JPH08159714A - 位置検出センサ - Google Patents
位置検出センサInfo
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- JPH08159714A JPH08159714A JP32390294A JP32390294A JPH08159714A JP H08159714 A JPH08159714 A JP H08159714A JP 32390294 A JP32390294 A JP 32390294A JP 32390294 A JP32390294 A JP 32390294A JP H08159714 A JPH08159714 A JP H08159714A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 三角測量法を用いた位置検出センサにおい
て、受光側の光学系を簡単に構成できるようにするこ
と。 【構成】 投光素子２より光を照射し、投光ビーム４を
物体検知領域に照射する。検知物体５からの反射光を位
置検出センサ７で受光する。位置検出センサ７の直前に
マスク２０を配置すると、マスク２０の影が位置検出素
子７上に形成されるため、この影の中心の位置から検知
物体までの位置信号を出力するようにしている。
て、受光側の光学系を簡単に構成できるようにするこ
と。 【構成】 投光素子２より光を照射し、投光ビーム４を
物体検知領域に照射する。検知物体５からの反射光を位
置検出センサ７で受光する。位置検出センサ７の直前に
マスク２０を配置すると、マスク２０の影が位置検出素
子７上に形成されるため、この影の中心の位置から検知
物体までの位置信号を出力するようにしている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は三角測量法を用いて物体
までの距離を測定する位置検出センサに関するものであ
る。
までの距離を測定する位置検出センサに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来三角測量法を用いた変位測定装置と
しては、特開平３−120412号等の変位測定装置が提案さ
れている。これは図８に示すように、一定周期毎に生じ
る投光パルスに基づいて駆動回路１を介して投光素子２
を駆動し、投光レンズ３により平行な光ビーム４を物体
検知領域に照射している。そして検知物体５からの反射
光を受光レンズ６を介して位置検出素子７、例えばポジ
ションセンシティブディバイス（ＰＳＤ）で受光してい
る。位置検出素子７は受光位置に応じてその両端の電流
の出力比が変化する素子であって、その両端の出力はＩ
／Ｖ変換器８及び９によって電圧信号に変換される。Ｉ
／Ｖ変換器８及び９の出力は夫々加算器１０，減算器１
１に与えられ、加算及び減算されて割算回路１２に入力
される。割算回路１２は減算値を加算値で割算すること
によって検知物体５の位置信号を出力するものであり、
その出力は補正回路１３を介して距離に対応した直線的
な電圧信号として出力するようにしている。この補正回
路１３は、位置検出素子７の不均一性や受光レンズ６に
よる誤差が生じるため、装置から測定対象物までの距離
と割算回路の出力である電圧値が直線性を有するように
補正するものである。
しては、特開平３−120412号等の変位測定装置が提案さ
れている。これは図８に示すように、一定周期毎に生じ
る投光パルスに基づいて駆動回路１を介して投光素子２
を駆動し、投光レンズ３により平行な光ビーム４を物体
検知領域に照射している。そして検知物体５からの反射
光を受光レンズ６を介して位置検出素子７、例えばポジ
ションセンシティブディバイス（ＰＳＤ）で受光してい
る。位置検出素子７は受光位置に応じてその両端の電流
の出力比が変化する素子であって、その両端の出力はＩ
／Ｖ変換器８及び９によって電圧信号に変換される。Ｉ
／Ｖ変換器８及び９の出力は夫々加算器１０，減算器１
１に与えられ、加算及び減算されて割算回路１２に入力
