JPH08147467A - 表面欠陥検出装置 - Google Patents
表面欠陥検出装置Info
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- JPH08147467A JPH08147467A JP6282093A JP28209394A JPH08147467A JP H08147467 A JPH08147467 A JP H08147467A JP 6282093 A JP6282093 A JP 6282093A JP 28209394 A JP28209394 A JP 28209394A JP H08147467 A JPH08147467 A JP H08147467A
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Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【目的】 長尺体の長手方向に沿った欠陥をも検出する
ことができる表面欠陥検出装置を提供する。 【構成】 被検査体の表面から反射された反射光を受光
する受光部と、この受光部からの受光量を電気信号に変
換する信号変換部とを有する受光カメラ28〜31(表
面状態検出手段)が、取付盤15に形成された挿入孔1
5bの外周部に、この挿入孔15bの中心部を向かうよ
うに配設され、この受光カメラ28〜31からの信号値
と、この信号値に基づく基準値との差より、被検査体の
表面欠陥を検知する欠陥検知手段を有し、挿入孔15b
に、合成樹脂管P(長尺状の被検査体)を挿入、進行さ
せて、この合成樹脂管Pの表面欠陥を連続的に検出する
表面欠陥検出装置において、取付盤15を挿入孔15b
の中心部を中心に回転させる駆動モータ16、駆動ベル
ト17(回転駆動手段)を設けた。
ことができる表面欠陥検出装置を提供する。 【構成】 被検査体の表面から反射された反射光を受光
する受光部と、この受光部からの受光量を電気信号に変
換する信号変換部とを有する受光カメラ28〜31(表
面状態検出手段)が、取付盤15に形成された挿入孔1
5bの外周部に、この挿入孔15bの中心部を向かうよ
うに配設され、この受光カメラ28〜31からの信号値
と、この信号値に基づく基準値との差より、被検査体の
表面欠陥を検知する欠陥検知手段を有し、挿入孔15b
に、合成樹脂管P(長尺状の被検査体)を挿入、進行さ
せて、この合成樹脂管Pの表面欠陥を連続的に検出する
表面欠陥検出装置において、取付盤15を挿入孔15b
の中心部を中心に回転させる駆動モータ16、駆動ベル
ト17(回転駆動手段)を設けた。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、合成樹脂管やケーブ
ルなどの表面欠陥を、連続的に検出する表面欠陥検出装
置に関するものである。
ルなどの表面欠陥を、連続的に検出する表面欠陥検出装
置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】合成樹脂管やケーブルなどの表面欠陥
(傷や炭化物など)を検出するものとして、図9に示す
ような表面欠陥検出装置51が知られている。
(傷や炭化物など)を検出するものとして、図9に示す
ような表面欠陥検出装置51が知られている。
【0003】この表面欠陥検出装置51の取付盤52に
は、挿入孔52aの外周部に、「表面状態検出手段」と
しての受光カメラ28が複数配設され、さらに、この表
面状態検出手段28からの信号値と、この信号値に基づ
く基準値との差より、被検査体の表面欠陥を検知する欠
陥検知手段(図示せず)とを有している。また、表面状
態検出手段28は、被検査体の表面から反射された反射
光を受光する受光部と、この受光部からの受光量を電気
信号に変換する信号変換部とを有している。
は、挿入孔52aの外周部に、「表面状態検出手段」と
しての受光カメラ28が複数配設され、さらに、この表
面状態検出手段28からの信号値と、この信号値に基づ
く基準値との差より、被検査体の表面欠陥を検知する欠
陥検知手段(図示せず)とを有している。また、表面状
態検出手段28は、被検査体の表面から反射された反射
光を受光する受光部と、この受光部からの受光量を電気
信号に変換する信号変換部とを有している。
【0004】この表面欠陥検出装置51の挿入孔52a
に、長尺状の被検査体たる合成樹脂管Pを挿入していく
と、合成樹脂管Pの表面欠陥が以下のようにして検出さ
れる。
に、長尺状の被検査体たる合成樹脂管Pを挿入していく
