JPH0790554A - 成膜装置 - Google Patents
成膜装置Info
- Publication number
- JPH0790554A JPH0790554A JP23197393A JP23197393A JPH0790554A JP H0790554 A JPH0790554 A JP H0790554A JP 23197393 A JP23197393 A JP 23197393A JP 23197393 A JP23197393 A JP 23197393A JP H0790554 A JPH0790554 A JP H0790554A
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- JP
- Japan
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- molten metal
- plate
- magnetic
- recording medium
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- Pending
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高性能な磁気記録媒体を効率良く得ることが
出来る技術を提供することにある。 【構成】 容器内の金属材料を蒸発させ、支持体に堆積
させることにより金属膜を構成する成膜装置であって、
前記金属材料の溶湯上に浮かべられる板体と、この板体
上に金属材料を供給する供給手段とを具備する成膜装
置。
出来る技術を提供することにある。 【構成】 容器内の金属材料を蒸発させ、支持体に堆積
させることにより金属膜を構成する成膜装置であって、
前記金属材料の溶湯上に浮かべられる板体と、この板体
上に金属材料を供給する供給手段とを具備する成膜装
置。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば磁気記録媒体の
製造装置に関するものである。
製造装置に関するものである。
【0002】
【発明の背景】磁気テープ等の磁気記録媒体において
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されていることは周知の通りである。
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されていることは周知の通りである。
【0003】すなわち、無電解メッキといった湿式メッ
キ手段、真空蒸着、スパッタリングあるいはイオンプレ
ーティングといった乾式メッキ手段により磁性層を構成
した磁気記録媒体が提案されている。そして、この種の
磁気記録媒体は磁性体の充填密度が高いことから、高密
度記録に適したものである。特に、蒸着手段により磁性
膜を構成する手段は、スパッタリングによる場合よりも
成膜速度が速いことから好ましいものと言われている。
キ手段、真空蒸着、スパッタリングあるいはイオンプレ
ーティングといった乾式メッキ手段により磁性層を構成
した磁気記録媒体が提案されている。そして、この種の
磁気記録媒体は磁性体の充填密度が高いことから、高密
度記録に適したものである。特に、蒸着手段により磁性
膜を構成する手段は、スパッタリングによる場合よりも
成膜速度が速いことから好ましいものと言われている。
【0004】このような蒸着手段による磁気記録媒体の
製造装置は、図5のように構成されているものが一般的
である。尚、図5中、21は冷却キャン、22はポリエ
チレンテレフタレート(PET)フィルムの供給側ロー
ル、23はPETフィルムの巻取側ロール、24は遮蔽
板、25はルツボ、26は磁性合金、27は電子銃、2
8は真空容器、29は供給装置である。すなわち、真空
