JPH08122310A - 超音波探触子 - Google Patents
超音波探触子Info
- Publication number
- JPH08122310A JPH08122310A JP25691294A JP25691294A JPH08122310A JP H08122310 A JPH08122310 A JP H08122310A JP 25691294 A JP25691294 A JP 25691294A JP 25691294 A JP25691294 A JP 25691294A JP H08122310 A JPH08122310 A JP H08122310A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- layer
- piezoelectric vibrator
- laminated
- fpc
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 少なくとも、電極パターンが形成されたフィ
ルムと、圧電振動子とを有し、これらフィルム,圧電振
動子が積層圧接される超音波探触子に関し、電極パター
ン(電極)の破損を防止する超音波探触子を提供すること
を目的とする。 【構成】 音響整合層３５の高分子フィルム３７との対
向面の角部、及び圧電振動子３１のFPC４１との対向面
の角部に、なだらかな曲面(アール処理３５ａ,３１ａ)
を施し、応力集中をなくす。
ルムと、圧電振動子とを有し、これらフィルム,圧電振
動子が積層圧接される超音波探触子に関し、電極パター
ン(電極)の破損を防止する超音波探触子を提供すること
を目的とする。 【構成】 音響整合層３５の高分子フィルム３７との対
向面の角部、及び圧電振動子３１のFPC４１との対向面
の角部に、なだらかな曲面(アール処理３５ａ,３１ａ)
を施し、応力集中をなくす。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、少なくとも、電極パタ
ーンが形成されたフィルムと、圧電振動子とを有し、こ
れらフィルム,圧電振動子が積層圧接される超音波探触
子に関する。
ーンが形成されたフィルムと、圧電振動子とを有し、こ
れらフィルム,圧電振動子が積層圧接される超音波探触
子に関する。
【０００２】
【従来の技術】次に、図面を用いて従来例を説明する。
図２は従来の超音波探触子の構成図である。図におい
て、複数の圧電振動子(PZT)１の一方の面上には、第１
の電極層として、接地電極層２が、他方の面側には、第
２の電極層として正電極層３が、前もってそれぞれ形成
されている。尚、本従来例では、電極層２,３は、高周
波化に有効な厚さ1000Å程度の金スパッタ電極層とした
が、材質は限定するものではない。
図２は従来の超音波探触子の構成図である。図におい
て、複数の圧電振動子(PZT)１の一方の面上には、第１
の電極層として、接地電極層２が、他方の面側には、第
２の電極層として正電極層３が、前もってそれぞれ形成
されている。尚、本従来例では、電極層２,３は、高周
波化に有効な厚さ1000Å程度の金スパッタ電極層とした
が、材質は限定するものではない。
【０００３】圧電振動子１の正電極層３側には、加圧硬
化された絶縁性の接着剤層４を介して、導体の音響整合
層５が積層されている。更に、音響整合層５上には、加
圧硬化された絶縁性の接着剤層６を介して、高分子フィ
ルム７が積層されている。高分子フィルム７は、音響整
合層としてのフィルム本体８と、このフィルム本体８の
接着剤層４側に蒸着によって形成された銅層９との２層
からなる。そして、この高分子フィルム７の端部は、圧
電振動子１との積層部分より延出し、延出部分の先端は
電極取出し部７ａが形成されている。
化された絶縁性の接着剤層４を介して、導体の音響整合
層５が積層されている。更に、音響整合層５上には、加
圧硬化された絶縁性の接着剤層６を介して、高分子フィ
ルム７が積層されている。高分子フィルム７は、音響整
合層としてのフィルム本体８と、このフィルム本体８の
接着剤層４側に蒸着によって形成された銅層９との２層
からなる。そして、この高分子フィルム７の端部は、圧
電振動子１との積層部分より延出し、延出部分の先端は
電極取出し部７ａが形成されている。
【０００４】圧電振動子１１の接地電極層２側には、加
圧硬化された絶縁性の接着剤層１０を介してFPC１１が
積層されている。このFPC１１は、ポリイミドのベース
部１２と、このベース部１２上の圧電振動子１側には、
3μm厚程度の銅の蒸着により圧電振動子１に対応した導
