JPH08140365A - Method for controlling electrostatic actuator - Google Patents

Abstract

PURPOSE: To eliminate a dead point by repeating a cycle consisting of three steps at the electrode of each phase of a stator and shifting the cycle of each phase by one step each and applying positive and negative voltages up to a specific point in the first step and thereafter, respectively. CONSTITUTION: A negative voltage and a positive voltage are regularly applied to electrodes 17a and 17b of phases (a) and (b) of a moving element 11 and an electrode 17c of a phase (c), respectively, and a cycle consisting of three continuous steps is repeated for electrodes 20a, 20b, and 20c of phases U, V, and W of the stator 12 to switch the polarity of applied voltage. Also, phase is advanced for the phases V and W by one and two steps each in reference to the phase U for switching polarity. In the first step out of three steps, a positive voltage is applied up to a specific point within 4/8-6/8 sections and a negative voltage is applied thereafter to eliminate a dead point and positively and smoothly moving a moving element 11.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、サンバイザ、ムーンル
ーフ、リアウインド等の動力源として好適に使用される
静電アクチュエータの制御方法に関し、詳しくは、固定
子と移動子の間に発生する、静電気による吸引力、反発
力により移動子を駆動する静電アクチュエータにおい
て、移動子の作動の確実性及び円滑性向上に関するもの
である。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for controlling an electrostatic actuator preferably used as a power source for a sun visor, a moon roof, a rear window, etc., and more specifically, it is generated between a stator and a mover. The present invention relates to improving the certainty and smoothness of operation of a moving element in an electrostatic actuator that drives the moving element by a suction force and a repulsive force due to static electricity.

【０００２】[0002]

【従来の技術】この種の静電アクチュエータとして、本
出願人は先に実願平５−４２８４８号において、図７に
示す静電アクチュエータを提案した。この静電アクチュ
エータの固定子１は、絶縁層２の表面に等しいピッチＰ
で配設した多数の電極３ａ，３ｂ，３ｃ，・・・３ａ，
３ｂ，３ｃ，・・・・を備え、これらの電極３ａ，３
ｂ，３ｃのうち２つ置きに位置する電極３ａ，３ｂ，３
ｃを相互に接続して３相（Ｕ相，Ｖ相，Ｗ相）としてい
る。また、移動子４も絶縁層５に等しいピッチＰで配置
した電極６ａ，６ｂ，６ｃ，・・・６ａ，６ｂ，６ｃ・
・・を備え、これらの電極６ａ，６ｂ，６ｃのうち二つ
おきに位置する電極６ａ，６ｂ，６ｃを相互に接続して
３相（ａ相，ｂ相，ｃ相）とし、さらにａ相の電極６ａ
とｂ相の電極６ｂを相互に接続している。2. Description of the Related Art As an electrostatic actuator of this type, the present applicant has previously proposed an electrostatic actuator shown in FIG. 7 in Japanese Patent Application No. 5-42848. The stator 1 of this electrostatic actuator has a pitch P equal to the surface of the insulating layer 2.
A large number of electrodes 3a, 3b, 3c, ...
3b, 3c, ..., And these electrodes 3a, 3
Electrodes 3a, 3b, 3 located every two of b, 3c
c are mutually connected to form three phases (U phase, V phase, W phase). Further, the mover 4 is also provided with electrodes 6a, 6b, 6c, ... 6a, 6b, 6c, ...
.., and every other two electrodes 6a, 6b, 6c of these electrodes 6a, 6b, 6c are connected to each other to form three phases (a phase, b phase, c phase), and further a phase Electrode 6a
And the b-phase electrode 6b are connected to each other.

【０００３】移動子４を駆動する際には、上記移動子４
の電極６ａ，６ｂ，６ｃにａ相，ｂ相の電極６ａ，６ｂ
に対して負（以下、“−”と表記する。）の高電圧を、
ｃ相の電極６ｃに対しては正（以下、“＋”と表記す
る。）の高電圧をそれぞれ固定的に印加する。一方、固
定子１には、移動子４を移動させる方向に応じて、
“＋”，“−”の２種の高電圧を周期的に切り替えて印
加する。When the mover 4 is driven, the mover 4
Electrodes 6a, 6b, 6c of the a-phase, b-phase electrodes 6a, 6b
In contrast, a negative (hereinafter referred to as "-") high voltage is
A positive (hereinafter referred to as "+") high voltage is fixedly applied to the c-phase electrode 6c. On the other hand, in the stator 1, depending on the direction in which the mover 4 is moved,
Two types of high voltage, "+" and "-", are periodically switched and applied.

【０００４】移動子４を図中左側（矢印Ａ側）に移動さ
せる場合には、図８に示すように、等時間間隔（時間
α）の連続する３つのステップＳ１，Ｓ２，Ｓ３からな
るサイクルを繰り返し、かつ、各相のサイクルを１ステ
ップ分ずつ位相をずらして固定子１の電極３ａ，３ｂ，
３ｃに対して電圧を印加する。When the mover 4 is moved to the left side (arrow A side) in the figure, as shown in FIG. 8, a cycle consisting of three consecutive steps S1, S2, S3 at equal time intervals (time α). And the cycle of each phase is shifted by one step, and the electrodes 3a, 3b,
A voltage is applied to 3c.

【０００５】Ｕ相の電極３ａに対しは、第１ステップＳ
１は“＋”、第２ステップＳ２は“−”、第３ステップ
Ｓ３は“＋”というパターンで高電圧を印加する。ま
た、Ｖ相の電極３ｂ、Ｗ相の電極３ｃに対しては、上記
Ｕ相の電極３ａよりもそれぞれ１ステップ分、２ステッ
プ分だけ位相を進めて、同一パターンで高電圧を印加す
る。かかる高電圧の印加により、固定子１の電極３ａ〜
３ｃと移動子４の電極６ａ〜６ｃとの間に静電気による
吸引力、反発力が作用し、第１ステップから第３ステッ
プＳ１，Ｓ２，Ｓ３の各ステップ毎に、移動子４は、電
極３ａ〜３ｃ，６ａ〜６ｃのピッチＰの分だけ左側に移
動する。For the U-phase electrode 3a, the first step S
The high voltage is applied in the pattern of "1" in the first step, "-" in the second step S2, and "+" in the third step S3. Further, to the V-phase electrode 3b and the W-phase electrode 3c, a high voltage is applied in the same pattern by advancing the phases by one step and two steps respectively from the U-phase electrode 3a. By applying such a high voltage, the electrodes 3a ...
3c and the electrodes 6a to 6c of the mover 4, an attractive force and a repulsive force due to static electricity act, and the mover 4 moves the electrode 3a to each step from the first step to the third step S1, S2, S3. Move to the left by the pitch P of 3c, 6a to 6c.

【０００６】上記固定子１の電極３ａ〜３ｃと移動子４
の電極６ａ〜６ｃとの間に生じる静電気による吸引力、
反発力は、例えば、上記第１ステップＳ１（移動子４の
ａ相、ｂ相が“−”、ｃ相が“＋”、固定子１のＵ相が
“＋”、Ｖ相が“−”、Ｗ相が“＋”）の場合、上記図
７に示すように固定子１のＵ相、Ｖ相、Ｗ相の電極３
ａ，３ｂ，３ｃがそれぞれ移動子４のａ相、ｂ相、ｃ相
の電極６ａ，６ｂ，６ｃが互いに対向した状態（移動子
４の移動量が０の状態）を基準として以下の３種類に区
分できる。The electrodes 3a to 3c of the stator 1 and the mover 4
Attraction force due to static electricity generated between the electrodes 6a to 6c of
The repulsive force is, for example, the first step S1 (a-phase and b-phase of the moving element 4 are "-", c-phase is "+", U-phase of the stator 1 is "+", V-phase is "-". , W phase is “+”), the U-phase, V-phase, and W-phase electrodes 3 of the stator 1 as shown in FIG.
a, 3b and 3c are the following three types based on the state where the a-phase, b-phase and c-phase electrodes 6a, 6b and 6c of the moving element 4 face each other (the moving amount of the moving element 4 is 0): Can be divided into

【０００７】まず、移動子４のａ相の電極６ａと固定子
１のＷ相の電極３ｃ、移動子４のｂ相の電極６ｂと固定
子１のＵ相の電極３ａ、あるいは移動子４のｃ相の電極
６ｃと固定子１のＶ相の電極３ｂのように、移動子４の
電極６ａ〜６ｃとこれらの電極６ａ〜６ｃに対して図中
左隣に位置する固定子１の電極３ａ〜３ｃとの間に作用
する力（図中実線の矢印で示す第１グループの力Ｆ１）
がある。また、移動子４のａ相の電極６ａと固定子１の
Ｖ相の電極３ｂ、移動子４のｂ相の電極６ｂと固定子１
のＷ相の電極３ｃ、あるいは移動子４のｃ相の電極６ｃ
と固定子１のＵ相の電極３ａのように移動子４の電極６
ａ〜６ｃと、これらの電極６ａ〜６ｃに対して図中右隣
に位置する固定子１の電極３ａ〜３ｃとの間に作用する
力（図中点線の矢印で示す第２グループの力Ｆ２）があ
る。さらに、移動子４のａ相の電極６ａと固定子１のＵ
相の電極３ａ、移動子４のｂ相の電極６ｂと固定子１の
Ｖ相の電極３ｂ、あるいは移動子４のｃ相の電極６ｃと
固定子１のＷ相の電極３ｃのように互いに対向する移動
子４の電極６ａ〜６ｃと固定子１の電極３ａ〜３ｃの間
に作用する力（図中、一点鎖線の矢印で示す第３グルー
プの力Ｆ３）がある。First, the a-phase electrode 6a of the mover 4 and the W-phase electrode 3c of the stator 1, the b-phase electrode 6b of the mover 4 and the U-phase electrode 3a of the stator 1, or the mover 4 of the mover 4. Like the c-phase electrode 6c and the V-phase electrode 3b of the stator 1, the electrodes 6a to 6c of the mover 4 and the electrode 3a of the stator 1 located to the left of the electrodes 6a to 6c in the figure. To 3c (force F1 of the first group indicated by the solid line arrow in the figure)
There is. Further, the a-phase electrode 6a of the mover 4 and the V-phase electrode 3b of the stator 1 and the b-phase electrode 6b of the mover 4 and the stator 1
W-phase electrode 3c or c-phase electrode 6c of the mover 4
And the electrode 6 of the mover 4 like the U-phase electrode 3a of the stator 1.
a to 6c and the forces acting between the electrodes 6a to 6c and the electrodes 3a to 3c of the stator 1 located on the right side in the figure with respect to these electrodes 6a to 6c (the force F2 of the second group indicated by the dotted arrow in the figure). ). Further, the a-phase electrode 6a of the mover 4 and the U of the stator 1 are
Phase electrode 3a, the b-phase electrode 6b of the mover 4 and the V-phase electrode 3b of the stator 1, or the c-phase electrode 6c of the mover 4 and the W-phase electrode 3c of the stator 1 face each other. There is a force acting between the electrodes 6a to 6c of the moving element 4 and the electrodes 3a to 3c of the stator 1 (the force F3 of the third group indicated by the one-dot chain line arrow in the figure).

【０００８】固定子１及び移動子４の電極３ａ〜３ｃ，
６ａ〜６ｃの幅ｄが上記ピッチＰの１／２である場合、
第１ステップＳ１の開始から終了まで（移動子４が上記
図７に示す位置から１ピッチＰ分移動して図９の位置に
至るまで）の間の、上記第１から第３グループの力Ｆ
１，Ｆ２，Ｆ３の水平分力、垂直分力、第１から第３グ
ループの力Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３の合力の水平分力、垂直分
力並びに移動子４に対する駆動力の変化は表１に示すよ
うになる。The electrodes 3a to 3c of the stator 1 and the mover 4,
When the width d of 6a to 6c is 1/2 of the pitch P,
The force F of the first to third groups from the start to the end of the first step S1 (until the mover 4 moves by one pitch P from the position shown in FIG. 7 to reach the position shown in FIG. 9).
Table 1 shows the changes in the horizontal component force of 1, F2, F3, the vertical component force, the horizontal component force of the total force of the forces F1, F2, F3 of the first to third groups, the vertical component force, and the driving force for the mover 4. As shown.

