JPH0790594A - Coating solution for forming titanium based multiple oxide - Google Patents
Coating solution for forming titanium based multiple oxideInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、チタン系複合酸化物を
形成するための、安定な塗布液に関するものである。さ
らに詳しくいえば、本発明は、ケイ素、ガラス、セラミ
ックス、金属などの基板上に、誘電性、圧電性、焦電
性、電歪、電気光学的性質を示すチタン系複合酸化物被
膜を形成するのに用いられる安定な塗布液に関するもの
である。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a stable coating liquid for forming a titanium-based composite oxide. More specifically, the present invention forms a titanium-based composite oxide film having dielectric, piezoelectric, pyroelectric, electrostrictive, and electro-optical properties on a substrate made of silicon, glass, ceramics, metal or the like. The present invention relates to a stable coating solution used for.
【０００２】[0002]
【従来の技術】チタン系複合酸化物は、ＢａＴｉＯ
3系、Ｐｂ（Ｆｅ、Ｗ）Ｏ3−Ｐｂ（Ｆｅ、Ｎｂ）Ｏ
3系、Ｐｂ（Ｎｉ、Ｎｂ）Ｏ3−Ｐｂ（Ｍｇ、Ｗ）Ｏ3−
ＰｂＴｉＯ3系、Ｐｂ（Ｍｇ、Ｎｂ）Ｏ3−Ｐｂ（Ｎｉ、
Ｎｂ）Ｏ3−ＰｂＴｉＯ3系、Ｂａ2、Ｔｉ 9Ｏ20系、（Ｚ
ｒ、Ｓｎ）ＴｉＯ4系、ＭｇＴｉＯ3−ＣａＴｉＯ3系、
ＭｇＯ−ＴｉＯ2−Ｌａ2Ｏ3−ＣａＯ系、（Ｓｒ、Ｃ
ａ）［（Ｌｉ、Ｎｂ）Ｔｉ］Ｏ3系、ＢａＯ・Ｓｍ2Ｏ3
・５ＴｉＯ2系、ＢａＯ−ＰｂＯ−Ｎｄ2Ｏ3−ＴｉＯ2系
の誘電体として、ＢａＴｉＯ3系、ＰｂＴｉＯ3−ＰｂＺ
ｒＯ3系、ＰｂＴｉＯ3−ＰｂＺｒＯ3−Ｐｂ（Ｍｇ、Ｎ
ｂ）Ｏ3系の圧電体として、あるいはＢａＴｉＯ3系、Ｓ
ｒＴｉＯ3系の誘電体、圧電体、バリスタなどとして広
く用いられている。それらに特有の物性を利用して、超
音波洗浄、蓄電器のピックアップ振動子、通信用フィル
ター、音波遅延回路、高電圧発生用トランス、赤外線セ
ンサーなどの電子素子や着火素子、各種の電気光学材
料、超電導材料などの用途に供されている。2. Description of the Related Art A titanium-based composite oxide is BaTiO 3.
3System, Pb (Fe, W) O3-Pb (Fe, Nb) O
3System, Pb (Ni, Nb) O3-Pb (Mg, W) O3−
PbTiO3System, Pb (Mg, Nb) O3-Pb (Ni,
Nb) O3-PbTiO3System, Ba2, Ti 9O20System, (Z
r, Sn) TiOFourSystem, MgTiO3-CaTiO3system,
MgO-TiO2-La2O3-CaO system, (Sr, C
a) [(Li, Nb) Ti] O3System, BaO / Sm2O3
・ 5TiO2System, BaO-PbO-Nd2O3-TiO2system
As a dielectric of3System, PbTiO3-PbZ
rO3System, PbTiO3-PbZrO3-Pb (Mg, N
b) O3As a piezoelectric material of the system, or BaTiO 33System, S
rTiO3Widely used as dielectrics, piezoelectrics, varistors, etc.
It is widely used. By utilizing the physical properties unique to them,
Sonic cleaning, condenser pick-up oscillator, communication fill
Switch, sound wave delay circuit, high voltage generating transformer, infrared sensor
Electronic elements such as sensors and ignition elements, various electro-optical materials
It is used for materials and superconducting materials.
【０００３】ところで、基板上にチタン系複合酸化物を
形成するには、基板上に、チタン化合物とともに、Ｐ
ｂ、Ｚｒ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｍｇなど複合酸化物の成分とな
る金属の化合物を含む溶液を塗布し、乾燥及び焼成する
方法が、操作が容易で、複雑形状の表面への適用可能な
ことから推奨されている。By the way, in order to form a titanium-based composite oxide on a substrate, P and P on a substrate together with a titanium compound.
The method of applying a solution containing a metal compound that is a component of a complex oxide such as b, Zr, Sr, Ba, and Mg, and drying and baking is easy to operate and can be applied to a surface having a complicated shape. Recommended.
【０００４】しかしながら、一般にこの方法で金属の化
合物として用いられている金属アルコキシドは、加水分
解しやすく、塗布液を調製し保存しているうちに分解し
て固形分を析出し、これを用いると生成する被膜が不均
一になるという欠点がある。However, the metal alkoxide generally used as the metal compound in this method is easily hydrolyzed, and decomposes during preparation and storage of the coating solution to precipitate a solid content, which is used. The disadvantage is that the resulting coating is non-uniform.
【０００５】このような欠点を改善し、保存安定性を向
上させるために、官能基としてアルコキシル基及びβ‐
ジケトン基を有する有機金属化合物溶液を使用すること
や（特開昭６１−９７１５９号公報）、鉛アルコキシド
又は鉛塩、ジルコニウムアルコキシド、チタンアルコキ
シドを含む溶液について、エタノールアミンとアルコー
ルを配合すること（特開平２−６３３５号公報）が提案
されているが、いずれも十分な保存安定性を得ることが
できず、実用的ではない。In order to improve such defects and improve storage stability, an alkoxyl group and β-
Use of an organic metal compound solution having a diketone group (Japanese Patent Laid-Open No. 61-97159) or blending of ethanolamine and alcohol in a solution containing lead alkoxide or lead salt, zirconium alkoxide, titanium alkoxide (special (Kaihei 2-6335) is proposed, but none of them can obtain sufficient storage stability and is not practical.