される。割算回路１２は減算値を加算値で割算すること
によって検知物体５の位置信号を出力するものであり、
その出力は補正回路１３を介して距離に対応した直線的
な電圧信号として出力するようにしている。この補正回
路１３は、位置検出素子７の不均一性や受光レンズ６に
よる誤差が生じるため、装置から測定対象物までの距離
と割算回路の出力である電圧値が直線性を有するように
補正するものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこのよう
な従来の位置検出センサでは、受光側にレンズ６を用い
て反射光を集光させて位置検出素子７で受光している。
そのため受光側にレンズ等を用いる必要があり、装置自
体が大型となる。又受光量が小さく分解能にも限界があ
り、出力の直線性を保持するための処理回路を必要とす
るという欠点があった。又対象物からの反射光のビーム
径で線形の幅が決定され、センサの仕様を変更する際に
構成を変更する必要があり、容易に変更することができ
なくなるという欠点があった。
な従来の位置検出センサでは、受光側にレンズ６を用い
て反射光を集光させて位置検出素子７で受光している。
そのため受光側にレンズ等を用いる必要があり、装置自
体が大型となる。又受光量が小さく分解能にも限界があ
り、出力の直線性を保持するための処理回路を必要とす
るという欠点があった。又対象物からの反射光のビーム
径で線形の幅が決定され、センサの仕様を変更する際に
構成を変更する必要があり、容易に変更することができ
なくなるという欠点があった。
【０００４】本発明はこのような従来の問題点に鑑みて
なされたものであって、受光素子のビーム分布を凹状と
することによって従来の問題点を解決することを目的と
する。
なされたものであって、受光素子のビーム分布を凹状と
することによって従来の問題点を解決することを目的と
する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本願の請求項１の発明
は、光を物体検知領域に照射する投光素子を有する投光
部と、検知物体からの反射光を受光し、その受光位置に
応じた位置検知信号を出力する位置検出素子と、位置検
出素子の受光面に近接して配置され、反射光の一部を遮
光するマスク手段と、位置検出素子に得られるマスク手
段の影の位置に基づいて物体までの距離を検出する信号
処理手段と、を具備することを特徴とするものである。
は、光を物体検知領域に照射する投光素子を有する投光
部と、検知物体からの反射光を受光し、その受光位置に
応じた位置検知信号を出力する位置検出素子と、位置検
出素子の受光面に近接して配置され、反射光の一部を遮
光するマスク手段と、位置検出素子に得られるマスク手
段の影の位置に基づいて物体までの距離を検出する信号
処理手段と、を具備することを特徴とするものである。
【０００６】本願の請求項２の発明は、光を物体検知領
域に照射する投光素子を有する投光部と、投光部より照
射される光と平行に配置され、検知物体からの反射光を
受光し、その受光位置に応じた位置検知信号を出力する
位置検出素子と、位置検出素子の受光面に近接して配置
され反射光の一部を遮光するマスク手段と、位置検出素
子に得られるマスク手段の影の位置に基づいて物体まで
の距離を検出する信号処理手段と、を具備することを特
徴とするものである。
域に照射する投光素子を有する投光部と、投光部より照
射される光と平行に配置され、検知物体からの反射光を
受光し、その受光位置に応じた位置検知信号を出力する
位置検出素子と、位置検出素子の受光面に近接して配置
され反射光の一部を遮光するマスク手段と、位置検出素
子に得られるマスク手段の影の位置に基づいて物体まで
の距離を検出する信号処理手段と、を具備することを特
徴とするものである。
【０００７】
【作用】このような特徴を有する本願の請求項１の発明
によれば、投光部の光軸上にセンサから離れた位置にあ
る検知物体に光が照射されると、その反射光がマスク手
段を介して位置検出素子に受光される。そして検知物体