と、合成樹脂管Pの表面欠陥が以下のようにして検出さ
れる。
【0005】図7に示すように、ハロゲンランプ1から
合成樹脂管Pの表面に光を投光し、その乱反射光をレン
ズ3を通して第1光電池4および第2光電池5で受光
し、スリット状光電池の光量を電気信号に変換すると、
図8(a)に示すように、表面異常の濃度に応じた信号
がスリット2の間隔に対応した時間差で得られる。これ
を差動回路に通すことにより、合成樹脂管Pの濃度を基
準とした図8(b)に示すような波形が得られる。
合成樹脂管Pの表面に光を投光し、その乱反射光をレン
ズ3を通して第1光電池4および第2光電池5で受光
し、スリット状光電池の光量を電気信号に変換すると、
図8(a)に示すように、表面異常の濃度に応じた信号
がスリット2の間隔に対応した時間差で得られる。これ
を差動回路に通すことにより、合成樹脂管Pの濃度を基
準とした図8(b)に示すような波形が得られる。
【0006】欠陥の判定は、スリット2間隔に対応した
時間差を考慮して、予め用意した正負2つのしきい値
(図中の破線)とを比較して、負のしきい値より低い信
号が検出され、さらに、この点からスリット2間隔に対
応した時間を経過した時点で、正のしきい値より高い信
号が検出されたときのみ欠陥と判定するものである。
時間差を考慮して、予め用意した正負2つのしきい値
(図中の破線)とを比較して、負のしきい値より低い信
号が検出され、さらに、この点からスリット2間隔に対
応した時間を経過した時点で、正のしきい値より高い信
号が検出されたときのみ欠陥と判定するものである。
【0007】なお、この種のものとしては、例えば、特
開平6−118005号公報および特開平6−1180
06号公報に記載されているものがある。
開平6−118005号公報および特開平6−1180
06号公報に記載されているものがある。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
表面欠陥検出装置51では、図8(a)に示すように、
表面異常の濃度に応じた信号がスリット2の間隔に対応
した時間差で得られることに基づいて、欠陥を検出する
ため、図10(a)に示すような点状の欠陥F1であれ
ば、時間差が生じて(図10(b)参照)、欠陥F1を
検出することができる。
表面欠陥検出装置51では、図8(a)に示すように、
表面異常の濃度に応じた信号がスリット2の間隔に対応
した時間差で得られることに基づいて、欠陥を検出する
ため、図10(a)に示すような点状の欠陥F1であれ
ば、時間差が生じて(図10(b)参照)、欠陥F1を
検出することができる。
【0009】しかしながら、合成樹脂管Pの表面に、図
11(a)に示すような軸方向(合成樹脂管Pの挿入進
行方向)に沿ったスリット状の欠陥F2が存在する場合
には、この欠陥F2の起点は検出できるものの、その後
(受光カメラ28が欠陥F2上を走査中)は、時間差が
生じない(図11(b)参照)ため、欠陥F2を検出す
ることができない、という問題が生じていた。
11(a)に示すような軸方向(合成樹脂管Pの挿入進
行方向)に沿ったスリット状の欠陥F2が存在する場合
には、この欠陥F2の起点は検出できるものの、その後
(受光カメラ28が欠陥F2上を走査中)は、時間差が
生じない(図11(b)参照)ため、欠陥F2を検出す
ることができない、という問題が生じていた。
【0010】この発明は、このような事情に基づきなさ
れたものであって、長尺体の長手方向に沿った欠陥をも
検出することができる表面欠陥検出装置を提供すること
を目的としている。
れたものであって、長尺体の長手方向に沿った欠陥をも
検出することができる表面欠陥検出装置を提供すること
を目的としている。
【0011】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、請求項1に記載の発明は、被検査体の表面から反射
された反射光を受光する受光部と、この受光部からの受
光量を電気信号に変換する信号変換部とを有する表面状
態検出手段が、取付盤に形成された挿入孔の外周部に、
この挿入孔の中心部を向かうように複数配設され、この
表面状態検出手段からの信号値と、この信号値に基づく
基準値との差より、前記被検査体の表面欠陥を検知する
欠陥検知手段を有し、前記挿入孔に、長尺状の前記被検
査体を挿入、進行させて、この被検査体の表面欠陥を連
続的に検出する表面欠陥検出装置において、前記取付盤
を前記挿入孔の中心部を中心に回転させる回転駆動手段
を設けたことを特徴とする。
