JPH076320A - Magnetic head - Google Patents
Magnetic headInfo
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- JPH076320A JPH076320A JP14764393A JP14764393A JPH076320A JP H076320 A JPH076320 A JP H076320A JP 14764393 A JP14764393 A JP 14764393A JP 14764393 A JP14764393 A JP 14764393A JP H076320 A JPH076320 A JP H076320A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、例えばビデオテープレ
コーダ（ＶＴＲ）等に搭載して有用な磁気ヘッドに関
し、特にギャップ部に金属磁性膜が配された，いわゆる
メタルイン・ギャップ型の磁気ヘッド（ＭＩＧヘッド）
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head which is useful when mounted on, for example, a video tape recorder (VTR), and more particularly, a so-called metal-in-gap type magnetic head in which a metal magnetic film is arranged in a gap portion. (MIG head)
Regarding
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、磁気記録の分野においては、信号
記録の高密度化が進行し、高い坑磁力と高い残留磁束密
度を有する磁気記録媒体が使用されるようになっいる。
これに伴い、磁気ヘッドのコア材料にも高い飽和磁束密
度と高い透磁率を有することが要求されてきている。2. Description of the Related Art In recent years, in the field of magnetic recording, the densification of signal recording has progressed, and magnetic recording media having high coercive force and high residual magnetic flux density have been used.
Along with this, core materials of magnetic heads are also required to have high saturation magnetic flux density and high magnetic permeability.
【０００３】その一例として、従来から磁気ヘッドのコ
ア材料として多用されているフェライトの表面に、該フ
ェライトよりも高い飽和磁束密度を有する軟磁性合金よ
りなる金属磁性膜を成膜した複合型のコア材料が提案さ
れている。As an example thereof, a composite type core in which a metal magnetic film made of a soft magnetic alloy having a saturation magnetic flux density higher than that of ferrite is formed on the surface of ferrite which has been frequently used as a core material of a magnetic head. Materials have been proposed.
【０００４】例えば、かかる複合型のコア材料を用いた
メタルイン・ギャップ型の磁気ヘッドにおいては、優れ
た信頼性を得るために、その製造行程において５６０℃
程度の高温でコア材を融着するガラスボンディング工程
を行う必要がある。また、上記軟磁性膜としては、５６
０℃というような高温融着を行うことから、熱処理後に
も優れた軟磁気特性を示す，例えばＦｅ−Ｇａ−Ｓｉ−
Ｒｕ系合金やＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金等が使用される。
さらに、これら合金に酸素を添加すると、結晶が微細化
しマクロな結晶磁気異方性が減少するため、優れた軟磁
気特性を示すことが判明している。したがって、これら
合金に酸素を添加したものが使用されつつある。For example, in a metal-in-gap type magnetic head using such a composite type core material, in order to obtain excellent reliability, its manufacturing process is performed at 560 ° C.
It is necessary to perform a glass bonding process in which the core material is fused at a high temperature of a certain degree. Further, as the soft magnetic film, 56
Since high-temperature fusion such as 0 ° C. is performed, excellent soft magnetic characteristics are exhibited even after heat treatment, such as Fe-Ga-Si-
Ru-based alloys and Fe-Al-Si-based alloys are used.
Furthermore, it has been found that when oxygen is added to these alloys, the crystals become finer and the macrocrystalline magnetic anisotropy decreases, so that excellent soft magnetic characteristics are exhibited. Therefore, those alloys to which oxygen is added are being used.
【０００５】特に、上記構成の磁気ヘッドにおいては、
金属磁性膜とフェライトとの界面が磁気ギャップと平行
である場合には、ガラスボンディング等の熱処理により
上記界面で、熱的に不安定なフェライトの酸素が移動す
ることにより、著しく透磁率の劣化した反応層が発生す
る。このため、上記金属磁性膜とフェライトとの界面
に、上記反応を抑制させる目的でＳｉＯ2 等よりなる反
応防止膜を介在させるような工夫がなされている。Particularly, in the magnetic head having the above structure,
When the interface between the metallic magnetic film and the ferrite is parallel to the magnetic gap, heat treatment such as glass bonding causes the oxygen of the thermally unstable ferrite to move at the interface, which significantly deteriorates the magnetic permeability. A reaction layer is generated. For this reason, an attempt has been made to interpose a reaction preventive film made of SiO 2 or the like at the interface between the metal magnetic film and ferrite for the purpose of suppressing the above reaction.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記ＳｉＯ
2 膜と、Ｆｅ−Ｇａ−Ｓｉ−Ｒｕ−Ｏ系合金又はＦｅ−
Ａｌ−Ｓｉ−Ｏ系合金等よりなる酸素添加微細金属磁性
膜との密着性が悪いために、両者間で剥離が発生すると
いうような不都合がある。かかる剥離は、磁気ギャップ
と略平行に発生するため、疑似ギャップとして作用し、
本来のギャップにおける磁束と干渉を起こして疑似信号
を生成し、再生信号の品質を低下させる原因となる。However, the above-mentioned SiO
2 film and Fe-Ga-Si-Ru-O based alloy or Fe-
Since the adhesiveness to the oxygen-added fine metal magnetic film made of an Al-Si-O-based alloy or the like is poor, there is a disadvantage that peeling occurs between the two. Since such peeling occurs substantially parallel to the magnetic gap, it acts as a pseudo gap,
This causes interference with the magnetic flux in the original gap to generate a pseudo signal, which causes the quality of the reproduced signal to deteriorate.
