JPH08128916A - Oil leak detection device - Google Patents

Oil leak detection device

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Publication number
JPH08128916A
JPH08128916A JP26700594A JP26700594A JPH08128916A JP H08128916 A JPH08128916 A JP H08128916A JP 26700594 A JP26700594 A JP 26700594A JP 26700594 A JP26700594 A JP 26700594A JP H08128916 A JPH08128916 A JP H08128916A
Authority
JP
Japan
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image
light
image data
wavelength
data
Prior art date
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Pending
Application number
JP26700594A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toshiro Nakajima
利郎 中島
Satoru Inoue
井上　　悟
Sadahiro Tsuya
定廣 津谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP26700594A priority Critical patent/JPH08128916A/en
Publication of JPH08128916A publication Critical patent/JPH08128916A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE: To determine the kinds of oil and the quantity of leak by irradiating ultraviolet light and visible light alternately, providing a wavelength selection means in an image pickup means, and comparing images respectively when the ultraviolet light and the visible light are irradiated. CONSTITUTION: The regions of the ultraviolet light and the visible light light are selected form the light of the light source 1 by a wavelength filter 2, and a sample face 4 is alternately irradiated thereby using a switching mechanism 3. The certain wavelength reflected light is selected by a filter 5 so as to pickup an image via a lens 6 using an ITV camera 7. The output is switched by a change-over switch 8 synchronizing with the mechanism 3 so as to divide into video memories 9 and 10. When the ultraviolet light is selected, the oil adhesion portion of the sample face 4 generates fluorescence so as to increase brightness, and in the other portion, brightness distribution is decided based on reflectance at a certain wavelength. When the visible light is selected, the oil adhesion portion 4 absorbs the light, and in the other portion, the brightness distribution is decided based on reflectance at a certain wavelength. A finite difference treatment is conducted on both image data by a computing device 11, the brightness signal level of the oil adhesion portion is emphasized. The brightness change of the other portion is offset so that the automatic detection of oil leak can be performed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は各種プラント内に設置さ
れている機器や配管等からの油の漏れを検出する油漏れ
検出装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an oil leak detecting device for detecting oil leak from equipments and pipes installed in various plants.

【０００２】[0002]

【従来の技術】この種の技術として、特開平３−１９９
９３８号公報に記載の液漏れ検査方法がある。図３８は
上記液漏れ検査方法の構成図を示している。図において
２０１は被検査体、２０２は暗室、２０３は光源、２０
４は撮像装置、２０５はモニター、２０６は検出結果と
して得られたモニター上に発生した輝点を示す。2. Description of the Related Art As a technique of this kind, Japanese Patent Laid-Open No. 3-199
There is a liquid leakage inspection method described in Japanese Patent No. 938. FIG. 38 shows a configuration diagram of the liquid leakage inspection method. In the figure, 201 is an object to be inspected, 202 is a dark room, 203 is a light source, 20
Reference numeral 4 denotes an image pickup device, 205 denotes a monitor, and 206 denotes a bright spot generated on the monitor obtained as a detection result.

【０００３】次に動作について説明する。被検査体２０
１を暗室２０２内に設置し、被検査体２０１に循環して
いる油に蛍光体を混入させる。検出にあたっては被検査
体２０１に光源から紫外光を照射し、撮像装置２０４に
よって被検査体２０１を観測する。被検査体２０１表面
に油の漏れが発生すると、油に混入した蛍光体が発光
し、撮像装置２０４によってモニター２０５画面上に輝
点２０６として観測される。このようにしてモニター画
面上に発生する輝点の検知により、油漏れを検出する。Next, the operation will be described. 20 to be inspected
1 is installed in the dark room 202, and the phosphor is mixed with the oil circulating in the inspection object 201. Upon detection, the inspection object 201 is irradiated with ultraviolet light from the light source, and the inspection object 201 is observed by the imaging device 204. When oil leaks on the surface of the object 201 to be inspected, the phosphor mixed in the oil emits light and is observed by the imaging device 204 as a bright spot 206 on the screen of the monitor 205. In this way, the oil leak is detected by detecting the bright spots generated on the monitor screen.

【０００４】[0004]

【発明が解決しようとする課題】従来の油漏れ検出装置
は、以上のように構成されているので、油漏れの検出に
あたっては、被検査体を暗室内に設置する必要がある
等、測定するにあたっての種々の制約条件があるととも
に、油漏れ量の定量化、油の種類の判別が不可能などの
問題があった。Since the conventional oil leak detection device is constructed as described above, when detecting the oil leak, it is necessary to measure the object to be inspected, for example, by installing it in a dark room. In addition to various constraint conditions for this, there were problems such as quantification of the amount of oil leakage and inability to determine the type of oil.

【０００５】本発明は、上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、室内の通常照明下において油漏
れが検出可能で、油の種類の判定及び漏れ量の定量化も
可能な測定方式を得ることを目的としている。The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and oil leaks can be detected under normal lighting in a room, and it is possible to determine the type of oil and quantify the leak amount. The purpose is to obtain a measurement method.

【０００６】[0006]

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明にお
いては、紫外光と可視光を交互に照射する照明手段、所
定の波長の光を選択する波長選択手段を備えた撮像手
段、紫外光照射時と可視光照射時に得られる蛍光画像と
吸光画像のデータを蓄積する画像データ蓄積手段、両画
像のデータを比較するデータ演算手段を備えたものであ
る。According to a first aspect of the present invention, there is provided illumination means for alternately irradiating ultraviolet light and visible light, image pickup means provided with wavelength selection means for selecting light of a predetermined wavelength, and ultraviolet light. The image data storage means for storing the data of the fluorescence image and the light absorption image obtained at the time of irradiation and the irradiation of visible light, and the data operation means for comparing the data of both images are provided.

【０００７】請求項２記載の発明においては、紫外光と
可視光を交互に照射する照明手段、所定の波長の光を選
択する波長選択手段を備えた撮像手段、紫外光照射時と
可視光照射時に得られる蛍光画像と吸光画像のデータを
蓄積する画像データ蓄積手段、両画像の平均輝度レベル
を算出するレベル算出手段、両画像の輝度レベルを比較
し演算係数を算出する係数算出手段、得られた係数値に
よって画像データの輝度レベルの補正を行う輝度補正手
段、両画像を比較するデータ演算手段を備えたものであ
る。According to the second aspect of the present invention, illumination means for alternately irradiating ultraviolet light and visible light, image pickup means provided with a wavelength selecting means for selecting light of a predetermined wavelength, ultraviolet light irradiation and visible light irradiation. Image data storage means for storing the fluorescence image and light absorption image data obtained at some time, a level calculation means for calculating the average luminance level of both images, a coefficient calculation means for comparing the luminance levels of both images and calculating a calculation coefficient, The brightness correction means for correcting the brightness level of the image data by the coefficient value and the data calculation means for comparing the two images are provided.

【０００８】請求項３記載の発明においては、紫外光と
可視光を交互に照射する照明手段、所定の波長の光を選
択する波長選択手段を備えた撮像手段、紫外光照射時と
可視光照射時に得られる蛍光画像と吸光画像のデータを
蓄積する画像データ蓄積手段、両画像の平均輝度レベル
を算出するレベル算出手段、両画像の輝度レベルを比較
し演算係数を算出する係数算出手段、得られた係数値に
よって撮像用レンズの絞り値を変化させる絞り可変手
段、両画像のデータを比較する演算手段を備えたもので
ある。According to the third aspect of the invention, illumination means for alternately irradiating ultraviolet light and visible light, image pickup means provided with a wavelength selecting means for selecting light of a predetermined wavelength, ultraviolet light irradiation and visible light irradiation. Image data storage means for storing the fluorescence image and light absorption image data obtained at some time, a level calculation means for calculating the average luminance level of both images, a coefficient calculation means for comparing the luminance levels of both images and calculating a calculation coefficient, The aperture variable means for changing the aperture value of the image pickup lens according to the coefficient value and the arithmetic means for comparing the data of both images are provided.

【０００９】請求項４記載の発明においては、紫外光と
可視光を交互に照射する照明手段、所定の波長の光を選
択する波長選択手段を備えた撮像手段、紫外光照射時と
可視光照射時に得られる蛍光画像と吸光画像のデータを
蓄積する画像データ蓄積手段、両画像のデータを比較
し、演算する比較演算手段、正常時の比較演算画像デー
タを蓄積する正常画像データ蓄積手段、測定によって得
られた比較演算画像データと正常時の比較演算画像デー
タとを比較するデータ判定回路を備えたものである。According to another aspect of the invention, illumination means for alternately irradiating ultraviolet light and visible light, image pickup means provided with a wavelength selection means for selecting light of a predetermined wavelength, ultraviolet light irradiation and visible light irradiation. Image data storage means for storing fluorescence image data and absorption image data obtained at times, comparison calculation means for comparing and calculating data of both images, normal image data storage means for storing comparison calculation image data under normal conditions, by measurement A data determination circuit for comparing the obtained comparative calculation image data and the normal comparison comparison image data is provided.

【００１０】請求項５記載の発明においては、紫外光と
可視光を交互に照射する照明手段、所定の波長の光を選
択する波長選択手段を備えた撮像手段、紫外光照射時と
可視光照射時に得られる蛍光画像と吸光画像のデータを
蓄積する画像データ蓄積手段、両画像のデータを比較演
算する比較演算手段、比較演算された画像データをある
時間間隔毎に抽出し、データを更新する参照画像データ
蓄積手段、測定によって得られた比較演算画像データと
正常時の比較演算画像データとを比較するデータ判定回
路とを備えたものである。According to the invention of claim 5, illumination means for alternately irradiating ultraviolet light and visible light, image pickup means provided with a wavelength selecting means for selecting light of a predetermined wavelength, ultraviolet light irradiation and visible light irradiation. Image data storage means for storing the fluorescence image data and the absorption image data obtained at some time, a comparison operation means for performing a comparison operation on the data of both images, and extracting the comparison operation image data at a certain time interval and updating the data. The image data storage means and the data determination circuit for comparing the comparison calculation image data obtained by the measurement with the comparison calculation image data in the normal state are provided.

【００１１】請求項６記載の発明においては、紫外光と
可視光を交互に照射する照明手段、所定の波長の光を選
択する波長選択手段を備えた撮像手段、紫外光照射時と
可視光照射時に得られる蛍光画像と吸光画像のデータを
蓄積する画像データ蓄積手段、両画像のデータを比較演
算する比較演算手段、比較演算画像から油漏れ部分を検
出する漏れ部分検出手段、漏れ部分の吸光画像データを
抽出する画像データ抽出手段、抽出した吸光画像データ
から漏れ量を算出する漏れ量演算手段を備えたものであ
る。According to the sixth aspect of the present invention, illumination means for alternately irradiating ultraviolet light and visible light, image pickup means provided with a wavelength selecting means for selecting light of a predetermined wavelength, ultraviolet light irradiation and visible light irradiation. Image data storage means for accumulating the data of the fluorescence image and the light absorption image obtained at some time, a comparison calculation means for comparing and calculating the data of both images, a leak portion detection means for detecting an oil leak portion from the comparison calculation image, a light absorption image of the leak portion The image data extracting means for extracting data and the leak amount calculating means for calculating the leak amount from the extracted light absorption image data are provided.

【００１２】請求項７記載の発明においては、紫外光と
可視光を交互に照射する照明手段、所定の波長の光を選
択する波長選択手段を備えた撮像手段、紫外光照射時と
可視光照射時に得られる蛍光画像と吸光画像のデータを
蓄積する画像データ蓄積手段、両画像のデータを比較す
る比較演算処理手段、比較演算画像から油漏れ部分を検
出する漏れ部分検出手段、漏れ部分の蛍光画像，吸光画
像のデータを抽出する画像データ抽出手段、抽出した蛍
光画像と吸光画像のデータの比を演算する演算手段、得
られた演算結果と予め蓄えておいたデータと比較し、油
の特定を行う判定手段を備えたものである。According to a seventh aspect of the invention, an illumination means for alternately irradiating ultraviolet light and visible light, an image pickup means provided with a wavelength selection means for selecting light of a predetermined wavelength, an ultraviolet light irradiation time and a visible light irradiation time. Image data accumulation means for accumulating the data of the fluorescence image and the absorption image obtained at some time, a comparison operation processing means for comparing the data of both images, a leak portion detection means for detecting an oil leak portion from the comparison operation image, a fluorescence image of the leak portion , Image data extraction means for extracting the data of the absorption image, calculation means for calculating the ratio of the extracted fluorescence image and the data of the absorption image, and comparing the obtained calculation result with the data stored in advance to identify the oil. It is provided with a determination means for performing.

【００１３】請求項８記載の発明においては、直線偏光
特性を有する紫外光を照射する照明手段、相直交する偏
光方向を有する２枚の検光子を交互に切り替える機能を
有する撮像手段、偏光方向の直交する２つの画像データ
を蓄積する画像データ蓄積手段、両画像のデータを比較
演算する比較演算処理手段を備えたものである。According to an eighth aspect of the present invention, an illumination means for irradiating ultraviolet light having a linear polarization characteristic, an image pickup means having a function of alternately switching two analyzers having polarization directions orthogonal to each other, and a polarization direction An image data storage means for storing two orthogonal image data and a comparison operation processing means for performing a comparison operation on the data of both images are provided.

【００１４】請求項９記載の発明においては、直線偏光
特性を有する紫外光を照射する照明手段、同一シーンを
２つの窓を介して独立に撮像素子面上に結像させるとと
もに各窓に相直交する偏光方向の検光子を取り付けたス
テレオ光学系を設置した撮像手段、偏光方向の直交する
２つの画像データを蓄積する画像データ蓄積手段、両画
像のデータを比較演算する比較演算処理処理手段を備え
たものである。According to a ninth aspect of the present invention, illumination means for irradiating ultraviolet light having a linear polarization characteristic, the same scene is independently imaged on the image pickup element surface through two windows, and the windows are orthogonal to each other. And an image pickup means having a stereo optical system having an analyzer for the polarization direction, an image data storage means for storing two image data of orthogonal polarization directions, and a comparison calculation processing means for comparing and calculating the data of both images. It is a thing.

【００１５】請求項１０記載の発明においては、直線偏
光特性を有する紫外光を照射する照明手段、光路を２つ
に分岐し、分岐した光路上に相直交する偏光方向をもつ
検光子をそれぞれ取り付けそれぞれ別個の撮像素子面上
に結像させる撮像手段、偏光方向の直交する２つの画像
データを蓄積する画像データ蓄積手段、両画像のデータ
を比較演算する比較演算処理手段を備えたものである。According to a tenth aspect of the present invention, an illumination means for irradiating ultraviolet light having a linear polarization characteristic, an optical path which is branched into two, and an analyzer having polarization directions orthogonal to each other are attached on the branched optical path. An image pickup means for forming images on separate image pickup element surfaces, an image data storage means for storing two image data whose polarization directions are orthogonal to each other, and a comparison calculation processing means for comparing and calculating data of both images are provided.