容器28内を所定の真空度のものに排気した後、電子銃
27を作動させてルツボ25内の磁性合金26を蒸発さ
せ、PETフィルムに対して磁性合金26を堆積(蒸
着)させることによって磁気記録媒体が製造されてい
る。
製造装置は、図5のように構成されているものが一般的
である。尚、図5中、21は冷却キャン、22はポリエ
チレンテレフタレート(PET)フィルムの供給側ロー
ル、23はPETフィルムの巻取側ロール、24は遮蔽
板、25はルツボ、26は磁性合金、27は電子銃、2
8は真空容器、29は供給装置である。すなわち、真空
容器28内を所定の真空度のものに排気した後、電子銃
27を作動させてルツボ25内の磁性合金26を蒸発さ
せ、PETフィルムに対して磁性合金26を堆積(蒸
着)させることによって磁気記録媒体が製造されてい
る。
【0005】ところで、このような製造装置において長
尺状のPETフィルムに連続的に磁性材料を蒸着させる
為には、蒸発により失われた磁性金属を補給する必要が
ある。そこで、供給装置29でルツボ25に磁性合金の
塊30を供給しているのである。しかし、従来にあって
は、磁性合金の塊30がルツボ25に瞬間的に落ち込む
ので、溶湯温度が瞬間的に低下し、蒸着レートが瞬間的
に下がったり、又、突沸が起きたりしたりしていた。更
に、磁性合金の塊30が溶湯内に落下した際、液跳ねが
起き、又、溶湯に波が生じていた。この為、PETフィ
ルム上に堆積する磁性膜に欠陥が引き起こされ、高性能
な磁気記録媒体の生産効率が著しく低下してしまうと言
う問題があった。
尺状のPETフィルムに連続的に磁性材料を蒸着させる
為には、蒸発により失われた磁性金属を補給する必要が
ある。そこで、供給装置29でルツボ25に磁性合金の
塊30を供給しているのである。しかし、従来にあって
は、磁性合金の塊30がルツボ25に瞬間的に落ち込む
ので、溶湯温度が瞬間的に低下し、蒸着レートが瞬間的
に下がったり、又、突沸が起きたりしたりしていた。更
に、磁性合金の塊30が溶湯内に落下した際、液跳ねが
起き、又、溶湯に波が生じていた。この為、PETフィ
ルム上に堆積する磁性膜に欠陥が引き起こされ、高性能
な磁気記録媒体の生産効率が著しく低下してしまうと言
う問題があった。
【0006】
【発明の開示】本発明の目的は、高性能な磁気記録媒体
を効率良く得ることが出来る技術を提供することにあ
る。この本発明の目的は、容器内の金属材料を蒸発さ
せ、支持体に堆積させることにより金属膜を構成する成
膜装置であって、前記金属材料の溶湯上に浮かべられる
板体と、この板体上に金属材料を供給する供給手段とを
具備することを特徴とする成膜装置によって達成され
る。
を効率良く得ることが出来る技術を提供することにあ
る。この本発明の目的は、容器内の金属材料を蒸発さ
せ、支持体に堆積させることにより金属膜を構成する成
膜装置であって、前記金属材料の溶湯上に浮かべられる
板体と、この板体上に金属材料を供給する供給手段とを
具備することを特徴とする成膜装置によって達成され
る。
【0007】尚、前記板体は、耐熱性の観点からセラミ
ックスで構成されていることが好ましく、例えば200
0℃以上の融点であり、かつ、低比重のセラミックス、
例えばCr2 O3 、Al2 O3 、Si3 N4 、MgO、
BeO、BN、B4 C3 、SiCなどで構成されている
ものが好ましい。又、前記供給される金属材料は、板状
に構成されていることが好ましく、特に、厚さが0.5
mm〜5mmであることが好ましい。
ックスで構成されていることが好ましく、例えば200
0℃以上の融点であり、かつ、低比重のセラミックス、
例えばCr2 O3 、Al2 O3 、Si3 N4 、MgO、
BeO、BN、B4 C3 、SiCなどで構成されている
ものが好ましい。又、前記供給される金属材料は、板状
に構成されていることが好ましく、特に、厚さが0.5