電パターン１３が形成されている。又、FPC１１の両サ
イドは、圧電振動子１との積層部分より延出し、延出部
分の両端は電極取出し部１１ａが形成されている。
圧硬化された絶縁性の接着剤層１０を介してFPC１１が
積層されている。このFPC１１は、ポリイミドのベース
部１２と、このベース部１２上の圧電振動子１側には、
3μm厚程度の銅の蒸着により圧電振動子１に対応した導
電パターン１３が形成されている。又、FPC１１の両サ
イドは、圧電振動子１との積層部分より延出し、延出部
分の両端は電極取出し部１１ａが形成されている。
【０００５】１４はFPC１１のベース部１２側に接着剤
層１５を介して取り付けられ、圧電振動子１１を機械的
に支え、圧電振動子１１に音響的に制動をかけて、超音
波パルス波形を短くする背面負荷材である。
層１５を介して取り付けられ、圧電振動子１１を機械的
に支え、圧電振動子１１に音響的に制動をかけて、超音
波パルス波形を短くする背面負荷材である。
【０００６】更に、高分子フィルム７上には、接着剤層
１６を介して音響レンズ１７が積層されている。次に、
上記構成の超音波探触子の製造方法を説明する。圧電振
動子１の両面に金スパッタにより接地電極層２及び正電
極層３を形成する(ステップ１)。
１６を介して音響レンズ１７が積層されている。次に、
上記構成の超音波探触子の製造方法を説明する。圧電振
動子１の両面に金スパッタにより接地電極層２及び正電
極層３を形成する(ステップ１)。
【０００７】圧電振動子１の接地電極層２に接着剤を用
いて音響整合層５と高分子フィルム７を、正電極層３に
接着剤を用いてFPC１１をそれぞれ積層し、高圧力を印
加して、これらを圧接、固着する(ステップ２)。
いて音響整合層５と高分子フィルム７を、正電極層３に
接着剤を用いてFPC１１をそれぞれ積層し、高圧力を印
加して、これらを圧接、固着する(ステップ２)。
【０００８】背面負荷材１４を接着剤を用いて取付ける
(ステップ３)。FPC１側よりダイシングを行い、圧電振
動子１を電気的に独立した複数のアレイに分割する(ス
テップ４)。尚、この時の切込み溝の幅tは、約40μm〜5
0μmである。
(ステップ３)。FPC１側よりダイシングを行い、圧電振
動子１を電気的に独立した複数のアレイに分割する(ス
テップ４)。尚、この時の切込み溝の幅tは、約40μm〜5
0μmである。
【０００９】次に、音響レンズ１７を接着剤を用いて取
り付ける(ステップ５)。最後に、FPC１１の両サイド、
高分子フィルム７の一方のサイドを折り曲げ、図２に示
すような形状とする(ステップ６)。
り付ける(ステップ５)。最後に、FPC１１の両サイド、
高分子フィルム７の一方のサイドを折り曲げ、図２に示
すような形状とする(ステップ６)。
【００１０】次に、上記構成の動作を説明する。圧電振
動子１は、FPC１１を介して圧電振動子１に加えられた
電気信号に対応して、超音波(機械振動)を励起(送波)す
る。励起された超音波は、音響整合層５,フィルム本体
８及び音響レンズ１７によって生体との音響的な整合が
図られ、音響レンズ１７で収束されて生体内へ送波され
る。
動子１は、FPC１１を介して圧電振動子１に加えられた
電気信号に対応して、超音波(機械振動)を励起(送波)す
る。励起された超音波は、音響整合層５,フィルム本体
８及び音響レンズ１７によって生体との音響的な整合が
図られ、音響レンズ１７で収束されて生体内へ送波され
る。
【００１１】又、圧電振動子１は、圧電効果により、生
体より戻って来た超音波に対応して電気信号を発生(受
波)する。
体より戻って来た超音波に対応して電気信号を発生(受
波)する。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記構成の超
音波探触子の製造工程のステップ２において、即ち、圧
電振動子１の接地電極層２に接着剤を用いて音響整合層
５と高分子フィルム７を、正電極層３に接着剤を用いて
FPC１１をそれぞれ積層し、高圧力を印加して、これら
を圧接,固着する工程では、音響整合層５は稜線で形状
が急変するので、高分子フィルム７の音響整合層５の稜
線に押される部分には応力が集中し、高分子フィルム７
の銅層９及びFPC１１の導電パターン１３が損傷する問
題点がある。
音波探触子の製造工程のステップ２において、即ち、圧
電振動子１の接地電極層２に接着剤を用いて音響整合層
５と高分子フィルム７を、正電極層３に接着剤を用いて
FPC１１をそれぞれ積層し、高圧力を印加して、これら
を圧接,固着する工程では、音響整合層５は稜線で形状
