
レベルが判別される。上記信号処理回路２５から出力さ
れる判別信号ｅを受けた出力回路２６は、判別信号ｅに
応じた制御信号ｆを出力する。
１２０Ｖに増幅されたのちに、同軸ケーブル３を通じて
超音波素子１に印加される。これにより、超音波パルス
が発生し、タンク５の内側に向かって送波され、タンク
５の壁面（境界面）で反射した反射パルスが、超音波素
子１により再び電気信号に変換される。この電気信号
は、同軸ケーブル３を通じて受信回路２３に入力されて
増幅される。この増幅された受信信号ｃは検波回路２４
で検波信号ｄとして出力され、信号処理回路２５で信号
レベルが判別される。上記信号処理回路２５から出力さ
れる判別信号ｅを受けた出力回路２６は、判別信号ｅに
応じた制御信号ｆを出力する。
【００１５】つぎに、液面レベル計の動作について説明
する。図１の超音波素子１1 ，１2 の取付よりも液面レ
ベル６ａが低い場合は、超音波素子１から出射した超音
波パルスが貯蔵タンク５の内壁面と取付外壁面で交互に
反射し、つまり、Ｄ１の範囲で反射を繰り返す。一方、
超音波素子１の取付位置よりも液面レベル６ａが高い場
合は、超音波素子１から出射した超音波パルスが貯蔵タ
ンク５の取付外壁面と、反対側の外壁面とで交互に反射
し、つまりＤ２の範囲で反射を繰り返す。
する。図１の超音波素子１1 ，１2 の取付よりも液面レ
ベル６ａが低い場合は、超音波素子１から出射した超音
波パルスが貯蔵タンク５の内壁面と取付外壁面で交互に
反射し、つまり、Ｄ１の範囲で反射を繰り返す。一方、
超音波素子１の取付位置よりも液面レベル６ａが高い場
合は、超音波素子１から出射した超音波パルスが貯蔵タ
ンク５の取付外壁面と、反対側の外壁面とで交互に反射
し、つまりＤ２の範囲で反射を繰り返す。
【００１６】そのため、超音波素子１1 の取付位置に液
体６が無い場合は、超音波パルスの往復距離が短いこと
から、図２（ａ）のように、反射パルスが短時間の間に
減衰する。一方、超音波素子１2 の取付位置に液体６が
有る場合は、超音波パルスの往復距離が長いことから、
図２（ｂ）のように、反射パルスが減衰するまでに時間
がかかる。したがって、図２に示す送信タイミングｔ0
から一定時間（タンク形状によって異なるが約４ｍｓｅ
ｃ程度）ｔ1 経過後に設けた計測期間ｔ2 において、検
波信号ｄをスレッシュホールドレベルと比較することに
よって、超音波素子１1 ，１2 の取付位置における液体
６の有無を判別することができる。
体６が無い場合は、超音波パルスの往復距離が短いこと
から、図２（ａ）のように、反射パルスが短時間の間に
減衰する。一方、超音波素子１2 の取付位置に液体６が
有る場合は、超音波パルスの往復距離が長いことから、
図２（ｂ）のように、反射パルスが減衰するまでに時間
がかかる。したがって、図２に示す送信タイミングｔ0
から一定時間（タンク形状によって異なるが約４ｍｓｅ
ｃ程度）ｔ1 経過後に設けた計測期間ｔ2 において、検
波信号ｄをスレッシュホールドレベルと比較することに
よって、超音波素子１1 ，１2 の取付位置における液体
６の有無を判別することができる。
【００１７】図５は図３の超音波送信系の電気的な等価
回路を示す。図５において、超音波素子１は電圧印加時
に電極間静電容量Ｃ１に置換でき、同軸ケーブル３は容
量Ｃ２に置換できる。なお、超音波素子１や同軸ケーブ
ル３の内部抵抗はきわめて小さく、回路全体のインピー
ダンスとして見た場合に無視できるので、図示していな
い。超音波素子１の両端の印加電圧は、ドライブ側の回
路２に設定された１２０Ｖから同軸ケーブル３の電圧降
下を差し引いた電圧となる。したがって、同軸ケーブル
３の長さを任意に設定しても、超音波素子１の両端の印
加電圧が殆ど変化しないから、超音波素子１に流れる電
流がほぼ一定となり、安定した動作が得られる。また、
同軸ケーブル３の長さを自由に長くすることができる。
回路を示す。図５において、超音波素子１は電圧印加時