【００１６】請求項１１記載の発明においては、紫外光
と可視光を交互に照射する照明手段、所定の単一波長の
光または可視光波長全域を選択できる波長選択手段を備
えた撮像手段、紫外光照射時と可視光照射時において所
定の単一波長で得られる蛍光画像と吸光画像及び可視光
波長全域を選択した時に得られる可視画像の各データを
蓄積する画像データ蓄積手段，蛍光画像と吸光画像のデ
ータを比較演算する比較演算処理手段、比較演算処理画
像と可視画像とを重畳させる画像合成手段を備えたもの
である。In the invention of claim 11, illumination means for alternately irradiating ultraviolet light and visible light, image pickup means provided with wavelength selection means capable of selecting light of a predetermined single wavelength or the entire visible light wavelength, ultraviolet light Image data accumulation means for accumulating each data of fluorescence image and absorption image obtained at a predetermined single wavelength during light irradiation and visible light irradiation and visible image obtained when the entire visible light wavelength range is selected, fluorescence image and absorption A comparison calculation processing means for comparing and calculating image data, and an image synthesizing means for superimposing the comparison calculation processed image and the visible image are provided.

【００１７】請求項１２記載の発明においては、紫外領
域から可視領域にわたって連続的な波長域の光を照射す
る照明手段、同一シーンを２つの窓を介して独立に撮像
素子面上に結像させるとともに各窓に試料が吸光特性を
有する波長と吸光特性を有しない波長を透過波長とする
２つの波長フィルターを設けたステレオ光学系を設置し
た撮像手段、波長の異なる２つの画像データを蓄積する
画像データ蓄積手段、両画像のデータを比較演算する比
較演算処理手段を備えたものである。According to the twelfth aspect of the present invention, an illumination means for irradiating light in a continuous wavelength range from the ultraviolet region to the visible region, and the same scene is imaged independently on the image pickup device surface through two windows. In addition, an image pickup means provided with a stereo optical system having two wavelength filters each having a wavelength having a light absorption property and a wavelength having no light absorption property as a transmission wavelength in each window, an image accumulating two image data having different wavelengths A data storage means and a comparison calculation processing means for comparing and calculating the data of both images are provided.

【００１８】請求項１３記載の発明においては、紫外領
域から可視領域にわたって連続的な波長域の光を照射す
る照明手段、光路を２つに分岐し、分岐した光路上に試
料が吸光特性を有する波長と吸光特性を有しない波長を
透過波長とする波長フィルターをそれぞれ設置しそれぞ
れ別個の撮像素子面上に結像させる撮像手段、波長の異
なる２つの画像データを蓄積する画像データ蓄積手段、
両画像のデータを比較演算する比較演算処理処理手段を
備えたものである。In the thirteenth aspect of the present invention, an illumination means for irradiating light in a continuous wavelength range from the ultraviolet region to the visible region and an optical path are branched into two, and the sample has an absorption characteristic on the branched optical path. An image pickup means for setting a wavelength filter having a wavelength and a wavelength not having an absorption characteristic as a transmission wavelength and forming an image on a separate image pickup element surface, an image data storage means for storing two image data having different wavelengths,
The comparison calculation processing means for comparing and calculating the data of both images is provided.

【００１９】[0019]

【作用】請求項１記載の発明は、受光部において、吸光
現象の発生する波長と蛍光の発光スぺクトルとが重なり
合う波長を受光波長として選択する。紫外線照射時に得
られる画像では、油部分は発生する蛍光によって輝度が
上がり、他の部分は通常照明における選択波長分の輝度
が得られる。また、可視光照射時に得られる画像では、
油部分は吸光現象によって光が吸収され輝度がさがり、
その他の部分は選択した波長における反射率に対応した
輝度が得られる。According to the first aspect of the invention, in the light receiving section, a wavelength at which the light absorption phenomenon occurs and the emission spectrum of the fluorescence overlap are selected as the light receiving wavelength. In the image obtained upon irradiation with ultraviolet rays, the brightness of the oil portion is increased by the generated fluorescence, and the brightness of the other portion is equal to the selected wavelength in normal illumination. In addition, in the image obtained during irradiation with visible light,
The oil part absorbs light due to the absorption phenomenon and the brightness decreases,
In the other portions, the brightness corresponding to the reflectance at the selected wavelength can be obtained.

【００２０】このように紫外線照射時、可視光照射時に
おいて、周辺部分に対する油部分の輝度レベルの発生す
る極性が逆となる。一方、周辺領域は紫外光照射時、可
視光照射時において同一の波長で観測することから、得
られる輝度は同様の分布をなす。このため、両画像の差
分をとると、油部分は輝度が加算され、一方、周辺領域
は輝度が相殺されることにより、油部分の輝度信号のＳ
／Ｎを向上させることが可能となる。また両画像での油
以外の部分の輝度レベルを合わせることにより、差分画
像において油以外の部分の反射率の差による輝度レベル
の変化を相殺し、一定レベルとすることが可能となる。As described above, the polarities of the brightness level of the oil portion with respect to the peripheral portion are reversed during the irradiation of ultraviolet rays and the irradiation of visible light. On the other hand, since the peripheral region is observed at the same wavelength during irradiation with ultraviolet light and during irradiation with visible light, the obtained luminance has a similar distribution. Therefore, when the difference between the two images is calculated, the luminance is added to the oil portion, while the luminance is canceled in the peripheral area, so that the luminance signal S of the oil portion is S.
It is possible to improve / N. In addition, by adjusting the brightness levels of the parts other than oil in both images, it is possible to cancel out the change in the brightness level due to the difference in reflectance of the parts other than oil in the difference image, and maintain a constant level.

【００２１】請求項２記載の発明は、測定の結果得られ
た蛍光画像と吸光画像の平均輝度レベルを算出し、レベ
ル値に応じて、差分処理時の演算係数を決定し、両画像
の平均輝度レベルを合わせて処理を実施する。According to the second aspect of the present invention, the average brightness level of the fluorescence image and the light absorption image obtained as a result of the measurement is calculated, the calculation coefficient at the time of the difference processing is determined according to the level value, and the average of both images is calculated. The processing is performed according to the brightness level.

【００２２】請求項３記載の発明は、上記請求項１の発
明において、時間平均輝度レベルでレンズの絞り値を変
化させることにより、２画像の平均輝度レベルを一致さ
せて、両画像の差分をとるものである。According to a third aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the aperture value of the lens is changed at the time average luminance level so that the average luminance levels of the two images coincide with each other and the difference between the two images is calculated. To take.

【００２３】請求項４記載の発明は、上記請求項１の発
明において、測定によって得られた差分画像と予め蓄積
しておいた正常時の差分画像データとの輝度レベルを比
較し、両者において差の発生した箇所を油漏れ発生と判
定するものである。According to a fourth aspect of the invention, in the first aspect of the invention, the brightness levels of the difference image obtained by the measurement and the difference image data stored in advance at the normal time are compared, and the difference levels are compared. The place where the oil leak has occurred is determined to have occurred.

【００２４】請求項５記載の発明は、上記請求項４の発
明において、正常時の差分画像データを設定時間間隔毎
に更新し、測定によって得られた差分画像データと比較
し、両者において差の発生した箇所を油漏れ発生位置と
判定するものである。According to a fifth aspect of the invention, in the invention of the fourth aspect, the difference image data at the normal time is updated at every set time interval and compared with the difference image data obtained by the measurement, and the difference between them is determined. The location where the oil leak occurs is determined as the oil leak location.

【００２５】請求項６記載の発明は、上記請求項１の発
明において、測定によって得られた差分画像における輝
度レベルの判定により油の漏れ位置を検出するととも
に、吸光画像における輝度レベルの落ち込み量によって
油の漏れ量を算出するものである。According to a sixth aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the oil leak position is detected by determining the brightness level in the difference image obtained by the measurement, and the drop level of the brightness level is detected in the absorption image. The amount of oil leakage is calculated.

【００２６】請求項７記載の発明は、紫外線照射時に得
られる蛍光画像の各部における輝度レベルと可視光照射
時に得られる吸光画像の輝度レベルの比をとり、得られ
た比の算出結果より画像各部の表面状態を判定し、油漏
れの場合は油の種類の判別も行う。According to a seventh aspect of the present invention, the ratio of the brightness level in each part of the fluorescent image obtained when the ultraviolet ray is irradiated to the brightness level of the light absorption image obtained when the visible light is irradiated is taken, and each part of the image is calculated from the obtained ratio. The surface condition of is also judged, and in the case of oil leakage, the kind of oil is also judged.

【００２７】請求項８記載の発明は、蛍光の偏光特性の
保存性を利用するもので、直線偏光特性を有する紫外光
を試料面に照射し、照射光と偏光方向が平行な偏光成分
のみを選択した画像と照射光と直交した方向の偏光成分
を選択した画像との間で差分、加算、比の演算などの比
較演算処理を施し、その演算結果をもとに、油漏れを検
出するものである。The invention according to claim 8 utilizes the preservability of the polarization characteristics of fluorescence, in which the sample surface is irradiated with ultraviolet light having linear polarization characteristics, and only the polarization component whose polarization direction is parallel to the irradiation light is applied. A comparison calculation process such as difference, addition, and ratio calculation is performed between the selected image and the selected polarization component in the direction orthogonal to the irradiation light, and the oil leak is detected based on the calculation result. Is.

【００２８】請求項９記載の発明は、上記請求項８の発
明において、同一シーンを２つの窓を通過させ、それぞ
れを同一の撮像素子面上に独立に結像させるステレオミ
ラーを撮像カメラの前に設置し、２つの窓にそれぞれ偏
光方向が照明光と平行な検光子と直交する検光子を取り
付けるとともに、得られた画像の左右画面を比較するこ
とにより、偏光方向の相直交する２つの画像の比較を行
い、油漏れの検出を行うものである。According to a ninth aspect of the present invention, in the above eight aspect of the invention, a stereo mirror that allows the same scene to pass through two windows and forms images on the same image pickup device surface independently of each other is provided in front of the image pickup camera. Installed on each of the two windows and attached an analyzer whose polarization direction is orthogonal to the analyzer whose polarization direction is parallel to the illumination light, and by comparing the left and right screens of the obtained images, two images with orthogonal polarization directions are displayed. Is compared to detect oil leakage.

【００２９】請求項１０記載の発明は、上記請求項８の
発明において、撮像素子前方で光路を２分割し、分割し
た光路上に偏光面が照射光と平行な検光子と直交した検
光子をそれぞれ設置し、撮像素子面上に結像させる。こ
のようにして得られた２つの画像を比較することによ
り、油漏れの検出を行う。According to a tenth aspect of the present invention, in the above-mentioned eighth aspect, an optical path is divided into two in front of the image pickup element, and an analyzer whose polarization plane is orthogonal to an analyzer whose polarization plane is parallel to the irradiation light is provided on the divided optical path. Each of them is installed and an image is formed on the surface of the image sensor. The oil leak is detected by comparing the two images thus obtained.

【００３０】請求項１１記載の発明は、油漏れを検出し
た画像と光の可視領域で得られた同一シーンの可視画像
を重畳させるものである。According to the eleventh aspect of the present invention, the image in which the oil leak is detected and the visible image of the same scene obtained in the visible region of light are superimposed.

【００３１】請求項１２記載の発明は、油が光を吸収す
る吸光波長と光を吸収しない波長の光を利用する２波長
吸光方式において、同一シーンを２つの窓を通過させ、
それぞれを同一の撮像素子面上に独立に結像させるステ
レオミラーを撮像カメラの前に設置し、２つの窓に吸光
波長と光を吸収しない光を選択する波長フィルターをそ
れぞれ取り付けるとともに、得られた画像の左右を比較
することにより、油漏れの検出を行うものである。According to a twelfth aspect of the present invention, in a two-wavelength absorption method in which oil has a light absorption wavelength that absorbs light and a light that does not absorb light, the same scene is passed through two windows,
A stereo mirror that images each independently on the same image pickup device surface is installed in front of the image pickup camera, and a wavelength filter for selecting an absorption wavelength and light that does not absorb light is attached to each of the two windows. The oil leak is detected by comparing left and right of the image.

【００３２】請求項１３記載の発明は、上記２波長吸光
方式において、撮像素子前方で光路を２分割し、分割し
た光路上に吸光波長と光を吸収しない波長をそれぞれ選
択する波長フィルターを設置し、撮像素子面上に結像さ
せる。このようにして得られた２つの画像を比較するこ
とにより、油漏れの検出を行う。According to a thirteenth aspect of the present invention, in the two-wavelength absorption system, the optical path is divided into two in front of the image pickup device, and a wavelength filter for selecting an absorption wavelength and a wavelength that does not absorb light is installed on the divided optical path. , Image on the surface of the image sensor. The oil leak is detected by comparing the two images thus obtained.

【００３３】[0033]

【実施例】【Example】

実施例１．実施例１を図について説明する。図１は本発
明の実施例１による油漏れ検出装置を示す構成図、図２
は油の蛍光スペクトルと吸光スペクトルを示すスペクト
ル図、図３は紫外照射光スペクトルと通常照明光スペク
トル及び受光系において選択した波長を示すスペクトル
図、図４は蛍光発生時における蛍光スペクトルと通常照
明光スペクトル及び受光系において選択した波長を、図
５は紫外光照射時に得られる画像の一例、図６は紫外線
照射時に得られる画像中の１水平走査ライン上の輝度分
布を、図７は可視照明光スペクトルと通常照明光スペク
トル及び受光系において選択した波長を示すスペクトル
図、図８は可視光照射時に上記画像と同一のシーンを取
り込んで得られる画像を示し、図９は可視光照射時に得
られる画像の該水平走査線上の輝度分布を、図１０は該
２画像の差分処理を施して得られた画像の該水平走査線
上の輝度分布を示す。Example 1. Example 1 will be described with reference to the drawings. 1 is a block diagram showing an oil leak detection device according to a first embodiment of the present invention, FIG.
Is a spectrum diagram showing a fluorescence spectrum and an absorption spectrum of oil, FIG. 3 is a spectrum diagram showing an ultraviolet irradiation light spectrum and a normal illumination light spectrum and a wavelength selected in the light receiving system, and FIG. 4 is a fluorescence spectrum at the time of fluorescence generation and a normal illumination light. FIG. 5 shows an example of an image obtained by irradiation with ultraviolet light, FIG. 6 shows a luminance distribution on one horizontal scanning line in the image obtained by irradiation with ultraviolet light, and FIG. 7 shows visible illumination light. FIG. 8 shows an image obtained by capturing the same scene as the above image at the time of visible light irradiation, and FIG. 9 shows an image obtained at the time of visible light irradiation. 10 shows the luminance distribution on the horizontal scanning line of FIG. 10, and FIG. 10 shows the luminance distribution on the horizontal scanning line of the image obtained by performing the difference processing of the two images. .

