JPH0777555A - 受光素子の温度特性検査装置 - Google Patents
受光素子の温度特性検査装置Info
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- JPH0777555A JPH0777555A JP22410293A JP22410293A JPH0777555A JP H0777555 A JPH0777555 A JP H0777555A JP 22410293 A JP22410293 A JP 22410293A JP 22410293 A JP22410293 A JP 22410293A JP H0777555 A JPH0777555 A JP H0777555A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 受光素子のスレッシュホールド照度の温度特
性検査装置において、受光素子１を加熱用定電圧電源６
に接続して、該受光素子に電流を流し、電気的に加熱
し、温度上昇させる手段と、上記受光素子の加熱前後の
順方向電圧を電圧計８により測定し、その測定結果と、
加熱前の温度とから、加熱後の温度を算出する手段とを
設けた。 【効果】 従来必要であった恒温槽等が不要となり、検
査を単一工程として行えるといった優れた効果を奏す
る。
性検査装置において、受光素子１を加熱用定電圧電源６
に接続して、該受光素子に電流を流し、電気的に加熱
し、温度上昇させる手段と、上記受光素子の加熱前後の
順方向電圧を電圧計８により測定し、その測定結果と、
加熱前の温度とから、加熱後の温度を算出する手段とを
設けた。 【効果】 従来必要であった恒温槽等が不要となり、検
査を単一工程として行えるといった優れた効果を奏す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、受光素子の特性検査に
関し、特にスレッシュホールド照度の温度特性の検査に
係る。
関し、特にスレッシュホールド照度の温度特性の検査に
係る。
【０００２】
【従来の技術】図４に、受光素子の内部回路（点線の内
側）とスレッシュホールド照度の測定回路を示す。図に
於いて、１は受光素子（フォトダイオード１７、演算増
幅器１８、基準電圧発生器１９、及び電圧比較器２０よ
り成る）、４は定電圧電源、５は電圧計、１２は電源端
子（Ｖｃｃ：電源電圧）、１３は出力端子（Ｖｏ：出力
電圧）、１４はグランド端子（ＧＮＤ：グランド）、１
５はランプ、１６は定電圧電源、ｌはランプ−受光素子
間距離である。
側）とスレッシュホールド照度の測定回路を示す。図に
於いて、１は受光素子（フォトダイオード１７、演算増
幅器１８、基準電圧発生器１９、及び電圧比較器２０よ
り成る）、４は定電圧電源、５は電圧計、１２は電源端
子（Ｖｃｃ：電源電圧）、１３は出力端子（Ｖｏ：出力
電圧）、１４はグランド端子（ＧＮＤ：グランド）、１
５はランプ、１６は定電圧電源、ｌはランプ−受光素子
間距離である。
【０００３】図４の如く、ランプ１５に定電圧電源１６
により電圧を印加すると、フォトダイオード１７は、ラ
ンプ１５からの光を受けて光電流Ｉｓｃを発生する。こ
れを演算増幅器１８により、電流・電圧変換し、その出
力電圧はＶAMPとなる。そして、比較器２０では、この
電圧ＶAMPと基準電圧発生回路１９よりの基準電圧ＶREF
とが比較され、その大小関係により、受光素子１の出力
電圧Ｖｏは、高レベルＶｏＨ又は低レベルＶｏＬとな
る。
により電圧を印加すると、フォトダイオード１７は、ラ
ンプ１５からの光を受けて光電流Ｉｓｃを発生する。こ
れを演算増幅器１８により、電流・電圧変換し、その出
力電圧はＶAMPとなる。そして、比較器２０では、この
電圧ＶAMPと基準電圧発生回路１９よりの基準電圧ＶREF
とが比較され、その大小関係により、受光素子１の出力
電圧Ｖｏは、高レベルＶｏＨ又は低レベルＶｏＬとな
る。
【０００４】ここで、ランプ１５と受光素子１間距離ｌ
を近ずけて、照度を上げていき、出力電圧Ｖｏが低レベ
ルＶｏＬから高レベルＶｏＨに移行したときの照度を昇
側スレッシュホールド照度ＥVLH，距離を遠ざけて、照
度を下げていき、出力電圧が高レベルＶｏＨから低レベ
ルＶｏＬに移行したときの照度を降側スレッシュホール
ド照度ＥVHLと呼ぶ。
を近ずけて、照度を上げていき、出力電圧Ｖｏが低レベ
ルＶｏＬから高レベルＶｏＨに移行したときの照度を昇
側スレッシュホールド照度ＥVLH，距離を遠ざけて、照
度を下げていき、出力電圧が高レベルＶｏＨから低レベ
ルＶｏＬに移行したときの照度を降側スレッシュホール
ド照度ＥVHLと呼ぶ。
【０００５】そして、スレッシュホールド照度ＥVLH及
びＥVHLの温度特性検査は、所定の温度で、ＥVLH及びＥ
VHLが所定の範囲内か判定する。また、受光素子１は発
行ダイオードと光学的に結合されて使用されることが多
く、発光ダイオードの光出力の温度特性に合わせて、ス
レッシュホールド照度ＥVLH，ＥVHLの温度特性は、温度
に対して負の依存性を示すように設計されている。
びＥVHLの温度特性検査は、所定の温度で、ＥVLH及びＥ
VHLが所定の範囲内か判定する。また、受光素子１は発
行ダイオードと光学的に結合されて使用されることが多
く、発光ダイオードの光出力の温度特性に合わせて、ス
レッシュホールド照度ＥVLH，ＥVHLの温度特性は、温度
に対して負の依存性を示すように設計されている。