【０００７】そこで本発明は、かかる従来の技術的な課
題に鑑みて提案されたものであって、金属磁性膜と反応
防止膜との密着力を確保すると共に、記録及び再生特性
の高い高密度磁気記録に適した磁気ヘッドを提供するこ
とを目的とする。Therefore, the present invention has been proposed in view of the above-mentioned conventional technical problems, and ensures the adhesion between the metal magnetic film and the reaction preventive film and has high recording and reproducing characteristics and high density. An object is to provide a magnetic head suitable for magnetic recording.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明は、酸化物磁性材料よりなる磁気コア基板
の突合わせ面に反応防止膜を介して金属磁性膜が形成さ
れてなる一対の磁気コア半体が、互いの金属磁性膜を突
合わせその突合わせ面間に磁気ギャップを形成してなる
磁気ヘッドにおいて、上記金属磁性膜は、磁気ギャップ
近傍部分が酸素を含有した軟磁性合金からなり、且つ、
反応防止膜近傍部分が前記軟磁性合金と同一材料であっ
て酸素を含有しないことを特徴とする。In order to achieve the above-mentioned object, the present invention comprises a metal magnetic film formed on an abutting surface of a magnetic core substrate made of an oxide magnetic material with a reaction preventing film interposed therebetween. In a magnetic head in which a pair of magnetic core halves abut against each other a magnetic metal film to form a magnetic gap between the abutting faces, the metallic magnetic film is a soft magnetic material containing oxygen in the vicinity of the magnetic gap. Made of alloy, and
The portion near the reaction preventive film is made of the same material as the soft magnetic alloy and does not contain oxygen.
【０００９】請求項１記載の磁気ヘッドにおいて、軟磁
性合金がＦｅ−Ｇａ−Ｓｉ−Ｒｕ系合金又はＦｅ−Ａｌ
−Ｓｉ系合金であることを特徴とする。In the magnetic head according to claim 1, the soft magnetic alloy is a Fe-Ga-Si-Ru alloy or Fe-Al.
-Si alloy.
【００１０】[0010]
【作用】本発明の磁気ヘッドにおいては、金属磁性膜の
うち、反応防止膜と接する近傍部分が酸素を含有しない
軟磁性合金とされるため、該反応防止膜と金属磁性膜と
の密着力が高まり、これら界面での剥離が抑制される。
一方、磁気ギャップ近傍部分の金属磁性膜は、酸素を含
有する軟磁性合金からなるので、酸素を含有することに
よる優れた軟磁気特性により電磁変換特性が向上する。In the magnetic head of the present invention, the portion of the metal magnetic film in contact with the reaction preventive film is made of a soft magnetic alloy containing no oxygen, so that the adhesive force between the reaction preventive film and the metal magnetic film is reduced. And the peeling at these interfaces is suppressed.
On the other hand, since the metal magnetic film near the magnetic gap is made of a soft magnetic alloy containing oxygen, the electromagnetic conversion characteristics are improved due to the excellent soft magnetic characteristics by containing oxygen.