に電極間静電容量Ｃ１に置換でき、同軸ケーブル３は容
量Ｃ２に置換できる。なお、超音波素子１や同軸ケーブ
ル３の内部抵抗はきわめて小さく、回路全体のインピー
ダンスとして見た場合に無視できるので、図示していな
い。超音波素子１の両端の印加電圧は、ドライブ側の回
路２に設定された１２０Ｖから同軸ケーブル３の電圧降
下を差し引いた電圧となる。したがって、同軸ケーブル
３の長さを任意に設定しても、超音波素子１の両端の印
加電圧が殆ど変化しないから、超音波素子１に流れる電
流がほぼ一定となり、安定した動作が得られる。また、
同軸ケーブル３の長さを自由に長くすることができる。
【００１８】しかし、同軸ケーブル３の長さが変化する
と、同軸ケーブル３には、容量Ｃ２の他に、図示しない
抵抗Ｒ２やインダクタＬ２が直列に入っていると見なす
ことができるから、ドライブ回路２２を定電圧として
も、一般には、超音波素子１に流れる電流が微妙に変わ
る。これに対し、本発明では、同軸ケーブル３の長さが
変化した場合にも、負荷側の回路１３のインピーダンス
Ｚが一定となる周波数に、ドライブ回路２２の駆動周波
数を設定している。したがって、超音波素子１に流れる
電流値が一定になるので、同軸ケーブル３の長さにかか
わらず、送波する音圧レベルをほぼ一定値にすることが
できる。
と、同軸ケーブル３には、容量Ｃ２の他に、図示しない
抵抗Ｒ２やインダクタＬ２が直列に入っていると見なす
ことができるから、ドライブ回路２２を定電圧として
も、一般には、超音波素子１に流れる電流が微妙に変わ
る。これに対し、本発明では、同軸ケーブル３の長さが
変化した場合にも、負荷側の回路１３のインピーダンス
Ｚが一定となる周波数に、ドライブ回路２２の駆動周波
数を設定している。したがって、超音波素子１に流れる
電流値が一定になるので、同軸ケーブル３の長さにかか
わらず、送波する音圧レベルをほぼ一定値にすることが
できる。
【００１９】なお、本発明では、図７のように、抵抗Ｒ
とインダクタＬを設けた共振回路としても、共振周波数
が変化しないので、同じ周波数で超音波素子１を駆動す
ることができるから、本発明の範囲に含まれる。但し、
同軸ケーブル３のＬ２，Ｒ２，Ｃ２が変化するのに伴
い、超音波素子１の両端の電圧が変化するので、同軸ケ
ーブル３の長さに限界がある。
とインダクタＬを設けた共振回路としても、共振周波数
が変化しないので、同じ周波数で超音波素子１を駆動す
ることができるから、本発明の範囲に含まれる。但し、
同軸ケーブル３のＬ２，Ｒ２，Ｃ２が変化するのに伴
い、超音波素子１の両端の電圧が変化するので、同軸ケ
ーブル３の長さに限界がある。
【００２０】なお、駆動周波数としては、金属製タンク
の場合は２ＭＨｚ程度が好ましく、一方、樹脂製タンク
の場合は３００ＫＨｚ程度が好ましい。
の場合は２ＭＨｚ程度が好ましく、一方、樹脂製タンク
の場合は３００ＫＨｚ程度が好ましい。
【００２１】また、超音波素子としては、圧電素子の他
に圧電性高分子などを用いてもよい。
に圧電性高分子などを用いてもよい。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の超音波セ
ンサを備えた検出装置によれば、発振回路を含むドライ
ブ側の回路に同軸ケーブルを介して超音波素子を接続し
たものにおいて、同軸ケーブルの長さを変えても負荷側
の回路のインピーダンスが一定となる周波数に、ドライ
ブ側の回路の駆動周波数を設定したので、同軸ケーブル
の長さにかかわらず安定した動作を得ることができる。
また、同軸ケーブルの浮遊容量が変化した場合にも、超
音波素子の両端の印加電圧がほぼ一定となるようにドラ
イブ側および負荷側の回路を設定すれば、使用現場に応
じて同軸ケーブルの長さを長くすることができる。
ンサを備えた検出装置によれば、発振回路を含むドライ
ブ側の回路に同軸ケーブルを介して超音波素子を接続し
たものにおいて、同軸ケーブルの長さを変えても負荷側