が急変するので、高分子フィルム７の音響整合層５の稜
線に押される部分には応力が集中し、高分子フィルム７
の銅層９及びFPC１１の導電パターン１３が損傷する問
題点がある。
【００１３】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、電極パターン(電極)の破損を防止す
る超音波探触子を提供することにある。
ので、その目的は、電極パターン(電極)の破損を防止す
る超音波探触子を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する第１
の発明は、少なくとも、電極パターンが形成されたフィ
ルムと、圧電振動子とを有し、これらフィルム,圧電振
動子が積層圧接される超音波探触子において、前記フィ
ルムと隣接する部材の前記フィルムとの対向面の角部を
なだらかな曲面としたものである。
の発明は、少なくとも、電極パターンが形成されたフィ
ルムと、圧電振動子とを有し、これらフィルム,圧電振
動子が積層圧接される超音波探触子において、前記フィ
ルムと隣接する部材の前記フィルムとの対向面の角部を
なだらかな曲面としたものである。
【００１５】第２の発明は、圧電振動子と、該圧電振動
子の一方の面側に形成された第１電極層と、該第１電極
層に、接着層を介して積層された１又は２以上の導電性
の音響整合層と、該音響整合層上に、接着層を介して積
層され、該接着層側に電極パターンが形成された第１の
フィルムと、前記圧電振動子の他方の面側に形成された
第２電極層と、該第２電極層に、接着層を介して積層さ
れ、該接着層側に電極パターンが形成された第２のフィ
ルムと、該第２のフィルムに、接着層を介して積層され
た背面負荷部材とを有し、前記音響整合層の前記第１の
フィルムと対向する面の角部と、前記圧電振動子の前記
第２のフィルムと対向する面の角部とをなだらかな曲面
としたものである。
子の一方の面側に形成された第１電極層と、該第１電極
層に、接着層を介して積層された１又は２以上の導電性
の音響整合層と、該音響整合層上に、接着層を介して積
層され、該接着層側に電極パターンが形成された第１の
フィルムと、前記圧電振動子の他方の面側に形成された
第２電極層と、該第２電極層に、接着層を介して積層さ
れ、該接着層側に電極パターンが形成された第２のフィ
ルムと、該第２のフィルムに、接着層を介して積層され
た背面負荷部材とを有し、前記音響整合層の前記第１の
フィルムと対向する面の角部と、前記圧電振動子の前記
第２のフィルムと対向する面の角部とをなだらかな曲面
としたものである。
【００１６】第２の発明の第１のフィルムの基材の一例
としては、高分子フィルムがある。
としては、高分子フィルムがある。
【００１７】
【作用】第１の発明の超音波探触子において、フィルム
と隣接する部材のフィルムとの対向面の角部をなだらか
な曲面としたことにより、フィルムとこのフィルムと隣
接する部材とを積層し、高圧力を印加し、これらを圧
接,固着する工程で、フィルムに応力集中がなくなり、
導電パターンの破損がなくなる。
と隣接する部材のフィルムとの対向面の角部をなだらか
な曲面としたことにより、フィルムとこのフィルムと隣
接する部材とを積層し、高圧力を印加し、これらを圧
接,固着する工程で、フィルムに応力集中がなくなり、
導電パターンの破損がなくなる。
【００１８】第２の発明の超音波探触子において、音響
整合層の第１のフィルムと対向する面との角部と、圧電
振動子の第２のフィルムと対向する面との角部とをなだ
らかな曲面としたことより、これらを積層し高圧力を印
加し、これらを圧接,固着する工程で、第１のフィルム,
第２のフィルムに応力集中がなくなり、第１及び第２の
フィルムの導電パターンの破損がなくなる。
整合層の第１のフィルムと対向する面との角部と、圧電
振動子の第２のフィルムと対向する面との角部とをなだ
らかな曲面としたことより、これらを積層し高圧力を印
加し、これらを圧接,固着する工程で、第１のフィルム,
第２のフィルムに応力集中がなくなり、第１及び第２の
フィルムの導電パターンの破損がなくなる。
【００１９】
【実施例】次に図面を用いて本発明の一実施例を説明す
る。図１は本発明の第１の実施例の構成図である。
る。図１は本発明の第１の実施例の構成図である。
【００２０】図において、複数の圧電振動子(PZT)３１
の一方の面上には、第１の電極層として接地電極層３２
が、他方の面側には、第２の電極層として正電極層３３
が、前もってそれぞれ形成されている。尚、本実施例で
は、電極層３２,３３は、高周波化に有効な厚さ1000Å