【０００９】[0009]

【表１】 [Table 1]

【００１０】ここで第１から第３グループの力Ｆ１，Ｆ
２，Ｆ３の水平分力は、固定子１及び移動子４の電極面
２ａ，５ａに対して平行な成分であって、符号は“＋”
が図中左方向、“−”が図中右方向を示している。ま
た、第１から第３グループの力Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３の垂直
分力は、電極面２ａ，５ａの法線方向の成分であり、符
号は“＋”が反発、“−”が吸引を示している。これら
第１から第３グループの力Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３の水平分
力、垂直分力の値は、図７中の移動子４のａ相の電極６
ａと固定子１のＵ相の電極３ａ、移動子４のｂ相の電極
６ｂと固定子１のＶ相の電極３ｂ、あるいは移動子４の
ｃ相の電極６ｃと固定子１のＷ相の電極３ｃのように、
互いに対向する電極３ａ〜３ｃ，６ａ〜６ｃ間の距離が
最短となった場合に、これらの電極３ａ〜３ｃ，６ａ〜
６ｃ間に作用する力を１００とした相対値で示してい
る。Here, the forces F1 and F of the first to third groups
The horizontal component force of 2, F3 is a component parallel to the electrode surfaces 2a, 5a of the stator 1 and the mover 4, and the sign is "+".
Indicates the leftward direction in the figure, and "-" indicates the rightward direction in the figure. Further, the vertical component force of the forces F1, F2, F3 of the first to third groups is a component in the normal direction of the electrode surfaces 2a, 5a, and the symbol "+" indicates repulsion and "-" indicates suction. ing. The values of the horizontal component force and the vertical component force of the forces F1, F2, F3 of the first to third groups are the values of the a-phase electrode 6 of the moving element 4 in FIG.
a and the U-phase electrode 3a of the stator 1, the b-phase electrode 6b of the mover 4 and the V-phase electrode 3b of the stator 1, or the c-phase electrode 6c of the mover 4 and the W-phase of the stator 1. Like electrode 3c,
When the distance between the electrodes 3a to 3c and 6a to 6c facing each other becomes the shortest, these electrodes 3a to 3c and 6a to
It is shown as a relative value with the force acting between 6c as 100.

【００１１】上記第１から第３グループの力Ｆ１，Ｆ
２，Ｆ３の合力の水平分力は、固定子１及び移動子４の
電極面２ａ，５ａに対して平行な成分であって、符号は
“＋”が図中左方向、“−”が図中右方向を示してい
る。また、合力の垂直分力は、電極面２ａ，５ａの法線
方向の成分であり、符号は“＋”が反発、“−”が吸引
を示している。Forces F1 and F of the first to third groups
The horizontal component force of the resultant force of F2 and F3 is a component parallel to the electrode surfaces 2a and 5a of the stator 1 and the mover 4, and the symbols "+" are leftward in the figure and "-" are figures. It shows the middle right direction. Further, the vertical component force of the resultant force is a component in the normal direction of the electrode surfaces 2a and 5a, and the symbol "+" indicates repulsion and the symbol "-" indicates suction.

【００１２】合力の垂直分力が“＋”の場合は、固定子
１と移動子４の間の摩擦は無視し得るため、合力の水平
分力がそのまま駆動力となる。一方、合力の垂直分力が
“−”の場合は、下記の式（１）に示すように、水平分
力から垂直分力に摩擦係数（μ＝０．１と仮定した。）
を乗じた値を引いたものが駆動力である。When the vertical component of the resultant force is "+", the friction between the stator 1 and the mover 4 can be ignored, so that the horizontal component of the resultant force becomes the driving force as it is. On the other hand, when the resultant vertical component force is "-", the friction coefficient from the horizontal component force to the vertical component force (assumed to be .mu. = 0.1) as shown in the following formula (1).
The value obtained by subtracting the value multiplied by is the driving force.

【００１３】 （駆動力）＝（合力の水平分力）−（合力の垂直分力）＊μ …（１）(Driving force) = (horizontal component of resultant force) − (vertical component of resultant force) * μ (1)

【００１４】駆動力の符号は、移動子４の移動方向と一
致している場合（図中左向き）が“＋”、移動子４の移
動方向と反対向きの場合（図中右向き）が“−”とな
る。The sign of the driving force is "+" when it coincides with the moving direction of the moving element 4 (leftward in the drawing), and "-" when it is opposite to the moving direction of the moving element 4 (rightward in the drawing). "It becomes.

【００１５】[0015]

【発明が解決しようとする課題】上記表１に示すよう
に、第１ステップＳ１の８／８α（移動子４が１ピッチ
Ｐ移動した状態）では、駆動力は負となる。これは、第
１グループの力Ｆ１はすべて移動子４を固定子１側に吸
引する向きに作用しており、図１０に示すように６／８
α以降は、合力の垂直分力が負（吸引）であり、かつそ
の絶対値が急激に大きくなっているため、上記式（１）
により算出される駆動力も小さくなることが原因であ
る。また、図１１に示すように、固定子１の電極３ａ，
３ｂ，３ｃに印加される高電圧が第２ステップＳ２の極
性（Ｕ相の電極３ａが“−”、Ｖ相の電極３ｂが
“＋”、Ｗ相の電極３ｃが“＋”）に切り替えられた状
態であって、移動子４が−１／８Ｐの位置である場合、
上記表１に示すように駆動力は移動子４の移動方向と逆
向きになっている。実際に移動子４が移動している場合
には、移動中の移動子４には慣性力が作用するため、上
記駆動力が移動子４の移動方向と逆向きとなる個所（デ
ッドポイント）が存在しても、移動子４は通常はこのデ
ッドポイントを乗り越えて移動を続ける。しかし、印加
電圧や駆動周期によってはデッドポイントを乗り越える
ことができず、作動不能状態となる場合がある。As shown in Table 1 above, the driving force becomes negative at 8 / 8α in the first step S1 (when the moving element 4 has moved by one pitch P). This is because all the forces F1 of the first group act in the direction of attracting the mover 4 to the side of the stator 1, and as shown in FIG.
After α, the vertical component of the resultant force is negative (suction), and the absolute value of the force is rapidly increasing. Therefore, the above equation (1)
The reason is that the driving force calculated by In addition, as shown in FIG. 11, the electrodes 3a of the stator 1
The high voltage applied to 3b and 3c is switched to the polarity of the second step S2 (U-phase electrode 3a is "-", V-phase electrode 3b is "+", W-phase electrode 3c is "+"). And the moving element 4 is at the position of -1 / 8P,
As shown in Table 1 above, the driving force is opposite to the moving direction of the moving element 4. When the moving element 4 is actually moving, inertial force acts on the moving moving element 4, so that there is a point (dead point) where the driving force is opposite to the moving direction of the moving element 4. Even if it exists, the mover 4 normally overcomes this dead point and continues to move. However, depending on the applied voltage and the driving cycle, the dead point may not be overcome, and the operation may be disabled.

【００１６】一方、０／８αの近傍では、移動子４に対
する駆動力が小さい。これは、例えば、図１２に示す１
／８αでは、第３グループＦ３のうち、移動子４のｂ相
の電極６ｂと固定子１のＶ相の電極３ｂの間に作用する
力と、移動子４のｃ相の電極６ｃと固定子１のＷ相の電
極３ｃの間に作用する力は、移動子４を移動方向に反発
するように作用するのに対して、移動子４のａ相の電極
６ａと固定子１のＵ相の電極３ａの間に作用する力は、
移動子４を移動方向と反対側に吸引するように作用し、
第３グループの力Ｆ３は絶対値が極めて大きいにもかか
わらず、互いに相殺されてしまうことによる。このよう
に駆動力が局所的に小さくなると、移動子４が円滑に移
動する妨げとなる。On the other hand, in the vicinity of 0 / 8α, the driving force for the moving element 4 is small. This is, for example, 1 shown in FIG.
/ 8α, the force acting between the b-phase electrode 6b of the mover 4 and the V-phase electrode 3b of the stator 1 and the c-phase electrode 6c and the stator of the mover 4 in the third group F3. The force acting between the W-phase electrodes 3c of No. 1 acts to repel the mover 4 in the moving direction, while the force of the a-phase electrodes 6a of the mover 4 and the U-phase of the stator 1 The force acting between the electrodes 3a is
It acts so as to attract the mover 4 to the side opposite to the moving direction,
This is because the forces F3 of the third group cancel each other out even though their absolute values are extremely large. When the driving force is locally reduced in this way, it hinders the moving element 4 from moving smoothly.

【００１７】以上、第１ステップＳ１について説明した
が、移動子４の電極６ａ，６ｂ，６ｃには固定的に電圧
を印加する一方、固定子１のＶ相、Ｗ相の電極３ｂ，３
ｃに対してはＵ相の電極３ａに対して１ステップ，２ス
テップ分だけ位相を進めて同一パターンで電圧を印加し
ているため、第２ステップＳ２及び第３ステップＳ３に
ついても、同一の原因でデッドポインが存在し、かつ、
０／８αの近傍では、移動子４に対する駆動力が小さ
い。The first step S1 has been described above. While the voltage is fixedly applied to the electrodes 6a, 6b, 6c of the moving element 4, the V-phase and W-phase electrodes 3b, 3 of the stator 1 are applied.
For c, the voltage is applied in the same pattern by advancing the phase by 1 step or 2 steps with respect to the U-phase electrode 3a, and therefore the same cause is also caused in the second step S2 and the third step S3. And there is a dead point, and
In the vicinity of 0 / 8α, the driving force for the mover 4 is small.

【００１８】また、この静電アクチュエータでは、移動
子４を図中右側に移動させる場合には、固定子１のＵ相
の電極３ａに対しては上記図中左側に移動させる場合と
同一のパターンで電圧を印加し、Ｖ相の電極３ｂ，Ｗ相
の電極３ｃに対しては、それぞれ１ステップ，２ステッ
プ分だけ位相を遅らせて同一パターンで電圧を印加す
る。従って、この場合にも上記デッドポイントが存在
し、かつ０／８αの近傍では、移動子４に対する駆動力
が小さいという問題がある。Further, in this electrostatic actuator, when the mover 4 is moved to the right side in the figure, the same pattern as in the case of moving the U-phase electrode 3a of the stator 1 to the left side in the figure is used. Then, the voltage is applied to the V-phase electrode 3b and the W-phase electrode 3c by delaying the phases by 1 step and 2 steps, respectively, and applying the voltage in the same pattern. Therefore, also in this case, there is a problem that the dead point exists and the driving force for the moving element 4 is small in the vicinity of 0 / 8α.

【００１９】本発明は、かかる従来の静電アクチュエー
タにおける問題を解決し、デッドポイントの解消と、駆
動力の局所的な低下をなくすことにより、移動子の作動
の確実性、円滑性を向上することを目的としてなされた
ものである。The present invention solves the problems in the conventional electrostatic actuator, eliminates the dead point, and eliminates the local reduction of the driving force, thereby improving the certainty and smoothness of the operation of the moving element. It was made for the purpose.

【００２０】請求項１は、絶縁層に複数の電極を等ピッ
チで配設してなる固定子と、絶縁層に複数の電極を等ピ
ッチで配設してなり、上記固定子に対向して配置された
移動子とを備えるアクチュエータに対して、上記移動子
の電極に固定的に高電圧を印加する一方、上記固定子の
電極に極性を切り替えて高電圧を印加し、移動子の電極
と、固定子の電極との間に生じる静電気による吸引力、
反発力により移動子を固定子に対して移動させる静電ア
クチュエータの制御方法であって、上記移動子の複数の
電極を、２つ置きに配設した電極毎に互いに接続して３
相とし、各相の電極に対してそれぞれ負、負、正の高電
圧を固定的に印加する一方、上記固定子の電極を、２つ
置きに配設した電極毎に互いに接続して３相とし、各相
の電極に対して、等時間間隔の連続する３つのステップ
からなるサイクルを繰り返し、かつ、各相のサイクルを
１ステップ分ずつ位相をずらして電圧を印加し、上記３
つのステップのうち第１のステップでは４／８から６／
８の間の所定の時点までは正、該時点以降は負の電圧を
印加し、第２のステップでは負の高電圧を印加し、第３
のステップでは正の電圧を印加することを特徴とする静
電アクチュエータの制御方法を提供するものである。According to a first aspect of the present invention, a stator having a plurality of electrodes arranged at an equal pitch on an insulating layer and a plurality of electrodes arranged at an equal pitch on an insulating layer are provided so as to face the stator. With respect to an actuator having a moving element arranged, a high voltage is fixedly applied to the electrode of the moving element, while the polarity of the electrode of the moving element is switched to apply a high voltage to the electrode of the moving element. , Attraction force due to static electricity generated between the stator and electrodes,
A method of controlling an electrostatic actuator that moves a mover with respect to a stator by a repulsive force, wherein a plurality of electrodes of the mover are connected to each other every two electrodes.
Phase, and the negative, negative, and positive high voltages are fixedly applied to the electrodes of each phase, and the electrodes of the stator are connected to each other every two electrodes and three phases are connected. Then, a cycle consisting of three consecutive steps at equal time intervals is repeated for each phase electrode, and a voltage is applied by shifting the phase of each phase by one step.
4/8 to 6 / in the first of the two steps
8 is applied up to a predetermined time point, a negative voltage is applied after that time point, a negative high voltage is applied in the second step, and a third high voltage is applied.
The step (1) provides a method of controlling an electrostatic actuator, which is characterized by applying a positive voltage.

