JPH0786474B2 - 欠陥周期の測定方法 - Google Patents
欠陥周期の測定方法Info
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- JPH0786474B2 JPH0786474B2 JP63226190A JP22619088A JPH0786474B2 JP H0786474 B2 JPH0786474 B2 JP H0786474B2 JP 63226190 A JP63226190 A JP 63226190A JP 22619088 A JP22619088 A JP 22619088A JP H0786474 B2 JPH0786474 B2 JP H0786474B2
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ウェブ状物体に存在する欠陥の周期を算出す
る測定方法に関するものである。
る測定方法に関するものである。
フイルム，紙等のシート状物、金属物その他の製作物の
表面に存在する欠陥を検出するために種々の表面検査装
置が知られており、これらの装置によって例えば傷やピ
ンホール等の欠陥を検出して製品の品質管理が行われて
いる。
表面に存在する欠陥を検出するために種々の表面検査装
置が知られており、これらの装置によって例えば傷やピ
ンホール等の欠陥を検出して製品の品質管理が行われて
いる。
このような表面検査装置では単なる傷やピンホールの欠
陥検出だけでなく、これらの欠陥が周期的に現れる場合
の検出が行われており、従来では例えば特開昭49−3509
1号公報に示されるような周期性キズ検出回路方式があ
る。
陥検出だけでなく、これらの欠陥が周期的に現れる場合
の検出が行われており、従来では例えば特開昭49−3509
1号公報に示されるような周期性キズ検出回路方式があ
る。
これによれば、キズ信号（欠陥信号）が入力されたと
き、その入力時より指定された周期後に時間ゲートを開
き、この時間内の欠陥信号の有無を調べている。そし
て、この動作を数周期にわたって行い、この期間内に設
定値以上の個数になるときに周期的欠陥であると判定す
るものである。
き、その入力時より指定された周期後に時間ゲートを開
き、この時間内の欠陥信号の有無を調べている。そし
て、この動作を数周期にわたって行い、この期間内に設
定値以上の個数になるときに周期的欠陥であると判定す
るものである。
ところが、上記の表面検査装置では、最初の欠陥信号が
得られた時点を基準にして欠陥周期を測定するため、最
初の欠陥信号が単発的なものである場合には、再び周期
測定を行わなくてはならない。したがって、製造ライン
中でリアルタイムに欠陥周期を測定しようとする場合に
は適用しにくい面がある。
得られた時点を基準にして欠陥周期を測定するため、最
初の欠陥信号が単発的なものである場合には、再び周期
測定を行わなくてはならない。したがって、製造ライン
中でリアルタイムに欠陥周期を測定しようとする場合に
は適用しにくい面がある。
このような事情から、被検査物を走行方向に細分し、各
々のデータセルについて欠陥部のあるものを「１」，欠
陥部のないものを「０」として２値化し、被検査物の走
行させながらこの２値化データを取り込んで２値化デー
タ列〔d1,d2,d3,・・,dn〕を作成してから、 で表される自己相関関数AC（ｊ）により、間隔ｊで分布
する欠陥部の組み合わせ個数を求める手法が提案されて
いる。（１）式における（di・di+j）は、ｉ番目の２値
化データdiと、ｉ＋ｊ（ｊ＝1,2,・・,n−１）番目の２
値化データとの積を表したもので、その両者の２値化デ
ータが各々「１」であるとき、すなわち両者が欠陥部分
であるときのみ「１」となる。したがって、上記（１）
式は、ｎ個の検査データからなる２値化データ列〔d1,d
2,d3,・・,dn〕について、間隔「ｊ」で分布している欠
陥部の組み合わせ個数を表すものとなっている。
々のデータセルについて欠陥部のあるものを「１」，欠
陥部のないものを「０」として２値化し、被検査物の走
行させながらこの２値化データを取り込んで２値化デー
タ列〔d1,d2,d3,・・,dn〕を作成してから、 で表される自己相関関数AC（ｊ）により、間隔ｊで分布
する欠陥部の組み合わせ個数を求める手法が提案されて
いる。（１）式における（di・di+j）は、ｉ番目の２値
化データdiと、ｉ＋ｊ（ｊ＝1,2,・・,n−１）番目の２
値化データとの積を表したもので、その両者の２値化デ
ータが各々「１」であるとき、すなわち両者が欠陥部分