【０００６】他方、基板上に強誘電体膜のように、ある
程度の膜厚を必要とする複合酸化物被膜を形成させる場
合、これまでの塗布液では、必要な膜厚が得られるまで
何回も重ね塗りをしなければならず、操作が煩雑になる
のを避けられない。したがって、１回の塗布、焼成で所
望の膜厚が得られるような複合酸化物形成用塗布液が要
望されていた。On the other hand, in the case of forming a complex oxide film that requires a certain thickness, such as a ferroelectric film, on a substrate, the coating liquids used so far are required until the required thickness is obtained. However, it is inevitable that the operation becomes complicated because it is necessary to apply multiple layers. Therefore, there has been a demand for a coating solution for forming a complex oxide that can obtain a desired film thickness by one-time application and firing.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
事情のもとで、十分に実用的な保存安定性を有し、しか
も１回の塗布、焼成によって十分に厚膜の被膜を得るこ
とができるチタン系複合酸化物形成用塗布液を提供する
ことを目的としてなされたものである。Under the circumstances described above, the present invention has sufficiently practical storage stability, and a sufficiently thick film can be obtained by one-time application and firing. The purpose of the present invention is to provide a coating liquid for forming a titanium-based composite oxide that can be obtained.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明者らは、保存安定
性が良好で、しかも厚膜の塗膜を得るのに適したチタン
系複合酸化物形成用塗布液を開発するために鋭意研究を
重ねた結果、チタンのアルコキシド又はその錯体化合物
をオキシ酸との反応生成物として、他の必要な金属の可
溶性塩とともに含有させることにより保存安定性を著し
く向上させること及びこの塗布液にさらに可溶性ポリマ
ーを配合させると１回の塗布で厚膜の塗膜が得られるこ
とを見出し、この知見に基づいて本発明をなすに至っ
た。[Means for Solving the Problems] The inventors of the present invention have earnestly studied to develop a coating liquid for forming a titanium-based complex oxide, which has good storage stability and is suitable for obtaining a thick coating film. As a result, by adding titanium alkoxide or its complex compound as a reaction product with an oxyacid together with a soluble salt of other necessary metal, the storage stability is remarkably improved and further soluble in this coating solution. It was found that when a polymer is blended, a thick coating film can be obtained by a single coating, and the present invention has been completed based on this finding.
【０００９】すなわち、本発明は、（イ）テトラアルコ
キシチタン又はその錯体化合物と、オキシ酸との反応生
成物、（ロ）チタン系複合酸化物の成分となるチタン以
外の金属の可溶性塩、及び所望によりさらに（ハ）可溶
性ポリマーを含む有機溶剤性溶液から成るチタン系複合
酸化物形成用塗布液を提供するものである。That is, the present invention provides (a) a reaction product of tetraalkoxytitanium or a complex compound thereof with an oxyacid, (b) a soluble salt of a metal other than titanium as a component of a titanium-based composite oxide, and A coating liquid for forming a titanium-based composite oxide, which further comprises (c) an organic solvent-based solution containing a soluble polymer, is provided.
【００１０】本発明の（イ）成分は、テトラアルコキシ
チタン又はその錯体化合物とオキシ酸との反応生成物で
あるが、このテトラアルコキシチタンは、一般式 Ｔｉ（ＯＲ）4 … Ｉ （式中のＲはアルキル基であって、各Ｒは同一でも異な
っていてもよい）で表わされる化合物である。このよう
な化合物としては、例えばテトラメトキシチタン、テト
ラエトキシチタン、テトラプロポキシチタン、テトラブ
トキシチタン、テトラペントキシチタン、テトラヘキソ
キシチタン、トリメトキシエトキシチタン、ジメトキシ
ジエトキシチタン、ジメトキシジプロポキシチタン、ジ
エトキシジプロポキシチタン、トリエトキシブトキシチ
タン、ジエトキシジブトキシチタンなどを挙げることが
できる。これらのテトラアルコキシチタンは、単独で用
いてもよいし、また２種以上混合して用いてもよい。The component (a) of the present invention is a reaction product of tetraalkoxytitanium or a complex compound thereof and an oxyacid. The tetraalkoxytitanium has the general formula: Ti (OR) 4 ... I (wherein R is an alkyl group, and each R may be the same or different). Examples of such a compound include tetramethoxy titanium, tetraethoxy titanium, tetrapropoxy titanium, tetrabutoxy titanium, tetrapentoxy titanium, tetrahexoxy titanium, trimethoxyethoxy titanium, dimethoxydiethoxy titanium, dimethoxydipropoxy titanium, and dimethoxy titanium. Examples thereof include ethoxydipropoxytitanium, triethoxybutoxytitanium and diethoxydibutoxytitanium. These tetraalkoxy titaniums may be used alone or in combination of two or more.
【００１１】本発明においては、上記のテトラアルコキ
シチタンの代りにその錯化合物を用いることもできる
が、この錯体化合物は、例えばテトラアルコキシチタン
にβ‐ジケトン化合物やグリコール化合物を付加させる
ことによって得られるものである。この際に用いられる
β‐ジケトンの例としては、アセチルアセトン、トリフ
ルオロアセチルアセトン、ヘキサフルオロアセチルアセ
トン、ベンンゾイルアセトン、ベンゾイルトリフルオロ
アセトン、ジベンゾイルメタン、アセト酢酸メチルエス
テル、アセト酢酸エチルエステル、アセト酢酸ブチルエ
ステルなどが、またグリコール化合物の例としては、エ
チレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレ
ングリコール、テトラエチレングリコール、プロピレン
グリコール、ジプロピレングリコール、トリメチレング
リコール、ブタンジオール、ヘキシレングリコールなど
がある。これらは単独で用いてもよいし、また２種以上
混合して用いてもよい。さらにテトラアルコキシチタン
と混合して用いてもよい。In the present invention, a complex compound thereof may be used in place of the above tetraalkoxytitanium, and this complex compound is obtained, for example, by adding a β-diketone compound or a glycol compound to tetraalkoxytitanium. It is a thing. Examples of β-diketones used in this case include acetylacetone, trifluoroacetylacetone, hexafluoroacetylacetone, benzoylacetone, benzoyltrifluoroacetone, dibenzoylmethane, acetoacetic acid methyl ester, acetoacetic acid ethyl ester, acetoacetic acid butyl ester. Esters and the like, and examples of glycol compounds include ethylene glycol, diethylene glycol, triethylene glycol, tetraethylene glycol, propylene glycol, dipropylene glycol, trimethylene glycol, butanediol, hexylene glycol and the like. These may be used alone or in combination of two or more. Further, it may be used as a mixture with tetraalkoxy titanium.
【００１２】本発明の塗布液で用いられる（イ）成分
は、上記チタン化合物又はその錯体化合物をオキシ酸と
反応させて得られる反応生成物であるが、オキシ酸とし
ては、例えばグリコール酸、乳酸、ヒドロキシアクリル
酸、オキシ酪酸、リンゴ酸などを挙げることができる
が、特に好ましいのは乳酸である。これらのオキシ酸は
単独で用いてもよいし、また２種以上混合して用いても
よい。The component (a) used in the coating liquid of the present invention is a reaction product obtained by reacting the above titanium compound or its complex compound with an oxyacid. Examples of the oxyacid include glycolic acid and lactic acid. , Hydroxyacrylic acid, oxybutyric acid, malic acid and the like can be mentioned, with lactic acid being particularly preferred. These oxy acids may be used alone or in combination of two or more.
