JPH08145619A - レーザ干渉計 - Google Patents
レーザ干渉計Info
- Publication number
- JPH08145619A JPH08145619A JP6289785A JP28978594A JPH08145619A JP H08145619 A JPH08145619 A JP H08145619A JP 6289785 A JP6289785 A JP 6289785A JP 28978594 A JP28978594 A JP 28978594A JP H08145619 A JPH08145619 A JP H08145619A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solid
- state image
- image sensor
- cover glass
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 観察されるノイズ縞を生じさせず、見えの良
いレーザ干渉計を提供する。 【構成】 マイクロレンズ２を固体撮像素子１の面上に
配置するとともに、固体撮像素子１の面に対して一面が
傾いているカバーガラス４を固体撮像素子１に対向して
配置する。カバーガラス４を透過して固体撮像素子１に
到達するレーザ光に対し、カバーガラス４の内部で反射
して固体撮像素子１に到達するノイズ光は傾いた状態に
なるので、ノイズ縞のピッチは固体撮像素子１で観察で
きないくらい小さくなる。
いレーザ干渉計を提供する。 【構成】 マイクロレンズ２を固体撮像素子１の面上に
配置するとともに、固体撮像素子１の面に対して一面が
傾いているカバーガラス４を固体撮像素子１に対向して
配置する。カバーガラス４を透過して固体撮像素子１に
到達するレーザ光に対し、カバーガラス４の内部で反射
して固体撮像素子１に到達するノイズ光は傾いた状態に
なるので、ノイズ縞のピッチは固体撮像素子１で観察で
きないくらい小さくなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光を用いたレー
ザ干渉計に関する。
ザ干渉計に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、被検物、例えばレンズなどの
形状等を測定する測定機としてレーザ光を用いた干渉計
がある。かかるレーザ干渉計においては、干渉縞を観察
することにより被検物の形状等を測定しているが、この
干渉縞を観察する手段として多くの場合、ＣＣＤカメラ
が用いられている。一般的にＣＣＤカメラには、図６に
示すように、固体撮像素子３０を保護するための平行平
面なカバーガラス３１が固体撮像素子３０に対向して固
体撮像素子３０の受光面と平行に設けられている。しか
し、ＣＣＤカメラに入射する光ＣＲがレーザのような可
干渉光のときには、固体撮像素子３０の受光面に入射す
る光Ａに対し、カバーガラス３１の裏面３１ｂで反射し
た後さらに表面３１ａで反射した光Ｂや、受光面で反射
した後さらにカバーガラス３１の裏面３１ｂで反射した
光Ｃ、受光面で反射した後さらにカバーガラス３１の表
面３１ａで反射した光Ｄがそれぞれノイズ光となり、ノ
イズ縞を発生させてしまう不具合があった。
形状等を測定する測定機としてレーザ光を用いた干渉計
がある。かかるレーザ干渉計においては、干渉縞を観察
することにより被検物の形状等を測定しているが、この
干渉縞を観察する手段として多くの場合、ＣＣＤカメラ
が用いられている。一般的にＣＣＤカメラには、図６に
示すように、固体撮像素子３０を保護するための平行平
面なカバーガラス３１が固体撮像素子３０に対向して固
体撮像素子３０の受光面と平行に設けられている。しか
し、ＣＣＤカメラに入射する光ＣＲがレーザのような可
干渉光のときには、固体撮像素子３０の受光面に入射す
る光Ａに対し、カバーガラス３１の裏面３１ｂで反射し
た後さらに表面３１ａで反射した光Ｂや、受光面で反射
した後さらにカバーガラス３１の裏面３１ｂで反射した
光Ｃ、受光面で反射した後さらにカバーガラス３１の表