までの距離に応じてマスク手段で遮光される影の位置が
異なるため、位置検出素子に得られる影の位置に基づい
て物体までの距離を検出することができる。又請求項２
の発明では、位置検出素子の受光軸と投光軸とを平行に
配置しておくことにより、影の中心と検知物体とを結ぶ
線分は常に一定の点を通過することとなる。従って投光
軸と位置検出センサ及びこの一定の点を通る投光ビーム
に垂直な線との成す線分から常に相似の三角形が得ら
れ、検知物体までの距離と位置検出素子上の光の重心と
は常に比例関係にある。従って物体までの距離を直線化
した出力が得られることとなる。
によれば、投光部の光軸上にセンサから離れた位置にあ
る検知物体に光が照射されると、その反射光がマスク手
段を介して位置検出素子に受光される。そして検知物体
までの距離に応じてマスク手段で遮光される影の位置が
異なるため、位置検出素子に得られる影の位置に基づい
て物体までの距離を検出することができる。又請求項２
の発明では、位置検出素子の受光軸と投光軸とを平行に
配置しておくことにより、影の中心と検知物体とを結ぶ
線分は常に一定の点を通過することとなる。従って投光
軸と位置検出センサ及びこの一定の点を通る投光ビーム
に垂直な線との成す線分から常に相似の三角形が得ら
れ、検知物体までの距離と位置検出素子上の光の重心と
は常に比例関係にある。従って物体までの距離を直線化
した出力が得られることとなる。
【０００８】
【実施例】図１は本発明の一実施例による位置検出セン
サの全体構成を示すブロック図である。本図において前
述した従来例と同一部分は同一符号を付して詳細な説明
を省略する。本実施例の位置検出センサも従来例と同様
に駆動回路１を介して投光素子２を駆動する。そしてこ
の投光素子と所定間隔を隔てて位置検出素子７を設け
る。位置検出素子７はＰＳＤやＣＣＤ等の１次元の受光
素子を用いる。位置検出素子をＰＳＤとすると、その両
端に入射される光の重心位置に応じた電流が両端に出力
される。この出力はＩ／Ｖ変換器８及び９によって電圧
信号に変換される。Ｉ／Ｖ変換器８及び９の出力は夫々
加算器１０，減算器１１に与えられて加算及び減算され
て、割算回路１２に入力される。割算回路１２は減算値
を加算値で割算することによって検知物体の位置信号を
出力するものである。Ｉ／Ｖ変換器８，９、加算器１
０、減算器１１及び割算回路１２は、光の重心に基づい
て物体までの距離を検出する信号処理手段を構成してい
る。
サの全体構成を示すブロック図である。本図において前
述した従来例と同一部分は同一符号を付して詳細な説明
を省略する。本実施例の位置検出センサも従来例と同様
に駆動回路１を介して投光素子２を駆動する。そしてこ
の投光素子と所定間隔を隔てて位置検出素子７を設け
る。位置検出素子７はＰＳＤやＣＣＤ等の１次元の受光
素子を用いる。位置検出素子をＰＳＤとすると、その両
端に入射される光の重心位置に応じた電流が両端に出力
される。この出力はＩ／Ｖ変換器８及び９によって電圧
信号に変換される。Ｉ／Ｖ変換器８及び９の出力は夫々
加算器１０，減算器１１に与えられて加算及び減算され
て、割算回路１２に入力される。割算回路１２は減算値
を加算値で割算することによって検知物体の位置信号を
出力するものである。Ｉ／Ｖ変換器８，９、加算器１
０、減算器１１及び割算回路１２は、光の重心に基づい
て物体までの距離を検出する信号処理手段を構成してい
る。
【０００９】さて本実施例では、位置検出素子７の直前
に図示のように反射光の一部を遮光するためのマスク２
０を設けておく。このマスク２０は位置検出素子７に受
光される反射光を遮光するマスク手段であり、遮光によ
って得られる影の位置によって物体の位置を検出するよ
うにしている。又位置検出素子７を１次元ＣＣＤとする
と、１ライン分を読出してその影の中心位置を出力する
ものとする。
に図示のように反射光の一部を遮光するためのマスク２
０を設けておく。このマスク２０は位置検出素子７に受
光される反射光を遮光するマスク手段であり、遮光によ
って得られる影の位置によって物体の位置を検出するよ
