JPH077370A - Multistage connection surface acoustic wave multiple mode filter - Google Patents
Multistage connection surface acoustic wave multiple mode filterInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は多段接続弾性表面波多重
モードフィルタに係わり、とくにその帯域外減衰量の改
善に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multi-stage surface acoustic wave multimode filter, and more particularly to improvement of out-of-band attenuation.
【０００２】[0002]
【従来の技術】弾性表面波フィルタは、圧電基板上に形
成されたインターデジタル電極（以下、ＩＤＴと略称す
る）に電気信号を印加し、これを弾性表面波に変換して
基板上を伝搬させ、受信用ＩＤＴに到達した弾性表面波
を再度電気信号に変換する構成となっている。とくに、
水晶基板上に形成されたＩＤＴの両側に反射器を備えた
弾性表面波多重モードフィルタは、周波数温度特性に優
れ、共振器構造のためエネルギーを内部に閉じ込め、低
損失化を比較的容易に実現できる。2. Description of the Related Art A surface acoustic wave filter applies an electric signal to an interdigital electrode (hereinafter abbreviated as IDT) formed on a piezoelectric substrate, converts it into a surface acoustic wave, and propagates it on the substrate. The surface acoustic wave reaching the receiving IDT is converted into an electric signal again. Especially,
A surface acoustic wave multimode filter with reflectors on both sides of an IDT formed on a quartz substrate has excellent frequency-temperature characteristics, and because of the resonator structure, energy is confined inside and low loss can be realized relatively easily. it can.
【０００３】従来の弾性表面波多重モードフィルタを図
６に示す構成図により説明する。水晶基板１の主面上に
ＩＤＴ４と、その両側に配置した反射器６からなる共振
器２と、同様にＩＤＴ５と、その両側に配置した反射器
７から構成された共振器３とを近接配置させる。さら
に、共振器２および３を共通のアースライン８を介して
接続し多重モードフィルタとする。このとき、共通のア
ースライン８に対して対称な対称モード（ａ）と反対称
な反対称モード（ｂ）とが励振される。この2つの導波
路モードは励振周波数が異なっているため、音響的に結
合させることにより、 2つのモードの励振周波数間を通
過域とするバンドパスフィルタを形成することができ
る。通常、帯域外減衰量を確保するため、多段接続され
る場合が多く、多重モードフィルタＡ、Ｂを接続ライン
９により接続して構成する。ここで、多重モードフィル
タの帯域幅を考えると、 2つのモードの周波数差により
決定され、フィルタの比帯域幅で考えると、ＢＷ／ｆo
＝0.06％（ここで、ｆo は中心周波数、ＢＷは帯域幅を
表す。）が限界である。これ以上のモード間周波数差で
はモードの結合力が弱く、フィルタの通過帯域を形成で
きない。これは共振器の容量比に依存するもので、比帯
域幅0.06％以上を実現するためには共振器の静電容量を
小さくする工夫が必要となる。一つの方法として共振器
の各端子に並列にインダクタンスを接続し、静電容量を
見掛け上、小さくする方法がある。図６の入力端子、出
力端子に１０、１１の並列インダクタンスを接続し、さ
らに段間接続ライン９にもインダクタンス１２を並列接
続した構成とすることにより、通過帯域幅を広げること
ができる。A conventional surface acoustic wave multimode filter will be described with reference to the block diagram shown in FIG. An IDT 4 and a resonator 2 composed of reflectors 6 arranged on both sides thereof, a resonator 3 similarly composed of an IDT 5 and reflectors 7 arranged on both sides thereof are closely arranged on the main surface of a crystal substrate 1. Let Further, the resonators 2 and 3 are connected via a common earth line 8 to form a multimode filter. At this time, a symmetrical mode (a) and an antisymmetric antisymmetric mode (b) are excited with respect to the common earth line 8. Since the two waveguide modes have different excitation frequencies, they can be acoustically coupled to form a bandpass filter having a pass band between the excitation frequencies of the two modes. Usually, in order to secure the out-of-band attenuation, it is often connected in multiple stages, and the multimode filters A and B are connected by the connection line 9. Here, considering the bandwidth of the multimode filter, it is determined by the frequency difference between the two modes, and considering the relative bandwidth of the filter, BW / fo
= 0.06% (where fo is the center frequency and BW is the bandwidth). If the frequency difference between modes is larger than this, the coupling force of the modes is weak and the pass band of the filter cannot be formed. This depends on the capacitance ratio of the resonator, and in order to achieve a bandwidth of 0.06% or more, it is necessary to reduce the capacitance of the resonator. As one method, there is a method in which an inductance is connected in parallel to each terminal of the resonator to apparently reduce the electrostatic capacitance. By connecting the parallel inductances 10 and 11 to the input terminal and the output terminal of FIG. 6 and further connecting the inductance 12 to the inter-stage connection line 9 in parallel, the pass band width can be widened.