【００２１】請求項２は、絶縁層に複数の電極を等ピッ
チで配設してなる固定子と、絶縁層に複数の電極を等ピ
ッチで配設してなり、上記固定子に対向して配置された
移動子とを備えるアクチュエータに対して、上記移動子
の電極に固定的に高電圧を印加する一方、上記固定子の
電極に極性を切り替えて高電圧を印加し、移動子の電極
と、固定子の電極との間に生じる静電気による吸引力、
反発力により移動子を固定子に対して移動させる静電ア
クチュエータの制御方法であって、上記移動子の複数の
電極を、２つ置きに配設した電極毎に互いに接続して３
相とし、各相の電極に対してそれぞれ負、負、正の高電
圧を固定的に印加する一方、上記移動子の複数の電極
を、２つ置きに配設した電極毎に互いに接続して３相と
し、各相の電極に対してそれぞれ負、負、正の高電圧を
固定的に印加する一方、上記固定子の電極を、２つ置き
に配設した電極毎に互いに接続して３相とし、各相の電
極に対して、等時間間隔の連続する３つのステップから
なるサイクルを繰り返し、かつ、各相のサイクルを１ス
テップ分ずつ位相をずらして電圧を印加し、上記３つの
ステップのうち第１のステップでは０．４／８から２／
８の間の第１の所定の時点までは正、該第１の所定の時
点以降２．５／８から４．２／８までの間の第２の所定
の時点までは負、該第２の所定の時点以降は正の高電圧
を印加し、第２のステップでは負の高電圧を印加し、第
３のステップでは正の電圧を印加することを特徴とする
静電アクチュエータの制御方法を提供するものである。According to a second aspect of the present invention, there are provided a stator having a plurality of electrodes arranged at an equal pitch on an insulating layer and a plurality of electrodes arranged at an equal pitch on an insulating layer, and facing the stator. With respect to an actuator having a moving element arranged, a high voltage is fixedly applied to the electrode of the moving element, while the polarity of the electrode of the moving element is switched to apply a high voltage to the electrode of the moving element. , Attraction force due to static electricity generated between the stator and electrodes,
A method of controlling an electrostatic actuator that moves a mover with respect to a stator by a repulsive force, wherein a plurality of electrodes of the mover are connected to each other every two electrodes.
Phase, and a negative, negative, and positive high voltage are fixedly applied to the electrodes of each phase, while a plurality of electrodes of the mover are connected to each other arranged every two electrodes. Three phases are provided, and negative, negative, and positive high voltages are fixedly applied to the electrodes of each phase, while the electrodes of the stator are connected to each other every two electrodes. As a phase, a cycle consisting of three consecutive steps at equal time intervals is repeated for each phase electrode, and a voltage is applied by shifting the phase of each phase by one step, and the above three steps are performed. Of the first step, 0.4 / 8 to 2 /
Positive until a first predetermined time point between 8 and negative from a second predetermined time point between 2.5 / 8 and 4.2 / 8 after the first predetermined time point, the second After a predetermined time point, a positive high voltage is applied, a negative high voltage is applied in the second step, and a positive voltage is applied in the third step. It is provided.

【００２２】請求項３は、絶縁層に複数の電極を等ピッ
チで配設してなる固定子と、絶縁層に複数の電極を等ピ
ッチで配設してなり、上記固定子に対向して配置された
移動子とを備えるアクチュエータに対して、上記移動子
の電極に固定的に高電圧を印加する一方、上記固定子の
電極に極性を切り替えて高電圧を印加し、移動子の電極
と、固定子の電極との間に生じる静電気による吸引力、
反発力により移動子を固定子に対して移動させる静電ア
クチュエータの制御方法であって、上記移動子の複数の
電極を、２つ置きに配置した電極毎に互いに接続して３
相とし、各相の電極に対してそれぞれ負、負、正の高電
圧を固定的に印加する一方、上記固定子の電極を、２つ
置きに配置した電極毎に互いに接続して３相とし、各相
の電極に対して、等時間間隔の連続する３つのステップ
からなるサイクルを繰り返し、かつ、各相のサイクルを
１ステップ分ずつ位相をずらして電圧を印加し、上記３
つのステップのうち第１のステップでは０．４／８から
２／８の間の第１の所定の時点までは正、該第１の所定
の時点以降は２．５／８から４／８までの間の第２の所
定の時点までは負、該第２の所定の時点から４／８から
６／８の間の第３の所定の時点までは正、該第３の所定
の時点以降は負の高電圧を印加し、第２のステップでは
負の高電圧を印加し、第３のステップでは正の電圧を印
加することを特徴とする静電アクチュエータの制御方法
を提供するものである。According to a third aspect of the present invention, a stator having a plurality of electrodes arranged at an equal pitch on an insulating layer and a plurality of electrodes arranged at an equal pitch on an insulating layer are provided so as to face the stator. With respect to an actuator having a moving element arranged, a high voltage is fixedly applied to the electrode of the moving element, while the polarity of the electrode of the moving element is switched to apply a high voltage to the electrode of the moving element. , Attraction force due to static electricity generated between the stator and electrodes,
A method of controlling an electrostatic actuator that moves a mover with respect to a stator by a repulsive force, wherein a plurality of electrodes of the mover are connected to each other arranged every two electrodes.
Phase, and negative, negative, and positive high voltages are fixedly applied to the electrodes of each phase, while the electrodes of the stator are connected to each other every two electrodes to form three phases. , A cycle consisting of three consecutive steps at equal time intervals is repeated, and a voltage is applied by shifting the phase of each phase by one step.
In the first of the two steps, positive from a first predetermined time point between 0.4 / 8 and 2/8, and from 2.5 / 8 to 4/8 after the first predetermined time point. Between the second predetermined time point is negative, from the second predetermined time point to the third predetermined time point between 4/8 and 6/8 is positive, and after the third predetermined time point. A method of controlling an electrostatic actuator, characterized in that a negative high voltage is applied, a negative high voltage is applied in the second step, and a positive voltage is applied in the third step.

【００２３】[0023]

【作用】請求項１の制御方法では、移動子の各相の電極
に対して高電圧を固定的に印加する一方、固定子の各相
の電極に対して、等時間間隔の連続する３つのステップ
からなるサイクルを繰り返し、かつ、各相のサイクルを
１ステップ分ずつ位相をずらして電圧を印加し、この３
つのステップのうち第１のステップでは、４／８から６
／８の間の所定の時点までは正、この時点以降は負の電
圧を印加するため、デッドポイントが存在しない。According to the control method of the first aspect, the high voltage is fixedly applied to the electrodes of each phase of the mover, while the electrodes of each phase of the stator are supplied with three continuous electric wires at equal time intervals. The cycle consisting of steps is repeated, and the phase of each phase is shifted by one step, and voltage is applied.
In the first of the four steps, 4/8 to 6
Since a positive voltage is applied until a predetermined time point between / 8 and a negative voltage after this time point, there is no dead point.

【００２４】請求項２の制御方法では、移動子の各相の
電極に対して高電圧を固定的に印加する一方、固定子の
各相の電極に対して、等時間間隔の連続する３つのステ
ップからなるサイクルを繰り返し、かつ、各相のサイク
ルを１ステップ分ずつ位相をずらして電圧を印加し、こ
の３つのステップのうち第１のステップでは、１／２０
から１／４の間の第１の所定の時点までは正、この第１
の所定の時点以降２．５／８から４．２／８までの間の
第２の所定の時点までは負、この第２の所定の時点以降
は正の高電圧を印加するため、０／８近傍で駆動力が局
所的に低下することがない。In the control method of the second aspect, a high voltage is fixedly applied to the electrodes of each phase of the mover, while three continuous electrodes at equal time intervals are applied to the electrodes of each phase of the stator. The cycle of steps is repeated, and the phase of each phase is shifted by one step to apply a voltage. In the first step of these three steps, 1/20
To the first predetermined time point between 1/4 and 1/4, this first
Is applied to the second predetermined time point between 2.5 / 8 and 4.2 / 8, and a positive high voltage is applied after the second predetermined time point. In the vicinity of 8, the driving force does not locally decrease.

【００２５】請求項３の制御方法では、移動子の各相の
電極に対して高電圧を固定的に印加する一方、固定子の
各相の電極に対して、等時間間隔の連続する３つのステ
ップからなるサイクルを繰り返し、かつ、各相のサイク
ルを１ステップ分ずつ位相をずらして電圧を印加し、こ
の３つのステップのうち第１のステップでは、１／２０
から１／４の間の第１の所定の時点までは正、第１の所
定の時点以降は２．５／８から４／８までの間の第２の
所定の時点までは負、第２の所定の時点から４／８から
６／８の間の第３の所定の時点までは正、第３の所定の
時点以降は負の高電圧を印加するため、デッドポイント
が存在せず、かつ０／８近傍で駆動力の局所的な低下を
生じない。In the control method of the third aspect, a high voltage is fixedly applied to the electrodes of each phase of the mover, while three consecutive electrodes of each phase of the stator are arranged at equal time intervals. The cycle of steps is repeated, and the phase of each phase is shifted by one step to apply a voltage. In the first step of these three steps, 1/20
Positive from the first predetermined time between 1/4 to 1/4, negative from the second predetermined time between 2.5 / 8 and 4/8 after the first predetermined, and the second Since a high positive voltage is applied positively from a predetermined time point of 4 to a third predetermined time point between 4/8 and 6/8, and a negative high voltage is applied after the third predetermined time point, there is no dead point, and There is no local decrease in driving force near 0/8.

【００２６】[0026]

【実施例】次に、図面に示す実施例に基づいて本発明に
ついて詳細に説明する。図１は、第１実施例に係る静電
アクチュエータを示している。この静電アクチュエータ
は、移動子１１、固定子１２、制御手段１３、高電圧源
１４及び操作スイッチ１５を備えている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in detail with reference to the embodiments shown in the drawings. FIG. 1 shows an electrostatic actuator according to the first embodiment. This electrostatic actuator includes a mover 11, a stator 12, a control unit 13, a high voltage source 14, and an operation switch 15.

【００２７】移動子１１は、誘電体からなる絶縁層１６
に複数の電極１７ａ，１７ｂ，１７ｃ・・・１７ａ，１
７ｂ，１７ｃ・・・を等しいピッチＰで配置してなり、
これらの電極１７ａ，１７ｂ，１７ｃを、２つ置きに位
置する電極１７ａ，１７ｂ，１７ｃ毎に相互に接続して
３相（ａ相，ｂ相，ｃ相）とし、さらにａ相の電極１７
ａとｂ相の電極１７ｂを互いに接続している。The mover 11 includes an insulating layer 16 made of a dielectric material.
A plurality of electrodes 17a, 17b, 17c ... 17a, 1
7b, 17c ... Are arranged at the same pitch P,
These electrodes 17a, 17b, 17c are connected to each other every two electrodes 17a, 17b, 17c located every other two to form a three-phase (a-phase, b-phase, c-phase).
The a and b phase electrodes 17b are connected to each other.

【００２８】上記移動子１１の電極１７ａ〜１７ｂのう
ち、ａ相及びｂ相の電極１７ａ，１７ｂをリレーＲ１に
接続している。このリレーＲ１は、制御手段１３からの
指令に応じてａ側とｂ側に切り替えられ、ａ側に切り替
えられるとａ相及びｂ相の電極１７ａ，１７ｂは高電圧
源１５の“−”に接続され、ｂ側に切り替えられると、
これらの電極１７ａ，１７ｂは電位“０”に接続され
る。ｃ相の電極１７ｃはリレーＲ２に接続している。こ
のリレーＲ２は、制御手段１３からの指令に応じてａ側
とｂ側に切り替えられ、ａ側に切り替えられるとｃ相の
電極１７ｃは高電圧源１５の“＋”に接続され、ｂ側に
切り替えられると、ｃ相の電極１７ｃは電位“０”に接
続される。なお、移動子１１の各電極１７ａ〜１７ｃの
幅ｄは、上記ピッチＰの１／２に設定している。Among the electrodes 17a to 17b of the mover 11, the a-phase and b-phase electrodes 17a and 17b are connected to the relay R1. This relay R1 is switched between the a side and the b side according to a command from the control means 13, and when switched to the a side, the a-phase and b-phase electrodes 17a and 17b are connected to the "-" of the high voltage source 15. And when switched to the b side,
These electrodes 17a and 17b are connected to the potential "0". The c-phase electrode 17c is connected to the relay R2. This relay R2 is switched between the a side and the b side in response to a command from the control means 13, and when switched to the a side, the c-phase electrode 17c is connected to the "+" of the high voltage source 15 and the b side. When switched, the c-phase electrode 17c is connected to the potential "0". The width d of each of the electrodes 17a to 17c of the mover 11 is set to 1/2 of the pitch P.