め、請求項1に記載の発明は、被検査体の表面から反射
された反射光を受光する受光部と、この受光部からの受
光量を電気信号に変換する信号変換部とを有する表面状
態検出手段が、取付盤に形成された挿入孔の外周部に、
この挿入孔の中心部を向かうように複数配設され、この
表面状態検出手段からの信号値と、この信号値に基づく
基準値との差より、前記被検査体の表面欠陥を検知する
欠陥検知手段を有し、前記挿入孔に、長尺状の前記被検
査体を挿入、進行させて、この被検査体の表面欠陥を連
続的に検出する表面欠陥検出装置において、前記取付盤
を前記挿入孔の中心部を中心に回転させる回転駆動手段
を設けたことを特徴とする。
【0012】
【作用】 請求項1に記載の発明によれば、回転駆動手
段によって、複数の表面状態検出手段が被検査体の周上
を回転しながら、被検査体が進行するため、被検査体の
表面に進行方向(長手方向)に沿った欠陥が存在する場
合でも、順次異なる表面状態検出手段がこの欠陥上を走
査していくことになる。この結果、各表面状態検出手段
からの電気信号が逐次変化し、この変化に基づき進行方
向に沿った欠陥を認識することができる。
段によって、複数の表面状態検出手段が被検査体の周上
を回転しながら、被検査体が進行するため、被検査体の
表面に進行方向(長手方向)に沿った欠陥が存在する場
合でも、順次異なる表面状態検出手段がこの欠陥上を走
査していくことになる。この結果、各表面状態検出手段
からの電気信号が逐次変化し、この変化に基づき進行方
向に沿った欠陥を認識することができる。
【0013】
【実施例】以下、この発明を実施例に基づいて説明す
る。
る。
【0014】図1から図6は、この発明の一実施例を示
すものである。なお、上記従来例と同一の構成について
は、同一符号を付している。
すものである。なお、上記従来例と同一の構成について
は、同一符号を付している。
【0015】図2は、「被検査体」たる合成樹脂管Pの
押出成形ラインを示し、符号6は押出機、符号7は成形
金型、符号8、9は水槽であり、この水槽9を通過した
合成樹脂管Pが、表面欠陥検出装置10において検査さ
れる。そして、引取機12によって引き取られて、切断
機13にて、一定長に切断されるものである。なお、符
号11は、パルスエンコーダである。
押出成形ラインを示し、符号6は押出機、符号7は成形
金型、符号8、9は水槽であり、この水槽9を通過した
合成樹脂管Pが、表面欠陥検出装置10において検査さ
れる。そして、引取機12によって引き取られて、切断
機13にて、一定長に切断されるものである。なお、符
号11は、パルスエンコーダである。
【0016】表面欠陥検出装置10は、図1に示すよう
に、装置本体14上に円形の取付盤15が回転可能に配
設されており、この取付盤15の周面には、被動ギア1
5aが形成されている。また、装置本体14には、駆動
モータ16が取り付けられ、この駆動モータ16の出力
軸には、駆動ギア16aが取り付けられている。そし
て、被動ギア15aと駆動ギア16aとに掛けられた駆
動ベルト17を介して、駆動モータ16によって取付盤
15が回転されるようになっている。これらの被動ギア
15a、駆動モータ16、駆動ギア16aおよび駆動ベ
ルト17にて、「回転駆動手段」が構成されている。
に、装置本体14上に円形の取付盤15が回転可能に配
設されており、この取付盤15の周面には、被動ギア1
5aが形成されている。また、装置本体14には、駆動
モータ16が取り付けられ、この駆動モータ16の出力
軸には、駆動ギア16aが取り付けられている。そし
て、被動ギア15aと駆動ギア16aとに掛けられた駆
動ベルト17を介して、駆動モータ16によって取付盤
15が回転されるようになっている。これらの被動ギア
15a、駆動モータ16、駆動ギア16aおよび駆動ベ
ルト17にて、「回転駆動手段」が構成されている。
【0017】取付盤15には、その回転中心と同心に、
挿入孔15bが形成され、この挿入孔15bの外周部に
は、挿入孔15bの中心部を向かうように、「表面状態
検出手段」としての受光カメラ28〜31が配設されて
いる。
挿入孔15bが形成され、この挿入孔15bの外周部に
は、挿入孔15bの中心部を向かうように、「表面状態
検出手段」としての受光カメラ28〜31が配設されて
いる。
【0018】この受光カメラ28〜31は、図6に示す
ように、被検査体の表面から反射された反射光を受光す
る受光部34と、この受光部34からの受光量を電気信
号に変換する信号変換部35とを有している。