【０００４】多重モードフィルタの等価回路は図２のよ
うに表され、対称モードを決めるＬｓ、Ｃｓの共振アー
ムと反対称モードを決めるＬａ、Ｃａの共振アームを変
整器により結合させる。さらにＩＤＴの静電容量Ｃｏが
並列に入る。モード間周波数差が広い場合（比帯域幅0.
06％以上のフィルタ）、入力にＬａ、出力にＬｂ、また
段間部分にＬｃのインダクタンスを並列に挿入して 2つ
のモードを結合させる。The equivalent circuit of the multimode filter is shown in FIG. 2, and the resonance arms of Ls and Cs that determine the symmetric mode and the resonance arms of La and Ca that determine the antisymmetric mode are coupled by a transformer. Further, the electrostatic capacitance Co of the IDT enters in parallel. When the frequency difference between modes is wide (specific bandwidth 0.
Filters of 06% or more), La at the input, Lb at the output, and Lc at the interstage are connected in parallel to couple the two modes.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
多重モードフィルタは以下のような問題がある。1つの
多重モードフィルタは、そのフィルタを形成する第 1の
共振器と、第 2の共振器、それぞれのＩＤＴ間に水晶基
板を介して静電容量が結合する。この静電容量は図２の
等価回路中で表現するとＣm で表される。その結果、段
間部分にインピーダンス調整用Ｌｃのインダクタンスを
並列に挿入すると、段間接続部分にインダクタンスを接
続しない場合の多重モードフィルタの特性に、Ｃm とＬ
cによって生じるＬ−Ｃ並列共振特性がかぶさる形にな
る。このような多段接続弾性表面波多重モードフィルタ
の周波数特性の関係を図３に示す。図３において、特性
曲線(III) は段間接続部分にインダクタンスを接続しな
い場合の多重モードフィルタの特性を示し、特性曲線(I
I)は段間接続部分にＬｃのインダクタンスを並列に挿入
した多重モードフィルタの特性を示す。このようにイン
ダクタンスを挿入することにより、通過帯域幅を広げる
ことができる一方、帯域外減衰量特性が悪くなる。However, the above-mentioned multimode filter has the following problems. In one multimode filter, the capacitance is coupled between the first resonator forming the filter, the second resonator, and each IDT via the crystal substrate. When expressed in the equivalent circuit of FIG. 2, this capacitance is represented by Cm. As a result, when the impedance adjusting impedance Lc inductance is inserted in parallel in the interstage portion, the characteristics of the multimode filter when the inductance is not connected in the interstage connecting portion are Cm and L.
The LC parallel resonance characteristic generated by c is covered. FIG. 3 shows the relationship of the frequency characteristics of such a multi-stage surface acoustic wave multimode filter. In Fig. 3, the characteristic curve (III) shows the characteristic of the multimode filter when the inductance is not connected to the inter-stage connection part, and the characteristic curve (I
I) shows the characteristics of the multimode filter in which the inductance of Lc is inserted in parallel at the connection part between stages. By inserting the inductance in this way, the pass band width can be widened, but the out-of-band attenuation amount characteristics deteriorate.
