JPH05191982A - Electrostatic motor - Google Patents
Electrostatic motorInfo
- Publication number
- JPH05191982A JPH05191982A JP221592A JP221592A JPH05191982A JP H05191982 A JPH05191982 A JP H05191982A JP 221592 A JP221592 A JP 221592A JP 221592 A JP221592 A JP 221592A JP H05191982 A JPH05191982 A JP H05191982A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mover
- phase
- electrodes
- stator
- voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Linear Motors (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は静電式モータに関し、詳
しくは、電極を並設した固定子上に絶縁部と抵抗部とを
積層してなるフィルム状の移動子を設け、上記固定子の
電極に印加する電極を順次切り換えることにより移動子
を駆動するようにした静電式モータにおいて、移動子の
駆動時に生じる抵抗を低減して効率を向上すると共に、
移動子に対する充電を作動中に行えるようにしたもので
ある。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrostatic motor, and more specifically, it is provided with a film-like mover in which an insulating portion and a resistance portion are laminated on a stator having electrodes arranged in parallel, In the electrostatic motor configured to drive the moving element by sequentially switching the electrodes to be applied to the electrodes, the resistance generated when the moving element is driven is reduced to improve the efficiency.
This is so that the moving element can be charged during operation.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来この種の静電式モータでは、移動子
を最適に駆動するには、固定子の電極に印加する電圧の
制御が最も重要であり、そのため大型コンピュータ等に
よる制御が必要となっている。例えば、特開平３−２７
７８３号公報に開示された静電式モータでは、コンピュ
ータのプログラム作業が必要で、容易に用いることがで
きない等の問題があった。2. Description of the Related Art Conventionally, in this type of electrostatic motor, control of the voltage applied to the electrodes of the stator is most important for optimally driving the mover, and therefore control by a large computer or the like is required. Is becoming For example, JP-A-3-27
The electrostatic motor disclosed in Japanese Patent No. 783 has a problem that it requires a program work of a computer and cannot be easily used.
【０００３】これに対して、安価なＩＣを用いて、簡素
化された駆動パターンで制御する提案がなされている。
例えば、図１７（Ａ）,（Ｂ）,（Ｃ）で示すような簡単
な駆動パターンで、図１１から図１６に示すように、静
電式モータの移動子を駆動させることができる。On the other hand, it has been proposed to use an inexpensive IC and control with a simplified drive pattern.
For example, the moving element of the electrostatic motor can be driven as shown in FIGS. 11 to 16 with a simple driving pattern as shown in FIGS. 17 (A), (B), and (C).
【０００４】上記静電式モータでは、多数の電極１をく
し状に配置した固定子２上に、フィルム状の移動子３を
摺動可能に配置している。上記固定子２に等ピッチで並
設された電極１を３個１組として図中左側から順にＵ
相、Ｖ相、Ｗ相として、これらＵ相、Ｖ相、Ｗ相は出力
ライン４,５,６に接続されている。これら出力ライン
４,５,６は、上記図１７の駆動パターンで上記各相への
出力電圧を制御する制御回路を介して正負電圧を印加す
るか、又は、グランドと接続する電源手段に接続されて
いる。In the above electrostatic motor, a film-shaped moving element 3 is slidably arranged on a stator 2 in which a large number of electrodes 1 are arranged in a comb shape. A set of three electrodes 1 arranged in parallel on the stator 2 at equal pitch is used in order from the left side in the drawing.
These U-phase, V-phase, and W-phase are connected to the output lines 4, 5, and 6 as the phase, the V-phase, and the W-phase. These output lines 4, 5 and 6 are connected to a power supply means for applying a positive or negative voltage through a control circuit for controlling the output voltage to each phase in the drive pattern of FIG. 17 or for connecting to the ground. ing.
【０００５】上記駆動パターンによる制御は、図示の作
動開始の０≦ｔ＜ａでは、Ｕ相の電極１に対して出力ラ
イン４を介して正の電圧Ｖを供給し、Ｖ相の電極１を出
力ライン５を介してグランドに接続し、更に、Ｗ相の電
極２に対して出力ライン６を介して負の電圧−Ｖを供給
する。この期間中、図１１に示すように、移動子３に
は、対向する固定子２の電極１に供給される電圧と反対
符号の電荷が充電される。即ち、移動子３の固定子２の
Ｕ相に対向する部位には負の電圧−Ｖが充電される一
方、Ｖ相に対向する部位には正の電圧Ｖが充電される。The control by the above-mentioned drive pattern is such that when 0 ≦ t <a at the start of the operation shown in the figure, a positive voltage V is supplied to the U-phase electrode 1 via the output line 4 and the V-phase electrode 1 is The output line 5 is connected to the ground, and a negative voltage −V is supplied to the W-phase electrode 2 via the output line 6. During this period, as shown in FIG. 11, the mover 3 is charged with a charge having a sign opposite to the voltage supplied to the electrode 1 of the stator 2 facing the mover 3. That is, the negative voltage −V is charged in the portion of the stator 3 facing the U phase of the stator 2, while the positive voltage V is charged in the portion of the stator 3 facing the V phase.
【０００６】次に、ｔ＝ａとなった時、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ
相に対して印加していた電圧を瞬間的に切り換える。そ
のため、図１２に示すように、移動子３と固定子の間に
は、浮上力Ｆｆ、引力Ｆａ、斥力Ｆｒを生じ、よって、
図１３に示すように移動子３は固定子２に対して図中右
側に電極１の１個分移動する（ａ＜ｔ＜ｂ）。Next, when t = a, U phase, V phase, W
The voltage applied to the phase is switched instantaneously. Therefore, as shown in FIG. 12, a levitation force Ff, an attractive force Fa, and a repulsive force Fr are generated between the mover 3 and the stator, and
As shown in FIG. 13, the mover 3 moves to the right side in the figure by one electrode 1 relative to the stator 2 (a <t <b).
【０００７】また、ｔ＝ｂにおいて再びＵ相、Ｖ相、Ｗ
相に対して印加していた電圧を切り換え、図１４に示す
ように浮力Ｆｆ、引力Ｆａ、斥Ｆｒを生じる状態を経て
図１５に示すように移動子３が移動する。Further, at t = b, the U phase, V phase, W
The voltage applied to the phases is switched, and the mover 3 moves as shown in FIG. 15 through a state where buoyancy Ff, attractive force Fa, and repulsion Fr are generated as shown in FIG.