【０００６】図６に、ＯＰＩＣ受光素子の相対スレッシ
ュホールド照度の温度特性を示す。また、スレッシュホ
ールド照度の検査には、光源として、ランプ１５の代わ
りに発光素子を使用することが多く、図５に、発光素子
２を使用した、スレッシュホールド照度の測定回路を示
す。なお、３は定電流電源である。
ュホールド照度の温度特性を示す。また、スレッシュホ
ールド照度の検査には、光源として、ランプ１５の代わ
りに発光素子を使用することが多く、図５に、発光素子
２を使用した、スレッシュホールド照度の測定回路を示
す。なお、３は定電流電源である。
【０００７】まず、図５の測定回路で、定電流電源３に
より発光素子２に、供給電流ＩＦを増加していき、出力
電圧Ｖｏが低レベルＶｏＬから高レベルＶｏＨに移行し
たときの供給電流ＩＦを、昇側スレッシュホールド入力
電流ＩＦLHとし、供給電流ＩＦを減少していき、出力電
圧Ｖｏが高レベルＶｏＨから低レベルＶｏＬに移行した
ときの供給電流ＩＦを降側スレッシュホールド入力電流
ＩＦHLとすると、 ＥＶLH＝ｋ1×ＩＦLH−−−−−（１） ＥＶHL＝ｋ2×ＩＦHL−−−−−（２） （ここで、ｋ1，ｋ2は定数） と定義され、ＩＦLH，ＩＦHLを測定し、係数ｋ1，ｋ2を
掛け算すると、ＥVLH，ＥVHLが算出できる。
より発光素子２に、供給電流ＩＦを増加していき、出力
電圧Ｖｏが低レベルＶｏＬから高レベルＶｏＨに移行し
たときの供給電流ＩＦを、昇側スレッシュホールド入力
電流ＩＦLHとし、供給電流ＩＦを減少していき、出力電
圧Ｖｏが高レベルＶｏＨから低レベルＶｏＬに移行した
ときの供給電流ＩＦを降側スレッシュホールド入力電流
ＩＦHLとすると、 ＥＶLH＝ｋ1×ＩＦLH−−−−−（１） ＥＶHL＝ｋ2×ＩＦHL−−−−−（２） （ここで、ｋ1，ｋ2は定数） と定義され、ＩＦLH，ＩＦHLを測定し、係数ｋ1，ｋ2を
掛け算すると、ＥVLH，ＥVHLが算出できる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】スレッシュホールド照
度の温度特性検査の従来の測定方法について説明する。
従来は、第１段階として、周囲温度が、例えばＴａ＝２
５℃の条件で昇側スレッシュホールド入力電流ＩＦLH及
び降側スレッシュホールド入力電流ＩＦHLを測定し、式
（１），（２）で算出した昇側スレッシュホールド照度
ＥVLH及び降側スレッシュホールド照度ＥVHLの値が、Ｔ
ａ＝２５℃での、昇側スレッシュホールド照度ＥVLHの
下限判定値ＥVLHｍｉｎ２５、上限判定値ＥVLHｍａｘ２
５、及び降側スレッシュホールド照度ＥVHLの下限判定
値ＥVHLｍｉｎ２５、上限判定値ＥVHLｍａｘ２５の範囲
内であれば合格である。
度の温度特性検査の従来の測定方法について説明する。
従来は、第１段階として、周囲温度が、例えばＴａ＝２
５℃の条件で昇側スレッシュホールド入力電流ＩＦLH及
び降側スレッシュホールド入力電流ＩＦHLを測定し、式
（１），（２）で算出した昇側スレッシュホールド照度
ＥVLH及び降側スレッシュホールド照度ＥVHLの値が、Ｔ
ａ＝２５℃での、昇側スレッシュホールド照度ＥVLHの
下限判定値ＥVLHｍｉｎ２５、上限判定値ＥVLHｍａｘ２
５、及び降側スレッシュホールド照度ＥVHLの下限判定
値ＥVHLｍｉｎ２５、上限判定値ＥVHLｍａｘ２５の範囲
内であれば合格である。
【０００９】第２段階として、例えば高恒温槽又は高温
ハンドラー等を使用して、外部より受光素子１に熱を伝
えて、受光素子１の温度を、例えばＴａ＝８５℃に上げ
て、Ｔａ＝８５℃の条件で昇側スレッシュホールド入力
電流ＩＦLH及び降側スレッシュホールド入力電流ＩＦHL
を測定し、式（１），（２）で算出した昇側スレッシュ
ホールド照度ＥVLH及び降側スレッシュホールド照度Ｅ
VHLの値が、Ｔａ＝８５℃での、昇側スレッシュホール
ド照度ＥVLHの下限判定値ＥVLHｍｉｎ８５、上限判定値
ＥVLHｍａｘ８５、及び降側スレッシュホールド照度Ｅ
VHLの下限判定値ＥVHLｍｉｎ８５、上限判定値ＥVHLｍ
ａｘ８５の範囲内であれば合格である。
ハンドラー等を使用して、外部より受光素子１に熱を伝
えて、受光素子１の温度を、例えばＴａ＝８５℃に上げ
て、Ｔａ＝８５℃の条件で昇側スレッシュホールド入力
電流ＩＦLH及び降側スレッシュホールド入力電流ＩＦHL
を測定し、式（１），（２）で算出した昇側スレッシュ
ホールド照度ＥVLH及び降側スレッシュホールド照度Ｅ
VHLの値が、Ｔａ＝８５℃での、昇側スレッシュホール
ド照度ＥVLHの下限判定値ＥVLHｍｉｎ８５、上限判定値
ＥVLHｍａｘ８５、及び降側スレッシュホールド照度Ｅ
VHLの下限判定値ＥVHLｍｉｎ８５、上限判定値ＥVHLｍ
ａｘ８５の範囲内であれば合格である。
【００１０】第３段階として、低温側の検査について
は、例えば低恒温槽又は低温ハンドラー等を使用して、
外部より受光素子１から熱をうばって、受光素子１の温
度を、例えばＴａ＝−２５℃に下げて、Ｔａ＝−２５℃
の条件で昇側スレッシュホールド入力電流ＩＦLH，及び
降側スレッシュホールド入力電流ＩＦHLを測定し、式
（１），（２）で算出した昇側スレッシュホールド照度
ＥVLH及び降側スレッシュホールド照度ＥVHLの値が、Ｔ
ａ＝−２５℃での、昇側スレッシュホールド照度ＥVLH
の下限判定値ＥVLHｍｉｎ−２５、上限判定値ＥVLHｍａ
ｘ−２５、及び降側スレッシュホールド照度ＥVHLの下