【００２９】上記固定子１２は、誘電体からなる絶縁層
１９に等しいピッチＰで配設した多数の電極２０ａ，２
０ｂ，２０ｃ・・・２０ａ，２０ｂ，２０ｃ・・・を備
え、これらの電極２０ａ，２０ｂ，２０ｃを、２つ置き
に位置する電極２０ａ，２０ｂ，２０ｃ毎に相互に接続
して３相（Ｕ相，Ｖ相，Ｗ相）としている。The stator 12 has a large number of electrodes 20a, 2 arranged at an equal pitch P on an insulating layer 19 made of a dielectric material.
0b, 20c ... 20a, 20b, 20c ..., and these electrodes 20a, 20b, 20c are connected to each other every two electrodes 20a, 20b, 20c, and three phases (U Phase, V phase, W phase).

【００３０】上記固定子１２の電極２０ａ〜２０ｃのう
ち、Ｕ相の電極２０ａをリレーＲ３に接続している。こ
のリレーＲ３は、制御手段１３の指令に応じてｃ側とｄ
側に切り替えられ、ｃ側に切り替えるとＵ相の電極２０
ａはリレーＲ６，Ｒ９側に接続され、ｄ側に切り替える
とＵ相の電極２０ａは電位“０”に接続される。リレー
Ｒ６，Ｒ９はそれぞれ高電圧源１５の“＋”、“−”と
接続しており、上記制御手段１３からの指令に応じてＵ
相の電極２０ａと高電圧源１５の“＋”側、“−”側と
の間を連通、遮断する。Among the electrodes 20a to 20c of the stator 12, the U-phase electrode 20a is connected to the relay R3. This relay R3 is connected to the c side and the d side in response to a command from the control means 13.
Side 20 and the U-phase electrode 20 when switched to side c
a is connected to the relays R6 and R9, and when switched to the d side, the U-phase electrode 20a is connected to the potential "0". The relays R6 and R9 are connected to the "+" and "-" of the high voltage source 15, respectively, and U in response to a command from the control means 13 described above.
The phase electrode 20a and the “+” side and “−” side of the high voltage source 15 are connected and disconnected.

【００３１】同様に、上記固定子１２の上記Ｖ相の電極
２０ｂをリレーＲ４に接続している。このリレーＲ４
は、制御手段１３の指令に応じてｃ側とｄ側に切り替え
られ、ｃ側に切り替えるとＶ相の電極２０ｂはリレーＲ
７，Ｒ１０側に接続され、ｄ側に切り替えるとＶ相の電
極２０ｂは電位“０”に接続される。リレーＲ７，Ｒ１
０はそれぞれ高電圧源１５の“＋”、“−”と接続して
おり、上記制御手段１３からの指令に応じてＵ相の電極
２０ｂと高電圧源１５の“＋”側、“−”側との間を連
通、遮断する。Similarly, the V-phase electrode 20b of the stator 12 is connected to the relay R4. This relay R4
Is switched between the c side and the d side in response to a command from the control means 13, and when switched to the c side, the V-phase electrode 20b becomes the relay R.
7, R10 side, and when switched to the d side, the V-phase electrode 20b is connected to the potential "0". Relay R7, R1
0 is connected to "+" and "-" of the high voltage source 15, respectively, and in response to a command from the control means 13, the U-phase electrode 20b and the "+" side of the high voltage source 15, "-". It connects and disconnects from the side.

【００３２】さらに、上記固定子１２の上記Ｗ相の電極
２０ｃをリレーＲ５に接続している。このリレーＲ５
は、制御手段１３の指令に応じてｃ側とｄ側に切り替え
られ、ｃ側に切り替えるとＷ相の電極２０ｃはリレーＲ
８，Ｒ１１側に接続され、ｄ側に切り替えると電位
“０”に接続される。リレーＲ８，Ｒ１１はそれぞれ高
電圧源１５の“＋”、“−”と接続しており、上記制御
手段１３からの指令に応じてＵ相の電極２０ｃと高電圧
源１５の“＋”側、“−”側との間を連通、遮断する。Further, the W-phase electrode 20c of the stator 12 is connected to the relay R5. This relay R5
Is switched between the c side and the d side in response to a command from the control means 13, and when switched to the c side, the W-phase electrode 20c is relayed by the relay R.
8, R11 side, and connected to the potential "0" when switched to d side. The relays R8 and R11 are connected to the "+" and "-" of the high voltage source 15, respectively, and in response to a command from the control means 13, the U-phase electrode 20c and the "+" side of the high voltage source 15, It connects and disconnects from the "-" side.

【００３３】制御手段１３は、上記リレーＲ１〜Ｒ１１
を以下のように切り替えて、上記移動子１１、固定子１
２の電極１７ａ〜１７ｂ，２０ａ〜２０ｃに印加する電
圧の極性を切り替える。まず、移動子１１の電極１７
ａ，１７ｂ，１７ｃの電位を“０”とするときには、制
御手段１３は、リレーＲ１，Ｒ２をｂ側に切り替える。
また、移動子１１のａ相，ｂ相の電極１７ａ，１７ｂに
“−”の高電圧を印加するときには、制御手段１３はリ
レーＲ１をａ側に切り替える。さらに、移動子１１のｃ
相の電極１７ｃに“＋”の高電圧を印加するときには、
リレーＲ２をａ側に切り替える。The control means 13 includes the relays R1 to R11.
Are switched as follows, and the mover 11 and the stator 1 are
The polarity of the voltage applied to the second electrodes 17a to 17b and 20a to 20c is switched. First, the electrode 17 of the mover 11
When the potentials of a, 17b and 17c are set to "0", the control means 13 switches the relays R1 and R2 to the b side.
When a high voltage of "-" is applied to the a-phase and b-phase electrodes 17a and 17b of the mover 11, the control means 13 switches the relay R1 to the a side. Furthermore, c of the mover 11
When a high voltage of “+” is applied to the phase electrode 17c,
The relay R2 is switched to the a side.

【００３４】一方、固定子１２の電極２０ａ，２０ｂ，
２０ｃに“＋”の高電圧を印加するときには、制御手段
１３はリレーＲ３〜Ｒ５をｃ側に切り替えると共に、リ
レーＲ６〜Ｒ８を連通し、リレーＲ９〜Ｒ１１を遮断す
る。さらに、固定子１２の電極２０ａ，２０ｂ，２０ｃ
に“−”の高電圧を印加するときには、制御手段１３
は、リレーＲ３〜Ｒ５をｃ側に切り替えると共に、リレ
ーＲ６〜Ｒ８を遮断、リレーＲ９〜Ｒ１１を連通する。
さらに、固定子１２の電極２０ａ，２０ｂ，２０ｃの電
位を“０”とする場合には、制御手段１３はリレーＲ３
〜リレーＲ５をｄ側に切り替える。On the other hand, the electrodes 20a, 20b of the stator 12
When a high voltage of "+" is applied to 20c, the control means 13 switches the relays R3 to R5 to the c side, connects the relays R6 to R8, and disconnects the relays R9 to R11. Further, the electrodes 20a, 20b, 20c of the stator 12 are
When a high voltage of "-" is applied to the control means 13,
Switches relays R3 to R5 to the c side, disconnects relays R6 to R8, and connects relays R9 to R11.
Further, when the potentials of the electrodes 20a, 20b, 20c of the stator 12 are set to "0", the control means 13 causes the relay R3.
~ Switch the relay R5 to the d side.

【００３５】操作スイッチ１４は、手動で“停止”、
“右側へ移動”または“左側へ移動”の３位置に設定さ
れ、この操作スイッチ１４の設定に応じて上記制御手段
１３がリレーＲ１〜Ｒ１１の切り替えを行う。ただし、
操作スイッチ１４は、手動スイッチに限定されるもので
はなく、例えば、他の機器からの指令により自動的に上
記３位置のいずれかに設定されるものであってもよい。The operation switch 14 is manually "stopped",
It is set to three positions of "move to the right" or "move to the left", and the control means 13 switches the relays R1 to R11 according to the setting of the operation switch 14. However,
The operation switch 14 is not limited to the manual switch, and may be, for example, automatically set to any of the above three positions by a command from another device.

【００３６】第１実施例では、制御手段１３が上記リレ
ーＲ１〜Ｒ１１の切り替えることにより、図２に示すよ
うに移動子１１及び固定子１２の電極１７ａ〜１７ｃ，
２０ａ〜２０ｃに高電圧を印加して移動子１１を駆動し
ている。In the first embodiment, the control means 13 switches the relays R1 to R11 so that the electrodes 17a to 17c of the moving element 11 and the stator 12 are changed as shown in FIG.
A high voltage is applied to 20a to 20c to drive the mover 11.

【００３７】図２中、時刻ｔ₀から時刻ｔ₁までは、操作
スイッチ１４は“停止”に設定されている。この移動子
１１の停止時には、移動子１１の電極１７ａ〜１７ｃ及
び固定子１２の電極２０ａ〜２０ｃの電位は“０”に設
定される。In FIG. 2, from time t ₀ to time t ₁ , the operation switch 14 is set to "stop". When the moving element 11 is stopped, the potentials of the electrodes 17a to 17c of the moving element 11 and the electrodes 20a to 20c of the stator 12 are set to "0".

【００３８】時刻ｔ₁から時刻ｔ₂は、操作スイッチ１４
が“左側へ移動”に設定されている。この間、移動子１
１のａ相、ｂ相の電極１７ａ，１７ｂには“−”の高電
圧を固定的に印加し、ｃ相の電極１７ｃに“＋”の高電
圧を固定的に印加する。From time t ₁ to time t ₂ , the operation switch 14
Is set to "Move left". During this time, mover 1
A high voltage of "-" is fixedly applied to the a-phase and b-phase electrodes 17a and 17b of No. 1, and a high voltage of "+" is fixedly applied to the c-phase electrode 17c.

【００３９】一方、この時刻ｔ₁から時刻ｔ₂の間は、固
定子１２のＵ相、Ｖ相及びＷ相の電極２０ａ，２０ｂ，
２０ｃに、以下のように“＋”と“−”の間で周期的に
極性を切り替えて高電圧を印加している。上記固定子１
２のＵ相、Ｖ相、Ｗ相の電極２０ａ〜２０ｃに対する
“＋”と“−”の極性の切り替えの１回のサイクルＣ
は、等時間間隔（時間α）の連続する３つのステップＳ
１，Ｓ２，Ｓ３からなり、この第１から第３ステップＳ
１〜Ｓ３毎に、移動子１１が１ピッチＰ分だけ図中左側
へ移動する。また、Ｕ相、Ｖ相及びＷ相の電極２０ａ，
２０ｂ，２０ｃに対しては、同一パターンで“＋”、
“−”の極性を切り替えているが、Ｖ相、Ｗ相はＵ相に
対してそれぞれ１ステップ分、２ステップ分進めて極性
を切り替えている。On the other hand, from time t ₁ to time t ₂ , the U-phase, V-phase and W-phase electrodes 20a, 20b,
A high voltage is applied to 20c by periodically switching the polarity between "+" and "-" as described below. The above stator 1
One cycle C of switching the polarity between "+" and "-" for the two U-phase, V-phase, and W-phase electrodes 20a to 20c.
Is three consecutive steps S at equal time intervals (time α).
1, S2, S3, and the first to third steps S
Each time 1 to S3, the mover 11 moves one pitch P to the left in the drawing. Further, the U-phase, V-phase and W-phase electrodes 20a,
For 20b and 20c, "+" in the same pattern,
Although the polarity of “−” is switched, the polarities of the V phase and the W phase are switched by advancing by 1 step and 2 steps respectively with respect to the U phase.

【００４０】Ｕ相の電極２０ａに対しては、上記第１ス
テップＳ１では、第１ステップＳ１の開始から６／８α
まで（移動子１１が６／８Ｐに移動するまで）“＋”の
高電圧を印加する。また、第１ステップＳ１の６／８α
から第１ステップＳ１の終了まで（移動子１１が６／８
Ｐから８／８Ｐに移動するまで）は、“−”の高電圧を
印加する。次に、第２ステップＳ２では、第２ステップ
Ｓ２の開始から終了まで（移動子１１が０／８Ｐから８
／８Ｐに移動するまで）Ｕ相の電極２０ａに“−”の高
電圧を印加する。さらに、上記第３ステップＳ３では、
第３ステップＳ３の開始から終了までＵ相の電極２０ａ
に“＋”の高電圧を印加する。For the U-phase electrode 20a, in the first step S1 described above, 6 / 8α from the start of the first step S1.
Until (moving element 11 moves to 6 / 8P), a high voltage of "+" is applied. In addition, 6 / 8α of the first step S1
To the end of the first step S1 (moving element 11 is 6/8
A high voltage of "-" is applied from P to 8 / 8P). Next, in the second step S2, from the start to the end of the second step S2 (the moving element 11 moves from 0 / 8P to 8
A high voltage of "-" is applied to the U-phase electrode 20a until it moves to / 8P. Furthermore, in the third step S3,
From the start to the end of the third step S3, the U-phase electrode 20a
A high voltage of "+" is applied to.