【０００８】最後に、周期Ｔ１の一回のサイクルが終了
したｔ＝ｃにおいて、電圧を切り換えて、Ｕ相、Ｖ相、
Ｗ相に対して上記０≦ｔ＜ａと同じ電圧を印加する。こ
れにより、図１６に示すように浮力Ｆｆ等を生じる状態
を経て上記した図１１に相当する状態となるFinally, at t = c when one cycle of the period T1 is completed, the voltage is switched and the U phase, V phase,
The same voltage as 0 ≦ t <a is applied to the W phase. As a result, as shown in FIG. 16, the state corresponding to the above-described FIG.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】上記のような駆動パタ
ーンを採用した場合には、制御回路を簡略化することが
できる。そのため、大型コンピュータ等を使用する必要
がなく、市販の安価なＩＣにより制御回路を作成するこ
とが可能であり、コストを低減することができる。When the drive pattern as described above is adopted, the control circuit can be simplified. Therefore, it is not necessary to use a large-scale computer or the like, the control circuit can be formed by a commercially available inexpensive IC, and the cost can be reduced.
【００１０】しかしながら、上記の制御パターンを採用
した静電式モータでは、作動開始後の周期Ｔ１の１／３
に相当する図１７の０≦ｔ＜ａの期間のみ、移動子３に
対して電荷が充電される。即ち、作動を開始して一旦こ
の最初の１／３サイクルを経過してしまうと、Ｕ相、Ｖ
相、Ｗ相に印加する電圧を切り換える時（ｔ＝ａ,ｂ,
ｃ）には、上記図１２、図１４、図１６に示すように、
移動子３に蓄積された電荷と各相を構成する電極１に印
加した電圧が反発しあう状態が生じ、移動子３に電荷を
充電することができない。そのため、作動時間の経過に
伴い、移動子３の電荷が低減してしまうと、一旦作動を
停止して移動子３に再充電を行う必要がある。However, in the electrostatic motor adopting the above control pattern, 1/3 of the cycle T1 after the operation is started.
17, the electric charge is charged to the moving element 3 only during the period of 0 ≦ t <a in FIG. That is, once the first 1/3 cycle has passed since the operation was started, the U phase, V
Phase, when switching the voltage applied to the W phase (t = a, b,
c), as shown in FIG. 12, FIG. 14 and FIG.
The charge accumulated in the mover 3 and the voltage applied to the electrode 1 forming each phase repel each other, and the mover 3 cannot be charged with the charge. Therefore, when the electric charge of the moving element 3 decreases with the passage of the operating time, it is necessary to stop the operation once and recharge the moving element 3.
【００１１】また、上記図１２、図１４及び図１６に示
すように、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の３相のうち一つの相しか
浮力Ｆｆを生じさせない。そのため、移動子３と固定子
２との間の摩擦力を低減することができず、移動子３を
駆動するのには、電極１に対して大きな電圧を印加する
必要がある。Further, as shown in FIGS. 12, 14 and 16, only one of the U phase, V phase and W phase produces buoyancy Ff. Therefore, the frictional force between the mover 3 and the stator 2 cannot be reduced, and in order to drive the mover 3, it is necessary to apply a large voltage to the electrode 1.
【００１２】本発明は、上記のような従来の静電式モー
タにおける問題を解決するためになされたものであり、
固定子と移動子間の摩擦を低減する共に、充電により作
動を停止させる必要のない、高精度な静電式モータを低
コストで提供することを目的としてなされたものであ
る。The present invention has been made to solve the above problems in the conventional electrostatic motor.
The object of the present invention is to reduce friction between the stator and the mover, and to provide a highly accurate electrostatic motor that does not need to be stopped by charging at low cost.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】従って、本発明は、固定
子と該固定子の上面を移動する移動子を備え、上記固定
子には、３相１組の電極を移動子の移動方向に多数並設
し、これら３相の電極に電源手段から正負の駆動電圧を
順次切り換えて印加することにより移動子を移動させる
静電式モータであって、上記駆動電圧の切り換えは複数
回の切り換えを１サイクルとし、該切り換えの内所定回
数連続して、３相の電極に印加する駆動電圧のうち２相
の電極の電圧を移動子に浮上力を発生させるように、対
向する移動子に充電された電荷と同符号とすると共に、
残り１相の電極に印加する電圧を移動子に充電された電
荷との間に移動子の移動方向の引力及び斥力を発生させ
る符号としていることを特徴とする静電式モータを提供
するものである。Accordingly, the present invention comprises a stator and a mover that moves on the upper surface of the stator, and in the stator, one set of three-phase electrodes is arranged in the moving direction of the mover. It is an electrostatic motor in which a plurality of electrodes are arranged in parallel and a moving element is moved by sequentially applying positive and negative drive voltages from a power supply means to these three-phase electrodes, and the drive voltage is switched a plurality of times. In one cycle, a predetermined number of times of the switching is continuously performed, and the voltages of the two-phase electrodes among the drive voltages applied to the three-phase electrodes are charged to the opposing movers so as to generate the levitation force on the movers. And the same sign as the electric charge,
To provide an electrostatic motor characterized in that the voltage applied to the remaining one-phase electrode is used as a code for generating an attractive force and a repulsive force in the moving direction of the moving element between the voltage applied to the moving element and the electric charge charged in the moving element. is there.
【００１４】また、本発明は、上記の静電式モータにお
いて、上記駆動電圧の切り換えは複数回の切り換えを１
サイクルとし、該１サイクルの内に少なくとも１回の切
り換えにおいて、移動子に対して充電を行うように上記
電極に対して電圧を印加するように設定することを特徴
とする静電式モータを提供するものである。Further, according to the present invention, in the above electrostatic motor, the drive voltage can be switched a plurality of times.
Provided is a cycle, and an electrostatic motor is set so that a voltage is applied to the electrodes so as to charge a moving element in at least one switching in the one cycle. To do.
【００１５】更に、本発明は、上記駆動電圧の切り換え
は複数回の切り換えを１サイクルとし、該切り換えの内
所定回数連続して、３相の電極に印加する駆動電圧のう
ち２相の電極の電圧を移動子に浮上力を発生させるよう
に、対向する移動子に充電された電荷と同符号とすると
共に、残り１相の電極に印加する電圧を移動子に充電さ
れた電荷との間に移動子の移動方向の引力及び斥力を発
生させる符号とし、かつ、少なくとも１回の切り換えに
おいて、移動子に対して充電を行うように上記電極に対
して電圧を印加するように設定することを特徴とする静
電式モータを提供するものである。Further, according to the present invention, the drive voltage is switched a plurality of times as one cycle, and among the drive voltages applied to the three-phase electrodes, the two-phase electrodes are continuously driven a predetermined number of times. The voltage is set to have the same sign as the electric charge charged in the facing moving element so as to generate the levitation force in the moving element, and the voltage applied to the remaining one-phase electrode is between the electric charge charged in the moving element. A code is used to generate an attractive force and a repulsive force in the moving direction of the moving element, and a voltage is applied to the electrodes so as to charge the moving element at least once. The present invention provides an electrostatic motor.