【００１３】テトラアルコキシチタン又はその錯体化合
物とオキシ酸との反応は、例えばテトラアルコキシチタ
ン又はその錯体化合物を適当な有機溶剤に溶解し、これ
にオキシ酸を加え、かきまぜることによって行うことが
できる。この際、必要ならば加熱して反応を促進させる
こともできる。The reaction of tetraalkoxytitanium or its complex compound with an oxyacid can be carried out, for example, by dissolving tetraalkoxytitanium or its complex compound in a suitable organic solvent, adding an oxyacid thereto, and stirring. At this time, if necessary, the reaction can be promoted by heating.
【００１４】オキシ酸の使用量は、テトラアルコキシチ
タン又はその錯体化合物１モルに対し、０．５〜２．０
モル、好ましくは０．７〜１．２モルの範囲内で選ばれ
る。反応生成物の存在は、例えば、テトラアルコキシチ
タンまたその錯体化合物はそれぞれ単独では、水に溶解
せず、析出したり、ゲル化したりするが、これらとオキ
シ酸を接触させることにより得られる生成物が水に可溶
となることから確認することができる。The amount of the oxy acid used is 0.5 to 2.0 with respect to 1 mol of tetraalkoxy titanium or its complex compound.
It is selected in the range of 0.7 mol to 1 mol, preferably 0.7 to 1.2 mol. The presence of the reaction product is, for example, tetraalkoxytitanium or its complex compound alone does not dissolve in water but precipitates or gels, but a product obtained by contacting these with an oxyacid It can be confirmed from the fact that is soluble in water.
【００１５】本発明における（イ）成分は、あらかじめ
調製したものを用いてもよいが、テトラアルコキシチタ
ン又はその錯体化合物と（ロ）成分とを所定の割合で含
む有機溶剤中に所定量のオキシ酸を添加し、その場で生
成させるのが有利である。As the component (a) in the present invention, those prepared in advance may be used, but a predetermined amount of an oxy compound is added to an organic solvent containing tetraalkoxytitanium or its complex compound and the component (b) in a predetermined ratio. It is advantageous to add the acid and generate it in situ.
【００１６】次に本発明において（ロ）成分として用い
る金属の可溶性塩は、チタンとともに所望のチタン系複
合酸化物を構成するのに必要な金属の可溶性塩であっ
て、上記の金属は、これまで知られているチタン系複合
酸化物の金属成分の中から任意に選ぶことができ、特に
制限はない。このような金属としては、例えば、Ｐｂ、
Ｓｒ、Ｂａ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｎｉ、Ｎｂ、Ｚｒ、
Ｗ、Ｌａ、Ｙ、Ｌｉなどを挙げることができる。Next, the soluble salt of the metal used as the component (b) in the present invention is a soluble salt of the metal necessary to form a desired titanium-based composite oxide together with titanium. It is possible to arbitrarily select from the metal components of titanium-based composite oxides known up to now, and there is no particular limitation. Examples of such a metal include Pb,
Sr, Ba, Mg, Zn, Sn, Ni, Nb, Zr,
Examples thereof include W, La, Y and Li.
【００１７】これらの金属の可溶性塩としては、例えば
Ｂａ（ＣＨ3ＣＯＯ）2ｎＨ2Ｏ、Ｌａ（ＣＨ3ＣＯＯ）3
ｎＨ2Ｏ、Ｐｂ（ＣＨ3ＣＯＯ）2ｎＨ2Ｏ、Ｌｉ（ＣＨ3
ＣＯＯ）ｎＨ2Ｏ、Ｚｎ（ＣＨ3ＣＯＯ）2ｎＨ2Ｏ、Ｓｒ
（ＣＨ3ＣＯＯ）2ｎＨ2Ｏ、Ｙ（ＣＨ3ＣＯＯ）3ｎＨ
2Ｏ、Ｍｇ（ＣＨ3ＣＯＯ）2ｎＨ2Ｏなどの有機カルボン
酸塩、これらの有機カルボン酸塩と乳酸との反応生成
物、Ｂａ（ＮＯ3）2ｎＨ2Ｏ、Ｌａ（ＮＯ3）3ｎＨ2Ｏ、
Ｐｂ（ＮＯ3）2ｎＨ2Ｏ、Ｌｉ（ＮＯ3）ｎＨ2Ｏ、Ｍｇ
（ＮＯ3）2ｎＨ2Ｏ、Ｓｒ（ＮＯ3）2ｎＨ2Ｏ、Ｚｎ（Ｎ
Ｏ3）2ｎＨ2Ｏ、Ｙ（ＮＯ3）3ｎＨ2Ｏなどの硝酸塩、Ｓ
ｒ［ＯＣＯＣＨ（ＣＨ3）ＯＨ］2・Ｈ2Ｏ、Ｂａ［ＯＣ
ＯＣＨ（ＣＨ3）ＯＨ］2・Ｈ2Ｏ、Ｌｉ［ＯＣＯＣＨ
（ＣＨ3）ＯＨ］ 2・Ｈ2Ｏなどの乳酸塩を挙げることが
できるが、これらに限定されるものではなく、塗布液に
使用される有機溶剤に可溶な塩であれば、どのようなも
のでも用いることができる。これらの可溶性塩は、単独
で用いてもよいし、２種以上組み合わせて用いることも
できる。Examples of soluble salts of these metals include, for example,
Ba (CH3COO)2nH2O, La (CH3COO)3
nH2O, Pb (CH3COO)2nH2O, Li (CH3
COO) nH2O, Zn (CH3COO)2nH2O, Sr
(CH3COO)2nH2O, Y (CH3COO)3nH
2O, Mg (CH3COO)2nH2Organic carvone such as O
Acid salt, reaction formation of these organic carboxylates with lactic acid
Thing, Ba (NO3)2nH2O, La (NO3)3nH2O,
Pb (NO3)2nH2O, Li (NO3) NH2O, Mg
(NO3)2nH2O, Sr (NO3)2nH2O, Zn (N
O3)2nH2O, Y (NO3)3nH2Nitrate such as O, S
r [OCOCH (CH3) OH]2・ H2O, Ba [OC
OCH (CH3) OH]2・ H2O, Li [OCOCH
(CH3) OH] 2・ H2Lactate such as O
However, the coating liquid is not limited to these, and
Any salt that is soluble in the organic solvent used
Can also be used. These soluble salts are
May be used, or two or more kinds may be used in combination.
it can.