【００１１】[0011]
【実施例】以下、本発明を適用した具体的な実施例につ
いて図面を参照しながら詳細に説明する。本実施例の磁
気ヘッドは、図１に示すように、主として磁性フェライ
トよりなる磁気コア基板１，２と、この磁気コア基板
１，２の突合わせ面にそれぞれ被着形成される金属磁性
膜３，４とからなる一対の磁気コア半体５，６とによっ
て閉磁路が構成され、その金属磁性膜３，４の突合わせ
面間に記録再生ギャップとして動作するアジマスを有し
た磁気ギャップｇが形成されてなっている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Specific embodiments to which the present invention is applied will be described in detail below with reference to the drawings. As shown in FIG. 1, the magnetic head of this embodiment has magnetic core substrates 1 and 2 composed mainly of magnetic ferrite, and a metal magnetic film 3 formed on the abutting surfaces of the magnetic core substrates 1 and 2, respectively. , 4 form a closed magnetic path, and a magnetic gap g having azimuth acting as a recording / reproducing gap is formed between the abutting surfaces of the metal magnetic films 3, 4 thereof. It has been done.
【００１２】上記磁気コア基板１，２は、例えばＭｎ−
ＺｎフェライトやＮｉ−Ｚｎフェライト等の酸化物磁性
材料からなり、主コアとして機能するコア断面積の少な
い金属磁性膜３，４をバックアップする補助コアとして
機能するようになっている。つまり、金属磁性膜３，４
のコア断面積が少ない分、この磁気コア基板１，２のコ
アボリュームによって再生出力の劣化を防止するように
なっている。The magnetic core substrates 1 and 2 are, for example, Mn-
It is made of an oxide magnetic material such as Zn ferrite or Ni-Zn ferrite, and functions as an auxiliary core that backs up the metal magnetic films 3 and 4 having a small core cross-sectional area that functions as the main core. That is, the metal magnetic films 3, 4
The core volume of the magnetic core substrates 1 and 2 prevents the reproduction output from deteriorating due to the small core cross-sectional area.
【００１３】また、この磁気コア基板１，２において
は、その突合わせ面側の形状が平面略台形状として形成
されている。すなわち、この磁気コア基板１，２の突合
わせ面側は、上記磁気ギャップｇと平行なギャップ形成
面７，８と、このギャップ形成面７，８の両端部に上記
磁気ギャップｇと非平行な第１の傾斜面９，１０と第２
の傾斜面１１，１２とによって平面略台形状となされて
いる。Further, in the magnetic core substrates 1 and 2, the shape of the abutting surface side is formed as a substantially trapezoidal plane. That is, the abutting surface sides of the magnetic core substrates 1 and 2 are gap forming surfaces 7 and 8 parallel to the magnetic gap g, and both ends of the gap forming surfaces 7 and 8 are non-parallel to the magnetic gap g. First inclined surfaces 9, 10 and second
The inclined surfaces 11 and 12 form a substantially trapezoidal plane.
【００１４】さらに、これら磁気コア基板１，２の突合
わせ面には、コイルを巻装させるための巻線溝１３，１
４が断面略コ字状をなす溝として、相対向する位置にコ
ア厚方向に貫通して設けられている。Furthermore, winding grooves 13, 1 for winding a coil are formed on the abutting surfaces of the magnetic core substrates 1, 2.
Reference numeral 4 denotes a groove having a substantially U-shaped cross section, which is provided so as to penetrate in the core thickness direction at positions facing each other.
【００１５】一方、金属磁性膜３，４は、巻線溝１３，
１４部分を除いて上記磁気コア基板１，２の突合わせ面
に、磁気ギャップｇが呈するフロント側よりバック側に
亘って連続した膜として被着形成されている。すなわ
ち、上記金属磁性膜３，４は、上記磁気コア基板１，２
のギャップ形成面７，８上及びこの両端縁側に設けられ
る第１の傾斜面９，１０と第２の傾斜面１１，１２上に
そのフロント側よりバック側に亘って連続した膜（但
し、巻線溝１３，１４部分は除く。）として形成されて
いる。On the other hand, the metal magnetic films 3 and 4 are formed in the winding groove 13,
Except for the 14th part, the magnetic core substrates 1 and 2 are formed on the abutting surfaces as a continuous film from the front side to the back side where the magnetic gap g is present. That is, the metal magnetic films 3 and 4 correspond to the magnetic core substrates 1 and 2.
A continuous film from the front side to the back side on the first sloped surfaces 9 and 10 and the second sloped surfaces 11 and 12 provided on the gap forming surfaces 7 and 8 and on both end edges thereof (however, The line grooves 13 and 14 are excluded).