であるときのみ「１」となる。したがって、上記（１）
式は、ｎ個の検査データからなる２値化データ列〔d1,d
2,d3,・・,dn〕について、間隔「ｊ」で分布している欠
陥部の組み合わせ個数を表すものとなっている。
したがって、こうして得られた自己相関関数AC（ｊ）に
基づいてデータ処理を行い、 AC（kf0）＞０ ……（２） （但し、ｋ＝1,2,3・・ｌ） を判別条件として基本周期f0を算出することができるよ
うになる。
基づいてデータ処理を行い、 AC（kf0）＞０ ……（２） （但し、ｋ＝1,2,3・・ｌ） を判別条件として基本周期f0を算出することができるよ
うになる。
しかしながら、上述した従来のデータ処理を行う場合に
は、表面検査装置によって得られた２値化データ列
〔d1,d2,d3,・・・dn〕の全てについて、（１）式の自
己相関関数AC（ｊ）を算出しなくてはならず、その計算
時間はｎ・（ｎ−１）に比例する。すなわち、ｎ個の検
査データについて、ｎ・（ｎ−１）回の乗算及び加算を
繰返し行わなくてはならない。なお、このｎの値は測定
対象とするウェブ７の長さＬを、送り方向の単位長ｓで
除算した値に等しい。
は、表面検査装置によって得られた２値化データ列
〔d1,d2,d3,・・・dn〕の全てについて、（１）式の自
己相関関数AC（ｊ）を算出しなくてはならず、その計算
時間はｎ・（ｎ−１）に比例する。すなわち、ｎ個の検
査データについて、ｎ・（ｎ−１）回の乗算及び加算を
繰返し行わなくてはならない。なお、このｎの値は測定
対象とするウェブ７の長さＬを、送り方向の単位長ｓで
除算した値に等しい。
このようなデータ処理時の計算時間は、ハードウェアの
性能やプログラムの記述によって異なるが、これまでで
は欠陥の周期成分の算出に時間がかかっており、リアル
タイム測定を行うためには処理能力が高い大型計算機、
あるいは専用のハードウェアを必要としていた。
性能やプログラムの記述によって異なるが、これまでで
は欠陥の周期成分の算出に時間がかかっており、リアル
タイム測定を行うためには処理能力が高い大型計算機、
あるいは専用のハードウェアを必要としていた。
本発明はこのような従来技術に鑑みてなされたもので、
欠陥周期の基本周期を算出するためのアルゴリズムを改
良し、大型コンピュータや専用のハードウェアを用いる
ことなく、欠陥周期の迅速な算出を可能とする測定方法
を提供することを目的とする。
欠陥周期の基本周期を算出するためのアルゴリズムを改
良し、大型コンピュータや専用のハードウェアを用いる
ことなく、欠陥周期の迅速な算出を可能とする測定方法
を提供することを目的とする。
本発明は上記目的を達成するために、被検査物から得ら
れた検査データを正常データと欠陥データとに２値化
し、前記欠陥データの各々についてその相互間の距離を
求めた後、これらの距離について頻度計算を行って距離
の周期成分を算出し、この周期成分から欠陥データの基
本周期を抽出するようにしたものである。
れた検査データを正常データと欠陥データとに２値化
し、前記欠陥データの各々についてその相互間の距離を
求めた後、これらの距離について頻度計算を行って距離
の周期成分を算出し、この周期成分から欠陥データの基
本周期を抽出するようにしたものである。
上記手法によれば、正常データと欠陥データとからなる
ｎ個の検査データについて、欠陥データだけに着目して
これらの相互間の距離を求めるため、従来のように正常
データに対する乗算処理を行わずに済むようになり、計
算時間を大幅に短縮することができるようになる。
ｎ個の検査データについて、欠陥データだけに着目して
これらの相互間の距離を求めるため、従来のように正常
データに対する乗算処理を行わずに済むようになり、計
算時間を大幅に短縮することができるようになる。
以下、図面を参照して本発明の一実施例について説明す
る。
る。
本発明を平版印刷板の製造工程で実施するためのシステ
ム構成の概略を示す第１図において、供給リール２には
版材の素材となるアルミニウムウェブ等のベース材３が
巻かれており、ベース材３は搬送ローラ４により加工機
５に連続して供給される。加工機５は例えばベース材３
の表面を研磨するためのもので、この加工機５内には加
工用のローラ６が設けられている。ベース材３が加工機
５を経由すると、その表面が平滑面に仕上げられたウェ
ブ７となり、搬送ローラ8,9を介して巻き取りリール10
で巻き取られる。
ム構成の概略を示す第１図において、供給リール２には
版材の素材となるアルミニウムウェブ等のベース材３が
巻かれており、ベース材３は搬送ローラ４により加工機