面３１ａで反射した光Ｄがそれぞれノイズ光となり、ノ
イズ縞を発生させてしまう不具合があった。
【０００３】この不具合を解決するために、ＣＣＤカメ
ラのカバーガラス３１を傾ける方法が知られており、例
えば、特開平５−３１６２８４号公報で提案されてい
る。図７は、上記公開公報に開示された干渉縞ノイズ防
止機構を示す断面図で、固体撮像素子３５はハウジング
３６に収納されており、ハウジング３６には固体撮像素
子３５を収納した空間を密閉するように平行平面カバー
ガラス３７が取り付けられている。カバーガラス３７
は、固体撮像素子３５に対し、すなわちＣＣＤカメラの
光軸に対し傾けて配置され、これにより、図６に示す光
Ｃと光Ｄのノイズ光が、光Ａに対して進行方向が異なる
ように構成されている。したがって、光Ａと光Ｃ、光Ａ
と光Ｄによるノイズ縞を、ＣＣＤカメラでは認識できな
いくらいに細かくすることができる。また、光Ｂによる
ノイズ縞は、カバーガラス３７の表裏面に反射防止コー
トを施すことにより抑えている。
ラのカバーガラス３１を傾ける方法が知られており、例
えば、特開平５−３１６２８４号公報で提案されてい
る。図７は、上記公開公報に開示された干渉縞ノイズ防
止機構を示す断面図で、固体撮像素子３５はハウジング
３６に収納されており、ハウジング３６には固体撮像素
子３５を収納した空間を密閉するように平行平面カバー
ガラス３７が取り付けられている。カバーガラス３７
は、固体撮像素子３５に対し、すなわちＣＣＤカメラの
光軸に対し傾けて配置され、これにより、図６に示す光
Ｃと光Ｄのノイズ光が、光Ａに対して進行方向が異なる
ように構成されている。したがって、光Ａと光Ｃ、光Ａ
と光Ｄによるノイズ縞を、ＣＣＤカメラでは認識できな
いくらいに細かくすることができる。また、光Ｂによる
ノイズ縞は、カバーガラス３７の表裏面に反射防止コー
トを施すことにより抑えている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来技術では、光Ｃと
光Ｄによるノイズ縞は抑えられるが、光Ｂによるノイズ
縞は、カバーガラス３７の表裏面に反射防止コートを施
すことにより薄くして目立たなくしている。しかし、反
射防止コートで反射率を０％にすることは困難であり、
また多層膜反射防止コートを施せば、反射率を０％に近
付けることは可能であるが、コストがかかるという問題
があった。
光Ｄによるノイズ縞は抑えられるが、光Ｂによるノイズ
縞は、カバーガラス３７の表裏面に反射防止コートを施
すことにより薄くして目立たなくしている。しかし、反
射防止コートで反射率を０％にすることは困難であり、
また多層膜反射防止コートを施せば、反射率を０％に近
付けることは可能であるが、コストがかかるという問題
があった。
【０００５】本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みて
なされたもので、従来のレーザ干渉計におけるＣＣＤカ
メラの問題を解決し、安価で、ノイズ縞を生じさせず、
見えの良いレーザ干渉計を提供することを目的とする。
なされたもので、従来のレーザ干渉計におけるＣＣＤカ
メラの問題を解決し、安価で、ノイズ縞を生じさせず、
見えの良いレーザ干渉計を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１の発明は、被検物の形状等を測定するレー
ザ干渉計において、固体撮像素子と、前記固体撮像素子
面上に配置したマイクロレンズと、前記固体撮像素子に
対向して配置され前記固体撮像素子面に対し一面が傾い
ているカバーガラスとを具備して構成した。
に、請求項１の発明は、被検物の形状等を測定するレー
ザ干渉計において、固体撮像素子と、前記固体撮像素子
面上に配置したマイクロレンズと、前記固体撮像素子に
対向して配置され前記固体撮像素子面に対し一面が傾い
ているカバーガラスとを具備して構成した。
【０００７】請求項２の発明は、前記カバーガラスを、
固体撮像素子面に対して平行なガラスと一面が傾いてい
るガラスとより構成した。
固体撮像素子面に対して平行なガラスと一面が傾いてい