【００１６】そして、この実施例では、上記金属磁性膜
３，４とフェライト間における酸素の移動を防止して著
しく透磁率の低下した反応層の発生を防止するために、
上記磁気コア基板１，２の突合わせ面と金属磁性膜３，
４との間に反応防止膜１５，１６が設けられている。か
かる反応防止膜１５，１６としては、例えばＳｉＯ2よ
りなる膜が好適である。Further, in this embodiment, in order to prevent the movement of oxygen between the metal magnetic films 3 and 4 and the ferrite and to prevent the formation of the reaction layer whose permeability is remarkably lowered,
The abutting surfaces of the magnetic core substrates 1 and 2 and the metal magnetic film 3,
Reaction prevention films 15 and 16 are provided between the reaction films 4 and 4. As the reaction preventing films 15 and 16, for example, films made of SiO 2 are suitable.
【００１７】そして特に本実施例では、上記金属磁性膜
３，４のうち、磁気ギャップ近傍部分３ａ，４ａを酸素
を含有した軟磁性合金で構成し、且つ反応防止膜１５，
１６と接する近傍部分３ｂ，４ｂを酸素を含有しない軟
磁性合金で構成している。In particular, in this embodiment, of the metal magnetic films 3 and 4, the magnetic gap vicinity portions 3a and 4a are made of a soft magnetic alloy containing oxygen, and the reaction prevention film 15 and
The neighboring portions 3b and 4b in contact with 16 are made of a soft magnetic alloy containing no oxygen.
【００１８】金属磁性膜３，４の磁気ギャップ近傍部分
３ａ，４ａを酸素を含有した軟磁性合金で構成すると、
結晶が微細化し、マクロな結晶磁気異方性の減少によっ
て優れた軟磁気特性が得られる。したがって、高坑磁力
を有する磁気記録媒体に対しても高密度に情報信号の書
き込み・読み出しができる。When the magnetic gap vicinity portions 3a and 4a of the metal magnetic films 3 and 4 are made of a soft magnetic alloy containing oxygen,
Crystals are made finer, and excellent soft magnetic characteristics are obtained due to the reduction of macroscopic magnetocrystalline anisotropy. Therefore, information signals can be written and read with high density even on a magnetic recording medium having a high magnetic force.
【００１９】一方、金属磁性膜３，４の反応防止膜１
５，１６と接する近傍部分３ｂ，４ｂを酸素を含有しな
い軟磁性合金とすると、ＳｉＯ2 膜と金属磁性膜３，４
との密着性が高まり、これら界面での機械的強度が高く
なる。したがって、これら反応防止膜１５，１６と金属
磁性膜３，４間の剥離を防止することができ、疑似ギャ
ップの発生を有効に防止することができる。特に、この
実施例のように、上記反応防止膜１５，１６と金属磁性
膜３，４の界面が磁気ギャップｇと平行である場合、上
記疑似ギャップの発生防止は再生出力特性に非常に有利
である。On the other hand, the reaction prevention film 1 of the metal magnetic films 3 and 4
If the soft magnetic alloys containing no oxygen are used for the neighboring portions 3b and 4b which are in contact with the metal layers 5 and 16, the SiO 2 film and the metal magnetic films 3, 4
The adhesiveness with and the mechanical strength at these interfaces increases. Therefore, peeling between the reaction preventing films 15 and 16 and the metal magnetic films 3 and 4 can be prevented, and the generation of the pseudo gap can be effectively prevented. In particular, when the interface between the reaction preventing films 15 and 16 and the metal magnetic films 3 and 4 is parallel to the magnetic gap g as in this embodiment, the prevention of the pseudo gap is very advantageous in reproducing output characteristics. is there.
【００２０】ところで、上記金属磁性膜３，４には、高
飽和磁束密度を有し、しかも５６０℃程度の高温による
ガラス融着後でも優れた軟磁気特性を示す，Ｆｅ−Ｇａ
−Ｓｉ−Ｒｕ系合金、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金等が好適
である。なお、磁気ギャップ近傍部分３ａ，４ａと反応
防止膜１５，１６と接する近傍部分３ｂ，４ｂの軟磁性
合金は、いずれも酸素が添加されるか否かを除いては同
一の合金材料とされている。By the way, the metallic magnetic films 3 and 4 have a high saturation magnetic flux density, and yet exhibit excellent soft magnetic characteristics even after glass fusion at a high temperature of about 560 ° C., Fe-Ga.
-Si-Ru-based alloys, Fe-Al-Si-based alloys and the like are preferable. The soft magnetic alloys of the magnetic gap neighboring portions 3a and 4a and the neighboring portions 3b and 4b in contact with the reaction preventing films 15 and 16 are made of the same alloy material except that oxygen is added. There is.