程度の金スパッタ電極層としたが、材質は限定するもの
ではない。
の一方の面上には、第１の電極層として接地電極層３２
が、他方の面側には、第２の電極層として正電極層３３
が、前もってそれぞれ形成されている。尚、本実施例で
は、電極層３２,３３は、高周波化に有効な厚さ1000Å
程度の金スパッタ電極層としたが、材質は限定するもの
ではない。
【００２１】圧電振動子３１の正電極層３３側には、加
圧硬化された絶縁性の接着剤層４を介して、導体の音響
整合層３５が積層されている。更に、音響整合層３５上
には、加圧硬化された絶縁性の接着剤層３６を介して、
第１のフィルムとしての高分子フィルム３７が積層され
ている。高分子フィルム３７は、音響整合層としてのフ
ィルム本体３８と、このフィルム本体３８の接着剤層３
４側に蒸着によって形成された銅層３９との２層からな
る。そして、この高分子フィルム３７の端部は、圧電振
動子３１との積層部分より延出し、延出部分の先端には
電極取出し部３７ａが形成されている。
圧硬化された絶縁性の接着剤層４を介して、導体の音響
整合層３５が積層されている。更に、音響整合層３５上
には、加圧硬化された絶縁性の接着剤層３６を介して、
第１のフィルムとしての高分子フィルム３７が積層され
ている。高分子フィルム３７は、音響整合層としてのフ
ィルム本体３８と、このフィルム本体３８の接着剤層３
４側に蒸着によって形成された銅層３９との２層からな
る。そして、この高分子フィルム３７の端部は、圧電振
動子３１との積層部分より延出し、延出部分の先端には
電極取出し部３７ａが形成されている。
【００２２】音響整合層３５の高分子フィルム３７と対
向する面の角部には、なだらかな曲面としてのアール処
理部３５ａが形成されている。圧電振動子３１の接地電
極層３２側には、加圧硬化された絶縁性の接着剤層４０
を介して第２のフィルムとしてのFPC４１が積層されて
いる。このFPC４１は、ポリイミドのベース部４２と、
このベース部４２上の圧電振動子３１側には、3μm厚程
度の銅の蒸着により圧電振動子３１に対応するように形
成された導電パターン４３とで構成されている。又、FP
C４１の両サイドは、圧電振動子３１との積層部分より
延出し、延出部分の両端は電極取出し部４１ａが形成さ
れている。
向する面の角部には、なだらかな曲面としてのアール処
理部３５ａが形成されている。圧電振動子３１の接地電
極層３２側には、加圧硬化された絶縁性の接着剤層４０
を介して第２のフィルムとしてのFPC４１が積層されて
いる。このFPC４１は、ポリイミドのベース部４２と、
このベース部４２上の圧電振動子３１側には、3μm厚程
度の銅の蒸着により圧電振動子３１に対応するように形
成された導電パターン４３とで構成されている。又、FP
C４１の両サイドは、圧電振動子３１との積層部分より
延出し、延出部分の両端は電極取出し部４１ａが形成さ
れている。
【００２３】圧電振動子３１のFPC４１と対向する面の
角部には、なだらかな曲面としてのアール処理部３１ａ
が形成されている。４４はFPC４１のベース部４２側に
接着剤層４５を介して取り付けられ、圧電振動子４１を
機械的に支え、圧電振動子４１に音響的な制動をかけ
て、超音波パルス波形を短くする背面負荷材である。
角部には、なだらかな曲面としてのアール処理部３１ａ
が形成されている。４４はFPC４１のベース部４２側に
接着剤層４５を介して取り付けられ、圧電振動子４１を
機械的に支え、圧電振動子４１に音響的な制動をかけ
て、超音波パルス波形を短くする背面負荷材である。
【００２４】更に、高分子フィルム７上には、接着剤層
４６を介して音響レンズ４７が積層されている。次に、
上記構成の超音波探触子の製造方法を説明する。圧電振
動子３１の両面に金スパッタにより接地電極層３２及び
正電極層３３を形成する(ステップ１)。
４６を介して音響レンズ４７が積層されている。次に、
上記構成の超音波探触子の製造方法を説明する。圧電振
動子３１の両面に金スパッタにより接地電極層３２及び
正電極層３３を形成する(ステップ１)。
【００２５】圧電振動子３１の接地電極層３２に接着剤
を用いて音響整合層３５と高分子フィルム３７を、正電
極層３３に接着剤を用いてFPC４１をそれぞれ積層し、
高圧力を印加してこれらを圧接、固着する(ステップ
２)。
を用いて音響整合層３５と高分子フィルム３７を、正電
極層３３に接着剤を用いてFPC４１をそれぞれ積層し、
高圧力を印加してこれらを圧接、固着する(ステップ
２)。
【００２６】背面負荷材４４を接着剤を用いて積層する
(ステップ３)。FPC４１側よりダイシングを行い、圧電