限判定値ＥVHLｍｉｎ−２５、上限判定値ＥVHLｍａｘ−
２５の範囲内であれば合格である。
は、例えば低恒温槽又は低温ハンドラー等を使用して、
外部より受光素子１から熱をうばって、受光素子１の温
度を、例えばＴａ＝−２５℃に下げて、Ｔａ＝−２５℃
の条件で昇側スレッシュホールド入力電流ＩＦLH，及び
降側スレッシュホールド入力電流ＩＦHLを測定し、式
（１），（２）で算出した昇側スレッシュホールド照度
ＥVLH及び降側スレッシュホールド照度ＥVHLの値が、Ｔ
ａ＝−２５℃での、昇側スレッシュホールド照度ＥVLH
の下限判定値ＥVLHｍｉｎ−２５、上限判定値ＥVLHｍａ
ｘ−２５、及び降側スレッシュホールド照度ＥVHLの下
限判定値ＥVHLｍｉｎ−２５、上限判定値ＥVHLｍａｘ−
２５の範囲内であれば合格である。
【００１１】以上の様に、従来の測定方法では、高温、
低温の温度条件の設定用として、例えば、恒温槽、高温
ハンドラー、低温ハンドラー、の設備を使用する。本発
明は、恒温槽，高温ハンドラー，低温ハンドラー等の温
度設定用の設備を使用することなく、受光素子自身の持
つ電気的特性を利用して、容易に、受光素子１の温度特
性の検査をする温度特性検査装置の提供を目的とする。
低温の温度条件の設定用として、例えば、恒温槽、高温
ハンドラー、低温ハンドラー、の設備を使用する。本発
明は、恒温槽，高温ハンドラー，低温ハンドラー等の温
度設定用の設備を使用することなく、受光素子自身の持
つ電気的特性を利用して、容易に、受光素子１の温度特
性の検査をする温度特性検査装置の提供を目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明の、受光素子の温
度特性検査装置は、光検出素子、基準電圧発生器、電圧
比較器を含み、入射光の照度に応じてＨ又はＬレベルの
信号を出力する受光素子のスレッシュホールド照度の温
度特性を検査する、受光素子の温度特性検査装置であっ
て、上記受光素子に入射する光を出射する発光体への供
給電流、または、該発光体と上記受光素子間距離を順次
変化させることにより、上記受光素子に入射する光の照
度を順次変化させる手段と、上記受光素子の出力信号レ
ベルを検出する手段と、上記出力信号レベル変化時点の
上記発光体への供給電流値、または、上記発光体・受光
素子間距離により、スレッシュホールド照度を算出する
手段と、該手段により算出されたスレッシュホールド照
度が、温度によって定まる所定の範囲内にあるか否かを
判定する手段とを有するものに於いて、上記受光素子を
加熱用電源に接続することにより、該受光素子を電気的
に加熱する手段と、上記受光素子の、温度特性が既知で
ある所定の電気量の測定に基づいて、加熱後の温度を算
出する手段とを設けたことを特徴とするものである。
度特性検査装置は、光検出素子、基準電圧発生器、電圧
比較器を含み、入射光の照度に応じてＨ又はＬレベルの
信号を出力する受光素子のスレッシュホールド照度の温
度特性を検査する、受光素子の温度特性検査装置であっ
て、上記受光素子に入射する光を出射する発光体への供
給電流、または、該発光体と上記受光素子間距離を順次
変化させることにより、上記受光素子に入射する光の照
度を順次変化させる手段と、上記受光素子の出力信号レ
ベルを検出する手段と、上記出力信号レベル変化時点の
上記発光体への供給電流値、または、上記発光体・受光
素子間距離により、スレッシュホールド照度を算出する
手段と、該手段により算出されたスレッシュホールド照
度が、温度によって定まる所定の範囲内にあるか否かを
判定する手段とを有するものに於いて、上記受光素子を
加熱用電源に接続することにより、該受光素子を電気的
に加熱する手段と、上記受光素子の、温度特性が既知で
ある所定の電気量の測定に基づいて、加熱後の温度を算
出する手段とを設けたことを特徴とするものである。
【００１３】また、上記受光素子の温度特性検査装置に
於いて、上記受光素子の、温度特性が既知である所定の
電気量が、上記受光素子の順方向電圧であることを特徴
とするものである。
於いて、上記受光素子の、温度特性が既知である所定の
電気量が、上記受光素子の順方向電圧であることを特徴
とするものである。
【００１４】例えば、図１の如く、第１段階で、発光素
子２への供給電流ＩＦを増加（又は減少）させていき、
出力電圧Ｖｏが低レベルＶｏＬから高レベルＶｏＨ（又
は、高レベルＶｏＨから低レベルＶｏＬ）へ移行したと
きの供給電流ＩＦを測定し、昇側スレッシュホールド照
度ＥVLH（又は、降側スレッシュホールド照度ＥVHL）を
求め、記憶する第１スレッシュホールド照度測定・記憶
手段２１と、第２段階で、受光素子１の出力端子に一定
時間、電圧を印加して電気的に加熱し、又受光素子１の
順方向電圧（ここでは、ＧＮＤ−Ｖｃｃ間電圧）が温度
に対してリニアに変化する特性を利用して加熱後の温度
測定をする、加熱・温度測定手段２２と、第３段階で、
加熱されて、一定温度に上昇した受光素子１に対し、発
光素子２への供給電流ＩＦを増加（又は減少）させてい
き、出力電圧Ｖｏが低レベルＶｏＬから高レベルＶｏＨ
（又は、高レベルＶｏＨから低レベルＶｏＬ）へ移行し
たときの供給電流ＩＦを測定し、昇側スレッシュホール
ド照度ＥVLH（又は、降側スレッシュホールド照度
ＥVHL）を求め、記憶する第２スレッシュホールド照度
測定・記憶手段２３と、第４段階として、第２段階で加
熱する前後の第１段階、第３段階の昇側スレッシュホー