【００１６】具体的には、上記駆動回路は、上記固定子
の３相の電極にそれぞれ４相のリレーを接続し、各４相
のリレーを４相１励磁用リングカウンタＩＣに接続し
て、上記１サイクル中に上記４相のリレーに順次パルス
信号を出力し、各リレーに電源手段より供給されている
電圧を上記固定子の電極に出力する構成としている。Specifically, in the drive circuit, 4-phase relays are connected to the 3-phase electrodes of the stator, and 4-phase relays are connected to a 4-phase 1-excitation ring counter IC, During the one cycle, pulse signals are sequentially output to the four-phase relays, and the voltage supplied from the power supply means to each relay is output to the electrodes of the stator.
【００１７】更に具体的には、上記駆動回路は、上記３
相に対応する第１から第３電極に対して、１サイクルの
内１回目の切り換えまでの第１の期間は上記第２電極を
グランドに接続し、第１及び第３の電極のいずれか一方
に正の電圧を印加し、いずれか他方に負の電圧を印加
し、１回目の切り換えから１サイクルが終了するまでの
第２から第４の期間では、各期間毎に上記第１から第３
電極のうち一つの電極に順に正の電圧を印加し、他の電
極に対して負の電圧を印加する構成としている。More specifically, the drive circuit is the above-mentioned 3
For the first to third electrodes corresponding to the phase, the second electrode is connected to the ground during the first period until the first switching in one cycle, and either one of the first and third electrodes is connected. A positive voltage is applied to the other of them and a negative voltage is applied to the other of them, and in the second to fourth periods from the first switching to the end of one cycle, the first to third
A positive voltage is sequentially applied to one of the electrodes, and a negative voltage is applied to the other electrodes.
【００１８】[0018]
【作用】本発明に係る静電式モータは、上記のように３
相の電極のうち２相の電極が移動子に対して浮力を与え
る構成としているため、移動子と固定子の間の摩擦を低
減することができる。The electrostatic motor according to the present invention operates as described above.
Since the two-phase electrodes of the two-phase electrodes give buoyancy to the mover, friction between the mover and the stator can be reduced.
【００１９】また、本発明において、１サイクルの内に
少なくとも１回の切り換えでは、移動子に対して充電を
行うように上記電極に対して電圧を印加するように設定
した場合には、移動子に充電された電荷が低減すること
がないため、充電のために作動を停止させる必要がな
い。Further, in the present invention, when the voltage is applied to the electrodes so that the moving element is charged at least once in one cycle, the moving element is moved. It is not necessary to stop the operation for charging because the electric charge charged in is not reduced.
【００２０】更に、上記のような構成とした場合には、
１サイクル毎に１回初期状態と同じパターンで電極に対
して電圧が印加されるため、長時間作動させた場合に
も、移動子に充電された電荷の位置は変化しない。Further, in the case of the above structure,
Since the voltage is applied to the electrodes once in each cycle in the same pattern as in the initial state, the positions of the charges charged in the mover do not change even when the electrodes are operated for a long time.
【００２１】[0021]
【実施例】次に、図面に示す実施例に基づき、本発明に
ついて詳細に説明する。図１に示す本発明の実施例に係
る静電式モータは、静電式フィルムアクチュエータを構
成し、複数の電極１１を並置した固定子１２上にフィル
ム状の移動子１３を配置し、駆動回路１４により電極１
１に所定の駆動パターンの電圧を印加して静電力により
移動子１３を移動させる構成としている。The present invention will now be described in detail with reference to the embodiments shown in the drawings. The electrostatic motor according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 1 constitutes an electrostatic film actuator, in which a film-shaped mover 13 is arranged on a stator 12 in which a plurality of electrodes 11 are juxtaposed, and a drive circuit is provided. Electrode 1 by 14
1 is applied with a voltage of a predetermined drive pattern to move the mover 13 by electrostatic force.
【００２２】移動子１３は、薄板状の絶縁部１５に同じ
く薄板状の抵抗部１６を積層して構成しており、全体と
して厚さｔｈが２５μｍ程度のフィルム状を呈してい
る。The mover 13 is formed by laminating a thin plate-shaped insulating portion 15 and a thin plate-shaped resistance portion 16 as well, and has a film shape having a thickness th of about 25 μm as a whole.
【００２３】上記絶縁部１５は、例えばＰＥＴ（１０12
Ω程度）からなる。一方、上記抵抗部１６（１０8Ω程
度）は、絶縁部１５の上に塗布するように構成されてい
る。The insulating portion 15 is made of, for example, PET (10 12
Ω). On the other hand, the resistance portion 16 (about 10 8 Ω) is configured to be applied on the insulating portion 15.
【００２４】上記固定子１２の電極１１は、くし形状に
等ピッチで配置しており、本実施例では、電極１１自体
の幅を０.２ｍｍに設定する一方、電極１１相互のピッ
チを０.４ｍｍに設定している。The electrodes 11 of the stator 12 are arranged at a regular pitch in a comb shape. In this embodiment, the width of the electrodes 11 themselves is set to 0.2 mm, while the pitch between the electrodes 11 is set to 0.2. It is set to 4 mm.
【００２５】また、上記電極１１は、それぞれ３相（Ｕ
相、Ｖ相、Ｗ相）に対応する第１電極１１Ａ、第２電極
１１Ｂ、第３電極１１Ｃの順で図中左側から連続して配
置している。上記第１、第２及び第３電極１１Ａ,１１
Ｂ,１１Ｃは、それぞれＵ相出力ライン２１、Ｖ相出力
ライン２２、Ｗ相出力ライン２３にそれぞれ接続してい
る。The electrodes 11 have three phases (U
Phase, V phase, W phase), the first electrode 11A, the second electrode 11B, and the third electrode 11C are arranged in this order from the left side in the drawing. The first, second and third electrodes 11A, 11
B and 11C are connected to the U-phase output line 21, the V-phase output line 22, and the W-phase output line 23, respectively.