【０００６】Ｌ−Ｃ並列共振特性に影響するＣm はＩＤ
Ｔ対数に依存しており、ＩＤＴ対数が多くなるとＣm も
大きくなるので、ＩＤＴ対数が多くなるにつれ帯域外レ
ベルも悪くなってくる。図４、図５はＩＤＴ対数を変え
た場合の多重モードフィルタの帯域外減衰量、挿入損失
の変化の様子を実験にて求めた結果である。図４および
図５より、ＩＤＴ対数を減少させると帯域外減衰量は抑
圧されるが、挿入損失は逆に増加する。挿入損失の増加
はＩＤＴ対数を少なくすることにより引き起こされる多
重モードフィルタの高インピーダンス化が一つの要因で
あり、外部回路とのインピーダンス整合がとりにくく、
ミスマッチング量が大きくなるためではないかと考えら
れる。Cm which affects the LC resonance characteristics is ID
Since it depends on the T logarithm and Cm also increases as the IDT logarithm increases, the out-of-band level also deteriorates as the IDT logarithm increases. FIG. 4 and FIG. 5 are the results of experiments that show changes in out-of-band attenuation and insertion loss of the multimode filter when the number of IDT logarithms is changed. 4 and 5, when the IDT logarithm is decreased, the out-of-band attenuation amount is suppressed, but the insertion loss increases conversely. The increase in insertion loss is due in part to the high impedance of the multimode filter caused by reducing the number of IDT pairs, making impedance matching with external circuits difficult.
This is probably because the amount of mismatching becomes large.
【０００７】このように、ＩＤＴ対数を少なくすること
により基板内部に介在するＩＤＴ間の容量結合を小さく
させ、高減衰量化を図ろうとすると、多重モードフィル
タのインピーダンスが高くなり、外部回路との整合が困
難になる。このことは通過域内の挿入損失を増加させる
要因となり、多重モードフィルタの特性上大きな問題と
なる。As described above, when the number of pairs of IDTs is reduced to reduce the capacitive coupling between the IDTs existing inside the substrate to increase the amount of attenuation, the impedance of the multi-mode filter becomes high and matching with an external circuit is made. Becomes difficult. This increases the insertion loss in the passband, which is a serious problem in the characteristics of the multimode filter.
【０００８】本発明はこのような課題に対処するために
なされたもので、ＩＤＴ間の容量結合を小さくして対域
外レベルを高減衰量化するとともに、挿入損失の増加も
極力抑えた多段接続弾性表面波多重モードフィルタを提
供することを目的としている。The present invention has been made in order to solve such a problem, and the capacity coupling between the IDTs is made small to increase the attenuation level outside the band, and the increase in insertion loss is suppressed as much as possible. An object is to provide a surface wave multimode filter.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明の多段接続弾性表
面波多重モードフィルタは、圧電基板と、この圧電基板
上に設けられたＩＤＴと反射器とからなる第 1および第
2の共振器を近接配置させ音響結合させた多重モードフ
ィルタを複数個多段接続し、その多段接続部、入力端子
部および出力端子部にインダクタンスをそれぞれ並列接
続してなる多段接続弾性表面波多重モードフィルタにお
いて、前述の第 1の共振器と第 2の共振器とのＩＤＴが
異なった対数を有することを特徴とする。A multistage connection surface acoustic wave multimode filter of the present invention comprises a piezoelectric substrate, first and second IDTs and a reflector provided on the piezoelectric substrate.
Multi-stage connection surface acoustic wave multi-mode in which multiple resonators are placed in close proximity and acoustically coupled, and multiple multi-mode filters are connected in series, and the multi-stage connection, input terminal, and output terminal are connected in parallel In the filter, the IDTs of the first resonator and the second resonator described above have different logarithms.
【００１０】本発明に係わる多重モードフィルタを構成
する第 1の共振器と第 2の共振器ととのＩＤＴの対数は
異なるが、その組み合わせは種々の組み合わせをするこ
とができる。とくに、入力側の多重モードフィルタにお
いて、入力側である第 1の共振器（第 1のトラック）の
ＩＤＴの対数を、入力側と反対側にある第 2の共振器
（第 2のトラック）のＩＤＴの対数よりも多くすること
が好ましい組み合わせである。また多重モードフィルタ
同士は鏡面対称となるように多段接続することが好まし
い。このような組み合わせ、接続とすることにより挿入
損失をより減らすことができる。なお、多重モードフィ
ルタを構成する反射器の格子状の形は、第1の共振器と
第 2の共振器とにおいて対称であっても非対称であって
もよい。The first resonator and the second resonator constituting the multimode filter according to the present invention have different IDT logarithms, but the combinations can be various combinations. In particular, in the multimode filter on the input side, the logarithm of the IDT of the first resonator (first track) on the input side is compared with the logarithm of the second resonator (second track) on the side opposite to the input side. It is a preferable combination that the number is larger than the logarithm of the IDT. Further, it is preferable that the multimode filters are connected in multiple stages so as to be mirror-symmetric. Insertion loss can be further reduced by such a combination and connection. The lattice-shaped shape of the reflector forming the multimode filter may be symmetric or asymmetric between the first resonator and the second resonator.