振動子３１を電気的に独立した複数のアレイに分割する
(ステップ４)。尚、この時の切込み溝の幅tは、約40μm
〜50μmである。
(ステップ３)。FPC４１側よりダイシングを行い、圧電
振動子３１を電気的に独立した複数のアレイに分割する
(ステップ４)。尚、この時の切込み溝の幅tは、約40μm
〜50μmである。
【００２７】次に、音響レンズ４７を接着剤を用いて取
り付ける(ステップ５)。最後に、FPC４１の両サイド、
高分子フィルム３７の一方のサイドを折り曲げ、図に示
すような形状とする(ステップ６)。
り付ける(ステップ５)。最後に、FPC４１の両サイド、
高分子フィルム３７の一方のサイドを折り曲げ、図に示
すような形状とする(ステップ６)。
【００２８】次に、上記構成の動作を説明する。圧電振
動子３１は、FPC４１を介して圧電振動子３１に加えら
れた電気信号に対応して、超音波(機械振動)を励起(送
波)する。励起された超音波は、音響整合層３５,フィル
ム本体３８及び音響レンズ４７によって生体との音響的
な整合が図られ、音響レンズ４７で収束されて生体内へ
送波される。
動子３１は、FPC４１を介して圧電振動子３１に加えら
れた電気信号に対応して、超音波(機械振動)を励起(送
波)する。励起された超音波は、音響整合層３５,フィル
ム本体３８及び音響レンズ４７によって生体との音響的
な整合が図られ、音響レンズ４７で収束されて生体内へ
送波される。
【００２９】又、圧電振動子３１は、圧電効果により、
生体より戻って来た超音波に対応して電気信号を発生
(受波)する。ところで、圧電振動子３１の接地電極層３
２と音響整合層３５との間には絶縁性の接着剤層３４が
音響整合層３５と高分子フィルム３７の銅層３９との間
には、絶縁性の接着剤層３６が、又、圧電振動子３１の
正電極層３３とFPC４１の導電パターン４３との間に
は、絶縁性の接着剤層４０がそれぞれ介在している。一
方、高分子フィルム３７,音響整合層３５,圧電振動子３
１及びFPC４１は、それぞれ絶縁性のエポキシ樹脂接着
剤を用い、高圧力が印加された状態で、一体化されてい
る。
生体より戻って来た超音波に対応して電気信号を発生
(受波)する。ところで、圧電振動子３１の接地電極層３
２と音響整合層３５との間には絶縁性の接着剤層３４が
音響整合層３５と高分子フィルム３７の銅層３９との間
には、絶縁性の接着剤層３６が、又、圧電振動子３１の
正電極層３３とFPC４１の導電パターン４３との間に
は、絶縁性の接着剤層４０がそれぞれ介在している。一
方、高分子フィルム３７,音響整合層３５,圧電振動子３
１及びFPC４１は、それぞれ絶縁性のエポキシ樹脂接着
剤を用い、高圧力が印加された状態で、一体化されてい
る。
【００３０】よって、これらの絶縁性の接着剤層３４,
３６及び４０の厚さは薄く、各導体部材は充分近接した
状態にある。このような薄い絶縁性の層があっても、ト
ンネル効果,ショットキー導電、不純物導電等により、
電荷の移動が起こる。又、絶縁性の接着剤層３４,３６
及び４０の厚さは一定ではなく、対向する導体部材の表
面粗さによりある確率的に存在するものであり、場所に
よっては、厚さが極めて0に近くなっている、つまり、
圧電振動子３１の接地電極層３２とFPC４１の導電パタ
ーン４３とが、又、圧電振動子３１の正電極層３３と音
響整合層３５とが、更に、音響整合層３５と高分子フィ
ルム３７の銅層３９とが、接触している箇所もあり、こ
の接触箇所では電荷の移動が起こる。
３６及び４０の厚さは薄く、各導体部材は充分近接した
状態にある。このような薄い絶縁性の層があっても、ト
ンネル効果,ショットキー導電、不純物導電等により、
電荷の移動が起こる。又、絶縁性の接着剤層３４,３６
及び４０の厚さは一定ではなく、対向する導体部材の表
面粗さによりある確率的に存在するものであり、場所に
よっては、厚さが極めて0に近くなっている、つまり、
圧電振動子３１の接地電極層３２とFPC４１の導電パタ
ーン４３とが、又、圧電振動子３１の正電極層３３と音
響整合層３５とが、更に、音響整合層３５と高分子フィ
ルム３７の銅層３９とが、接触している箇所もあり、こ
の接触箇所では電荷の移動が起こる。
【００３１】上記構成によれば、音響整合層３５にアー
ル処理部３５ａ及び、圧電振動子３１にアール処理部３
１ａをそれぞれ形成し、形状変化をなだらかな曲線とし
たことにより、圧電振動子３１の接地電極層３２に接着
剤を用いて音響整合層３５と高分子フィルム３７を、正
電極層３３に接着剤を用いてFPC４１をそれぞれ積層
し、高圧力を印加してこれらを圧接、固着する工程で、