mm〜5mmであることが好ましい。
【0008】又、前記板体を所定の位置(蒸発部分以外
の位置、例えば蒸発部分から離れた位置)に規制する規
制手段を具備することが好ましい。そして、本発明によ
れば、磁性材料の供給に際して磁性材料が一度板体上に
乗り、この上で温められ、そしてゆっくりと溶湯内に入
るので、溶湯温度が急激に低下といった不都合は起きな
い。この為、蒸着レートも大幅に低下することはない。
又、従来のような液跳ねが起きることもなく、かつ、溶
湯に波が立つといったこともない。従って、溶湯の液面
は安定しており、磁性材料の蒸発が安定しており、支持
体上に堆積する磁性膜に欠陥が引き起こされ難く、高性
能な磁気記録媒体が生産効率良く得られ、磁気記録媒体
が低コストで得られる。
の位置、例えば蒸発部分から離れた位置)に規制する規
制手段を具備することが好ましい。そして、本発明によ
れば、磁性材料の供給に際して磁性材料が一度板体上に
乗り、この上で温められ、そしてゆっくりと溶湯内に入
るので、溶湯温度が急激に低下といった不都合は起きな
い。この為、蒸着レートも大幅に低下することはない。
又、従来のような液跳ねが起きることもなく、かつ、溶
湯に波が立つといったこともない。従って、溶湯の液面
は安定しており、磁性材料の蒸発が安定しており、支持
体上に堆積する磁性膜に欠陥が引き起こされ難く、高性
能な磁気記録媒体が生産効率良く得られ、磁気記録媒体
が低コストで得られる。
【0009】以下、実施例を挙げて説明する。
【0010】
【実施例】図1〜図4は本発明になる成膜装置の一実施
例を示す図であり、図1は磁気記録媒体の製造装置全体
の概略図、図2は要部の斜視図、図3は要部の平面図、
図4は要部の概略断面図である。各図中、1は冷却キャ
ン、2はPETフィルムなどの非磁性の支持体、3aは
支持体2の供給側ロール、3bは支持体2の巻取側ロー
ル、4は遮蔽板、5はCo−Ni磁性合金、6は電子
銃、7は真空容器、8はルツボである。尚、これらの部
分の構成は、既に周知であるから詳細な説明は省略す
る。
例を示す図であり、図1は磁気記録媒体の製造装置全体
の概略図、図2は要部の斜視図、図3は要部の平面図、
図4は要部の概略断面図である。各図中、1は冷却キャ
ン、2はPETフィルムなどの非磁性の支持体、3aは
支持体2の供給側ロール、3bは支持体2の巻取側ロー
ル、4は遮蔽板、5はCo−Ni磁性合金、6は電子
銃、7は真空容器、8はルツボである。尚、これらの部
分の構成は、既に周知であるから詳細な説明は省略す
る。
【0011】9はルツボ8に供給されるCo−Ni磁性
合金のペレットであり、特に円板状に形成されている。
又、後述する板体10上で温まり易いよう、例えば0.
5mm〜5mmといった薄い厚さに形成されている。1
0は磁性合金5の溶湯上に浮かべた板体であり、融点が
高く、低比重のセラミックス材料で構成され、その形状
は円板状に形成されている。そして、溶湯上に浮かべた
板体10の上にペレット9を供給して乗せると、板体1
0はバランスを失い、ペレット9が溶湯内に沈んで行く
ようになっている。すなわち、一旦、ペレット9を板体
10に乗せてペレット9を温め、それからペレット9を
溶湯内に入れるのである。尚、ペレット9が溶湯内に直
ちに沈まない場合であっても、ペレット9の重さで板体
10が沈み、薄いペレット9が溶湯内に供給される。こ
のように、ペレット9は溶湯内に急激に落下するといっ
たものでないから、溶湯温度が急激に低下せず、又、突
沸するといったこともない。又、ペレット9が一度板体
10上に乗り、それから沈むので、直接ペレット9が溶
湯内に落下する場合と比べ、液跳ねが起きず、かつ、溶
湯に波が立たず、蒸発部分の液面状態が安定している。
合金のペレットであり、特に円板状に形成されている。
又、後述する板体10上で温まり易いよう、例えば0.