【００２１】上記Ｆｅ−Ｇａ−Ｓｉ−Ｒｕ系合金の一例
として、例えば次のような組成からなるものが挙げられ
る。（Ｆｅa Ｒｕb Ｇａc Ｓｉd ）x Ｎy Ｏz Ｃw ［但
し、ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｘ，ｙ，ｚ，ｗは各元素の割合
（原子％）を表す。］なる組成式で表され、その組成範
囲が ６８≦ａ≦９０ ０．１≦ｂ≦１０ ０．１≦ｃ≦１５ １０≦ｄ≦２５ ８０≦ｘ≦１００ ０≦ｙ≦２０ ０≦ｚ≦２０ ０≦ｗ≦２０ ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１００ ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００ であると共に、平均結晶粒径が６００Å以下である。As an example of the Fe-Ga-Si-Ru type alloy, there is an alloy having the following composition. (Fe a Ru b Ga c Si d) x N y O z C w [ where, a, b, c, d , x, y, z, w represents the proportion (atomic%) of each element. ] The composition range is 68 ≦ a ≦ 90 0.1 ≦ b ≦ 10 0.1 ≦ c ≦ 15 10 ≦ d ≦ 25 80 ≦ x ≦ 100 0 ≦ y ≦ 20 0 ≦ z ≦ 200 ≦ w ≦ 20 a + b + c + d = 100 x + y + z = 100, and the average crystal grain size is 600 Å or less.
【００２２】ここで、Ｆｅ、Ｒｕ、Ｇａ、Ｓｉの組成
（ａ，ｂ，ｃ，ｄ）の範囲は、磁気特性の観点から設定
されたものであり、この範囲を外れると飽和磁束密度や
透磁率を高い値とすることが難しい。なお、前記組成の
うち、Ｆｅの１５原子％までをＣｏ或いはＮｉで置換し
てもよく、さらにはＧａ及びＳｉの合計量の６原子％ま
でをＴｉ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｒ
ａ、Ｗ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｒｅ、Ｎｉ、Ｐｂ、Ｐｔ、Ｈｆ、
Ｙ、Ｂ、Ｉｎの１種以上で置換してもよい。The range of the composition (a, b, c, d) of Fe, Ru, Ga and Si is set from the viewpoint of magnetic characteristics. It is difficult to increase the magnetic susceptibility. In the above composition, up to 15 atomic% of Fe may be replaced with Co or Ni, and up to 6 atomic% of the total amount of Ga and Si may be replaced with Ti, Cr, Mn, Zr, Nb, Mo, Ta, R
a, W, Os, Ir, Re, Ni, Pb, Pt, Hf,
You may substitute by 1 or more types of Y, B, and In.
【００２３】一方、窒素や酸素、炭素の割合（ｙ，ｚ，
ｗ）は、軟磁気特性の観点から決められたもので、これ
らの割合が余り多くなり過ぎると（２０原子％を越える
と）、低保磁力、高透磁率を維持することが難しくな
る。On the other hand, the proportions of nitrogen, oxygen and carbon (y, z,
w) is determined from the viewpoint of soft magnetic properties, and if the ratio of these is too large (more than 20 atomic%), it becomes difficult to maintain low coercive force and high magnetic permeability.
【００２４】また、平均結晶粒径は、得られる軟磁性薄
膜の軟磁気特性に大きく影響し、平均結晶粒径が６００
Åを越えると、低保磁力化を図ることが難しくなる。The average crystal grain size has a great influence on the soft magnetic properties of the obtained soft magnetic thin film, and the average crystal grain size is 600.
Above Å, it becomes difficult to achieve low coercive force.
【００２５】そして、上記のように構成された一対の磁
気コア半体５，６は、ギャップ形成面７，８上に成膜さ
れた金属磁性膜３，４同士をトラック位置合わせしなが
ら突合わせ、該磁気ギャップｇの両端縁に形成される第
１の傾斜面９，１０と第２の傾斜面１１，１２の対向部
分に融着ガラス１７を充填させることによって接合一体
化され、その金属磁性膜３，４間に記録再生ギャップと
して機能する磁気ギャップｇを形成するようになってい
る。また、この磁気ヘッドでは、媒体に対する当たりを
確保するために、磁気ギャップｇが呈する磁気記録媒体
摺動面が所定の幅となるように、トラック幅方向と直交
する方向に段差１８，１９が設けられている。The pair of magnetic core halves 5 and 6 constructed as described above are abutted while the metal magnetic films 3 and 4 formed on the gap forming surfaces 7 and 8 are track-aligned. , The opposing portions of the first inclined surfaces 9 and 10 and the second inclined surfaces 11 and 12 formed at both edges of the magnetic gap g are filled with the fused glass 17 so as to be joined and integrated, and the metal magnetism A magnetic gap g functioning as a recording / reproducing gap is formed between the films 3 and 4. Further, in this magnetic head, in order to ensure contact with the medium, steps 18, 19 are provided in a direction orthogonal to the track width direction so that the sliding surface of the magnetic recording medium exhibited by the magnetic gap g has a predetermined width. Has been.