【００４１】Ｖ相の電極２０ｂに対しては、上記のよう
にＵ相の電極２０ａよりも１ステップ分だけ位相を進め
て同一パターンで高電圧を印加するから、第１ステップ
Ｓ１では“−”、第２ステップＳ２では“＋”の高電圧
を開始から終了まで印加する。また、第３ステップＳ３
ではＶ相の電極２０ｂに、６／８αまでは“＋”の高電
圧を印加し、６／８α以降は、“−”の高電圧を印加す
る。As described above, a high voltage is applied to the V-phase electrode 20b in the same pattern by advancing the phase by one step as compared with the U-phase electrode 20a, so that "-" is applied in the first step S1. In the second step S2, a high voltage of "+" is applied from the start to the end. In addition, the third step S3
Then, a high voltage of "+" is applied to the V-phase electrode 20b up to 6 / 8α, and a high voltage of "-" is applied after 6 / 8α.

【００４２】Ｗ相の電極２０ｃに対しては、上記のよう
にＵ相の電極２０ａよりも２ステップ分だけ位相を早め
て電圧を印加するから、第１ステップＳ１では開始から
終了まで“＋”の高電圧を固定的に印加し、第２ステッ
プＳ２では６／８αでは“＋”の高電圧を印加し、６／
８α以降は“−”の高電圧を印加する。また、第３ステ
ップＳ３ではＷ相の電極２０ｃには、開始から終了まで
“−”の高電圧を印加する。Since the voltage is applied to the W-phase electrode 20c by advancing the phase by two steps as compared with the U-phase electrode 20a as described above, the first step S1 is "+" from the start to the end. Is applied in a fixed manner, and in the second step S2, a high voltage of "+" is applied in 6 / 8α,
After 8α, a high voltage of "-" is applied. In addition, in the third step S3, a high voltage of "-" is applied to the W-phase electrode 20c from the start to the end.

【００４３】この第１実施例における固定子１２の電極
２０ａ，２０ｂ，２０ｃに対して印加する高電圧の極性
の切り替えは、上記図８に示す従来の制御方法におい
て、“−”の高電圧を印加するステップ（Ｕ相の場合第
２ステップＳ２）の直前の“＋”の高電圧を印加するス
テップ（Ｕ相の場合第１ステップＳ１）において、６／
８αから“−”の高電圧を印加するように変更したもの
である。Switching of the polarity of the high voltage applied to the electrodes 20a, 20b, 20c of the stator 12 in the first embodiment is performed by applying the "-" high voltage in the conventional control method shown in FIG. In the step of applying a high voltage of “+” (the first step S1 in the case of U phase) immediately before the step of applying (the second step S2 in the case of U phase), 6 /
This is modified so as to apply a high voltage of "-" from 8α.

【００４４】第１実施例の第１ステップＳ１における、
第１から第３グループの力Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３の水平分
力、垂直分力、第１から第３グループの力Ｆ１，Ｆ２，
Ｆ３の合力の水平分力、垂直分力並びに移動子１１に対
する駆動力の変化は表２に示す通りである。In the first step S1 of the first embodiment,
Horizontal component force and vertical component force of forces F1, F2, F3 of the first to third groups, forces F1, F2 of the first to third groups
Table 2 shows changes in the horizontal component force, the vertical component force of the resultant force of F3, and the driving force for the moving element 11.

【００４５】[0045]

【表２】 [Table 2]

【００４６】また、６／８αでの移動子１１の電極１７
ａ〜１７ｂと固定子１２の電極２０ａ〜２０ｂの間の静
電気により吸引力、反発力は図３に示す通りである。Also, the electrode 17 of the moving element 11 at 6 / 8α
The attraction force and repulsion force due to static electricity between a to 17b and the electrodes 20a to 20b of the stator 12 are as shown in FIG.

【００４７】この第１ステップＳ１の６／８αでの移動
子１１の電極１７ａ〜１７ｃと固定子１２の電極２０ａ
〜２０ｃの間の静電気により吸引力、反発力は上記従来
の制御方法における第１ステップＳ１の６／８αでの移
動子４の電極６ａ〜６ｃと固定子１の電極３ａ〜３ｃの
間の静電気による吸引力、反発力と比較すると、以下の
点が相違する。The electrodes 17a to 17c of the mover 11 and the electrode 20a of the stator 12 at 6 / 8α in the first step S1.
Between the electrodes 6a to 6c of the moving element 4 and the electrodes 3a to 3c of the stator 1 at 6 / 8α of the first step S1 in the conventional control method. Compared with the suction force and the repulsive force by, the following points are different.

【００４８】まず、従来の制御方法（図１０）では、上
記したように第３グループの力Ｆ３のうち、移動子４の
ａ相の電極６ａと固定子１のＵ相の電極３ａの間に作用
する力は、移動子１を移動方向と反対側に吸引するよう
に作用しているのに対して、第１実施例の制御方法（図
３）では、移動子１１のａ相の電極１７ａと固定子１２
のＵ相の電極２０ａの間に作用する力も移動子１１を駆
動方向に反発するように作用しており、第３グループの
力Ｆ３はすべて移動子１１を駆動方向に反発するように
作用している。よって、第１実施例の制御方法では、第
１から第３グループＦ１，Ｆ２，Ｆ３の合力の水平成分
が正であり、かつ絶対値が大きい。First, in the conventional control method (FIG. 10), between the a-phase electrode 6a of the mover 4 and the U-phase electrode 3a of the stator 1 of the force F3 of the third group as described above. The acting force acts so as to attract the mover 1 to the side opposite to the moving direction, whereas in the control method of the first embodiment (FIG. 3), the a-phase electrode 17a of the mover 11 is used. And stator 12
The force acting between the U-phase electrodes 20a also acts to repel the moving element 11 in the driving direction, and all the forces F3 of the third group act to repel the moving element 11 in the driving direction. There is. Therefore, in the control method of the first embodiment, the horizontal component of the resultant force of the first to third groups F1, F2, F3 is positive and the absolute value is large.

【００４９】また、従来の制御方法（図１０）では、第
１のグループの力Ｆ１はすべて移動子４を固定子１に吸
引するように作用しているのに対して、第１実施例の制
御方法（図３）では、第２グループの力Ｆ１のうち移動
子１１のｂ相の電極１７ｂと固定子１２のＵ相の電極２
０ａとの間に作用する力は、移動子１１を固定子１２か
ら反発するように作用している。よって、第１実施例の
制御方法では、第１から第３グループの力Ｆ１〜Ｆ３の
合力の垂直成分は、符号は“−”であるものの絶対値は
従来の制御方法と比較して大幅に小さい。具体的には、
上記表１より従来の制御方法における６／８ピッチ、７
／８ピッチ及び８／８ピッチでの合力の垂直成分はそれ
ぞれ−１０２．６１、−２１２．３５、−２９８．３３
であるのに対して、上記表２より第１実施例の制御方法
における６／８ピッチ、７／８ピッチ及び８／８ピッチ
での合力の垂直成分は−２６．１５、−６５．５７、−
９５．７５であり、６／８ピッチで７６．４６、７／８
ピッチで１４６．７８、８／８ピッチで２０２．５８も
絶対値が小さくなっている。上記したように合力の垂直
成分が負である場合の移動子１１の駆動力は、式（１）
で示されるから、、合力の垂直成分の絶対値が小さい程
駆動力は大きくなる。そのため、従来の制御方法では上
記表１に示すように、８／８ピッチでの駆動力は−２
２．７０と負であるのに対して、第１実施例の制御方法
では８／８ピッチにおける駆動力は９．２４と正になっ
ており、デッドポイントが存在しない。Further, in the conventional control method (FIG. 10), all the forces F1 of the first group act so as to attract the mover 4 to the stator 1, while in the first embodiment. In the control method (FIG. 3), the b-phase electrode 17b of the moving element 11 and the U-phase electrode 2 of the stator 12 of the force F1 of the second group are used.
The force acting between the moving element 11 and 0a acts to repel the moving element 11 from the stator 12. Therefore, in the control method of the first embodiment, although the sign of the vertical component of the resultant force of the forces F1 to F3 of the first to third groups is "-", the absolute value is significantly larger than that of the conventional control method. small. In particular,
From Table 1 above, 6/8 pitch in the conventional control method, 7
The vertical components of the resultant force at / 8 pitch and 8/8 pitch are -102.61, -212.35, and -298.33, respectively.
On the other hand, from Table 2 above, the vertical components of the resultant force at 6/8 pitch, 7/8 pitch and 8/8 pitch in the control method of the first embodiment are -26.15, -65.57, −
95.75, 76.46 on 6/8 pitch, 7/8
The absolute value is also small at 146.78 in pitch and 202.58 in 8/8 pitch. As described above, the driving force of the moving element 11 when the vertical component of the resultant force is negative is given by the formula (1)
Therefore, the driving force becomes larger as the absolute value of the vertical component of the resultant force becomes smaller. Therefore, in the conventional control method, as shown in Table 1 above, the driving force at the 8/8 pitch is -2.
In contrast to the negative value of 2.70, in the control method of the first embodiment, the driving force at the 8/8 pitch is positive at 9.24, and there is no dead point.

【００５０】以上、第１ステップＳ１について説明した
が、移動子１１の電極１７ａ，１７ｂ，１７ｃには固定
的に電圧を印加する一方、固定子１のＶ相、Ｗ相の電極
２０ｂ，２０ｃに対してはＵ相の電極２０ａに対して位
相を進めて同一パターンで電圧を印加しているため、第
２ステップＳ２及び第３ステップＳ３についても、デッ
ドポイントは存在しない。よって、第１実施例の制御方
法であれば、移動子１１を円滑に移動させることができ
る。Although the first step S1 has been described above, the voltage is fixedly applied to the electrodes 17a, 17b and 17c of the moving element 11, while the V-phase and W-phase electrodes 20b and 20c of the stator 1 are applied. On the other hand, since the phase is advanced to the U-phase electrode 20a and the voltage is applied in the same pattern, there is no dead point in the second step S2 and the third step S3. Therefore, according to the control method of the first embodiment, the mover 11 can be moved smoothly.

【００５１】なお、第１実施例の制御方法において、移
動子１１を図中右側に移動させる場合には、Ｖ相、Ｗ相
に電圧を印加するパターンをＵ相に対してそれぞれ１ス
テップ，２ステップ分だけ位相を遅らせればよい。この
場合、移動子１１の電極１７ａ，１７ｂ，１７ｃと固定
子１２の電極２０ａ，２０ｂ，２０ｃの間に作用する吸
引力、反発力は左右が逆になるだけであり、上記のよう
にデッドポイントが存在せず、移動子１１を円滑に駆動
することができる。In the control method of the first embodiment, when the mover 11 is moved to the right side in the figure, the patterns for applying the voltage to the V phase and the W phase are 1 step and 2 steps for the U phase, respectively. The phase may be delayed by the amount of steps. In this case, the attraction force and the repulsion force acting between the electrodes 17a, 17b, 17c of the mover 11 and the electrodes 20a, 20b, 20c of the stator 12 are only left-right reversed, and as described above, the dead point Is not present, the mover 11 can be driven smoothly.

【００５２】なお、図２では、第１ステップＳ１の６／
８αで印加する高電圧の極性を“＋”から“−”に変化
させているが、極性を変化させるのは、４／８αから６
／８αまでの間の任意の時点であればよい。In FIG. 2, 6 / of the first step S1
The polarity of the high voltage applied at 8α is changed from "+" to "-", but the polarity is changed from 4 / 8α to 6
It may be any time point up to / 8α.