【００２６】上記駆動回路１４は、公知の４相１励磁用
リングカウンタＩＣ２４、電源手段２５、Ｕ相用リレー
２６Ａ,２６Ｂ,２６Ｃ,２６Ｄ、Ｖ相用リレー２７Ａ,２
７Ｂ,２７Ｃ,２７Ｄ及びＷ相用リレー２８Ａ,２８Ｂ,２
８Ｃ,２８Ｄを備えている。The drive circuit 14 includes a well-known 4-phase 1-excitation ring counter IC 24, power supply means 25, U-phase relays 26A, 26B, 26C, 26D and V-phase relays 27A, 2
7B, 27C, 27D and W-phase relays 28A, 28B, 2
Equipped with 8C and 28D.
【００２７】Ｕ相用リレー２６Ａ〜２６Ｄ、Ｖ相用リレ
ー２７Ａ〜２７Ｄ及びＷ相用リレー２８Ａ〜２８Ｄは、
それぞれ、制御入力３１、電圧入力３２、電圧出力３３
を備えている。これらの各リレーは、制御入力３１にリ
ングカウンタＩＣ２４より、第１から第４制御ライン３
５Ａ〜３５Ｄを介して駆動信号が入力されると励磁さ
れ、電源手段２５と接続した電圧入力３２に対して入力
される電圧を電圧出力３３から出力ライン２１,２２,２
３に出力し、上記第１電極１１Ａ、第２電極１１Ｂ、第
３電極１１Ｃに電圧を印加するようにしている。The U-phase relays 26A to 26D, the V-phase relays 27A to 27D, and the W-phase relays 28A to 28D are
Control input 31, voltage input 32, voltage output 33, respectively
Is equipped with. Each of these relays has a control input 31 connected to the ring counter IC 24 by the first to fourth control lines 3
When a drive signal is input via 5A to 35D, it is excited and the voltage input to the voltage input 32 connected to the power supply means 25 is output from the voltage output 33 to the output lines 21, 22, 2.
3 and the voltage is applied to the first electrode 11A, the second electrode 11B, and the third electrode 11C.
【００２８】リングカウンタＩＣ２４には、駆動周波数
のクロックパルスを入力しており、作動時には、１／４
・Ｔ２の間隔で、第１から第４制御ライン３５Ａ〜３５
Ｄに対して順次駆動信号を出力していく構成としてい
る。The clock pulse of the driving frequency is input to the ring counter IC 24, and when operating, it is 1/4.
-First to fourth control lines 35A to 35 at intervals of T2
The drive signal is sequentially output to D.
【００２９】第１制御ライン３５Ａの他端には、Ｕ相用
リレー２６Ａ、Ｖ相用リレー２７Ａ、Ｗ相用リレー２８
Ａの制御入力３１を接続している。また、第２制御ライ
ン３５Ｂの他端には、Ｕ相用リレー２７Ｂ、Ｖ相用リレ
ー２８Ｂ、Ｖ相用リレー２８Ｂの制御入力３１を接続し
ている。同様に、第３及び第４制御ライン３５Ｃ,３５
Ｄの他端にも、それぞれ図中縦方向に配置したＵ相用リ
レー２６、Ｖ相用リレー２７、Ｗ相用リレー２８の制御
入力３１を接続している。即ち、本実施例では、第１か
ら第４制御ライン３５Ａ〜３５ＤにそれぞれＵ相、Ｖ相
及びＷ相の作動開始から１／４・Ｔ２に等しい時間間隔
に対応するリレーを接続している。At the other end of the first control line 35A, a U-phase relay 26A, a V-phase relay 27A and a W-phase relay 28 are provided.
The control input 31 of A is connected. The control input 31 of the U-phase relay 27B, the V-phase relay 28B, and the V-phase relay 28B is connected to the other end of the second control line 35B. Similarly, the third and fourth control lines 35C, 35
The control inputs 31 of the U-phase relay 26, the V-phase relay 27, and the W-phase relay 28, which are vertically arranged in the figure, are also connected to the other end of D, respectively. That is, in this embodiment, the first to fourth control lines 35A to 35D are connected to relays corresponding to time intervals equal to 1/4 · T2 from the start of operation of the U phase, V phase, and W phase, respectively.
【００３０】そのため、上記Ｕ相用リレー２６Ａ〜２６
Ｄ、Ｖ相用リレー２７Ａ〜２７Ｄ、Ｗ相用リレー２８Ａ
〜２８Ｄは、それぞれ図中左側に配置した順に、リング
カウンタＩＣ２４から入力される各駆動信号により励磁
され、駆動信号が入力されると、縦方向に並んだ３個の
リレーが一度に励磁される。Therefore, the U-phase relays 26A to 26 are used.
D and V phase relays 27A to 27D, W phase relay 28A
28D are excited by respective drive signals input from the ring counter IC 24 in the order arranged on the left side in the drawing, and when the drive signals are input, three relays arranged in the vertical direction are excited at one time. ..
【００３１】例えば、Ｕ相用リレー２６Ａ〜２６Ｄは、
後述するように図中最も左側のＵ相用リレー２６Ａから
順に、１／４・Ｔ２に等しい時間間隔で励磁され、図中
最も右側に位置するＵ相用リレー２６Ｄの励磁が終了す
るとちょうど１回のサイクルが終了する構成としてい
る。For example, the U-phase relays 26A to 26D are
As will be described later, the U-phase relay 26A on the left side of the drawing is sequentially excited at time intervals equal to 1/4 · T2, and once when the excitation of the U-phase relay 26D on the right side of the drawing ends, just once. The cycle is completed.
【００３２】電源手段２５は、正の電圧Ｖを供給する正
電圧部２５ａ、負の電圧−Ｖを供給する負電圧部２５
ｂ、及びグランドＧの３つの部分を備えている。これら
正電圧部２５ａ、負電圧部２５ｂ、グランドＧには、そ
れぞれ正電圧ライン３６、負電圧ライン３７及びグラン
ドライン３８を介して、所定のリレーの電圧入力３２に
接続している。The power supply means 25 includes a positive voltage section 25a for supplying a positive voltage V and a negative voltage section 25 for supplying a negative voltage -V.
It has three parts, b and ground G. The positive voltage section 25a, the negative voltage section 25b, and the ground G are connected to a voltage input 32 of a predetermined relay via a positive voltage line 36, a negative voltage line 37, and a ground line 38, respectively.