【００２６】ところで、上記磁気ギャップ近傍部分にの
み酸素を含有する金属磁性膜３，４を形成するには、以
下のようにして行う。先ず、ＳｉＯ2 よりなる反応防止
膜１５，１６をスパッタリング法等で成膜した後、ガス
の導入系が２系統ありそれぞれを流量制御できるスパッ
タ装置により、軟磁性合金のターゲットを用いて、初期
の５０〜３００ｎｍ程度は、Ａｒガス中でスパッタを行
い、残りの厚み分をＡｒとＯ2 ガスの混合雰囲気中でス
パッタを行う。なお、成膜方式は、マグネトロン（Ｒ
Ｆ，ＤＣ）スパッタ，蒸着等の方式が使用される。By the way, the formation of the metal magnetic films 3 and 4 containing oxygen only in the vicinity of the magnetic gap is performed as follows. First, after forming the reaction preventive films 15 and 16 made of SiO 2 by a sputtering method or the like, using a sputtering apparatus having two gas introduction systems and capable of controlling the flow rate of each of them, using a target of a soft magnetic alloy, About 50 to 300 nm is sputtered in Ar gas, and the remaining thickness is sputtered in a mixed atmosphere of Ar and O 2 gas. In addition, the film formation method is a magnetron (R
F, DC) sputtering, vapor deposition, etc. are used.
【００２７】このような磁気ヘッドにあっては、フェラ
イトと軟磁性合金間で熱処理により酸素が移動して発生
する磁気的劣化層の発生を防止する目的で反応防止膜１
５，１６を配することは必須であるが、この反応防止膜
１５，１６を含む軟磁性合金の密着性が悪いため、膜の
剥離が発生する。そのため、反応防止膜１５，１６と接
する部分に酸化物を含まない軟磁性合金膜を成膜して、
次に酸素を含有しない軟磁性合金膜を成膜することで剥
離を回避することができる。これにより、剥離面が疑似
ギャップとして作用することによる疑似信号の発生を低
減し、再生信号に現れるうねりを抑制できる。In such a magnetic head, the reaction-preventing film 1 is used for the purpose of preventing the generation of a magnetically deteriorated layer caused by the movement of oxygen between the ferrite and the soft magnetic alloy by heat treatment.
It is essential to dispose 5, 16 but peeling of the film occurs because the soft magnetic alloy containing the reaction preventing films 15, 16 has poor adhesion. Therefore, a soft magnetic alloy film containing no oxide is formed on the portions in contact with the reaction preventing films 15 and 16.
Next, peeling can be avoided by forming a soft magnetic alloy film containing no oxygen. As a result, it is possible to reduce the generation of a pseudo signal due to the peeling surface acting as a pseudo gap, and suppress the waviness appearing in the reproduced signal.
【００２８】また、酸素を含有しない軟磁性合金の酸素
を含有する軟磁性合金に対する構成比を、上記のように
小さくすることで、当該酸素を含有する軟磁性合金の金
属磁性膜３，４中に占める割合が大きくなり、マクロに
見た飽和磁束密度や透磁率等の軟磁気特性は酸素を含有
した軟磁性合金単体で形成されたものと略同じになる。
その結果、酸素を含有した軟磁性合金単体で形成された
磁気ヘッドと同様、優れた記録再生特性を得ることがで
きる。また、メタルイン・ギャップ型の磁気ヘッドへの
応用できる強磁性体合金の幅が広がる。By reducing the composition ratio of the soft magnetic alloy containing no oxygen to the soft magnetic alloy containing oxygen as described above, the metal magnetic films 3 and 4 of the soft magnetic alloy containing oxygen are reduced. , The soft magnetic characteristics such as saturation magnetic flux density and magnetic permeability seen in the macro become substantially the same as those formed by a single soft magnetic alloy containing oxygen.
As a result, excellent recording / reproducing characteristics can be obtained as in the magnetic head formed of a single soft magnetic alloy containing oxygen. Further, the width of the ferromagnetic alloy applicable to the metal-in-gap type magnetic head is widened.