るガラスとより構成した。
【０００８】請求項３の発明は、被検物の形状等を測定
するレーザ干渉計において、固体撮像素子と、前記固体
撮像素子面上に配置されたマイクロレンズと、前記固体
撮像素子に対向して前記固体撮像素子面に対し平行なガ
ラスおよび前記干渉計の光軸に垂直な面に対して一面が
傾いているプリズムよりなるカバーガラスとを具備して
構成した。
するレーザ干渉計において、固体撮像素子と、前記固体
撮像素子面上に配置されたマイクロレンズと、前記固体
撮像素子に対向して前記固体撮像素子面に対し平行なガ
ラスおよび前記干渉計の光軸に垂直な面に対して一面が
傾いているプリズムよりなるカバーガラスとを具備して
構成した。
【０００９】
【作用】請求項１〜３の構成にあっては、レーザ光源か
ら射出され、カバーガラスを透過し、固体撮像素子上の
マイクロレンズで反射したレーザ光はマイクロレンズの
表面がほぼ球面であるために発散光となり、干渉縞像に
は悪影響を与えない。
ら射出され、カバーガラスを透過し、固体撮像素子上の
マイクロレンズで反射したレーザ光はマイクロレンズの
表面がほぼ球面であるために発散光となり、干渉縞像に
は悪影響を与えない。
【００１０】また、図３に示すように、カバーガラスを
透過したレーザ光６とカバーガラスの裏面で反射してそ
の一部が表面で反射したノイズ光７とは、請求項１，２
の構成のようにカバーガラスの一面が受光面に対して傾
いているか、もしくは請求項３の構成のようにカバーガ
ラスを構成するプリズムの一面が干渉計の光軸に垂直な
面に対して傾いているので、角度θを有する。この時発
生するノイズ縞のピッチＰは、 Ｐ＝λ／ｓｉｎθ （λはレーザ光の波長） で示される。したがって、傾き角度θを大きくすれば、
ノイズ縞のピッチＰを固体撮像素子では観察できないく
らい細かくすることが可能となる。以上より、レーザ干
渉計のノイズ縞を実質的に除去することが可能となる。
透過したレーザ光６とカバーガラスの裏面で反射してそ
の一部が表面で反射したノイズ光７とは、請求項１，２
の構成のようにカバーガラスの一面が受光面に対して傾
いているか、もしくは請求項３の構成のようにカバーガ
ラスを構成するプリズムの一面が干渉計の光軸に垂直な
面に対して傾いているので、角度θを有する。この時発
生するノイズ縞のピッチＰは、 Ｐ＝λ／ｓｉｎθ （λはレーザ光の波長） で示される。したがって、傾き角度θを大きくすれば、
ノイズ縞のピッチＰを固体撮像素子では観察できないく
らい細かくすることが可能となる。以上より、レーザ干
渉計のノイズ縞を実質的に除去することが可能となる。
【００１１】
【実施例１】図１および図２に本発明の実施例１を示
す。本実施例のレーザ干渉計には、図１に示すように、
マイクロレンズ２を有する固体撮像素子１と、固体撮像
素子１を収納するハウジング３と、固体撮像素子１を保
護するため固体撮像素子１の前方においてハウジング３
に取り付けられたカバーガラス４が具備されている。カ
バーガラス４は、両面が平面で、かつ一方の面が他方の
面に対して傾斜するように形成され、その一面が固体撮
像素子１の面に対して傾けられた状態で取り付けられて
おり、本実施例ではレーザ光が入射する表面側を傾けた
状態で設置してある。
す。本実施例のレーザ干渉計には、図１に示すように、
マイクロレンズ２を有する固体撮像素子１と、固体撮像
素子１を収納するハウジング３と、固体撮像素子１を保
護するため固体撮像素子１の前方においてハウジング３
に取り付けられたカバーガラス４が具備されている。カ
バーガラス４は、両面が平面で、かつ一方の面が他方の
面に対して傾斜するように形成され、その一面が固体撮
像素子１の面に対して傾けられた状態で取り付けられて
おり、本実施例ではレーザ光が入射する表面側を傾けた
状態で設置してある。
【００１２】つぎに、本実施例の作用を図２を用いて説
明する。図２において、ＣＣＤカメラ２０に入射するレ
ーザ光５はカバーガラス４を透過し、固体撮像素子１に
到達する。レーザ光５がカバーガラス４を透過する際、
レーザ光５の一部はカバーガラス４の表面４ａと裏面４
ｂで反射し、カバーガラス４を透過したレーザ光６の一