ルド照度ＥVLH（又は、降側スレッシュホールド照度Ｅ
VHL）を呼び出し、この値が所定の範囲内かを判定する
スレッシュホールド照度温特検査・判定手段２４とを備
えたものである。
子２への供給電流ＩＦを増加（又は減少）させていき、
出力電圧Ｖｏが低レベルＶｏＬから高レベルＶｏＨ（又
は、高レベルＶｏＨから低レベルＶｏＬ）へ移行したと
きの供給電流ＩＦを測定し、昇側スレッシュホールド照
度ＥVLH（又は、降側スレッシュホールド照度ＥVHL）を
求め、記憶する第１スレッシュホールド照度測定・記憶
手段２１と、第２段階で、受光素子１の出力端子に一定
時間、電圧を印加して電気的に加熱し、又受光素子１の
順方向電圧（ここでは、ＧＮＤ−Ｖｃｃ間電圧）が温度
に対してリニアに変化する特性を利用して加熱後の温度
測定をする、加熱・温度測定手段２２と、第３段階で、
加熱されて、一定温度に上昇した受光素子１に対し、発
光素子２への供給電流ＩＦを増加（又は減少）させてい
き、出力電圧Ｖｏが低レベルＶｏＬから高レベルＶｏＨ
（又は、高レベルＶｏＨから低レベルＶｏＬ）へ移行し
たときの供給電流ＩＦを測定し、昇側スレッシュホール
ド照度ＥVLH（又は、降側スレッシュホールド照度
ＥVHL）を求め、記憶する第２スレッシュホールド照度
測定・記憶手段２３と、第４段階として、第２段階で加
熱する前後の第１段階、第３段階の昇側スレッシュホー
ルド照度ＥVLH（又は、降側スレッシュホールド照度Ｅ
VHL）を呼び出し、この値が所定の範囲内かを判定する
スレッシュホールド照度温特検査・判定手段２４とを備
えたものである。
【００１５】
【作用】上記解決手段において、第１段階で、第１スレ
ッシュホールド照度測定・記憶手段２１により、昇側ス
レッシュホールド照度ＥVLH（又は、降側スレッシュホ
ールド照度ＥVHL）を測定、記憶し、第２段階で、加熱
・温度測定手段２２により、受光素子１の出力端子に一
定時間、電圧を印加し、電気的に加熱し、加熱後の受光
素子１の温度を、受光素子１自身の持つ特性を利用して
測定し、第３段階で、第２スレッシュホールド照度測定
・記憶手段２３により、昇側スレッシュホールド照度Ｅ
VLH（又は、降側スレッシュホールド照度ＥVHL）を測
定、記憶し、第４段階で、スレッシュホールド温特検査
・判定手段２４により、昇側スレッシュホールド照度Ｅ
VLH（又は、降側スレッシュホールド照度ＥVHL）の温度
特性を検査、判定する。
ッシュホールド照度測定・記憶手段２１により、昇側ス
レッシュホールド照度ＥVLH（又は、降側スレッシュホ
ールド照度ＥVHL）を測定、記憶し、第２段階で、加熱
・温度測定手段２２により、受光素子１の出力端子に一
定時間、電圧を印加し、電気的に加熱し、加熱後の受光
素子１の温度を、受光素子１自身の持つ特性を利用して
測定し、第３段階で、第２スレッシュホールド照度測定
・記憶手段２３により、昇側スレッシュホールド照度Ｅ
VLH（又は、降側スレッシュホールド照度ＥVHL）を測
定、記憶し、第４段階で、スレッシュホールド温特検査
・判定手段２４により、昇側スレッシュホールド照度Ｅ
VLH（又は、降側スレッシュホールド照度ＥVHL）の温度
特性を検査、判定する。
【００１６】このように、温度条件の変更を電気的にす
ることで、温度設定用の設備、例えば、恒温槽、高温ハ
ンドラー、低温ハンドラーの設備を使用せずに容易に、
昇側スレッシュホールド照度ＥVLH（又は、降側スレッ
シュホールド照度ＥVHL）の温度特性を検査ができる。
ることで、温度設定用の設備、例えば、恒温槽、高温ハ
ンドラー、低温ハンドラーの設備を使用せずに容易に、
昇側スレッシュホールド照度ＥVLH（又は、降側スレッ
シュホールド照度ＥVHL）の温度特性を検査ができる。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の実施例を図１、２、３、に基
いて説明する。
いて説明する。
【００１８】図１は本発明の一実施例に係る受光素子の
温度特性検査装置の機能ブロック図、図２はスレッシュ
ホールド入力電流の測定回路図、図３はスレッシュホー
ルド照度温度特性である。
温度特性検査装置の機能ブロック図、図２はスレッシュ
ホールド入力電流の測定回路図、図３はスレッシュホー
ルド照度温度特性である。
【００１９】図２の如く、スレッシュホールド入力電流
の測定回路は、受光素子１（フォトダイオード１７、演
算増幅器１８、基準電圧発生器１９及び電圧比較器２０
が１チップに集積されて成る）に光照射する光源として
の発光素子２と、発光素子２に、コントローラ（ここで
は図示せず）の制御により電流ＩＦを増加（又は、減
少）させて行く定電流電源３と、受光素子１を動作させ
るバイアス用定電圧電源４と、出力電圧Ｖｏを測定する
電圧計５と、受光素子１を電気的に加熱する手段として
の加熱用定電圧電源６と、受光素子１の順方向電圧の測
定用としての定電流電源７及び電圧計８と、定電圧電源
４，定電流電源７を受光素子１の電源端子１２に接続す
るリレー９，１０、加熱用定電圧電源６を受光素子１の
出力端子１３に接続するリレー１１とを備えている。な
お、１４はグランド端子である。
の測定回路は、受光素子１（フォトダイオード１７、演
算増幅器１８、基準電圧発生器１９及び電圧比較器２０
が１チップに集積されて成る）に光照射する光源として
の発光素子２と、発光素子２に、コントローラ（ここで
は図示せず）の制御により電流ＩＦを増加（又は、減
少）させて行く定電流電源３と、受光素子１を動作させ