5mm〜5mmといった薄い厚さに形成されている。1
0は磁性合金5の溶湯上に浮かべた板体であり、融点が
高く、低比重のセラミックス材料で構成され、その形状
は円板状に形成されている。そして、溶湯上に浮かべた
板体10の上にペレット9を供給して乗せると、板体1
0はバランスを失い、ペレット9が溶湯内に沈んで行く
ようになっている。すなわち、一旦、ペレット9を板体
10に乗せてペレット9を温め、それからペレット9を
溶湯内に入れるのである。尚、ペレット9が溶湯内に直
ちに沈まない場合であっても、ペレット9の重さで板体
10が沈み、薄いペレット9が溶湯内に供給される。こ
のように、ペレット9は溶湯内に急激に落下するといっ
たものでないから、溶湯温度が急激に低下せず、又、突
沸するといったこともない。又、ペレット9が一度板体
10上に乗り、それから沈むので、直接ペレット9が溶
湯内に落下する場合と比べ、液跳ねが起きず、かつ、溶
湯に波が立たず、蒸発部分の液面状態が安定している。
【0012】11は板体10をルツボ8内の所定の位置
に規制する規制装置であり、融点が高いセラミックス材
料で構成されている。そして、図2,3に示す如く、規
制装置11はルツボ8のペレット供給装置12側に配設
されており、溶湯上に浮かんでいる板体10を挟持し、
ペレット9が供給される位置(蒸発位置から離れた位
置)から移動しないようになっている。
に規制する規制装置であり、融点が高いセラミックス材
料で構成されている。そして、図2,3に示す如く、規
制装置11はルツボ8のペレット供給装置12側に配設
されており、溶湯上に浮かんでいる板体10を挟持し、
ペレット9が供給される位置(蒸発位置から離れた位
置)から移動しないようになっている。
【0013】12はペレット9を供給する供給装置であ
り、ペレット9の供給量を制御する本体12aとペレッ
ト9を板体10上に導く供給路12bとから構成されて
いる。尚、本体12aには、一辺がペレット9の直径と
ほぼ等しい十字形をしたシャッター12cが設けられて
おり、モーター(図示せず)によりシャッター12cが
1/4ずつ回転し、ペレット9を供給路12bに一枚ず
つ送り出すようになっている。
り、ペレット9の供給量を制御する本体12aとペレッ
ト9を板体10上に導く供給路12bとから構成されて
いる。尚、本体12aには、一辺がペレット9の直径と
ほぼ等しい十字形をしたシャッター12cが設けられて
おり、モーター(図示せず)によりシャッター12cが
1/4ずつ回転し、ペレット9を供給路12bに一枚ず
つ送り出すようになっている。
【0014】次に、上記のように構成させた装置を用い
て磁気記録媒体を製造する工程について説明する。ま
ず、真空容器7内を所定の真空度のものに排気した後、
電子銃6を作動させてルツボ8内の磁性合金5を蒸発さ
せ、支持体2に対して磁性合金の粒子を斜め蒸着させ
る。そして、蒸発により磁性合金5が減って行くと、シ
ャッター12cが作動して一枚ずつペレット9が供給路
12bに送り出される。すると、ペレット9は供給路1
2bに沿って移動し始め、板体10上に供給される。供
給されたペレット9は、暫くの間板体10上にあるが、
板体10がバランスを失い、溶湯内にゆっくりと入って
行く。尚、ペレット9が板体10上に乗っかたままで
も、板体10がペレット9の重さで次第に沈み、ペレッ
ト9はゆっくり供給される。そして、この作業中におい
て、板体10は規制装置11により所定の位置に規制さ
れているので、蒸発部分に移動することはなく、蒸着作
業の邪魔をすることはない。
て磁気記録媒体を製造する工程について説明する。ま
ず、真空容器7内を所定の真空度のものに排気した後、
電子銃6を作動させてルツボ8内の磁性合金5を蒸発さ
せ、支持体2に対して磁性合金の粒子を斜め蒸着させ
る。そして、蒸発により磁性合金5が減って行くと、シ
ャッター12cが作動して一枚ずつペレット9が供給路
12bに送り出される。すると、ペレット9は供給路1
2bに沿って移動し始め、板体10上に供給される。供
給されたペレット9は、暫くの間板体10上にあるが、
板体10がバランスを失い、溶湯内にゆっくりと入って
行く。尚、ペレット9が板体10上に乗っかたままで
も、板体10がペレット9の重さで次第に沈み、ペレッ
ト9はゆっくり供給される。そして、この作業中におい
て、板体10は規制装置11により所定の位置に規制さ
れているので、蒸発部分に移動することはなく、蒸着作
業の邪魔をすることはない。
【0015】このように、蒸着作業が行われている時に
磁性合金が溶湯内に絶えず供給されるので、磁性合金が
なくなった為に途中で蒸着作業を中断しなければならな
いといったことはなく、効率良く磁性膜を形成でき、し
かも材料供給によって溶湯面が変動を受けるといったも
のではないから、磁性膜は綺麗に形成できるようにな
り、高品質な磁気記録媒体が歩留り良く製造される。
磁性合金が溶湯内に絶えず供給されるので、磁性合金が
なくなった為に途中で蒸着作業を中断しなければならな
いといったことはなく、効率良く磁性膜を形成でき、し
かも材料供給によって溶湯面が変動を受けるといったも
のではないから、磁性膜は綺麗に形成できるようにな