部はマイクロレンズ２の表面で反射する。ここで、マイ
クロレンズ２の表面で反射したレーザ光は、マイクロレ
ンズ２の表面がほぼ球面であるため、発散光８となり干
渉縞像には悪影響を与えない。
明する。図２において、ＣＣＤカメラ２０に入射するレ
ーザ光５はカバーガラス４を透過し、固体撮像素子１に
到達する。レーザ光５がカバーガラス４を透過する際、
レーザ光５の一部はカバーガラス４の表面４ａと裏面４
ｂで反射し、カバーガラス４を透過したレーザ光６の一
部はマイクロレンズ２の表面で反射する。ここで、マイ
クロレンズ２の表面で反射したレーザ光は、マイクロレ
ンズ２の表面がほぼ球面であるため、発散光８となり干
渉縞像には悪影響を与えない。
【００１３】また、カバーガラス４の内部を通過してカ
バーガラスの裏面４ｂに到達したレーザ光５は、その一
部がカバーガラス４の裏面４ｂで反射し、他のレーザ光
５が上記レーザ光６となる。カバーガラス４の裏面４ｂ
で反射されたレーザ光５はカバーガラス４の表面４ａに
到達し、その一部が表面４ａで反射され再びカバーガラ
ス４を透過してノイズ光７となり、固体撮像素子１に到
達する。ここで、カバーガラス４の一面（表面４ａ）が
固体撮像素子１の面に対して傾けられているので、レー
ザ光６とノイズ光７との進行方向が異なり、レーザ光６
に対してノイズ光７が傾いた状態で固体撮像素子１に到
達する。
バーガラスの裏面４ｂに到達したレーザ光５は、その一
部がカバーガラス４の裏面４ｂで反射し、他のレーザ光
５が上記レーザ光６となる。カバーガラス４の裏面４ｂ
で反射されたレーザ光５はカバーガラス４の表面４ａに
到達し、その一部が表面４ａで反射され再びカバーガラ
ス４を透過してノイズ光７となり、固体撮像素子１に到
達する。ここで、カバーガラス４の一面（表面４ａ）が
固体撮像素子１の面に対して傾けられているので、レー
ザ光６とノイズ光７との進行方向が異なり、レーザ光６
に対してノイズ光７が傾いた状態で固体撮像素子１に到
達する。
【００１４】本実施例によれば、レーザ光６とノイズ光
７によるノイズ縞を固体撮像素子１では観察できないく
らいに細かくすることができる。
７によるノイズ縞を固体撮像素子１では観察できないく
らいに細かくすることができる。
【００１５】
【実施例２】図４に本発明の実施例２を示す。本実施例
のレーザ干渉計には、図４に示すように、マイクロレン
ズ２を搭載した固体撮像素子１と、固体撮像素子１を収
納するハウジング３と、固体撮像素子１を保護するため
固体撮像素子１の前方においてハウジング３に取り付け
られた平行平面である平面ガラス１０および平面ガラス
１０の表面に接合された屈折率が平面ガラス１０と同じ
硝材で形成したクサビ状ガラス１１からなるカバーガラ
ス１５が具備されている。すなわち、クサビ状ガラス１
１は、両面が平面で、一面（クサビ面１１ａ）が固体撮
像素子１の面に対して傾けられた状態で平面ガラスに取
り付けられている。
のレーザ干渉計には、図４に示すように、マイクロレン
ズ２を搭載した固体撮像素子１と、固体撮像素子１を収
納するハウジング３と、固体撮像素子１を保護するため
固体撮像素子１の前方においてハウジング３に取り付け
られた平行平面である平面ガラス１０および平面ガラス
１０の表面に接合された屈折率が平面ガラス１０と同じ
硝材で形成したクサビ状ガラス１１からなるカバーガラ
ス１５が具備されている。すなわち、クサビ状ガラス１
１は、両面が平面で、一面（クサビ面１１ａ）が固体撮
像素子１の面に対して傾けられた状態で平面ガラスに取
り付けられている。
【００１６】つぎに、本実施例の作用を説明する。クサ
ビ状ガラス１１のクサビ面１１ａ側から固体撮像素子１
へ入射されるレーザ光１２は、クサビ状ガラス１１およ
び平面ガラス１０の内部を通り、その一部が平面ガラス
１０の裏面１０ｂで反射され、他は平面ガラス１０を透
過したレーザ光１３となって固体撮像素子１に到達す
る。平面ガラス１０の裏面１０ｂでクサビ状ガラス１１
の方向に反射されたレーザ光１２は、その一部がクサビ
状ガラス１１のクサビ面１１ａで反射され、再びクサビ