【００１１】多重モードフィルタ同士の多段接続は、 2
段のみならず 3段以上の構成とすることもできる。The multistage connection between the multimode filters is 2
It is possible to have not only a tier but also three or more tiers.
【００１２】本発明に使用できる圧電性基板は弾性表面
波を利用できるＳＴカット水晶基板、回転Ｙ板Ｚ伝搬の
水晶のように横波の変位を持つＳＳＢＷ(Surface Skimm
ingBulk Wave)または基板表面に摂動を与えることによ
って生じるＳＴＷ(Surface Transverse Wave) 等を使用
することができる。The piezoelectric substrate that can be used in the present invention is an ST-cut quartz substrate that can utilize surface acoustic waves, and an SSBW (Surface Skimm) that has a transverse wave displacement like a crystal of a rotating Y-plate Z-propagation.
ing Bulk Wave) or STW (Surface Transverse Wave) generated by perturbing the substrate surface can be used.
【００１３】[0013]
【作用】対数の多いＩＤＴを有する共振器におけるＩＤ
Ｔ対数をＮ1 対、対数の少ないＩＤＴを有する共振器に
おけるＩＤＴ対数をＮ2 対とすると、ＩＤＴ間の容量結
合は対数の少ないＮ2 で決定され、帯域外レベルはＮ2
に対応した特性となる。一方インピーダンスはＮ2 同士
の場合よりも小さくなり、挿入損失としてはＮ1のとき
の挿入損失と、Ｎ2 同士の挿入損失のほぼ中間程度に抑
えられる。これにより、インピーダンス不整合等によっ
て招かれる挿入損失の増加を極力抑えつつ帯域外抑圧量
が改善され良好な特性を有する多段接続弾性表面波多重
モードフィルタが得られる。Function: ID in a resonator having an IDT with a large number of logarithms
Assuming that the number of T log pairs is N 1 and the number of IDT pairs in a resonator having an IDT having a small number of log pairs is N 2 pairs, the capacitive coupling between the IDTs is determined by the small number of log pairs N 2 , and the out-of-band level is N 2
The characteristics correspond to. On the other hand, the impedance becomes smaller than that between N 2 and the insertion loss is suppressed to about the middle of the insertion loss at N 1 and the insertion loss at N 2 . As a result, it is possible to obtain a multi-stage surface acoustic wave multimode filter having improved characteristics with improved out-of-band suppression while suppressing increase in insertion loss caused by impedance mismatch or the like as much as possible.
【００１４】[0014]
【実施例】以下、この発明の実施例を図面を参照して説
明する。 実施例１ 実施例１の多段接続弾性表面波多重モードフィルタを図
１に示す。ＳＴカット水晶基板１を用い、中心周波数 f
0 =250MHz 、比帯域幅 0.14%の多段接続弾性表面波多重
モードフィルタを作製する。水晶基板１上に第 1の共振
器２と第 2の共振器３とを近接配置し、多重モードフィ
ルタＡを構成する。ここで第 1の共振器２を構成するＩ
ＤＴ対数を 150対、第 2の共振器３を構成するＩＤＴ対
数を 100対とした。さらに 2段目の多重モードフィルタ
Ｂを多重モードフィルタＡと同一構造で作製し、多重モ
ードフィルタＡと多重モードフィルタＢとが接続部分に
対して鏡面対称となるように相互に接続線９により接続
し多段構成とした。このとき、モード間周波数差が広い
場合を考えているので、入力、出力、段間接続部にイン
ピーダンス調整用インダクタンス１０、１１、１２を並
列接続させ実施例１の多段接続弾性表面波多重モードフ
ィルタを得た。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. Example 1 A multi-stage connection surface acoustic wave multimode filter of Example 1 is shown in FIG. Using the ST cut quartz substrate 1, the center frequency f
A multi-stage surface acoustic wave multimode filter with 0 = 250MHz and a specific bandwidth of 0.14% is fabricated. The first resonator 2 and the second resonator 3 are arranged close to each other on the crystal substrate 1 to form a multimode filter A. Here, I constituting the first resonator 2
The number of DT pairs is 150 and the number of IDTs constituting the second resonator 3 is 100. Further, the second-stage multimode filter B is manufactured with the same structure as the multimode filter A, and the multimode filter A and the multimode filter B are connected to each other by a connecting line 9 so as to be mirror-symmetrical with respect to the connecting portion. It has a multi-stage configuration. At this time, since the case where the frequency difference between modes is wide is considered, the impedance adjusting inductances 10, 11, and 12 are connected in parallel to the input, output, and inter-stage connection portions, and the multi-stage surface acoustic wave multi-mode filter according to the first embodiment. Got
【００１５】得られた多段接続弾性表面波多重モードフ
ィルタの挿入損失と帯域外減衰量を測定した。その結果
を表１に示す。また周波数特性の関係を図３に特性曲線
(I)として示す。The insertion loss and the out-of-band attenuation of the obtained multi-stage surface acoustic wave multimode filter were measured. The results are shown in Table 1. Figure 3 shows the relationship between frequency characteristics.