【００１８】（イ）成分と（ロ）成分との使用割合は、
所望の複合酸化物中の各金属の原子比に応じて定められ
るが、通常、チタン１当量当り、それ以外の金属の合計
量０．１〜５当量好ましくは０．２〜３当量の範囲内で
選ばれる。The use ratio of the component (a) and the component (b) is
It is determined depending on the atomic ratio of each metal in the desired complex oxide, but is usually within the range of 0.1 to 5 equivalents, preferably 0.2 to 3 equivalents, per total of 1 equivalent of titanium. Is selected in.
【００１９】本発明においては、（イ）成分と（ロ）成
分とをそれらを溶解しうる有機溶剤中に溶解させたもの
であるが、このような有機溶剤としては、例えばメチル
アルコール、エチルアルコール、イソプロピルアルコー
ル、ｎ‐プロピルアルコール、ｎ‐ブチルアルコール、
エチレングリコール、プロピレングリコール、ブチレン
グリコール、ヘキシレングリコール、オクチレングリコ
ール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコー
ル、ジヘキシレングリコール、エチレングリコールモノ
メチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテ
ル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレン
グリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコール
モノフェニルエーテル、エチレングリコールモノベンジ
ルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテ
ル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピ
レングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコー
ルジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエー
テル、エチレングリコールジブチルエーテル、エチレン
グリコールジプロピルエーテル、エチレングリコールジ
ベンジルエーテル、エチレングリコールメチルエチルジ
エーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プ
ロピレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリ
コールジブチルエーテル、メチルカルビトール、エチル
カルビトール、ブチルカルビトール、フェニルカルビト
ール、ベンジルカルビトール、ジメチルカルビトール、
ジエチルカルビトール、ジブチルカルビトール、ジフェ
ニルカルビトール、ジベンジルカルビトール、メチルエ
チルカルビトール、ジプロピレングリコールジメチルエ
ーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、ジ
プロピレングリコールジブチルエーテル、乳酸などを挙
げることができる。これらの有機溶剤は単独で用いても
よいし、２種以上混合して用いてもよい。In the present invention, the component (a) and the component (b) are dissolved in an organic solvent capable of dissolving them. Examples of such an organic solvent include methyl alcohol and ethyl alcohol. , Isopropyl alcohol, n-propyl alcohol, n-butyl alcohol,
Ethylene glycol, propylene glycol, butylene glycol, hexylene glycol, octylene glycol, diethylene glycol, dipropylene glycol, dihexylene glycol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene Glycol monophenyl ether, ethylene glycol monobenzyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, ethylene glycol dibutyl ether, ethylene glycol dipropyl Ether, ethylene glycol dibenzyl ether, ethylene glycol methyl ethyl diether, propylene glycol dimethyl ether, propylene glycol diethyl ether, propylene glycol dibutyl ether, methyl carbitol, ethyl carbitol, butyl carbitol, phenyl carbitol, benzyl carbitol, dimethyl Carbitol,
Examples thereof include diethyl carbitol, dibutyl carbitol, diphenyl carbitol, dibenzyl carbitol, methyl ethyl carbitol, dipropylene glycol dimethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, dipropylene glycol dibutyl ether, and lactic acid. These organic solvents may be used alone or in combination of two or more.
【００２０】本発明においては、これらの成分に加え
て、厚膜性の塗膜の形成を容易にするために、所望に応
じ、さらに（ハ）成分として可溶性特にアルコール可溶
性のポリマーを配合することができる。このような可溶
性ポリマーとしては、その分子構造中に水酸基を有する
もの、例えば部分けん化したポリ酢酸ビニル、ポリビニ
ルアルコール、ホルマール樹脂、ブチラール樹脂、ポリ
グリセリンなど、あるいは２‐ヒドロキシメチルアクリ
レート、２‐ヒドロキシメチルメタクリレート、２‐ヒ
ドロキシエチルアクリレート、２‐ヒドロキシエチルメ
タクリレート、２‐ヒドロキシプロピルアクリレート、
２‐ヒドロキシプロピルメタクリレート、２‐ヒドロキ
シブチルアクリレート、２‐ヒドロキシブチルメタクリ
レートなどの水酸基をもつモノマーの単独重合体及び共
重合体を挙げることができる。そのほか、ポリビニルピ
ロリドンのような可溶性ポリマーも用いることができ
る。In the present invention, in addition to these components, in order to facilitate the formation of a thick film, a soluble (particularly) alcohol-soluble polymer may be added as the component (C), if desired. You can Such a soluble polymer has a hydroxyl group in its molecular structure, for example, partially saponified polyvinyl acetate, polyvinyl alcohol, formal resin, butyral resin, polyglycerin, etc., or 2-hydroxymethyl acrylate, 2-hydroxymethyl. Methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl acrylate,
Mention may be made of homopolymers and copolymers of monomers having hydroxyl groups such as 2-hydroxypropyl methacrylate, 2-hydroxybutyl acrylate and 2-hydroxybutyl methacrylate. In addition, soluble polymers such as polyvinylpyrrolidone can also be used.
【００２１】これらの可溶性ポリマーは、塗布液中に含
まれる（イ）成分と（ロ）成分の合計量１００重量部当
り１〜１００重量部好ましくは３〜４０重量部の範囲内
で配合される。この量が１重量部未満のものでは、１回
の塗布で厚膜の塗膜を形成することが困難になるし、１
００重量部よりも多くなると、形成されるチタン系複合
酸化物の物性が低下する。These soluble polymers are added in an amount of 1 to 100 parts by weight, preferably 3 to 40 parts by weight, per 100 parts by weight of the total amount of the components (a) and (b) contained in the coating liquid. . If this amount is less than 1 part by weight, it becomes difficult to form a thick coating film by one-time application.
If the amount is more than 100 parts by weight, the physical properties of the titanium-based composite oxide formed will deteriorate.
【００２２】本発明の塗布液は、所定の有機溶剤中に、
（イ）成分と（ロ）成分及び場合により（ハ）成分を、
全固形成分濃度が５〜５０重量％の範囲になるように溶
解し、十分に分散させることによって調製される。The coating solution of the present invention is prepared by adding
(A) component and (b) component and (ha) component in some cases,
It is prepared by dissolving and fully dispersing so that the total solid component concentration is in the range of 5 to 50% by weight.