【００５３】次に、本発明の第２実施例について説明す
る。この第２実施例において、静電アクチュエータの構
造は、上記第１実施例と同一である。また、上記移動子
１１に対して印加する高電圧の極性も第１実施例の場合
と同様に、操作スイッチ１４が“停止”の場合には、移
動子１１の電極１７ａ〜１７ｃの電位は“０”とされ、
操作スイッチ１４が“左側に移動”または“右側に移
動”とした場合、移動子１１のａ相、ｂ相の電極１７
ａ，１７ｂに対して“−”の高電圧を印加し、ｃ相の電
極１７ｃに対しては“＋”の高電圧を印加する。さら
に、固定子１２のＵ相、Ｖ相およびＷ相の電極２０ａ，
２０ｂ，２０ｃに対しては、同一パターンで“＋”、
“−”の極性を切り替えて高電圧を印加し、移動子１１
を左方向に移動させる場合は、Ｖ相、Ｗ相はＵ相に対し
てそれぞれ１ステップ、２ステップだけ位相を進めて極
性を切り替え、移動子１１を右方向に移動させる場合
は、Ｖ相、Ｗ相はＵ相に対してそれぞれ１ステップ、２
ステップ位相を遅れさせて極性を切り替える。Next, a second embodiment of the present invention will be described. In the second embodiment, the structure of the electrostatic actuator is the same as that of the first embodiment. In addition, the polarity of the high voltage applied to the mover 11 is also the same as in the case of the first embodiment, when the operation switch 14 is "stop", the potentials of the electrodes 17a to 17c of the mover 11 are ". 0 ",
When the operation switch 14 is set to “move to the left” or “move to the right”, the a-phase and b-phase electrodes 17 of the moving element 11
A high voltage of "-" is applied to a and 17b, and a high voltage of "+" is applied to the c-phase electrode 17c. Further, the U-phase, V-phase and W-phase electrodes 20a of the stator 12 are
For 20b and 20c, "+" in the same pattern,
A high voltage is applied by switching the polarity of "-", and
To move to the left, the V phase and W phase advance the phase by 1 step and 2 steps respectively with respect to the U phase to switch the polarities, and to move the mover 11 to the right, V phase, W phase has 1 step and 2 steps respectively for U phase
The polarity is switched by delaying the step phase.

【００５４】図４は、第２実施例の制御方法で移動子１
１を左側に移動させる場合の移動子１１及び固定子１２
の電極１７ａ〜１７ｃ，２０ａ〜２０ｃに対する極性の
切り替えを示しており、時刻ｔ₀から時刻ｔ₁及び時刻ｔ
₂以降は操作スイッチ１４は“停止”に設定され、時刻
ｔ₁から時刻ｔ₂の間操作スイッチ１４は“左側に移動”
に設定されている。FIG. 4 shows the moving element 1 according to the control method of the second embodiment.
Moving element 11 and stator 12 when moving 1 to the left
7 shows switching of the polarities of the electrodes 17a to 17c and 20a to 20c, from time t ₀ to time t ₁ and time t.
_{After 2,} the operation switch 14 is set to "stop", and the operation switch 14 is "moved to the left" from the time t ₁ to the time t _2.
Is set to

【００５５】Ｕ相の電極２０ａに対しては、第１ステッ
プＳ１の開始から１／８αまで（移動子１１が０／８Ｐ
から１／８Ｐに移動するまで）は“＋”の高電圧を印加
する。また、第１ステップＳ１の１／８αから４／８α
まで（移動子１１が１／８Ｐから４／８Ｐに移動するま
で）は“−”の高電圧を印加する。さらに、第１ステッ
プＳ１の４／８αから第１ステップＳ１の終了まで（移
動子１１が４／８Ｐから８／８Ｐに移動するまで）は、
“＋”の高電圧を印加する。また、第２ステップＳ２で
はＵ相の電極２０ａに対して開始から終了まで“−”の
高電圧を印加し、第３ステップＳ３では、Ｕ相の電極２
０ａに対して開始から終了まで“＋”の高電圧を印加す
る。For the U-phase electrode 20a, from the start of the first step S1 to 1 / 8α (when the moving element 11 is 0 / 8P).
From 1 to 8P) is applied with a high voltage of "+". Also, from 1 / 8α to 4 / 8α in the first step S1
Until (moving element 11 moves from 1 / 8P to 4 / 8P), a high voltage of "-" is applied. Furthermore, from 4 / 8α of the first step S1 to the end of the first step S1 (until the moving element 11 moves from 4 / 8P to 8 / 8P),
A high voltage of "+" is applied. Further, in the second step S2, a high voltage of "-" is applied to the U-phase electrode 20a from the start to the end, and in the third step S3, the U-phase electrode 2a.
A high voltage of "+" is applied to 0a from the start to the end.

【００５６】Ｖ相の電極２０ｂに対しては、上記のよう
にＵ相の電極２０ａよりも１ステップ分だけ位相を進め
て電圧を印加し、第１ステップＳ１では開始から終了ま
で“−”の高電圧を印加し、第２ステップＳ２では開始
から終了まで“＋”の高電圧を印加する。第３ステップ
Ｓ３では、Ｖ相の電極２０ｂに対して開始から１／８α
までは“＋”、１／８αから４／８αまでは“−”、４
／８αから終了まで“＋”の高電圧を印加する。As described above, a voltage is applied to the V-phase electrode 20b by advancing the phase by one step over that of the U-phase electrode 20a, and in the first step S1, a "-" sign is applied from the start to the end. A high voltage is applied, and in the second step S2, a high voltage of "+" is applied from the start to the end. In the third step S3, 1 / 8α from the start for the V-phase electrode 20b.
Up to "+", from 1 / 8α to 4 / 8α "-", 4
A high voltage of "+" is applied from / 8α to the end.

【００５７】Ｗ相の電極２０ｃに対しては、上記のよう
にＵ相の電極２０ａよりも２ステップ分だけ位相を早め
て電圧を印加する。第１ステップＳ１では開始から終了
まで“＋”の高電圧を印加する。第２ステップＳ２で
は、開始から１／８αまでは“＋”、１／８αから４／
８αまでは“−”、４／８αから終了までは、“＋”の
高電圧を印加する。第３ステップＳ３では、開始から終
了まで“−”の高電圧を印加する。As described above, the voltage is applied to the W-phase electrode 20c by advancing the phase by two steps as compared with the U-phase electrode 20a. In the first step S1, a high voltage of "+" is applied from the start to the end. In the second step S2, “+” is from the start to ⅛α, and from ⅛α to 4 /
A high voltage of "-" is applied up to 8α and a high voltage of "+" is applied from 4 / 8α to the end. In the third step S3, a high voltage of "-" is applied from the start to the end.

【００５８】この第２実施例における固定子１２の電極
２０ａ〜２０ｃに対して印加する高電圧の極性の切り替
えは、上記図２に示した従来の制御方法において、
“−”の高電圧を印加するステップ（Ｕ相の場合第２ス
テップ）の直前の“＋”の電圧を印加するステップ（Ｕ
相の場合第１ステップ）において、１／８αから４／８
αの間だけ“−”の高電圧を印加するように変更したも
のである。Switching of the polarity of the high voltage applied to the electrodes 20a to 20c of the stator 12 in the second embodiment is performed by the conventional control method shown in FIG.
Immediately before the step of applying a high voltage of "-" (second step in the case of U phase), the step of applying a voltage of "+" (U
In the case of phase, 1 / 8α to 4/8 in the first step)
This is modified so that a high voltage of "-" is applied only during α.

【００５９】第１ステップＳ１における、上記第１から
第３グループの力Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３の水平分力、垂直分
力、第１から第３グループの力Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３の合力
の水平分力、垂直分力並びに移動子１１に対する駆動力
の変化は表３に示す通りである。In the first step S1, the horizontal component force and the vertical component force of the forces F1, F2, F3 of the first to third groups, and the horizontal component of the resultant force of the forces F1, F2, F3 of the first to third groups. The changes in the force, the vertical component force, and the driving force for the moving element 11 are as shown in Table 3.

【００６０】[0060]

【表３】 [Table 3]

【００６１】また、第１ステップＳ１の１／８αでの移
動子１１の電極１７ａ〜１７ｃと固定子１２の電極２０
ａ〜２０ｃとの間の吸引力、反発力は図５に示すように
なる。Further, the electrodes 17a to 17c of the moving element 11 and the electrode 20 of the stator 12 at 1 / 8α in the first step S1.
The attraction force and repulsion force between a to 20c are as shown in FIG.

【００６２】この第１ステップＳ１の１／８αでの移動
子１１の電極１７ａ〜１７ｃと固定子１２の電極２０ａ
〜２０ｃの間の静電気による吸引力、反発力は上記図８
に示す従来の制御方法における第１ステップＳ１の１／
８αでの移動子４の電極６ａ〜６ｃと固定子１の電極３
ａ〜３ｃの間の静電気による吸引力、反発力と比較する
と以下の点が相違する。The electrodes 17a to 17c of the mover 11 and the electrode 20a of the stator 12 at 1 / 8α in the first step S1.
The attraction force and repulsion force due to static electricity between 20 c and
1 / of the first step S1 in the conventional control method shown in
8 [alpha] electrodes 6a-6c of mover 4 and electrode 3 of stator 1 at 8 [alpha]
The following points are different from the attraction force and repulsion force due to static electricity between a to 3c.

【００６３】すなわち、従来の制御方法（図１２）で
は、第３グループの力Ｆ３のうち、移動子４のｂ相の電
極６ｂと固定子１のＶ相の電極３ｂの間に作用する力
と、ｃ相の電極６ｃと固定子１のＷ相の電極３ｃの間に
作用する力は、移動子４を移動方向に反発するように作
用しているが、移動子４のａ相の電極３ａと固定子１の
Ｕ相の電極３ａの間に作用する力は移動子４を移動方向
と反対向きに吸引するように作用しており、第３のグル
ープの力Ｆ３が移動子４を移動方向に駆動する力は、相
殺されている。これに対して、第２実施例の制御方法
（図５）では、第３グループの力Ｆ３のうち、ａ相の電
極１７ａと固定子１２のＵ相の電極２０ａの間に作用す
る力も移動子１１を移動方向に反発する向きに作用して
おり、第３グループの力Ｆ３はすべて移動子１１を移動
方向に反発する向きに作用している。よって、第２実施
例の制御方法では、１／８αから４／８αの間の駆動力
が従来の制御方法と比較して大幅に大きい。That is, in the conventional control method (FIG. 12), of the force F3 of the third group, the force acting between the b-phase electrode 6b of the moving element 4 and the V-phase electrode 3b of the stator 1 is , The force acting between the c-phase electrode 6c and the W-phase electrode 3c of the stator 1 acts to repel the mover 4 in the moving direction, but the a-phase electrode 3a of the mover 4 And the force acting between the U-phase electrodes 3a of the stator 1 act to attract the mover 4 in the direction opposite to the moving direction, and the force F3 of the third group moves the mover 4 in the moving direction. The power to drive is offset. On the other hand, in the control method of the second embodiment (FIG. 5), of the forces F3 of the third group, the force acting between the a-phase electrode 17a and the U-phase electrode 20a of the stator 12 is also the mover. 11 acts in a direction to repel the moving direction, and all the forces F3 of the third group act in a direction to repel the moving element 11 in the moving direction. Therefore, in the control method of the second embodiment, the driving force between 1 / 8α and 4 / 8α is significantly larger than that in the conventional control method.

【００６４】上記のように１／８αで極性を“−”に切
り替えるのは、仮に０／８αからＵ相の電極１７ａに印
加する高電圧の極性を“−”とすると、第１から第３グ
ループの力Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３の合力の水平分力が０とな
り、移動子１１に対する駆動力が０となるからである。
ただし、必ずしも１／８αで極性を“−”に切り替える
必要はなく、１／２０αから１／４αの間の特定の時点
で“−”に切り替えてもよい。As described above, the polarity is switched to "-" at ⅛α, assuming that the polarity of the high voltage applied from 0 / 8α to the U-phase electrode 17a is "-", the first to the third. This is because the horizontal component force of the resultant force of the groups F1, F2, F3 becomes 0, and the driving force for the mover 11 becomes 0.
However, it is not always necessary to switch the polarity to “−” at 1 / 8α, and it may be switched to “−” at a specific time point between 1 / 20α and 1 / 4α.

【００６５】一方、４／８αで極性を“＋”に戻すの
は、４／８αで第１のグループの力Ｆ１と第３のグルー
プの力Ｆ３の水平分力の大きさが等しくなり、４／８α
以降にＵ相の電極２０ａの極性を“−”とすると第１か
ら第３のグループの力Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３の合力の水平分
力が減少するからである。ただし、必ずしも４／８αで
極性を“＋”に戻す必要はなく、２．５／８αから４．
２／８αの間の特定の時点で極性を“＋”に切り替えて
もよい。On the other hand, when the polarity is returned to "+" at 4 / 8α, the horizontal component force of the force F1 of the first group becomes equal to that of the force F3 of the third group at 4 / 8α. / 8α
This is because, if the polarity of the U-phase electrode 20a is set to "-" after that, the horizontal component force of the combined forces of the forces F1, F2, F3 of the first to third groups decreases. However, it is not always necessary to return the polarity to "+" at 4 / 8α, and it is possible to change from 2.5 / 8α to 4.
The polarity may be switched to “+” at a specific time point between 2 / 8α.