【００３３】例えば、Ｕ相用リレー２６Ａ〜２６Ｄで
は、上記したように制御サイクルの最初に励磁される第
１のＵ相用リレー２６Ａと第３及び第４のＵ相用リレー
２６Ｃ,２６Ｄを負電圧部２５ｂに接続すると共に、第
２のＵ相用リレー２６Ｂを正電圧部２５ａに接続してい
る。従って、Ｕ相に対応する第１電極１１Ａでは、制御
開始から１／４サイクル毎に、負の電圧−Ｖ、正の電圧
Ｖ、負の電圧−Ｖ、負の電圧−Ｖの順で印加される電圧
が変化する。For example, in the U-phase relays 26A to 26D, as described above, the first U-phase relay 26A and the third and fourth U-phase relays 26C and 26D that are excited at the beginning of the control cycle are negative. The second U-phase relay 26B is connected to the positive voltage unit 25a while being connected to the voltage unit 25b. Therefore, in the first electrode 11A corresponding to the U-phase, a negative voltage −V, a positive voltage V, a negative voltage −V, and a negative voltage −V are applied in this order every ¼ cycle from the start of control. Voltage changes.
【００３４】同様に、Ｖ相用リレー２７Ａ〜２７Ｄで
は、第１のＶ相用リレー２７ＡをグランドＧに接続し、
第２及び第４のＶ相用リレー２７Ｂ、２７Ｄを負電圧部
２５ｂに接続している。また、第３のＶ相用リレー２７
Ｃを正電圧部２５ｃに接続している。Similarly, in the V-phase relays 27A to 27D, the first V-phase relay 27A is connected to the ground G,
The second and fourth V-phase relays 27B and 27D are connected to the negative voltage unit 25b. In addition, the third V-phase relay 27
C is connected to the positive voltage section 25c.
【００３５】更に、Ｗ相用リレー２８Ａ〜２８Ｄでは、
第１及び第４のＷ相用リレー２８Ａ,２８Ｄを正電圧供
給部２５ａに接続する一方、第２及び第３のＷ相用リレ
ー２８Ｂ,２８Ｃを負電圧供給部２５ｂに接続してい
る。Further, in the W-phase relays 28A to 28D,
The first and fourth W-phase relays 28A and 28D are connected to the positive voltage supply unit 25a, while the second and third W-phase relays 28B and 28C are connected to the negative voltage supply unit 25b.
【００３６】次に、上記実施例の作動について説明す
る。まず、作動開始時（０≦ｔ＜１／４・Ｔ２）には、
リングカウンタＩＣ２４が第１制御ライン３５Ａを介し
て、第１のＵ相用リレー２６Ａ、第１のＶ相用リレー２
７Ａ、第１のＷ相用リレー２８Ａに駆動信号を出力し、
これらを励磁する。これにより、Ｕ相出力ライン２１、
Ｖ相出力ライン２２、Ｗ相出力ライン２３がそれぞれ電
源手段２５の負電圧部２５ｂ、グランドＧ、正電圧部２
５ａと接続される。そのため、図３に示すように、第１
電極１１Ａが負の電荷を帯電し、第２電極１１Ｂがグラ
ンドの状態となり、第３電極１１ｃが正の電荷を帯電す
る。Next, the operation of the above embodiment will be described. First, at the start of operation (0 ≦ t <1/4 · T2),
The ring counter IC 24 transmits the first U-phase relay 26A and the first V-phase relay 2 via the first control line 35A.
7A, output a drive signal to the first W-phase relay 28A,
Energize these. As a result, the U-phase output line 21,
The V-phase output line 22 and the W-phase output line 23 are respectively the negative voltage section 25b, the ground G, and the positive voltage section 2 of the power supply means 25.
5a is connected. Therefore, as shown in FIG.
The electrode 11A is charged with a negative charge, the second electrode 11B is grounded, and the third electrode 11c is charged with a positive charge.
【００３７】この時、移動子１３の抵抗部１６には、対
向する電極１１の電荷と異符号の電荷が蓄積される。即
ち、第１電極部１１Ａと対向する抵抗部１６ａには電荷
が充電される一方、第３電極部１１Ｃと対向する抵抗部
１６ｃには負の電荷が充電される。また、第２電極１１
Ｂはこの場合グランドに接続しているため、この部分と
対向する抵抗部１６ｂは充電されない。At this time, a charge having a sign different from that of the opposite electrode 11 is accumulated in the resistance portion 16 of the mover 13. That is, the resistance portion 16a facing the first electrode portion 11A is charged with electric charges, while the resistance portion 16c facing the third electrode portion 11C is charged with negative electric charges. In addition, the second electrode 11
Since B is connected to the ground in this case, the resistance portion 16b facing this portion is not charged.
【００３８】次に、ｔ＝１／４・Ｔ２において、リング
カウンタＩＣ２４は、駆動信号の出力を第１制御ライン
３５Ａから第２制御ライン３５Ｂに瞬間的に切り換え
る。これにより、第２のＵ相用リレー２６Ｂ、第２のＵ
相用リレー２７Ｂ、第２のＷ相用出力２８Ｂが励磁さ
れ、第１電極１１Ａが正の電荷を帯び、第２電極１１Ｂ
が負の電荷を帯び、更に、第３の電極１１Ｃが負の電荷
を帯びる。Next, at t = 1/4 · T2, the ring counter IC 24 momentarily switches the output of the drive signal from the first control line 35A to the second control line 35B. As a result, the second U-phase relay 26B and the second U-phase relay 26B
The phase relay 27B and the second W-phase output 28B are excited, the first electrode 11A is positively charged, and the second electrode 11B
Is negatively charged, and further, the third electrode 11C is negatively charged.
【００３９】ここで上記したように、第１電極１１Ａと
対向する移動子１３の抵抗部１６ａには正の電荷が充電
され、第３電極１１ｃと対向する移動子１３の抵抗部１
６ｃに負の電荷が充電されている。そのため、図４に示
すように、第１電極１１Ａとそれに対向する抵抗部１６
ａとは互いに正の電圧を帯びる状態であるため、この部
分で移動子１３に対して浮上力Ｆｆが作用する。また、
第３電極１１Ｃとそれに対向する抵抗部１６ｃとは互い
に負の電荷を帯びるため、この部分でも浮力Ｆｆが得ら
れる。As described above, the resistance portion 16a of the moving element 13 facing the first electrode 11A is charged with positive charge, and the resistance portion 1 of the moving element 13 facing the third electrode 11c is charged.
Negative charge is charged in 6c. Therefore, as shown in FIG. 4, the first electrode 11A and the resistor portion 16 facing it are provided.
Since “a” is a state in which a positive voltage is applied to each other, the levitation force Ff acts on the mover 13 in this portion. Also,
Since the third electrode 11C and the resistance portion 16c facing it are negatively charged with each other, the buoyancy Ff can be obtained also in this portion.