うにしている。又位置検出素子７を１次元ＣＣＤとする
と、１ライン分を読出してその影の中心位置を出力する
ものとする。
【００１０】次に本実施例の動作について図２を参照し
つつ説明する。図２（ａ）に示すようにこの位置検出セ
ンサからの距離Ｌ１に検知物体５Ａが位置する場合に
は、その反射光の一部はマスク２０によって遮光され
る。図２（ｂ）は位置検出素子までの距離Ｌ１に検知物
体５Ａが位置する場合に、光の位置検出素子７上の反射
光の分布を示すものである。又図２（ｃ）は検知物体５
Ｂが距離Ｌ２にある場合の反射光の分布を示す図であ
る。図２（ｂ），（ｃ）に示すようにマスク２０によっ
て反射光が遮光されるが、その遮光される位置が検知物
体までの距離に応じて変化する。×印で示す受光した光
の重心はこの影の位置によって変化するため、光の重心
も同様にして物体までの距離に応じて変化することとな
る。従ってＩ／Ｖ変換器８，９から割算回路１２までの
信号処理手段により、影の中心位置を検出することによ
って、距離信号を出力することができる。この方法によ
れば受光レンズを要せず、光を集束させて位置検出素子
７に導く必要がなく、構成が簡単となり、センサ自体の
小型化及び薄型化も可能となる。
つつ説明する。図２（ａ）に示すようにこの位置検出セ
ンサからの距離Ｌ１に検知物体５Ａが位置する場合に
は、その反射光の一部はマスク２０によって遮光され
る。図２（ｂ）は位置検出素子までの距離Ｌ１に検知物
体５Ａが位置する場合に、光の位置検出素子７上の反射
光の分布を示すものである。又図２（ｃ）は検知物体５
Ｂが距離Ｌ２にある場合の反射光の分布を示す図であ
る。図２（ｂ），（ｃ）に示すようにマスク２０によっ
て反射光が遮光されるが、その遮光される位置が検知物
体までの距離に応じて変化する。×印で示す受光した光
の重心はこの影の位置によって変化するため、光の重心
も同様にして物体までの距離に応じて変化することとな
る。従ってＩ／Ｖ変換器８，９から割算回路１２までの
信号処理手段により、影の中心位置を検出することによ
って、距離信号を出力することができる。この方法によ
れば受光レンズを要せず、光を集束させて位置検出素子
７に導く必要がなく、構成が簡単となり、センサ自体の
小型化及び薄型化も可能となる。
【００１１】次に本発明の第２実施例について説明す
る。図３は第２実施例の光学系部分と反射光を示す説明
図、図５はその信号処理部を示すブロック図である。本
実施例は投光ビーム４に平行に位置検出素子７を配置し
たものである。そしてその前面には第１実施例と同様に
マスク２０を配置しておく。そして投光素子１の投光面
と位置検出素子７の端部を投光ビーム４と垂直とする。
そして検知物体５Ａが距離Ｌ１の位置にあるときに、そ
の反射光が位置検出素子７に受光される。ここでその反
射光の一部はマスク２０によって遮光される。ここで図
３において投光軸４をＹ軸、これと垂直な位置検出素子
７の上面を通る直線をＸ軸とし、マスク２の右上端部
の座標を（ｘ１，ｙ１）、左下端部を（ｘ２，ｙ２）
とする。そして検知物体５Ａの位置を座標（０，ｙ
３）、検知物体５Ｂの位置を座標（０，ｙ４）で表
す。このとき検知物体５Ａで反射され、点，を通過
する直線Ａ１は次式（１）で示される。
る。図３は第２実施例の光学系部分と反射光を示す説明
図、図５はその信号処理部を示すブロック図である。本
実施例は投光ビーム４に平行に位置検出素子７を配置し
たものである。そしてその前面には第１実施例と同様に
マスク２０を配置しておく。そして投光素子１の投光面
と位置検出素子７の端部を投光ビーム４と垂直とする。
そして検知物体５Ａが距離Ｌ１の位置にあるときに、そ
の反射光が位置検出素子７に受光される。ここでその反
射光の一部はマスク２０によって遮光される。ここで図
３において投光軸４をＹ軸、これと垂直な位置検出素子
７の上面を通る直線をＸ軸とし、マスク２の右上端部
の座標を（ｘ１，ｙ１）、左下端部を（ｘ２，ｙ２）
とする。そして検知物体５Ａの位置を座標（０，ｙ
３）、検知物体５Ｂの位置を座標（０，ｙ４）で表