状ガラス１１および平面ガラス１０を透過し、レーザ光
１３に対して傾いたノイズ光１４となって固体撮像素子
１に到達する。
ビ状ガラス１１のクサビ面１１ａ側から固体撮像素子１
へ入射されるレーザ光１２は、クサビ状ガラス１１およ
び平面ガラス１０の内部を通り、その一部が平面ガラス
１０の裏面１０ｂで反射され、他は平面ガラス１０を透
過したレーザ光１３となって固体撮像素子１に到達す
る。平面ガラス１０の裏面１０ｂでクサビ状ガラス１１
の方向に反射されたレーザ光１２は、その一部がクサビ
状ガラス１１のクサビ面１１ａで反射され、再びクサビ
状ガラス１１および平面ガラス１０を透過し、レーザ光
１３に対して傾いたノイズ光１４となって固体撮像素子
１に到達する。
【００１７】本実施例によれば、従来よりあるマイクロ
レンズを搭載した固体撮像素子１のカバーガラスを、平
面ガラス１０とクサビ状ガラス１１を接合したカバーガ
ラス１５にするだけで、ノイズ縞を固体撮像素子１では
認識できないように細かくすることができる。
レンズを搭載した固体撮像素子１のカバーガラスを、平
面ガラス１０とクサビ状ガラス１１を接合したカバーガ
ラス１５にするだけで、ノイズ縞を固体撮像素子１では
認識できないように細かくすることができる。
【００１８】
【実施例３】図５に本発明の実施例３を示す。本実施例
では、実施例２に用いたクサビ状ガラス１１に換えて、
屈折率が平面ガラス１０と同じ硝材で、かつ入射するレ
ーザ光２２の光軸２５に対し傾いた面２１ａを有するプ
リズム２１を平面ガラス１０の表面に接合してカバーガ
ラス２６を構成した。なお、２１ｂは、プリズム２１に
入射したレーザ光２２を固体撮像素子１の方向に導く反
射面である。他の構成は、実施例２と同様である。
では、実施例２に用いたクサビ状ガラス１１に換えて、
屈折率が平面ガラス１０と同じ硝材で、かつ入射するレ
ーザ光２２の光軸２５に対し傾いた面２１ａを有するプ
リズム２１を平面ガラス１０の表面に接合してカバーガ
ラス２６を構成した。なお、２１ｂは、プリズム２１に
入射したレーザ光２２を固体撮像素子１の方向に導く反
射面である。他の構成は、実施例２と同様である。
【００１９】つぎに、本実施例の作用を説明する。プリ
ズム２１の傾いた面２１ａ側から入射されたレーザ光２
２は、干渉計の光軸２５に対し傾いた面２１ａを通過し
て反射面２１ｂで反射し、平面ガラス１０を透過して、
光２３として固体撮像素子１に到達する。そして、レー
ザ光２２が平面ガラス１０の裏面１０ｂを通過すると
き、平面ガラス１０の裏面１０ｂで、レーザ光２２の一
部が反射する。この反射光は、反射面２１ｂで反射され
た後、傾いた面２１ａで反射し、再び反射面２１ｂで反
射して、ノイズ光２４となり、固体撮像素子１に到達す
る。このとき、プリズム２１の面２１ａが干渉計の光軸
２５に対して傾いているので、面２１ａで反射されて反
射面２１ｂに入射する角度が、反射面２１ｂに入射する
レーザ光２２の角度とは異なり、ノイズ光２４は光２３
に対して傾いた状態で固体撮像素子１に到達する。
ズム２１の傾いた面２１ａ側から入射されたレーザ光２
２は、干渉計の光軸２５に対し傾いた面２１ａを通過し
て反射面２１ｂで反射し、平面ガラス１０を透過して、
光２３として固体撮像素子１に到達する。そして、レー
ザ光２２が平面ガラス１０の裏面１０ｂを通過すると
き、平面ガラス１０の裏面１０ｂで、レーザ光２２の一
部が反射する。この反射光は、反射面２１ｂで反射され
た後、傾いた面２１ａで反射し、再び反射面２１ｂで反
射して、ノイズ光２４となり、固体撮像素子１に到達す
る。このとき、プリズム２１の面２１ａが干渉計の光軸
２５に対して傾いているので、面２１ａで反射されて反
射面２１ｂに入射する角度が、反射面２１ｂに入射する
レーザ光２２の角度とは異なり、ノイズ光２４は光２３
に対して傾いた状態で固体撮像素子１に到達する。
【００２０】本実施例によれば、実施例２の効果に加え
て、光路を曲げる役目と、ノイズ縞を防止する役目を１
つのプリズムで果たすことができるので、レーザ干渉計
の小型化が可能となる。
て、光路を曲げる役目と、ノイズ縞を防止する役目を１