【００３４】図において、１は照射光源、２は波長選択
用フィルター、３はフィルター切り換え機構、４は試料
面、５は波長選択用のフィルター、６は撮像レンズ、７
は光受光用のＩＴＶカメラ、８は信号切り換え回路、
９、１０はビデオ信号を一時的に蓄積するビデオメモ
リ、１１はビデオメモリ９、１０に蓄積された画像デー
タの差分処理を実施する演算回路、１２は演算結果をビ
デオ信号に変換するビデオ信号変換回路、１３はモニタ
ー、１４は油の吸光スペクトル、１５は油の蛍光スペク
トル、１６は受光系における選択波長、１７は紫外照射
光スペクトル、１８は通常照明光がもつスペクトルの１
本、１９は測定画像中の一水平走査線、２０は蛍光スペ
クトル、２１は紫外光照射時における試料面の油ぬれ領
域の画像、２２は選択波長での反射率がｒ1の領域の紫
外光照射時における画像、２３は選択波長での表面反射
率がｒ2 の領域の紫外光照射時における画像、２４は選
択波長での表面反射率がｒ3 の領域の紫外光照射時にお
ける画像、２５は紫外光照射時において得られる表面画
像の輝度分布、２６は画像中における蛍光発生部分の輝
度分布曲線、２７は可視照明光のスペクトル、２８は可
視光照射時における試料面の油もれ領域の画像、２９は
選択波長での反射率がｒ1 の領域の可視光照射時におけ
る画像、３０は選択波長での反射率がｒ2 の領域の可視
光照射時における画像、３１は選択波長での反射率がｒ
3 の領域の可視光照射時における画像、３２は可視照明
下において得られる表面画像の輝度分布、３３は差分画
像の輝度分布を示す。In the figure, 1 is an irradiation light source, 2 is a wavelength selection filter, 3 is a filter switching mechanism, 4 is a sample surface, 5 is a wavelength selection filter, 6 is an imaging lens, and 7 is an image pickup lens.
Is an ITV camera for receiving light, 8 is a signal switching circuit,
Reference numerals 9 and 10 are video memories for temporarily storing video signals, 11 is an arithmetic circuit for performing difference processing of the image data accumulated in the video memories 9, 10, and 12 is video signal conversion for converting operation results into video signals. Circuit, 13 is a monitor, 14 is an oil absorption spectrum, 15 is an oil fluorescence spectrum, 16 is a selected wavelength in the light receiving system, 17 is an ultraviolet irradiation light spectrum, and 18 is a spectrum of normal illumination light.
Book, 19 is one horizontal scanning line in the measurement image, 20 is a fluorescence spectrum, 21 is an image of the oil-wetting area of the sample surface during irradiation with ultraviolet light, and 22 is ultraviolet light in the region where the reflectance at the selected wavelength is r 1. image at the time of irradiation, image 23 is the surface reflectance at a selected wavelength at UV light irradiation in the region of r 2, 24 is an image at the time of ultraviolet light irradiation of the region's surface reflectivity of r 3 at a selected wavelength, 25 Is the brightness distribution of the surface image obtained upon irradiation with ultraviolet light, 26 is the brightness distribution curve of the fluorescence generation portion in the image, 27 is the spectrum of visible illumination light, and 28 is the oil leakage area of the sample surface during irradiation of visible light. An image, 29 is an image at the time of visible light irradiation in the region of reflectance r 1 at the selected wavelength, 30 is an image at the time of irradiation of visible light in the region of reflectance r 2 at the selected wavelength, and 31 is an image at the selected wavelength. Reflectance is r
An image at the time of visible light irradiation in the region 3 is shown, 32 is the brightness distribution of the surface image obtained under visible illumination, and 33 is the brightness distribution of the difference image.

【００３５】次に動作について説明する。油は紫外光を
照射すると蛍光を発する特性を有しており、吸光スペク
トル１４と蛍光スペクトル１５とは図２に示すような波
長の関係をもつ。ここで受光する波長を波長１６と選択
すると、蛍光と吸光現象を同時に観測することが可能と
なる。つまり選択波長１６では、紫外光を照射すると蛍
光が観測され、かつ選択波長１６の光を照射すると油に
よって吸収される。本発明では、紫外光と可視光を交互
に照射するとともに、受光波長を波長１６と選択するこ
とによって、蛍光と吸光現象を同時に利用するものであ
る。Next, the operation will be described. Oil has a characteristic of emitting fluorescence when irradiated with ultraviolet light, and the absorption spectrum 14 and the fluorescence spectrum 15 have a wavelength relationship as shown in FIG. If the wavelength to be received here is selected to be the wavelength 16, it becomes possible to observe the fluorescence and the light absorption phenomenon at the same time. That is, at the selected wavelength 16, fluorescence is observed when irradiated with ultraviolet light, and absorbed by oil when irradiated with light having the selected wavelength 16. In the present invention, the ultraviolet light and the visible light are alternately emitted, and the wavelength of the received light is selected to be 16 so that the fluorescence and the light absorption phenomenon are simultaneously utilized.

【００３６】光源１は紫外光領域から可視光領域までの
波長を有する光を発する。光源１から出射した光は波長
フィルター２によって、紫外光領域あるいは可視光領域
が選択され、フィルター切り換え機構３によって交互に
試料面４を照射する。光源１によって照射された表面
は、波長フィルター５、撮像レンズ６を介してＩＴＶカ
メラ７により撮像される。波長フィルター５は、選択波
長１６を中心とした狭帯域の光を透過させる特性を有す
る。信号切り換え器８は、ＩＴＶカメラ７からの出力信
号を、照明の波長切り換えと同期して、ビデオメモリ
９，１０に振り分ける。The light source 1 emits light having a wavelength from the ultraviolet light region to the visible light region. The ultraviolet light region or the visible light region is selected by the wavelength filter 2 for the light emitted from the light source 1, and the sample surface 4 is alternately irradiated by the filter switching mechanism 3. The surface illuminated by the light source 1 is imaged by the ITV camera 7 via the wavelength filter 5 and the imaging lens 6. The wavelength filter 5 has a characteristic of transmitting light in a narrow band centered on the selected wavelength 16. The signal switch 8 distributes the output signal from the ITV camera 7 to the video memories 9 and 10 in synchronization with the wavelength switching of the illumination.

【００３７】試料の表面を図５に示すように油付着部２
１、波長１６における反射率がｒ1の領域２２、波長１
６における反射率がｒ2 の領域２３、波長１６における
反射率がｒ3 の領域２４に区分できるモデルを想定す
る。フィルター２及びフィルター切り換え機構３によっ
て、紫外光が選択された場合、表面を照明する光は、光
源１から選択された紫外光１７と室内照明用の通常照明
光１８の重なった光となる。受光系において波長１６の
みを選択すると、得られる画像は、紫外光照射によって
油部分は蛍光が発生し輝度が上がるとともに、その他の
領域は波長１６における反射率によって輝度分布が決定
される。As shown in FIG. 5, the surface of the sample is covered with the oil-deposited portion 2
1, the region 22 where the reflectance at wavelength 16 is r 1 , wavelength 1
Assume a model that can be divided into a region 23 having a reflectance of r 2 at 6 and a region 24 having a reflectance of r 3 at the wavelength 16. When ultraviolet light is selected by the filter 2 and the filter switching mechanism 3, the light that illuminates the surface is light in which the ultraviolet light 17 selected from the light source 1 and the normal illumination light 18 for indoor illumination overlap. When only the wavelength 16 is selected in the light receiving system, the obtained image has a luminance distribution which is determined by the reflectance at the wavelength 16 while the fluorescence is raised in the oil portion due to the ultraviolet light irradiation and the luminance is increased.

【００３８】画像中の一水平走査線１９上の輝度は、曲
線２５示されるで分布となり、油もれによる蛍光発生領
域は２６で示される輝度分布となる。The luminance on one horizontal scanning line 19 in the image has a distribution indicated by the curve 25, and the fluorescence generation region due to oil leakage has a luminance distribution indicated by 26.

【００３９】一方、フィルター２及びフィルター切り換
え機構３によって、可視光が選択された場合、表面を照
明する光は、光源１から選択された可視光２７と通常照
明光１８の重なった光となる。このような光で照明され
た試料表面は、波長１６に注目すると、油付着領域では
光が吸収され、その他の領域では各部の反射率に対応し
た強度の光が反射される。紫外光照射時の場合と同じ水
平走査線１９上の輝度は、曲線３２で示されるように、
油付着領域において輝度が落ち込み、その他の領域では
波長１６での反射率に対応した輝度が得られる。On the other hand, when visible light is selected by the filter 2 and the filter switching mechanism 3, the light for illuminating the surface is the light in which the visible light 27 selected from the light source 1 and the normal illumination light 18 are overlapped. When the wavelength 16 is focused on the surface of the sample illuminated with such light, light is absorbed in the oil adhesion region and light having an intensity corresponding to the reflectance of each portion is reflected in the other regions. The brightness on the horizontal scanning line 19 which is the same as that when the ultraviolet light is irradiated is as shown by the curve 32.
The luminance drops in the oil-attached area, and the luminance corresponding to the reflectance at the wavelength 16 is obtained in the other areas.

【００４０】このようにして得られる紫外照射時、可視
光照射時の２つの画像はそれぞれビデオメモリ９，１０
に入力される。入力されたそれぞれの画像データは、演
算器１１によって差分処理が施される。２画像間で差分
処理を施すことによって、輝度分布曲線３３に示すよう
に、油付着部分は他の領域と比較して輝度信号レベルが
強調され、一方油付着部以外の領域は輝度の変化が相殺
される。ここでは可視光照射時、紫外光照射時の画像間
での演算処理を差分処理で説明したが、両者を比較でき
る手法であれば良く、例えば加算処理、除算処理であっ
ても同様の効果が得られる。また、光源は単一の光源に
よって説明したが、光源の波長帯によって異なる２つの
光源を用いても同様の効果が得られる。The two images thus obtained during UV irradiation and visible light irradiation are stored in video memories 9 and 10, respectively.
Is input to The input image data is subjected to difference processing by the arithmetic unit 11. By performing the difference processing between the two images, as shown by the luminance distribution curve 33, the luminance signal level is emphasized in the oil-adhered portion as compared with other areas, while the luminance changes in the areas other than the oil-adhered portion. Offset. Here, the calculation process between the images during irradiation of visible light and during irradiation of ultraviolet light has been described as difference processing, but any method that can compare the two may be used, and similar effects can be obtained even with addition processing and division processing, for example. can get. Further, although the light source has been described as a single light source, the same effect can be obtained by using two light sources that differ depending on the wavelength band of the light source.

【００４１】実施例２．実施例２を図について説明す
る。図１１は本発明の実施例２による油漏れ検出装置を
示す構成図、図１２は画像中のモニター点を示す模式
図、図１３は紫外光照射時に得られた画像の１水平走査
線上の輝度分布図、図１４は可視光照射時に得られた画
像の１水平走査線上の輝度分布図、図１５は該２画像の
差分処理を施して得られた輝度分布を示す。Example 2. Example 2 will be described with reference to the drawings. 11 is a configuration diagram showing an oil leak detection device according to a second embodiment of the present invention, FIG. 12 is a schematic diagram showing monitor points in an image, and FIG. 13 is a luminance on one horizontal scanning line of an image obtained during irradiation with ultraviolet light. FIG. 14 is a distribution chart, FIG. 14 is a luminance distribution chart on one horizontal scanning line of an image obtained when visible light is irradiated, and FIG. 15 is a luminance distribution obtained by performing a difference process on the two images.

【００４２】図において、４０，４１は画像データ抽出
回路、４２は係数算出回路、４３はかけ算回路、４４は
画像データモニターポイント、４５は紫外光照射時の１
水平走査線上の輝度分布、４６は可視光照射時に得られ
た同一水平走査線上の輝度分布、４７は輝度レベル補正
後の輝度分布、４８は差分処理後に得られる１水平走査
線上の輝度分布を示す。In the figure, 40 and 41 are image data extraction circuits, 42 is a coefficient calculation circuit, 43 is a multiplication circuit, 44 is an image data monitor point, and 45 is 1 when ultraviolet light is radiated.
A luminance distribution on a horizontal scanning line, 46 is a luminance distribution on the same horizontal scanning line obtained when visible light is radiated, 47 is a luminance distribution after luminance level correction, and 48 is a luminance distribution on one horizontal scanning line obtained after difference processing. .

【００４３】光源１は紫外光領域から可視光領域までの
波長を有する光を発する。光源１から出射した光は波長
フィルター２によって、紫外光領域あるいは可視光領域
が選択され、フィルター切り換え機構３によって交互に
試料面４を照射する。光源１によって照射された表面
は、波長フィルター５、撮像レンズ６を介してＩＴＶカ
メラ７により撮像される。波長フィルター５は、選択波
長１６を中心とした狭帯域の光を透過させる特性を有す
る。信号切り換え器８は、ＩＴＶカメラ７からの出力信
号を、照明の波長切り換えと同期して、ビデオメモリ
９，１０に振り分ける。The light source 1 emits light having a wavelength from the ultraviolet light region to the visible light region. The ultraviolet light region or the visible light region is selected by the wavelength filter 2 for the light emitted from the light source 1, and the sample surface 4 is alternately irradiated by the filter switching mechanism 3. The surface illuminated by the light source 1 is imaged by the ITV camera 7 via the wavelength filter 5 and the imaging lens 6. The wavelength filter 5 has a characteristic of transmitting light in a narrow band centered on the selected wavelength 16. The signal switch 8 distributes the output signal from the ITV camera 7 to the video memories 9 and 10 in synchronization with the wavelength switching of the illumination.

【００４４】フィルター２及びフィルター切り換え機構
３によって、紫外光が選択された場合、上記第１の実施
例で説明したように、油付着部分の輝度が高い輝度分布
４５を有する画像が得られる。一方、フィルター２及び
フィルター切り換え機構３によって、可視光が選択され
た場合、油付着部分の輝度が落ち込んだ輝度分布４６を
有する画像が得られる。このようにして得られた２つの
画像は、それぞれビデオメモリ９，１０に入力される。When the ultraviolet light is selected by the filter 2 and the filter switching mechanism 3, as described in the first embodiment, an image having a brightness distribution 45 in which the brightness of the oil adhered portion is high is obtained. On the other hand, when visible light is selected by the filter 2 and the filter switching mechanism 3, an image having a brightness distribution 46 in which the brightness of the oil-adhered portion is lowered is obtained. The two images thus obtained are input to the video memories 9 and 10, respectively.

【００４５】画像データ抽出回路は、ビデオメモリ９，
１０に蓄えられた画像データのうち、予め設定しておい
たモニターポイント４４のデータを抽出し、係数算出回
路４２に出力する。係数算出回路４２は、各ポイントに
おけるデータ値の比（紫外光照射／可視光照射）を算出
し、全てのポイントで比較する。比の算出結果のうち、
大多数を占める値を判定し、係数値とする。得られた係
数値はかけ算器４３に出力され、かけ算の倍率を設定す
る。かけ算器４３は、設定された倍率に基づいて、ビデ
オメモリ９中の画像データ値にかけ算処理を施し、輝度
分布４６から輝度分布４７に変化させ、紫外照射画像と
可視照射が像の輝度レベルを一致させる。演算器１１は
該２画像間の差分処理を行うことによって、油付着部以
外の表面での輝度変化を相殺し、油付着部分の輝度変化
のみを強調した輝度分布４８を算出する。The image data extraction circuit includes a video memory 9,
The preset data of the monitor point 44 is extracted from the image data stored in 10, and is output to the coefficient calculation circuit 42. The coefficient calculation circuit 42 calculates the ratio of the data values at each point (UV light irradiation / visible light irradiation) and compares them at all points. Of the calculation results of the ratio,
The value that occupies the majority is determined and used as the coefficient value. The obtained coefficient value is output to the multiplier 43 to set the multiplication rate. The multiplier 43 performs a multiplication process on the image data value in the video memory 9 based on the set magnification to change from the brightness distribution 46 to the brightness distribution 47, and the ultraviolet irradiation image and the visible irradiation change the brightness level of the image. Match. The arithmetic unit 11 cancels the luminance change on the surface other than the oil-adhered portion by performing the difference processing between the two images, and calculates the luminance distribution 48 emphasizing only the luminance change of the oil-adhered portion.

