JPH0791963A - 振動ジャイロ - Google Patents

振動ジャイロ

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Publication number
JPH0791963A
JPH0791963A JP5264324A JP26432493A JPH0791963A JP H0791963 A JPH0791963 A JP H0791963A JP 5264324 A JP5264324 A JP 5264324A JP 26432493 A JP26432493 A JP 26432493A JP H0791963 A JPH0791963 A JP H0791963A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
capacitor
vibrating body
circuit
temperature
vibrating
Prior art date
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Pending
Application number
JP5264324A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuhiro Yoshitani
谷 和 博 吉
Katsumi Fujimoto
本 克 己 藤
Shiro Makino
野 士 朗 牧
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
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Priority to DE69411108T priority patent/DE69411108T2/de
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Publication of JPH0791963A publication Critical patent/JPH0791963A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 安価に、検出感度の温度特性を補償すること
ができる振動ジャイロを得る。 【構成】 振動ジャイロ10は、3角柱状の振動体14
と圧電素子16a,16b,16cとからなる振動子1
2を含む。圧電素子16a,16bと圧電素子16cと
の間に、発振回路26を接続する。発振回路26は、増
幅器28と移相器30とで構成される。移相器30とし
て、抵抗32とコンデンサ34とで形成されるCRフィ
ルタを使用する。コンデンサ34として、温度補償用コ
ンデンサを使用する。圧電素子16a,16bの出力信
号を差動回路36に入力する。差動回路36を同期検波
回路38に接続し、同期検波回路38を平滑回路40に
接続する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は振動ジャイロに関し、
特にたとえば、柱状の振動体の屈曲振動を利用した振動
ジャイロに関する。
【0002】
【従来の技術】図12は従来の振動ジャイロの一例を示
す図解図である。振動ジャイロ1は、たとえば正3角柱
状の振動体2を含む。振動体2の側面には、それぞれ圧
電素子3a,3b,3cが形成される。圧電素子3a,
3bは、振動体2を屈曲振動させるための駆動用として
用いられ、また回転角速度に応じた信号を検出するため
の検出用としても用いられる。そして、圧電素子3c
は、振動体2を駆動するための帰還用として用いられ
る。圧電素子3a,3bと圧電素子3cとの間には、発
振回路としての増幅器4および移相器5が接続される。
位相器5としては、抵抗とコンデンサとからなるCRフ
ィルタが用いられる。また、圧電素子3a,3bは、差
動回路6の入力端に接続される。差動回路6の出力端は
同期検波回路7に接続され、さらに同期検波回路7は平
滑回路8に接続される。
【0003】この振動ジャイロ1では、帰還用の圧電素
子3cからの信号が増幅器4で増幅され、さらに移相器
5で位相が調整される。そして、移相器5の信号が駆動
用の圧電素子3a,3bに入力されることにより、振動
体2は自励振駆動させられる。このとき、振動体2は、
圧電素子3c形成面に直交する方向に屈曲振動する。こ
の状態で、振動体2の軸を中心として回転すると、コリ
オリ力により振動体2の振動方向が変わる。それによ
り、検出用の圧電素子3a,3b間に出力信号の差が生
じ、この出力信号の差が差動回路6から出力される。そ
して、差動回路6の出力信号を検波し、平滑することに
よって、振動ジャイロ1に加わった回転角速度に対応し
た信号を検出することができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、発振回
路には温度特性があり、雰囲気温度の変化によって振動
体を屈曲振動させるための励振信号電圧が変化する。そ
のため、雰囲気温度によって振動体の振動状態が変化
し、それにともなって回転角速度の検出感度も変化す
る。
【0005】それゆえに、この発明の主たる目的は、安
価に、検出感度の温度特性を補償することができる振動
ジャイロを提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明は、柱状の振動
体と、振動体に屈曲振動を与えるための発振回路とを含
む振動ジャイロにおいて、発振回路は増幅器と増幅器の
出力信号の位相を調整するための移相器とからなり、移
相器に含まれるコンデンサとして温度補償用コンデンサ
が用いられたことを特徴とする、振動ジャイロである。
【0007】
【作用】雰囲気温度の変化により、温度補償用コンデン
サの静電容量が変化する。静電容量の変化により、抵抗