【００６６】以上、第１ステップについて説明したが、
移動子１１の電極１７ａ，１７ｂ，１７ｃには固定的に
電圧を印加する一方、固定子１２のＶ相、Ｗ相の電極２
０ｂ，２０ｃに対してはＵ相の電極２０ａに対してそれ
ぞれ１ステップ、２ステップ位相を進めて同一パターン
で電圧を印加しているため、第２ステップＳ２及び第３
ステップＳ３のついても、１／８αから４／８αでの駆
動力が従来の制御方法と比較して大幅に大きく、０／８
α近傍で移動子１１の駆動力が局所的に小さくなるのを
防止することができ、移動子１１を円滑に作動させるこ
とができる。The first step has been described above.
A voltage is fixedly applied to the electrodes 17a, 17b, 17c of the mover 11, while the V-phase and W-phase electrodes 2 of the stator 12 are applied.
0b and 20c are applied to the U-phase electrode 20a by 1 step and 2 steps, respectively, and the voltage is applied in the same pattern.
Even with step S3, the driving force from 1 / 8α to 4 / 8α is significantly larger than that of the conventional control method,
It is possible to prevent the driving force of the moving element 11 from locally decreasing in the vicinity of α, and the moving element 11 can be operated smoothly.

【００６７】なお、第２実施例の制御方法において、移
動子１１を図中右側に移動させる場合には、移動子１１
の電極１７ａ，１７ｂ，１７ｃと固定子１２の電極２０
ａ，２０ｂ，２０ｃの間に作用する吸引力、反発力は左
右が逆になるだけであり、上記のように０／８α近傍で
の駆動力の局所的な低下を防止することができる。In the control method of the second embodiment, when the mover 11 is moved to the right in the figure, the mover 11
Electrodes 17a, 17b, 17c of the stator and the electrode 20 of the stator 12
The attraction force and the repulsion force acting between a, 20b, and 20c are only left-right reversed, and it is possible to prevent the local reduction of the driving force near 0 / 8α as described above.

【００６８】次に、本発明の第３実施例について説明す
る。この第３実施例は、上記第１実施例に係る制御方法
と第２実施例に係る制御方法を組み合わせたものであ
り、静電アクチュエータの構造は、上記第１実施例と同
一である。また、移動子１１に対して印加する高電圧の
極性も第１実施例の場合と同様に、操作スイッチ１４が
“停止”の場合には移動子１１の電極１７ａ〜１７ｃの
電位を“０”とし、操作スイッチ１４を“左側に移動”
または“右側に移動”とした場合、移動子１１のａ相、
ｂ相の電極１７ａ，１７ｂに対して“−”の高電圧、ｃ
相の電極１７ｃに対しては“＋”の高電圧を固定的に印
加する。さらに、固定子１１のＵ相、Ｖ相及びＷ相の電
極２０ａ〜２０ｃに対しては、同一パターンで“＋”
“−”の極性を切り替えて高電圧を印加し、移動子１１
を左方向に移動させる場合は、Ｖ相、Ｗ相にはＵ相に対
してそれぞれ１ステップ、ステップ位相を進めて極性を
切り替え、移動子１１を右方向に移動させる場合は、Ｖ
相、Ｗ相はＵ相に対してそれぞれ１ステップ、２ステッ
プ位相を遅れさせて極性を切り替える。Next, a third embodiment of the present invention will be described. The third embodiment is a combination of the control method according to the first embodiment and the control method according to the second embodiment, and the structure of the electrostatic actuator is the same as that of the first embodiment. Further, the polarity of the high voltage applied to the moving element 11 is the same as in the first embodiment, when the operation switch 14 is "stop", the potential of the electrodes 17a to 17c of the moving element 11 is "0". And move the operation switch 14 to the left.
Or, if "move to the right", the a phase of the mover 11,
High voltage of "-" with respect to the b-phase electrodes 17a and 17b, c
A high voltage of "+" is fixedly applied to the phase electrode 17c. Furthermore, for the U-phase, V-phase, and W-phase electrodes 20a to 20c of the stator 11, "+" is applied in the same pattern.
A high voltage is applied by switching the polarity of "-", and
To move to the left, the V-phase and W-phase are advanced by one step with respect to the U-phase, respectively, and the step phase is advanced to switch the polarity, and when moving the mover 11 to the right,
The phases of the W phase and the W phase are switched by delaying the 1-step and 2-step phases respectively with respect to the U-phase.

【００６９】図６は、第３実施例の制御方法で移動子１
１を左方向に移動させる場合の移動子１１及び固定子１
２の電極１７ａ〜１７ｃ，２０ａ〜２０ｃに対する極性
の切り替えを示しており、時刻ｔ₀から時刻ｔ₁及び時刻
ｔ₂以降は操作スイッチ１４は“停止”に設定され、時
刻ｔ₁から時刻ｔ₂の間の操作スイッチ１４は“左側に移
動”に設定されている。FIG. 6 shows the moving method according to the control method of the third embodiment.
1 for moving 1 to the left, the mover 11 and the stator 1
Second electrodes 17a to 17c, illustrates the switching of polarity for 20 a to 20 c, the time t ₁ and time t ₂ after the operation switch 14 from time t ₀ is set to "stop", the time t ₂ from time t ₁ The operation switch 14 between the two is set to "move left".

【００７０】Ｕ相の電極２０ａに対しては、第１ステッ
プＳ１の最初から１／８αまでは“＋”の高電圧を印加
し、１／８αから４／８αまでは“−”の高電圧を印加
する。また、Ｕ相の電極２０ａに対しては、第１ステッ
プＳ１の４／８αから６／８αまで“＋”の高電圧を印
加し、６／８αから８／８αでは“−”の高電圧を印加
する。第２ステップＳ２は最初から最後まで“−”の高
電圧を印加する。第３ステップＳ３では、最初から最後
まで“＋”の高電圧を印加する。A high voltage of "+" is applied to the U-phase electrode 20a from the beginning of the first step S1 to 1 / 8α, and a high voltage of "-" is applied from 1 / 8α to 4 / 8α. Is applied. Further, a high voltage of "+" is applied to the U-phase electrode 20a from 4 / 8α to 6 / 8α of the first step S1, and a high voltage of "-" is applied from 6 / 8α to 8 / 8α. Apply. In the second step S2, a high voltage of "-" is applied from the beginning to the end. In the third step S3, a high voltage of "+" is applied from the beginning to the end.

【００７１】Ｖ相の電極２０ａ及びＷ相の電極２０ｃに
対しては、上記したように、それぞれ１ステップ、２ス
テップ位相を進めて同一パターンで電圧を印加してい
る。As described above, voltages are applied to the V-phase electrode 20a and the W-phase electrode 20c in the same pattern by advancing the phase by one step or two steps, respectively.

【００７２】第１実施例の第１ステップＳ１における第
１から第３グループの力Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３の水平分力、
垂直分力、第１から第３グループの力Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３
の合力の水平分力、垂直分力並びに移動子１１に対する
駆動力の変化は表４に示す通りである。The horizontal component forces of the forces F1, F2, F3 of the first to third groups in the first step S1 of the first embodiment,
Vertical component force, first to third group of forces F1, F2, F3
Table 4 shows changes in the horizontal component force, the vertical component force of the resultant force, and the driving force for the moving element 11.

【００７３】[0073]

【表４】 [Table 4]

【００７４】第１ステップＳ１の６／８αにおける移動
子１１の電極１７ａ〜１７ｃと固定子１２の電極２０ａ
〜２０ｃの間の静電気による吸引力、反発力は上記図３
に示した第１実施例の場合と同一である。よって、第３
実施例の制御方法では、上記第１実施例と同様に、ａ相
の電極１７ａと固定子１２のＵ相の電極２０ａの間に作
用する力は移動子１１を固定子１２から反発する向きに
作用し、第３グループの力Ｆ３はすべて移動子１１を固
定子１２から反発する向きに作用しており、第１から第
３グループの力Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３の合力の水平成分の値
が大きい。The electrodes 17a to 17c of the moving member 11 and the electrode 20a of the stator 12 at 6 / 8α in the first step S1.
The attraction force and repulsion force due to static electricity between 20 c and
This is the same as the case of the first embodiment shown in FIG. Therefore, the third
In the control method of the embodiment, as in the first embodiment, the force acting between the a-phase electrode 17a and the U-phase electrode 20a of the stator 12 causes the mover 11 to repel the stator 12. All of the forces F3 of the third group act in a direction of repelling the moving element 11 from the stator 12, and the value of the horizontal component of the resultant force of the forces F1, F2, F3 of the first to third groups is large. .

【００７５】また、第３実施例の制御方法では、上記第
１実施例と同様に、第１グループの力のうち移動子１１
のｂ相の電極１７ｂと固定子１２のＵ相の電極２０ａの
間に作用する力は移動子１１を固定子１２から反発する
ように作用しているため、第１から第３グループの力Ｆ
１〜Ｆ３の合力の垂直成分は、符号は“−”であるもの
の、絶対値は従来の制御方法と比較して大幅に小さい。
そのため、この第３実施例の制御方法であれば、８／８
ピッチにおける駆動力は正であってデッドポイントが存
在しない。Further, in the control method of the third embodiment, as in the first embodiment, the moving element 11 of the forces of the first group is moved.
Since the force acting between the b-phase electrode 17b and the U-phase electrode 20a of the stator 12 acts so as to repel the mover 11 from the stator 12, the forces F of the first to third groups are
The vertical component of the resultant force of 1 to F3 has a sign "-", but the absolute value is significantly smaller than that of the conventional control method.
Therefore, according to the control method of the third embodiment, 8/8
The driving force on the pitch is positive and there are no dead points.

【００７６】第１ステップＳ１の１／８αでの移動子１
１の電極１７ａ〜１７ｃと固定子１２の電極２０ａ〜２
０ｃの間の静電気による吸引力、反発力は第２実施例と
同様に、上記図５に示す通りである。よって、第３実施
例の制御方法では、上記第２実施例と同様に、１／８α
から４／８αまでの間、第３グループの力Ｆ３はすべて
移動子１１を移動方向に反発するように作用し、この１
／８αから４／８αでの駆動力が従来の制御方法と比較
して大幅に大きく、０／８α近傍で移動子１１の駆動力
が局所的に小さくなることがない。Moving element 1 at 1 / 8α in the first step S1
No. 1 electrode 17a-17c and stator 12 electrode 20a-2
The attraction force and repulsion force due to static electricity during 0c are as shown in FIG. 5 as in the second embodiment. Therefore, in the control method of the third embodiment, as in the second embodiment, 1 / 8α
From 1 to 4 / 8α, all the forces F3 of the third group act to repel the moving element 11 in the moving direction.
The driving force from / 8α to 4 / 8α is significantly larger than that of the conventional control method, and the driving force of the moving element 11 does not locally decrease in the vicinity of 0 / 8α.

【００７７】[0077]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１の制御方法では、移動子の各相の電極に対して高電圧
を固定的に印加する一方、固定子の各相の電極に対し
て、等時間間隔の連続する３つのステップからなるサイ
クルを繰り返し、かつ、各相のサイクルを１ステップ分
ずつ位相をずらして電圧を印加しており、この３つのス
テップのうち第１のステップでは、４／８から６／８の
間の所定の時点までは正、この時点以降は負の電圧を印
加するため、デッドポイントが存在せず、移動子を確実
かつ円滑に移動させることができる。As is apparent from the above description, in the control method of claim 1, a high voltage is fixedly applied to the electrodes of each phase of the mover, while the electrodes of each phase of the stator are applied. On the other hand, a cycle consisting of three consecutive steps with equal time intervals is repeated, and a voltage is applied by shifting the phase of each phase by one step, and the first step among these three steps is applied. Then, since a positive voltage is applied until a predetermined time point between 4/8 and 6/8 and a negative voltage is applied after this time point, there is no dead point, and the mover can be moved reliably and smoothly. .

【００７８】また、請求項２の制御方法では、移動子の
各相の電極に対して高電圧を固定的に印加する一方、固
定子の各相の電極に対して、等時間間隔の連続する３つ
のステップからなるサイクルを繰り返し、かつ、各相の
サイクルを１ステップ分ずつ位相をずらして電圧を印加
しており、この３つのステップのうち第１のステップで
は、１／２０から１／４の間の第１の所定の時点までは
正、この第１の所定の時点以降２．５／８から４．２／
８までの間の第２の所定の時点までは負、この第２の所
定の時点以降は正の高電圧を印加するため、０／８ピッ
チ近傍での駆動力の低下を防止することができ、移動子
を確実かつ円滑に移動させることができる。In the control method according to the second aspect of the present invention, the high voltage is fixedly applied to the electrodes of each phase of the mover, while the electrodes of each phase of the stator are continuously applied at equal time intervals. A cycle consisting of three steps is repeated, and a voltage is applied by shifting the phase of each phase by one step. In the first step of these three steps, 1/20 to 1/4 is applied. Positive up to a first predetermined time point between, and from this first predetermined time point 2.5 / 8 to 4.2 /
A negative high voltage is applied until a second predetermined time point up to 8 and a positive high voltage is applied after the second predetermined time point, so that it is possible to prevent a decrease in driving force in the vicinity of 0/8 pitch. The mover can be moved reliably and smoothly.