【００２３】このようにして得られた本発明の塗布液
は、プラスチックス、ガラス、セラミックス、金属ナイ
トライドや金属カーボネートなどの粉末を焼成して得ら
れた基板、金属、半導体基板などに塗布され、加熱する
ことで均一性に優れた強誘電体膜である複合金属酸化物
被膜を形成することができる。この場合の塗布手段とし
ては浸漬引き上げ法、スプレー法、スピンコート法、刷
毛塗り法、ロールコート法、印刷法、減圧吹付け法（Ｌ
ＳＣＵＤ法）のいずれの方法でも用いることができる。
また加熱手段としてはホットプレート加熱、熱風加熱、
バーナー加熱、赤外線加熱、レーザー加熱、高周波加
熱、急速加熱法（ＲＴＡ法）などを挙げることができ
る。加熱温度は２５０℃以上、好ましくは３５０℃以上
で化学的に安定した被膜を形成することができるが、基
板の材質などにより制限を受けるので、基板が耐えられ
る温度内で適宜選択する必要がある。The coating solution of the present invention thus obtained is applied to substrates, metals, semiconductor substrates, etc. obtained by firing powders of plastics, glass, ceramics, metal nitrides, metal carbonates and the like. By heating, it is possible to form a composite metal oxide film which is a ferroelectric film having excellent uniformity. As the coating means in this case, a dipping and pulling method, a spray method, a spin coating method, a brush coating method, a roll coating method, a printing method, a reduced pressure spraying method (L
Any of the SCUD method) can be used.
As heating means, hot plate heating, hot air heating,
Burner heating, infrared heating, laser heating, high frequency heating, rapid heating method (RTA method) and the like can be mentioned. A heating temperature of 250 ° C. or higher, preferably 350 ° C. or higher can form a chemically stable coating film, but it is limited by the material of the substrate, so it must be appropriately selected within a temperature that the substrate can withstand. .
【００２４】[0024]
【発明の効果】本発明の塗布液は、従来の塗布液に比べ
て極めて優れた保存安定性を示し、長期間にわたって保
存してもその性能が低下することはないし、また、１回
の塗布により、容易に所望の膜厚の複合酸化物膜を基板
上に形成しうるという利点を有するので、基板上に強誘
電体膜のような特定の電気的特性をもつセラミックス膜
を形成させるための塗布液として好適である。The coating liquid of the present invention exhibits extremely excellent storage stability as compared with conventional coating liquids, and its performance does not deteriorate even after storage for a long period of time. Has an advantage that a complex oxide film having a desired film thickness can be easily formed on a substrate. Therefore, it is possible to form a ceramic film having specific electric characteristics such as a ferroelectric film on a substrate. It is suitable as a coating liquid.
【００２５】[0025]
【実施例】次に実施例により本発明をさらに詳細に説明
する。EXAMPLES The present invention will be described in more detail with reference to examples.
【００２６】実施例１ エチレングリコールモノメチルエーテル５００ｇと乳酸
５４０ｇとを均一混合し、その中に酢酸ストロンチウム
半水塩１０７．３６ｇ（０．５モル）と酢酸バリウム１
２９．７ｇ（０．５モル）とを加え、１〜２時間反応さ
せて得られた溶液に、テトラブトキシチタン３４３．８
６ｇ（１モル）をゆっくり加えて反応させて得られた溶
液１６８．９ｇに、エチレングリコールモノメチルエー
テル２５０ｇを加え、均一に希釈したものを０．４５μ
ｍのフィルターにかけて塗布液を調製した。Example 1 500 g of ethylene glycol monomethyl ether and 540 g of lactic acid were uniformly mixed, and 107.36 g (0.5 mol) of strontium acetate hemihydrate and 1 barium acetate were mixed therein.
To the solution obtained by adding 29.7 g (0.5 mol) and reacting for 1 to 2 hours, tetrabutoxy titanium 343.8.
To 168.9 g of a solution obtained by slowly adding 6 g (1 mol) and adding 250 g of ethylene glycol monomethyl ether, and uniformly diluting 0.45 μm.
A coating solution was prepared by applying a filter of m.
【００２７】次いで、３インチシリコウエーハ上に、塗
布液をスピンナーで、２０００ｒｐｍの回転数で塗布
し、塗布膜を得た。そして１４０℃、３００℃、５００
℃、７００℃と各々３０分間焼成処理を行うことで透明
で均一な膜厚７６０Åの強誘電体膜を形成することがで
きた。Next, the coating solution was applied onto a 3-inch silicon wafer with a spinner at a rotation speed of 2000 rpm to obtain a coating film. And 140 ℃, 300 ℃, 500
A transparent and uniform ferroelectric film having a film thickness of 760 Å could be formed by carrying out a baking treatment at 30 ° C. and 700 ° C. for 30 minutes each.
【００２８】また、調製した塗布液は室温で３か月間静
置しても、塗布液中に析出物などは全く認められなかっ
た。Further, even when the prepared coating solution was allowed to stand at room temperature for 3 months, no deposits and the like were found in the coating solution.
【００２９】実施例２ エチレングリコールモノメチルエーテル５００ｇと乳酸
３６０ｇとを均一に混合し、その中に酢酸ストロンチウ
ム半水塩６４．４ｇ（０．３モル）と酢酸バリウム１７
８．８ｇ（０．７モル）とを加え、１〜２時間反応させ
て得られた溶液に、テトラブトキシチタン３４３．８６
ｇ（１モル）をゆっくりと加えて反応させて得られた溶
液１４４．７１ｇに、純水７．２ｇとエチレングリコー
ルモノメチルエーテル２７５ｇを加え、均一に希釈した
ものを０．４５μｍのフィルターにかけて塗布液を調製
した。Example 2 500 g of ethylene glycol monomethyl ether and 360 g of lactic acid were uniformly mixed, and 64.4 g (0.3 mol) of strontium acetate hemihydrate and 17 barium acetate were mixed therein.
To the solution obtained by adding 8.8 g (0.7 mol) and reacting for 1-2 hours, tetrabutoxy titanium 343.86.
g (1 mol) was slowly added and reacted to obtain 144.71 g of a solution, to which 7.2 g of pure water and 275 g of ethylene glycol monomethyl ether were added and uniformly diluted to obtain a coating solution with a 0.45 μm filter. Was prepared.
【００３０】次いで、３インチシリコンウエーハ上に、
塗布液をスピンナーで、２０００ｒｐｍの回転数で塗布
し、塗布膜を得た。そしてこの塗布膜に対して実施例１
と同様の操作で被膜を形成した結果、透明で均一な膜厚
７５０Åの強誘電体膜が形成された。また、この塗布液
は室温で３か月静置しても、塗布液中に析出物などは全
く認められなかった。Next, on a 3-inch silicon wafer,
The coating liquid was applied with a spinner at a rotation speed of 2000 rpm to obtain a coating film. Then, for this coating film, Example 1
As a result of forming a film by the same operation as above, a transparent and uniform ferroelectric film having a film thickness of 750Å was formed. Further, even when this coating solution was allowed to stand at room temperature for 3 months, no deposits and the like were observed in the coating solution.