つのプリズムで果たすことができるので、レーザ干渉計
の小型化が可能となる。
【００２１】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、レーザ
干渉計におけるＣＣＤカメラで発生するノイズ縞を安価
な方法で有効に除去することができ、干渉縞の見えの良
い高精度なレーザ干渉計を提供することができる。
干渉計におけるＣＣＤカメラで発生するノイズ縞を安価
な方法で有効に除去することができ、干渉縞の見えの良
い高精度なレーザ干渉計を提供することができる。
【図１】本発明の実施例１を示す断面図である。
【図２】本発明の実施例１の作用を説明するための説明
図である。
図である。
【図３】本発明の作用を説明するための説明図である。
【図４】本発明の実施例２を示す断面図である。
【図５】本発明の実施例３を示す断面図である。
【図６】従来技術を説明するための説明図である。
【図７】従来技術を示す断面図である。
１ 固体撮像素子 ２ マイクロレンズ ４ １５ ２６ カバーレンズ １０ 平面ガラス １１ クサビ状ガラス ２１ プリズム
Claims (3)
- 【請求項１】 被検物の形状等を測定するレーザ干渉計
において、固体撮像素子と、前記固体撮像素子面上に配
置したマイクロレンズと、前記固体撮像素子に対向して
配置され前記固体撮像素子面に対し一面が傾いているカ
バーガラスとを具備したことを特徴とするレーザ干渉
計。 - 【請求項２】 カバーガラスは、固体撮像素子面に対し
て平行なガラスと一面が傾いているガラスとより構成し
たことを特徴とする請求項１記載のレーザ干渉計。 - 【請求項３】 被検物の形状等を測定するレーザ干渉計
において、固体撮像素子と、前記固体撮像素子面上に配
置されたマイクロレンズと、前記固体撮像素子に対向し
て前記固体撮像素子面に対し平行なガラスおよび前記干
渉計の光軸に垂直な面に対して一面が傾いているプリズ
ムより構成されるカバーガラスとを具備したことを特徴
とするレーザ干渉計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6289785A JPH08145619A (ja) | 1994-11-24 | 1994-11-24 | レーザ干渉計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6289785A JPH08145619A (ja) | 1994-11-24 | 1994-11-24 | レーザ干渉計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08145619A true JPH08145619A (ja) | 1996-06-07 |
Family
ID=17747745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6289785A Withdrawn JPH08145619A (ja) | 1994-11-24 | 1994-11-24 | レーザ干渉計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08145619A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009222418A (ja) * | 2008-03-13 | 2009-10-01 | Aisin Seiki Co Ltd | 凹凸表面検査装置 |
| JP2011112607A (ja) * | 2009-11-30 | 2011-06-09 | Olympus Corp | 干渉計 |
| WO2015012120A1 (ja) | 2013-07-23 | 2015-01-29 | ソニー株式会社 | 撮像装置 |
| CN106123793A (zh) * | 2016-06-29 | 2016-11-16 | 北京航天控制仪器研究所 | 一种便携式光学干涉法球径球度快速检测仪 |
-
1994