【００４６】実施例３．実施例３を図について説明す
る。図１６は本発明の実施例３による油漏れ検出装置を
示す構成図である。図において、４９は撮像レンズの絞
り値を調整する調整機構である。Example 3. A third embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 16 is a configuration diagram showing an oil leak detection device according to a third embodiment of the present invention. In the figure, 49 is an adjusting mechanism for adjusting the aperture value of the image pickup lens.

【００４７】次に動作について説明する。光源１は紫外
光領域から可視光領域までの波長を有する光を発する。
光源１から出射した光は波長フィルター２によって、紫
外光領域あるいは可視光領域が選択され、フィルター切
り換え機構３によって交互に試料面４を照射する。光源
１によって照射された表面は、波長フィルター５、撮像
レンズ６を介してＩＴＶカメラ７により撮像される。波
長フィルター５は、選択波長１６を中心とした狭帯域の
光を透過させる特性を有する。信号切り換え器８は、Ｉ
ＴＶカメラ７からの出力信号を、照明の波長切り換えと
同期して、ビデオメモリ９，１０に振り分ける。Next, the operation will be described. The light source 1 emits light having a wavelength from the ultraviolet light region to the visible light region.
The ultraviolet light region or the visible light region is selected by the wavelength filter 2 for the light emitted from the light source 1, and the sample surface 4 is alternately irradiated by the filter switching mechanism 3. The surface illuminated by the light source 1 is imaged by the ITV camera 7 via the wavelength filter 5 and the imaging lens 6. The wavelength filter 5 has a characteristic of transmitting light in a narrow band centered on the selected wavelength 16. The signal switcher 8 is I
The output signal from the TV camera 7 is distributed to the video memories 9 and 10 in synchronization with the wavelength switching of the illumination.

【００４８】フィルター２及びフィルター切り換え機構
３によって、紫外光が選択された場合、上記第１の実施
例で説明したように、油付着部分の輝度が高い輝度分布
４５を有する画像が得られる。一方、フィルター２及び
フィルター切り換え機構３によって、可視光が選択され
た場合、油付着部分の輝度が落ち込んだ輝度分布４６を
有する画像が得られる。このようにして得られた２つの
画像は、それぞれビデオメモリ９，１０に入力される。When the ultraviolet light is selected by the filter 2 and the filter switching mechanism 3, as described in the first embodiment, an image having the brightness distribution 45 in which the brightness of the oil adhered portion is high is obtained. On the other hand, when visible light is selected by the filter 2 and the filter switching mechanism 3, an image having a brightness distribution 46 in which the brightness of the oil-adhered portion is lowered is obtained. The two images thus obtained are input to the video memories 9 and 10, respectively.

【００４９】画像データ抽出回路は、ビデオメモリ９，
１０に蓄えられた画像データのうち、予め設定しておい
たモニターポイント４４のデータを抽出し、係数算出回
路４２に出力する。係数算出回路４２は、各ポイントに
おけるデータ値の比（紫外光照射／可視光照射）を算出
し、全てのポイントで比較する。得られた比の値の内、
大多数を占める値を判定し、係数値とする。得られた係
数値は絞り調整機構４９に入力される。調整機構４９
は、入力された係数値に基づき、可視光照射画像の輝度
レベルが紫外光照射画像と一致するよう撮像レンズの絞
り値を調整し、再度可視光照射画像を取り込む。演算器
１１は該２画像間の差分処理を行い、油付着部分以外の
領域での輝度変化を相殺し、油付着部分の輝度変化のみ
を強調した輝度分布４８を算出する。The image data extraction circuit includes a video memory 9,
The preset data of the monitor point 44 is extracted from the image data stored in 10, and is output to the coefficient calculation circuit 42. The coefficient calculation circuit 42 calculates the ratio of the data values at each point (UV light irradiation / visible light irradiation) and compares them at all points. Of the obtained ratio values,
The value that occupies the majority is determined and used as the coefficient value. The obtained coefficient value is input to the diaphragm adjusting mechanism 49. Adjustment mechanism 49
Adjusts the aperture value of the imaging lens based on the input coefficient value so that the brightness level of the visible light irradiation image matches the ultraviolet light irradiation image, and captures the visible light irradiation image again. The arithmetic unit 11 performs difference processing between the two images to cancel the luminance change in the area other than the oil-adhered portion, and calculates the luminance distribution 48 emphasizing only the luminance change in the oil-adhered portion.

【００５０】実施例４．実施例４を図について説明す
る。図１７は本発明の実施例４による油漏れ検出装置を
示す構成図である。図において、５０は基準となる画像
のデータベース、５１は判定回路を示す。Example 4. Example 4 will be described with reference to the drawings. FIG. 17 is a configuration diagram showing an oil leak detection device according to a fourth embodiment of the present invention. In the figure, 50 is a reference image database, and 51 is a determination circuit.

【００５１】次に動作について説明する。光源１は紫外
光領域から可視光領域までの波長を有する光を発する。
光源１から出射した光は波長フィルター２によって、紫
外光領域あるいは可視光領域の光が選択され、フィルタ
ー切り換え機構３によって交互に試料面４を照射する。
光源１によって照射された試料は、波長フィルター５、
撮像レンズ６を介してＩＴＶカメラ７により撮像され
る。波長フィルター５は、選択波長１６を中心とした狭
帯域の光を透過させる特性を有する。信号切り換え器８
は、ＩＴＶカメラ７からの出力信号を、照明の波長切り
換えと同期して、ビデオメモリ９，１０に振り分ける。Next, the operation will be described. The light source 1 emits light having a wavelength from the ultraviolet light region to the visible light region.
The light emitted from the light source 1 is selected by the wavelength filter 2 in the ultraviolet light region or the visible light region, and the sample surface 4 is alternately irradiated by the filter switching mechanism 3.
The sample illuminated by the light source 1 has a wavelength filter 5,
An image is taken by the ITV camera 7 via the imaging lens 6. The wavelength filter 5 has a characteristic of transmitting light in a narrow band centered on the selected wavelength 16. Signal switch 8
Distributes the output signal from the ITV camera 7 to the video memories 9 and 10 in synchronization with the wavelength switching of the illumination.

【００５２】フィルター２及びフィルター切り換え機構
３によって、紫外光が選択された場合、上記第１の実施
例で説明したように、油付着部分の輝度が高い輝度分布
４５を有する画像が得られる。一方、フィルター２及び
フィルター切り換え機構３によって、可視光が選択され
た場合、油付着部分の輝度が落ち込んだ輝度分布４６を
有する画像が得られる。このようにして得られた２つの
画像は、それぞれビデオメモリ９，１０に入力される。When the ultraviolet light is selected by the filter 2 and the filter switching mechanism 3, as described in the first embodiment, an image having the brightness distribution 45 in which the brightness of the oil adhered portion is high is obtained. On the other hand, when visible light is selected by the filter 2 and the filter switching mechanism 3, an image having a brightness distribution 46 in which the brightness of the oil-adhered portion is lowered is obtained. The two images thus obtained are input to the video memories 9 and 10, respectively.

【００５３】上記実施例１で説明したように、演算回路
１１からは、油付着部分のみが強調された画像データが
出力される。判定回路５２は演算回路１１から出力され
た画像データとデータベース５０に予め記憶しておいた
正常時の差分画像データを比較し、差が所定の値を超え
た地点を油漏れ発生位置と判断する。また、発生位置が
明確に識別可能となるようビデオ信号発生回路で信号を
発生し、モニター上に表示する。データベース中の画像
データが全画面一定値であっても、同様の効果が得られ
る。As described in the first embodiment, the arithmetic circuit 11 outputs image data in which only the oil adhered portion is emphasized. The determination circuit 52 compares the image data output from the arithmetic circuit 11 with the normal difference image data stored in advance in the database 50, and determines a point where the difference exceeds a predetermined value as an oil leak occurrence position. . In addition, a signal is generated by the video signal generation circuit so that the generation position can be clearly identified and displayed on the monitor. Even if the image data in the database has a constant value for the entire screen, the same effect can be obtained.

【００５４】実施例５．実施例５を図について説明す
る。図１８は本発明の実施例５による油漏れ検出装置を
示す構成図である。図において、５２は設定時間間隔ご
とに画像データを抽出する画像データ取り込み回路，５
３は参照データ設定回路を示す。Example 5. Example 5 will be described with reference to the drawings. FIG. 18 is a configuration diagram showing an oil leak detection device according to a fifth embodiment of the present invention. In the figure, reference numeral 52 designates an image data capturing circuit for extracting image data at set time intervals, and 5
Reference numeral 3 indicates a reference data setting circuit.

【００５５】次に動作について説明する。光源１は紫外
光領域から可視光領域までの波長を有する光を発する。
光源１から出射した光は波長フィルター２によって、紫
外光領域あるいは可視光領域の光が選択され、フィルタ
ー切り換え機構３によって交互に試料面４を照射する。
光源１によって照射された試料は、波長フィルター５、
撮像レンズ６を介してＩＴＶカメラ７により撮像され
る。波長フィルター５は、選択波長１６を中心とした狭
帯域の光を透過させる特性を有する。信号切り換え器８
は、ＩＴＶカメラ７からの出力信号を、照明の波長切り
換えと同期して、ビデオメモリ９，１０に振り分ける。Next, the operation will be described. The light source 1 emits light having a wavelength from the ultraviolet light region to the visible light region.
The light emitted from the light source 1 is selected by the wavelength filter 2 in the ultraviolet light region or the visible light region, and the sample surface 4 is alternately irradiated by the filter switching mechanism 3.
The sample illuminated by the light source 1 has a wavelength filter 5,
An image is taken by the ITV camera 7 via the imaging lens 6. The wavelength filter 5 has a characteristic of transmitting light in a narrow band centered on the selected wavelength 16. Signal switch 8
Distributes the output signal from the ITV camera 7 to the video memories 9 and 10 in synchronization with the wavelength switching of the illumination.

【００５６】フィルター２及びフィルター切り換え機構
３によって、紫外光が選択された場合、上記第１の実施
例で説明したように、油付着部分の輝度が高い輝度分布
４５が得られる。一方、フィルター２及びフィルター切
り換え機構３によって、可視光が選択された場合、油付
着部分の輝度が落ち込んだ輝度分布４６が得られる。こ
のようにして得られた２つの画像は、それぞれビデオメ
モリ９，１０に入力される。When the ultraviolet light is selected by the filter 2 and the filter switching mechanism 3, as described in the first embodiment, the brightness distribution 45 in which the brightness of the oil adhered portion is high is obtained. On the other hand, when the visible light is selected by the filter 2 and the filter switching mechanism 3, the brightness distribution 46 in which the brightness of the oil adhered portion is lowered is obtained. The two images thus obtained are input to the video memories 9 and 10, respectively.

【００５７】演算器１１はビデオメモリ９，１０に蓄積
された画像データで、差分処理を施し、差分画像データ
を出力する。画像データ取り込み回路５２は予め設定し
た時間間隔毎に演算器１１の出力画像データを参照デー
タ設定回路５３に送り出す。このとき、紫外照射画像と
可視光照射画像との差分処理は連続的に実施する。判定
回路５１は演算器１１の出力画像データと参照データ設
定回路５３中に蓄積された画像データの比較を行い、両
画像データの差が予め設定した所定の値を超える部分を
油漏れが発生した部分と判定する。The arithmetic unit 11 performs difference processing on the image data stored in the video memories 9 and 10 and outputs the difference image data. The image data capturing circuit 52 sends the output image data of the computing unit 11 to the reference data setting circuit 53 at preset time intervals. At this time, the difference processing between the ultraviolet irradiation image and the visible light irradiation image is continuously performed. The determination circuit 51 compares the output image data of the arithmetic unit 11 with the image data stored in the reference data setting circuit 53, and an oil leak has occurred in a portion where the difference between the two image data exceeds a preset predetermined value. Judge as a part.

【００５８】実施例６．実施例６を図について説明す
る。図１９は本発明の実施例６による油漏れ検出装置を
示す構成図である。図において５４は漏れ領域検出回
路、５５は測定画像データ抽出回路、５６は参照画像デ
ータ抽出回路、５７は油膜厚算出回路を示す。Example 6. Example 6 will be described with reference to the drawings. FIG. 19 is a configuration diagram showing an oil leak detection device according to a sixth embodiment of the present invention. In the figure, 54 is a leak area detection circuit, 55 is a measurement image data extraction circuit, 56 is a reference image data extraction circuit, and 57 is an oil film thickness calculation circuit.

【００５９】次に動作について説明する。光源１は紫外
光領域から可視光領域までの波長を有する光を発する。
光源１から出射した光は波長フィルター２によって、紫
外光領域あるいは可視光領域が選択され、フィルター切
り換え機構３によって交互に試料面４を照射する。光源
１によって照射された試料は、波長フィルター５、撮像
レンズ６を介してＩＴＶカメラ７により撮像される。波
長フィルター５は、選択波長１６を中心とした狭帯域の
光を透過させる特性を有する。信号切り換え器８は、Ｉ
ＴＶカメラ７からの出力信号を、照明の波長切り換えと
同期して、ビデオメモリ９，１０に振り分ける。Next, the operation will be described. The light source 1 emits light having a wavelength from the ultraviolet light region to the visible light region.
The ultraviolet light region or the visible light region is selected by the wavelength filter 2 for the light emitted from the light source 1, and the sample surface 4 is alternately irradiated by the filter switching mechanism 3. The sample illuminated by the light source 1 is imaged by the ITV camera 7 via the wavelength filter 5 and the imaging lens 6. The wavelength filter 5 has a characteristic of transmitting light in a narrow band centered on the selected wavelength 16. The signal switcher 8 is I
The output signal from the TV camera 7 is distributed to the video memories 9 and 10 in synchronization with the wavelength switching of the illumination.

【００６０】フィルター２及びフィルター切り換え機構
３によって、紫外光が選択された場合、上記実施例１で
説明したように、油付着部分の輝度が高い輝度分布４５
を有する画像が得られる。一方、フィルター２及びフィ
ルター切り換え機構３によって、可視光が選択された場
合、油付着部分の輝度が落ち込んだ輝度分布４６を有す
る画像が得られる。このようにして得られた２つの画像
は、それぞれビデオメモリ９，１０に入力される。When the ultraviolet light is selected by the filter 2 and the filter switching mechanism 3, the brightness distribution 45 in which the brightness of the oil adhered portion is high as described in the first embodiment.
An image with is obtained. On the other hand, when visible light is selected by the filter 2 and the filter switching mechanism 3, an image having a brightness distribution 46 in which the brightness of the oil-adhered portion is lowered is obtained. The two images thus obtained are input to the video memories 9 and 10, respectively.