とコンデンサとで形成される移相器のカットオフ周波数
が変化する。それにより、発振回路の励振信号電圧が変
化する。
【0008】
【発明の効果】この発明によれば、発振回路の温度特性
と逆の特性をもつように温度補償用コンデンサを選ぶこ
とによって、雰囲気温度の変化による励振信号電圧の変
化を相殺することができる。そのため、雰囲気温度が変
化しても、ほぼ一定の励振信号電圧を得ることができ、
振動体の屈曲振動を安定化させることができる。したが
って、雰囲気温度の変化にかかわらず、振動ジャイロの
検出感度をほぼ一定に保つことができる。しかも、温度
補償用コンデンサは安価であり、温度補償のためのコス
トを抑えることができる。
【0009】この発明の上述の目的,その他の目的,特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
【0010】
【実施例】図1はこの発明の一実施例を示す図解図であ
る。振動ジャイロ10は、振動子12を含む。振動子1
2は、図2および図3に示すように、たとえば正3角柱
状の振動体14を含む。振動体14は、たとえばエリン
バ,鉄−ニッケル合金,石英,ガラス,水晶,セラミッ
クなど、一般的に機械的な振動を生じる材料で形成され
る。
【0011】振動体14の3つの側面には、それぞれ圧
電素子16a,16bおよび16cが形成される。圧電
素子16aは、たとえば磁器からなる圧電層18aを含
み、圧電層18aの両主面にはそれぞれ電極20aおよ
び22aが形成される。そして、一方の電極20aが振
動体14の側面に接着される。同様に、圧電素子16
b,16cは圧電層18b,18cを含み、圧電層18
b,18cの両主面に電極20b,22bおよび電極2
0c,22cが形成される。そして、これらの圧電素子
16b,16cの一方の電極20b,20cが、振動体
14の側面に接着される。さらに、振動体14のノード
点近傍の稜線部分は、たとえば金属線からなる支持部材
24a,24bで支持される。これらの支持部材24
a,24bは、たとえば溶接することによって、振動体
14に固着される。
【0012】圧電素子16a,16bは、振動体14を
屈曲振動させるための駆動用として用いられ、また回転
角速度に応じた信号を検出するための検出用としても用
いられる。そして、圧電素子16cは、振動体14を駆
動するための帰還用として用いられる。駆動用の圧電素
子16a,16bと帰還用の圧電素子16cとの間に
は、発振回路26が接続される。発振回路26は、増幅
器28と移相器30とで構成される。移相器30として
は、たとえば抵抗32とコンデンサ34とで形成される
CRフィルタが用いられる。コンデンサ34としては、
温度補償用コンデンサが使用される。そして、帰還用の
圧電素子16cからの信号が増幅器28で増幅され、さ
らに移相器30で位相調整されて圧電素子16a,16
bに入力される。それにより、振動体14は自励振駆動
させられる。さらに、圧電素子16a,16bは、差動
回路36の入力端に接続される。差動回路36の出力端
は同期検波回路38に接続され、さらに同期検波回路3
8は平滑回路40に接続される。
【0013】この振動ジャイロ10では、発振回路26
によって、振動体14が圧電素子16c形成面に直交す
る方向に屈曲振動させられる。このとき、圧電素子16
a,16bに入力される励振信号は同じ信号であるた
め、差動回路36からは信号が出力されない。この状態
で、振動体14の軸を中心として回転すると、コリオリ
力によって振動体14の振動方向が変わる。それによ
り、圧電素子16a,16b間に出力信号の差が生じ、
差動回路36から信号が出力される。差動回路36の出
力信号は同期検波回路38で検波され、さらに平滑回路
40で平滑される。差動回路36の出力信号は振動体1
4の振動方向の変化に対応しているため、平滑回路40
の出力信号を測定すれば、振動ジャイロ10に加わった
回転角速度を検出することができる。
【0014】この振動ジャイロ10では、発振回路26
の温度特性を補正するために、発振回路26に温度補償
用コンデンサが使用されている。温度補償用コンデンサ
としては、図4に示すように、種々の特性のものがあ
り、必要に応じて適当な特性を有する温度補償用コンデ
ンサが選ばれる。図4において、CHは0±60ppm
/℃,PHは−150±60ppm/℃,RHは−22
0±60ppm/℃,SHは−330±60ppm/
℃,THは−470±60ppm/℃,UJは−750
±120ppm/℃の特性を有している。
【0015】また、図5に示すように、コンデンサ34
の静電容量が小さくなると、発振回路26で得られる励
振信号電圧が大きくなる。逆に、コンデンサ34の静電
容量が大きくなると、発振回路26の励振信号電圧が小
さくなる。これは、移相器30として用いられるCRフ
ィルタのカットオフ周波数が推移するためである。励振
信号電圧が大きくなると、振動体14の屈曲振動は大き
くなり、差動回路36から得られる回転角速度に対応し
た信号も大きくなる。逆に、励振信号電圧が小さくなる
と、振動体14の屈曲振動は小さくなり、差動回路36
から得られる回転角速度に対応した信号も小さくなる。
そのため、図6に示すように、励振信号電圧と振動ジャ
イロ10の感度変化率との間には、ほぼ比例関係があ
る。したがって、図4に示すような特性を有する温度補
償用コンデンサを用いた場合、図7に示すように、温度
と振動ジャイロ10の感度とが比例した特性を得ること
ができる。
【0016】このように、温度と振動ジャイロ10の感
度とが比例するため、温度の上昇にともなって感度が低
くなる特性を有する振動子にこの温度補償用コンデンサ
を用いた発振回路を使用すれば、温度変化に対する感度
の変化が相殺されて、温度の変化にかかわらず一定の感
度を有する振動ジャイロを得ることができる。また、図
8に示すように、温度の上昇にともなって静電容量が増