り、高品質な磁気記録媒体が歩留り良く製造される。
【0016】尚、上記の説明では、磁性膜の形成に用い
られた場合であるが、バックコート膜を金属薄膜で形成
する場合にも用いられる。
られた場合であるが、バックコート膜を金属薄膜で形成
する場合にも用いられる。
【0017】
【効果】本発明によれば、材料が溶湯内に供給された
際、溶湯温度が急激に下がるといったことがなく、又、
液跳ねが起きず、しかも溶湯に波立ちも起きず、蒸発部
分での液面状態は極めて安定している。従って、安定し
た蒸発を長時間にわたって連続して行わせることが出
来、高品質な膜を効率よく得ることが出来、例えば高性
能な磁気記録媒体を低コストで得ることが出来る。
際、溶湯温度が急激に下がるといったことがなく、又、
液跳ねが起きず、しかも溶湯に波立ちも起きず、蒸発部
分での液面状態は極めて安定している。従って、安定し
た蒸発を長時間にわたって連続して行わせることが出
来、高品質な膜を効率よく得ることが出来、例えば高性
能な磁気記録媒体を低コストで得ることが出来る。
【図1】本発明になる磁気記録媒体の製造装置全体の概
略図
略図
【図2】本発明になる磁気記録媒体の製造装置要部の斜
視図
視図
【図3】本発明になる磁気記録媒体の製造装置要部の平
面図
面図
【図4】本発明になる磁気記録媒体の製造装置要部の概
略断面図
略断面図
【図5】従来の磁気記録媒体の製造装置の概略図
1 冷却キャン 2 支持体 3a 供給側ロール 3b 巻取側ロール 5 磁性合金 6 電子銃 7 真空容器 8 ルツボ 9 ペレット 10 板体 11 規制装置 12 供給装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内
Claims (4)
- 【請求項1】 容器内の金属材料を蒸発させ、支持体に
堆積させることにより金属膜を構成する成膜装置であっ
て、 前記金属材料の溶湯上に浮かべられる板体と、この板体
上に金属材料を供給する供給手段とを具備することを特
徴とする成膜装置。 - 【請求項2】 板体がセラミックスで構成されているこ
とを特徴とする請求項1の成膜装置。 - 【請求項3】 供給される金属材料が板状に構成されて
いることを特徴とする請求項1の成膜装置。 - 【請求項4】 板体を容器内の所定の位置に規制する規
制手段を具備することを特徴とする請求項1の成膜装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23197393A JPH0790554A (ja) | 1993-09-17 | 1993-09-17 | 成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23197393A JPH0790554A (ja) | 1993-09-17 | 1993-09-17 | 成膜装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0790554A true JPH0790554A (ja) | 1995-04-04 |
Family
ID=16931956
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23197393A Pending JPH0790554A (ja) | 1993-09-17 | 1993-09-17 | 成膜装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0790554A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000028103A3 (en) * | 1998-11-12 | 2000-08-31 | Flex Products Inc | Vapor source having linear aperture and coating process |
-
1993
- 1993-09-17 JP JP23197393A patent/JPH0790554A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000028103A3 (en) * | 1998-11-12 | 2000-08-31 | Flex Products Inc | Vapor source having linear aperture and coating process |
US6202591B1 (en) | 1998-11-12 | 2001-03-20 | Flex Products, Inc. | Linear aperture deposition apparatus and coating process |
US6367414B2 (en) | 1998-11-12 | 2002-04-09 | Flex Products, Inc. | Linear aperture deposition apparatus and coating process |
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