Shown as (I).
【００１６】比較例１ 第 1の共振器２を構成するＩＤＴ対数を 150対、第 2の
共振器３を構成するＩＤＴ対数を 150対とする以外は実
施例１と同一の材料、構成により多段接続弾性表面波多
重モードフィルタを得た。得られた多段接続弾性表面波
多重モードフィルタの挿入損失と帯域外減衰量を測定し
た。その結果を表１に示す。COMPARATIVE EXAMPLE 1 Multistages made of the same material and structure as in Example 1 except that the number of IDT pairs forming the first resonator 2 is 150 and the number of IDT pairs forming the second resonator 3 is 150. A connected surface acoustic wave multimode filter was obtained. The insertion loss and out-of-band attenuation of the obtained multi-stage surface acoustic wave multimode filter were measured. The results are shown in Table 1.
【００１７】比較例２ 第 1の共振器２を構成するＩＤＴ対数を 100対、第 2の
共振器３を構成するＩＤＴ対数を 100対とする以外は実
施例１と同一の材料、構成により多段接続弾性表面波多
重モードフィルタを得た。得られた多段接続弾性表面波
多重モードフィルタの挿入損失と帯域外減衰量を測定し
た。その結果を表１に示す。COMPARATIVE EXAMPLE 2 Multistages made of the same material and structure as in Example 1 except that the number of IDT pairs forming the first resonator 2 is 100 and the number of IDT pairs forming the second resonator 3 is 100. A connected surface acoustic wave multimode filter was obtained. The insertion loss and out-of-band attenuation of the obtained multi-stage surface acoustic wave multimode filter were measured. The results are shown in Table 1.
【００１８】[0018]
【表１】 表１および図３の結果によると、実施例１のフィルタ構
成では、挿入損失は比較例１および比較例２のほぼ中間
の挿入損失を示すが、帯域外減衰量は比較例２と同一で
あり、通過域内挿入損失が増えることを抑えつつ帯域外
減衰量を大きくすることができ、良好な周波数特性を有
する多段接続弾性表面波多重モードフィルタが得られ
た。[Table 1] According to the results of Table 1 and FIG. 3, in the filter configuration of Example 1, the insertion loss shows an insertion loss almost in the middle of those of Comparative Example 1 and Comparative Example 2, but the out-of-band attenuation is the same as that of Comparative Example 2. A multi-stage connection surface acoustic wave multimode filter having good frequency characteristics, which can increase the out-of-band attenuation while suppressing the increase of insertion loss in the passband, was obtained.
【００１９】また、表１の結果は、第 1の共振器のＩＤ
Ｔと第 2の共振器のＩＤＴとの間で生じる水晶板を介し
ての容量結合が、ＩＤＴ対数の少ない方によって支配さ
れていることを示している。The results in Table 1 show that the ID of the first resonator is
It is shown that the capacitive coupling through the crystal plate that occurs between T and the IDT of the second resonator is dominated by the one with the smaller number of IDT pairs.