加する温度補償用コンデンサを用いれば、図9に示すよ
うに、温度の上昇にともなって感度が低くなる振動ジャ
イロを得ることができる。したがって、このような温度
補償用コンデンサを用いれば、温度上昇にともなって感
度が高くなる振動子の特性を補正することができる。
【0017】また、図10に示すように、移相器30と
して2段のCRフィルタを用いる場合、それぞれのフィ
ルタに特性の異なる温度補償用コンデンサを用いれば、
振動ジャイロ10の感度の温度特性をより細かく微調整
することができる。たとえば、図11に示すように、あ
る温度補償用コンデンサAを用いたときと別の温度補償
用コンデンサBを用いたときとで逆の傾きを有する感度
変化が得られる場合、2つのCRフィルタのコンデンサ
としてA,Bの温度補償用コンデンサを用いることによ
って、ほぼ一定の感度を有する振動ジャイロを得ること
ができる。
【0018】このように、発振回路26の移相器30に
温度補償用コンデンサを用いることによって、振動ジャ
イロ10の感度の温度特性を補正することができる。こ
のような温度補償用コンデンサは安価であり、サーミス
タなどのような高価な部品を用いて温度補償する場合に
比べて部品コストを抑えることができる。
【0019】なお、上述の実施例では、振動体14を正
3角柱状に形成したが、たとえば4角柱状など他の角柱
状に形成してもよい。また、振動体14の材料として圧
電体を用いてもよい。この場合、振動体14の側面に
は、圧電素子の代わりに電極が形成される。このような
振動子では、振動体の形状として円柱状のものを用いる
ことができる。このような振動子を使用した場合でも、
発振回路の移相器に温度補償用コンデンサを用いること
により、雰囲気温度の変化に対してほぼ一定の感度を有
する振動ジャイロを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例を示す図解図である。
【図2】図1に示す振動ジャイロに用いられる振動子を
示す斜視図である。
【図3】図2に示す振動子の断面図である。
【図4】図1の振動ジャイロに用いられる温度補償用コ
ンデンサの特性を示すグラフである。
【図5】温度補償用コンデンサの容量変化率と発振回路
から得られる励振信号電圧変化率との関係を示すグラフ
である。
【図6】励振信号電圧変化率と振動ジャイロの感度変化
率との関係を示すグラフである。
【図7】温度と振動ジャイロの感度変化率との関係を示
すグラフである。
【図8】図4とは異なる温度補償用コンデンサの特性を
示すグラフである。
【図9】図8に示す温度補償用コンデンサを用いたとき
の温度と振動ジャイロの感度変化率との関係を示すグラ
フである。
【図10】この発明の他の実施例を示す図解図である。
【図11】異なる特性の温度補償用コンデンサを用いた
ときの温度と感度変化率との関係および図10に示す振
動ジャイロにこれらの温度補償用コンデンサを用いたと
きの温度と感度変化率との関係を示すグラフである。
【図12】従来の振動ジャイロの一例を示す図解図であ
る。
【符号の説明】
10 振動ジャイロ 12 振動子 14 振動体 16a,16b,16c 圧電素子 26 発振回路 28 増幅器 30 移相器 32 抵抗 34 コンデンサ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 柱状の振動体と、前記振動体に屈曲振動
    を与えるための発振回路とを含む振動ジャイロにおい
    て、 前記発振回路は増幅器と前記増幅器の出力信号の位相を
    調整するための移相器とからなり、前記移相器に含まれ
    るコンデンサとして温度補償用コンデンサが用いられた
    ことを特徴とする、振動ジャイロ。
JP5264324A 1993-09-24 1993-09-27 振動ジャイロ Pending JPH0791963A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5264324A JPH0791963A (ja) 1993-09-27 1993-09-27 振動ジャイロ
DE69411108T DE69411108T2 (de) 1993-09-24 1994-09-22 Vibratordrehungsmessaufnehmer
EP94114974A EP0645602B1 (en) 1993-09-24 1994-09-22 Vibrating gyroscope
US08/798,989 US5824899A (en) 1993-09-24 1997-02-11 Vibratory gyroscope
US08/874,672 US5962785A (en) 1993-09-24 1997-06-13 Vibrating gyroscope

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5264324A JPH0791963A (ja) 1993-09-27 1993-09-27 振動ジャイロ

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Publication Number Publication Date
JPH0791963A true JPH0791963A (ja) 1995-04-07

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ID=17401606

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JP5264324A Pending JPH0791963A (ja) 1993-09-24 1993-09-27 振動ジャイロ

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