【００６１】演算器１１はビデオメモリ９，１０に蓄積
された画像データに差分処理を施し、差分画像データを
出力する。油漏れ領域検出回路５４は、得られた差分画
像データをもとに、実施例４または５において説明した
方法で油漏れの発生した領域を検出する。検出した領域
の位置情報は測定画像データ抽出回路５５、参照画像デ
ータ抽出回路５６にそれぞれ送られる。測定画像抽出回
路５５は、測定時の可視光照射時に得られる吸光画像の
うち検出された油漏れ発生領域のデータを抽出し油膜厚
算出回路に出力する。また参照画像抽出回路５６は、予
め取り込んでおいた正常画像データのうち、油漏れ領域
のデータを抽出し、油膜厚算出回路５７に出力する。油
膜厚算出回路５７は、測定画像データの輝度値と参照画
像データの輝度値との比を算出し、算出結果の大きさに
より膜厚のレベルを判定する。The arithmetic unit 11 performs difference processing on the image data stored in the video memories 9 and 10 and outputs the difference image data. The oil leak area detection circuit 54 detects the area where oil leak has occurred based on the obtained difference image data by the method described in the fourth or fifth embodiment. The position information of the detected area is sent to the measurement image data extraction circuit 55 and the reference image data extraction circuit 56, respectively. The measurement image extraction circuit 55 extracts the data of the detected oil leak occurrence region from the absorption image obtained during irradiation of visible light during measurement, and outputs the data to the oil film thickness calculation circuit. Further, the reference image extraction circuit 56 extracts the data of the oil leak region from the normal image data that has been captured in advance and outputs it to the oil film thickness calculation circuit 57. The oil film thickness calculation circuit 57 calculates the ratio between the brightness value of the measurement image data and the brightness value of the reference image data, and determines the film thickness level based on the size of the calculation result.

【００６２】実施例７．実施例７を図について説明す
る。図２０は、本発明の実施例７による油漏れ検出装置
を示す構成図である。図において、５８は紫外照射画像
データ抽出回路、５９は可視光照射画像データ抽出回
路、６０は演算回路、６１は判定回路、６２はデータメ
モリである。Example 7. Example 7 will be described with reference to the drawings. 20 is a configuration diagram showing an oil leak detection device according to a seventh embodiment of the present invention. In the figure, 58 is an ultraviolet irradiation image data extraction circuit, 59 is a visible light irradiation image data extraction circuit, 60 is an arithmetic circuit, 61 is a determination circuit, and 62 is a data memory.

【００６３】次に動作について説明する。光源１は紫外
光領域から可視光領域までの波長を有する光を発する。
光源１から出射した光は波長フィルター２によって、紫
外光領域あるいは可視光領域が選択され、フィルター切
り換え機構３によって交互に試料面４を照射する。光源
１によって照射された表面は、波長フィルター５、撮像
レンズ６を介してＩＴＶカメラ７により撮像される。波
長フィルター５は、選択波長１６を中心とした狭帯域の
光を透過させる特性を有する。信号切り換え器８は、Ｉ
ＴＶカメラ７からの出力信号を、照明の波長切り換えと
同期して、ビデオメモリ９，１０に振り分ける。Next, the operation will be described. The light source 1 emits light having a wavelength from the ultraviolet light region to the visible light region.
The ultraviolet light region or the visible light region is selected by the wavelength filter 2 for the light emitted from the light source 1, and the sample surface 4 is alternately irradiated by the filter switching mechanism 3. The surface illuminated by the light source 1 is imaged by the ITV camera 7 via the wavelength filter 5 and the imaging lens 6. The wavelength filter 5 has a characteristic of transmitting light in a narrow band centered on the selected wavelength 16. The signal switcher 8 is I
The output signal from the TV camera 7 is distributed to the video memories 9 and 10 in synchronization with the wavelength switching of the illumination.

【００６４】フィルター２及びフィルター切り換え機構
３によって、紫外光が選択された場合、上記第１の実施
例で説明したように、油付着部分の輝度が高い輝度分布
４５を有する画像が得られる。一方、フィルター２及び
フィルター切り換え機構３によって、可視光が選択され
た場合、油付着部分の輝度が落ち込んだ輝度分布４６を
有する画像が得られる。このようにして得られた２つの
画像は、それぞれビデオメモリ９，１０に入力される。When the ultraviolet light is selected by the filter 2 and the filter switching mechanism 3, as described in the first embodiment, an image having a brightness distribution 45 in which the brightness of the oil adhered portion is high is obtained. On the other hand, when visible light is selected by the filter 2 and the filter switching mechanism 3, an image having a brightness distribution 46 in which the brightness of the oil-adhered portion is lowered is obtained. The two images thus obtained are input to the video memories 9 and 10, respectively.

【００６５】演算器１１はビデオメモリ９，１０に蓄積
された画像データに差分処理を施し、差分画像データを
出力する。油漏れ領域検出回路５４は、得られた差分画
像データをもとに、実施例４または５において説明した
方法で油漏れの発生した領域を検出する。検出した領域
の位置情報は紫外光照射画像データ抽出回路５８、可視
光照射画像データ抽出回路５９にそれぞれ送られる。紫
外光照射画像データ抽出回路５８は、紫外光照射時に得
られる画像データのうち、油漏れ領域検出回路５４で検
出された油漏れ発生領域のデータのみを抽出し、演算回
路６０に出力する。また、可視光照射画像データ抽出回
路５８は、可視光照射時に得られる画像のうち、油漏れ
領域検出回路５４によって検出された油漏れ領域の画像
データのみを抽出し演算回路６０に出力する。演算回路
６０は、入力された紫外照射画像及び可視光照射画像の
データによって、両画像の対応した画素ごとにデータの
比を算出する。算出した比の値とデータメモリ６２に蓄
積しておいた参照データを比較し、最も近接した参照デ
ータ値を探索する。データメモリ６２には、予め種類の
異なる油や他の蛍光体による紫外照射画像データと可視
光照射画像データの比の値を入力させておく。判定回路
６１は上記探索結果に基づき、検出した領域内の物質が
油で有るかどうかの判断及び油の種類の判定を行う。The calculator 11 performs difference processing on the image data stored in the video memories 9 and 10 and outputs the difference image data. The oil leak area detection circuit 54 detects the area where oil leak has occurred based on the obtained difference image data by the method described in the fourth or fifth embodiment. The position information of the detected region is sent to the ultraviolet light irradiation image data extraction circuit 58 and the visible light irradiation image data extraction circuit 59, respectively. The ultraviolet light irradiation image data extraction circuit 58 extracts only the data of the oil leak occurrence region detected by the oil leak region detection circuit 54 from the image data obtained during the ultraviolet light irradiation, and outputs it to the arithmetic circuit 60. Further, the visible light irradiation image data extraction circuit 58 extracts only the image data of the oil leakage region detected by the oil leakage region detection circuit 54 from the image obtained during the irradiation of visible light and outputs it to the arithmetic circuit 60. The arithmetic circuit 60 calculates the ratio of data for each pixel corresponding to both images by the input data of the ultraviolet irradiation image and the visible light irradiation image. The calculated ratio value is compared with the reference data stored in the data memory 62, and the closest reference data value is searched. In the data memory 62, the value of the ratio between the ultraviolet irradiation image data and the visible light irradiation image data by different types of oils or other phosphors is input in advance. The determination circuit 61 determines whether or not the substance in the detected area is oil and the type of oil based on the search result.

【００６６】実施例８．実施例８を図について説明す
る。図２１は本発明の実施例８による油漏れ検出装置を
示す構成図、図２２は試料の表面状態をを示す模式図、
図２３は照射光と平行な偏光方向の光によって得られる
検出画像の１水平走査線上の輝度分布、図２４は照射光
と直交する偏光成分の光によって得られる検出画像の１
水平走査線上の輝度分布、図２５は上記２画像の差分画
像の輝度分布を示す。図において、１００は波長フィル
ター、１０１は偏光子、１０２は検光子回転板、１０３
は照射光と偏光方向が平行となるよう設置された検光
子、１０４は照射光と偏光方向が直交するよう設置され
た検光子、１０５は回転板駆動回路、１０６、１０７は
ビデオメモリ、１０８は試料面上の油漏れ領域、１０９
は選択した受光波長における反射率がｒ10 の試料面の
領域、１１０は受光波長における反射率がｒ11 の試料
面の領域、１１１は受光波長における反射率がｒ12の試
料面の領域、１１２は得られた画像における１水平走査
線、１１３は照射光と平行な偏光成分の光によって得ら
れる画像中の１水平走査線１１２上の輝度分布、１１４
は照射光と直交する偏光成分の光によって得られる画像
中の１水平走査線１１２上の輝度分布、１１５は上記２
画像の差分画像中の１水平走査線１１２上の輝度分布を
示す。Example 8. Example 8 will be described with reference to the drawings. 21 is a configuration diagram showing an oil leak detection device according to an eighth embodiment of the present invention, FIG. 22 is a schematic diagram showing a surface state of a sample,
23 is a luminance distribution on one horizontal scanning line of a detection image obtained by light having a polarization direction parallel to the irradiation light, and FIG. 24 is one of a detection image obtained by light having a polarization component orthogonal to the irradiation light.
FIG. 25 shows the luminance distribution on the horizontal scanning line, and FIG. 25 shows the luminance distribution of the difference image between the two images. In the figure, 100 is a wavelength filter, 101 is a polarizer, 102 is an analyzer rotation plate, and 103.
Is an analyzer installed so that the irradiation light and the polarization direction are parallel to each other, 104 is an analyzer installed so that the irradiation light and the polarization direction are orthogonal to each other, 105 is a rotary plate drive circuit, 106 and 107 are video memories, and 108 is Oil leakage area on the sample surface, 109
Is a region of the sample surface having a reflectance of r 10 at the selected receiving wavelength, 110 is a region of the sample surface having a reflectance of r 11 at the receiving wavelength, 111 is a region of the sample surface having reflectance of r 12 at the receiving wavelength, 112 Is one horizontal scanning line in the obtained image, 113 is a luminance distribution on one horizontal scanning line 112 in the image obtained by light having a polarization component parallel to the irradiation light, 114
Is the luminance distribution on one horizontal scanning line 112 in the image obtained by the light of the polarization component orthogonal to the irradiation light, and 115 is the above 2
The luminance distribution on one horizontal scanning line 112 in the image difference image is shown.

【００６７】次に動作を説明する。光源１から出射した
光は波長フィルター１００によって紫外光領域が選択さ
れるとともに、偏光子１０１によって１方向のみの直線
偏光成分のみを通過させ、試料４に照射する。照射され
た試料４の像は、検光子１０３または１０４を通過して
波長フィルター５、撮像レンズ６を介してＩＴＶカメラ
７に結像される。波長フィルター５は、蛍光の発光スペ
クトルの中心波長に透過波長を一致させている。検光子
１０３は照射光と偏光方向が平行となるよう、検光子１
０４は照射光と偏光方向が直交するよう、それぞれ回転
板１０２に取り付けられており、回転板駆動回路１０５
によって、各検光子が交互に切り換えられて撮像レンズ
前に設置される。ＩＴＶカメラからの画像信号は、回転
板駆動回路１０５による２つの検光子１０３、１０４の
切り換えと同期して、ビデオメモリ１０６に照射光と平
行な偏光成分をもつ画像データを、１０７に照射光と直
交する偏光成分をもつ画像データをそれぞれ振り分けて
入力させる。Next, the operation will be described. The ultraviolet light region is selected by the wavelength filter 100 for the light emitted from the light source 1, and only the linearly polarized light component in only one direction is passed by the polarizer 101, and the sample 4 is irradiated with the light. The image of the irradiated sample 4 passes through the analyzer 103 or 104 and is formed on the ITV camera 7 via the wavelength filter 5 and the imaging lens 6. The wavelength filter 5 matches the transmission wavelength with the center wavelength of the fluorescence emission spectrum. The analyzer 103 is arranged so that the polarization direction is parallel to the irradiation light.
Reference numerals 04 are attached to the rotary plate 102 so that the irradiation light and the polarization direction are orthogonal to each other.
Thus, the analyzers are alternately switched and installed in front of the imaging lens. The image signal from the ITV camera is synchronized with the switching of the two analyzers 103 and 104 by the rotary plate drive circuit 105, and the image data having a polarization component parallel to the irradiation light is stored in the video memory 106, and is output to the irradiation light 107. Image data having orthogonal polarization components are distributed and input.

【００６８】一般に蛍光が照射光のもつ偏光特性をよく
保存することが知られている。一方、一般構造物などの
表面を構成する粗面からの散乱光は、照射光の偏光特性
を保持しない。このような偏光特性から、直線偏光特性
を有する光を照射すると、油から発生する蛍光は照射光
と平行な偏光成分を有する光の強度が強く、一方、油以
外の粗面などからの散乱光は照射光と平行，直交の２方
向の成分ともに有している。この結果、照射光と平行な
偏光成分の光によって得られる画像データの輝度分布は
１１３に示すように、油もれ部分１０８は蛍光を発して
輝度が高くなり、その他の領域では、それぞれの反射率
に対応した輝度が得られている。一方、照射光と直交す
る偏光成分による画像では、蛍光が検光子１０４によっ
てカットされることから、油もれ部分では輝度が低く、
その他の領域は、平行な偏光成分をもつ場合と同様に反
射率に対応した輝度分布１１４が得られる。ビデオメモ
リ１０６，１０７に蓄積された画像データを、引き算器
１１に出力し、両画像間で差分処理を施す。その結果、
油もれ部分が強調された輝度分布１１５を得る。このよ
うにして得られた差分画像を、ビデオ変換回路１２を通
して、モニター１３上に映し出す。It is generally known that fluorescence preserves the polarization characteristics of irradiation light well. On the other hand, the scattered light from the rough surface forming the surface of the general structure does not maintain the polarization property of the irradiation light. Due to such polarization characteristics, when light having linear polarization characteristics is irradiated, the fluorescence generated from oil has a high intensity of light having a polarization component parallel to the irradiation light, while on the other hand, scattered light from rough surfaces other than oil, etc. Has components in both directions parallel and orthogonal to the irradiation light. As a result, the brightness distribution of the image data obtained by the light of the polarization component parallel to the irradiation light is shown by 113, and the oil leakage portion 108 emits fluorescence to have a high brightness, and in other areas, the respective reflections occur. The brightness corresponding to the rate is obtained. On the other hand, in the image with the polarization component orthogonal to the irradiation light, the fluorescence is cut by the analyzer 104, so the brightness is low in the oil leakage portion,
In the other regions, the brightness distribution 114 corresponding to the reflectance is obtained as in the case of having parallel polarization components. The image data stored in the video memories 106 and 107 is output to the subtractor 11 to perform a difference process between the two images. as a result,
A brightness distribution 115 in which the oil leakage portion is emphasized is obtained. The difference image thus obtained is displayed on the monitor 13 through the video conversion circuit 12.