【００４０】また、第２電極１１Ｂが負の電荷を帯びる
ため、この第２電極１１Ｂの部分が第１電極１１Ａと対
向する抵抗部１６ａに対して移動子１３の進行方向に引
力Ｆａを作用する。また、第２電極１１Ｂは、第３電極
１１Ｃと対向する抵抗部１６ｂに対して移動子１３の進
行方向に引力Ｆｒが作用する。そのため、図５で示すよ
うに、移動子１３は電極１１の１個分だけ図中右方に移
動する。Since the second electrode 11B is negatively charged, the portion of the second electrode 11B exerts an attractive force Fa on the resistance portion 16a facing the first electrode 11A in the traveling direction of the mover 13. .. Further, the second electrode 11B exerts an attractive force Fr in the traveling direction of the mover 13 on the resistance portion 16b facing the third electrode 11C. Therefore, as shown in FIG. 5, the mover 13 moves to the right in the figure by one electrode 11.
【００４１】本実施例では、上記のようにＵ相、Ｖ相、
Ｗ相の３相のうち、２相が移動子１３に対して浮上力Ｆ
ｆを作用させるため、作動時に移動子１３の絶縁部１５
と固定子１２の間に生じる摩擦力を低減することができ
る。In the present embodiment, as described above, the U phase, V phase,
Of the three W phases, two phases have a levitation force F with respect to the mover 13.
In order to make f act, the insulating portion 15 of the mover 13 is activated during operation.
The frictional force generated between the stator 12 and the stator 12 can be reduced.
【００４２】次に、ｔ＝２／４・Ｔ２において、リング
カウンタＩＣ２４が切り換わり、第３制御ライン３５Ｃ
に駆動信号が供給される。そのため、図６に示すよう
に、上記ｔ＝１／４Ｔの場合と同様に、第２電極１１Ｂ
とそれに対向する移動子１３の抵抗部１６ａが正の電荷
を帯びて、移動子１３に浮力Ｆｆが作用すると共に、第
１電極１１Ａとそれに対向する移動子１３の抵抗部１６
ｃが負の電荷を帯びて、浮力Ｆｆが作用する。また、第
２電極１１Ｂと対向する抵抗部１６ａと第３電極１１Ｃ
との間には引力Ｆａが作用し、第３電極１１Ｃと対向す
る抵抗部１６ｃと第３電極１１Ｃとの間には斥力Ｆｒが
作用する。そのため、図７に示すように、移動子１３は
電極１１の１個分だけ図中右側に移動する。（２／４・
Ｔ２＜ｔ＜３／４・Ｔ２）Next, at t = 2/4 · T2, the ring counter IC 24 switches and the third control line 35C
Is supplied with a drive signal. Therefore, as shown in FIG. 6, as in the case of t = 1 / 4T, the second electrode 11B
And the resistance portion 16a of the moving element 13 facing it is positively charged, the buoyancy Ff acts on the moving element 13, and the resistance portion 16 of the moving element 13 facing the first electrode 11A.
C has a negative charge, and buoyancy Ff acts. Further, the resistor portion 16a facing the second electrode 11B and the third electrode 11C
An attractive force Fa acts between the third electrode 11C and the resistance portion 16c facing the third electrode 11C, and a repulsive force Fr acts between the third electrode 11C and. Therefore, as shown in FIG. 7, the mover 13 moves one electrode 11 to the right in the figure. (2/4 ・
T2 <t <3/4/4 T2)
【００４３】次に、ｔ＝３／４・Ｔ２において、上記ｔ
＝１／４・Ｔ２、２／４・Ｔ２の場合と同様に、リング
カウンタＩＣ２４が切り換わり、駆動信号が第３制御ラ
イン３５Ｃに供給され、図８に示すように、第１及び第
３電極１１Ａ、１１Ｃが負の電荷を帯び、第２電極１１
Ｂが正の電荷を帯びる。そのため、浮力Ｆｆ、引力Ｆ
ａ、引力Ｆｒを発生し、図９に示すように、電極１１の
１個分図中右側に移動する。（３／４・Ｔ２＜ｔ＜４／
４・Ｔ２）。Next, at t = 3/4 · T2, the above t
= 1/4 · T2, 2/4 · T2, the ring counter IC 24 is switched, the drive signal is supplied to the third control line 35C, and the first and third electrodes are supplied as shown in FIG. 11A and 11C are negatively charged, and the second electrode 11
B has a positive charge. Therefore, buoyancy Ff, attractive force F
a, an attractive force Fr is generated, and one electrode 11 is moved to the right side in the figure as shown in FIG. (3/4 ・ T2 <t <4 /
4.T2).
【００４４】次に、ｔ＝４／４・Ｔ２において、リング
カウンタＩＣが切り換わり、駆動信号は、第４制御ライ
ン３５Ｄに供給される。そのため、図１０に示すよう
に、第１電極１１Ａが負の電荷を帯び、第２電極１１Ｂ
がグランドに接続され、第３電極１１Ｃが正の電荷を帯
びる。このｔ＝４／４Ｔでは、同様にリングカウンタＩ
Ｃが切り換わった瞬間、即ち、ｔ＝１／４・Ｔ２、２／
４・Ｔ２、３／４・Ｔ２の場合と異なり、負の電荷を帯
びた第１電極１１Ａと対向する抵抗部１６ａは正の電荷
を帯び、正の電荷を帯びた第３電極１１Ｃの対向する抵
抗部１６ｃは負の電荷を帯びている。また、グランドと
接続する第２電極１１Ｂと対向する抵抗部１６ｂは、電
気を帯びない状態である。Next, at t = 4/4 · T2, the ring counter IC is switched and the drive signal is supplied to the fourth control line 35D. Therefore, as shown in FIG. 10, the first electrode 11A has a negative charge, and the second electrode 11B has a negative charge.
Is connected to the ground, and the third electrode 11C is positively charged. At this t = 4 / 4T, similarly, the ring counter I
The moment when C is switched, that is, t = 1/4 · T2, 2 /
Unlike the case of 4 · T2 and 3/4 · T2, the resistance portion 16a facing the first electrode 11A having a negative charge is positively charged, and the resistance portion 16a facing the third electrode 11C having a positive charge is opposite. The resistance portion 16c is negatively charged. Further, the resistance portion 16b facing the second electrode 11B connected to the ground is in a state of not being electrically charged.