す。このとき検知物体５Ａで反射され、点，を通過
する直線Ａ１は次式（１）で示される。
【数１】 又検知物体５Ａの点と頂点を通る直線Ａ２は次式
（２）で示される。
（２）で示される。
【数２】 そして直線Ａ１，Ａ２で示される範囲が位置検出素子７
上の影の領域となる。そして投光ビーム４と検知物体５
Ａの表面の交点と、この影の中心とを結ぶ直線Ａ３を
考えると、影の中心（ｘ５，ｙ５）のＹ座標ｙ５は次
式で示される。
上の影の領域となる。そして投光ビーム４と検知物体５
Ａの表面の交点と、この影の中心とを結ぶ直線Ａ３を
考えると、影の中心（ｘ５，ｙ５）のＹ座標ｙ５は次
式で示される。
【数３】 従って直線Ａ３は次式（４）で示される。
【数４】 但しＰ，Ｑを次式（５）とする。
【数５】 同様にしてマスク２０の頂点，を通り、位置検出物
体５Ｂを通過する直線Ｂ１，Ｂ２は夫々次式（６），
（７）で示される。
体５Ｂを通過する直線Ｂ１，Ｂ２は夫々次式（６），
（７）で示される。
【数６】 そして同様にその位置検出素子７上の中点と点を通る
直線Ｂ３は次式（８）で示される。
直線Ｂ３は次式（８）で示される。
【数７】 そして直線Ａ３とＢ３の交わる点Ｋの座標は（Ｑ／２，
Ｐ／Ｑ）で示され、式（５）より明らかなように点，
の座標によってのみ定まる。従って投光素子２から検
知物体までの距離にかかわらず常に一点Ｋを通過するこ
ととなる。Ｘ軸に平行な点Ｋを通る直線Ｃと、直線Ａ
３、投光ビーム４及び位置検出素子７の表面で成す２つ
の三角形は相似となる。
Ｐ／Ｑ）で示され、式（５）より明らかなように点，
の座標によってのみ定まる。従って投光素子２から検
知物体までの距離にかかわらず常に一点Ｋを通過するこ
ととなる。Ｘ軸に平行な点Ｋを通る直線Ｃと、直線Ａ
３、投光ビーム４及び位置検出素子７の表面で成す２つ
の三角形は相似となる。
【００１２】又同様にして直線Ｂ３，Ｃと投光ビーム
４，位置検出素子７の表面で２つの相似な三角形が形成
される。従って投光素子から検知物体５Ａ，５Ｂまでの
距離に対応して位置検出素子７の上部の端部から影の中
心までの距離は、図４に示すように直線的に変化するこ
ととなる。
４，位置検出素子７の表面で２つの相似な三角形が形成
される。従って投光素子から検知物体５Ａ，５Ｂまでの
距離に対応して位置検出素子７の上部の端部から影の中
心までの距離は、図４に示すように直線的に変化するこ
ととなる。
【００１３】次に図５を用いて信号処理部の構成につい
て説明する。本実施例では影の中心を検出するため位置
検出素子７をＣＣＤとし、ＣＣＤ駆動回路２１によって
位置検出素子７を駆動する。そして位置検出素子７から
読出された信号をコンパレータ２２によって所定レベル
で弁別し、ラインメモリ２３に一旦保持する。ラインメ
モリ２３は受光レベルを二値化したＣＣＤの１ライン分
の信号を保持するものであり、ＣＣＤのビット数に対応
している。そしてこのラインメモリ２３を走査すること
によって零レベルの中心、即ち影の中心位置を中心検出
部２４によって読出す。こうすれば前述したように物体
までの距離Ｌに応じて直線化された位置信号を出力する
ことができる。この場合には線形補正する回路が不要と
なり、部品点数を少なくすることができる。又図３にお
いてマスク２０の位置や形状を変化させることによっ
て、位置検出素子７に入射するビームプロファイルを自
由に設定することができ、検知物体の測定範囲も任意に
選択することができる。
て説明する。本実施例では影の中心を検出するため位置
検出素子７をＣＣＤとし、ＣＣＤ駆動回路２１によって
位置検出素子７を駆動する。そして位置検出素子７から
読出された信号をコンパレータ２２によって所定レベル
で弁別し、ラインメモリ２３に一旦保持する。ラインメ
モリ２３は受光レベルを二値化したＣＣＤの１ライン分
の信号を保持するものであり、ＣＣＤのビット数に対応
している。そしてこのラインメモリ２３を走査すること
によって零レベルの中心、即ち影の中心位置を中心検出
部２４によって読出す。こうすれば前述したように物体
までの距離Ｌに応じて直線化された位置信号を出力する