るバイアス用定電圧電源４と、出力電圧Ｖｏを測定する
電圧計５と、受光素子１を電気的に加熱する手段として
の加熱用定電圧電源６と、受光素子１の順方向電圧の測
定用としての定電流電源７及び電圧計８と、定電圧電源
４，定電流電源７を受光素子１の電源端子１２に接続す
るリレー９，１０、加熱用定電圧電源６を受光素子１の
出力端子１３に接続するリレー１１とを備えている。な
お、１４はグランド端子である。
【００２０】又、図１の如く、コントローラ内には、第
１段階で、発光素子２への供給電流ＩＦを増加（又は減
少）させていき、出力電圧Ｖｏが低レベルＶｏＬから高
レベルＶｏＨ（又は、高レベルＶｏＨから低レベルＶｏ
Ｌ）へ移行したときの供給電流ＩＦを測定し、昇側スレ
ッシュホールド照度ＥVLH（又は、降側スレッシュホー
ルド照度ＥVHL）を求め、記憶する第１スレッシュホー
ルド照度測定・記憶手段２１と、第２段階で、受光素子
１の出力端子に一定時間、電圧を印加して電気的に加熱
し、又受光素子１の順方向電圧（ここでは、ＧＮＤ−Ｖ
ｃｃ間電圧）が温度に対してリニアに変化する特性を利
用して加熱後の温度測定をする、加熱・温度測定手段２
２と、第３段階で、加熱されて、一定温度に上昇した受
光素子１に対し、発光素子２への供給電流ＩＦを増加
（又は減少）させていき出力電圧Ｖｏが低レベルＶｏＬ
から高レベルＶｏＨ（又は、高レベルＶｏＨから低レベ
ルＶｏＬ）へ移行したときの供給電流ＩＦを測定し、昇
側スレッシュホールド照度ＥVLH（又は、降側スレッシ
ュホールド照度ＥVHL）を求め、記憶する第２スレッシ
ュホールド照度測定・記憶手段２３と、第４段階とし
て、第２段階で加熱する前後の第１段階、第３段階の昇
側スレッシュホールド照度ＥVLH（又は、降側スレッシ
ュホールド照度ＥVHL）を呼び出し、この値が所定の範
囲内かを判定するスレッシュホールド照度温特検査・判
定手段２４とを備えている。
１段階で、発光素子２への供給電流ＩＦを増加（又は減
少）させていき、出力電圧Ｖｏが低レベルＶｏＬから高
レベルＶｏＨ（又は、高レベルＶｏＨから低レベルＶｏ
Ｌ）へ移行したときの供給電流ＩＦを測定し、昇側スレ
ッシュホールド照度ＥVLH（又は、降側スレッシュホー
ルド照度ＥVHL）を求め、記憶する第１スレッシュホー
ルド照度測定・記憶手段２１と、第２段階で、受光素子
１の出力端子に一定時間、電圧を印加して電気的に加熱
し、又受光素子１の順方向電圧（ここでは、ＧＮＤ−Ｖ
ｃｃ間電圧）が温度に対してリニアに変化する特性を利
用して加熱後の温度測定をする、加熱・温度測定手段２
２と、第３段階で、加熱されて、一定温度に上昇した受
光素子１に対し、発光素子２への供給電流ＩＦを増加
（又は減少）させていき出力電圧Ｖｏが低レベルＶｏＬ
から高レベルＶｏＨ（又は、高レベルＶｏＨから低レベ
ルＶｏＬ）へ移行したときの供給電流ＩＦを測定し、昇
側スレッシュホールド照度ＥVLH（又は、降側スレッシ
ュホールド照度ＥVHL）を求め、記憶する第２スレッシ
ュホールド照度測定・記憶手段２３と、第４段階とし
て、第２段階で加熱する前後の第１段階、第３段階の昇
側スレッシュホールド照度ＥVLH（又は、降側スレッシ
ュホールド照度ＥVHL）を呼び出し、この値が所定の範
囲内かを判定するスレッシュホールド照度温特検査・判
定手段２４とを備えている。
【００２１】図３は、第２段階で加熱する前の周囲温度
をＴ1、加熱後の受光素子１の温度をＴ2、加熱する前の
昇側スレッシュホールド照度をＥVLH1，加熱後の昇側の
スレッシュホールド照度をＥVLH2と、したときのスレッ
シュホールド照度温度特性である。
をＴ1、加熱後の受光素子１の温度をＴ2、加熱する前の
昇側スレッシュホールド照度をＥVLH1，加熱後の昇側の
スレッシュホールド照度をＥVLH2と、したときのスレッ
シュホールド照度温度特性である。
【００２２】次に、上記温度特性検査装置の動作を、図
１，２，３に基づいて説明する。
１，２，３に基づいて説明する。
【００２３】なお、降側スレッシュホールド照度ＥVHL
の動作については、昇側スレッシュホールド照度ＥVLH
の動作において、発光素子２の供給電流ＩＦを増加から
減少に変えた動作なので省略する。
の動作については、昇側スレッシュホールド照度ＥVLH
の動作において、発光素子２の供給電流ＩＦを増加から
減少に変えた動作なので省略する。
【００２４】まず、第１段階として、コントローラ（図
示せず）によりリレー９をオンし、受光素子１の電源端
子１２，グランド端子１４間に、定電圧電源４を接続し
て、受光素子１に電圧（例えばＶｃｃ＝５Ｖ）を印加
し、受光素子１を動作状態にする。つぎに、受光素子１
の出力端子１３に接続されている電圧計５の読みが、低
レベルＶｏＬ（例えばＶｏ＝０Ｖ）から高レベルＶｏＨ
（例えばＶｏ＝５Ｖ）に移行するまで、定電流電源３よ
り発光素子２へ、供給電流ＩＦを、一定増加量例えばΔ
ＩＦ（ΔＩＦは小さくスレッシュホールド入力電流Ｉ
FLHの測定誤差の範囲内とする。）として、零から階段
状に増加していき、移行したときの供給電流ＩＦを測定
し、式（１）にて昇側スレッシュホールド照度ＥVLHを
算出し、昇側スレッシュホールド照度ＥVLH1（ここで、
加熱前の周囲温度をＴａ＝Ｔ1℃としたときの昇側スレ
ッシュホールド照度ＥVLHを以後ＥVLH1と呼ぶ。）を第
１スレッシュホールド照度測定・記憶手段２１に記憶す
る。
示せず）によりリレー９をオンし、受光素子１の電源端