【００４５】従って、このｔ＝４／４・Ｔ２から始まる
２回目のサイクルの最初の１／４・Ｔ２の間は、上記１
回目のサイクルの０＜ｔ≦１／４・Ｔ２の間と同様に移
動子１３に対して充電が行われる。即ち、第１実施例で
は、各サイクルの最初の１／４の期間は移動子１３に対
する充電が行われる。そのため、本実施例によれば、作
動時間の継続に対する移動子１３の電荷が低減すること
ができ、充電のために作動を停止する必要がない。ま
た、上記のように１サイクル毎に初期状態と同じパター
ンで充電するため、長時間作動させた場合でも移動子１
３に充電した電荷が移動することがない。Therefore, during the first 1 / 4.T2 of the second cycle starting from t = 4 / 4.T2, the above 1
The moving element 13 is charged in the same manner as during 0 <t ≦ 1/4 · T2 in the second cycle. That is, in the first embodiment, the mover 13 is charged during the first quarter of each cycle. Therefore, according to the present embodiment, the electric charge of the moving element 13 can be reduced with respect to the continuation of the operation time, and it is not necessary to stop the operation for charging. In addition, as described above, since charging is performed in each cycle in the same pattern as in the initial state, even if the mobile unit 1 is operated for a long time,
The charge charged in 3 does not move.
【００４６】[0046]
【発明の効果】上記のように、本発明では、それぞれ３
相の電極のうち２相の電極が移動子に対して浮上力を作
用させるため、移動子と固定子の間の摩擦力を低減し、
効率を向上を図ることができる。As described above, according to the present invention, each 3
Since the two-phase electrodes of the two-phase electrodes exert a levitating force on the mover, the frictional force between the mover and the stator is reduced,
It is possible to improve efficiency.
【００４７】また、本発明に係る静電式モータでは、作
動開始の初期状態のみでなく、少なくとも１サイクルに
１回移動子に対して、初期状態と同じ状態で電荷を充電
する構成としているため、移動子に充電した電荷が作動
中に減少してしまうことがない。Further, in the electrostatic motor according to the present invention, the electric charge is charged not only in the initial state of the operation start but also in the same state as the initial state of the moving element at least once in one cycle. , The charge charged in the mover does not decrease during operation.
【００４８】更に、本発明では、１サイクル毎に１回初
期状態と同じ状態で充電するため、移動子に充電した電
荷の位置が移動することもなく、高精度の位置決を行う
ことができる等の種々の利点を有するものである。Further, according to the present invention, since the charging is performed once in each cycle in the same state as the initial state, the position of the charges charged in the moving element does not move, and highly accurate positioning can be performed. It has various advantages such as.
【図１】 本発明に係る静電式モータの実施例を示す概
略図である。FIG. 1 is a schematic view showing an embodiment of an electrostatic motor according to the present invention.
【図２】 図１の実施例における駆動回路が電極に印加
する電圧のパターンを示す線図である。FIG. 2 is a diagram showing a pattern of a voltage applied to electrodes by a drive circuit in the embodiment of FIG.
【図３】 図２の０≦ｔ＜１／４・Ｔ２における固定子
と移動子を示す概略図である。FIG. 3 is a schematic diagram showing a stator and a mover in 0 ≦ t <1/4 · T2 of FIG.
【図４】 図２のｔ＝１／４・Ｔ２における固定子と移
動子を示す概略図である。FIG. 4 is a schematic diagram showing a stator and a mover at t = 1/4 · T2 in FIG.
【図５】 図２の１／４・Ｔ２＜ｔ＜２／４・Ｔ２にお
ける固定子と移動子を示す概略図である。5 is a schematic view showing a stator and a mover at 1/4 · T2 <t <2/4 · T2 in FIG.
【図６】 図２のｔ＝２／４・Ｔ２における固定子と移
動子を示す概略図である。FIG. 6 is a schematic view showing a stator and a mover at t = 2/4 · T2 in FIG.
【図７】 図２の２／４・Ｔ２＜ｔ＜３／４・Ｔ２にお
ける固定子と移動子を示す概略図である。FIG. 7 is a schematic diagram showing a stator and a mover at 2/4 · T2 <t <3/4 · T2 in FIG.
【図８】 図２のｔ＝３／４・Ｔ２における固定子と移
動子を示す概略図である。FIG. 8 is a schematic diagram showing a stator and a mover at t = 3/4 · T2 in FIG.
【図９】 図２の３／４・Ｔ２＜ｔ＜４／４・Ｔ２にお
ける固定子と移動子を示す概略図である。FIG. 9 is a schematic diagram showing a stator and a mover in 3/4 · T2 <t <4/4 · T2 of FIG.
【図１０】 図２の４／４・Ｔ２≦ｔ＜５／４・Ｔ２に
おける固定子と移動子を示す概略図である。FIG. 10 is a schematic diagram showing a stator and a mover in 4/4 · T2 ≦ t <5/4 · T2 in FIG. 2.
【図１１】 従来の静電モータにおける固定子と移動子
を示す概略図である。FIG. 11 is a schematic view showing a stator and a mover in a conventional electrostatic motor.
【図１２】 同上FIG. 12 Same as above
【図１３】 同上FIG. 13 Same as above
【図１４】 同上FIG. 14 Same as above
【図１５】 同上FIG. 15 Same as above
【図１６】 同上FIG. 16 Same as above
【図１７】 従来の静電モータにおける駆動回路が電極
に印加する電圧のパターンを示す線図である。FIG. 17 is a diagram showing a pattern of voltage applied to electrodes by a drive circuit in a conventional electrostatic motor.
１１ 電極 １２ 固定子 １３ 移動子 １５ 絶縁部 １６ 抵抗部 ２４ リングカウンタＩＣ ２５ 電源手段 ２６ リレー 11 Electrode 12 Stator 13 Moving Element 15 Insulating Section 16 Resistive Section 24 Ring Counter IC 25 Power Supply Means 26 Relay
Claims (4)
子を備え、上記固定子には、３相１組の電極を移動子の
移動方向に多数並設し、これら３相の電極に電源手段か
ら正負の駆動電圧を順次切り換えて印加することにより
移動子を移動させる静電式モータであって、 上記駆動電圧の切り換えは複数回の切り換えを１サイク
ルとし、該切り換えの内所定回数連続して、３相の電極
に印加する駆動電圧のうち２相の電極の電圧を移動子に
浮上力を発生させるように、対向する移動子に充電され
た電荷と同符号とすると共に、残り１相の電極に印加す
る電圧を移動子に充電された電荷との間に移動子の移動
方向の引力及び斥力を発生させる符号としていることを
特徴とする静電式モータ。1. A stator and a mover that moves on an upper surface of the stator, wherein a plurality of electrodes of one set of three phases are arranged side by side in the moving direction of the mover on the stator. An electrostatic motor for moving a moving element by sequentially applying positive and negative drive voltages from a power source means to the moving element, wherein the drive voltage is switched a plurality of times as one cycle, and a predetermined number of times of the switching is performed. Of the driving voltage applied to the electrodes of the three phases in succession, the voltage of the electrodes of the two phases has the same sign as the electric charges charged in the facing mover so as to generate the levitation force on the mover, and the remaining An electrostatic motor characterized in that a voltage applied to a one-phase electrode is used as a code for generating an attractive force and a repulsive force in a moving direction of a moving element with an electric charge charged in the moving element.