【００２９】ここで実際に、以下に示す条件の下に磁気
ヘッドを作成し、そのヘッドの再生出力の周波数特性を
調べてみた。先ず、マグネトロン（ＲＦ）スパッタによ
り、Ｍｎ−Ｚｎフェライトからなる磁気コア基板の突合
わせ面に、ＳｉＯ2 膜をその膜厚が５ｎｍとなるように
成膜する。Here, actually, a magnetic head was prepared under the following conditions, and the frequency characteristics of the reproduction output of the head were examined. First, by magnetron (RF) sputtering, a SiO 2 film is formed to a thickness of 5 nm on the abutting surface of a magnetic core substrate made of Mn—Zn ferrite.
【００３０】次いで、Ｆｅ−Ｇａ−Ｓｉ−Ｒｕ系合金を
Ａｒ雰囲気中で３００ｎｍ形成する。Then, a Fe-Ga-Si-Ru alloy is formed to a thickness of 300 nm in an Ar atmosphere.
【００３１】次に、ＡｒとＯ2 を含む混合ガス雰囲気中
でＦｅ−Ｇａ−Ｓｉ−Ｒｕ−Ｏ系合金を５．７μｍ形成
した。次いで、得られた１対の磁気コア半体を突合わ
せ、これを５６０℃でガラスボンディングすると共に、
ギャップ部を形成して磁気ヘッドを製造した。Then, a Fe-Ga-Si-Ru-O alloy of 5.7 μm was formed in a mixed gas atmosphere containing Ar and O 2 . Next, the obtained pair of magnetic core halves were butted, and this was glass-bonded at 560 ° C.
A magnetic head was manufactured by forming a gap.
【００３２】なお、比較例としてＦｅ−Ｇａ−Ｓｉ−Ｒ
ｕ−Ｏ系合金よりなる単体膜を金属磁性膜とした磁気ヘ
ッドも製造した。As a comparative example, Fe-Ga-Si-R
A magnetic head having a metal magnetic film as a simple substance film made of a u-O alloy was also manufactured.
【００３３】そして、これら磁気ヘッドの再生出力の周
波数特性を調べた。図３にはＦｅ−Ｇａ−Ｓｉ−Ｒｕと
Ｆｅ−Ｇａ−Ｓｉ−Ｒｕ−Ｏからなる金属磁性膜を有し
た磁気ヘッドを、図４にはＦｅ−Ｇａ−Ｓｉ−Ｒｕ−Ｏ
のみからなる金属磁性膜を有した磁気ヘッドの再生出力
の周波数特性を示す。Then, the frequency characteristics of the reproduction output of these magnetic heads were examined. FIG. 3 shows a magnetic head having a metal magnetic film made of Fe-Ga-Si-Ru and Fe-Ga-Si-Ru-O, and FIG. 4 shows Fe-Ga-Si-Ru-O.
4 shows frequency characteristics of reproduction output of a magnetic head having a metal magnetic film made of only.
【００３４】この結果からわかるように、Ｆｅ−Ｇａ−
Ｓｉ−Ｒｕ−Ｏよりなる単層膜で作成した磁気ヘッドに
おいては、一定の周波数毎に出力の低下がみられる。こ
れは、記録再生を行う主ギャップと疑似ギャップとの干
渉による出力損失であるためと考えられる。その疑似ギ
ャップノイズは２ｄＢ前後であった。一方、Ｆｅ−Ｇａ
−Ｓｉ−ＲｕとＦｅ−Ｇａ−Ｓｉ−Ｒｕ−Ｏからなる金
属磁性膜を有した磁気ヘッドにおいては、全周波数域に
おいて滑らかな出力が得られ、その疑似ギャップノイズ
は０．４ｄＢ以下であり、大幅に改善されていることが
わかる。As can be seen from these results, Fe-Ga-
In the magnetic head made of the single-layer film made of Si-Ru-O, the output decreases at every constant frequency. This is considered to be due to the output loss due to the interference between the main gap for recording and reproduction and the pseudo gap. The pseudo gap noise was around 2 dB. On the other hand, Fe-Ga
In a magnetic head having a metal magnetic film made of -Si-Ru and Fe-Ga-Si-Ru-O, a smooth output is obtained in the entire frequency range, and its pseudo gap noise is 0.4 dB or less. It can be seen that it has been greatly improved.