子１２，グランド端子１４間に、定電圧電源４を接続し
て、受光素子１に電圧（例えばＶｃｃ＝５Ｖ）を印加
し、受光素子１を動作状態にする。つぎに、受光素子１
の出力端子１３に接続されている電圧計５の読みが、低
レベルＶｏＬ（例えばＶｏ＝０Ｖ）から高レベルＶｏＨ
（例えばＶｏ＝５Ｖ）に移行するまで、定電流電源３よ
り発光素子２へ、供給電流ＩＦを、一定増加量例えばΔ
ＩＦ（ΔＩＦは小さくスレッシュホールド入力電流Ｉ
FLHの測定誤差の範囲内とする。）として、零から階段
状に増加していき、移行したときの供給電流ＩＦを測定
し、式（１）にて昇側スレッシュホールド照度ＥVLHを
算出し、昇側スレッシュホールド照度ＥVLH1（ここで、
加熱前の周囲温度をＴａ＝Ｔ1℃としたときの昇側スレ
ッシュホールド照度ＥVLHを以後ＥVLH1と呼ぶ。）を第
１スレッシュホールド照度測定・記憶手段２１に記憶す
る。
【００２５】第２段階として、コントローラによりリレ
ー９をオフし、又リレー１０をオンし、定電流電源７の
＋側をグランド端子１４に、定電流電源７の−側を受光
素子１の電源端子１２に接続し、定電流Ｉ（例えばＩ＝
１ｍＡ）を流したときの順方向電圧（ここではＧＮＤ−
Ｖｃｃ間電圧）を電圧計８で測定し、加熱前の周囲温度
Ｔａ＝Ｔ１℃での順方向電圧Ｖ1として、加熱・温度測
定手段２２に記憶する。
ー９をオフし、又リレー１０をオンし、定電流電源７の
＋側をグランド端子１４に、定電流電源７の−側を受光
素子１の電源端子１２に接続し、定電流Ｉ（例えばＩ＝
１ｍＡ）を流したときの順方向電圧（ここではＧＮＤ−
Ｖｃｃ間電圧）を電圧計８で測定し、加熱前の周囲温度
Ｔａ＝Ｔ１℃での順方向電圧Ｖ1として、加熱・温度測
定手段２２に記憶する。
【００２６】次に、コントローラによりリレー１０をオ
フし、又リレー９をオンし、定電圧電源４の＋側を受光
素子１の電源端子１２に、グランド端子１４に定電圧電
源４の−側を接続し、電圧（例えばＶｃｃ＝５Ｖ）を印
加し、受光素子１を動作状態にする。次に、コントロー
ラによりリレー１１をオンし、加熱用定電圧電源６の＋
側を受光素子１の出力端子１３に、グランド端子１４に
加熱用定電圧電源６の−側を接続し、受光素子１の出力
端子１３に一定時間、電圧を印加する。ところで、受光
素子１の出力電圧Ｖｏは、定電流電源３から発光素子２
への供給電流ＩＦが流れていない場合は低レベルＶｏＬ
（例えばＶｏ＝０Ｖ）状態で、加熱用定電圧電源６を接
続し印加すると、加熱用定電圧電源６の＋側と受光素子
１の出力端子１３とが電気的にショートしたこととな
り、電流が流れ込む、この電流をｉ，印加電圧をｖとす
るとｐ＝ｉ×ｖの電力（ここで、ｐは、受光素子１の温
度を上げるのに十分であり、許容範囲を越えない値とす
る。）がかかり、受光素子１は温度上昇する。
フし、又リレー９をオンし、定電圧電源４の＋側を受光
素子１の電源端子１２に、グランド端子１４に定電圧電
源４の−側を接続し、電圧（例えばＶｃｃ＝５Ｖ）を印
加し、受光素子１を動作状態にする。次に、コントロー
ラによりリレー１１をオンし、加熱用定電圧電源６の＋
側を受光素子１の出力端子１３に、グランド端子１４に
加熱用定電圧電源６の−側を接続し、受光素子１の出力
端子１３に一定時間、電圧を印加する。ところで、受光
素子１の出力電圧Ｖｏは、定電流電源３から発光素子２
への供給電流ＩＦが流れていない場合は低レベルＶｏＬ
（例えばＶｏ＝０Ｖ）状態で、加熱用定電圧電源６を接
続し印加すると、加熱用定電圧電源６の＋側と受光素子
１の出力端子１３とが電気的にショートしたこととな
り、電流が流れ込む、この電流をｉ，印加電圧をｖとす
るとｐ＝ｉ×ｖの電力（ここで、ｐは、受光素子１の温
度を上げるのに十分であり、許容範囲を越えない値とす
る。）がかかり、受光素子１は温度上昇する。
【００２７】次に、コントローラによりリレー９，１１
をオフし、又リレー１０をオンし、定電流電源７の＋側
をグランド端子１４に、定電流電源７の−側を受光素子
１の電源端子１２に接続し、定電流Ｉ（例えばＩ＝１ｍ
Ａ）を流したときの順方向電圧を電圧計８で測定し、加
熱後の周囲温度Ｔａ＝Ｔ2℃での順方向電圧Ｖ2として、
加熱・温度測定手段２２に記憶する。
をオフし、又リレー１０をオンし、定電流電源７の＋側
をグランド端子１４に、定電流電源７の−側を受光素子
１の電源端子１２に接続し、定電流Ｉ（例えばＩ＝１ｍ
Ａ）を流したときの順方向電圧を電圧計８で測定し、加
熱後の周囲温度Ｔａ＝Ｔ2℃での順方向電圧Ｖ2として、
加熱・温度測定手段２２に記憶する。
【００２８】第３段階として、コントローラによりリレ
ー１０をオフし、リレー９をオンし、受光素子１の電源
端子１２，グランド端子１４間に、定電圧電源４を接続
して、受光素子１に電圧（例えばＶｃｃ＝５Ｖ）を印加
し、受光素子１を動作状態にする。つぎに、受光素子１
の出力端子１３に接続されている電圧計５の読みが、低
レベルＶｏＬ（例えばＶｏ＝０Ｖ）から高レベルＶｏＨ
（例えばＶｏ＝５Ｖ）に移行するまで、定電流電源３よ
り発光素子２へ、供給電流ＩＦを、一定増加量例えばΔ
ＩＦ（ΔＩＦは小さくスレッシュホールド入力電流Ｉ
FLHの測定誤差の範囲内とする。）として、零から階段
状に増加していき、移行したときの供給電流ＩＦを測定
し、式（１）にて昇側スレッシュホールド照度ＥVLHを
算出し、昇側スレッシュホールド照度ＥVLH2（ここで、
加熱後の受光素子１の温度をＴａ＝Ｔ2℃としたときの