子を備え、上記固定子には、３相１組の電極を移動子の
移動方向に多数並設し、これら３相の電極に電源手段か
ら正負の駆動電圧を順次切り換えて印加することにより
移動子を移動させる静電式モータであって、 上記駆動電圧の切り換えは複数回の切り換えを１サイク
ルとし、該１サイクルの内に少なくとも１回の切り換え
において、移動子に対して充電を行うように上記電極に
対して電圧を印加するように設定することを特徴とする
静電式モータ。2. A stator and a mover that moves on the upper surface of the stator, wherein a plurality of electrodes of one set of three phases are arranged side by side in the moving direction of the mover on the stator. An electrostatic motor for moving a moving element by sequentially applying positive and negative drive voltages from a power supply means to the moving element, wherein the drive voltage is switched a plurality of times as one cycle, and within the one cycle. An electrostatic motor, characterized in that a voltage is applied to the electrodes so as to charge a moving element at least once.
子を備え、上記固定子には、３相１組の電極を移動子の
移動方向に多数並設し、これら３相の電極に電源手段か
ら正負の駆動電圧を順次切り換えて印加することにより
移動子を移動させる静電式モータであって、 上記駆動電圧の切り換えは複数回の切り換えを１サイク
ルとし、該切り換えの内所定回数連続して、３相の電極
に印加する駆動電圧のうち２相の電極の電圧を移動子に
浮上力を発生させるように、対向する移動子に充電され
た電荷と同符号とすると共に、残り１相の電極に印加す
る電圧を移動子に充電された電荷との間に移動子の移動
方向の引力及び斥力を発生させる符号とし、かつ、少な
くとも１回の切り換えにおいて、移動子に対して充電を
行うように上記電極に対して電圧を印加するように設定
することを特徴とする静電式モータ。3. A stator and a mover that moves on the upper surface of the stator, wherein a large number of three-phase one set of electrodes are arranged in parallel in the moving direction of the mover, and these three-phase electrodes are provided. An electrostatic motor for moving a moving element by sequentially applying positive and negative drive voltages from a power source means to the moving element, wherein the drive voltage is switched a plurality of times as one cycle, and a predetermined number of times of the switching is performed. Of the driving voltage applied to the electrodes of the three phases in succession, the voltage of the electrodes of the two phases has the same sign as the electric charges charged in the facing mover so as to generate the levitation force on the mover, and the remaining The voltage applied to the one-phase electrode is used as a code for generating an attractive force and a repulsive force in the moving direction of the mover between the charge charged in the mover, and the mover is charged at least once. To the electrode to do Electrostatic motor and setting to apply the pressure.
極にそれぞれ４相のリレーを接続し、各４相のリレーを
４相１励磁用リングカウンタＩＣに接続して、上記１サ
イクル中に上記４相のリレーに順次パルス信号を出力
し、各リレーに電源手段より供給されている電圧を上記
固定子の電極に出力する構成としていることを特徴とす
る請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の静電式
モータ。4. The drive circuit is configured such that a 4-phase relay is connected to each of the 3-phase electrodes of the stator, and each 4-phase relay is connected to a 4-phase 1-excitation ring counter IC to perform the 1-cycle. 4. A structure in which pulse signals are sequentially output to the four-phase relays, and the voltage supplied from the power supply means to each relay is output to the electrodes of the stator. The electrostatic motor according to any one of 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP221592A JPH05191982A (en) | 1992-01-09 | 1992-01-09 | Electrostatic motor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP221592A JPH05191982A (en) | 1992-01-09 | 1992-01-09 | Electrostatic motor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05191982A true JPH05191982A (en) | 1993-07-30 |
Family
ID=11523135
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP221592A Withdrawn JPH05191982A (en) | 1992-01-09 | 1992-01-09 | Electrostatic motor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05191982A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5905589A (en) * | 1994-12-29 | 1999-05-18 | Asmo Co., Ltd. | Light transmittance adjusting apparatus |
| US6621191B1 (en) | 1999-05-13 | 2003-09-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Inc. | Structure containing organic molecular layer and use thereof |
-
1992
- 1992-01-09 JP JP221592A patent/JPH05191982A/en not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5905589A (en) * | 1994-12-29 | 1999-05-18 | Asmo Co., Ltd. | Light transmittance adjusting apparatus |
| US6621191B1 (en) | 1999-05-13 | 2003-09-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Inc. | Structure containing organic molecular layer and use thereof |
| US6891309B2 (en) | 1999-05-13 | 2005-05-10 | Matsushita Electrical Industrial Co. | Actuator having organic molecular layers |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0744821B1 (en) | Electrostatic actuator with different electrode spacing | |
| EP1139553A3 (en) | Electrostatic actuator and method of driving the same | |
| US5214727A (en) | Electrostatic microactuator | |
| US7940020B2 (en) | Brushless DC motor with reduced current ripple | |
| CN103039003A (en) | Method for implementing bootstrap-supply charging in a motor controller at energized motor and motor controller using such a method | |
| CN1298569A (en) | Device for driving a multi-phase D.C. motor | |
| JPH05191982A (en) | Electrostatic motor | |
| US6906481B1 (en) | Power sharing high frequency motor drive modular system | |
| EP0822650B1 (en) | Control apparatus for a brushless motor | |
| US20020055695A1 (en) | Motor-driven beauty device | |
| CN108966684B (en) | System and method for controlling a linear motor having multiple sections with a variable frequency drive | |
| JP3452714B2 (en) | Electrostatic actuator | |
| JPH0370484A (en) | Regenerative braking device | |
| KR101945232B1 (en) | Linear motor propulsion system | |
| WO2007049723A1 (en) | Electrostatic actuator and its drive method | |
| JP4335660B2 (en) | Electrostatic actuator | |
| JP4904762B2 (en) | Driving method of electrostatic actuator | |
| JP3436814B2 (en) | Electrostatic actuator | |
| JPH0947042A (en) | Electrostatic actuator | |
| JP3217222B2 (en) | Control method of electrostatic actuator | |
| JPH0951685A (en) | Electrostatic actuator | |
| JPS60194797A (en) | Holding circuit of pulse motor | |
| JPH0928088A (en) | Electrostatic actuator | |
| KR102509787B1 (en) | Methods and devices for operating electric motors | |
| JPH08140365A (en) | Method for controlling electrostatic actuator |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990408 |