の回路のインピーダンスが一定となる周波数に、ドライ
ブ側の回路の駆動周波数を設定したので、同軸ケーブル
の長さにかかわらず安定した動作を得ることができる。
また、同軸ケーブルの浮遊容量が変化した場合にも、超
音波素子の両端の印加電圧がほぼ一定となるようにドラ
イブ側および負荷側の回路を設定すれば、使用現場に応
じて同軸ケーブルの長さを長くすることができる。
【図１】本発明の一実施例を適用したタンクの縦断面図
である。
である。
【図２】（ａ），（ｂ）は同液面レベル計の液体の無い
場合と有る場合における受信信号の特性図である。
場合と有る場合における受信信号の特性図である。
【図３】本発明の一実施例にかかる超音波素子を備えた
検出装置のブロック図である。
検出装置のブロック図である。
【図４】同実施例におけるドライブ回路の電気回路図で
ある。
ある。
【図５】同実施例の電気的な等価回路図である。
【図６】同軸ケーブルの長さを変えた場合の周波数に対
するインピーダンスの変化を示す特性図である。
するインピーダンスの変化を示す特性図である。
【図７】本発明を適用し得る他の回路を示す回路図であ
る。
る。
１，１1 ，１2 ：超音波素子 ２：ドライブ側の回路 ３：同軸ケーブル １３：負荷側の回路 ２１：発振回路 ２２：ドライブ回路
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｎ 29/22 ５０１
Claims (3)
- 【請求項１】 発振回路を含むドライブ側の回路に同軸
ケーブルを介して超音波素子を接続した超音波センサを
備えた検出装置において、 上記同軸ケーブルの長さを変えた場合にも、上記同軸ケ
ーブルおよび上記超音波素子を含む負荷側の回路のイン
ピーダンスが一定となる周波数に、上記ドライブ側の回
路の駆動周波数が設定されていることを特徴とする超音
波センサを備えた検出装置。 - 【請求項２】 請求項１において、 上記ドライブ側の回路には、上記発振回路の電圧を増幅
するドライブ回路が設けられている超音波センサを備え
た検出装置。 - 【請求項３】 請求項１もしくは２において、 上記同軸ケーブルの浮遊容量が変化した場合にも上記ド
ライブ側の回路による超音波素子の両端の印加電圧がほ
ぼ一定となるように、上記ドライブ側および負荷側の回
路が設定されている超音波センサを備えた検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6333911A JPH08166439A (ja) | 1994-12-15 | 1994-12-15 | 超音波センサを備えた検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6333911A JPH08166439A (ja) | 1994-12-15 | 1994-12-15 | 超音波センサを備えた検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08166439A true JPH08166439A (ja) | 1996-06-25 |
Family
ID=18271341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6333911A Pending JPH08166439A (ja) | 1994-12-15 | 1994-12-15 | 超音波センサを備えた検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08166439A (ja) |
-
1994
- 1994-12-15 JP JP6333911A patent/JPH08166439A/ja active Pending
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