５に連続して供給される。加工機５は例えばベース材３
の表面を研磨するためのもので、この加工機５内には加
工用のローラ６が設けられている。ベース材３が加工機
５を経由すると、その表面が平滑面に仕上げられたウェ
ブ７となり、搬送ローラ8,9を介して巻き取りリール10
で巻き取られる。
搬送ローラ8,9間には、投光器12と受光器13とからなる
フライイングスポット方式の表面検査装置が配設されて
いる。投光器12は、細径の検査ビームをウェブ７の幅方
向に走査しながら照射するスキャナで構成され、その走
査信号はレーンデータ発生回路14に入力される。そし
て、レーンデータ発生回路14は、スキャナの走査信号に
対応してウェブ７の幅方向の位置を表すレーンデータ信
号をデータ処理ユニット15に出力する。
フライイングスポット方式の表面検査装置が配設されて
いる。投光器12は、細径の検査ビームをウェブ７の幅方
向に走査しながら照射するスキャナで構成され、その走
査信号はレーンデータ発生回路14に入力される。そし
て、レーンデータ発生回路14は、スキャナの走査信号に
対応してウェブ７の幅方向の位置を表すレーンデータ信
号をデータ処理ユニット15に出力する。
受光器13はウェブ７の幅方向に延長されており、ウェブ
７の表面からの散乱反射光を受光し、正反射光を受光し
ない構成となっている。したがって、ウェブ７の表面が
正常であるときには、受光器13からの光電出力は一定レ
ベル以下となり、ウェブ７の表面に欠陥部があるときに
は、その部分からの散乱反射光によって受光器13からの
光電出力は一定レベル以上になる。
７の表面からの散乱反射光を受光し、正反射光を受光し
ない構成となっている。したがって、ウェブ７の表面が
正常であるときには、受光器13からの光電出力は一定レ
ベル以下となり、ウェブ７の表面に欠陥部があるときに
は、その部分からの散乱反射光によって受光器13からの
光電出力は一定レベル以上になる。
この受光器13からの光電出力は、２値化回路16によって
「１」もしくは「０」に２値化される。すなわち、ウェ
ブ７に欠陥部が存在せず、受光器13に入射した光が一定
レベル以下であるときには、２値化回路16からは「欠陥
なし」を表す「０」の正常データがデータ処理ユニット
15に送られ、逆にピンホール欠陥の存在によって受光器
13からの光電出力が一定レベル以上のときには、「欠陥
あり」を表す欠陥データ「１」がデータ処理ユニット15
に供出される。これらの検査データは、投光器12の走査
信号と同期してデータ処理ユニット15に入力されるか
ら、検査データの各々をウエブ７の幅方向での位置と対
応づけることができる。また、搬送ローラ８にはエンコ
ーダ17が接続されている。そして、エンコーダ17から
は、ウエブ７の送り方向での位置を表すデータがデータ
処理ユニット15へと供給されることになる。
「１」もしくは「０」に２値化される。すなわち、ウェ
ブ７に欠陥部が存在せず、受光器13に入射した光が一定
レベル以下であるときには、２値化回路16からは「欠陥
なし」を表す「０」の正常データがデータ処理ユニット
15に送られ、逆にピンホール欠陥の存在によって受光器
13からの光電出力が一定レベル以上のときには、「欠陥
あり」を表す欠陥データ「１」がデータ処理ユニット15
に供出される。これらの検査データは、投光器12の走査
信号と同期してデータ処理ユニット15に入力されるか
ら、検査データの各々をウエブ７の幅方向での位置と対
応づけることができる。また、搬送ローラ８にはエンコ
ーダ17が接続されている。そして、エンコーダ17から
は、ウエブ７の送り方向での位置を表すデータがデータ
処理ユニット15へと供給されることになる。
データ処理ユニット15には、例えばキーボードからなる
データ設定部18が接続され、欠陥周期の測定を行う際の
初期データの設定が行われる。この初期データの設定，
あるいは欠陥周期の測定結果はCRT19に表示され、必要
に応じてプリンタ20でプリントアウトされる。
データ設定部18が接続され、欠陥周期の測定を行う際の
初期データの設定が行われる。この初期データの設定，
あるいは欠陥周期の測定結果はCRT19に表示され、必要
に応じてプリンタ20でプリントアウトされる。
上記システムによって欠陥周期の測定を行うには、まず
データ設定部18によりウェブ７の検査表面をデータセル
に区画するためのデータ入力が行われる。すなわち、レ
ーンデータ信号発生回路14からのレーンデータ信号に基
づいて、ウェブ７を幅方向にどの程度のピッチで分割
し、またエンコーダ17からのデータから、ウェブ７の送
り方向についてどの程度の単位長ｓを設定するかが決め
られる。さらに、このデータ設定部18によって、測定対
象とする欠陥周期に応じて、測定対象とするウェブ７の
長さＬを設定する。なお、この実施例では、予想される
欠陥周期の最大値の６倍程度を測定対象とする長さＬと
している。
データ設定部18によりウェブ７の検査表面をデータセル
に区画するためのデータ入力が行われる。すなわち、レ
ーンデータ信号発生回路14からのレーンデータ信号に基
づいて、ウェブ７を幅方向にどの程度のピッチで分割
し、またエンコーダ17からのデータから、ウェブ７の送
り方向についてどの程度の単位長ｓを設定するかが決め
られる。さらに、このデータ設定部18によって、測定対
象とする欠陥周期に応じて、測定対象とするウェブ７の
長さＬを設定する。なお、この実施例では、予想される
欠陥周期の最大値の６倍程度を測定対象とする長さＬと
している。
これらの初期設定の後、ウェブ７を一定速度で走行させ
ながら、投光器12,受光器13を作動させる。ウェブ７の
表面から光電的に検出される検査データは、２値化回路
16によって正常データと欠陥データとに変換され、デー
タ処理ユニット15に供給される。これらの２値化データ
は、レーンデータ発生回路14からのレーンデータ信号と
エンコーダ17からのデータによって、ウェブ７の幅方向
と長さ方向で位置決めされ、これらの対応したアドレス
位置に格納される。
ながら、投光器12,受光器13を作動させる。ウェブ７の
表面から光電的に検出される検査データは、２値化回路
16によって正常データと欠陥データとに変換され、デー
タ処理ユニット15に供給される。これらの２値化データ
は、レーンデータ発生回路14からのレーンデータ信号と
エンコーダ17からのデータによって、ウェブ７の幅方向
と長さ方向で位置決めされ、これらの対応したアドレス
位置に格納される。
第２図は、このようにして得られたｍ個の２値化データ
をウェブ７に対応させて配列した概念図で、測定対象と
なるウェブ７の長さＬを単位長ｓで分割したおのおのの
領域に２値化データを当てはめている。なお、第２図は
ウェブ７の幅方向については＃１〜＃３の３つのレーン
までを図示したものである。
をウェブ７に対応させて配列した概念図で、測定対象と
なるウェブ７の長さＬを単位長ｓで分割したおのおのの
領域に２値化データを当てはめている。なお、第２図は
ウェブ７の幅方向については＃１〜＃３の３つのレーン
までを図示したものである。
レーン＃１について欠陥周期を算出する例について説明
する。図示のように、レーン＃１においては、測定対象
長Ｌの中に９個（ｍ＝９）の欠陥データが含まれてい
る。これらの欠陥データの各々は、単位長ｓに基づいて
ウェブ７の長さ方向での位置情報と対応づけられてい
る。したがって、レーン＃１について左側から順に欠陥
データにd1,d2,・・・d9の記号を付すと、図示したよう
に、全ての欠陥データ相互間の間隔を表す距離データl
ijを求めることができる。なお、距離データlijは単位
長ｓの整数倍となっている。そして、本発明方法におい
ては、この距離データlijをもとにして自己相関関数AC
（lij）が求められ、この自己相関関数AC（lij）は、距
離データlijの値が等しい２つの欠陥データの組み合わ
せの頻度を意味している。
する。図示のように、レーン＃１においては、測定対象
長Ｌの中に９個（ｍ＝９）の欠陥データが含まれてい
る。これらの欠陥データの各々は、単位長ｓに基づいて
ウェブ７の長さ方向での位置情報と対応づけられてい
る。したがって、レーン＃１について左側から順に欠陥
データにd1,d2,・・・d9の記号を付すと、図示したよう
に、全ての欠陥データ相互間の間隔を表す距離データl
ijを求めることができる。なお、距離データlijは単位
長ｓの整数倍となっている。そして、本発明方法におい
ては、この距離データlijをもとにして自己相関関数AC
（lij）が求められ、この自己相関関数AC（lij）は、距
離データlijの値が等しい２つの欠陥データの組み合わ
せの頻度を意味している。
ところで本発明方法においては、上記の自己相関関数AC
（lij）を用いて測定対象長さＬについて１回の測定を
行う場合には、欠陥データの個数をｍとすると、自己相
関関数AC（lij）の算出に要する計算時間の最大値はｍ
・（ｍ−１）に比例し、欠陥データの個数と相関をもっ
ている。この欠陥データの個数の最大値Mmaxは、測定対
象としている欠陥周期の最小値Xminによって決り、以下
の関係がある。
（lij）を用いて測定対象長さＬについて１回の測定を
行う場合には、欠陥データの個数をｍとすると、自己相
関関数AC（lij）の算出に要する計算時間の最大値はｍ
・（ｍ−１）に比例し、欠陥データの個数と相関をもっ
ている。この欠陥データの個数の最大値Mmaxは、測定対
象としている欠陥周期の最小値Xminによって決り、以下
の関係がある。
このようにして算出された自己相関関数AC（lij）は、
従来において（１）式で示した自己相関関数 と等価なデータとなる。こうして求めた相関関数AC（l
ij）は、判別条件によって周期性の有無が判定される。
この判別条件は、周期的に存在するｍ個の欠陥の周期成
分は、基本周期成分及び２倍から（ｍ−１）倍までの周
期成分からなっていることを利用するもので、 AC（f0）＞０かつAC（２・f0）＞０かつ・・・・・AC
（ｌ・f0）＞０ （但し、上式においてｌは周期性有無判定条件の最大周
期成分ｌ・f0を示すための倍数ｌ（プリセット値）を意
味しており、ｌ＜ｍである） の条件式に基づいて基本周期f0を算出するものである。
従来において（１）式で示した自己相関関数 と等価なデータとなる。こうして求めた相関関数AC（l
ij）は、判別条件によって周期性の有無が判定される。
この判別条件は、周期的に存在するｍ個の欠陥の周期成
分は、基本周期成分及び２倍から（ｍ−１）倍までの周
期成分からなっていることを利用するもので、 AC（f0）＞０かつAC（２・f0）＞０かつ・・・・・AC
（ｌ・f0）＞０ （但し、上式においてｌは周期性有無判定条件の最大周
期成分ｌ・f0を示すための倍数ｌ（プリセット値）を意
味しており、ｌ＜ｍである） の条件式に基づいて基本周期f0を算出するものである。
上述のように、本発明においては自己相関関数AC
（lij）の計算時間はｍ・（ｍ−１）に比例するから、
その最大値はMmax・（Mmax−１）に比例する。そして、
MmaxはXminによって決り、Xminは周期測定の分解能を考
慮して単位長ｓの10倍程度以上にされるから、正常デー
タ及び欠陥データからなる検査データの総数ｎを用いて
表すと、 となる。そして本発明の周期成分計算では、最も時間を
要する場合で距離計算（整数の引き算）と頻度計算（整
数の加算）をMmax・（Mmax−１）回繰返すことになる。
（lij）の計算時間はｍ・（ｍ−１）に比例するから、
その最大値はMmax・（Mmax−１）に比例する。そして、
MmaxはXminによって決り、Xminは周期測定の分解能を考
慮して単位長ｓの10倍程度以上にされるから、正常デー
タ及び欠陥データからなる検査データの総数ｎを用いて
表すと、 となる。そして本発明の周期成分計算では、最も時間を
要する場合で距離計算（整数の引き算）と頻度計算（整
数の加算）をMmax・（Mmax−１）回繰返すことになる。
一方、（１）式で表される自己相関関数AC（ｊ）を用い
た場合の周期計算では、２値化データの乗算と加算をｎ
・（ｎ−１）回繰り返す。両者共、一回当りの計算時間
はハードウェアやプログラムの記述により異なるが、こ
の１回の計算時間を各々同じ時間と仮定すると、それぞ
れの周期計算に要する合計時間の比は、 となる。したがって本発明方法では、ｎ個の２値化デー
タの中に含まれる欠陥データの個数ｍによって計算時間
は異なってくるが、最も時間がかかる場合であっても、
（１）式の自己相関関数を用いる計算手法に対し、1/10
0の計算時間で済むようになる。
た場合の周期計算では、２値化データの乗算と加算をｎ
・（ｎ−１）回繰り返す。両者共、一回当りの計算時間
はハードウェアやプログラムの記述により異なるが、こ
の１回の計算時間を各々同じ時間と仮定すると、それぞ
れの周期計算に要する合計時間の比は、 となる。したがって本発明方法では、ｎ個の２値化デー
タの中に含まれる欠陥データの個数ｍによって計算時間
は異なってくるが、最も時間がかかる場合であっても、
（１）式の自己相関関数を用いる計算手法に対し、1/10
0の計算時間で済むようになる。
以上のデータ処理手法によって周期性欠陥の測定が開始
され、周期性欠陥が検出された場合にはプリンタ20が作
動し、周期欠陥が発生していることをプリントアウトす
る。第３図は、プリンタ20からの実際の印字出力例の一
部を図示したものである。
され、周期性欠陥が検出された場合にはプリンタ20が作
動し、周期欠陥が発生していることをプリントアウトす
る。第３図は、プリンタ20からの実際の印字出力例の一
部を図示したものである。
通常の平版製造工程に本発明方法を実施する場合には、
例えば測定対象とする欠陥周期が100〜8482mm、単位長
ｓは15mmに設定される。ウェブ７の幅は最大1500mm程度
で、幅方向には100mm毎に分割されるから、15mm×100mm
の領域が１個のデータ検出領域となり、ウェブ７が15mm
走行されるごとに15ビットの２値化データが検査データ
としてサンプリングされる。
例えば測定対象とする欠陥周期が100〜8482mm、単位長
ｓは15mmに設定される。ウェブ７の幅は最大1500mm程度
で、幅方向には100mm毎に分割されるから、15mm×100mm
の領域が１個のデータ検出領域となり、ウェブ７が15mm
走行されるごとに15ビットの２値化データが検査データ
としてサンプリングされる。
第３図に示した出力例では８〜15番目のレーンについて
図示が省略されているが、測定対象長50m毎に15レーン
の全てについて周期性欠陥の測定が並行して行われてい
る。また、周期性をもった欠陥の最大個数としては500
個に設定され、欠陥の個数がこれを越えた場合には、こ
れらの欠陥には周期性がないものとして、計算は実行し
ないようにプログラムされている。
図示が省略されているが、測定対象長50m毎に15レーン
の全てについて周期性欠陥の測定が並行して行われてい
る。また、周期性をもった欠陥の最大個数としては500
個に設定され、欠陥の個数がこれを越えた場合には、こ
れらの欠陥には周期性がないものとして、計算は実行し
ないようにプログラムされている。
測定はウェブ７が50m走行される毎に行われるが、第３
図の出力例では測定結果は100m毎に集計されて出力され
ている。平版印刷工程で発生する周期性欠陥の多くは、
例えば第１図に示した搬送ローラ4,8,9あるいは加圧ロ
ーラ６等のように、ウェブ７を駆動するためのローラの
表面欠陥によって引き起こされるため、第３図の出力例
ではそのローラ径に換算した数値、すなわち測定された
欠陥周期をローラ径で割った値を表示しており、５番目
のレーン（ウェブ７のエッジから400〜500mmの領域）に
ついて、先頭から3000〜3400mの位置にローラ径が274mm
のものによる周期性欠陥があることを示している。
図の出力例では測定結果は100m毎に集計されて出力され
ている。平版印刷工程で発生する周期性欠陥の多くは、
例えば第１図に示した搬送ローラ4,8,9あるいは加圧ロ
ーラ６等のように、ウェブ７を駆動するためのローラの
表面欠陥によって引き起こされるため、第３図の出力例
ではそのローラ径に換算した数値、すなわち測定された
欠陥周期をローラ径で割った値を表示しており、５番目
のレーン（ウェブ７のエッジから400〜500mmの領域）に
ついて、先頭から3000〜3400mの位置にローラ径が274mm
のものによる周期性欠陥があることを示している。
以上のように本発明では、検査データを２値化してか
ら、まずその中に含まれている欠陥データの相互間の距
離を算出した後、この距離の頻度を表す自己相関関数を
利用して欠陥の周期性を判別するようにしている。した
がって、２値化データの全てについて乗算及び加算を施
し、この結果得られた自己相関関数を利用して欠陥周期
を算出する従来手法と比較すると、その計算処理時間を
大幅に短縮することができるようになり、処理能力が高
い大型計算機や専用のハードウェアを併用しなくても、
リアルタイムで欠陥周期の測定を行うことが可能とな
る。
ら、まずその中に含まれている欠陥データの相互間の距
離を算出した後、この距離の頻度を表す自己相関関数を
利用して欠陥の周期性を判別するようにしている。した
がって、２値化データの全てについて乗算及び加算を施
し、この結果得られた自己相関関数を利用して欠陥周期
を算出する従来手法と比較すると、その計算処理時間を
大幅に短縮することができるようになり、処理能力が高
い大型計算機や専用のハードウェアを併用しなくても、
リアルタイムで欠陥周期の測定を行うことが可能とな
る。
第１図は本発明を実施する際に用いられる測定システム
の概略構成図である。 第２図は検査データ及びこれによって求められる自己相
関関数の内容を示す説明図である。 第３図は測定結果の印字出力例を示す説明図である。 4,8,9……搬送ローラ ５……加工機 ７……ウェブ 12……投光器 13……受光器 19……CRT 20……プリンタ。
の概略構成図である。 第２図は検査データ及びこれによって求められる自己相
関関数の内容を示す説明図である。 第３図は測定結果の印字出力例を示す説明図である。 4,8,9……搬送ローラ ５……加工機 ７……ウェブ 12……投光器 13……受光器 19……CRT 20……プリンタ。
Claims (1)
- 【請求項１】走行する被検査物に存在する欠陥の周期を
測定する方法において、 被検査物から得られた検査データを正常データと欠陥デ
ータとに２値化し、前記欠陥データの各々についてその
相互間の距離を求めた後、これらの距離について頻度計
算を行って距離の周期成分を算出し、この周期成分から
欠陥データの基本周期を抽出することを特徴とする欠陥
周期の測定方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63226190A JPH0786474B2 (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | 欠陥周期の測定方法 |
| EP89116688A EP0358236B1 (en) | 1988-09-09 | 1989-09-08 | Method of measuring period of surface defect |
| DE68928510T DE68928510T2 (de) | 1988-09-09 | 1989-09-08 | Verfahren zur Messung der Periode eines Oberflächenfehlers |
| US07/405,215 US4982600A (en) | 1988-09-09 | 1989-09-11 | Method of measuring the period of surface defects |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63226190A JPH0786474B2 (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | 欠陥周期の測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0274852A JPH0274852A (ja) | 1990-03-14 |
| JPH0786474B2 true JPH0786474B2 (ja) | 1995-09-20 |
Family
ID=16841298
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63226190A Expired - Fee Related JPH0786474B2 (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | 欠陥周期の測定方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4982600A (ja) |
| EP (1) | EP0358236B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0786474B2 (ja) |
| DE (1) | DE68928510T2 (ja) |
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-
1988
- 1988-09-09 JP JP63226190A patent/JPH0786474B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1989
- 1989-09-08 EP EP89116688A patent/EP0358236B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-09-08 DE DE68928510T patent/DE68928510T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-09-11 US US07/405,215 patent/US4982600A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4982600A (en) | 1991-01-08 |
| EP0358236A3 (en) | 1991-05-29 |
| DE68928510T2 (de) | 1998-04-16 |
| DE68928510D1 (de) | 1998-02-05 |
| JPH0274852A (ja) | 1990-03-14 |
| EP0358236B1 (en) | 1997-12-29 |
| EP0358236A2 (en) | 1990-03-14 |
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