【００３１】実施例３ 実施例２と同様にして反応させて得られた溶液１４４．
７１ｇに、純水７．２ｇとエチレングリコールモノメチ
ルエーテル２５０ｇを加え、均一に希釈し、さらにアセ
ト酢酸エチルエステル１７５ｇを加えてかきまぜて反応
させた。次にこの反応溶液に、ポリヒドロキシエチルメ
タクリレートの２６．３重量％エチレングリコールモノ
メチルエーテル溶液を４４．４７ｇを加えて、均一に混
合したものを０．４５μｍのフィルターにかけて塗布液
を調製した。Example 3 Solution 144 obtained by reacting in the same manner as in Example 144.
To 71 g, 7.2 g of pure water and 250 g of ethylene glycol monomethyl ether were added and uniformly diluted, and 175 g of acetoacetic acid ethyl ester was further added and stirred and reacted. Next, 44.47 g of a 26.3 wt% ethylene glycol monomethyl ether solution of polyhydroxyethyl methacrylate was added to this reaction solution, and the mixture was uniformly mixed and filtered through a 0.45 μm filter to prepare a coating solution.
【００３２】次いで、３インチシリコウエーハ上に、塗
布液をスピンナーで、２０００ｒｐｍの回転数で塗布
し、塗布膜を得た。そしてこの塗布膜に対して実施例１
と同様の操作で被膜を形成した結果、透明で均一な膜厚
９３０Åの強誘電体膜が形成された。また、この塗布液
は室温で３か月静置しても、塗布液中に析出物などは全
く認められなかった。Next, the coating liquid was applied onto a 3-inch silicon wafer with a spinner at a rotation speed of 2000 rpm to obtain a coating film. Then, for this coating film, Example 1
As a result of forming a film by the same operation as above, a transparent and uniform ferroelectric film having a film thickness of 930Å was formed. Further, even when this coating solution was allowed to stand at room temperature for 3 months, no deposits and the like were observed in the coating solution.
【００３３】実施例４ エチレングリコールモノメチルエーテル３００ｇとプロ
ピレングリコール１５２．２ｇと乳酸３６０．３２ｇと
を均一に混合し、酢酸ストロンチウム半水塩２１４．７
２ｇ（１モル）を加え、１〜２時間反応させて得られた
溶液に、テトラブトキシチタン３４３．８６ｇ（１モ
ル）とプロピレングリコール６．１ｇと乳酸９０．０８
ｇから成る溶液を加えて、均一に混合したのち、エチレ
ングリコールモノメチルエーテル５００ｇとプロピレン
グリコール５００ｇを加え、均一に希釈したものを０．
４５μｍのフィルターにかけて塗布液を調製した。Example 4 300 g of ethylene glycol monomethyl ether, 152.2 g of propylene glycol and 360.32 g of lactic acid were uniformly mixed to obtain 214.7 strontium acetate hemihydrate.
To the solution obtained by adding 2 g (1 mol) and reacting for 1 to 2 hours, 343.86 g (1 mol) of tetrabutoxy titanium, 6.1 g of propylene glycol and 90.08 of lactic acid were added.
After adding a solution consisting of 500 g and uniformly mixing, 500 g of ethylene glycol monomethyl ether and 500 g of propylene glycol were added and uniformly diluted to 0.
A coating solution was prepared by applying a 45 μm filter.
【００３４】次いで、３インチシリコウエーハ上に、塗
布液をスピンナーで、６０００ｒｐｍの回転数で塗布
し、塗布液を得た。そしてこの塗布膜に対して実施例１
と同様の操作で被膜を形成した結果、透明で均一な膜厚
７５０Åの強誘電体膜が形成された。また、この塗布液
は室温で３か月静置しても、塗布液中に析出物などは全
く認められなかった。Next, the coating solution was applied onto a 3-inch silicon wafer with a spinner at a rotation speed of 6000 rpm to obtain a coating solution. Then, for this coating film, Example 1
As a result of forming a film by the same operation as above, a transparent and uniform ferroelectric film having a film thickness of 750Å was formed. Further, even when this coating solution was allowed to stand at room temperature for 3 months, no deposits and the like were observed in the coating solution.
【００３５】実施例５ エチレングリコールモノメチルエーテル５００ｇと乳酸
３６０ｇとを均一に混合し、酢酸バリウム２５５．４４
ｇ（１モル）を加え、１〜２時間反応させて得られた溶
液に、テトラブトキシチタン３４３．８６ｇ（１モル）
をゆっくりと加えて反応させ、さらに純水７２ｇとエチ
レングリコールモノメチルエーテル１０９．４４ｇを加
えて希釈し、さらにポリヒドロキシプロピルメタクリレ
ートの１９．５重量％エチレングリコールモノメチルエ
ーテル溶液６００ｇを加え、混合したものを０．４５μ
ｍのフィルターにかけて塗布液を調製した。Example 5 500 g of ethylene glycol monomethyl ether and 360 g of lactic acid were uniformly mixed, and barium acetate of 255.44 was mixed.
g (1 mol) was added, and the solution obtained by reacting for 1 to 2 hours was added with tetrabutoxy titanium 343.86 g (1 mol).
Was slowly added to cause a reaction, 72 g of pure water and 109.44 g of ethylene glycol monomethyl ether were added to dilute, 600 g of a 19.5 wt% ethylene glycol monomethyl ether solution of polyhydroxypropyl methacrylate was further added, and the mixture was mixed. 0.45μ
A coating solution was prepared by applying a filter of m.
【００３６】次いで、３インチシリコウエーハ上に、塗
布液をスピンナーで、２０００ｒｐｍの回転数で塗布
し、塗布膜を得た。そしてこの塗布膜に対して実施例１
と同様の操作で被膜を形成した結果、透明で均一な膜厚
２２５０Åの強誘電体膜が形成された。また、この塗布
液は室温で３か月静置しても、塗布液中に析出物などは
全く認められなかった。Next, the coating liquid was applied onto a 3-inch silicon wafer with a spinner at a rotation speed of 2000 rpm to obtain a coating film. Then, for this coating film, Example 1
As a result of forming a film by the same operation as above, a transparent and uniform ferroelectric film having a film thickness of 2250 Å was formed. Further, even when this coating solution was allowed to stand at room temperature for 3 months, no deposits and the like were observed in the coating solution.
【００３７】実施例６ エチレングリコールモノメチルエーテル５００ｇと乳酸
３６０ｇとを均一に混合し、酢酸バリウム７６．６３ｇ
（０．３モル）と酢酸ストロンチウム半水塩１５０．３
ｇ（０．７モル）とを加え、２〜３時間反応させて得ら
れた溶液に、テトラブトキシチタン３４３．８６ｇ（１
モル）中へアセチルアセトン１００．１２ｇを加えて得
られた溶液を加えて、均一に混合したのち、純水７２ｇ
とエチレングリコールモノメチルエーテル１７５０ｇを
加え、均一に希釈したものを０．４５μｍのフィルター
にかけて塗布液を調製した。Example 6 500 g of ethylene glycol monomethyl ether and 360 g of lactic acid were uniformly mixed, and 76.63 g of barium acetate was mixed.