- 1994-11-24 JP JP6289785A patent/JPH08145619A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009222418A (ja) * | 2008-03-13 | 2009-10-01 | Aisin Seiki Co Ltd | 凹凸表面検査装置 |
| JP2011112607A (ja) * | 2009-11-30 | 2011-06-09 | Olympus Corp | 干渉計 |
| WO2015012120A1 (ja) | 2013-07-23 | 2015-01-29 | ソニー株式会社 | 撮像装置 |
| CN105452954A (zh) * | 2013-07-23 | 2016-03-30 | 索尼公司 | 成像装置 |
| US10368009B2 (en) | 2013-07-23 | 2019-07-30 | Sony Corporation | Imaging apparatus |
| CN106123793A (zh) * | 2016-06-29 | 2016-11-16 | 北京航天控制仪器研究所 | 一种便携式光学干涉法球径球度快速检测仪 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0647827B1 (en) | Film thickness measurement of structures containing a scattering surface | |
| JP2004093561A (ja) | 色分散を生成するためのバーチャル・イメージ・フェーズ・アレイを用いる光装置 | |
| KR20080087089A (ko) | Ｍｅｍｓ 빔 스캐너 시스템 및 방법 | |
| JPS5845686B2 (ja) | 内視鏡用一眼レフ光学系 | |
| US5113071A (en) | Encoder in which single light source projects dual beams onto grating | |
| JPH08145619A (ja) | レーザ干渉計 | |
| JP2002071318A (ja) | コーティングの光学的な層厚さを連続的に決定するための方法 | |
| US4865452A (en) | Beam combiner assembly for ring laser gyroscope | |
| EP0592075B1 (en) | A polarization detector | |
| US5039213A (en) | Optical equipment with a semitransparent mirror | |
| JP3125557B2 (ja) | 撮像装置 | |
| JPH07113948A (ja) | 焦点検出装置 | |
| JP2000009465A (ja) | 自動焦点検出測量機の遮光構造 | |
| US20240126206A1 (en) | Holographic microscope | |
| JP4547497B2 (ja) | 反射型ピンホールおよびその製造方法 | |
| JP2001349704A (ja) | 干渉計装置 | |
| JPH01212304A (ja) | 縞走査・シアリング方法 | |
| JPH0626984A (ja) | ファイバー端面測定装置 | |
| JPH05196823A (ja) | 導波路チップ | |
| KR100422378B1 (ko) | 경사단면 광섬유 광원을 이용한 피조 간섭계 | |
| JPH07225107A (ja) | 光導波路型変位センサ | |
| JPH1152111A (ja) | 光線分割器 | |
| JPH07225108A (ja) | 光導波路型変位センサ | |
| JPS63189846A (ja) | 音響光学光スイツチ | |
| JPH04147108A (ja) | 撮像装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020205 |