ことができる。この場合には線形補正する回路が不要と
なり、部品点数を少なくすることができる。又図３にお
いてマスク２０の位置や形状を変化させることによっ
て、位置検出素子７に入射するビームプロファイルを自
由に設定することができ、検知物体の測定範囲も任意に
選択することができる。
【００１４】次に本発明の第３実施例について説明す
る。図６は第３実施例の光学系部分を示す概略図であ
る。又信号処理部は図１又は図５のものを用いる。本実
施例では図６（ａ）に示すように位置検出素子７より所
定距離を離れてフィルタ板３０を配置する。フィルタ板
３０は図６（ｂ）及び（ｃ）に上面図及び側面図を示す
ように、可視光をカットするフィルタ３１とその中心に
ライン上に形成された特定波長をカットするフィルタ３
２とから構成されている。図７はこのフィルタ３１，３
２の透過特性、及び投光素子３の発光特性を示すグラフ
である。本図に示すように可視範囲より長い波長の光を
投光素子２より発光するものとすると、フィルタ３１は
この特定波長を含む領域の波長を通過し可視光領域をカ
ットする特性を有しており、フィルタ３２は投光素子２
の波長より短い可視光領域を通過させる特性を有してい
るものとする。この場合には反射光を一部遮光するフィ
ルタ板３０を位置検出素子７より離れて配置しておくだ
けでビームプロファイルを凹状とすることができ、又線
形幅を変化させることによって容易に測定範囲を規定す
ることができる。又フィルタを交換する場合には自由に
線形で距離を検知する範囲が規定できることとなる。
る。図６は第３実施例の光学系部分を示す概略図であ
る。又信号処理部は図１又は図５のものを用いる。本実
施例では図６（ａ）に示すように位置検出素子７より所
定距離を離れてフィルタ板３０を配置する。フィルタ板
３０は図６（ｂ）及び（ｃ）に上面図及び側面図を示す
ように、可視光をカットするフィルタ３１とその中心に
ライン上に形成された特定波長をカットするフィルタ３
２とから構成されている。図７はこのフィルタ３１，３
２の透過特性、及び投光素子３の発光特性を示すグラフ
である。本図に示すように可視範囲より長い波長の光を
投光素子２より発光するものとすると、フィルタ３１は
この特定波長を含む領域の波長を通過し可視光領域をカ
ットする特性を有しており、フィルタ３２は投光素子２
の波長より短い可視光領域を通過させる特性を有してい
るものとする。この場合には反射光を一部遮光するフィ
ルタ板３０を位置検出素子７より離れて配置しておくだ
けでビームプロファイルを凹状とすることができ、又線
形幅を変化させることによって容易に測定範囲を規定す
ることができる。又フィルタを交換する場合には自由に
線形で距離を検知する範囲が規定できることとなる。
【００１５】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本願の請求項
１及び２の発明では、入射光量が多いためノイズ等の影
響が相対的に少なくなり、精度を向上させることができ
る。又受光側にレンズ等の光を集束させる光学部品が不
要となるため、装置自体を小型，薄型化することができ
る。又ビームプロファイルが凹状となるため、反射光の
頂点が位置検出素子の受光面に入射する必要がなくな
り、投光ビームの幅を適宜選択することができる。この
ように光学系の構成を容易にすることができる。更に請
求項２の発明では、マスクの形状を変化させることによ
って所定範囲を線形で検出することができる。従って線
形補正回路が不要となり、装置が小型化でき、部品点数
を少なくすることができるという効果が得られる。
１及び２の発明では、入射光量が多いためノイズ等の影
響が相対的に少なくなり、精度を向上させることができ
る。又受光側にレンズ等の光を集束させる光学部品が不
要となるため、装置自体を小型，薄型化することができ
る。又ビームプロファイルが凹状となるため、反射光の
頂点が位置検出素子の受光面に入射する必要がなくな
り、投光ビームの幅を適宜選択することができる。この
ように光学系の構成を容易にすることができる。更に請