【００６９】実施例９．実施例９を図について説明す
る。図２６は本発明の実施例９による油漏れ検出装置を
示す構成図、図２７は受光部のステレオ撮像系を示す構
成図、図２８はステレオ撮像系で得られた画像の説明図
である。図において、１２０はステレオ撮像系、１２
１、１２２は検光子、１２３はビデオメモリ、１２４は
演算器、１２５、１２６はステレオ撮像系中の窓、１２
７、１２８、１２９、１３０はミラー、１３１はステレ
オミラーによって得られた全体画像、１３２、１３３は
全体画像の右，左の各半画像を示す。Example 9. Example 9 will be described with reference to the drawings. 26 is a configuration diagram showing an oil leak detection device according to a ninth embodiment of the present invention, FIG. 27 is a configuration diagram showing a stereo image pickup system of a light receiving unit, and FIG. 28 is an explanatory diagram of an image obtained by the stereo image pickup system. In the figure, 120 is a stereo image pickup system, and 12
1, 122 are analyzers, 123 is a video memory, 124 is a calculator, 125 and 126 are windows in a stereo imaging system, 12
Reference numerals 7, 128, 129, and 130 denote mirrors, 131 denotes a whole image obtained by a stereo mirror, and 132 and 133, right and left half images of the whole image.

【００７０】次に動作を説明する。光源１から出射した
光は波長フィルター１００によって紫外光領域が選択さ
れるとともに、偏光子１０１によって１方向のみの直線
偏光成分のみを取り出し、試料４に照射する。照射され
た試料４の像は、ステレオ撮像系１２０，波長フィルタ
ー５、撮像レンズ６を介してＩＴＶカメラ７上に結像さ
れる。ステレオ撮像系１２０は同一シーンを２つの窓１
２５、１２６から取り込み、窓１２５についてはミラー
１２７，１２８を介して、もう一つの窓１２６について
は，ミラー１２９、１３０を介して、それぞれ独立に同
一の撮像素子面上に結像する。この結果、図２８に示す
ように、窓１２５からみたシーンが画像１３１の左画面
１３３上に、窓１２６からみたシーンが画像１３１の右
画面１３２上に、それぞれ結像される。またステレオ撮
像系１２０の窓１２５に照射光と偏光方向が平行となる
よう検光子１２１を設置し、もう一方の窓１２６には、
照射光と偏光方向が直交するよう検光子１２２を設置す
る。Next, the operation will be described. The ultraviolet light region is selected by the wavelength filter 100 from the light emitted from the light source 1, and only the linearly polarized light component in only one direction is taken out by the polarizer 101 and is irradiated on the sample 4. The image of the irradiated sample 4 is formed on the ITV camera 7 via the stereo image pickup system 120, the wavelength filter 5, and the image pickup lens 6. The stereo image pickup system 120 displays the same scene in two windows 1.
25 and 126, and images are independently formed on the same image sensor surface through the mirrors 127 and 128 for the window 125 and the mirrors 129 and 130 for the other window 126. As a result, as shown in FIG. 28, the scene viewed through the window 125 is imaged on the left screen 133 of the image 131, and the scene viewed through the window 126 is imaged on the right screen 132 of the image 131. Further, the analyzer 121 is installed in the window 125 of the stereo imaging system 120 so that the irradiation light and the polarization direction are parallel to each other, and the other window 126 is
The analyzer 122 is installed so that the irradiation light and the polarization direction are orthogonal to each other.

【００７１】この結果、実施例８で示した照射光と偏光
特性が平行な成分による画像１１３が、左画面１３３に
表示され、照射光と偏光特性が直交する成分による画像
１１４が、右画面１３２上に表示される全体画像１３１
が得られる。このように、照射光と偏光方向が平行な光
によって得られる画像と垂直な光によって得られる画像
を同時に得た画像データがビデオメモリ１２３に蓄積さ
れる。ビデオメモリ１２３からの画像データは演算器１
２４に入力され、左右の対応する画素毎に差分処理を施
し、油もれ部分のみを強調した画像１１５を得ることが
できる。差分画像は、ビデオ変換回路１２を介して、モ
ニター１３上に表示される。As a result, the image 113 formed by the component in which the irradiation light and the polarization characteristics are parallel to each other is displayed on the left screen 133, and the image 114 formed by the component in which the irradiation light and the polarization characteristics are orthogonal to each other is displayed in the right screen 132. Overall image 131 displayed above
Is obtained. In this way, the image data obtained by simultaneously obtaining the image obtained by the light having the polarization direction parallel to the irradiation light and the image obtained by the light perpendicular to the irradiation light is accumulated in the video memory 123. The image data from the video memory 123 is the arithmetic unit 1
It is possible to obtain the image 115 in which only the oil spill portion is emphasized by being subjected to the difference processing for each of the corresponding pixels input to the right and left 24. The difference image is displayed on the monitor 13 via the video conversion circuit 12.

【００７２】実施例１０．実施例１０を図について説明
する。図２９は本発明の実施例１０による油漏れ検出装
置を示す構成図である。図において、１４０はビームス
プリッター、１４１、１４２が撮像素子、１４３、１４
４はビデオメモリを示す。Example 10. Example 10 will be described with reference to the drawings. FIG. 29 is a configuration diagram showing an oil leak detection device according to a tenth embodiment of the present invention. In the figure, 140 is a beam splitter, 141 and 142 are image pickup devices, 143 and 14
Reference numeral 4 represents a video memory.

【００７３】次に動作について説明する。光源１から出
射した光は波長フィルター１００によって紫外光領域が
選択されるとともに、偏光子１０１によって１方向のみ
の直線偏光成分のみを取り出し、試料４に照射する。受
光部においては、撮像レンズ６の後方にビームスプリッ
ターを設置し、撮像レンズに入射した光を２つに分岐す
る。分岐された光はそれぞれ検光子１２１，１２２を通
過し、撮像素子１４１、１４２上に結像される。このと
き、検光子１２１を偏光特性が照射光と平行となるよう
設置し、検光子１２２を偏光特性が照射光と直交するよ
う設置する。この結果、撮像素子１４１上には、照射光
と偏光方向が平行な成分の光による試料４の画像１１３
が、撮像素子１４２上には、照射光と偏光方向が直光す
る成分の光による試料４の画像１１４が結像される。撮
像素子１４１、１４２それぞれからの画像データはビデ
オメモリ１４３，１４４に入力され、引き算器１１によ
って、２つの画像の差分をとる。その結果、油部分が強
調された差分画像が得られ、ビデオ変換回路１２を介し
て、モニター１３上に表示される。Next, the operation will be described. The ultraviolet light region is selected by the wavelength filter 100 from the light emitted from the light source 1, and only the linearly polarized light component in only one direction is taken out by the polarizer 101 and is irradiated on the sample 4. In the light receiving section, a beam splitter is installed behind the image pickup lens 6 to split the light incident on the image pickup lens into two. The branched light passes through the analyzers 121 and 122, respectively, and is imaged on the image pickup devices 141 and 142. At this time, the analyzer 121 is installed so that the polarization property is parallel to the irradiation light, and the analyzer 122 is installed so that the polarization property is orthogonal to the irradiation light. As a result, on the image sensor 141, the image 113 of the sample 4 formed by the light having a component whose polarization direction is parallel to the irradiation light.
However, the image 114 of the sample 4 is formed on the image sensor 142 by the light having a component in which the irradiation light and the polarization direction are direct light. The image data from each of the image pickup devices 141 and 142 is input to the video memories 143 and 144, and the subtracter 11 takes the difference between the two images. As a result, a difference image in which the oil portion is emphasized is obtained and displayed on the monitor 13 via the video conversion circuit 12.

【００７４】実施例１１．実施例１１を図について説明
する。図３０は本発明の実施例１１による油漏れ検出装
置を示す構成図である。図において、２は紫外光を選択
する波長フィルター、２−１は可視光を選択する波長フ
ィルター、１５０は窓、１５１は画像データを各ビデオ
メモリに振り分けるための画像データ選択回路、１５２
は可視画像データを蓄積するビデオメモリ、１５３は画
像を重ね合わせる画像合成回路を示す。Example 11. Example 11 will be described with reference to the drawings. FIG. 30 is a configuration diagram showing an oil leak detection device according to an eleventh embodiment of the present invention. In the figure, 2 is a wavelength filter for selecting ultraviolet light, 2-1 is a wavelength filter for selecting visible light, 150 is a window, 151 is an image data selection circuit for allocating image data to each video memory, 152
Is a video memory for storing visible image data, and 153 is an image synthesizing circuit for superimposing images.

【００７５】次に動作について説明する。実施例１と同
様に、光源１から出射された光を、波長フィルター２，
２−１を切り換えて、紫外光と可視光を交互に照射する
とともに、波長フィルター５によって、蛍光と吸光とを
同時に観測できる波長を選択し、ＩＴＶカメラ７で観測
することにより、蛍光画像と吸光画像を交互に得ること
ができる。これらの画像データを波長の切り換えに同期
して、ビデオメモリ９，１０に入力する。この画像デー
タをもとに、引き算器１１によって蛍光画像と吸光画像
の差分をとることにより、油もれ部分を強調させた差分
画像をえる。Next, the operation will be described. Similar to the first embodiment, the light emitted from the light source 1 is converted into the wavelength filter 2,
By switching 2-1 and alternately irradiating ultraviolet light and visible light, the wavelength filter 5 selects a wavelength at which fluorescence and absorption can be simultaneously observed, and the ITV camera 7 observes the fluorescence image and the absorption of light. Images can be acquired alternately. These image data are input to the video memories 9 and 10 in synchronization with the wavelength switching. Based on this image data, the subtracter 11 calculates the difference between the fluorescence image and the absorption image to obtain a difference image in which the oil leak portion is emphasized.

【００７６】次に照射部において、波長フィルター２−
１で可視光を選択するとともに受光部では窓１５０を選
択することによって、ＩＴＶカメラで試料面の可視画像
を観測する。得られた画像データは、選択回路１５１を
経由してビデオメモリ１５２に入力する。ビデオメモリ
からの可視画像データは、画像合成回路１５３によっ
て、差分画像と重ね合わせられ、ビデオ変換回路１２を
介して、モニター１３上に表示される。Next, in the irradiation section, the wavelength filter 2-
The visible image of the sample surface is observed by the ITV camera by selecting the visible light at 1 and the window 150 at the light receiving portion. The obtained image data is input to the video memory 152 via the selection circuit 151. The visible image data from the video memory is superimposed on the difference image by the image synthesizing circuit 153, and is displayed on the monitor 13 via the video converting circuit 12.

【００７７】実施例１２．実施例１２を図について説明
する。図３１は本発明の実施例１２による油漏れ検出装
置を示す構成図である。図３２は油の光透過率の波長分
布を示すスペクトル図、図３３は試料表面の状態を示す
模式図、図３４は油の光透過率の低い波長を選択した際
に得られる画像中の１水平走査線上の輝度分布、図３５
は油の光透過率の高い波長を選択した際に得られる画像
中の１水平走査線上の輝度分布、図３６は上記２画像の
差分画像中の１水平走査線上の輝度分布を示す。図にお
いて１６０，１６１は波長フィルター、１６２は透過率
曲線、１６３は透過率の低い波長λ1 、１６４は油の透
過率の高い波長λ2 、１６５は表面の油もれ部分、１６
６は油以外のその他の面、１６７は水平走査線、１６８
は波長λ1 における水平走査線１６７上の輝度分布、１
６９は波長λ2 における水平走査線１６７上の輝度分
布、１７０は上記２波長における画像の差分画像中の水
平走査線１６７上の輝度分布を示す。Example 12 Example 12 will be described with reference to the drawings. 31 is a configuration diagram showing an oil leak detection apparatus according to a twelfth embodiment of the present invention. FIG. 32 is a spectrum diagram showing the wavelength distribution of the light transmittance of oil, FIG. 33 is a schematic diagram showing the state of the surface of the sample, and FIG. 34 is 1 in the image obtained when a wavelength having a low light transmittance of oil is selected. Luminance distribution on horizontal scanning line, FIG.
Shows the luminance distribution on one horizontal scanning line in the image obtained when a wavelength having a high light transmittance of oil is selected, and FIG. 36 shows the luminance distribution on one horizontal scanning line in the difference image between the two images. In the figure, 160 and 161 are wavelength filters, 162 is a transmittance curve, 163 is a wavelength λ 1 having a low transmittance, 164 is a wavelength λ 2 having a high oil transmittance, 165 is an oil leak portion on the surface, 16
6 is a surface other than oil, 167 is a horizontal scanning line, 168
Is the luminance distribution on the horizontal scanning line 167 at the wavelength λ 1 , 1
Reference numeral 69 denotes a luminance distribution on the horizontal scanning line 167 at the wavelength λ 2 , and 170 denotes a luminance distribution on the horizontal scanning line 167 in the difference image of the images at the above two wavelengths.

【００７８】次に動作について説明する。光源１から出
射される光のうち、波長フィルター２−１によって紫外
域から可視領域にわたって選択され、試料４上に照射さ
れる。油は該波長域において、曲線１６２に示すような
透過率特性を有している。このため、透過率の低い波長
λ1 で観測すると、あぶらもれ領域１６５では輝度が低
くなり、水平走査線１６７上の輝度分布は曲線１６８と
なる。一方、透過率の高い波長λ2 で観測すると、油も
れ領域も油以外の他の領域と同様に変化し、試料面の反
射率に対応した輝度分布１６９が得られる。Next, the operation will be described. The light emitted from the light source 1 is selected by the wavelength filter 2-1 from the ultraviolet region to the visible region, and is irradiated onto the sample 4. The oil has a transmittance characteristic as shown by the curve 162 in this wavelength range. Therefore, when observed at the wavelength λ 1 having a low transmittance, the brightness is low in the stray area 165, and the brightness distribution on the horizontal scanning line 167 becomes a curve 168. On the other hand, when observed at the wavelength λ 2 having a high transmittance, the oil leakage region changes similarly to the regions other than the oil, and the luminance distribution 169 corresponding to the reflectance of the sample surface is obtained.

【００７９】受光部において撮像レンズ６の前方にステ
レオ撮像系１２０を設置することにより、実施例９で説
明したように、２つの窓でみた同一シーンを、それぞれ
独立に同一の撮像素子面上に結像することが可能とな
る。ステレオ撮像系の２つの窓の一方に波長λ1 １６３
を選択する波長フィルター１６１を設置し、他方の窓に
波長λ2 を選択する波長フィルター１６０を設置する。
この結果、ＩＴＶカメラ７によって得られた画像中で
は、左画面に輝度分布１６８をもつ画像が、右画面に輝
度分布１６９をもつ画像がそれぞれ得られる。By installing the stereo image pickup system 120 in front of the image pickup lens 6 in the light receiving portion, as described in the ninth embodiment, the same scenes seen by the two windows are independently displayed on the same image pickup element surface. It becomes possible to form an image. The wavelength λ 1 163 is displayed on one of the two windows of the stereo imaging system.
The wavelength filter 161 for selecting is installed, and the wavelength filter 160 for selecting the wavelength λ 2 is installed in the other window.
As a result, among the images obtained by the ITV camera 7, an image having a luminance distribution 168 on the left screen and an image having a luminance distribution 169 on the right screen are obtained.