高分子フィルム３７,FPC４１に応力集中がなくなり、高
分子フィルム３７の銅層３９及びFPC４１の導電パター
ン４３の破損を防止することができる。
ル処理部３５ａ及び、圧電振動子３１にアール処理部３
１ａをそれぞれ形成し、形状変化をなだらかな曲線とし
たことにより、圧電振動子３１の接地電極層３２に接着
剤を用いて音響整合層３５と高分子フィルム３７を、正
電極層３３に接着剤を用いてFPC４１をそれぞれ積層
し、高圧力を印加してこれらを圧接、固着する工程で、
高分子フィルム３７,FPC４１に応力集中がなくなり、高
分子フィルム３７の銅層３９及びFPC４１の導電パター
ン４３の破損を防止することができる。
【００３２】尚本発明は上記実施例に限定するものでは
ない。例えば、音響整合層３５がない超音波探触子の場
合、圧電振動子３１の正電極層３３側の面にアール処理
部を形成することで高分子フィルム３７の銅層３９の破
損を防止することができる。
ない。例えば、音響整合層３５がない超音波探触子の場
合、圧電振動子３１の正電極層３３側の面にアール処理
部を形成することで高分子フィルム３７の銅層３９の破
損を防止することができる。
【００３３】又、アール処理部３１ａ,３５ａの形状も
限定するものではない。半径が一定の円筒面でもよく、
又、楕円筒面でもよい。又、３６,３４,４０は絶縁接着
剤層としたが、導電性接着剤を用いて十分薄い接着剤層
が形成することが可能であるならば、導電性の接着剤の
使用も可能である。
限定するものではない。半径が一定の円筒面でもよく、
又、楕円筒面でもよい。又、３６,３４,４０は絶縁接着
剤層としたが、導電性接着剤を用いて十分薄い接着剤層
が形成することが可能であるならば、導電性の接着剤の
使用も可能である。
【００３４】又、上記実施例では、リニア型の超音波探
触子で説明を行ったが、他に、カーブドリニアアレイ型
や、マトリックスアレー型や、アニュラーアレー型の超
音波探触子にも適用できる。
触子で説明を行ったが、他に、カーブドリニアアレイ型
や、マトリックスアレー型や、アニュラーアレー型の超
音波探触子にも適用できる。
【００３５】更に、又、上記絶縁性接着剤層の導通は、
必ずしも直流的導通状態にある必要はない。探触子その
ものを動作させる場合には、絶縁性接着剤層がコンデン
サー的になっており、実用上の支障はない。
必ずしも直流的導通状態にある必要はない。探触子その
ものを動作させる場合には、絶縁性接着剤層がコンデン
サー的になっており、実用上の支障はない。
【００３６】
【発明の効果】以上述べたように第１の発明の超音波探
触子によれば、フィルムと隣接する部材のフィルムとの
対向面の角部をなだらかな曲面としたことにより、フィ
ルムとこのフィルムと隣接する部材とを積層し、高圧力
を印加し、これらを圧接,固着する工程で、フィルムに
応力集中がなくなり、導電パターンの破損がなくなる。
触子によれば、フィルムと隣接する部材のフィルムとの
対向面の角部をなだらかな曲面としたことにより、フィ
ルムとこのフィルムと隣接する部材とを積層し、高圧力
を印加し、これらを圧接,固着する工程で、フィルムに
応力集中がなくなり、導電パターンの破損がなくなる。
【００３７】第２の発明の超音波探触子によれば、音響
整合層の第１のフィルムと対向する面と、圧電振動子の
第２のフィルムと対向する面との角部をなだらかな曲面
としたことにより、これらを積層し高圧力を印加してこ
れらを圧接,固着する工程で、第１のフィルム,第２のフ
ィルムに応力集中がなくなり、第１及び第２のフィルム
の導電パターンの破損がなくなる。
整合層の第１のフィルムと対向する面と、圧電振動子の
第２のフィルムと対向する面との角部をなだらかな曲面
としたことにより、これらを積層し高圧力を印加してこ
れらを圧接,固着する工程で、第１のフィルム,第２のフ
ィルムに応力集中がなくなり、第１及び第２のフィルム
の導電パターンの破損がなくなる。
【図１】本発明の一実施例の構成図である。
【図２】従来の超音波探触子の構成図である。
３１ 圧電振動子 ３２ 接地電極層 ３３ 正電極層 ３５ 音響整合層 ３７ 高分子フィルム ３８ フィルム本体 ３９ 銅層 ４１ FPC ４２ ベース部 ４３ 導電パターン ４４ 背面負荷材 ４７ 音響レンズ
Claims (3)
- 【請求項１】 少なくとも、電極パターンが形成された
フィルムと、圧電振動子とを有し、これらフィルム,圧
電振動子が積層圧接される超音波探触子において、 前記フィルムと隣接する部材の前記フィルムとの対向面
の角部をなだらかな曲面としたことを特徴とする超音波