【００７９】さらに、請求項３の制御方法では、移動子
の各相の電極に対して高電圧を固定的に印加する一方、
固定子の各相の電極に対して、等時間間隔の連続する３
つのステップからなるサイクルを繰り返し、かつ、各相
のサイクルを１ステップ分ずつ位相をずらして電圧を印
加しており、この３つのステップのうち第１のステップ
では、１／２０から１／４の間の第１の所定の時点まで
は正、第１の所定の時点以降は２．５／８から４／８ま
での間の第２の所定の時点までは負、第２の所定の時点
から４／８から６／８の間の第３の所定の時点までは
正、第３の所定の時点以降は負の高電圧を印加するた
め、デッドポイントが存在せず、かつ０／８ピッチ近傍
での駆動力の低下を防止することができ、移動子を円滑
かつ確実に移動させることができる。Further, according to the control method of the third aspect, while a high voltage is fixedly applied to the electrodes of each phase of the mover,
For the electrodes of each phase of the stator, consecutive 3 at equal time intervals
The cycle consisting of three steps is repeated, and the voltage is applied by shifting the phase of each phase by one step. In the first step of these three steps, the voltage of 1/20 to 1/4 is applied. Is positive up to a first predetermined time point in between, negative from a second predetermined time point between 2.5 / 8 and 4/8 after the first predetermined time point, and from a second predetermined time point Since a high positive voltage is applied until the third predetermined time point between 4/8 and 6/8 and a negative high voltage is applied after the third predetermined time point, there is no dead point and the pitch is close to 0/8 pitch. It is possible to prevent the driving force from being lowered, and the mover can be smoothly and surely moved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】 本発明に係る制御方法を適用する静電アクチ
ュエータを示す概略図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing an electrostatic actuator to which a control method according to the present invention is applied.

【図２】 第１実施例に係る制御方法を説明するための
波形図である。FIG. 2 is a waveform diagram for explaining a control method according to the first embodiment.

【図３】 第１実施例の第１ステップの６／８αにおい
て電極間に生じる吸引力、反発力を示す概略図である。FIG. 3 is a schematic diagram showing attraction force and repulsion force generated between electrodes in 6 / 8α of the first step of the first embodiment.

【図４】 第２実施例に係る制御方法を説明するための
波形図である。FIG. 4 is a waveform diagram for explaining a control method according to a second embodiment.

【図５】 第２実施例の第１ステップの１／８αにおい
て電極間に生じる吸引力、反発力を示す概略図である。FIG. 5 is a schematic diagram showing attraction force and repulsion force generated between electrodes in 1 / 8α of the first step of the second embodiment.

【図６】 第３実施例に係る制御方法を説明するための
波形図である。FIG. 6 is a waveform diagram for explaining a control method according to a third embodiment.

【図７】 静電アクチュエータを示す概略図である。FIG. 7 is a schematic view showing an electrostatic actuator.

【図８】 従来の静電アクチュエータの制御方法を説明
するための波形図である。FIG. 8 is a waveform diagram for explaining a conventional control method for an electrostatic actuator.

【図９】 移動子が１ピッチ分移動した状態を示す概略
図である。FIG. 9 is a schematic diagram showing a state in which the mover has moved by one pitch.

【図１０】 従来の制御方法での第１ステップの６／８
αにおいて電極間に生じる吸引力、反発力を示す概略図
である。FIG. 10: 6/8 of the first step in the conventional control method
FIG. 3 is a schematic diagram showing a suction force and a repulsive force generated between electrodes at α.

【図１１】 従来の制御方法での第１ステップの１／８
αにおいて電極間に生じる吸引力、反発力を示す概略図
である。FIG. 11: 1/8 of the first step in the conventional control method
FIG. 3 is a schematic diagram showing a suction force and a repulsive force generated between electrodes at α.

【図１２】 従来の制御方法での第２ステップの−１／
８αにおいて電極間に生じる吸引力、反発力を示す概略
図である。FIG. 12: -1 / of the second step in the conventional control method
FIG. 8 is a schematic diagram showing a suction force and a repulsive force generated between electrodes at 8α.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１１ 移動子 １２ 固定子 １３ 制御手段 １４ 操作スイッチ １５ 高電圧源 １６，１９ 絶縁層 １７ａ〜１７ｃ，２０ａ〜２０ｃ 電極 Ｒ１〜Ｒ１１ リレー 11 Moving element 12 Stator 13 Control means 14 Operation switch 15 High voltage source 16, 19 Insulating layer 17a-17c, 20a-20c Electrode R1-R11 Relay

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 絶縁層に複数の電極を等ピッチで配設し
てなる固定子と、 絶縁層に複数の電極を等ピッチで配設してなり、上記固
定子に対向して配置された移動子とを備えるアクチュエ
ータに対して、上記移動子の電極に固定的に高電圧を印
加する一方、上記固定子の電極に極性を切り替えて高電
圧を印加し、移動子の電極と、固定子の電極との間に生
じる静電気による吸引力、反発力により移動子を固定子
に対して移動させる静電アクチュエータの制御方法であ
って、 上記移動子の複数の電極を、２つ置きに配設した電極毎
に互いに接続して３相とし、各相の電極に対してそれぞ
れ負、負、正の高電圧を固定的に印加する一方、 上記固定子の電極を、２つ置きに配設した電極毎に互い
に接続して３相とし、各相の電極に対して、等時間間隔
の連続する３つのステップからなるサイクルを繰り返
し、かつ、各相のサイクルを１ステップ分ずつ位相をず
らして電圧を印加し、上記３つのステップのうち第１の
ステップでは４／８から６／８の間の所定の時点までは
正、該時点以降は負の電圧を印加し、第２のステップで
は負の高電圧を印加し、第３のステップでは正の電圧を
印加することを特徴とする静電アクチュエータの制御方
法。1. A stator having a plurality of electrodes arranged at an equal pitch on an insulating layer, and a plurality of electrodes arranged at an equal pitch on an insulating layer, which are arranged to face the stator. A high voltage is fixedly applied to the electrodes of the mover with respect to an actuator including a mover, and a high voltage is applied to the electrodes of the stator by switching the polarity, and the electrodes of the mover and the stator are applied. Is a control method of an electrostatic actuator that moves a mover with respect to a stator by a suction force and a repulsive force caused by static electricity generated between the mover and a plurality of electrodes of the mover. The electrodes are connected to each other to form three phases, and negative, negative, and positive high voltages are fixedly applied to the electrodes of each phase, while the electrodes of the stator are arranged every two electrodes. The electrodes are connected to each other to form three phases, and the electrodes of each phase are equidistantly spaced. The cycle consisting of three consecutive steps is repeated, and the voltage is applied by shifting the phase of each phase by one step, and in the first step of the above three steps, 4/8 to 6/8 Is applied until a predetermined point in time, a negative voltage is applied after that point, a high negative voltage is applied in the second step, and a positive voltage is applied in the third step. Control method of electrostatic actuator. 【請求項２】 絶縁層に複数の電極を等ピッチで配設し
てなる固定子と、 絶縁層に複数の電極を等ピッチで配設してなり、上記固
定子に対向して配置された移動子とを備えるアクチュエ
ータに対して、上記移動子の電極に固定的に高電圧を印
加する一方、上記固定子の電極に極性を切り替えて高電
圧を印加し、移動子の電極と、固定子の電極との間に生
じる静電気による吸引力、反発力により移動子を固定子
に対して移動させる静電アクチュエータの制御方法であ
って、 上記移動子の複数の電極を、２つ置きに配設した電極毎
に互いに接続して３相とし、各相の電極に対してそれぞ
れ負、負、正の高電圧を固定的に印加する一方、 上記固定子の電極を、２つ置きに配設した電極毎に互い
に接続して３相とし、各相の電極に対して、等時間間隔
の連続する３つのステップからなるサイクルを繰り返
し、かつ、各相のサイクルを１ステップ分ずつ位相をず
らして電圧を印加し、上記３つのステップのうち第１の
ステップでは０．４／８から２／８の間の第１の所定の
時点までは正、該第１の所定の時点以降２．５／８から
４．２／８までの間の第２の所定の時点までは負、該第
２の所定の時点以降は正の高電圧を印加し、第２のステ
ップでは負の高電圧を印加し、第３のステップでは正の
電圧を印加することを特徴とする静電アクチュエータの
制御方法。2. A stator having a plurality of electrodes arranged at an equal pitch on an insulating layer, and a plurality of electrodes arranged at an equal pitch on an insulating layer, which are arranged to face the stator. A high voltage is fixedly applied to the electrodes of the mover with respect to an actuator including a mover, and a high voltage is applied to the electrodes of the stator by switching the polarity, and the electrodes of the mover and the stator are applied. Is a control method of an electrostatic actuator that moves a mover with respect to a stator by a suction force and a repulsive force caused by static electricity generated between the mover and a plurality of electrodes of the mover. The electrodes are connected to each other to form three phases, and negative, negative, and positive high voltages are fixedly applied to the electrodes of each phase, while the electrodes of the stator are arranged every two electrodes. The electrodes are connected to each other to form three phases, and the electrodes of each phase are equidistantly spaced. The cycle of three consecutive steps is repeated and the voltage is applied by shifting the phase of each phase by one step, and in the first step of the above three steps, 0.4 / 8 to 2 Positive until a first predetermined time between / 8 and negative from a second predetermined time between 2.5 / 8 and 4.2 / 8 after the first predetermined. 2. A method of controlling an electrostatic actuator, characterized in that a high positive voltage is applied after a predetermined time point of 2, a high negative voltage is applied in the second step, and a positive voltage is applied in the third step. . 【請求項３】 絶縁層に複数の電極を等ピッチで配設し
てなる固定子と、 絶縁層に複数の電極を等ピッチで配設してなり、上記固
定子に対向して配置された移動子とを備えるアクチュエ
ータに対して、上記移動子の電極に固定的に高電圧を印
加する一方、上記固定子の電極に極性を切り替えて高電
圧を印加し、移動子の電極と、固定子の電極との間に生
じる静電気による吸引力、反発力により移動子を固定子
に対して移動させる静電アクチュエータの制御方法であ
って、 上記移動子の複数の電極を、２つ置きに配置した電極毎
に互いに接続して３相とし、各相の電極に対してそれぞ
れ負、負、正の高電圧を固定的に印加する一方、 上記固定子の電極を、２つ置きに配置した電極毎に互い
に接続して３相とし、各相の電極に対して、等時間間隔
の連続する３つのステップからなるサイクルを繰り返
し、かつ、各相のサイクルを１ステップ分ずつ位相をず
らして電圧を印加し、上記３つのステップのうち第１の
ステップでは０．４／８から２／８の間の第１の所定の
時点までは正、該第１の所定の時点以降は２．５／８か
ら４／８までの間の第２の所定の時点までは負、該第２
の所定の時点から４／８から６／８の間の第３の所定の
時点までは正、該第３の所定の時点以降は負の高電圧を
印加し、第２のステップでは負の高電圧を印加し、第３
のステップでは正の電圧を印加することを特徴とする静
電アクチュエータの制御方法。3. A stator having a plurality of electrodes arranged on an insulating layer at an equal pitch, and a plurality of electrodes arranged on an insulating layer at an equal pitch, and arranged to face the stator. A high voltage is fixedly applied to the electrodes of the mover with respect to an actuator including a mover, and a high voltage is applied to the electrodes of the stator by switching the polarity, and the electrodes of the mover and the stator are applied. A method of controlling an electrostatic actuator that moves a moving element with respect to a stator by an attractive force and a repulsive force generated by static electricity generated between the moving element and a plurality of electrodes of the moving element. Each electrode is connected to each other to form three phases, and negative, negative, and positive high voltages are fixedly applied to the electrodes of each phase, while the electrodes of the stator are arranged every two electrodes. Are connected to each other to form three phases, and the electrodes of each phase are equidistantly spaced. The cycle of three consecutive steps is repeated and the voltage is applied by shifting the phase of each phase by one step, and in the first step of the above three steps, 0.4 / 8 to 2 Positive until the first predetermined time point between / 8 and negative after the first predetermined time point until the second predetermined time point between 2.5 / 8 and 4/8.
From a predetermined time point to a third predetermined time point between 4/8 and 6/8, a negative high voltage is applied after the third predetermined time point, and a negative high voltage is applied in the second step. Voltage is applied and the third
In the step, a positive voltage is applied to the electrostatic actuator control method.