昇側スレッシュホールド照度ＥVLHを以後ＥVLH2と呼
ぶ。）を第２スレッシュホールド照度測定・記憶手段２
３に記憶する。
ー１０をオフし、リレー９をオンし、受光素子１の電源
端子１２，グランド端子１４間に、定電圧電源４を接続
して、受光素子１に電圧（例えばＶｃｃ＝５Ｖ）を印加
し、受光素子１を動作状態にする。つぎに、受光素子１
の出力端子１３に接続されている電圧計５の読みが、低
レベルＶｏＬ（例えばＶｏ＝０Ｖ）から高レベルＶｏＨ
（例えばＶｏ＝５Ｖ）に移行するまで、定電流電源３よ
り発光素子２へ、供給電流ＩＦを、一定増加量例えばΔ
ＩＦ（ΔＩＦは小さくスレッシュホールド入力電流Ｉ
FLHの測定誤差の範囲内とする。）として、零から階段
状に増加していき、移行したときの供給電流ＩＦを測定
し、式（１）にて昇側スレッシュホールド照度ＥVLHを
算出し、昇側スレッシュホールド照度ＥVLH2（ここで、
加熱後の受光素子１の温度をＴａ＝Ｔ2℃としたときの
昇側スレッシュホールド照度ＥVLHを以後ＥVLH2と呼
ぶ。）を第２スレッシュホールド照度測定・記憶手段２
３に記憶する。
【００２９】第４段階として、まず加熱・温度測定手段
２２に記憶されている、加熱前後の受光素子１の順方向
電圧Ｖ1及びＶ2を呼び出し、加熱後の受光素子１の温度
を計算する。例えば、加熱前の周囲温度Ｔ1，加熱後の
温度Ｔ2，その上昇温度をΔＴとし、順方向電圧の１℃
当たりの変化電圧を−ｋｍＶ／℃（ここで、ｋは受光素
子１の順方向電圧の温度定数である。）とする。
２２に記憶されている、加熱前後の受光素子１の順方向
電圧Ｖ1及びＶ2を呼び出し、加熱後の受光素子１の温度
を計算する。例えば、加熱前の周囲温度Ｔ1，加熱後の
温度Ｔ2，その上昇温度をΔＴとし、順方向電圧の１℃
当たりの変化電圧を−ｋｍＶ／℃（ここで、ｋは受光素
子１の順方向電圧の温度定数である。）とする。
【００３０】 ΔＴ＝Ｔ2−Ｔ1＝（Ｖ2−Ｖ1）／（−ｋ）−−−−（３） であり、加熱後の温度Ｔ2は Ｔ2＝Ｔ1＋（Ｖ1−Ｖ2）／ｋ −−−−（４） となり、コントローラに検査時の周囲温度Ｔａ＝Ｔ1を
インプットし、加熱前後の受光素子１の順方向電圧Ｖ1
及びＶ2を式（４）に代入すれば、Ｔ2は求められる。
インプットし、加熱前後の受光素子１の順方向電圧Ｖ1
及びＶ2を式（４）に代入すれば、Ｔ2は求められる。
【００３１】次に、第１スレッシュホールド照度測定・
記憶手段２１、及び第２スレッシュホールド照度測定・
記憶手段２３に記憶されている、加熱前の周囲温度がＴ
ａ＝Ｔ1℃のときの昇側スレッシュホールド照度
ＥVLH1，加熱後の受光素子１の温度がＴａ＝Ｔ2℃のと
き昇側スレッシュホールド照度ＥVLH2を呼び出し、まず
昇側スレッシュホールド照度ＥVLH1が、例えば、周囲温
度がＴａ＝２５℃とすれば、Ｔ1＝２５℃のときの、昇
側スレッシュホールド照度ＥVLH1の下限値を、例えばＥ
VLH1ｍｉｎ，上限値をＥVLH1ｍａｘとすれば、 ＥVLH1ｍｉｎ≦ＥVLH1≦ＥVLH1ｍａｘ −−−−（５） 式（５）の範囲内か否かで合格、不合格の判定ができ
る。
記憶手段２１、及び第２スレッシュホールド照度測定・
記憶手段２３に記憶されている、加熱前の周囲温度がＴ
ａ＝Ｔ1℃のときの昇側スレッシュホールド照度
ＥVLH1，加熱後の受光素子１の温度がＴａ＝Ｔ2℃のと
き昇側スレッシュホールド照度ＥVLH2を呼び出し、まず
昇側スレッシュホールド照度ＥVLH1が、例えば、周囲温
度がＴａ＝２５℃とすれば、Ｔ1＝２５℃のときの、昇
側スレッシュホールド照度ＥVLH1の下限値を、例えばＥ
VLH1ｍｉｎ，上限値をＥVLH1ｍａｘとすれば、 ＥVLH1ｍｉｎ≦ＥVLH1≦ＥVLH1ｍａｘ −−−−（５） 式（５）の範囲内か否かで合格、不合格の判定ができ
る。
【００３２】又、昇側スレッシュホールド照度ＥVLH2に
ついても、コントローラにより、式（４）にＴ1，Ｖ1，
Ｖ2を代入し、Ｔ2をもとめ、温度がＴａ＝Ｔ2℃のとき
の、昇側スレッシュホールド照度ＥVLH2の下限値を、例
えばＥVLH2ｍｉｎ，上限値をＥVLH2ｍａｘとすれば、 ＥVLH2ｍｉｎ≦ＥVLH2≦ＥVLH2ｍａｘ −−−−（６） 式（６）の範囲内か否かで合格、不合格の判定ができ
る。
ついても、コントローラにより、式（４）にＴ1，Ｖ1，
Ｖ2を代入し、Ｔ2をもとめ、温度がＴａ＝Ｔ2℃のとき
の、昇側スレッシュホールド照度ＥVLH2の下限値を、例
えばＥVLH2ｍｉｎ，上限値をＥVLH2ｍａｘとすれば、 ＥVLH2ｍｉｎ≦ＥVLH2≦ＥVLH2ｍａｘ −−−−（６） 式（６）の範囲内か否かで合格、不合格の判定ができ
る。
【００３３】又、図６のように、相対スレッシュホール
ド照度ＥVLHと周囲温度との関係が直線に乗る場合は、
温度の変化に対するスレッシュホールド照度ＥVLHの変
化の勾配を例えば、θとすれば、 θ＝−ｋ（ＥVLH1−ＥVLH2）／（Ｖ2−Ｖ1） となり、この勾配がある範囲内にあるかどうか判定すれ
ば温度を下げなくても温度特性検査ができる。
ド照度ＥVLHと周囲温度との関係が直線に乗る場合は、
温度の変化に対するスレッシュホールド照度ＥVLHの変
化の勾配を例えば、θとすれば、 θ＝−ｋ（ＥVLH1−ＥVLH2）／（Ｖ2−Ｖ1） となり、この勾配がある範囲内にあるかどうか判定すれ
ば温度を下げなくても温度特性検査ができる。
【００３４】このように、受光素子のスレッシュホール
ド照度の温度特性の検査において、電気的な印加によ