(0.3 mol) and strontium acetate hemihydrate 150.3
g (0.7 mol), and the solution obtained by reacting for 2 to 3 hours had 343.86 g (1
(Mole), and then the solution obtained by adding 100.12 g of acetylacetone was added and uniformly mixed, and then 72 g of pure water
And 1750 g of ethylene glycol monomethyl ether were added, and the mixture was uniformly diluted and filtered through a 0.45 μm filter to prepare a coating solution.
【００３８】次いで、３インチシリコウエーハ上に、塗
布液をスピンナーで、２０００ｒｐｍの回転数で塗布
し、塗布膜を得た。そしてこの塗布膜に対して実施例１
と同様の操作で被膜を形成した結果、透明で膜厚７５０
Åの強誘電体膜が形成された。また、この塗布液は室温
で３か月静置しても、塗布液中に析出物などは全く認め
られなかった。Next, the coating solution was applied onto a 3-inch silicon wafer with a spinner at a rotation speed of 2000 rpm to obtain a coating film. Then, for this coating film, Example 1
As a result of forming a film by the same operation as above, the film is transparent and has a film thickness of 750.
A Å ferroelectric film was formed. Further, even when this coating solution was allowed to stand at room temperature for 3 months, no deposits and the like were observed in the coating solution.
【００３９】実施例７ テトラブトキシチタン３４３．８６ｇ（１モル）に、エ
チレングリコールモノメチルエーテル７５０ｇを加え、
さらに乳酸１８０ｇを加えて得られた溶液に、アセチル
アセトン３８５ｇとエチレングリコールモノメチルエー
テル１５００ｇと硝酸ビスマス５水塩６４６．７５ｇ
（１．３モル）との混合溶液を加えたものを、０．４５
μｍのフィルターにかけて塗布液を調製した。Example 7 To 343.86 g (1 mol) of tetrabutoxy titanium was added 750 g of ethylene glycol monomethyl ether,
To the solution obtained by further adding 180 g of lactic acid, 385 g of acetylacetone, 1500 g of ethylene glycol monomethyl ether, and 646.75 g of bismuth nitrate pentahydrate.
What added the mixed solution with (1.3 mol) was 0.45
A coating solution was prepared by applying a filter of μm.
【００４０】次いで、３インチシリコンウエーハ上に、
塗布液をスピンナーで、２０００ｒｐｍの回転数で塗布
し、塗布膜を得た。そしてこの塗布膜に対して実施例１
と同様の操作で被膜を形成した結果、透明で均一な膜厚
８６０Åの強誘電体膜が形成された。また、この塗布液
は室温で３か月静置しても、塗布液中に析出物などは全
く認められなかった。Then, on a 3 inch silicon wafer,
The coating liquid was applied with a spinner at a rotation speed of 2000 rpm to obtain a coating film. Then, for this coating film, Example 1
As a result of forming a film by the same operation as described above, a transparent and uniform ferroelectric film having a film thickness of 860Å was formed. Further, even when this coating solution was allowed to stand at room temperature for 3 months, no deposits and the like were observed in the coating solution.
【００４１】実施例８ テトラブトキシチタン３４３．８６ｇ（１モル）に、プ
ロピレングリコール７６．１ｇを加え、さらに乳酸９
０．０８ｇを加えて得られた溶液に、プロピレングリコ
ール１５２．２ｇとエチレングリコールモノメチルエー
テル８００ｇと乳酸３６０．３２ｇと酢酸ストロンチウ
ム半水塩６４．４０ｇ（０．３モル）と酢酸バリウム１
７８．８０ｇとの混合溶液を加えたものを、０．４５μ
ｍのフィルターにかけて塗布液を調製した。Example 8 To 343.86 g (1 mol) of tetrabutoxytitanium was added 76.1 g of propylene glycol, and lactic acid 9 was added.
To the solution obtained by adding 0.08 g, 152.2 g of propylene glycol, 800 g of ethylene glycol monomethyl ether, 360.32 g of lactic acid, 64.40 g (0.3 mol) of strontium acetate hemihydrate and 1 barium acetate.
What added the mixed solution with 78.80g is 0.45μ
A coating solution was prepared by applying a filter of m.
【００４２】次いで、３インチシリコウエーハ上に、塗
布液をスピンナーで、４０００ｒｐｍの回転数で塗布
し、塗布膜を得た。そしてこの塗布膜に対して実施例１
と同様の操作で被膜を形成した結果、透明で均一な膜厚
７５０Åの強誘電体膜が形成された。また、この塗布液
は室温で３か月静置しても、塗布液中に析出物などは全
く認められなかった。Next, the coating liquid was applied onto a 3-inch silicon wafer with a spinner at a rotation speed of 4000 rpm to obtain a coating film. Then, for this coating film, Example 1
As a result of forming a film by the same operation as above, a transparent and uniform ferroelectric film having a film thickness of 750Å was formed. Further, even when this coating solution was allowed to stand at room temperature for 3 months, no deposits and the like were observed in the coating solution.
【００４３】実施例９ テトラアルコキシチタンと乳酸との反応物として市販さ
れているＴＬＡ（商品名、日本曹達社製）３４０ｇをエ
チレングリコールモノメチルエーテル５００ｇに加え、
さらに酢酸ストロンチウム半水塩１０７．３６ｇ（０．
５モル）と酢酸バリウム１２９．７ｇ（０．５モル）を
加え、１〜２時間反応させて得られた溶液に、エチレン
グリコールモノメチルエーテル２５０ｇを加えたもの
を、０．４５μｍのフィルターにかけて塗布液を調製し
た。Example 9 340 g of TLA (trade name, manufactured by Nippon Soda Co., Ltd.) commercially available as a reaction product of tetraalkoxytitanium and lactic acid was added to 500 g of ethylene glycol monomethyl ether,
Further, 107.36 g of strontium acetate hemihydrate (0.
5 mol) and 129.7 g (0.5 mol) of barium acetate and reacted for 1-2 hours, 250 g of ethylene glycol monomethyl ether was added to the solution, and the solution was applied to a 0.45 μm filter. Was prepared.