探触子。 - 【請求項２】 圧電振動子と、 該圧電振動子の一方の面側に形成された第１電極層と、 該第１電極層に、接着層を介して積層された１又は２以
上の導電性の音響整合層と、 該音響整合層上に、接着層を介して積層され、該接着層
側に電極パターンが形成された第１のフィルムと、 前記圧電振動子の他方の面側に形成された第２電極層
と、 該第２電極層に、接着層を介して積層され、該接着層側
に電極パターンが形成された第２のフィルムと、 該第２のフィルムに、接着層を介して積層された背面負
荷部材とを有し、 前記音響整合層の前記第１のフィルムと対向する面の角
部と、前記圧電振動子の前記第２のフィルムと対向する
面の角部とをなだらかな曲面としたことを特徴とする超
音波探触子。 - 【請求項３】 前記第１のフィルムの基材は、高分子フ
ィルムであることを特徴とする請求項２記載の超音波探
触子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25691294A JP3423788B2 (ja) | 1994-10-21 | 1994-10-21 | 超音波探触子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25691294A JP3423788B2 (ja) | 1994-10-21 | 1994-10-21 | 超音波探触子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08122310A true JPH08122310A (ja) | 1996-05-17 |
| JP3423788B2 JP3423788B2 (ja) | 2003-07-07 |
Family
ID=17299113
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25691294A Expired - Fee Related JP3423788B2 (ja) | 1994-10-21 | 1994-10-21 | 超音波探触子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3423788B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1132149A2 (en) * | 2000-03-07 | 2001-09-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Ultrasonic Probe |
| JP2012114713A (ja) * | 2010-11-25 | 2012-06-14 | Toshiba Corp | 超音波プローブ |
| US8834377B2 (en) | 2007-10-15 | 2014-09-16 | Konica Minolta, Inc. | Ultrasonic probe |
-
1994
- 1994-10-21 JP JP25691294A patent/JP3423788B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1132149A2 (en) * | 2000-03-07 | 2001-09-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Ultrasonic Probe |
| EP1132149A3 (en) * | 2000-03-07 | 2003-01-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Ultrasonic Probe |
| US8834377B2 (en) | 2007-10-15 | 2014-09-16 | Konica Minolta, Inc. | Ultrasonic probe |
| JP2012114713A (ja) * | 2010-11-25 | 2012-06-14 | Toshiba Corp | 超音波プローブ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3423788B2 (ja) | 2003-07-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5605433B2 (ja) | 圧電振動装置 | |
| US4783888A (en) | Method of manufacturing an ultrasonic transducer | |