【００２０】[0020]
【発明の効果】本発明によれば、インダクタンスにより
各端子をインピーダンス調整した帯域幅の広い多段接続
弾性表面波多重モードフィルタにおいて、圧電基板上に
設けられたＩＤＴと反射器とからなる第 1および第 2の
共振器が異なった対数のＩＤＴを有するので、 2つのＩ
ＤＴ間で生じる圧電基板を介する容量性結合を対数の少
ないＩＤＴに依存させることができる。その結果、通過
域内挿入損失の増加を微量に抑えつつ帯域外減衰量を大
きく改善する多段接続弾性表面波多重モードフィルタが
得られる。According to the present invention, in a multistage connection surface acoustic wave multimode filter having a wide bandwidth in which each terminal is impedance-adjusted by an inductance, the first and the IDTs and the reflector provided on the piezoelectric substrate are provided. Since the second resonator has a different logarithm of IDT, two I
The capacitive coupling between the DTs through the piezoelectric substrate can depend on the IDT having a small logarithm. As a result, it is possible to obtain a multi-stage surface acoustic wave multimode filter in which the increase in the insertion loss in the pass band is suppressed to a small amount and the out-of-band attenuation is greatly improved.
【図１】実施例１の多段接続弾性表面波多重モードフィ
ルタを示す図である。FIG. 1 is a diagram illustrating a multi-stage surface acoustic wave multimode filter according to a first embodiment.
【図２】多段接続弾性表面波多重モードフィルタの等価
回路を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing an equivalent circuit of a multi-stage surface acoustic wave multimode filter.
【図３】多段接続弾性表面波多重モードフィルタの周波
数特性を説明する図である。FIG. 3 is a diagram illustrating frequency characteristics of a multi-stage surface acoustic wave multimode filter.
【図４】ＩＤＴ対数を変えた場合の多重モードフィルタ
の帯域外減衰量に関する実験結果を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing experimental results regarding out-of-band attenuation of a multimode filter when the IDT logarithm is changed.
【図５】ＩＤＴ対数を変えた場合の多重モードフィルタ
の挿入損失に関する実験結果を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing an experimental result regarding insertion loss of a multimode filter when the number of IDT logarithms is changed.
【図６】従来の多段接続弾性表面波多重モードフィルタ
を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a conventional multistage connection surface acoustic wave multimode filter.
１………水晶基板、２、３………共振器、４、５………
ＩＤＴ、６、７………反射器、８………アースライン、
９………接続ライン、１０………入力端子の並列インダ
クタンス、１１………出力端子の並列インダクタンス、
１２………段間接続ラインの並列インダクタンス。1 ......... Crystal substrate, 2, 3 ......... Resonator, 4, 5 ...
IDT, 6, 7 ......... Reflector, 8 ......... Ground line,
9 ... Connection line, 10 ... Input terminal parallel inductance, 11 ... Output terminal parallel inductance,
12 ... Parallel inductance of inter-stage connection line.
Claims (1)
たインターデジタル電極と反射器とからなる第 1および
第 2の共振器を近接配置させ音響結合させた多重モード
フィルタを複数個多段接続し、前記多段接続部、入力端
子部および出力端子部にインダクタンスをそれぞれ並列
接続してなる多段接続弾性表面波多重モードフィルタに
おいて、 前記第 1の共振器と第 2の共振器とのインターデジタル
電極が異なった対数を有することを特徴とする多段接続
弾性表面波多重モードフィルタ。1. A multi-stage filter comprising a piezoelectric substrate, and a plurality of multi-mode filters in which first and second resonators each having an interdigital electrode and a reflector provided on the piezoelectric substrate are closely arranged and acoustically coupled to each other. In the multistage connection surface acoustic wave multimode filter in which inductances are respectively connected in parallel to the multistage connection part, the input terminal part and the output terminal part, the interdigital electrodes of the first resonator and the second resonator are provided. A multi-stage surface acoustic wave multimode filter characterized by having different logarithms.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14738493A JP3654920B2 (en) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | Multi-stage surface acoustic wave multimode filter |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH077370A true JPH077370A (en) | 1995-01-10 |
| JP3654920B2 JP3654920B2 (en) | 2005-06-02 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14738493A Expired - Fee Related JP3654920B2 (en) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | Multi-stage surface acoustic wave multimode filter |
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|---|---|
| JP (1) | JP3654920B2 (en) |
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- 1993-06-18 JP JP14738493A patent/JP3654920B2/en not_active Expired - Fee Related
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