【００８０】ＩＴＶカメラ７からの画像データはビデオ
メモリ１２３に入力され、演算器１２４によって左右の
画像間で差分処理を行う。その結果、油もれ部分が強調
された輝度分布１７０を有する差分画像を得ることがで
き、ビデオ変換回路１２を介して、ここでは紫外域から
可視域にかけての波長帯で説明したが、油は赤外域にお
いても吸光特性を有しており、赤外領域を利用しても同
様の効果が得られモニター１３上に表示される。The image data from the ITV camera 7 is input to the video memory 123, and the arithmetic unit 124 performs difference processing between the left and right images. As a result, it is possible to obtain a difference image having a brightness distribution 170 in which the oil leak portion is emphasized, and the description has been given here in the wavelength band from the ultraviolet region to the visible region via the video conversion circuit 12, but the oil is It also has an absorption characteristic in the infrared region, and the same effect is obtained even when the infrared region is used, and the same effect is displayed on the monitor 13.

【００８１】実施例１３．実施例１３を図について説明
する。図３７は本発明の実施例１３による油漏れ検出装
置を示す構成図である。Example 13 Example 13 will be described with reference to the drawings. FIG. 37 is a configuration diagram showing an oil leak detection device according to a thirteenth embodiment of the present invention.

【００８２】次に動作について説明する。光源１から出
射される光のうち、波長フィルター２−１によって可視
光が選択され、試料４上に照射される。受光部において
は、撮像レンズ６の後方にビームスプリッターを設置
し、撮像レンズに入射した光を２つに分岐する。分岐さ
れた光はそれぞれ波長フィルター１６０、１６１を通過
し、撮像素子１４１、１４２上に結像される。このと
き、波長フィルターは油の光透過率の低い波長λ1 １６
３を選択し、波長フィルター１６０は油の光透過率の高
い波長λ2 １６４を選択する。この結果、撮像素子１４
１，１４２には、それぞれ波長λ1 ，波長λ2 を選択し
た画像１６８，１６９が結像される。得られた画像デー
タは、ビデオメモリ１４３，１４４に入力され、引き算
器１１によって両画像の差分処理が施され、油もれ部分
が強調された画像を得ることができる。得られた画像
は、ビデオ変換回路１２を介して、モニター１３上に表
示される。Next, the operation will be described. Of the light emitted from the light source 1, visible light is selected by the wavelength filter 2-1 and irradiated on the sample 4. In the light receiving section, a beam splitter is installed behind the image pickup lens 6 to split the light incident on the image pickup lens into two. The branched light passes through the wavelength filters 160 and 161, respectively, and is imaged on the image pickup devices 141 and 142. At this time, the wavelength filter has a wavelength λ 1 16 where the light transmittance of oil is low.
3 is selected, and the wavelength filter 160 selects the wavelength λ 2 164 having a high light transmittance of oil. As a result, the image sensor 14
Images 168 and 169 in which the wavelength λ 1 and the wavelength λ 2 are selected are formed on the images 1 and 142, respectively. The obtained image data is input to the video memories 143 and 144, and the subtracter 11 performs a difference process on the two images to obtain an image in which the oil leak portion is emphasized. The obtained image is displayed on the monitor 13 via the video conversion circuit 12.

【００８３】[0083]

【発明の効果】本発明の請求項１記載の油漏れ検出装置
は、蛍光現象と吸光現象を同時に利用することにより、
油付着面以外の反射率の影響を除去し、通常照明下にお
ける油もれ検出を可能にする効果がある。The oil leak detection device according to claim 1 of the present invention uses the fluorescence phenomenon and the light absorption phenomenon at the same time,
There is an effect that the influence of the reflectance other than the oil-adhered surface is removed, and the oil leak can be detected under normal illumination.

【００８４】また、本発明の請求項２記載の油漏れ検出
装置は、蛍光画像と吸光画像の演算係数を自動で決定す
るよう構成することにより油もれの自動検出が可能とな
る効果がある。Further, the oil leakage detecting apparatus according to the second aspect of the present invention is configured to automatically determine the calculation coefficient of the fluorescence image and the light absorption image, and thus there is an effect that the oil leak can be automatically detected. .

【００８５】また、本発明の請求項３記載の油漏れ検出
装置は、吸光画像の取り込みにおけるレンズ絞り値を自
動決定できるよう光学系を構成したので、光学調整が不
要となる効果がある。Further, in the oil leakage detection device according to the third aspect of the present invention, the optical system is constructed so that the lens aperture value for capturing the absorption image can be automatically determined, so that there is an effect that optical adjustment is unnecessary.

【００８６】また、本発明の請求項４記載の油漏れ検出
装置は、差分結果と予め記憶しておいた正常時のデータ
との比較をして異常判定するよう、処理部を構成したの
で、安定した油もれ検出が可能である。Further, in the oil leakage detection device according to the fourth aspect of the present invention, since the processing unit is configured to determine the abnormality by comparing the difference result with the previously stored normal time data, Stable oil leak detection is possible.

【００８７】また、本発明の請求項５記載の油漏れ検出
装置は、比較する正常データを、時間的に更新できるよ
う処理部を構成したので、経時変化する要因の影響を受
けない安定したもれ検出が可能である。Further, in the oil leak detecting apparatus according to the fifth aspect of the present invention, since the processing unit is configured so that the normal data to be compared can be updated with time, it is stable without being affected by factors that change with time. This can be detected.

【００８８】また、本発明の請求項６記載の油漏れ検出
装置は、蛍光画像で油もれ位置を検出し、吸光画像で油
もれ量を定量化するよう装置を構成したので、もれ位置
と漏れの定量化を同時に実現できる効果がある。Further, the oil leakage detection apparatus according to claim 6 of the present invention is configured so that the oil leakage position is detected by the fluorescence image and the oil leakage amount is quantified by the light absorption image. There is an effect that the position and leakage can be quantified at the same time.

【００８９】また、本発明の請求項７記載の油漏れ検出
装置は、蛍光画像と吸光画像の出方の比較により、対象
油かどうかの判定や油の特定が可能となる。Further, the oil leak detection apparatus according to the seventh aspect of the present invention makes it possible to determine whether the oil is the target oil or specify the oil by comparing the appearances of the fluorescence image and the absorption image.

【００９０】また、本発明の請求項８記載の油漏れ検出
装置は、蛍光と表面散乱光との偏光特性の違いを利用す
ることにより、検出信号のＳ／Ｎを向上し、周辺付着面
の影響を除去する効果がある。Further, the oil leakage detection device according to claim 8 of the present invention improves the S / N of the detection signal by utilizing the difference in the polarization characteristics of the fluorescence and the surface scattered light, and improves the S / N of the peripheral adhesion surface. It has the effect of removing the influence.

【００９１】また、本発明の請求項９及び１０記載の油
漏れ検出装置は、偏光方向の異なる画像が同時に得られ
るよう、画像入力部を構成したので、処理の高速化が図
れる効果がある。Further, in the oil leak detection device according to the ninth and tenth aspects of the present invention, the image input section is configured so that images having different polarization directions can be obtained at the same time, so that the processing speed can be increased.

【００９２】また、本発明の請求項１１記載の油漏れ検
出装置は、検出結果と可視画像とを重畳させることによ
り、もれ箇所の明確化が図れる効果がある。Further, the oil leak detecting apparatus according to the eleventh aspect of the present invention has the effect of clarifying the leaked portion by superimposing the detection result and the visible image.

【００９３】また、本発明の請求項１２及び１３記載の
油漏れ検出装置は、波長の異なる画像を同時に得られる
よう、画像入力部を構成したので、処理の高速化が図れ
る効果がある。Further, in the oil leakage detection device according to the twelfth and thirteenth aspects of the present invention, the image input section is configured so that images having different wavelengths can be obtained at the same time, so that the processing speed can be increased.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】 本発明の実施例１による油漏れ検出装置を示
す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing an oil leak detection device according to a first embodiment of the present invention.

【図２】 油の蛍光スペクトルと吸光スペクトルを示す
スペクトル図である。FIG. 2 is a spectrum diagram showing a fluorescence spectrum and an absorption spectrum of oil.

【図３】 紫外照射光スペクトルと通常照明光スペクト
ル及び受光系において選択した波長を示すスペクトル図
である。FIG. 3 is a spectrum diagram showing an ultraviolet irradiation light spectrum, a normal illumination light spectrum, and a wavelength selected in a light receiving system.

【図４】 蛍光発生時における蛍光スペクトルと、通常
照明光スペクトル及び受光系において選択した波長を示
すスペクトル図である。FIG. 4 is a spectrum diagram showing a fluorescence spectrum at the time of fluorescence generation, a normal illumination light spectrum, and a wavelength selected in a light receiving system.

【図５】 紫外光照射時に得られる画像の一例を示す図
である。FIG. 5 is a diagram showing an example of an image obtained during irradiation with ultraviolet light.

【図６】 紫外光照射時に得られる画像中の１水平走査
線上の輝度分布である。FIG. 6 is a luminance distribution on one horizontal scanning line in an image obtained by irradiation with ultraviolet light.

【図７】 可視照明光スペクトルと通常照明光スペクト
ル及び受光系において選択した波長を示すスペクトル図
である。FIG. 7 is a spectrum diagram showing a visible illumination light spectrum, a normal illumination light spectrum, and a wavelength selected in a light receiving system.

【図８】 可視光照射時に得られる画像の一例を示す図
である。FIG. 8 is a diagram showing an example of an image obtained during visible light irradiation.

【図９】 可視光照射時に得られる画像の１水平走査線
上の輝度分布である。FIG. 9 is a luminance distribution on one horizontal scanning line of an image obtained by irradiation with visible light.

【図１０】 差分処理を施して得られた水平走査線上の
輝度分布である。FIG. 10 is a luminance distribution on a horizontal scanning line obtained by performing difference processing.

【図１１】 本発明の実施例２による油漏れ検出装置を
示す構成図である。FIG. 11 is a configuration diagram showing an oil leak detection device according to a second embodiment of the present invention.

【図１２】 画像中のモニター点を示す模式図である。FIG. 12 is a schematic diagram showing monitor points in an image.

【図１３】 紫外光照射時に得られた画像の１水平走査
線上の輝度分布である。FIG. 13 is a luminance distribution on one horizontal scanning line of an image obtained by irradiation with ultraviolet light.

【図１４】 可視光照射時に得られた画像の１水平走査
線上の輝度分布である。FIG. 14 is a luminance distribution on one horizontal scanning line of an image obtained by irradiation with visible light.

【図１５】 紫外光照射，可視光照射時の画像の差分処
理を施して得られた輝度分布である。FIG. 15 is a luminance distribution obtained by performing difference processing of images during irradiation with ultraviolet light and irradiation with visible light.

【図１６】 本発明の実施例３による油漏れ検出装置を
示す構成図である。FIG. 16 is a configuration diagram showing an oil leak detection device according to a third embodiment of the present invention.

【図１７】 本発明の実施例４による油漏れ検出装置を
示す構成図である。FIG. 17 is a configuration diagram showing an oil leak detection device according to a fourth embodiment of the present invention.

【図１８】 本発明の実施例５による油漏れ検出装置を
示す構成図である。FIG. 18 is a configuration diagram showing an oil leak detection device according to a fifth embodiment of the present invention.

【図１９】 本発明の実施例６による油漏れ検出装置を
示す構成図である。FIG. 19 is a configuration diagram showing an oil leak detection device according to a sixth embodiment of the present invention.

【図２０】 本発明の実施例７による油漏れ検出装置を
示す構成図である。FIG. 20 is a configuration diagram showing an oil leak detection device according to a seventh embodiment of the present invention.

【図２１】 本発明の実施例８による油漏れ検出装置を
示す構成図である。FIG. 21 is a configuration diagram showing an oil leak detection device according to an eighth embodiment of the present invention.

【図２２】 試料の表面状態を示す模式図である。FIG. 22 is a schematic diagram showing a surface state of a sample.

【図２３】 照射光と平行な偏光方向の光によって得ら
れる検出画像の１水平走査線上の輝度分布である。FIG. 23 is a luminance distribution on one horizontal scanning line of a detection image obtained by light having a polarization direction parallel to the irradiation light.

【図２４】 照射光と直交する偏光成分の光によって得
られる検出画像の１水平走査線上の輝度分布である。FIG. 24 is a luminance distribution on one horizontal scanning line of a detection image obtained by light having a polarization component orthogonal to the irradiation light.

【図２５】 ２画像の差分画像の輝度分布である。FIG. 25 is a luminance distribution of a difference image of two images.

【図２６】 本発明の実施例９による油漏れ検出装置を
示す構成図である。FIG. 26 is a configuration diagram showing an oil leak detection device according to a ninth embodiment of the present invention.

【図２７】 受光部のステレオ撮像系を示す構成図であ
る。FIG. 27 is a configuration diagram showing a stereo imaging system of a light receiving unit.

【図２８】 ステレオ撮像系で得られた画像である。FIG. 28 is an image obtained by a stereo imaging system.

【図２９】 本発明の実施例１０による油漏れ検出装置
を示す構成図である。FIG. 29 is a configuration diagram showing an oil leak detection device according to a tenth embodiment of the present invention.

【図３０】 本発明の実施例１１による油漏れ検出装置
を示す構成図である。FIG. 30 is a configuration diagram showing an oil leak detection device according to an eleventh embodiment of the present invention.

【図３１】 本発明の実施例１２による油漏れ検出装置
を示す構成図である。FIG. 31 is a configuration diagram showing an oil leak detection device according to a twelfth embodiment of the present invention.

【図３２】 油の光透過率の波長分布を示すスペクトル
図である。FIG. 32 is a spectrum diagram showing a wavelength distribution of light transmittance of oil.

【図３３】 試料表面の状態を示す模式図である。FIG. 33 is a schematic diagram showing the state of the sample surface.

【図３４】 油の光透過率の低い波長を選択した際に得
られる画像中の１水平走査線上の輝度分布である。FIG. 34 is a luminance distribution on one horizontal scanning line in an image obtained when a wavelength having a low light transmittance of oil is selected.

【図３５】 油の光透過率の高い波長を選択した際に得
られる画像中の１水平走査線上の輝度分布である。FIG. 35 is a luminance distribution on one horizontal scanning line in an image obtained when a wavelength having a high light transmittance of oil is selected.

【図３６】 ２画像の差分画像中の１水平走査線上の輝
度分布である。FIG. 36 is a luminance distribution on one horizontal scanning line in a difference image of two images.

【図３７】 本発明の実施例１３による油漏れ検出装置
を示す構成図である。FIG. 37 is a configuration diagram showing an oil leak detection device according to a thirteenth embodiment of the present invention.