求項２の発明では、マスクの形状を変化させることによ
って所定範囲を線形で検出することができる。従って線
形補正回路が不要となり、装置が小型化でき、部品点数
を少なくすることができるという効果が得られる。
【図１】本発明の第１実施例による位置検出センサの全
体構成を示すブロック図である。
体構成を示すブロック図である。
【図２】（ａ）は本実施例の光学系部分を示す概略図、
（ｂ）及び（ｃ）は位置検出素子上の受光レベルの変化
を示すグラフである。
（ｂ）及び（ｃ）は位置検出素子上の受光レベルの変化
を示すグラフである。
【図３】本発明の第２実施例による位置検出センサの光
学系部分を示す構成図である。
学系部分を示す構成図である。
【図４】第２実施例による位置検出センサの検知物体ま
での距離に対する影の重心位置の変化を示すグラフであ
る。
での距離に対する影の重心位置の変化を示すグラフであ
る。
【図５】本発明の第２実施例による位置検出センサの全
体構成を示すブロック図である。
体構成を示すブロック図である。
【図６】本発明の第３実施例による位置検出センサの光
学系部分を示す概略図である。
学系部分を示す概略図である。
【図７】第３実施例の位置検出センサのフィルタ板３０
及び投光素子２の波長特性を示すグラフである。
及び投光素子２の波長特性を示すグラフである。
【図８】従来の位置検出センサの一例を示すブロック図
である。
である。
１ 駆動回路 ２ 投光素子 ４ 投光ビーム ５，５Ａ，５Ｂ 検知物体 ７ 位置検出素子 ８，９ Ｉ／Ｖ変換器 １０ 加算器 １１ 減算器 １２ 割算回路 ２０ マスク ２１ ＣＣＤ駆動部 ２２ コンパレータ ２３ ラインメモリ ２４ 中心検出部 ３０ フィルタ板 ３１，３２ フィルタ
Claims (2)
- 【請求項１】 光を物体検知領域に照射する投光素子を
有する投光部と、 検知物体からの反射光を受光し、その受光位置に応じた
位置検知信号を出力する位置検出素子と、 前記位置検出素子の受光面に近接して配置され、反射光
の一部を遮光するマスク手段と、 前記位置検出素子に得られるマスク手段の影の位置に基
づいて物体までの距離を検出する信号処理手段と、を具
備することを特徴とする位置検出センサ。 - 【請求項２】 光を物体検知領域に照射する投光素子を
有する投光部と、 前記投光部より照射される光と平行に配置され、検知物
体からの反射光を受光し、その受光位置に応じた位置検
知信号を出力する位置検出素子と、 前記位置検出素子の受光面に近接して配置され反射光の
一部を遮光するマスク手段と、 前記位置検出素子に得られるマスク手段の影の位置に基
づいて物体までの距離を検出する信号処理手段と、を具
備することを特徴とする位置検出センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32390294A JPH08159714A (ja) | 1994-11-30 | 1994-11-30 | 位置検出センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32390294A JPH08159714A (ja) | 1994-11-30 | 1994-11-30 | 位置検出センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08159714A true JPH08159714A (ja) | 1996-06-21 |
Family
ID=18159894
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32390294A Pending JPH08159714A (ja) | 1994-11-30 | 1994-11-30 | 位置検出センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08159714A (ja) |
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