ように、被検査体の表面から反射された反射光を受光す
る受光部34と、この受光部34からの受光量を電気信
号に変換する信号変換部35とを有している。
【0019】さらに、装置本体14は、受光カメラ28
〜31からの信号に基づき被検査体の表面欠陥を検知す
る欠陥検知手段32と、出力部33とを有している。
〜31からの信号に基づき被検査体の表面欠陥を検知す
る欠陥検知手段32と、出力部33とを有している。
【0020】欠陥検知手段32は、図6に示すように、
信号の基準値設定手段36、基準値からの変位に基づき
表面の非定常性を検出する非定常検出手段37、基準値
に対する極性判定手段39、極性情報を保持する極性情
報保持手段40、極性情報に基づいて表面異常を分類す
る異常分類手段38とを備えている。
信号の基準値設定手段36、基準値からの変位に基づき
表面の非定常性を検出する非定常検出手段37、基準値
に対する極性判定手段39、極性情報を保持する極性情
報保持手段40、極性情報に基づいて表面異常を分類す
る異常分類手段38とを備えている。
【0021】この表面欠陥検出装置10の欠陥検出原理
は、前記従来例における表面欠陥検出装置51と同様で
ある。
は、前記従来例における表面欠陥検出装置51と同様で
ある。
【0022】即ち、取付盤15の挿入孔15bに挿入さ
れた合成樹脂管Pの表面に、図7に示すように、合成樹
脂管Pの表面にハロゲンランプ1から光を投光し、その
乱反射光をレンズ3を通して第1光電池4および第2光
電池5で受光し、スリット状光電池の光量を電気信号に
変換すると、図8(a)に示すように、表面異常の濃度
に応じた信号がスリット2の間隔に対応した時間差で得
られる。これを差動回路に通すことにより、合成樹脂管
Pの濃度を基準とした図8(b)に示すような波形が得
られる。
れた合成樹脂管Pの表面に、図7に示すように、合成樹
脂管Pの表面にハロゲンランプ1から光を投光し、その
乱反射光をレンズ3を通して第1光電池4および第2光
電池5で受光し、スリット状光電池の光量を電気信号に
変換すると、図8(a)に示すように、表面異常の濃度
に応じた信号がスリット2の間隔に対応した時間差で得
られる。これを差動回路に通すことにより、合成樹脂管
Pの濃度を基準とした図8(b)に示すような波形が得
られる。
【0023】欠陥の判定は、スリット2間隔に対応した
時間差を考慮して、予め用意した正負2つのしきい値
(図中の破線)とを比較して、負のしきい値より低い信
号が検出され、さらに、この点からスリット2間隔に対
応した時間を経過した時点で、正のしきい値より高い信
号が検出されたときのみ欠陥と判定するものである。
時間差を考慮して、予め用意した正負2つのしきい値
(図中の破線)とを比較して、負のしきい値より低い信
号が検出され、さらに、この点からスリット2間隔に対
応した時間を経過した時点で、正のしきい値より高い信
号が検出されたときのみ欠陥と判定するものである。
【0024】次に、合成樹脂管Pの表面に存在する、軸
方向(合成樹脂管Pの挿入進行方向)に沿ったスリット
状の欠陥F2を検出する場合について、図3から図5に
基き説明する。
方向(合成樹脂管Pの挿入進行方向)に沿ったスリット
状の欠陥F2を検出する場合について、図3から図5に
基き説明する。
【0025】いま、図3(a)に示すように、欠陥F2
が受光カメラ28〜31を通過し始めた時点で、第1受
光カメラ28の直下に欠陥F2の起点が位置したとする
と、図3(b)に示すように、第1受光カメラ28の第
1光電池4と第2光電池5とで時間差が生じて、上記の
原理に基づき、欠陥F2の起点が検出され、出力部33
としてのアラーム33が鳴動する。このとき、第2受光
カメラ29の第1光電池4と第2光電池5とで時間差は
生じていない。
が受光カメラ28〜31を通過し始めた時点で、第1受
光カメラ28の直下に欠陥F2の起点が位置したとする
と、図3(b)に示すように、第1受光カメラ28の第
1光電池4と第2光電池5とで時間差が生じて、上記の
原理に基づき、欠陥F2の起点が検出され、出力部33
としてのアラーム33が鳴動する。このとき、第2受光
カメラ29の第1光電池4と第2光電池5とで時間差は
生じていない。
【0026】続いて、合成樹脂管Pが進行すると同時
に、取付盤15が回転すると(図4(a)参照)、欠陥
F2の直上には受光カメラ28〜31が位置せず、図4
(b)に示すように、受光カメラ28、29において、
第1光電池4と第2光電池5とで時間差は生ぜず、アラ
ーム33が鳴動しない。
に、取付盤15が回転すると(図4(a)参照)、欠陥