【００４４】次いで、３インチシリコウエーハ上に、塗
布液をスピンナーで、２０００ｒｐｍの回転数で塗布
し、塗布膜を得た。そしてこの塗布膜に対して実施例１
と同様の操作で被膜を形成した結果、透明で均一な膜厚
７５０Åの強誘電体膜が形成された。また、この塗布液
は室温で３か月静置しても、塗布液中に析出物などは全
く認められなかった。Next, the coating liquid was applied onto a 3-inch silicon wafer with a spinner at a rotation speed of 2000 rpm to obtain a coating film. Then, for this coating film, Example 1
As a result of forming a film by the same operation as above, a transparent and uniform ferroelectric film having a film thickness of 750Å was formed. Further, even when this coating solution was allowed to stand at room temperature for 3 months, no deposits and the like were observed in the coating solution.
【００４５】実施例１０ テトラブトキシチタンとアセチルアセトンとの反応物と
して市販されているＴＡＡ（商品名、日本曹達社製）３
４０ｇとエチレングリコールモノメチルエーテル５００
ｇと乳酸５４０ｇとを均一混合し、さらに酢酸ストロン
チウム１０７．３６ｇ（０．５モル）と酢酸バリウム１
２９．７ｇ（０．５モル）を加え、１〜２時間反応させ
て得られた溶液に、エチレングリコールモノメチルエー
テル２５０ｇを加えたものを、０．４５μｍのフィルタ
ーにかけて塗布液を調製した。Example 10 TAA (trade name, manufactured by Nippon Soda Co., Ltd.) 3 which is commercially available as a reaction product of tetrabutoxytitanium and acetylacetone
40 g and ethylene glycol monomethyl ether 500
g and 540 g of lactic acid are uniformly mixed, and 107.36 g (0.5 mol) of strontium acetate and 1 barium acetate are further mixed.
To the solution obtained by adding 29.7 g (0.5 mol) and reacting for 1 to 2 hours, 250 g of ethylene glycol monomethyl ether was added, and the solution was filtered through a 0.45 μm filter to prepare a coating solution.
【００４６】次いで、３インチシリコウエーハ上に、塗
布液をスピンナーで、２０００ｒｐｍの回転数で塗布
し、塗布膜を得た。そしてこの塗布膜に対して実施例１
と同様の操作で被膜を形成した結果、透明で均一な膜厚
７５０Åの強誘電体膜が形成された。また、この塗布液
は室温で３か月静置しても、塗布液中に析出物などは全
く認められなかった。Then, the coating solution was applied onto a 3-inch silicon wafer with a spinner at a rotation speed of 2000 rpm to obtain a coating film. Then, for this coating film, Example 1
As a result of forming a film by the same operation as above, a transparent and uniform ferroelectric film having a film thickness of 750Å was formed. Further, even when this coating solution was allowed to stand at room temperature for 3 months, no deposits and the like were observed in the coating solution.
【００４７】比較例１ 実施例１の塗布液調製において、乳酸を除いた以外は実
施例１と同様の操作で塗布液を調製したが、その塗布液
は調製時に白濁し、ゲル化物が確認され、強誘電体膜の
形成塗布液として使用できるものではなかった。Comparative Example 1 A coating solution was prepared in the same manner as in Example 1 except that lactic acid was removed in the preparation of the coating solution of Example 1. The coating solution became cloudy at the time of preparation and a gelled substance was confirmed. However, it cannot be used as a coating liquid for forming a ferroelectric film.
【００４８】比較例２ 実施例７の塗布液調製において、乳酸を除いた以外は実
施例１と同様の操作で塗布液を調製したが、その塗布液
は調製時に白濁し、ゲル化物が確認され、強誘電体膜の
形成塗布液として使用できるものではなかった。Comparative Example 2 A coating solution was prepared in the same manner as in Example 1 except that lactic acid was removed in the preparation of the coating solution of Example 7, but the coating solution became cloudy at the time of preparation and a gelled substance was confirmed. However, it cannot be used as a coating liquid for forming a ferroelectric film.
【００４９】比較例３ 実施例８の塗布液調製において、乳酸を除いた以外は実
施例１と同様の操作で塗布液を調製したが、その塗布液
は調製時に白濁し、ゲル化物が確認され、強誘電体膜の
形成塗布液として使用できるものではなかった。Comparative Example 3 A coating solution was prepared in the same manner as in Example 1 except that lactic acid was removed in the preparation of the coating solution of Example 8. The coating solution became cloudy at the time of preparation and a gelled substance was confirmed. However, it cannot be used as a coating liquid for forming a ferroelectric film.
Claims (3)
錯体化合物と、オキシ酸との反応生成物、及び（ロ）チ
タン系複合酸化物の成分となるチタン以外の金属の可溶
性塩を含む有機溶剤性溶液から成るチタン系複合酸化物
形成用塗布液。1. An organic solvent-based material containing (a) a reaction product of tetraalkoxytitanium or a complex compound thereof and an oxyacid, and (b) a soluble salt of a metal other than titanium as a component of a titanium-based composite oxide. A coating liquid for forming a titanium-based composite oxide, which is a solution.
Ｐｂ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｎｉ、Ｎｂ、Ｚ
ｒ、Ｗ、Ｌａ、Ｙ及びＬｉの中から選ばれた少なくとも
１種である請求項１記載のチタン系複合酸化物形成用塗
布液。2. The metal as a component of the titanium-based composite oxide is Pb, Sr, Ba, Mg, Zn, Sn, Ni, Nb, Z.
The coating liquid for forming a titanium-based composite oxide according to claim 1, which is at least one selected from r, W, La, Y and Li.
０重量部当り、１〜１００重量部の可溶性ポリマーを配
合した請求項１又は２記載のチタン系複合酸化物形成用
塗布液。3. The total amount of component (a) and component (b) is 10
The coating liquid for forming a titanium-based complex oxide according to claim 1 or 2, wherein 1 to 100 parts by weight of a soluble polymer is blended per 0 part by weight.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23829093A JPH0790594A (en) | 1993-09-24 | 1993-09-24 | Coating solution for forming titanium based multiple oxide |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23829093A JPH0790594A (en) | 1993-09-24 | 1993-09-24 | Coating solution for forming titanium based multiple oxide |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0790594A true JPH0790594A (en) | 1995-04-04 |
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ID=17027995
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23829093A Pending JPH0790594A (en) | 1993-09-24 | 1993-09-24 | Coating solution for forming titanium based multiple oxide |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0790594A (en) |
Cited By (6)
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| JP2003017663A (en) * | 2001-06-29 | 2003-01-17 | Rohm Co Ltd | Ferroelectric memory |
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| JP2006176385A (en) * | 2004-12-24 | 2006-07-06 | Seiko Epson Corp | Precursor composition, method of manufacturing precursor composition, ink for inkjet application, method of manufacturing ferroelectric film, piezoelectric device, semiconductor apparatus, piezoelectric actuator, inkjet recording head, and inkjet printer |
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