【図３８】 従来の液漏れ検出装置を示す構成図であ
る。FIG. 38 is a configuration diagram showing a conventional liquid leakage detection device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 照射光源、２ 波長選択用フィルター、３ フィル
ター切り替え機構、４試料面、５ 波長選択用フィルタ
ー、６ 撮像レンズ、７ ＩＴＶカメラ、８信号切り替
え器、９ ビデオメモリ、１０ ビデオメモリ、１１
演算回路、１２ ビデオ信号変換回路、１３ モニタ
ー、４０ 画像データ抽出回路、４１画像データ抽出回
路、４２ 係数算出回路、４３ かけ算回路、４９ 絞
り調整機構、５０ データベース、５１ 判定回路、５
２ 画像データ取り込み回路、５３ 参照データ設定回
路、５４ 漏れ領域検出回路、５５ 測定画像データ抽
出回路、５６ 参照画像データ抽出回路、５７ 油膜厚
算出回路、５８ 紫外照射画像データ抽出回路、５９
可視光照射画像データ抽出回路、６０ 演算回路６１
判定回路、６２ データメモリ、１００ 波長フィルタ
ー、１０１ 偏光子、１０２ 検光子回転板、１０３
検光子、１０４ 検光子、１０５ 回転板駆動回路、１
０６ ビデオメモリ、１０７ ビデオメモリ、１２０
ステレオ撮像系、１２１ 検光子、１２２ 検光子、１
２３ ビデオメモリ、１２４ 演算器、１２５，１２６
ステレオ撮像系中の窓、１２７，１２８，１２９，１
３０ ミラー、１４０ ビームスプリッター、１４１，
１４２ 撮像素子、１４３，１４４ ビデオメモリ、１
５０ 窓、１５１ 画像データ選択回路、１５２ビデオ
メモリ、１５３ 画像合成回路、１６０，１６１ 波長
フィルター。1 irradiation light source, 2 wavelength selection filter, 3 filter switching mechanism, 4 sample surface, 5 wavelength selection filter, 6 imaging lens, 7 ITV camera, 8 signal switch, 9 video memory, 10 video memory, 11
Arithmetic circuit, 12 video signal conversion circuit, 13 monitor, 40 image data extraction circuit, 41 image data extraction circuit, 42 coefficient calculation circuit, 43 multiplication circuit, 49 aperture adjustment mechanism, 50 database, 51 determination circuit, 5
2 image data capturing circuit, 53 reference data setting circuit, 54 leak area detecting circuit, 55 measurement image data extracting circuit, 56 reference image data extracting circuit, 57 oil film thickness calculating circuit, 58 ultraviolet irradiation image data extracting circuit, 59
Visible light irradiation image data extraction circuit, 60 arithmetic circuit 61
Judgment circuit, 62 data memory, 100 wavelength filter, 101 polarizer, 102 analyzer rotating plate, 103
Analyzer, 104 Analyzer, 105 Rotating plate drive circuit, 1
06 video memory, 107 video memory, 120
Stereo imaging system, 121 analyzer, 122 analyzer, 1
23 video memory, 124 arithmetic unit, 125, 126
Windows in stereo imaging system 127,128,129,1
30 mirrors, 140 beam splitters, 141,
142 image sensor, 143, 144 video memory, 1
50 windows, 151 image data selection circuit, 152 video memory, 153 image composition circuit, 160, 161 wavelength filter.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｎ 21/84 Ｚ ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI technical display location G01N 21/84 Z

Claims (13)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 紫外光と可視光を交互に照射する照明手
段、所定の波長の光を選択する波長選択手段を備えた撮
像手段、紫外光照射時と可視光照射時に得られるそれぞ
れの画像のデータを蓄積する画像データ蓄積手段、両画
像のデータを比較するデータ演算手段を備えることを特
徴とする油漏れ検出装置。1. An illuminating means for alternately irradiating ultraviolet light and visible light, an imaging means equipped with a wavelength selecting means for selecting light of a predetermined wavelength, and an image capturing means for irradiating ultraviolet light and visible light. An oil leak detection device comprising: an image data storage unit for storing data; and a data calculation unit for comparing data of both images. 【請求項２】 紫外光と可視光を交互に照射する照明手
段、所定の波長の光を選択する波長選択手段を備えた撮
像手段、紫外光照射時と可視光照射時に得られる画像の
データを蓄積する画像データ蓄積手段、画像の平均輝度
レベルを算出するレベル算出手段、両画像の輝度レベル
を比較し演算係数を算出する係数算出手段、得られた係
数値によって画像データの輝度レベルの補正を行う輝度
補正手段、両画像のデータを比較するデータ演算手段を
備えることを特徴とする油漏れ検出装置。2. Illuminating means for alternately irradiating ultraviolet light and visible light, image pickup means equipped with a wavelength selecting means for selecting light of a predetermined wavelength, and image data obtained during ultraviolet light irradiation and visible light irradiation. Image data accumulating means for accumulating, level calculating means for calculating an average luminance level of images, coefficient calculating means for comparing the luminance levels of both images and calculating a calculation coefficient, and correcting the luminance level of image data by the obtained coefficient values. An oil leak detection device, comprising: a brightness correction means for performing the operation; and a data operation means for comparing the data of both images. 【請求項３】 紫外光と可視光を交互に照射する照明手
段、所定の波長の光を選択する波長選択手段を備えた撮
像手段、紫外光照射時と可視光照射時に得られる画像の
データを蓄積する画像データ蓄積手段、画像の平均輝度
レベルを算出するレベル算出手段、両画像の輝度レベル
を比較し演算係数を算出する係数算出手段、得られた係
数値によって撮像用レンズの絞り値を変化させる絞り可
変手段、両画像のデータを比較する演算手段を備えるこ
とを特徴とする油漏れ検出装置。3. Illuminating means for alternately irradiating ultraviolet light and visible light, image pickup means provided with a wavelength selecting means for selecting light of a predetermined wavelength, and image data obtained during ultraviolet light irradiation and visible light irradiation. Image data accumulating means for accumulating, level calculating means for calculating an average luminance level of images, coefficient calculating means for comparing the luminance levels of both images and calculating a calculation coefficient, and the aperture value of the imaging lens is changed according to the obtained coefficient values. An oil leak detection device, comprising: an aperture variable means for controlling and an arithmetic means for comparing data of both images. 【請求項４】 紫外光と可視光を交互に照射する照明手
段、所定の波長の光を選択する波長選択手段を備えた撮
像手段、紫外光照射時と可視光照射時に得られる画像の
データを蓄積する画像データ蓄積手段、該画像のデータ
を比較し演算する比較演算手段、正常時の比較演算画像
データを蓄積する正常画像データ蓄積手段、測定によっ
て得られた比較演算画像データと正常時の比較演算画像
データとを比較するデータ判定回路を備えることを特徴
とする油漏れ検出装置。4. Illuminating means for alternately irradiating ultraviolet light and visible light, image pickup means provided with a wavelength selecting means for selecting light of a predetermined wavelength, image data obtained during ultraviolet light irradiation and visible light irradiation. Image data storage means for storing, comparison calculation means for comparing and calculating data of the image, normal image data storage means for storing comparison calculation image data in normal time, comparison calculation image data obtained by measurement and comparison in normal time An oil leak detection device comprising a data determination circuit for comparing the calculated image data. 【請求項５】 紫外光と可視光を交互に照射する照明手
段、所定の波長の光を選択する波長選択手段を備えた撮
像手段、紫外光照射時と可視光照射時に得られる画像の
データを蓄積する画像データ蓄積手段、両画像のデータ
を比較演算する比較演算手段、比較演算された画像デー
タをある時間間隔毎に抽出しデータを更新する参照画像
データ蓄積手段、測定によって得られた比較演算画像デ
ータと正常時の比較演算画像データとを比較するデータ
判定回路を備えることを特徴とする油漏れ検出装置。5. Illuminating means for alternately irradiating ultraviolet light and visible light, image pickup means equipped with a wavelength selecting means for selecting light of a predetermined wavelength, and image data obtained during ultraviolet light irradiation and visible light irradiation. Image data accumulating means for accumulating, comparison calculating means for comparing and calculating the data of both images, reference image data accumulating means for extracting the image data subjected to the comparison operation at certain time intervals and updating the data, comparison operation obtained by measurement An oil leak detection device comprising a data determination circuit for comparing image data and comparison operation image data in a normal state. 【請求項６】 紫外光と可視光を交互に照射する照明手
段、所定の波長の光を選択する波長選択手段を備えた撮
像手段、紫外光照射時と可視光照射時に得られる画像の
データを蓄積する画像データ蓄積手段、両画像のデータ
を比較演算する比較演算手段、比較演算画像から油漏れ
部分を検出する漏れ部分検出手段、漏れ部分の吸光画像
データを抽出する画像データ抽出手段、抽出した吸光画
像データから漏れ量を算出する漏れ量演算手段を備える
ことを特徴とする油漏れ検出装置。6. Illuminating means for alternately irradiating ultraviolet light and visible light, image pickup means equipped with a wavelength selecting means for selecting light of a predetermined wavelength, and image data obtained during ultraviolet light irradiation and visible light irradiation. Image data accumulating means for accumulating, comparison calculating means for comparing and calculating data of both images, leak portion detecting means for detecting an oil leak portion from the comparison operation image, image data extracting means for extracting absorption image data of the leak portion, extracted An oil leak detection device comprising a leak amount calculation means for calculating a leak amount from absorption image data. 【請求項７】 紫外光と可視光を交互に照射する照明手
段、所定の波長の光を選択する波長選択手段を備えた撮
像手段、紫外光照射時と可視光照射時に得られる画像の
データを蓄積する画像データ蓄積手段、両画像のデータ
を比較する比較演算処理手段、比較演算画像から油漏れ
部分を検出する漏れ部分検出手段、画像中の漏れ部分の
データを抽出する画像データ抽出手段、抽出した画像の
データの比を演算する演算手段、得られた演算結果と予
め蓄えておいたデータと比較し、油の特定を行う判定手
段を備えることを特徴とする油漏れ検出装置。7. Illuminating means for alternately irradiating ultraviolet light and visible light, image pickup means provided with a wavelength selecting means for selecting light of a predetermined wavelength, and image data obtained during ultraviolet light irradiation and visible light irradiation. Image data accumulating means for accumulating, comparison calculation processing means for comparing data of both images, leak portion detecting means for detecting oil leak portion from comparison calculation image, image data extracting means for extracting data of leak portion in image, extraction An oil leak detection apparatus comprising: a calculation unit that calculates the ratio of the data of the image, and a determination unit that identifies the oil by comparing the obtained calculation result with the data stored in advance. 【請求項８】 直線偏光特性を有する紫外光を照射する
照明手段、相直交する偏光方向を有する２枚の検光子を
交互に切り替える機能を有する撮像手段、偏光方向の直
交する２つの画像データを蓄積する画像データ蓄積手
段、両画像のデータを比較演算する比較演算処理手段を
備えることを特徴とする油漏れ検出装置。8. An illumination means for irradiating ultraviolet light having a linear polarization characteristic, an image pickup means having a function of alternately switching two analyzers having polarization directions orthogonal to each other, and two image data having polarization directions orthogonal to each other. An oil leak detection device comprising: image data storage means for storing data; and comparison calculation processing means for comparing and calculating data of both images. 【請求項９】 直線偏光特性を有する紫外光を照射する
照明手段、同一シーンを２つの窓を介して独立に撮像素
子面上に結像させる機能を有するとともに各窓に相直交
する偏光方向の検光子を取り付けた光学系を設置した撮
像手段、偏光方向の直交する２つの画像データを蓄積す
る画像データ蓄積手段、両画像のデータを比較演算する
比較演算処理手段を備えることを特徴とする油漏れ検出
装置。9. An illuminating means for irradiating ultraviolet light having a linear polarization characteristic, having a function of independently forming an image of the same scene on an image pickup element surface through two windows, and having a polarization direction orthogonal to each window. An oil characterized by comprising an image pickup means having an optical system with an analyzer attached, an image data storage means for storing two image data whose polarization directions are orthogonal to each other, and a comparison calculation processing means for comparing and calculating data of both images. Leak detection device. 【請求項１０】 直線偏光特性を有する紫外光を照射す
る照明手段、光路を２つに分岐し、分岐した光路上に相
直交する偏光方向を選択する光学素子をそれぞれ取り付
けそれぞれ別個の撮像素子面上に結像させる撮像手段、
偏光方向の直交する２つの画像データを蓄積する画像デ
ータ蓄積手段、両画像のデータを比較演算する比較演算
処理手段を備えることを特徴とする油漏れ検出装置。10. An illuminating means for irradiating ultraviolet light having a linear polarization characteristic, an optical element for branching an optical path into two, and an optical element for selecting a polarization direction orthogonal to each other on the branched optical path are attached respectively to separate image pickup element surfaces. Imaging means for forming an image on the top,
An oil leak detection device comprising: an image data storage means for storing two image data whose polarization directions are orthogonal to each other; and a comparison calculation processing means for comparing and calculating data of both images. 【請求項１１】 紫外光と可視光を交互に照射する照明
手段、所定の単一波長の光または可視光波長全域を選択
できる波長選択手段を備えた撮像手段、紫外光照射時と
可視光照射時において所定の単一波長で得られる画像及
び可視光波長全域を選択した時に得られる可視画像の各
データを蓄積する画像データ蓄積手段，画像のデータを
比較演算する比較演算処理手段、比較演算処理画像と可
視画像とを重畳させる画像合成手段を備えることを特徴
とする油漏れ検出装置。11. Illuminating means for alternately irradiating ultraviolet light and visible light, image pickup means provided with a wavelength selecting means capable of selecting light of a predetermined single wavelength or the entire visible light wavelength, ultraviolet light irradiation and visible light irradiation Image data storage means for storing each data of an image obtained with a predetermined single wavelength and a visible image obtained when the entire visible light wavelength range is selected, comparison calculation processing means for comparing and calculating image data, comparison calculation processing An oil leak detection device comprising an image synthesizing means for superimposing an image and a visible image. 【請求項１２】 紫外領域から可視領域あるいは可視領
域から赤外領域にわたって連続的な波長域の光を照射す
る照明手段、同一シーンを２つの窓を介して独立に撮像
素子面上に結像させる機能を有するとともに各窓に試料
が吸光特性を有する波長と吸光特性を有しない波長を透
過波長とする２つの波長フィルターを設けた光学系を設
置した撮像手段、波長の異なる２つの画像データを蓄積
する画像データ蓄積手段、両画像のデータを比較演算す
る比較演算処理手段を備えることを特徴とする油漏れ検
出装置。12. An illumination unit for irradiating light in a continuous wavelength range from the ultraviolet region to the visible region or from the visible region to the infrared region, and the same scene is independently imaged on the image pickup element surface through two windows. An image pickup means equipped with an optical system that has a function and a wavelength that the sample has an absorption characteristic and a wavelength that does not have an absorption characteristic in each window. An oil leak detection device, comprising: an image data storage means for performing a comparison operation processing means for performing a comparison operation on the data of both images. 【請求項１３】 紫外領域から可視領域あるいは可視領
域から赤外領域にわたって連続的な波長域の光を照射す
る照明手段、光路を２つに分岐し、分岐した光路上に試
料が吸光特性を有する波長と吸光特性を有しない波長を
透過波長とする波長フィルターをそれぞれ設置しそれぞ
れ別個の撮像素子面上に結像させる撮像手段、波長の異
なる２つの画像データを蓄積する画像データ蓄積手段、
両画像のデータを比較演算する比較演算処理手段を備え
ることを特徴とする油漏れ検出装置。13. An illuminating means for irradiating light in a continuous wavelength range from the ultraviolet region to the visible region or from the visible region to the infrared region, an optical path is branched into two, and the sample has an absorption characteristic on the branched optical path. An image pickup means for setting a wavelength filter having a wavelength and a wavelength not having an absorption characteristic as a transmission wavelength and forming an image on a separate image pickup element surface, an image data storage means for storing two image data having different wavelengths,
An oil leak detection device comprising a comparison calculation processing means for comparing and calculating data of both images.
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