| US5920972A (en) | Interconnection method for a multilayer transducer array | |
| JP3610364B2 (ja) | 医療画像化のための多重圧電層超音波変換器 | |
| JPS61144565A (ja) | 高分子圧電型超音波探触子 | |
| US20010021807A1 (en) | Ultrasonic probe | |
| JPH03207200A (ja) | 超音波接触トランスデューサ及びその配列構成 | |
| JPS61161446A (ja) | 超音波探触子およびその製造方法 | |
| JP3304560B2 (ja) | 超音波探触子及び超音波探触子の製造方法 | |
| JP2606249Y2 (ja) | 超音波探触子 | |
| KR20010014837A (ko) | 범프 전극을 갖는 탄성 표면파 장치 및 그 장치의 제조방법 | |
| JP3423788B2 (ja) | 超音波探触子 | |
| JPH11234082A (ja) | 表面弾性波装置 | |
| JPS61103399A (ja) | 超音波探触子およびその製造方法 | |
| CN113066924B (zh) | 薄膜压电感应元件及其制造方法、感测装置以及终端 | |
| JP3313171B2 (ja) | 超音波探触子とその製造方法 | |
| JPH08306979A (ja) | 積層型圧電体装置 | |
| JP2019134034A (ja) | 積層圧電セラミック部品及び圧電デバイス | |
| JP2935514B2 (ja) | 配列型超音波探触子及びその製造方法 | |
| JPS6161599A (ja) | アレ−型超音波探触子とその製造方法 | |
| JPH0657080B2 (ja) | 超音波探触子およびその製造方法 | |
| JP3431275B2 (ja) | 超音波トランスデューサおよびその製造方法 | |
| JP2002354591A (ja) | 配列型の超音波探触子 | |
| JPH10336792A (ja) | 超音波振動子及びその製造方法 | |
| JPS61294997A (ja) | 高分子圧電型超音波探触子 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090425 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090425 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100425 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100425 Year of fee payment: 7 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100425 Year of fee payment: 7 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100425 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100425 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110425 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110425 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120425 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130425 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 10 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130425 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 10 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130425 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |