JPH0780386A - 塗布ヘッドのクリーニング方法及び塗布ヘッドクリーニング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 スロット型の流体塗布装置において、塗膜の
塗り始めのラインと膜厚を均一に揃え、塗布対象物の製
品歩留りを向上させる。 【構成】 多数の通孔２８を穿孔されたパイプ２４に沿
って無塵布からなるクリーニング用シート２９を走行さ
せ、パイプ２４内に供給された溶剤でクリーニング用シ
ート２９を湿潤させる。このクリーニング用シート２９
に塗布ヘッド２の先端を接触させることによって塗布ヘ
ッド２の先端を拭う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は塗布ヘッドのクリーニン
グ方法及び塗布ヘッドクリーニング装置に関する。具体
的にいうと、本発明はスロット方式の流体塗布装置の塗
布ヘッドをクリーニングする方法と、当該クリーニング
方法を実施するための塗布ヘッドクリーニング装置に関
する。

【０００２】

【背景技術】

〔従来技術〕集積回路や液晶用カラーフィルター等の製
造工程においては、ウエハやガラス基板等の塗布対象物
の表面にフォトレジストやフィルター用塗料、コーティ
ング塗料などの塗布液を塗布し、数ミクロン程度の均一
な膜厚の塗膜を形成する必要がある。その膜厚精度とし
ては、例えば±５％以内に納めることが要求されている
が、その要求はますます厳しいものとなりつつある。

【０００３】このような極薄の塗膜を形成する方法とし
ては、従来より一般にスピンコート法が用いられてい
る。この方法は、塗布対象物の表面に塗布液を滴下し、
スピナで塗布対象物を高速回転させることによって塗布
対象物上の塗布液を薄く延ばし、回転数等によって決ま
る一定の膜厚の塗膜を得る方法である。しかしながら、
この塗布方法では、塗布対象物の上に滴下した塗布液の
うち塗布対象物の表面に塗布されるのは数％に過ぎず、
残り９０数％の余剰の塗布液は塗布対象物から排出さ
れ、塗布液の浪費が激しいという問題があった。また、
塗布対象物の側面にも塗布液が付着するため、塗布対象
物の側面で剥がれた塗膜が塗布対象物の表面に付着する
ことがあり、剥離塗膜のために製品歩留りが低下した
り、あるいは塗布後のクリーニング工程を必要としたり
していた。

【０００４】〔スロット型の流体塗布装置〕そこで、塗
布液の利用効率を向上させて塗布液のコストを大幅に低
減させるための方法として、本発明の出願人はスロット
型の流体塗布装置（スロット式粘液噴出塗布装置）に着
目し、その開発と実用化を進めてきた。これらの研究成
果の一部は既に特願平５−１５４４０９号、同１５４４
１０号ほかとして出願している。

【０００５】図１はスロット型の流体塗布装置１の構成
を示す概略図（当該装置の構成は上記出願の明細書に詳
細に示されている）であって、塗布ヘッド２は上下に昇
降し、塗布対象物３はテーブル４上に真空吸着された状
態で塗布ヘッド２の下を通過する。塗布対象物３がテー
ブル４に載って送られてくると、計測ヘッド５は塗布対
象物３の板厚を計測し、その計測値に基づいて塗布ヘッ
ド２は塗布対象物３の表面から一定の間隔（数１０〜数
１００ミクロン）をあけた高さまで下降し、スロット６
から一定の厚みに整えた塗布液７を塗布対象物３の表面
に塗布する。このときテーブル４の移動速度は塗布液７
のスロット６からの流出速度よりも大きいので、スロッ
ト６から出た塗布液７はテーブル４との速度差によって
薄く引き伸ばされ、塗布対象物３の表面には非常に薄い
塗膜８が形成される。これによって必要な領域にのみ塗
布液７を塗布することができ、塗布液７の使用量を従来
の数１０分の１に節約することができる。また、塗布対
象物３の側面に付着した塗膜８の剥離などが無くなる。
なお、９は塗布ヘッド２の待機中に、塗布ヘッド２の先
端部を覆い、塗布ヘッド２の先端部を溶剤の湿潤雰囲気
中において塗布液７の乾燥を防止するための乾燥防止器
である。

【０００６】図２は上記流体塗布装置１に用いられてい
る塗布ヘッド２の構造を示す一部破断した分解斜視図で
ある。この塗布ヘッド２は一対のアプリケータ１０，１
１間に一定の厚みを有するシム１２を挟み込み、アプリ
ケータ１０，１１及びシム１２をボルトとナット（図示
せず）で一体に締結させたものであって、アプリケータ
１０，１１間にはシム１２の切り欠き部分１３によって
シム１２の板厚と等しい厚みのスロット６が形成され、
スロット６の下端は塗布ヘッド２の下面においてノズル
口１４として開口している。また、一方のアプリケータ
１０には幅方向にわたって空洞状をした流体リザーバ１
５が設けられており、流体リザーバ１５はスロット６の
上部に連通している。しかして、中央部の塗布液注入口
１６から塗布ヘッド２内に塗布液７を注入すると、塗布
液７は流体リザーバ１５内に充満して広がり、さらに流
体リザーバ１５からスロット６へ流れ出し、スロット６
で一定の厚みの塗布液７に整形されて下端のノズル口１
４から外部へ送り出される。同時に、塗布液排出口１７
から流体リザーバ１５内の塗布液７を一部排出すること
によって流体リザーバ１５内の圧力分布を調整し、塗膜
８の膜厚をより均一化することができる。

【０００７】この塗布ヘッド２においては、塗布液７が
ノズル口１４の周囲に広がるのを防止するため、塗布ヘ
ッド２の下面においてノズル口１４の両側に断面三角形
状のテーパ部１８を突出させると共に塗布ヘッド２の下
面全体にポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等の
フッ素系樹脂１９をコーティングしている。このテーパ
部１８の先端部を詳細に見ると、図３（ａ）（ｂ）に示
すようにテーパ部１８の先端には数１００ミクロンの幅
Ｗ（例えば、スロット６の幅ｄ＝３０ミクロンに対し
て、幅Ｗ＝１５０ミクロン程度）の平坦面２０が形成さ
れている。この平坦面２０は、塗布ヘッド２の先端すな
わちテーパ部１８の先端の位置を精度出しするためや、
テーパ部１８の先端が鋭利であると摩耗が激しいなどの
理由から、切削加工によって形成したものである。ま
た、この平坦面２０は微小幅であるため、またフッ素樹
脂加工すると表面が荒れて平坦面２０が得られないた
め、平坦面２０にはフッ素樹脂１９はコーティングされ
ていない。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなスロット型の流体塗布装置１によって例えばガラス
基板等の塗布対象物３の表面に塗布液７を塗布した場
合、図４に示すように塗布液７の塗布開始端及び塗布終
了端において、塗膜８の端のライン８ａ，８ｂが幅方向
にわたって不規則な波状になり、また塗膜８の端付近で
塗布液７が盛り上がって膜厚が厚くなった。このように
塗膜８の端が波状になったり膜厚が大きくなったりした
領域イはカット（図４のＣ線でカット）して廃棄する必
要があるため、このような領域イが広範囲に発生する
と、塗布対象物３の製品歩留りが低下する。特に、この
欠点は塗布開始端において著しく、また塗布幅が大きく
なると顕著であった。このため、できるだけ塗布開始端
から塗膜８の膜厚が均一となり、塗布開始端もほぼ一直
線状に揃うことが望まれるが、このような不具合をなく
すことは非常に困難であった。

【０００９】そこで、この原因を調べた結果、図３
（ａ）に示すように、塗布終了時の残圧等によって塗布
液７がスロット６から押し出され、フッ素樹脂加工の施
されていないテーパ部１８の先端に垂れ下がっており、
そのため塗膜８の塗布開始端が不揃いになったり、膜厚
が大きくなったりしていた。また、塗布終了時に残圧を
除去しても、表面張力等の関係によってテーパ部１８の
平坦面２０にノズル口１４から塗布液７が広がり、テー
パ部１８の先端に塗布液７が付着した状態となってい
た。このためテーパ部１８の先端に垂れ下がったり、付
着している塗布液７が塗布始めに塗布対象物３に不均一
に付着し、塗布開始端が不揃いになったり、膜厚が厚く
なったりしていた。

【００１０】本発明は叙上の技術的背景に鑑みてなされ
たものであり、その目的とするところは、スロット型の
流体塗布装置による塗膜の塗り始めのラインと膜厚を均
一に揃えるための技術を提供するにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明による塗布ヘッド
のクリーニング方法は、流体を一定の厚みにしてスロッ
トから流出させる塗布ヘッドを、流体の塗布前にクリー
ニングするための方法であって、溶剤を含浸させたクリ
ーニング用シートに塗布ヘッドの先端を接触させること
により、塗布ヘッドの先端に付着している流体を拭うこ
とを特徴としている。

【００１２】上記塗布ヘッドのクリーニング方法にあっ
ては、前記クリーニング用シートが塗布ヘッドの先端に
対して相対的に静止した状態で塗布ヘッドの先端を拭う
ようにしてもよい。あるいは、前記クリーニング用シー
トを塗布ヘッドの先端に対して相対的に移動させながら
塗布ヘッドの先端を拭うようにしてもよい。

【００１３】また、本発明による塗布ヘッドクリーニン
グ装置は、流体を一定の厚みにしてスロットから流出さ
せる塗布ヘッドをクリーニングする塗布ヘッドクリーニ
ング装置であって、塗布ヘッドの先端を接触させてクリ
ーニングするためのクリーニング用シートと、該クリー
ニング用シートに溶剤を供給して該クリーニング用シー
トに溶剤を含浸させるための溶剤供給手段とを備えたこ
とを特徴としている。

【００１４】上記塗布ヘッドクリーニング装置において
は、前記クリーニング用シートとして無塵布を素材とす
るものを用いるのが好ましい。また、上記塗布ヘッドク
リーニング装置は、中空内部から外周面に向けて溶剤を
通過させることができるパイプによって前記溶剤供給手
段を構成し、前記クリーニング用シートを該パイプの外
周面に掛け回し、クリーニング用シートを該パイプの外
周面で走行させる構造としてもよい。

【００１５】

【作用】本発明によれば、クリーニング用シートに溶剤
を含浸させているので、塗布直前に塗布ヘッドの先端を
布状態に接触させると、クリーニング用シートを湿潤さ
せている溶剤によって塗布ヘッドに付着している流体が
溶かされ、溶剤に溶けた余分な流体はクリーニング用シ
ートに吸収される。従って、塗布前に塗布ヘッドの先端
に付着している流体をきれいに拭い取ることができ、塗
布対象物に塗布する際の塗り始めのラインを滑らかに揃
えることができ、また塗り始めの部分の膜厚も均一にす
ることができる。

【００１６】さらに、クリーニング用シートが塗布ヘッ
ドの先端に対して相対的に静止した状態で塗布ヘッドの
先端を拭うようにすれば、クリーニング用シートと塗布
ヘッドとの摩擦による塵やほこりの発生を防止すること
ができ、クリーンルームでの使用にも適する。また、ク
リーニング用シートとして無塵布を用いても、塵やほこ
りの発生を防止することができ、クリーンルームでの使
用に適したものとなる。

【００１７】一方、クリーニング用シートを塗布ヘッド
の先端に対して移動させながら塗布ヘッドの先端を拭う
ようにすれば、塗布ヘッドを擦るようにして拭うことが
でき、余分な流体をより確実に除去できる。

【００１８】

【実施例】図５及び図６は本発明の一実施例による塗布
ヘッドクリーニング装置２１を示す断面図及び一部破断
した平面図である。塗布ヘッドクリーニング装置２１は
テーブル４の前端面に固定されており、さらに塗布ヘッ
ドクリーニング装置２１の前には塗布ヘッド２の洗浄装
置２２が固定されている。

【００１９】まず、塗布ヘッドクリーニング装置２１に
ついて説明すると、上面が開口したケース２３内にはパ
イプ２４が納められており、パイプ２４の両端部はベア
リング２５を介してケース２３外で回転自在に支持され
ている。また、このパイプ２４の一端は継手２６を介し
て溶剤供給用チューブ２７に回転自在に接続されてい
る。このパイプ２４には、溶剤を通過させることができ
るような小さな通孔２８が全体にわたって多数穿孔され
ている。クリーニング用シート２９は例えばベンコット
ン（商品名）のような無塵布や不織布、吸湿性を有する
フィルム等を帯状ないしリボン状に形成したものであっ
て、パイプ２４の外周上面に掛け回されており、クリー
ニング用シート２９の一方端部はケース２３内の巻戻ロ
ーラ３０に巻かれており、他方端部はケース２３内の巻
取ローラ３１に巻き取られており、巻取ローラ３１には
巻取ローラ３１を回転させるモータ３２が設けられてい
る。クリーニング用シート２９はモータ３２によってパ
イプ２４外周面における周速がテーブル４の移動速度と
等しくなるようにしてテーブル４の移動方向と反対向き
に巻き取られており、パイプ２４に巻き回されたクリー
ニング用シート２９はケース２３上面よりもわずかに上
方へ飛び出ている。

【００２０】しかして、溶剤供給用チューブ２７からパ
イプ２４内に供給された溶剤は液体のままで、あるいは
気化して通孔２８を通過し、パイプ２４外周面でクリー
ニング用シート２９に吸収され、クリーニング用シート
２９は溶剤によって湿潤させられる。一方、塗布開始時
には、ガラス基板等の塗布対象物３を載置したテーブル
４が塗布ヘッド２の方へ送られてくると、塗布ヘッド２
が塗布ヘッドクリーニング装置２１のパイプ２４上面の
高さまで下降する。このため、パイプ２４の外周上面に
巻き回されているクリーニング用シート２９は塗布ヘッ
ド２の先端と接触しながら塗布ヘッドクリーニング装置
２１の下を通過する。このとき塗布ヘッド２先端面に付
着していた塗布液７は溶剤によって洗浄され、付着して
いた余分の塗布液７はクリーニング用シート２９に吸収
され、塗布ヘッド２の先端（平坦面２０）がきれいにク
リーニングされる。また、このときクリーニング用シー
ト２９はテーブル４の移動速度と等しい周速でテーブル
４の移動方向と反対向きに走行しているので、クリーニ
ング用シート２９と塗布ヘッド２とは相対的に静止して
おり、クリーニング用シート２９と塗布ヘッド２とが擦
れ合うことがないので、塵やほこりが発生することがな
く、クリーンに塗布ヘッド２のクリーニングを行なうこ
とができる。しかも、塗布ヘッド２の先端が摩耗する恐
れもない。さらに、クリーニング用シート２９が無塵布
であれば、一層塵やほこりの発生を防止することがで
き、クリーンな環境を保つことができる。なお、クリー
ニング用シート２９はクリーニング時以外には静止して
いることはもちろんである。

【００２１】クリーニング用シート２９によってクリー
ニングされた塗布ヘッド２は計測ヘッド５によって計測
された塗布対象物３の表面から一定距離（数１０〜数１
００ミクロン）上まで上昇し、塗布ノズルのスロット６
から流体を流出させ、塗布対象物３の表面に塗膜８を形
成する。このとき、あらかじめ塗布ヘッド２の先端面が
クリーニング用シート２９によってきれいに拭われてい
るので、スロット６外に付着していた余分な塗布液７が
塗布対象物３に塗布されることがなく、しかも、スロッ
ト６から流出する塗布液７の先端縁はほぼ平らに揃えら
れ、そのため塗布液７の塗布開始ラインをきれいに揃え
ることができる。また、スロット６から流出する塗布液
７の膜厚も均一に揃えられ、塗膜８の塗布開始端におけ
る膜厚を均一に揃えることができる。

【００２２】つぎに、塗布ヘッド２の洗浄装置２２を説
明する。洗浄装置２２は、断面溝形をした樋部３３の上
面に一対のカバー３４を設けたものであって、樋部３３
とカバー３４の間には樋部３３内に向けてほぼ水平に溶
剤を吐出させるための溶剤吐出口３５が樋部３３全長に
わたって開口されており、溶剤吐出口３５の下方にはド
ライエア等の乾燥用ガスを吐出させるためのガス吐出口
３６が設けられている。しかして、長時間塗布を休止し
ていたような場合には、カバー３４間の開口３７に塗布
ヘッド２のテーパ部１８を挿入し、溶剤吐出口３５から
溶剤をテーパ部１８へ霧状に吹き付けてノズル口１４及
びテーパ部１８を溶剤で洗浄し、洗浄後ガス吐出口３６
からテーパ部１８へ乾燥用ガスを吹き付けて乾燥させ、
粘度が変化したり硬化したりしている塗布液７を洗浄に
より除去できる。

【００２３】図７に示すものは本発明の別な実施例によ
る塗布ヘッドクリーニング装置３８を示す概略断面図で
ある。この実施例では、パイプ２４としてセラミック等
の連続気泡多孔質体によって形成したものを用いてい
る。この実施例では、パイプ２４の内周に供給された溶
剤がパイプ２４の外周面へ滲み出てクリーニング用シー
ト２９へ供給され、クリーニング用シート２９に溶剤が
含浸される。

【００２４】図８に示すものは本発明のさらに別な実施
例による塗布ヘッドクリーニング装置３９を示す概略断
面図である。この実施例では、パイプ２４の外周面を弾
力性を有し、かつ溶剤を浸透させるような素材４０（例
えば、無塵布）で覆っている。この実施例では、パイプ
２４の外周面を弾力性のある素材４０で覆っているの
で、パイプ２４が金属等の硬質材料によって形成されて
いても、塗布ヘッド２のテーパ部１８とパイプ２４との
衝突を防止することができ、テーパ部１８を衝撃から保
護することができる。

【００２５】図９に示すものは本発明のさらに別な実施
例による塗布ヘッドクリーニング装置４１を示す概略断
面図である。この実施例ではクリーニング用シート２９
をパイプ２４とローラ４２との間に掛け回してあり、パ
イプ２４とローラ４２との中間において塗布ヘッド２の
テーパ部１８をクリーニング用シート２９に接触させる
ようにしている。この実施例にあっても、パイプ２４と
ローラ４２との間に張られたクリーニング用シート２９
にテーパ部１８を接触させているので、テーパ部１８と
パイプ２４等との衝突を避けることができる。

【００２６】図１０に示すものは本発明のさらに別な実
施例による塗布ヘッドクリーニング装置４３を示す概略
断面図であって、テーブル４とは個別に構成されてい
る。この実施例にあっては、巻戻ローラ３０と巻取ロー
ラ３１に巻かれたクリーニング用シート２９をロール４
４，４５，４６を介してパイプ２４に掛け回している。
内部に溶剤を供給されるパイプ２４は回転自在に支持さ
れており、同時にパイプ２４は水平方向に移動可能に支
持されており、駆動手段（図示せず）によって塗布ヘッ
ド２の下面に向けて突出し、あるいは後退する。このパ
イプ２４はテーブル４によって搬送される塗布対象物３
の表面と微小距離（塗布液７の膜厚よりも大きな距離）
を隔てるように配置されている。また、パイプ２４の直
径はできるだけ小さいことが好ましく、特に、パイプ２
４と塗布対象物３の間の微小距離とパイプ２４の直径と
の和ａがテーパ部１８の突出長ｂよりも小さくなってい
ることが好ましい。

【００２７】しかして、塗布開始直前には、図１０
（ａ）に示すようにパイプ２４を塗布ヘッド２のテーパ
部１８の真下へ突出させ、テーパ部１８をクリーニング
用シート２９に接触させることによりテーパ部１８先端
をクリーニングする。このときクリーニング用シート２
９は塗布ヘッド２に対して静止していてもよいが、クリ
ーニング用シート２９を走行させる場合にはテーパ部１
８と接触する上面側がテーブル４の移動方向と同じ方向
に走行させるのが好ましい。クリーニング用シート２９
を走行させれば、絶えずクリーニング用シート２９の新
鮮な面を供給しながらテーパ部１８をクリーニングする
ことができ、またクリーニング用シート２９の走行方向
をテーブル４の移動方向と同じにすれば、テーパ部１８
のクリーニング用シート２９によるクリーニング方向と
塗布対象物３のテーパ部１８に対する移動方向とを同じ
にすることができ、塗布液７を塗布対象物３上に塗布す
る際の塗布液７の乱れが小さくなる。

【００２８】テーパ部１８の洗浄が終了すると、図１０
（ｂ）に示すようにパイプ２４が後退し、塗布ヘッド２
がさらに降下し、塗布ヘッド２から塗布対象物３へ塗布
液７が塗布される。この時、パイプ２４の直径がテーパ
部１８の突出長よりも小さくなっているので、後退した
パイプ２４は塗布ヘッド２下面のテーパ部１８の横の空
間に納まり、このためパイプ２４の水平移動距離を小さ
くすることができる。

【００２９】なお、上記実施例では、クリーニング用シ
ート２９とパイプ２４との摩耗を防止するため、パイプ
２４を回転自在としたが、パイプ２４は固定させても差
し支えない。その場合には、パイプ２４の外周面にはフ
ッ素樹脂等を形成して摩擦が小さくなるようにするのが
好ましい。また、パイプ２４を固定する場合には、通孔
２８は全周に設ける必要はなく、クリーニング用シート
２９と接する領域にのみ設けてもよい。また、回転させ
ない場合には、パイプ２４の断面形状は円筒状に限るも
のでなく、任意である。

【００３０】図１１に示すものは本発明のさらに別な実
施例による塗布ヘッドクリーニング装置４７を示す断面
図である。この実施例では、ケース２３内にパイプ２４
を配管し、ケース２３の上面に無塵布のようなクリーニ
ング用シート２９を張ってあり、パイプ２４とクリーニ
ング用シート２９との間の空間には脱脂綿４８を詰めて
いる。しかして、パイプ２４の通孔２８を通過してパイ
プ２４外に出た溶剤は脱脂綿４８に吸収され、さらにク
リーニング用シート２９は脱脂綿４８を介して溶剤で湿
潤させられる。従って、この塗布ヘッドクリーニング装
置４７をテーブル４の前端面に固定しておき、クリーニ
ング用シート２９の表面に塗布ヘッド２の先端を接触さ
せることにより、同様にして塗布ヘッド２の先端を拭う
ことができる。

【００３１】

【発明の効果】本発明によれば、溶剤を含浸したクリー
ニング用シートによって塗布ヘッドに付着している流体
をきれいに拭い取ることができるので、塗布対象物に塗
布する際の塗り始めのラインを滑らかに揃えることがで
き、また塗り始めの部分の膜厚も均一にすることができ
る。従って、塗布開始部分の膜厚の不均一な領域を小さ
くすることができるので、塗布対象物をカットして廃棄
する部分を少なくでき、製品歩留りを大幅に向上させる
ことができる。

【００３２】さらに、クリーニング用シートが塗布ヘッ
ドの先端に対して相対的に静止した状態で塗布ヘッドの
先端を拭うようにすれば、クリーニング用シートと塗布
ヘッドとの摩擦による塵やほこりの発生を防止すること
ができ、クリーンルームでの使用にも適する。また、ク
リーニング用シートとして無塵布を用いても、塵やほこ
りの発生を防止することができ、クリーンルームでの使
用に適したものとなる。

【００３３】一方、クリーニング用シートを塗布ヘッド
の先端に対して移動させながら塗布ヘッドの先端を拭う
ようにすれば、塗布ヘッドを擦るようにして拭うことが
でき、余分な流体をより確実に除去できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】スロット型の流体塗布装置を示す概略構成図で
ある。

【図２】同上の塗布ヘッドを示す一部破断した分解斜視
図である。

【図３】（ａ）（ｂ）は同上の塗布ヘッドからの塗布液
が垂れる様子を示す拡大断面図である。

【図４】同上の塗布ヘッドによってガラス基板上に塗布
された塗膜の状態を説明するための平面図である。

【図５】本発明の一実施例による塗布ヘッドクリーニン
グ装置を示す断面図である。

【図６】同上の塗布ヘッドクリーニング装置の一部破断
した平面図である。

【図７】本発明の別な実施例による塗布ヘッドクリーニ
ング装置を示す断面図である。

【図８】本発明のさらに別な実施例による塗布ヘッドク
リーニング装置を示す断面図である。

【図９】本発明のさらに別な実施例による塗布ヘッドク
リーニング装置を示す断面図である。

【図１０】（ａ）（ｂ）は本発明のさらに別な実施例に
よる塗布ヘッドクリーニング装置とその動作を説明する
断面図である。

【図１１】本発明のさらに別な実施例による塗布ヘッド
クリーニング装置を示す断面図である。

【符号の説明】

２ 塗布ヘッド ４ テーブル ６ スロット ７ 塗布液 １８ テーパ部 ２４ パイプ ２８ 通孔 ２９ クリーニング用シート

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流体を一定の厚みにしてスロットから流
   出させる塗布ヘッドを、流体の塗布前にクリーニングす
   るための方法であって、 溶剤を含浸させたクリーニング用シートに塗布ヘッドの
   先端を接触させることにより、塗布ヘッドの先端に付着
   している流体を拭うことを特徴とする塗布ヘッドのクリ
   ーニング方法。
2. 【請求項２】 前記クリーニング用シートが塗布ヘッド
   の先端に対して相対的に静止した状態で塗布ヘッドの先
   端を拭うようにしたことを特徴とする請求項１に記載の
   塗布ヘッドのクリーニング方法。
3. 【請求項３】 前記クリーニング用シートを塗布ヘッド
   の先端に対して相対的に移動させながら塗布ヘッドの先
   端を拭うようにしたことを特徴とする請求項１に記載の
   塗布ヘッドのクリーニング方法。
4. 【請求項４】 流体を一定の厚みにしてスロットから流
   出させる塗布ヘッドをクリーニングする塗布ヘッドクリ
   ーニング装置であって、 塗布ヘッドの先端を接触させてクリーニングするための
   クリーニング用シートと、該クリーニング用シートに溶
   剤を供給して該クリーニング用シートに溶剤を含浸させ
   るための溶剤供給手段とを備えた塗布ヘッドクリーニン
   グ装置。
5. 【請求項５】 前記クリーニング用シートが無塵布を素
   材として形成されていることを特徴とする請求項４に記
   載の塗布ヘッドクリーニング装置。
6. 【請求項６】 中空内部から外周面に向けて溶剤を通過
   させることができるパイプによって前記溶剤供給手段を
   構成し、前記クリーニング用シートを該パイプの外周面
   に掛け回し、クリーニング用シートを該パイプの外周面
   で走行させるようにしたことを特徴とする請求項４又は
   ５に記載の塗布ヘッドクリーニング装置。