り、受光素子自身の発熱による温度上昇を利用すること
で、従来、温度条件設定用に使用していた、恒温槽、高
温テストハンドラー、低温テストハンドラー等の設備を
用いずに容易に受光素子のスレッシュホールド照度の温
度特性の検査ができる。
ド照度の温度特性の検査において、電気的な印加によ
り、受光素子自身の発熱による温度上昇を利用すること
で、従来、温度条件設定用に使用していた、恒温槽、高
温テストハンドラー、低温テストハンドラー等の設備を
用いずに容易に受光素子のスレッシュホールド照度の温
度特性の検査ができる。
【００３５】
【発明の効果】以上の説明より明らかな通り、受光素子
のスレッシュホールド照度の温度特性の検査において、
電気的な印加により、受光素子自身の発熱による温度上
昇を利用することで、従来、室温検査，高温検査，低温
検査と３系統で行っていた検査を、単一工程として行え
るといった、優れた効果があり、又温度変化を受光素子
の電気特性より測定できること、設定温度点数を容易に
増やせることで、より精度高い温度特性検査ができる。
のスレッシュホールド照度の温度特性の検査において、
電気的な印加により、受光素子自身の発熱による温度上
昇を利用することで、従来、室温検査，高温検査，低温
検査と３系統で行っていた検査を、単一工程として行え
るといった、優れた効果があり、又温度変化を受光素子
の電気特性より測定できること、設定温度点数を容易に
増やせることで、より精度高い温度特性検査ができる。
【図１】本発明の一実施例の温度特性検査装置の機能ブ
ロック図である。
ロック図である。
【図２】スレッシュホールド入力電流の測定回路図であ
る。
る。
【図３】スレッシュホールド照度の温度特性図である。
【図４】従来のスレッシュホールド照度の測定回路図で
ある。
ある。
【図５】従来のスレッシュホールド入力電流の測定回路
図である。
図である。
【図６】ＯＰＩＣ受光素子の相対スレッシュホールド照
度の温度特性図である。
度の温度特性図である。
２１ 第１スレッシュホールド照度測定記憶手段 ２２ 加熱・温度測定手段 ２３ 第２スレッシュホールド照度測定記憶手段 ２４ スレッシュホールド照度温特検査判定手段 １ 受光素子 ２ 発光素子 ３ 定電流電源 ４ 定電圧電源 ５ 電圧計 ６ 加熱用定電圧電源 ７ 定電流電源 ８ 電圧計 ９，１０，１１ リレー １２ 電源端子 １３ 出力端子 １４ グランド端子 １７ フォトダイオード １８ 演算増幅器 １９ 基準電圧発生器 ２０ 電圧比較器
Claims (2)
- 【請求項１】 光検出素子、基準電圧発生器、電圧比較
器を含み、入射光の照度に応じてＨ又はＬレベルの信号
を出力する受光素子のスレッシュホールド照度の温度特
性を検査する、受光素子の温度特性検査装置であって、 上記受光素子に入射する光を出射する発光体への供給電
流、または、該発光体と上記受光素子間距離を順次変化
させることにより、上記受光素子に入射する光の照度を
順次変化させる手段と、 上記受光素子の出力信号レベルを検出する手段と、 上記出力信号レベル変化時点の上記発光体への供給電流
値、または、上記発光体・受光素子間距離により、スレ
ッシュホールド照度を算出する手段と、 該手段により算出されたスレッシュホールド照度が、温
度によって定まる所定の範囲内にあるか否かを判定する
手段とを有するものに於いて、 上記受光素子を加熱用電源に接続することにより、該受
光素子を電気的に加熱する手段と、 上記受光素子の、温度特性が既知である所定の電気量の
測定に基づいて、加熱後の温度を算出する手段とを設け
たことを特徴とする、受光素子の温度特性検査装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の、受光素子の温度特性
検査装置に於いて、上記受光素子の、温度特性が既知で
ある所定の電気量が、上記受光素子の順方向電圧である
ことを特徴とする、受光素子の温度特性検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22410293A JPH0777555A (ja) | 1993-09-09 | 1993-09-09 | 受光素子の温度特性検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22410293A JPH0777555A (ja) | 1993-09-09 | 1993-09-09 | 受光素子の温度特性検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0777555A true JPH0777555A (ja) | 1995-03-20 |
Family
ID=16808578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22410293A Pending JPH0777555A (ja) | 1993-09-09 | 1993-09-09 | 受光素子の温度特性検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0777555A (ja) |
-
1993
- 1993-09-09 JP JP22410293A patent/JPH0777555A/ja active Pending
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