F2の直上には受光カメラ28〜31が位置せず、図4
(b)に示すように、受光カメラ28、29において、
第1光電池4と第2光電池5とで時間差は生ぜず、アラ
ーム33が鳴動しない。
【0027】さらに、合成樹脂管Pが進行すると同時
に、取付盤15が回転して(図5(a)参照)、第2受
光カメラ29の直下に欠陥F2が位置すると、図5
(b)に示すように、第2受光カメラ29の第1光電池
4と第2光電池5とで時間差が生じて、上記の原理に基
づき、欠陥F2が検出され、アラーム33が鳴動する。
このとき、第1受光カメラ28の第1光電池4と第2光
電池5とで時間差は生じていない。
に、取付盤15が回転して(図5(a)参照)、第2受
光カメラ29の直下に欠陥F2が位置すると、図5
(b)に示すように、第2受光カメラ29の第1光電池
4と第2光電池5とで時間差が生じて、上記の原理に基
づき、欠陥F2が検出され、アラーム33が鳴動する。
このとき、第1受光カメラ28の第1光電池4と第2光
電池5とで時間差は生じていない。
【0028】このように、複数の受光カメラ28〜31
が合成樹脂管Pの周上を回転しながら、合成樹脂管Pが
進行するため、合成樹脂管Pの表面に進行方向に沿った
欠陥F2が存在する場合でも、順次異なる受光カメラ2
8〜31がこの欠陥F2上を走査していくことになる。
この結果、各受光カメラ28〜31からの電気信号が逐
次変化し、この変化に基づき進行方向に沿った欠陥F2
を認識することができることとなる。
が合成樹脂管Pの周上を回転しながら、合成樹脂管Pが
進行するため、合成樹脂管Pの表面に進行方向に沿った
欠陥F2が存在する場合でも、順次異なる受光カメラ2
8〜31がこの欠陥F2上を走査していくことになる。
この結果、各受光カメラ28〜31からの電気信号が逐
次変化し、この変化に基づき進行方向に沿った欠陥F2
を認識することができることとなる。
【0029】なお、この発明の実施例を図面に基づいて
説明してきたが、具体的な構成は、上記実施例に限られ
るものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設
計変更等があっても、この発明に含まれる。例えば、上
記実施例では、駆動ベルト17を介して取付盤15を回
転させているが、被動ギア15aと駆動ギア16aとの
間に中間ギアを噛み合わせて、取付盤15を回転させる
ようにしてもよい。
説明してきたが、具体的な構成は、上記実施例に限られ
るものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設
計変更等があっても、この発明に含まれる。例えば、上
記実施例では、駆動ベルト17を介して取付盤15を回
転させているが、被動ギア15aと駆動ギア16aとの
間に中間ギアを噛み合わせて、取付盤15を回転させる
ようにしてもよい。
【0030】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1に記載の
発明によれば、回転駆動手段によって、複数の表面状態
検出手段が被検査体の周上を回転しながら、被検査体が
進行するため、被検査体の表面に進行方向(長手方向)
に沿った欠陥が存在する場合でも、順次異なる表面状態
検出手段がこの欠陥上を走査していくことになる。この
結果、各表面状態検出手段からの電気信号が逐次変化
し、この変化に基づき進行方向に沿った欠陥を認識する
ことができる。
発明によれば、回転駆動手段によって、複数の表面状態
検出手段が被検査体の周上を回転しながら、被検査体が
進行するため、被検査体の表面に進行方向(長手方向)
に沿った欠陥が存在する場合でも、順次異なる表面状態
検出手段がこの欠陥上を走査していくことになる。この
結果、各表面状態検出手段からの電気信号が逐次変化
し、この変化に基づき進行方向に沿った欠陥を認識する
ことができる。
【図1】この発明の一実施例における表面欠陥検出装置
を示し、(a)は、その平面図であり、(b)は、その
側面図である。
を示し、(a)は、その平面図であり、(b)は、その
側面図である。
【図2】この発明の一実施例における合成樹脂管の押出
成形ラインの概念図である。
成形ラインの概念図である。
【図3】この発明の一実施例において、合成樹脂管の軸
方向に沿った欠陥を検出している状態を示し、(a)
は、欠陥直上に第1受光カメラが位置している表面欠陥
検出装置の平面図であり、(b)は、そのときの検出波
形の模式図である。
方向に沿った欠陥を検出している状態を示し、(a)