【００３５】[0035]
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明の磁気ヘッドにおいては、酸素を含む軟磁性合金を磁
気ギャップ近傍部に配し、酸素を含まない軟磁性合金を
反応防止膜に接する近傍部分に配することにより、反応
防止膜と密着性の悪い上記酸素添加軟磁性合金とが接触
しない構造となり、両者間の剥離を確実に防止すること
ができる。したがって、疑似ギャップの発生を防止する
ことができると共に、酸素を含有する軟磁性合金による
優れた軟磁気特性によって記録再生特性を大幅に向上さ
せることができる。As is apparent from the above description, in the magnetic head of the present invention, the soft magnetic alloy containing oxygen is arranged in the vicinity of the magnetic gap, and the soft magnetic alloy containing no oxygen is used as the reaction preventing film. By arranging it in the vicinity of the contact, the reaction preventive film and the oxygen-added soft magnetic alloy having poor adhesion do not come into contact with each other, and peeling between them can be reliably prevented. Therefore, it is possible to prevent the generation of the pseudo gap, and it is possible to significantly improve the recording / reproducing characteristics due to the excellent soft magnetic characteristics of the soft magnetic alloy containing oxygen.
【図１】本発明を適用した磁気ヘッドの一例を示す斜視
図である。FIG. 1 is a perspective view showing an example of a magnetic head to which the present invention is applied.
【図２】図１の要部拡大平面図である。FIG. 2 is an enlarged plan view of an essential part of FIG.
【図３】Ｆｅ−Ｇａ−Ｓｉ−ＲｕとＦｅ−Ｇａ−Ｓｉ−
Ｒｕ−Ｏからなる金属磁性膜で構成した磁気ヘッドの再
生出力の周波数特性を示す図である。FIG. 3 Fe—Ga—Si—Ru and Fe—Ga—Si—
It is a figure which shows the frequency characteristic of the reproduction output of the magnetic head comprised by the metal magnetic film which consists of Ru-O.
【図４】Ｆｅ−Ｇａ−Ｓｉ−Ｒｕ−Ｏのみからなる金属
磁性膜で構成した磁気ヘッドの再生出力の周波数特性を
示す図である。FIG. 4 is a diagram showing frequency characteristics of reproduction output of a magnetic head composed of a metal magnetic film made of only Fe—Ga—Si—Ru—O.
１，２・・・磁気コア基板 ３，４・・・金属磁性膜 ３ａ，４ａ・・・酸素含有の金属磁性膜 ３ｂ，４ｂ・・・酸素含有の金属磁性膜 ５，６・・・磁気コア半体 ７，８・・・ギャップ形成面 ９，１０・・・第１の傾斜面 １１，１２・・・第２の傾斜面 １３，１４・・・巻線溝 1, 2 ... Magnetic core substrate 3, 4 ... Metal magnetic film 3a, 4a ... Oxygen-containing metal magnetic film 3b, 4b ... Oxygen-containing metal magnetic film 5, 6 ... Magnetic core Half bodies 7, 8 ... Gap forming surface 9, 10 ... First inclined surface 11, 12 ... Second inclined surface 13, 14 ... Winding groove
Claims (2)
突合わせ面に反応防止膜を介して金属磁性膜が形成され
てなる一対の磁気コア半体が、互いの金属磁性膜を突合
わせその突合わせ面間に磁気ギャップを形成してなる磁
気ヘッドにおいて、 上記金属磁性膜は、磁気ギャップ近傍部分が酸素を含有
した軟磁性合金からなり、且つ、反応防止膜近傍部分が
前記軟磁性合金と同一材料であって酸素を含有しないこ
とを特徴とする磁気ヘッド。1. A pair of magnetic core halves each having a metal magnetic film formed on an abutting surface of a magnetic core substrate made of an oxide magnetic material with a reaction-preventing film interposed between the metal magnetic films. In a magnetic head having a magnetic gap formed between the abutting surfaces, the metal magnetic film has a portion near the magnetic gap made of a soft magnetic alloy containing oxygen, and a portion near the reaction preventive film is made of the soft magnetic alloy. A magnetic head made of the same material and containing no oxygen.
系合金又はＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金であることを特徴と
する請求項１記載の磁気ヘッド。2. The soft magnetic alloy is Fe-Ga-Si-Ru.
The magnetic head according to claim 1, wherein the magnetic head is a Fe-Al-Si alloy.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14764393A JPH076320A (en) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | Magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14764393A JPH076320A (en) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | Magnetic head |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH076320A true JPH076320A (en) | 1995-01-10 |
Family
ID=15434983
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14764393A Pending JPH076320A (en) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | Magnetic head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH076320A (en) |
-
1993
- 1993-06-18 JP JP14764393A patent/JPH076320A/en active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20021210 |