は、欠陥直上に第1受光カメラが位置している表面欠陥
検出装置の平面図であり、(b)は、そのときの検出波
形の模式図である。
【図4】同じく、合成樹脂管の軸方向に沿った欠陥を検
出している状態を示し、(a)は、欠陥直上に受光カメ
ラが位置しない表面欠陥検出装置の平面図であり、
(b)は、そのときの検出波形の模式図である。
出している状態を示し、(a)は、欠陥直上に受光カメ
ラが位置しない表面欠陥検出装置の平面図であり、
(b)は、そのときの検出波形の模式図である。
【図5】同じく、合成樹脂管の軸方向に沿った欠陥を検
出している状態を示し、(a)は、欠陥直上に第2受光
カメラが位置している表面欠陥検出装置の平面図であ
り、(b)は、そのときの検出波形の模式図である。
出している状態を示し、(a)は、欠陥直上に第2受光
カメラが位置している表面欠陥検出装置の平面図であ
り、(b)は、そのときの検出波形の模式図である。
【図6】この発明の一実施例における表面欠陥検出装置
のブロック図である。
のブロック図である。
【図7】表面欠陥検出装置の欠陥検出原理を示す模式図
である。
である。
【図8】表面欠陥検出装置の光電池(a)と差動回路
(b)の検出波形の模式図である。
(b)の検出波形の模式図である。
【図9】従来例における表面欠陥検出装置の平面図であ
る。
る。
【図10】同従来例において、合成樹脂管の点状の欠陥
を検出している状態を示し、(a)は、その模式図であ
り、(b)は、そのときの検出波形の模式図である。
を検出している状態を示し、(a)は、その模式図であ
り、(b)は、そのときの検出波形の模式図である。
【図11】同従来例において、合成樹脂管の軸方向に沿
った欠陥を検出している状態を示し、(a)は、その模
式図であり、(b)は、そのときの検出波形の模式図で
ある。
った欠陥を検出している状態を示し、(a)は、その模
式図であり、(b)は、そのときの検出波形の模式図で
ある。
3 レンズ 10 表面欠陥検出装置 14 装置本体 15 取付盤 15b 挿入孔 16 駆動モータ(回転駆動手段) 17 駆動ベルト(回転駆動手段) 28〜31 受光カメラ(表面状態検出手段) 32 欠陥検知手段 P 合成樹脂管(長尺状の被検査体)
Claims (1)
- 【請求項1】 被検査体の表面から反射された反射光を
受光する受光部と、この受光部からの受光量を電気信号
に変換する信号変換部とを有する表面状態検出手段が、
取付盤に形成された挿入孔の外周部に、この挿入孔の中
心部を向かうように複数配設され、 この表面状態検出手段からの信号値と、この信号値に基
づく基準値との差より、前記被検査体の表面欠陥を検知
する欠陥検知手段を有し、 前記挿入孔に、長尺状の前記被検査体を挿入、進行させ
て、この被検査体の表面欠陥を連続的に検出する表面欠
陥検出装置において、 前記取付盤を前記挿入孔の中心部を中心に回転させる回
転駆動手段を設けたことを特徴とする表面欠陥検出装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6282093A JPH08147467A (ja) | 1994-11-16 | 1994-11-16 | 表面欠陥検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6282093A JPH08147467A (ja) | 1994-11-16 | 1994-11-16 | 表面欠陥検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08147467A true JPH08147467A (ja) | 1996-06-07 |
Family
ID=17648036
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6282093A Pending JPH08147467A (ja) | 1994-11-16 | 1994-11-16 | 表面欠陥検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08147467A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1994
- 1994-11-16 JP JP6282093A patent/JPH08147467A/ja active Pending
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